KR970030618A - 기계적 인터페이스장치 - Google Patents

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마사나오 무라타
히토시 카와노
쑤요시 타나카
히로유키 요오베
토시유키 타카오카
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Abstract

본 발명은 반도체웨이퍼에 소요의 처리를 실시하는 각종 처리장치등에 설치되고 밀폐컨테이너에 수납된 반도체웨이퍼를 외기에 노출하지 않고 상기 처리장치내에 취입하는 기계적 인터페이스장치에 관한 발명이다.
본 발명은 외기와 먼지등에 의해 반도체웨이퍼 표면에 악영향을 미치지 않고, 밀폐컨테이너에 수납된 반도체웨이퍼를 장치내로 취입할수 있는 기계적 인터페이스장치를 제공하는 것을 과제로 하였다.
이를 위해 밀폐컨테이너(100)가 처리장치(200)의 위에 재치되면, 레치기구(201)가 작동하여 스플라인(103)과 계합하고, 컨테이너본체(101)를 고정한다. 그리고, 밸브(3,5)를 열어서 개스축출을 행한후, 로크개폐기구(220)내부에 설치된 구동기구를 구동하여 로크아암(111)을 요부(103a)에서 인출하고 아래마개(110)의 로크를 해제한다. 그리고, 컨테이너 내의 웨이퍼카세트(106)가 장치내 승강기구(202)에 의해 소정위치까지 하강하면, 장치내에 설치된 카세트취입기구에 의해 처리장치(200)내로 취입되도록 하였다.

Description

기계적 인터페이스장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시형태의 구성 설명도.

Claims (4)

  1. 컨테이너본체와, 이 컨테이너본체의 개구부를 기밀히 폐쇄가능한 마개와, 이 마개 내부에 설치되고, 외부에서 조작에 의해 상기 마개의 잠금 또는 해제가능한 시정·해정기구와로 이루어지는 밀폐컨테이너에 수납된 수납물에 대하여 소정의 처리를 실시하는 처리장치에 설치되고, 상기 수납물을 외기에 접촉시키지 않고 상기 처리장치 내부에 취입하는 기계적 인터페이스장치에 있어서, 상기 처리장치 내를 승강하는 승강수단과, 상기 승강수단에 설치되고, 상기 승강수단의 최대상승시에 상기 마개와 함께 상기 수납물을 취입하기 위해 상기 처리장치에 설치된 개구부를 상기 처리장치 내부에서 밀폐하고, 또한 상기 시정·해정기구의 개폐조작을 행하는 마개개폐기구를 내장하는 밀폐수단과, 상기 개구부 주부에 상기 밀폐컨테이너를 재치한때에 상기 밀폐컨테이너·밀폐수단 및 처리장치에 의해 형성되는 공간에 개스를 공급하는 급기수단과, 상기 밀폐컨테이너·밀폐수단 및 처리장치간에 형성되는 공간에서 배출되는 기체를 외부로 배출하는 배기수단과를 구비하여 이루어지고, 상기 밀폐컨테이너가 상기 처리장치의 개구부 주부에 재치된때 상기 마개개폐기구가 상기 시정·해정기구의 해제조작을 하기전에 상기 급기수단(級氣手段)에 의해 개스를 공급하여 상기 밀폐컨테이너·밀폐수단 및 처리장치간에 형성되는 공간내의 기체를 상기 배기수단에서 배출하여 상기 공간내를 상기 개스로 치환하는 것을 특징으로 하는 기계적 인터페이스장지.
  2. 컨테이너본체와, 이 컨테이너본체의 개구부를 기밀히 폐쇄가능한 마개와, 이 마개 내부에 설치되고, 외부에서 조작에 의해 상기 마개의 잠금 또는 해제가능한 시정·해정기구와로 이루어지는 밀폐컨테이너에 수납된 수납물에 대하여 소정의 처리를 실시하는 처리장치에 설치되고, 상기 수납물을 외기에 접촉시키지 않고 상기 처리장치 내부에 취입하는 기계적 인터페이스장치에 있어서, 상기 처리장치 내를 승강하는 제1의 승강수단과, 내부가 중공으로 되고, 개구를 가지는 박스형상의 기밀유지수단으로 되어있고, 상기 제1의 승강수단에 설치되고, 이 제1의 승강수단의 최대상승시에 기밀유지수단의 개구부 연부가 상기 수납물을 취입하기 위해 상기 처리장치에 설치된 장치개구부 주변의 장치내면에 당접하고, 상기 처리장치내의 기밀성을 유지하는 기밀유지수단과, 이 기밀유지수단의 내부에 설치된 제2의 승강수단과, 이 제2의 승강수단에 설치되고, 이 제2의 승강수단의 최대상승시에 상기 장치개구부를 상기 처리장치 내부에서 밀폐하고, 또한 상기 시정·해정기구의 개폐조작을 행하는 마개개폐기구를 내장하는 밀폐수단과, 상기 장치개구부 주부(周部)에 상기 밀폐컨테이너를 재치한때에 상기 밀폐컨테이너·기밀 유지수단 및 처리장치에 의해 형성되는 공간에 개스를 공급하는 급기수단과, 상기 밀폐컨테이너·기밀 유지수단 및 처리장치에 의해 형성되는 공간에서 배출되는 기체를 외부로 배출하는 배기수단과를 구비하는 것을 특징으로 하는 기계적 인터페이스장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 밀폐수단은 상기 장치개구부 주부에 상기 밀폐컨테이너를 재치할때에 그 재치위치를 결정하는 가이드핀을 복수 가지고, 그중 적어도 2개의 가이드핀은 내부가 중공이고, 또 그 일단은 상기 처리장치 내부측으로 개구하고, 타단은 밀폐컨테이너가 재치된때에 열린상태로 되는 개폐마개구조로 되어 있고, 이 가이드핀중 적어도 하나는 상기 처리장치 내부측으로 개구하는 일단에 가소성을 가지는 튜브가 접속되어 상기 처리장지 외부로 연통하고 있는 것을 특징으로 하는 기계적 인터페이스장치.
  4. 컨테이너본체와, 이 컨테이너본체의 개구부를 기밀히 폐쇄가능한 마개와, 이 마개 내부에 설치되고, 외부에서 조작에 의해 상기 마개의 잠금 또는 해제가능한 시정·해정기구와로 이루어지는 밀폐컨테이너에 수납된 수납물에 대하여 소정의 처리를 실시하는 처리장치에 설치되고, 상기 수납물을 외기에 접촉시키지 않고 상기 처리장치 내부에 취입하는 기계적 인터페이스장치에 있어서, 상기 처리장치 내를 승강하는 제1의 승강수단과, 내부가 중공으로 되고, 개구를 가지는 박스형상의 기밀유지수단으로, 상기 제1의 승강수단에 설치되고, 이 제1의 승강수단의 최대상승시에 기밀유지수단의 개구부 주연부가 상기 수납물을 취입하기 위해 상기 처리장치에 설치된 개구부주위의 장치내면에 당접하고, 상기 처리장치내의 기밀성을 유지하는 기밀유지수단과, 이 기밀유지수단을 내부에 설치된 제2의 승강수단과, 이 제2의 승강수단에 설치되고, 이 제2의 승강수단의 최대상승시에 상기 개구부를 상기 처리장치 내부에서 밀폐하고, 또한 상기 시정·해정기구의 개폐조작을 행하는 마개개폐기구를 내장하는 밀폐수단과, 상기 개구부 주부에 상기 밀폐컨테이너를 재치한때에 상기 밀폐컨테이너·밀폐수단 및 처리장치에 의해 형성되는 공간과, 밀폐수단·기밀 유지수단 및 처리장치에 의해 형성되는 공간과에 각각 개스를 공급하는 급기수단과, 상기 밀폐컨테이너·밀폐수단 및 처리장치에 의해 형성되는 공간과, 밀폐수단·기밀유지수단 및 처리장치에 의해 형성되는 공간에서 각각 배출되는 기체를 외부로 배출하는 배기수단과를 구비하는 것을 특징으로 하는 기계적 인터페이스장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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