TWI236859B - Organic-electroluminescence display apparatus and manufacture method thereof - Google Patents

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1236859 A7 _B7 五、發明説明（1 ) 技術領域 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關有機電激發光顯示裝置（以下有單單稱 作有機E L顯示裝置之情形及其製造方法。 背景技術 向來，於組合有機E L元件或各該有機E L元件及螢 光媒體之有機E L顯示裝置，排除大氣中之由水分引起的 影響，爲抑制存在於發光領域中的無發光領域或無發光位 置（有稱作暗點之情形）之發生，乃有各種封裝手段或防 濕手段經予檢討著。 例如，於日本特開平9 一 1 4 8 0 6 6號公報，係揭 示著採用封裝手段，各自封入有機E L元件及乾燥劑之有 機E L顯示裝置，於日本特開平7 — 1 4 6 7 5號公報內 ，則揭示著供防濕用，於上部電極上，設有由氧化鍺（ G e〇）等的無機化合物而成的保護膜之有機E L元件。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然而’此等有機E L顯示裝置或有機E L元件，隨著 較予高精細化，如第1 5圖所示般，於像元之周圍上會發 生寬度或直徑數十//m程度之無發光領域或無發光位置， 因此發光領域會縮小，被發現有發光亮度降低的問題。 又，於日本特開平1 1 一 4 0 3 5 8號公報及特開平 1 1 一 5 4 2 7 0號公報所揭示的噴墨法經予成膜的有機 發光媒體，或日本特開平1 1 一 8 7 0 5 4號公報所揭示 的微胞電解方式經予成膜的有機發光媒體，與以真空蒸鍍 法經予成膜的有機發光媒體比較，無發光領域或無發光位 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4- 1236859 A7 B7 五、發明説明（2 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 置之發生頻度顯著提高，即使採用習用的封裝手段或防濕 手段，亦發現有欲有效的抑制無發光領域或無發光位置之 發生一事係有困難的問題。 因此，本發明之發明人等，經檢討向來的問題，結果 發現如第1 6圖及第1 7圖槪念的表示般，有機E L顯示 裝置所設置的平坦化層或層間絕緣膜所含的水分亦較由外 部滲入的水分會移動至有機發光媒體或上部電極，影響至 此等的氧化劣化引起之惡劣影響，改良該問題並提出耐久 性優越的有機E L顯示裝置。 例如於日本特開平1 1 一 2 6 1 5 6號公報，提出於 螢光媒體及下部電極之間設置的平坦化層之含水率設爲 1 . 0重量％以下的有機E L顯示裝置，又於日本特開平 1 1 一 5 4 2 8 5號公報，提出使於層間絕緣膜之一部分 含有吸水劑，以含水率爲0 · 1重量％以下的有機E L顯 示裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然而若依曰本特開平1 1 一 2 6 1 5 6號公報或特開 平1 1 一 54285號公報所揭示的有機EL顯示裝置時 ，於以室溫狀態保管的情形，即使可某種程度的抑制無發 光領域或無發光位置之發生，例如以8 0 °C之高溫環境下 保管的情形，可充分抑制無發光領域或無發光位置之發生 或發光面之劣化，經長期間欲得較高的發光亮度係有困難 的。 因此，本發明之發明人等再精心檢討相關的問題時， 發現有機E L顯示裝置經組合後的有機發光媒體等之含水 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5 - 1236859 A7 ______B7 五、發明説明（3 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 率’與無發光領域或無發光位置之發生或發光面之劣化之 間有一定的臨界關係，藉由將各該含水率設成一定範圍以 下的値’可飛躍的抑制於像元周圍的無發光領域或無發光 位置之發生。 v 亦即’本發明係提供即使將像先予以較高精細化（例 如像元尺度1 0 0 // m X 3 0 0 // m方形以下），即使將/ /1 有機發光媒體予以濕式成膜（例如塗布方式），或即使在 咼溫環境下長期間保管（例如8 0 °C，2週以上），亦可 •防止無發光領域或無發光位置之發生引起的發光面積之縮 小’結果可製得耐熱性優越，經長期間可得較高的發光亮 度之有機E L顯示裝置及可有效率的製得此種有機e L顯 不裝置之製造方法爲目的。 發明之揭示 〔1〕若依本發明時，則提供於支持基板上含有下部 電極，有機發光媒體及對向電極之有機E L顯示裝置，將 有機發光媒體之含水率設成0 · 0 5重量％以下的値之有 機E L顯示裝置，可解決上述的問題。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 亦即，如此藉由構成有機E L顯示裝置，可防止歸因 於有機發光媒體中之水分的對向電極之氧化劣化，在室溫 ，當然即使在高溫環境下經過長期間亦可抑制無發光領域 或無發光位置之發生引起的發光面積之縮小。 〔2〕又依本發明之另外態樣時，提供於支持基板上 含有下部電極，層間絕緣膜（有稱作電氣絕緣層之情形） -6- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（4 ) ’有機發光媒體’及對向電極之有機E L顯示裝置，將層 間絕緣膜及有機發光媒體之含水率設成〇 · 〇 5重量％以 下的値之有機E L顯示裝置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 藉由如此構成，在上下電極間可得優越的電氣絕緣性 ，高精細的矩陣顯示構成爲可能，或即使在8 〇 t等的高 溫境下經長期間亦可抑制由無發光領域或無發光位置之 發生引起的發光面積之縮小。 且’至於各該有機E L顯不裝置之修飾例，於與對向 電極之有機發光媒體呈相對面上，設置濾色器及螢光媒體 或任一種的構件，或平坦化膜，再者封裝用構件等亦可。 〔3〕又依本發明之再另一態樣’係提供於支持基板 上，含有濾色器及螢光媒體，或任一種構件，下部電極， 層間絕緣膜，有機發光媒體，及對向電極之有機E L顯示 裝置濾色器及螢光媒體，或任一種構件，再者將層間絕緣 月旲及有機發光媒體之含水率設成〇 · 〇 5重量％以下的値 之有機E L顯示裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 藉由如此構成，彩色顯示僅係成爲容易或即使在8 〇 °C等的高溫環境下經長期間亦可抑制由無發光領域或無發 光位置之發生引起的發光面積之縮小。 〔4〕又依本發明之再另一態樣，係提供於支持基板 上，含有濾色器及螢光媒體，或任一種構件，平坦化層， 下部電極層間絕緣膜，有機發光媒體及對向電極之有機 E L顯示裝置，將濾色器及螢..光媒體或任一種構件、平坦 化層、層間絕緣膜及有機發光媒體之含水率設成0 . 〇 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 經濟部智慧財4局員工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 重量％以下的値之有機E L顯示裝置。 藉由如此構成，彩色顯示僅係成爲容易，或可有效的 防止歸因於螢光媒體等的表面凹凸之短路發生，再者即使 在8 0 °C等的高溫環境下經長期間亦可抑制由無發光領域 或無發光位置之發生引起的發光面積之縮小。 〔5〕又本發明之另外態樣係有機E L顯示裝置之製 造方法，其特徵在於支持基板上設置下部電極。有機發光 媒體及對向電極，同時有機發光媒體之形成前及形成後， 或任一者之時設置脫水步驟進行脫水處理，將有機E L顯 示裝置組合後的有機發光媒體之含水率設爲〇 . 〇 5重量 %以下的値。 藉由如此實施，即使在8 0 °C等的高溫環境下經長期 間亦可有效率的提供可抑制由無發光領域或無發光位置之 發生的有機E L裝置。 〔6〕又於實施本發明之有機E L顯示裝置之製造方 法，以將脫水步驟之露點設成一 1 0 t以下的値爲宜。 藉由如此實施，採用簡易的設備，以較短時間進行脫 水處理係成爲可能的。 〔7〕又於實施本發明之有機E L顯示裝置之製造方 法，以將脫水步驟之真空度設成1 3 · 3 P a ( 〇 · 1 T ◦ r r )以下的値爲宜。 藉由如此實施，採用簡易的設備，以較短時間進行脫 水處理係成爲可能的。 〔8〕又於實施本發明之有機E L顯示裝置之製造方 本银「張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1厂'

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁J 一裝 .、ι^τ 1236859 A7 _B7 五、發明説明（6 ) ，將脫水步驟之加熱溫度設成6 0 - 3 0 〇 t之範圍內的 値爲宜。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 藉由如此實施，採用簡易的設備，以較短時間進行脫 水處理係成爲可能的。 〔9〕又於貫施本發明之有機E L顯示裝置之製造方 法，以在脫水步驟導入惰性氣體爲宜。 藉由如此實施不使有機發光媒體或電極氧化下，欲以 較短時間進行脫水處理係成爲可能的。 〔1 0〕又於實施本發明之有機E L顯示裝置之製造 方法，採用含有脫水單位、成膜單位、連接此等的單位之 運送單位的製造裝置，同時含有 於用脫水單位，有機發光媒體形成前及形成後，或任 一者之時進行支持基板之脫水處理的步驟， 採用運送單位所含的運送裝置並將各該支持基板運送 至前述成膜單位之步驟， 利用各該成膜單位形成有機發光媒體之步驟爲宜。 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製 藉由如此實施，可使有機E L顯示裝置在組合後之有 機發光媒體的含水率有效的降低。 〔1 1〕又於本發明之另外有機E L顯示裝置之製造 方法之態樣，於支持基板上，由層合下部電極，有機發光 媒體及設有對向電極之有機E L元件層，及於封裝用基板 上設有濾色器及螢光媒體，或設有一側的構件之封裝構件 而成的有機E L顯示裝置之製造方法。 對至少前述有機發光媒體及封裝構件，藉由設置脫水 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -9- 1236859 A7 _ B7 五、發明説明（7 ) 步驟進行脫水處理，以將有機E L顯示裝置在組合後的有 機發光媒體之含水率設爲0 . 0 5含水率以下的値爲特徵 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁j 藉由如此實施，彩色化係容易的，而且即使於封裝用 基板側設置螢光媒體等的情形，經長期間亦可有效的提供 可抑制無發光領域或無發光位置之發生的有機E L顯示裝 置。 〔1 2〕又於本發明之再一另外的有機E L顯示裝置 之製造方法之態樣，係於支持基板上設有下部電極及有機 發光媒體與對向電極之有機E L顯示裝置之製造方法，藉 由在將有機發光媒體濕式成膜後，設置脫水步驟並進行脫 水處理，以將有機E L顯示裝置在組合後的有機發光媒體 之含水率設成〇·05重量％以下的値爲特徵。 藉由如此實施，即使將有機發光媒體予以濕式成膜後 ，在不使發光媒體或對向電極氧化劣化下，經長期間亦可 有效的提供可抑制無發光領域或無發光位置之發生的有機 E L顯示裝置。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 〔1 3〕又於實施本發明之有機E L顯示裝置之製造 方法，採用含有脫水單位、成膜單位、連接此等單位之運 送單位的製造裝置，同時以含有 將有機發光媒體予以濕式成膜之步驟 採用脫水單位，形成有機發光媒體後進行支持基板之 脫水處理的步驟， 採用運送單位所含的運送裝置並移送各該支持基板至 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -10- 1236859 A7 B7 五、發明説明（8 ) 前述成膜單位之步驟，與 由各該成膜單位形成對向電極之步驟爲宜。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 藉由如此貫施’可使有機E L顯不裝置在組合後之有 機發光媒體的含水率有效的降低。 圖式之簡單說明 第1圖係表示有機發光媒體之含水率及發光面積間之 關係圖。 第2圖係有機EL顯示裝置之截面圖（其一）。 第3圖係有機EL顯示裝置之截面圖（其二）。 第4圖係有機EL顯示裝置之截面圖（其三）。 第5圖係表示於有機E L顯示裝置之電極的矩陣之平 面圖。 第6圖係第5圖所示的有機E L顯示裝置之X — X 一 截面圖。 第7圖係有機E L顯示裝置所設係T F T元件之截面 圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第8圖係有機EL顯示裝置之截面圖（其四）。 第9圖係有機EL顯示裝置之截面圖（其五）。 第10圖係有機EL顯示裝置之截面圖（其六）。 第11圖係有機EL顯示裝置之槪略圖（其一）。 第12圖係有機EL顯示裝置之槪略圖（其二）。 第1 3圖係於有機E L顯示裝置之製造裝置的脫水單 位之槪略圖（其一）。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -1 1 - 1236859 A7 B7 五、發明説明（9 ) 第1 4圖係於有機E L顯示裝置之製造裝置的脫水單 位之槪略圖（其二）。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1 5圖係供說明習用的有機E L顯示裝置之無發光 領域或無發光位置發生之圖（其一）。 第1 6圖係供說明習用的有機E L顯示裝置之無發光 領域或無發光位置發生之圖（其二）。 第1 7圖係供說明習用的有機E L顯示裝置之無發光 領域或無發光位置發生之圖（其三）。 第1 8圖係供說明全自動水分吸脫附測定裝置之圖。 第1 9圖係利用第1 8圖所示的全自動水分吸脫附測 定裝置測定的水分測定圖。 實施發明而採的最佳形態 以下參閱圖面具體的說明本發明之實施形態。且，參 閱的圖面，係僅槪略的表示各構成成分之大小，形狀及配 置關係至本發明可理解的程度。因此，本發明並非僅受圖 示例所限定者。又在圖面，有省略表示截面之影像的情形 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (第一實施形態） 第一實施形態之有機E L顯示裝置1 8，係如第3圖 表示其截面般由支持基板1 ，螢光媒體9 (或濾色器1 1 )、平坦化層1 0、層間絕緣膜/3、下部電極I、有機發 光媒體4、對向電極（上部電極）與封裝用玻璃基t反8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 7]0 - ~ " 1236859 A7 ___ B7 五、發明説明◦〇） 實質上的構成著。 且’螢光媒體或濾色器1 1 ，以各自單獨設置亦可， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 或於兩側均予設置爲宜。 因此’在第一實施形態，因將第3圖所示的有機發光 媒體4 (或濾色器1 1 )，平坦化層1 〇、及層間絕緣膜 3之混合物）之含水率設爲〇 · 〇 5重量％以下的値，故 即使將像元予以高精細化，或即使在高溫條件使其驅動， 亦抑制無發光領域或無發光位置之發生，可有效的防止發 光領域之減少。 以下於第一實施形態，適當參閱第3圖並說明有機E L顯示裝置之構成要件，或其含水率等。 (1 )有機發光媒體 (1 ) 一 1構成 有機發光媒體係電子與正孔再鍵結，可予定義作將含 有能E L發光的有機發光層之媒體。相關的有機發光媒體 ，例如於陽極上層合以下的各層可予構成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ① 有機發光層 ② 正孔注入層/有機發光層 ③ 有機發光層/電子注入層 ④ 正孔注入層/有機發光層/電子注入層 ⑤ 有機半導體層/有機發光層 ⑥ 有機半導體層/電子阻絕層/有機發光層 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13 - 1236859 A7 _B7_______ 五、發明説明（11 ) ⑦正孔注入層/有機發光層/附著改善層 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 此等之中，④之構成係可得較高的發光亮度’耐久性 方面亦係優越的，故通常較宜使用。 (1 ) 一 2功能及種類 至於有機發光媒體所使用的有機發光材料之種類’並 未予特別限制者，惟因可獲得較優越的發光特性或耐久性 ，以合倂具有以下的三種功能爲宜。 (a )電荷之注入功能：施加電壓時可由陽極或正孔 注入層注入正孔，另一方面由陰極層或電子注入層可注入 層電子的功能。 (b )輸送功能：以電場之力量可使經予注入的正孔 及電子移動的功能。 (c )發光功能：提供電子及正孔之再鍵結的場所， 將此等連接至發光之功能。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 因此至於具有此種功能之有機發光材料，例如可舉出 :對聯四苯基衍生物、對聯五苯基衍生物、苯並噻唑系化 合物、苯並咪[I坐系化合物、苯並鳄哩系化合物、金屬螯合 鹽化ο X y η 〇 i d化合物，鸣二唑系化合物、苯乙烯基苯系化 合物、茈衍生物、醛連氮衍生物、pyraziline衍生物、環 戊二烯衍生物、吡咯並吡咯衍生物、苯乙烯基胺衍生物、 香豆素系化合物、芳香族二亞甲基系化合物、以8 -喹啉 醇衍生物爲配位基之金屬錯合物、聚苯基系化合物等的一 種單獨或二種以上的組合。 $纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -14- '" 1236859 A7 ^_ B7 五、發明説明（12 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又此等有機發光材料之中，較宜爲芳香族二亞甲基系 化合物之4，4 / —雙（2 ，2 —二第三丁基苯基乙烯基 )聯苯基（簡稱作〇丁：6?381)或4，4/—雙（2，2 — 二苯基乙烯基）聯苯基（簡稱作DPVBi)及此等的衍生物。 又以具有苯乙烯基伸芳香基骨幹等的有機發光材料爲 主材料，於各該主材料內，合倂使用由用作摻雜劑之藍色 至紅色爲止較強的螢光色素，例如香豆素系材料，或已摻 雜與主材之相同的螢光色素之材料亦較合適。較具體而言 ’採用上述的DPVBi等作爲主材料，採用n，N -二苯基 胺基苯（簡稱作DPAVB )等作爲摻雜劑。 又因應所期待的E L發光色，欲選擇上述的有機發光 材料亦係較宜的。例如由紫外線區域欲得紫色的E L發光 的情形，以使用p -聯四苯基衍生物爲宜，由藍色欲得綠 色之E L發光時，以使用苯乙烯基苯系化合物爲宜。又欲 得白色之E L發光的情形，選擇有機發光材料，事先層合 藍色發光體及綠色發光體著，再者構成含有紅色螢光體爲 宜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 且’至於上述的有機發光材料，如真空蒸鍍或濺鑛等 爲可能般’例如採用凝膠滲透色譜（G p C )予以測定的 數目平均分子量以使用未滿1 0 〇 〇之低分子材料爲宜， 惟採用旋塗器或噴墨等可均勻的濕式成膜’故反之亦使用 數目平均分子量10， 000以上的高分子材料爲宜。 至於此種高分子材料’例如可舉出聚伸芳香基伸乙烯 基及其衍生物（例如P P V )，聚莽及其衍生物，含有苐 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2l〇X297公餐） 1236859 A7 ---- B7 五、發明説明（13 ) 共聚物及其衍生物等。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 另一方面’於有機發光媒體之正孔注入層內，對已施 加1 X 1 0 4〜1 X 1 〇 6 v / c m之範圍的電壓時經予測 定的正孔移動變爲1 X 1 〇 - 6 c m 2 / V秒以上，以使用 離子化能量5 . 5 e V以下的化合物爲宜。藉由設置此種 正孔植入層’以對有機發光層之正孔植入係成爲良好的， 可得較高的發光亮度’或低電壓驅動係成爲可能的。 至於此種正孔植入層之構成材料，具體而言可舉出卟 啉化合物、芳香族第三級胺化合物、苯乙烯基胺化合物、 芳香族二亞甲基系化合物、縮合芳香族環北合物、例如4 ’ 4 / 一雙1 〔N -（1—萘基）—N -苯基胺基〕聯苯 基（簡稱作NPD)或4，，4〃 一參〔（3 —甲基 苯基）一 N -苯基胺基〕〕三苯基胺（簡稱作“了1^丁八） 等的有機化合物。 又至於正孔植入層之構成材料，亦使用P型- s 1型或 P型—S i C等的無機化合物較宜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 且於上述的正孔植入層及陽極層之間，或於上述的正 孔植入層及有機發光層之間，亦設置導電係數爲1 X 1 0 1C)S/Cm以上的有機半導體層爲宜。藉由設置此 種有機半導體層，再者對有機發光層之正孔植入亦變成較 良好的。 又，於有機發光媒體之電子植入層，於已施加1 X 1 04〜1 X 1 06V/cm之範圍之電壓時所測定的電子 移動度，係1 X 1 0 — 6 c m 2 / V秒以上，使用離子化能 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 1236859 A7 ____B7 五、發明説明（14 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 量超過5 · 5 e V之化合物爲宜。藉由設置此種電子注入 層’對有機發光層之電子注入即成爲良好的，可得較高的 發光亮度，或低電壓驅動係成爲可能的。 至於此種電子植入層之構成材料，具體而言可舉出8 一羥基喹啉之金屬錯合物（A1螯合鹽：A/g)，或其 衍生物，或nf二唑衍生物等。 又於有機發光媒體之附著改善層，可視作相關的電子 植入層之一形態，亦即電子植入層之中，尤其由與陰極間 之接著性良好的材料而成的層，由8 -羥基喹啉之金屬錯 合物或其衍生物等所構成的爲宜。 且與上述的電子植入層接近，亦設有導電係數爲1 X 1 0 1()S/Cm以上的有機半導體層爲宜。藉由設置此 種有機半導體層’再者對有機發光層之電子植入係成爲良 好。 (1 ) 一 3膜厚 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又對有機發光媒體之膜厚並未予特別限定，因應狀況 可適宜選擇，惟以將各該膜厚設成5 n m〜5 # m之範圍 內的値爲宜。 此理由係有機發光媒體之膜厚若未滿5 n m時，則有 發光亮度或耐久性降低的情形，另一方面，有機發光媒體 之膜厚若超過5 // m時，則施加電壓之値有變高的情形所 致。 因此’以將有機發光媒體之膜厚設成1 0 n m〜3 I紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -17 - 1236859 A7 B7 五、發明説明（15 ) // m之範圍內的値爲較宜，以設成2 0 n m〜1 // m之範 圍內的値爲更宜。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (1 ) 一 4含水率 又於第一實施形態，爲抑制無發光領域或無發光位置 之發生，需將下式內定義的有機發光媒體之含水率（W) 設成0 · 0 5重量％以下的値。 又即使於高溫環境下，亦抑制無發光領域或無發光位 置之發生，同時即使於較高精細的像元，發光面積之縮小 亦設成不使成爲問題，故以將有機發光媒體之含水率設成 〇· 000 1〜0 · 04重量％之範圍內的値較宜，設成 〇· 0001〜0 · 03重量％之範圍內的値爲更宜，設 成0 · 0001〜0 · 01重量％之範圍內的値爲最宜。 w = {(重量A -重量B)/重量B} X100 (1) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 重量A :對由外部不混入水分之環境下（例如在乾燥箱內 或乾燥氣體氣圍氣中）由有機E L顯示裝置採取 的有機發光媒體，和用全自動水分吸附測定裝置 (附有精密天秤）所測定重量（m g )。 重量B :對有機發光媒體在乾燥箱內或乾燥氣體氣圍氣中 ’例如以8 0 °C，3 0分鐘之條件加熱脫水處理 後的有機發光媒體，利用全自動水分吸附劑定裝 置所測定的重量（m g )。亦即由於水分之脫附 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18 - 1236859 A7 B7 五、發明説明（16 ) 使重量減少’惟重量B係意指其減少而得的値。 在此，對全自動水分吸脫附測定裝置之槪要，參閱第 18圖及第19圖並予說明。 第1 8圖所示的全自動水分吸脫附測定裝置5 1 ，係 裝置之一例。惟由循環部A及水分測定部B所構成，在圖 面上係以虛線各自區分著。因此循環部A係由氣體貯藏部 6 8，由此氣體貯藏部6 8分成二般而設的乾燥氣體循環 裝置6 7及濕潤氣體循環裝置6 6 ，此等的循環裝置6 6 、6 7，與連接水分測定部B之循環路6 1所構成的。且 的循環裝置6 6、6 7係由水分測定部B所含的控制室 65，可由遙控方式控制。 另一方面，水分測定部B係由控制室6 5、天秤室 6 2、比較試料室（含有比較試料皿）6 4、乾燥箱5 6 及油浴5 2等所構成。又於乾燥箱5 6內，於供載置測定 試樣而用的天秤5 3之附近，各自設置者爲監測乾燥箱 5 6內之溫度而用的溫度偵檢器5 4，爲監測濕度而用的 濕度偵檢器5 5。 若依如此構成的全自動水分吸脫附測定裝置5 1時， 則將由循環部A所供給的乾燥氣體，藉由使通過油浴5 2 令溫度或濕度成固定後，介由植入口 5 8使此乾燥氣體導 入乾燥箱5 6內，同時藉由加熱裝置5 7，可使乾燥箱 5 6內之濕度及溫度保持固定。因此在此種狀態，採用精 密天秤6 3 ，與比較試料室6 4內之比較試料（參考値） 對此，同時將使載置於天秤5 3的測定試料之重量可在控 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ;裝· 訂 經濟部智丛財產局8工消费合作杜印製 1236859 A7 B7 五、發明説明（17 ) 制室6 5予以測定。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又第1 9圖雖係表示測定重量而得的測定圖，惟橫軸 係採用經過時間（分）表不的’縱軸則係採取旨式彳素之 (g )表示的。在此試料之測定例，重量A係 554 · 44〇mg ，重量 B 成爲 554 · 3〇〇mg 。 惟在此例係將乾燥箱5 6內之濕度控制成〇 %。 且，重量A及重量B係如此採用設於全自動水吸脫附 測定裝置之精密天秤予以測定爲宜，惟其他利用ASTM D 570-63規定的方法，或熱分析（示差熱分析D TA，示差掃 瞄熱量測定D S C )或卡費雪法亦可測定含水率。 又於有機發光媒體之周圍，存在有層間絕緣膜、平坦 化層、螢光媒體、濾色器等有機膜，欲區別有機發光媒體 及除此以外的有機膜一事係有困難的情形。於該情形，至 於部分含有有機發光媒體以外的有機膜之混合物，係測定 重量A及重量B，以由此而得的値作爲有機發光媒體之含 水率亦可。何以如此，藉由以此種混合物之含水率設成 〇· 0 5重量％以下的値，亦可有效的謀求發光面積比之 降低一事係另外可得知所致。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 亦即至於如此測定的含水率之水分，例如並不偏於層 間絕緣膜等之有機發光媒體以外的有機膜下予以擴散，滲 入有機發光媒體，達成平衡狀態的同時，可被視作會使有 機發光媒體或對向電極氧化劣化。 因此，例如即使採取有機發光媒體及層間絕緣膜等的 混合物時，亦可被視作各該有機發光媒體之含水率在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20- 1236859 A7 B7 五、發明説明（18 ) 0 · 05重量％以下。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 由而，於有機發光媒體之周圍例如設有層間絕緣膜之 情形，任意的採取有機發光媒體及層間絕緣膜作爲混合物 ，測定有關該等的重量A及重量B，若將由而算出的含水 率設成0 · 0 5重量％以下的値時即可。 在此參閱第1圖並詳細說明將有機發光媒體之含水率 限制或0 · 0 5重量％以下的値之理由。 第1圖係表示有機發光媒體（一部分，有台含其他的 有機膜之情形）之含水率及由無發光領域或無發光位置之 發生引起的發光領域之變化率間的關係，於橫軸係採用有 機發光媒體之含水率（重量％ )予以表示，又於縱軸上係 以發光領域之變化率（無發光領域或無發光位置發生後的 發光領域之面積/無發光領域或無發光位置發生前的發光 領域之面積（於製作有機E L顯示裝置後立刻的發光領域 之面積）表示作發光面積比。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 又於第1圖中，鲁記號係表示8 0 °C之恒溫槽內，以 二週的條件靜置有機E L顯示裝置之情形的發光面積比， a記號係表示在大氣中，室溫（2 5 t )，二週的條件靜 置有機E L顯示裝置之情形的發光面積比。 因此，由第1圖可容易理解，可發現有機發光媒體之 含水率愈小，發光面積比之値愈變大，反之有機發光媒體 之含水率愈多，則發光面積比之値有愈變小的傾向。惟， 發光面積比對有機發光媒體之含水率並非呈直線的變化者 ，含水率超過0 · 0 5重量％時，則被發現發光面積比呈 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 1236859 A7 B7 五、發明説明（19 ) 顯著的降低現象。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 因此藉由將有機發光媒體之含水率限制成具有此種臨 界意義之0 · 0 5重量％以下的値，可有效的謀求防止發 光面積比之降低，亦即抑制無發光領域或無發光位置之發 生，經長期間可得較高的發光亮度。 且，若爲相同含水率時，係被發現以在8 0 °C之恒溫 槽，二週的靜置條件，係較大氣中室溫（2 5°C)二週之 靜置條件亦有發光面積比變小的傾向，惟含水率若超過 〇· 0 5重量％時，則發光面積比有顯著降低的現象，即 使在任一種靜置條件亦預觀察著。 若將此換句話說時，則意指藉由將有機發光媒體之含 水率限制或〇 . 〇 5重量％以下，不僅在大氣中，室溫（ 2 5 t )，二週之靜置條件，即使在8 0 °C之恒溫槽，二 週的靜置條件亦可顯著的抑制無發光領域或無發光位置之 發生。因此在高溫條件使用有機E L顯示裝置時，將含水 率設成0 · 0 5重量％以下的値，即成爲更有用的。 (1 ) 一 5形成方法 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 至於有機發光媒體之形成方法，並未予特別限制者， 惟例如可採用真空蒸鍍法、旋塗法、蘭米爾布魯捷法（ L B法：L a n g u m u i r - B1 〇 d g e 11法）、噴墨法、微胞電解法等 公知的方法。 (2 )電極 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22 · 1236859 A7 B7 五、發明説明（20 ) (2) — 1陽極層 陽極層係因應有機E L顯示裝置之構成而符合下部電 極或對向電極，惟各該陽極層係以使用工作函數較大的（ 例如4 · 0 e V以上）金屬、合金、電氣導電性化合物或 此等的混合物爲宜。具體而言，可單獨使用銦錫氧化物（ I T〇）、銦鋅氧化物（I Z〇）、緦銅氧化物（ SrCu2〇2)、氧化錫（Sn〇2)、氧化鋅、金、鉑 、祀等電極材料，或組合此等電極材料二種以上予以使用 爲宜。 藉由使用此等的電極材料，採用在真空蒸鍍法，濺鍍 法，離子植入法，電子射束蒸鍍法，化學蒸鍍法（c V D 法，Chemical Vapor Deposition )，有機金屬氣相成長法（ M0CVD 法，Metal Organic Chemical Vapor Deposition )， 電漿C V D法等的乾燥狀態下可能成膜的方法，可形成具 有均勻的厚度之陽極層。 且於由陽極層取出E L發光的情形，則有將各該陽極 層作成透明電極之必要。該情形，以使用I T〇、I Z 〇 、S r C u 2〇2、 S η〇2、 Ζ η〇等的導電性透明材料 ，將E L發光之透過率設成1 〇%以上的値爲宜。 又陽極層之膜厚亦未予特別限制，惟以設成1 0〜 1 OOOnm之範圍內的値爲宜，以設成1 0〜2 0 0 n m之範圍內的値爲較宜。 此理由係藉由將陽極層之膜厚設成此範圍內的値，q 得均勻的膜厚分布或1 0%以上的E L發光之透過率，$ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） · 23 _ f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ··裝· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1236859 A7 B7 五、發明説明（21 ) 一方面陽極層之板片電阻可設爲1 〇 〇 〇 Ω/ □以下的値 ’較宜爲1 Ο Ο Ω / □以下的値所致。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 且如第5圖及第6圖所示般，藉由設置陽極層（下部 電極），及有機發光媒體與陰極層（對向電極），將各該 下部電極及對向電極構成XY矩陣狀，亦使發光面之任意 像元發光爲宜。亦即，藉由如此構成陽極層等，於有機 E L顯示裝置，可容易的裝置各種資訊。 又，將陽極層（下部電極）或陰極層（對向電極）形 成點狀，如第7圖所示般，使對應於各點配置T F T (薄 膜電晶體，Thin Film Transistor )等的開關元件，藉由使 各點選擇性發光，亦裝置出各種資訊爲宜。 (2 ) — 2陰極層 另一方面，對有機E L顯示裝置之陰極層，因應有機 E L顯示裝置之構成，符合下部電極或對向電極，惟工作 函數較小的（例如未滿4 · 0 e V )金屬、合金、電氣導 電性化合物或此等混合物或含有物爲宜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 具體而s可單獨使用鈉、鈉-鉀合金、鈽、鎂、鋰、 鎂-銀合金、鋁、氧化鋁、鋁-鋰合金、銦、稀土類金屬 ’此等的金屬及有機發光媒體材料之混合物，及此等的金 屬及電子注入層材料之混合物等而成的電極材料，或組合 使用此等電極材料二種以上爲宜。 又對於陰極層之膜厚亦與陽極層同樣的，並未予特別 的限制者’惟具體而言以設成1 〇〜1 〇 〇 〇 n m之範圍 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：297公釐） -24- 1236859 A7 B7 五、發明説明（22 ) 內的値爲宜，以設成1 0〜2 0 0 n m之範圍內的値爲較 宜。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 再者，於由陰極層取出E L發光的情形，有將各該陰 極層設成透明電極之必要，該情形以將E L發光之透光率 設成1 0 %以上的値爲宜。 且對陰極層亦與陽極層同樣的使用在真空蒸鍍法，或 濺鍍法等的乾燥狀態下可成膜的方法予以形成爲宜。 (3 )支持基板 於有機E L顯示裝置之支持基板，係機械強度優越水 分或氧之透過性較少者爲宜，具體而言可舉出有：玻璃板 、金屬板、陶瓷板、或塑膠板（聚碳酸酯樹脂、丙烯酸酯 樹脂、聚氯乙烯樹脂、聚對苯二甲酸乙二酯樹脂、聚醯亞 胺樹脂、聚酯樹脂、環氧樹脂、酚醛樹脂、矽氧樹脂、氟 碳樹脂等）等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又’由此等材料而成的支持基板，係爲避免止水分之 滲入有機E L顯示裝置內，再形成無機膜，又塗布氟碳樹 脂，施予防濕處理或疏水性處理爲宜。 又尤其爲避免水分之滲入有機E L顯示裝置內，以使 支持基板之含水率及氣體透過係數變小爲宜。具體而言， 以各自設成支持基板之含水率爲〇 · 〇 〇 〇 1重量％以下 的値及氣體透過係數爲1 X 1 〇_13c c · cm/cm2 · s e c · cmHg以下的値爲宜。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25- 1236859 A7 B7 五、發明説明（23 ) (4 )層間絕緣膜 (4 ) 一 1功能 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於本發明之有機E L顯示裝置之層間絕緣膜（電氣絕 緣膜）係存在於有機E L元件之周緣或周圍，於有機E L 顯示裝置之高精細化，有機E L元件之下部電極與上部電 極間之防止短路’或在T F T (薄膜電晶體）驅動有機E L顯示裝置時，保護TFT，又供將有機E L元件之下部 電極予以平坦化等而用。 因此，層間絕緣膜，視必要時，有稱作間隔壁、間隔 件、平坦化膜等的名稱之情形，在本發明係包含該等者。 (4)一2構成及材料 至於層間絕緣膜之構成，較具體而言，例如第5圖及 第6圖所示，由第一層間絕緣膜1 5及重疊於其上而設置 的第二層間絕緣膜（有稱作間隔壁之情形）丨6所構成爲 宜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 亦即由桌一層間絕緣膜1 5及第二層間絕緣膜1 6所 構成，將有機發光媒體4排列成矩陣狀，爲構成像元1 4 而予設置著。 又，至於層間絕緣膜所用的材料，通常可舉出：丙烯 酸酯系樹脂、聚碳酸醋樹脂、聚醯亞胺樹脂、氟化聚醯亞 胺樹脂、苯胍樹脂、三聚氰胺樹脂、環狀聚烯烴、酚醛淸 漆樹脂、聚桂皮酸乙烯酯、環化橡膠、聚氯乙烯樹脂、聚 苯乙烯、酚樹脂、酸醇樹脂、環氧樹脂、聚胺酯、聚酯樹 -26 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（24 ) 脂、順丁烯二酸樹脂、聚醯胺樹脂等。 尤其對被要求耐熱性之情形，以丙烯酸酯系樹脂、聚 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 醯亞胺樹脂、氟化聚醯亞胺、環狀聚烯烴、環氧樹脂爲宜 〇 此等的絕緣膜’係導入感光性基並以微影法使加工成 所期待的圖案，或用印刷技巧使加工成所期待的圖案。 以下，將構成層間絕緣膜之第一層間絕緣膜及第二層 間絕緣膜分開，並對各自的構成予以說明。 ①第一層間絕緣膜 第一層間絕緣膜，係於條帶狀圖案之下部電極上，例 如層合光硬化性樹脂後，利用微影法形成至成爲與下部電 極之圖案正交的條帶狀圖案爲宜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在此，第一層間絕緣膜之條帶寬度，及相鄰的條帶間 之間隙寬度及膜厚係各自依所期待的像元（發光領域）之 大小而定，惟例如以將線寬設成5〜2 0 0 # m，間隙寬 度設成5〜300#m，及膜厚設成0 . 01〜50/^m 之範圍內的値爲宜。 又以第一層間絕緣膜之電氣絕緣性爲體積電阻施加（ 電壓1ΜΩ，頻率100Hz測定），設成1X106 Ω · c m以上的値爲宜，以設成1 X 1 0 8〜1 X 1 0 1 2 Ω · c m之範圍內的値爲較宜。且關於此電氣絕緣性’對 後述的第二層間絕緣膜，亦以設成同樣的値爲宜。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） · 27 - 1236859 A7 B7 五、發明説明（25 ) ②第二層間絕緣膜 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 至於第二層間絕緣膜，亦由上述的第一層間絕緣膜之 上’例如層合光硬化性樹脂後，採用微影法，於第一層間 絕緣膜上可予形成至成間隔壁。 又第二層間絕緣膜係需決定條帶寬度及相鄰的條帶間 之間隙寬度及膜厚爲宜，惟例如以將線寬設成1〜1 5 0 ，間隙寬度設成1 〇〜500#m，膜厚設成0 . 5 〜5 0 //m之範圍內的値爲宜。 且，第二層間絕緣膜係控制曝光條件或蝕刻條件，如 第6圖所示般，以其截面形狀爲逆台形較宜。藉由如此構 成，可增大發光領域之面積，另一方面可較確實的保持隙 接的上部電極間之電氣絕緣性。 (4 ) 一 3含水率 又將層間絕緣膜之含水率與有機發光媒體同樣的設成 〇.05重量％以下的値爲宜，以設成0 . 03重量％以 下的値爲較宜，設成0 . 0 1重量％以下的値爲更宜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此理由係若層間絕緣膜之含水率超過0 . 0 5重量％ 時，則所含的水分會促進上部電極或有機發光媒體之氧化 劣化，有無發光領域或無發光位置變成容易發生的情形所 致。 且，層間絕緣膜之含水率係欲同樣的測定有機發光媒 體之含水率係有可能的。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -28 - 1236859 A7 B7 五、發明説明（26 ) (5)發光媒體 (5 ) — 1構成 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 有機E L顯示裝置之螢光媒體，係吸收有機E L元件 之發光，具有發光較長波長之螢光的功能，以經予平面的 分離配置的層狀物予以構成著。各螢光媒體係例如對應於 下部電極及上部電極間的交叉部分的位置予以配置爲宜。 藉由如此構成，於下部電極及上部電極之交叉部分的有機 發光層發光的情形，由各螢光媒體接受該光，將不同的顏 色（波長）之發光向外部取出一車係成爲可能的。尤其有 機E L元件呈藍色發光的同時，利用螢光媒體，若設成轉 換綠色、紅色發光或可部分透過的構成時，即使爲一個有 機E L元件，亦可得藍色、綠色、紅色之光的三原色，由 於可全彩顯示，故係較合適的。 又於各螢光媒體間，阻斷來自有機E L元件之發光及 各螢光媒體之光，使對此提高，需配置爲降低視野角相關 性而用的遮光層（黑色基質）亦係較宜的。 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製 且螢光媒體係爲防止由外光引起的之對比降低，由與 後述的濾色器間之組合或混合予以構成亦可。 (5 ) — 2螢光色素 螢光媒體例如係僅由螢光色素及樹脂，或螢光色素而 成，由螢光色素及樹脂而成的情形，藉由使螢光色素溶解 或分散於顏料樹脂及/或黏結劑樹脂中而可得。 在此若予說明具體的螢光色素時，則首先至於由近紫 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29 - 1236859 Α7 Β7 五、發明説明（27 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 外光至由紫色的有機E L元件之發光轉換成藍色發光的螢 光色素；可舉出：1 · 4 —雙（2 -甲基苯乙烯基）苯、 反一 4 ，4 / 一二苯基二苯乙烯等的二苯乙烯系色素、7 -羥基一4 一甲基香豆素等香豆素系色素。 其次至於由藍色、藍綠色或白色發光構件之發光轉換 至綠色發生之螢光色素，例如可舉出：2 ，3 ，5，6 - 1H，4H —四經—8 -三氟甲基哇啉基（9 ，9a ，1 一 gh)香豆素、3 — (2 / —苯並噻唑基）—7 —二乙 基胺基香豆素（以下稱作香豆素6)、3 -（2 > -苯並 咪π坐基）一 7 - N，N -二乙基胺基香豆素等香豆素色素 或 Basic Yellow-5 1、 Sol vent Yellow-1 1、 Solvent Yellow-116等酞醯亞胺色素等。 又由藍色至綠色爲止之或由白色發光構件之發光，轉 換成由橙色至紅色爲止的發光之螢光色素，例如可舉出： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 一二氰基亞甲一2 —甲基一6 — （對一二甲基胺基苯乙 烯基）一 4 Η —吡喃等的喹啉藍系色素，1 一乙基—2 — (4 一（對一二甲基胺基苯基）一 1 ，3 -丁二烯基）一 吡啶鎗-過氯酸鹽等吡啶系色素，若丹明Β、若丹明6 G 等的若丹明系色素、鸣畊系色素等。 再者，若各種染料（直接染料、酸性染料、鹼性染料 、分散染料等）亦爲螢光性時，則予以選擇係有可能的。 又於聚甲基丙烯酸酯、聚氯乙烯、氯乙烯酸酯乙烯酯 共聚物、醇酸樹脂、芳香族硕醯胺樹脂、尿素樹脂、三聚 氰胺樹脂、苯胍樹脂等的顏料樹脂中事先揑練螢光色素予 -30- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（28 ) 以顏料化者亦可。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又’此等的螢光色素或顏料，視必要時單獨使用或混 合使用亦可。且藉由適當的混合，例如可將有機E L元件 之藍之藍綠色之發光轉換成白色的發光。 又螢光色素之於含有顏料樹脂及/或黏結劑樹脂之螢 光媒體中的濃度係隨螢光色素之種類不同而異，惟以各該 營光色素之濃度例如以設在1〜1 1 / kg之範 圍內的値，宜爲0 · 1〜10— 3mo 1/kg之範圍內的 値，較宜爲0 · 05〜10-2mo Ι/kg之範圍內的値 〇 (5 ) - 3黏結劑樹脂 另一方面至於黏結劑樹脂，例如以可見光之透過率爲 5 0 %以上的透明材料爲宜。至於此種透明材料，可舉出 聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯酸酯、聚碳酸酯、聚乙烯醇、 聚乙烯基吡咯烷酮、羥基乙基纖維素、羧甲基纖維素等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又爲平面的分離配置螢光媒體，可適用微影法之感光 性樹脂亦較合適選用作黏結劑樹脂。例如可舉出丙烯酸系 樹脂、甲基丙烯酸系樹脂、聚桂皮酸乙烯基酯系樹脂、環 化橡膠系樹脂等的光硬化型光阻材料。 又於採用印刷法之情形，可選擇採用透明的樹脂之印 刷油墨（Medium )。於採用此種印刷油墨之情形，至於黏 結劑樹脂，可舉出聚氯乙烯樹脂、三聚氯胺樹脂、酚醛樹 脂、酸醇樹脂、環氧樹脂、聚胺酯樹脂、聚酯樹脂、順丁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（29 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 烯二酸樹脂、聚醯胺樹脂、聚甲基丙烯酸酯樹脂、聚丙儲 酸酯樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚乙烯醇樹脂、聚乙烯基吡略 烷酮樹脂、羥基乙基纖維素樹脂、羧基甲基纖維素樹脂等 〇 (5 ) - 4含水率 又將螢光媒體之含水率與有機發光媒體同樣的設成 〇 · 05重量％以下的値爲宜，以設成0 · 03重量％以 下的値爲較宜，設成0 · 0 1重量％以下的値爲更宜。 此理由係若螢光媒體之含水率超過0 · 0 5重量％時 ，則所含的水分會促進上部電極或有機發光媒體之氧化劣 化，有無發光領域或無發光位置變成容易發生的情形所致 〇 且螢光媒體之含水率係欲同樣測定有機發光媒體之含 水率係有可能的。 (5 ) — 5形成方法 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 螢光媒體係主要由螢光色素而成的情形，介由所期待 的螢光媒體之圖案而得的掩膜光罩以真空蒸鍍或測鍍法成 膜爲宜。 另一方面，螢光媒體係主要由螢光色素及樹脂而成的 情形，使螢光色素及樹脂與適當的溶劑混合，分散或可溶 化成液狀物，以旋塗法、輥塗法、模鑄法等方法將各該液 狀物予以成膜，其係以微影法將予以圖案化成所期待的螢 -32- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（30 ) 光媒體之圖案，以網版印刷等方法予以圖案化成所期待的 圖案，形成螢光媒體爲宜。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (5 ) — 6膜厚 螢光媒體之膜厚係充分吸收有機E L元件之發光’同 時若爲不妨礙螢光之發生功能者時，則並未予特別限制者 ，惟例如宜爲1 0 n m〜1 m m之範圍內的値，以設成 0 . 5//m〜1mm範圍內的値爲較宜，以〜 1〇0 //m之範圍內的値爲更宜。 (6 )濾色器 (6 ) — 1構成 濾色器係分解或截斷光並爲提高色調整或對比而設， 使僅由色素而成的色素層或色素溶解或分散於黏結劑樹脂 中而構成的層狀物予以構成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 再者，至於濾色器之構成，係含有藍色、綠色、紅色 之色素爲較合適。藉由組合此種濾色器及白色發光之有機 E L元件，可得藍色、綠色、紅色之光的三原色，以全彩 顯示係可能所致。 (6 ) — 2色素 至於紅色（R )色素，可舉出有驼系顏料，色澱顏料 、偶氮系顏料、喹吖酮系顏料、蒽醌系顏料、蒽系顏料、 異吲哚滿系顏料、異吲哚酮系顏料、二酮基吡咯基吡咯系 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -33- 1236859 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（31 ) 顏料等的一種單獨或二種以上的組合。 又至於綠色（G )之色素，可舉出有鹵多取代酞菁系 顏料、鹵多取代銅酞菁系顏料、三苯基甲烷系鹼性染料、 異吲哚滿系顏料、異吲哚酮系顏料等的一種單獨或二種以 上的組合。 又至於藍色（B)色素，可舉出銅酞菁系顏料、標準 還原藍系顏料、靛酚系顏料、菁系顏料、二噚畊系顏料等 的一種單獨或二種以上的組合。 且，於濾色器之色素之濃度，係可精密度良好的予以 圖案化，同時若爲可充分透過有機發光層之發光的範圍時 爲宜。因此，雖依色素之種類而異，惟以將含有使用的黏 結劑樹脂之濾色器中的色素濃度設成〇 · 5〜5 0重量％ 之範圍內的値爲宜。 (6 ) - 3黏結劑樹脂 至於濾色器之黏結劑樹脂，因可選擇與螢光體層之黏 結劑樹脂同樣的材料，故在此省略其詳細說明。 (6 ) - 4含水率 又將濾色器之含水率與有機發光媒體同樣的設成 0·05重量％以下的値爲宜，以設成〇·03重量％以 下爲較宜，設成0 · 0 1重量％以下的値爲更宜。 此理由係若濾色器之含水率超過0 . 0 5重量％時’ 則所含的水分會促進上部電極或有機發光媒體之氧化劣化 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) '€衣.

、1T •r 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ 34 _ 1236859 A7 B7 五、發明説明（32 ) ’有無發光領域或無發光位置變成容易發生的情形所致。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} (7 )平坦化層 (7) - 1—種類 由聚合物構成平坦化層之情形，至於較宜的聚合物， 宜爲光固化型樹脂或熱固化型樹脂。具體而言，可舉出有 丙烯酸酯系樹脂、甲基丙烯酸酯系樹脂、環狀烯烴系樹月旨 、丙烯腈樹脂、聚偏二氯乙烯樹脂、聚氯乙烯樹脂、三聚 氰胺樹脂、酚醛樹脂、醇酸樹脂、環氧樹脂、聚胺酯樹脂 、聚酯樹脂、順丁烯二酸樹脂、聚醯胺樹脂、矽氧樹脂、 聚碳酸酯樹脂、聚乙烯樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚丙烯樹脂 、苯胺甲醛樹脂、氟碳系樹脂等。 又，由無機氧化物構成平坦化層之情形，至於較佳的 無機氧化物，可舉出：二氧化矽（S i〇2 )、氧化鋁（ A 1 2〇3 )、二氧化鈦（T 1〇2 )、氧化釔（Y 2〇3 ) 、氧化鍺（Ge2〇3)、氧化鋅（Zn〇）、氧化鎂（ 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 M g〇）、氧化鈣（C a〇）、硼酸（B 2〇3 )、氧化緦 (S r〇）、氧化鋇（B a I )、氧化鉛（P b〇）、氧 化鉻（Z r〇2 )、氧化鈉（.N a 2〇）、氧化鋰（ 乙12〇）、氧化鉀（仄2〇）等。 又因後述的水蒸汽或氧之氣體透過係數係較小的’故 以使用由氧化矽、氧化鋁及氧化鈦而成之群體選出的一種 以上的無機氧化物係較宜的，再者由於氣體透過性較小之 故，以將無機氧化物之膜性設成非結晶性爲宜。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ % · 1236859 ___B7 五、發明説明（33 ) 又由無機氧化物構成平坦化層之情形，至於其組成， 若爲主要含有無機氧化物者即可，含有氮化物（例如 S13N4)等的無機物亦可。 再者至於由無機氧化物而成的平坦化層，可舉出玻璃 板。至於此種玻璃板、以鈉鈣玻璃、含有鋇、緦玻璃、鉛 玻璃、鋁矽酸鹽玻璃、硼矽酸玻璃、鋇硼矽酸玻璃等係較 宣的。 (7)-2平坦化層之膜厚等 平坦化層之膜厚雖亦係依顯示之精細度螢光媒體，或 濾色器之凹凸而定，惟宜爲設成1 0 n m〜1 m m之範圍 內的値較佳。此理由係藉由如此構成，亦可充分使螢光媒 體或濾色器之凹凸平坦化，同時可降低高精細顯示之視 野角相依性所致。 因此，較宜爲將平坦化層之膜厚設成1 0 0 nm〜 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 値設 ~ 。 的予m者 內。係 η 性 圍値層 ο 緣 範的化 ο 絕 之內坦 4 氣 m圍平爲電 V 範，宜具 ο 之且 ，且 o m 時上 -—-同 以 〇 IX一11 η ο ο ΊΧ 成 設 爲 宜 更 器 ο 色 5 濾在 或率 體過 媒透 光光 螢之 覆m 被 η 能 ο 成 ο 的量 下重 以 ^< %o 量 · 重 ο 5 爲 ο 宜 ο 値 成的 設 下 率以 水 ％ 含量 之重 等層 3 率化ο 水坦· 含平 ο 3 爲爲 I 宜宜 } 又較 7 ， ( 値 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -36 - 1236859 A7 五、發明説明（34 ) %以下的値。 此理由係平坦化層之含水率若超過0 · 0 5重量％時 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，則所含的水分會促進上部電極或有機發光媒體之氧化劣 化，故欲抑制無發光領域或無發光位置之發生即成爲困難 的情形所致。 又同樣的爲謀無發光領域或無發光位置之發生，宜爲 將平坦化層之水蒸汽或氧氣之氣體透過係數各自設爲1X 1012cc · cm/cm2· s · cmHg 以下的値，更 宜爲 lxlO—3cc · cm/cm2· s · cmHg 以下 的値。 (7 ) - 4 一形成方法 平坦化層係採用旋塗法、模鑄法、網版印刷法等的方 法，予以成膜，或濺鍍法、蒸鍍法、化學蒸鍍法（C V D 法）、離子電鍍法等方法予以成膜爲宜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，成膜後將適當的金屬予以陽極氧化並設成無機氧 化物層亦較宜，再者至於平坦化層，於採用玻璃板時，藉 由採用接著劑予以貼合，可予容易形成。 (8 )封裝用構件 於有機E L顯示裝置之封裝用構件，爲防止水分滲入 內部，設置於各該有機E L顯示裝置之周圍，或再者於如 此設置的封裝用構件及有機E L顯示裝置之間，封入公知 封裝媒體，例如封入乾燥劑、乾燥氣體、氟化烴等的惰性 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2l〇x297公羡) 1236859 A7 B7 五、發明説明（35 ) 液體爲宜。又相關的封裝用構件，係亦可將螢光媒體或濾 色器使用作設於上部電極之外部的情形之支持基板。 至於此種封裝用構件，可使用與支持基板相同的材料 ，例如玻璃板或金屬板。又至於封裝用構件之形態，亦未 予特別限制者，例如宜爲作成板狀或帽套狀。因此，例如 製成板狀時，宜爲將其厚度設成0 · 〇 1〜5 m m之範圍 內的値。 再者，封裝用構件係事先於有機E L顯示裝置之一部 分上設置溝槽等，並壓入其中予以固定亦宜，或採用光固 化型之接著劑等，固定於有機E L顯示裝置之一部分亦可 f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (9 )有機E L顯示裝置之構成例 本發明之有機E L顯示裝置，係可將上述的構成要素 予以基本的組合並予構成，惟除此以外的其他構成要件， 例如與正孔植入層或電子植入層組合亦宜。 以下雖然顯示示典型的有機E L顯示裝置之構成例， 惟並非此等所限定者。 ① 支持基板/陽極層/有機發光層/陰極層/封裝用 構件 ② 支持基板/陽極層/層間絕緣膜/有機發光層/陰 極層/封裝用構件 ③ 支持基板/螢光媒體/陽極層/層間絕緣膜/有機 發光層/陰極層/封裝用構件 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 38 - 1236859 A7 B7 五、發明説明（36 ) ④ 支持基板/螢光媒體/平坦化層/陽極層/層間絕 緣膜/有機發光層/陰極層/封裝用構件 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} ⑤ 支持基板/濾色器/陽極層/層間絕緣膜/有機發 光層/陰極層/封裝用構件 ⑥ 支持基板/濾色器/平坦化層/陽極層/層間絕緣 膜/有機發光層/陰極層/封裝用構件 ⑦ 支持基板/濾色器/螢光媒體/平坦化層/陽極層 /層間絕緣膜/有機發光層/陰極層/封裝用構件 ⑧ 支持基板/陽極層/有機發光層/陰極層/螢光媒 體/封裝用構件 ⑨ 支持基板/陽極層/有機發光層/陰極層/濾色器 /封裝用構件 且，於第2 1圖內表示②之構造的有機E L顯示裝置 ，於第3 1圖及第9圖內表示④或⑥之構造的有機E L顯 示裝置，於第4圖及第4圖內表示⑧或⑨之構造的有機 E L顯示裝置，於第8圖內表示③或⑤之構造的有機E L 顯示裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔第二實施形態〕 第二實施形態係有關第3圖（第9圖）所示的構成之 有機E L顯示裝置之製造方法，包含以下所示的第一〜第 三步驟。 因此於第三步驟形成有機發光媒體之前，至於第二步 驟係以設置脫水步驟並將支持基板等予以脫水，最後經由 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^ 一 1236859 A7 _ B7 五、發明説明（37 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第三步驟組合有機E L顯示裝置後，將有機發光媒體（或 有機發光媒體，濾色器，螢光媒體，平坦化層，層間絕緣 膜之混合物）之含水率設成0 · 0 5重量％以下的値爲特 徵。 藉由如此實施，在不對有機發光媒體賦與惡劣影響下 ’可有效的製造出可抑制各該有機發光媒體中的含水率設 成〇 · 0 5重量以下的値之無發光領域或無發光位置之發 生的有機E L顯示裝置。 又於第二實施形態，採用第1 1圖所示的製造裝置 20 ’以製造有機EL顯示裝置爲特徵，具體而言，採用 經予連接至成膜單位（真空蒸鍍裝置）2 2之脫水單位 2 1 ，進行支持基板之脫水處理後，藉由於運送單位2 4 之運送裝置2 5 ，將各該支持基板移送至成膜單位2 2 ， 以形成有機發光媒體爲特徵。 藉由如此實施，不使露出於大氣中，故排除外部濕氣 等的影響，並保持較低的含水率，可再使有機E L顯示裝 置之生產效率提高。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (1 )第一步驟 第一步驟係形成有機發光媒體前之步驟，亦依有機E L顯示裝置而定，惟至少含有下部電極之形成步驟。其他 亦含有第一及第二層間絕緣膜或T F T基板之形成步驟， 螢光媒體及濾色器或任一者的形成步驟，再者平坦化膜之 形成步驟等爲宜。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -40 - 1236859 A7 B7 五、發明説明（38 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 且下部電極之對支持基板的形成步驟，第一及第二層 間絕緣膜或丁 F T基板之形成步驟，或發光媒體、濾色器 及平坦化膜之形成步驟，係各自組合蒸鍍法或微影法等予 以實施爲宜。 (2 )第二步驟 第二步驟係來自第一及第二層間絕緣膜或T F T基板 上之層間絕緣膜等的有機膜之水分的脫水步驟，具體而言 以以下的脫水處理條件，以單獨處理或組合二種以上的脫 水處理條件予以處理爲宜。 且相關的第二步驟係於後述的製造裝置之脫水單位進 行爲宜。 (2 ) — 1 一露點調整 以於脫水步驟處理的支持基板等之周圍的露點爲 - 1 0 t以下的値，脫水處理支持基板等者。此理由係相 關的露點若超過- 1 0 °C時，有脫水效率顯著降低的情形 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 所致。 因此，以脫水步驟之露點爲- 5 0 °C以下的値爲較宜 ，露點爲一 5 0 °C〜一 1 5 0 °C之範圍內的値即更宜。 且脫水步驟之露點，係藉由惰性氣體之導入，脫水單 位內的溫度之調節，監視露點計，同時調整脫水單位內的 水分量並可予容易的進行。 又，以露點爲- 1 0 °C以下的値之脫水時間，係受濾 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） · 41 _ 1236859 A7 B7 五、發明説明（39 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 色器、螢光媒體、第一及第二層間絕緣膜等的面積或膜厚 或脫水單位之容積等所影響的，惟例如各該脫水時間以設 成1 0分鐘〜4 0小時之範圍內的値爲宜。 此理由係脫水時間若未滿1 〇分鐘時，則脫水處理成 爲不足，欲使組合後的有機發光媒體之含水率設成 〇 · 〇 5重量％以下係成爲困難的情形所致。另一方面， 即使脫水時間超過4 0小時，處理時間僅變長，而所得的 效果並未改變的情形所致。 因此，以將脫水時間設成3 0分鐘〜2 4小時之範圍 內的値係較宜的，以設成1 2〜1 2小時之範圍內的値爲 更宜。 且，調整露點之脫水方法，如第三實施形態所述般， 於將有機發光媒體予以濕式成膜的情形雖係尤其有效的方 法，然而在第二實施形態，即使以真空蒸鍍等的乾式狀態 予以成膜的情形，亦係有效的方法。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 亦即於以乾式狀態予以成膜的情形，有機發光媒體之 水分量係微量的，若去除支持基板或其上的層間絕緣膜中 之水分時，雖可抑制氧化劣化，然而若依調整露點之脫水 處理方法時，則在脫水步驟之有機發光媒體上劣化生成的 顧慮較少，故即使不濕式成膜時亦可說是有效的方法。 (2 ) - 2真空度調整 以將脫水步驟之真空度設爲1 3 · 3 P a ( 〇 . χ T o r r )以下的値爲宜。此理由係若相關的真空度超過 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐)7^2- 1236859 A7 B7 五、發明説明（40 ) 1 3 · 3 P a ( 〇 · 1 丁 〇 r r )時，則脫水效率有顯著 降低的情形所致。因此，以將脫水步驟之真空度設爲 13 · 3xlO—4Pa (1x10 一 5T〇rr)以下的値 爲較宜，設成13 · 3x10 一 4Pa〜13 · 3xl〇8 p a (1x10— 5T〇rr)〜lxl〇 9T〇rr)之 範圍內的値爲更宜。 又若依此脫水方法時，則可降低支持基板等的加熱， 有機發光媒體及螢光媒體之劣化會變少，同時在短時間內 可予脫水。 且將脫水步驟之真空度設成1 3 . 3 X 1 0 4 P a ( 1x10 5 丁 〇 r r )以下的値時之脫水時間，雖受螢光 媒體，濾色器，第一及第二層間絕緣膜等的面積或膜厚或 脫水單位之容積等影響，然而以各該脫水時間例如設成 1 0分鐘〜3 0小時之範圍內的値爲宜。 此理由係脫水時間若未滿1 0分鐘時，則脫水處理成 爲不足，欲使組合後的有機發光媒體之含水率設成 0 . 0 5重量％以下係成爲困難的情形所致。另一方面， 即使脫水時間超過3 0小時，處理時間僅變長，而所得的 效果並未改變的情形所致。 因此以將脫水時間設成3 0分鐘〜2 0小時之範圍內 的値係較宜的，以設成1〜1 〇小時之範圍內的値爲更宜 〇

在此，脫水行程是否結束，係於已配置四重極質量分 析計（Q-Ma s s )的真空脫水槽，水之分子量（MW (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .«裝-

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2i〇x297公董） Γ43 . 1236859 A7 B7 五、發明説明（41 ) ==1 8 )的波峰値降低，亦可以成爲安定狀態爲標準。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (2 ) - 3惰性氣體導入 於脫水步驟，將氦、氬、氮等惰性氣體導入脫水單位 內’以在此等惰性氣體中脫水爲宜’由製造成本成爲低廉 一事，以採用氮爲較宜。 藉由使用此種惰性氣體，在抑制含有有機發光媒體之 有機發光媒體，或陰極層等反應而氧化，同時可施以脫水 處理係較宜的。 又’爲得較優越的脫水效果，對惰性氣體，亦以事先 施以脫水處理爲宜。 且，利用惰性氣體之脫水處理的情形之脫水時間，係 各自受惰性氣體之流入速度，或濾色器、螢光媒體、第一 及第二層間絕緣膜等的面積或膜厚或脫水單位之容積等所 影響，惟各該脫水時間，例如以設成1 〇分鐘〜4 0小時 之範圍內的値爲宜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此理由係脫水時間若未滿1 〇分鐘時，則脫水處理成 爲不足’欲使組合後的有機發光媒體之含水率設成 0 · 0 5重量％以下係成爲困難的情形所致。另一方面， 即使脫水時間超過4 0小時，處理時間僅變長，而所得的 效果並未改善的情形所致。 因此’將脫水時間設成3 0分〜2 4小時之範圍內的 値係較宜的’以設成1〜1 2小時之範圍內的値爲更宜。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -44- 1236859 A7 B7 五、發明説明（42 ) (2 ) — 4加熱處理 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 以將脫水步驟之加熱溫度設爲6 0〜3 0 〇 °c之範圍 內的値爲宜。此理由係加熱溫度若未滿6 0 °C時，則係脫 水效率顯著降低的情形，故另一方面加熱溫度若超過 3 0 0 °C時，對有機發光媒體或螢光媒體等的有機膜會給 予熱損傷之情形所致。 又考慮有機E L顯不裝置之保管環境或驅動環境，決 定出脫水步驟之加熱溫度亦較宜。亦即於較此等保管環境 或驅動環境之溫度高的溫度。較宜爲藉由以較各該溫度至 少高1 0 °C的溫度事先予以處理，可控制保管環境或驅動 環境之無發光領域或無發光位置之發生。 且，由加熱進行脫水處理的情形之脫水時間，雖係受 濾色器、螢光媒體、第一及第二層間絕緣膜等的面積或膜 厚所影響，惟將各該脫水時間例如設爲1 0分鐘〜1 2小 時之範圍內的値爲宜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此理由係脫水時間若未滿1 0分鐘時，則脫水處理成 爲不足，欲使組合後的有機發光媒體之含水率設成 0 · 0 5重量％以下係成爲困難的情形所致。另一方面， 即使脫水時間超過1 2小時，處理時間僅變長，而所得的 效果並未改變的情形所致。 因此，將脫水時間設成3 0分鐘〜1 0小時之範圍內 的値係較宜的，以設成1〜1 2小時之範圍內的値爲更宜 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（43 ) (2 ) - 5脫水處理方法之組合 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 組合上述二種以上的脫水處理條件予以處理，脫水時 間可再予縮短，故較宜。 例如乾燥狀態將有機發光媒體予以成膜時，於形成有 機發光媒體前。以露點- 5 0 °C，使用乾燥氮及支持基板 等的加熱溫度6 0 °C之條件，藉由3 0分鐘〜3小時之脫 水處理，可充分去除支持基板等的水分，可容易的將組合 後之有機發光媒體之含水率調整成0 · 0 5重量％以下的 値。 又雖非爲脫水處理方法之直接的組合，然而於支持基 板上層合下部電極，有機發光媒體及設有對向電極等的有 機E L元件層，與於封裝用基板上層合已設置濾色器及螢 光媒體等之封裝構件。並製造有機E L顯示裝置之際於第 二步驟，以各自對有機E L元件層及封裝構件進行脫水處 理亦較宜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 藉由如此施加脫水處理，於封裝用基板上即使設置濾 色器及螢光媒體等的情形，將組合後的有機發光媒體之含 水率設成〇 · 〇 5重量％以下的値即成爲較容易，再抑制 無發光領域或無發光位置之發生係成爲可能的。 且如此進行脫水處理後，將支持基板移動至第三步驟 爲止，保持在不接觸的狀態爲宜。又暫時在支持基板等之 脫水處理後，即使經過接觸大氣之狀態的情形，以將其時 間設爲未滿1 0分鐘的値爲宜，較宜爲設成未滿5分鐘之 。何以如此，在脫水處理後，支持基板等若與大氣接觸超 -46- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 _ _B7___ 五、發明説明（44 ) 過1 0分鐘時，支持基板等有再吸附或吸水大氣中的水分 之顧慮所致。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (3 )第三步驟 第三步驟爲有機發光媒體之形成步驟或上部電極之形 成步驟，或封裝步驟等。 至於有機發光媒體之形成步驟或上部電極之形成步驟 ，係對後述的成膜單位進行爲宜，具體而言，以採用真空 蒸鍍法或濺鍍法等的乾燥狀態下可成的方法予以形成爲宜 〇 又至於封裝步驟，於後述的封裝單位，藉由乾燥劑或 乾燥氣體等的封裝，或層合封裝構件予以實施較宜。 (4 )製造裝置 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 有機E L顯示裝置之製造裝置，係爲簡單且有效率的 製造出可靠性優越的有機E L顯示裝置，以具有將有機發 光媒體之含水率設成指定以下的値之脫水設備（脫水單位 )爲宜。 具體而言，如第1 1圖所示般，製造裝置係具有成膜 單位2 2，脫水單位2 1 ，封裝單位2 3及運送單位2 4 而成，脫水單位2 1係介由內部含有間隔閥2 6及運送裝 置2 5之運送單位2 4，各自連接至成膜單位2 2及封裝 單位2 3爲宜。 在此對脫水單位若較詳細說明時，則如第1 3圖所示 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ ' 1236859 A7 B7 五、發明説明（45) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 般’脫水單位2 1係具備例如爲載置外殻3 2及支持基板 1等而用的基板階段3 3，熱板3 4 (含有冷卻裝置）， 草乙燥氣體循環裝置3 5、3 6之乾燥箱之構成。因此於脫 水單位2 1之一側，設有含有間隔閥及運送裝置之運送單 位24，介由各該運送單位24，各自連接至成膜單位（ 未予圖示）及封裝單位（未予圖示）爲宜。 又脫水單位2 1之另外態樣雖表示於第1 4圖上，惟 例如係具有外殼3 2基板階段3 3、熱板3 4 (含有冷卻 裝置）、真空裝置3 8、真空度計3 9及視必要時於第 1 8圖之全自動水分吸脫附測定裝置的乾燥箱，再者與第 1 3圖所示的脫水單位2 1同樣的，於一側上設置含有間 隔閥及運送裝置之運送單位2 4，介由各該運送單位2 4 ’各自連接至成膜單位（未予圖示）及封裝單位（未予圖 示）爲宜。 且組合第1 3圖及第1 4圖各自表示的脫水單位，雖 作成可真空處理及導入乾燥空氣之脫水單位，惟以較具功 能性爲宜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此等構成部材之中，外殻3 2係收容脫水的支持基板 1等及基板階段3 3而用的構件，其中基板階段3 3係供 固定脫水的支持基板1等而用的構件。 又熱板3 4及冷卻裝置係設於基板階段3 3之下部， 或將基板階段本身作成熱板，調整支持基板1等的溫度（ 加熱或冷卻）並予脫水而用的構件。且再者於短時間可加 熱，故取代熱板或亦設置熱板，同時紅外線燈等的其他加 -48- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（46 ) 熱工模亦可。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又乾燥氣體循環裝置3 5、.3 6係利用露點計調整露 點，同時爲導入惰性氣體並予脫水而設置的，在第1 3圖 所示的例子，於側面下方處設置惰性氣體導入口 3 5 ’於 側面上方處設置排出口 3 6。 因此，採用第1 3圖所示的脫水單位2 1之情形’對 經予固定於外殻內的基板階段之支持基板等，採用乾燥氣 體循環裝置，例如以流量1 0 L /分鐘之條件吹拂惰性氣 體，利用露點計確認露點成爲- 1 0 °C以下的値，同時進 行指定時間脫水處理爲宜。 又與導入惰性氣體，同時或其他時間，採用設置於基 板階段之下部的熱板或冷卻裝置，將支持基板等控制於指 定溫度，例如6 0 °C〜3 0 0 °C之範圍內的値，亦進行脫 水處理爲宜。 另一方面，採用第1 4圖所示的脫水單位2 1之情形 ’採用真空泵3 8 ，將外殻內的真空度設爲例如1 3 · 3 P a ( 〇 · 1 Τ ο 1* r )以下的値，較宜爲 0.00 1 33Pa ( 1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 X 1 0 5 Τ ο I· I·)以下的値，進行指定時間脫水處理爲 宜。在此真空時，配置四重極質量分析計（Q - M a s s )，把握脫水的水平爲宜。 又採用第1_ 3圖及第1 4圖所示的脫水單位2 1 ，測 定有機發光媒體中的含水率，成爲採用內部所設置的全自 動水分吸附測定裝置（未予圖示）。亦即，由支持基板等 採取有機發光媒體之一部分，藉由測定上述的重量A及重 -49- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公瘦） 1236859 A7 B7 五、發明説明（47 ) 量B，可算出有機發光媒體中的含水率，且，有機發光媒 體之採取係手動或採用運送裝置自動進行。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 惟亦可依有機E L顯示裝置之構成而定，然而在不採 取有機發光媒體下，有機發光媒體之含水率或含有有機發 光媒體之有機膜的含水率亦可予大致把握。 亦即，在含有支持基板等的狀態，採用全自動水分吸 附測定裝置之精密天平測定有機發光媒體或含有有機發光 媒體之有機膜的乾燥前之重量C及乾燥後之重量D，同時 權衡事先採用精密天平測定的有機發光媒體以外的支持基 板等的重量E或含有有機發光媒體之有機膜以外的支持基 板的重量E，由下式（2 )推測出有機發光媒體，或含有 有機發光媒體之有機膜之含水率（W)。 W =丨（重量C-重量D)/(重量D-重量E)} X 100 (2) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另一方面，於經予連結至脫水單位之運送單位，成膜 單位及封裝單位會連接，例如設於其間的運送機構經予旋 轉支持，於前端具有把持部，再者藉由伸縮自如的機械人 手臂，在不接觸大氣下，由脫水單位各自將支持基板等連 接至成膜單位或封裝單位，或由成膜單位予以構成至可移 送至脫水單位或封裝單位般。 因此，藉由採用此種有機E L顯示裝置之製造裝置， 於脫水單位在形成有機發光媒體前，充分進行支持基板等 的脫水處理。其次，於成膜單位可形成含水率低的有機發 ^紙張尺度適用中國國家標準（〇奶）六4規格（210父297公釐） ~ 1236859 A7 B7 五、發明説明（48 ) 光媒體。 因此’形成有機發光媒體，由成膜單位移送至封裝單 位’採用封裝構件並封裝周圍，可組合有機E L顯示裝置 ’可容易的控制有機發光媒體之含水率至指定範圍之値。 由而’可防止由無發光領域或無發光位置之發生引起 的發光面積比之降低有機E L顯示裝置，可有效率的製出 經長期間可得較高的發光亮度之有機E L顯示裝置。 且不僅第1 1圖所示的製造裝置，同樣的即使採用第 1 2圖所示的製造裝置，實施第一〜第三步驟，可製造本 發明之有機E L顯示裝置。 亦即於第1 2圖所示的製造裝置，例如脫水單位2 1 ，成膜單位2 2及封裝單位2 3係各自介由間隔閥2 6直 列的排列於橫方向上，再者於配列之兩側上設置合計二個 運送單位2 4。 因此若依第1 2圖所示的製造裝置時，與第1 1圖所 示的製造裝置同樣的，在不曝露於大氣中可各自移動支持 基板等至脫水單位2 1及成膜單位2 2與封裝單位2 3之 間，可有效率的製造含有含水率在指定値以下的有機發光 媒體之有機E L顯示裝置。 〔第三實施形態〕 第三實施形態係與有機E L顯示裝置之製造方法有關 的其他實施形態，含有下示的第1 /〜第3 /步驟。 因此在第1 /步驟對有機發光媒體進行濕式成膜，同 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -引- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1236859 A7 B7 五、發明説明（49 ) 時在第2 /步驟於形成有機發光媒體後設置脫水步驟並將 有機發光媒體脫水，最後經由第3 /步驟而得的有機E L 顯示裝置之有機發光媒體（或有機發光媒體、濾色器、螢 光媒體、平坦化層、層間絕緣膜之混合物）之含水率設成 〇·05重量％以下的値爲特徵。 藉由如此實施，即使利用含水率較易變多的濕式成膜 ，形成有機發光媒體之情形，於最後組合的有機E L顯示 裝置亦可容易的將有機發光媒體之含水率設成0 · 0 5重 量％以下的値。 (1 )第1 /步驟 第1 /步驟係至形成有機發光媒體爲止的步驟，含有 螢光媒體、濾色器、平坦化層、下部電極、第一及第二層 間絕緣膜或T F T基板（含有層間絕緣膜）之形成步驟， 與有機發光媒體之形成步驟等。 在此與第二實施形態同樣的，下部電極之形成步驟、 第一及第二層間絕緣膜或T F T基板（含有層間絕緣膜） 之形成步驟、或螢光媒體、濾色器及平坦化膜之形成步驟 係各自採用微影法予以進行爲宜。 又，有機發光媒體之形成步驟，在第三實施形態，係 以進行濕式成膜爲特徵，具體而言以採用旋塗法，蘭米爾 -布洛捷特法（L B法），噴墨法、微胞電解法等爲宜。 (2 )第2 /步驟 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公羡1 52 - ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1236859 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（50 ) 第2 /步驟係已濕式成膜的有機發光媒體之脫水步驟 對各該脫水步驟之處理條件，可作成與第二實施形態實質 上的相同內容。 因此，藉由組合①露點調整，②真空度調整③惰性氣 體導入，④加熱處理之單獨處理，或此等的脫水處理二種 以上，可由有機發光媒體有效率的脫水。 惟①露點調整的脫水處理方法，係對已濕式成膜的有 機發光媒體尤其有效的方法。 亦即，於已將有機發光媒體進行濕式成膜的情形，於 有機發光媒體中含有大量的水，其他的脫水處理方法，例 如在加熱處理方法，在不使有機發光媒體劣化下，欲控制 含水率成指定範圍內的値一事係困難的。 且，在不使有機發光媒體濕式成膜，在真空蒸鍍等的 乾式狀態予以成膜的情形，由於有機發光媒體之水分量係 微量的，故若去除支持基板或其上的層間絕緣膜中之水分 時，可抑制氧化劣化。亦即於成膜有機發光媒體前，將露 點控制至成- 1 0 °c以下的値，僅對支持基板等進行脫水 處理，可控制組合後的有機發光媒體之含水率至成指定範 圍內的値。 因此，調整露點之脫水處理方法，係在脫水步驟無生 成劣化之顧慮，故即使不濕式成膜的情形，當然亦係有效 的方法。 再者由有機發光媒體等的水分調整係成爲容易的，在 不接觸大氣的狀態下由第2 >步驟移送已形成的有機發光 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 、1' .__ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -53- 1236859

五、發明説明（51 ) 媒體等至第3 /步驟，當然係較宜的。 (3 )第3 >步驟 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第3 /步驟係形成有機發光媒體後的步驟。與第二實 施形態同樣的，以設置上部電極之形成步驟，或封裝步驟 等爲宜。 具體而言’對上部電極之形成步驟，於成膜單位，藉 由真空蒸鍍予以形成爲宜，對封裝步驟，於封裝單位，採 用封裝用構件，需覆蓋有機發光媒體等之周圍爲宜。 實施例 〔實施例1〕 (1 )有機E L元件之製作 ①陽極層（下部電極）之形成 0, 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於縱1 1 2 m m、橫1 4 3 m m、厚度1 · 1 m m之 玻璃基板（〇A 2玻璃，日本電氣玻璃（股）製作）上， 利用濺鍍法於全面的成膜出膜厚1 3 0 n m之I T〇膜。 於此IT ◦膜上，旋塗正片型光阻HPR2 0 4 (富士 Hunt electrnic Techonology股份有限公司製造），以溫度8 0 °C，時間1 5分鐘之條件予以乾燥。 其次介由具有條帶狀圖案（線寬9 〇 // m，間隙寬度 2 0 # m )之光罩，進行以高壓水銀燈爲光源的接觸曝光 至使曝光量成爲1 0 〇m J / cm2。採用TMAH (氫氧化 四甲基銨）作爲顯影液予以顯影。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇Χ297公釐） • 54 - 1236859 a7 B7 五、發明説明（52 ) 其次採用烘箱，在溫度1 3 0 °C之條件進行後烘烤處 理後，採用溴化氫酸水溶液（濃度4 7重量％ )作爲蝕刻 液，触刻I T ◦膜。其後採用剝離液N 3 0 3 (長瀨產等股 份有限公司製造）去除正片型光阻’形成陽極（下部電極 )之條帶狀I T〇圖案（線數9 6 0條）° ② 第一層間絕緣膜之形成 其次於I TO圖案上旋塗丙烯酸系之負片型光阻 V 2 5 9 P A (新日鐵化學股份有限公司製造），以溫度8 0 °C，時間1 5分鐘之條件乾燥後’介由I T 0露出 7 0 //mx 2 9 0 之長方形狀的光罩，進行以高壓水 銀燈爲光源之接觸曝光（曝光量：3 0 0 m J / c m 2 )。 其次採用T M A Η爲顯影液予以顯影’再者採用烘箱 ，在溫度1 6 0 °C之條件下進行後烘烤處理，作爲第一層 間絕緣膜。 ③ 第二層間絕緣膜之形成 其次由第一層間絕緣膜之上，旋塗酚醛淸漆樹脂系負 片型光阻ZPN1100(日本Zpon股份有限公司製 造）。用溫度8 0 °C，時間1 5分鐘之條件乾燥後’介由 可得對下部電極之I T〇圖案呈正交的條帶狀圖案1線寬 度20/^m，間隙寬度3 1 0//m)之光罩，進行以高壓 水源燈爲光源之接觸曝光（曝光量：7 0 m J / c m 2 )， 其次以溫度9 0 °C，時間1 5分鐘進行烘烤。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 #1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -55- 1236859 A7 B7 五、發明説明（53 ) 其次，採用丁 M A Η爲顯影液予以顯影，作成用作間 隔壁之第二層間絕緣膜（線寬度2 0 # m，間隔寬度 3 10//m，膜厚 5#m)。 ④ 脫水步驟 其次對I T〇圖案等經予形成的玻璃基板（以下有單 單稱作玻璃基板之情形），施以異丙醇淸洗及紫外線淸洗 後，將此玻璃基板移動至供實施脫水步驟而用的脫水單位 。亦即將玻璃基板收容於已具備惰性氣體（氨、氬、氮等）循 環部、露點控制部及加熱裝部（熱板）之乾燥箱內。 因此，採用熱板，將乾燥箱內的玻璃基板加熱至6 〇 °C，在該狀態下導入乾燥氮，同時使露點降低至一 5 t 爲止，靜置約2小時，去除第一及第二之層間絕緣膜中白勺 水分及玻璃基板表面等附著的水分。 ⑤ 有機發光媒體之形成 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 停止熱板的加熱，玻璃基板之溫度降低至室溫後，# 不曝露至大氣下保持露點並予固定於真空蒸鍍裝置（日$ 真空技術股份有限公司製造）內之基板支持架上。 因此於真空蒸鍍裝置內的鉬製加熱板內，各自塡充& 下的材料。 正孔注入材料：4，，4〃 一參〔N— (3〜甲基苯 基）—N -苯基胺基〕三苯基胺（MTDATA )、及4，4 /一雙〔N〜（1 一萘基）一 N —苯基胺基〕—聯苯（ -56- 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（54 ) N P D )、 有機發光材料：4，4 / —雙（2，2 -二苯基乙烯基） 聯苯（DPVBi) 電子注入材料：參（8 -喹啉醇）鋁（A 1 q) 又，將Al— L i合金（L 1濃度l〇a tm%)安 裝於鎢製燈絲內作爲對向電極（陰極）材料。 其次，將真空蒸鍍裝置之真空度減壓至6 6 5 X 1 〇 7 P a (5x10— 7Torr)至成以下的蒸鍍速度 原膜厚’由正孔注入層至形成陰極爲止，在中途不破除真 空狀態下，以一次吸入真空予以層合，形成有機發光媒體 等。 MTDATA:蒸鍍速度〇·1〜0·3 nm/sec，膜厚 6〇nm NPD:蒸鍍速度0.1〜0·3 nm/ sec，膜厚 20nm DPVBi :蒸鍍速度〇·1〜0·3 nm/sec ，膜厚50nm AIq:蒸鍍速度0.1〜〇·3 nm/sec ，膜厚2〇nm

Al— Li:蒸鍍速度〇·5〜1·〇 nm/ sec，膜厚 15〇nm ⑥封裝步驟 其次於已導入乾燥氮之封裝單位內’將封裝用玻璃基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） _ 57 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1236859 A7 B7 五、發明説明（55 ) 板（藍色平板玻璃，Geomatech股份有限公司製造）層合至 陰極側上，利用光固化型接著劑T B 3 1 0 2 ( Three (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Bond公司製造）將其周圍予以封裝，作成第2圖所示的發 光性能測定用之有機E L顯示裝置。 且，在相同的製造條件下，各自製作含水率測定用之 有機E L顯示裝置及耐久性試驗用之有機E L顯示裝置。 (2 )有機E L元件之評估 ①含水率之測定 在已連續的導入乾燥氮之狀態的乾燥箱內分解所得的 有機E L顯示裝置，用刮匙採取有機發光媒體（一部分， 含有層間絕緣膜，以下相同），同時採用已設於各該乾燥 箱內的全自動水分吸脫附測定裝置I G A S〇R P (英 國Hi den公司製造）並測定重量。結果，已採取的有機發光 媒體之重量A係43，9194mg。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次在乾燥箱內，以8 0 t，3 0分鐘之條件加熱處 理已採取的有機發光媒體，採用上述的全自動水分吸脫附 測定裝置並測定該處理後之重量。結果，加熱處理後之有 機發光媒體之重量B爲43 . 9190mg。 由而，將所得的重量A及重量B導入上述式（1 )內 ，算出有機發光媒體之含水率（W ( % ))。結果，有機 發光媒體之含水率（W)爲〇 · 〇〇〇9重量％。 亦即，於形成有機發光媒體前設置脫水步驟，由支持 基板表面及第一及第二層間絕緣膜需去除水分一事，由可 -58- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（56 ) 得知在使有機發光媒體之含水率降低係有效的手段。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ② 發光性能之測定 於所得的有機E L顯示裝置之下部電極（丨τ〇圖案 ’陽極），及對向電極之上部電極（陰極）之間，施加 D C 1 〇 V之電壓，使各電極之交叉部分的各像元（約 2 3 0萬像元）發光。因此，採用色彩色差計CS 1〇〇 (Mmolta公司製造）並測定發光亮度時，可得3 0 0 c d/m2之値。且以發光面之全部面積爲1 〇 〇%時，像 元面積的比率之開口率爲5 6%。 又在相同條件使有機E L裝置之各像元發光並測定 C I E色度時，於C I E色度座標，可確認出能獲得 ClEx = 〇· 15 ，CIEy = 〇 · 18 之藍色發光。 ③ 耐久性試驗 將所得的二組有機E L顯示裝置，於大氣中室溫（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 5 t )之條件及恒溫槽中8 0 °C之條件各自靜置2星期 。其後以上述的電壓條件使有機E L顯示裝置之各像元發 光，測定無發光領域或無發光位置未發生而適當發光的領 域（以下，發光領域）之面積，由與放置前之發光領域之 面積間的比較，評估耐久性。又對靜置二週後的二組有機 E L顯示裝置之發光亮度亦同樣的進行評估。 結果，以靜置前的發光領域之面積爲1時，在大氣中 ，室溫（2 5 °C )之條件下靜置2週的情形’以靜置後的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ §9 _ 1236859 Α7 Β7 五、發明説明（57 ) 發光領域之面積爲0 · 9 8 ，在恒溫槽’ 8 0 °C條件下靜 置2週的情形，靜置後的發光領域之面積爲〇 · 9 7。又 此時之發光亮度係在室溫條件下2 9 4 c d/m2 ’在8 0 °C 條件下 2 9 1 c d / m 2。 亦即，藉由使有機發光媒體中的含水率爲指定値（ 〇· 05重量％)以下的値時，大氣中，室溫（25°C) 之條件的較原本在8 0 °C之高溫環境下，經過長時間亦可 抑制由無發光領域或無發光位置之發生引起的發光面積之 縮小，同時得知可防止發光亮度之降低。 〔實施例2〕 (1 )有機E L元件之製作 用球磨機均勻的混合光固性樹脂之丙烯酸酯系光固型 光阻V 2 5 9 P A (新日鐵化學公司）製造，固形分： 50重量％，溶劑：丙二醇甲基醚乙酸酯）l〇〇g ，有 機螢光體之香豆素6 0 · 53g，鹼性紫（Baslc Valet )11 1 · 5g及羅丹明6G 1 · 5g及顏料樹脂之 苯胍樹脂2 5 g，作爲螢光媒體用組成物（螢光媒體用油 墨）。 將所得的螢光媒體用組成物旋塗於縱1 1 2 m m、橫 14 3mm、厚度1 · lmm之玻璃基板〇A2 (日本電 氣玻璃（股）製造）上，在溫度8 0 °C，時間1 〇分鐘之 條件乾燥。其次，介由可得顯示領域之圖案的光罩，照射 紫外線（波長3 6 5mm)至使曝光量成1 5 〇 〇m J/ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ：297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1236859 A7 B7 五、發明説明（58 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) cm2) ’使光固化並成爲螢光部（色轉換部），另一方面 ’抹用顯影液（2重量％ κ〇Η水溶液）並去除未曝光部 。其次在1 6 0 °C，3 0分鐘之條件下，進行後烘烤處理 ’製成膜厚2 0 9之螢光媒體。 ②有機E L顯不裝置之製作 於以①而得的螢光媒體經予形成的玻璃基板上，利用 濺鍍法全面的成膜出膜厚2 〇 〇 n m之I Z〇（銦錫氧化 物）。以與實施例1相同的條件將此I Z〇膜予以圖案化 ，製成陽極（下部電極），同時接著形成第一及第二層間 絕緣膜後’以與實施例1相同的條件進行脫水形成由正子 (植入層、發光層’及電子植入層與陰極而成的有機E l 元件’再於陰極側上層合封裝用玻璃基板（藍色平板， Geomatech (股）製造），利用光固化型接著劑 TB 3 1 0 2密封其周圍，製作出第8圖所示的構成之有 機E L顯示裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (2 )有機E L顯示裝置之評估 ①含水率之測定 與實施例1同法，採取於所得的有機E L顯示裝置之 有機發光媒體（一部分，含有層間絕緣膜及螢光媒體。以 下相同）’採用全自動水分吸脫附測定裝置I G A S〇r P (英國Hlden公司製造）測定重量。結果，已採取 的有機發光媒體之重量A爲201 · 3977mg ，重量 -61 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（59 ) B 爲 201.3360mg。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 因此，有機發光媒體之含水率爲0·0306重量％ 。由而在形成有機發光媒體前在脫水步驟，由螢光媒體， 第一及第二層間絕緣膜等需去除水分一事，可得知在使有 機發光媒體之含水率降低係有效的手段。 且同樣的測定螢光媒體，第一及第二層間絕緣膜中之 含水率，惟各自未滿〇 · 0 5重量％之値，再者測定 I ZO圖案中之含水率，則爲未滿0 · 〇 〇 1重量％之値 ② 發光性能之測定 與實施例1同樣的，於所得的有機E L顯示裝置之下 部電極（I T〇圖案，陽極）及對向電極之上部電極（陰 極）之間，施加D C I D V之電壓使發光，採用色彩色差 計C S 1 0 0並測定發光亮度時，可得9 0 c d / c m 2之 値，C I E色度座標係可確認可得X = 〇 · 6 1，Y = 0 . 3 4之紅色發光。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 且以發光面之全面積爲1 〇 〇%時’像元面積之比率 的開口率爲5 6 %。 ③ 耐久性試驗 與實施例1同樣的’將所得的二組有機E L顯示裝置 ，於大氣中室溫（2 5 °C )之條件及恒溫槽中8 0 °C之條 件各自靜置2星期，由發光領域之面積變化評估耐久性。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（60 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 結果，在大氣中，室溫（2 5 t )之條件下靜置2週 的情形，以靜置後的發光領域之面積爲0 · 9 8 ，在恒溫 槽，8 0 °C條件下靜置2週的情形，靜置後的發光領域之 面積爲0 . 9 0。 亦即，藉由使有機發光媒體中的含水率爲指定値（ 0 · 0 5重量％ )以下的値時，大氣中，室溫（2 5 °C ) 之條件係較原本在8 0 °C之高溫環境下，經過長期間亦得 知可抑制由無發光領域或無發光位置之發生引起的發光面 積之縮小。 〔實施例3〕 (1 )有機E L顯示裝置之製作 於實施例2，除於螢光媒體及陽極層（下部電極）之 間形成平坦化層外，餘與實施例2同法，製作第9圖所示 構成之有機E L顯示裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 亦即，形成螢光媒體後，旋塗丙烯酸酯系之平坦化材 料V 2 5 9 P A (新日鐵化學（股）製造），在溫度8 0 t，時間1 5分鐘之條件下乾燥後，介由具有可被覆螢光 媒體之圖案的光罩，進行以高壓水銀燈爲光源的接觸曝光 至使曝光量成3 0 0m J/cm2。採用TMAH作爲顯影 液，顯影出未曝光部，再者採用烘箱在溫度1 6 0 °C之條 件下進行後烘烤處理，而得膜厚約5 # m之平坦化層。 (2 )有機E L顯示裝置之評估 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -63- 1236859 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（61 ) ① 含水率之測定 與實施例1同法，採取於所得的有機E L顯示裝置之 有機發光媒體（一部分，含有螢光媒體，平坦化層及層間 絕緣膜。以下相同），採用全自動水分吸脫附測定裝置 I G A S 0 R P並測定重量A及重量B。 結果，有機發光媒體之含水率爲〇·0451重量％ ’由而在形成有機發光媒體前在脫水步驟，由螢光媒體， 平坦化層，第一及第二層間絕緣膜等需去除水分一事，可 得知在使有機發光媒體之含水率降低係有效的手段。 且，同樣的測定I Z〇圖案中之含水率，則爲未滿 〇 ·〇〇1重量％。 ② 發光性能之測定 與實施例1同樣的，於所得的有機E L顯示裝置之下 部電極（I ZO圖案，陽極）及對向電極之上部電極（陰 極）之間，施加D C 1 0 V之電壓使發光，採用色彩色差 計C S 1 〇 〇並測定發光亮度時，可得9 0 c d / m 2之値 ，CIE色度座標係可確認可得X=0 · 61，Y = 0 · 3 4之紅色發光。 且以發光面之全面積爲1 0 0%時，像元面積之比率 的開口率爲5 6 %。 ③ 耐久性試驗 與實施例1同樣的，將所得的二組有機E L顯示裝置 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣‘

、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -64- 1236859 A7 B7 五、發明説明（62 ) ，於大氣中室溫（2 5 t )之條件及恒溫中8 0 °C之條件 各自靜置2星期，由發光領域之面積變化評估耐久性。 結果，在大氣中，室溫（2 5 t )之條件下靜置2週 的情形，以靜置後的發光領域之面積爲0 · 9 2，在恒溫 槽8 0 t條件下靜置2週的情形，靜置後的發光領域之面 積爲〇.9 0 。 亦即，藉由使有機發光媒體中的含水率爲指定値 10 · 05重量％)以下的値時，大氣中，室溫（25 °C )之條件係較原本在8 0 t之高溫環境中，經過長期間亦 得知可控制由無發光領域或無發光位置之發生引起的發光 面積之縮小。 〔實施例4〕 (1 )有機E L顯示裝置之製作 除於實施例1 ，在玻璃基板及陽極（下部電極）之間 形成紅色濾色器，組合有機發光媒體材料之D P V B 1及 紅螢烯並予使用，在有機發光媒體之成膜前的脫水步驟’ 使用乾燥氨外，餘以與實施例1同法，製作第8圖所示的 構成之有機E L顯示裝置。 亦即於玻璃基板上旋塗丙烯酸酯系而成的負片型光固 化性材料V 2 5 9 R (新日鐵化學（股）製造）’在溫度 8 0 °C，時間1 5分鐘之條件下乾燥後，介由具有可對應 於發光領域之圖案的光罩，進行以高壓水銀燈爲光源的接 觸曝光至使曝光量或6 0 〇m J /cm2。 -- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T #Ί. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -65- 1236859 A7 B7 五、發明説明（63) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次採用N a 2 C 0 3水溶液（濃度2重量％ )作爲顯 影劑’顯影出未曝光部，再者採用烘箱在溫度2 〇 〇 t之 fi条件下進行後烘烤處理，而得紅色濾色器。 又於實施例1之真空蒸鍍裝置，形成有機發光層之際 ’以下述蒸鍍速度，同時各自蒸鍍D Ρ V B :及紅螢烯。 DPVB i :蒸鍍速度 〇 · 1 〜〇 · 3nm/sec 紅螢烯：蒸鍍速度〇 . 0005〜0 · 0015 nm/sec (2 )有機E L顯示裝置之評估 ①含水率之測定 與實施例1同法，採取於所得的有機E L顯示裝置之 有機發光媒體（一部分，含有濾色器及層間絕緣膜。以下 相同），採用全自動水分吸脫附測定裝置IGA SORP並測定 重量A及重量B。結果，有機發光媒體之含水率爲 〇· 0312重量％。由而在形成有機發光媒體前在脫水 步驟，由濾色器，第一及第二層間絕緣膜等需去除水分一 事，可得知在使有機發光媒體之含水率降低係有效的手段 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ②發光性能之測定 與實施例1同樣的，於所得的有機E L顯示裝置之下 部電極（I T〇圖案，陽極）及對向電極之上部電極（陰 極）之間，施加D C 1 0 V之電壓與發光，採用色彩差計 C S 1 0 0並測定發光亮度時，可得5 0 c d /m 2之値， 66- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 Δ7 Α7 Β7 五、發明説明（64 ) C I Ξ色度座標係可確認可得X — 〇 . 6 5，Y -〇.3 2之紅色發光。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 且以發光面之全面積爲1 0 時’像元面積之比率 的開口率爲5 6 %。 ③耐久性試驗 與實施例1同樣的’將所得的二組有機E L顯示裝置 ，於大氣中室溫（2 5 °C )之條件及恒中8 0 °C之條件各 自靜置2星期，由發光領域之面積變化評估耐久性。 結果，在大氣中，室溫（2 5 °C )之條件下靜置2週 的情形，以靜置後的發光領域之面積爲〇 · 9 3 ’在恒溫 槽8 0 °C條件下靜置2週的情形，靜置後的發光領域之面 積爲0 . 9 2。 亦即，藉由使有機發光媒體中的含水率爲指定値（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 0 · 05重量％)以下的値時。大氣中，室溫（25 °C) 之條件係較原本在8 0 °C之高溫環境中，經過長期間亦得 知可控制由無發光領域或無發光位置之發生引起的發光面 積之縮小。 〔實施例5〕 (1 )有機E L顯示裝置之製作 除於實施例3，在玻璃基板及螢光媒體之間形成紅色 濾色器外，餘與實施例3同法製作第8圖所示的構成之有 機E L顯示裝置。 -67- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 1236859 Α7 Β7 經濟部智慧財產局®工消費合作社印製 五、發明説明（65 ) (2)有機EL顯示裝置之評估 ① 含水率之測定 與實施例1同法，採取於所得的有機E L顯示裝置之 有機發光媒體（一部分，含有螢光媒體、平坦化層、 I Z 0及層間絕緣膜。以下相同），採用全自動水分吸脫 附測定裝置I G A S〇R P並測定重量A及重量B。結 果，有機發光媒體之含水率爲0 . 0 3 8 5重量％，由而 在形成有機發光媒體前在脫水步驟，由濾色器螢光媒體第 一及第二層間絕緣膜等需去除水分一事，可得知在使有機 發光媒體之含水率降低係有效的手段。 且同樣的測定I Z〇圖案中之含水率，則爲未滿 〇·0001重量％之値。 ② 發光性能之測定 與實施例1同樣的，於所得的有機E L顯示裝置之下 部電極（I ZO圖案，陽極）及對向電極之上部電極（陰 極）之間，施加D C 1 0 V之電壓使發光’採用色彩差計 c S 1 〇 〇並測定發光亮度時’可得7 0 c d / m 2之値’ C I E色度座標係可確認可得X=〇 . 6 5 ’ Y = 0 · 3 2之紅色發光。 且以發光面之全面積爲1 0 時’像元面積之比率 的開口率爲5 6 %。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 、1Τ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇 X 297公釐） -68 - 1236859 A7 B7 五、發明説明（66 ) ③耐久性試驗 與實施例1同樣的，將所得的二組有機E L顯示裝置 ，於大氣中室溫（2 5 °C )之條件及恒溫槽中8 0 °C之條 件各自靜置2星期，由發光領域之面積變化評估耐久性。 結果在大氣中，室溫（2 5 °C )之條件下靜置2週的 情形，以靜置後的發光領域之面積爲0 · 9 2，在恒溫槽 8 0 °C下靜置2週的情形，靜置後的發光領域之面積爲 0 · 9 1 ° 亦即，藉由使有機發光媒體中的含水率爲指定値（ 〇· 05重量％ )以下的値時，大氣中，室溫（25 t：) 之條件係較原本在8 0 °C之高溫環境下，經過長期間亦得 知可控制由無發光領域或無發光位置之發生引起的發光面 積之縮小。 〔實施例6〕 (1 )有機E L顯示裝置之製作 除於貫施例2 ’將陽極（下部電極）由I Z 0設成 c r及I τ 0之層合膜，同時將已形成於玻璃基板及陰極 之間的螢光媒體形成於封裝用玻璃基板及陰極之間外，餘 以與實施例2同法，製作第1 〇圖所示構成之有機E L顯 示裝置。 亦即於玻璃基板〇 A 2玻璃（日本電氣玻璃（股）製 造）上’利用職鍍法全面的成膜出膜厚2 〇 〇 nm之C r 膜’再者於其上’利用濺鍍法成膜出膜厚1 3 〇 nm之 ^紙張尺度適用中關家標準（CNSy^^^〇x297公董)~~—-— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1236859 A7 B7 五、發明説明（67 ) I τ〇膜。於此I TO膜上旋塗正片型光阻HPR2 0 4 ，並在溫度8 0 °C，時間1 5分鐘之條件下乾燥。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次介由具有條帶狀圖案（線寬度9 0 // m，間隔寬 度2 0 v m )之光罩，進行以高壓水銀燈爲光源的接觸曝 光至使曝光量成1 0 〇m J/cm2。採用TMAH作爲顯 影液，顯影出曝光部，其次採用烘箱，在溫度1 3 0 °C之 條件下進行後烘烤處理後，採用溴化氫酸水溶液（濃度 4 7重量％ )爲蝕刻劑，蝕刻I T 0膜，再者用硝酸鈽銨 /過氯酸水溶液H C E (長瀨產等（股）製造），蝕刻 C r膜。 其後，採用剝離液N 3 0 3 ，去除正片型光阻’形成 用作陽極（下部電極）之條帶狀的C r / I T〇圖案（線 數9 6 0條），同時形成第一及第二層間絕緣膜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 且除在此階段，設置脫水步驟，在實施例2使用乾燥 氬外，餘以相同條件進行脫水處理。因此再者與3 2同樣 的，於第一及第二層間絕緣膜上，形成正孔植入層，有機 發光媒體、電子植入層及陰極（上部電極），形成有機E L元件。 且，在此各自以蒸鍍速度0·1〜0·3nm/秒、 0 · 005nm/秒、共蒸鍍A1 Q及L i ，再成膜 1 Z 0 20〇nm作爲陰極。 另一方面將以實施例2使用的螢光媒體用組成物（螢 光媒用油墨）旋塗於縱9 5 m m、橫1 2 8 m m、厚度 1 · 1 m m之封裝用玻璃基板（藍色平板玻璃、 -70- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（68 )

Gecnmatech (股）製造）上，在溫度8 〇 T：，時間1 5分 鐘之條件予以乾燥。因此介由已得顯示領域之圖案的光罩 ’照射紫外線（波長3 6 5 n m )至曝光量成1 5 0 0 m J / c m 2，使光固化並作成螢光部，另一方面採用顯影液 (2重量％KOH水溶液）並去除未曝光部。 其次以1 6 0 °C，3 0分鐘之條件進行後烘烤處理， 作爲具有膜厚2 0 //m之螢光媒體的封裝用玻璃基板。且 在此階段’將具有所得的螢光媒體之封裝用玻璃基板收容 於乾燥箱內’除實施例2之採用乾燥氬外，餘以相同條件 進行脫水處理。 其次於乾燥箱內，於有機E L元件之陰極（上部電極 )上’再層合具有螢光媒體之封裝用玻璃基板，同時用光 固化型接著劑密封周圍，而得第1 〇圖所示的構成之有機 E L顯示裝置。 (2)有機EL顯示裝置之評估 ①含水率之測定 與實施例1同法，採取於所得的有機E L顯示裝置之 有機發光媒體（一部分，含有層間絕緣膜以下相同），採 用全自動水分吸脫附測定裝置I G A S〇R P並測定重 量A及重量B。結果，有機發光媒體之含水率爲〇 · 〇 2 1重量％。 由而在形成有機發光媒體前在脫水步驟，由螢光媒體 、第一及第二層間絕緣膜等需去除水分一事，可得知在使 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -71 - 1236859 A7 B7 一- - --------- - — - ___ 五、發明説明（69 ) 有機發光媒體之含水率降低係有效的手段。 ② 發光性能之測定 與實施例1同樣的’於所得的有機E L顯示裝置之下 部電極（C r/I T〇圖案，陽極）及對向電極之上部電 極（陰極）之間，施加DC 1 0V之電壓使發光，採用色 彩色差計S 1 0 0並測定發光亮度時，可得8 0 c d / m 2之値，C I Ε色度座標係可確認得X = 〇 · 6 0 ，Υ=0·34之紅色發光。 且以發光面之全面積爲1 〇 〇%時，像元面積之比率 的開口率爲5 6 %。 ③ 耐久性試驗 與實施例1同樣的，將所得的二組有機E L顯示裝置 ，於大氣中室溫（2 5 °C )之條件及恒溫槽中8 0 °C之條 件各自靜置2星期，由發光領域之面積變化評估耐久性。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印裝 溫領形 室光倩 ， 發的 中的週 氣後2 大置置 在靜靜 果以下 結 ，。C 形 ο 情 8 的槽 週溫 2 恒爲 置在積 靜， 下 3 件 9 條· 之 ο } 爲 P 積 5 面 2 之 C域 面 之 域 領 光 發 的 後 置 靜 〇 値 定 指 爲 率 水 含 的 中 體 媒 光 發 機 有 使 由 藉 即 亦 } 得面 P 亦光 5 間發 2 期的 ί 長起 溫過引 室經生 ，， 發 中下之 氣境置 大環位 ， 溫光 時高發 値之無 的 Ρ 或 下 ο 域 以 8 領 }在光 % 本發 量原無 重較由 5 係制 ο 件控 . 條可 ο 之知 -72- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇Χ297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（70 ) 積之縮小。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〔實施例7〕 (1 )有機E L顯示裝置之製作 除於於封裝用玻璃基板上設置與實施例4相同的紅色 濾色器，取代實施例6之封裝用玻璃基板上的螢光媒體及 與實施例4同法製作有機E L元件外，餘以與實施例6同 法製作第 1 0圖所示的構成之有機E L顯示裝置。 (2 )有機E L顯示裝置之評估 ① 含水率之測定 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 與實施例1同法，採取於所得的有機E L顯示裝置之 有機發光媒體（一部分，含有層間絕緣膜，以下相同）， 採用全自動水分吸脫附測定裝置I G A S〇R P並測定 重量A及重量B。結果，有機發光媒體之含水率爲 0.0153重量％。由而在形成有機發光媒體前在脫水 步驟，由濾色器第一及第二層間絕緣膜等需去除水分一事 ，可得知使有機發光媒體之含水率降氐係有效的手段。 ② 發光性能之測定 與實施例1同樣的，於所得的有機E L顯示裝置之下 部電極（C r/ I TO圖案，陽極）及對向電極之上部電 極（陰極）之間，施加D C 1 〇 V之電壓使發光，採用色 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -73- 1236859 A7 B7 五、發明説明（71 ) 彩色差計c S 1 0 0並測定發光亮度時，可得4〇 c d/m2之値，C I E色度座標係可確認可得X = 〇·65，Υ=0·34之紅色發光。 且以發光面之全面積爲1 0 0%時，像元面積之比率 的開口率爲5 6 %。 ③耐久性試驗 與實施例1同樣的，將所得的二組有機E L顯示裝置 ’於大氣中室溫（2 5 t )之條件及恒溫槽中8 0 t之條 件各自靜置2星期，由發光領域之面積變化評估耐久性。 結果在大氣中，室溫（2 5 °C )之條件下靜置2週的 情形，以靜置後的發光領域之面積爲〇 · 9 3，在恒溫槽 8 0 °C之條件下靜置2週的情形，靜置後的發光領域之面 積爲〇.9 1 。 亦即，藉由使有機發光媒體中的含水率爲指定値（ 0 · 05重量％)以下的値時，大氣中，室溫（25 °C) 之條件的較原本在8 0 °C之高溫環境下，經過長時間亦可 抑制由無發光領域或無發光位置之發生引起的發光面積之 縮小。 〔實施例8〕 (1 )有機E L顯示裝置之製作 ①陽極及層間絕緣膜之形成 與實施例1同法，於玻璃基板〇A 2玻璃上，形成陽 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 • 74- 1236859 A7 五、發明説明（72 隔 極（下部電極），第一層間絕緣膜及第二層間絕緣膜 板）。 ②有機發光媒體之濕式成膜 其次至於濕式成膜，用噴 機E L元件之有機發光媒體。 墨頭使以下的油墨朝第一層間 布後，在氮氣中，150 °C， 水或溶劑濺散，同時使P P V 色之有機發光媒體。 聚對伸苯基亞乙烯（PPV)前驅體 甘油： 二乙二醇： 水： 甲醇： N，N —二甲基甲醯胺： 羅丹明B : 墨法，由以下的油墨形成有 亦即’由噴龜列印用裝置噴 絕緣膜之開Q部噴出予以塗 4小時之條件加熱處理，使 則驅體咼分子量化，作爲紅 : 0.03750 重量 ％ 5.0000 重量 ％ 10.0000 重量 ％ 1.2235 重量 ％ 23.3940 重量 ％ 60.000 重量 ％ 0.0075 重量 ％ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ③電子植入層之形成 其次，將有機發光媒體經予形成的玻璃基板’固定於 真空蒸鍍裝置（日本真空技術（股）製造）內之基板支持 架上。因此，於真空蒸鍍裝置內的鉬製之加熱板上’收納 參（8 - D奎啉醇）鋁（A 1 Q )，以真空度6 6 5 x l〇 7Pa (5x10— 7T〇rr)，蒸鍍速度〇· 1〜 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -75 - 1236859 A7 B7 五、發明説明（73 ) 〇.3 n m / s e c之條件下形成膜厚2 0 n m電子植入 層。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ④ 脫水步驟 其次將③而得的玻璃基板，移動至爲實施脫水步驟而 用的脫水單位。亦即將此玻璃基板收納於乾燥箱內，採用 熱板加熱至6 0 °C，在該狀態下導入乾燥氮，同時使露點 降低至- 5 0 t爲止靜置約2小時，去除有機發光媒體， 第一及第二層間絕緣膜中之水分及玻璃基板表面等所附著 的水分。 ⑤ 陰極之形成 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將④而得的玻璃基板固定於上述蒸鍍裝置內之基板支 持架上。因此將用作對向電極（陰極）材料之A 1 — L i 合金（L 1濃度1 0 a t m % )安裝於鎢製燈絲上。在此 狀態，以真空度6 6 5 X 1〇7 P a ( 5 X 1 〇 7 T 〇 r r )，蒸鍍速度0·5〜l.Onm/sec之條 件，形成條帶狀膜厚1 5 0 n m之陰極（線線2 4 0條） ，作成有機E L元件。 ⑥ 封裝 將所得的有機E L元件收納於已導入乾燥氮之乾燥箱 內，再者以藍色平板玻璃（Geomatech (股）製造）被覆發 光面，同時對周圍部處理光固化型接著劑T B 3 1 0 2 ( -76- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 Α7 Β7 五、發明説明（74 )

Three Bond (股）製造）予以封裝。 如此，作成下部電極及上部電極形成X Y基質而成的 第2圖所示的構成之有機E L顯示裝置。 (2 )有機E L顯示裝置之評估 ① 含水率之測定 與實施例1同法，採取於所得的有機E L顯示裝置之 有機發光媒體，採用全自動水分吸脫附測定裝置I G A S〇RP並測定重量A及重量B。結果，有機發光媒體之 含水率爲〇 · 〇 3 0 1重量％。由而即使以濕式成膜出有 機發光媒體，第一及第二層間絕緣膜，均利用脫水步驟， 可得知能充分去除水分。 ② 發光性能之測定 與實施例1同樣的，於所得的有機E L顯示裝置之下 部電極（I T〇圖案，陽極）及對向電極之上部電極（陰 極）之間，施加D C 1 〇 V之電壓使發光，採用色彩差計 CS 1 〇〇並測定發光亮度時，可得50 c d/m2之値， C I E色度座標係可確認可得X=〇 . 58，Y = 0 · 3 4之紅色發光。 且以發光面之全面積爲1 0 0%時，像元面積之比率 的開口率爲5 6 %。 ③ 耐久性試驗 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 卿· 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 -77- 1236859 A7 B7 五、發明説明（75 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 與實施例1同樣的’將所得的二組有機E L顯示裝置 ，於大氣中室溫（2 5 °C )之條件及恆溫槽中8 0 t之條 件各自靜置2星期，由發光領域之面積變化評估耐久性。 結果在大氣中，室溫（2 5 °c )之條件下靜置2週的 情形，以靜置後的發光領域之面積爲0 · 9 2 ，在恒溫槽 8 0 °C之條件下靜置2週的情形，靜置後的發光領域之面 積爲〇· 9〇。 亦即，即使濕式成膜出有機發光媒體’藉由使含水率 設成指定値（0 · 〇 5重量％ )以下的値’大氣中’室溫 (2 5 °C )之條件係較原本在8 0 °C之高溫環境下’經過 長期間亦得知可控制由無發光領域或無發光位置之發生引 起的發光面積之縮小。 〔實施例9〕 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 除於已設有濾色器、螢光媒體及平坦化層之實施例5 ，將脫水步驟之玻璃基板之加熱溫度由6 0 °C設爲1 2 0 °C外，以相同的條件’製成有機E L顯示元件’並予評估 。所得的結果示於表2。 由結果可予理解，藉由將於脫水步驟之玻璃基板的加 熱溫度設成1 0 〇 °C以上，可得知有機發光媒體之含水率 係可使降低至0·0098重量％及0·01重量％以下 0 又在大氣中，室溫（2 5 °C )之條件下靜置所得的有 機E L顯示裝置2週的情形，與靜置前比較，靜置後的發 -78- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 ____B7_ 五、發明説明（76 ) 光領域之面積成爲0 · 9 5 ，在恒溫槽中8 0 °C條件下靜 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 置2週的情形，則成爲〇 · 9 5。亦即即使設有濾色器、 螢光媒體及平坦化層，藉由將脫水步驟之玻璃基板的加熱 溫度設爲1 0 0°C以上，可將有機發光媒體之含水率設爲 0 · 01重量％以下的値，結果，大氣中室溫（25 °C) 之條件係較原本在8 0 °C之高溫環境下，經過長期間亦得 知可控制由無發光領域或無發光位置之發生引起的發光面 積之縮小。 〔實施例1 0〕 除於已設有濾色器、螢光媒體及平坦化層之實施例5 ，將脫水步驟之玻璃基板之加熱溫度由6 0 °C設爲1 6 0 °C外，以相同的條件，製作有機E L顯示元件，並予評估 ，所得的結果示於表2。 由結果可予理解，藉由將於脫水步驟之玻璃基板的加 熱溫度設成1 5 0 °C以上，可得知有機發光媒體之含水率 係可使顯著的降低至0·0006重量％及0·001重 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 量％以下。 又在大氣中室溫（2 5 °C )之條件下靜置所得的有機 E L顯示裝置2週的情形，與靜置前比較，靜置後的發光 領域之面積成爲0 · 9 8，在恒溫槽中8 0 t條件下靜置 2週的情形，則成爲0 · 9 7。 亦即即使設有濾色器、螢光媒體及平坦化層，藉由將 脫水步驟之玻璃基板的加熱溫度設爲1 5 0 8以上，可將 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 7〇 1236859 A7 B7 五、發明説明（77 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 有機發光媒體之含水率設爲0 · 0 0 1重量％以下的値， 在大氣中室溫（2 5 t )之條件係較原本在8 0 °C之高溫 環境下，經過長期間亦得知可抑制由無發光領域或無發光 位置之發生引起的發光面積之縮小。 〔實施例1 1〕 除於已設有濾色器、螢光媒體及平坦化層之實施例5 ，對脫水步驟（平坦化層），由露點由一 5 0 t設爲 一 1 0 °C外，以相同的條件製成有機E L顯示裝置，並予 評估。所得的結果示於表3。 由結果可予理解，藉由將於脫水步驟之露點設成 - 1 0 °C以下，可得知有機發光媒體之含水率係可使顯著 的降低至0·0495重量％及0.05重量％以下。 又在大氣中室溫（2 5 °C )之條件下靜置所得的有機 E L顯示裝置之情形，與靜置前比較，靜置後的發光領域 之面積成爲0 · 9 0 ，在恒溫槽中8 0 °C條件下靜置2週 的情形，則成爲0 · 8 7。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 亦即即使設有濾色器、螢光媒體及平坦化層，藉由將 脫水步驟之露點設爲- 1 〇 °C以下，可將有機發光媒體之 含水率設爲0 · 0 5重量％以下的値，在大氣中室溫（ 2 5 °C )之條件係較原本在8 0 t之高溫環境下，經過長 時間亦得知可抑制由無發光領域或無發光位置之發生引起 的發光面積之縮小。 -80- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（78 ) 〔實施例1 2〕 除於已設有濾色器、螢光媒體及平坦化層之實施例5 ，對脫水聚合物（平坦化層），露點由仍保持在- 5 0 °C ，未以熱板加熱外，餘以相同條件製成有機E L顯示裝置 並予評估。所得的結果示於表3。 由結果可予理解，藉由將於脫水步驟之露點設成 - 5 0 °C以下，可得知有機發光媒體之含水率係可使降低 至0 · 0450重量％及0 . 05重量％以下。 又在大氣中室溫（2 5 °C )之條件下，靜置所得的有 機E L顯示裝置之情形，與靜置前比較，靜置後的發光領 域之面積成爲0 · 9 1 ，在恒溫槽中8 0 t條件下靜置2 週的情形，則成爲〇 . 8 7。 亦即即使設有濾色器、螢光媒體及平坦化層，藉由將 即使不加熱玻璃基板，將露點設爲- 5 0 t以下，可將有 機發光媒體之含水率設爲0 · 0 5重量％以下的値，在大 氣中室溫（2 5 °C )之條件係較原本在8 0 °C之高溫環境 下，經過長期間亦得知可控制由無發光領域或無發光位置 之發生引起的發光面積之縮小。 〔實施例1 3〕 除於已設有濾色器之實施例4，在脫水步驟（乾燥箱 )，仍保持露點於—5 0 °C的狀態下，導入乾燥氮，同時 於熱板加熱玻璃基板至2 5 0 °C外，餘以相同條件製作有 機E L顯示裝置，並予評估。所得的結果示於表3。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ ' -- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1236859 Α7 Β7 五、發明説明（79 ) 由結果可予理解般，在脫水步驟，導入乾燥氮氣，同 時藉由於熱板上加熱玻璃基板至1 0 0 °c以上，可得知使 有機發光媒體之含水率降低至0 · 0 0 0 6重量％及 〇·001重量％以下。 又在大氣中室溫（2 5 °C )之條件下靜置所得的有機 E L顯示裝置2週的情，與靜置前比較，靜置後的發光領 域之面積成爲0 · 9 9 ，在恒溫槽中8 0 °C條件下靜置2 週的情形則成爲0 · 9 8。 亦即即使設有濾色器，藉由於脫水步驟導入乾燥氮氣 ，在熱板上加熱玻璃基板至1 0 0 °C以上，可將有機發光 媒體之含水率設成0 . 0 0 1重量％以下的値，在大氣中 室溫（2 5 °C )之條件係較原本在8 0 t高溫環境下，經 過長期間亦得知可顯著的抑制由無發光領域或無發光位置 之發生引起的發光面積之縮小。 〔實施例1 4〕 除於已設有濾色器、螢光媒體及平坦化層之實施例5 ，在脫水步驟（乾燥箱）不導入乾燥氮氣，調整露點及利 用熱板之加熱下使真空度設成133xl〇 — 5?a (lx 1 0 T o r r )以外，餘以相同條件製成有機E L顯示裝 置，並予評估。所得的結果示於表3。 由結果可予理解般，在脫水步驟，藉由調整真空度’ 可得知使有機發光媒體之含水率降低至〇 · 〇 2 3 8 m Λ %及0 · 0 5重量％以下的低値。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -82- A7 B7 1236859 五、發明説明（80 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又在大氣中室溫（25 °C )之條件下靜置所得的有機E L 顯不裝置之情形，與靜置前比較，靜置後的發光領域之面 積成爲0 . 9 1 ，在恒溫槽中8 0 °C條件下靜置2週的情 形’則成爲0 · 8 8。 亦即即使設有濾色器、螢光媒體及平坦化層，藉由於 脫水步驟，調整真空度，可將有機發光媒體之含水率設成 〇 · 05重量％以下的値，在大氣中室溫（25 °C)之條 件係較原本在8 0 °C之高溫環境下，經過長期間亦得知可 抑制由無發光領域或無發光位置之發生引起的發光面積之 縮小。 〔實施例1 5〕 除於已設有濾色器、螢光媒體及平坦化層之實施例5 ，在脫水步驟（乾燥箱）不導入乾燥氮氣及調整露點下’ 使真空度設成 133x10— 5Pa (1x10 — 5Torr )以下，餘以相同條件製作有機E L顯示裝置並予評估。 所得的結果示於表3。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 由結果可予理解般在脫水步驟，藉由調整真空度及加 熱溫度，可得知使有機發光媒體之含水率降低至 0 · 00 06重量％及〇 · 00 1重量％以下。 又在大氣中室溫（2 5 °C )之條件下靜置所得的有機 E L顯示裝置之情形’與靜置前比較’靜置後的發光領域 之面積成爲0 · 9 9 ’在恒溫槽中8 0 °C條件下靜置2週 的情形，則成爲〇 · 9 8。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） · g3 _ 1236859 A7 B7 五、發明説明（81 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 亦即即使設有濾色器、螢光媒體及平坦化層’藉由於 脫水步驟，調整真空度，可將有機發光媒體之含水率設成 〇· 001重量％以下的値，在大氣中室溫（25°c)之 條件係較原本在8 0 °C之高溫環境下’經過長期間亦得知 可顯著的抑制間無發光領域或無發光位置之發生引起的發 光面積之縮小。 〔實施例1 6〕 除以已設有濾色器、螢光媒體及平坦化層之實施例5 ’在脫水步驟（乾燥箱）不導入乾燥氮氣’調整露點及利 用熱板之加熱下使真空度設成133x10 — 5Pa (lx 10 5 Τ ο I* r )以外，餘以相同條件製作有機E L顯示 裝置，並予評估。所得的結果示於表3 ° 由結果可予理解般，在脫水步驟，藉由調整真空度， 可得知使有機發光媒體之含水率降低至〇 · 〇 4 8 8重量 %及0 . 0 5重量％以下的低値。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又在大氣中室溫（2 5 t )之條件下靜置所得的有機 E L顯示裝置之情形，與靜置前比較，靜置後的發光領域 之面積成爲〇 · 9 1 ，在恒溫槽中8 0 °C條件下靜置2週 的情形，則成爲0 . 8 5。 亦即即使設有濾色器、螢光媒體及平坦化層’藉由於 脫水步驟，調整真空度，可將有機發光媒體之含水率設成 〇 · 05重量％以下的値，在大氣中室溫（25 °C)之條 件係較原本在8 0 t：之高溫環境下，經過長期間亦得知可 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ _ 1236859 A7 _ __B7_ 五、發明説明（82 ) 抑制由無發光領域或無發光位置之發生引起的發光面積之 縮小。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 〔比較例1〕 除於實施例1在形成有機E L顯示裝置脫水步驟而不 進行脫水處理外，餘以相同的條件製成有機E L顯示裝置 並予評估，所得的結果示於表4。 由結果可予理解般，由於未設脫水步驟，有機發光媒 體之含水率爲0 . 07 1 3重量％，未能使降低至 0 . 0 5重量％以下的値。 又在大氣中室溫（2 5 °C )之條件下靜置所得的有機 E L顯示裝置之情形，與靜置前比較，靜置後的發光領域 之面積成爲0 · 8 0，在恒溫槽中8 0 °C條件下靜置2週 的情形，則成爲0 . 5 5。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 亦即因於形成有機E L元件前設置脫水步驟而不進行 脫水處理，故未能將有機發光媒體之含水率設成0 . 0 5 重量％以下的値，於大氣中室溫（2 5 °C )條件及8 0 °C 之高溫環境下之靜置2週，可得知欲抑制由無發光領域或 無發光位置之發生引起的發光面積之縮小一事係有困難的 〔比較例2〕 除於已設置濾色器、螢光媒體及平坦化層之實施例5 ，在形成有機E L元件前未實施脫水處理外，餘以相同的 -85- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（83 ) 條件有機E L顯示裝置並予評估。所得到的結果示於表4 〇 由結果可予理解般，由於未設有脫水步驟，有機發光 媒體之含水率爲〇 · 3215重量％，未能使降低至 〇 · 0 5重量％以下的値。 又在大氣中室溫（2 5 °C )之條件下靜置所得的有機 E L顯示裝置之情，形靜置前比較，靜置後的發光領域之 面積成爲0 · 3 3 ，在恒溫槽中8 0 °C條件下靜置2週的 情形，則成爲0 · 1 5。 亦即因於形成有機E L元件前設置脫水步驟而不進行 脫水處理，故未能將有機發光媒體之含水率設成0 . 0 5 重量％以下的値，於大氣中室溫（2 5 °C )條件及8 0 °C 之高溫環境下之靜置2週，可得知欲抑制由無發光領域或 無發光位置之發生引起的發光面積之縮小一事係有困難的 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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Hr. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔比較例3〕 除於已設置濾色器、螢光媒體及平坦化層之實施例5 ，在形成有機E L元件前導入乾燥氮氣，在露點〇 °c室溫 ，2小時之條件下少許實施脫水處理外，餘以相同的條件 製成有機E L顯示裝置並予評估，得的結果示於表4。 由結果可予理解般，由於僅少許進行脫水處理，故有 機發光媒體之含水率爲0 · 1 0 0 1重量％，未能使降低 至0 . 0 5重量％以下的値。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） • 86 - 1236859 A7 ___B7_ 五、發明説明（84 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又在大氣中室溫（2 5 °C )之條件下靜置所得的有機 E L顯示裝置之情形，與靜置前比較，靜置後的發光領域 之面積成爲0 . 6 0，在恒溫槽中8 0 °C條件下，靜置2 週的情形，則成爲0 . 3 0。 亦即因於形成有機E L元件前未充分的進行脫水處理 ’故未能將有機發光媒體之含水率設成0 · 0 5重量％以 下的値，於大氣中室溫（2 5 t )條件及8 0 t之高溫環 境下之靜置2週，可得知欲抑制由無發光領域或無發光位 置之發生引起的發光面積之縮小一事係有困難的。 〔比較例4〕 除於設置濾色器之實施例4，在形成有機E L元件前 設置脫水步驟而未進行脫水處理外，餘以相同的條件製作 有機E L顯示裝置並予評估。所得的結果示於表4。 由結果可予理解般，由於未設有脫水步驟，故有機發 光媒體之含水率爲0 . 0 8 2 1重量％，未能使降低至 〇 · 0 5重量％以下的値。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又在大氣中室溫（2 5 °C )之條件下靜置所得的有機 E L顯不裝置之情形，與靜置前比較，靜置後的發光領域 之面積成爲〇 · 7 5，在恒溫槽中8 0 °C條件下，靜置2 週的情形成爲0 . 4 5。 亦即因於形成有機E L元件前設置脫水步驟而未進行 脫水處理，故未能將有機發光媒體之含水率設成〇 . 〇 5 重量％以下的値，於大氣中室溫（2 5 °C )條件及8 0 t 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（85 ) 之高溫環境下之靜置2週，可得知欲抑制由無發光領域或 無發光位置之發生引起的發光面積之縮小一事係有困難的 〇 〔比較例5〕 除以已濕式成膜的實施例8，於形成有機E L元件之 陰極前設置脫水步驟而未進行脫水處理外，餘以相同的條 件製成有機E L顯示裝置並予評估。所得的結果示於表4 〇 由結果可予理解後，由於在形成有機E L元件之陰極 前未設有脫水步驟，故有機發光媒體之含水率爲 0·1234重量％，未能降低至0·05重量％以下的 値。 又在大氣中室溫（2 5 °C )之條件下靜置所得的有機 E L顯示裝置之情形，與靜置前比較靜置後的發光領域之 面積成爲0 . 5 5，在恒溫槽中8 0 t條件下，靜置2週 的情形，則成爲0 . 4 2。 亦即因形成有機E L元件之陰極前設置脫水步驟而未 進行脫水處理，故未能將有機發光媒體之含水率設成 0 · 0 5重量％以下的値，於大氣中室溫（2 5 °C )條件 及8 0 °C之高溫環境之靜置2週，可得知欲抑制由無發光 領域或無發光位置之發生引起的發光面之縮小一事係有困 難的。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -i'u 1Γ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -88 1236859 A7 B7 五、發明説明（86 ) 〔比較例6〕 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 除於實施例6在形成有機E L元件之陰極前設置脫水 步驟而未進行脫水處理外，餘以相同的條件製作有機E L 顯示裝置並予評估。所得的結果示於表5。 由結果可予理解後，由於在形成有機E L元件之陰極 前未設有脫水步驟，故有機發光媒體之含水率爲 〇 · 1230重量％，未能降低至〇 · 〇5重量％以下的 値。 又在大氣中室溫（2 5 t )之條件下靜置所得的有機 E L顯示裝置之情形，與靜置前比較，靜置後的發光領域 之面積成爲0 · 4 0，在恒溫槽中8 0 °C條件下靜置2週 的情形則成爲0 · 2 5。 亦即因形成有機E L元件前設置脫水步驟而未進行脫 水處理，故未能將有機發光媒體之含水率設成0 · 0 5重 量％以下的値，於大氣中室溫（2 5 t )條件及8 0 °C之 高溫環境下之靜置2週，可得知欲抑制由無發光領域或無 發光位置之發生引起的發光面積之縮小一事係有困難的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔比較例7〕 除於實施例1之形成有機E L元件之陰極後，以在 6 0 °C，3 0分鐘進行少許脫水處理外，餘以相同條件製 作有機E L顯示裝置並予評估，所得的結果示於表5。 由結果可予理解般，由於在形成有機E L元件之陰極 前未設有脫水步驟，故有機發光媒體之含水率超過0 · 1 -89- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（87 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 重量％，在大氣中室溫（2 5 t )之條件靜置所得的有機 E L顯示裝置2週的情形，與靜置前比較，靜置後的發光 領域之面積成爲0 · 5 3，在恒溫槽中8 0 °C條件下，靜 置2週的情形，則成爲0 · 4 0。 亦即因形成有機E L元件之陰極前設置脫水步驟而未 進行脫水處理，故未能將有機發光媒體之含水率設成 〇· 0 5重量％以下的値，於大氣中室溫（2 5 °C )條件 及8 0 °C之高溫環境下之靜置2週，可得知欲抑制由無發 光領域或無發光位置之發生引起的發光面積之縮小一事係 有困難的。 〔比較例8〕 除貫施例3之於平坦化層及下部電極之間，雖藉由灘 鍍設置水分阻絕層之S 1〇2層（膜厚2 0 0 // m )者，惟 於形成有機E L元件前設置脫水步驟而未進行脫水處理外 ，餘以相同的條件製成有機E L顯示裝置並予評估。所得 的結果示於表5。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 由結果可予理解般，由於未設有脫水步驟，有機發光 媒體之含水率超過0·1重量％，在大氣中室溫（25r )之條件下靜置所得的有機E L顯示裝置的情形，與靜置 前比較，靜置後的發光領域之面積成爲0 · 4 0 ，在恒溫 槽中8 0 °C條件下，靜置2週的情形，則成爲〇 · 2 0。 亦即因形成有機E L元件前未進行脫水處理，故未能 將有機發光媒體之含水率設成〇 · 〇 5重量％以下的値， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（88 ) 於大氣中室溫（2 5 °C )條件及8 0 °C之高溫環境下之靜 置2週，可得知欲抑制由無發光領域或無發光位置之發生 引起的發光面積之縮小一事係有困難的。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 1236859 A7 B7 五、發明説明（89 ) 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印製 【I嗽〕 實施例5 〇 Μ MTDATA/NPD DPVBi < Al/Li 露點50°C ,他， 60°C加熱 0.0385 〇 un Ο CN m Ο S； O O OO u-； cn 實施例4 壊 壊 〇 Η MTDATA/NPD DPVBi/紅螢烯 Al/Li 露點50°C，N2, 60°C加熱 0.0312 ο cs cn o o s o IT) )0 實施例3 裢 Ο Ν MTDATA/NPD DPVBi Al/Li 露點50°C，N2， 60°C加熱 0.0451 3 ο 芝 o s c； § CZ5 OO 〇〇 ss 實施例2 鹿 堞 〇 Ν 1 MTDATA/NPD DPVBi cr < i Al/Li 露點5(TC，N2， 60°C加熱 0.0306 S ο 艺 o S o § o r- cn OO s 實施例1 壊 壊 壊 〇 Η 1 MTDATA/NPD DPVBi : Al/Li 露點50°C，N2， 60°C加熱 0.0009 〇 m Λ〇 ι ί Ο OO r—H 〇 琴 Sn o Os C<1 a 濾色器 螢光媒體 平坦化層 陽極(下部電極） 正孔注入層 發光層 電子注入層 陰極(上部電極） 封裝用玻璃基板 脫水步驟 ①含水率(重量％) ②發光亮度 |(cd/m2) 丨③DIEx ④Cffiy 熙 ^ 35 si U ©餾 N 熙 ^ a ,M §米 © m OJ 〇 si妮 _来 Θ餾 ϋ | ^ m 〇 sn 〇〇 ®微 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 訂 4. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -92- 1236859 A7 B7 五、發明説明（90 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 【i 實施例10 〇 Μ MTDATA/NPD DPVBi Al/Li r^Tj· 与銳 cJ^ I1 0.0006 〇 Ό Ο C<l cn Ο OO CT\ 〇 ON ο \ο οό VsO κη 實施例9 〇 Μ MTDATA/NPD DPVBi Al/Li ^ & H ?rvVx 〇 ο p w-) Γ ^ Ρ Ιρ i 0.0098 〇 wn \〇 ο cn o 〇\ o ο wn MD \〇 wn ν〇 實施例8 镞 壊 鹿 〇 Η 1 濕式PPV Al/Li >ν2, 6〇r加熱> 0.0301 〇〇 Ο 艺 o rvj 〇\ o s ο 等 ΙΟ 實施例7 鹿 Cr/ITO MTDATA/NPD DPVBi/紅螢烯 IZO/Alq/Li 露點50°C ,Ar, * 60°C加熱 0.0153 〇 Ο OvJ cn 〇 cn ON o ON ο CNl Ρ； 寸 \ό m I 實施例6 壊 壊 Cr/ITO MTDATA/NPD DPVBi IZO/Alq/Li 60°C加熱 0.0210 S C5 O o\ o τ—Η ΟΝ Ο 寸· οο cs 濾色器 螢光媒體 平坦化層 陽極(下部電極） 正孔注入層 發光層 電子注入層 陰極(上部電極） * 1 rai 1 414λ1 脫水步驟Y ——一^ ①含水率(重量％) ②發光亮度 (cd/m2) ③ DIEx ④ CIEy ⑤室溫、2週後之 發光面積比 Η m 熙 ,Μ ^ 0 〇 nU 〇〇 ©鎞 Η 班€ ϋ ι C<1 〇 si ]πκ 侧朱 Θ餾 國1 <>i 〇 〇 NlJ 〇〇 *^K ®鎞 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X&7公舞） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-93- 1236859 A7 B7 五、發明説明（ςη ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 實施例16 〇 Ν MTDATA/NPD DPVBi cr < Al/Li 侧^ 2 S目 Μ X吴训 m τ— 1 i 0.0488 〇 νο Ο On) m CD 〇 un oo o Γ^ cn un σ< 實施例15 〇 Μ MTDATA/NPD DPVBi or < Al/Li 真空度 133 X 10'5Pa, 20Hrs, 160°C加熱 0.0006 〇 un Ο CN m o o oo ON o cn 〇\ oo 實施例14 〇 i MTDATA/NPD DPVBi < Al/Li 创—s Μ X cni m tm i 0.0238 〇 心 ο Ol cn 〇 o oo oo o cn ν〇 VO 3 實施例13 壊 壊 Ο Η MTDATA/NPD DPVBi/紅螢烯 Al/Li i°〇 m ^ 0.0006 〇 m ο ro cn 〇 家 o oo ON o un On On 實施例1 〇 Ν 1 MTDATA/NPD DPVBi < Al/Li in 轤s 0.0450 〇 1/Ί \〇 CD C<1 cn o o oo o r- rn VO CJN s 實施例11 Ο Μ MTDATA/NPD DPVBi cr < Al/Li 露點 10°C ,N2, 60°C加熱 0.0495 〇 un VO ο rsi cn C5 g o oo o s 〇\ g 濾色器 螢光媒體 1 平坦化層 陽極(下部電極） 正孔注入層 發光層 電子注入層 陰極(上部電極） 封裝用玻璃基板 脫水步驟 ①含水率(重量％) ②發光亮度 (cd/m2) ③ DIEx ④ CIEy 鹚 n ^ a ' si® ©餾 ϋ 〇 MJ οο术 © ύ ^ M si椒 侧米 em 觀！ CN 〇 〇 MJ OO本 @餾 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. _ — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -94 1236859 A7 B7 五、發明説明（92 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 【寸術〕 比較例5 鹿 壊 壊 〇 Η 濕式PPV O' < Al/Li 壊 0.1234 〇〇 m un m· o in ri CnI 比較例4 壊 壊 〇 Η MTDATA/NPD DPVBi/紅螢烯 ^cr Al/Li 壊 0.0821 Ο Oi cn o in o o cn oo cn ΙΟ r^· CM 比較例3 〇 MTDATA/NPD DPVBi Al/Li 露點o°c，n2,室溫 0.1001 〇 ΙΟ VO ο cs cn o s o 沄 o g 比較例2 〇 Ν MTDATA/NPD DPVBi Al/Li 鹿 j 0.3215 〇 uo Ο Ovl m O cn m 〇 un 1 i o 1 < cn CNJ on o 比較例1 壤 鹿 壊 〇 Η MTDATA/NPD DPVBi Al/Li 壤 0.0713 〇 ο oo o g O IT) un 〇 r<i 濾色器 螢光媒體 平坦化層 陽極(下部電極） 正孔注入層 發光層 電子注入層 陰極(上部電極） 封裝用玻璃基板 脫水步驟 ①含水率(重量％) ②發光亮度 (cd/m2) ③ DIEx ④ CIEy 鹚 m ^ a si 細朱 ©餾 〇 sp 〇〇本 ©釦 鹚$ n | 〇 si姬 細来 Θ餾 N il! | CNl 〇 〇 <u 〇〇 *^K @餾 衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 噼· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -95- 1236859 A7 B7 五、發明説明（93 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 i 比較例8 摧 IZO MTDATA/NPD DPVBi cr < Al/Li 壊 水分阻隔層 (Sl〇2) >0.1 0.61 0.34 0.40 0.20 cn oo 比較例7 鹿 壊 壊 ITO MTDATA/NPD DPVBi Al/Li 陰極形成後60°C加熱 >0.1 〇 m 0.15 0.18 0.53 0.40 1 1 ι Η 比較例6 壊 壊 ! Cr/ITO MTDATA/NPD DPVBi IZO/Alq/Li 鹿 0.1230 g 0.60 0.34 0.40 0.25 m 濾色器 螢光媒體 平坦化層 陽極(下部電極） 正孔注入層 發光層 電子注入層 陰極(上部電極） 封裝用玻璃基板 脫水步驟 其他 ①含水率(重量％) ②發光亮度 (cd/m2) ③Cffix ④Cffiy ⑤室溫、2週後之發光面積比 ⑥80°C、2週後之發光面積比 ^\ m m 迤 n ύ 細 Θ ⑧80°C、2週後之發光亮度(cd/m2) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -96- 1236859 A7 B7 五、發明説明（94 ) 產業上之可利用忤 以上若依本發明之有機E L顯示裝置時，則即使對像 元予以高精細化’即使對有機發光媒體予以濕式成膜，或 即使不僅在室溫，或容易氧化的高溫環境下靜置時，可提 供經長期間可防止由於無發光領域或無發光位置之發生引 起的發光面積之縮小的有機E L顯示裝置。 因此，本發明之有機E L顯示裝置係可廣泛使用於小 型顯示行動終端裝置（行動電話），車載用顯示裝置，儀 表嵌板裝置，導航器裝置’筆記型個人電腦，牆掛型電視 等民生用顯示機器，或事務自動化顯示裝置，工廠自動化 顯示裝置，量測裝置用監視器等產業用顯示機器。 又若依本發明之有機E L顯示裝置之製造方法時，採 用簡單的裝置可有效率的製得此種有機E L顯示裝置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2i〇x297公釐） -97 -

Claims (1)

1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1236859 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 第90101 8 10號申請專利案 中文申請專利範圍修正本 民國94年4月14日修正 1 · 一種有機電激發光顯示裝置，其係於支持基板上 含有下部電極、有機發光介質與對向電極，其特徵在於使 該有機發光介質之含水率爲0 · 〇 5重量％以下的値。 2 · —種有機電激發光顯示裝置，其係於支持基板上 含有下部電極、層間絕緣膜、有機發光介質與對向電極， 其特徵在於使該層間絕緣膜及有機發光介質之含水率爲 〇.0 5重量％以下的値。 3 · —種有機電激發光顯示裝置，其係於支持基板上 含有濾色器及營光介質或任一種構件、下部電極、層間絕 緣膜、有機發光介質與對向電極，其特徵在於該濾色器及 螢光介質或任一種構件、層間絕緣膜及有機發光介質之含 水率爲0 · 0 5重量％以下的値。 4 · 一種有機電激發光顯示裝置，其係於支持基板上 含有濾色器及螢光介質或任一種構件、平坦化層、下部電 極、層間絕緣膜、有機發光介質與對向電極，其特徵在於 使該濾色器及螢光介質或任一種構件、平坦化層、層間絕 緣膜及有機發光介質之含水率爲〇 · 〇 5重量％以下的値 〇 5 ·如申g靑專利軺圍弟1〜4項中任一項之有機電 激發光威不裝置’其中含水率爲〇 · 〇 〇 〇 1〜 0 · 0 5重量％。 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） " -- -0-裝------訂-----ml線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1236859 A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍 6 ·如申請專利範圍第1〜4項中任一項之有機電 激發光顯示裝置，其係藉由脫水步驟使含水率爲 〇 · 05重量％以下。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 7 ·如申請專利範圍第1〜4項中任一項之有機電 激發光顯示裝置，其係藉由使露點爲- i 〇。(：以下，及 /或真空度爲1 3 · 3 P a以下，進行脫水處理，使含 水率爲〇 · 〇5重量％以下。 8 ·如申請專利範圍第1〜4項中任一項之有機電 激發光顯示裝置，其係藉由使加熱溫度爲1 〇 〇〜 2 5 0 °C，進行脫水處理，使含水率爲〇 · 〇 5重量％ 以下。 9 ·如申請專利範圍第1〜4項中任一項之有機電 激發光顯示裝置，其係藉由使加熱時間1〜6小時，加 熱溫度爲6 0〜3 0 0 °C，進行脫水處理，使含水率爲 〇 · 05重量％以下。 1 0 · —種有機電激發光顯示裝置之製造方法，其係 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 製造於支持基板上設有下部電極、有機發光介質與對向電 極之有機電激發光顯示裝置，其特徵在於藉由在該有機發 光介質形成前及形成後、或其中任一者時，於露點爲 一 10°C以下、及/或真空度爲13 · 3Pa以下，進行 脫水處理，使有機電激發光顯示裝置組合後的有機發光介 質之含水率爲〇 . 〇 5重量％以下的値。 1 1 .如申請專利範圍第1 〇項之有機電激發光顯示 裝置之製造方法，其係使該脫水步驟於加熱至6 0〜 本^尺度適用中國國家標準（〇奶）八4規格（210\297公嫠） ~ ~ ' 1236859 A8 B8 C8 __ D8 六、申請專利範圍 3 0 0 °C下實施。 1 2 ·如申請專利範圍第1 〇項之有機電激發光顯示 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝置之製造方法，其係於導入情性氣體的狀態下，實施該 脫水步驟。 1 3 ·如申請專利範圍第1 1項之有機電激發光顯示 裝置之製造方法，其係於導入惰性氣體的狀態下，實施該 脫水處理。 1 4 · 一種有機電激發光顯示裝置之製造方法，其係 製造於支持基板上設有下部電極、有機發光介質與對向電 極之有機電激發光顯示裝置，其特徵在於藉由在該有機發 光介質形成前及形成後、或任一者之際，於加熱溫度爲 1 0 0〜2 5 0 °C下，進行脫水處理，使有機電激發光顯 示裝置組合後的有機發光介質之含水率爲〇 · 〇 5重量％ 以下的値。 1 5 · —種有機電激發光顯示裝置之製造方法，其係 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 製造於支持基板上設有下部電極、有機發光介質與對向電 極之有機電激發光顯不裝置’其特徵在於藉由在該有機發 光介質形成則及形成後、或其中任一者時，於加熱時間爲 1〜6小時、加熱溫度爲6 0〜3 0 〇 °c下，進行脫水處 理’使有機電激發光顯示裝置組合後的有機發光介質之含 水率爲0 . 0 5重量％以下的値。 1 6 ·如申請專利範圍第1 0項至第1 5項中任一項 之有機電激發光顯示裝置之製造方法，其中係使用含有脫 水單元、成膜單元、與連接此等的單元之運送單元的製造 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） ~ *---- 1236859 ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 裝置，同時含有下述步驟： 於脫水單元中，有機發光介質形成前及形成後，或任 一者之際進行支持基板之脫水處理的步驟， 使用該運送單元所含的運送裝置，移動該支持基板至 該成膜單元之步驟， 於該成膜單元形成有機發光介質之步驟。 1 7 · —種有機電激發光顯示裝置之製造方法，其所 製造之有機電激發光顯示裝置，爲層合於支持基板上設置 下部電極、有機.發光介質及對向電極所得之有機電激發光 元件層，及於封裝用基板上設有濾色器及螢光介質、或任 —種構件所得之封裝.構件而成者，其特徵在露點爲—1 〇 C以下’及/或真空度爲1 3 · 3 P a以下，藉由至少對 該有機發光介質及封裝構件進行脫水處理，以使有機電激 發光藏不置在組合後的有機發光介質之含水率爲 0 · 0 5重量％以下的値。 1 8 ·如申請專利範圍第1 7項之有機電激發光顯示 裝置之製造方法，係使該脫水步驟於加熱至6 〇〜3 〇 〇 °C下實施。 1 9 ·如申請專利範圍第1 7項之有機電激發光顯示 裝置之製造方法，其係於導入惰性氣體的狀態下，實施該 脫水步驟。 2 0 ·如申請專利範圍第1 8項之有機電激發光顯示 裝置之製 '造方法’其係於導入惰性氣體的狀態下，實施該 脫水步驟。 (請先閱讀背面之注意事 •I 項再填· 裝-- :寫本頁) 、1T 線 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS ) A4規格（210χ297公慶） 1236859 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^、申請專利範圍 2 1 . —種有.機電激發光顯示裝置之製造方法，其所 製造之有機電激發光顯示裝置，爲層合於支持基板上設置 下部電極、有機發光介質及對向電極所得之有機電激發光 元件層，及於封裝用基板上設有濾色器及螢光介質、或任 一種構件所得之封裝構件而成者，其特徵在於於加熱溫度 爲1 0 0〜2 5 0 °c下，藉由至少對該有機發光介質及封 裝構件進行脫水處理，以使有機電激發光顯示裝置在組合 後的有機發光介質之含水率爲〇 · 〇 5重量％以下的値。 2 2 · —種有機電激發光顯示裝置之製造方法，其所 製造之有機電激發光顯示裝置，爲層合於支持基板上設置 下部電極、有機發光介質及對向電極所得之有機電激發光 元件層，及於封裝用基板上設有濾色器及螢光介質、或任 一種構件所得之封裝構件而成者，其特徵在於加熱時間爲 1〜6小時、加熱溫度爲6 0〜3 0 0 °C下，藉由至少對 該有機發光介質及封裝構件進行脫水處理，以使有機電激 發光顯示裝置在組合後的有機發光介質之含水率爲 0 · 0 5重量％以下的値。 2 3 · —種有機電激發光顯示裝置之製造方法，其係 製造於支持基板上設有下部電極、有機發光介質與對向電 極之有機電激發光顯示裝置，其特徵在於使該有機發光介 質濕式成膜後，露點爲- 1 〇°C以下，及/或真空度爲 1 3 · 3 P a以下，進行脫水處理，藉此使有機電激發光 顯示裝置組合後的有機發光介質之含水率爲〇 . 〇 5重量 %以下的値。 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事 •I 項再填. 裝-- 寫本頁) 訂 線 1236859 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 2 4 ·如申請專利範圍第2 3項之有機電激發光顯示 裝置之製造方法，係使該脫水步驟於加熱至6 0〜3 0 〇 °C下實施。 2 5 ·如申請專利範圍第2 3項之有機電激發光顯示 裝置之製造方法，其係於導入惰性氣體的狀態下，實施該 脫水處理。 2 6 ·如申請專利範圍第2 4項之有機電激發光顯示 裝置之製造方法，其係於導入惰性氣體的狀態下，實施該 脫水步驟。 2 7 · —種有機電激發光顯示裝置之製造方法，其係 製造於支持基板上設.有下部電極、有機發光介質與對向電 極之有機電激發光顯示裝置，其特徵在於使該有機發光介 質濕式成膜後，於加熱溫度爲1 〇 〇〜2 5 0 °C下，進行 脫水處理，藉此使有機電激發光顯示裝置組合後的有機發 光介質之含水率爲0·05重量％以下的値。 2 8 · —種有機電激發光顯示裝置之製造方法，其係 製造於支持基板上設有下部電極、有機發光介質與對向電 極之有機電激發光顯示裝置’其特徵在於藉由在使該有機 發光介質濕式成膜後，於加熱時間爲1〜6小時、加熱溫 度爲6 0〜3 0 0 °C下，進行脫水處理，藉此使有機電激 發光顯不裝置組合後的有機發光介質之含水率爲〇 . 〇 5 重量％以下的値。 2 9 ·如申請專利範圍第2 3項至第2 8項中任一項 之有機電激發光藏不裝置之製造方法，其中係使用含有脫 本&張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） " —- ·丨裝------訂-----線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1236859 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 水單元、成膜單元、與連接此等的單元之運送單元的製造 裝置，同時含有下述步驟： 使該有機發光介質濕式成膜之步驟， 於脫水單元中，有機發光介質形成後進行支持基板之 脫水處理的步驟， 使用該運送單元所含的運送裝置，移動該支持基板至 該成膜單元之步驟， 於該成膜單元形成對向電極之步驟。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用肀國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）