CN103429361B - 被清洗物的清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本发明的课题是使得用于对被清洗物进行清洗作业的作业室能够在清洗槽内上下移动,并通过与清洗槽独立地气密隔断来形成,因此能够形成清洗物的减压干燥等被清洗作业所需的最小限度的空间,并且在清洗槽内存在清洗液和清洗蒸汽的状态下的减压干燥能够高效地进行,而不会对减压机构施加多余的负载。作为解决手段,设置有用于收纳被清洗物(12)的耐压性的作业室(2),该作业室(2)能够在清洗槽(1)内上下移动,且在上下移动方向的侧面形成有能够敞开和封闭的开口部(22)。覆盖体(24)以能够在水平方向进退的方式形成于清洗槽(1)的内表面,该覆盖体(24)覆盖在该作业室(2)的侧面设置的开口部(22),从而能够将作业室(2)内封闭,且将该作业室(2)内与减压机构(27)相连而能够对该作业室(2)内进行减压。
Description
技术领域
本发明涉及被清洗物的清洗装置,能够借助简单且小型的装置来进行被清洗物的采用减压的清洗作业,并能够简单且可靠地进行对应于清洗目的的多种清洗作业。
背景技术
以往,在对被清洗物进行浸渍清洗、蒸汽清洗和减压干燥等的情况下,存在在各个清洗槽中分别进行这些清洗的情况、和在一个清洗槽中进行所有的清洗的情况。在各个清洗槽中分别进行浸渍清洗、蒸汽清洗和减压干燥等的情况下,能够使各清洗槽的机构发挥单一功能,因此,能够使各装置的结构简单化,并能够在各作业中获得优秀的清洗效果。但是,具有以下缺点:由于使用多个清洗槽,因此会使装置大型化且价格高,并且,由于使被清洗物在多个清洗槽之间移动,因此会产生溶剂蒸汽的扩散等。
此外,存在这样一种结构,其以消除上述缺点为目的,在一个清洗槽内进行浸渍清洗、蒸汽清洗和减压干燥等多个清洗作业。为了在一个清洗槽内对被清洗物进行浸渍清洗和蒸汽清洗后再进行减压干燥,需要将进行减压干燥的场所和清洗液的收纳部隔断。这是因为,若不进行该隔断,则由于减压使清洗液不停挥发,从而难以进行可靠的减压干燥,且对减压机构产生较多负载。
因此,如专利文献1、2所示,已知这样的结构:借助从清洗槽的侧面插入的闸阀将清洗液收纳部和被清洗物的干燥部分隔开,由此将清洗液收纳部和被清洗物的干燥部隔断,从而在干燥部中进行被清洗物的干燥作业。此外,如专利文献3所示,已知这样的结构:将预先配置在清洗槽的清洗液侧的覆盖板按压于环状凸缘的衬垫,该衬垫配置在比清洗槽的液面靠上方的位置,由此,将清洗液收纳部和被清洗物的干燥部隔断,从而在干燥部中进行被清洗物的干燥作业。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开平7-227581号公报
专利文献2:日本特开平6-15239号公报
专利文献3:日本特开平2000-160378号公报
发明内容
发明要解决的课题
但是,在专利文献1、2记载的发明中,由于利用从清洗槽的侧面插入的闸阀将清洗液收纳部和被清洗物的干燥部分隔开,因此,闸阀在清洗槽的侧面大幅突出而导致装置大型化,并不是优选的。此外,具有通过清洗从被清洗物分离出的污泥、切屑等附着于闸阀的滑动面而有损气密性这样的缺点。由于闸阀的滑动导致密封部破损的可能性较高。
此外,在专利文献3示出的发明中,不会产生上述那样的缺点,而是通过将覆盖板按压于配置在比清洗槽的液面靠上方的位置的环状凸缘的衬垫,由此来形成用于对被清洗物进行减压干燥的气密室。并且,无论是在专利文献3示出的发明中,还是在专利文献1、2示出的发明中,由于用于对被清洗物进行减压干燥的气密室都是将清洗槽分隔而形成的,因此较大地利用了清洗槽自身。其结果是,由于对在浸渍清洗、蒸汽清洗等过程中附着于清洗槽的内表面的清洗液和冷凝液保持原状态进行减压干燥,因此,对减压机构产生过多负载,成为低效的减压干燥。
此外,在专利文献1~3示出的发明中,横贯清洗槽来进行分隔,因此,无法将通过所述隔断产生的减压干燥室的尺寸设置成清洗槽的横截直径以下。因此,对于被清洗物的减压干燥形成了不必要的尺寸的干燥室,使装置大型化,不是优选,并且,由于使用于减压的容积形成为不必要的大容积,因此给减压机构带来多余负载,从而有损减压效率。
因此,本发明是为了解决上述课题而完成的,完全独立于清洗槽地形成减压干燥部,通过对所需要的最小限度的空间减压,从而能够对被清洗物进行减压干燥,并且利用该能够减压的空间可以进行减压干燥以外的各种清洗作业。此外,在减压干燥时形成可靠的气密状态,不会发生气密泄漏。
用于解决课题的技术方案
在本发明中,为了解决上述课题,独立于清洗槽而设置有耐压性的作业室,该作业室能够在清洗槽内上下移动,所述清洗槽在下底收纳有被清洗物的清洗液,并且,在该作业室的上下移动方向的侧面形成有能够敞开和封闭的开口部,所述作业室用于收纳被清洗物。该作业室形成为圆筒状、方筒状等筒状,在该筒状的作业室的上下移动方向的侧面设置有开口部。此外,在清洗槽的内表面以能够在水平方向进退的方式形成有覆盖体,所述覆盖体覆盖所述开口部而能够将作业室内封闭,并且,所述覆盖体将该作业室内与减压机构相连而能够对该作业室内减压。
此外,将作业室收纳成能够上下运动的清洗槽可以形成为能够耐压,也可以不具备耐压性而在常压下使用,可以根据作业目的任意选择。
作业室的开口部垂直地形成于筒状的作业室的侧面。通过这样在作业室的侧面垂直地形成开口部,由此,通过清洗作业而从被清洗物分离出的切屑、污泥等难以堆积或钩挂在开口部和设置于开口部的衬垫,能够防止在通过覆盖体封闭的情况下产生气密不良这样的情况。
作业室的开口部可以在作业室的两侧开设有一对,也可以仅在作业室的单侧开设有一个。若在作业室的两侧开设一对开口部,则被清洗物相对于作业室的进出变得容易,从而能够提高操作性。此外,若仅在作业室的单侧开设一个开口部,则覆盖体也可以仅形成一个,因此能够简化装置的结构从而获得价格低廉的装置,并且通过设置一个开口部和覆盖体能够提高防止气密泄漏的效果。
此外,也可以为:在覆盖体设置能够与作业室连通的减压开口,该减压开口经由阀门与减压机构相连。通过这样形成,在通过覆盖体覆盖开口部时,能够简易地对作业室内进行减压,并且,即使在未封闭作业室的情况下,只要清洗槽为耐压性的清洗槽,也能够对清洗槽内进行减压。
也可以为:在覆盖体设置清洗液的导入开口,该导入开口能够与作业室连通,该导入开口经由阀和过滤器并通过配管与清洗槽的清洗液相连。通过这样形成,由此,经由过滤器向作业室内导入过滤后的清洗液,在浸渍清洗后将被污染的清洗液排出到清洗槽内,并将其经由过滤器再次导入到清洗室,通过重复以上步骤,能够始终用过滤后的洁净的清洗液进行精密清洗。此外,清洗液从清洗槽向作业室的导入也可以通过在其路径中配置送液泵来进行,也可以通过上述减压机构对作业室内减压,通过该负压将清洗液从清洗槽经由过滤器导入到作业室。
也可以为:在覆盖体设置能够与作业室连通的蒸汽导入开口,该蒸汽导入开口经由阀与蒸汽产生槽相连。通过这样构成,来将清洗蒸汽导入到被覆盖体封闭的作业室内,能够不受清洗槽的影响地独立进行通常的蒸汽清洗或减压蒸汽清洗。
此外,覆盖体可以配置在清洗液的液面的上部,通过这样形成,能够在不将清洗液从清洗槽抽出的情况下将作业室移动到覆盖体位置并进行封闭,由此能够迅速地对被清洗物进行减压干燥。
此外,也可以为,在将覆盖体配置在清洗液中并封闭作业室来进行减压干燥作业的情况下,在将清洗液从清洗槽抽出后进行所述减压干燥作业。在这种情况下,虽然需要花费工夫将清洗液从清洗槽抽出,但由于在清洗槽中不需要用于使覆盖体和清洗液不接触的上部空间,因而能够减小清洗槽的上下方向的尺寸,从而能够使装置小型化。此外,如果将作业室的位置配置在比清洗槽的下底稍高的位置,则即使在没有完全将清洗槽内的清洗液抽出的情况下,由于作业室内被覆盖体封闭而与清洗槽内隔断,因此不会对减压干燥作业带来障碍。此外,通过借助覆盖体封闭作业室,能够形成与清洗槽隔断的干燥室,因此能够在清洗液和清洗蒸汽存在于清洗槽中的状态下进行减压干燥。
发明效果
在本发明中,如上所述,用于对被清洗物进行清洗作业的作业室能够在清洗槽内上下移动,并且通过与清洗槽独立地气密隔断来形成,在上述清洗槽的下底收纳有被清洗物的清洗液,因此,能够形成被清洗物的减压干燥等清洗作业所需要的最小限度的空间,并且,在清洗液和清洗蒸汽存在于清洗槽的状态下的减压干燥能够高效地进行,而不会对减压机构施加多余的负载。
此外,由于像这样通过与清洗槽气密地隔断来形成作业室,因此即使清洗槽是应对常压的不具备耐压性的结构,也能够在作业室内进行减压干燥、减压超声波清洗、减压蒸汽清洗等减压作业。此外,由于能够使作业室与清洗槽独立,因此,如上述那样,不仅是减压相关作业,还能够容易地进行以下等各种清洗作业:将清洗槽的清洗液过滤,将高度净化的清洗液导入到作业室并与清洗槽独立地进行浸渍清洗,或者将清洗蒸汽导入到作业室来进行减压蒸汽清洗。
此外,由于在收纳被清洗物的作业室的上下移动方向的侧面形成有能够敞开和封闭的开口部,因此,通过清洗作业从被清洗物分离出来的切屑、污泥等难以钩挂在开口部或设置于开口部的衬垫,从而能够防止在通过覆盖体封闭的情况下发生气密不良这样的情况。
附图说明
图1是示出本发明的实施例1的剖视图,示出了清洗作业开始前的情况。
图2是示出本发明的实施例1的剖视图,示出了将作业室插入到浸渍清洗部的状态。
图3是示出本发明的实施例1的剖视图,示出了将作业室移动至清洗液的上表面来进行蒸汽清洗的状态。
图4是示出本发明的实施例1的剖视图,示出了通过覆盖体封闭作业室来进行减压干燥的状态。
图5是示出本发明的实施例1的剖视图,示出了将完成清洗后的被清洗物从作业室取出的状态。
图6是图2的右侧剖视图。
图7是示出本发明的实施例2的剖视图,示出了将作业室插入到加热清洗液后的清洗槽内的状态。
图8是示出本发明的实施例2的剖视图,示出了将由过滤器过滤后的清洗液导入到作业室内的状态,所述作业室移动至清洗液的上表面且被覆盖体封闭。
图9是示出本发明的实施例2的剖视图,示出了将作业室内的清洗液排出到清洗槽内的状态。
图10是示出本发明的实施例2的剖视图,示出了蒸汽清洗状态。
图11是示出本发明的实施例3的剖视图,示出了使清洗槽小型化并将作业室配置于清洗液收纳部来收纳被清洗物的状态。
图12是示出本发明的实施例3的剖视图,示出了被清洗物的浸渍清洗状态。
图13是示出本发明的实施例3的剖视图,示出了将清洗液从清洗槽抽出到备液箱的状态。
图14是示出本发明的实施例3的剖视图,示出了蒸汽清洗状态。
图15是示出本发明的实施例3的剖视图,示出了将清洗液抽出到备液箱并通过覆盖体封闭作业室来进行减压干燥的状态。
图16是示出本发明的实施例4的剖视图,示出了仅在作业室的单侧形成开口部的状态。
具体实施方式
实施例1
以下,用图1~图6对本发明的实施例1进行说明,1为清洗槽,其形成为具备耐压性、或不具备耐压性的常压应对型,根据清洗目的适当选择使用耐压性或常压应对型。在该清洗槽1内,将作业室2与上下运动机构3连接从而配置成能够上下运动。如图6所示,在该上下运动机构3中,上下运动体5贯穿清洗槽1的顶板6并沿上下方向配置,所述上下运动体5与设置于清洗槽1的外侧的上下运动缸体4连接并上下运动,并且,从动轴10与由设置在上端的电动机7驱动的主动轴8垂直地连接,作业室2内的旋转轴11与该从动轴10连接。将被清洗物12载置于该旋转轴11,使该被清洗物12旋转,由此能够提高被清洗物12和清洗液13的清洗效率。此外,在本申请说明书中,被清洗物12是以包括收纳有被清洗物的清洗笼的概念来使用的。
此外,清洗槽1在上端开设有出入口14,通过盖体15能够打开或关闭该出入口14。该盖体15以能够进退的方式配置于角形部件(angle)20,且在该配置状态下与进退缸体21连接,所述角形部件20的一端经由枢轴支承部16以能够转动的方式枢轴支承于主体的支柱17,所述角形部件20的另一端借助电磁线圈等进退机构18能够上下运动。此外,为了敞开出入口14,在使进退机构18伸长来抬起角形部件20的状态下使进退缸体21收缩,从而如图1所示这样打开盖体15。此外,为了利用盖体15封闭出入口14,以与上述相反的步骤进行动作即可。
此外,如上所述那样借助上下运动机构3上下运动的作业室2形成为圆筒、方筒等筒状,将作业室2的上下运动方向的两侧垂直地切除来形成开口部22,在所述开口部22的外表面沿上下方向配置有O型环等衬垫23。并且,配置有覆盖体24,在将作业室2配置在清洗槽1内的比清洗液13靠上方的状态下,所述覆盖体24面对开口部22且能够封闭该开口部22。该覆盖体24以借助于开闭缸体25能够沿水平方向进退的方式配置在清洗槽1的内表面。此外,在上述内容中,在开口部22的外表面沿上下方向配置有O型环等衬垫23,但衬垫23不一定必须形成于开口部22,也可以形成于覆盖体24的开口部22侧。在这种情况下,为了使衬垫23可靠地与开口部22接触,优选为由板状衬垫等宽度较宽地形成衬垫23。
此外,在覆盖体24开设有减压开口26,该减压开口26经由第1开闭阀28、冷凝器30和第2开闭阀31与设置于清洗槽1的外部的减压机构27连接。此外,为了封闭开口部22,覆盖体24当然形成为比开口部22大的面积,通过较大地形成覆盖体24,即使在由于上下运动机构3的工作不良等而导致作业室2的停止位置不同的情况下,也不会影响开口部22的封闭。此外,在如上所述稍大地形成覆盖体24的情况下,将上述减压开口26形成在接近上下方向的中心部的方向,并且形成为:在覆盖体24封闭开口部22时,开口部22与减压开口26连通。
此外,蒸汽产生槽33经由第3开闭阀32与清洗槽1相连。该蒸汽产生槽33借助加热器、蒸汽设备等加热机构34对清洗液13进行加热,从而能够对清洗槽1供给清洗蒸汽。此外,该蒸汽产生槽33经由第7开闭阀48与设置于覆盖体24的蒸汽导入开口47相连,用于向被覆盖体24封闭的作业室2内导入清洗蒸汽,从而能够不受清洗槽1的影响地独立进行常压蒸汽清洗和减压蒸汽清洗。此外,附图中的43、44、45为减压破坏阀。
在如上所述的结构中,为了对被清洗物12进行清洗,如图1所示,将被清洗物12收纳在作业室2内,作业室2从清洗槽1向上方突出。在该收纳状态下,在清洗槽1的下部填充有清洗液13。该清洗液13能够根据作业目的来任意选择,可以使用石油类溶剂、硅酮类溶剂、萜烯类溶剂、酒精类溶剂等溶剂,也可以使用水。此外,第1开闭阀28、第2开闭阀31、第3开闭阀32关闭,减压机构27不工作。
接着,如图2所示,在借助盖体15将出入口14关闭后,使上下运动机构3工作而将作业室2插入到清洗液13中来进行浸渍清洗。关于该浸渍清洗,可以通过使上下运动机构3的电动机7工作来使旋转轴11旋转从而使被清洗物12旋转,或者通过使上下运动缸体4上下运动来晃动被清洗物12,能够根据清洗目的选择用于使被清洗物12和清洗液13之间的接触良好的任意方式。此外,通过在作业室2配置超声波振动件未图示,还能够进行超声波清洗。并且,若在作业室2的下表面配置超声波振动件,则在形成为筒状的作业室2的顶面反射的超声波还能够从上面对被清洗物12进行超声波清洗。此外,在该浸渍清洗中,覆盖体24不封闭开口部22。当然,在该浸渍清洗中,也可以借助覆盖体24封闭开口部22。
在被清洗物12的浸渍清洗完成后,使上下运动机构3工作而像图3示出的那样将作业室2上提至清洗液13的上方,打开第3开闭阀32,并且,在清洗槽1为耐压性的清洗槽的情况下,打开第1、第2开闭阀28、31,借助减压机构27对清洗槽1内减压,由此能够将清洗蒸汽导入到清洗槽1来对被清洗物12进行减压蒸汽清洗。导入到清洗槽1的清洗蒸汽从未被覆盖体24封闭的开口部22导入到作业室2内而冷凝于被清洗物12,如果预先使所述清洗液13为尽可能低的温度,则能够提高清洗蒸汽与被清洗物12的冷凝效率。
此外,在清洗槽1为应对常压而不具备耐压性的情况下,不使减压机构27工作而仅打开第3开闭阀32,由此能够将清洗蒸汽导入到清洗槽1内来进行常压蒸汽清洗,但是在清洗槽1为应对常压而不具备耐压性的情况下也能够进行减压蒸汽清洗。在这种情况下,在利用覆盖体24封闭作业室2后,打开第1开闭阀28来借助减压机构27对作业室2内减压,打开第7开闭阀48而从蒸汽产生槽33经由蒸汽导入开口47导入蒸汽,由此能够进行减压蒸汽清洗。通过在减压状态下进行蒸汽清洗,即使在使用燃点较低的溶剂的情况下,也能够降低空气中的氧含量,从而能够进行安全性高的蒸汽清洗。
在被清洗物12的蒸汽清洗完成后,使开闭缸体25伸长以将覆盖体24按压在开口部22,从而封闭开口部22,打开第1、第2开闭阀28、31并使减压机构27工作,由此能够在作业室2内对被清洗物12进行减压干燥。该减压干燥不是将清洗槽1上下分隔来进行的,而是利用由筒状的作业室2、和封闭该作业室2的覆盖体24形成的空间来进行的。因此,该作业空间不受清洗槽1的直径等的影响,能够形成为所需最小限度的作业空间,不会对减压机构27施加多余的负载,能够价格低廉地进行高效的减压干燥。此外,用于对被清洗物12进行清洗作业的作业室2是通过与清洗槽1独立地气密隔断而形成的,因此,在清洗槽1存在清洗液13和清洗蒸汽的状态下的减压干燥能够高效地进行,而不会对减压机构27施加多余的负载。此外,由于像这样与清洗槽1气密地隔断来形成作业室2,因此即使清洗槽1是应对常压的不具备耐压性的结构,也能够在作业室2内进行减压干燥和减压相关作业。这样,作业室2不是仅在减压干燥中使用,当然还能够进行减压干燥以外的各种清洗作业。
此外,通过使覆盖体24形成得比开口部22稍大,即使上下运动机构3对作业室2的固定位置从设计值稍微偏移,也能够实现可靠的封闭。在这种情况下,由于减压开口26形成在覆盖体24的中心部方向,因此,即使产生位置偏移,也能够使减压开口26始终与作业室2的开口部22连通。
此外,由于作业室2的开口部22形成在作业室2的沿上下方向的侧面,因此,通过清洗作业而从被清洗物12分离出的切屑或污泥很少会堆积或钩挂在开口部22,其大部分下落到清洗槽1内,不会发生气密不良的情况。并且,在减压干燥结束后,如图5所示,在打开盖体15后,能够借助上下运动机构3将作业室2从出入口14取出。
实施例2
在上述实施例1中,对将被清洗物12插入到在清洗槽1的下底填充的清洗液13中来进行被清洗物12的浸渍清洗的实施例进行了说明,但在实施例2中,使作业室2移动到清洗液13的上面,利用由过滤器35过滤而净化的清洗液13对被清洗物12进行精密清洗。下面,参照图7~10对实施例2进行详细说明,将覆盖体24配置在清洗液13的液面的上部这一点与实施例1相同,但是,在覆盖体24设置有能够与作业室2连通的清洗液13的导入开口36,如图7所示,该导入开口36经由第4开闭阀37和过滤器35并通过配管与清洗槽1的清洗液13相连。
并且,在实施例2中,为了进行清洗作业,如图7所示,将收纳被清洗物12的作业室2配置在清洗液13的上面。接着,借助覆盖体24封闭作业室2的开口部22,在使第4开闭阀37关闭的状态下打开第1、第2开闭阀28、31并使减压机构27工作,由此将作业室2减压到预定的减压度。通过在该减压状态下敞开第4开闭阀37,由此,如图8所示,清洗槽1内的清洗液13经由过滤器35一下子被导入到作业室2内。接着,能够选择下述这样的任意方式来进行浸渍清洗、超声波清洗等:通过使电动机7工作来与实施例1的情况同样地使被清洗物12旋转;或使上下运动缸体4上下运动。在该浸渍清洗时,关闭第1、第2开闭阀28、31以及第4开闭阀37。此外,在将该浸渍清洗设置为减压超声波清洗的情况下,打开第1、第2开闭阀28、31并使减压机构27工作,同时产生超声波振动。此外,当然也可以为:在向上述作业室2导入清洗液13的过程中,在打开第4开闭阀37的状态下打开第1、第2开闭阀28、31并使减压机构27工作,由此根据减压度将清洗液13逐渐导入到作业室2。此外,在实施例2中,为了提高减压能力,配置有两个减压机构27。
接着,在进行了预定时间的浸渍清洗后,如图9所示,解除覆盖体24对作业室2的封闭,将作业室2内的清洗液13排出到清洗槽1内。在进行所述排出后,再次通过覆盖体24对作业室2进行封闭,通过与上述相同的步骤来经由过滤器35将清洗槽1内的清洗液13导入到作业室2。通过多次重复该步骤,能够始终利用由过滤器35净化的清洗液13来清洗被清洗物12,因此能够实现对电子部件等的高精度清洗。在该浸渍清洗结束后,如图10所示,在借助加热器38对清洗液13加热并打开覆盖体24的状态下进行蒸汽清洗。该蒸汽清洗可以在常压状态下进行,但是如果清洗槽1为耐压性的结构,则也可以进行减压蒸汽清洗。在常压下进行蒸汽清洗的情况下,无需使清洗槽1为耐压性的清洗槽,因此能够提供价格低廉的装置。此外,若清洗槽1为耐压性的结构,则能够在对清洗槽1内进行了减压的状态下进行减压蒸汽清洗,因此,即使在使用可燃性的清洗液13的情况下,也能减小起火的危险。
并且,在该蒸汽清洗结束后,借助覆盖体24封闭作业室2,使减压机构27工作来进行减压干燥。此外,在想要在作业室2内进行减压蒸汽清洗的情况下,与所述实施例1一样,通过将蒸汽产生槽33与覆盖体24相连,能够进行所述减压蒸汽清洗。
实施例3
在上述的实施例1、2中,能够增高清洗槽1的上下方向的尺寸来将作业室2配置于清洗液13的液面的上部。通过这样构成,在进行蒸汽清洗、减压干燥等的情况下,无需将清洗液13从清洗槽1抽出,能够从浸渍清洗作业迅速地切换到蒸汽清洗作业或减压干燥作业。但是,增大了清洗槽1在上下方向的尺寸,从而产生下述情况:由于设置场所而导致装置的设置变得困难。因此,在实施例3中,减小清洗槽1的上下方向的尺寸,从而能够容易地进行清洗装置的设置。
以下,参照图11~图15对实施例3进行详细说明。在清洗槽1中未形成如上所述那样在填充有清洗液13的状态下将作业室2配置于液面的上部的空间,在清洗槽1中填充有清洗液13的状态下,如图12所示,作业室2配置在清洗液13中。此外,备液箱(reserve tank)41经由第5开闭阀40与清洗槽1相连,减压机构27经由第6开闭阀42和冷凝器30与该备液箱41相连。此外,与实施例1一样,在清洗槽1连接有蒸汽产生槽33。并且,为了将被清洗物12收纳于作业室2,如图11所示将清洗液13抽出到备液箱41,并将被清洗物12收纳至移动到清洗槽1的上方的作业室2中。
如下这样抽出该清洗液13:关闭第5开闭阀40,打开第2、第6开闭阀31、42而使减压机构27工作,在将备液箱41内减压到预定的减压度后,打开第5开闭阀40,使清洗液13一下子转移到备液箱41。接着,使作业室2下降并配置在清洗槽1内,然后,将备液箱41的清洗液13转移到清洗槽1内。该转移是在通过盖体15封闭清洗槽1之后进行的。此外,也可以如下这样抽出上述清洗液13:保持着打开第5开闭阀40的状态使减压机构27工作,使备液箱41内逐渐减压,同时将清洗液13逐渐转移到备液箱41。
接着,选择使电动机7工作或使上下运动缸体4上下运动这样的任意方式,根据清洗目的使用旋转、晃动、超声波等任意方法来对被清洗物12进行浸渍清洗。在该浸渍清洗结束后,如图13所示,将清洗液13抽出到备液箱41,然后,如图14所示,从蒸汽产生槽33将清洗蒸汽经由清洗槽1导入到作业室2来进行蒸汽清洗。在与实施例1、2一样地清洗槽1为耐压性的清洗槽的情况下,打开第1、第2开闭阀28、31,借助减压机构27经由减压开口26来对清洗槽1内减压,由此能够将清洗蒸汽导入到清洗槽1而对被清洗物12进行减压蒸汽清洗。
并且,导入到清洗槽1的清洗蒸汽从未被覆盖体24封闭的开口部22导入到作业室2内而冷凝于被清洗物12,如果预先使所述清洗液13为尽可能低的温度,则能够提高清洗蒸汽与被清洗物12的冷凝效率。此外,如图11~图14所示,在该清洗槽1内进行的减压蒸汽清洗也可以以经由第8开闭阀49将清洗槽1与减压机构27直接连接的方式来进行。若清洗槽1具备耐压性,则该清洗槽1与减压机构27的直接连接在第1、第2实施例中也可以同样进行。
此外,在清洗槽1为应对常压而不具备耐压性的情况下,不使减压机构27工作而仅打开第3开闭阀32,由此能够将清洗蒸汽导入到清洗槽1内来进行常压蒸汽清洗,但是在清洗槽1为应对常压而不具备耐压性的情况下也能够进行减压蒸汽清洗。在这种情况下,在利用覆盖体24封闭作业室2后,打开第1开闭阀28来借助减压机构27对作业室2内减压,并打开第7开闭阀48而从蒸汽产生槽33经由蒸汽导入开口47导入蒸汽,由此能够进行减压蒸汽清洗。通过在减压状态下进行蒸汽清洗,即使在使用燃点较低的溶剂的情况下,也能够降低空气中的氧含量,从而能够进行安全性高的蒸汽清洗。
在该蒸汽清洗结束后,如图15所示,借助覆盖体24封闭作业室2的开口部22,并借助减压机构27从减压开口26对作业室2减压,由此能够降低清洗液13的沸点来进行干燥。此外,不需要将清洗液13完全从清洗槽1抽出,只要进行到在作业室2内没有残留清洗液13的程度即可,即使在清洗槽1残留有少许的清洗液13,对于独立的作业室2内的减压干燥也没有任何问题。一直以来,由于难以将清洗液13从清洗槽1彻底抽出,产生有残留液,因此,使用清洗槽1的减压干燥会使减压机构27产生较大的负载。但是,在实施例3中,由于作业室2独立于清洗槽1而形成,因此只要抽出至在作业室2内不残留清洗液13,则即使在清洗槽1残留有少许的清洗液13也不会产生任何障碍。
实施例4
在上述实施例1~3中,作业室2的开口部22形成于上下方向的两侧。通过这样形成,即使在左右偏移的状态下也能够实现被清洗物12的收纳和取出,因此具有操作性良好的优点。但是,对于作业室2的封闭来说需要两个覆盖体24,因此使装置价格升高,并且,对于防止因盖体15和作业室2的开口部22的接触不良所引起的气密泄漏,也需要多加注意和保养。对此,在实施例4中,如图16所示,作业室2的开口部22仅在上下运动方向的一侧设置有1个且形成为截面コ字形。通过这样形成,尽管对于被清洗物12的进出需要稍费工夫,但能够利用1个覆盖体24来封闭作业室2,因而使得装置价格低廉,并且,与实施例1~3相比,能够使因盖体15和作业室2的开口部22的接触不良所引起的气密泄漏的概率和保养的工时大幅减少。
标号说明
1:清洗槽;
2:作业室;
12:被清洗物;
13:清洗液;
22:开口部;
24:覆盖体;
26:减压开口;
27:减压机构;
33:蒸汽产生槽;
35:过滤器;
36:导入开口;
47:蒸汽导入开口。
Claims (11)
1.一种被清洗物的清洗装置,其特征在于,
在所述被清洗物的清洗装置中设置有耐压性的作业室,所述作业室能够在清洗槽内上下移动,在所述清洗槽的下底收纳有用于被清洗物的清洗液,并且,在所述作业室的上下移动方向的侧面形成有能够敞开和封闭的开口部,所述作业室用于收纳被清洗物,在清洗槽的内表面以能够在水平方向进退的方式形成有覆盖体,所述覆盖体覆盖在所述作业室的侧面设置的开口部而能够将作业室内封闭,并且,所述覆盖体将该作业室内与减压机构相连而能够对该作业室内进行减压。
2.根据权利要求1所述的被清洗物的清洗装置,其特征在于,
清洗槽形成为能够耐压。
3.根据权利要求1所述的被清洗物的清洗装置,其特征在于,
清洗槽在常压下使用。
4.根据权利要求1所述的被清洗物的清洗装置,其特征在于,
作业室的开口部垂直地形成于作业室的侧面。
5.根据权利要求1所述的被清洗物的清洗装置,其特征在于,
作业室的开口部在作业室的两侧开设有一对。
6.根据权利要求1所述的被清洗物的清洗装置,其特征在于,
作业室的开口部仅在作业室的单侧开设有一个。
7.根据权利要求1所述的被清洗物的清洗装置,其特征在于,
在覆盖体设置有能够与作业室连通的减压开口,该减压开口经由阀与减压机构相连。
8.根据权利要求1所述的被清洗物的清洗装置,其特征在于,
在覆盖体设置有能够与作业室连通的蒸汽导入开口,该蒸汽导入开口经由阀与蒸汽产生槽相连。
9.根据权利要求1所述的被清洗物的清洗装置,其特征在于,
在覆盖体设置有清洗液的导入开口,该导入开口能够与作业室连通,该导入开口经由阀和过滤器并通过配管与清洗槽的清洗液相连。
10.根据权利要求1所述的被清洗物的清洗装置,其特征在于,
覆盖体配置在清洗液的液面的上部。
11.根据权利要求1所述的被清洗物的清洗装置,其特征在于,
在覆盖体配置于清洗液中并封闭作业室来进行减压干燥作业的情况下,在将清洗液从清洗槽抽出后进行所述减压干燥作业。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1076643A (zh) * | 1992-01-22 | 1993-09-29 | 日本原野株式会社 | 清洗装置 |
CN1188434A (zh) * | 1996-02-15 | 1998-07-22 | 日本原野株式会社 | 清洗装置 |
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---|---|---|---|---|
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Patent Citations (3)
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---|---|---|---|---|
CN1076643A (zh) * | 1992-01-22 | 1993-09-29 | 日本原野株式会社 | 清洗装置 |
CN1188434A (zh) * | 1996-02-15 | 1998-07-22 | 日本原野株式会社 | 清洗装置 |
CN101616753A (zh) * | 2007-06-28 | 2009-12-30 | 日本原野株式会社 | 表面处理装置 |
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