TWI342261B - - Google Patents

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1342261 九、發明說明： L發明所屬之技術領域】 本關於-種基板分割系統及基板分割生產線 …係用以分割包含液晶顯示裝置等顯示面板所使用 之玻璃基板等母基板等之各種材料製成之母基板，本發 特別關於一種基板分割系統、基板製造裝置及基板分 割方法1等適用於將一對脆性材料基板互相貼合而成之 貼合母基板之分割。 【先前技術】 液晶顯示裝置等顯示面板’通常使用脆性材料基板之 玻璃基板來形成。液晶顯示裝置，係藉由將—對玻璃基板 以適當間隔貼纟，並於該Μ隙内封入液晶來作成顯示面板。 製造如此之顯示面板時，有一加工製程是將貼合母玻 璃基板而成之貼合母基板加以分割，藉以從貼合母基板取 出複數個顯示面板。用以分割貼合母基板之劃線裝置，揭 示於曰本之實公昭59 — 221〇1號公報（專利文獻丨）。 圖6 8 ’係该劃線裝置之概略構成圖。該劃線裝置9 $ 〇， 係具備用以分別載置貼合母基板908之兩側之側緣部的載 台95 1。於載台95丨，安裝有用以夾緊貼合母基板9〇8之各 側緣部的夾緊具952。劃線裝置950，係具備分別設於貼合 母基板908之上下的一對刀頭953及954。各刀頭953及 954 ’係處於隔著貼合母基板908互相對向的狀態。 刀頭953及刀頭954，例如使用可於基板正面形成深的 ^42261 垂直裂痕的刀輪（記載於日本特許第3〇74143號）。 如此構成之劃線裝置95〇，當貼合母基板9〇8被各夾緊 具9W分別固定於各載台951時，藉一對刀頭953及954 分別對貼合母基板908之正面及反面同時進行劃線，而形 成劃線。 然而，如此之劃線裝置95〇，必須另外使用用以分割形 成有劃線之貼合母基板908的裂片裝置。又，藉裂片裝置 來分割貼合母基板908時，在分割完貼合母基板9〇8之一 母基板後，為了分割另一母基板，必須將貼合母基板9〇8 翻轉（翻過來使上面變為下面），為了從貼合母基板9〇8將顯 示面板分割，必須構築複雜的生產線系統。 為了使用如此之劃線裝置950從貼合母基板9〇8將顯 示面板分割，必須構築具有劃線裝置95〇數倍大設置面積 之複雜的生產線系統，而成為提高顯示面板製造成本的原 因之一。 又，圖68所示之劃線裝置95〇,係一種從母基板之貼 合母基板908之正反面之各側同時進行劃線加工的裝置， 其加工方向限於一個方向，無法進行交又劃線（朝劃線正交 之方向劃線）。 因此為了進行交又劃線，必須進一步使用別的劃線 裝置’而有貼合母基板9〇8之劃線加工效率非常低的問題。 另一問題是，即便在使用與上述之劃線裝置95〇同樣 之裝置來將各種母基板從其正反面之各側同時分割加工的 情形下，亦無法以一次之基板定位進行正交之2個方向之 1342261 加工。 本發明，係用以解決上述問題者， 種基板分割系统、基^ # 、，在於提供一 〗糸統純！造裝置及基板分割方法 小设置面積而小型化，又能有效率地分割各種母基板广、 【發明内容】 配置基板分割系統，係具m線形成機構， :Γ且？對向；一對劃線裝置，用以支樓-對劃線形成 構使—對劃線形成機構之—方於基板之第夏面上朝χ 軸方向移動’而使一對劃線形成機構之另一方於基板之第2 面上朝X軸方向移動；劃線裝置引導體，以使:對劃線裝 置能朝Υ軸方向移動之方式，支撐一對劃線裝置；及基板 支撐機構’用以將基板支撐於χ— γ平面上，以使一對劃線 形成機構能對基板之第i面及基板之第2面進行劃線:藉 此基板分割系統來達成上述目的。 該基板支撐機構亦可具備：基板支撐裝置，被劃線裝 置引導體支撐，並與一對劃線裝置一起往γ轴方向移動； 及固定裝置，用以使基板固定於χ_γ平面上。 該基板支樓裝置，亦能以在一對劃線裝置及劃線裝置 引導體往Υ轴方向移動時不與基板滑接、且不作用力量基 板之方式來支撐基板。 該基板支撐裝置，亦可具備設於劃線裝置引導體移動 方向側之第1基板支撐部。 該第1基板支撐部，亦可具備沿劃線裝置引導體之移 動方向平行移動的複數個第丨基板支撐單元，該複數個第^ 基板支撐單兀’係隨著劃線裝置引導體之移動，與劃線裝 置引導體一起移動。 。玄第1基板支撐單7L，亦可具備用以支撐基板的基板 支揮機構。 該基板支撐機構亦可為複數個滾子。 、4基板刀割系統亦可具備至少i個旋轉傳遞機構，該 專遞機構係、使4複數個滚子隨著劃線裝置引導體之移動而 或基板分割系統亦可具備控制部，該控制部係使 數個滚子隨著劃線裝置引導體之移動而旋轉。 該基板支撐機構亦可為複數條皮帶。 該基板分割系統亦可具備至少 傳遞機構係使該複數條皮帶隨著劃 繞行移動。 1個旋轉傳遞機構，該 線裝置引導體之移動而 該基板分割系統亦 達使該複數條皮帶隨著 動0 可具備控制部，該控制部係藉由馬 劃線褒置引導體之移動而繞行移 該基板支撐裝置亦 於劃線裝置？丨導體移動 可具備第2基板支撐部，其係設置 方向之另一側。 移動方向平：移動的撑二亦可具備用以沿割線裝置引導體之 十仃移動的複數個第2 第2基板支撐單元 土板支撐早疋’該複數個 線裝置料體-起移動線裝置引導體之移動，與劃 1342261 該第2基板支樓單元亦可具備用以支撐基板的基板支 撐機構。 該基板支撐機構亦可為複數個滾子。 忒基板分割系統亦可具備至少丨個旋轉傳遞機構，用 以使该複數個滾子隨著劃線裝置引導體之移動而旋轉。 邊基板分割系統亦可具備控制部，該控制部係使複數 個滾子隨著劃線裝置引導體之移動而旋轉。 該基板支撐機構亦可為複數條皮帶。 "亥基板分割系統亦可具備至少丨個旋轉傳遞機構，該 傳遞機構係使複數條皮帶隨著劃線裝置引導體之移動而繞 行移動。 該基板分割系統亦可具備控制部，該控制部係藉由馬 達使複數條皮帶隨著劃線裝置引導體之移動而繞行移動。 該一對劃線裝置亦可具備刀頭，該刀頭係使用伺服馬 達將劃線形成機構之緊壓力傳遞給基板。 該基板分割系統亦可具備對基板之第丨面及第2面喷 蒸氣的蒸氣單元部。 、 亦可於該蒸氣單元部設置用來使基板之第丨面及第2 面乾燥的基板乾燥機構。 忒基板乾燥機構，係具備：至少丨個氣刀本體，形成 有能將經加壓之乾燥氣體送出的狹縫部；氣刀支撐部， 以支樓該至少1個氣刀本體，以於至幻個氣刀=二 基板互相相對移動之基板搬送路、且在、 t夕 1 個氣刀本 體與該基板之主面間，形成朝相對移動 u t正交方向具 261 大致均一形狀的流體導入路；及構成流體導出路的壁 ^在相對移動方向配設成與該至少1個氣刀本體對向； =體導出路’係用來導出乾燥氣體，而且使自狹縫部送 出並通過流體導入路的乾燥氣體遠離基板之主面。 該壁面亦可配置成與至少、】個氣刀本體對向，俾使流 導出路之流路戴面積比流體導入路之流路戴面積大。 該氣刀支撐部亦可具備間隙調整機構，該調整機構， 使用乾燥氣體通過流體導入路時產生的文丘里（彻㈣效 應’來調整至少！個氣刀本體與基板主面間之間隙。> 該間隙調整機構亦可具備：彈性構件，支撐至少1個 氣刀本體俾使其能於與基板之主面之㈣動；及層流形成 面，與基板之主面對向，用來形成部分流體導入路且形成 於至少1個氣刀本體之一側面，以使乾燥氣體於其與基板 主面之間以層流狀態通過。 該至少一 _氣刀纟體亦可配置成與形成有狹縫部之側 相對向。 該基板分割系統亦可具備用來將經蒸氣單元部分割之 基板取出的基板搬出裝置。 該基板搬出裝置亦可具備搬出用機器人，該搬出用機 器人，係具備：基板保持機構，用來保持基板；基板旋轉 機構’用來使保持著基板的基板保持機構繞行與基板垂直 的第1袖旋轉；及基板迴旋機構’用來使基板旋轉機構繞 與第2軸迴旋’該第2軸係不同於與以基板保持機構保持 的基板呈垂直之第1轴。 !342261 該基板迴旋機構所產生之基板保持機構之迴旋亦可藉 動力傳遞機構傳遞給基板旋轉機構，並連動基板旋轉機構 旋轉。 該基板旋轉機構所產生之基板保持機構之旋轉方向， 亦可與基板迴旋機構所產生之基板保持機構之迴旋方向相 反0 該基板旋轉機構所產生之基板保持機構之旋轉角度， 亦可為基板迴旋機構所產生之基板保持機構之迴旋角度之 2倍。 該基板旋轉機構所產生之基板保持機構之旋轉驅動、 與基板迴旋機構所產生之基板保持機構之迴旋驅動亦可互 相獨立。 該基板旋轉機構之動力源、及基板迴旋機構之動力源 亦可互相獨立。 該基板分割系統亦可進一步具備基板翻轉裝置，該翻 轉裝置係將待藉基板搬送裝置搬送之基板之正反翻轉。 該基板分割系統亦可具備用以將基板定位的定位單元 部。 該定位單元部亦可具備用來保持基板的複數個真空吸 附頭。 該基板保持機構’亦可為保持基板的複數個真空吸附 頭。 該真空吸附頭亦可具備：真空吸附墊，用來使基板真 空吸附；設有排氣孔之吸引轴，係用以保持吸附墊，並且 1342261 以該排氣孔將吸附墊内之空 之移動範圍並且將並伴持成：套官部，限制吸引轴 管部内將吸弓丨軸彈性地保持彈f生支撐[於套 斜方向微動。 月“軸方向及該軸方向之傾 咸吸引軸亦可具備於套 ^ . 邛内大致中間位置設置成鍔 狀的^又差部，該套管部，传 ,α ± ^ '、一備，琦狀部，内側具有用來 保持彈性支撐部之空間， 套管板，以留下第丨開…^持空間内可變形；上 式封閉筒狀部之上端部丨及 " 方式封閉筒狀部之下端部； 遠兔性支撐部，係具有：上 彈簧保持於上套管板與段差 4之間；及下彈晉，保持於下套管板與段差部之間。 :複數個真空吸附頭亦可具備用來吸引保持基板或將 i、.、工乳吹出使基板浮起的複數個吸附墊，該複數個真空 =附頭，係、以各複數個吸附墊與基板之間分別形成有層流 的狀態，來定位該基板。 該基板分割系統亦可具備除去機構，以除去該分割後 之基板無用部。 該複數條皮帶亦可掛設於基板搬入側 出側之支架之間，該複數條皮帶，係於第^ 動中，沒入劃線裝置引導體之下方，或從劃線裝置引導體 之下方往上方昇出。 該複數條皮帶亦可掛設於基板搬入側之支架與基板之 搬出側支架之間，該複數條皮帶，係於第2基板支撐部移 動中，沒入劃線裝置引導體之下方，或從劃線裝置引導體 12 之下方往上方昇出。

該基板亦可為將〜m n U 對母基板貼合而成的貼合母基板。 本發明之基板製造梦 .a . . t ^ 裝置，亦可具有申請專利範圍第1 貝之基板分割系統、及料 對分割之基板之端面部進行倒角加 的倒角加工系統，而今 而4基板分割系統，連接於倒角加工 乐統。

日之基板製造裝置，亦可具有申請專利範圍第 之基板刀割n及檢查經分割之基板之功能的檢查 統’而該基板分割系統，連接於檢查系統。 該基板製造裝置亦可進—步具備用來檢查分割之基 之功能的檢查系統。 本發明之基板分割方法，係由基板分割出複數之單位 土板；且包含以i劃線形成機構於母基板之帛1面及母 基板之第2面形成劃線的形成步驟；該形成步驟包含以下 步驟：一對劃線形成機構分別以對母基板之緊壓不中斷之 方式移動對母基板之緊壓，藉此來於母基板形成用以將第ι

羊位基板從母基板分割出之帛1劃、線、及用謂第2單位 基板從母基板分割出之帛2劃線。藉此基板分割方法來達 成上述目的。 該形成步驟亦可進一步包含以下步驟：以對母基板之 緊壓不二斷之方式移動對母基板之緊⑨，藉此來形成用以 將第N單位基板從母基板分割出之第N劃線。X，N為3 以上之整數。 (1)沿著第1單位基板 該形成步驟亦可包含以下步驟 13 1342261 之外側邊部、及第2單位基板之外側邊部移動對母基板之 緊壓，藉此於母基板形成劃線；（2)於母基板之外周緣部移 動對母基板之緊壓，藉此於母基板形成劃線；及（3)沿著第 1單位基板之内側邊部及第2單位基板之内側邊部移動對母 基板之緊壓，藉此於母基板形成劃線。 該第2單位基板之内側邊部，係與第1單位基板之内 側邊部對向；該步驟（3)亦可包含以下步驟：（3a)沿著第2 單位基板之内側邊部移動對母基板之緊壓，藉此於母基板 形成劃線；（3b)執行該（3a)後’於基板之外周緣部移動對母 基板之緊壓’藉此於母基板形成劃線；（3c)執行（3b)後沿 著第2單位基板之内側邊部移動對母基板之緊壓，藉此於 母基板形成劃線；（3d)執行（3c)後，於母基板之外周緣部移 動對母基板之緊壓，藉此於母基板形成劃線。 該形成步驟亦可進一步包含緩和對母基板之緊壓的步 驟。 該形成步驟亦可包含以下步驟：沿第丨方向形成劃線； 及移動對母基板之緊壓’使沿第1方向形成之劃線、及沿 不同於第1方向之第2方向待形成之劃線以曲線相連。 本發明之基板分割方法，係藉具有基板支撐裝置及一 ^劃線形成機構的裝置來分割脆性材料基板’該基板支撐 攻置係支撐脆性材料基板之下面，且固定脆性材料基板之 '' 4，忒對劃線形成機構係配置於脆性材料基板之 兩面側且隔著脆性材料基板互相對向；該基板支樓裝置於 中央部具有空間；該一對劃線形成機構，西己置於基板支撐 哀置之忒中央部之空間；該基板分割方法係包含如下步 驟.使一對劃線形成機構朝X轴方向及γ軸方向中至少一 個方向移動，並使基板支撐裝置朝乂軸方向及Y軸方向中 至 > 一個方向移動，藉此來分割脆性材料基板。 4基板支撐裝置亦可以不與脆性材料基板滑接、且不 對脆性材料基板作用力量之方式支撐脆性材料基板。 以下說明本發明之作用。 。依據本發明之基板分割系統，基板支撐機構將基板支 撐成，使基板一主面側之劃線形成機構及另一主面側之劃 線形成機構彼此間之對向空間能在X— γ平面上移動自 如。因此，能以施加於各劃線形成機構的荷重取得平衡之 方式，使對向之劃線形成機構跟隨基板之起伏、彎曲對基 板進行劃線。結果，形成於基板之劃線之品質良好，而沿 劃線對基板進行裂片時，基板之分割面之品質非常好。/σ 再者’依據本發明之基板分割系統，能於劃線裝置引 導體與基板支撐裝置之間設置空間，使該空間往γ軸方向 移動，而能將基板以固定裝置固定，故空間移動時與對基 板之兩主面劃線時可防止基板偏離既定之定位位置。 依據本發明之基板分割系統，基板支撐裝置往Υ轴方 向移動時，不會與基板滑接，亦無力量作用於基板，故劃 線形成機構於基板之内部產生垂直裂痕時，沒有從割線形 成機構衍生不必要裂痕之虞。 再者，依據本發明之基板分割系統，於劃線裝置引導 體與第1基板支撐部之間設置空間，使該空間往γ軸方向 15 1342261 移動4第1基板支撐部於該空間移動時及於兩主面劃線 夺不曰與基板滑接，亦無力量作用於基板。目此，藉劃 成機構於基板之内部產生垂直裂痕時，沒有從劃線形 成機構衍生不必要裂痕之虞。 再者，依據本發明之基板分割系統，於劃線裝置引導 體η第1基板支樓單；^之間設置空間，使該空間往γ轴方 0移動豸基板以固定裝置固定’故在空間移動時及對基 板之兩主面釗線時’不會與基板滑接，亦無力量作用於基 板因此，藉劃線形成機構於基板之内部產生垂直裂痕時， 沒有從劃線形成機構衍生不必要裂痕之虞。 再者，依據本發明之基板分割系統，基板支撐機構往γ I方向移動時，不會與基板滑接，亦無力量作用於基板。 因此，劃線形成機構於基板之内部產生垂直裂痕時，沒有 從劃線形成機構衍生不必要裂痕之虞。 …再者，依據本發明之基板分割系統，基板支撐機構為 複數個滾子，故能確實地支撐基板。 再者’依據本發明之基板分割系統，複數個滾子，係 能藉旋轉傳遞機構隨著該空間之移動選擇複數個滾子之旋 轉方向或停止旋#。因&，將固定裝置所產生之基板之固 定解開，便亦能將基板支撐裝置利用於基板之搬送。 再者’依據本發明之基板分割系統，實施旋轉控制， 使得複數個滾子之外周之周速與往γ軸方向之劃線裝置引 導體之移動速度一致，故複數個滾子往γ軸方向移動時， 不會與基板滑接，亦無力量作用於基板。因此，劃線形成 16 1342261 機構’係於基板之内部產生垂直裂痕時，沒有從劃線形成 ‘ 機構衍生不必要裂痕之虞。 再者’依據本發明之基板分割系統，基板支撐機構為 複數條皮帶，相較於滾子’能以面支撐基板面。因此安 、 疋地支撑基板。 再者’依據本發明之基板分割系統，皮帶，係能藉旋 轉傳遞機構隨著該空間之移動選擇複數條皮帶之繞行移動 方向或停止繞行移動。因此，解開固定裝置所產生之基板 之固定，便亦能將基板支撐裝置利用於基板之搬送。 _ 再者，依據本發明之基板分割系統，實施繞行移動之 控制’使得複數條皮帶之繞行移動速度與往γ軸方向之劃 線裝置引導體之移動速度一致，藉此複數條皮帶往γ轴方 向移動時，不會與基板滑接，亦無力量作用於基板。因此， 藉劃線形成機構於基板之内部產生垂直裂痕時，沒有從劃 線形成機構衍生不必要裂痕之虞。 再者，依據本發明之基板分割系統，由於第2基板支 撐部隨著空間之移動而移動，故輔助支撐不被第1基板支 籲 標。卩支揮之基板部分，又，該第2基板支樓部，係於該空 間移動時及對基板之兩主面劃線時，不會與基板滑接，亦 無力量作用於基板，故沒有因劃線形成機構而衍生不必要 · 裂痕之虞。 . 再者，依據本發明之基板分割系統，於劃線裝置引導 體與第2基板支律單元之間設置空間’使該空間往γ軸方 向移動，而將基板以固定裝置固定，故空間移動時及對基 17 =兩主面劃線時，不會與基板滑接，亦無力量作用於基 因此’又有因劃線形成機構而衍生不必要裂痕之虞。 再者’依據本發明之基板分割系統，基板支撐機構往γ *方向移動時，不會與基板滑接，亦無力量作用於基板。 沒有因sij線形成機構而衍生不必要裂痕之虞。 再者，依據本發明之基板分割系統，基板支撐機 複數個滾子’故能避免與基板滑接’確實地支撑基板。 —再者’依據本發明之基板分割系…统，複數個滚子，係 此稭旋轉傳遞機構隨著該空間之移動選擇複數個滾子之旋 轉方向或停止旋轉。因A ’解開固定裝置所產生之基板之 固定，便能將基板支撐裝置亦利用於基板之搬送。 再者，依據本發明之基板分割系統，由於實施旋轉之 控制’使複數個滾子之外周料與往γ軸方向之劃線裝置 引導體之移動速度一致’故複數個滾子往γ軸方向移動時， 不會與基板滑接’亦無力量作用於基板。因此，沒有因劃 線形成機構而衍生不必要裂痕之虞。 再者，依據本發明之基板分割系統，基板支撐機構為 複數條皮帶’相較於滾子，能以面支撐基板面，故能安定 地支撐基板。 再者，依據本發明之基板分割系統，複數條皮帶，係 能藉旋轉傳遞機構隨著該空間之移動選擇複數條皮帶之繞 行移動方向或繞行停止移動。^匕，解開固定裝置所產生 之基板之固定，便能將基板支撐裝置亦利用於基板之搬送。 再者，依據本發明之基板分割^統，由於實施繞行移 1342261 動之控制’使複數條皮帶之繞行移動速度與往γ軸方向之 劃線裝置引導體之移動速度一致，故複數條皮帶往γ轴方 向移動時，不會與基板滑接，亦無力量作用於基板。因此， 劃線形成機構於基板之内部產生垂直裂痕時，沒有因劃線 形成機構而衍生不必要裂痕之虞。 再者’依據本發明之基板分割系統，使用伺服馬達將 該劃線形成機構之緊壓力往該基板傳遞，故將緊壓力傳遞 給基板之反應性變佳，能在劃線加工中改變劃線形成機構 對基板之緊壓力（劃線荷重）。 再者’依據本發明之基板分割系統，若基板為脆性基 板則對刻有劃線之基板之正反面喷蒸氣，故經加熱之水 为/參進各劃線之垂直裂痕之内部，垂直裂痕因欲膨脹之力 量而分別伸展，而能分割基板。 再者’依據本發明之基板分割系統，設有用來使基板 之正反面乾燥的基板乾燥機構，藉此將基板之正反面喷上 条氣、使基板分割後之基板之正反面之水分完全除去，故 不必於下一製程用之裝置設置特別之水處理機構。 再者’依據本發明之基板分割系統，藉流體導入路來 形成沿與基板之移動方向正交之方向壓縮成均一乾燥氣體 之流體。基板正反面之流體附著物，於流體導入路與乾燥 氣體混合，再引導至截面積比流體導入路大的流體導出 路。於流體導出路擴散之乾燥氣體形成與呈霧狀流體附著 物同行的流體，沿壁面遠離基板之正反面，故於流體導入 路進行釔燥氣體之壓縮，接著於流體導出路進行乾燥氣體 1342261 之擴政，故附著於基板正反面之附著物，不會凝結，與乾 燥氣體混合、微細化（霧化）而除去。因此，能使基板之I反 面完全乾燥。 再者，依據本發明之基板分割系統，壁面係配置於與 氣刀本體相對向之位置，且流體導出路之流路截面積比流 體導入路之流路載面積大’故於流體導出路擴散之乾燥氣 體形成使基板之正反面之流體附著物霧化並與該附著物同 仃的流體。因此，使基板之正反面乾燥的能力增加。 再者’依據本發明之基板分割系統，氣刀支撐部具有 間隙調節機構，該調節機構，係使用乾燥氣體通過流體導 入路時產生之文丘里效應來調節氣刀本體與基板之正反面 間之間隙。因此，能吸收基板之彎曲等，而安定保持該 隙。 … 再者，依據本發明之基板分割系統，間隙調整機構具 備：彈性構件，支撐氣刀本體俾使其能於與基板之正反面 之間擺動自如；層流形成面，與基板之正反面對向用以 形成部分流體導入路且形成於氣刀本體之一側面，以於其 與基板之正反面之間使流體以層流狀態通過。因此，由於 使層流通過層流形成面及基板主面（正面及/或反面）所形 成之流體導入路，故於基板主面附近產生負壓（文丘里效 應），用以保持氣刀本體之彈性構件之向上保持力、與兮負 壓吸引氣刀本體的吸引力兩力平衡。結果，於氣刀本：與 基板主面之間容易形成沿著基板之移動方向之正交方向呈 大致均一形狀的該流體導入路。 20 1342261 再者，依據本發明之基板分割系統，氣刀本體之形成 有錢部之側係對向配置，故乾燥氣體確實地沿流體導出 路达離基板之主面流動，促進基板之乾燥。 統’使用基板搬出裝 —製程裝置的基板交 再者’依據本發明之基板分割系 置來取出經分割之單位基板，故與下 接谷易進行。 再者，依據本發明之基板分割系、统，基板搬出裝置且 備至少-台搬出用機器Λ ’該搬出用機器人具備用來使基 板保持機構繞行第丨減轉的基板旋轉機構、及用來使該 基板旋轉機構繞行帛2轴迴旋的基板迴旋機構，故能將分 出的單位基板於基板之搬送平面上以所希望之姿勢往下 一製程搬送，能同時往下一製程之複數裝置搬送。 再者，依據本發明之基板分割系統，由於搬出用機器 人將該基板旋轉機構之旋轉動作、及基板迴旋機構之迴旋 動作加以組合，故能將分割出之單位基板於基板之搬送平 面上以所希望之姿勢往下一製程搬送。 再者’依據本發明之基板分割系統，能以機器人之移 動範圍為最小之方式來使單位基板成為基板之搬送平面上 所希望之姿勢。 再者’依據本發明之基板分割系統，能使機器人手臂 之移動為最小。 再者’依據本發明之基板分割系統，能容易設定單位 基板於基板搬送平面上之姿勢。 再者’依據本發明之基板分割系統，能容易應付必須 21 1342261 將基板翻轉（將單位基板之正反對調）給下一製程之裝置的 情形。 再者’依據本發明之基板分割系統，於劃線形成前， 將基板疋位於第丨基板支撐部上故能沿基板之正反面之 劃線預定線正確地形成劃線。 再者，依據本發明之基板分割系統，能藉複數個真空 吸附頭從刖—製程確實地接收基板，使基板能安定地浮起 並定位。 再者，依據本發明之基板分割系統，能藉複數個真空 吸附頭將經分割之基板確實交接。 二 再者，依據本發明之基板分割系統，複數個真空吸附 貝之吸引軸以旎往軸方向及該轴方向之傾斜方向微動且仿 ’、、、自如地藉彈性支撐。因此，吸附墊能仿照基板之主面， I7便基板有起伏、管曲等存在亦能確實保持基板。 者依擄:本發a月之基板分害彳系統，真空吸附頭之吸 附塾，在吸附基板之前、及在解除吸附基板時，藉彈簧之 復原力以吸附塾之吸附面大致向正下方之狀態歸位。因 :…:附墊不會在吸附基板時弄傷基板，亦不會 0. jK£. tt /. * * 冉者，依據本發明之基板分割系統，自真 吸附墊將壓堆六g m" 也夕如噴出’而吸附塾因文丘里效應而跟隨4 一《曲’故壓縮空氣在基板與吸附墊間之間隔名 使Sir移動。因此，基板與吸㈣間之空氣流為層流' 使基板與吸附塾之間隙維持一定。結果，能在不弄編 22 1342261 之下以高精度將基板定位。 再者’依據本發明之基板分割系統，能容易除去分割 基板所成之單位基板上剩下的無用部。 再者’依據本發明之基板分割系統，不會與基板滑接， 亦無力量作用於基板。因此，劃線形成機構於基板之内部 產生垂直裂痕時，沒有因劃線形成機構而衍生不必要裂痕 之虞。 再者’依據本發明之基板分割系統，不會與基板滑接， 亦無力量作用於基板。因此’劃線形成機構於基板之内部 產生垂直裂痕時，沒有因劃線形成機構而衍生不必要裂痕 之虞。 作為將母基板彼此貼合而成之貼合母基板，將脆性材 料基板貼合之FPD所用之貼合母基板，係藉接著劑等貼 合’故於母貼合基板產生彎曲、起伏。本發明之基板分割 系統’係能以施加於各劃線形成機構的荷重取得平衡之方 式’使對向之劃線形成機構跟隨基板之起伏、彎曲對基板 進行劃線，故能有效應用於該母貼合基板之分割。 依據本發明之基板製造裝置’往下一製程以後之裝置 搬送時，若分割出之單位基板之端面部之邊緣有缺口、或 有微小的龜裂，會從該缺口、龜裂衍生裂痕至單位基板全 體，致基板破損，故將倒角加工系統連接於本發明之基板 刀割系統’對單位基板之端面部之邊緣進行倒角加工，藉 此能防止基板之破損。 依據本發明之基板製造裝置，有時因基板分割成單位 23 1342261 基板時所產生之粉末（玻璃屑）等，導致弄傷基板表面、或切 斷形成於單位基板的電極，故將檢查系統連接於本發明之 基板分割系統’而能早期發現傷痕、電極之切斷等基板之 不良’3b降低製品單位基板之成本。 · 往下-製程以後之裝置搬送時，若分割出之草位基板 之端面部之邊緣有缺口、或有微小的龜裂便從該缺口、 或龜裂衍生裂痕至單位基板全體，致基板破損。不過，依 據本發明之基板製造裝置，由於將倒角加工系統連接於本 發明之基板分割系統’對單位基板之端面部之邊緣進行倒# 角加工’故能防止基板之破損。 再者’有時因基板分割成單位基板時所產生之粉末(玻 璃屬)等，導致弄傷基板表面、切斷形成於單位基板的電極。 依據本發明之基板製造裝置’將檢查系統連接於本發明之 基板分割系統’而能早期發現傷痕或電極之切斷等基板之 不良而降低製品單位基板之成本。 依據本發明之基板分割方法’能在不停止對母基板之 緊壓之移動下形成第！劃線及第2劃線，故能縮短用來$ ♦ 成劃線之劃線加工時間。又’形成於母基板之劃線能防止 母基板因基板支撐裝置之移動等外在因素所產生之力量而 ，割。再者’劃線形成中，母基板不易分割為2個以上之· P刀’故於蒸氣單元部喷蒸氣而分割出的單位基板之分冑 面不易產生缺口、斜截面（斜的分割面）等不良。 责再者，依據本發明之基板分割方&，形《於母基板之 W線’不易因基板基板支撐裝置之移動等產生之外力而分 24 1342261 割，故能防止劃線形成中母基板分割A 2個以上之部分。 因此’於蒸氣單兀部噴蒸氣而分割出之N個單位基板之分 割面不易產生缺口、斜截面(斜的分割面)等不良。 再者，依據本發明之基板分割方法，因能在不停止對 母基板之緊壓之移動下形成第1劃線及第2劃線，故能縮 短用來形成劃線之劃線加工時間。又，形成於母基板之劃 線，不易因基板支揮裝置之移動等外在因素所產生之力量 而分割’故劃線形成中，母基板不易分㈣2個以上之部 分，因此，於蒗氣星分A喊 …乱早70邛喷蒸氣而分割出之單位基板之分 割面不易產生缺口、斜截面(斜的分割面)等不良。 再者，依據本發明之基板分割方法，能在不停止對母 基：之緊壓之移動下形成第1劃線及"劃線，故能縮短 ^形成劃線之劃線加工時間。χ，基板不易因基板支揮 裝置之移動等所造成之外六&八… 成之外力而刀割，故形成於母基板之劃 線能防止母基板在書丨|綠犯Λ、 攸隹d線形成t分割為2個以上之部分， 此，於蒸氣單元部喷蒗 p ^ 、…孔而刀割出之單位基板之分割面不 易產生缺口、斜截 π m面（斜的分割面）等不良。 再者，依據本發明$ 基板刀割方法，能緩和對母基板 之緊壓’故在藉劃線形成 冰々成機構來緊壓母基板情 降低劃線形成機構之磨損。 ab 依據本發明之基板 劃線、與待沿第2方： 能將沿第1方向形成之 ^ 。形成之劃線以曲線相連之方式來使 對母基板之緊壓移動，故 # ^ ^ ^ 此降低slj線形成機構由第1方向 得換彺第 2方向所推士、μ & 1 子4線形成機構之傷害。 25 1342261 依據本發明之基板分割方法，使基板支撐裝置隨一對 劃線形成機構一起移動，故能在不彆曲脆性材料基板之 下’邊局部支擇脆性材料基板邊於所希望之部位形成劃線 以分割脆性材料基板。 依據本發明之基板分割方法，移動基板支撐裝置時， 月匕減少作用於脆性材料基板的外力，故能抑制劃線形成時 不要之裂痕（水平裂痕）的發生。 【實施方式】 以下，根據圖式詳細說明本發明之實施形態。 實施形熊1 之 圖1及_ 2，係顯示本發明之基板分割系、統之實施形態 例，分別由不同方向所見的全體概略立體圖。 又’本發明中’「基板」，係包含用來分割為複數個 基板之母基板’又包含鋼板等金屬基板、木板、塑膠基板 以及陶竞基板、半導體基板、玻璃基板等脆性材料基板之 單板。再者，除如此之單板，還包含將一對基板彼此貼合 而成之貼合基板、將—對基板彼此積層而成的積層基板。 本發月之基板分割系統，例如製造液晶顯示裝置之由 ^對玻璃基板互㈣合而叙面板基板（騎面㈣貼合基 ^時’㈣基板分_統來將由—對母玻璃基板互相貼合 而成之貼合母基板90分判為递叙y 貝占合基板）。 為複數片面板基板(顯示面板用 本實施形態、1之基板分割系統（中 將配置有第 1基 26 1342261 板支撐4 20A之側當作基板搬入側，將配置有基板搬出裝 置80之側當作基板搬出側，以下將在如此設定下進行說 明又，本發明之基板分割系統1中，基板搬送過去之方 向(基板之移動方向)為從基板搬入側往基板搬出側的+γ方 向。又’該基板搬送過去的方向為以水平狀態正交於劃線 裝置引導體30的方向，劃線裝置引導體3〇則沿X方向設 ’係具有中空長方體狀之架台10, 4根支枝14，框狀之主架11配置於 該基板分割系統 於架台10之上面設有 支柱14之上部。於該架台1〇之上面配置有基板支撐裝置 I該基板支撑裝置2G將被搬送機器人搬送至本基板分割 系統1之貼合母基板90以水平狀態支撐。 如圖1所示，基板支揮裝置20，係具有：第】基板支 標部20A，配置於基板分割系，紙1之基板搬入側，用來支樓 搬入主架11内之貼合母基板90;及第2基板支揮部細， 配置於基板搬出側，用來支揮將貼合母基板9G分割並依序 將顯示面板從基板分割系統搬出後的貼合母基9()β又， 將架σ 10之第1基板支撐部2〇Α側當作基板搬入側，將第 2基板支樓部20Β側當作基板搬出側。 人，如圃 ''永。10之上方設有失緊裝置, 該夾緊裝置50將被基板支擋驻 文探裝置2〇(第1基板支撐單元21/ 以水平狀態支撐的基板以水平狀 _ >卞狀態保持。再者，如圖1所 示，於架台10之上面，兮古 叹有忐沿主架11之長邊方向之桓 采1 1 Α及1 1 Β滑動的劃線梦 裏裝置引導體30。劃線裝置引導體 27 1342261 3〇，具備於主架11上方沿正交於主架π長邊方向之框架 11Α及11Β的X方向架設而成之上側導執31、及於主架u 下方沿上側導轨3 1架設而成之下側導軌32，上側導軌3 j 及下側導執32,係能沿主架1 1長邊方向（Y方向）之框架丨1A 及1 1 B成一體地移動。 圖3 ’係劃線裝置引導體3 〇之上側導執3 1附近之概略 立體圖。於上側導軌31，安裝有能沿上側導軌31移動之上 部基板分割裝置60。 圖4 ’係劃線裝置引導體3〇之下側導軌32附近之概略 立體圖。於下側導軌32，安裝有能沿下側導軌32移動之下 部基板分割裝置70。 上部基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇，係分及 能藉線性馬達沿上側導& 31及下側導軌32往復移動，甘 上側導執31及下側導軌32分別安裝有線性馬達之定子， 方；上部基板分割裝置6〇及下部基板分割裝置7〇分別安弟 有線性馬達之活動構件。上部基板分割裝置60及下部基相

刀。〗装置70，係用來將貼合母基板9〇上側及下側之各玻每 f板，分割為複數個顯示面板；該貼合母基板90係被夾絮 、 吊持成水平I禮’且被用以輔助母基板之保持的遵 板支撐裝置20支標。 於劃線裝置引導體3〇之一端部設有能沿劃線裝置引驾 體30移動之第丨忠風壯 先干裝置38,該第1光學裝置38用來相 攝設被夾緊裝置5 〇粗# 〇保持 '且被基板支撐裝置20支撐之别 &母基板9 〇的第】 對準私記，又，於劃線裝置引導體3ι 28 1342261 之另一端部設有能沿劃線裝 驻罢μ 冰牧置引導體30移動的第2光學 哀置39，該第2光皋奘罢 、9用來拍攝設於貼合母基板9〇 之第2對準標記。 於架台10之上面沿主年 永1 1長邊方向之框架1 1 Α及 4別設有使劃線裝置引導體3G移動的線性馬達之定 子丨2。各定子12,係呈各自之外側面有開口之爲平的中空 1體形狀，其載面呈「〔」字％。各Η之内部中，於 =:持支柱28(用來支標劃線裝置引導體3〇之兩端則 導體基座15，有線性馬達之活動搆件(未圖示)以能沿主架 1丨長邊方向之框架11Α& 11Β滑動之方式插入[ 於各疋子I 2分別沿長邊方向配置有複數個永久磁鐵， 鄰接之永久磁鐵之磁極呈互相反轉之狀態。各活動構件， 係分別由電磁鐵構成，將構成各活動構件之電磁鐵之磁極 依序切換，各活動構件便分別沿各定子丨2滑動。 如圖3所示，於劃線裝置引導體3〇之上側導軌3丨安 茗有上cr卩基板分割裝置6 〇。又，如圖4所示，於下側導軌

32安裝有與上部基板分割裝置6〇同樣之構成而處於上下 對調狀態的下部基板分割裝置7〇 , 上部基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇，係如前 所述’分別能藉線性馬達沿上側導軌3 1及下側導軌3 2滑 動0 例如’上部基板分割裝置60及下部基板分割裝置70 中’對貼合母基板90之上部玻璃基板割線的刀輪62a(劃線 形成機構）以能旋轉自如之方式安裝於刀片座62b，刀片座 29 1342261 62b又以能繞行被央緊护罟 汉处家裒置50保持之貼合母基板9〇表面的 垂士方向旋轉自如之方式安裝於刀頭62。。又，刀頭心， 係藉未圖示之驅動機構能沿貼合母基板90表面之垂直方向 移動自如’又能以未圖示的彈壓機構對刀輪62a適當施加荷 重。 上部基板分割裝置6Q，係以使刀輪—能於上部玻璃 基板上往X方向移動之方式來支撐刀輪02a。 設於下側導軌32之下部基板分割裝置70,係具有與上 部基板分割裝置6G同樣之構成，以與上部基板分割裝置6〇 呈上下對調之狀態，將該刀輪62a(圖4參照）配置成與上部 基板分割裝置60之刀輪62a對向。 上P基板刀割裝置60之刀輪62a ,係被上述的彈壓機 構及刀頭62c之移動機構壓接於貼合母基板9〇之正面，下 部基板分割裝置70之刀輪62a亦被上述之彈壓機構及刀頭 62c之移動機構壓接於貼合母基板9〇之反面。又使上部 基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇同時往同一方向 移動’則分割貼合母基板9〇分割。 基板支撐裝置20，係以使刀輪62a能對上部玻璃基板 上劃線之方式來支撐貼合母基板90。 因此’依據基板分割系統1，基板支撐裝置2〇以刀輪 62a從上部玻璃基板側及下部玻璃基板側分別互相對向之 空間能在Χ~γ平面上移動自如之方式來支撐貼合母基板 。因此，各刀輪62a能以施加於對向之各刀輪62a的荷重 取得平衡之方式追隨貼合母基板90之起伏、彎曲，對貼合 1342261 母基板90進行劃線。結果，形成於貼合母基板90之劃線 之品質良好’沿劃線對基板進行裂片時，貼合母基板90之 分割面之品質非常良好。（以上，係申請專利範圍第1項之 作用）

再者’依據基板分割系統1，能於劃線裝置引導體3〇 與基板支撐裝置20之間設置空間，使該空間往γ軸方向移 動’將貼合母基板90以夾緊裝置5〇固定，故在空間移動 時及對兩主面劃線時’能防止貼合母基板9〇偏離既定之定 位位置。（以上，係申請專利範圍第2項之作用） 再者’依據基板分割系統1 ’於劃線裝置引導體3〇與 第1基板支撐部20A之間設置空間，使該空間往γ軸方向 移動，該第丨基板支撐部2〇Α便在該空間移動時及對兩主 面s彳線時，不會與貼合母基板90滑接亦不會對基板施力。 因此藉刀輪62a來於貼合母基板90之内部產生垂直裂痕 時，沒有因刀輪62a衍生不必要裂痕之虞。（以上，係申請 專利範圍第4項之作用） °

再者，依據基板分割系統丨，第2基板支撐部2〇B隨 間之移動而移動，藉此輔助支撐不被第！基板支撐部 支沒之基板部分’又’該第2基板支樓部細在該*間 :時及對兩主面進行劃線時，不會與貼合母基板9心接 虚，會對基板施力，故沒有因刀⑽62a衍生不必要裂痕 。（以上’係申請專利範圍第13項之作用） :圖1及圖2所示，藉連結板33將上側導軌31及. 導軌32之各端面彼此互相連結而成之劃線褒置引導彳 31 1342261 3〇之兩端’被支柱28支律，該支柱28被保持於引導體基 座15之上面，於弓丨導體基座15分別安裝有線性馬達之活 動構件。各活動構件，係分別被同步驅動，沿各定子12滑 動。 如圖1所示，架台10之基板搬出側之上方，於第2基 板支撐部20B之基板搬出側、基板搬出裝置8〇之基板搬入 側，配置有用以將劃線加工後未完全分割之貼合母基板9〇 變成完全分割狀態的蒸氣單元部1 60。 架台10之搬出側上方有基板搬出裝置8〇配置於劃線 裝置引導體30之基板搬出側，該基板搬出裝置8〇具備用 來搬出自貼合母基板90分割出之各顯示面板的搬出用機器 人140、及用來使搬出用機器人M〇能往正交於主架η長 邊方向之框架ΠΑ及11B的X方向移動所架設之基板搬出 裝置用導件8卜基板搬出裝置用導件81之端部能透過支撐 構件82藉線性馬達沿分別設於架台丨〇上面之導軌丨3滑 動。在此情形之線性馬達，係於分別設在架台丨〇上面之線 性馬達定子1 2内，插入有分別安裝於基板搬出裝置8〇端 部之線性馬達之活動構件（未圖示）。 於基板搬出裝置80之搬出用機器人14〇,設有用來吸 引吸附自貼合母基板90分割出之各顯示面板的吸附部（未 圖不）’在藉吸附部吸附著顯示面板之狀態下使基板搬出裝 置80全體滑動至基板搬出側，便將分割出之各顯示面板從 基板支撐裝置20搬出。 因此，依據基板分割系統1，使用基板搬出裝置8〇來 32 1342261 取出分割之單位基板，故與下一製程裝置之基板交接容易 進仃。（以上，係申請專利範圍第31項之作用） 又’依據基板分割系統】，使基板支樓裝置2〇與上部 基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇 一起移動故能 在脆性材料基板不f曲下，邊局部支撐脆性材料基板邊於 所希望之部位形成劃線，而分割脆性材料基板（以上，係申 請專利範圍第5 8項之作用） 又，依據基板分割系統1，在移動基板支撐裝置2〇時， 此抑制作用於脆性材料基板之外力，故能抑制在劃線形成 時不要裂痕（水平裂痕）之發生（以上，係申請專利範圍第59 項之作用） 圖5’係用來說明搬出用機器人之機能的圖。 圖5A ’係顯示基板搬出裝置8〇之搬出用機器人14〇 之構成的概略構成圖。搬出用機器人14〇,係安裝於基板搬 出裝置用導件8 1，能藉將線性馬達或伺服馬達之驅動機構 及線性導件組合成之移動機構，往基板搬出裝置用導件8 i 之方向（X方向）移動自如。 搬出用機器人140，係具有140a及140m 2個飼服馬 達，伺服馬達140a連結於驅動軸140b。第1皮帶輪14〇c 與第2皮帶輪i4〇e，係安裝成為一體，分別透過軸承安裝 於驅動軸140b，而對於驅動軸140b之旋轉係呈分開的狀 態。臂140f，其端部係〆體地安裝於驅動軸140b，臂i4〇f， 係藉驅動軸140b之旋轉而以驅動軸1 40b為中心旋轉。又， 於臂140f之尖端部將旋轉轴140g支樓成能旋轉。旋轉輪 33 1342261 l4〇g，係貫穿臂140f ’而於一端部將第3皮帶輪140h安裝 成—體。於第2皮帶輪140e與第3皮帶輪140h之間，例如 掛有如確動皮帶之皮帶140i。 再者，於伺服馬達140m之旋轉轴安裝有第4皮帶輪 l4〇n’於第4皮帶輪14〇n與第1皮帶輪14〇c之間，例如掛 有如確動皮帶之皮帶140p。依據此構成，伺服馬達！ 4〇m 之旋轉，透過皮帶140p傳遞至第1皮帶輪140c，再透過皮 帶140i傳遞至第8皮帶輪14〇h，而使旋轉軸旋轉。 於旋轉軸140g之另一端部，一體安裝有真空吸附頭安 裝板140j之中央部。於真空吸附頭安裝板14〇j·設有真空吸 附頭140q。真空吸附頭140q，係包含吸附墊i4〇k，該吸附 墊140k藉未圖示之吸引機構吸附經本基板分割系統i分割 之基板。真空吸附頭1 40q將於後詳述。 這種構成之搬出用機器人1 40，係組合設定伺服馬達 140a及140m之旋轉方向及旋轉角度，藉此使臂丨4〇f之移 動距離最小化，將經分割之基板93之方向以水平狀態改變 為各種角度方向而往下一製程之裝置搬送。 又，有關經分割之基板之搬送，分割之基板93是被吸 附墊吸引保持著，搬出用機器人丨4〇全體藉升降機構（未圖 示）上升完畢後，將該基板93往下一製程之裝置搬送，搬出 用機器人140再藉升降機構（未圖示）下降，並於下—製程之 既定位置將該基板9 3載置成預先決定好之狀態。 其次，使用圖5B說明使用這種構成之搬出用機器人 1 40來改變分割之基板之方向例如90。的情形。 34 1342261 當經分割之基板93被安裝於真空吸附頭安裝板14〇j 之各真空吸附頭140q之各吸附塾140k吸附，則搬出用機 器人1 40全體便藉升降機構上升，伺服馬達14〇a被驅動， 驅動軸14〇b往反時針方向旋轉90。（從基板側看）。當驅 動軸140b旋轉90。’臂140f便以驅動軸140b為中心往從 基板側看之反時針方向旋轉9〇。。因此，於臂14〇f之尖端 4透過旋轉軸140g支撐成能旋轉之真空吸附頭安裝板 14〇j ’與臂140f—起以驅動轴140b為中心往從基板側看之 反時針方向旋動90。^在此情形下，安裝於真空吸附頭安裝 板14〇j之旋轉軸14〇g亦以驅動軸M〇b為中心旋轉移動。 此時’伺服馬達140m之旋轉透過皮帶14〇ρ傳遞至第i 皮帶輪140c，再透過皮帶14〇i傳遞至第3皮帶輪M〇h，使 旋轉軸140g往順時針方向旋轉18〇。。安裝於旋轉轴14〇g 之真空吸附頭安裝板14〇j亦以旋轉軸140g為中心往順時針 方向旋轉180。。因此，真空吸附頭安裝板14〇j，係在以驅 動軸140d為中心往從基板側看之逆時針方向旋動9〇。時， 、旋轉軸1 4Gg為中心往從基板側看之順時針方向自轉⑽ 。。結果’被各吸㈣14〇k吸附之經分割基板93，係如圖 斤丁邊移動其旋轉中心位置，邊以較小的空間往從基 板側看之順時針方向旋轉9〇。。 ，5C ’係作為本發明之搬出用機器人之另一例的搬出 、500之立體圖，5D，係顯示本發明之搬出機器 之構成的概略構成圖，圖5 E，係用來說明本發明之 出用機益人500之動作的說明圖。該搬出用機器人则， 35 I342261 疋用來將分割之基板93(參照圖5E)搬送至既定位置，亦透 過連結塊526安裝於該機器人5〇〇之支撐梁（未圖示）。於連 結塊526以垂直狀態配置而成之連結軸531透過軸承貫穿 成旎旋轉自如，該連結軸531内將驅動軸525透過軸承插 穿成能旋轉自如，連結軸531及驅動轴525能分別獨立旋 轉。 連結軸53 1之上端部及驅動轴525之上端部，係分別 大出於連結塊526之上方。於用來插穿連結軸531内的驅 動軸525之上端部，連結有旋轉用伺服馬達527之驅動軸。 大出於連結塊5 2 6往上方的連結轴5 3 1之上端部，安 裝有迴旋用從動皮帶輪532 ’連結塊526之上方，設有與該 迴旋用從動皮帶輪532鄰接之迴旋用主皮帶輪533。迴旋用 主皮帶輪533，係安裝於以垂直狀態配置成能旋轉之旋轉軸 534。又，於迴旋用主皮帶輪533與迴旋用從動皮帶輪532 間繞掛有迴旋用傳動皮帶535，由該等迴旋用主皮帶輪 533、迴旋用從動皮帶輪532、及迴旋用傳動皮帶535構成 皮帶傳動機構。安裝有迴旋用主皮帶輪533之旋轉軸534， 係此藉迴旋用词服馬達5 3 6而旋轉驅動β 於用來貫穿連結塊526内之連結轴53 1之下端部將中 空的迴旋臂523之基端部安裝成能與連結轴531成一體地 旋轉。該迴旋臂523 ’係配置成水平狀態，迴旋用伺服馬達 536之旋轉透過迴旋用主皮帶輪533、迴旋用傳動皮帶535、 迴旋用從動皮帶輪532傳遞至連結軸531，而使連結軸531 旋轉’迴旋臂523之尖端部藉此能以連結軸53丨之軸心為 36 1342261 中心與連結軸531成一體地迴旋。 用來插穿連結軸531内的驅動鈿+ β的％動轴525之下端部，係位 於呈中空狀態之迴旋臂523夕肉都 认斗 、级蚌：>23之内部，於該下端部安裝有能 與驅動軸525成一體旋轉之旋轉用主皮帶輪528。 於迴旋臂523之尖端部内，透過軸承將呈垂直狀態之 紅轉軸522設置成能旋轉。於位在迴旋臂523内的旋轉軸 522將旋轉用從動皮帶輪524安裝成能與旋轉軸522成一體 地旋轉，於該旋轉用從動皮帶輪524與旋轉用主皮帶輪528 之間繞掛著旋轉用傳動皮帶529。藉此，由旋轉用從動皮帶 輪524、旋轉用主皮帶輪528、及旋轉用傳動皮帶529形成 皮帶傳動機構’當藉旋轉用伺服馬達527來使驅動軸525 旋轉’該旋轉便透過旋轉用主皮帶輪528、旋轉用傳動皮帶 5 29、旋轉用從動皮帶輪524傳遞至旋轉軸522。 用來傳遞驅動軸525之旋轉的旋轉軸522,係安裝於設 在迴旋臂523下方的連結體537。又，於該連結體537分別 安裝著各自以水平狀態互相平行的4支真空吸附頭支撐體 521之一端部，於各真空吸附頭支撐體52丨設有4個真空吸 附頭540。於真空吸附頭54〇安裝有用來吸附在基板93的 吸附墊52 1 a。又，複數個真空吸附頭540，在本實施形態中 係具有基板保持機構之機能。因此。依據基板分割系統1， 能藉複數個真空吸附頭540來將分割之基板確實地交接。 (以上，係申請專利範圍第41項之作用） 真空吸附頭540將詳述於後。 本實施形態中，各真空吸附頭支撐體52 1、各吸附墊 37 1342261 521a及連結體537構成基板保持機構。又，安裝於連結體 537之旋轉軸522、安裝於旋轉轴522之旋轉用從動皮帶輪 524、驅動軸525、安裝於驅動軸525之旋轉用主皮帶輪 528、繞掛於旋轉用從動皮帶輪524及旋轉用主皮帶輪528 的旋轉用傳動皮帶529、以及旋轉用伺服馬達527構成基板 旋轉機構。 再者’安裝有旋轉軸522之迴旋臂523、安裝於迴旋臂 5 23之連結軸531、安裝於連結軸531之迴旋用從動皮帶輪 532、迴旋用伺服馬達536、安裝於迴旋用伺服馬達536之 迴旋用主皮帶輪533、繞掛於迴旋用主皮帶輪533及迴旋用 從動皮帶輪532的迴旋用傳動皮帶535構成基板迴旋機構。 基板搬出裝置80,係具有至少一台搬出用機器人500， 該機器人500具有用來使基板保持機構繞第1軸旋轉的基 板旋轉機構、及用來使該基板旋轉機構繞第2軸迴旋的基 板迴旋機構’因此’能將經分割之單位基板於基板之搬送 平面上以所希望之姿勢往下一製程搬送，並能往下一製程 之複數個裝置同時搬送。（以上，係申請專利範圍第3 2項之 作用） 如此構成之搬出用機器人500，當處於各吸附塾521a 吸附基板93的狀態時，便能使基板93旋動90。。 在此情形下’若將迴旋用伺服馬達536驅動，迴旋用 /[司服馬達536之旋轉便透過迴旋用主皮帶輪533、迴旋用傳 動皮帶5 35及迴旋用從動皮帶輪5 32傳遞至連結轴531，而 使連結軸5 3 1旋轉。因此，一體安裝於連結軸5 3 1下端部 38 1342261 的迴旋臂523朝例如圖5E箭號A所示之方向以連結轴S3] 為中心迴旋90。。由於迴旋臂523之尖端部旋動，故安裝於 該迴旋臂523尖端部的旋轉軸522在以連結軸531為中心 的圓周上迴旋。 如此一來，依據基板分割系統1，基板迴旋機構所產生 之基板保持機構之迴旋，藉動力傳遞機構傳遞至基板旋轉 機構，並連動基板旋轉機構旋轉。因此，搬出用機器人5〇〇 能藉由組合基板旋轉機構之旋轉動作與基板迴旋機構之迴 旋動作，來將經分割之單位基板於基板之搬送平面上以所 希望之姿勢往下一製程搬送。（以上，係申請專利範圍第Μ 項之作用） 再者，基板旋轉機構所產生之基板保持機構之旋轉驅 動、與基板迴旋機構所產生之基板保持機構之迴旋驅動是 互相獨立。因此’能容易設定單位基板之基板搬送平面上 的姿勢。（以上，係申請專利範圍第36項之作用） 同時，藉旋轉用伺服馬達527之旋轉驅動，使腰動軸 525旋轉，驅動軸525之旋轉透過旋轉用主皮帶輪528、旋 轉用傳動皮帶529、旋轉用從動皮帶輪524傳遞至旋轉轴 522。藉此’安裝有旋轉軸522之下端部之各真空吸附頭支 樓體521的連結體537，以旋轉軸522為中心旋轉。 在此情形下，藉旋轉用伺服馬達527而旋轉之驅動軸 525、與藉迴旋用伺服馬達534而旋轉之連結轴531的旋轉 方向互相呈相反方向，又，藉驅動軸525而旋轉之旋轉轴 522之;5疋轉角度為連結軸531之旋轉角度，為迴旋臂523之 39 1342261 旋轉角度的2倍。因此，用來支撐安裝於旋轉軸522下端 4之各真空吸附頭支撐體521的連結體537,係由於旋轉軸 5 22之故轉而邊以旋轉軸522之轴心為中心旋轉，邊在以連 結輪5 3 1之軸心為中心的圓周上迴旋。 如此一來，基板旋轉機構所產生之基板保持機構之旋 轉方向，係與基板迴旋機構所產生之基板保持機構之迴旋 方向相反。因此，能以機器人臂之移動範圍為最小之方式 使單位基板成為基板之搬送平面上所希望之姿勢。（以上， 係申請專利範圍第34項之作用） 再者，基板旋轉機構所產生之基板保持機構之旋轉角 度’為基板迴旋機構所產生之該基板保持機構之迴旋角度 之2倍。因此’能使機器人手臂之移動為最小β (以上，係 申請專利範圍第35項之作用） 再者’旋轉用伺服馬達527與迴旋用伺服馬達534為 互相獨立。因此，容易設定單位基板之基板搬送平面上的 姿勢。（以上，係申請專利範圍第37項之作用） 此外，例如，如圖5Ε所示，藉連結軸53 1往箭號Α方 向旋轉90°，而使迴旋臂523往箭號A方向迴旋90°時，旋 轉軸522便往箭號A之相反方向旋轉180。，故安裝於旋轉 轴522下端部之真空吸附頭支撐體521亦同樣地在以連結 軸53 1為中心迴旋90 °時以旋轉軸522為中心往箭號A所示 方向之相反方向（箭號B所示之方向）旋轉180°。 因此，吸附於各真空吸附頭支撐體52 1之各真空吸附 頭540之各吸附墊52 la的基板93，係如圖5E所示’往箭 1342261 號B所示之方向邊移動旋轉軸522之位置邊旋動90。。因 此，本實施形態之搬出用機器人500亦將重量大的驅動馬 達全部配備於搬出用機器人500之基部之部分，故能使臂 部之構造簡單、重量輕’因此’慣性小，能使迴旋臂高速 移動，能在較小的空間，將基板93保持水平狀態並使基板 93旋動90°。 以上’已參照圖5 A至圖5 E詳細說明搬出用機人。 又，真空吸附頭l4〇q及真空吸附頭540將詳述於後。 再參照圖1說明基板分割系統1之構成。 基板支撐裝置20之第1基板支撐部2〇 a及第2基板支 撐部20B，例如，係如圖1所示，各組支撐部分別具有能往 與劃線裝置引導體30之移動方向同方向移動的5個第丨基 板支撐單元21A及第2基板支撐單元2丨B。各第丨基板支 撐單元21A及各第2基板支推單元21B，係分別沿相對主 架11之長邊方向之框架丨丨八及11B平行的方向（γ方向）平 行地排列，並分別配置於劃線裝置引導體3〇之基板搬搬入 側及基板搬出側。 ---π γ w八叼I 1固第1基板支名 單元Α之侧視m基板支撐單元21Α，係於引導f 基座15(保持於架台1〇上面所設一對導軌i3之各移動單^ 之上面設有支柱45,於該支柱45之上方以與γ方向（沿3 =Η之框架11Α及11Β)平行之方式設有支料件43，方 各支#構件43沿與主架11之框架UA及11Β正交之以 向架設有2支單元安裝構件41&42之接合構件46及47 1342261 第1基板支撐單元21A，以既定之間隔配置有複數台（本 實施例之說明中有5台），能與劃線裝置引導體30 —起往γ 方向（沿主架1 1之框架1 1A及1 1B)移動。 第1暴扳支撐單元 ....... (Y方向）以直線狀延伸的支撐本體部21a，於支撐本體部21a 之各端部’分別安裝有例如用來引導確動皮帶21 e之確動皮 帶輪21c及21d。確動皮帶21e，係在驅動用確動皮帶輪21b 以後述之離合器與驅動軸連結之方式旋轉時繞行移動。 使用圖7、圖8及圖9來說明用來使如此般構成之第i 基板單元21A之確動皮帶21e移動的機構。圖7,係從劃線 裝置引導體30側看設於第i基板支撐部2〇A之複數台（5台） 第1基板支撐單元21A時之前視圖，圖8,係離合器單元 1 1 0之概略構成圖，圖9，係離合器單元丨丨〇之側視圖。 如圖7所示，設於第i基板單元21A之支撐本體部⑴ 之各驅動用確動皮帶輪21b，係與沿χ方向（與該主架1 1之 11A及11B正交）平行設置之旋轉驅動轴μ 結合。該旋轉驅動軸49兩端，係與離合器單元ιι〇相連， 旋轉驅動轴49會根據與離合器單元11〇内離合器之驅動軸 的連結狀態而旋轉或不旋轉。亦@，當離合器單元内之離 t器與驅動軸122連結時，旋轉驅動軸49旋轉，而當 °器與驅動轴122脫離時，旋轉驅動軸49不旋轉β μ 况：，於主架"之長邊方向之框架11Α及11Β之 框架11Α及11Β之長邊方向安裝有用來使離合器單 之小齒輪1 1 1旋轉的齒條丨la。 凡110 42 1342261 離合器單元110之小齒輪111與轴123之一端結合， 於軸123之另一端則結合有確動皮帶119用之確動皮帶輪 112° 於驅動軸122之一端結合有確動皮帶輪U5，透過2個 惰輪113& 114將確動皮冑119掛於確動皮帶輪ιΐ2與確 動皮帶輪115之間，以將軸123之旋轉傳遞至驅動軸122。 於驅動軸1 22之另一端安裝有例如像空壓離合器（air clutch)般之離合器116，若將壓縮空氣投入離合器丨μ内， 驅動軸12與從動軸丨24便結合，若壓縮空氣之投入中斷’ 使離合器U6内之空氣壓力為大氣壓之狀態，則驅動軸122 與從動軸1 24之結合便切斷。 於從動軸1 24之與離合器1 1 6不接合側之端部結合著 確動皮帶輪117,該確動皮帶輪n7、與設於第丨基板單元 21A之支撐本體部21a的各驅動用確動皮帶輪2ib所結合之 旋轉驅動軸49之一端之確動皮帶輪118之間掛著確動皮帶 121。 如圖7所示，用來使第！基板支撐部2〇A所設5個第夏 基板支撐單兀21A之驅動用確動皮帶輪2ib旋轉而使確動 皮帶21e移動的機構（離合器單元丨1〇)，亦設於主架丨丨之長 邊方向之框架1 1 B側。 如上所述’用來支撐5個第！基板支撐單元21A的框 架1 1 A側之支柱45及框架丨丨B側之支柱45，係保持於引 導體基座丨5，並以能成一體移動之方式與用來保持支柱 28(用來支撐劃線裝置引導體3〇之兩端）之引導體基座丨5連 43 1342261 、。。於用來保持支柱28之引導體基座15安裝有線性馬達 之活動構件（未圖示），故能藉線性馬達之驅動，使劃線裝置 引導體30往基板搬入側移動，並且使第i基板支撐部“A 之5台第1基板支撐單元21A往基板搬入側移動。 劃線裝置引導體30移動時，與沿框架Η A及丨丨6安裝 成之各齒條lla嚙合的框架11A側之離合器單元之^ 齒輪ΗI及框架ΠΒ側之小齒輪u丨能旋轉。

句〖使第1基板支撐單元21Α之驅動用確動皮窄 輪21b旋轉而使確動皮帶2U移動，亦可將框架"a及相 架兩方之離合器與各驅動# 122連結，亦可將框架⑴ 或框架11B之任一離合器與驅動軸]22連結。 γ基板支揮裝置2〇之第2基板支樓部20B，係例如且有 /刀別能往與割線裝置引導體3G之移動方向同方向移t 2第2基板支料^心該第2基板讀單UB，係與 第1基板支樓單元2ia之拔1 m 、 '、 構並以對於劃線裝置引

導體30互相成對稱、於γ方向之安裝方向相反之方式支撑 於框架11A側之主括仏R Λ 乃八叉揮 及框架Π Β側之支柱45，各支柱 保持於引導體基座15。 又往 用來支偉5個第！基板支撑單元2ια的框架u 支柱45及框架π B側 丨之 來古挎之支柱45保持於引導體基座15，用 來支擇5個第2基板支禮显- 及框架11B側之支柱“ B的框架】1A側之支柱扔 能一體移動s^ 45保持於引導體基座15,並進一步以 引導體30之“、 持支柱28(用來支揮劃線裝置 引導體3〇之兩端）的弓丨導贈Α 泽體基座15連結。於用來保持支柱 44 1342261 28(用來支撐劃線裝置引導體3〇之兩端）的引導體基座Η安 裝有線性馬達之活動構件（未圖示），故能藉線性馬達之驅 動使s彳線裝置引導體3 0往基板搬入側移動，並且使第i 基板支樓部20A之5台第！基板支樓單元21A及第2基板.· 支樓部2叩之5台第2基板支擇單元—往基板搬人側移 ， 動。 於第2基板支撑部2〇B之框架UAw、及框架nB側 具備有與第丨基板支撐部2〇A同樣之離合器單元11〇，劃線 裝置引導體30移動時，使框架UA側之離合器單元ιι〇之 0 小齒輪111及框架i 1B側之小齒輪1丨丨旋轉該小齒輪i j 係分別沿框架11A及丨18安裝且與各齒條iu嚙合。 又為了使第2基板支撐單元21B之驅動用確動皮帶 輪21b旋轉而使確動皮帶2U移動，可將框架nA及框架 11B兩方之離合器與各驅動# 122連結，亦可將框架"A 或框架丨1B之任一離合器與驅動軸122連結。 令上所述，第1基板支撐部20A，係具有沿劃線裝置引 導體30之移動方向平行移動的複數個第1基板支樓單A 參 21A。又’複數個第1基板支撐單元21A，係能隨著劃線裝 置引導體30之移動與劃線裝置引導體3〇 _起移動。因此， 由=在劃線裝置引導體30與第i基板支擇單元21八之間設 置二間，使該空間往γ軸方向移動，而將基板9〇以夾緊裝 置〇固定，故空間移動時及對兩主面劃線時，不會與基板 90滑接’且無力量作用於基板。結果，藉刀輪62a來ς基 板90之内部產生垂直裂痕時，沒有因刀輪仏而衍生不必 45 1342261 要裂痕之虞。（以上’係巾請專利範圍第5項之作用） 再者，第1基板支擇單元21A，係具備用來支樓基板 9士0的確動皮帶21e。因此，確動皮帶2U往γ轴方向移動 牯，不會與基板90滑接且無力量作用於基板。因此，刀輪 62a於基板90之内部產生垂直裂痕時沒有因刀輪仏而 衍生不必要裂痕之虞。（以上’係申請專利範圍第6項之作 用） 又，第1基板支擇單元244A，亦可具有複數個滾子。 在此情形下，能更確實地支撐基板9〇β (以上，係申請專利 犯圍第7項）°例如，使複數個滾子藉離合器116旋轉。離 合器丨1 6 ’係使複數個滾子隨著劃線裝置引導體242之移動 而方疋轉。離合器116，亦可隨著空間之移動選擇複數個滾子 之旋轉方向或停止旋轉。在此情形下，因解開夾緊裝置Μ 所產生之基板90之固定，故能將基板支撐裝置2〇亦利用 於基板90之搬送。（以上，係申請專利範圍第8項之作用） 又，離合器單元1 10，係用來使複數個滾子隨著劃線裝 置引導體30之移動而旋轉。例如，由於實施旋轉之控制， 使複數個滚子外周之周速與往γ轴方向之劃線裝置引導體 3〇之移動速度一致，故複數個滾子往γ軸方向移動時，不 會與基板90滑接，且無力量作用於基板。因此，刀輪62这 於基板90之内部產生垂直裂痕時，沒有因刀輪62a而衍生 不必要裂痕之虞。（以上，係申請專利範圍第9項之作用） 又，若第1基板支撐單元21A為確動皮帶21e，則相較 於滚子’能以面來支撐基板面。因此，能安定地支撐基板。 46 1342261 (以上’係申請專利範圍第1 〇項之作用） 4 又，如上所述’即便第1基板支撐單元21Α為確動皮 帶2le，離合器116，亦能使複數條皮帶隨著劃線裝置引導 體30之移動而繞行移動。在此情形下，皮帶2 u能因離合 · 器116而能隨著空間之移動選擇皮帶21e之繞行移動方向或 ， 停止繞行移動。因此，因解開夾緊裝置5〇所產生之基板 之固定，故亦能將基板支撐裝置20利用於基板之搬送。（以 上，係申請專利範圍第1 1項之作用）。離合器單元11〇，係 藉馬達使複數條皮帶隨著劃線裝置引導體3〇之移動而繞行 _ 移動。如此-纟’因實施繞行移動之控制，使複數條皮帶 2le之繞行移動速度與往γ軸方向之劃線裝置引導體3〇之 移動速度一致，故在複數條皮帶21e往γ軸方向移動時， 不會與基板90滑接，亦無力量作用於基板。因此，藉刀輪 心來於基板之内部產生垂直裂;展時，沒有因刀請心 生不必要裂痕之虞。（以上，係申請專利範圍第12項之作用） 以上’已說明第1基板支樓部2〇A之構成及機能。又， 第2基板支撑部20B，亦可具有與第i基板支撑部⑽@ 肇 樣之構成及機能。（以上，係申請專利範圍第丨4項至第幻 項之作用） ' 如圖1所示’於架台1〇之基板搬出側之上方、且於第 2基板支樓部湖之基板搬出側、基板搬出裝置Μ之基板♦ 搬入側配置有蒸氣單元部16〇,該蒸氣單元部⑽用來二劃-線加工後未完全分割之貼合母基板9()成為完全分割之狀 47 1342261 4氣單元部160之上側蒸氣單元安裝桿丨62及下侧蒸 氣單元安裝桿1 63是沿X方向（與框架】1 a及框架丨丨B正交） 安裝於框架1 1A侧之支柱1 64及框架1 1 B側之支柱1 64， <·玄上側蒸氣單元安裝桿162用來安裝用以對貼合母基板9〇 之上侧之母基板喷蒸氣的複數個蒸氣單元161，該下側蒸氣 單元女4 干1 63用來安裝用以對貼合母基板9〇之下側之母 基板噴蒸氣的複數個蒸氣單元i 6 i。 框架1 1 A及1 1B側之各支柱164，能藉線性馬達沿分 別設於架台10上面的導軌丨3滑動。在此情形下之線性馬 達，係於架台10上面分別所設之線性馬達之定子12内， 插入分別安裝於蒸氣單元部1 60的線性馬達之活動構件（未 圖示）而構成。 圖1 〇，係從基板搬入側看蒸氣單元部〗6()時之要部前 視圖。6個瘵氣單元丨6丨安裝於上側蒸氣單元安裝桿丨62 ’ 6個蒸氣單元丨61與上側之6個蒸氣單元16丨相隔間隙ga 而安裝於下側蒸氣單元安裝桿i 63。又，當蒸氣單元部【6〇 彺基板搬入側移動時，間隙GA係調整為能使貼合母基板 90通過該間隙GA。 圖1卜係顯不蒸氣單元161之構造的局部側面截面圖。 蒸氣單元161，大致全體由鋁材質構成，垂直方向埋有複數 支加熱器】61a。若以自動操作開閉之開閉閥（未圖示）打開， 水便從水供給口 161b流入蒸氣單元i6i内並被加熱器 1 6 1 a加熱’所供給之水氣化而成$蒸氣。該蒸氣通過導通 孔1 6 1 c自噴出口丨6丨d往母基板之正面喷。因向刻有劃線之 48 1342261 基板90之正反面嘴蒸氣，故經加熱之水分能往各劃線之垂 直裂痕之内部渗透’垂直裂痕因引起膨脹的力量而分別伸 展，而分割基板。（以上，係申請專利範圍帛23項之作用） 又於上側蒸氣單元安裝桿1 62之搬出側具有基板附 著物除去裝置700(氣刀7〇〇)、1〇〇〇、丨5〇〇 2〇〇〇之任一個， 該基板附著物除去裝置係喷蒸氣在貼合母基板9〇上面後， 用來除去歹！留於貼合母基板90正面之水分。因設有用來使 基板之正反面乾燥的基板附著物除去裝置700 (1〇〇〇、 1500、2000) ’故能將在噴蒸氣於基板之正反面基板分割 後之基板之正反面之水分完全除去。因此，不必於下一製 程之裝置設置特別的水相關之機構。（以上，係申請專利範 圍第24項之作用） 基板附著物除去裝置7〇〇、1〇〇〇、1500及2000將詳述 於後。 又’於下側蒸氣單元安裝桿1 63，設置與安裝於上側蒸 氣單元安裝桿162之裝置同樣的蒸氣單元丨61及基板附著 物除去裝置700(氣刀7〇〇)。 於第丨基板支撐部20A載置貼合母基板90，將貼合母 基板90定位時，便將定位之貼合母基板9〇以夾緊裝置5〇 保持’並且以各第1基板支撐單元21A之各確動皮帶21e 來支撐。 在此狀態’首先，第1基板支撐部20A及第2基板支 撐部20B之4個離合器單元1丨〇之離合器116與驅動軸I〕〗 結合後’藉設於劃線裝置引導體3〇之上部基板分割裝置6〇 1342261 及下部基板分割裝置70開始分割貼合母基板9〇，隨著劃線 裝置引導體3G往基板搬人側移動過去，第丨基板支携部說 往基板搬入側滑動，再者’帛2基板支樓部2〇b往基板搬 入側滑動。劃線裝置引導體3〇往基板搬入側移動中1第^ 基板支樓# 20A之帛1基板支樓單& 21八之確動皮帶… 及第2基板支撐部2〇B之第2基板支撐單元2ib之確動皮 帶2U，係以與劃線裝置引導體30之移動速度相同之速度 繞行移動，使貼合母基板9〇往基板搬出方向移動，分割途 中之貼合母基板90則成為被第i基板支撐部2〇A之第ι基 板支撐單元21A之確動皮帶2ie及第2基板支撐部2〇b之 第2基板支撐單元21B之確動皮帶21e支撐的狀態。 然而，劃線裝置引導體30之移動中，第1基板支撐部 20A之第1基板支撐單元21A之確動皮帶2卜及第2基板 支撐部20B之第2基板支撐單元21B之確動皮帶21e，係欲 以與劃線裝置引導體30之移動速度相同之速度使貼合玻璃 基板90往劃線裝置引導體3〇之移動方向之相反方向移 動，故實際上，貼合母基板90被夹緊裝置5〇保持著不移 動’且被支撐成貼合母基板90、與第1基板支撐部2〇a之 第1基板支撐單元21A之確動皮帶21e及第2基板支撐部 20B之第2基板支撐單元21B之確動皮帶21e不滑接。 在貼合母基板90分割完成的狀態下，藉第2基板支撐 部20B之全部第2基板支撐單元21B之各確動皮帶21e來 支撐貼合母基板90。 在貼合母基板90被各第2基板支撐單元21B之各確動 50 1342261 皮π 21 e支撐的狀態下，將蒸氣單元部1 6〇往基板搬入側移 , 動’對刻有劃線的貼合母基板9〇之正反面全體噴蒸氣，藉 熱應力來使垂直裂痕延伸，以將貼合母基板90完全分割， 並且在噴蒸氧後，將留在貼合母基板正反面的水分以基 ， 板附著物除去裝置700除去。 . 然後，將第2基板支撐部20B之全部第2基板支撐單 元21B之確動皮帶216上之自貼合基板9〇分割出之全部顯 不面板（經分割之基板93)，以基板搬出裝置8〇之搬出用機 器人140或搬出用機器人5〇〇搬出，故基板％(端材）受支 籲 撐。 又，基板搬出裝置80及蒸氣單元部16〇往基板搬出側 之端部移動。 然後，使劃線裝置引導體30、第2基板支撐部2〇B及 第丨基板支撐部20A往基板搬出侧滑動。此時，第1基板 支樓單元21A之確動皮帶21e及第2基板支撐部2〇b之第 2基板支撐單元21B之確動皮帶2丨e，係以能使貼合玻璃基 板90以與劃線裝置引導體3〇之移動速度相同之速度往基 擊 板搬入方向移動之方式繞行移動。 因此’第1基板支撐單元21A之確動皮帶2ie及第2 基板支稽部20B之第2基板支樓單元21B之確動皮帶2ie， 係從基板93之下面，以不滑接之方式依序成為非接觸狀 態’而依序解除各確動皮帶21e對基板93之支揮，又，解 開爽緊裝置50對基板93(端材）之保持，基板93(端材）便往 下方落下。在此情形下，往下方落下的基板93(端材及玻璃 51 1342261 屑·）’會被以傾斜狀態配置而成之導板所引導，並收容至破 璃屑收容盒内。 —對劃線裝置60、70及劃線裝置引導體3〇 如上所述 往Y轴方向移動時，基板支撐裝置2G是以不與基板9〇滑 接、沒有對基板90施加力量之方式來支撐基板9〇。因此， 刀輪仏於基板之内部產生垂直裂痕時，沒有因刀輪62a 而衍生不必要裂痕之虞。（以上，係申請專利範圍第3項之 作用） 於架台1G設有將被第i基板支撑部撤支樓之貼合母 · 基板90加以定位的定位裝置（未圖示）。定位裝置例如將 ，數個定位銷（未圖示）分別沿主架U之框架11B及沿該框 架11BI正交方向以相隔一定間隔之方式來設置。又，對 於沿框架配置而成之定位銷，設置用繼貼合母基 板90之面向各定位銷之側緣的推件（未圖示），並且對於沿 框架ΠΒ之正交方向配置而成之定位銷設置用來壓緊貼 合母基板90之對向側緣的推件（未圖示）。 又例如右將於搬送至本發明之基板分割系統前實施鲁 貼合母基板90定位的定位裝置另行設置於本基板分割系統 外，則此省略本基板分割系統内之定位裝.置。 又，本基板分割系統内之定位裝置，並不限定於上述 之定位銷及推件，只要是用來使貼合母基板9〇在基板分割 系統内之位置保持一定的裝置即可。 再者’於架台10之上方，設有被第1基板支擇部2〇A 所支撐、用來失緊被各定位銷壓緊而定位之貼合母基板9〇 52 1342261 的夾緊裝置50。例如，夹緊裝置5〇，係如圖2所示，具有 於主架11之框架㈣沿長邊方向以一定間隔安裝而成用 以夾緊經定位之貼合母基板9〇之沿該框架之側緣部的 複數之夾緊具51 ;以及沿各主架u之正交方向以—定間隔 配置而成、用以夾緊經定位之貼合母基板9〇之基板搬入側 之側緣部的複數個夹緊具5 1。 圖12及圖13,係顯示設於主架Η之框架UB的複數 個夾緊具51並說明其動作的立體圖。各夾緊具$丨，係均有 同樣之構成，具有安裝於主架u之框架Ub的套管$卜以 及分別於該套f 51a安裝成能自垂直狀態旋動至水平狀離 的上下-對旋動臂部51be各旋動f部川，係能以各臂； 之一端部為中心旋動’作為旋動中心之端部彼此是處於互 相靠近的狀態。如圖12所示’位於上側的旋動臂部川之 前端部在垂直狀態位於旋動中心之上方，位於下側的旋動 臂部51b之前端部則在垂直狀態位於旋動中心之下方。又， 各旋動臂部51b分別往貼合母基板9〇側旋動，各：動 臂5 1 b便成為分別互相對向的水平狀態。 於各旋動臂部51b之前端部分別安裝有用來分 於貼合母基板90上面及下面的失緊部仏。各失緊部- 係分別由彈性體構成。又，各旋動臂#川分別、成° ^ 地自垂直狀態旋動至水平狀態，並 ”、、體 古业能 目水+狀態旋動至垂 直又，如圖13所示，若各旋動臂部川旋動至水平 狀L，貼合母基板9〇便被分別安裝於各旋動臂部 部的失緊部51c所夾緊。 穴端 53 1342261 架11之框架1IB之正交方向配置成之各夹緊具51 :均具有同樣之構成’該等夾緊具51亦成一體地被驅動。 口母基板90之互相正交之各側緣部分別處於被複數個 央緊具5〗夾緊的狀態時，全部夹緊具51便沒入下方將 貼合母基板90以第i基板支撑部取之確動皮帶仏支標。 又上述的夾緊裝置5〇之配置，係已說明將用來保持 貼合母基板90的夾緊裝置5〇設置於主架11之框架nB及

設置於框架UB之正交方向之基板搬入側的情形，即使將 夾緊裝置50僅設置於框架11B，貼合母基板9〇仍能以不使 基板損傷之方式保持。 上述之夹緊裝置50及夾緊具51〇構成，係用於本發明 之基板分割系統的一例，並且不限定於此。亦即，只要是 旎握持或保持貼合母基板9〇側緣部的構成即可。又，例如 在基板尺寸小的場合，夾緊基板之側緣部之1處，便能保 持基板’以基板不產生不良之方式分割基板。 於劃線裝置引導體3 0之上側導軌3 1，如圖8所示安裝 有上部基板分割裝置60，又，於下側導軌32，如圖4所示 安裝有具與上部基板分割裝置6〇同樣之構成、處於上下對 調之狀態的下部基板分割裝置7〇。上部基板分割裝置6〇及 下部基板分割裝置70，係如前所述，分別藉線性馬達能沿 上側導軌3 1及下側導軌32滑動。 例如，於上部基板分割裝置6〇及下部基板分割裝置 ，將用來對貼合母基板9〇之上部玻璃基板劃線的刀輪 62a ’以能旋轉自如之方式安裝於刀片座62b，再者，刀片 54 1342261 座62b則安裝於刀頭62c，並能以被失緊裝置5〇保持之貼 合母基板90之正面之垂直方向為軸旋轉自如。又， 62c ’係藉未圖示之驅動機構能沿貼合母基板9〇之正面之垂 直方向移動自如。又，能藉未圖示之彈壓機構對刀輪 適當施加荷重。 保持於刀片座62b之刀輪62a，例如日本之特開平9 _ 188534號公報所揭示，係於寬度方向之中央部具有如鈍角 V字狀般突出的刃尖，於該刃尖有既定高度之突起往圓周方 向以既定之間距形成。 設於下側導軌32之下部基板分割裝置7〇，係具有與上 部基板分割裝置60同樣之構成，在上下反轉上部基板分割 裝置60的狀態下，該刀輪62a(參照圖4)配置成與上部基板 分割裝置60之刀輪62a相對向。 上部基板分割裝置6〇之刀輪62a，係藉上述之彈壓機 構及刀頭62c之移動機構，被壓接於貼合母基板9〇之正面， 下部基板分割裝置70之刀輪62a亦藉上述之彈壓機構及刀 頭62c之移動機構，被壓接於貼合母基板9〇之反面。又’ 使上部基板分割裝置6〇及下部基板分割裝置同時往同 —方向移動’而分割貼合母基板9〇。 如上所述，帛1基板支標部24 1 A，係具有沿劃線裝置 引導體242之移動方向平行移動的複數個第1基板支撑單 元244A。\，複數個^基板支撲單元244a，係能隨著劃 線裝置力導體242之移動與劃線裝置引導冑242 -起移 動1此’由於在_裝置引㈣242與第】基板支樓單 55 1342261 元244A之間設置空間’使該空間往Y軸方向移動，而將基 板90以夾緊裝置25 1固定，故空間移動時及對兩主面劃線 時，不會與基板90滑接’且無力量作用於基板。結果，藉 刀輪62a來於基板90之内部產生垂直裂痕時，沒有因刀輪 62a而衍生不必要裂痕之虞。（以上，係申請專利範圍第5 項之作用） 再者’第1基板支樓單元244A，係具備用來支樓基板 90的確動皮帶。因此’確動皮帶往γ轴方向移動時，不合 與基板90滑接且沒有力量作用於基板。因此，刀輪62a於 基板90之内部產生垂直裂痕時，沒有因刀輪623而衍生不 必要裂痕之虞。（以上’係申請專利範圍第6項之作用） 又’第1基板支揮單元244A ’亦可具有複數個滾子。 在此情形下’能更確實地支撐基板90。（以上，係申請專利 範圍第7項）。例如，使複數個滾子藉離合器丨16而旋轉。 離合器，係用來使複數個滾子隨著劃線裝置引導體242之 移動而旋轉。離合器1丨6,亦可隨著空間之移動選擇複數個 滾子之旋轉方向或停止旋轉。在此情形下，因解開夾緊裝 置251所產生之基板90之固定，故能將基板支撐裝置（第^ 基板支撐部241A及第2基板支撐部241B)亦利用於基板9〇 之搬送。（以上，係申請專利範圍第8項之作用） 又，離合器單70 11 0，係用來使複數個滾子隨著劃線裝 置引導體242之移動而旋轉。例如，由於實施旋轉之控制， 使複數個料之外周之周速與往γ Μ向之劃線裝置引導 體之移動速度-致，故複數個滚子往Υ轴方向移動時，不 56 1342261 會與基板90滑接’且無力量作用於基板。因此，刀輪62a 於基板90之内部產生垂直裂痕時，沒有因刀輪62a而衍生 不必要裂痕之虞。（以上，係申請專利範圍第9項之作用） 又’若第1基板支撐單元244A為確動皮帶，則相較於 滚子，能以面來支樓基板面。因此，能安定地支稽·基板。（以 上，係申請專利範圍第1 0項之作用） 又，如上所述’即使第1基板支撐單元244 A為確動皮 帶，離合器1 1 6，亦能使複數條皮帶隨著劃線裝置引導體 244之移動而繞行移動。在此情形下，皮帶21e能藉離合器 1 16而隨著空間之移動選擇皮帶之繞行移動方向或停止繞 行移動。因此’因解開夾緊裝置251所產生之基板9〇之固 定’故亦能將基板支撐裝置2〇利用於基板之搬送。（以上， 係申請專利範圍第丨1項之作用）離合器單元1 1〇，係藉馬達 使複數條皮帶隨著劃線裝置引導體244之移動而繞9行移 動。如此-來，因實施繞行移動之控制，使複數條皮帶之 繞仃移動速度與往Y軸方向之劃線裝置引導體242之移動 速度-致，故在複數條皮帶往γ軸方向移動時，不會與基 板90滑接，亦無力量作用 η 里作用於基板。因此’藉刀輪62a來於 基板之内部產生垂亩纠.庙n± i ”之h 有因刀輪心而衍生不必要 虞。(以上，係甲請專利範圍第丨2項之作用） 第基板支撐部24lA之構成及機能。又， 相同之構成及機能。（以上 241Α 2!項之作用） 上係、申靖專利範圍第14項至第 57 1342261 5玄刀輪62a ’較佳係以能旋轉自如之方式藉 W003/01 1 777所揭示之使用伺服馬達的刀頭65支撐。 使用伺服馬達的刀頭6 5之一例如圖14所示，圖丨4係 顯示刀頭65之側視圖，圖1 5顯示該刀頭主要部之前視圖。 於一對側壁65a間保持著倒立狀態之伺服馬達65b ’於該側 壁65 a之下部，透過支轴65d將側視呈L字狀之刀片座用 保持具65 c設置成能旋動自如。於該刀片座用保持具65 c 之前方（圖15中之右邊）透過軸65 e安裝著用來將刀輪62a 支樓成能旋轉自如的刀片座62b。於伺服馬達65b之旋轉轴 及支軸65d裝設有互相嚙合之斜齒輪65f。因此，由於伺服 馬達65b之正反旋轉，刀片座用保持具65c便以支軸65d 為支點進行俯仰動作，刀輪62a上下運動。該刀頭65本身， 係设於上部基板分割裝置6〇及下部基板分割裝置。 圖16，係顯示使用伺服馬達之刀頭之另一例的前視 圖，其中伺服馬達65b之旋轉轴直接連結於刀片座用保持 具65c。圖14及圖16之刀頭，係使伺服馬達藉位置控制而 旋轉，來使刀輪62a升降進行定位。該等刀頭，係在劃線（係 指使刀頭往水平方向移動來於貼合母基板9〇形成劃線）動 作中，當由伺服馬達65b預先設定之刀輪62a之位置偏移 時，能限制用來使偏移之位置回到設定位置的旋轉力矩， 並將對脆性材料基板之劃線壓傳遞給刀輪62a。亦即，伺服 馬達65b，係用來控制刀輪62a之鉛垂方向之位置，並且為 一種刀輪62a之彈壓機構。 由於使用具有上述伺服馬達之刀頭，故在對貼合母基 58 1342261 板90劃線時’將因應刀輪—所受阻力之變動所引起之劃 線壓之變化，立刻修正伺服馬達之旋轉力矩，因此，能實 施安定的劃線，而能形成品質佳的劃線。再者，使用伺服 馬達將刀輪62a之緊壓力傳遞給基板9〇，故將緊壓力傳遞 給基板90的反應性變佳，而能於劃線加工中改變刀輪62a · 對基板90之緊壓力（劃'線荷重）。（以上，係申請專利範圍第 22項之作用） 又，具備緊壓力改變機構的刀頭亦有效適用於本發明 之基板分割系統之母基板之分割。該緊壓力改變機構，係 馨 讓用來對貼合母基板90劃線之鑽石刀、刀輪等劃線刀產生 振動，來使劃線刀對貼合母基板9〇之緊壓力產生周期性變 化。 又，上部基板分割裝置6〇及下部基板分割裝置7〇並 不限於上述之構成《亦即，只要是具有能加工基板之正反 面來分割基板之構成的裝置即可。 例如，上部基板分割裝置6〇及下部基板分割裝置7〇 亦可以疋使用雷射光、小塊切割鑛（dicing saw)、切割蘇 (cutting saw)、載斷用刀刃、鑽石刀等來分割基板的裝置。 若母基板為鋼板等金屬基板、木板、塑膠基板，以及 為陶瓷基板、玻璃基板、半導體基板等脆性材料基板，則 利用例如使用雷射光、小塊切割鋸、切割鋸、载斷用刀刃、 鑽石刀等來分割母基板的基板分割裝置。 再者’在分割將一對母基板貼合成之貼合母基板、組 合不同母基板並貼合成之貼合母基板、組合複數個母基板 59 1342261 彼此並積層而成的基板這樣的情形下，亦使用與上述分割 母基板之裝置同樣的基板分割裝置。 例如，因將脆性材料基板貼合而成之FpD所用的貼合 母基板是以接著劑等貼合而成’故母貼合基板9〇有彎曲、 起伏β本發明之基板分割系統1，係能以施加於對向之兩刀 輪62a的荷重取得平衡之方式使各刀輪62a跟隨基板90之 起伏、彎曲，對基板劃線’故能有效適用於母貼合基板9〇 之分割。（以上’係申請專利範圍第48項之作用） 又，上部基板分割裝置6〇及下部基板分割裝置7〇亦 可具備用來輔助基板分割的分割輔助機構。分割輔助機 構’例如有用來使滾子等緊壓於基板之機構、使壓縮空氣 向基板喷射之機構、及將雷射照射於基板或將熱風等喷向 基板以加溫（加熱）基板的機構。 再者，上述之說明中，已說明上部基板分割裝置6〇及 下部基板分割裝置70為具有同一構成之情形，但該等裝置 根據基板之分割模式或基板之分割條件亦可為具有不同構 成之裝置。 有關具有這種構成之基板分割系統之動作，主要以分 割大尺寸玻璃板貼合而成之貼合基板的情形為例加以說 明。 將大尺寸玻璃基板互相貼合而成之貼合母基板9〇分史J 為複數個面板基板90a(參照圖1 8)時，首先，如圖1 7所示， 將貼合母基板90自基板搬入側之端部藉搬送用機器人等搬 入本基板分割系統’並將貼合母基板90以水平狀態栽置於 第1基板支撐部20A之全部第1基板支撐單元21A之各確 動皮帶2 le。當處於這種狀態時，貼合母基板9〇，便被未圓 示之推件緊壓成抵接於沿主架11之框架nB配置成之未圖 示定位銷，並且被未圖示之推件緊壓成抵接於沿該框架πβ · 之正交方向配置成之未圖示定位銷。藉此，將貼合母基板 ^ 90定位於基板分割系統之架台1 〇内既定之位置。 然後，圖17所示之貼合母基板9〇，其沿主架u之框 架I 1B的側緣部分別被夾緊裝置5〇之各夾緊具51所夹緊， 並且位於基板搬入側的貼合母基板9〇側緣部被於基板搬入 · 側配置成與框架11正交之各夾緊具51所夾緊。 當貼合母基板90之互相正交之各側緣部分別被失緊裝 置50夾緊時，夾緊著貼合母基板9〇之侧緣部的各夹緊具 51便由於貼合母基板9〇之本身重量大致同時下沈，故貼: 母基板90將被全部第1基板支撐單元21 a之確動皮帶2u 輔助地支樓。 當處於這種狀態時，第1基板支撐部20A及第2基板 支撐部20B之4個離合器單元11〇之離合器ιΐ6便與驅動籲 軸122結合，然後，使劃線裝置引導體扣往基板搬入側滑 動’以到達被夾緊裝置5〇夾緊成水平狀態之貼合母基板9〇 妾近的側緣上之既定位置。又，使設於劃線裝置引導 Q之第1光學裝置38及第2光學裝置39分別從各自的 :機位置沿劃線裝置引導體30移動，以拍攝分別設於貼合 基板90之帛1對準標記及帛2對準標記。

因劃線裝置引導體3〇滑動，故第1基板支撐部20 A 61 1342261 往基板搬入側滑動，第2基板支撐部2〇B往基板搬入側滑 · 動，並且第1基板支撐部20A之第！基板支撐單元21八之 確動皮帶21e及第2基板支撐部2〇B之第2基板支撐單元 21B之確動皮帶21e以與劃線裝置引導體3〇之移動速度同 . 一之速度使貼合玻璃基板90往劃線裝置引導體3〇之移動 ^

方向之相反方向移動，故貼合母基板9〇，係於夾緊裝置5〇 保持著，貼合母基板90以不會與第！基板支撐部2〇a之第 1基板支撐單元21A之確動皮帶21e及第2基板支撐部20B 之第2基板支撐單元2ib之確動皮帶21e滑接的方式被支 籲 撑。 人’根據第1對準標記及第2對準標記之拍攝結果， 利用未圖示之運算處理裝置經由運算求取被夾緊裝置50以 水平狀悲支撐的貼合母基板9〇之相對劃線裝置引導體3〇 方向的斜度、分割開始位置及分割終了位置，根據該運算 結果，根據貼合母基板90之該斜度使上部基板分割裝置60 及下部基板分割裝置70邊往χ方向移動，邊使劃線裝置引 導體30往Y方向移動來分割貼合母基板90。（將此動作稱籲 為利用線性内插之劃線或分割） 在此清形下，如圖1 8所示，使分別與貼合母基板9〇 之正面及反面對向的刀輪62a，分別壓接於各正面及反面並 轉動’來於貼合母基板9〇之正面及反面形成劃線。 貼β母基板90 ’係例如能沿上側導軌3 1及下側導軌 32之列方向橫跨2列分割為2個面板基板9〇a，為了從貼合 母基板90刀割出4個面板基板9〇a，故沿面板基板9〇a之 62 1342261 =緣，使上部基板分割裝置60之刀輪62a及下部基板分割 . 裝置70之刀輪62a分別壓接並轉動。 在此情形下，藉上部基板分割裝置60之刀輪62a及下 邰基板刀割裝置70之刀輪62a，來於各玻璃基板之各刀輪 ' 62a之轉接部分分別產生垂直裂痕而形成劃線％。而且， ‘ 於各刀輪62a之刀尖之外周稜線分別以既定之間距形成有 犬起部，故將於各玻璃基板沿厚度方向形成玻璃基板之厚 度之約9 0 %長的垂直裂痕。 又，使用具備緊壓力改變機構之刀頭的劃線方法亦有 籲 效適用於本發明之基板分割系統之貼合母基板9〇之分割。 該緊壓力改變機構，係讓用來對貼合母基板9〇劃線之鑽石 刀 '刀輪等劃線刀產生振動，來使劃線刀對貼合母基板9〇 之緊壓力產生周期性變化（振動）。 有關對貼合母基板90之正反面進行劃線的習知方法， 一般如圖1 9所示，沿貼合母基板9〇之短邊方向（縱方向） 上之劃線預定線S1〜S4依序形成劃線後’並沿長邊方向（橫 方向）上之劃線預定線S5至S8依序形成劃線。 _ 真空吸附頭之詳細說明 以下，詳細說明本發明實施形態之真空吸附頭6〇〇(例 如’真空吸附頭14〇q、真空吸附頭540)。 圖20 ’係顯示本實施形態之真空吸附頭600之内部構 造的局部截面圖。圖21，係沿真空吸附頭600之中心轴剖 開之截面圖。圖22，係顯示真空吸附頭600之構成零件之 安裝關係的分解立體圖。 63 1342261 該真空吸附頭600，係由套管部' 吸附部、及彈性支撐 部所構成。 吸附部，係用來真空吸附基板90的吸附墊6〇8、及用 來保持吸附墊608之吸引轴607，該吸引軸6〇7設有用來將 吸附墊608内之空氣排出之排氣孔β套管部，係用來將吸 引軸607之移動範圍，限制並將其保持成能微動。彈性支 樓部’係用來於套管部内將吸引孝由6〇7彈性保持成能往轴 方向及轴方向之斜方向微動。 吸引軸607’係具有以鍔狀設於套管部内大致中間位置 的段差部607a。 套管部，係包含内側具有用來將彈性支撑部保持成能 變形自如之空間的套管602、用來將套管6〇2上端部以留有 第1開口之方式封閉的上套管板603、及用來將套管6〇2下 端部以留有第2開口之方式封閉的下套管板6〇4。 彈性支㈣’係‘包含保持於上套管板603與段差部607a 之間的上彈簧6〇5、及保持於下套管& 604與段差部607a 之間的下彈簧606。 如圖2丨所不’是以真空吸附頭600之中心軸為z軸， 二向為―’以下方向為+。如上所述套管部具備套 二 上套管板6〇3、下套管板604…於套管602内 有上彈„ 605及下彈簧6〇6當作彈性支撐部。套管部， =透過彈性支揮部將吸附部保持成能往z抽方向及自z 部，；之斜方向移動，亦即保持成能模仿自如。又，套管 糸藉内^之彈菁力來修正吸引軸607之姿勢，使該吸 64 1342261 引軸607朝向既定之方向。吸附部，係由吸引軸6Q7 '吸附 塾608、湖滑片6〇9、止動板610、接頭部611所構成。 使用圖20〜圖22來說明套管部。套管6〇2，係下部有 凸緣602a形成為一體的圓筒狀構件，設内徑為D卜設上彈 簧605及下彈簧606之外徑均為D2，設用來使上彈簧 及下彈簧606於套管602之内部能變形自如的間隙為d。在 此情形下，Dl = D2+2d。凸緣部602a ,係用來將套管6〇2 固定於下套管板604，具有足以設置固定用螺絲孔的厚度。 上套官板603，係中央有第1開口，透過上彈簧6〇5及下彈 簧606將吸引軸607保持成能上下動自如時用來將上彈簧 605之上部加以固定，最外徑則與套管6〇2之圓筒部之外徑 相同。上套管板603，係藉螺絲固定於套管6〇2之上端面。 於上套管板603之内側設有環狀突起6〇3a。下套管板6〇4， 係如圖22所示’由2片半圓形板604b所構成，中央有第2 開口，内側設有環狀突起604a。突起603a，係用來限制上 彈簧605之上端位置成為與上套管板603同軸，突起6〇4a , 係用來限制下彈簧606之下端位置成為與下套管板6〇4同 軸。又，上套管板603之中央之第1開口及下套管板6〇4 之中央之第2開口，係以使吸引軸607抵接於開口内側之 方式來限制吸引軸607之傾斜。 其次說明吸附部。吸引軸607，係形成有吸氣孔的中空 車由，邊吸氣孔在真空吸附頭600抵接於吸附對象物時，以 保持吸附墊608之狀態，將吸附墊608内之空氣排出，或 將吸附墊608内之負壓開放。又，吸引軸607之上側端面 65 1342261 安裝有圖22所示的圓形潤滑片609及止動板610。 > 接頭部611亦可為肘型及直型之任一種，在此是圖示 財型接頭。該接頭部611，係如圖2〇所示具有接頭61ia及 螺紋接頭（nipple)6 1 1 b，將螺紋接管6 1 1 b螺合於設在吸引軸 -6〇7之吸氣孔607b之上部的母螺紋、及接頭6Ua之公螺 ， 紋來將接頭6 1 U連接於吸引軸607。 說明彈性支撐部。作為彈性支撐部之上彈簧605及下 彈簧606，係具有同一外徑D2及内徑尺寸的螺旋彈簧。為 了將上彈簧605及下彈簧606保持於圖20或圖2 1所示的 _ 狀S& ’故將吸引軸607作成單獨元件，施加退繞力來使下 彈酱606變形而擴大内徑，並在此狀態下從吸引軸6〇7之 上部插入。若在下彈簧6〇6穿過段差部6〇7a之後放開退繞 力’便能將下彈簧606保持於正規之位置。在此狀態下， 如圖22所不’將切半狀態之下套管板604鎖緊於套管602 之凸緣部602a。上彈簧6〇5則直接從吸引軸6〇7之上部插 入便能保持於正規之位置。其次，在上彈簧6〇5及下彈簧 6〇6受壓縮力（加壓）作用之狀態下，將上套管板6〇3鎖緊固 鲁 定於套管602之上端面。如此一來，能將上彈簧6〇5及下 彈簀606保持於受到加壓之狀態。 又為了固定潤滑片609及止動板610，於吸引轴607 . 之吸氣孔607b螺合上螺紋接管6Ub即可。當各零件設定 於此狀態時，上彈簧605之加壓比下彈簧606之加壓還大。 因此，抵抗上彈簧005之加壓的復原力會作用，使吸引軸 607往+ Z轴方向靠。然而，吸引軸607往+ z軸方向進一 66 1342261 步之移動由於止動板610抵接於上套管板603之上面而受 - 限制。當吸附墊608碰到吸附對象物時，吸引轴6〇7往—z 軸方向移動。 如上所述，吸引軸607能往軸方向及軸方向之斜方向 ， 微動且受彈性支撐，而模仿自如。因此，吸附墊6〇8能模 — 仿基板90之主面，即便基板90有起伏、彎曲等，亦確實 保持基板90。（以上，係申請專利範圍第42項之作用） 再者’吸附墊608在吸附基板90以前、及在解除吸附 基板90時，由於彈簧之復原力而回歸至吸附墊6〇8之吸附 鲁 面大致往正下方之狀態，因此，在吸附墊6〇8吸附基板9〇 時，無弄傷基板90、吸附不良之虞。（以上，係申請專利範 圍第43項之作用）

又，上套管板603及套管602及下套管板6〇4，是由個 別零件構成，但只要作為套管部之構造能保持彈性支撐部 之士形自由度’便並不限定於此構成。又，上彈簧6 及 下彈簧606之組裝方法並不限定於前述之方法。再者，上 彈簧6〇5及下彈簧606之内徑及外徑尺寸並不限於相同尺鳙 寸。又，上彈簧605及下彈簧606之長度、彈簧係數能根 據各種條件做適宜變更。若吸引轴6〇7之吸附墊之安裝部 之外徑小，便可以使段差部6〇7a為界限，將上彈簧6〇5從 吸引袖607之上部插入，並將下彈$ 6〇6自吸引轴6〇7之 下部插入。又，吸引軸6〇7之形狀亦不必限定於圖2〇及圖 21所示之形狀。例如’對具有段差部6〇7a之吸引轴6〇7本 體同時加工的替代方法，是於吸弓丨軸607之筒狀部插入E 67 1342261 環或〇環，於該等環保持上彈寄6〇5 、卜％、下彈簧006 之上端。又，為了限制吸引軸6〇7往+ , ^ 神万向之移動，而 a及螺紋接頭 設有薄板之止動板610，但亦可以於該部分插入ε環或〇 環。又，接頭部611雖使用汎用之接頭611 6 1 1 b ,但亦可以使用具有其他構造的連接用零件。 又，吸附墊之構造按照用途區分有各種構造。在吸附 一般基板、衝壓加工品等之情形下，可以使用圖3ι所示之 吸附塾651。又，在吸附將2片玻璃基板貼合而成之顯示面

板基板的情形下，則使用圖32所示之吸附墊661，以避免 2片玻璃基板間之間隔件集中於某處。再者，以複數處來吸 附大型貼合玻璃基板時，可以使用複數個該吸附塾6 6 I。在 此情形下，以往’各吸附墊之安裝公差及安裝有複數個吸 附墊之吸附頭相對吸附對象物的斜度會造成各吸附墊與吸 附對象物之間產生間隙，所以，當欲以吸附墊之吸附面全 部接觸吸附對象物之方式來進行吸附時，有時會產生用力 緊壓吸附對象物的部分。此時，若吸附對象物例如為脆性

材料基板，便有該對象物破損、液晶顯示面板之2片破瑪 基板間之間隙改變之虞。從此觀點來看，習知真空吸附頭 之將吸附對象物吸附時之吸附墊與吸附對象物之間隙，最 好例如為0.0mm〜0.3mm，但本發明之真空吸附頭則接觸吸 附對象物之後再進行吸附。因本發明之真空吸附頭60〇輕 輕地接觸吸附對象物，往上下方向平順地移動’故吸附墊 之高度不一致亦可。又，用力緊壓亦不破損’能確實地進 行吸附。 68 1342261 使用圖23說明作為該發明其他實施形態之吸附墊6〇8 * 之構造。該吸附塾608由真空吸附墊63 1及裙部墊632構 成。真空吸附些631 ’係將吸附盤633及補強層634以雙面 接著片635a接合而成之多層構造。吸附盤633，係具有周 緣為平坦面之氣密部633a、及形成有許多凹凸部之吸附部 ‘. 633b ° 吸附盤633，係感光性樹脂材所構成之圓盤狀物，中央 部設有開口 633d作為上下方向貫穿之吸引口 636之一部 分。氣密部633a，係感光性樹脂材未被蝕刻之區域。又，鲁 於氣密部633a之内周側形成有環狀槽633e以作為新的凹 部。又，於吸附盤633之中心設有開口 633d。該等槽，係 與開口 633d連通，以作為將凹部存在之空氣排出時之通 路。補強層634，係貼合層，用來使構成吸附盤633之感光 性樹脂材不因外部應力而變形。 裙部墊632’係將板部632a、環狀部632b、及裙部632c 體成形之橡膠成形品。板部632a,係用來透過雙面接著 片635b保持真空吸附墊631的圓盤狀保持構件’其直徑比 _ 真空吸附墊63 1之外徑充分大。於該板部632a之中心亦設 有開口，該開口是與真空吸附墊631之開口連通而成為吸 引 636環狀部632b，係以既定之間隙包圍真空吸附势 . 6 3 1之方式、以厚壁環狀形成於板部6 3 2 a之外緣部分，且 真空吸附墊631形成比環狀部632b更往下突出。環狀部 632b之下面，係形成比真空吸附墊63丨之下面還高之物。 裙4 632c是以環狀部632b為根部、往面向脆性材料基板的 69 ^42261 方向以圓錐狀展開之薄壁環狀橡膠構件。 . 裙。卩墊632，係用來在將吸附對象物吸附時，擴大吸附 4周邊之排氣空間，增加真空吸附墊63 1與吸附對象物之 可吸附間隔。裙部632c，係壁厚薄，故在吸附墊6〇8接近 ·’ 吸附對象物時，外周部抵接而彈性變形。因此，裙部塾632 ， 之裙邛632c，係利用與吸附對象物之接觸來發揮遮斷來自 外界之空氣的流入這樣的密閉機能。 狹縫632d，係設於環狀部632b之缺口，用來使空氣於 裙部外部與裙部内部之間心爲。該狹縫6似，係例如可對 φ 成形後之裙部墊632於側方之一部分做出缺口來實現。狹 縫632d ’主要是裙部632c接觸於吸附對象物、真空吸附墊 接觸於吸附對象物為止，能維持内部之空間於負壓狀 L且不妨礙真空吸附墊63 1吸附吸附對象物之大小的貫 通孔即可。 圖23所不之吸附墊6〇8，由於附加有裙部故相較於 圖32所不之習知例2之吸附墊’有接觸面積寬廣，易模仿 吸附對象物之脆性材料基板之正面之傾斜、起伏的功效。籲 因此，本案之真空吸附塾更容易模仿脆性材料基板之正面 之傾斜、起伏而傾斜，故能在即將吸附脆性材料基板前， 早期且安定地使吸附盤633之周邊為負壓。 . 又，圖20〜圖22，係顯示安裝圖23所示吸附墊6〇8 2吸附塾的例’亦可視吸附對象物之素材、構造、形狀 女凌圖3 1或圖32所示之吸附墊。例如在一般基板、衝壓 加工品之場合’亦可使用圖31之吸附墊651。又，在像液 70 1342261 晶顯示面板般之貼合玻璃基板、貼合塑膠基板之場合，為 了避免2片基板間之間隙改變，最好使用圖32之吸附塾 661° 說明使用有以上構成之真空吸附頭600來吸附大型吸 附對象物並搬送的場合之動作。圖24，係顯示安裝有複數 個真空吸附頭600之搬送用機器人640之一例的概觀圖。 於夾持式載台641按吸附對象物之大小固定複數個角鋼 642a、642b ' 642c、642d。又，於各角鋼642按吸附對象物 之大小將複數個真空吸附頭600安裝成1列。又，若載置 於未圖示之工作台的吸附對象物之正面有起伏，吸附墊608 亦能模仿自如地移動’故不需要習知例所述般之決定高度 之機構、吸附頭之個別高度調節，吸附頭之安裝調整作業 變仔容易。圖26 ’係顯示以安裝有複數個真空吸附頭600 之搬送機器人640來吸附有段差之吸附對象物之一例的概 略圖。如圖26所示，若為在吸附面有小段差（〇ffset)的吸附 對象物’吸附墊亦按照吸附對象物之正面形狀上下移動來 模仿吸附對象物之正面’故能確實進行吸附。又，若吸附 對象物小，僅於搬送用機器人640設置1個真空吸附頭600 即可。 圖25 ’係顯示以複數個吸附塾608吸附大型吸附對象 物並舉起時大型吸附對象物產生起伏之場合之吸附墊608 之姿勢變化的示意圊。圖25A，係顯示吸附前之真空吸附頭 600之狀態的戴面圖。如前所述，顯示吸附墊608由於上彈 菁605之彈力而下降至最下端的狀態。在此狀態下，圖24 71 1342261 所示全部之真空吸附頭600之吸附墊6〇8之高度在z軸方向 —致，吸附墊608之斜度亦由於真空吸附裝置内之彈簧而 成為大致一致的狀態。 其次，全部之真空吸附頭6〇〇靠近載置於未圖示之工 作台的吸附對象物，各吸附墊608密接於吸附對象物。若 真空吸附頭600之下降量大，如圖mb所示，各吸附墊608 便往一z軸方向大幅移動。即便吸附對象物有大的起伏或 吸附對象物之正面稍傾斜，吸引轴6〇7仍能模仿自如地移 動來對應’各吸附墊則保持所希望之吸附力。 其次’考慮將吸附對象物自工作台拉起並搬送至別的 %所的場合。當吸附、搬送大型吸附對象物時，途中，吸 附對象物可能因本身重量而彎曲。尤其，大型吸附對象物 主要在中央部被吸附墊保持時，吸附對象物之外周部易於 往下方彎曲。在此情形下，外周部分之吸附對象物之正面 之法線遠離真空吸附頭600之z轴方向。 若使用圖32所示之無擺頭機能之吸附墊66 1，則當吸 附盤662密接於吸附對象物之正面後，吸附對象物之一部 分之正面傾斜時，吸附盤662與吸附對象物之正面之平行 度便改變，吸附盤662之真空不被保持。然而，若使用本 實施形態之真空吸附頭600，則因吸附盤662模仿自如，故 配置於外側之吸附盤662能自由地模仿吸附對象物之正面 之斜度’因而保持吸附盤662之吸附力。 又’本實施形態之真空吸附頭，係在吸附吸附對象物 削、及吸附完成並放開吸附對象物後，不會如習知例之吸 1342261 附墊般保持傾斜的狀態’而是吸附墊之姿勢由於吸附頭内 部之彈簧之復原力而回歸至吸附面大致正下方的狀態。因 此，下次吸附吸附對象物時，不會弄傷吸附對象物，或引 起吸附不良。 若使用圖23所示之吸附墊608，則吸附盤633密接於 吸附對象物之正面時’裙部632c成為不影響吸附力之狀 態。在此狀態下’當吸附對象物之一部分之正面傾斜時， 吸附盤633與吸附對象物之正面之平行度便改變，將不保 持吸附盤633之真空。然而，若使用本實施形態之真空吸 附頭600，則即便被彈性支撐構件支撐之吸引軸6〇7、吸附 對象物之正面局部傾斜，仍能容易模仿吸附對象物之正面 之斜度’故能將吸附對象物牢固地保持。圖25C，係顯示此 狀態。亦即’吸附盤633本身跟隨吸附對象物之彎曲來傾 斜，又，吸引軸607之容許傾斜角，係由吸引軸6〇7之外 輕、以及上套管板603及下套管板604之内徑來決定。吸 弓丨軸6〇7之傾斜彈力’係視上彈簧605及下彈簧606之彎 曲應力或偏心荷重而定’故比軸方向之伸長或壓縮力小。 此結果意指吸附墊608對於吸附面之傾斜能具彈性地對 應。又，本實施形態之真空吸附頭6〇〇，係吸附完成並放開 吸附對象物後，不會如習知例之吸附墊般保持傾斜的狀 態’而是吸附墊之姿勢由於吸附頭内部之彈簧力而回歸至 吸附面往大致正下方的狀態。因此，下次吸附吸附對象物 時’不會弄傷吸附對象物，或引起吸附不良。 又’本實施形態之真空吸附頭600，係吸引軸607能往 73 1342261 軸方向移動自如，亦能做擺頭動作，且藉吸附頭内部之彈 - 簧力使吸附墊之姿勢自頭擺動後之狀態回歸至朝向既定方 向的狀態。因此，在習知真空吸附裝置不適用的吸附墊亦 能按吸附對象物之性質來使用。尤其能適當利用圖3 2所示 之吸附墊661。 ， 其次’將本發明之吸附頭600以吸附盤向上的狀態以 格子狀配置於載台上，並就用來支撐吸附對象物的載台丨〇〇 加以說明。在此，吸附對象物，係以母貼合基板120為例。 圖27，係該載台！ 〇〇之實施例之前視圖，圖28為側視圖。鲁 載台1 00 ’係於作為基部之基座板1 〇 1上以格子狀既定 間隔配置有複數個以吸附盤向上的真空吸附頭6〇〇。於真空 吸附頭之吸附部安裝有圓盤狀吸附墊1 〇3，吸附墊1 〇3，係 中央部設有上下方向貫通之排氣孔丨〇4，吸附面沒有凹凸。 吸附塾1 〇 3 ’係由樹脂材構成’例如使用作為工程塑膠的 PEEK材料。排氣孔1〇4，係連接於未圖示的泵浦，用來適 當地噴出壓縮空氣或抽真空。 再者，載台1 0 1具有基準銷1 〇2及推件1 〇5，該基準銷 _ 1〇2 ’係垂直於基座板1〇1，且沿基座板ι〇1之X及γ方向 之—端面分別有複數個以既定間隔排成一列，該推件丨〇5 , 係有複數個’用來在將載置於吸附墊1 〇3之母貼合基板丨2〇 定位時，使母貼合基板120抵接於基準銷1〇2。於推件1〇5 之穴端部’透過軸承安裝有用來抵接於母貼合基板〖2〇之 端面的滚子106。基準銷1 〇2 ’係亦可具有與滾子丨〇6同樣 之物。 74 1342261 圖29，係用來說明使用載台丨〇〇之定位動作的說明 圖。當母貼合基板120被搬送用機器人載置於載台1〇〇時， 便自各吸附墊103之中央之排氣孔1〇4喷出壓縮空氣，藉 噴出之壓縮空氣使基板120浮起。浮起之母貼合基板12〇, 係藉推件105抵接於X及Y方向之基準銷ι〇2而定位。當 定位完成時，便停止壓縮空氣之喷出，使母貼合基板12〇 下降’再度載置於吸附墊103上。母貼合基板12〇，當載置 於吸附墊103時，便經排氣孔1〇4被未圖示之真空泵浦真 空吸引，而吸引保持於吸附墊103。當母貼合基板ι2〇吸引 保持於吸附墊103時，滾子106便回歸至原來之狀態。 定位動作時自吸附墊1 03喷出的壓縮空氣，係沿圖29 之箭號所示母貼合基板120之正面移動。此時，吸附塾 之正面為無凹凸之平面墊，故壓縮空氣之流動安定而防止 亂流之發生’故母貼合基板120處於不振動、安定浮起的 狀態。 圖3 0 ’係顯示吸附對象物於本實施形態之載台浮起之 狀態的示意圖。以往，基板之定位時，藉壓縮空氣之吹出 來形成母貼合基板120與載台之間隙，使母貼合基板12〇 浮起，不過’因藉喷出空氣使母貼合基板120浮起，故母 貼合基板120產生彎曲、起伏’母貼合基板丨2〇之下面側 之基板局部與載台接觸摩擦’而弄傷下面側之基板正面。 又，母貼合基板120在定位動作中，載台接觸，而產生些 許偏差，故無法進行精度高的定位（對準）。 本發明之真空吸附頭600之吸引軸被彈性支撐成能往 75 轴方向及該軸方向之斜方向微動，因此，於使用真空吸附 頭600的載台100，真空吸附頭600，係在吸引軸607之外 徑、以及上套管板603及下套管板604之内徑所決定之吸 弓丨袖607之傾斜容許範圍内，如圖30所示，由於壓縮空氣 之噴出引起之柏努利效應，真空吸附頭600之吸附墊1 〇3 完全跟隨母貼合基板120之彎曲、起伏。因此，以保持母 貼合基板120與吸附墊103之間之間隔一定之方式移動。 自排氣孔104吹出之壓縮空氣，係能成為往吸附墊1 〇3外 周之層狀流，而維持母貼合基板1 20與吸附整1 〇3之間隙 一定。因此，能防止弄傷母貼合基板120之反面，能維持 安定浮起之狀態。 因如此般以安定狀態進行定位，故母貼合基板12〇，係 不會偏位’而是以高精度安定地定位。當定位完成之母貼 合基板120載置於吸附墊1 〇3時，真空吸附頭6〇〇是模仿 自如’故能根據前述柏努利效應所產生之壓力差模仿母貼 合基板120之正面之斜度，而不會對所載置之母貼合基板 1 2〇施加不要的應力。利用之後之真空泵浦所產生之抽真 空’亦能將母貼合基板1 20確實吸引保持於吸附墊1 〇3。 又’有關本實施形態之使用真空吸附頭的載台1 〇〇，在 將母貼合基板1 20定位前載置時、定位後再載置時、將母 貼合基板1 20吸附前、及完成吸附並放開母貼合基板i 2〇 後的14幾種情況下，不會如習知例之吸附墊般保持傾斜的 狀態，而是由於吸附墊内部之彈簧力而回歸至吸附面大致 往上方的狀態。因此，下次載置母貼合基板丨2〇時不會 1342261 弄傷母貼合基板1 20、發生吸附不良。 載台1〇〇,係根據基板之尺寸至少具有i個真空吸附頭 600即可。若具有複數個真空吸附頭，則如圖2?所示，最 好配置成格子狀。又，於前述之載台進一 4 軌口适步设有定位機構 的定位裝置，係於平面顯示器之製造製程、及半導體素子 之製造製程，非常有效適合當作搬入基板前之預對準裝置。 以上，已詳細說明真空吸附頭。 、 基板附著物险去裝詈之詳細内玄 以下，參照圖式說明本發明實施形態之基板附著物除 去裝置700(氣刀700)。 &本發明中’ 「流體」’係指乾空氣、乾壓縮空氣、氮' 氦 '氬等氣體，水、洗淨液、敍刻液等處理液，研削水、 切削水等加工液’水及壓縮空氣之混合流體，洗淨液：壓 备百空氣之混合流體，落劑等。 圖33，係顯示本發明之基板附著物除去裝置之—

=的概略立體圖。該基板附著物除去裝置7〇〇用來乾燥Z 著於基板正反面之液體，乾燥液體之這個製程，係在以蒸 氣單元部⑽對藉上部基板分割裝置6〇、下部基板分割： 置70(參照i)而形成有劃線之基板之兩主面喷完蒸氣後 之製程。 ’' 本發明中，「基板」，係、包含單板，有鋼板等 板、木板、塑膠基板、印刷電路基板，以及陶究基板、$ 導體基板、玻璃基板等脆性材料基板。再者，除這種單板， 還包含將平面顯示裝置所使用之脆性材料基板于：此：合而 77 ^42261 成之液晶顯示面板基板及其母基板。 基板附著物除去裝置700,係主要由一對氣刀單元7i〇A 及710B、用來分別保持氣刀單元71〇八及71〇b的一對單元 保持部712,712、以及用來安裝單元保持部712 712的上部 文裝基座708所構成。再者，基板附著物除去裝置7〇〇，係 由一對氣刀單元710C及710D、用來分別保持氣刀單元71〇c 及710D的-對單^保持部712,712、及用來安裝單元保持 部712,712的下部安裝基座7〇9所構成。 一對單元保持部712,712，係用來支撐氣刀本體7丨5 , 並使得於供氣刀本體715及基板互相相對移動之基板搬送 路、且於氣刀本體715與基板主面之間，形成沿相對移動 方向之正交方向有大致均一形狀的流體導入路。 氣刀單元7 1 〇 A及7 1 0B，係分別透過一對單元保持部 712,712以氣刀單元71〇A及71〇B之長邊方向分別沿X方 向之方式設置於上部安裝基座7〇8。氣刀單元71 〇b基本上 是與氣刀單元71 0A相同的。 氣刀單元710C及710D，係分別透過一對單元保持部 712,712以氣刀單元7丨〇c及710D之長邊方向分別沿χ方 向之方式設置於下部安裝基座7〇9<1氣刀單元710(：及71〇 D 基本上是與氣刀單元71 0A相同的- 圖34 ’係顯示氣刀單元710A、及用來保持該氣刀單元 71〇A之單元保持部712的概略立體圖。氣刀單元71 0A，係 由至少1個氣刀本體715所構成。圖34中，將3個氣刀本 體7 1 5以例如螺拴7 1 8連結成一列來構成氣刀單元7 IOA。 78 1342261 於例如供壓縮空氣從氣刀單元71〇八吹出的面7l5a，將 罩子7 1 6安裝成壓縮空氣能沿面7丨5a之傾斜面噴出，並形 成能將經加壓之乾燥氣體送出的流體喷出用狹縫717。於氣 刀單元710A之兩側面715b及715c分別安裝有接頭719及 720，於接頭719及720分別連接有管72丨。再者透過未 圖不之壓縮空氣供應源從管72 1内將壓縮空氣供應給氣刀 單元71 0A之内部。 用來保持氣刀單元710A的一對單元保持部712,712， 係例如具備桿件723,該桿件723具有用來在套管72’2之内 部滑動的滑動部723a，於桿件723之滑動部723a與桿件723 之尖端部723b側之套管面之間有壓縮彈簧724插穿桿件 723，安裝於桿件723尖端部的安裝構件725使用螺栓等安 裝於氣刀本體715之頂面。又，單元保持部712之桿件723 之尖端部723b側及相反側之套管722之頂面，係以氣刀單 元71 0A沿X方向之方式安裝於上部安裝基座7〇8 ^ 圖35 ’係用來說明構成氣刀單元71〇a〜71〇D之氣刀 構造的截面圖。氣刀本體7 1 5，係設有沿長邊方向貫穿之貫 通孔7l5d，與該貫通孔715d相連之長孔715e設於氣刀本 體715之面715a。又，於氣刀本體715之面715a設有[字 型之罩子716。罩子716,係與氣刀本體715之間形成流體 噴出用狹縫71 7。從設於氣刀單元71 0A之接頭71 9及72〇(圖 )供應至氣刀之貫通孔7I5d的壓縮流體，通過長孔7i5e 氣刀715之面715a流動並從流體喷出用狹縫7丨7吹出。 又，圖34中，氣刀單元7ι〇Α之流體之喷出方向為+ γ方 79 1342261 則為一Υ方向，氣 方向，而氣刀單元 向，而氣刀單元71〇Β之流體之噴出方向 刀單元710C之流體之喷出方向為+ γ 7 10D之流體之噴出方向則為—γ方向。 氣單元71 0Α，係具有用來調整氣刀本體與基板 ,’之間隙的間隙自動調整機構。g隙自動調節機 :鼻’係如圖35所示，由層流形成面71乂及前述之單元保持 部712,712所構成。該層流形成面7】5f，係形成於氣刀本體 715之下部（底面），用來於與基板主面之間使流體以層流狀 態通過’該單元保持部712,712，係用來將氣刀本體715保 持成能擺動。 說明單元保持部712,712所構成之間隙自動調節機 構間隙自動調節機構，係使用乾燥氣體通過流體導入路 時產生之文丘里效應，來調整氣刀本體715與基板93主面 之間之間隙。 攸机體噴出用狹縫7 17送出之經加壓的流體是以經壓 縮之層机通過層流形成面715f(氣刀本體715之底面）及其 基板93之正面所形成之流體導入路，故於基板93之正面 產生負壓（文丘里效應）。由於單元保持部712,712之壓縮彈 簧將氣刀單元71〇A保持的向上保持力、與前述負壓吸引氣 單元710A之氣刀本體715之層流形成面715f的吸引力 兩力平衡，故於氣刀單元7丨〇A與基板93之間沿氣刀單元 7 1 Ο A之長邊方向產生均勻的間隙。 上述間隙’係能藉改變自流體噴出用狹縫7丨7送出之 體之川L里、用來壓縮流體之加壓力、流體通過層流形成 80 1342261 面7 1 5f時之流速中至少一項來調整前述間隙之間隔。因 - 此’能將基板之彎曲等吸收而安定保持前述間隙。（以上， · 係申s青專利範圍第2 7項之作用） 再者’由於使層流通過由層流形成面715f•及基板主面 (正面及/或反面）所形成之流體導入路，故於基板主面附近 ， 產生負壓（文丘里效應），保持氣刀本體715之單元保持部 712之向上保持力與負壓吸引氣刀本體715的吸引力兩力平 衡。結果，於氣刀本體715與基板主面之間能容易形成沿 基板90之移動方向之正交方向有大致均一形狀的流體導入 籲 路。（以上’係申請專利範圍第28項之作用） "兒明有上述構成之基板附著物除去裝置7〇〇之動作及 作用。 如圖33所示，自上部基板分割裝置6〇及下部基板分 凌置70排出之基板93，係載置於上游輸送機，並往基板 附著物除去裝置7〇〇搬送。圖36，係用來說明基板93搬送 至基板附著物除去裝置7〇〇前之氣刀單元之狀態的圖。基 板搬迖來刖，各氣刀單元71〇a〜71〇d，係待機於距離基板 _ 93之搬送面（基板98之下面）數mm間隔的狀態。 _曰 係除去附著於基板93正反面之液體時之氣刀單 之狀/L、的說明圖。首先，當基板93被上游輸送機往圖中 箭號方向搬送至基板附著物除去裝置700時，便將乾壓縮· h供應給氣刀單元71〇A〜71〇D。此外，在基板Μ通過· ^刀早UGA及氣刀單元71QC之氣刀本體715之層流形 面715f的時點，乾愿縮空氣流至基板93、與氣刀單元 81 1342261 710A及710C之層流形成面715f•之間的流體導入路，由於 - 文丘里效應，而使基板93之正反面附近產生負壓，氣刀單 · 疋71 0A及71 0C分別接近或離開基板93並與基板93之正 . 反面保持約20" m〜100" m之間隙a於氣刀單元7i〇a與 710B之間、及氣刀單元7i〇c與71〇D之間藉自各氣刀單元 . 之流體喷出用狹縫717送出的空氣來形成壁面（空氣之 壁）。自氣刀單元71 0A及71 0C送出的乾壓縮空氣被該壁面 遮住，故沿氣刀單元710A及710C與該等空氣壁面之間所 形成之流體導出路流動離開基板93之正反面。再者，自氣 _ 刀單元710A及7丨0(：送出之乾壓縮空氣，係通過與氣刀單 兀710A及710C之氣刀本體715之層流形成面715f之間之 路杻之載面積極小的流體導入路，自路徑之載面積小的流 體導入路往路徑之戴面積大的流體導出路在短時間内吹 出、擴散，因此，使附著於基板90正反面之液體L成為霧 狀（mist化），與附著於基板93正反面之液體[混合，並沿 體導出路分別自基板93之正反面上升離開及下降離開。 再者，乾壓縮空氣由於自路徑窄的流體導入路往路徑寬的 · 流體導出路在短時間内吹出’故包含霧的壓縮空氣之流速 在短時間内提尚，並以離開基板9 0正反面之方式流動，因 此’能防止霧再附著於基板93之正反面。 再者’若於基板93之附近設有空氣吸引孔部（未圖 示），含有霧之壓縮空氣便流向基板93該吸引孔部，揚起的 霧不會再度附著於基板93。 又’使用本發明之基板附著物除去裝置來乾燥基 82 1342261 板93的方式，並非如習知裝置般使用氣刀將液體往基板之 後方收集的方式，而是為了乾燥基板93之正面，將至少一 對氣刀單元往基板之行進方向排列，自該一對氣刀單元之 相對基板93行進方向在後方之一氣刀單元送出的乾壓縮空 氣，係用來將附著於基板之液體L往基板93之行進方向之 前方擠出，並使該液體L成為霧狀。再者，自上述一對氣 =之相對行進方向在前方之另一氣刀單元送出的乾燥的空 氣’係用來使自該一氣刀單元送出之乾壓縮空氣留下的基 板上之空氣（水分）成為霧狀（mist化），使基板93完全乾燥， 並且在流體導出路與自該一氣刀單元送出之乾壓縮空氣匯 机，幫助流體以離開基板93正面之方式快速地沿流體導出 路上升。 本實施形態中，於基板93與氣刀單元710A〜710D之 層流形成面715f之間所形成之導入流體路有乾壓縮流體流 動，於流路窄的流體導入路進行流體之壓縮，接著於流體 導出路進行流體之擴散，故基板93之正反面之附著物，不 會凝聚，而與流體混合、微細化，因此能自基板93之正反 面容易除去。 又，氣刀單元710A〜710D之任一個及/或由流體形成 之壁面，配置於與氣刀單元71 〇A〜7丨〇D對向之位置，且使 得該壁面與氣刀單元710A〜71〇 D之任一個之間所形成之 流體導出路之流路截面積比流體導入路之流路戴面積還 大，故經加壓之流體自路徑窄的流體導入路往路徑寬的流 體導出路在短時間内吹出，使流體之流速在短時間内提 83 1342261 高’而進一步增加自基板93之止 之正反面除去附著物的能力。 (以上，係申凊專利範圍第2 6項之作用） 至少一對氣刀單元配置成齑„留_ , 1成札刀早疋之形成有流體喷出 用狹縫717之側對向，故流體確實沿流體導出路以離開基 板93正反面之方式流動，而促進基板93正反面之附著物 之除去。 於基板93之正反面分別配置至少1個氣刀，故能除去 基板93正反面之基板附著物。 用來保持氣刀單元710A〜71〇D的單元保持部712具有 · 利用"IL體通過流體導入路時產生的文丘里效應來調整氣刀 單7L 71 0A〜71 0D與基板93正反面之間之間隙的間隙自動 調整機構，故能配合附著於基板93正反面之除去對象物來 調整該間隙。 間隙自動調整機構具有單元保持部（彈性體）7丨2及層流 形成面7 1 5f，該單元保持部7丨2，係用來將氣刀單元7丨〇 A 7 1 0D支撐成能於與基板93正反面之間擺動該層流形成 面715f’係與基板93之正反面對向形成於用來形成流體導 _ 入路之一部分的氣刀單元71 0A〜710D之氣刀本體715之一 側面’以在與基板93正反面之間使流體以層流狀態通過。 因此’層流通過由層流形成面715f及基板之正反面所形成 之流體導入路，故於基板93之正反面附近產生負壓。由於 用來保持氣刀單元710A〜710D的單元保持部（彈性體）712 之向上保持力與該負壓吸引氣刀本體的吸引力兩力平衡， 故氣刀單元710A〜710D與基板93正反面之間之該流體導 84 1342261 入路之間隔變窄，通過流體導入路的層流，便自窄的路徑 在β夺間内往路輕寬的場所吹出，使流體之流速在短時間 内提高，而進一步增加自基板90之正反面除去附著物的能 力。 ·· 如上所述，藉流體導入路來形成沿基板之移動方向之 交方向均勻壓縮之乾燥氣體流。基板90之正反面之流體 附耆物於流體導入路與乾燥氣體混合並引導至截面積比流 體導入路大的流體導出路。於流體導出路擴散之乾燥氣體 形成帶著霧狀流體附著物的氣流，沿壁面離開基板之正卩 φ 面’故於流體導入路進行乾燥氣體之壓縮，接著於流體導 出路進仃乾燥氣體之擴散。因此，附著於基板9〇正反面之 附著物，+會凝聚’而與乾燥氣體混合、微細化⑽“化） 而除去。結果’能使基板9〇之正反面完全乾燥。（以上係 申請專利範圍第25項之作用） 又因將對氣刀本體715配置成形成有流體喷出用 狹縫717《側對向’㈣燥氣體球實沿流體導出路以離開 基板90之主面的方式流動，而促進基板之乾燥。（以上係 φ 申請專利範圍第29項、第30項之作用） 以下，顯示間隙調節機構之其他形態。 圖38 ’係顯示本發明實施形態之基板附著物除去裝置 1 000的概略立體圖。該基板附著物除去裝置⑽〇，係將基 板附著除去裝1 700之單元保持部712置換為別的單元保 ' 持部730 ’除此之外’與基板附著除去裝置勘在構造上無 異。因此’因使用與基板附著物除去裝置·相同之符號， 85 故省略各構件之說明β 根據:Γ9’係顯示單元保持部730之構成的概略载面圖。 虞圖，說明單元保持部730。套管732,係下部有凸緣 a /成為—體的圓筒狀構件，上彈簧735 具有用來於套其+ h r弹黃736 732a，係用/ 内部能變形自如之間隙。凸緣部 ，、用來將套管732固定於下套管板734 =以用來設置固定用螺絲孔。上套管板733 ^ 用來在透過上彈脊-及下彈…二 、此上下運動自如時固定上彈簧735之上部，上 板733,係利用螺絲固定於㈣732之上端面。： 板爪之内側設有環狀_ 7333。下套^ =板構成，中央具有第2開口，内側^有環狀突起734a。 係用來限制增735之上端位置，使該位置 套官板733同轴，突起Μ則用來限制下彈簀736之 下鈿位置’使該位置與下套管板734同軸。又，上套管板 733中央之第，開口及下套管板73"央之第2開口，係透 過使軸737抵接於該等開σ之内側來限制轴…之傾斜。 軸737中央部之凸緣，係用來分別壓上彈菁出及下 彈簧736。 於轴737之下彈菁736側之尖端安裝有安裝用金屬件 川’該金屬件用來藉螺栓等來與氣刀單元7ι〇α〜膽之 :-個接合。又’上套管板733,係用來藉螺栓等來與上部 女裝基座708或下部安裝基座yog結合。 藉著將圖39所示之單元保持部73〇應心本發明之基 86 1342261 板附著物除去裝置丨嶋，即便在根據上游輸送機、下游輸 达機之設置狀況來以基板附著物除去裝置1〇〇〇處理基板93 , 時於基板93產生大致沿X方向的上下方向（2方向）之傾 斜，仍能將氣刀單元710A〜7l〇D之層流形成面7l5f與基-· 板正反面之間隔維持於約2〇//m〜1〇〇y m。 土 以下’顯示氣刀單元之其他形態。 圖40，係本發明實施形態之基板附著物除去裝置！ 之概略示意截面圖。圖41，係顯示設於本發明實施形態之 基板附著物除去裝置丨500的連結式氣刀單元16〇〇的外觀 參 立體圖。忒連結式氣刀單元1 600，係被前述之一對單元保 持部712,712或一對單元保持部73〇,73〇保持，利用螺栓等 以連結式氣刀單元1 600沿與基板93之行進方向（+ γ方向） 正交之X方向的方式來與上部安裝基座7〇8或下部安裝基 座709結合。 如圖41所示’連結式氣刀單元16〇〇，係具有複數個流 體開放用之孔部1608(圖40之虛線部），將氣刀部i6〇〇a及 1600b以流體喷出用狹縫1607對向之方式形成為一體而構 鲁 成。氣刀部1600a及1600b，係與氣刀本體715 (參照圖35) 同樣的’如圖35及圖41所示，設有沿氣刀部！ 6〇〇a及丨6〇〇b 之長邊方向貫穿的貫通孔715d，與該貫通孔715d相連的長 孔71 5e設於氣刀部1600a及1600b之面1600c及1600d。 又’於連結式氣刀單元1 600之氣刀部1 6〇〇a及1 600b之各 自的面]600c及1600d設有L字型之罩子1606。自設於連 結式氣刀單元1600之接頭（未圖示）供應給氣刀部16〇〇3及 87 1342261 1600b之貫通孔7 1 5d的壓縮流體，通過長孔7 1 5e，沿連結 ’ 式氣刀單元1600之氣刀部i6〇〇a及1600b之各自的面1600c · 及1600d流動，從流體喷出用狭縫1607吹出。 · 如上所述’若使用連結式氣刀單元1 600，則因圖40所 示之本發明之基板附著物除去裝置15〇〇之構成基板處理部 』· 的零件個數減少’故能減少基板附著物除去裝置1 500之組 裝步驟。 以下’顯示安裝有用來捕捉自基板之主面導出的流體 導出路之流體的捕捉機構的例。圖42，係本發明實施形態 鲁 之基板附著物除去裝置2000之概略構成示意圖。該基板附 著物除去裝置2000，係一種已參照圖33、圖38及圖4〇說 明過的基板附著物除去裝置700 '基板附著物除去裝置 1000及基板附著物除去裝置1500 ;且於上部安裝基座7〇8 及下部安裝基座709分別設有長孔之排氣口 7〇8a及70 9a 並以覆蓋遠寻排氣口 708a及709a之方式分別設有吸引罩 2001 ’於該等吸引罩2〇〇1分別設有凸緣2〇〇2，該凸緣2〇〇2 用來連接與排氣導管（吸引機構）連接的配管，該排氣導管是 鲁 藉吸引馬達（未圖示）進行吸引。 藉基板附著物除去裝置2000，能將自基板正反面沿形 成於氣刀單元（氣刀部）間之流體帶出路快速地往上方或下 方流動之含有霧的壓縮空氣效率高地往基板附著物除去欺 置2000之機外排出。 ~ 又，藉吸引馬達等進行吸引的排氣導管（未圖示）與流趲 導入路相連來強制捕捉自基板93之正反面導出的流體導出 88 1342261 路之流體，故能防止自基板93之正反面除去的附著物之再 附著。 又，氣刀之形狀，係在此作成6邊形之形狀來使壓縮 流體容易沿該氣刀之形狀上升或下降，但只要是具有能使 壓縮流體容易上升或下降之與基板平行的面715f，亦^以 為其他形狀’並不限定於6邊形之形狀。 又，將複數個氣刀單元以氣刀本體715之有流體噴出 用狹縫7 1 7形成之側之相反側為壁面配置於基板93之搬送 路徑，來進行基板正面之附著物之除去複數次，故能將基 板正面之附著物大致完全除去。 再者，使自該複數個氣刀單元之至少丨個氣刀單元之 流體喷出用狹縫送出之流體為洗淨液，並使自該複數氣刀 單兀之至少1個氣刀單元之流體噴出用狹縫送出之流體為 乾壓縮氣體，藉以能在以基板洗淨用之液體洗淨基板之正 面後，乾燥洗淨完之基板之正面。 又，能將本發明之基板處理裝置及基板處理方法有效 應用於作為將脆性材料基板彼此貼合而成之基板、FpD (平面顯示器）所用的PDP(電漿顯示器面板）、液晶顯示面 板、反射型投影機面板、透過型投影機面板、有機EL素子 面板、FED(場發射型顯示器）等面板基板及其母基板。 尚，上述之實施形態中，係於主面沿水平方向延伸的 基板之主面之上方及/或下方配置氣刀單元，但不限定於 這種开y態，亦可以將氣刀單元配置於例如主面沿鉛垂方向 延伸的基板之主面之-邊及/或另—邊（亦即左方及/或右 89 1342261 方）〇 又據本^明之基板附著物除去裝置，於基板與氣刀單 . 几之層机形成面之間所形成之導入流體路有流體流動，於 ‘ 抓路窄的咖體導入路進行流體之壓縮，接著於流體導出路 進行"IL體之擴散’故基板主面之附著物，不會凝聚，而肖 ’ 流體混合、微細化，因此能從基板主面容易除去。 以上，已詳細說明基板附著物除去裝置。 以上，已參照圖1〜圖42說明本發明之實施形態1之 基板分割系統1。 _ 實施形雜Ί 以下’參照圖43〜圖55說明本發明實施形態2之基板 分割系統200。 圖43 ’係顯示本發明實施形態2之基板分割系統2〇〇 的王體概略立體圖，圖44 ’係該基板分割系統2〇〇之俯視 圖，圖45，係該基板分割系統2〇〇之側視圖。又，本發明 中，「基板」，係包含用來分割為複數個基板的母基板， 亦包含單板’有鋼板等金屬基板、木板、塑膠基板，以及 _ 陶瓷基板、半導體基板、玻璃基板等脆性材料基板等。再 者’不限於這種單板，亦包含將一對基板彼此貼合而成之 貼合基板、將一對基板彼此積層而成之積層基板。 有關本發明之基板分割系統，例如在製造將一對玻璃 基板互相貼合而成之液晶顯示裝置之面板基板（顯示面板用 貼合基板）時，利用該基板分割系統將一對母玻璃基板互相 貼合而成貼合母基板90分割為複數片面板基板93(顯示面 90 1342261 板用貼合基板）。 本實施形態2之基板分割系統鳩’係具有定位單元部 220、劃線單元部240、升降輸送機部26〇、蒸氣裂片翠元 部28〇、基板搬送單元部爛、面板翻轉單元部32Q、面板 端子分離部340。

對於本實施形態2之基板分割系統2〇〇，以配置有定位 單元部220的側為基板搬入側、以配置有面板端子分離部 340的側為基板搬出側來進行以下之說明。又本發明之基 板分割系統200中，基板搬送過去的方向（基板之移動方向） 為自基板搬入側往基板搬出側的+ γ方向。又，該基板搬送 過去的方向，係以水平狀態正交於劃線單元部24〇之劃線 裝置引導體242的方向，劃線裝置引導體242，係沿χ方向 設置。 ,以7刀割貼合母基板90來用於基板為例做以下之說明。 首先，藉前製程之搬送裝置（未圖示）將貼合母基板9〇往定 位單7L部220搬入。然後，定位單元部22〇，係將貼合母基 板90載置於劃線單元部24〇之第1基板支撐部2 μα，並 於第1基板支撐部241Α上將貼合母基板90加以定位。基 板分割系統200 ’由於具有定位單元部220，故能沿基板正 反面之劃線預定線正確地形成劃線。（以上，係申請專利範 圍第3 9項之作用） 疋位單元部220，係如圖46所示，具備透過支柱228 。Y方向、且沿架台230之一側緣延伸於架台230上方的 導桿226、及與導桿226平行、沿架台230之另一側緣延伸 91 1342261 的導桿227。又，於導桿226與導桿227之間之架台23〇之 - 基板搬入側，具備透過支柱228沿χ方向延伸於架台2儿 _ 上方之導桿225。 口 於導桿225及導桿226分別設有用來在定位貼合母& ， 板90時作為基準的複數個基準滾子223，於導桿227具備 . 複數個推件224，該推件224係用來在定位貼合母基板 時將貼合母基板90擠向設於導桿226的基準滾子223。 於架台230之上方、且導桿226與導桿227之間以 既定間隔設有複數個吸引墊基座221，該等吸引墊基座 鲁 22卜係保持於設在架台230之導桿226側之上面的升降裝 置222、及设在架台230之導桿227側之上面的升降裝置 222 ° 於吸引墊基座221具備複數個吸引墊221a，該等複數 個吸引墊22 1 a自前製程之搬送裝置（未圖示）接收貼合母基 板90’並藉未圖示之吸引裝置將貼合母基板9〇吸引並吸附。 又，於定位單元部220之複數個吸引墊基座22卜例如， 亦可於已參照圖20〜圖32說明之複數個真空吸附頭6〇〇安 参 裝複數個吸引墊22 1 a。在此情形下，複數個真空吸附頭 600 ’係能從前製程將基板90確實接收，使基板90安定地 浮起並定位。（以上，係申請專利範圍第4〇項之作用） 例如，真空吸附頭’係包含用來將基板9〇吸引保持， 或吹出壓縮空氣使基板9 0浮起的吸附塾。真空吸附頭，係 以在複數個吸附墊之各墊與基板90之間有層流形成的狀態 將基板定位。在此情形下，壓縮空氣自真空吸附頭之吸附 92 1342261 墊吹出’吸附墊由於文丘里效應而跟隨基板之起伏、彎曲。 · 此外，壓細空氣，係以保持基板與吸附墊間之間隔的方式 移動。因此，基板與吸附墊間之空氣流成為層流，基板與 吸附墊之間隙，則維持一定。結果，能在不弄傷基板下= ： 高精度將基板定位。（以上，係申請專利範圍第44項之作用） - 使劃線單元部240之第1基板支撐部24 1A往基板搬入 側移動並在定位單元部220之位置處於待機狀態，藉升降 裝置222使保持著貼合母基板9〇之複數個吸引墊基座22 i 沒入該待機狀態下之第i基板支撐部24丨a之中，於第1基 _ 板支撐部24 1 A上載置貼合母基板9〇。 劃線單元部240，係自實施形態i之基板分割系統1拿 掉基板搬出裝置80及蒸氣單元部16〇來構成，其他之機械 構成則是與實施形態1同樣之構成。 劃線單元部240之劃線裝置引導體242是與第1基板 支撐部241A及第2基板支撐部241B結合著，故隨著劃線 裝置引導體242之Y方向之移動，第1基板支撐部241A及 第2基板支撐部241 B會與劃線裝置引導體242同時往同方 _ 向移動。 於第1基板支撐部241A及第2基板支撐部241B，分 別具備各自能與劃線裝置引導體242之移動方向往同方向 移動的複數個第1基板支撐單元244A及複數之第2基板支 樓單凡244B。各第1基板支撐單元244A及各第2基板支 樓單元244B ’係配置成往相對樞架243 a及243B成平行的 方向（Y方向）、往X方向並排。 93 1342261 设於第1基板支撐部241A之丨個第丨基板支撐單元 244 A ’係與實施形態i之圖6所示的第i基板支撐單元2 μ 相同，第1基板支撐單元244Α所具備之確動皮帶能在第i 基板支撐部241A所具備之離合器與驅動軸連結時繞行移 動。 第1基板支撐單元244A，係以既定間隔配置有複數 個，與劃線裝置引導體242 一起沿框架243A及2438往γ 方向移動。 用來使如此般構成之第i基板支撐單元244A之確動皮 帶繞行移動的機構，係與實施形態1之圖7至圖9相同， 圖7中，框架1 1 A及11B分別成為本實施形態2之框架243 A 及 243B 。 如圖7所不，具備離合器（用來使設於第丨基板支撐部 24 ιΑ之複數個第！基板支撐單元244 a之驅動用確動皮帶 輪旋轉而使確動皮帶繞行移動）的夾緊單元，係設於框架 243A 及 243B 側。 如圖45所示，用來支撐第i基板支撐單元244a的框 架243A側之支柱245 '及框架243B側之支柱245保持於 引導體基座247,並於用來保持支柱246(用來支撐劃線裝置 引導體242之兩端）的引導體基座247安裝線性馬達之活動 構件（未圖示）’因此，由於線性馬達之驅動，劃線裝置引導 體242能往基板搬入側移動，並且第t基板支撐部241 a之 複數個第1基板支撐單元244A往基板搬入側移動。 在劃線裝置引導體242移動時，與沿框架243a及243 94 1342261 B、與圖8同樣地安裝而成的各齒條嚙合著的框架243 A側 . 之離合器單元之小齒輪、及框架243B側之小齒輪能旋轉。 · 為了使第1基板支撐單元244A之驅動用確動皮帶輪旋 轉而使確動皮帶繞行移動，亦可以將框架243a及框架243b - 之兩者之離合器，與用來傳遞小齒輪之旋轉的驅動轴連 . 結，亦可以將框架243 A側或框架243B側之任一者之離合 器’與用來傳遞小齒輪之旋轉的驅動軸連結。 第2基板支撐部241B，係具備能往與劃線裝置引導體 242之移動方向同方向移動的複數個第2基板支撐單元 籲 244B。該第2基板支撐單元244B，係與第1基板支撐單元 244A之構造相同，被框架243A側之支柱245及框架243b 側之支柱245支撐成相對劃線裝置引導體242成對稱、且γ 方向之安裝方向相反，各支柱又保持於引導體基座247。 因為於用來保持支柱246(用來支撐劃線裝置引導體 242之兩端）的引導體基座247安裝有線性馬達之活動構件 (未圖不），故由於線性馬達之驅動，劃線裝置引導體242會 在基板搬入側移動，並且第2基板支撐部241B之複數個第籲 2基板支撐單元244B會往基板搬入側移動。 第2基板支撐部241B之框架243A側及框架243b側具 備與第1基板支撐部241A同樣之離合器單元，在劃線裝置 . 引導體242移動時，與沿框架243A及243B安裝而成之各 齒條嚙σ的框架243A側之離合器單元之小齒輪及框架 243B側之離合器單元之小齒輪會旋轉。 為了使第2基板支撐單元244B之驅動用確動皮帶輪旋 95 1342261 轉而使確動皮帶繞行移動，亦可以將框架243A側及框架 _ 243B側之兩者之離合器，與用來傳遞小齒輪之旋轉的驅動 軸連結，亦可以將框架243A側或框架243b側之任一者之 離合器，與用來傳遞小齒輪之旋轉的驅動軸連結。 再者，於架台250之上方設有夾緊裝置251，該失緊裝 . 置25 1用來失緊被第丨基板支撐部241八支撐之貼合母基板 9〇。例如，夾緊裝置251，係如圖43所示具備，於一定之 間隔安裝於框架248B、用來夾緊貼合母基板9〇之沿框架 243B之側緣部的複數個夾緊裝置25丨、以及沿框架243β之 _ 正交方向以一定之間隔配置、用來夾緊貼合母基板9〇之基 板搬入側之側緣部的複數個夾緊裝置25】。 各個夾緊裝置251之動作，係與已在實施形態】之圖 1 2及圖1 3說明的動作相同，故在此省略該動作之說明。 又，夾緊裝f 25 1之配置，係不限於在將用來保持貼 合母基板90的夾緊裝置251設於框架243B及框架243β之 正交方向之基板搬入側的情形，即便是在僅於框架243b設 置夾緊裝置25 1的情形，貼合母基板9〇仍能在不受損傷之馨 下被保持。 上述之夾緊裝置25 1，係顯示本發明之基板分割系統所 用之一例的裝置，但並不限定於此裝置。亦即，只要是有 用來將貼合母基板90之側緣部握持或保持之構成的裝置即 可。又’例如在基板尺寸小的場合’可以夾緊基板之側緣 · 部之1處來保持基板，在基板不產生不良之下分割基板。 於劃線裝置引導體242之上側導軌252，安裝有實施形 96 1342261 態1之圖3所不的上部基板分割徒里γλ 双刀口裝置60，又，於下側導軌 253安裝有’有與實施形態1之圖 LL 、 <囫4所不之上部基板分割裝 置60同樣之構成、且處於上下斛 卜對調之狀態的下部基板分割 裝置70。上部基板分割裝置6〇 Λ π 、 ^ 〇U及下部基板分割裝置70， 係分別能藉線性馬達沿上側導轨2 s 9 y · .s μ J守机252及下側導軌253滑動。 例如，於上部基板分割奘署 j裝置60及下部基板分割裝置70 有與實施形態1之圖3及圖4路-> 圃4所不之刀輪同樣用來對貼合 母基板90劃線的刀輪62a，該刀鉍e …> 為刀輪62a以能旋轉自如之方 式安裝於刀片座62b，再者’刀片座㈣，係以能旋轉自如 之方式安裝於刀頭62c，且該刀片座㈣之旋轉是以被夾緊 裝置25丨保持之貼合母基板9〇之正反面之垂直方向為轴旋 轉。又，刀頭62C，係、藉未圖示之驅動機構能沿貼合母基板 90之正反面之垂直方向移動自如。又，能藉未圖示之彈壓 機構對刀輪62a適當施加荷重。 保持於刀片座62b之刀輪62a，係例如日本之特開平9 —1 88534號公報所揭示般，具有寬度方向之中央部呈鈍角 V字形突出的刀尖，該刀尖於刀尖稜線以既^間距形成有既 定高度之突起。 設於下側導軌253之下部基板分割裝i 7G，係具有與 上部基板分割裝置60同樣之構成，在與上部基板分割裝置 60上下對調之狀態下，M刀輪62a(參照圖4)與上部基板分 割裝置60之刀輪62a對向。 上部基板分割裝置6〇之刀輪62a，係藉上述的彈壓機 構及刀頭62c之移動機構壓接於貼合母基板％之正面，下 97 丄丄 部基板分割裝置70之蛤 ^ 輪62a亦藉上述的彈壓機構及刀頭 62c之移動機構壓接於貼合美 土扳9〇之反面。此外，將上 口P基板分割裝置60及下部美拓八*丨壯

卜丨暴板刀割裝置70同時往同一方 向移動，而分割貼合母基板90。 上所&帛1基板支樓部241 A，係'具有沿劃線裝置 引體242之移動方向平行移動的複數個第i基板支樓單 A又複數個第1基板支撑單元244A ’係能隨著劃 線裝置引導體242之移動與劃線裝置引導胃μ 一起移 動因此由於在劃線裝置引導體242與第^基板支樓單 兀244A之間設置空間，使該空間往γ軸方向移動，而將基 板90以夾緊$置25 1固定’故空間移動時及對兩主面劃線 τ不會與基板90滑接，且無力量作用於基板。結果，藉 刀輪62a來於基板9G之内部產生垂直裂痕時沒有因刀輪 62a而衍生不必要裂痕之虞。（以上，係申請專利範圍第$ 項之作用） 又，第1基板支撑單元244A，亦可具有複數個滾子。 在此情形下’能更確實地支揮基板9G。（以上，巾請專利範 圍第7項）。例如’使複數個滾子藉離合器ιΐ6而旋轉。離 合器’係用來使複數船袞子隨著劃線裝置引導豸242之移 動而旋轉。離合器"6 ’亦可隨著空間之移動選擇複數個滚 子之旋轉方向或停止旋轉。在此情形了，因解開夾緊裝置 251所產生之基板90之固定，故能將基板支樓裝置（第ι基 板支撲。P 241A及第2基板支樓部241B)亦利用於基板9〇 之搬送。（以上，係申請專利範圍第8項之作用） 98 1342261 又，離合器單元no,係用來使複數個滾子隨著劃線裝 · 置引導體242之移動而旋轉。例如，由於實施旋轉之控制，· 使複數個滾子之外周之周速與往Y轴方向之劃線裝置引導 體之移動速度一致，故複數個滾子往γ軸方向移動時，不 〉 會與基板90滑接，且無力量作用於基板β因此，刀輪. 於基板90之内部產生垂直裂痕時’沒有因刀輪62a而衍生 不必要裂痕之虞。（以上，係申請專利範圍第9項之作用） 又，若第】基板支撐單元244A為確動皮帶’則相較於 滾子，能以面來支撐基板面。因此，能安定地支撐基板。（以 籲 上’係申請專利範圍第1 〇項之作用） ^又，如上所述，即便第1基板支撐單元244A為確動皮 帶’離合器116，亦能使複數條皮帶隨著劃線裝置引導體 244之移動而繞行移動。在此情形下，皮帶2u能因離合琴 而能隨著空間之移動選擇丨帶之繞行移動方向或停1 燒行移動。因此，因解開夾緊裝置251所產生之基板卯之 固定，故亦能將基板支撐裝置（第！基板支撐部24丨厶及第2 ，板支樓告"41B)利用於基板之搬送。（以上，係申請專利φ 範圍第11項之作用）’離合器單元ιι〇，係藉馬達使複數條 皮帶隨著劃線裝置引導冑244之移動而繞行移動。如此_ 因實鼽％行移動之控制，使複數條皮帶之繞行移動速 度一在Υ軸方向之劃線裝置引導體242之移動速度-致， 故在複二條皮帶往γ軸方向移動時，不會與基板卯滑接，, 亦無力量作用於基板°因此’藉刀輪62a來於基板之内部產 垂直裂痕時’沒有因刀輪—而衍生不必要裂痕之虞。(以 99 1342261 上，係申凊專利範圍第1 2項之作用） * 以上’已說明第1基板支樓部241A之構成及機能。又’. 第2基板支樓部241B ’亦可具有與第丨基板支樓部2似 同樣之構成及機能。（以上，係申請專利範圍帛14項至帛^ 2 1項之作用） 。 該刀輪62a，係最好以能旋轉自如之方式支撐於使用 W003/011777所揭示之伺服馬達的刀頭65。 使用伺服馬達的刀頭65之一例如圖14所示，圖丨4係 顯示刀頭65之側視圖15顯示該刀頭主要部之前漏。籲 於一對側壁65a間保持有倒立狀態之伺服馬達65b，於該側 壁65a之下部，透過支軸65d將側視呈L字狀之刀片座用 保持具65c設置成能旋動自如。於該刀片座用保持具6氕 之前方（圖15中之右邊）透過軸6Se安裝有用來將刀輪62狂 支撐成能旋轉自如的刀片座62b。於伺服馬達65b之旋轉軸 及支軸65d裝設有互相嚙合之斜齒輪65fe因此，由於伺服 馬達65b之正反旋轉，刀片座用保持具65c便以支軸65d 為支點進行俯仰動作，刀輪62a上下運動。該刀頭65本身，· 係設於上部基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇。 圖16，係顯示使用伺服馬達之刀頭之另一例的前視 圖，其中伺服馬達65b之旋轉軸直接連結於刀片座用保持 具 65c。 圖14及圖16之刀頭，係使伺服馬達藉位置控制旋轉， . 來使刀輪62a升降進行定位。該等刀頭，係在劃線（係指使 刀頭往水平方向移動來於貼合母基板9〇形成劃線）動作 100 1342261 中’當由祠服馬達65b預先設定之刀輪62a之位置偏移時， ‘ 能限制用來使偏移之位置回到設定位置的旋轉力矩，並將 .

對脆性材料基板之劃線壓傳遞給刀輪6 2 a。亦即，伺服焉達 65b，係用來控制刀輪62a之鉛垂方向之位置，並且為一種 J 刀輪62a之彈壓機構。 』 由於使用具有上述祠服馬達之刀頭，故在對貼合母基 板90劃線時’將因應刀輪62a所受阻力之變動所引起之查 線壓之變化’立刻修正伺服馬達之旋轉力矩，因此，能實 施安定的劃線，而能形成品質佳的劃線。 馨 又，具備緊壓力改變機構之刀頭亦有效適用於本發明 之基板分割系統之母基板之分割。該緊壓力改變機構，係 讓用來對貼合母基板90劃線之鑽石刀、刀輪等劃線刀產生 振動，來使劃線刀對貼合母基板90之緊壓力產生周期性變 化。 又，上部基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇並 不限於上述之構成。亦即，只要是具有能加工基板之正反 面來分割基板之構成的裝置即可。 _ 例如，上部基板分割裝置6〇及下部基板分割裝置7〇 亦可以是使用雷射光、小塊切割鋸（dicing以⑻、切割鋸 (cutting saw)、截斷用刀刀、鑽石刀等來分割基板的裝置。 若母基板為鋼板等金屬基板、木板、塑膠基板，以及 為m板、玻項基板、半導體基板等脆性材料基板，貝,！ * 利用例如使用雷射光、小塊切割鋸、切割鋸、截斷用刀刃、 鑽石刀等來分割母基板的基板分割裝置。 101 嫕 1342261

再者’在分割將一對母基板貼合成之貼合母基板、組 合不同母基板並貼合成之貼合母基板、組合複數個母基板 彼此並積層而成的基板這樣的情形下’亦使用與上述分割 母基板之裝置同樣的基板分割裝置。 又’上部基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇亦 可具備用來輔助基板分割的分割輔助機構^分割輔助機 構例如有用來使滾子專緊壓於基板之機構、使壓縮空氣

向基板噴射之機構、及將雷射照射於基板或將熱風等噴向 基板以加溫（加熱）基板的機構。 再者，上述之說明中，已說明上部基板分割裝置6〇及 下部基板分割裝置70為具有同一構成之情形，但該等裝置 根據基板之分割模式或基板之分割條件亦可為具有不同構 成之裝置。 *有關升降輸送機部260之用途’在藉劃線單元部2〇之 名’·裝置引導體242之上部基板分割裝置6〇及下部基板分

^ 2置7〇對貼合母基板9〇劃線後，解開夾緊裝置25 1對 ^ °母基板90之夾緊（保持）’利用該升降輸送機部26〇將 244置於第2基板支撐部241B之複數個第2基板支撐單元 邱^之4線加工完成之貼合玻璃基板90往蒸氣裂片單元 # 280搬送。 係升降輸送機部260之俯視圖，圖48，係才 升降輪送機部2 之第3基板支撐早兀261之側視圖。 243Β平/基板支撐單元26丨’係具有沿與框架243 Α及才 平行之方向（Y方向）以直線狀延伸的支撐本骨 102 1342261 26U，於支擇本體部261a之各端部，分別安裝有例如用來 引導確動皮帶261e的確動皮帶輪26ic& 26Μβ驅動用確 動皮帶輪261b，係與用來藉皮帶268傳遞旋轉馬達之”之 旋轉的旋轉軸連結，以使確動皮帶26丨e繞行移動。 . 複數個第3基板支樓單元26 i以既定間隔配置於升降 輸送機部260,並將複數個第3基板支撐單元261透過支柱 265保持於保持架262，以使該間隔可供劃線單元部2〇之 第2基板支揮部241B之複數個第2基板支撑單元244b插 乂。 % 於框架243A側及框架243B側之保持架262之各框架 262a之中央部設有壓缸⑽，該等愿缸⑽之本體分別接合 於架台270之上面，該等壓缸⑽之桿件接合於保持架犯 之各柜架262a。又，於保持架犯之各框架262a之兩端側 分別設有引導轴264’該引導抽264又分別插入設於架台 270上面之線性導件263。 藉劃線單元部240之劃線裝置引導體242之上部基板 分割裝置60及下部基板分割裝置7〇對貼合母基板9〇劃線籲 j，解開夾緊裝置25 1對貼合母基板9〇之夾緊（保持卜接 著載置於第2基板支樓部241B之複數個第2基板支樓單 一 4B的劃線加工完成之貼合玻璃基板90，係藉壓缸266 之驅動而載置於複數個第3基板支樓單元261，並沿該船垂 ， 方向主上^方(A- 7 > \ ^ 、十Z方向）之既定位置移動，然後，旋轉馬達267 疋轉而複數個確動皮帶26ie移動藉此往蒸氣裂片單元部 280搬送。 103 1342261 蒸軋裂片單元部2 8 Ο，係固定的，不會沿γ方向移動， 除此之外均與實施形態1之圖1 0所示之蒸氣單元部1 60有 同樣之構成。 蒸氣裂片單元部280 ’係具有用來對貼合母基板90之 上側之母基板91喷蒸氣的複數個蒸氣單元284安裝用之上 側热氣單το安裝桿28 1、及用來對貼合母基板9〇之下側之 母基板92喷蒸氣的複數個蒸氣單元284安裝用之下側蒸氣 單兀安裝桿282，該等安裝桿281，282則與劃線裝置引導體 242平行地沿X方向安裝於支柱283。 蒸氣裂片單元部280之框架243Α及243Β側之各支柱 283，係分別接合於架台27〇之上面。又，蒸氣裂片單元部 280之基板搬出側設有帶式輸送機285，該帶式輸送機 之能繞行移動之例如片狀皮帶，係用來在自蒸氣單元284 對貼合母基板90之正反面喷射蒸氣後，將完全分割後之貼 合母基板90支撐並搬送。 又，蒸氣裂片單元部280之設於基板搬出側之帶式輸 达機285之繞行移動速度，係設定成與升降輸送機部26〇 之複數個第3基板支撐單元26丨之確動皮帶26u之繞行移 動速度大致相同，以進行同步移動。 洛《I裂片單元部280，係具有與實施形態】之圖1〇所 不之蒸氣單元部160同樣之構成，複數個蒸氣單元284安 裝於上側蒸氣單元安裝桿28卜又有複數個蒸氣單元284以 與上側之複數個蒸氣單元284空出間隙GA之方式安裝於下 側熬氣單元安裝桿282。又，間隙GA調整至貼合母基板9〇 104 1342261 能通過該間隙ga。 “ 一蒸軋單疋284之構造，係具有與實施形態丨之圖丨丨所 t 示之蒸氣單元部161同樣之構造，蒸氣單元284,係大部分 · 由紹材貝構成，沿斜垂方向埋有複數支加熱$ i 6 i 。當以* 自動操作開閉之開閉閥（未圖示）打開時，水便自水供應口 · 1 6 lb流入洛氣單元284内，被加熱器161 a加熱，被供給之 水氣化而成為蒸氣。該蒸氣通過導通孔161c並自喷出口 161d對母基板之正面喷。 又，於上側蒸氣單元安裝桿28丨之基板搬出側，設有 _ 在母基板90之上面被喷蒸氣後，用來除去留在母基板9〇 正面之水分的氣刀（基板附著物除去裝置7〇〇、1〇〇〇、15〇〇、 2000之任一者）。 又，於下側蒸氣單元安裝桿282，亦設有與安裝於上側 热氣單元安裝桿28 1之物同樣的蒸氣單元284及基板附著 物除去裝置700、1000、1500、2000之任一者。 載置於第2基板支撐單元之劃線完成之貼合母基板 9〇 ’係載置於第3基板支揮單元261並沿雜垂方向往上方 · (+Z方向）之既定位置移動後，以與複數個第3基板支撐單 元261之確動皮帶261e繞行移動速度大致相同之繞行移動 速度來使蒸氣裂片單元部280之設於基板搬出側之帶式輸 送機285移動’劃線完成之貼合母基板90因此通過蒸氣裂 片單元部280，而分割為面板基板90a並成為被帶式輸送機 < 2 8 5支撐之狀態。 基板搬送單元部300’係一種用來將由貼合母基板9〇 105 1342261 通過蒸氣裂片單元部280分割而來、並， 成為破帶式輸送機 285支撐之狀態的移動中及停止中之面板基板9〇a，拿起並

載置於面板翻轉單元部320之翻轉搬送用機器人321面 板保持部322的裝置。 於架台270及基板搬送單元部之架台33〇之上方架今 有基板搬出裝置用導件301，該基板搬出裝置用導件3〇1、: 用來使搬出機器人310(用來將自貼合母基板9〇分割出之面 板基板搬出）能往正交於Y方向（基板之移動方向）、且與蒸 氣裂片單元部280及劃線裝置引導體242平行的χ方向移

動。有關基板搬出單元部300,基板搬出裝置用導件3〇1之 兩端部透過支撐構件304藉線性馬達能沿導件3〇3滑動， 該導件303是分別透過支柱302設於架台27〇及33〇之上 面之框架243 A側及框架243B側。在此情形下之線性馬達， 係於設在各導件303的線性馬達之各定子内分別插入，安 裝在各支撐構件304的線性馬達之各活動構件（未圖示）而 構成。

於搬出用機器人310設有用來將自貼合母基板9〇分割 出之各面板基板90a吸引吸附的吸附部（未圖示），使搬出用 機器人3 1 0在面板基板9 〇 a被吸附部吸附之狀態下滑向基板 搬出側，藉此來將面板基板90a載置於面板翻轉單元部32〇 之翻轉搬送用機器人321之面板保持部322。 基板搬送單元部3〇〇之搬出用機器人31〇之構成，係 與實施形態1之圖5A至圖5E所示之搬出用機器人140或 搬出用機器人500相同，故在此省略其詳細說明。又，搬 106 1342261 出用機器人310,係安裝於基板搬出裝置用導件3〇1，利用 將線性馬達或伺服馬達之驅動機構與線性導件組合而成之 · 移動機構而能往基板搬出裝置用導件3〇1之方向（χ方向）移 動自如。 . 又，有關搬出用機器人3 1〇對自貼合母基板9〇分割出 . 之面板基板90a之搬送，經分割之面板基板9〇a由於未圖示 之吸引機構所產生之吸引而被搬出用機器人3丨〇之吸附墊 保持，搬出用機器人310全體藉升降機構（未圖示）上升完畢 後，將該基板90a往下一製程之面板翻轉單元部32〇之翻轉 · 搬达用機器人321搬送，搬送機器人31〇再藉升降機構（未 圖示）下降，並於下一製程之面板翻轉單元部32〇之翻轉搬 送用機器人321之面板保持部322之既定位置將該基板9〇a 載置成預先決定好之狀態。 於面板翻轉單元部320設有翻轉搬送用機器人32丨，自 基板搬送單元部300之搬出用機器人31〇接收面板基板 9〇a，將面板基板90a之正反翻轉並載置於面板端子分離部 340之分離載台341上。因此，若必須翻轉基板（將單位基參 板之正反對調）給下一製程之裝置，便能容易因應。（以上， 係申請專利範圍第38項之作用） 翻轉搬送用機器人32 1之面板保持部322，係例如具備 複數個吸附墊，並保持成能相對翻轉搬送用機器人1之 機器人本體部323旋轉自如。 * 藉翻轉搬送用機器人321載置於面板端子分離部34〇 之分離載台34 1上的面板基板90a，係例如利用插入機器人 107 1342261 (未圖示则49所示之分離載台341之設於各側緣部附近 的無用部分除去機構342來將面板基板9〇a之無用部99自 面板基板90a分離出來。 無用部分除去機構342，係如圖49所示，將分別具有 相對之一對滾子342b之複數個除去滾子部342a沿分離載台 341之各側緣以既定間距配置而成。設於各除去滾子部 之相對的各滾子342b，係彈壓成朝互相接近之方向，並於 兩滾子342b之間利用插入機器人（未圖示）插入面板基板9〇 a之上側之基板之無用部分99、及面板基板9〇a之下側之側 緣部。各滾子342b，係設定成僅往面板基板9〇a往各滾子 342b間之插入方向之單方向旋轉，相對的一對滾子“η則 設定成分別往旋轉方向相反之方向旋轉。因此，依據無用 部分除去機構342 ’能容易除去留在自基板分割出之單位基 板的無用部。（以上，係申請專利範圍第45項之作用） 有關有上述構成之實施形態2之基板分割系統之動 作，主要說明分割將大尺寸玻璃板貼合而成之貼合基板的 情形之一例。 分割將大尺寸玻璃基板互相貼合而成之貼合母基板9〇 為複數個面板基板90a(參照圖1 8)時，實施形態2之定位單 元部220之設於複數個吸引墊基座221之複數個吸引墊 221a自前製程之搬送裝置（未圖示）接受吸附貼合母基板9〇。 又’劃線單元部240之第1基板支撐部24丨a及第2基 板支撐部241 B之4個離合器，係能解開與驅動軸之結合， 以使確動皮帶輪（用來使各第i基板支撐單元244A及各第2 108 1342261 基板支揮單元244B之破動皮帶繞行移動）不旋轉（以下之說 明中’將改變為這種狀態的動作稱為將離合器〇ff)。 在離合器OFF之狀態下’如圖50所示，第1基板支樓 部241A’係與劃線裝置引導體242及第2基板支撐部24^ 起在基板搬入側移動’並在定位單元部220待機。 然後，使保持著貼合母基板90之複數個吸引墊基座22 j 藉升降裝置222沒入圖51所示待機狀態下之第i基板支撐 部241A之中，解開複數個吸引墊對貼合母基板之吸附狀 態，將貼合母基板90載置於第丨基板支撐部241 A上。 在貼合母基板90如上述般載置於第！基板支撐部241A 上之狀態、在第i基板支撐部241A及第2基板支撐部24ib 之4個離合器OFF之狀態，第i基板支撐部241八與劃線裝 置引導體242及第2基板支撐部241B 一起往基板搬入側稍 微移動，使貼合母基板90之基板搬入側之側緣抵接於設在 定位單元部220之導桿225的複數個基準滾子223。 使貼合母基板90之基板搬入側之側緣抵接於設在定位 單元部220之導桿225的複數個基準滾子223後使定位 單元部220之導桿227之推件224將貼合母基板％推擠向 導桿226之基準滾子223並使該貼合母基板％抵接於貼合 母基板90之導桿226側之側緣及設於導桿226之基準滾子 223 ’稭此來將貼合母基板9〇定位於劃線單元部2扑之第1 基板支榜部24IA内。 然後，在定位單元部220之導桿227之推件224對貼 合母基板90推擠向導# 226之基準滾+ 223的狀態解開、 109 Ϊ342261 第1基板支撐部241A及第2基板支撐部241B之4個離合 * 器OFF的狀態下，使第i基板支撐部241A與劃線裝置引導 ， 體242及第2基板支撐部241B —起移動並移動到貼合母基 · 板90將被夾緊裝置25丨保持的位置後，藉夾緊裝置25丨來 . 失緊貼合母基板9 0之側緣部。 ·' 當貼合母基板90之互相正交之各側緣部分別被夾緊裝 置25 1夾緊時，夹緊貼合母基板9〇之側緣部的各夾緊具便 由於貼合母基板之本身重量大致同時下沈，故貼合母基板 9〇將成為被全部第1基板支樓單元244 Α之確動皮帶輔助性 籲 支撐的狀態。 如圖5 2所示’當貼合母基板9 0之互相正交之各側緣 部分別被夹緊裝置251夾緊，並被第i基板支撐單元244 a 支撐時，劃線單元部240之第1基板支樓部24 1A及第2基 板支撐部241B之4個離合器，便與驅動軸結合（以下之說 明中，將改為此狀態之動作稱為使離合器〇N)，以使確動皮 帶輪（用來使各第1基板支樓單元2 44 A及各第2基板支樓 單元244B之各確動皮帶繞行移動）旋轉。 φ 第1基板支樓部241A及第2基板支撐部241B之4個 離合器單元之離合器ON後’使劃線裝置引導體242往基板 搬入側滑動’以使劃線裝置引導體242到達被該夾緊裝置 25 1被夾緊成水平狀態的貼合母基板9〇之基板搬出側之側 緣部上之既定位置。此外，使設於劃線裝置引導體242之 ’ 第1光學裝置38及第2光學裝置39從各自之待機位置沿 劃線裝置引導體242移動’藉此來拍攝設於各貼合母基板 110 1342261 9〇之第1料標記及第2對準標記。 由於劃線裝置引導體242滑動，故第】基板支撑部2似 往基板搬入側滑動，第2基板切部勵往基板搬入側滑 時’第1基板支撐部241A之第1基板支撐單元244A 之確動皮帶及第2基板支㈣⑷bu2基板支樓單元 測之確動皮帶以與劃線裝置弓I導體242之移動速度相同 之速度來使貼合母基板9G欲㈣線裝置引導體M2之移動 方向之相反方向移動’因此，貼合母基板9〇,不移動而保 持於夾緊裝置25 1 ’成為貼合母基板9〇在與第1基板支撐 4 241八之第1基板支揮單元24从之確動皮帶及第2基板 支撐部241B之第21虹±岭。。_ 弟2基板支撐早疋244β之確動皮帶不滑接 下被支撐之狀態。 其次’根據第1對準標記及第2對準標記之拍攝結果， 利用未圖示之運算處理裝置經運算求取被夾緊裝置25丨支 撐成水平狀態的貼合母基板9〇之相對劃線裝置引導體2竹 之斜度、分割開始位置及分割終了位i，㈣該運算結果， 因應貼合母基板90之該斜度’邊使上部基板分割裝置6〇 及下部基板分割裝置70往x方向移動’邊使劃線裝置弓I導 體242移動’而分割貼合母基板9()。（將此動作稱為利用線 性内插之劃線或分割） 在此情形下，使分別與貼合母基板9〇之正面及反面對 向之刀輪62a’分別壓接並轉動於各正面及反面，來於貼合 母基板90之正面及反面形成劃線95。 圖53，係顯示為了使上部基板分割裝置6〇之刀輪 111 1342261 及下部基板分割裝置70之刀輪62a分別壓接並轉動以從貼 . 合母基板90分割出4片面板基板，而於4片面板基板9〇a 之側緣部形成完成劃線95時，第2基板支撐部24ΐβ支撐 著貼合母基板的狀態。 · 貼合母基板90，係例如，圖53所示能沿上側導軌252 ·. 及下側導軌253之列方向橫跨2列分割為2個面板基板 90a，為了從貼合母基板9〇分割出4個面板基板9〇a，故沿 面板基板90a之側緣，使上部基板分割裝置6〇之刀輪62a 及下部基板分割裝置70之刀輪62a分別壓接並轉動。 · 在此情形下，藉上部基板分割裝置6〇之刀輪62a及下 部基板分割裝置70之刀輪62a，來於各玻璃基板之各刀輪 62a之轉接部分分別產生垂直裂痕而形成劃線％。而且， 於各刀輪62a之刃尖沿圓周方向分別以既定之間距形成有 突起部，故將於各玻璃基板沿厚度方向形成玻璃基板之厚 度之約90%長的垂直裂痕。 又，使用具備緊壓力改變機構之刀頭的劃線方法亦有 效適用於本發明之基板分割系統之貼合母基板9〇之分割。· 該緊壓力改變機構，係讓用來對貼合母基板9〇劃線之鑽石 刀、刀輪等劃線刀產生振動，來使劃線刀對貼合母基板9〇 之緊壓力產生周期性變化。 备貼合母基板90之正反面之劃線加工完成，而成為圖 53所示之狀態時，解開夾緊裝置25丨對貼合母基板9〇之夾 ^ 緊（保持），將貼合母基板9〇載置於第2基板支撐部241b， 並且使第2基板支撐部241B之4個離合器單元之離合器 112 1342261 OFF 〇 然後’如圖54所示，載著劃線完成之貼合母基板90 · 的第2基板支撐部241Β，與第1基板支撐部241Α及劃線 · 裝置引導號9 Λ Ο l * Ζ42 一起往基板搬出側移動，並移動到將插入 ^既定間隔配置於升降輸送機部26〇之複數個第3基板支 ， 樓單元261之間隔的位置。 又為了使上部基板分割裝置60之刀輪62a及下部基 板刀割裝置70之刀輪62a分別壓接並轉動以從貼合母基板 刀。·！出4片面板基板而於4片面板基板9〇a之側緣部形 _ 成丄線的劃線方法中，與圖53所示方法不同之實施形態1 之圖1 9所不之劃線方法亦可以有效適用於本實施形態2之 基板分割系統。 複數個帛3基板支撑單元261以既定之間隔配置於升 降輸送機部260 ’複數個第3基板支撐單元261係如圖48 所不透過支柱265保持於保持架262，並且該間隔足以使劃 線早το部24G之第2基板支樓部241B之複數個第2基板支 樓單兀244B插入。又如圖55所示，複數個第3基板支撑泰 单疋261配置成用來接收劃線完成之貼合母基板9〇的確動 皮帶26U之面比帛2基板支樓單& 2他之待載置劃線完 成之貼合母基板90之面更下方。 載置於第2基板支樓部241B之複數個第2基板支稽單 元244B的s彳線加工元成之貼合母基板9〇，係由於壓缸* 之驅動’而載置於複數個第3基板支揮單元261並沿船垂 方向往上方（+Z方向)之既定位置移動後，由於旋轉馬達 113 1342261 267旋轉、複數個確動皮帶26 1 e移動，而往蒸氣裂片單元 、 部2 8 0搬送。 於蒸氣裂片單元部280有用來對貼合母基板90之上側 «Τ 之母基板91喷蒸氣之複數個蒸氣單元284之安裝用的上側 * 蒸氣單元安裝桿28 1、及用來對貼合母基板90之下側之母 . 基板92喷蒸氣之複數個蒸氣單元284之安裝用的下側蒸氣 單元安裝桿282，該上側蒸氣單元安裝桿28 1及該下側蒸氣 單元安裝桿282並沿與劃線裝置引導體242平行的X方向 安裝於支柱283。 φ 設於蒸氣裂片單元部280之基板搬出側的帶式輸送機 285之繞行移動速度是與升降輸送機部26〇之複數個第3基 板支揮單元261之複數個確動皮帶261e之繞行移動速度大 致相同地設定，以進行同步移動，劃線完成之貼合母基板 90則通過蒸氣裂片單元部280。 又’於上側蒸氣單元安裝桿281之基板搬出側設有氣 刀286 ’下側蒸氣單元安裝桿282亦設有與安裝於上側蒸氣 單70安裝桿282之物同樣之蒸氣單元284及氣刀286，以在 對貼D母基板9〇之正反面喷蒸氣後，將留在貼合母基板9〇 之正反面的水分完全除去。 對刻有劃線的基板9〇之正反面噴蒸氣，藉此來使經加 ^水刀’參透至各劃線之垂直裂痕之内部垂直裂痕由於 钛膨脹之力s而分別伸展，而能分割基板。（以上係申請 . 專利範圍第23項之作用） ^線70成之貼合母基板90，係由於通過蒸氣裂片單元 114 4 1342261 部2 8 0而分割，成為被帶式 策式輸送機285支撐的狀態。 貼合母基板90由於诵讲γ产 、通過溱軋裂片單元部280而分割為 複數個面板基板90a，被帶或於a a * 帶式輸送機285支撐之移動中及停 止中之面板基板90a則被搬出用機器人3iQ拿起並載置於

面板翻轉單元# 320之翻轉搬送用機器a 321《面持 部 322。 ’、T 面板翻轉單元部32〇之翻轉搬送用機器人32ι，係自基 板搬送單元部之搬送機器人31〇接收面板基板術，將面板

基板術之正反翻轉，載置於面板端子分離部34()之分 台341上。 被翻轉搬送用機器人321載置於面板端子分離部34〇 之分離載台34丨上之面板基板9〇a，係利用例如插入機器人 (未圖示）以圖49所示之設於分離載台341之各側緣部附近 的無用部分除去機構342將面板基板90a之無用部99自面 板基板90a分離出來。 又，基板，係除了母基板之外，還包含將母基板彼此 組合並貼合而成之貼合基板、將不同的母基板組合並貼合 馨 而成的貼合基板、將母基板組合並積層而成的基板。 以上，已參照圖43〜圖5 5說明本發明之實施形態2之 基板分割系統2〇〇。 實施形態4 以下’參照圖56〜圖62說明本發明之實施形態3之基 - 板分割系統4〇〇。 圖56 ’係顯示本發明實施形態3之基板分割系統4〇〇 115 1342261 的全體概略立體圖。又，本發明中，「基板」包含用來分 割為複數個基板的母基板，亦包含單板，有鋼板等金屬基 板、木板、塑膠基板、以及陶瓷基板、半導體基板、玻璃 基板等脆性材料基板。再者，除這種單板之外，還包含將 一對基板彼此貼合而成之貼合基板、將一對基板彼此積層 而成之積層基板。 本發明之基板分割系統，係例如製造液晶顯示裝置之 一對玻璃基板互相貼合而成之面板基板（顯示面板用貼合基 板）時，藉該基板分割系統來將一對母玻璃基板互相貼合而 成之貼合母基板90分割為複數片面板基板（顯示面板用貼 合基板）。 本實施形態3之基板分割系統400，係將實施形態1之 基板分割系統1之基板支撐裝置2〇置換為實施形態3之基 板支樓裝置420，並將複數個支撐皮帶45〇張掛於本實施形 態3之基板分割系統内，除此以外，具有與實施形態1同 樣之構成，故圖56中，對於與實施形態1相同之構件，以 相同之符號代表，其詳細的說明加以省略。 本實施形態3之基板分割系統400中’以配置有第1 基板支撐部420A之側為基板搬入側、以配置有基板搬出裝 置80之侧為基板搬出側來進行以下之說明。又本發明之 基板刀割系統400中’基板搬送過去之方向（基板之移動方 向）為自基板搬入側往基板搬出側之+ Y方向。又，該基板 搬送過去$ & 万向為以水平狀態與劃線裝置引導體30正交之 方向自線裝置引導體30則沿X方向設置。 1342261 基板支撐裝置420之第1基板支撐部42〇A及第2基板 ， 支撐部420B ,係例如分別具有分別能往劃線裝置引導體川 . 之移動方向之相同方向移動的5個第i基板支撐單元42i A 及第2基板支撐單元42 1B。各第丨基板支撐單元42lA及 各第2基板支撐單元42 1 B ’係分別沿主架丨丨之長邊方向之 框架11A及11B之平行方向（γ方向）、χ方向並排配置。 圖58,係設於第1基板支撐部42〇A之1個第1基板支 撐單元421八.之立體圖。第1基板支撐單元421八，係具有 沿主架1 1之平行方向（Y方向）以直線狀延伸之支撐本體部籲 42U，於支撐本體部421a之上部設有用來引導支撐皮帶45〇 的皮帶承件421b，於支撐本體部421a之基板搬出側之端部 分別安裝有皮帶輪421c及421d。又，於支撐本體部42U 之下部中央部設有壓缸421h，壓缸421h之壓缸桿則與吸引 板421e接合。再者，於支撐本體部421a之下部兩端部設有 線性導件42 1 f，用來插入各線性導件42 1 f之軸42丨g之一 端分別與吸引板42 1 e接合。 吸引板421e’係由於壓缸421h之驅動而往比支樓皮帶 _ 450更上方之位置移動，接收被未圖示之搬送裝置自前製程 搬送至第1基板支撐部420之貼合母基板90，並藉未圖示 之吸引機構將貼合母基板90吸引並吸附，載置於第1基板 支撐單元42 1A之支撐皮帶450上。 又，壓缸421h’係具有2段壓缸之構成，以未圖示之 電磁閥控制壓縮空氣往壓缸内之投入模式，吸引板42 le， 係可選擇在比圖57所示支撐皮帶450更下方之最下段之位 117 1342261 置、接收貼合母基板90之畏ϊ· / π» 可丞极川之破上段之位置 '及將貼合母基板 90載置於支撐皮帶450之中段之位置。 支柱45設於引導體基座15之上面，該引導體基座15 保持於-對導軌13之各移動單元，該—對導軌13設於架 台1〇之上面，於該支柱45之上方，沿主架Η之框架ΗΑ

及ΠΒ(Υ方向）平行地設有支樓構件43。支揮本體部⑴， 係透過接合構件46及47安裝於2支單^裝構件“及 42，該2支單元安裝構件41及42，係沿與主架n之框架 11A及11B正交之X方向架設於各支撐構件43。

圖57A及圖57B，係用來說明第i基板支撑單元42ia 與劃線裝置引導體30及第2基板支料元42lB—起往基 板搬入側移動之樣子的圖。如圖57A所示，連接於基板搬 ，側之主架"的支樓皮帶450,係支撑於第！基板支樓單 A421A之皮帶承件421b，掛於第！基板支撐單元“Μ之 皮帶輪421c及421d後，掛於第1基板支撐單元“a之下 方之皮帶輪451 ’掛於第2基板支撐單元42ib之下方之皮 帶輪452後’掛於第2基板支樓單元421β之皮帶輪伽 及421〇’支撐於第2基板支撐單元4218之皮帶承件42。 後’連接於基板搬出側之主架1 1來張掛。 用來支撐第1基板支撐單元42丨A之框架UA側之支柱 45及框架11B側之支柱45保持於引導體基座15，於用來 保持支柱28(用來支撐劃線裝置引導體3〇之兩端）之引導體 基座安裝有線性馬達之活動構件（未圖示），㈣於線性 馬達之驅動，劃線裝置引導體3〇往基板搬入側移動，並且 118 1342261 第1基板支撐部420A之5台第i基板支撐單元421A往基 板搬入側移動。 第1基板支撐單元421A，係有複數台（本實施例之說明 中有5台），以既定之間隔配置，與劃線裝置引導體3〇 一起 往沿主架1 1之框架1 1 A及1 1 B的Y方向移動。 基板支撐裝置420之第2基板支撐部420B，係具有例 如分別能往與劃線裝置引導體3G之移動方向之相同方向移 動的5個第2基板支樓單元421B。該第2基板支樓單元 侧’係從第！基板支料元飢拿掉用來使吸附板42u 及吸附板42le升降的壓紅偏、線性導件㈣、軸叫 而構成，以與劃線裝置引導體3〇成對稱、γ方向之安裝方 向相反之方式支標於框架i i A側之支柱Μ及框架Μ側之 支柱45，各支柱保持於引導體基座15。 於用來保持支柱28(用來支標劃線裝置引導體30之兩 的引導體基座15安裝有線性馬達之活動構件（未圖示）， # 動於：性：達之驅動’劃線裝置引導體30往基板搬入側移 板支撐部伽之5台第2純支料元伽 在基板搬入側移動。 導體第所Λ’當第1基板支料元似與劃線裝置引 時，第料7-起往基板搬人側移動 置引導體1下#早疋42^之支擇皮帶45G便沒入劃線裝 則自劃線裝置引導沪M + d«之克撐皮帶450

健之^於第2純支樓單元 皮帶承件㈣上。因此II基板支撐單元42】A 119 1342261 不會與基板滑接，亦無力量作用於基板，因此，刀輪62於 基板之内部產生垂直裂痕時，沒有因刀輪62a而衍生不必要 裂痕之虞。（以上，係申請專利範圍第46項之作用） 又’當第2基板支撐單元421B與劃線裝置引導體3〇 及第1基板支撐單元42 1 A —起往基板搬出側移動時，第2 基板支樓單元421B之支擇皮帶45〇便沒入劃線裝置引導體 30之下方，第1基板支撐單元421A之支撐皮帶45〇則劃線 裝置引導體30之下方昇出於第i基板支撐單元421八之皮 帶承件421b上。因此，第2基板支撐單元421B與基板不 會滑接，且無力量作用於基板。因此，刀輪62a於基板之内 部產生垂直裂痕時，沒有因刀輪62a而衍生不必要裂痕之 虞。（以上，係申清專利範圍第4 7項之作用） 有關有這種構成之實施形態3之基板分割系統之動 作，主要以分割大尺寸玻璃板貼合而成之貼合基板的場合 為例說明。 將大尺寸玻璃基板互相貼合而成之貼合母基板9〇分割 為複數個面板基板90a(參照圖60)時，首先，如圖59所示， 將該貼合母基板90自基板搬入側之端部藉搬送機器人等搬 入本基板分割系統’並將該貼合母基板9〇以水平狀態載置 於第1基板支撐部420A之全部第！基板支撐單元42\A之 支撐皮帶450。 當到達這種狀態時，貼合母基板9〇,便與實施形態ι 同樣地，被未圖示之推件緊壓並抵接於沿主架11之框架 11B配置之未圖示定位銷，並且被未圖示之推件緊壓並抵接 120 1342261 未圖示定位銷。因此， 統之架台10内既定之 於沿與該框架ΠΒ正交之方向配置之 貼合母基板90，係定位於基板分割系 位置。 然後 夾緊 ’圖59所示之貼合母基板9〇，係沿主架]1之框 架ΗΒ之側緣部被夾緊裝置5〇之各炎緊* Μ分別夾緊， 並且位於基板搬入側之貼合母基板9G之側緣部被配置於基 板搬入側、並與框架UB正交之夾緊裝置5〇之各夹緊且Μ 當貼合母基㈣之互相正交之各側緣部分賴夹緊冑# 置50失緊時’夾緊著貼合母基板9〇之側緣部的各夾緊具 便由於貼合母基板之本身重量而大致同時下沈故貼合 母基板90將成為被全部第丨基板支撐單元421A之支撐皮 帶450辅助性支撐的狀態。 當到達這種狀態時，劃線裝置引導體3〇往基板搬入側 滑動，以到達被夾緊裝置5G以水平狀態夹緊之貼合母基板 9〇之基板搬出側之側緣部上之既定位置。此外，使設於劃 線裝置引導體30之第i光學裝置38及第2光學裝置39分籲 別自各自之待機位置沿劃線裝置引導體3〇移動，來分別拍 攝設於貼合母基板90之第1對準標記及第2對準標記。 由於s1〗線裝置引導體30滑動，故第】基板支撐部42〇Α 滑向基板搬入側端部，第2基板支撐部42〇Β滑向基板搬入 . 側此時，第1基板支撐單元42 1Α之劃線裝置引導體30 側之支撐皮帶450沒入劃線裝置引導體3〇之下方，第2基 板支撐單元42 I B之支撐皮帶450則自劃線裝置引導體30 121 1342261 之下方昇出於第2基板支撐單元421B之皮帶承件42丨匕上，· 故支撐皮帶450不會與貼合母基板90之下面滑接。 . 其次，根據第1對準標記及第2對準標記之拍攝结果， 利用未圖示之運算處理裝置經運算求取被失緊裝置5〇°支樓 ： 成水平狀態的貼合母基板9〇之相對劃線裝置引導體3〇之 .. 斜度、分割開始位置及分割終了位置，根據該運算結果， 因應貼合母基板90之該斜《，邊使上部基板分割裝置6〇 及下邛基板分割裝置70往X方向移動，邊使劃線裝置引導 體30往γ方向移動，而分割貼合母基板9〇。（將此動作稱參 為利用線性内插之劃線或分割） 在此情形下，如圖60所示，使分別與貼合母基板9〇 之正面及反面對向之刀輪62a，分別壓接並轉動於各正面及 反面，來於貼合母基板90之正面及反面形成劃線95。 貼合母基板90，係例如能沿上側導軌3丨及下側導軌 32之列方向橫跨2列分割為2個面板基板9〇a，為了從貼合 母基板90分割出4個面板基板9〇a，故沿面板基板9〇a之 側緣’使上部基板分割裝置6〇之刀輪62a及下部基板分割 Λ 裝置70之刀輪62a分別壓接並轉動。 在此情形下，藉上部基板分割裝置6〇之刀輪62a及下 基板分割裝置70之刀輪62a，來於各玻填基板之各刀輪 62a之轉接部分分別產生垂直裂痕而形成劃線95。而且， 於各刀輪62a之刃尖之外周稜線分別以既定之間距形成有 ‘ 突起部’故將於各玻璃基板沿厚度方向形成玻璃基板之厚 度之約90%長的垂直裂痕。 122 1342261 又’使用具備緊壓力改變機構之刀頭的劃線方法亦有 效適用於本發明之基板分割系統之貼合母基板90之分割。 該緊壓力改變機構’係讓用來對貼合母基板90劃線之鑽石 刀、刀輪等劃線刀產生振動，來使劃線刀對貼合母基板90 之緊壓力產生周期性變化。 再者為了使上部基板分割裝置60之刀輪62a及下部 基板分割裝置70之刀輪62a分別壓接並轉動以從貼合母基 板9〇分割出4片面板基板而於4片面板基板90a之側緣部 形成η]線的s彳線方法中，與圖44所示方法不同之實施形態 1之圖19所不之劃線方法亦可以有效適用於本實施形態2 之基板分割系統。 〜 Ά ^又，上部基板分割裝置60之刀輪62a及下部基板分| 哀置7〇所產生之劃線辛，第1基板支撐部420A之全部第 基板支樓單元421A及第2基板支撐部420B之全部第2 j 板支撐單元42 1 B往基板搬入側及基板搬出側移動，但往逢 板搬入側移動時’帛1基板支撐單元他之劃線裝置引; 體3〇側之支擇皮帶45〇沒入劃線裝置引導體3〇之下方 第2基板支樓早το 42IB之支標皮帶45〇則自畫j線裝置引導 之下方昇出於第2基板支#單元侧之皮帶承科 在往基板搬出側移動時，第2基板支樓單元421ί 之支撐皮帶450則沒入劃線裝置引導體3〇之下方，第1基 421Α之支偉皮帶46()則自劃線裝置引導體^ ，下方幵出於帛i基板支標單以21A之皮帶承件㈣上， '支撐皮帶450不會與貼合母基板90之下面滑接。 123 !342261 以上述之劃線方法於貼合母基板形成劃線後，如圖6ι 所不’在形成有劃線95之母貼合基板9〇被第2基板支撑 單元421B之支撐皮帶45〇支撐的狀態下，蒸氣單元部 往基板搬入側移動’對刻有劃線之貼合母基板9〇之正反面 全體噴洛氣’將貼合母基板9〇完全分割，並且噴蒸氣後’ 將留在貼合母基板90之正反面的水分以基板附著物除去裝 置700除去。 由於對刻有劃線之貼合母基板9〇之正反面全體喷蒸 虱，故藉刀輪62a形成之劃線在母玻璃基板丨之正面部分被 加熱而體積膨脹，因此，垂直裂痕往母基板之厚度方向伸 展’而將貼合母基板90完全分割。 然後，如圖61所示，自第2基板支撐部42〇B之全部 第2基板支撐單元421B之支撐皮帶45〇上之貼合基板9〇 分割出之全部面板基板9(^被基板搬出裝置8〇之搬出用機 益人140搬出，故經分割之基板93(端材）被支撐。 此外，基板搬出裝置80及蒸氣單元部】6〇往基板搬出 側之端部移動。 。然後，如圖62所示，劃線裝置引導體30、第2基板支 揮部42GB及第1基板支樓部·A滑向基板搬出側。此 夺第2基板支撐單兀42丨B之劃線裝置引導體儿側之支 樓皮，450,係沒人劃線裝置引導體3()之下方，第】基板 支擇單7L 421 A之支撑皮帶45〇則自劃線裝置引導體3〇之 方昇出於第1基板支撑單元421A之皮帶承件42ib上， 故經分割之基板93(端材）之下面不會與支撑皮帶45〇滑接。 124 1342261 因此，第1基板支撐單元421A之支撐皮帶45〇及第2 . 基板支撐部420B之第2基板支撐單元42iB之支撐皮帶， · 係不從經分割之基板93(端材）之下面滑接，依序成為非接 · 觸狀態，依序解除支撐皮帶450對經分割之基板93(端材） 之支撐。又，解開夾緊裝置5〇對經分割之基板93(端材）的 · 保持，故經分割之基板93(端材）往下方落下。在此情形下， 往下方落下之經分割之母基板93(端材及玻璃屑），係能被 以傾斜狀態配置之導板引導而收容至玻璃屑收容盒内。 又，若母基板為鋼板等金屬基板、木板、塑膠基板、籲 及陶瓷基板、玻璃基板、半導體基板等脆性材料基板，則 可以採用使用例如雷射光、小塊切割鋸、切割鋸' 戴斷用 刀刀、鑽石刀專的母基板分割方法。 再者，基板，除母基板之外，亦包含將母基板彼此組 合並貼合而成之貼合基板、將不同的母基板組合並貼合而 成之貼合基板、將母基板組合並積層而成之基板。 以上，已參照圖56〜圖62說明本發明實施形態3之基 板分割系統400。 實施形態4 以下’參照圖63及圖64說明本發明實施形態4之基 板製造裝置。 圖63，係顯示本發明實施形態4之基板製造裝置8〇 j。 基板製造裝置801 ’係將用來對經分割之基板之端面部 ’ 倒角的基板倒角加工系統2100連接於本發明之基板分割系 統1、200及400之任一台基板分割系統而成。 125 ^42261 若將分割出之單位基板搬送至下一製程起之裝置，則 ， °出之單位基板之端面部之邊緣會有缺口，或產生微小 _ 的龜裂’裂痕自該缺口或龜裂衍生至單位基板全體，致基 板破損。然而，依據基板製造裝置80丨’由於將倒角加工系 . 統連接於本發明之基板分割系統，對單位基板之端面部之 ^ 邊緣進行倒角加工，故能防止基板之破損。（以上係申請 專利範圍第49項之作用） 圖64’係顯示本發明之實施形態4之基板製造裝置8〇2 及基板製造裝置803。 φ 基板製造裝置802及基板製造裝置8〇3，係將用來對經 刀割之基板之尺寸、及基板正反面與端面部之狀況等進行 檢查，或檢查該基板之功能的檢查系統22〇〇，組裝於上述 之基板製造裝置801而成。 右將分割出之單位基板往下一製程起之裝置搬送，則 分割出之單位基板之端面部之邊緣會有缺口，或產生微小 龜裂，裂痕自該缺口或龜裂衍生至單位基板全體，致基板 破損。然而，依據基板製造裝置802或基板製造裝置8〇2， φ 由於將倒角加工系統連接於基板分割系統，對單位基板之 端面部之邊緣進行倒角加工，故能防止基板之破損。 再者，由於基板分割為單位基板時所產生之粉（玻璃屑 粉）等，致弄傷基板正面，或弄斷形成於單位基板之電極。 . 然而，依據基板製造裝置802或基板製造裝置8〇2,因將檢 ， 查系統連接於基板分割系統，故能早期發現傷痕或電極之 斷裂等基板之不良，而能降低製品單位基板之成本。（以上’ 126 1342261 係申請專利範圍第5 1項之作用） <« 又’上述之實施形態1至3之基板分割系統之動作之 說明中，已經以分割玻璃基板貼合而成之貼合母基板的場 ^ 合為例加以敘述，但不限定於說明内容。例如，由於為了 ·' 要增加待分割之基板之種類、或增加構成基板分割系統之 各裝置之機能性等，有可能實施與上述說明不同之動作。 到此為止之實施形態1至3之說明中，主要就用來將 玻璃基板互相貼合而成之貼合母基板分割為複數片顯示面 板之基板分割系統加以說明’但能適用於本發明之基板並 _ 不限定於該貼合母基板。 適用於本發明之基板分割系統的基板，有母基板為鋼 板％•金屬基板’亦包含木板、塑膠基板、及陶免基板、半 導體基板、玻璃基板等脆性材料基板等，再者，包含將母 基板組合並貼合而成之貼合基板、將不同的母基板组合並 貼合而成之基板、將母基板彼此組合並積層而成之基板。 又’本發明之基板分割系統亦適用於將脆性材料基板 彼此貼合而成之貼合脆性材料基板中母基板之分割，該母 基板有FPD(平面顯示器）所用之PDP(電漿顯示器面板）、液 晶顯示面板、反射型投影機面板，透過型投影機面板、有 機EL素子面板、FED(場發射型顯示器）等。 以上，已參照圖1〜圖64說明本發明之基板分割系統 及基板製造裝置。 ' 實施形Μ 5 以下，參照圖65〜圖67說明本發明實施形態5之基板 127 1342261 分割方法。 _例如’藉由已參照圖1說明過之基板分割系統！來執 行基板分割處理。 依據本發明實施形態5之基板分割方法，能於貼合母 基板90之兩面分別形成一筆畫之劃線。在此，「一筆畫之 劃線」’係指為了自貼合母基板9G取出複數個單位基板所 :成之僅1條之劃線。該一筆畫之劃線係使劃線刀從該 二筆畫之劃線之起點到終點均不離開貼合母基& 9〇，從該 一筆畫之劃線之起點到終點均保持（維持）對貼合母基板9〇 之緊壓狀態來形成。 上部基板分割裝置6〇，係於貼合母基板之上面（第1 面)形成-筆畫之劃線。下部基板分割裝置7〇，係於貼合母 基板90之下面（第2面）形成一筆畫之劃線。 圖65,係顯示用來分割本發明實施形態之分割貼合母 基板⑽的分割處理順序。分割處理之執行，係、例如藉基板 / 刀割糸統1内含之電腦來控制。電腦，係形成控制上部基 # 板分割裝置6〇、下部基板分割裝置7〇、劃線裝置引導體30 及基板指示裝置2〇之移動。 导遐 :下’按各步驟說明藉基板分割系統丨來分割貼合母 基板90的順序。 藉基板分割系統丨來分割貼合母基板9G的順序 含劃線製程及裂片劁招又-目，*虫 程。又，視必要實施初期設定製程。 夕1 1 〇 1 .實施初期設定製程。初期設定製程，俜在 °又弋基板为。|丨糸統1之初期狀態的製程。 128 1342261 备·初期设疋製程結束’處理便往步驟1 1 〇 2前進。 · 步驟1 1 02 :實施劃線製程。劃線製程，係於貼合母基 ” 板90形成劃線的製程。劃線製程之詳細内容將於後敘述。 若劃線製程結束’處理便往步驟η 〇3前進。 · 步驟1 103 :實施裂片製程。裂片製程，係對貼合母基 4 板90沿劃線進行裂片的製程。 若裂片製程結束，處理便結束。 以下，詳細說明於步驟1102(參照圖65)實施之劃線製 ° · 圖66，係顯示在步驟π 〇2(參照圖65)實施之劃線製程 所用之貼合母基板90之上面^於貼合母基板9〇之上面形 成有劃線預定線。使上部基板分割裝置6〇及下部基板分割 裝置70沿劃線預定線移動，來於貼合母基板9〇上形成劃 線。又，於貼合母基板90之下面亦形成有與貼合母基板9〇 之上面所形成之劃線預定線對應的劃線預定線。 貼合母基板90之上面所形成之劃線預定線，係具有複 數條直線（直線P1P2、直線P2P3、直線P4P5、直線P6P7、 籲 直線P8P9、直線P10P1 1、直線P12P13 '直線P13P2、直線 P14P15、直線 P16P17、直線 P18P19、直線 P2〇P21、直線 P3P12、及直線P12P22)及複數條曲線（曲線R1〜曲線Ru)。 基板分割系統1，係沿劃線預定線形成劃線，且對貼合 ‘ 母基板90沿劃線進行裂片，藉以來自貼合母基板9〇分割 ， 出單位基板ΙΑ、1B、1C、1D。 單位基板1A，係貼合母基板90中，被直線P2P3、直 129 1342261 線P6P7、直線p13P2及直線P16P17包圍之部分。單位基 板1B，係貼合母基板90中’被直線P8P9、直線P12P13、 直線P13P2及直線P16P17包圍之部分。單位基板a，係 貼合母基板90中，被直線P2P3、直線P6P7、直線P18P19 及直線P3P12包圍之部分。單位基板1D，係貼合母基板9〇 中，被直線P8P9、直線P12P13、直線P18P19及直線P3P12 包圍的部分。單位基板i A，！ B，i c，i D，係配置成彼此隔 有適當間隔。 圖67，係顯示在步驟n〇2(參照圖65)實施之劃線製程 中實施之劃線順序。 以下，參照圖66及圖67按各步驟說明劃線順序。 步驟1〇〇1 :電腦，係控制上部基板分割裝置6〇及下部 基板分割裝置70，使既定之待機位置上之上部基板分割裝 置60下降，且使下部基板分割裝置7Q上升。當上部基板 分割裝置60 T降至距離貼合母基板9〇之上面〇 imm〜 0.2mm之位置，下部基板分割裝置7〇上升至距離貼合母基 板90之下® 〇_lmm〜〇,2mm之位置時，刀輪—便以能分 別充分對應貼合母基板㈧兩主面之凹凸的方式緊麼貼合母 基板9〇。上部基板分割裝i 60及下部基板分割裝置70沿 上側導軌3 1及下側導軌32移動。 步驟1〇〇2:劃線之形成’係自貼合母基板90之外周緣 部（區域aBCD及區域P2P3pi2pi3所圍起之區域）開始。且 體來說’邊使各刀M 62a Μ於貼合母基板％，邊使各刀 輪心自點P1(母基板之外周緣部内之點）沿劃線預定線移 130 1342261 動，來於貼合母基板90之兩主面形成劃線。 . 步驟1003 :沿單位基板之外側邊部形成劃線。具體來· 說，邊使各刀輪62a緊壓於貼合母基板9〇，邊使上部基板 分割裝置60及下部基板分割裝置7〇沿直線ριρ2丄 ； P2P3移動，來於貼合母基板9〇之兩主面形成劃線。 . 步驟1004:於貼合母基板90之外周緣部形成劃線。具 體來說，邊使各刀輪62a緊壓於貼合母基板9〇,邊使上部 基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇沿曲線Rl移動， 來於貼合母基板90之兩主面形成劃線。使上部基板分割裝 · 置60及下部基板分割裝置7〇,以各刀輪62a之軌跡描繪中 心角90 °之圓弧（曲線r丨）之方式移動。 步驟1005 :於貼合母基板90之外周緣部形成劃線。具 體來說，邊使各刀輪62a緊壓於貼合母基板9〇，邊使上部 基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇沿直線p4p5移 動’來於貼合母基板90之兩主面形成劃線。 步驟丨006 :於貼合母基板90之外周緣部形成劃線。具 肢來說，邊使各刀輪62a緊壓於貼合母基板90，邊使上部 # 基板分割裝置60及下部基板分割裝置70沿曲線R2移動， 來於貼合母基板90之兩主面形成劃線。使上部基板分割裝 置60及下部基板分割裝置70以各刀輪62a之軌跡描繪中心 角90°之圓弧（曲線R2)之方式移動。 ^ 步驟1 007 :邊使各刀輪62a緊壓於貼合母基板90，邊 -使上部基板分割裝置60及下部基板分割裝置70在單位基 板間之區域内移動’於單位基板之内側邊部形成劃線。具 131 1342261 體來說，邊使各刀輪62a緊壓於貼合母基板9〇，邊使上部 基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇沿直線p6p7移 動’來於貼合母基板9〇之兩主面形成劃線。 步驟1 008 :於貼合母基板9〇之外周緣部形成劃線。具 體來說，邊使各刀輪62a緊壓於貼合母基板9〇，邊使上部 基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇沿曲線R3移動， 來於貼合母基板90之兩主面形成劃線。使上部基板分割裝 置60及下部基板分割裝置7〇以刀輪62a之軌跡描繪中心角 J80之圓弧（曲線r3)之方式移動。 步驟1009:邊使各刀輪62a緊壓於貼合母基板9〇,邊 使上部基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇在單位基 板間之區域内移動，沿單位基板之内側邊部形成劃線。具 體來說，邊使各刀輪62a緊壓於貼合母基板9〇，邊使上部 基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇沿直線p8p9移 動’來於貼合母基板90之兩主面形成劃線。 步驟！0〖0:於貼合母基板90之外周緣部形成劃線。具 體來說，邊使各刀輪62a緊壓於貼合母基板9〇，邊使上部 基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇沿曲線R4移動， 來於貼合母基板90之兩主面形成畫,[線。使上部基板分判裝 置60及下部基板分割裝置70以各刀輪62a之軌跡描繪°中: 角90°之圓弧（曲線R4)之方式移動。 步驟1011··於貼合母基板90之外周緣部形成劃線。具 體來說’邊|各讀62a緊壓於貼合母基板9〇,邊使上部 基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇沿直線ρ ι〇ρ\ 132 1342261 移動’來於貼合母基板90之兩主面形成劃線。 步驟1012 :於貼合母基板9 0之外周緣部形成劃線。具 體來說’邊使各刀輪62a緊壓於貼合母基板90，邊使上部 基板分割裝置60及下部基板分割裝置70沿曲線R5移動， 來於貼合母基板90之兩主面形成劃線。使上部基板分割裝 置60及下部基板分割裝置70以各刀輪62a之軌跡描繪中心 角90°之圓弧（曲線R5)之方式移動。 步驟10 1 3 :沿單位基板之外侧邊部形成劃線。具體來 έ兒’邊使各刀輪62a緊壓於貼合母基板90，邊使上部基板 分割裝置60及下部基板分割裝置70沿直線p 1 2P丨3移動， 來於貼合母基板90之兩主面形成劃線。 步驟1014 :於貼合母基板90之外周緣部形成劃線，具 體來說’邊使各刀輪62a緊壓於貼合母基板9〇，邊使上部 基板分割裝置60及下部基板分割裝置7〇沿曲線R6移動， 來於貼合母基板90之兩主面形成劃線 使上部基板分割裝 置60及下部基板分割裝置70以各刀輪62a之軌跡描繪平滑 曲線（曲線R6)之方式移動。 步驟10 1 5 :控制部，係邊使各刀輪62a緊壓於貼合母 基板90，邊使上部基板分割裝置6〇及下部基板分割裝置 70依序沿直線P13P2、曲線R7、直線pi4pi5、曲線R8、 直線P16P17、曲線R9、直線P18P19、曲線R1〇、直線 P20P21、曲線RU、直線P3P12及直線pi2p22移動，於貼 合母基板90之兩主面形成劃線。 步驟1016 :在點PU結束劃線之形成。 133 1342261 使上部基板分割裝置60升降至既定之位置下部基板 分割裝置70下降至既定之位置，來結束劃線製程。 如步驟〜步驟1〇丨6所示，邊使刀輪.以各刀輪 62a對貼合母基板9G之緊壓不中斷之方式緊詩貼合母基: 板90,邊使上部基板分割裝置6〇及下部基板分割裝置7〇 自點PM多動至，點P22,來於貼合母基板9〇形成用來自貼合 母基板90分割出單位基板1a、1b、】c、1Dl^， 因能以不停止對貼合母基板9G之緊壓之移動之方式來形成 用來自貼合母基板90分割出單位基板1A之劃線、及用來籲 自貼合母基板90分割出單位基板1B之劃線，故能缩短形 成里線所化費的劃線加工時間。χ，於貼合母基板叫形成 之劃線能防止基板支撐裝置之移動等外在因素所產生力量 導致貼合母基板分割。再者，母基板在劃線形成中不易分 2為2個以上之部分，故經蒸氣單元部喷蒸氣而分割出之 早位基板之分割面不易產生缺口、斜截面（斜的分割面）等不 良。（以上，係申請專利範圍第52項〜第55項之作用） 依據本發明之劃線順序，使用來自貼合母基板9〇分割 · 出單位基板1 Α之上部基板分割裝置6〇及下部基板分割裝 置70沿曲線移動而使沿第丨方向形成之劃線、與沿與第^ 方向不同之第2方向待形成之劃線以曲線（例如，2 〇R〜 6.0R)相連，藉此來於貼合母基板9〇之兩主面形成劃線。 例如，於上部基板分割裝置6〇及下部基板分割裝置7〇之 - 移動方向自直線P2P3之方向改變為直線p4p5之方向的部 分（曲線R1),邊使刀輪62a緊壓於貼合母基板9〇緊壓，邊 134 1342261 部基板分割裝置6〇及下部基板分割裝置70沿曲線R1 ，來於貼合母驗90之兩主面形成劃線（參照圖66)。 因能如上所述移動對貼合母基板9〇之緊壓，使沿第i 2形成之劃線與沿第2方向待形成之劃線以曲線相連， 犯降低各刀輪62a之方向自第1方向改變為第2方向所導 :對各刀輪62a之損傷。(以上，係申請專利 作用） 再者，如使用圖14說明般，在使用含有伺服馬達之刀 ^的情形下，能加速傳遞給刀輪仏之荷重之增減之回 因此’若刀輪62a之緊壓自單位基板之内側邊部或單位 基板之外側邊部往貼合母基板9()之外周緣部移動，便能降 低對刀輪62a之荷重。再者，各刀輪…之緊壓於貼合母基 板90之外周緣部移動時，比於其他部分移動肖更能降低 對各刀輪62a之荷重。 重 具體來說’若在劃線預定線之虛線(直線⑽、曲線 R卜直線剛、曲線R2、曲線R3、曲線以、直線晴心 曲線R5、曲線R6、曲線R7、直線P14pi5、曲線W、曲線 R9、曲線R10、直線P20P21、曲線Ru、直線pi2pm 照圖66)上使各刀輪62a移動，便能降低對各刀輪仏之行 頭65，則在各刀 如’此一來’若使用含有伺服馬達之刀 輪62a對貼合母基板9〇劃線0夺，能於任意之場所降低各刀 輪仏對貼合母基板90之緊麼，故能抑制錢62a之磨損、 損傷等’並能長期安定地使用刀輪62a。（以上，係申請專 135 ^42261 利範圍第56項之作用） _ 以上，參照圖1〜圖67說明本發明之基板分割系統、 基板製造裝置及基板分割方法’但本發明，不應解釋為限 定於本實施形態之發明。應根據申請專利範圍來解釋本發 : 明之範圍。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，可以 ， 從本發明之具體、理想的實施形態之記載，根據本發明之 °己載及技術常谶實施等價的範圍。本說明書所引用之專 利、專利申請及文獻之内容，可以與已記載於本說明書之 部分内容同樣地援用作為本說明書之參考資料。 _ 本發明之基板分割系統，如上所述，由於將基板以夾 緊裝置保持，並以能隨分割引導體之移動而滑動之基板支 撐裝置來支撐，故以一次之基板定位即可自基板之正反面 側同時進行正交2個方向之分割加工，因此，本系統全體 小型化，且能以高效率分割各種基板。 於分割各種材料製之母基板（包含液晶顯示裝置等顯示 面板所使用之玻璃基板等母基板）所使用之基板分割系統及 基板为割生產線糸統之領域中，該等系統之目的在於，縮 小設置面積而小型化，且能以高效率分割各種母基板。 【圖式簡單說明】 圖1 ’係顯示本發明實施形態1之基板分割系統1構成 之概略立體圖。 . 圖2 ’係從另一方向所視之基板分割系統1之概略立體 圖。 136 1342261 要部之放大概略立體圖。 一要部之放大概略立體圖。 出裝置80之搬出用機器人 圖3，係基板分割系統丨之 圖4,係基板分割系統丨之另

圖5A〜5E，係說明基板搬 140之圖。 基板支撐單元之 圖6，係設於基板支撐装置8〇之第 側視圖。 圖7係由基板分割系統！之劃線裝置引導體側所視之 第1基板支撐部之前視圖。 圖8’係設於基板分割系統1之基板支㈣的離合器單 元之概略構成圖。 圖9，係離合器單元之側視圖。 圖1〇，係由基板搬入側所視之基板分割系統丨之蒸氣 單元部之要部前視圖。 ' 圖Π ’係顯示蒸氣單元部之蒸氣單元構造之局部側面 截面圖。 # 圖12，係顯示設於基板分割系統丨之夹緊裝置之構成 及用以說明動作之立體圖。 圖13，係顯示設於基板分割系統丨之夾緊裝置之構成 及用以說明動作之立體圖。 圖I4 ’係蔡貝示基板分割系，统丨之基板分割裝置所具備 之刀頭之一例之側視圖。 Z' 圖15 ’係刀頭之主要部之前視圖。 圖16係顯示基板分割裝置所具備之刀頭之另—例之 前視圖。 137 圖 思、圖。 圖 意圖。 圖 意圖。 1 *7 ^ ’係基板分割系統1之動作說明用之概略俯視示 18 ’係基板分割系統1之動作說明用之概略俯視示 19 ’係顯示基板分割系統中對基板劃線時之劃線示 圖20 ’係顯示真空吸附頭600之構造之局部戴面圖。 圖2丨，7么θ 係顯示真空吸附頭600之構造之截面圖。

圖 2 2 ’係顯示真空吸附頭600之構造之分解立體圖。 圖2飞 j〆 ’係顯示真空吸附頭600所使用之吸附塑·之一例 的戴面圖。 圖 2 4 iy ’係使用真空吸附頭600之真空吸附裝置640之 概觀圖。 圖25A〜25C，係顯示真空吸附頭之吸附墊之姿勢變化 的示意圖。

圖2ό ’係顯示真空吸附裝置64〇中吸附有段差之吸附 對象物之狀態的示意圖。 圖27，很月 你顯示使用真空吸附頭6〇〇之載台之俯視圖。 圖28，往a 你顯示使用真空吸附頭600之載台之側視圖。 圖 29，# 糸用以說明定位動作之說明圖。 圖3〇，係翻_ 斤、、"員不使吸附對象物浮起之狀態之示意圖。 圖31，位加_ 貝示習知例1之吸附墊之構造之戴面圖。 圖32，传如_加 員不S知例2之吸附墊之構造之截面圖。 圖 3 3，作；_ 員示基板附著物除去裝置700之一例之概略 138 立體圖。 Λ 圖34 ’係顯示氣刀單元及保持該氣刀單元之單元保持 邛的概略立體圖。

圖 〇 C ’係說明構成氣刀單元之氣刀之構造的示意截面 圖。 ra 36 ’係說明基板搬送至基板處理部前之氣刀單元狀 態之圖。 阁 *> 7 ’係說明處理基板之正反面時之氣刀單元狀態之 圖〇 圖38,係顯示基板附著物除去裝置1〇〇〇的概略立體圖。 圖3 9係顯示另一單元保持部之構成的概略截面圖。 圖40，係顯示基板附著物除去裝置丨5〇〇的概略示意截 圖4卜係顯示連結氣刀單元16〇的外觀立體圖。 圖42’係基板附著物除去裝置屬之概略構成示意圖。 圖 I員示基板刀割系統200的全體概略立體圖。 圖44,係、顯示基板分割系統的概略俯視圖。 籲 圖45 ’係顯不基板分割系統200的概略側視圖。 圖46，係顯示基板分宅丨么 ^糸統200之定位單元部的概略 視圖 圖…係基板分割系飞2〇〇之升降心 送機部之概略俯 圖48’係升降輸送機部 , 第3基板支撑單元之側視圖。 圖49，係說明基板分宏 尼圃 牧刀割系統200之面板端子分離部之 139 1342261 示意圖。 圖5〇,係基板分割系統200之動作說明用之概略局部 俯視示意圖。 圖5 1係基板为割系統200之動作說明用之概略局部 俯視示意圖。 圖52,係基板分割系統2〇〇之動作說明用之概略局部 俯視示意圖。 圖53 ’係基板分割系統200之動作說明用之概略局部

俯視示意圖。 圖54 ’係基板分割系統200之動作說明用之概略局部 俯視示意圖。 圖55 ’係基板分割系統2〇〇之動作說明用之概略局部 側視示意圖。 圖5 6 ’係顯示基板分割系統4〇〇之一例的全體概略立 體圖。

圖57A、57B，係基板分割系統4〇〇之基板支撐裝置之 第1基板支撐單元之概略立體圖。 圖5 8 ’係基板分割系統400之基板支撐裝置之動作說 明用之側視圖。 圖5 9 ’係基板分割系統400之動作說明用之概略俯視 示意圖。 圖60 ’係基板分割系統4〇〇之動作說明用之概略俯視 示意圖。 圖6 1 ’係基板分割系統400之動作說明用之概略俯視 140 J342261 米意圖。 圖62 ’係基板分割系統400之動作說明用之概略俯視 系意圖。 圖63 ’係顯示本發明之基板製造裝置80 1之構成之一 例的概略圖。 圖64 ’係顯示本發明之基板製造裝置802及基板製造 裝置803之構成的概略圖。 圖65，係顯示本發明實施形態之分割母基板ι〇ι之順 序的流程圖。 圖66,係顯示以步驟8〇2(參照圖65)實施之劃線製 所用之貼合母基板9〇之圖。 圖67’係顯示以步驟8〇2(參照圖65)實施之劃線 所採取之劃線順序的流程圖。 圖68 ’係顯示習知書彳線梦 -J琛哀置之構成之前視圖。 【主要元件符號說明】 1 單位基板 架台 主架 框架 齒條 定子 導轨 I A，1B，1C，1D 10

II 1 1 A，1 1B 11a 12 13 141 1342261 14 支柱 15 引導體基座 20 基板支撐裝置 20A 第1基板支撐部 20B 第2基板支撐部 21 A 第1基板支撐單元 21a 支撐本體部 21b 驅動用確動皮帶輪 21c,21d 確動皮帶輪 21e 確動皮帶 21B 第2基板支撐單元 28 支柱 30 劃線裝置引導體 31 上側導轨 32 下側導軌 33 連結板 38 第1光學裝置 39 第2光學裝置 41,42 單元安裝構件 43 支撐構件 45 支柱 46,47 接合構件 49 旋轉驅動軸 50 夾緊裝置

142 1342261 51 夾緊具 51a 套管 51b 旋動臂部 5 1c 夾緊部 60 上部基板分割裝置 62a 刀輪 62b 刀片座 62c 刀頭 65 刀頭 65 a 側壁 65b 伺服馬達 65c 刀片座用保持具 65d 支軸 65e 軸 65f 斜齒輪 70 下部基板分割裝置 80 基板搬出裝置 81 基板搬出裝置用導件 82 支撐構件 90 貼合母基板 90a 面板基板 93 基板 95 劃線 99 無用部

143 1001342261 101 102 103 104 105 106 1 10 111 1 12,1 15,1 17,1 18 113,114 1 16 119,121 1 20 122 124 140 140a, 1 40m 140b 140c 140e 140f 140g 140h 載台 基座板 基準銷 吸附墊 排氣孔 推件 滾子 離合器單元 小齒輪 確動皮帶輪 惰輪 離合器 確動皮帶 母貼合基板 驅動轴 從動軸 搬出用機器人 伺服馬達 驅動軸 第1皮帶輪 第2皮帶輪 臂 旋轉軸 第3皮帶輪

144 1342261 140i 140j 140k 140n 140p 140q 160 161 161a 161b 161c 161d 162 163 164 200 220 221 221a 222 223 224 225,226,227 皮帶 真空吸附頭安裝板 吸附墊 第4皮帶輪 皮帶 真空吸附頭 蒸氣單元部 蒸氣單元 加熱器 水供給口 導通孔 喷出口 上側蒸氣單元安裝桿 下側蒸氣單元安裝桿 支柱 基板分割系統 定位單元 吸引墊基座 吸引塾 升降裝置 基準滾子 推件 導桿 支柱 228 1342261 230 架台 240 劃線單元部 241 A 第1基板支撐部 241B 第2基板支撐部241B 242 劃線裝置引導體 243A,243B 框架 244A 第1基板支撐單元 244B 第2基板支撐單元 245 支柱 246 支柱 247 引導體基座 250 架台 251 夾緊裝置 252 上側導軌 253 下側導軌 260 升降輸送機部 261 第3基板支撐單元 261a 支樓本體部 261b,261c,261d 確動皮帶輪 261e 確動皮帶 262 保持架 262a 框架 263 線性導件 264 引導軸

146 1342261 265 支柱 266 壓缸 267 旋轉馬達 268 皮帶 270 架台 280 蒸氣裂片單元部 281 上側蒸氣單元安裝桿 282 下側蒸氣單元安裝桿 283 支柱 284 蒸氣單元 285 帶式輸送機 286 氣刀 300 基板搬送單元部 301 基板搬出裝置用導件 302 支柱 303 導件 304 支撐構件 310 搬出用機器人 320 面板翻轉單元部 321 翻轉搬送用機器人 322 面板保持部 323 機器人本體部 330 架台 340 面板端子分離部

147 1342261 341 分離載台 342 無用部分除去機構 342a 除去滾子部 342b 滾子 400 基板分割系統 420 基板支撐裝置 420A 第1基板支撐部 420B 第2基板支撐部 421 A 第1基板支撐單元 421a 支撐本體部 421b 皮帶承件 421c,421d 皮帶輪 421e 吸引板 421f 線性導件 421g 轴 421h 壓缸 421B 第2基板支撐單元 450 支撐皮帶 451,452 皮帶輪 500 搬出用機器人 521 真空吸附頭支撐體 521a 吸附墊 523 迴旋臂 524 旋轉用從動皮帶輪

148 1342261 525 驅動軸 526 連結塊 527 旋轉用伺服馬達 528 旋轉用主皮帶輪 529 旋轉用傳動皮帶 531 連結軸 532 迴旋用從動皮帶輪 533 迴旋用主皮帶輪 535 迴旋用傳動皮帶 536 迴旋用伺服馬達 537 連結體 540 真空吸附頭 600 真空吸附頭 602 套管 602a 凸緣 603 上套管板 603a 突起 604 下套管板 604a 突起 604b 半圓形板 605 上彈簧 606 下彈簧 607 吸引袖 607a 段差部

149 1342261 607b 吸氣子L 608 吸附墊 609 固定濶滑片 610 止動板 611a 接頭 61 lb 螺紋接頭 631 真空吸附墊 632 裙部塾 632a 板部 632b 環狀部 632c 裙部 632d 狹縫 633 吸附盤 633a 氣密部 633b 吸附部 633d 開口 634 補強層 635a,635b 雙面接著片 640 搬送用機器人 641 夾持式載台 642,642a,642b,642c,642d 角鋼 65 1,661 吸附墊 662 吸附盤 700 基板附著物除去裝置（氣刀） 150 1342261 708 上部安裝基座 708a,709a 排氣口 709 下部安裝基座 710A,710B,710C,710D 氣刀單元 712 單元保持部 715 氣刀本體 715a 面 715b,715c 側面 715d 貫通孔 715f 層流形成面 715e 長孔 716 罩子 717 流體喷出用狹縫 718 螺栓 719,720 接頭 721 管 722 套管 723 桿件 723a 滑動部 723b 尖端部 724 壓縮彈簧 725 安裝構件 730 單元保持部 732 套管

151 1342261 732a 凸緣 733 上套管板 733a 突起 734 下套管板 734a 突起 735 上彈簧 736 下彈簧 737 軸 738 安裝用金屬件 801,802,803 基板製造裝置 908 貼合母基板 950 劃線裝置 951 載台 952 夾緊具 953,954 刀頭 1000 基板附著物除去裝置 1500 基板附著物除去裝置 1600 連結式氣刀單元 1600a,1600b 氣刀部 1600c,1600d 面 1606 罩子 1607 流體喷出用狹縫 1608 流體開放用之孔部 2000 基板附著物除去裝置

152 1342261 2001 吸引罩 2002 凸緣 2100 基板倒角加工系統 2200 檢查系統 L 液體 153

Claims (1)

1342261 專利申請案第93128984號申請專利範圍 +、由从rb WA· 札阁修正本2〇10年丨2月 卞申請專利範園： βττη_ 1 ·-種基板分割系統，係具備：L年、日修(更頁 一對劃‘線形成機構，互相對向配置. —對劃線褒置，用以支樓該二 該—對釗峻來#對劃線形成機構，且使 -j線形成機構之—方於該基 向移動，卄难# 取之第1面上沿X軸方 面上沿X轴方向移動； 另—方於絲板之第2 劃線裝置引導體，以使該一對 移動之方式i产# s次裝置能沿γ軸方向 万式支撐該一對劃線裝置；及 基板支撐機構，用以將該基板支 使該一對劃線形 、x—Y平面上，以 機構此對该基板之第1面及該美柘+贫 面進行劃線； w久。茨丞板之第2 該基板支樓機構，係設於該一對 兩側，並且槿忐炎 、、裝置之γ軸方向 構成為此與該一對劃線裝 移動於Υ軸方向； 罝起相對於該基板 °亥對畫彳線裝置，係與該基板 基板移動於〇 保機構—起相對於該 γ袖方向以形成劃線。 2.如申請專利範圍第！項之基板 复 板支樓機構，係具備： 其中，該基 土板支撐裝置，被該劃線 對劃線裝置—走已^ Ή导體支撐，並與該— 起在Υ軸方向移動；及 固定穿"署 ’用以使該基板固定於X— γ平 3H請專利範圍第2項之基板 板支撐裝置，右兮 j乐汍其中，該基 .在該—對劃線裝置及劃線裝置引導俨 1工 Y 軸 154 1342261 __ 99年1七”修(更)正替換頁 方向移動時’以不與該基板滑接、且無力量作用於該基板 之方式來支撐該基板。 4·如申請專利範圍第丨項之基板分割系統，其中，該基 板支擇機構具有支持該基板的複數個滾子。 . 5. 如申請專利範圍第4項之基板分割系統其係具備至 · 夕1個故轉傳遞機構，該傳遞機構係使該複數個滾子隨著 該劃線裝置引導體之移動而旋轉。 6. 如申請專利範圍第丨項之基板分割系統，其中，該基 板支撐機構具有支持該基板的複數條皮帶。 φ 7. 如申請專利範圍第6項之基板分割系統，其係具備至 少1個旋轉傳遞機構，該傳遞機構係使該複數條皮帶隨著 該劃線裝置引導體之移動而繞行移動。 8·如申請專利範圍帛6項之基板分割系統，其中，該複 數條皮帶’係掛設於該基板搬入側之支架與該基板搬出側 之支架之間； ;該複數條皮帶，於該第1基板支撑部移動中，係沒入 W線裝置引導體之下方，或由該劃線裝置引導體之下 | 往上方昇出。 ’ δ玄基 ’分割 9.如申請專利範圍第i項之基板分割系統，其中 板係將_母基板貼合而成的貼合母基板。 > 10.-種基板分割方法，其係於基板分割系統中 該基板，该基板分割系統，係具備： 對劃線形成機構，互相對向配置； 對劃線裂置’用以支撐該一對劃線形成機構，卫 155 99年1h0 ίϊ修(更)正替換頁 對劃線形成機構之一方於該 向移動，並使該一對書 第1面上化X軸方 面上沿X軸方㈣動」;、㈣成機構之另—方於該基板之第2 劃線裝置引導體’以使 移動之方式支樓該一對劃線裝置；/裝置…輪方向 基板w機構’ m㈣基板支料χ—y平面上 使该—對劃線形成機構能對 面進行劃線； 第1面及该基板之第2 兩側：板支撐機構，係設於該一對劃線裝置之γ軸方向 移動於構成為能與該一對劃線裝置-起相對於該基板 移動於Υ軸方向； w 機禮：ί:反分割方法’係使該一對劃線裝置與該基板支樓 起相對於該基板移動於丫軸方向以形成劃線。 11.如申請專利範圍第10項之基板分割方法，其中，該 二曰反支撐機構，係以不與該基板滑接、且對該基板不作用 力1之方式支撐該基板。 十一、圖式： 如次頁 156