KR970011975A - 박막트랜지스터 및 이것을 구비한 액정표시장치 - Google Patents

박막트랜지스터 및 이것을 구비한 액정표시장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 절연기판 위에, 비 단결정 실리콘박막이 배치되어 이루어진 박막트랜지스터 및 이것을 구비한 액정 표시장치에 관한 것으로서, 소자불량을 증대시키지 않고 게이트배선의 저저항화를 달성할 수 있고, 또 우수한 소자 특성이 얻어지는 박막트랜지스터를 제공하는 것을 목적으로 하며, 기판위에 적어도 제1도전층(111) 및 제1도전층(111)을 피복하는 제2도전층(115)을 포함하는 게이트배선, 게이트배선을 피복하는 게이트절연막(121), 게이트배선위에 게이트배선막(121)을 통하여 배치되어 채널영역을 포함하는 비 단결정 실리콘박막(131) 및 비 단결정 실리콘박막(131)에 전기적으로 접속되는 소스전극(161a) 및 드레인전극(161b)을 구비한 박막트랜지스터(171)에 관한 것이며, 평면적으로 제1도전층(111)의 윤곽선은 채널영역내로 가로지름과 동시에 채널영역에 있어서 게이트절연막(121)측의 비 단결정 실리콘박막(131)이 굴곡점을 가지지 않고 연속적인 경계면을 구비하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

박막트랜지스터 및 이것을 구비한 액정표시장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 따른 TFT를 구비한 액티브매트릭스형 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 개략적으로 나타낸 평면도;
제2도는 상기 TFT 부분을 확대하여 개략적으로 나타낸 평면도;
제8도는 본 발명의 변형예에 따른 어레이기판을 개략적으로 나타낸 단면도.

Claims (10)

  1. 기판 위에 형성된 제1도전층 및 상기 제1도전층을 피복한 제2도전층을 포함하는 게이트 배선; 상기 기판위에 형성되어 상기 게이트배선을 피복한 게이트절연막; 상기 게이트배선위에 상기 게이트절연막을 통하여 배치되며, 채널 영역을 포함하는 비 단결정 실리콘박막; 및 상기 비 단결정 실리콘박막에 전기적으로 접속된 소스 전극 및 드레인전극을 구비하며, 상기 비 단결정 실리콘박막은 상기 채널영역에 있어서, 상기 게이트 절연막측에 위치하고 있음과 동시에 굴곡점을 가지지 않고 연속된 경계면을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 게이트배선의 상기 제1도전층은 상기 기판표면에 대해 경사져서 뻗어나는 양측 테두리부를 가지며, 각 측 테두리부의 경사각은 10∼30°의 범위내로 설정되는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
  3. 제2항에 있어서, 상기 게이트배선의 상기 제2도전층은 상기 기판표면에 대해 경사지고, 또 상기 제1도전층의 양측 테두리부를 따라서 뻗어나는 양측 테두리부를 가지며, 각 측 테두리부의 경사각은 20∼45°내로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1도전층은 Al, Cu 또는 α-Ta 중에서 선택된 적어도 1종류를 주체로 한 금속 또는 합금으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제2도전층은 Ta, W 또는 Mo 중에서 선택된 적어도 1종류를 주체로 한 금속 또는 합금으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
  6. 제1항에 있어서 상기 채널영역은 상기 게이트배선에 자기정합되어 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제1도전층은 평면적으로 상기 채널영역과 겹쳐 뻗어나는 윤곽선을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
  8. 서로 소정의 간격을 두고 대향한 어레이기판 및 대향기판 및 상기 어레이기판과 대향기판 사이에 봉입된 액정층을 구비하며, 상기 어레이기판은, 유리기판 상기 유리기판의 한 주면 위에 서로 평행하게 형성된 복수의 게이트배선; 상기 유리기판의 한 주면위에 서로 평행하고, 또 게이트배선과 거의 직교하여 설치된 복수의 신호선; 상기 게이트선과 신호선에 의해서 둘러싸인 각 영역내에 설치된 화소전극; 상기 각 게이트선과 신호선의 교차부분에 설치되어 대응하는 화소전극에 접속된 박막트랜지스터를 가지며, 상기 박막트랜지스터는, 상기 게이트배선의 일부에 의해서 구성되어 있음과 동시에 상기 유리기판위에 형성된 제1도전층 및 상기 제1도전층을 피복한 제2도전층을 포함하는 게이트전극; 상기 유리기판위에 형성된 상기 게이트전극을 피복하는 게이트절연막; 상기 게이트전극 위에 상기 게이트절연막을 통하여 배치되며, 채널영역을 포함하는 비 단결정 실리콘박막; 및 상기 비 단결정 실리콘박막에 전기적으로 접속된 소스전극 및 드레인전극을 구비하며, 상기 비 단결정 실리콘박막은 상기 채널영역에 있어서, 상기 게이트 절연막측에 위치하고 있음과 동시에 굴곡점을 가지지 않고 연속된 경계면을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 게이트배선의 상기 제1도전층은 상기 기판평면에 대해 경사지게 뻗어나는 양측 테두리부를 가지며, 각 측 테두리부의 경사각은 10∼30°의 범위내로 설정되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 게이트배선의 상기 제2도전층은 상기 기판표면에 대해 경사지고, 또 상기 게이트 배선은 상기 제1도전층의 양측테두리부를 따라서 뻗어나는 양측 테두리부를 가지며, 각 측 테두리부의 경사각은 20∼45°내로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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