KR20230056841A - 커팅 장치 및 이를 이용한 기판 커팅 방법 - Google Patents

커팅 장치 및 이를 이용한 기판 커팅 방법 Download PDF

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Abstract

본 개시는 커팅 장치 및 이를 이용한 기판 커팅 방법에 관한 것으로, 일 실시예에 의한 커팅 장치는 상부 커팅부, 및 상기 상부 커팅부의 하측에 위치하는 하부 커팅부를 포함하고, 상기 상부 커팅부는 제1 방향 또는 제2 방향으로 이동 가능한 상부 헤드부, 상기 상부 헤드부에 고정되어 있는 상부 홀더, 및 상기 상부 홀더에 고정되어 있는 상부 커팅 휠을 포함하고, 상기 상부 홀더는 상기 상부 헤드부에 고정되어 있는 상부 몸체부, 상기 상부 몸체부에 대해 회전 가능한 상부 커팅 휠 고정부, 및 상기 상부 커팅 휠 고정부의 양측에 위치하고, 자성체를 포함하는 상부 자성체부를 포함하고, 상기 하부 커팅부는 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이동 가능한 하부 헤드부, 상기 하부 헤드부에 고정되어 있는 하부 홀더, 상기 하부 홀더에 고정되어 있는 하부 커팅 휠, 및 상기 하부 헤드부에 고정되어 있고, 자성체를 포함하는 상부 홀더 회전 유도부를 포함한다.

Description

커팅 장치 및 이를 이용한 기판 커팅 방법{CUTTING APPARATUS AND METHOD FOR CUTTING SUBSTRATE USING THE SAME}
본 개시는 커팅 장치 및 이를 이용한 기판 커팅 방법에 관한 것이다.
표시 장치는 화면을 표시하는 장치로서, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, LCD), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Diode, OLED) 등이 있다. 이러한 표시 장치는 휴대 전화, 네비게이션, 디지털 사진기, 전자 북, 휴대용 게임기, 또는 각종 단말기 등과 같이 다양한 전자 기기들에 사용되고 있다.
이러한 표시 장치는 기판을 포함할 수 있다. 표시 장치를 제조하기 위해 대면적의 기판 위에 소정의 패턴을 형성한 후, 기판을 커팅하여 여러 개의 표시 장치를 제조할 수 있다.
이처럼 기판을 커팅하기 위해서 커팅 장치가 이용될 수 있다. 커팅 장치의 커팅 휠(cutting wheel)을 소정의 방향으로 이동시키면서 기판을 여러 방향으로 커팅할 수 있다. 이때, 커팅 진행 방향을 변경하기 위해서는 휠 턴(wheel turn)이 필요하며, 이를 위해 기판에는 휠 턴을 위한 여유 공간이 필요하다. 최근에는 여유 공간을 좁게 설계하는 추세이며, 휠 턴을 위한 공간이 충분하지 않아 커팅 휠이 제대로 정렬되지 않은 상태에서 커팅이 진행될 우려가 있다. 이에 따라 기판에 손상이 발생하거나, 커팅 휠이 파손되는 등의 문제점이 발생할 수 있다.
실시예들은 기판을 커팅하는 과정에서 기판의 손상으로 인해 크랙이 전달되면서 표시 장치의 품질을 저하시키거나, 커팅 장치의 커팅 휠이 파손되는 것을 방지할 수 있는 커팅 장치 및 이를 이용한 기판 커팅 방법을 제공하기 위한 것이다.
일 실시예에 의한 커팅 장치는 상부 커팅부, 및 상기 상부 커팅부의 하측에 위치하는 하부 커팅부를 포함하고, 상기 상부 커팅부는 제1 방향 또는 제2 방향으로 이동 가능한 상부 헤드부, 상기 상부 헤드부에 고정되어 있는 상부 홀더, 및 상기 상부 홀더에 고정되어 있는 상부 커팅 휠을 포함하고, 상기 상부 홀더는 상기 상부 헤드부에 고정되어 있는 상부 몸체부, 상기 상부 몸체부에 대해 회전 가능한 상부 커팅 휠 고정부, 및 상기 상부 커팅 휠 고정부의 양측에 위치하고, 자성체를 포함하는 상부 자성체부를 포함하고, 상기 하부 커팅부는 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이동 가능한 하부 헤드부, 상기 하부 헤드부에 고정되어 있는 하부 홀더, 상기 하부 홀더에 고정되어 있는 하부 커팅 휠, 및 상기 하부 헤드부에 고정되어 있고, 자성체를 포함하는 상부 홀더 회전 유도부를 포함한다.
상기 상부 자성체부는 상기 상부 커팅 휠 고정부의 일측에 위치하는 제1 자성체, 및 상기 상부 커팅 휠 고정부의 타측에 위치하는 제2 자성체를 포함하고, 상기 제1 자성체와 상기 제2 자성체의 극성이 서로 반대일 수 있다.
상기 상부 커팅 휠은 상기 상부 헤드부의 이동에 따라 회전할 수 있고, 상기 상부 커팅 휠의 회전축은 상기 상부 몸체부의 고정축으로부터 상기 상부 헤드부의 진행 방향의 반대 방향으로 이격되어 있을 수 있다.
상기 제1 자성체는 상기 상부 헤드부의 진행 방향을 기준으로 상기 상부 커팅 휠의 좌측에 위치하고, N극 극성을 가지고, 상기 제2 자성체는 상기 상부 헤드부의 진행 방향을 기준으로 상기 상부 커팅 휠의 우측에 위치하고, S극 극성을 가질 수 있다.
상기 상부 홀더 회전 유도부는 상기 하부 헤드부의 일측면에 고정되어 있는 하부 실린더, 상기 하부 실린더에 의해 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 이동 가능한 하부 스테이지, 및 상기 하부 스테이지 위에 위치하는 상부 홀더 회전 유도 자성체부를 포함할 수 있다.
상기 상부 홀더 회전 유도 자성체부는 상기 제1 방향을 따라 순차적으로 위치하는 제1 회전 유도부, 제2 회전 유도부, 제3 회전 유도부, 및 제4 회전 유도부를 포함하고, 상기 제1 회전 유도부 및 상기 제2 회전 유도부는 상기 제2 방향을 따라 배치되어 있는 S극 자성체 및 N극 자성체를 포함하고, 상기 제3 회전 유도부 및 상기 제4 회전 유도부는 상기 제1 방향을 따라 배치되어 있는 S극 자성체 및 N극 자성체를 포함하고, 상기 제1 회전 유도부의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태와 상기 제2 회전 유도부의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태는 반대이고, 상기 제3 회전 유도부의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태와 상기 제4 회전 유도부의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태는 반대일 수 있다.
상기 제3 회전 유도부의 S극 자성체와 상기 제4 회전 유도부의 S극 자성체는 일체로 이루어질 수 있다.
상기 하부 홀더는 상기 하부 헤드부에 고정되어 있는 하부 몸체부, 상기 하부 몸체부에 대해 회전 가능한 하부 커팅 휠 고정부, 및 상기 하부 커팅 휠 고정부의 양측에 위치하고, 자성체를 포함하는 하부 자성체부를 포함하고, 상기 상부 커팅부는 상기 상부 헤드부에 고정되어 있고, 자성체를 포함하는 하부 홀더 회전 유도부를 더 포함할 수 있다.
상기 하부 자성체부는 상기 하부 커팅 휠 고정부의 일측에 위치하는 제3 자성체, 및 상기 하부 커팅 휠 고정부의 타측에 위치하는 제4 자성체를 포함하고, 상기 제3 자성체와 상기 제4 자성체의 극성이 서로 반대일 수 있다.
상기 하부 커팅 휠은 상기 하부 헤드부의 이동에 따라 회전할 수 있고, 상기 하부 커팅 휠의 회전축은 상기 하부 몸체부의 고정축으로부터 상기 하부 헤드부의 진행 방향의 반대 방향으로 이격되어 있을 수 있다.
상기 제3 자성체는 상기 하부 헤드부의 진행 방향을 기준으로 좌측에 위치하고, S극 극성을 가지고, 상기 제2 자성체는 상기 상부 헤드부의 진행 방향을 기준으로 우측에 위치하고, N극 극성을 가질 수 있다.
상기 하부 홀더 회전 유도부는 상기 상부 헤드부의 일측면에 고정되어 있는 상부 실린더, 상기 상부 실린더에 의해 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 이동 가능한 상부 스테이지, 및 상기 상부 스테이지 아래에 위치하는 하부 홀더 회전 유도 자성체부를 포함할 수 있다.
상기 하부 홀더 회전 유도 자성체부는 상기 제1 방향을 따라 순차적으로 위치하는 제5 회전 유도부, 제6 회전 유도부, 제7 회전 유도부, 및 제8 회전 유도부를 포함하고, 상기 제5 회전 유도부 및 상기 제6 회전 유도부는 상기 제2 방향을 따라 배치되어 있는 S극 자성체 및 N극 자성체를 포함하고, 상기 제7 회전 유도부 및 상기 제8 회전 유도부는 상기 제1 방향을 따라 배치되어 있는 S극 자성체 및 N극 자성체를 포함하고, 상기 제5 회전 유도부 내의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태와 상기 제6 회전 유도부 내의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태는 반대이고, 상기 제7 회전 유도부 내의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태와 상기 제8 회전 유도부 내의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태는 반대일 수 있다.
상기 제7 회전 유도부의 S극 자성체와 상기 제8 회전 유도부의 S극 자성체는 일체로 이루어질 수 있다.
일 실시예에 의한 기판 커팅 방법은 기판을 사이에 두고, 상부 커팅부와 하부 커팅부가 마주보도록 위치시키고, 기판을 커팅하는 단계, 상기 상부 커팅부의 하부 홀더 회전 유도 자성체부를 하측으로 이동시키고, 상기 하부 커팅부의 상부 홀더 회전 유도 자성체부를 상측으로 이동시키는 단계, 상기 상부 커팅부의 상부 헤드부와 상기 하부 커팅부의 하부 헤드부를 이동시켜, 상기 상부 커팅부의 상부 홀더 및 상기 하부 커팅부의 하부 홀더를 회전시키는 단계, 상기 상부 커팅부의 하부 홀더 회전 유도 자성체부를 상측으로 이동시키고, 상기 하부 커팅부의 상부 홀더 회전 유도 자성체부를 하측으로 이동시키는 단계, 및 기판을 사이에 두고, 상기 상부 커팅부와 상기 하부 커팅부가 마주보도록 위치시고, 기판을 커팅하는 단계를 포함한다.
상기 상부 홀더 및 상기 하부 홀더를 회전시키는 단계에서, 상기 상부 커팅부의 상부 헤드부와 상기 하부 커팅부의 하부 헤드부를 이동시켜, 상기 상부 홀더와 상기 상부 홀더 회전 유도 자성체부가 마주보고, 상기 하부 홀더와 상기 하부 홀더 회전 유도 자성체부가 마주보도록 위치시킬 수 있다.
상기 상부 홀더의 회전 방향은 상기 하부 홀더의 회전 방향과 동일할 수 있다.
상기 상부 홀더 회전 유도 자성체부는 제1 회전 유도부, 제2 회전 유도부, 제3 회전 유도부, 및 제4 회전 유도부를 포함하고, 상기 상부 홀더가 상기 제1 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 상부 홀더의 상부 커팅 휠 고정부가 제1 각도만큼 회전하고, 상기 상부 홀더가 상기 제2 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 상부 커팅 휠 고정부가 제2 각도만큼 회전하고, 상기 상부 홀더가 상기 제3 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 상부 커팅 휠 고정부가 제3 각도만큼 회전하고, 상기 상부 홀더가 상기 제4 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 상부 커팅 휠 고정부가 제4 각도만큼 회전하고, 상기 제1 각도, 상기 제2 각도, 상기 제3 각도 및 상기 제4 각도는 상이할 수 있다.
상기 하부 홀더 회전 유도 자성체부는 제5 회전 유도부, 제6 회전 유도부, 제7 회전 유도부, 및 제8 회전 유도부를 포함하고, 상기 하부 홀더가 상기 제5 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 하부 홀더의 하부 커팅 휠 고정부가 상기 제1 각도만큼 회전하고, 상기 하부 홀더가 상기 제6 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 하부 커팅 휠 고정부가 상기 제2 각도만큼 회전하고, 상기 하부 홀더가 상기 제7 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 하부 커팅 휠 고정부가 상기 제3 각도만큼 회전하고, 상기 하부 홀더가 상기 제8 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 하부 커팅 휠 고정부가 상기 제4 각도만큼 회전할 수 있다.
상기 상부 홀더는 상기 상부 커팅 휠 고정부의 양측에 위치하는 상부 자성체부를 더 포함하고, 상기 하부 홀더는 상기 하부 커팅 휠 고정부의 양측에 위치하는 하부 자성체부를 더 포함하고, 상기 상부 홀더와 상기 하부 홀더가 마주보는 상태에서 상기 상부 자성체부와 상기 하부 자성체부의 극성 배치는 서로 반대일 수 있다.
실시예들에 따르면, 기판을 커팅하는 과정에서 기판이 손상되거나, 커팅 휠이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 일 실시예에 의한 커팅 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 일 실시예에 의한 커팅 장치의 상부 홀더를 나타낸 정면도이다.
도 3은 일 실시예에 의한 커팅 장치의 상부 홀더를 나타낸 측면도이다.
도 4는 일 실시예에 의한 커팅 장치의 상부 커팅 휠 및 상부 자성체부를 나타낸 평면도이다.
도 5는 일 실시예에 의한 커팅 장치의 상부 홀더 회전 유도부를 나타낸 평면도이다.
도 6은 일 실시예에 의한 커팅 장치의 하부 홀더를 나타낸 정면도이다.
도 7은 일 실시예에 의한 커팅 장치의 하부 홀더를 나타낸 측면도이다.
도 8은 일 실시예에 의한 커팅 장치의 하부 커팅 휠 및 하부 자성체부를 나타낸 평면도이다.
도 9는 일 실시예에 의한 커팅 장치의 하부 홀더 회전 유도부를 나타낸 평면도이다.
도 10은 일 실시예에 의한 기판 커팅 방법에 의해 커팅된 단위 기판을 나타내는 도면이다.
도 11은 일 실시예에 의한 기판 커팅 방법에 의한 커팅 방향을 나타내는 도면이다.
도 12 내지 도 18은 일 실시예에 의한 기판 커팅 방법을 순차적으로 나타낸 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.
또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 기준이 되는 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 하는 것은 기준이 되는 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것이고, 반드시 중력 반대 방향 쪽으로 "위에" 또는 "상에" 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
또한, 명세서 전체에서, "평면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 위에서 보았을 때를 의미하며, "단면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 수직으로 자른 단면을 옆에서 보았을 때를 의미한다.
이하에서 도 1 내지 도 9를 참조하여 일 실시예에 의한 커팅 장치에 대해 설명하면 다음과 같다.
도 1은 일 실시예에 의한 커팅 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 2는 일 실시예에 의한 커팅 장치의 상부 홀더를 나타낸 정면도이고, 도 3은 일 실시예에 의한 커팅 장치의 상부 홀더를 나타낸 측면도이며, 도 4는 일 실시예에 의한 커팅 장치의 상부 커팅 휠 및 상부 자성체부를 나타낸 평면도이고, 도 5는 일 실시예에 의한 커팅 장치의 상부 홀더 회전 유도부를 나타낸 평면도이다. 도 6은 일 실시예에 의한 커팅 장치의 하부 홀더를 나타낸 정면도이고, 도 7은 일 실시예에 의한 커팅 장치의 하부 홀더를 나타낸 측면도이며, 도 8은 일 실시예에 의한 커팅 장치의 하부 커팅 휠 및 하부 자성체부를 나타낸 평면도이고, 도 9는 일 실시예에 의한 커팅 장치의 하부 홀더 회전 유도부를 나타낸 평면도이다.
먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 의한 커팅 장치는 상부 커팅부(100) 및 하부 커팅부(200)를 포함한다. 하부 커팅부(200)는 상부 커팅부(100)의 하측에 위치할 수 있다. 상부 커팅부(100)와 하부 커팅부(200)는 서로 마주보도록 위치할 수 있고, 대칭 구조를 가질 수 있다.
상부 커팅부(100)는 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 이동 가능한 상부 헤드부(120), 상부 헤드부(120)에 고정되어 있는 상부 홀더(130), 및 상부 홀더(130)에 고정되어 있는 상부 커팅 휠(140)을 포함할 수 있다. 이때, 제2 방향(DR2)은 제1 방향(DR1)에 대해 수직한 방향일 수 있다. 예를 들면, 제1 방향(DR1)은 수평 방향일 수 있고, 제2 방향(DR2)은 수직 방향일 수 있다. 상부 커팅부(100)는 상부 헤드부(120)에 고정되어 있고, 자성체를 포함하는 하부 홀더 회전 유도부(150)를 더 포함할 수 있다.
상부 커팅부(100)는 본체부(110)를 더 포함할 수 있고, 상부 헤드부(120)는 본체부(110)에 연결될 수 있다. 상부 헤드부(120)는 본체부(110)에 대해 제3 방향(DR3)으로 이동 가능하다. 예를 들면, 기판의 커팅 공정의 진행을 위해 상부 헤드부(120)를 하측으로 이동시키거나, 커팅 공정의 대기를 위해 상부 헤드부(120)를 상측으로 이동시킬 수 있다. 또한, 상부 헤드부(120)는 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 이동하면서 기판을 커팅할 수 있다.
상부 헤드부(120)는 상부 홀더(130)를 둘러싸는 형상을 가질 수 있다. 상부 홀더(130)의 일측이 상부 헤드부(120)에 고정될 수 있다. 예를 들면, 상부 홀더(130)의 상측이 상부 헤드부(120)의 천장면에 고정될 수 있다. 상부 홀더(130)의 측면은 상부 헤드부(120)에 의해 둘러싸여 있고, 상부 홀더(130)의 하부면은 노출될 수 있다. 상부 헤드부(120)의 제3 방향(DR3)을 따른 길이는 상부 홀더(130)의 제3 방향(DR3)을 따른 길이와 유사할 수 있다. 상부 헤드부(120)는 상부 홀더(130)를 보호하는 역할을 수행할 수 있다.
상부 홀더(130)는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상부 헤드부(120)에 고정되어 있는 상부 몸체부(132), 상부 몸체부(132)에 대해 회전 가능한 상부 커팅 휠 고정부(134), 및 상부 커팅 휠 고정부(134)의 양측에 위치하고, 자성체를 포함하는 상부 자성체부(136)를 포함할 수 있다.
상부 몸체부(132)는 원통 형상으로 이루어질 수 있으며, 상부 헤드부(120) 내에 삽입되어 고정될 수 있다. 상부 몸체부(132)는 두 개의 베어링을 포함할 수 있으며, 두 개의 베어링은 모두 상부 헤드부(120) 내로 삽입되어 고정될 수 있다.
상부 커팅 휠 고정부(134)는 상부 몸체부(132)에 대해 회전할 수 있다. 상부 커팅 휠 고정부(134)의 하부면은 오목하게 패인 부분을 포함할 수 있으며, 오목하게 패인 부분의 내부에 상부 커팅 휠(140)이 위치할 수 있다. 상부 커팅 휠 고정부(134)의 회전 방향에 따라 상부 커팅 휠(140)의 정렬 방향이 결정될 수 있다. 즉, 상부 커팅 휠 고정부(134)의 방향에 따라 커팅 방향이 결정될 수 있다.
상부 자성체부(136)는 상부 커팅 휠 고정부(134)의 일측에 위치하는 제1 자성체(136a), 및 상부 커팅 휠 고정부(134)의 타측에 위치하는 제2 자성체(136b)를 포함할 수 있다. 제1 자성체(136a)와 제2 자성체(136b)는 상부 커팅 휠 고정부(134)를 사이에 두고 서로 마주볼 수 있다. 제1 자성체(136a)와 제2 자성체(136b)의 극성은 서로 반대이다. 예를 들면, 제1 자성체(136a)의 극성이 N극이면, 제2 자성체(136b)의 극성은 S극일 수 있다. 이때, 제1 자성체(136a) 및 제2 자성체(136b)의 극성은 제1 자성체(136a) 및 제2 자성체(136b)의 하부면이 띄는 극성을 의미할 수 있다. 상부 자성체부(136)는 하부 커팅부(200)와 마주볼 수 있다. 이때, 상부 자성체부(136)의 제1 자성체(136a)가 하부 커팅부(200)와 마주보는 면의 극성이 N극일 수 있다. 또한, 상부 자성체부(136)의 제2 자성체(136b)가 하부 커팅부(200)와 마주보는 면의 극성이 S극일 수 있다.
상부 커팅 휠(140)은 상부 홀더(130)의 상부 커팅 휠 고정부(134)에 고정될 수 있다. 상부 커팅 휠 고정부(134)는 상부 커팅 휠(140)의 양측을 감싸는 형상을 가질 수 있다. 상부 커팅 휠(140)은 원형으로 이루어질 수 있고, 원의 중심에 위치하는 회전축을 기준으로 회전할 수 있다. 상부 커팅 휠(140)의 중심을 관통하는 부재가 상부 커팅 휠 고정부(134)에 끼워져 상부 커팅 휠(140)이 고정될 수 있다.
상부 커팅 휠(140)은 상부 헤드부(120)의 이동에 따라 회전할 수 있다. 상부 커팅 휠(140)이 기판(1000)의 일측 면에 닿은 상태에서 상부 커팅 휠(140)이 회전하면서 기판(1000)을 커팅할 수 있다. 상부 커팅 휠(140)의 회전축은 상부 몸체부(132)의 고정축 상에 위치하지 않을 수 있다. 상부 커팅 휠(140)의 회전축은 상부 몸체부(132)의 고정축으로부터 상부 헤드부(120)의 진행 방향(MD)의 반대 방향으로 이격될 수 있다.
상부 자성체부(136)는 상부 커팅 휠(140)의 양측에 위치할 수 있다. 제1 자성체(136a)는 상부 헤드부(120)의 진행 방향(MD)을 기준으로 상부 커팅 휠(140)의 좌측에 위치할 수 있다. 제1 자성체(136a)와 상부 커팅 휠(140) 사이에는 상부 커팅 휠 고정부(134)가 위치할 수 있다. 제1 자성체(136a)는 N극 극성을 가질 수 있다. 제2 자성체(136b)는 상부 헤드부(120)의 진행 방향(MD)을 기준으로 상부 커팅 휠(140)의 우측에 위치할 수 있다. 제2 자성체(136b)와 상부 커팅 휠(140) 사이에는 상부 커팅 휠 고정부(134)가 위치할 수 있다. 제2 자성체(136b)는 제1 자성체(136a)와 상이한 극성을 가질 수 있으며, S극 극성을 가질 수 있다.
하부 커팅부(200)는 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 이동 가능한 하부 헤드부(220), 하부 헤드부(220)에 고정되어 있는 하부 홀더(230), 및 하부 홀더(230)에 고정되어 있는 하부 커팅 휠(240)을 포함할 수 있다. 하부 커팅부(200)는 하부 헤드부(220)에 고정되어 있고, 자성체를 포함하는 상부 홀더 회전 유도부(250)를 더 포함할 수 있다.
상부 홀더 회전 유도부(250)는 하부 헤드부(220)의 일측면에 고정되어 있는 하부 실린더(252), 하부 실린더(252)에 의해 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 수직한 제3 방향(DR3)으로 이동 가능한 하부 스테이지(254), 및 하부 스테이지(254) 위에 위치하는 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)를 포함할 수 있다.
하부 실린더(252)는 하부 스테이지(254)를 상측으로 또는 하측으로 이동시킬 수 있다. 예를 들면, 기판의 커팅 공정이 진행될 때는 하부 스테이지(254)를 하측으로 이동시켜, 상부 커팅부(100)로부터 멀어지도록 할 수 있다. 또한, 상부 커팅 휠(140)의 회전을 유도할 때는 하부 스테이지(254)를 상측으로 이동시켜, 상부 커팅부(100)와 가까워지도록 할 수 있다.
상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)는 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 방향(DR1)을 따라 순차적으로 위치하는 제1 회전 유도부(256a), 제2 회전 유도부(256b), 제3 회전 유도부(256c), 및 제4 회전 유도부(256d)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 제1 회전 유도부(256a)가 가장 좌측에 위치할 수 있고, 제1 회전 유도부(256a)의 우측에 제2 회전 유도부(256b)가 위치할 수 있다. 제2 회전 유도부(256b)의 우측에 제3 회전 유도부(256c)가 위치할 수 있고, 제3 회전 유도부(256c)의 우측에 제4 회전 유도부(256d)가 위치할 수 있다. 제1 회전 유도부(256a), 제2 회전 유도부(256b), 제3 회전 유도부(256c), 및 제4 회전 유도부(256d)는 각각 복수의 자성체를 포함할 수 있다.
제1 회전 유도부(256a)는 제2 방향(DR2)을 따라 배치되어 있는 S극 자성체(511) 및 N극 자성체(512)를 포함할 수 있다. 평면상에서 제1 회전 유도부(256a)의 S극 자성체(511)는 상측에 위치할 수 있고, N극 자성체(512)는 하측에 위치할 수 있다. 제2 회전 유도부(256b)는 제2 방향(DR2)을 따라 배치되어 있는 N극 자성체(513) 및 S극 자성체(514)를 포함할 수 있다. 평면상에서 제2 회전 유도부(256b)의 N극 자성체(513)는 상측에 위치할 수 있고, S극 자성체(514)는 하측에 위치할 수 있다. 따라서, 제1 회전 유도부(256a)의 S극 자성체(511)와 N극 자성체(512)의 배치 형태와 제2 회전 유도부(256b)의 S극 자성체(514)와 N극 자성체(513)의 배치 형태는 반대일 수 있다.
제3 회전 유도부(256c)는 제1 방향(DR1)을 따라 배치되어 있는 N극 자성체(515) 및 S극 자성체(516)를 포함할 수 있다. 평면상에서 제3 회전 유도부(256c)의 N극 자성체(515)는 좌측에 위치할 수 있고, S극 자성체(516)는 우측에 위치할 수 있다. 제4 회전 유도부(256d)는 제1 방향(DR1)을 따라 배치되어 있는 S극 자성체(517) 및 N극 자성체(518)를 포함할 수 있다. 평면상에서 제4 회전 유도부(256d)의 S극 자성체(517)는 좌측에 위치할 수 있고, N극 자성체(518)는 우측에 위치할 수 있다. 따라서, 제3 회전 유도부(256c)의 S극 자성체(516)와 N극 자성체(515)의 배치 형태와 제4 회전 유도부(256d)의 S극 자성체(517)와 N극 자성체(518)의 배치 형태는 반대일 수 있다. 또한, 제3 회전 유도부(256c)의 S극 자성체(516)와 제4 회전 유도부(256d)의 S극 자성체(517)는 일체로 이루어질 수 있다.
이때, 제1 회전 유도부(256a), 제2 회전 유도부(256b), 제3 회전 유도부(256c), 및 제4 회전 유도부(256d)의 각 자성체의 극성은 각 자성체의 상부면이 띄는 극성을 의미할 수 있다. 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)는 상부 커팅부(100)와 마주볼 수 있다. 이때, 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)의 각 자성체의 극성은 상부 커팅부(100)와 마주보는 면의 극성을 의미할 수 있다.
상부 홀더(130)의 회전을 유도하기 위해 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256) 위에 상부 홀더(130)를 위치시킬 수 있다. 이때, 상부 홀더(130)의 상부 자성체부(136)를 제1 회전 유도부(256a), 제2 회전 유도부(256b), 제3 회전 유도부(256c), 및 제4 회전 유도부(256d) 중 적어도 어느 하나와 마주보도록 위치시킬 수 있다. 예를 들면, 상부 자성체부(136)가 제1 회전 유도부(256a)의 S극 자성체(511)와 N극 자성체(512) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 또는 상부 자성체부(136)가 제2 회전 유도부(256b)의 N극 자성체(513)와 S극 자성체(514) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 또는 상부 자성체부(136)가 제3 회전 유도부(256c)의 N극 자성체(515)와 S극 자성체(516) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 또는 상부 자성체부(136)가 제4 회전 유도부(256d)의 S극 자성체(517)와 N극 자성체(518) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 이때, 상부 자성체부(136)와 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)의 중첩 위치에 따라 상부 홀더(130)의 회전각이 달라질 수 있다. 이에 따라 상부 커팅 휠(140)의 정렬 방향이 달라질 수 있다.
하부 커팅부(200)는 본체부(210)를 더 포함할 수 있고, 하부 헤드부(220)는 본체부(210)에 연결될 수 있다. 하부 헤드부(220)는 본체부(210)에 대해 제3 방향(DR3)으로 이동 가능하다. 예를 들면, 기판의 커팅 공정의 진행을 위해 하부 헤드부(220)를 상측으로 이동시키거나, 커팅 공정의 대기를 위해 하부 헤드부(220)를 하측으로 이동시킬 수 있다. 또한, 하부 헤드부(220)는 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)으로 이동하면서 기판을 커팅할 수 있다.
하부 헤드부(220)는 하부 홀더(230)를 둘러싸는 형상을 가질 수 있다. 하부 홀더(230)의 일측이 하부 헤드부(220)에 고정될 수 있다. 예를 들면, 하부 홀더(230)의 하측이 하부 헤드부(220)의 바닥면에 고정될 수 있다. 하부 홀더(230)의 측면은 하부 헤드부(220)에 의해 둘러싸여 있고, 하부 홀더(230)의 상부면은 노출될 수 있다. 하부 헤드부(220)의 제3 방향(DR3)을 따른 길이는 하부 홀더(230)의 제3 방향(DR3)을 따른 길이와 유사할 수 있다. 하부 헤드부(220)는 하부 홀더(230)를 보호하는 역할을 수행할 수 있다.
하부 홀더(230)는 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 하부 헤드부(220)에 고정되어 있는 하부 몸체부(232), 하부 몸체부(232)에 대해 회전 가능한 하부 커팅 휠 고정부(234), 및 하부 커팅 휠 고정부(234)의 양측에 위치하고, 자성체를 포함하는 하부 자성체부(236)를 포함할 수 있다.
하부 몸체부(232)는 원통 형상으로 이루어질 수 있으며, 하부 헤드부(220) 내에 삽입되어 고정될 수 있다. 하부 몸체부(232)는 두 개의 베어링을 포함할 수 있으며, 두 개의 베어링은 모두 하부 헤드부(220) 내로 삽입되어 고정될 수 있다.
하부 커팅 휠 고정부(234)는 하부 몸체부(232)에 대해 회전할 수 있다. 하부 커팅 횔 고정부(234)의 상부면은 오목하게 패인 부분을 포함할 수 있으며, 오목하게 패인 부분의 내부에 하부 커팅 휠(240)이 위치할 수 있다. 하부 커팅 휠 고정부(234)의 회전 방향에 따라 하부 커팅 휠(240)의 정렬 방향이 결정될 수 있다. 즉, 하부 커팅 휠 고정부(234)의 방향에 따라 커팅 방향이 결정될 수 있다.
하부 자성체부(236)는 하부 커팅 휠 고정부(234)의 일측에 위치하는 제3 자성체(236a), 및 하부 커팅 휠 고정부(234)의 타측에 위치하는 제4 자성체(236b)를 포함할 수 있다. 제3 자성체(236a)와 제4 자성체(236b)는 하부 커팅 휠 고정부(234)를 사이에 두고 서로 마주볼 수 있다. 제3 자성체(236a)와 제4 자성체(236b)의 극성은 서로 반대이다. 예를 들면, 제3 자성체(236a)의 극성이 S극이면, 제4 자성체(236b)의 극성은 N극일 수 있다. 이때, 제3 자성체(236a) 및 제4 자성체(236b)의 극성은 제3 자성체(236a) 및 제4 자성체(236b)의 상부면이 띄는 극성을 의미할 수 있다. 하부 자성체부(236)는 상부 커팅부(100)와 마주볼 수 있다. 이때, 하부 자성체부(236)의 제3 자성체(236a)가 상부 커팅부(100)와 마주보는 면의 극성이 S극일 수 있다. 또한, 하부 자성체부(236)의 제4 자성체(236d)가 상부 커팅부(100)와 마주보는 면의 극성이 N극일 수 있다.
제1 자성체(136a)의 극성과 제3 자성체(236a)의 극성은 서로 반대일 수 있다. 또한, 제2 자성체(136b)의 극성과 제4 자성체(236b)의 극성은 서로 반대일 수 있다. 따라서, 제1 자성체(136a)의 극성과 제4 자성체(236b)의 극성이 동일할 수 있다. 또한, 제2 자성체(136b)의 극성과 제3 자성체(236a)의 극성이 동일할 수 있다.
하부 커팅 휠(240)은 하부 홀더(230)의 하부 커팅 휠 고정부(234)에 고정될 수 있다. 하부 커팅 휠 고정부(234)는 하부 커팅 휠(240)의 양측을 감싸는 형상을 가질 수 있다. 하부 커팅 휠(240)은 원형으로 이루어질 수 있고, 원의 중심에 위치하는 회전축을 기준으로 회전할 수 있다. 하부 커팅 휠(240)의 중심을 관통하는 부재가 하부 커팅 휠 고정부(234)에 끼워져 하부 커팅 휠(240)이 고정될 수 있다.
하부 커팅 휠(240)은 하부 헤드부(220)의 이동에 따라 회전할 수 있다. 하부 커팅 휠(240)이 기판(1000)의 타측 면에 닿은 상태에서 하부 커팅 휠(240)이 회전하면 기판(1000)을 커팅할 수 있다. 이때, 상부 커팅 휠(140)이 기판(1000)의 상측 면에 위치할 수 있고, 하부 커팅 휠(240)이 기판(1000)의 하측 면에 위치할 수 있다. 기판(1000)은 실제로 두 장의 기판이 합착된 형태로 이루어질 수 있다. 두 장의 기판 사이에는 화면을 표시하기 위한 복수의 소자들이 위치할 수 있다. 예를 들면, 기판(1000)은 액정 표시 장치, 유기 발광 표시 장치용 모기판일 수 있다. 상부 커팅 휠(140)이 상부 기판을 커팅할 수 있고, 하부 커팅 휠(240)이 하부 기판을 커팅할 수 있다. 하부 커팅 휠(240)의 회전축은 하부 몸체부(232)의 고정축 상에 위치하지 않을 수 있다. 하부 커팅 휠(240)의 회전축은 하부 몸체부(232)의 고정축으로부터 하부 헤드부(220)의 진행 방향(MD)의 반대 방향으로 이격될 수 있다. 상부 헤드부(120)와 하부 헤드부(220)는 동일한 방향으로 동시에 이동하면서 커팅 공정을 진행할 수 있다.
하부 자성체부(236)는 하부 커팅 휠(240)의 양측에 위치할 수 있다. 제3 자성체(236a)는 하부 헤드부(220)의 진행 방향(MD)을 기준으로 하부 커팅 휠(240)의 좌측에 위치할 수 있다. 제3 자성체(236a)와 하부 커팅 휠(240) 사이에는 하부 커팅 휠 고정부(234)가 위치할 수 있다. 제3 자성체(236a)는 S극 극성을 가질 수 있다. 제4 자성체(236b)는 하부 헤드부(220)의 진행 방향(MD)을 기준으로 하부 커팅 휠(240)의 우측에 위치할 수 있다. 제4 자성체(236b)와 하부 커팅 휠(240) 사이에는 하부 커팅 휠 고정부(234)가 위치할 수 있다. 제4 자성체(236b)는 제3 자성체(236a)와 상이한 극성을 가질 수 있으며, N극 극성을 가질 수 있다.
상부 커팅부(100)의 하부 홀더 회전 유도부(150)는 상부 헤드부(120)의 일측면에 고정되어 있는 상부 실린더(152), 상부 실린더(152)에 의해 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 수직한 제3 방향(DR3)으로 이동 가능한 상부 스테이지(154), 및 상부 스테이지(154) 아래에 위치하는 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)를 포함할 수 있다.
상부 실린더(152)가 상부 헤드부(120)의 우측면에 고정될 경우 하부 실린더(252)는 하부 헤드부(220)의 좌측면에 고정될 수 있다. 이와 반대로 상부 실린더(152)가 상부 헤드부(120)의 좌측면에 고정될 경우 하부 실린더(252)는 하부 헤드부(220)의 우측면에 고정될 수 있다. 이에 따라 상부 헤드부(120)가 상부 홀더 회전 유도부(250)와 마주보게 되면 하부 헤드부(220)는 하부 홀더 회전 유도부(150)와 마주볼 수 있다. 커팅 공정을 진행하는 동안에는 상부 헤드부(120)와 하부 헤드부(220)가 서로 마주볼 수 있다. 상부 홀더 회전 유도부(250)와 하부 홀더 회전 유도부(150)는 서로 마주보지 않을 수 있다.
상부 실린더(152)는 상부 스테이지(154)를 상측으로 또는 하측으로 이동시킬 수 있다. 예를 들면, 기판의 커팅 공정이 진행될 때는 상부 스테이지(154)를 상측으로 이동시켜, 하부 커팅부(200)로부터 멀어지도록 할 수 있다. 또한, 하부 커팅 휠(240)의 회전을 유도할 때는 상부 스테이지(154)를 하측으로 이동시켜, 하부 커팅부(200)와 가까워지도록 할 수 있다.
하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)는 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 방향(DR1)을 따라 순차적으로 위치하는 제5 회전 유도부(156a), 제6 회전 유도부(156b), 제7 회전 유도부(156c), 및 제8 회전 유도부(156d)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 제5 회전 유도부(156a)가 가장 우측에 위치할 수 있고, 제5 회전 유도부(156a)의 좌측에 제6 회전 유도부(156b)가 위치할 수 있다. 제6 회전 유도부(156b)의 좌측에 제7 회전 유도부(156c)가 위치할 수 있고, 제7 회전 유도부(156c)의 좌측에 제8 회전 유도부(156d)가 위치할 수 있다. 제5 회전 유도부(156a), 제6 회전 유도부(156b), 제7 회전 유도부(156c), 및 제8 회전 유도부(156d)는 각각 복수의 자성체를 포함할 수 있다.
제5 회전 유도부(156a)는 제2 방향(DR2)을 따라 배치되어 있는 N극 자성체(521) 및 S극 자성체(522)를 포함할 수 있다. 평면상에서 제5 회전 유도부(156a)의 N극 자성체(521)는 상측에 위치할 수 있고, S극 자성체(522)는 하측에 위치할 수 있다. 제6 회전 유도부(156b)는 제2 방향(DR2)을 따라 배치되어 있는 S극 자성체(523) 및 N극 자성체(524)를 포함할 수 있다. 평면상에서 제6 회전 유도부(156b)의 S극 자성체(523)는 상측에 위치할 수 있고, N극 자성체(524)는 하측에 위치할 수 있다. 따라서, 제5 회전 유도부(156a)의 N극 자성체(521)와 S극 자성체(522)의 배치 형태와 제6 회전 유도부(156b)의 S극 자성체(523)와 N극 자성체(524)의 배치 형태는 반대일 수 있다.
제7 회전 유도부(156c)는 제1 방향(DR1)을 따라 배치되어 있는 N극 자성체(525) 및 S극 자성체(526)를 포함할 수 있다. 평면상에서 제7 회전 유도부(156c)의 N극 자성체(525)는 우측에 위치할 수 있고, S극 자성체(526)는 좌측에 위치할 수 있다. 제8 회전 유도부(156d)는 제1 방향(DR1)을 따라 배치되어 있는 S극 자성체(527) 및 N극 자성체(528)를 포함할 수 있다. 평면상에서 제8 회전 유도부(156d)의 S극 자성체(527)는 우측에 위치할 수 있고, N극 자성체(528)는 좌측에 위치할 수 있다. 따라서, 제7 회전 유도부(156c)의 N극 자성체(525)와 S극 자성체(526)의 배치 형태와 제8 회전 유도부(156d)의 S극 자성체(527)와 N극 자성체(528)의 배치 형태와 반대일 수 있다. 또한, 제7 회전 유도부(156c)의 S극 자성체(526)와 제8 회전 유도부(156d)의 S극 자성체(527)는 일체로 이루어질 수 있다.
이때, 제5 회전 유도부(156a), 제6 회전 유도부(156b), 제7 회전 유도부(156c), 및 제8 회전 유도부(156d)의 각 자성체의 극성은 각 자성체의 하부면이 띄는 극성을 의미할 수 있다. 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)는 하부 커팅부(200)와 마주볼 수 있다. 이때, 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)의 각 자성체의 극성은 하부 커팅부(200)와 마주보는 면의 극성을 의미할 수 있다.
하부 홀더(230)의 회전을 유도하기 위해 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156) 아래에 하부 홀더(230)를 위치시킬 수 있다. 이때, 하부 홀더(230)의 하부 자성체부(236)를 제5 회전 유도부(156a), 제6 회전 유도부(156b), 제7 회전 유도부(156c), 및 제8 회전 유도부(156d) 중 적어도 어느 하나와 마주보도록 위치시킬 수 있다. 예를 들면, 하부 자성체부(236)가 제5 회전 유도부(156a)의 N극 자성체(521)와 S극 자성체(522) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 또는 하부 자성체부(236)가 제6 회전 유도부(156b)의 S극 자성체(523)와 N극 자성체(524) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 또는 하부 자성체부(236)가 제7 회전 유도부(156c)의 N극 자성체(525)와 S극 자성체(526) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 또는 하부 자성체부(236)가 제8 회전 유도부(156d)의 S극 자성체(527)와 N극 자성체(528) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 이때, 하부 자성체부(236)와 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)의 중첩 위치에 따라 하부 홀더(230)의 회전각이 달라질 수 있다. 이에 따라 하부 커팅 휠(240)의 정렬 방향이 달라질 수 있다.
다음으로, 도 10 내지 도 18을 참조하여 일 실시예에 의한 기판 커팅 방법에 대해 설명하면 다음과 같다.
도 10은 일 실시예에 의한 기판 커팅 방법에 의해 커팅된 단위 기판을 나타내는 도면이고, 도 11은 일 실시예에 의한 기판 커팅 방법에 의한 커팅 방향을 나타내는 도면이다. 도 12 내지 도 18은 일 실시예에 의한 기판 커팅 방법을 순차적으로 나타낸 도면이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 의한 커팅 장치를 이용하여 기판(1000)을 커팅할 수 있다. 기판(1000)은 실제로 하부 기판과 상부 기판이 서로 마주보도록 합착된 상태일 수 있다. 하부 기판과 상부 기판 위에는 각각 소정의 소자들이 위치할 수 있다. 즉, 하부 기판과 상부 기판 사이에는 복수의 소자들이 위치할 수 있다.
기판(1000)을 커팅 라인(CL)을 따라 자르면, 여러 장의 단위 기판(1100)들로 분리될 수 있다. 각 단위 기판(1100)은 동일한 크기를 가질 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 복수의 단위 기판(1100)들 중 적어도 일부는 상이한 크기를 가지도록 할 수도 있다. 이에 따라 커팅 라인(CL)의 설계도 상이해 질 수 있다.
도 11에 도시된 바와 같이, 커팅 장치가 기판(1000)의 좌측 가장자리와 우측 가장자리를 왕복으로 이동하면서 기판(1000)을 커팅할 수 있다. 먼저, 기판(1000)의 상측부의 좌측 가장자리에 커팅 장치를 위치시키고, 커팅 장치를 좌측 가장자리로부터 우측 가장자리로 이동시키면서 기판(1000)을 커팅할 수 있다. 이어, 기판(1000)이 안착되어 있는 컨베이어 벨트를 이동시키고, 커팅 장치의 커팅 휠을 회전시킨다. 기판(1000)의 상측부보다 아래쪽의 우측 가장자리에 커팅 장치를 위치시키고, 커팅 장치를 우측 가장자리로부터 좌측 가장자리로 이동시키면서 기판(1000)을 커팅할 수 있다. 이를 반복하면서 가로 방향의 커팅을 완료한 후 커팅 휠을 회전시켜 세로 방향의 커팅을 진행할 수 있다. 커팅 장치가 기판(1000)의 상측 가장자리와 하측 가장자리를 왕복으로 이동하면서 기판(1000)을 커팅하여 세로 방향의 커팅을 완료하면, 복수의 단위 기판으로 분리될 수 있다.
이하에서는 커팅 장치의 커팅 휠을 회전시키는 과정에 대해 더욱 설명한다.
도 12에 도시된 바와 같이, 상부 커팅부(100)와 하부 커팅부(200)가 마주보도록 위치시키고, 기판의 커팅을 진행할 수 있다. 도시는 생략하였으나, 상부 커팅부(100)와 하부 커팅부(200) 사이에는 기판이 위치할 수 있다. 이때, 상부 커팅부(100)의 상부 헤드부(120)와 하부 커팅부(200)의 하부 헤드부(220)가 서로 마주볼 수 있다. 또한, 상부 커팅부(100)의 상부 커팅 휠(140)과 하부 커팅부(200)의 하부 커팅 휠(240)이 서로 마주볼 수 있다. 즉, 기판을 사이에 두고, 상부 커팅 휠(140)과 하부 커팅 휠(240)이 서로 중첩할 수 있으며, 기판의 동일한 지점을 가압하여 커팅 공정을 진행할 수 있다. 상부 커팅 휠 고정부(134)의 양측에는 상부 자성체부(136)가 위치하고, 하부 커팅 휠 고정부(234)의 양측에는 하부 자성체부(236)가 위치할 수 있다. 상부 홀더(130)와 하부 홀더(230)가 마주보는 상태에서 상부 자성체부(136)와 하부 자성체부(236)의 극성 배치는 서로 반대일 수 있다. 상부 커팅 휠(140)과 하부 커팅 휠(240)이 서로 중첩하는 상태에서 상부 자성체부(136)의 제1 자성체(136a)와 하부 자성체부(236)의 제3 자성체(236a)가 중첩하게 된다. 이때, 제1 자성체(136a)의 극성은 N극이고, 제3 자성체(236a)는 S극일 수 있다. 또한, 상부 커팅 휠(140)과 하부 커팅 휠(240)이 서로 중첩하는 상태에서 상부 자성체부(136)의 제2 자성체(136b)와 하부 자성체부(236)의 제4 자성체(236b)가 중첩하게 된다. 이때, 제2 자성체(136b)의 극성은 S극이고, 제4 자성체(236b)는 N극일 수 있다.
하부 홀더 회전 유도부(150)와 상부 홀더 회전 유도부(250)는 중첩하지 않는다. 또한, 하부 홀더 회전 유도부(150)의 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)는 상측으로 이동해 있는 상태이고, 상부 홀더 회전 유도부(250)의 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)는 하측으로 이동해 있는 상태이다.
도 13에 도시된 바와 같이, 상부 커팅부(100)의 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)를 하측으로 이동시키고, 하부 커팅부(200)의 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)를 상측으로 이동시킬 수 있다. 상부 실린더(152)를 통해 상부 스테이지(154)를 하측으로 이동시킴으로써, 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)가 하측으로 이동할 수 있다. 이에 따라 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)와 하부 커팅부(200) 사이의 거리가 가까워질 수 있다. 하부 실린더(252)를 통해 하부 스테이지(254)를 상측으로 이동시킴으로써, 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)가 상측으로 이동할 수 있다. 이에 따라 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)와 상부 커팅부(100) 사이의 거리가 가까워질 수 있다.
도 14에 도시된 바와 같이, 상부 커팅부(100)의 상부 헤드부(120)와 하부 커팅부(200)의 하부 헤드부(220)를 이동시켜, 상부 커팅부(100)의 상부 홀더(130) 및 하부 커팅부(200)의 하부 홀더(230)를 회전시킬 수 있다.
상부 커팅부(100)의 상부 헤드부(120)와 하부 커팅부(200)의 하부 헤드부(220)를 이동시켜, 상부 홀더(130)와 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)가 마주보고, 하부 홀더(230)와 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)가 마주보도록 위치시킬 수 있다. 도 15는 상부 홀더(130)와 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)가 중첩한 상태를 중첩 위치에 따라 4가지 경우로 나타내고 있다. 도 16은 하부 홀더(230)와 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)가 중첩한 상태를 중첩 위치에 따라 4가지 경우로 나타내고 있다.
도 15에 도시된 바와 같이, 상부 홀더(130)가 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)의 제1 회전 유도부(256a)와 마주보도록 위치시키면, 상부 홀더(130)의 상부 커팅 휠 고정부(134)가 제1 각도만큼 회전할 수 있다. 이때, 상부 자성체부(136)가 제1 회전 유도부(256a)의 S극 자성체(511)와 N극 자성체(512) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 상부 커팅 휠 고정부(134)는 시계 방향으로 약 90도 회전할 수 있다.
상부 홀더(130)가 제2 회전 유도부(256b)와 마주보도록 위치시키면, 상부 커팅 휠 고정부(134)가 제2 각도만큼 회전할 수 있다. 이때, 상부 자성체부(136)가 제2 회전 유도부(256b)의 N극 자성체(513)와 S극 자성체(514) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 상부 커팅 휠 고정부(134)는 시계 방향으로 약 270도 회전할 수 있다.
상부 홀더(130)가 제3 회전 유도부(256c)와 마주보도록 위치시키면, 상부 커팅 휠 고정부(134)가 제3 각도만큼 회전할 수 있다. 이때, 상부 자성체부(136)가 제3 회전 유도부(256c)의 N극 자성체(515)와 S극 자성체(516) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 상부 커팅 휠 고정부(134)는 약 180도 회전할 수 있다.
상부 홀더(130)가 제4 회전 유도부(256d)와 마주보도록 위치시키면, 상부 커팅 휠 고정부(134)가 제4 각도만큼 회전할 수 있다. 이때, 상부 자성체부(136)가 제4 회전 유도부(256d)의 S극 자성체(517)와 N극 자성체(518) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 상부 커팅 휠 고정부(134)는 약 0도 회전할 수 있다. 즉, 상부 커팅 휠 고정부(134)의 정렬 방향은 유지될 수 있다.
상부 홀더(130)의 위치에 따른 상부 커팅 휠 고정부(134)의 회전 각은 상이할 수 있다. 즉, 제1 각도, 제2 각도, 제3 각도 및 제4 각도는 상이할 수 있다. 이처럼 상부 홀더(130)의 회전에 의해 상부 헤드부(120)의 진행 방향을 변경할 수 있으며, 휠 턴을 위한 별도의 여유 공간이 없어도, 기판의 커팅 방향을 변경할 수 있다.
도 16에 도시된 바와 같이, 하부 홀더(230)가 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)의 제5 회전 유도부(156a)와 마주보도록 위치시키면, 하부 홀더(230)의 하부 커팅 휠 고정부(234)가 제1 각도만큼 회전할 수 있다. 이때, 하부 자성체부(236)가 제5 회전 유도부(156a)의 N극 자성체(521)와 S극 자성체(522) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 하부 커팅 휠 고정부(234)는 시계 방향으로 약 90도 회전할 수 있다.
하부 홀더(230)가 제6 회전 유도부(156b)와 마주보도록 위치시키면, 하부 커팅 휠 고정부(234)가 제2 각도만큼 회전할 수 있다. 이때, 하부 자성체부(236)가 제6 회전 유도부(156b)의 S극 자성체(523)와 N극 자성체(524) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 하부 커팅 휠 고정부(234)는 시계 방향으로 약 270도 회전할 수 있다.
하부 홀더(230)가 제7 회전 유도부(156c)와 마주보도록 위치시키면, 하부 커팅 휠 고정부(234)가 제3 각도만큼 회전할 수 있다. 이때, 하부 자성체부(236)가 제7 회전 유도부(156c)의 N극 자성체(525)와 S극 자성체(526) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 하부 커팅 휠 고정부(234)는 약 180도 회전할 수 있다.
하부 홀더(230)가 제8 회전 유도부(156d)와 마주보도록 위치시키면, 하부 커팅 휠 고정부(234)가 제4 각도만큼 회전할 수 있다. 이때, 하부 자성체부(236)가 제8 회전 유도부(156d)의 S극 자성체(527)와 N극 자성체(528) 사이의 공간과 중첩하도록 위치시킬 수 있다. 하부 커팅 휠 고정부(234)는 약 0도 회전할 수 있다. 즉, 하부 커팅 휠 고정부(234)의 정렬 방향은 유지될 수 있다.
하부 홀더(230)의 위치에 따른 상부 커팅 휠 고정부(234)의 회전 각은 상이할 수 있다. 즉, 제1 각도, 제2 각도, 제3 각도 및 제4 각도는 상이할 수 있다. 이처럼 하부 홀더(230)의 회전에 의해 하부 헤드부(220)의 진행 방향을 변경할 수 있으며, 휠 턴을 위한 별도의 여유 공간이 없어도, 기판의 커팅 방향을 변경할 수 있다.
상부 홀더(130)의 회전 각과 하부 홀더(230)의 회전 각은 동일하게 제어할 수 있다. 상부 홀더(130)가 제1 회전 유도부(256a)와 마주보도록 위치시키면, 하부 홀더(230)는 제5 회전 유도부(156a)와 마주보도록 위치하게 되며, 상부 홀더(130)와 하부 홀더(230)는 제1 각도만큼 회전할 수 있다. 상부 홀더(130)가 제2 회전 유도부(256b)와 마주보도록 위치시키면, 하부 홀더(230)는 제6 회전 유도부(156b)와 마주보도록 위치하게 되며, 상부 홀더(130)와 하부 홀더(230)는 제2 각도만큼 회전할 수 있다. 상부 홀더(130)가 제3 회전 유도부(256c)와 마주보도록 위치시키면, 하부 홀더(230)는 제7 회전 유도부(156c)와 마주보도록 위치하게 되며, 상부 홀더(130)와 하부 홀더(230)는 제3 각도만큼 회전할 수 있다. 상부 홀더(130)가 제4 회전 유도부(256d)와 마주보도록 위치시키면, 하부 홀더(230)는 제8 회전 유도부(156d)와 마주보도록 위치하게 되며, 상부 홀더(130)와 하부 홀더(230)는 제4 각도만큼 회전할 수 있다.
도 17에 도시된 바와 같이, 상부 커팅부(100)의 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)를 상측으로 이동시키고, 하부 커팅부(200)의 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)를 하측으로 이동시킬 수 있다. 상부 실린더(152)를 통해 상부 스테이지(154)를 상측으로 이동시킴으로써, 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)가 상측으로 이동할 수 있다. 이에 따라 하부 홀더 회전 유도 자성체부(156)와 하부 커팅부(200) 사이의 거리가 멀어질 수 있다. 하부 실린더(252)를 통해 하부 스테이지(254)를 하측으로 이동시킴으로써, 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)가 하측으로 이동할 수 있다. 이에 따라 상부 홀더 회전 유도 자성체부(256)와 상부 커팅부(100) 사이의 거리가 멀어질 수 있다.
도 18에 도시된 바와 같이, 상부 커팅부(100)와 하부 커팅부(200)가 마주보도록 위치시키고, 기판의 커팅을 진행할 수 있다. 앞서 도 12에서의 상부 커팅 휠(140)과 하부 커팅 휠(240)의 진행 방향과 도 18에서의 상부 커팅 휠(140)과 하부 커팅 휠(240)의 진행 방향은 상이할 수 있다. 이처럼 상부 홀더 회전 유도부(250) 및 하부 홀더 회전 유도부(150)를 이용하여 상부 홀더(130) 및 하부 홀더(230)의 회전 방향을 변경시킴으로써, 상부 커팅 휠(140)과 하부 커팅 휠(240)의 진행 방향을 제어할 수 있다. 이처럼 상부 커팅 휠(140)과 하부 커팅 휠(240)의 진행 방향을 변경하면서 기판의 커팅을 진행할 수 있으며, 휠 턴을 위한 별도의 여유 공간이 필요하지 않다. 따라서, 기판을 커팅하는 과정에서 기판의 손상으로 인해 크랙이 전달되면서 표시 장치의 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 휠 턴을 진행하는 과정에서 커팅 휠이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100: 상부 커팅부
120: 상부 헤드부
130: 상부 홀더
134: 상부 커팅 휠 고정부
136: 상부 자성체부
140: 상부 커팅 휠
150: 하부 홀더 회전 유도부
156: 하부 홀더 회전 유도 자성체부
200: 하부 커팅부
220: 하부 헤드부
230: 하부 홀더
234: 하부 커팅 휠 고정부
236: 하부 자성체부
240: 하부 커팅 휠
250: 하부 홀더 회전 유도부
256: 하부 홀더 회전 유도 자성체부

Claims (20)

  1. 상부 커팅부, 및
    상기 상부 커팅부의 하측에 위치하는 하부 커팅부를 포함하고,
    상기 상부 커팅부는,
    제1 방향 또는 제2 방향으로 이동 가능한 상부 헤드부,
    상기 상부 헤드부에 고정되어 있는 상부 홀더, 및
    상기 상부 홀더에 고정되어 있는 상부 커팅 휠을 포함하고,
    상기 상부 홀더는,
    상기 상부 헤드부에 고정되어 있는 상부 몸체부,
    상기 상부 몸체부에 대해 회전 가능한 상부 커팅 휠 고정부, 및
    상기 상부 커팅 휠 고정부의 양측에 위치하고, 자성체를 포함하는 상부 자성체부를 포함하고,
    상기 하부 커팅부는,
    상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이동 가능한 하부 헤드부,
    상기 하부 헤드부에 고정되어 있는 하부 홀더,
    상기 하부 홀더에 고정되어 있는 하부 커팅 휠, 및
    상기 하부 헤드부에 고정되어 있고, 자성체를 포함하는 상부 홀더 회전 유도부를 포함하는 커팅 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 상부 자성체부는
    상기 상부 커팅 휠 고정부의 일측에 위치하는 제1 자성체, 및
    상기 상부 커팅 휠 고정부의 타측에 위치하는 제2 자성체를 포함하고,
    상기 제1 자성체와 상기 제2 자성체의 극성이 서로 반대인 커팅 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 상부 커팅 휠은 상기 상부 헤드부의 이동에 따라 회전할 수 있고,
    상기 상부 커팅 휠의 회전축은 상기 상부 몸체부의 고정축으로부터 상기 상부 헤드부의 진행 방향의 반대 방향으로 이격되어 있는 커팅 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 제1 자성체는 상기 상부 헤드부의 진행 방향을 기준으로 상기 상부 커팅 휠의 좌측에 위치하고, N극 극성을 가지고,
    상기 제2 자성체는 상기 상부 헤드부의 진행 방향을 기준으로 상기 상부 커팅 휠의 우측에 위치하고, S극 극성을 가지는 커팅 장치.
  5. 제2항에서,
    상기 상부 홀더 회전 유도부는,
    상기 하부 헤드부의 일측면에 고정되어 있는 하부 실린더,
    상기 하부 실린더에 의해 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 이동 가능한 하부 스테이지, 및
    상기 하부 스테이지 위에 위치하는 상부 홀더 회전 유도 자성체부를 포함하는 커팅 장치.
  6. 제5항에서,
    상기 상부 홀더 회전 유도 자성체부는,
    상기 제1 방향을 따라 순차적으로 위치하는 제1 회전 유도부, 제2 회전 유도부, 제3 회전 유도부, 및 제4 회전 유도부를 포함하고,
    상기 제1 회전 유도부 및 상기 제2 회전 유도부는 상기 제2 방향을 따라 배치되어 있는 S극 자성체 및 N극 자성체를 포함하고,
    상기 제3 회전 유도부 및 상기 제4 회전 유도부는 상기 제1 방향을 따라 배치되어 있는 S극 자성체 및 N극 자성체를 포함하고,
    상기 제1 회전 유도부의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태와 상기 제2 회전 유도부의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태는 반대이고,
    상기 제3 회전 유도부의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태와 상기 제4 회전 유도부의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태는 반대인 커팅 장치.
  7. 제6항에서,
    상기 제3 회전 유도부의 S극 자성체와 상기 제4 회전 유도부의 S극 자성체는 일체로 이루어져 있는 커팅 장치.
  8. 제1항에서,
    상기 하부 홀더는,
    상기 하부 헤드부에 고정되어 있는 하부 몸체부,
    상기 하부 몸체부에 대해 회전 가능한 하부 커팅 휠 고정부, 및
    상기 하부 커팅 휠 고정부의 양측에 위치하고, 자성체를 포함하는 하부 자성체부를 포함하고,
    상기 상부 커팅부는 상기 상부 헤드부에 고정되어 있고, 자성체를 포함하는 하부 홀더 회전 유도부를 더 포함하는 커팅 장치.
  9. 제8항에서,
    상기 하부 자성체부는,
    상기 하부 커팅 휠 고정부의 일측에 위치하는 제3 자성체, 및
    상기 하부 커팅 휠 고정부의 타측에 위치하는 제4 자성체를 포함하고,
    상기 제3 자성체와 상기 제4 자성체의 극성이 서로 반대인 커팅 장치.
  10. 제9항에서,
    상기 하부 커팅 휠은 상기 하부 헤드부의 이동에 따라 회전할 수 있고,
    상기 하부 커팅 휠의 회전축은 상기 하부 몸체부의 고정축으로부터 상기 하부 헤드부의 진행 방향의 반대 방향으로 이격되어 있는 커팅 장치.
  11. 제10항에서,
    상기 제3 자성체는 상기 하부 헤드부의 진행 방향을 기준으로 좌측에 위치하고, S극 극성을 가지고,
    상기 제2 자성체는 상기 상부 헤드부의 진행 방향을 기준으로 우측에 위치하고, N극 극성을 가지는 커팅 장치.
  12. 제8항에서,
    상기 하부 홀더 회전 유도부는,
    상기 상부 헤드부의 일측면에 고정되어 있는 상부 실린더,
    상기 상부 실린더에 의해 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 이동 가능한 상부 스테이지, 및
    상기 상부 스테이지 아래에 위치하는 하부 홀더 회전 유도 자성체부를 포함하는 커팅 장치.
  13. 제12항에서,
    상기 하부 홀더 회전 유도 자성체부는,
    상기 제1 방향을 따라 순차적으로 위치하는 제5 회전 유도부, 제6 회전 유도부, 제7 회전 유도부, 및 제8 회전 유도부를 포함하고,
    상기 제5 회전 유도부 및 상기 제6 회전 유도부는 상기 제2 방향을 따라 배치되어 있는 S극 자성체 및 N극 자성체를 포함하고,
    상기 제7 회전 유도부 및 상기 제8 회전 유도부는 상기 제1 방향을 따라 배치되어 있는 S극 자성체 및 N극 자성체를 포함하고,
    상기 제5 회전 유도부 내의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태와 상기 제6 회전 유도부 내의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태는 반대이고,
    상기 제7 회전 유도부 내의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태와 상기 제8 회전 유도부 내의 S극 자성체와 N극 자성체의 배치 형태는 반대인 커팅 장치.
  14. 제13항에서,
    상기 제7 회전 유도부의 S극 자성체와 상기 제8 회전 유도부의 S극 자성체는 일체로 이루어져 있는 커팅 장치.
  15. 기판을 사이에 두고, 상부 커팅부와 하부 커팅부가 마주보도록 위치시키고, 기판을 커팅하는 단계,
    상기 상부 커팅부의 하부 홀더 회전 유도 자성체부를 하측으로 이동시키고, 상기 하부 커팅부의 상부 홀더 회전 유도 자성체부를 상측으로 이동시키는 단계,
    상기 상부 커팅부의 상부 헤드부와 상기 하부 커팅부의 하부 헤드부를 이동시켜, 상기 상부 커팅부의 상부 홀더 및 상기 하부 커팅부의 하부 홀더를 회전시키는 단계,
    상기 상부 커팅부의 하부 홀더 회전 유도 자성체부를 상측으로 이동시키고, 상기 하부 커팅부의 상부 홀더 회전 유도 자성체부를 하측으로 이동시키는 단계, 및
    기판을 사이에 두고, 상기 상부 커팅부와 상기 하부 커팅부가 마주보도록 위치시고, 기판을 커팅하는 단계를 포함하는 기판 커팅 방법.
  16. 제15항에서,
    상기 상부 홀더 및 상기 하부 홀더를 회전시키는 단계에서,
    상기 상부 커팅부의 상부 헤드부와 상기 하부 커팅부의 하부 헤드부를 이동시켜, 상기 상부 홀더와 상기 상부 홀더 회전 유도 자성체부가 마주보고, 상기 하부 홀더와 상기 하부 홀더 회전 유도 자성체부가 마주보도록 위치시키는 기판 커팅 방법.
  17. 제16항에서,
    상기 상부 홀더의 회전 방향은 상기 하부 홀더의 회전 방향과 동일한 기판 커팅 방법.
  18. 제16항에서,
    상기 상부 홀더 회전 유도 자성체부는 제1 회전 유도부, 제2 회전 유도부, 제3 회전 유도부, 및 제4 회전 유도부를 포함하고,
    상기 상부 홀더가 상기 제1 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 상부 홀더의 상부 커팅 휠 고정부가 제1 각도만큼 회전하고,
    상기 상부 홀더가 상기 제2 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 상부 커팅 휠 고정부가 제2 각도만큼 회전하고,
    상기 상부 홀더가 상기 제3 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 상부 커팅 휠 고정부가 제3 각도만큼 회전하고,
    상기 상부 홀더가 상기 제4 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 상부 커팅 휠 고정부가 제4 각도만큼 회전하고,
    상기 제1 각도, 상기 제2 각도, 상기 제3 각도 및 상기 제4 각도는 상이한 기판 커팅 방법.
  19. 제18항에서,
    상기 하부 홀더 회전 유도 자성체부는 제5 회전 유도부, 제6 회전 유도부, 제7 회전 유도부, 및 제8 회전 유도부를 포함하고,
    상기 하부 홀더가 상기 제5 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 하부 홀더의 하부 커팅 휠 고정부가 상기 제1 각도만큼 회전하고,
    상기 하부 홀더가 상기 제6 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 하부 커팅 휠 고정부가 상기 제2 각도만큼 회전하고,
    상기 하부 홀더가 상기 제7 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 하부 커팅 휠 고정부가 상기 제3 각도만큼 회전하고,
    상기 하부 홀더가 상기 제8 회전 유도부와 마주보도록 위치시키면, 상기 하부 커팅 휠 고정부가 상기 제4 각도만큼 회전하는 기판 커팅 방법.
  20. 제19항에서,
    상기 상부 홀더는 상기 상부 커팅 휠 고정부의 양측에 위치하는 상부 자성체부를 더 포함하고,
    상기 하부 홀더는 상기 하부 커팅 휠 고정부의 양측에 위치하는 하부 자성체부를 더 포함하고,
    상기 상부 홀더와 상기 하부 홀더가 마주보는 상태에서 상기 상부 자성체부와 상기 하부 자성체부의 극성 배치는 서로 반대인 기판 커팅 방법.

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