KR20150108737A - 브레이크 장치 - Google Patents

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KR20150108737A
KR20150108737A KR1020150003649A KR20150003649A KR20150108737A KR 20150108737 A KR20150108737 A KR 20150108737A KR 1020150003649 A KR1020150003649 A KR 1020150003649A KR 20150003649 A KR20150003649 A KR 20150003649A KR 20150108737 A KR20150108737 A KR 20150108737A
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KR1020150003649A
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케이스케 토미나가
키요시 타카마츠
마모루 히데시마
Original Assignee
미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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    • B26F3/002Precutting and tensioning or breaking
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract

[과제] 상류측 반송 벨트와 하류측 반송 벨트 사이에서 기판을 브레이크시킴으로써 생기는 문제를 해소한다.
[해결 수단] 브레이크 장치(1)는 반송 벨트(2)와, 제1 내지 제4지지부재(4, 5, 7, 8)와, 제1 및 제2브레이크 바(3, 6)를 구비하고 있다. 반송 벨트(2)는 가요성을 지니고 있다. 제1브레이크 바(3)와 제1 및 제2지지부재(4, 5)는 재치면(21)의 위쪽에 배치되어 있다. 제2브레이크 바(6)와 제3 및 제4지지부재(7, 8)는 재치면(21)의 아래쪽에 배치되어 있다. 제3지지부재(7)는, 반송 벨트(2)를 개재해서, 제1지지부재(4) 밑에 배치되어 있다. 제4지지부재(8)는, 반송 벨트(2)를 개재해서, 제2지지부재(5) 밑에 배치되어 있다.

Description

브레이크 장치{BREAK APPARATUS}
본 발명은 브레이크 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 취성(脆性) 재료 기판을 브레이크시키는 방법은, 우선, 스크라이브 장치에 의해서 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성한다. 그리고, 브레이크 장치에 의해서, 취성 재료 기판을 압압해서 취성 재료 기판을 휘게 한다. 이 결과, 취성 재료 기판이 스크라이브 라인을 따라서 브레이크된다. 이 브레이크 장치는, 상류측 반송 벨트와 하류측 반송 벨트 사이에 설치되어 있다(특허문헌 1 참조). 그래서, 브레이크 장치는, 상류측 반송 벨트와 하류측 반송 벨트에 걸쳐서 배치된 취성 재료 기판을, 전술한 방법으로 브레이크시킨다.
JP 2012-126580 A
전술한 브레이크 장치와 같이 상류측 반송 벨트와 하류측 반송 벨트 사이에서 취성 재료 기판을 브레이크시키면, 각종 문제가 발생한다. 예를 들어, 브레이크후의 취성 재료 기판의 치수가 작을 경우, 상류측 반송 벨트와 하류측 반송 벨트 사이에 낙하되어 버린다는 문제가 생긴다.
본 발명의 과제는, 상류측 반송 벨트와 하류측 반송 벨트 사이에서 기판을 브레이크시킴으로써 생기는 문제를 해소하는 것에 있다.
본 발명의 제1측면에 따른 브레이크 장치는, 스크라이브 라인이 형성된 취성 재료 기판을 스크라이브 라인을 따라서 브레이크시킨다. 이 브레이크 장치는, 반송 벨트와, 제1 및 제2지지부재와, 제1브레이크 바와, 제3 및 제4지지부재와, 제2브레이크 바를 구비하고 있다. 반송 벨트는 기판이 재치(載置)되는 재치면을 지니고 있다. 반송 벨트는 기판을 반송하도록 구성되어 있다. 반송 벨트는 가요성을 지니고 있다. 제1 및 제2지지부재는 재치면의 위쪽에 있어서 반송 벨트의 반송 방향을 따라서 배치되어 있다. 제1 및 제2지지부재는 승강 가능하게 구성되어 있다. 제1브레이크 바는 재치면의 위쪽에 배치되어 있다. 제1브레이크 바는 제1지지부재와 제2지지부재 사이에 배치되어 있다. 제1브레이크 바는 승강 가능하게 구성되어 있다. 제3 및 제4지지부재는 재치면의 아래쪽에 있어서 반송 방향을 따라서 배치되어 있다. 제3 및 제4지지부재는 승강 가능하게 구성되어 있다. 제2브레이크 바는 재치면의 아래쪽에 배치되어 있다. 제2브레이크 바는 제3지지부재와 제4지지부재 사이에 배치되어 있다. 제2브레이크 바는 승강 가능하게 구성되어 있다. 제3지지부재는, 반송 벨트를 개재해서, 제1지지부재 밑에 배치되어 있다. 제4지지부재는, 반송 벨트를 개재해서, 제2지지부재 밑에 배치되어 있다.
본 발명에 따르면, 예를 들어, 이하와 같은 방법으로 기판을 브레이크시킬 수 있다. 우선, 반송 벨트를 아래쪽에서부터 지지하도록, 제3 및 제4지지부재를 위쪽으로 이동시킨다. 다음에, 제1브레이크 바가 기판을 아래쪽으로 압압하도록, 제1브레이크 바를 아래쪽으로 이동시킨다. 반송 벨트는 가요성을 지니고 있기 때문에, 기판은 반송 벨트와 함께 휠 수 있다. 이 결과, 기판은 스크라이브 라인을 따라서 브레이크된다.
또, 본 발명은, 기판을 아래와 같이 해서 브레이크시킬 수도 있다. 우선, 기판을 위쪽에서부터 지지하도록, 제1 및 제2지지부재를 아래쪽으로 이동시킨다. 다음에, 제2브레이크 바를 위쪽으로 이동시킨다. 이것에 의해, 제2브레이크 바는, 반송 벨트를 개재해서, 기판을 위쪽으로 압압한다. 이 결과, 기판이 반송 벨트와 함께 휘어, 기판은 스크라이브 라인을 따라서 브레이크된다.
이상과 같이, 본 발명에서는, 기판을 브레이크시키기 위하여, 상류측 반송 벨트와 하류측 반송 벨트의 간극을 필요로 하지 않는다. 이 때문에, 상류측 반송 벨트와 하류측 반송 벨트의 간극에서 기판을 브레이크시킴으로써 생기는 문제를 해소할 수 있다.
또한, 전술한 본 발명에 따르면, 다음과 같은 방법에 의해서 기판을 브레이크시킬 수 있다. 예를 들어, 제2지지부재와 제4지지부재에 의해서 기판을 상하 방향으로부터 사이에 유지한다. 이 상태에서, 제1브레이크 바를 아래쪽으로 이동시켜서, 제1브레이크 바에 의해서 기판을 아래쪽으로 압압한다. 이 결과, 반송 벨트와 함께 기판이 휘어, 기판은 스크라이브 라인을 따라서 브레이크된다. 이상의 방법은, 예를 들어, 기판의 가장자리부와 스크라이브 라인의 거리가 짧을 경우에 유용하다.
바람직하게는, 기판은 단부와 본체부를 구비하고 있다. 단부는 스크라이브 라인과 기판의 가장자리부에 의해서 획정된다. 본체부는 단부를 제외한 부분이다. 제2지지부재와 제4지지부재는 반송 벨트와 함께 본체부를 사이에 유지 가능하게 구성되어 있다. 제1브레이크 바는 단부를 아래쪽으로 압압 가능하게 구성되어 있다.
바람직하게는, 제1 및 제2지지부재는 반송 방향을 따라서 이동 가능하게 구성되어 있다.
이 구성에 따르면, 제1 및 제2지지부재는 적절한 위치에서 기판을 위쪽에서부터 지지할 수 있다.
바람직하게는, 제3 및 제4지지부재는 반송 방향을 따라서 이동 가능하게 구성되어 있다.
이 구성에 따르면, 제3 및 제4지지부재는 적절한 위치에서 반송 벨트를 아래쪽에서부터 지지할 수 있다.
본 발명의 제2측면에 따른 브레이크 방법은, 취성 재료 기판을 스크라이브 라인을 따라서 브레이크시킨다. 또, 취성 재료 기판은 스크라이브 라인에 의해서 구획된 본체부와 단부를 구비한다. 이 브레이크 방법은, 이하의 단계 (a) 내지 (c)를 포함한다. 단계 (a)는 가요성을 지니는 반송 벨트에 의해서 기판을 반송한다. 단계 (b)는 본체부를 반송 벨트와 함께 사이에 유지한다. 단계 (c)는 단부를 아래쪽을 향해서 압압하여, 반송 벨트와 함께 단부를 휘게 한다.
이 방법에 따르면, 반송 벨트와 함께 단부를 휘게 함으로써, 기판을 스크라이브 라인을 따라서 브레이크시킬 수 있다. 이와 같이, 본 발명에서는, 기판을 브레이크시키기 위하여, 상류측 반송 벨트와 하류측 반송 벨트의 간극을 필요로 하지 않는다. 이 때문에, 상류측 반송 벨트와 하류측 반송 벨트의 간극에서 기판을 브레이크시킴으로써 생기는 문제를 해소할 수 있다.
바람직하게는, 기판은, 제1기판과 제2기판이 접합된 접합 기판이다. 스크라이브 라인은 제1스크라이브 라인과 제2스크라이브 라인에 의해서 구성된다. 제1스크라이브 라인은 제1기판에 형성되어 있다. 제2스크라이브 라인은 제2기판에 형성되어 있다.
바람직하게는, 단계 (a)에 있어서, 제1기판이 위쪽, 제2기판이 아래쪽이 되도록 취성 재료 기판을 배치해서, 취성 재료 기판을 반송한다. 단계 (c)에 있어서 단부를 휘게 함으로써, 제1스크라이브 라인을 따라서 제1기판이 브레이크된다.
본 발명에 따르면, 상류측 반송 벨트와 하류측 반송 벨트의 간극에서 기판을 브레이크시킴으로써 생기는 문제를 해소할 수 있다.
도 1은 브레이크 장치의 개략도;
도 2는 브레이크 장치의 개략도;
도 3은 브레이크 장치의 개략도;
도 4는 브레이크 장치의 개략도;
도 5는 브레이크 장치의 개략도;
도 6은 브레이크 장치의 개략도;
도 7은 브레이크 장치의 개략도;
도 8은 브레이크 장치의 개략도;
도 9는 브레이크 장치의 개략도;
도 10은 브레이크 장치의 개략도.
이하, 본 발명에 따른 브레이크 장치의 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 브레이크 장치의 개략도이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 브레이크 장치(1)는, 취성 재료 기판(10)을, 스크라이브 라인(11)을 따라서 브레이크시키는 장치이다. 취성 재료 기판(10)에는 스크라이브 라인(11)이 형성되어 있다. 취성 재료 기판(10)은 단부(12)와 본체부(13)를 지니고 있다. 단부(12)는 기판(10)의 가장자리부(14)와, 스크라이브 라인(11)에 의해서 획정되어 있다. 본체부(13)는 취성 재료 기판(10)으로부터 단부(12)를 제외한 부분이다. 또, 본체부(13)는 단부(12)보다도 반송 방향의 길이가 길다.
본 실시형태에서는, 취성 재료 기판(10)은 접합 기판이다. 즉, 취성 재료 기판(10)은 제1기판(15)과 제2기판(16)에 의해서 구성되어 있다. 제1기판(15)에는, 제1스크라이브 라인(11a)이 형성되어 있고, 제2기판(16)에는 제2스크라이브 라인(11b)이 형성되어 있다. 스크라이브 라인(11)은 제1스크라이브 라인(11a)과 제2스크라이브 라인(11b)에 의해서 구성되어 있다. 또, 제1스크라이브 라인(11a)과 제2스크라이브 라인(11b)은 대향하고 있다.
제1기판(15)과 제2기판(16) 사이에서 예를 들어 액정층을 구성한다. 또한, 취성 재료 기판(10)은, 제1기판(15)과 제2기판(16) 사이에 배치된 밀봉 부재(도시 생략)를 구비하고 있다. 이 밀봉 부재에 의해서 액정층을 둘러싸고 있다. 본 실시형태에 있어서의 취성 재료 기판(10)은, 제1기판(15)이 위쪽, 제2기판(16)이 아래쪽에 배치된 상태로 반송된다.
브레이크 장치(1)는, 반송 벨트(2), 제1브레이크 바(3), 제1지지부재(4), 제2지지부재(5), 제2브레이크 바(6), 제3지지부재(7) 및 제4지지부재(8)를 구비하고 있다.
반송 벨트(2)는, 기판(10)이 재치되는 재치면(21)을 구비하고 있다. 반송 벨트(2)는 기판을 반송하도록 구성되어 있다. 또한, 반송 벨트(2)는 가요성을 지니고 있다. 예를 들어, 반송 벨트(2)는, 천연 고무, 합성 고무, 천 또는 합성 수지 등에 의해서 형성할 수 있다. 반송 벨트(2)는 느슨해지지 않을 정도로 장력이 걸린 상태로 설치되어 있다.
이 반송 벨트(2)는, 도 1에 있어서, 반시계 방향으로 회전하고 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 반송 벨트(2)는 기판(10)을 Y방향(도 1의 좌측 방향)으로 반송한다. 구체적으로는, 반송 벨트(2)는 복수의 반송 롤러(22)에 의해서 구동된다. 각 반송 롤러(22)는 모터에 의해서 구동된다.
제1브레이크 바(3)는 반송 벨트(2)의 재치면(21)의 위쪽에 배치되어 있다. 제1브레이크 바(3)는, 반송 방향에 있어서, 제1지지부재(4)와 제2지지부재(5) 사이에 배치되어 있다.
제1브레이크 바(3)는 재치면(21) 위에 재치된 기판(10)을 위쪽에서부터 압압하여, 기판(10)을 스크라이브 라인(11)을 따라서 브레이크시키기 위한 부재이다. 상세하게는, 제1브레이크 바(3)는 선단부(하단부)에서 기판(10)을 압압한다.
제1브레이크 바(3)의 선단부는 선단을 향해서 서서히 두께가 얇아지도록 구성되어 있다. 제1브레이크 바(3)는 수평 방향에 있어서 반송 방향과 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 구체적으로는, 제1브레이크 바(3)는 도 1의 지면에 대해서 수직인 방향으로 연장되어 있다.
제1브레이크 바(3)는 승강 가능하게 구성되어 있다. 즉, 제1브레이크 바(3)는 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 예를 들어, 제1브레이크 바(3)는, 유체 실린더(도시 생략)에 의해서 구동되어, 위쪽 및 아래쪽으로 이동 가능하다. 상세하게는, 제1브레이크 바(3)는, 재치면(21) 위에 재치된 기판(10)을 위쪽에서부터 압압하도록, 아래쪽으로 이동 가능하다. 또한, 제1브레이크 바(3)는, 재치면(21) 위에 재치된 기판(10)과 접촉하지 않을 정도로 위쪽으로 이동 가능하다.
제1지지부재(4)는 재치면(21) 위에 재치된 기판(10)을 지지하기 위한 부재이다. 상세하게는, 제1지지부재(4)의 하부면이 기판(10)의 표면과 접촉함으로써, 제1지지부재(4)는 기판(10)을 지지한다.
제1지지부재(4)는 반송 벨트(2)의 재치면(21)의 위쪽에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1지지부재(4)는 제1브레이크 바(3)에 대해서 반송 방향 상류측에 배치되어 있다.
제1지지부재(4)는 승강 가능하게 구성되어 있다. 즉, 제1지지부재(4)는 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 예를 들어, 제1지지부재(4)는, 유체 실린더(도시 생략)에 의해서 구동되어, 위쪽 및 아래쪽으로 이동 가능하다. 상세하게는, 제1지지부재(4)는, 재치면(21) 위에 재치된 기판(10)을 지지하도록, 아래쪽으로 이동 가능하다. 또한, 제1지지부재(4)는 재치면(21) 위에 재치된 기판(10)과 접촉하지 않을 정도로 위쪽으로 이동 가능하다.
제2지지부재(5)는 재치면(21) 위에 재치된 기판(10)을 지지하기 위한 부재이다. 제2지지부재(5)는 재치면(21)의 위쪽에 배치되어 있다. 본 실시형태에 있어서, 제2지지부재(5)는 제1브레이크 바(3)에 대해서 반송 방향 하류측에 배치되어 있다. 제2지지부재(5)는 승강 가능하게 구성되어 있다. 또, 제2지지부재(5)는, 배치되어 있는 위치 이외에는 전술한 제1지지부재(4)와 마찬가지 구성이기 때문에, 상세한 설명을 생략한다. 또한, 제1 및 제2지지부재(4, 5)는 반송 방향을 따라서 이동 가능하게 구성되어 있다. 즉, 제1 및 제2지지부재(4, 5)는 반송 방향 상류측으로 이동하거나, 반송 방향 하류측으로 이동하거나 할 수 있다.
이상과 같이, 반송 벨트(2)의 재치면(21)의 위쪽에 배치된 제1지지부재(4), 제1브레이크 바(3) 및 제2지지부재(5)는 이 순서대로 배치되어 있다. 반송 방향에 있어서 제1지지부재(4)와 제2지지부재(5)는 간격(s)를 두고 배치되어 있다.
제2브레이크 바(6)는 반송 벨트(2)의 재치면(21)의 아래쪽에 배치되어 있다. 제2브레이크 바(6)는, 반송 방향에 있어서, 제3지지부재(7)와 제4지지부재(8) 사이에 배치되어 있다.
제2브레이크 바(6)는, 재치면(21) 위에 재치된 기판(10)을 아래쪽에서부터 압압하여, 기판(10)을 스크라이브 라인(11)을 따라서 브레이크시키기 위한 부재이다. 상세하게는, 제2브레이크 바(6)는 반송 벨트(2)를 개재해서 기판(10)을 압압한다. 또, 제2브레이크 바(6)는 선단부(상단부)에서 기판(10)을 압압한다.
제2브레이크 바(6)의 선단부는, 선단을 향해서 서서히 두께가 얇아지도록 구성되어 있다. 제2브레이크 바(6)는 수평방향에 있어서 반송 방향과 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 구체적으로는, 제2브레이크 바(6)는 도 1의 지면에 대해서 수직인 방향으로 연장되어 있다.
제2브레이크 바(6)는 승강 가능하게 구성되어 있다. 즉, 제2브레이크 바(6)는 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 예를 들어, 제2브레이크 바(6)는, 유체 실린더(도시 생략)에 의해서 구동되어, 위쪽 및 아래쪽으로 이동 가능하다. 상세하게는, 제2브레이크 바(6)는 재치면(21) 위에 재치된 기판(10)을 아래쪽에서부터 압압하도록, 위쪽으로 이동 가능하다. 또한, 제2브레이크 바(6)는 반송 벨트(2)와 접촉하지 않을 정도로 아래쪽으로 이동 가능하다.
제3지지부재(7)는 반송 벨트(2)를 아래쪽에서부터 지지하기 위한 부재이다. 상세하게는, 제3지지부재(7)는 반송 벨트(2)를 지지함으로써, 재치면(21) 위에 재치된 기판(10)을 지지한다. 또, 제3지지부재(7)의 상부면이 반송 벨트(2)의 재치면(21)의 반대측면(23)과 접촉함으로써, 제3지지부재(7)는 반송 벨트(2)를 지지한다.
제3지지부재(7)는 재치면(21)의 아래쪽에 배치되어 있다. 또한, 제3지지부재(7)는 제2브레이크 바(6)에 대해서 반송 방향 상류측에 배치되어 있다.
제3지지부재(7)는 승강 가능하게 구성되어 있다. 즉, 제3지지부재(7)는 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 예를 들어, 제3지지부재(7)는, 유체 실린더(도시 생략)에 의해서 구동되어, 위쪽 및 아래쪽으로 이동 가능하다. 상세하게는, 제3지지부재(7)는, 반송 벨트(2)를 지지하도록, 위쪽으로 이동 가능하다. 또한, 제3지지부재(7)는 반송 벨트(2)와 접촉하지 않을 정도로 아래쪽으로 이동 가능하다.
제4지지부재(8)는, 반송 벨트(2)를 지지하기 위한 부재이다. 제4지지부재(8)는 재치면(21)의 아래쪽에 배치되어 있다. 또한, 제4지지부재(8)는 제2브레이크 바(6)에 대해서 반송 방향 하류측에 배치되어 있다. 제4지지부재(8)는 승강 가능하게 구성되어 있다. 또, 제4지지부재(8)는, 배치되어 있는 위치 이외에는 전술한 제3지지부재(7)와 마찬가지 구성이기 때문에, 상세한 설명을 생략한다. 또한, 제3 및 제4지지부재(7, 8)는 반송 방향을 따라서 이동 가능하게 구성되어 있다. 즉, 제3 및 제4지지부재(7, 8)는 반송 방향 상류측으로 이동하거나, 반송 방향 하류측으로 이동하거나 할 수 있다.
이상과 같이, 반송 벨트(2)의 재치면(21)의 아래쪽에 배치된 제3지지부재(7), 제2브레이크 바(6) 및 제4지지부재(8)는, 이 순서대로 배치되어 있다.
다음에, 전술한 바와 같이 구성된 브레이크 장치를 이용한 브레이크 방법에 대해서 설명한다. 또, 기판(10)의 가장자리부(14)와 스크라이브 라인(11)의 거리는, 제1지지부재(4)와 제2지지부재(5)의 간격(s)의 최소값의 절반보다도 작다. 예를 들어, 기판(10)의 가장자리부(14)와 스크라이브 라인(11)의 거리는, 1㎜ 이상 3㎜ 이하 정도이다. 또한, 간격(s)의 최소값이란, 제1지지부재(4)와 제2지지부재(5)에 의해서 기판(10)을 위쪽에서부터 지지해서 제2브레이크 바(6)에 의해서 기판(10)을 위쪽으로 압압해서 스크라이브 라인(11)을 따라서 기판(10)을 브레이크시킬 수 있는 범위에서, 제1지지부재(4)와 제2지지부재(5)를 가장 가깝게 했을 때의 간격(s)을 의미한다.
우선, 도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 벨트(2)의 재치면(21) 상에 취성 재료 기판(10)을 재치한다. 그리고, 반송 벨트(2)에 의해서 취성 재료 기판(10)을 반송한다. 상세하게는, 반송 롤러(22)에 의해서 반송 벨트(2)를 구동하여, 취성 재료 기판(10)을 반송한다.
취성 재료 기판(10)의 스크라이브 라인(11)이 제1브레이크 바(3)의 바로 아래에 위치했을 때, 반송 벨트(2)에 의한 취성 재료 기판(10)의 반송을 정지시킨다. 그리고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제3 및 제4지지부재(7, 8)를 위쪽으로 이동시켜, 제3 및 제4지지부재(7, 8)에 의해서 아래쪽에서부터 반송 벨트(2)를 지지한다. 또, 제4지지부재(8)는 반송 벨트(2)를 개재해서 기판(10) 밑에 위치하고 있지만, 제3지지부재(7)는 반송 벨트(2)를 개재해서 기판(10) 밑에 위치하고 있지 않다.
다음에, 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1브레이크 바(3)를 아래쪽으로 이동시킨다. 이것에 의해서, 제1브레이크 바(3)는 기판(10)을 아래쪽으로 압압하여, 기판(10)은 반송 벨트(2)와 함께 휜다. 또, 제1브레이크 바(3)는 스크라이브 라인(11) 위를 압압한다. 이 결과, 제2기판(16)에 형성된 제2스크라이브 라인(11b)을 따라서 제2기판(16)이 브레이크된다.
이어서, 반송 벨트(2)에 의한 기판(10)의 반송을 재개한다. 상세하게는, 제3 및 제4지지부재(7, 8)를 아래쪽으로 이동시키고, 제1브레이크 바(3)를 위쪽으로 이동시킨 후, 반송 벨트(2)에 의한 기판(10)의 반송을 재개한다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 단부(12)가 제1브레이크 바(3)의 바로 아래에 위치했을 때, 반송 벨트(2)에 의한 취성 재료 기판(10)의 반송을 정지한다. 그리고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제2지지부재(5)를 아래쪽으로 이동시키고, 제4지지부재(8)를 위쪽으로 이동시킨다. 이 결과, 기판(10)은 제2지지부재(5)와 제4지지부재(8)에 의해서 사이에 유지되어 지지된다. 구체적으로는, 제2 및 제4지지부재(5, 8)는 기판(10)의 본체부(13)를 사이에 유지한다. 즉, 기판(10)의 단부(12)는 제2 및 제4지지부재(5, 8)에 의해서 사이에 유지되어 있지 않다. 또, 제2지지부재(5)와 제4지지부재(8)는 기판(10)뿐만 아니라 반송 벨트(2)도 사이에 유지하고 있다.
다음에, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1브레이크 바(3)를 아래쪽으로 이동시킨다. 이것에 의해서, 제1브레이크 바(3)는 기판(10)의 단부(12)를 아래쪽으로 압압하여, 단부(12)가 아래쪽으로 휜다. 이 결과, 제1기판(15)에 형성된 제1스크라이브 라인(11a)을 따라서 제1기판(15)이 브레이크된다.
이상과 같이, 브레이크 장치(1)는, 기판(10)을, 스크라이브 라인(11)을 따라서 브레이크시킬 수 있다. 또한, 기판(10)의 단부(12)의 폭이 좁을 경우, 제1지지부재(4)와 제2지지부재(5)에 의해서 기판(10)을 지지할 수 없는 일이 있다. 이러한 경우더라도, 전술한 방법에 의해서, 기판(10)을 스크라이브 라인(11)을 따라서 브레이크시킬 수 있다.
기판(10)의 가장자리부(14)와 스크라이브 라인(11)의 거리가 제1지지부재(4)와 제2지지부재(5)의 간격(s)의 최소값의 절반보다 클 경우에는, 이하와 같은 방법에 의해서, 제1기판(15)을 브레이크시킬 수 있다.
상세하게는, 취성 재료 기판(10)의 스크라이브 라인(11)이 제1브레이크 바(3)의 바로 아래에 위치했을 때, 반송 벨트(2)에 의한 취성 재료 기판(10)의 반송을 정지시킨다. 그리고, 도 7에 나타낸 바와 같이, 제3 및 제4지지부재(7, 8)를 위쪽으로 이동시키고, 제3 및 제4지지부재(7, 8)에 의해서 아래쪽에서부터 반송 벨트(2)를 지지한다. 여기에서, 제3 및 제4지지부재(7, 8)는, 반송 벨트(2)를 개재해서, 기판(10) 밑에 위치하고 있는 것이 바람직하다.
이어서, 도 8에 나타낸 바와 같이, 제1브레이크 바(3)를 아래쪽으로 이동시킨다. 이것에 의해서, 제1브레이크 바(3)는 기판(10)을 아래쪽으로 압압한다. 또, 제1브레이크 바(3)는 스크라이브 라인(11) 위를 압압한다. 이 압압력에 의해서, 기판(10)은 반송 벨트(2)와 함께 휜다. 이 결과, 제2스크라이브 라인(11b)을 따라서 제2기판(16)이 브레이크된다.
다음에, 제3 및 제4지지부재(7, 8)를 아래쪽으로 이동시키고, 제1브레이크 바(3)를 위쪽으로 이동시킨다. 그리고, 도 9에 나타낸 바와 같이, 제1 및 제2지지부재(4, 5)을 아래쪽으로 이동시킨다. 이것에 의해서, 제1 및 제2지지부재(4, 5)에 의해서 위쪽에서부터 기판(10)을 지지한다.
이어서, 도 10에 나타낸 바와 같이, 제2브레이크 바(6)를 위쪽으로 이동시킨다. 이것에 의해서, 제2브레이크 바(6)는, 반송 벨트(2)를 개재해서, 기판(10)을 위쪽으로 압압한다. 이 결과, 기판(10)은 반송 벨트(2)와 함께 휘어, 제1스크라이브 라인(11a)을 따라서 제1기판(15)이 브레이크된다.
[변형예]
이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 이들로 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 한에 있어서 각종 변경이 가능하다.
변형예 1
상기 실시형태에서는, 제1 및 제3지지부재(4, 7)가 반송 방향의 상류측에 위치하고, 제2 및 제4지지부재(5, 8)가 반송 방향의 하류측에 위치하고 있지만, 각 부재의 위치 관계는 특별히 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 제1 및 제3지지부재(4, 7)가 반송 방향의 하류측에 위치하고, 제2 및 제4지지부재(5, 8)가 반송 방향의 상류측에 위치하고 있어도 된다.
변형예 2
상기 실시형태에서는, 취성 재료 기판(10)은 접합 기판이었지만, 취성 재료 기판(10)은 특별히 이것으로 한정되지 않는다.
1: 브레이크 장치 2: 반송 벨트
21: 재치면 3: 제1브레이크 바
4: 제1지지부재 5: 제2지지부재
6: 제2브레이크 바 7: 제3지지부재
8: 제4지지부재

Claims (7)

  1. 스크라이브 라인이 형성된 취성 재료 기판을 상기 스크라이브 라인을 따라서 브레이크시키는 브레이크 장치로서,
    상기 취성 재료 기판이 재치(載置)되는 재치면을 구비하고, 상기 취성 재료 기판을 반송하도록 구성되며, 가요성을 지니는 반송 벨트;
    상기 재치면의 위쪽에 있어서 상기 반송 벨트의 반송 방향을 따라서 배치되어, 승강 가능하게 구성된 제1 및 제2지지부재;
    상기 재치면의 위쪽에 있어서 상기 제1지지부재와 상기 제2지지부재 사이에 배치되어, 승강 가능하게 구성된 제1브레이크 바;
    상기 재치면의 아래쪽에 있어서 상기 반송 방향을 따라서 배치되어, 승강 가능하게 구성된 제3 및 제4지지부재; 및
    상기 재치면의 아래쪽에 있어서, 상기 제3지지부재와 상기 제4지지부재 사이에 배치되어, 승강 가능하게 구성된 제2브레이크 바를 포함하되,
    상기 제3지지부재는, 상기 반송 벨트를 개재해서, 상기 제1지지부재의 아래쪽에 배치되고,
    상기 제4지지부재는, 상기 반송 벨트를 개재해서, 상기 제2지지부재의 아래쪽에 배치되는 것인 브레이크 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 취성 재료 기판은, 상기 스크라이브 라인과 상기 기판의 가장자리부에 의해서 획정되는 단부와, 상기 단부를 제외한 본체부를 구비하고,
    상기 제2지지부재와 상기 제4지지부재는 상기 반송 벨트와 함께 상기 본체부를 사이에 유지 가능하게 구성되며,
    상기 제1브레이크 바는 상기 단부를 아래쪽으로 압압 가능하게 구성되는 것인 브레이크 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2지지부재는 상기 반송 방향을 따라서 이동 가능하게 구성되어 있는 것인 브레이크 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제3 및 제4지지부재는 상기 반송 방향을 따라서 이동 가능하게 구성되어 있는 것인 브레이크 장치.
  5. 스크라이브 라인에 의해서 구획된 본체부와 단부를 구비하는 취성 재료 기판을 상기 스크라이브 라인을 따라서 브레이크시키는 방법으로서,
    (a) 가요성을 지니는 반송 벨트에 의해서 상기 취성 재료 기판을 반송하는 단계와,
    (b) 상기 본체부를 상기 반송 벨트와 함께 유지하는 단계와,
    (c) 상기 단부를 아래쪽을 향해서 압압하여, 상기 반송 벨트와 함께 상기 단부를 휘게 하는 단계를 포함하는, 브레이크 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 취성 재료 기판은, 제1기판과 제2기판이 접합된 접합 기판으로서,
    상기 스크라이브 라인은, 제1기판에 형성된 제1스크라이브 라인과, 상기 제2기판에 형성된 제2스크라이브 라인에 의해서 구성되는 것인, 브레이크 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 단계 (a)에 있어서, 상기 제1기판이 위쪽, 상기 제2기판이 아래쪽이 되도록 상기 취성 재료 기판을 배치해서, 상기 취성 재료 기판을 반송하고,
    상기 단계 (c)에 있어서 상기 단부를 휘게 함으로써, 상기 제1스크라이브 라인을 따라서 상기 제1기판이 브레이크되는 것인, 브레이크 방법.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1270990C (zh) * 1998-08-28 2006-08-23 坂东机工株式会社 玻璃板的折断机械
JP4227811B2 (ja) * 2003-01-15 2009-02-18 日本特殊陶業株式会社 セラミック配線基板の製造方法およびセラミック焼成品の分割装置
JP5277943B2 (ja) * 2007-12-26 2013-08-28 三菱マテリアル株式会社 分割体の製造装置及び製造方法
JP5228852B2 (ja) * 2008-12-01 2013-07-03 セイコーエプソン株式会社 基板の分割方法および基板の分割装置
JP5330845B2 (ja) * 2009-01-30 2013-10-30 三星ダイヤモンド工業株式会社 基板ブレーク装置
KR101020682B1 (ko) * 2009-05-06 2011-03-11 세메스 주식회사 기판 브레이크 장치
JP5365390B2 (ja) * 2009-07-21 2013-12-11 三星ダイヤモンド工業株式会社 ブレイクユニット及びブレイク方法
JP5210409B2 (ja) * 2011-04-06 2013-06-12 三星ダイヤモンド工業株式会社 ブレイク装置
JP2012197225A (ja) * 2012-06-04 2012-10-18 Bando Kiko Co Ltd ガラス板の加工装置

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