KR20160122050A

KR20160122050A - 기판 반송 장치

Info

Publication number: KR20160122050A
Application number: KR1020160002297A
Authority: KR
Inventors: 나오 토쿠나가
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2015-04-13
Filing date: 2016-01-07
Publication date: 2016-10-21
Also published as: CN106044220A; TW201637116A; JP2016199376A

Abstract

[과제] 본 발명은, 복수의 반송 유닛 사이에 간극이 생김으로써 스크라이빙한 기판이 낙하하거나 만곡되는 일 없이 제1 반송 유닛으로부터 제2 반송 유닛으로 기판을 반송할 수 있게 하는 것을 과제로 한다.
[해결 수단] 제1 반송 유닛(14)은 3개의 평벨트(14a 내지 14c)로 이루어지고, 제2 반송 유닛(15)은 4개의 평벨트(15a 내지 15d)로 이루어져 있다. 이들 평벨트의 일부를 측면에서 보아서 서로 중첩하도록 배치한다. 이와 같이 하면 제1, 제2 반송 유닛(14, 15)을 동기시켜 동작시킴으로써 기판(30)을 탈락시키는 일 없이 제2 반송 유닛(15)으로부터 제1 반송 유닛(14)으로 반송할 수 있다.

Description

기판 반송 장치{SUBSTRATE CONVEYING APPARATUS}

본 발명은 취성 재료 기판을 반송하는 기판 반송 장치에 관한 것으로, 특히 스크라이브 장치나 브레이크 장치에 기판을 반송하는 기판 반송 장치에 관한 것이다.

취성 재료 기판, 예를 들면, 플랫 디스플레이 패널 등 패널의 단위 기판을 위하여 마더 기판을 분단시켜 가공하는 분단 장치에서는, 기판에 스크라이브를 형성하는 스크라이브 장치와, 스크라이빙한 기판을 브레이크시키는 브레이크 장치를 이용할 수 있다. 그리고 기판을 스크라이브 장치에 반송하거나, 스크라이브 장치로부터 브레이크 장치에 반송하기 위하여 복수의 기판 반송 유닛을 구비하는 기판 반송 장치가 이용되고 있다.

특허문헌 1에는, 스크라이브 헤드를 하강시켜서 압압하고, 마더 기판을 동일방향으로 반송하면서 스크라이빙하기 위한 스크라이브 장치가 개시되어 있다. 이러한 스크라이브 장치에서는, 기판을 반입하거나 반출하거나 하기 위해서 복수의 반송 유닛이 설치되고, 반송 유닛마다 다른 타이밍에서 기판을 반송하도록 하고 있다.

도 1은 이러한 종래의 스크라이브 장치의 일례를 나타낸 사시도이다. 본 도면에 나타낸 바와 같이 스크라이브 장치(100)는, 제1, 제2 반송 유닛(101, 102), 스크라이브 처리부(103), 제3 반송 유닛(104)이 y축 방향에 인접해서 설치되고, 또한 제2 반송 유닛(102)과 제3 반송 유닛(104) 사이에는 흡착 테이블(105)이 설치되어 있다. 또 제1 반송 유닛(101)의 우측의 하류방향에는 도시하지 않은 브레이크 장치가 설치되어 있다. 제1 반송 유닛(101), 제2 반송 유닛(102)은 서로 다른 타이밍에서 구동할 필요가 있으므로, 별개의 반송 유닛으로서 구성되어 있다.

그리고 제3 반송 유닛(104)과 제2 반송 유닛(102)에 의해서 상류에서부터 하류, 즉, y축 방향을 향해서 기판(110)을 반송하면서 기판의 한쪽 면 또는 양쪽 면에 스크라이빙 휠을 압압해서 스크라이브 라인을 형성한다.

JP

2013-14488

A

그런데 최근에는 기판의 소형화, 박형화가 진행되고 있다. 그 때문에, 도 2에 나타낸 바와 같이 작고 얇은 기판을 1개의 반송 유닛으로부터 다른 반송 유닛으로 옮겨타게 할 때에, 반송 유닛 사이에서 도 2(a)에 나타낸 바와 같이 작은 기판이 낙하하거나, 도 2(b)에 나타낸 바와 같이 엷은 기판이 만곡될 경우가 있다. 또 반송되는 기판이, 단자부분을 노출시키기 위한 스크라이브 라인이 형성된 접합 기판인 경우에는, 단자부분을 덮는 단부 재료만 도 2(c)에 나타낸 바와 같이 2개의 반송 유닛의 간극에 낙하해버려, 반송 장치나 후속의 브레이크 장치에 악영향을 미칠 우려가 있다는 문제점도 있었다.

본 발명은 이러한 종래의 문제점에 착안해서 이루어진 것으로, 1개의 반송 유닛으로부터 다른 반송 유닛으로 기판이 옮겨탈 때에도 기판이 탈락하거나 휘는 일 없이, 기판을 정상적으로 반송할 수 있게 하는 것을 목적으로 한다.

이 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 기판 반송 장치는, 재치(載置)된 기판을 상류에서부터 하류로 반송하는 제1 반송 유닛과, 상기 제1 반송 유닛의 상류 측에 인접해서 설치되고, 상기 기판을 상기 제1 반송 유닛과 동일 방향으로 반송하는 제2 반송 유닛을 포함하되, 상기 제1 반송 유닛의 상류 측 단부와 상기 제2 반송 유닛의 하류측 단부가 측면에서 보아서 중첩하도록 배치되어 있는 것이다.

여기서 상기 제1, 제2 반송 유닛은, 각기 복수의 반송 수단을 구비하고, 상기 중첩하는 부분은 상기 제1 반송 유닛의 반송 수단과 상기 제2 반송 유닛의 반송 수단이 교대로 배치되어 있도록 해도 된다.

여기서 상기 제1, 제2 반송 유닛의 복수의 반송 수단은 평벨트로 해도 된다.

여기서 상기 제2 반송 유닛의 상류에는, 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 유닛이 설치되고, 상기 스크라이브 유닛에 의해 스크라이브 라인이 형성된 상기 기판을 상기 제1 및 제2 반송 유닛으로 반송하도록 해도 된다.

여기서 상기 스크라이브 유닛의 상류 측에 상기 기판을 상류에서부터 하류로 반송하는 제3 반송 유닛을 더 포함하도록 해도 된다.

이러한 특징을 구비하는 본 발명에 따르면, 작은 기판이나 얇은 기판이더라도 1개의 반송 유닛으로부터 다른 반송 유닛으로 기판을 반송할 때에, 기판이 탈락하거나 휘거나, 단부 재료가 낙하하는 일 없이 옮겨타게 할 수 있다고 하는 효과를 얻을 수 있다.

도 1은 종래의 스크라이브 장치의 일례를 나타낸 사시도;
도 2는 반송 유닛으로부터 기판을 옮겨타게 할 때의 상태를 나타내는 개략도;
도 3은 본 실시형태에 의한 기판 반송 장치의 일례를 나타낸 평면도 및 측면도;
도 4는 본 발명의 실시형태에 의한 기판 반송 장치의 기판의 반송 과정도(파트 1)를 나타낸 평면도;
도 5는 본 발명의 실시형태에 의한 기판 반송 장치의 기판의 반송 과정도(파트 2)를 나타낸 평면도;
도 6은 본 발명의 실시형태의 변형예에 의한 기판 반송 장치의 평면도;
도 7은 본 발명의 실시형태의 다른 변형예에 의한 기판 반송 장치의 평면도.

우선, 본 발명의 제1 실시형태에 의한 기판 반송 장치(10)에 대해서 설명한다. 기판 반송 장치(10)는 도 3(a)에 평면도, 도 3(b)에 측면도를 나타낸 바와 같이, y축 방향에 평행한 1쌍의 프레임(11, 12) 사이에 대좌(13)를 구비하고 있고, 대좌(13) 상에 제1 반송 유닛(14) 및 이 상류 측에 제2 반송 유닛(15)이 설치되어 있다. 또한 도 3(b)에서는 프레임(11, 12)과 대좌(13)를 생략해서 도시하고 있다. 제1 반송 유닛(14)은, 도 3(a)에 나타낸 바와 같이, 3개의 반송 수단인 평벨트(14a, 14b, 14c)로 구성되어 있다. 이들 평벨트는 y축 방향으로 평행하게 일정 간격을 두고 설치되어 있다. 또 제2 반송 유닛(15)은 y축 방향으로 평행하게 일정 간격을 두고 설치된 4개의 평벨트(15a, 15b, 15c, 15d)로 구성되어 있다. 이들 평벨트의 표면은 동일면으로 한다. 또 평벨트의 각기의 일부가 x축 방향에서 보아서 도 3(b)에 나타낸 바와 같이 중첩하도록 구성된다. 즉, 평벨트(15a, 15b)의 우측 단부 사이에 평벨트(14a)의 좌측 단부가 들어가고, 평벨트(15b, 15c)의 우측 단부 사이에 평벨트(14b)의 좌측 단부가 들어가며, 평벨트(15c, 15d)의 우측 단부 사이에 평벨트(15c)의 좌측 단부가 들어가도록 구성된다.

또 제2 반송 유닛(15)의 상류 측에는 빔(16)이 설치되고, 빔(16)에는 하향으로 회동 가능한 복수의 스크라이브 헤드가 설치되어, 빔(16)을 따라서 이동 가능하게 한다. 이 스크라이브 헤드는 반송 유닛에 의해서 기판을 반송 중에 y축 방향으로 스크라이브를 행하고, 또 반송 정지 중에 빔(16)을 따라서 스크라이브 헤드를 이동시킴으로써 x축 방향으로 스크라이브할 수 있다.

다음에 스크라이브용의 빔(16)의 상류 측에는 흡착 테이블(17)이 설치된다. 흡착 테이블(17)에는 그 표면에 다수의 흡인 구멍(18)이 설치되어 있다. 흡인 구멍(18)은 소정의 흡인 경로에서 스크라이브 장치의 외부에 구비된 펌프 등의 흡인 수단에 접속되어 있다. 흡착 테이블(17)은 표면에 기판이 재치된 상태에서 흡인 수단을 구동시킴으로써 흡인 구멍(18)으로부터 공기를 ?g입하고, 부압에 의해서 기판을 흡착하여 고정하는 테이블이다.

그리고 이 흡착 테이블(17)의 상류 측에는, 제3 반송 유닛(20)이 설치되어 있다. 이 반송 유닛(20)은 y축 방향으로 평행하게 일정 간격을 두고 설치된 4개의 평벨트(20a, 20b, 20c, 20d)로 구성되어 있다. 여기서 제1 내지 제3 반송 유닛(14, 15, 20)은 도시하지 않는 제어기에 의해서 각기 동일 또는 다른 타이밍에서 구동되도록 구성되어 있다.

다음에, 기판 반송 장치(10)의 동작에 대해서 설명한다. 우선 기판(30)을 스크라이브할 경우에는, 도 4(a)에 나타낸 대좌(13) 상에 설치된 제3 반송 유닛(20), 즉, 평벨트(20a 내지 20d) 위에 기판(30)을 재치한다. 그리고 도 4(b)에 나타낸 바와 같이 제2, 제3 반송 유닛(15, 20)을 동기시켜 동작시켜 y축 방향으로 기판(30)을 반송함과 동시에, 도시하지 않은 스크라이브 헤드를 기판(30) 상에 압압함으로써, y축 방향에 평행한 스크라이브 라인을 형성할 수 있다. 이때 스크라이브 헤드가 복수인 경우에는 평행하게 복수의 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.

다음에, 기판(30)을 -y축 방향으로 이동시켜서 제3 반송 유닛(20) 상으로 되돌린 후, 스크라이브 헤드를 빔(16)을 따라서 x축 방향으로 이동시킴으로써, x축 방향에 평행한 스크라이브 라인을 형성할 수 있다. 그 후, 일단 흡착을 해제하고, 기판(30)을 y축 방향으로 소정 거리 이동시키고 나서, 재차 빔(16)을 따라서 스크라이브 헤드를 x축 방향으로 이동시킨다. 이러한 처리를 반복함으로써 x축 방향으로 평행하게 다수의 스크라이브 라인을 형성할 수 있다. 이때 제2 및 제3 반송 유닛(15, 20)은 동기해서 기판(30)을 y축 방향 또는 -y축 방향으로 반송한다. 이렇게 해서 기판 상에 격자 형상으로 스크라이브 라인을 형성하면, 스크라이브 공정이 종료된다.

스크라이브 공정이 종료되면, 기판(30)을 y축 방향 하류의 도시하지 않은 브레이크 장치에 반송하기 위하여, 제2, 제3 반송 유닛(15, 20)을 동일 속도로 동작시킨다. 그리고 도 5(a)에 나타낸 바와 같이 기판(30)이 완전히 제2 반송 유닛(15)의 평벨트(15a 내지 15d) 상으로 옮겨타면, 제3 반송 유닛(20)을 정지시킨다. 다음에 제1, 제2 반송 유닛(14, 15)을 동일속도로 동작시켜, 기판(30)을 y축 방향으로 반송한다. 이때 평벨트(15a 내지 15d)와 (14a 내지 14c)의 일부가 x축 방향에서 보아서 중첩하고 있고, 상부면도 일치하고 있기 때문에, 스크라이브가 완료된 기판(30)은 제2 반송 유닛(15)으로부터 제1 반송 유닛(14)으로 옮겨탈 때에 탈락하거나 만곡되는 일은 없어진다. 또 단자부분이 이미 완전히 분리되어 있을 경우이더라도 탈락하는 일 없이, 기판(30)을 제1 반송 유닛(14)으로 옮겨타게 할 수 있다. 그리고, 도 5(b)에 나타낸 바와 같이 기판(30)이 완전히 반송 유닛(14)의 평벨트(14a 내지 14c) 상에 재치되면, 제2 반송 유닛(15)을 정지시킨다.

또, 이 실시형태에서는 제1 반송 유닛(14)의 반송 수단을 3개의 평벨트로 하고, 제2 반송 유닛(15)의 반송 수단을 4개의 평벨트로 하고 있지만, 이 수로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 도 6에 변형예를 나타낸 바와 같이, 제1 반송 유닛을 평벨트(14a 내지 14d)에 의해, 제2 반송 유닛을 평벨트(15a 내지 15c)에 의해 구성해도 된다. 또 평벨트의 폭도 동일하지 않아도 된다. 예를 들면, 도 7에 나타낸 바와 같이 제1 반송 유닛, 제2 반송 유닛(15) 중 어느 하나를 폭이 넓은 평벨트(14f, 15f)로 구성하고, 다른 평벨트(14e, 14g, 15e, 15g)를 그 주위에 배치해도 된다.

또한, 이 실시형태에서는 반송 유닛의 반송 수단을 평벨트로 구성하고 있지만, 다른 반송 수단이어도 된다. 예를 들면, 표면에 롤러의 상부가 약간 노출되도록 구성하여, 각 롤러를 동기시켜서 회전시킴으로써 기판을 반송하는 반송 유닛을 채용하는 것도 가능하다.

또, 이 실시형태에서는 스크라이브 장치에 제1, 제2 반송 유닛을 편입시킨 구성에 대해서 설명하고 있지만, 도 3에 나타낸 바와 같이 제1 반송 유닛(14)의 우측 단부와 제2 반송 유닛(15)의 좌측 단부가 x축 방향에서 보아서 중첩하도록 배치하면 되고, 스크라이브 장치에만 적용되는 것은 아니다.

본 발명은 기판의 스크라이브 장치나 브레이크 장치에 유효하게 적용할 수 있다.

10: 반송 장치 11, 12: 프레임
13: 대좌 14: 제1 반송 유닛
14a 내지 14g: 평벨트 15a 내지 15g: 평벨트
15: 제2 반송 유닛 16: 빔
17: 흡착 테이블 18: 흡인 구멍
20: 제3 반송 유닛 20a, 20b, 20c, 20d: 평벨트
30: 기판

Claims

재치(載置)된 기판을 상류에서부터 하류로 반송하는 제1 반송 유닛; 및
상기 제1 반송 유닛의 상류 측에 인접해서 설치되어, 상기 기판을 상기 제1 반송 유닛과 동일 방향으로 반송하는 제2 반송 유닛을 포함하되,
상기 제1 반송 유닛의 상류 측 단부와 상기 제2 반송 유닛의 하류측 단부가 측면에서 보아서 중첩하도록 배치되어 있는 기판 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1, 제2 반송 유닛은, 각기 복수의 반송 수단을 구비하고, 상기 중첩하는 부분은 상기 제1 반송 유닛의 반송 수단과 상기 제2 반송 유닛의 반송 수단이 교대로 배치되어 있는, 기판 반송 장치.
제2항에 있어서, 상기 제1, 제2 반송 유닛의 복수의 반송 수단은 평벨트인, 기판 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 제2 반송 유닛의 상류에는, 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 유닛이 설치되고, 상기 스크라이브 유닛에 의해 스크라이브 라인이 형성된 상기 기판을 상기 제1 및 제2 반송 유닛으로 반송하는, 기판 반송 장치.
제4항에 있어서, 상기 스크라이브 유닛의 상류 측에 상기 기판을 상류에서부터 하류로 반송하는 제3 반송 유닛을 더 포함하는, 기판 반송 장치.