KR102480085B1 - 기판 절단장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법 - Google Patents

기판 절단장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는, 기판이 배치되는 스테이지 및 상기 스테이지 상에 위치하고, 수직 방향으로 상기 기판을 절단하는 절단부를 포함하고, 상기 스테이지는, 제1 방향을 따라 연장된 적어도 하나의 곡면부, 및 상기 곡면부의 양측에 각각 배치되고, 상기 곡면부와 연속적으로 이루어진 평탄부들을 포함하며, 상기 절단부는, 상기 곡면부의 중앙선으로부터 수평방향으로 이격된 위치에서 상기 제1 방향을 따라 상기 기판을 절단하는 기판 절단장치를 개시한다.

Description

기판 절단장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법{Substrate cutting apparatus and method for manufacturing display apparatus using the same}
본 발명은 기판 절단장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법에 관한 것이다.
근래에 디스플레이 장치는 박형의 평판 디스플레이 장치로 대체되는 추세이다. 디스플레이 장치는 무기막 또는 유기막 등으로 이루어진 복수의 박막들을 포함할 수 있다. 한편, 디스플레이 장치의 제조 효율을 향상시키기 위해, 기판상에 복수 개의 디스플레이부들을 형성한 후, 기판의 디스플레이부들 사이의 부분을 절단함으로써 복수 개의 디스플레이 장치들을 동시에 형성할 수 있다. 그러나, 종래의 기판 절단장치는 기판의 절단면이 수직한 단면을 가지도록 기판을 절단함에 따라, 기판의 절단 과정 중 기판상에 형성된 무기막 등에 손상이 일어날 수 있다.
본 발명의 실시예들은 기판 절단장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는, 기판이 배치되는 스테이지 및 상기 스테이지 상에 위치하고, 수직 방향으로 상기 기판을 절단하는 절단부를 포함하고, 상기 스테이지는, 제1 방향을 따라 연장된 적어도 하나의 곡면부, 및 상기 곡면부의 양측에 각각 배치되고, 상기 곡면부와 연속적으로 이루어진 평탄부들을 포함하며, 상기 절단부는, 상기 곡면부의 중앙선으로부터 수평방향으로 이격된 위치에서 상기 제1 방향을 따라 상기 기판을 절단하는 기판 절단장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 절단부는, 상기 곡면부와 중첩된 위치에서 상기 기판을 절단할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 곡면부는, 상기 평탄부들보다 외부로 돌출된 볼록한 형상을 가질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 곡면부는, 상기 평탄부들보다 상기 스테이지의 내측으로 인입된 오목한 형상을 가질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 곡면부는, 상기 중앙선을 중심으로 좌우 대칭일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 방향과 수직한 상기 곡면부의 단면은 곡선을 포함하고, 상기 곡선은 상기 중앙선을 기준으로 양측에 각각 하나씩 형성된 두 개의 변곡점들을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 두 개의 변곡점들 사이에서, 상기 곡선은 일정한 곡률 반경을 가질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 절단부는, 상기 두 개의 변곡점들 사이에서 상기 기판을 절단할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 스테이지는, 복수의 진공홀들을 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 기판은 플렉서블 기판이며, 상기 절단부에 의해 절단된 상기 기판의 절단면은 경사면을 이룰 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 절단부는, 상기 중앙선의 양측에서 상기 기판을 절단할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 곡면부는, 서로 이격된 위치에 복수 개 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 플렉서블 기판 상에 디스플레이 소자를 형성하는 단계, 스테이지 상에 상기 플렉서블 기판을 배치하는 단계 및 절단부에 의해 상기 플렉서블 기판을 절단하는 단계를 포함하고, 상기 스테이지는 제1 방향을 따라 연장된 적어도 하나의 곡면부, 및 상기 곡면부의 양측에 각각 배치되고, 상기 곡면부와 연속적으로 이루어진 평탄부들을 포함하며, 상기 절단부는, 상기 곡면부와 중첩된 위치에서 수직 방향으로 상기 플렉서블 기판을 절단하는 디스플레이 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 스테이지는 복수의 진공홀들을 포함하고, 상기 플렉서블 기판은 상기 진공홀들에 의해 상기 곡면부 및 상기 평탄부들에 밀착될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 절단부는, 상기 곡면부의 중앙선으로부터 수평방향으로 이격된 위치에서 상기 제1 방향을 따라 상기 플렉서블 기판을 절단할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 절단부는, 상기 중앙선의 양측에서 상기 기판을 동시에 또는 순차적으로 절단할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 곡면부는, 상기 평탄부들보다 외부로 돌출된 볼록한 형상을 가질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 곡면부는, 상기 평탄부들보다 상기 스테이지의 내측으로 인입된 오목한 형상을 가질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 절단부에 의해 절단된 상기 플렉서블 기판의 절단면은 경사면을 이룰 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 디스플레이소자를 형성하는 단계는, 상기 플렉서블 기판 상의 복수개의 디스플레이영역들에 디스플레이소자들을 형성하는 단계이고, 상기 플렉서블 기판을 절단하는 단계는, 상기 복수개의 디스플레이영역들 사이를 절단하는 단계일 수 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면, 기판의 절단 과정 중 기판에 손상이 일어나는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 기판 절단 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 기판 절단 장치의 I-I'단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3은 도 1의 기판 절단 장치에 의해 절단된 기판을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 4는 도 1의 기판 절단 장치의 변형예를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5는 도 1의 기판 절단 장치의 다른 변형예를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 6은 기판 절단 장치에 의해 제조된 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 7은 도 6의 F부분을 확대하여 개략적으로 도시한 확대도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 각 도면에서, 구성요소는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.
각 구성요소의 설명에 있어서, 상(on)에 또는 하(under)에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(on)과 하(under)는 직접 또는 다른 구성요소를 개재하여 형성되는 것을 모두 포함하며, 상(on) 및 하(under)에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.
X축, Y축 및 Z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, X축, Y축 및 Z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 기판 절단 장치를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 기판 절단 장치의 I-I'단면을 개략적으로 도시한 단면도이며, 도 3은 도 1의 기판 절단 장치에 의해 절단된 기판을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 절단 장치(10)는, 기판(S)이 배치되는 스테이지(100) 및 스테이지(100) 상에 위치하고 기판(S)을 절단하는 절단부(190)를 포함할 수 있다.
가공대상물인 기판(S)은 플렉서블 기판일 수 있다. 기판(S)에는 복수 개의 디스플레이부(DA)들이 형성되어 있을 수 있다. 디스플레이부(DA)들은 유기발광 디스플레이부들일 수도 있고 액정 디스플레이부들일 수도 있다. 또한, 도면에는 도시되지 않았으나, 클램프(미도시) 등으로 스테이지(100) 상에서의 기판(S)의 위치가 변하지 않도록 기판(S)을 스테이지(100) 상에 고정할 수도 있다.
스테이지(100)는 적어도 하나의 곡면부(110)와 곡면부(110)의 양측에 배치되고 곡면부(110)와 연속적으로 이루어진 평탄부(120)들을 포함할 수 있다. 곡면부(110)의 양측에 배치된 평탄부(120)들은 서로 동일한 높이를 가질 수 있으며, 기판(S)에 형성된 복수 개의 디스플레이부(DA)들은 평탄부(120) 상에 위치할 수 있다.
곡면부(110)는 제1 방향(Z방향)을 따라 연장되어 형성될 수 있다. 제1 방향(Z방향)을 따라 연장된 곡면부(110)는 제1 방향(Z방향)으로 연장된 중앙선(C)을 포함할 수 있고, 곡면부(110)는 중앙선(C)을 기준으로 좌우 대칭인 형상을 가질 수 있다. 중앙선(C)은 곡면부(110)를 좌우 대칭으로 나눌 수 있는 면에 존재하는 어떠한 선으로도 이루어질 수 있으나, 이하에서는 설명의 편의상 곡면부(110)의 적어도 일부가 일정한 곡률 반경을 가진다고 전제할 때, 상기 중앙선(C)은 상기 곡률의 중심을 지나는 선으로 설명한다.
스테이지(100)에는 복수의 진공 홀(130)들이 형성될 수 있다. 이에 의해 플렉서블한 성질을 가지는 기판(S)은 곡면부(110) 및 평탄부(120)들 상에 밀착될 수 있다.
절단부(190)는 수직 방향(-X방향)으로 기판(S)을 절단할 수 있다. 절단부(190)는 레이저를 조사하는 레이저 발진부를 포함하거나, 또는 커팅 휠을 포함할 수 있다.
절단부(190)는 곡면부(110)의 중앙선(C)으로부터 수평방향(Y방향)으로 이격된 위치에서 곡면부(110)가 연장된 제1 방향(Z방향)을 따라 기판(S)을 절단할 수 있다. 이를 위해, 스테이지(100)는 위치가 고정된 상태이고 절단부(190)가 제1 방향(Z방향)을 따라 이동하며 기판(S)을 절단할 수 있다. 이와는 달리, 절단부(190)는 위치가 고정되고, 스테이지(100)가 이동할 수도 있다.
절단부(190)는 곡면부(110)와 중첩된 위치에서 기판(S)을 절단할 수 있다. 이에 의해 기판(S)의 절단면은 경사면(DS)을 가지고 형성될 수 있다. 이하에서는, 도 2 및 도 3을 참조하여 기판(S)의 절단 방법을 보다 상세하게 설명한다.
곡면부(110)는 일 예로, 평탄부(120)들보다 외부로 돌출된 볼록한 형상을 가질 수 있다. 또한, 제1 방향(Z방향)과 수직한 곡면부(110)의 단면(X-Y평면)은 곡선(CL)을 포함할 수 있다. 곡선(CL)은 중앙선(C)을 기준으로 양측에 각각 하나씩 형성된 두 개의 변곡점(P1)들을 포함하도록 형성될 수 있다. 즉, 곡선(CL)은 변곡점(P1)을 기준으로 볼록한 형상에서 오목한 형상으로 연속적으로 변화할 수 있고, 이에 따라 스테이지(100)에 밀착된 기판(S)에 꺾임 등이 발생하는 것이 방지될 수 있다.
곡선(CL)은 두 개의 변곡점(P1)들 사이에서 일정한 곡률 반경을 가지도록 형성될 수 있다. 또한, 절단부(190)가 두 개의 변곡점(P1)들 사이에서 기판(S)을 수직 방향(-X방향)으로 절단하면, 기판(S)의 절단면은 경사면(DS)을 가지며, 기판(S)의 절단각도(θ1)를 용이하게 조절할 수 있다.
예를 들어, 도 2와 같이, 기판(S)이 곡면부(110) 상에 밀착된 상태로써, 곡면부(110)의 중앙선(C)으로부터 기판(S)의 외측면까지의 최단거리가 곡률반경(R1)을 이루고, 절단부(190)의 위치가 곡면부(110)의 중앙선(C)으로부터 수평방향(Y방향)으로 이격거리(a)만큼 이격될 때, 기판(S)의 절단이 시작되는 지점과 중앙선(C)을 잇는 선분은 수평방향(Y방향)과 θ1의 각도를 이룰 수 있다. 이때, 기판(S)의 절단이 시작되는 지점에서의 접선(L1)과 절단부(190)에 의해 기판(S)이 절단되는 방향(-Z방향)이 이루는 각도도 θ1이 되는데, 상기 θ1이 기판(S)의 절단면이 가지는 절단각도(θ1)가 된다.
따라서, 스테이지(100) 또는 절단부(190)를 기울이지 않고, 단순히 수직방향으로 기판(S)을 절단함으로써, 기판(S)은 경사면(DS)을 가지고 비스듬하게 절단될 수 있으며, 이에 의해 기판(S) 상에 형성된 무기막 등에 손상이 일어나는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 이격거리(a)에 따라 기판(S)의 절단각도(θ1)를 용이하게 조절할 수 있다.
한편, 절단부(190)는 중앙선(C)의 양측에서 각각 기판(S)을 절단할 수 있다. 도 2에서는 절단부(190)가 중앙선(C)으로부터 Y방향으로 이격된 위치에서 기판(S)을 절단하는 예를 도시하고 있으나, 절단부(190)는 중앙선(C)으로부터 -Y방향으로 이격된 위치에서도 기판(S)을 절단할 수 있다. 이때, 절단부(190)는 중앙선(C)의 양측에서 기판(S)을 순차적으로 절단할 수도 있으며, 절단부(190)가 복수 개 구비되어 중앙선(C)의 양측에서 기판(S)을 동시에 절단할 수도 있다.
또한, 절단부(190)가 중앙선(C)으로부터 -Y방향으로 이격된 위치에서 기판(S)을 절단할 때에도, 중앙선(C)으로부터 이격된 절단부(190)의 위치에 따라 기판(S)의 절단각도(θ1)를 용이하게 조절할 수 있다.
도 4는 도 1의 기판 절단 장치의 변형예를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 4를 참조하면, 기판 절단 장치(20)는, 기판(S)이 배치되는 스테이지(200) 및, 스테이지(200) 상에 위치하고 기판(S)을 절단하는 절단부(190)를 포함할 수 있다. 도 4의 기판 절단 장치(20)는 도 1의 기판 절단 장치(10)와 비교할 때, 복수의 곡면부(210)들과 복수의 절단부(190)들을 포함한다는 점이다.
기판(S)은 플렉서블한 성질을 가지며, 복수의 곡면부(210) 및 평탄부(220)들이 이루는 형상을 따라, 스테이지(200) 상에 배치될 수 있다.
복수의 곡면부(210)들은 서로 나란하게 제1 방향(Z방향)을 따라 연장되어 형성되며, 서로 이격되어 배치될 수 있다. 복수의 곡면부(210)들 사이에서는 복수의 곡면부(210)들과 연속적으로 형성된 복수의 평탄부(220)들이 배치될 수 있다.
복수의 곡면부(210)들 각각은 중심선(C)을 포함하며, 곡면부(210)들은 각각의 중심선(C)을 중심으로 좌우 대칭일 수 있다.
복수의 절단부(190)들은 복수의 곡면부(210)들에 대응하는 위치에서, 기판(S)을 절단할 수 있다. 복수의 절단부(190)들은 동시에 구동되거나, 또는 서로 독립적으로 구동될 수 있다. 복수의 절단부(190)들 각각은 대응하는 곡면부(110)들의 중앙선(C)으로부터 수평방향(Y 또는 -Y방향)으로 이격된 위치에서 수직방향(-X방향)으로 기판(S)을 절단할 수 있다. 따라서, 기판(S)의 절단면은 경사면(DS)을 가지고 형성될 수 있다.
또한, 도 4의 기판 절단 장치(20)도 복수의 곡면부(210)들에 각각 포함된 중앙선(C)의 양측에서 기판(S)이 동시 또는 순차적으로 절단될 수 있다.
도 5는 도 1의 기판 절단 장치의 다른 변형예를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5를 참조하면, 기판 절단 장치(30)는 기판(S)이 배치되는 스테이지(300) 와 스테이지(300) 상에 위치하고 기판(S)을 절단하는 절단부(190)를 포함할 수 있다. 기판(S) 및 절단부(190)는 도 1 내지 도 3에서 도시하고 설명한 바와 동일하므로, 이를 반복하여 설명하지 않는다.
스테이지(300)는 제1 방향(Z)으로 연장된 적어도 하나의 곡면부(310)와 곡면부(310)의 양측에 배치되고 곡면부(310)와 연속적으로 이루어진 평탄부(320)들을 포함할 수 있다.
곡면부(310)는 일 예로, 평탄부(320)들보다 스테이지(300)의 내측으로 인입된 오목한 형상을 가질 수 있으며, 제1 방향(Z방향)을 따라 연장된 오목한 형상의 곡면부(310)는 중앙선(C)을 포함할 수 있다. 또한, 제1 방향(Z방향)과 수직한 곡면부(310)의 단면(X-Y평면)은 곡선(CL)을 포함할 수 있다.
곡선(CL)은 중앙선(C)을 기준으로 양측에 각각 하나씩 형성된 두 개의 변곡점(P2)들을 포함하며, 곡선(CL)은 변곡점(P2)을 기준으로 오목한 형상에서 볼록한 형상으로 연속적으로 변화할 수 있다. 따라서, 스테이지(300) 상에 배치된 기판(S)에 꺾임 등이 발생하는 것이 방지될 수 있다.
곡선(CL)은 두 개의 변곡점(P2)들 사이에서 일정한 곡률 반경을 가지도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 5와 같이, 기판(S)이 곡면부(310) 상에 밀착된 상태로써, 곡면부(310)의 중앙선(C)으로부터 곡면부(310)의 표면까지의 최단거리가 곡률반경(R2)을 이루고, 절단부(190)가 곡면부(310)의 중앙선(C)으로부터 수평방향(Y방향)의 이격거리(b)만큼 이격된 위치에서 기판(S)을 절단할 때, 기판(S)의 절단이 종료된 지점과 중앙선(C)을 잇는 선분은 수평방향(Y방향)과 θ2의 각도를 이루며, 이는 기판(S)의 절단이 종료된 지점에서의 접선(L2)과 기판(S)의 절단 방향(-X)이 이루는 각도가 되므로, 상기 θ2가 기판(S)의 절단면이 가지는 절단각도(θ2)가 될 수 있다.
따라서, 절단부(190)가 두 개의 변곡점(P2)들 사이에서 기판(S)을 수직 방향(-X방향)으로 절단함에 따라. 기판(S)은 비스듬하게 절단될 수 있고, 상기 이격거리(b2)의 조정을 통해 절단각도(θ2)를 용이하게 조절할 수 있다.
한편, 절단부(190)는 중앙선(C)의 양측에서 각각 기판(S)을 절단할 수 있다. 도 5에서는 절단부(190)가 중앙선(C)으로부터 Y방향으로 이격된 위치에서 기판(S)을 절단하는 예를 도시하고 있으나, 절단부(190)는 중앙선(C)으로부터 -Y방향으로 이격된 위치에서도 기판(S)을 절단할 수 있다. 이때, 절단부(190)는 중앙선(C)의 양측에서 기판(S)을 순차적으로 절단할 수도 있으며, 절단부(190)가 복수 개 구비되어 중앙선(C)의 양측에서 기판(S)을 동시에 절단할 수도 있다.
이하에서는, 다시 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명에 따른 기판 절단 장치를 이용하여 디스플레이 장치를 제조하는 방법을 간략하게 설명한다.
본 발명에 따른 디스플레이 장치의 제조 방법은, 플렉서블 기판(S) 상에 디스플레이 소자를 형성하는 단계, 스테이지(100) 상에 플렉서블 기판(S)을 배치하는 단계 및 절단부(190)에 의해 플렉서블 기판(S)을 절단하는 단계를 포함한다.
스테이지(100)는 제1 방향(Z방향)을 따라 연장된 적어도 하나의 곡면부(110), 및 곡면부(110)의 양측에 각각 배치되고, 곡면부(110)와 연속적으로 이루어진 평탄부(120)들을 포함하여, 복수의 진공홀(130)들이 표면에 형성될 수 있다. 따라서, 플렉서블 기판(S)은 곡면부(110) 및 평탄부(120)들이 이루는 형상에 따라 곡면부(110) 및 평탄부(120)들에 밀착되어 위치가 고정될 수 있다.
절단부(190)는 상술한 바와 같이, 곡면부(110)와 중첩된 위치에서 수직 방향(-X방향)으로 기판(S)을 절단한다. 이때, 절단부(190)는 곡면부(110)의 중앙선(C)으로부터 일측으로 이동된 위치에서 기판(S)을 절단하게 되며, 이에 따라 기판(S)은 비스듬한 경사면(DS)을 가지고 절단될 수 있다.
한편, 기판(S)은 도 1 및 도 2에 도시된 기판 절단 장치(10) 외에 도 4의 기판 절단 장치(20) 또는 도 5의 기판 절단 장치(30)에 의해서도 동일한 효과를 가지며 절단될 수 있다.
디스플레이소자를 형성하는 단계는, 플렉서블 기판(S) 상의 복수개의 디스플레이영역(DA)들에 디스플레이소자들을 형성하는 단계이며, 플렉서블 기판(S)을 절단하는 단계는, 복수개의 디스플레이영역(DA)들 사이를 절단하는 단계로써, 복수 개의 디스플레이 장치들이 형성될 수 있다.
도 6은 기판 절단 장치에 의해 제조된 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 7은 도 6의 F부분을 확대하여 개략적으로 도시한 확대도이다. 도 6 및 도 7은 일 예로, 디스플레이 장치가 유기발광 디스플레이부를 포함하는 것을 도시하고 있으나, 본 발명은 이에 한하지 않으며, 디스플레이 장치는 액정 디스플레이부를 포함할 수도 있다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 유기발광 디스플레이 장치(400:organic light emitting display apparatus)는 기판(430) 상에 형성된다. 기판(430)은 플렉서블한 성질을 가지는 재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 기판(430)은 폴리에테르술폰(PES, polyethersulphone), 폴리아크릴레이트(PAR, polyacrylate), 폴리에테르 이미드(PEI, polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN, polyethyelenen napthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyeleneterepthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide: PPS), 폴리아릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate: CAP) 등으로 이루어질 수 있다.
기판(430)상에는 기판(430)상부에 평탄면을 제공하고, 기판(430)방향으로 수분 및 이물이 침투하는 것을 방지하도록 절연물을 함유하는 버퍼층(431)이 형성되어 있다.
버퍼층(431)상에는 박막 트랜지스터(440(TFT:thin film transistor)와, 캐패시터(450)와, 유기 발광 소자(460:organic light emitting device)가 형성된다. 박막 트랜지스터(440)는 크게 활성층(441), 게이트 전극(442), 소스/드레인 전극(443)을 포함한다. 유기 발광 소자(460)는 제1 전극(461), 제2 전극(462) 및 중간층(463)을 포함한다. 캐패시터(450)는 제1 캐패시터 전극(451) 및 제2 캐패시터 전극(452)을 포함한다.
구체적으로 버퍼층(431)의 윗면에는 소정 패턴으로 형성된 활성층(441)이 배치된다. 활성층(441)은 실리콘과 같은 무기 반도체 물질, 유기 반도체 물질 또는 산화물 반도체 물질을 함유할 수 있고, p형 또는 n형의 도펀트를 주입하여 형성될 수 있다. 활성층(441)상부에는 게이트 절연막(432)이 형성된다. 게이트 절연막(432)의 상부에는 활성층(441)과 대응되도록 게이트 전극(442)이 형성된다. 게이트 전극(442)과 동일한 층에 제1 캐패시터 전극(451)이 형성되는데 게이트 전극(442)과 동일한 재질로 형성될 수 있다.
게이트 전극(442)을 덮도록 층간 절연막(433)이 형성되고, 층간 절연막(433) 상에 소스/드레인 전극(443)이 형성되는 데, 활성층(441)의 소정의 영역과 접촉되도록 형성된다. 소스/드레인 전극(443)과 동일한 층에 제2 캐패시터 전극(452)이 형성되는데 소스/드레인 전극(443)과 동일한 재질로 형성될 수 있다.
소스/드레인 전극(443)을 덮도록 패시베이션층(434)이 형성되고, 패시베이션층(434) 상부에는 박막 트랜지스터(440)의 평탄화를 위하여 별도의 절연막을 더 형성할 수도 있다.
패시베이션층(434) 상에 제1 전극(461)을 형성한다. 제1 전극(461)은 소스/드레인 전극(443)중 어느 하나와 전기적으로 연결되도록 형성한다. 그리고, 제1 전극(461)을 덮도록 화소정의막(435)이 형성된다. 이 화소정의막(435)에 소정의 개구(464)를 형성한 후, 이 개구(464)로 한정된 영역 내에 유기 발광층을 구비하는 중간층(463)을 형성한다. 중간층(463)상에 제2 전극(462)을 형성한다.
제2 전극(462)상에 봉지층(470)을 형성한다. 봉지층(470)은 유기물 또는 무기물을 함유할 수 있고, 유기물과 무기물을 교대로 적층한 구조일 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판(430) 상에 형성된 유기발광 디스플레이부는 복수의 박막들을 포함하며, 이 중 버퍼층(431), 게이트 절연막(432), 층간 절연막(433), 봉지층(470) 등은 무기막으로 형성되거나 무기막을 포함하는 층일 수 있으며, 복수개의 디스플레이영역(도 1의 DA)들 사이에도 형성될 수 있다. 따라서, 이들 층들은 기판 절단 장치(10, 20 또는 30)에 의해 절단될 수 있다.
무기막은 외부 충격에 취약한 특성을 가지므로, 무기막을 수직한 단면을 가지도록 수직하게 절단하면 무기막에 손상이 발생할 수 있다. 그러나, 본 발명에 의한 기판 절단 장치(10, 20 또는 30)는 절단부(190)가 수직한 방향으로 기판(430)을 절단하지만, 기판(430)은 비스듬한 경사면을 가지도록 절단된다. 또한, 기판(430)의 절단각도를 용이하게 조절할 수 있다. 따라서, 기판(430)을 비스듬하게 절단하기 위해 기판이 놓여지는 스테이지를 기울이거나 커팅부의 커팅 각도를 조절할 필요가 없으므로 디스플레이 장치의 제조 공정이 단순해질 수 있고, 기판(430)상에 형성된 무기막들에 손상이 일어나는 것을 방지할 수 있다.
이상에서는 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10, 20, 30: 기판 절단 장치
100, 200, 300: 스테이지
110, 210, 310: 곡면부
120, 220, 320: 평탄부
190: 절단부
S: 기판

Claims (20)

  1. 기판이 배치되는 스테이지; 및
    상기 스테이지 상에 위치하고, 상기 기판을 절단하는 절단부;를 포함하고,
    상기 스테이지는, 제1 방향을 따라 연장된 적어도 하나의 곡면부, 및 상기 곡면부의 양측에 각각 배치되고, 상기 곡면부와 연속적으로 이루어진 평탄부들을 포함하며,
    상기 절단부는, 상기 곡면부의 중앙선으로부터 수평방향으로 이격된 위치에서 상기 제1 방향을 따라 상기 평탄부에 의해 형성되는 평면에 대해 수직 방향으로 상기 기판을 절단하며,
    상기 절단부에 의해 절단되는 상기 기판의 절단면이 위치하는 평면은 상기 곡면부의 중앙선으로부터 이격되는 기판 절단장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 절단부는, 상기 곡면부와 중첩된 위치에서 상기 기판을 절단하는 기판 절단장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 곡면부는, 상기 평탄부들보다 외부로 돌출된 볼록한 형상을 가지는 기판 절단 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 곡면부는, 상기 평탄부들보다 상기 스테이지의 내측으로 인입된 오목한 형상을 가지는 기판 절단 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 곡면부는, 상기 중앙선을 중심으로 좌우 대칭인 기판 절단 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 방향과 수직한 상기 곡면부의 단면은 곡선을 포함하고, 상기 곡선은 상기 중앙선을 기준으로 양측에 각각 하나씩 형성된 두 개의 변곡점들을 포함하는 기판 절단 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 두 개의 변곡점들 사이에서, 상기 곡선은 일정한 곡률을 가지는 기판 절단 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 절단부는, 상기 두 개의 변곡점들 사이에서 상기 기판을 절단하는 기판 절단장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지는, 복수의 진공홀들을 포함하는 기판 절단 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 플렉서블 기판이며, 상기 절단부에 의해 절단된 상기 기판의 절단면은 경사면을 이루는 기판 절단 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 절단부는, 상기 중앙선의 양측에서 상기 기판을 절단하는 기판 절단장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 곡면부는, 서로 이격된 위치에 복수 개 형성된 기판 절단장치.
  13. 플렉서블 기판 상에 디스플레이 소자를 형성하는 단계;
    스테이지 상에 상기 플렉서블 기판을 배치하는 단계; 및
    절단부에 의해 상기 플렉서블 기판을 절단하는 단계;를 포함하고,
    상기 스테이지는 제1 방향을 따라 연장된 적어도 하나의 곡면부, 및 상기 곡면부의 양측에 각각 배치되고, 상기 곡면부와 연속적으로 이루어진 평탄부들을 포함하며,
    상기 절단부는, 상기 곡면부와 중첩된 위치에서 상기 평탄부에 의해 형성되는 평면에 대해 수직 방향으로 상기 플렉서블 기판을 절단하고, 상기 절단부에 의해 절단되는 상기 플렉서블 기판의 절단면이 위치하는 평면은 상기 곡면부의 중앙선으로부터 이격되는 디스플레이 장치의 제조방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 스테이지는 복수의 진공홀들을 포함하고,
    상기 플렉서블 기판은 상기 진공홀들에 의해 상기 곡면부 및 상기 평탄부들에 밀착되는 디스플레이 장치의 제조방법.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 절단부는, 상기 곡면부의 중앙선으로부터 수평방향으로 이격된 위치에서 상기 제1 방향을 따라 상기 플렉서블 기판을 절단하는 디스플레이 장치의 제조방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 절단부는, 상기 중앙선의 양측에서 상기 기판을 동시에 또는 순차적으로 절단하는 디스플레이 장치의 제조방법.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 곡면부는, 상기 평탄부들보다 외부로 돌출된 볼록한 형상을 가지는 디스플레이 장치의 제조방법.
  18. 제13항에 있어서,
    상기 곡면부는, 상기 평탄부들보다 상기 스테이지의 내측으로 인입된 오목한 형상을 가지는 디스플레이 장치의 제조방법.
  19. 제13항에 있어서,
    상기 절단부에 의해 절단된 상기 플렉서블 기판의 절단면은 경사면을 이루는 디스플레이 장치의 제조방법.
  20. 제13항에 있어서,
    상기 디스플레이소자를 형성하는 단계는, 상기 플렉서블 기판 상의 복수개의 디스플레이영역들에 디스플레이소자들을 형성하는 단계이고,
    상기 플렉서블 기판을 절단하는 단계는, 상기 복수개의 디스플레이영역들 사이를 절단하는 단계인 디스플레이 장치의 제조방법.
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