KR20190012102A - 블레이드 유지구 - Google Patents

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Abstract

(과제) 작업자가 직접적으로 접촉하지 않고 절삭 블레이드를 유지할 수 있는 블레이드 유지구를 제공한다.
(해결 수단) 환상의 절삭 블레이드를 유지하기 위한 블레이드 유지구로서, 절삭 블레이드를 유지하는 유지면을 구비한 U 자상의 유지부를 포함하고, 유지면에 부착시킨 액체를 통하여 액체의 표면 장력에 의해 절삭 블레이드를 유지한다.

Description

블레이드 유지구{BLADE HOLDER}
본 발명은, 절삭 블레이드를 유지하기 위한 블레이드 유지구에 관한 것이다.
휴대 전화기나 퍼스널 컴퓨터로 대표되는 전자 기기에서는, 전자 회로 등의 디바이스를 구비하는 디바이스 칩이 필수의 구성 요소로 되어 있다. 디바이스 칩은, 예를 들어, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어지는 웨이퍼의 표면을 복수의 분할 예정 라인 (스트리트) 으로 구획하고, 각 영역에 디바이스를 형성한 후, 이 분할 예정 라인을 따라 웨이퍼를 분할함으로써 얻어진다.
웨이퍼를 복수의 디바이스 칩으로 분할할 때에는, 예를 들어, 스핀들 (회전축) 에 환상의 절삭 블레이드가 장착된 절삭 장치를 사용한다. 절삭 블레이드를 고속으로 회전시킨 다음 피가공물의 분할 예정 라인을 따라 깊게 절입시킴으로써, 이 피가공물을 절단하여 복수의 디바이스 칩으로 분할할 수 있다.
절삭 블레이드의 일 양태로서, 지립이 결합재로 고정된 절삭날만으로 이루어지는 와셔 타입이 알려져 있다. 이 와셔 타입의 절삭 블레이드에는, 두께가 0.3 mm 이하인 얇은 것도 많다. 그래서, 반송 등을 할 때에는, 절삭 블레이드를 블레이드 케이스에 수용하여 그 파손을 막고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 2006-82817호
그런데, 상기 서술한 바와 같은 스핀들에 절삭 블레이드를 장착할 때에는, 통상적으로 작업자가 절삭 블레이드를 손에 쥐고 필요한 작업을 실시한다. 그러나, 와셔 타입의 절삭 블레이드는 상기 서술한 바와 같이 얇은 경우가 많아, 작업자의 손이 직접적으로 접촉되면 파손될 가능성이 높았다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 작업자가 직접적으로 접촉하지 않고 절삭 블레이드를 유지할 수 있는 블레이드 유지구를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 양태에 의하면, 환상의 절삭 블레이드를 유지하기 위한 블레이드 유지구로서, 그 절삭 블레이드를 유지하는 유지면을 구비한 U 자상의 유지부를 포함하고, 그 유지면에 부착시킨 액체를 통하여 그 액체의 표면 장력에 의해 그 절삭 블레이드를 유지하는 블레이드 유지구가 제공된다.
본 발명의 일 양태에 있어서, 상기 유지부로부터 연장되는 피파지부를 추가로 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 양태에 관련된 블레이드 유지구는, 유지부의 유지면에 부착시킨 액체를 통하여 액체의 표면 장력에 의해 절삭 블레이드를 유지한다. 따라서, 이 블레이드 유지구를 사용함으로써, 작업자가 직접적으로 접촉하지 않고 절삭 블레이드를 유지할 수 있다.
도 1 은, 블레이드 유지구의 구성예를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 2 는, 블레이드 유지구의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 3 은, 블레이드 유지구에 의해 절삭 블레이드가 유지된 상태를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 4 는, 절삭 유닛에 대해 절삭 블레이드가 장착되는 모습을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 일 양태에 관련된 실시형태에 대해 설명한다. 도 1 은, 본 실시형태에 관련된 블레이드 유지구 (2) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 평면도이고, 도 2 는, 블레이드 유지구 (2) 의 구성예를 모식적으로 나타내는 측면도이다. 도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 블레이드 유지구 (2) 는, 수지나 금속 등의 재료로 이루어지는 판상의 유지 부재 (유지부) (4) 를 구비하고 있다.
유지 부재 (4) 는, 예를 들어, 대체로 평탄한 제 1 면 (유지면) (4a), 및 이 제 1 면 (4a) 과는 반대측의 제 2 면 (4b) 을 갖고, 평면에서 보아 반환상 (半環狀) (U 자상) 으로 형성되어 있다. 제 1 면 (4a) 의 표면 조도는, 예를 들어, 산술 평균 조도 (Ra) 로 6.3 ㎛ 이하로 한다. 제 1 면 (4a) 을 이와 같은 표면 조도로 형성함으로써, 블레이드 유지구 (2) 에 의해 절삭 블레이드 (12) (도 3 등 참조) 를 적절히 유지할 수 있게 된다.
유지 부재 (4) 의 선단측은, 개구 (4c) 를 사이에 두고 제 1 부분 (4d) 과 제 2 부분 (4e) 으로 나누어져 있다. 개구 (4c) 의 형상은, 예를 들어, 평면에서 보아 반원상 등이다. 또, 본 실시형태에서는, 이 개구 (4c) 를 절삭 블레이드 (12) 의 개구 (12b) (도 3 등 참조) 보다 크게 형성하고 있다. 이로써, 절삭 블레이드 (12) 의 장착처인 절삭 유닛 등과 블레이드 유지구 (2) 의 간섭을 방지할 수 있다. 단, 개구 (4c) 의 형상, 크기 등에 특별한 제한은 없다.
유지 부재 (4) 의 제 2 면 (4b) 측에는, 작업자 등이 파지하기 위한 피파지 부재 (피파지부) (6) 가, 평면에서 보아 개구 (4c) 와 겹치지 않는 위치에 형성되어 있다. 이 피파지 부재 (6) 는, 유지 부재 (4) 로부터 외향으로 연장되는 판상의 기부 (基部) (6a) 와, 기부 (6a) 로부터 유지 부재 (4) 의 반대측으로 돌출되는 돌출부 (6b) 를 포함하고 있다. 예를 들어, 이 돌출부 (6b) 를 손가락으로 집는 것에 의해, 피파지 부재 (6) 를 파지할 수 있다. 단, 피파지 부재 (6) 의 구조 및 파지의 양태에 특별한 제한은 없다.
도 3 은, 블레이드 유지구 (2) 에 의해 절삭 블레이드 (12) 가 유지된 상태를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 블레이드 유지구 (2) 로 원환상의 절삭 블레이드 (12) 를 유지할 때에는, 먼저, 유지 부재 (4) 의 제 1 면 (4a) 에 액체 (도시 생략) 를 부착시킨다. 그리고, 이 액체를 통하여 제 1 면 (4a) 을 절삭 블레이드 (12) 의 임의의 피유지면 (본 실시형태에서는, 제 1 면 (12a)) 에 접촉시킨다.
그 결과, 액체의 표면 장력에 의해, 절삭 블레이드 (12) 의 임의의 피유지면 (본 실시형태에서는, 제 1 면 (12a)) 이 블레이드 유지구 (2) 의 제 1 면 (4a) 에 밀착된다. 이로써, 절삭 블레이드 (12) 를 블레이드 유지구 (2) 로 유지할 수 있다. 본 실시형태에서는, 유지 부재 (4) 의 개구 (4c) 의 내측에 절삭 블레이드 (12) 의 개구 (12b) 가 배치되도록, 절삭 블레이드 (12) 와 블레이드 유지구 (2) 의 위치 관계를 조정하고 있다.
이로써, 절삭 유닛 등과 블레이드 유지구 (2) 의 간섭을 방지할 수 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 블레이드 유지구 (2) 의 제 1 면 (4a) 을 절삭 블레이드 (12) 의 제 1 면 (12a) 측에 접촉시켜 절삭 블레이드 (12) 를 유지하고 있지만, 제 1 면 (4a) 을 제 1 면 (12a) 과는 반대인 제 2 면 (도시 생략) 측에 접촉시켜 절삭 블레이드 (12) 를 유지할 수도 있다.
유지 부재 (4) 의 제 1 면 (4a) 에 부착시키는 액체의 종류에 특별한 제한은 없지만, 비용이나 취급 용이성 등의 점에서 물을 사용하는 것이 바람직하다. 물을 사용하는 경우에는, 이후의 세정 등이 불필요해진다는 장점도 있다. 또, 본 실시형태에서는, 블레이드 유지구 (2) 측 (유지 부재 (4) 의 제 1 면 (4a)) 에 액체를 부착시키고 있지만, 절삭 블레이드 (12) 측 (피유지면) 에 액체를 부착시켜도 된다.
다음으로, 이 블레이드 유지구 (2) 에 의해 유지된 절삭 블레이드 (12) 가 절삭 유닛에 장착되는 모습을 설명한다. 도 4 는, 절삭 유닛 (22) 에 대해 절삭 블레이드 (12) 가 장착되는 모습을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 절삭 유닛 (22) 은, 예를 들어, 절삭 장치의 이동 기구 (도시 생략) 등에 의해 지지되는 통상 (筒狀) 의 스핀들 하우징 (24) 을 구비하고 있다.
스핀들 하우징 (24) 의 내부에는, 회전축인 스핀들 (26) 이 수용되어 있다. 스핀들 (26) 의 선단부는, 스핀들 하우징 (24) 의 외부로 노출되어 있다. 이 스핀들 (26) 의 선단부에는, 절삭 블레이드 (12) 를 장착하기 위한 후방 플랜지 (28) 가 장착되어 있다. 후방 플랜지 (28) 는, 직경 방향 외향으로 연장되는 플랜지부 (30) 와, 플랜지부 (30) 의 전면 (前面) 중앙 부분으로부터 전방으로 돌출되는 보스부 (32) 를 포함한다.
플랜지부 (30) 의 외주측의 표면 (전면) 은, 절삭 블레이드 (12) 의 피유지면과는 반대측의 면 (본 실시형태에서는, 제 2 면) 에 접촉하는 접촉면으로 되어 있다. 이 접촉면은, 스핀들 (26) 의 축심 방향으로부터 보아 원환상으로 형성되어 있다. 보스부 (32) 는 원통상으로 형성되어 있고, 그 외주면에는 나사산이 형성되어 있다.
블레이드 유지구 (2) 를 통하여 절삭 블레이드 (12) 를 유지하고, 그 개구 (12b) 에 보스부 (32) 를 삽입함으로써, 절삭 블레이드 (12) 는 후방 플랜지 (28) 에 장착된다. 본 실시형태에서는, 유지 부재 (4) 의 개구 (4c) 의 내측에 절삭 블레이드 (12) 의 개구 (12b) 가 배치되도록, 절삭 블레이드 (12) 와 블레이드 유지구 (2) 의 위치 관계를 조정하고 있으므로, 보스부 (32) 가 블레이드 유지구 (2) 와 간섭하는 경우는 없다.
후방 플랜지 (28) 에 절삭 블레이드 (12) 를 장착한 후에는, 절삭 블레이드 (12) 의 유지면 (본 실시형태에서는, 제 1 면 (12a)) 에 대해 블레이드 유지구 (2) 를 평행하게 슬라이드시켜, 절삭 블레이드 (12) 로부터 블레이드 유지구 (2) 를 떼어낸다. 절삭 블레이드 (12) 는, 액체의 표면 장력에 의해 블레이드 유지구 (2) 에 유지되어 있을 뿐이므로, 절삭 블레이드 (12) 에 대해 블레이드 유지구 (2) 를 평행하게 슬라이드시킴으로써 절삭 블레이드 (12) 로부터 블레이드 유지구 (2) 를 용이하게 떼어낼 수 있다.
절삭 블레이드 (12) 로부터 블레이드 유지구 (2) 를 떼어낸 후에는, 절삭 블레이드 (12) 의 피유지면측 (본 실시형태에서는, 제 1 면 (12a) 측) 에, 원환상의 전방 플랜지 (34) 를 장착한다. 전방 플랜지 (34) 의 중앙에는 개구 (34a) 가 형성되어 있고, 이 개구 (34a) 에 후방 플랜지 (28) 의 보스부 (32) 가 삽입된다. 또한, 전방 플랜지 (34) 의 외주측의 이면 (후면) 은, 절삭 블레이드 (12) 의 피유지면에 접촉하는 접촉면으로 되어 있다. 전방 플랜지 (34) 의 접촉면은, 후방 플랜지 (28) 의 접촉면과 대응하는 위치에 형성되어 있다.
전방 플랜지 (34) 를 보스부 (32) 에 삽입한 후에는, 보스부 (32) 의 선단에 원환상의 고정 너트 (36) 를 조여 넣는다. 이로써, 전방 플랜지 (34) 는 후방 플랜지 (28) 측에 가압되고, 절삭 블레이드 (12) 는 후방 플랜지 (28) 와 전방 플랜지 (34) 에 의해 협지 (挾持) 된다. 또한, 고정 너트 (36) 에는 개구 (36a) 가 형성되어 있고, 이 개구 (36a) 의 내벽면에는, 보스부 (32) 의 나사산에 대응하는 나사홈이 형성되어 있다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관련된 블레이드 유지구 (2) 는, 유지 부재 (유지부) (4) 의 제 1 면 (유지면) (4a) 에 부착시킨 액체를 통하여 액체의 표면 장력에 의해 절삭 블레이드 (12) 를 유지한다. 따라서, 이 블레이드 유지구 (2) 를 사용함으로써, 작업자가 직접적으로 접촉하지 않고 절삭 블레이드 (12) 를 유지할 수 있다.
또한, 본 발명은, 상기 실시형태의 기재에 제한되지 않고 다양하게 변경하여 실시 가능하다. 예를 들어, 상기 실시형태에서는, 절삭 블레이드 (12) 를 절삭 유닛 (22) 에 장착할 때에, 절삭 블레이드 (12) 의 피유지면을 전방 플랜지 (34) 에 접촉시키고, 절삭 블레이드 (12) 의 피유지면과는 반대측의 면을 후방 플랜지 (28) (플랜지부 (30)) 에 접촉시키고 있지만, 절삭 블레이드 (12) 의 피유지면을 후방 플랜지 (28) (플랜지부 (30)) 에 접촉시키고, 절삭 블레이드 (12) 의 피유지면과는 반대측의 면을 전방 플랜지 (34) 에 접촉시켜도 된다.
그 외, 상기 실시형태에 관련된 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한 적절히 변경하여 실시할 수 있다.
2 : 블레이드 유지구
4 : 유지 부재 (유지부)
4a : 제 1 면 (유지면)
4b : 제 2 면
4c : 개구
4d : 제 1 부분
4e : 제 2 부분
6 : 피파지 부재 (피파지부)
6a : 기부
6b : 돌출부
12 : 절삭 블레이드
12a : 제 1 면
12b : 개구
22 : 절삭 유닛
24 : 스핀들 하우징
26 : 스핀들
28 : 후방 플랜지
30 : 플랜지부
32 : 보스부
34 : 전방 플랜지
34a : 개구
36 : 고정 너트
36a : 개구

Claims (2)

  1. 환상의 절삭 블레이드를 유지하기 위한 블레이드 유지구로서,
    그 절삭 블레이드를 유지하는 유지면을 구비한 U 자상의 유지부를 포함하고,
    그 유지면에 부착시킨 액체를 통하여 그 액체의 표면 장력에 의해 그 절삭 블레이드를 유지하는 것을 특징으로 하는 블레이드 유지구.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유지부로부터 연장되는 피파지부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 블레이드 유지구.
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