CN106044220A - 基板输送装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板输送装置，该基板输送装置能够从第一输送单元向第二输送单元输送基板，且不会因为在多个输送单元之间产生间隙而导致刻划后的基板落下或弯曲。第一输送单元(14)由三根平皮带(14a～14c)构成，第二输送单元(15)由四根平皮带(15a～15d)构成。这些平皮带配置为其一部分从侧面观察彼此重叠。由此，通过使第一输送单元、第二输送单元(14、15)同步地进行动作，能够使基板(30)不脱落地从第二输送单元(15)输送到第一输送单元(14)。

Description

基板输送装置
技术领域
本发明涉及输送脆性材料基板的基板输送装置，尤其涉及向刻划装置、切割装置输送基板的基板输送装置。
背景技术
在为了脆性材料基板例如平板显示面板等面板的单位基板而将母基板分断并加工的分断装置中，使用在基板上形成划线的刻划装置、和将刻划后的基板切割的切割(ブレイク)装置。而且，使用为了将基板输送到刻划装置、或者从刻划装置输送至切割装置而具有多个基板输送单元的基板输送装置。
在专利文献1中，示出了使刻划头下降并进行按压，在将母基板朝向相同方向输送的同时进行刻划的刻划装置。在这样的刻划装置中，为了搬入或者搬出基板而设有多个输送单元，每个输送单元在不同的时机输送基板。
图1是示出上述现有的刻划装置的一个例子的立体图。如图1所示，在刻划装置100中，第一输送单元101、第二输送单元102、刻划处理部103、第三输送单元104在y轴方向上相邻设置，进而，在第二输送单元102与第三输送单元104之间设有吸附工作台105。另外，在第一输送单元101的右侧的下游方向设有未图示的切割装置。第一输送单元101、第二输送单元102需要在彼此不同的时机进行驱动，因而作为输送单元被分别构成。
并且，在第三输送单元104和第二输送单元102从上游向下游、即向y轴方向输送基板110的同时，并将刻划轮按压到基板的单面或两面上，从而形成划线。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2013-14488号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
然而，近年来基板的小型化、薄型化不断发展。因此，如图2所示，当将小且薄的基板从一个输送单元转移至另一个输送单元时，有时在输送单元之间，如图2的(a)所示小的基板会落下、或者如图2的(b)所示薄的基板会弯曲。另外，在输送的基板为形成有用于使端子部分露出的划线的粘合基板的情况下，也存在如图2的(c)所示仅覆盖端子部分的端构件从两个输送单元的间隙落下，有可能对输送装置、后续的刻划装置造成不良影响这一问题点。
本发明是着眼于上述现有的问题点而作成的，其目的在于，在从一个输送单元向另一个输送单元转移基板时，基板也不会脱落或弯曲，能够正常地输送基板。
用于解决技术问题的方案
为了解决该问题，本发明的基板输送装置具备：第一输送单元，从上游向下游输送被载置的基板；以及第二输送单元，与所述第一输送单元的上游侧相邻设置，且在与所述第一输送单元相同的方向上输送所述基板，所述第一输送单元的上游侧端部和所述第二输送单元的下游侧端部以从侧面观察重叠的方式而配置。
在此，所述第一输送单元和所述第二输送单元可以分别具有多个输送构件，并且在所述第一输送单元的上游侧端部与所述第二输送单元的下游侧端部重叠的部分中，所述第一输送单元的输送构件与所述第二输送单元的输送构件交替配置。
在此，所述第一输送单元和所述第二输送单元各自的所述多个输送构件可以是平带。
在此，所述第二输送单元的上游设有在所述基板上形成划线的刻划单元，所述基板输送装置可以通过所述第一输送单元和所述第二输送单元输送利用该刻划单元形成有划线的所述基板。
在此，所述基板输送装置还可以包括在所述刻划单元的上游侧的、将所述基板从上游向下游输送的第三输送单元。
发明效果
根据具有上述特征的本发明，能够得到下述效果：即使是小的基板、薄的基板，在从一个输送单元向另一输送单元输送基板时也能够进行转移，且基板不会脱落或弯曲、端构件不会落下。
附图说明
图1是示出现有的刻划装置的一个例子的立体图。
图2的(a)至(c)是示出从输送单元转移基板时的状态的概略图。
图3的(a)和(b)是示出本实施方式的基板输送装置的一个例子的俯视图和侧视图。
图4的(a)和(b)是示出本发明的实施方式的基板输送装置的基板的输送过程(之一)的俯视图。
图5的(a)和(b)是示出本发明的实施方式的基板输送装置的基板的输送过程(之二)的俯视图。
图6是本发明的实施方式的变形例的基板输送装置的俯视图。
图7是本发明的实施方式的另一变形例的基板输送装置的俯视图。
具体实施方式
首先，对本发明的第一实施方式的基板输送装置10进行说明。如图3的(a)的俯视图、图3的(b)的侧视图所示，基板输送装置10在y轴方向上平行的一对框架11、12之间具有台座13，在台座13上设有第一输送单元14，和在该第一输送单元14的上游侧设有第二输送单元15。此外，在图3的(b)中，省略了框架11、12和台座13而示出。如图3的(a)所示，第一输送单元14由三根作为输送构件的平皮带14a、14b、14c构成。这些平皮带设置为在y轴方向上平行地相隔一定间隔。另外，第二输送单元15由设置为在y轴方向上平行地相隔一定间隔的四根平皮带15a、15b、15c、15d构成。这些平皮带的上表面在相同平面上。另外，如图3的(a)所示，构成为各根平皮带的一部分从x轴方向观察重叠。即，构成为：平皮带14a的左端进入平皮带15a、15b的右端之间、平皮带14b的左端进入平皮带15b、15c的右端之间，平皮带14c的左端进入平皮带15c、15d的右端之间。
另外，在第二输送单元15的上游侧设有横梁(ビーム)16，横梁16朝下设有多个旋转自由的刻划头，且该多个刻划头沿横梁16自由移动。该刻划头在由输送单元输送基板过程中在y轴方向上进行刻划，另外，在输送停止中，通过使刻划头沿横梁16移动，从而能够在x轴方向上进行刻划。
接着，在刻划用的横梁16的上游侧设有吸附工作台17。吸附工作台17在其表面上设有多个吸引孔18。吸引孔18经由预定的吸引路径而与设置于刻划装置外部的泵等吸引构件连接。吸附工作台17是通过以在上表面上载置有基板的状态驱动吸引构件而从吸引孔18吸入空气、并通过负压吸附并固定基板的工作台。
并且，在该吸附工作台17的上游侧设有第三输送单元20。该第三输送单元20由设置为在y轴方向上平行地相隔一定间隔的四根平皮带20a、20b、20c、20d构成。在此，第一输送单元～第三输送单元14、15、20构成为：通过未图示的控制器分别在相同或不同的时机进行驱动。
接着，对基板输送装置10的动作进行说明。首先，当对基板30进行刻划时，将基板30载置于图4的(a)所示的台座13上设置的第三输送单元20、即平皮带20a～20d上。然后，如图4的(b)所示，使第二输送单元、第三输送单元15、20同步地进行动作而在y轴方向上输送基板30，并将未图示的刻划头按压到基板30上，从而能够形成在y轴方向上平行的划线。此时，在刻划头为多个的情况下，能够平行地形成多条划线。
接着，在使基板30朝向-y轴方向移动而返回到第三输送单元20上之后，使刻划头沿横梁16在x轴方向上移动，从而能够形成在x轴方向上平行的划线。其后，暂时解除吸附，使基板30在y轴方向上移动预定距离后，再次使刻划头沿横梁16在x轴方向上移动。通过反复进行这样的处理，能够形成多条在x轴方向上平行的划线。此时，第二输送单元和第三输送单元15、20同步地朝向y轴方向或-y轴方向输送基板30。由此，若在基板上形成呈网格状地划线，则刻划工序结束。
在刻划工序结束后，为了将基板30输送至y轴方向下游的未图示的切割装置中，而使第二、第三输送单元15、20以相同速度进行动作。然后，若在如图5的(a)所示基板30完全地转移到第二输送单元15的平皮带15a～15d上，则停止第三输送单元20。接着，使第一输送单元、第二输送单元14、15以相同速度进行动作，并在y轴方向上输送基板30。此时，平皮带15a～15d和14a～14d的一部分从x轴方向观察下重叠，且上表面也一致，因此，刻划完成的基板30在从第二输送单元15转移至第一输送单元14上时不会出现脱落或弯曲。另外，即使端子部分在已经完全地分离的情况下也不会脱落，且能够使基板30转移到第一输送单元14上。然后，若在如图5的(b)所示基板30完全地载置于第一输送单元14的平皮带14a～14c上，则停止第二输送单元15。
此外，在该实施方式中，将第一输送单元14的输送构件设为三根平皮带，将第二输送单元15的输送构件设为四根平皮带，但并不限定于该数量。例如如图6的变形例所示，也可以由平皮带14a～14d构成第一输送单元，由平皮带15a～15c构成第二输送单元。另外，平皮带的宽度也可以不同。例如如图7所示，也可以利用宽幅的平皮带14f、15f构成第一输送单元14、第二输送单元15中的任意一个，并在平皮带14f、15f的周围配置其它的平皮带14e、14g、15e、15g。
另外，在该实施方式中，将输送单元的输送构件由平皮带而构成，但也可以是其它的输送构件。也可以采用例如构成为滚轮的上部稍微露出于表面，且通过使各滚轮同步旋转而输送基板的输送单元。
进而，在该实施方式中，对刻划装置中安装有第一输送单元、第二输送单元的构成进行了说明，但是只要如图3所示配置为第一输送单元14的左端与第二输送单元15的右端从x轴方向观察重叠即可，且并非仅适用于刻划装置。
工业上的可利用性
本发明能够有效地适用于基板的刻划装置、切割装置。
符号说明
10 输送装置
11、12 框架
13 台座
14 第一输送单元
14a～14g 平皮带
15a～15g 平皮带
15 第二输送单元
16 横梁
17 吸附工作台
18 吸引孔
20 第三输送单元
20a、20b、20c、20d 平皮带
30 基板

Claims (5)

1.一种基板输送装置，包括：
第一输送单元，从上游向下游输送被载置的基板；以及
第二输送单元，与所述第一输送单元的上游侧相邻设置，且在与所述第一输送单元相同的方向上输送所述基板，
所述第一输送单元的上游侧端部和所述第二输送单元的下游侧端部以从侧面观察重叠的方式而配置。
2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其中，
所述第一输送单元和所述第二输送单元分别具有多个输送构件，并且在所述第一输送单元的上游侧端部与所述第二输送单元的下游侧端部重叠的部分中，所述第一输送单元的输送构件与所述第二输送单元的输送构件交替配置。
3.根据权利要求2所述的基板输送装置，其中，
所述第一输送单元和所述第二输送单元各自的所述多个输送构件是平带。
4.根据权利要求1所述的基板输送装置，其中，
所述第二输送单元的上游设有在所述基板上形成划线的刻划单元，所述基板输送装置通过所述第一输送单元和所述第二输送单元输送利用该刻划单元形成有划线的所述基板。
5.根据权利要求4所述的基板输送装置，其中，
所述基板输送装置还包括在所述刻划单元的上游侧的、将所述基板从上游向下游输送的第三输送单元。
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