JP2010278028A - 有機エレクトロルミネッセンス表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持基板上に、下部電極と、層間絶縁膜と、湿式成膜した有機発光媒体と、対向電極とを含む有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記層間絶縁膜および湿式成膜した有機発光媒体の含水率を0.05重量%以下の値とすることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【選択図】図1
Description
このように構成することにより、上下電極間ですぐれた電気絶縁性が得られ、高精細なマトリックス表示が可能となるばかりか、80℃等の高温環境下においても長時間にわたって無発光領域または無発光箇所の発生による発光面積の縮小を抑制することができる。
なお、当該有機EL表示装置の変形例として、対向電極の有機発光媒体と反対面に、カラーフィルタおよび蛍光媒体、あるいはいずれか一方の部材や、平坦化膜、さらには封止用部材等を設けることも好ましい。
このように構成することにより、カラー表示が容易となるばかりか、80℃等の高温環境下においても長時間にわたって無発光領域または無発光箇所の発生による発光面積の縮小を抑制することができる。
このように構成することにより、カラー表示が容易となるばかりか、蛍光媒体等の表面凹凸に起因したショート発生を有効に防止することができ、さらには80℃等の高温環境下においても長時間にわたって無発光領域または無発光箇所の発生による発光面積の縮小を抑制することができる。
このように実施することにより、80℃等の高温環境下においても長時間にわたって無発光領域または無発光箇所の発生を抑制可能な有機EL表示装置を効率的に提供することができる。
このように実施することにより、簡易な設備を用いて、より短時間で脱水処理することが可能となる。
このように実施することにより、簡易な設備を用いて、より短時間で脱水処理することが可能となる。
このように実施することにより、簡易な設備を用いて、より短時間で脱水処理することが可能となる。
このように実施することにより、有機発光媒体または電極を酸化させることなく、より短時間で脱水処理することが可能となる。
脱水ユニットを用いて、有機発光媒体形成前および形成後、あるいはいずれか一方の時に支持基板の脱水処理を行う工程と、
搬送ユニットに含まれる搬送装置を用いて当該支持基板を前記成膜ユニットに移送する工程と、
当該成膜ユニットにより有機発光媒体を形成する工程と、
を含むことが好ましい。
このように実施することにより、有機EL表示装置の組み立て後の、有機発光媒体における含水率を効率的に低下させることができる。
少なくとも前記有機発光媒体および封止部材に対し、脱水工程を設けて脱水処理することにより、有機EL表示装置の組み立て後の有機発光媒体の含水率を0.05重量%以下の値とすることを特徴としている。
このように実施することにより、カラー化が容易であり、しかも封止用基板側に蛍光媒体等を設けた場合であっても、長時間にわたって無発光領域または無発光箇所の発生を抑制可能な有機EL表示装置を効率的に提供することができる。
このように実施することにより、有機発光媒体を湿式成膜したとしても、有機発光媒体や対向電極を酸化劣化させることなく、長時間にわたって無発光領域または無発光箇所の発生を抑制可能な有機EL表示装置を効率的に提供することができる。
有機発光媒体を湿式成膜する工程と、
脱水ユニットを用いて、有機発光媒体形成後の支持基板の脱水処理を行う工程と、
搬送ユニットに含まれる搬送装置を用いて当該支持基板を前記成膜ユニットに移送する工程と、
当該成膜ユニットにより対向電極を形成する工程と、
を含むことが好ましい。
このように実施することにより、有機EL表示装置の組み立て後の、有機発光媒体における含水率を効率的に低下させることができる。
第1の実施形態の有機EL表示装置18は、図3にその断面を示すように、支持基板1と、蛍光媒体9(またはカラーフィルタ11)と、平坦化層10と、層間絶縁膜3と、下部電極2と、有機発光媒体4と、対向電極(上部電極)5と、封止用ガラス基板8とから実質的に構成されている。
(1)−1 構成
有機発光媒体は、電子と正孔とが再結合して、EL発光が可能な有機発光層を含む媒体と定義することができる。かかる有機発光媒体は、例えば、陽極上に、以下の各層を積層して構成することができる。
(i)有機発光層
(ii)正孔注入層/有機発光層
(iii)有機発光層/電子注入層
(iv)正孔注入層/有機発光層/電子注入層
(v)有機半導体層/有機発光層
(vi)有機半導体層/電子障壁層/有機発光層
(vii)正孔注入層/有機発光層/付着改善層
これらの中で、(iv)の構成が、より高い発光輝度が得られ、耐久性にも優れていることから通常好ましく用いられる。
有機発光媒体に使用される有機発光材料の種類としては、特に制限されるものではないが、より優れた発光特性や耐久性を得ることができることから、以下の3つの機能を併せ持つことが好ましい。
(a)電荷の注入機能:電界印加時に陽極あるいは正孔注入層から正孔を注入することができる一方、陰極層あるいは電子注入層から電子を注入することができる機能。
(b)輸送機能:注入された正孔および電子を電界の力で移動させる機能。
(c)発光機能:電子と正孔の再結合の場を提供し、これらを発光につなげる機能。
また、有機発光媒体の膜厚については特に制限はなく、状況に応じて適宜選択することができるが、当該膜厚を5nm〜5μmの範囲内の値とすることが好ましい。
また、第1の実施形態において、無発光領域または無発光箇所の発生を抑制するためには、下記式(1)で定義される有機発光媒体の含水率(W)を0.05重量%以下の値とすることが必要である。
W={(重量A−重量B)/重量B}×100 (1)
重量A:外部から水分が混入しない環境下(例えば、ドライボックス内又はドライガス雰囲気中)で有機EL表示装置から採取された有機発光媒体について、全自動水分吸脱着測定装置(精密天秤付き)により測定される重量(mg)である。
重量B:有機発光媒体を、ドライボックス内又はドライガス雰囲気中で、例えば80℃、30分の条件で加熱脱水処理した後の有機発光媒体について、全自動水分吸脱着測定装置により測定される重量(mg)である。すなわち、水分の脱着により重量減少するが、重量Bはその減少して得られた値を意味する。
図1は、有機発光媒体(一部、他の有機膜を含む場合がある。)の含水率と、無発光領域または無発光箇所の発生による発光領域の変化率との関係を示しており、横軸には、有機発光媒体の含水率(重量%)を採って示してあり、縦軸には、発光領域の変化率(無発光領域または無発光箇所発生後の発光領域の面積/無発光領域または無発光箇所発生前の発光領域の面積(有機EL表示装置作製直後の発光領域の面積))を発光面積比として示してある。
有機発光媒体の形成方法については、特に制限されるものではないが、例えば、真空蒸着法、スピンコート法、ラングミュアーブロジェット法(LB法: Langumuir−Blodgett法)、インクジェット法、ミセル電解法等の一般的に公知の方法を採ることができる。
(2)−1 陽極層
陽極層は、有機EL表示装置の構成に応じて下部電極あるいは対向電極に該当するが、当該陽極層は、仕事関数の大きい(例えば、4.0eV以上)金属、合金、電気電導性化合物またはこれらの混合物を使用することが好ましい。具体的に、インジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、ストロンチウム銅酸化物(SrCu2O2)、酸化スズ(SnO2)、酸化亜鉛(ZnO)、金、白金、パラジウム等の電極材料を単独で使用するか、あるいはこれらの電極材料を2種以上組み合わせて使用することが好ましい。
一方、有機EL表示装置における陰極層についても、有機EL表示装置の構成に応じて下部電極または対向電極に該当するが、仕事関数の小さい(例えば、4.0eV未満)金属、合金、電気電導性化合物またはこれらの混合物あるいは含有物を使用することが好ましい。
有機EL表示装置における支持基板は、機械的強度に優れ、水分や酸素の透過性が少ないものが好ましく、具体的には、ガラス板、金属板、セラミックス板、あるいはプラスチック板(ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等)等を挙げることができる。
(4)−1 機能
本発明の有機EL表示装置における層間絶縁膜(電気絶縁膜)は有機EL素子の周縁または周辺に存在し、有機EL表示装置の高精細化、有機EL素子の下部電極と上部電極との短絡防止、またはTFT(薄膜トランジスタ)にて有機EL表示装置を駆動する場合において、TFTを保護したり、有機EL素子の下部電極を平坦化するため等に用いられる。
層間絶縁膜の構成としては、より具体的には、例えば、図5および図6に示すように、第1の層間絶縁膜15、およびその上に重ねて設けられた第2の層間絶縁膜(隔壁と称する場合がある。)16から構成してあることが好ましい。
第1の層間絶縁膜は、ストライプ状パターンの下部電極上に、例えば、光硬化性樹脂を積層した後、下部電極のパターンに直交するストライプ状パターンとなるように、フォトリソグラフィ法により形成することが好ましい。
第2の層間絶縁膜についても、上述した第1の層間絶縁膜の上から、例えば、光硬化性樹脂を積層した後、フォトリソグラフィ法を用いて、第1の層間絶縁膜上に、隔壁となるように形成することができる。
また、層間絶縁膜の含水率を、有機発光媒体と同様に、0.05重量%以下の値とすることが好ましく、0.03重量%以下の値とすることがより好ましく、0.01重量%以下の値とすることがさらに好ましい。
(5)−1 構成
有機EL表示装置における蛍光媒体は、有機EL素子の発光を吸収して、より長波長の蛍光を発光する機能を有しており、平面的に分離配置された層状物として構成されている。各蛍光媒体は、有機EL素子の発光領域、例えば下部電極と上部電極との交差部分の位置に対応して配置してあることが好ましい。このように構成することにより、下部電極と上部電極との交差部分における有機発光層が発光した場合に、その光を各蛍光媒体が受光して、異なる色(波長)の発光を外部に取り出すことが可能になる。特に、有機EL素子が青色発光するとともに、蛍光媒体によって、緑色、赤色発光に変換または一部透過可能な構成とすると、一つの有機EL素子であっても、青色、緑色、赤色の光の三原色が得られ、フルカラー表示が可能であることから好適である。
蛍光媒体は、例えば、蛍光色素および樹脂、または蛍光色素のみからなり、蛍光色素および樹脂からなる場合には、蛍光色素を、顔料樹脂および/またはバインダー樹脂中に溶解または分散させることにより得ることができる。
一方、バインダー樹脂としては、例えば、可視光の透過率が50%以上の透明材料が好ましい。このような透明材料としては、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリレート、ポリカーボネート、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ヒドロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース等が挙げられる。
また、蛍光媒体の含水率を、有機発光媒体と同様に、0.05重量%以下の値とすることが好ましく、0.03重量%以下の値とすることがより好ましく、0.01重量%以下の値とすることがさらに好ましい。
蛍光媒体が、主に蛍光色素からなる場合は、所望の蛍光媒体のパターンが得られるマスクを介して真空蒸着またはスパッタリング法で成膜することが好ましい。
蛍光媒体の膜厚は、有機EL素子の発光を十分に受光(吸収)するとともに、蛍光の発生機能を妨げるものでなければ、特に制限されるものではないが、例えば、10nm〜1mmの範囲内の値とすることが好ましく、0.5μm〜1mmの範囲内の値とすることがより好ましく、1μm〜100μmの範囲内の値とすることがさらに好ましい。
(6)−1 構成
カラーフィルタは、光を分解またはカットして色調整またはコントラストを向上するために設けられ、色素のみからなる色素層、または色素をバインダー樹脂中に溶解または分散させて構成した層状物として構成される。
赤色(R)色素として、ペリレン系顔料、レーキ顔料、アゾ系顔料、キナクリドン系顔料、アントラキノン系顔料、アントラセン系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料等の一種単独または二種類以上の組み合わせが挙げられる。
カラーフィルタのバインダー樹脂としては、蛍光体層のバインダー樹脂と同様の材料を選ぶことができるため、ここでの詳細な説明は省略する。
また、カラーフィルタの含水率を、有機発光媒体と同様に、0.05重量%以下の値とすることが好ましく、0.03重量%以下の値とすることがより好ましく、0.01重量%以下の値とすることがさらに好ましい。
この理由は、カラーフィルタの含水率が0.05重量%を超えると、含まれる水分が上部電極や有機発光媒体の酸化劣化を促進するため、無発光領域または無発光箇所の発生抑制が困難となる場合があるためである。
(7)−1 種類
平坦化層をポリマーから構成する場合、好ましいポリマーとして、光硬化型樹脂または熱硬化型樹脂が好ましい。具体的に、アクリレート系樹脂、メタクリレート系樹脂、環状オレフィン系樹脂、アクリロニトリル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、塩化ビニル樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、アルキド樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、マレイン酸樹脂、ポリアミド樹脂、シリコーン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレン樹脂,ポリスチレン樹脂,ポリプロピレン樹脂,アニリンホルムアルデヒト樹脂、フッ素系樹脂等を挙げることができる。
平坦化層の膜厚は、表示の精細度,蛍光媒体またはカラーフィルタの凹凸にもよるが、好ましくは10nm〜1mmの範囲内の値とすることが好ましい。この理由は、このように構成することにより、蛍光媒体またはカラーフィルタの凹凸を十分に平坦化できるとともに、高精細表示の視野角依存性を低減することができるためである。
また、平坦化層の含水率を0.05重量%以下の値とすることが好ましく、0.03重量%以下の値とすることが好ましく、0.01重量%以下の値とすることが特に好ましい。
平坦化層は、スピンコート法、キャスト法、スクリーン印刷法等の方法を用いて成膜するか、あるいは、スパッタリング法、蒸着法、化学蒸着法(CVD法)、イオンプレーティング法等の方法で成膜することが好ましい。
有機EL表示装置における封止用部材は、内部への水分侵入を防止するために当該有機EL表示装置の周囲に設けるか、さらには、このように設けた封止用部材と、有機EL表示装置との間に、公知の封止媒体、例えば、乾燥剤、ドライガス、フッ化炭化水素等の不活性液体を封入することが好ましい。また、かかる封止用部材は、蛍光媒体や、カラーフィルタを上部電極の外部に設ける場合の、支持基板としても使用することができる。
本発明の有機EL表示装置は、上述した構成要素を基本的に組み合わせて構成することができるが、それ以外の他の構成要素、例えば正孔注入層や電子注入層とを組み合わせることも好ましい。
(i)支持基板/陽極層/有機発光層/陰極層/封止用部材
(ii)支持基板/陽極層/層間絶縁膜/有機発光層/陰極層/封止用部材
(iii)支持基板/蛍光媒体/陽極層/層間絶縁膜/有機発光層/陰極層/封止用部材
(iv)支持基板/蛍光媒体/平坦化層/陽極層/層間絶縁膜/有機発光層/陰極層/封止用部材
(v)支持基板/カラーフィルタ/陽極層/層間絶縁膜/有機発光層/陰極層/封止用部材
(vi)支持基板/カラーフィルタ/平坦化層/陽極層/層間絶縁膜/有機発光層/陰極層/封止用部材
(vii)支持基板/カラーフィルタ/蛍光媒体/平坦化層/陽極層/層間絶縁膜/有機発光層/陰極層/封止用部材
(viii)支持基板/陽極層/有機発光層/陰極層/蛍光媒体/封止用部材
(ix)支持基板/陽極層/有機発光層/陰極層/カラーフィルタ/封止用部材
第2の実施形態は、図3(または図9)等に示す構成の有機EL表示装置の製造方法に関し、以下に示す第1〜第3の工程を含んでいる。
第1の工程は、有機発光媒体の形成前の工程であり、有機EL表示装置の構成にもよるが、少なくとも下部電極の形成工程を含んだ工程である。その他、第1および第2の層間絶縁膜またはTFT基板の形成工程、蛍光媒体およびカラーフィルタあるいはいずれか一方の形成工程、さらには平坦化膜の形成工程等を含むことも好ましい。
なお、支持基板への下部電極の形成工程、第1および第2の層間絶縁膜またはTFT基板の形成工程、あるいは蛍光媒体、カラーフィルタおよび平坦化膜の形成工程は、それぞれ蒸着法やフォトリソグラフィ法等を組合わせて実施することが好ましい。
第2の工程は、支持基板上のカラーフィルタ、蛍光媒体、第1および第2の層間絶縁膜またはTFT基板上の層間絶縁膜等の有機膜からの水分の脱水工程であり、具体的に以下の脱水処理条件で、単独処理あるいは二つ以上の脱水処理条件を組み合わせて処理することが好ましい。
脱水工程において処理する支持基板等の周囲の露点を−10℃以下の値として、支持基板等を脱水処理するものである。この理由は、かかる露点が−10℃を超えると、脱水効率が著しく低下する場合があるためである。
なお、露点を調整する脱水方法は、第3の実施形態で説明するように、有機発光媒体を湿式成膜した場合に特に有効な方法であるが、第2の実施形態において、真空蒸着等の乾式(ドライ)状態で成膜した場合であっても有効な方法である。
脱水工程の真空度を13.3Pa(0.1Torr)以下の値とすることが好ましい。この理由は、かかる真空度が13.3Pa(0.1Torr)を超えると、脱水効率が著しく低下する場合があるためである。
したがって、脱水工程の真空度を13.3×10−4Pa(1×10−5Torr)以下の値とすることがより好ましく、13.3×10−4Pa〜13.3×10−8Pa(1×10−5Torr〜1×10−9Torr)の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
脱水工程に、ヘリウム、アルゴン、窒素等の不活性ガスを、脱水ユニットに導入し、これらの不活性ガス中で脱水することが好ましく、製造コストが安価となることから、窒素を用いることがより好ましい。
このような不活性ガスを使用することによって、有機発光媒体を含む有機層や、陰極等が反応して酸化するのを抑制しながら、脱水処理を施すことができることから好ましい。
脱水工程の加熱温度を60〜300℃の範囲内の値とすることが好ましい。この理由は、加熱温度が60℃未満となると、脱水効率が著しく低下する場合があるためであり、一方、加熱温度が300℃を超えると、有機発光媒体または蛍光媒体等の有機膜に対して熱損傷を与える場合があるためである。
したがって、脱水工程の加熱温度を100〜250℃の範囲内の値とすることがより好ましい。
上記二つ以上の脱水処理条件を組み合わせて処理することも、脱水時間をさらに短縮できることからより好ましい。
例えば、有機発光媒体を乾燥状態で成膜する場合、有機発光媒体の形成前に、露点−50℃、乾燥窒素使用、および支持基板等の加熱温度60℃の条件で、30分〜3時間の脱水処理により、支持基板等の水分を十分除去することができ、組み立て後の有機発光媒体の含水率を0.05重量%以下の値に容易に調整することができる。
第3の工程は、有機発光媒体の形成工程や上部電極の形成工程、あるいは封止工程等である。
有機EL表示装置の製造装置は、信頼性に優れた有機EL表示装置を簡易かつ効率的に製造するために、有機発光媒体の含水率を所定以下の値にする脱水設備(脱水ユニット)を有することが好ましい。
W={(重量C−重量D)/(重量D−重量E)}×100 (2)
第3の実施形態は、有機EL表示装置の製造方法に関する別の実施形態であり、以下に示す第1’〜第3’の工程を含んでいる。
第1’の工程は、有機発光媒体を形成するまでの工程であり、蛍光媒体、カラーフィルタ、平坦化膜、下部電極、第1および第2の層間絶縁膜またはTFT基板(層間絶縁膜を含む)の形成工程、並びに有機発光媒体の形成工程等が含まれる。
第2’の工程は、湿式成膜した有機発光媒体の脱水工程であり、当該脱水工程の処理条件については、第2の実施形態と実質的に同様の内容とすることができる。
第3’の工程は、有機発光媒体の形成以降の工程である。第2の実施形態と同様に、上部電極の形成工程、あるいは封止工程等を設けることが好ましい。
(1)有機EL素子の作製
(i)陽極(下部電極)の形成
縦112mm、横143mm、厚さ1.1mmのガラス基板(OA2ガラス、日本電気硝子(株)製)上に、膜厚130nmのITO膜をスパッタリング法により全面的に成膜した。このITO膜上に、ポジ型レジストHPR204(富士ハントエレクトロニクステクノロジー(株)製)をスピンコートし、温度80℃、時間15分の条件で乾燥した。
次いで、ITOパターン上に、アクリル酸系のネガ型レジストV259PA(新日鉄化学(株)製)をスピンコートし、温度80℃、時間15分の条件で乾燥した後、ITOが70μm×290μmの長方形状に露出するようなフォトマスクを介して、高圧水銀灯を光源としたコンタクト露光を行った(露光量:300mJ/cm2)。
次いで、第1の層間絶縁膜の上から、ノボラック樹脂系のネガ型レジストZPN1100(日本ゼオン(株)製)をスピンコートした。温度80℃、時間15分の条件で乾燥した後、下部電極であるITOパターンに対して直交するストライプ状パターン(ライン幅20μm,ギャップ幅310μm)が得られるフォトマスクを介して、高圧水銀灯を光源としたコンタクト露光を行い(露光量:70mJ/cm2)、次に温度90℃、時間15分でベークした。
次いで、ITOパターン等が形成されたガラス基板(以下、単にガラス基板と称する場合がある。)に対して、イソプロピルアルコール洗浄および紫外線洗浄を施した後、このガラス基板を、脱水工程を実施するための脱水ユニットに移動した。すなわち、ガラス基板を、不活性ガス(ヘリウム、アルゴン、窒素等)循環部と、露点制御部と、加熱装置部(ホットプレート)とを具備したドライボックス内に収容した。
ホットプレートの加熱を停止し、ガラス基板の温度が室温まで低下した後、大気にさらすことなく露点を維持して真空蒸着装置(日本真空技術(株)製)内の基板ホルダーに固定した。
有機発光材料:4,4’−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)
電子注入材料:トリス(8−キノリノール)アルミニウム(Alq)
MTDATA:蒸着速度0.1〜0.3nm/sec.,膜厚60nm
NPD :蒸着速度0.1〜0.3nm/sec.,膜厚20nm
DPVBi :蒸着速度0.1〜0.3nm/sec.,膜厚50nm
Alq :蒸着速度0.1〜0.3nm/sec.,膜厚20nm
Al−Li :蒸着速度0.5〜1.0nm/sec.,膜厚150nm
次いで、乾燥窒素を導入した封止ユニット内で、封止用ガラス基板(青板ガラス、ジオマテック(株)製)を陰極側に積層して、その周囲を光硬化型接着剤TB3102(スリーボンド(株)製)により封止して、図2に示す発光性能測定用の有機EL表示装置とした。
(i)含水率の測定
得られた有機EL表示装置を、乾燥窒素を連続的に導入した状態のドライボックス内で分解し、スパチュラを用いて有機発光媒体(一部、層間絶縁膜を含む。以下、同様である。)を採取するとともに、当該ドライボックス内に設けた全自動水分吸脱着測定装置IGA SORP(英国Hiden社製)を用いて重量を測定した。その結果、採取した有機発光媒体の重量Aは、43.9194mgであった。
得られた有機EL表示装置の下部電極(ITOパターン,陽極)と、対向電極である上部電極(陰極)との間に、DC10Vの電圧を印加して、各電極の交差部分である各画素(約23万画素)を発光させた。そして、色彩色差計CS100(ミノルタ(株)製)を用いて発光輝度を測定したところ、300cd/m2という値が得られた。なお、発光面の全面積を100%としたときの、画素面積の割合である開口率は56%であった。
また、同様条件で有機EL装置の各画素を発光させてCIE色度を測定したところ、CIE色度座標において、CIEx=0.15,CIEy=0.18である青色発光が得られることを確認した。
得られた2組の有機EL表示装置を、大気中、室温(25℃)の条件と、恒温槽中、80℃条件とに、それぞれ2週間放置した。その後、上述した電圧条件で有機EL表示装置の各画素を発光させて、無発光領域または無発光箇所の発生が生じておらず、適切に発光している領域(以下、発光領域)の面積を測定し、放置前の発光領域の面積との比較から耐久性を評価した。また、2週間放置後の2組の有機EL表示装置の発光輝度についても同様に評価した。
(1)有機EL素子の作製
(i)蛍光媒体の作製
光硬化性樹脂として、アクリル系光硬化型レジスト V259PA(新日鉄化学社製、固形分:50重量%、溶媒:プロピレングリコールメチルエーテルアセテート)100gと、有機蛍光体として、クマリン6 0.53g、ベーシックバイオレット11 1.5g、およびローダミン6G 1.5gと、顔料樹脂として、ベンゾグアナミン樹脂25gとを、ボールミルを用いて均一に混合し、蛍光媒体用組成物(蛍光媒体用インキ)とした。
(i)で得られた蛍光媒体が形成されたガラス基板上に、膜厚200nmのIZO(インジウム亜鉛酸化物)膜をスパッタリング法により全面的に成膜した。このIZO膜を実施例1と同様の条件でパターン化して、陽極(下部電極)とするとともに、次いで、第1および第2の層間絶縁膜を形成後、実施例1と同一の条件で脱水を行うことにより正孔注入層と、発光層と、電子注入層と、陰極とからなる有機EL素子を形成し、さらに封止用ガラス基板(青板ガラス、ジオマテック(株)製)を陰極側に積層して、その周囲を光硬化型接着剤TB3102により封止して、図8に示す構成の有機EL表示装置を作製した。
(i)含水率の測定
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置における有機発光媒体(一部、層間絶縁膜および蛍光媒体を含む。以下、同様である。)を採取して、全自動水分吸脱着測定装置IGA SORPを用いて重量を測定した。その結果、採取した有機発光媒体の重量Aは、201.3977mgであり、重量Bは、201.3360mgであった。
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置の下部電極(IZOパターン,陽極)と、対向電極である上部電極(陰極)との間に、DC10Vの電圧を印加して発光させ、色彩色差計CS100を用いて発光輝度を測定したところ、90cd/m2という値が得られ、CIE色度座標は、X=0.61,Y=0.34である赤色発光が得られることを確認した。
実施例1と同様に、得られた2組の有機EL表示装置を、大気中、室温(25℃)の条件と、恒温槽中、80℃条件とに、それぞれ2週間放置し、発光領
その結果、大気中、室温(25℃)の条件で、2週間放置した場合には、放置後の発光領域の面積は、0.93であり、恒温槽中、80℃条件で、2週間放置した場合には、放置後の発光領域の面積は、0.90であった。
(1)有機EL表示装置の作製
実施例2において蛍光媒体と、陽極(下部電極)との間に、平坦化層を形成したほかは、実施例2と同様にして、図9に示す構成の有機EL表示装置を作製した。
(i)含水率の測定
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置における有機発光媒体(一部、蛍光媒体、平坦化層、および層間絶縁膜を含む。以下、同様である。)を採取して、全自動水分吸脱着測定装置IGA SORPを用いて重量Aおよび重量Bを測定した。
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置の下部電極(IZOパターン,陽極)と、対向電極である上部電極(陰極)との間に、DC10Vの電圧を印加して発光させ、色彩色差計CS100を用いて発光輝度を測定したところ、90cd/m2という値が得られ、CIE色度座標は、X=0.61,Y=0.34である赤色発光が得られることを確認した。
実施例1と同様に、得られた2組の有機EL表示装置を、大気中、室温(25℃)の条件と、恒温槽中、80℃条件とに、それぞれ2週間放置し、発光領域の面積変化から耐久性を評価した。
(1)有機EL表示装置の作製
実施例1においてガラス基板と、陽極(下部電極)との間に、赤色カラーフィルタを形成し、有機発光媒体材料として、DPVBiとルブレンとを組み合わせて使用し、有機発光媒体の成膜前の脱水工程において、乾燥ヘリウムを用いたこと以外は、実施例1と同様にして、図8に示す構成の有機EL表示装置を作製した。
また、実施例1の真空蒸着装置において、有機発光層を形成する際に、下記蒸着速度で、それぞれDPVBiと、ルブレンとを同時蒸着した。
DPVBi :蒸着速度0.1〜0.3nm/sec.
ルブレン :蒸着速度0.0005〜0.0015nm/sec.
(i)含水率の測定
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置における有機発光媒体(一部、カラーフィルタ、および層間絶縁膜を含む。以下、同様である。)を採取して、全自動水分吸脱着測定装置IGA SORPを用いて重量Aおよび重量Bを測定した。その結果、有機発光媒体の含水率は0.0312重量%であった。よって、有機発光媒体を形成する前に脱水工程において、カラーフィルタ、第1および第2の層間絶縁膜等から水分除去することは、有機発光媒体の含水率を低下させるのに有効な手段であることが判明した。
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置の下部電極(ITOパターン,陽極)と、対向電極である上部電極(陰極)との間に、DC10Vの電圧を印加して発光させ、色彩色差計CS100を用いて発光輝度を測定したところ、50cd/m2という値が得られ、CIE色度座標は、X=0.65,Y=0.32である赤色発光が得られることを確認した。
実施例1と同様に、得られた2組の有機EL表示装置を、大気中、室温(25℃)の条件と、恒温槽中、80℃条件とに、それぞれ2週間放置し、発光領域の面積変化から耐久性を評価した。
(1)有機EL表示装置の作製
実施例3において、ガラス基板と、蛍光媒体との間に、赤色カラーフィルタをさらに形成したほかは、実施例3と同様にして、図8に示す構成の有機EL表示装置を作製した。
(i)含水率の測定
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置における有機発光媒体(一部、カラーフィルタ、蛍光媒体、平坦化層、IZOおよび層間絶縁膜を含む。以下、同様である。)を採取して、全自動水分吸脱着測定装置IGA SORPを用いて重量Aおよび重量Bを測定した。その結果、有機発光媒体の含水率は0.0385重量%であった。よって、有機発光媒体を形成する前に脱水工程において、カラーフィルタ、蛍光媒体、第1および第2の層間絶縁膜等から水分除去することは、有機発光媒体の含水率を低下させるのに有効な手段であることが判明した。
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置の下部電極(IZOパターン,陽極)と、対向電極である上部電極(陰極)との間に、DC10Vの電圧を印加して発光させ、色彩色差計CS100を用いて発光輝度を測定したところ、70cd/m2という値が得られ、CIE色度座標は、X=0.65,Y=0.32である赤色発光が得られることを確認した。
実施例1と同様に、得られた2組の有機EL表示装置を、大気中、室温(25℃)の条件と、恒温槽中、80℃条件とに、それぞれ2週間放置し、発光領域の面積変化から耐久性を評価した。
(1)有機EL表示装置の作製
実施例2において、陽極(下部電極)をIZOから、CrとITOとの積層膜とするとともに、ガラス基板と陰極との間に形成した蛍光媒体を、封止用ガラス基板と陰極との間に形成したほかは、実施例2と同様にして、図10に示す有機EL表示装置を作製した。
(i)含水率の測定
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置における有機発光媒体(一部、層間絶縁膜を含む。以下、同様である。)を採取して、全自動水分吸脱着測定装置IGA SORPを用いて重量Aおよび重量Bを測定した。その結果、有機発光媒体の含水率は0.0210重量%であった。
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置の下部電極(Cr/ITOパターン,陽極)と、対向電極である上部電極(陰極)との間に、DC10Vの電圧を印加して発光させ、色彩色差計CS100を用いて発光輝度を測定したところ、80cd/m2という値が得られ、CIE色度座標は、X=0.60,Y=0.34である赤色発光が得られることを確認した。
実施例1と同様に、得られた2組の有機EL表示装置を、大気中、室温(25℃)の条件と、恒温槽中、80℃条件とに、それぞれ2週間放置し、発光領域の面積変化から耐久性を評価した。
(1)有機EL表示装置の作製
実施例6において、封止用ガラス基板上の蛍光媒体の代りに、実施例4と同様の赤色カラーフィルタを封止用ガラス基板上に設けたこと、および有機EL素子の作製を実施例4と同一にしたこと以外は、実施例6と同様にして、図10に示す構成の有機EL表示装置を作製した。
(i)含水率の測定
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置における有機発光媒体(一部、層間絶縁膜を含む。以下、同様である。)を採取して、全自動水分吸脱着測定装置IGA SORPを用いて重量Aおよび重量Bを測定した。その結果、有機発光媒体の含水率は0.0153重量%であった。よって、有機発光媒体を形成する前に脱水工程において、カラーフィルタ、第1および第2の層間絶縁膜等から水分除去することは、有機発光媒体の含水率を低下させるのに有効な手段であることが判明した。
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置の下部電極(Cr/ITOパターン,陽極)と、対向電極である上部電極(陰極)との間に、DC10Vの電圧を印加して発光させ、色彩色差計CS100を用いて発光輝度を測定したところ、40cd/m2という値が得られ、CIE色度座標は、X=0.65,Y=0.34である赤色発光が得られることを確認した。
実施例1と同様に、得られた2組の有機EL表示装置を、大気中、室温(25℃)の条件と、恒温槽中、80℃条件とに、それぞれ2週間放置し、発光領域の面積変化から耐久性を評価した。
(1)有機EL表示装置の作製
(i)陽極および層間絶縁膜の形成
実施例1と同様に、ガラス基板OA2ガラス上に、陽極(下部電極)、第1の層間絶縁膜および第2の層間絶縁膜(隔壁)を形成した。
次いで、湿式成膜として、インクジェット法にて、以下のインキから有機EL素子の有機発光媒体を形成した。すなわち、以下のインキをインクジェットプリント用装置のヘッドから、第1の層間絶縁膜の開口部に向けて噴出させて塗布した後、窒素中、150℃、4時間の条件で加熱処理し、水や溶剤を飛散させるとともに、PPV前駆体を高分子量化させて、赤色の有機発光媒体とした。
ポリp−フェニレンビニレン(PPV)前駆体: 0.3750重量%
グリセリン : 5.0000重量%
ジエチレングリコール :10.0000重量%
水 : 1.2235重量%
メタノール :23.3940重量%
N,N−ジメチルホルムアミド :60.0000重量%
ローダミンB : 0.0075重量%
次いで、有機発光媒体が形成されたガラス基板を、真空蒸着装置(日本真空技術(株)製)内の基板ホルダーに固定した。そして、真空蒸着装置内のモリブテン製の加熱ボードに、トリス(8−キノリノール)アルミニウム(Alq)を収容し、真空度665×10−7Pa(5×10−7Torr)、蒸着速度0.1〜0.3nm/sec.の条件で膜厚20nmの電子注入層を形成した。
次いで、(iii)で得られたガラス基板を、脱水工程を実施するための脱水ユニットに移動した。すなわち、このガラス基板をドライボックス内に収容し、ホットプレートを用いて60℃に加熱し、その状態で乾燥窒素を導入しながら、露点を−50℃まで低下させて、約2時間放置し、有機発光媒体、第1および第2の層間絶縁膜中の水分並びにガラス基板表面等に付着している水分を除去した。
(iv)で得られたガラス基板を、上記蒸着装置内の基板ホルダーに固定した。そして、対向電極(陰極)材料としてのAl−Li合金(Li濃度10atm%)をタングステン製フィラメントに装着した。この状態で、真空度665×10−7Pa(5×10−7Torr)、蒸着速度0.5〜1.0nm/sec.の条件で、ストライプ状の膜厚150nmの陰極(ライン数240本)を形成して、有機EL素子とした。
得られた有機EL素子を、乾燥窒素を導入したドライボックス内に収容し、さらに青板ガラス(ジオマテック(株)製)で発光面を被覆するとともに、周辺部に対して光硬化型接着剤TB3102(スリ−ボンド(株)製)を処理して封止した。
(i)含水率の測定
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置における有機発光媒体を採取して、全自動水分吸脱着測定装置IGA SORPを用いて重量Aおよび重量Bを測定した。その結果、有機発光媒体の含水率は0.0301重量%であった。よって、有機発光媒体を湿式成膜したとしても、第1および第2の層間絶縁膜等とともに、脱水工程により、十分水分除去可能であることが判明した。
実施例1と同様に、得られた有機EL表示装置の下部電極(ITOパターン,陽極)と、対向電極である上部電極(陰極)との間に、DC10Vの電圧を印加して発光させ、色彩色差計CS100を用いて発光輝度を測定したところ、50cd/m2という値が得られ、CIE色度座標は、X=0.58,Y=0.34である赤色発光が得られることを確認した。
実施例1と同様に、得られた2組の有機EL表示装置を、大気中、室温(25℃)の条件と、恒温槽中、80℃条件とに、それぞれ2週間放置し、発光領域の面積変化から耐久性を評価した。
カラーフィルタ、蛍光媒体および平坦化層を設けた実施例5において、脱水工程におけるガラス基板の加熱温度を、60℃から120℃とした以外は、同一の条件で、有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表2に示す。
カラーフィルタ、蛍光媒体および平坦化層を設けた実施例5において、脱水工程におけるガラス基板の加熱温度を、60℃から160℃とした以外は、同一の条件で、有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表2に示す。
カラーフィルタ、蛍光媒体および平坦化層を設けた実施例5において、脱水工程(ドライボックス)において、露点を−50℃から−10℃とした以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表3に示す。
カラーフィルタ、蛍光媒体および平坦化層を設けた実施例5において、脱水工程(ドライボックス)において、露点を−50℃にしたまま、ホットプレートで加熱しなかった以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表3に示す。
カラーフィルタを設けた実施例4において、脱水工程(ドライボックス)において、露点を−50℃にしたまま、乾燥窒素を導入しながら、ホットプレートでガラス基板を250℃に加熱した以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表3に示す。
カラーフィルタ、蛍光媒体および平坦化層を設けた実施例5において、脱水工程(ドライボックス)において、乾燥窒素の導入、露点の調整およびホットプレートによる加熱をせずに、真空度を133×10−5Pa(1×10−5Torr)とした以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表3に示す。
カラーフィルタ、蛍光媒体および平坦化層を設けた実施例5において、脱水工程(ドライボックス)において、乾燥窒素の導入および露点の調整をせずに、真空度を133×10−5Pa(1×10−5Torr)とするとともに、ホットプレートによりガラス基板を160℃に加熱した以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表3に示す。
カラーフィルタ、蛍光媒体および平坦化層を設けた実施例5において、脱水工程(ドライボックス)において、乾燥窒素の導入、露点の調整およびホットプレートによる加熱をせずに、真空度を133×10−1Pa(1×10−1Torr)とした以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表3に示す。
実施例1において、有機EL素子の形成前に脱水工程を設けて脱水処理をしなかった以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表4に示す。
カラーフィルタ、蛍光媒体および平坦化層を設けた実施例5において、有機EL素子の形成前に脱水処理を実施しなかった以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表4に示す。
カラーフィルタ、蛍光媒体および平坦化層を設けた実施例5において、有機EL素子の形成前に、乾燥窒素を導入し、露点0℃、室温、2時間の条件で、わずかに脱水処理を実施した以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表4に示す。
カラーフィルタを設けた実施例4において、有機EL素子の形成前に脱水工程を設けて脱水処理をしなかった以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表4に示す。
湿式成膜した実施例8において、有機EL素子の陰極形成前に脱水工程を設けて脱水処理をしなかった以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表4に示す。
実施例6において、有機EL素子の陰極形成前に脱水工程を設けて脱水処理をしなかった以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表5に示す。
実施例1において、有機EL素子の陰極形成後に、60℃、30分の条件でわずかに脱水処理をした以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表5に示す。
実施例3において、平坦化層と下部電極との間に、水分バリア層としてのSiO2層(膜厚200μm)をスパッタリングにより設けたものの、有機EL素子形成前に脱水工程を設けて脱水処理をしなかった以外は、同一の条件で有機EL表示装置を作製して、評価した。得られた結果を表5に示す。
2 下部電極
3 層間絶縁膜
4 発光媒体
5 対向電極(上部電極)
8 封止用ガラス基板
9 蛍光媒体
10 平坦化層
11 カラーフィルタ
12 無発光領域
13 発光領域
14 画素
15 第1の層間絶縁膜
16 第2の層間絶縁膜(隔壁)
17 水分
18 有機EL表示装置
20 製造装置
21 脱水ユニット
22 成膜ユニット(真空蒸着装置)
23 封止ユニット
24 搬送ユニット
25 搬送装置
26 仕切り弁
30 露点計
32 ハウジング
33 基板ステージ
34 ホットプレートあるいは冷却装置
35 ドライガス循環装置、不活性ガス導入口
36 ドライガス循環装置、不活性ガス排出口
38 真空装置、真空ポンプ
39 真空度計
51 全自動水分吸脱着測定装置
52 オイルバス
53 天秤
54 温度センサー
55 湿度センサー
56 ドライボックス
57 加熱装置
58 注入口
61 循環路
62 天秤室
63 精密天秤
64 比較試料室
65 制御室
66 湿潤ガス循環装置
67 ドライガス循環装置
68 ガス貯蔵部
A 循環部
B 水分測定部
Claims (7)
- 支持基板上に、下部電極と、層間絶縁膜と、湿式成膜した有機発光媒体と、対向電極とを含む有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記層間絶縁膜および湿式成膜した有機発光媒体の含水率を0.05重量%以下の値とすることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 - さらに、支持基板上にカラーフィルタおよび蛍光媒体、あるいはいずれか一方の部材を含み、
前記カラーフィルタおよび蛍光媒体、あるいはいずれか一方の部材、層間絶縁膜および湿式成膜した有機発光媒体の含水率を0.05重量%以下の値とすることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 - さらに、支持基板上に平坦化層を含み、
前記カラーフィルタおよび蛍光媒体、あるいはいずれか一方の部材、平坦化層、層間絶縁膜および湿式成膜した有機発光媒体の含水率を0.05重量%以下の値とすることを特徴とする請求項1または2に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 - 支持基板上に、下部電極と、TFT(薄膜トランジスタ)と、層間絶縁膜と、有機発光媒体と、対向電極とを含む有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記層間絶縁膜および有機発光媒体の含水率を0.05重量%以下の値とすることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 - 前記層間絶縁膜により前記TFTが保護または平坦化されていることを特徴とする請求項4に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
- さらに、支持基板上にカラーフィルタおよび蛍光媒体、あるいはいずれか一方の部材を含み、
前記TFT、カラーフィルタおよび蛍光媒体、あるいはいずれか一方の部材、層間絶縁膜および有機発光媒体の含水率を0.05重量%以下の値とすることを特徴とする請求項4または5に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。 - さらに、支持基板上に平坦化層を含み、
前記TFT、カラーフィルタおよび蛍光媒体、あるいはいずれか一方の部材、平坦化層、層間絶縁膜および有機発光媒体の含水率を0.05重量%以下の値とすることを特徴とする請求項4〜6のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
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---|---|
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---|---|---|---|
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Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001557343A Expired - Lifetime JP4603754B2 (ja) | 2000-01-31 | 2001-01-26 | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置およびその製造方法 |
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---|---|
US (1) | US6633121B2 (ja) |
EP (2) | EP1870948A3 (ja) |
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KR (1) | KR100719641B1 (ja) |
CN (3) | CN1225150C (ja) |
TW (1) | TWI236859B (ja) |
WO (1) | WO2001058221A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014511019A (ja) * | 2011-04-11 | 2014-05-01 | コミッサリア ア レネルジ アトミック エ オー エネルジ アルターネイティブス | 有機光電子デバイス及びその封止法 |
Families Citing this family (97)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW490714B (en) * | 1999-12-27 | 2002-06-11 | Semiconductor Energy Lab | Film formation apparatus and method for forming a film |
US6633121B2 (en) * | 2000-01-31 | 2003-10-14 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Organic electroluminescence display device and method of manufacturing same |
JP4747427B2 (ja) * | 2000-03-16 | 2011-08-17 | 住友化学株式会社 | 高分子蛍光体およびそれを用いた高分子発光素子 |
EP1199909A4 (en) * | 2000-03-22 | 2007-04-18 | Idemitsu Kosan Co | METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE DISPLAY |
US20020011205A1 (en) | 2000-05-02 | 2002-01-31 | Shunpei Yamazaki | Film-forming apparatus, method of cleaning the same, and method of manufacturing a light-emitting device |
US7517551B2 (en) * | 2000-05-12 | 2009-04-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing a light-emitting device |
CN101393967A (zh) * | 2000-08-23 | 2009-03-25 | 出光兴产株式会社 | 有机场致发光显示装置 |
US6720198B2 (en) * | 2001-02-19 | 2004-04-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device and manufacturing method thereof |
US7301279B2 (en) * | 2001-03-19 | 2007-11-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting apparatus and method of manufacturing the same |
JP4801278B2 (ja) | 2001-04-23 | 2011-10-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置及びその作製方法 |
JP2002329576A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置およびその作製方法 |
JP4617031B2 (ja) * | 2001-08-24 | 2011-01-19 | 大日本印刷株式会社 | 光分解性染料を用いたel素子 |
JP2003068472A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Hitachi Ltd | 有機発光素子およびそれを用いた有機発光表示装置 |
JP2003077655A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-14 | Canon Inc | 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 |
DE10152919A1 (de) * | 2001-10-26 | 2003-05-22 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Organisches elektrolumineszierendes Display |
US20030090600A1 (en) * | 2001-11-13 | 2003-05-15 | Chartered Semiconductors Manufactured Limited | Embedded light shield scheme for micro display backplane fabrication |
JP3705264B2 (ja) * | 2001-12-18 | 2005-10-12 | セイコーエプソン株式会社 | 表示装置及び電子機器 |
US7038377B2 (en) | 2002-01-16 | 2006-05-02 | Seiko Epson Corporation | Display device with a narrow frame |
EP1329955A3 (en) * | 2002-01-18 | 2006-06-14 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Process for forming a multicolor display |
JP4066661B2 (ja) * | 2002-01-23 | 2008-03-26 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置の製造装置および液滴吐出装置 |
JP2003217843A (ja) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Seiko Epson Corp | 表示装置の製造方法、電子機器の製造方法、表示装置および電子機器 |
JP2003223992A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-08 | Toyota Industries Corp | 有機elカラー表示装置 |
US6933520B2 (en) * | 2002-02-13 | 2005-08-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
SG113448A1 (en) * | 2002-02-25 | 2005-08-29 | Semiconductor Energy Lab | Fabrication system and a fabrication method of a light emitting device |
JP4240893B2 (ja) * | 2002-03-06 | 2009-03-18 | 大日本印刷株式会社 | 有機elディスプレイ |
JP2003257658A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-09-12 | Dainippon Printing Co Ltd | 色変換基材および有機elディスプレイ |
GB0207134D0 (en) * | 2002-03-27 | 2002-05-08 | Cambridge Display Tech Ltd | Method of preparation of organic optoelectronic and electronic devices and devices thereby obtained |
US7309269B2 (en) * | 2002-04-15 | 2007-12-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of fabricating light-emitting device and apparatus for manufacturing light-emitting device |
US6869329B2 (en) * | 2002-04-24 | 2005-03-22 | Eastman Kodak Company | Encapsulating OLED devices with transparent cover |
US7423375B2 (en) * | 2002-05-07 | 2008-09-09 | Osram Gmbh | Encapsulation for electroluminescent devices |
US7148624B2 (en) * | 2002-05-07 | 2006-12-12 | Osram Opto Semiconductors (Malaysia) Sdn. Bhd | Uniform deposition of organic layer |
NL1020635C2 (nl) * | 2002-05-21 | 2003-11-24 | Otb Group Bv | Werkwijze voor het vervaardigen van een polymere OLED. |
WO2003101155A1 (fr) * | 2002-05-23 | 2003-12-04 | Fuji Electric Holdings Co.,Ltd. | Écran électroluminescent organique |
US20030221620A1 (en) * | 2002-06-03 | 2003-12-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Vapor deposition device |
KR100478524B1 (ko) * | 2002-06-28 | 2005-03-28 | 삼성에스디아이 주식회사 | 고분자 및 저분자 발광 재료의 혼합물을 발광 재료로사용하는 유기 전계 발광 소자 |
SG130013A1 (en) * | 2002-07-25 | 2007-03-20 | Semiconductor Energy Lab | Method of fabricating light emitting device |
US20040040504A1 (en) * | 2002-08-01 | 2004-03-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing apparatus |
DE10240748B4 (de) * | 2002-08-29 | 2010-04-01 | Qimonda Ag | Verfahren zur Planarisierung einer Halbleiterprobe |
US7098060B2 (en) * | 2002-09-06 | 2006-08-29 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Methods for producing full-color organic electroluminescent devices |
US7449246B2 (en) * | 2004-06-30 | 2008-11-11 | General Electric Company | Barrier coatings |
US7368145B2 (en) * | 2002-09-19 | 2008-05-06 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing organic EL display and color filter by ink jet method |
JP2004119015A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-15 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置およびその作製方法 |
AU2003263609A1 (en) | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Fabrication system and manufacturing method of light emitting device |
GB0222649D0 (en) * | 2002-09-30 | 2002-11-06 | Microemissive Displays Ltd | Passivation layer |
JP2004207142A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス装置、電子機器 |
KR100528326B1 (ko) * | 2002-12-31 | 2005-11-15 | 삼성전자주식회사 | 가요성 기판 상에 보호캡을 구비하는 박막 반도체 소자 및 이를 이용하는 전자장치 및 그 제조방법 |
JP4266648B2 (ja) * | 2003-01-21 | 2009-05-20 | 三洋電機株式会社 | エレクトロルミネッセンス表示装置 |
JP4251874B2 (ja) * | 2003-01-21 | 2009-04-08 | 三洋電機株式会社 | エレクトロルミネッセンス表示装置 |
JP4526776B2 (ja) * | 2003-04-02 | 2010-08-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置及び電子機器 |
US20040206307A1 (en) * | 2003-04-16 | 2004-10-21 | Eastman Kodak Company | Method and system having at least one thermal transfer station for making OLED displays |
KR100943273B1 (ko) * | 2003-05-07 | 2010-02-23 | 삼성전자주식회사 | 4-컬러 변환 방법 및 그 장치와 이를 이용한 유기전계발광표시장치 |
EP1629543B1 (en) * | 2003-05-16 | 2013-08-07 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Barrier films for flexible polymer substrates fabricated by atomic layer deposition |
EP1492389A1 (de) * | 2003-06-26 | 2004-12-29 | ILFORD Imaging Switzerland GmbH | Optische Verstärkermaterialien |
US7928654B2 (en) | 2003-08-29 | 2011-04-19 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and method for manufacturing the same |
JP4741177B2 (ja) * | 2003-08-29 | 2011-08-03 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置の作製方法 |
JP4683883B2 (ja) * | 2003-08-29 | 2011-05-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置 |
EP3413369A1 (en) * | 2003-09-19 | 2018-12-12 | Sony Corporation | Organic light emitting display |
US7199518B2 (en) * | 2003-10-21 | 2007-04-03 | Corning Incorporated | OLED structures with barrier layer and strain relief |
JP3994994B2 (ja) * | 2003-10-23 | 2007-10-24 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置の製造方法、有機el装置、電子機器 |
EP1557891A3 (en) * | 2004-01-20 | 2006-10-04 | LG Electronics Inc. | Organic electroluminescent device and fabrication method thereof |
KR100683671B1 (ko) * | 2004-03-25 | 2007-02-15 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전자기파 차폐층을 구비한 플라즈마 디스플레이 패널 |
WO2005094132A1 (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Pioneer Corporation | 有機elパネルの製造方法 |
KR100666550B1 (ko) * | 2004-04-07 | 2007-01-09 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판표시장치 및 그의 제조방법 |
KR100637063B1 (ko) * | 2004-06-16 | 2006-10-20 | 엘지전자 주식회사 | 유기 전계발광표시소자 및 그 제조방법 |
KR20060019845A (ko) * | 2004-08-30 | 2006-03-06 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전자 방출 소자 |
JP2006106448A (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 光学フィルターおよびこれを用いた有機elディスプレイ |
US7268006B2 (en) * | 2004-12-30 | 2007-09-11 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Electronic device including a guest material within a layer and a process for forming the same |
TWI256270B (en) * | 2005-03-18 | 2006-06-01 | Univision Technology Inc | Organic electro-luminescent device with increased lifespan and method for producing the same |
US20070096640A1 (en) * | 2005-08-19 | 2007-05-03 | Gang Yu | Methods for producing full color organic electroluminescent devices |
CN100487944C (zh) * | 2005-08-25 | 2009-05-13 | 国际商业机器公司 | 光电器件的稳定性提高 |
JP2007115654A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-05-10 | Seiko Epson Corp | 発光装置、その製造方法、及び電子機器 |
JP4483757B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2010-06-16 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置及び光学装置 |
US7601567B2 (en) * | 2005-12-13 | 2009-10-13 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Method of preparing organic thin film transistor, organic thin film transistor, and organic light-emitting display device including the organic thin film transistor |
KR100684855B1 (ko) * | 2005-12-20 | 2007-02-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광 표시장치 |
JP4777077B2 (ja) * | 2006-01-20 | 2011-09-21 | 富士フイルム株式会社 | 機能素子 |
JP2007294413A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-11-08 | Canon Inc | 有機elパネル及びその製造方法 |
JP4775118B2 (ja) * | 2006-06-01 | 2011-09-21 | 凸版印刷株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
US20080166566A1 (en) * | 2006-12-29 | 2008-07-10 | Shiva Prakash | Process for forming an organic light-emitting diode and devices made by the process |
US8221177B2 (en) * | 2007-02-28 | 2012-07-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Organic EL panel including an element substrate dehydrated in a shorter time and method for manufacturing the same |
JP5197058B2 (ja) * | 2007-04-09 | 2013-05-15 | キヤノン株式会社 | 発光装置とその作製方法 |
KR100879864B1 (ko) * | 2007-06-28 | 2009-01-22 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법 |
US8258696B2 (en) | 2007-06-28 | 2012-09-04 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Light emitting display and method of manufacturing the same |
US8330339B2 (en) | 2007-06-28 | 2012-12-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Light emitting display and method of manufacturing the same |
KR100870838B1 (ko) * | 2008-03-04 | 2008-11-28 | 한국철강 주식회사 | 투명전극이 코팅된 기판의 수분 제거방법 |
DE102008053326A1 (de) * | 2008-07-25 | 2010-01-28 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Strahlungsemittierende Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer strahlungsemittierenden Vorrichtung |
JP2010117479A (ja) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ、および有機el表示素子 |
JP5833439B2 (ja) * | 2009-04-10 | 2015-12-16 | 三菱化学株式会社 | 電界効果トランジスタ、その製造方法及びそれを用いた電子デバイス |
JP4599469B1 (ja) * | 2009-08-31 | 2010-12-15 | 富士フイルム株式会社 | 有機電界発光素子用材料及び有機電界発光素子 |
US9011716B1 (en) * | 2009-10-15 | 2015-04-21 | Spectronics Corporation | White fluorescent blended dye for leak detection |
JP4579343B1 (ja) * | 2010-04-23 | 2010-11-10 | 富士フイルム株式会社 | 有機電界発光素子用材料及び有機電界発光素子 |
JP5505254B2 (ja) * | 2010-10-21 | 2014-05-28 | コニカミノルタ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び該製造方法により製造された有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP5917010B2 (ja) * | 2011-03-29 | 2016-05-11 | ユー・ディー・シー アイルランド リミテッド | 透明導電性基板及びその製造方法、並びに有機電界発光素子 |
KR101289844B1 (ko) * | 2012-01-18 | 2013-07-26 | 한국전자통신연구원 | 유기 발광 소자 |
CN103474561B (zh) * | 2013-09-10 | 2016-08-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种oled器件的封装结构 |
JPWO2016063869A1 (ja) * | 2014-10-22 | 2017-08-03 | コニカミノルタ株式会社 | 光取り出し基板、光取り出し基板の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス素子、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
WO2019082354A1 (ja) | 2017-10-26 | 2019-05-02 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | フレキシブルoledデバイスの製造方法および製造装置 |
JP6650965B2 (ja) * | 2018-06-13 | 2020-02-19 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | フレキシブルoledデバイスの製造方法および製造装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61131394A (ja) * | 1984-11-29 | 1986-06-19 | 株式会社東芝 | 分散形elの製造方法 |
JPH05182763A (ja) * | 1992-01-07 | 1993-07-23 | Sekisui Chem Co Ltd | 有機結晶を用いた電界発光素子の製造方法 |
WO1997031508A1 (fr) * | 1996-02-26 | 1997-08-28 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Element electroluminescent organique et procede de fabrication |
JPH10335061A (ja) * | 1997-06-04 | 1998-12-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機el素子の製造方法及びその製造装置 |
JPH1126156A (ja) * | 1997-06-30 | 1999-01-29 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機el多色発光表示装置 |
JPH11283748A (ja) * | 1998-03-30 | 1999-10-15 | Sanyo Electric Co Ltd | 有機発光素子用の材料、該材料の製造方法、及び該材料を用いてなる有機発光素子 |
JPH11339957A (ja) * | 1998-05-26 | 1999-12-10 | Seiko Epson Corp | 発光ディスプレイの製造方法 |
JP2000030871A (ja) * | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Futaba Corp | 有機el素子 |
WO2001058221A1 (fr) * | 2000-01-31 | 2001-08-09 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Dispositif d'affichage par electroluminescence organique et procede de production du dispositif |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0408216A3 (en) * | 1989-07-11 | 1991-09-18 | Hitachi, Ltd. | Method for processing wafers and producing semiconductor devices and apparatus for producing the same |
JPH05135608A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-06-01 | Nec Corp | 太陽電池起電力を利用した航空障害灯の点滅制御装置 |
JP2797905B2 (ja) | 1993-06-25 | 1998-09-17 | 凸版印刷株式会社 | 有機薄膜el素子 |
EP0809420B1 (en) * | 1995-02-06 | 2002-09-04 | Idemitsu Kosan Company Limited | Multi-color light emission apparatus and method for production thereof |
JP3187695B2 (ja) * | 1995-02-06 | 2001-07-11 | 出光興産株式会社 | 多色発光装置およびその製造方法 |
JPH09148066A (ja) | 1995-11-24 | 1997-06-06 | Pioneer Electron Corp | 有機el素子 |
JP4022274B2 (ja) | 1996-10-14 | 2007-12-12 | 出光興産株式会社 | 有機el発光装置 |
US6049167A (en) * | 1997-02-17 | 2000-04-11 | Tdk Corporation | Organic electroluminescent display device, and method and system for making the same |
WO1998046424A1 (fr) | 1997-04-17 | 1998-10-22 | Kureha Kagaku Kogyo K.K. | Pellicule resistant a l'humidite et dispositif electroluminescent |
JP3911775B2 (ja) | 1997-07-30 | 2007-05-09 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el素子の製造方法 |
JP3941169B2 (ja) | 1997-07-16 | 2007-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el素子の製造方法 |
JPH1154285A (ja) | 1997-07-31 | 1999-02-26 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP3941180B2 (ja) | 1997-09-02 | 2007-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | El表示素子の製造方法 |
JP3266072B2 (ja) * | 1997-10-14 | 2002-03-18 | 富士電機株式会社 | 多色発光有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
JPH11126686A (ja) | 1997-10-23 | 1999-05-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機エレクトロルミネセンス素子の製造装置 |
GB9803763D0 (en) * | 1998-02-23 | 1998-04-15 | Cambridge Display Tech Ltd | Display devices |
TW420964B (en) * | 1998-02-25 | 2001-02-01 | Toppan Printing Co Ltd | Organic electroluminescence display substrate, method of manufacturing it and organic electroluminescent display element |
CN1094657C (zh) * | 1998-03-10 | 2002-11-20 | 陈兴 | 全彩色有机发光二极管及其制造方法 |
JPH11273859A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-10-08 | Sony Corp | 有機電界発光素子及びその製造方法 |
JP3782245B2 (ja) * | 1998-10-28 | 2006-06-07 | Tdk株式会社 | 有機el表示装置の製造装置及び製造方法 |
JP2000150147A (ja) | 1998-11-05 | 2000-05-30 | Toray Ind Inc | 有機電界発光素子の製造方法 |
KR100335061B1 (ko) * | 2000-04-14 | 2002-05-03 | 구자홍 | 유기 발광 소자의 엑티브 전류 구동 회로 |
JP5415375B2 (ja) * | 2010-07-30 | 2014-02-12 | 株式会社吉野工業所 | 振出容器用キャップ及び振出容器 |
JP2012150147A (ja) * | 2011-01-17 | 2012-08-09 | Seiko Epson Corp | スクリーンの製造方法及びスクリーン製造用型の製造方法 |
-
2001
- 2001-01-23 US US09/767,018 patent/US6633121B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-01-26 CN CNB018000924A patent/CN1225150C/zh not_active Expired - Lifetime
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- 2001-01-26 CN CNB2005100687715A patent/CN100474653C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2001-01-26 WO PCT/JP2001/000531 patent/WO2001058221A1/ja active IP Right Grant
- 2001-01-30 TW TW090101810A patent/TWI236859B/zh not_active IP Right Cessation
-
2010
- 2010-09-13 JP JP2010204264A patent/JP2010278028A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61131394A (ja) * | 1984-11-29 | 1986-06-19 | 株式会社東芝 | 分散形elの製造方法 |
JPH05182763A (ja) * | 1992-01-07 | 1993-07-23 | Sekisui Chem Co Ltd | 有機結晶を用いた電界発光素子の製造方法 |
WO1997031508A1 (fr) * | 1996-02-26 | 1997-08-28 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Element electroluminescent organique et procede de fabrication |
JPH10335061A (ja) * | 1997-06-04 | 1998-12-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機el素子の製造方法及びその製造装置 |
JPH1126156A (ja) * | 1997-06-30 | 1999-01-29 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機el多色発光表示装置 |
JPH11283748A (ja) * | 1998-03-30 | 1999-10-15 | Sanyo Electric Co Ltd | 有機発光素子用の材料、該材料の製造方法、及び該材料を用いてなる有機発光素子 |
JPH11339957A (ja) * | 1998-05-26 | 1999-12-10 | Seiko Epson Corp | 発光ディスプレイの製造方法 |
JP2000030871A (ja) * | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Futaba Corp | 有機el素子 |
WO2001058221A1 (fr) * | 2000-01-31 | 2001-08-09 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Dispositif d'affichage par electroluminescence organique et procede de production du dispositif |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014511019A (ja) * | 2011-04-11 | 2014-05-01 | コミッサリア ア レネルジ アトミック エ オー エネルジ アルターネイティブス | 有機光電子デバイス及びその封止法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100719641B1 (ko) | 2007-05-17 |
US20010050532A1 (en) | 2001-12-13 |
KR20020001810A (ko) | 2002-01-09 |
US6633121B2 (en) | 2003-10-14 |
EP1176850A1 (en) | 2002-01-30 |
CN1225150C (zh) | 2005-10-26 |
WO2001058221A1 (fr) | 2001-08-09 |
CN100433401C (zh) | 2008-11-12 |
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CN1700822A (zh) | 2005-11-23 |
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