WO2012124241A1 - 被洗浄物の洗浄装置 - Google Patents

被洗浄物の洗浄装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2012124241A1
WO2012124241A1 PCT/JP2012/000082 JP2012000082W WO2012124241A1 WO 2012124241 A1 WO2012124241 A1 WO 2012124241A1 JP 2012000082 W JP2012000082 W JP 2012000082W WO 2012124241 A1 WO2012124241 A1 WO 2012124241A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
cleaning
opening
tank
cleaned
work chamber
Prior art date
Application number
PCT/JP2012/000082
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
正英 内野
Original Assignee
ジャパン・フィールド株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ジャパン・フィールド株式会社 filed Critical ジャパン・フィールド株式会社
Priority to CN201280013482.3A priority Critical patent/CN103429361B/zh
Priority to US14/004,590 priority patent/US20140102490A1/en
Publication of WO2012124241A1 publication Critical patent/WO2012124241A1/ja

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam

Definitions

  • the present invention relates to a cleaning apparatus for an object to be cleaned, which enables a cleaning operation of an object to be cleaned using a reduced pressure by a simple and small apparatus, and simplifies a plurality of types of cleaning operations according to the cleaning purpose. And it tries to make it possible to do it reliably.
  • Patent Documents 1 and 2 the cleaning liquid storage part and the drying part of the object to be cleaned are separated from each other by a gate valve inserted from the side surface of the cleaning tank, thereby blocking the cleaning liquid storage part and the drying part of the object to be cleaned. And what is going to dry the to-be-cleaned thing in a drying part is known. Moreover, as shown in Patent Document 3, the cover for the cleaning liquid in the cleaning tank is pressed against the packing of the annular ridge disposed above the liquid level of the cleaning tank, thereby cleaning the cleaning liquid storage section and the object to be cleaned. It is known that an object to be washed is dried in the drying section while being disconnected from the drying section of the object.
  • Patent Documents 1 and 2 partition the cleaning liquid storage part and the drying part of the object to be cleaned by a gate valve inserted from the side surface of the cleaning tank, the gate valve protrudes greatly from the side surface of the cleaning tank. Therefore, the size of the apparatus is increased, which is not preferable.
  • sludge, chips and the like separated from the object to be cleaned by the cleaning adhere to the sliding surface of the gate valve, which has a drawback of impairing the airtightness. There is a high possibility that the seal portion will be damaged by sliding of the gate valve.
  • Patent Document 3 there is no drawback as described above, but by pressing the covering plate against the packing of the annular ridge disposed above the liquid level of the cleaning tank, It is intended to form an airtight chamber for drying the object under reduced pressure.
  • an airtight chamber for performing drying under reduced pressure of an object to be cleaned is formed by partitioning a cleaning tank.
  • the cleaning tank itself will be used greatly.
  • the cleaning liquid and the condensate adhering to the inner surface of the cleaning tank by immersion cleaning, steam cleaning, etc. are dried under reduced pressure as they are, which causes an excessive load on the pressure reducing mechanism.
  • the present invention is intended to solve the above-described problems, and a vacuum drying unit is formed completely separate from the cleaning tank, and the minimum space required for vacuum drying of an object to be cleaned is formed. This is made possible by reducing the pressure, and by using this depressurizable space, various cleaning operations other than drying under reduced pressure are made possible. In addition, a reliable airtight state is formed at the time of drying under reduced pressure so that no airtight leakage occurs.
  • the present invention forms an opening that can be moved up and down in the cleaning tank containing the cleaning liquid for the object to be cleaned at the bottom and that can be opened and closed on the side surface in the vertical movement direction.
  • a pressure-resistant working chamber for storing the object to be cleaned is provided separately from the cleaning tank.
  • the working chamber is formed in a cylindrical shape such as a cylindrical shape or a rectangular tube shape, and an opening is provided on a side surface of the cylindrical working chamber in the vertical movement direction.
  • a covering body that covers the opening so as to be able to seal the working chamber and that can be decompressed by connecting the working chamber to a decompression mechanism is formed on the inner surface of the cleaning tank so as to be able to advance and retreat in the horizontal direction. .
  • the cleaning tank in which the working chamber is housed so as to be movable up and down may be formed so as to be capable of withstanding pressure, or may be used at normal pressure without pressure resistance, depending on the work purpose. Can be selected arbitrarily.
  • the opening of the working chamber is formed perpendicular to the side surface of the cylindrical working chamber.
  • the opening of the working chamber may be a pair of openings on both sides of the working chamber, or one opening on only one side of the working chamber. If a pair of openings are provided on both sides of the working chamber, it is easy to put an object into and out of the working chamber and workability can be improved. Further, if only one opening is opened on one side of the working chamber, it is only necessary to form one cover, so that the structure of the apparatus can be simplified and an inexpensive apparatus can be obtained. By doing so, the effect of preventing airtight leakage can be improved.
  • the covering may be provided with a decompression opening capable of communicating with the working chamber, and the decompression opening may be connected to the decompression mechanism via a valve.
  • the covering may be provided with an opening for introducing a cleaning liquid that can communicate with the working chamber, and connected to the cleaning liquid in the cleaning tank through a valve and a filter.
  • a cleaning liquid that can communicate with the working chamber
  • the filtered cleaning liquid is introduced into the working chamber through the filter, the contaminated cleaning liquid is discharged into the cleaning tank after immersion cleaning, and this is again introduced into the cleaning chamber through the filter.
  • the introduction of the cleaning liquid from the cleaning tank to the working chamber may be performed by arranging a liquid feed pump in the path, or the work chamber is depressurized by the above-described pressure reducing mechanism, and the negative pressure is applied to the cleaning chamber from the cleaning tank
  • the cleaning liquid may be introduced through a filter.
  • the covering may be provided with a steam introduction opening that can communicate with the work chamber, and the steam introduction opening may be connected to a steam generation tank via a valve.
  • steam is introduce
  • the covering may be arranged above the liquid surface of the cleaning liquid, and by forming in this way, the working chamber is moved to the covering body position and sealed without removing the cleaning liquid from the cleaning tank.
  • the object to be cleaned can be quickly dried under reduced pressure.
  • the covering when the covering is placed in the cleaning liquid and the work chamber is sealed and vacuum drying is performed, the covering may be performed after the cleaning liquid is removed from the cleaning tank.
  • the upper space for preventing the covering and the cleaning liquid from coming into contact with each other is no longer necessary in the cleaning tank, so that the vertical dimension of the cleaning tank can be reduced. Miniaturization is possible.
  • the work chamber is positioned slightly higher than the bottom of the cleaning tank, even if the cleaning liquid in the cleaning tank cannot be completely removed, the work chamber is sealed with a covering and Since it is cut off, there is no trouble in the vacuum drying operation. Further, since the working chamber can be sealed with a covering to form a drying chamber that is cut off from the cleaning tank, it can be dried under reduced pressure in the presence of cleaning liquid or cleaning vapor in the cleaning tank. .
  • the working chamber for cleaning the object to be cleaned can be moved up and down in the cleaning tank in which the cleaning liquid for the object to be cleaned is stored in the lower bottom, and airtightly shut off separately from the cleaning tank. Since it is formed, it is possible to form the minimum space necessary for the cleaning operation of the object to be cleaned such as vacuum drying, and the vacuum drying in the state where the cleaning liquid and the cleaning vapor exist in the cleaning tank, The decompression mechanism can be efficiently performed without applying unnecessary load.
  • the working chamber is hermetically shut off from the cleaning tank in this way, even if the cleaning tank does not have a pressure resistance corresponding to normal pressure, , Pressure reduction operations such as vacuum ultrasonic cleaning and vacuum steam cleaning are made possible.
  • the working chamber can be independent of the cleaning tank, not only the vacuum-related work as described above but also the cleaning liquid in the cleaning tank is filtered, and the highly purified cleaning liquid is introduced into the working chamber for cleaning.
  • Various cleaning operations such as performing immersion cleaning separately from the tank or performing reduced-pressure steam cleaning by introducing cleaning steam into the working chamber can be easily performed.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing Example 1 of the present invention, and shows a state in which an object to be cleaned is taken out from the work chamber.
  • FIG. 3 is a right side sectional view of FIG. 2.
  • Example 3 of this invention It is sectional drawing which shows Example 3 of this invention, and has shown the state which arrange
  • Embodiment 1 of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 6.
  • (1) is a cleaning tank, which has a pressure resistance or is formed into a normal pressure compatible type without pressure resistance.
  • the normal pressure type is appropriately and selectively used according to the purpose of cleaning.
  • a pressure-resistant work chamber (2) is connected to a vertical movement mechanism (3) and arranged so as to be movable up and down.
  • the vertical movement mechanism (3) is connected to a vertical movement cylinder (4) installed outside the cleaning tank (1) to move the vertical movement body (5) that moves up and down to the cleaning tank (1).
  • a driven shaft (8) driven by a motor (7) installed at the upper end of the top plate (6) through the top plate (6) is connected at right angles to the driven shaft (10).
  • the rotating shaft (11) in the working chamber (2) is connected.
  • the cleaning efficiency of the object to be cleaned (12) and the cleaning liquid (13) can be improved. It is possible.
  • the article to be cleaned (12) is used in a concept including a cleaning bowl containing the article to be cleaned.
  • the cleaning tank (1) has an entrance / exit (14) opened at the upper end, and the entrance / exit (14) can be opened and closed by a lid (15).
  • the lid (15) is pivotally supported at one end on a support column (17) of the main body via a pivotal support (16) and can be moved up and down by an advancing / retreating mechanism (18) such as a solenoid coil. It is arranged to be able to advance and retract at the angle (20), and is connected to the advance / retreat cylinder (21) in this arrangement state.
  • the advance / retreat mechanism (18) is extended and the angle (20) is lifted, the advance / retreat cylinder (21) is contracted, and the lid (15) is opened as shown in FIG. .
  • it is necessary is just to operate
  • the working chamber (2) that moves up and down by the up-and-down moving mechanism (3) is formed in a cylindrical shape such as a cylinder or a rectangular tube, and the opening (22)
  • a packing (23) such as an O-ring is arranged in the vertical direction on the outer surface of the opening (22).
  • the covering which can seal the opening (22) facing the opening (22)
  • This covering (24) is arranged on the inner surface of the cleaning tank (1) so as to be able to advance and retract in the horizontal direction by an open / close cylinder (25).
  • packing (23) such as O-ring is arranged in the vertical direction on the outer surface of the opening (22), but the packing (23) is not necessarily formed in the opening (22). It may be formed on the opening (22) side of the body (24). In this case, it is preferable that the packing (23) is formed wide with a plate packing or the like in order to reliably contact the opening (22).
  • the covering (24) opens a decompression opening (26), and the decompression opening (26) is provided with a decompression mechanism (27), a first on-off valve (28), a condenser installed outside the washing tank (1). (30), connected via a second on-off valve (31).
  • the covering (24) is naturally formed in a larger area than the opening (22) in order to seal the opening (22). Even when the stop position of the work chamber (2) is different due to a defect or the like, there is no problem in sealing the opening (22).
  • the decompression opening (26) is formed in a direction close to the center in the vertical direction, and the opening (22) by the covering (24) is formed. At the time of sealing, the opening (22) and the decompression opening (26) are formed so as to communicate with each other.
  • a steam generation tank (33) is connected to the cleaning tank (1) via a third on-off valve (32).
  • the steam generation tank (33) heats the cleaning liquid (13) by a heating mechanism (34) such as a heater and steam, so that cleaning steam can be supplied to the cleaning tank (1).
  • the steam generation tank (33) is connected to a steam introduction opening (47) provided in the covering (24) via a seventh on-off valve (48), and is a working chamber (sealed with the covering (24)). 2) It is possible to introduce cleaning steam into the inside and perform the normal pressure steam cleaning and the decompression steam cleaning independently without being influenced by the cleaning tank (1).
  • reference numerals (43), (44) and (45) denote decompression destruction valves.
  • the object to be cleaned (12) is cleaned in the work chamber (2) protruding upward from the cleaning tank (1) as shown in FIG. 12) is stored.
  • the lower part of the cleaning tank (1) is filled with a cleaning liquid (13).
  • This cleaning liquid (13) can be arbitrarily selected according to the work purpose, and may use a solvent such as petroleum solvent, silicone solvent, terpene solvent, alcohol solvent, or water. May be.
  • the first on-off valve (28), the second on-off valve (31), and the third on-off valve (32) are closed, and the pressure reducing mechanism (27) is not in operation.
  • the vertical movement mechanism (3) is operated to insert the working chamber (2) into the cleaning liquid (13) and immerse it. Wash.
  • the motor (7) of the vertical movement mechanism (3) is operated to rotate the rotating shaft (11), thereby rotating the article to be cleaned (12) or moving the vertical movement cylinder (4) up and down.
  • any means for improving the contact between the object to be cleaned (12) and the cleaning liquid (13) can be selected according to the purpose of cleaning.
  • ultrasonic cleaning can be performed by arranging an ultrasonic vibrator (not shown) in the work chamber (2).
  • the ultrasonic wave reflected from the top surface of the work chamber (2) formed in a cylindrical shape also causes the object (12) to be ultrasonicated from the upper surface. It can also be washed.
  • the opening (22) is not sealed with the covering (24).
  • the vertical movement mechanism (3) is operated to lift the working chamber (2) above the cleaning liquid (13) as shown in FIG. )
  • the cleaning tank (1) is pressure resistant, the first and second on-off valves (28) and (31) are opened, and the pressure reducing mechanism (27) is used in the cleaning tank (1).
  • the cleaning vapor can be introduced into the cleaning tank (1) and the object to be cleaned (12) can be subjected to the reduced-pressure steam cleaning.
  • the cleaning vapor introduced into the cleaning tank (1) is introduced into the working chamber (2) from the opening (22) not sealed by the covering (24) and condensed into the object to be cleaned (12). If the cleaning liquid (13) is kept as low as possible, it is possible to increase the condensation efficiency of the cleaning target (12) and the cleaning steam.
  • the cleaning tank (1) when the cleaning tank (1) is compatible with normal pressure and does not have pressure resistance, the cleaning tank (1) is opened by opening only the third on-off valve (32) without operating the pressure reducing mechanism (27). It is possible to carry out normal pressure steam cleaning by introducing cleaning steam into the inside), but it is possible to perform reduced pressure steam cleaning even when the cleaning tank (1) does not have pressure resistance due to normal pressure.
  • the first on-off valve (28) is opened and the pressure in the work chamber (2) is reduced by the pressure reducing mechanism (27) to open the seventh open / close.
  • the valve (48) and introducing the steam from the steam generation tank (33) through the steam introduction opening (47) the reduced pressure steam cleaning can be performed. By performing steam cleaning in a reduced pressure state, even when a solvent having a low flash point is used, it is possible to reduce the amount of oxygen in the air and to perform steam cleaning with high safety.
  • the open / close cylinder (25) is extended and the covering (24) is pressed against the opening (22) to seal the opening (22).
  • the on-off valves (28) (31) and operating the pressure reducing mechanism (27) the object to be cleaned (12) can be dried under reduced pressure in the work chamber (2).
  • This vacuum drying is not performed by dividing the washing tank (1) up and down, but by a space formed by a cylindrical work chamber (2) and a covering (24) that seals the work chamber (2). It is. Therefore, this work space can be made the minimum necessary without being affected by the diameter of the cleaning tank (1), and the decompression mechanism (27) is not subjected to an extra load, and the decompression can be performed efficiently. Drying can be performed at low cost.
  • the work chamber (2) for performing the cleaning operation of the object to be cleaned (12) is formed in an airtight manner separately from the cleaning tank (1), the cleaning liquid ( 13) and the reduced-pressure drying in the presence of the cleaning steam can be efficiently performed without applying unnecessary load to the pressure-reducing mechanism (27).
  • the work chamber (2) since the work chamber (2) is hermetically shut off from the cleaning tank (1) as described above, the cleaning tank (1) does not have pressure resistance corresponding to normal pressure. In addition, it enables vacuum drying and vacuum-related work in the work chamber (2). As described above, the work chamber (2) is not used only for drying under reduced pressure, but it is of course possible to perform various cleaning operations other than drying under reduced pressure.
  • the covering (24) is formed to be larger than the opening (22), so that even if the fixing position of the working chamber (2) by the vertical movement mechanism (3) is slightly deviated from the design value, it is reliable. Can be sealed.
  • the decompression opening (26) is formed in the direction of the center of the covering (24), so that the decompression opening (26) is always the opening (22) of the working chamber (2) even if a positional deviation occurs. Can be communicated with.
  • the opening part (22) of the work chamber (2) is formed on the side surface in the vertical direction of the work chamber (2), chips and sludge that are separated from the object to be cleaned (12) by the cleaning work are removed.
  • the opening (22) is less likely to accumulate or get caught, and most of it does not fall into the cleaning tank (1) and does not cause an airtight defect.
  • Example 1 the example in which the object to be cleaned (12) is inserted into the cleaning liquid (13) filled in the bottom of the cleaning tank (1) and the object to be cleaned (12) is subjected to immersion cleaning has been described.
  • the work chamber (2) is moved to the upper surface of the cleaning liquid (13), and the object to be cleaned (12) is precisely cleaned with the cleaning liquid (13) filtered and cleaned by the filter (35).
  • the second embodiment will be described in detail below with reference to FIGS. 7 to 10.
  • the second embodiment is the same as the first embodiment in that the covering (24) is disposed above the liquid surface of the cleaning liquid (13).
  • the working chamber (2) containing the object to be cleaned (12) is arranged on the upper surface of the cleaning liquid (13).
  • the opening (22) of the work chamber (2) is sealed with the covering (24), and the first and second on-off valves (28) and (31) are closed with the fourth on-off valve (37) closed.
  • the work chamber (2) is decompressed to a certain degree of decompression by opening and operating the decompression mechanism (27).
  • the fourth on-off valve (37) in this reduced pressure state as shown in FIG. 8, the cleaning liquid (13) in the cleaning tank (1) passes through the filter (35) all at once in the work chamber (2). To be introduced.
  • an arbitrary means for rotating the object to be cleaned (12) and moving the vertical movement cylinder (4) up and down is selected in the same manner as in the first embodiment.
  • Immersion cleaning, ultrasonic cleaning, etc. can be performed.
  • the first and second on-off valves (28) and (31) and the fourth on-off valve (37) are closed.
  • this immersion cleaning is a vacuum ultrasonic cleaning
  • the first and second on-off valves (28) and (31) are opened, and ultrasonic vibration is generated while the pressure reducing mechanism (27) is operated. is there.
  • the first and second on-off valves (28) and (31) are opened with the fourth on-off valve (37) opened. It is of course possible to sequentially introduce the cleaning liquid (13) into the working chamber (2) according to the degree of pressure reduction by operating the pressure reducing mechanism (27).
  • two pressure reducing mechanisms (27) are arranged to increase the pressure reducing capability.
  • the sealing of the work chamber (2) by the covering (24) is released as shown in FIG. 9, and the cleaning liquid (13) in the work chamber (2) is removed from the cleaning tank (1).
  • the work chamber (2) is again sealed with the covering (24), and the cleaning liquid (13) in the cleaning tank (1) is passed through the filter (35) by the same procedure as described above. ).
  • the object to be cleaned (12) can always be cleaned with the cleaning liquid (13) cleaned by the filter (35), thus enabling highly accurate cleaning of electronic parts and the like. I can do things.
  • the cleaning liquid (13) is heated by the heater (38), and steam cleaning is performed with the covering (24) opened.
  • This steam cleaning may be performed in a normal pressure state, but if the cleaning tank (1) has a pressure-resistant structure, it can also be performed under reduced pressure steam cleaning. When steam cleaning is performed at normal pressure, it is not necessary to make the cleaning tank (1) pressure resistant, so that an inexpensive apparatus can be provided. Moreover, if the washing tank (1) has a pressure resistant structure, it is possible to perform reduced-pressure steam washing in a state where the inside of the washing tank (1) is depressurized. It is possible to reduce the risk of
  • the work chamber (2) After completion of this steam cleaning, the work chamber (2) is sealed with the covering (24), and the vacuum mechanism (27) is operated to perform vacuum drying. Further, when the reduced-pressure steam cleaning is performed in the working chamber (2), it is possible to connect the steam generation tank (33) to the covering (24) as in the first embodiment.
  • the vertical dimension of the cleaning tank (1) is increased so that the working chamber (2) can be disposed above the level of the cleaning liquid (13). It is a thing. With this configuration, there is no need to remove the cleaning liquid (13) from the cleaning tank (1) when performing steam cleaning, vacuum drying, etc., and quick switching from immersion cleaning to steam cleaning or vacuum drying is possible. Can be performed.
  • the size of the cleaning tank (1) in the vertical direction is large, and it may be difficult to install the apparatus depending on the installation location. Therefore, in the third embodiment, the size of the cleaning tank (1) in the vertical direction is reduced so that the cleaning device can be easily installed.
  • the cleaning tank (1) is filled with the cleaning liquid (13), and there is no space for arranging the working chamber (2) above the liquid surface. ),
  • the working chamber (2) is placed in the cleaning liquid (13) as shown in FIG.
  • a reserve tank (41) is connected to the cleaning tank (1) via a fifth open / close valve (40), and the reserve tank (41) is connected via a sixth open / close valve (42) and a condenser (30).
  • the pressure reducing mechanism (27) is connected.
  • a steam generation tank (33) is connected to the cleaning tank (1) as in the first embodiment. Then, in order to store the object to be cleaned (12) in the work chamber (2), as shown in FIG. 11, the cleaning liquid (13) is extracted into the reserve tank (41) and moved to above the cleaning tank (1). In (2), the object to be cleaned (12) is stored.
  • the fifth on-off valve (40) is closed, the second and sixth on-off valves (31) (42) are opened, the pressure reducing mechanism (27) is operated, and the reserve tank ( 41) After the pressure in the interior is reduced to a certain degree of decompression, the fifth on-off valve (40) is opened, and the cleaning liquid (13) is transferred to the reserve tank (41) all at once.
  • the working chamber (2) is lowered and placed in the cleaning tank (1), and then the cleaning liquid (13) in the reserve tank (41) is transferred into the cleaning tank (1). This transfer is performed after the cleaning tank (1) is sealed with the lid (15).
  • the pressure reducing mechanism (27) is operated while the fifth on-off valve (40) is kept open, and the cleaning liquid (13) is reserved while the pressure in the reserve tank (41) is sequentially reduced. It may be one that is sequentially transferred to the tank (41).
  • any means for operating the motor (7) or moving the vertical movement cylinder (4) up and down is selected, and the object to be cleaned (12) is rotated, swinged, ultrasonic, etc. according to the purpose of cleaning.
  • Immersion cleaning is performed using any of the methods.
  • the cleaning liquid (13) is drawn into the reserve tank (41) as shown in FIG. 13, and then the cleaning steam is discharged from the steam generation tank (33) through the cleaning tank (1) as shown in FIG. It is introduced into the work room (2) and steam cleaned.
  • the cleaning tank (1) when the cleaning tank (1) is pressure-resistant as in the first and second embodiments, the first and second on-off valves (28) (31) are opened, and the pressure reducing mechanism (27 ), The cleaning tank (1) is decompressed through the decompression opening (26), so that cleaning steam can be introduced into the cleaning tank (1) and the object to be cleaned (12) can be subjected to vacuum steam cleaning.
  • the cleaning vapor introduced into the cleaning tank (1) is introduced into the working chamber (2) from the opening (22) not sealed by the covering (24) and condensed into the object to be cleaned (12).
  • the cleaning liquid (13) is kept as low as possible, the condensation efficiency of the cleaning object (12) and the cleaning vapor can be increased.
  • the vacuum steam cleaning in the cleaning tank (1) is performed by directly connecting the cleaning tank (1) to the pressure reducing mechanism (27) via the eighth on-off valve (49) as shown in FIGS. You can go.
  • the direct connection of the cleaning tank (1) to the pressure reducing mechanism (27) is similarly performed in the first and second embodiments as long as the cleaning tank (1) has pressure resistance. Can do.
  • the cleaning tank (1) when the cleaning tank (1) is compatible with normal pressure and does not have pressure resistance, the cleaning tank (1) is opened by opening only the third on-off valve (32) without operating the pressure reducing mechanism (27). It is possible to carry out normal pressure steam cleaning by introducing cleaning steam into the inside), but it is possible to perform reduced pressure steam cleaning even when the cleaning tank (1) does not have pressure resistance due to normal pressure.
  • the first on-off valve (28) is opened and the pressure in the work chamber (2) is reduced by the pressure reducing mechanism (27) to open the seventh open / close.
  • the valve (48) and introducing the steam from the steam generation tank (33) through the steam introduction opening (47) the reduced pressure steam cleaning can be performed. By performing steam cleaning in a reduced pressure state, even when a solvent having a low flash point is used, it is possible to reduce the amount of oxygen in the air and to perform steam cleaning with high safety.
  • the opening (22) of the working chamber (2) is sealed with the covering (24) as shown in FIG. 15, and the working chamber (2) is opened from the decompression opening (26) by the decompression mechanism (27). ) Is reduced in pressure, the boiling point of the cleaning liquid (13) is lowered and drying can be performed. Further, it is not necessary to completely remove the cleaning liquid (13) from the cleaning tank (1). The cleaning liquid (13) may be removed to the extent that the cleaning liquid (13) does not remain in the work chamber (2). Even if some cleaning liquid (13) remains, there is no problem in drying under reduced pressure in the independent working chamber (2).
  • Example 3 the work chamber (2) is formed independently of the cleaning tank (1), and therefore, the cleaning liquid (13) is removed so as not to remain in the work chamber (2). For example, even if some cleaning liquid (13) remains in the cleaning tank (1), there is no problem.
  • the openings (22) of the working chamber (2) are formed on both sides in the vertical direction.
  • the object to be cleaned (12) can be stored and taken out from either the left or right side, so that the workability is improved.
  • the two covering bodies (24) are required to seal the working chamber (2), the apparatus is expensive and the lid (15) is in contact with the opening (22) of the working chamber (2). Much attention and maintenance is required to prevent airtight leakage due to defects.
  • the fourth embodiment as shown in FIG. 16, only one opening (22) of the working chamber (2) is provided on one side in the vertical movement direction and is formed in a U-shaped cross section.
  • the work chamber (2) can be sealed with a single covering (24), so that the apparatus is inexpensive.
  • the probability of airtight leakage due to poor contact between the lid (15) and the opening (22) of the work chamber (2) and the number of maintenance steps can be significantly reduced compared to the first to third embodiments. it can.

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)

Abstract

【課題】被洗浄物の洗浄作業を行う作業室を、洗浄槽内を上下移動可能とし洗浄槽とは別個に気密的に遮断して形成したものであるから、減圧乾燥等の被洗浄物の洗浄作業に必要な最小限の空間を形成する事が可能となるとともに洗浄槽に洗浄液や洗浄蒸気が存在する状態での減圧乾燥が、減圧機構に無駄な負荷をかけたりすることが無く効率的に行う事を可能とする。 【解決手段】洗浄槽（１）内を上下移動可能とするとともに上下移動方向の側面に開放および密閉可能な開口部（２２）を形成して被洗浄物（１２）を収納するための耐圧性の作業室（２）を設ける。この作業室（２）の側面に設けた開口部（２２）を被覆して作業室（２）内を密閉可能とするとともにこの作業室（２）内を減圧機構（２７）に接続して減圧可能とする被覆体（２４）を、洗浄槽（１）の内面に水平方向に進退可能に形成する。

Description

被洗浄物の洗浄装置
　本発明は被洗浄物の洗浄装置に係るものであって、減圧を用いた被洗浄物の洗浄作業を簡易かつ小型の装置により可能とすると共に、洗浄目的に応じた複数種の洗浄作業を簡易かつ確実に行うことを可能にしようとするものである。
　従来、被洗浄物の浸漬洗浄、蒸気洗浄、減圧乾燥等を行う場合に、これらの洗浄方法を別個の洗浄槽で行う場合と、一個の洗浄槽で全ての洗浄を行うものとが存在した。浸漬洗浄、蒸気洗浄、減圧乾燥等を別個の洗浄槽で行う場合は、個々の洗浄槽の機構を単機能とすることが出来るため、個々の装置は構成を簡略化できると共に個々の作業的には優れた洗浄効果を得ることが可能となる。しかしながら、複数の洗浄槽を使用するため装置を大型化し高価なものとなると共に、被洗浄物を、複数の洗浄槽間を移動させるため、溶剤蒸気の拡散等を生じる欠点を有していた。
　また、上記の欠点を除去する目的で浸漬洗浄、蒸気洗浄、減圧乾燥等の複数の洗浄作業を一つの洗浄槽内で行おうとするものが存在する。一つの洗浄槽内で被洗浄物を浸漬洗浄や蒸気洗浄をした後に減圧乾燥するためには、減圧乾燥を行う場所と洗浄液の収納部とを遮断する必要がある。この遮断を行わないと減圧によって洗浄液が際限なく揮発して確実な減圧乾燥が困難となるし、減圧機構に多くの負荷を生じさせるためである。
　そこで特許文献１、２に示す如く、洗浄液収納部と被洗浄物の乾燥部とを、洗浄槽の側面から挿入するゲートバルブによって仕切る事により、洗浄液収納部と被洗浄物の乾燥部とを遮断して、乾燥部における被洗浄物の乾燥作業を行おうとするものが知られている。また、特許文献３に示す如く、洗浄槽の洗浄液側に予め配置している被覆板を、洗浄槽の液面よりも上方に配置した環状鍔のパッキンに押圧する事により洗浄液収納部と被洗浄物の乾燥部とを遮断して、乾燥部における被洗浄物の乾燥作業を行おうとするものが知られている。
特開平７－２２７５８１号公報 特開平６－１５２３９号公報 特開平２０００－１６０３７８号公報
　しかしながら特許文献１、２に記載の発明は洗浄液収納部と被洗浄物の乾燥部とを、洗浄槽の側面から挿入するゲートバルブによって仕切るものであるから、ゲートバルブが洗浄槽の側面に大きく突出するものとなり装置を大型化し好ましくない。また、ゲートバルブの摺動面に、洗浄によって被洗浄物から分離した汚泥、切り粉等が付着し、気密性を損なう欠点を有している。ゲートバルブの摺動によってシール部を破損する可能性が高いものである。
　また、特許文献３に示す発明に於いては、上述のごとき欠点を生じる事はないが、洗浄槽の液面よりも上方に配置した環状鍔のパッキンに被覆板を押圧する事により、被洗浄物の減圧乾燥を行う気密室を形成しようとするものである。そして、この特許文献３に示す発明に於いても、特許文献１、２に記載の発明に於いても、被洗浄物の減圧乾燥を行う気密室は洗浄槽を仕切って形成するものであるから、洗浄槽そのものを大きく利用するものとなる。その結果、浸漬洗浄、蒸気洗浄等で洗浄槽の内面に付着していた洗浄液や凝縮液を、そのままの状態で減圧乾燥を行うものとなるため、減圧機構に過度の負荷を発生させるものとなるし効率の悪い減圧乾燥と成るものである。
　また、特許文献１～３に示す発明は、洗浄槽を横断して仕切るものであるから、前記の遮断によって発生する減圧乾燥室の大きさを、洗浄槽の横断直径以下にする事は出来ない。そのため、被洗浄物の減圧乾燥には不必要な大きさの乾燥室を形成するものとなり、装置を大型化して好ましくないとともに減圧のための容積を不必要に大きなものとするから、減圧機構に余分な負荷を与えるものとなるし、減圧効率を損なうものとなる。
　そこで、本願発明は上述の如き課題を解決しようとするものであって、洗浄槽とは全く別個に減圧乾燥部を形成し、被洗浄物の減圧乾燥を、必要とされる最小限の空間を減圧する事により可能とするとともにこの減圧可能空間を利用して、減圧乾燥以外の種々の洗浄作業を可能とする。また、減圧乾燥時には確実な気密状態を形成し、気密漏れの発生が無いようにするものである。
　本願発明は上述の如き課題を解決するため、下底に被洗浄物の洗浄液を収納した洗浄槽内を上下移動可能とするとともに上下移動方向の側面に開放および密閉可能な開口部を形成して被洗浄物を収納するための耐圧性の作業室を洗浄槽とは別個に設ける。この作業室は円筒状、角筒状等の筒状に形成し、この筒状の作業室の上下移動方向の側面に開口部を設けている。また、この開口部を被覆して作業室内を密閉可能とするとともにこの作業室内を減圧機構に接続して減圧可能とする被覆体を、洗浄槽の内面に水平方向に進退可能に形成している。
　また、作業室を上下動可能に収納した洗浄槽は、耐圧可能に形成したものであっても良いし、耐圧性を備えず常圧にて使用するものであっても良く、作業目的に応じて任意に選択する事が可能となる。
　作業室の開口部は、筒状の作業室の側面に垂直に形成する。このように開口部を作業室の側面に垂直に形成することによって、洗浄作業により被洗浄物から離脱した切り粉、汚泥等が開口部や開口部に設けたパッキンに、堆積したり、引っ掛かったりしにくくなり、被覆体で密閉する場合に気密不良を生じる事を防止できるものとなる。
　作業室の開口部は、作業室の両側に一対開口したものであっても良いし、作業室の片側にのみ一個開口したものであっても良い。開口部を作業室の両側に一対開口すれば、作業室への被洗浄物の出入が容易となり作業性を向上できる。また、開口部を作業室の片側にのみ一個開口すれば、被覆体も一個形成するのみで良いから装置の構成を簡略とし廉価な装置を得る事が出来るし、開口部と被覆体を一個とする事により気密漏れ防止効果を向上する事が出来る。
　また、被覆体には作業室と連通可能な減圧開口を設け、この減圧開口をバルブを介して減圧機構に接続するものとしても良い。このように形成する事により、被覆体によって開口部を被覆したときに作業室内を簡易に減圧可能となるとともに作業室を密閉しない場合も、洗浄槽が耐圧性のものであれば洗浄槽内の減圧も可能となる。
　被覆体には、作業室と連通可能な洗浄液の導入開口を設け、この導入開口にバルブ、濾過器を介して洗浄槽の洗浄液に配管によって接続したものであっても良い。このように形成する事により、濾過器を介して作業室内に濾過した洗浄液を導入し、浸漬洗浄後に汚染された洗浄液を洗浄槽内に排出し、これを濾過器を介して再度洗浄室に導入する事を繰り返す事により、常に濾過した清浄な洗浄液での精密洗浄を可能とする。なお、洗浄槽から作業室への洗浄液の導入は、その経路中に液送ポンプを配置しても良いし、上記の減圧機構により作業室内を減圧し、この負圧により洗浄槽から作業室へ、濾過器を介して洗浄液を導入するものとしても良い。
　被覆体には、作業室と連通可能な蒸気導入開口を設け、この蒸気導入開口をバルブを介して蒸気発生槽に接続したものであっても良い。このように、構成することにより被覆体で密閉した作業室内に洗浄蒸気を導入し、通常の蒸気洗浄や減圧蒸気洗浄を洗浄槽の影響を受けることなく独立して行うことが可能となる。
　また被覆体は、洗浄液の液面よりも上部に配置したものでも良く、このように形成する事により、洗浄槽から洗浄液を抜き取ることなく、作業室を被覆体位置に移動して密閉する事により迅速に被洗浄物の減圧乾燥を行う事ができる。
　また被覆体は、洗浄液中に配置し作業室を密閉して減圧乾燥作業を行う場合は、洗浄液を洗浄槽から抜き取った後に行うものであっても良い。この場合は洗浄液を洗浄槽から抜き取る手数を要するものの、被覆体と洗浄液とを接触させないための上部空間が洗浄槽に必要なくなるため、洗浄槽の上下方向の寸法を小さくする事ができ、装置の小型化を可能とする。また、作業室の位置を洗浄槽の下底よりも少しだけ高い位置に配置すれば、洗浄槽内の洗浄液を完全に抜けきれない場合も、作業室内は被覆体によって密閉され洗浄槽内とは遮断されるから減圧乾燥作業に支障を生じる事がない。また、作業室は被覆体で密閉する事により洗浄槽とは遮断された乾燥室を形成できるから、洗浄槽に洗浄液や洗浄蒸気か存在している状態での減圧乾燥が可能となるものである。
　本発明は上述の如く、被洗浄物の洗浄作業を行う作業室を、下底に被洗浄物の洗浄液を収納した洗浄槽内を上下移動可能とし洗浄槽とは別個に気密的に遮断して形成したものであるから、減圧乾燥等の被洗浄物の洗浄作業に必要な最小限の空間を形成する事が可能となるとともに洗浄槽に洗浄液や洗浄蒸気が存在する状態での減圧乾燥が、減圧機構に無駄な負荷をかけたりすることが無く効率的に行う事を可能とする。
　また、このように作業室を洗浄槽とは気密的に遮断して形成したものであるから、洗浄槽が常圧対応の耐圧性を備えない構成であっても、作業室内での減圧乾燥や、減圧超音波洗浄、減圧蒸気洗浄等の減圧作業を可能とする。また、作業室は洗浄槽とは独立したものとする事ができるから、上記のごとき減圧関連作業のみならず洗浄槽の洗浄液を濾過し、高度に清浄化した洗浄液を作業室に導入して洗浄槽とは別個に浸漬洗浄を行うとか、作業室に洗浄蒸気を導入して減圧蒸気洗浄を行う等の種々の洗浄作業をも容易に可能とするものである。
　また、被洗浄物を収納する作業室の上下移動方向の側面に開放および密閉可能な開口部を形成しているから、洗浄作業により被洗浄物から離脱した切り粉、汚泥等が開口部や開口部に設けたパッキンに引っ掛かりにくくなり、被覆体で密閉する場合に気密不良を生じる事を防止できるものとなる。
本発明の実施例１を示す断面図で、洗浄作業開始前を示している。 本発明の実施例１を示す断面図で、作業室を浸漬洗浄部に挿入した状態を示している。 本発明の実施例１を示す断面図で、作業室を洗浄液の上面に移動し蒸気洗浄を行っている状態を示している。 本発明の実施例１を示す断面図で、作業室を被覆体で密閉し減圧乾燥を行っている状態を示している。 本発明の実施例１を示断面図で、作業室から洗浄の完了した被洗浄物を取り出す状態を示している。 図２の右側断面図である。 本発明の実施例２を示す断面図で、洗浄液を加熱した洗浄槽内に作業室を挿入した状態を示している。 本発明の実施例２を示す断面図で、洗浄液の上面に移動し被覆体で密閉した作業室内に濾過器で濾過した洗浄液を導入した状態を示している。 本発明の実施例２を示す断面図で、作業室内の洗浄液を洗浄槽内に排出している状態を示している。 本発明の実施例２を示す断面図で、蒸気洗浄状態を示している。 本発明の実施例３を示す断面図で、洗浄槽を小型化し洗浄液収納部に作業室を配置し被洗浄物を収納する状態を示している。 本発明の実施例３を示す断面図で、被洗浄物の浸漬洗浄状態を示している。 本発明の実施例３を示す断面図で、洗浄液を洗浄槽からリザーブタンクに抜き取った状態を示している。 本発明の実施例３を示す断面図で、蒸気洗浄状態を示している。 本発明の実施例３を示す断面図で、洗浄液をリザーブタンクに抜き取り、作業室を被覆体で密閉して減圧乾燥を行っている状態を示している。 本発明の実施例４を示す断面図で、作業室の片側にのみ開口部を形成した状態を示している。
　以下本発明の実施例１を図１～図６に於いて説明すると、（１）は洗浄槽で、耐圧性を備えるか、または耐圧性を備えない常圧対応型に形成し、耐圧性または常圧対応型は洗浄目的に応じて適宜選択的に使用するものである。この洗浄槽(１)内には、耐圧性の作業室(２)を上下動機構(３)に接続して上下動可能に配置している。この上下動機構(３)は図６に示す如く、洗浄槽(１)の外側に設置した上下動シリンダ(４)に接続して上下動する上下動体(５)を、洗浄槽(１)の天板(６)を貫通して上下方向に配置するとともに上端に設置したモータ(７)により駆動する主動軸(８)に従動軸(１０)を直角に接続し、この従動軸(１０)に、作業室(２)内の回転軸(１１)を接続している。この回転軸(１１)に被洗浄物(１２)を載置し、この被洗浄物(１２)を回転する事により、被洗浄物(１２)と洗浄液(１３)との洗浄効率を高める事を可能としている。尚本件明細書中で被洗浄物(１２)とは被洗浄物を収納した洗浄籠を含む概念で用いるものである。
　また、洗浄槽(１)は上端に出入口(１４)を開口し、この出入口(１４)を蓋体(１５)により開閉可能としている。この蓋体(１５)は、一端を軸支部(１６)を介して本体の支柱(１７)に回動可能に軸支するとともに他端をソレノイドコイル等の進退機構(１８)により上下動可能としたアングル(２０)に進退可能に配置し、この配置状態で進退シリンダー(２１)に接続している。そして出入口(１４)を開放するには、進退機構(１８)を伸張しアングル(２０)を持ち上げた状態で進退シリンダー(２１)を収縮し、図１に示す如く蓋体(１５)を開放する。また、蓋体(１５)で出入口(１４)を密閉するには上記と逆の手順で作動させれば良い。
　また、上述の如く上下動機構(３)によって上下動する作業室(２)は、円筒、角筒等の筒状に形成し、上下動方向の両側を垂直に切り欠いて開口部(２２)を形成し、この開口部(２２)の外面に、オーリング等のパッキン(２３)を上下方向に配置している。そして、作業室(２)を洗浄槽(１)内の洗浄液(１３)よりも上方に配置した状態で、開口部(２２)に臨ませてこの開口部(２２)を密閉可能な被覆体(２４)を配置している。この被覆体(２４)は洗浄槽(１)の内面に、開閉シリンダ(２５)によって水平方向に進退可能に配置している。また、上記では開口部(２２)の外面に、オーリング等のパッキン(２３)を上下方向に配置しているが、パッキン(２３)は必ずしも開口部(２２)に形成する必要はなく、被覆体(２４)の開口部(２２)側に形成するものであっても良い。この場合は、パッキン(２３)を確実に開口部(２２)に接触させるために板パッキン等で幅広に形成するのが好ましい。
　また、被覆体(２４)は減圧開口(２６)を開口し、この減圧開口(２６)は洗浄槽(１)の外に設置した減圧機構(２７)と第１開閉弁(２８)、凝縮器(３０)、第２開閉弁(３１)を介して接続している。また、被覆体(２４)は開口部(２２)を密閉するために開口部(２２)よりも大きな面積で形成する事は当然であるが、大きく形成する事により上下動機構(３)の作動不良等により、作業室(２)の停止位置が異なる場合にも、開口部(２２)の密閉に支障を生じる事がない。尚、上記の如く被覆体(２４)を大きめに形成する場合には、上記の減圧開口(２６)を上下方向の中心部に近い方向に形成し、被覆体(２４)による開口部(２２)の密閉時に、開口部(２２)と減圧開口(２６)とが連通するように形成する。
　また、洗浄槽(１)には第３開閉弁(３２)を介して蒸気発生槽(３３)を接続している。この蒸気発生槽(３３)は、ヒータ、スチーム等の加熱機構(３４)により洗浄液(１３)を加熱し、洗浄槽(１)への洗浄蒸気の供給を可能としている。また、この蒸気発生槽(３３)は、被覆体(２４)に設けた蒸気導入開口(４７)に第７開閉弁(４８)を介して接続し、被覆体(２４)で密閉した作業室(２)内に洗浄蒸気を導入し、常圧蒸気洗浄や減圧蒸気洗浄を洗浄槽(１)の影響を受けることなく独立して行うことが可能となる。また、図面中(４３)(４４)(４５)は減圧破壊弁である。
　上述の如く構成したものに於いて、被洗浄物(１２)の洗浄を行うには、図１に示す如く、洗浄槽(１)から上方に突出した作業室(２)内に被洗浄物(１２)を収納する。この収納状態に於いて洗浄槽(１)の下部には洗浄液(１３)が充填されている。この洗浄液(１３)は、作業目的に応じて任意に選択可能なものであって、石油系溶剤、シリコーン系溶剤、テルペン系溶剤、アルコール系溶剤等の溶剤を用いても良いし、水を用いても良い。また、第１開閉弁(２８)、第２開閉弁(３１)、第３開閉弁(３２)は閉止されており、減圧機構(２７)は作動していない。
　次に、図２に示す如く、蓋体(１５)で出入口(１４)を閉止した後、上下動機構(３)を作動して作業室(２)を洗浄液(１３)中に挿入して浸漬洗浄を行う。この浸漬洗浄は、上下動機構(３)のモータ(７)を作動し回転軸(１１)を回転する事により被洗浄物(１２)を回転、または上下動シリンダ(４)を上下動することにより揺動しても良く、洗浄目的に応じて被洗浄物(１２)と洗浄液(１３)との接触を良好とするための任意の手段を選択する事ができる。また、作業室(２)には超音波振動子(図示せず)を配置する事により超音波洗浄も可能となる。そして、作業室(２)の下面に超音波振動子を配置すれば、筒状に形成した作業室(２)の天面に反射した超音波が上面からも被洗浄物(１２)を超音波洗浄する事も可能となる。なお、この浸漬洗浄に於いては被覆体(２４)による開口部(２２)の密閉は行わない。勿論、この浸漬洗浄に於いて被覆体(２４)による開口部(２２)の密閉を行う事も可能である。
　被洗浄物(１２)の浸漬洗浄が完了したら、上下動機構(３)を作動して図３に示す如く、作業室(２)を洗浄液(１３)の上方に引き上げ、第３開閉弁(３２)を開放するとともに洗浄槽(１)が耐圧性のものである場合には、第１、第２開閉弁(２８)(３１)を開放し、減圧機構(２７)によって洗浄槽(１)内を減圧する事により、洗浄蒸気を洗浄槽(１)に導入して被洗浄物(１２)の減圧蒸気洗浄を行う事ができる。洗浄槽(１)に導入した洗浄蒸気は、被覆体(２４)で密閉していない開口部(２２)から作業室(２)内に導入されて被洗浄物(１２)に凝縮されるが、前記の洗浄液(１３)を可能な限り低温のものとしておけば、被洗浄物(１２)と洗浄蒸気の凝縮効率を高める事が可能となる。
　また、洗浄槽(１)が常圧対応で耐圧性を備えていない場合には、減圧機構(２７)を作動せずに第３開閉弁(３２)のみを開放する事により、洗浄槽(１)内に洗浄蒸気を導入して常圧蒸気洗浄を行う事が可能となるが、洗浄槽(１)が常圧対応で耐圧性を備えていない場合にも減圧蒸気洗浄が可能となる。この場合は、被覆体(２４)により作業室(２)を密閉した後、第１開閉弁(２８)を開放して減圧機構(２７)で作業室(２)内を減圧し、第７開閉弁(４８)を開放して蒸気導入開口(４７)を介して蒸気発生槽(３３)から蒸気を導入する事により、減圧蒸気洗浄が可能となる。減圧状態で蒸気洗浄を行う事により、引火点の低い溶剤を用いた場合にも、空気中の酸素量を低減し安全性の高い蒸気洗浄を可能とする事ができる。
　被洗浄物(１２)の蒸気洗浄が完了したら、開閉シリンダ(２５)を伸張し被覆体(２４)を開口部(２２)に押圧して開口部(２２)を密閉し、第１，第２開閉弁(２８)(３１)を開放して減圧機構(２７)を作動する事により作業室(２)内に於いて被洗浄物(１２)の減圧乾燥を可能とする。この減圧乾燥は、洗浄槽(１)を上下に仕切って行うものではなく、筒状の作業室(２)とこの作業室(２)を密閉する被覆体(２４)により形成した空間により行うものである。そのため、この作業空間は洗浄槽(１)の直径等の影響を受けることなく必要最小限のものとする事ができ、減圧機構(２７)に余分な負荷をかける事が無く、効率的な減圧乾燥を廉価に行う事が出来るものである。また、被洗浄物(１２)の洗浄作業を行う作業室(２)を、洗浄槽(１)とは別個に気密的に遮断して形成したものであるから、洗浄槽(１)に洗浄液(１３)や洗浄蒸気が存在する状態での減圧乾燥が、減圧機構(２７)に無駄な負荷をかけたりすることが無く効率的に行う事を可能とする。また、このように作業室(２)を洗浄槽(１)とは気密的に遮断して形成したものであるから、洗浄槽(１)が常圧対応の耐圧性を備えない構成であっても、作業室(２)内での減圧乾燥や減圧関連作業を可能とする。このように、作業室(２)は減圧乾燥のみに使用するものではなく、減圧乾燥以外の種々の洗浄作業を可能とする事は勿論である。
　また、被覆体(２４)は開口部(２２)よりも大きめに形成する事により、上下動機構(３)による作業室(２)の固定位置が設計値よりも多少ズレたとしても、確実な密閉を可能とする事が出来る。この場合には、減圧開口(２６)は被覆体(２４)の中心部方向に形成する事により、位置ズレが生じても減圧開口(２６)は常に作業室(２)の開口部(２２)と連通可能なものとすることが出来る。
　また、作業室(２)の開口部(２２)は、作業室(２)の上下方向の側面に形成したものであるから、洗浄作業によって被洗浄物(１２)から分離する切り粉や汚泥が、開口部(２２)に堆積したり引っ掛かる事が少なく、その殆どが洗浄槽(１)内に落下し気密不良を生じる事がない。そして、減圧乾燥か終了した後は、図５に示す如く、蓋体(１５)を開放した後、上下動機構(３)により作業室(２)を出入口(１４)から取り出す事が可能となる。
　上記の実施例１では、被洗浄物(１２)を洗浄槽(１)の下底に充填した洗浄液(１３)中に挿入して被洗浄物(１２)の浸漬洗浄を行う実施例について説明したが、実施例２では作業室(２)を洗浄液(１３)の上面に移動し、濾過器(３５)で濾過し清浄化した洗浄液(１３)により被洗浄物(１２)の精密洗浄を行うものである。以下実施例２を図７～１０において詳細に説明すれば、被覆体(２４)を洗浄液(１３)の液面よりも上部に配置する点は実施例１と同一であるが、被覆体(２４)に作業室(２)と連通可能な洗浄液(１３)の導入開口(３６)を設け、この導入開口(３６)を第４開閉弁(３７)、濾過器(３５)を介して洗浄槽(１)の洗浄液(１３)に、図７に示す如く配管によって接続している。
　そして、実施例２に於いて洗浄作業を行うには、図７に示す如く、被洗浄物(１２)を収納した作業室(２)を洗浄液(１３)の上面に配置する。次に、被覆体(２４)により作業室(２)の開口部(２２)を密閉し、第４開閉弁(３７)を閉止した状態で第１、第２開閉弁(２８)(３１)を開放し、減圧機構(２７)を作動する事により作業室(２)を一定の減圧度まで減圧する。この減圧状態で第４開閉弁(３７)を開放する事により、図８に示す如く、洗浄槽(１)内の洗浄液(１３)は濾過器(３５)を介して一気に作業室(２)内に導入される。次に、モータ(７)を作動する事により、実施例１の場合と同様に被洗浄物(１２)を回転したり、上下動シリンダ(４)を上下等したりする任意手段を選択して浸漬洗浄、超音波洗浄等を行う事が出来る。この浸漬洗浄時は第１、第２開閉弁(２８)(３１)及び第４開閉弁(３７)を閉止する。また、この浸漬洗浄を減圧超音波洗浄とする場合には、第１、第２開閉弁(２８)(３１)を開放し、減圧機構(２７)を作動させながら超音波振動を発生させるものである。また、上記の作業室(２)への洗浄液(１３)の導入に於いて、第４開閉弁(３７)を開放した状態で第１、第２開閉弁(２８)(３１)を開放し、減圧機構(２７)を作動する事により、減圧度に応じて作業室(２)に順次洗浄液(１３)を導入する事も勿論可能である。尚、実施例２に於いては減圧能力を高めるために減圧機構(２７)を２個配置している。
　次に、一定時間の浸漬洗浄後、図９に示す如く被覆体(２４)による作業室(２)の密閉を解除し、作業室(２)内の洗浄液(１３)を洗浄槽(１)内に排出する。この排出後に被覆体(２４)で作業室(２)の密閉を再度行い、上記と同様の手順により洗浄槽(１)内の洗浄液(１３)を濾過器(３５)を介して作業室(２)に導入する。この手順を複数回繰り返す事により、被洗浄物(１２)は常に濾過器(３５)で清浄化した洗浄液(１３)により洗浄する事ができるから、電子部品等の高精度の洗浄を可能とする事ができる。この浸漬洗浄の完了後は、図１０に示す如く、洗浄液(１３)をヒータ(３８)により加熱し被覆体(２４)を開放した状態で蒸気洗浄を行う。この蒸気洗浄は、常圧の状態で行っても良いが、洗浄槽(１)を耐圧性の構成とすれば減圧蒸気洗浄を行う事もできる。蒸気洗浄を、常圧で行う場合は洗浄槽(１)を耐圧性とする必要がないから廉価な装置を提供する事が可能となる。また、洗浄槽(１)を耐圧性の構成とすれば、洗浄槽(１)内を減圧した状態で減圧蒸気洗浄を行う事ができるから、可燃性の洗浄液(１３)を用いる場合も、引火の危険を減少する事が可能となる。
　そして、この蒸気洗浄完了後は、被覆体(２４)で作業室(２)を密閉し、減圧機構(２７)を作動して減圧乾燥を行うものである。また、作業室(２)内での減圧蒸気洗浄を行おうとする場合は、前記の実施例１と同様に、蒸気発生槽(３３)を被覆体(２４)に接続する事により可能となる。
　上記の実施例１、２に於いては、洗浄槽(１)の上下方向の寸法を高くし、作業室(２)を洗浄液(１３)の液面よりも上部に配置する事が出来るようにしたものである。このように構成する事により、蒸気洗浄、減圧乾燥等を行う場合に洗浄槽(１)から洗浄液(１３)を抜き取る必要が無く、浸漬洗浄作業から蒸気洗浄作業や減圧乾燥作業への切り替えを迅速に行う事が可能となる。しかしながら、洗浄槽(１)の上下方向の寸法を大きなものとし、設置場所によっては装置の設置が困難となる場合が生じる。そこで、実施例３では洗浄槽(１)の上下方向の寸法を小さくし、洗浄装置の設置を容易に行う事が出来るようにしようとするものである。
　以下、実施例３を図１１～図１５に於いて詳細に説明する。洗浄槽(１)は上述の如く、洗浄液(１３)を充填した状態で、液面の上部に作業室(２)を配置する空間は形成されておらず、洗浄槽(１)に洗浄液(１３)を充填した状態では、図１２に示す如く、作業室(２)は洗浄液(１３)中に配置されるものとなる。また、洗浄槽(１)には第５開閉弁(４０)を介してリザーブタンク(４１)を接続し、このリザーブタンク(４１)に第６開閉弁(４２)、凝縮器(３０)を介して減圧機構(２７)を接続している。また、洗浄槽(１)には実施例１と同様に蒸気発生槽(３３)を接続している。そして、作業室(２)に被洗浄物(１２)を収納するには、図１１に示す如く洗浄液(１３)をリザーブタンク(４１)に抜き取り、洗浄槽(１)の上方に移動した作業室(２)に被洗浄物(１２)を収納する。
　この、洗浄液(１３)の抜き取りは、第５開閉弁(４０)を閉止し、第２、第６開閉弁(３１)(４２)を開放して減圧機構(２７)を作動し、リザーブタンク(４１)内を一定の減圧度まで減圧した後に第５開閉弁(４０)を開放して一気に洗浄液(１３)をリザーブタンク(４１)に移送するものである。次に、作業室(２)を下降し洗浄槽(１)内に配置した後、リザーブタンク(４１)の洗浄液(１３)を洗浄槽(１)内に移送する。この移送は、洗浄槽(１)を蓋体(１５)で密閉した後に行うものである。尚、上記の洗浄液(１３)の抜き取りは、第５開閉弁(４０)を開放したままとして減圧機構(２７)を作動し、リザーブタンク(４１)内を順次減圧しながら洗浄液(１３)をリザーブタンク(４１)に順次移送するものであっても良い。
　次にモータ(７)を作動したり上下動シリンダ(４)を上下動したりする任意の手段を選択して被洗浄物(１２)を洗浄目的に応じて、回転、揺動、超音波等の任意の方法を用いて浸漬洗浄を行う。この浸漬洗浄完了後は、図１３に示す如く洗浄液(１３)をリザーブタンク(４１)に抜き取った後に、図１４に示す如く蒸気発生槽(３３)から洗浄蒸気を洗浄槽(１)を介して作業室(２)に導入し蒸気洗浄を行う。この蒸気洗浄は、実施例１、２と同様に洗浄槽(１)が耐圧性のものである場合には、第１、第２開閉弁(２８)(３１)を開放し、減圧機構(２７)によって減圧開口(２６)を介して洗浄槽(１)内を減圧する事により、洗浄蒸気を洗浄槽(１)に導入して被洗浄物(１２)の減圧蒸気洗浄を行う事ができる。
　そして、洗浄槽(１)に導入した洗浄蒸気は、被覆体(２４)で密閉していない開口部(２２)から作業室(２)内に導入されて被洗浄物(１２)に凝縮されるが、前記の洗浄液(１３)を可能な限り低温のものとしておけば、被洗浄物(１２)と洗浄蒸気の凝縮効率を高める事が可能となる。また、この洗浄槽(１)での減圧蒸気洗浄は、図１１～図１４に示す如く、第８開閉弁(４９)を介して洗浄槽(１)を減圧機構(２７)に直接接続して行っても良い。この洗浄槽(１)の減圧機構(２７)への直接の接続は、洗浄槽(１)が耐圧性を備えたものであれば、第１、第２実施例に於いても同様に行う事ができる。
　また、洗浄槽(１)が常圧対応で耐圧性を備えていない場合には、減圧機構(２７)を作動せずに第３開閉弁(３２)のみを開放する事により、洗浄槽(１)内に洗浄蒸気を導入して常圧蒸気洗浄を行う事が可能となるが、洗浄槽(１)が常圧対応で耐圧性を備えていない場合にも減圧蒸気洗浄が可能となる。この場合は、被覆体(２４)により作業室(２)を密閉した後、第１開閉弁(２８)を開放して減圧機構(２７)で作業室(２)内を減圧し、第７開閉弁(４８)を開放して蒸気導入開口(４７)を介して蒸気発生槽(３３)から蒸気を導入する事により、減圧蒸気洗浄が可能となる。減圧状態で蒸気洗浄を行う事により、引火点の低い溶剤を用いた場合にも、空気中の酸素量を低減し安全性の高い蒸気洗浄を可能とする事ができる。
　この蒸気洗浄が完了したら、図１５に示す如く被覆体(２４)により作業室(２)の開口部(２２)を密閉して、減圧機構(２７)により減圧開口(２６)から作業室(２)を減圧する事により、洗浄液(１３)の沸点を低下し乾燥を行う事が可能となる。また、洗浄液(１３)の洗浄槽(１)からの抜き取りは、完全に行う必要はなく、作業室(２)内に洗浄液(１３)が残留しない程度に行えばよく、洗浄槽(１)に多少の洗浄液(１３)が残留しても、独立している作業室(２)内の減圧乾燥には何ら問題のないものである。従来より、洗浄槽(１)から洗浄液(１３)を完全に抜き取る事は困難で、残留液が生じてしまうため洗浄槽(１)を用いた減圧乾燥は減圧機構(２７)に大きな負荷を発生させるものとなっていた。しかし、実施例３に於いては、作業室(２)は洗浄槽(１)とは独立して形成されるため、作業室(２)内に洗浄液(１３)が残留しないように抜き取りを行えば、洗浄槽(１)に多少の洗浄液(１３)が残留しても何ら支障のないものである。
　上記の実施例１～実施例３に於いては、作業室(２)の開口部(２２)を上下方向の両側に形成している。このように形成する事により、被洗浄物(１２)の収納、取り出しが左右いずれからでも可能となるため、作業性が良くなる利点を有している。しかし、作業室(２)の密閉に２つの被覆体(２４)が必要となるため装置を高価なものとするとともに蓋体(１５)と作業室(２)の開口部(２２)との接触不良による気密漏れ防止についても多くの注意と保守が必要となる。これに対し、実施例４では図１６に示す如く、作業室(２)の開口部(２２)を上下動方向の一側に１個のみ設け断面コ字型に形成している。このように形成する事により、被洗浄物(１２)の出入に多少の手数を要するものとなるが、作業室(２)の密閉が１つの被覆体(２４)で可能となるため装置を廉価なものとするとともに蓋体(１５)と作業室(２)の開口部(２２)との接触不良による気密漏れの確率や保守の手数が実施例１～３に比較し大幅に減少する事ができる。
　１　洗浄槽
　２　作業室
１２　被洗浄物
１３　洗浄液
２２　開口部
２４　被覆体
２６　減圧開口
２７　減圧機構
３３　蒸気発生槽
３５　濾過器
３６　導入開口
４７　蒸気導入開口
　　

Claims (11)

  1. 　下底に被洗浄物の洗浄液を収納した洗浄槽内を上下移動可能とするとともに上下移動方向の側面に開放および密閉可能な開口部を形成して被洗浄物を収納するための耐圧性の作業室を設け、この作業室の側面に設けた開口部を被覆して作業室内を密閉可能とするとともにこの作業室内を減圧機構に接続して減圧可能とする被覆体を、洗浄槽の内面に水平方向に進退可能に形成した事を特徴とする被洗浄物の洗浄装置。
  2. 　洗浄槽は、耐圧可能に形成したことを特徴とする請求項１に記載の被洗浄物の洗浄装置。
  3. 　洗浄槽は、常圧にて使用することを特徴とする請求項１に記載の被洗浄物の洗浄装置。
  4. 　作業室の開口部は、作業室の側面に垂直に形成したことを特徴とする請求項１に記載の被洗浄物の洗浄装置。
  5. 　作業室の開口部は、作業室の両側に一対開口したことを特徴とする請求項１に記載の被洗浄物の洗浄装置。
  6. 　作業室の開口部は、作業室の片側にのみ一個開口したことを特徴とする請求項１に記載の被洗浄物の洗浄装置。
  7. 　被覆体には、作業室と連通可能な減圧開口を設け、この減圧開口をバルブを介して減圧機構に接続したことを特徴とする請求項１に記載の被洗浄物の洗浄装置。
  8. 　被覆体には、作業室と連通可能な蒸気導入開口を設け、この蒸気導入開口をバルブを介して蒸気発生槽に接続したことを特徴とする請求項１に記載の被洗浄物の洗浄装置。
  9. 　被覆体には、作業室と連通可能な洗浄液の導入開口を設け、この導入開口をバルブ、濾過器を介して洗浄槽の洗浄液に配管により接続したことを特徴とする請求項１に記載の被洗浄物の洗浄装置。
  10. 　被覆体は、洗浄液の液面よりも上部に配置したことを特徴とする請求項１に記載の被洗浄物の洗浄装置。
  11. 　被覆体は、洗浄液中に配置し作業室を密閉して減圧乾燥作業を行う場合は、洗浄液を洗浄槽から抜き取った後に行うものである事を特徴とする請求項１に記載の被洗浄物の洗浄装置。
PCT/JP2012/000082 2011-03-17 2012-01-10 被洗浄物の洗浄装置 WO2012124241A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201280013482.3A CN103429361B (zh) 2011-03-17 2012-01-10 被清洗物的清洗装置
US14/004,590 US20140102490A1 (en) 2011-03-17 2012-01-10 Apparatus for washing object to be washed

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011059617A JP4846057B1 (ja) 2011-03-17 2011-03-17 被洗浄物の洗浄装置
JP2011-059617 2011-03-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012124241A1 true WO2012124241A1 (ja) 2012-09-20

Family

ID=45475286

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2012/000082 WO2012124241A1 (ja) 2011-03-17 2012-01-10 被洗浄物の洗浄装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20140102490A1 (ja)
JP (1) JP4846057B1 (ja)
CN (1) CN103429361B (ja)
WO (1) WO2012124241A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108787618A (zh) * 2018-06-28 2018-11-13 苏州元江工业清洗设备有限公司 一种环保型超声波清洗机
JP7037206B2 (ja) * 2020-01-27 2022-03-16 アクトファイブ株式会社 蒸気洗浄減圧乾燥装置
CN111167783A (zh) * 2020-03-09 2020-05-19 安徽海佩电子科技有限公司 一种电子科技产品配件清洗装置
CN112058764A (zh) * 2020-09-09 2020-12-11 李玉玲 一种儿科护理清洗消毒装置
KR200496836Y1 (ko) * 2020-11-17 2023-05-10 (주)인성엔지니어링 세척 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06326073A (ja) * 1993-05-17 1994-11-25 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板の洗浄・乾燥処理方法並びにその処理装置
JPH10235300A (ja) * 1997-02-25 1998-09-08 Maruyama Mfg Co Ltd 洗浄装置
WO2006129402A1 (ja) * 2005-06-01 2006-12-07 Japan Field Co., Ltd. 被洗浄物の洗浄方法及びその装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2804210B2 (ja) * 1992-01-22 1998-09-24 ジャパン・フィールド株式会社 洗浄装置
JP3273339B2 (ja) * 1993-04-22 2002-04-08 光洋サーモシステム株式会社 脱脂洗浄方法および装置
CN1074948C (zh) * 1996-02-15 2001-11-21 日本原野株式会社 清洗装置
KR100454241B1 (ko) * 2001-12-28 2004-10-26 한국디엔에스 주식회사 웨이퍼 건조 장비
US8015984B2 (en) * 2005-06-22 2011-09-13 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus including a drying mechanism using a fluid mixture of purified water and a volatile organic solvent
JP4086889B1 (ja) * 2007-06-28 2008-05-14 ジャパン・フィールド株式会社 表面処理装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06326073A (ja) * 1993-05-17 1994-11-25 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板の洗浄・乾燥処理方法並びにその処理装置
JPH10235300A (ja) * 1997-02-25 1998-09-08 Maruyama Mfg Co Ltd 洗浄装置
WO2006129402A1 (ja) * 2005-06-01 2006-12-07 Japan Field Co., Ltd. 被洗浄物の洗浄方法及びその装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP4846057B1 (ja) 2011-12-28
JP2012192372A (ja) 2012-10-11
CN103429361A (zh) 2013-12-04
US20140102490A1 (en) 2014-04-17
CN103429361B (zh) 2015-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2012124241A1 (ja) 被洗浄物の洗浄装置
JP6662977B2 (ja) 高アスペクト比半導体デバイス構造のための、汚染物質除去を伴うスティクションフリー乾燥処理
JP4225985B2 (ja) 被洗浄物の洗浄方法及びその装置
US5715612A (en) Method for precision drying surfaces
KR102155175B1 (ko) 실링 부재 및 이를 갖는 기판 처리 시스템
US5752532A (en) Method for the precision cleaning and drying surfaces
KR100666894B1 (ko) 게이트밸브 및 진공 게이트밸브
JP2009117444A (ja) 真空ゲートバルブおよびこれを使用したゲート開閉方法
KR20120057504A (ko) 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체
JPWO2006132318A1 (ja) 弁体、バルブ、切替えバルブおよびトラップ装置
JP2007502550A (ja) 半導体ウェハの薄層化学処理のための方法および装置
JP6277358B2 (ja) ベーパ回収装置、ベーパ回収方法、及び、タンクの洗浄方法
KR20100023774A (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
EP3620180B1 (en) Disinfecting/sterilizing machine for medicals apparatus such as endoscopes
JP2014188478A (ja) 被洗浄物の洗浄方法及びその装置
CN114618852A (zh) 一种半导体加工用除胶机及除胶方法
CN111225751B (zh) 被清洗物的清洗装置
JP6197997B2 (ja) 水熱処理装置
WO2014132299A1 (ja) 被洗浄物の洗浄方法及びその装置
JP4776044B1 (ja) 被洗浄物の洗浄装置
JP2010240606A (ja) 密閉型洗浄装置
KR100599435B1 (ko) 기판을 세정하기 위한 장치
KR102119402B1 (ko) 기판처리장치
TWI748637B (zh) 晶圓處理裝置及晶圓處理方法
KR100684879B1 (ko) 기판 처리 장치

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12758175

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1301005169

Country of ref document: TH

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 14004590

Country of ref document: US

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12758175

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1