JP2016199376A

JP2016199376A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JP2016199376A
Application number: JP2015081722A
Authority: JP
Inventors: 直得永; Nao Tokunaga
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2015-04-13
Filing date: 2015-04-13
Publication date: 2016-12-01
Also published as: TW201637116A; CN106044220A; KR20160122050A

Abstract

【課題】複数の搬送ユニットの間に隙間が生じることによってスクライブした基板が落下したり湾曲することなく第１の搬送ユニットから第２の搬送ユニットに基板を搬送できるようにすること。【解決手段】第１の搬送ユニット１４は３つの平ベルト１４ａ〜１４ｃから成り、第２の搬送ユニット１５は４つの平ベルト１５ａ〜１５ｄから成り立っている。これらの平ベルトの一部を側面から見て互いに重畳するように配置する。こうすれば第１，第２の搬送ユニット１４，１５を同期して動作させることで基板３０を脱落させることなく第２の搬送ユニット１５から第１の搬送ユニット１４に搬送することができる。【選択図】図３

Description

本発明は脆性材料基板を搬送する基板搬送装置に関し、特にスクライブ装置やブレイク装置に基板を搬送する基板搬送装置に関するものである。

脆性材料基板、例えばフラットディスプレイパネル等のパネルの単位基板のためにマザー基板を分断して加工する分断装置では、基板にスクライブを形成するスクライブ装置と、スクライブした基板をブレイクするブレイク装置が用いられる。そして基板をスクライブ装置に搬送したり、スクライブ装置からブレイク装置に搬送するために複数の基板搬送ユニットを有する基板搬送装置が用いられている。

特許文献１には、スクライブヘッドを下降させて押圧し、マザー基板を同一方向に搬送しつつスクライブするためのスクライブ装置が示されている。このようなスクライブ装置では、基板を搬入したり搬出したりするために複数の搬送ユニットが設けられ、搬送ユニット毎に異なるタイミングで基板を搬送するようにしている。

図１はこのような従来のスクライブ装置の一例を示す斜視図である。本図に示すようにスクライブ装置１００は、第１，第２の搬送ユニット１０１，１０２、スクライブ処理部１０３、第３の搬送ユニット１０４がｙ軸方向に隣接して設けられ、更に第２，第３の搬送ユニット１０２と１０４の間には吸着テーブル１０５が設けられている。又第１の搬送ユニット１０１の右側の下流方向には図示しないブレイク装置が設けられている。第１の搬送ユニット１０１，第２の搬送ユニット１０２は互いに異なるタイミングで駆動する必要があるため、別々の搬送ユニットとして構成されている。

そして第３の搬送ユニット１０４と第２の搬送ユニット１０２によって上流から下流、即ちｙ軸方向に向けて基板１１０を搬送しつつ基板の片面又は両面にスクライビングホイールを押し当ててスクライブラインを形成する。

特開２０１３−１４４８８号公報

ところで近年は基板の小型化、薄型化が進んでいる。そのため図２に示すように小さく薄い基板を１つの搬送ユニットから他の搬送ユニットに乗り移らせるときに、搬送ユニットの間で図２（ａ）に示すように小さい基板が落下したり、図２（ｂ）に示すように薄い基板が湾曲する場合がある。又搬送される基板が、端子部分を露出させるためのスクライブラインが形成された貼り合わせ基板の場合には、端子部分を被う端材のみが図２（ｃ）に示すように２つの搬送ユニットの隙間に落下してしまい、搬送装置や後続のブレイク装置に悪影響を及ぼす恐れがあるという問題点もあった。

本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたものであって、１つの搬送ユニットから他の搬送ユニットへ基板が乗り移る際にも基板が脱落したり撓むことなく、基板を正常に搬送できるようにすることを目的とする。

この課題を解決するために、本発明の基板搬送装置は、載置された基板を上流から下流に搬送する第１の搬送ユニットと、前記第１の搬送ユニットの上流側に隣接して設けられ、前記基板を前記第１の搬送ユニットと同一方向に搬送する第２の搬送ユニットと、を具備し、前記第１の搬送ユニットの上流側端部と前記第２の搬送ユニットの下流側端部が側面から見て重畳するように配置されているものである。

ここで前記第１，第２の搬送ユニットは、夫々複数の搬送手段を有し、前記重畳する部分は前記第1の搬送ユニットの搬送手段と前記第２の搬送ユニットの搬送手段とが交互に配置されているようにしてもよい。

ここで前記第１，第２の搬送ユニットの複数の搬送手段は、平ベルトとしてもよい。

ここで前記第２の搬送ユニットの上流には、前記基板にスクライブラインを形成するスクライブユニットが設けられ、該スクライブユニットによりスクライブラインが形成された前記基板を前記第１及び第２の搬送ユニットで搬送するようにしてもよい。

ここで前記スクライブユニットの上流側に前記基板を上流から下流に搬送する第３の搬送ユニットを更に有するようにしてもよい。

このような特徴を有する本発明によれば、小さい基板や薄い基板であっても１つの搬送ユニットから他の搬送ユニットに基板を搬送する際に、基板が脱落したり撓んだり、端材が落下することなく乗り移らせることができるという効果が得られる。

図１は従来のスクライブ装置の一例を示す斜視図である。図２は搬送ユニットから基板を乗り移らせる際の状態を示す概略図である。図３は本実施の形態による基板搬送装置の一例を示す平面図及び側面図である。図４は本発明の実施の形態による基板搬送装置の基板の搬送過程（その１）を示す平面図である。図５は本発明の実施の形態による基板搬送装置の基板の搬送過程（その２）を示す平面図である。図６は本発明の実施の形態の変形例による基板搬送装置の平面図である。図７は本発明の実施の形態の他の変形例による基板搬送装置の平面図である。

まず、本発明の第１の実施の形態による基板搬送装置１０について説明する。基板搬送装置１０は図３（ａ）に平面図、図３（ｂ）に側面図を示すように、ｙ軸方向に平行な一対のフレーム１１，１２の間に台座１３を有しており、台座１３上に第１の搬送ユニット１４及びこの上流側に第２の搬送ユニット１５が設けられている。尚図３（ｂ）ではフレーム１１，１２と台座１３を省略して示している。第１の搬送ユニット１４は図３（ａ）に示すように、３つの搬送手段である平ベルト１４ａ，１４ｂ，１４ｃから成り立っている。これらの平ベルトはｙ軸方向に平行に一定間隔を隔てて設けられている。又第２の搬送ユニット１５はｙ軸方向に平行に一定間隔を隔てて設けられた４つの平ベルト１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄから成り立っている。これらの平ベルトの上面は同一面とする。又平ベルトの夫々の一部がｘ軸方向から見て図３（ｂ）に示すように重なるように構成される。即ち平ベルト１５ａ，１５ｂの右端の間に平ベルト１４ａの左端が入り込み、平ベルト１５ｂ，１５ｃの右端の間に平ベルト１４ｂの左端が入り込み、平ベルト１５ｃ，１５ｄの右端の間に平ベルト１５ｃの左端が入り込むように構成される。

又第２の搬送ユニット１５の上流側にはビーム１６が設けられ、ビーム１６には下向きに回動自在の複数のスクライブヘッドが設けられ、ビーム１６に沿って移動自在とする。このスクライブヘッドは搬送ユニットによって基板を搬送中にｙ軸方向にスクライブを行い、又搬送停止中にビーム１６に沿ってスクライブヘッドを移動させることでｘ軸方向にスクライブすることができる。

次にスクライブ用のビーム１６の上流側には吸着テーブル１７が設けられる。吸着テーブル１７にはその表面に多数の吸引孔１８が設けられている。吸引孔１８は所定の吸引経路でスクライブ装置の外部に備えられたポンプ等の吸引手段に接続されている。吸着テーブル１７は上面に基板が載置された状態で吸引手段を駆動させることによって吸引孔１８から空気を吸い込み、負圧によって基板を吸着し固定するテーブルである。

そしてこの吸着テーブル１７の上流側には、第３の搬送ユニット２０が設けられている。この搬送ユニット２０はｙ軸方向に平行に一定間隔を隔てて設けられた４本の平ベルト２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄから成り立っている。ここで第１〜第３の搬送ユニット１４，１５，２０は図示しないコントローラによって夫々同一又は異なったタイミングで駆動されるように構成されている。

次に基板搬送装置１０の動作について説明する。まず基板３０をスクライブする場合には、図４（ａ）に示す台座１３上に設けられた第３の搬送ユニット２０、即ち平ベルト２０ａ〜２０ｄの上に基板３０を載置する。そして図４（ｂ）に示すように第２，第３の搬送ユニット１５，２０を同期して動作させｙ軸方向に基板３０を搬送すると同時に、図示しないスクライブヘッドを基板３０上に押し当てることで、ｙ軸方向に平行なスクライブラインを形成することができる。このときスクライブヘッドが複数の場合には平行して複数のスクライブラインを形成することができる。

次いで基板３０を−ｙ軸方向に移動させて第３の搬送ユニット２０上に戻した後、スクライブヘッドをビーム１６に沿ってｘ軸方向に移動させることにより、ｘ軸方向に平行なスクライブラインを形成することができる。その後、一旦吸着を解除し、基板３０をｙ軸方向に所定距離移動させてから、再びビーム１６に沿ってスクライブヘッドをｘ軸方向に移動させる。このような処理を繰り返すことによってｘ軸方向に平行に多数のスクライブラインを形成することができる。このとき第２及び第３の搬送ユニット１５，２０は同期して基板３０をｙ軸方向又は−ｙ軸方向に搬送する。こうして基板上に格子状にスクライブラインを形成すると、スクライブ工程が終了する。

スクライブ工程が終了すると、基板３０をｙ軸方向下流の図示しないブレイク装置に搬送するために、第２，第３の搬送ユニット１５，２０を同一速度で動作させる。そして図５（ａ）に示すように基板３０が完全に第２の搬送ユニット１５の平ベルト１５ａ〜１５ｄ上に乗り移ると、第３の搬送ユニット２０を停止する。次に第１，第２の搬送ユニット１４，１５を同一速度で動作させ、基板３０をｙ軸方向に搬送する。このとき平ベルト１５ａ〜１５ｄと１４ａ〜１４ｃの一部がｘ軸方向から見て重なっており、上面も一致しているため、スクライブが完了した基板３０は第２の搬送ユニット１５から第１の搬送ユニット１４に乗り移る際に脱落したり湾曲することはなくなる。又端子部分が既に完全に分離されている場合であっても脱落することなく、基板３０を第１の搬送ユニット１４へと乗り移らせることができる。そして、図５（ｂ）に示すように基板３０が完全に搬送ユニット１４の平ベルト１４ａ〜１４ｃ上に載置されると、第２の搬送ユニット１５を停止する。

尚この実施の形態では第１の搬送ユニット１４の搬送手段を３本の平ベルトとし、第２の搬送ユニット１５の搬送手段を４本の平ベルトとしているが、この数に限定されるものではない。例えば図６に変形例を示すように、第１の搬送ユニットを平ベルト１４ａ〜１４ｄにより、第２の搬送ユニットを平ベルト１５ａ〜１５ｃによって構成してもよい。又平ベルトの幅も同一でなくてもよい。例えば図７に示すように第１の搬送ユニット，第２の搬送ユニット１５のいずれか１つを幅広の平ベルト１４ｆ，１５ｆで構成し、他の平ベルト１４ｅ，１４ｇ，１５ｅ，１５ｇをその周囲に配置してもよい。

又この実施の形態では搬送ユニットの搬送手段を平ベルトとして構成しているが、他の搬送手段であってもよい。例えば表面にローラの上部がわずかに露出するように構成され、各ローラを同期させて回転させることによって基板を搬送する搬送ユニットを採用することもできる。

更にこの実施の形態ではスクライブ装置に第１，第２の搬送ユニットを組み込んだ構成について説明しているが、図３に示すように第１の搬送ユニット１４の右端と第２の搬送ユニット１５の左端がｘ軸方向から見て重なるように配置すればよく、スクライブ装置にのみ適用されるものではない。

本発明は基板のスクライブ装置やブレイク装置に有効に適用することができる。

１０搬送装置
１１，１２フレーム
１３台座
１４第１の搬送ユニット
１４ａ〜１４ｇ平ベルト
１５ａ〜１５ｇ平ベルト
１５第２の搬送ユニット
１６ビーム
１７吸着テーブル
１８吸引孔
２０第３の搬送ユニット
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ平ベルト
３０基板

Claims

載置された基板を上流から下流に搬送する第１の搬送ユニットと、
前記第１の搬送ユニットの上流側に隣接して設けられ、前記基板を前記第１の搬送ユニットと同一方向に搬送する第２の搬送ユニットと、を具備し、
前記第１の搬送ユニットの上流側端部と前記第２の搬送ユニットの下流側端部が側面から見て重畳するように配置されている基板搬送装置。
前記第１，第２の搬送ユニットは、夫々複数の搬送手段を有し、前記重畳する部分は前記第1の搬送ユニットの搬送手段と前記第２の搬送ユニットの搬送手段とが交互に配置されている請求項１記載の基板搬送装置。
前記第１，第２の搬送ユニットの複数の搬送手段は、平ベルトである請求項２記載の基板搬送装置。
前記第２の搬送ユニットの上流には、前記基板にスクライブラインを形成するスクライブユニットが設けられ、該スクライブユニットによりスクライブラインが形成された前記基板を前記第１及び第２の搬送ユニットで搬送する請求項１記載の基板搬送装置。
前記スクライブユニットの上流側に前記基板を上流から下流に搬送する第３の搬送ユニットを更に有する請求項４記載の基板搬送装置。