TWI757525B - 刀片保持器具 - Google Patents

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Abstract

[課題]本發明提供一種刀片保持器具，使作業員不直接觸碰而能保持切割刀片。[解決手段]本發明之用以保持環狀之切割刀片的刀片保持器具，包含具備保持切割刀片之保持面的U形保持部，且透過附著於保持面的液體，藉由液體的表面張力保持切割刀片。

Description

刀片保持器具
本發明係關於用以保持切割刀片的刀片保持器具。
以行動電話或個人電腦為代表的電子設備中，具備電子電路等元件的元件晶片成為必要的構成要件。元件晶片，例如係以下述方法所得之：以多條的分割預定線（切割道）劃分以矽等半導體材料所形成之晶圓表面，在各區域中形成元件後，沿著該分割預定線分割晶圓。
在將晶圓分割成多個的元件晶片時，例如，使用主軸（旋轉軸）上裝設有環狀之切割刀片的切割裝置。在使切割刀片高速旋轉之後，沿著工件的分割預定線向下深深切入，將該工件切斷，而可分割為多個元件晶片。
作為切割刀片的一態樣，僅由以結合材料固定磨粒的刀片所形成的墊圈型（washer type）已為人所知。該墊圈型的切割刀片，大多是厚度在0.3mm以下的薄片。於是，在搬送等時，將切割刀片容納於刀片盒以防止其破損（例如，參照專利文獻1）。 [習知技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2006-82817號公報
[發明所欲解決的課題] 不過，在將切割刀片裝設於如上述之主軸時，一般係作業員手持切割刀片進行必要的作業。然而，墊圈型的切割刀片，如上所述大多較薄，若作業員的手直接觸碰，則破損的可能性很高。
本發明係鑒於此問題點而完成者，其目的在於提供一種刀片保持器具，使作業員不直接觸碰而能保持切割刀片。
[解決課題的技術手段] 根據本發明的一態樣，提供一種刀片保持器具，其係用以保持環狀之切割刀片的刀片保持器具，其包含：U形保持部，具備保持該切割刀片的保持面；透過附著於該保持面的液體，藉由該液體的表面張力，保持該切割刀片。
本發明的一態樣中，較佳係更具備從該保持部延伸的被把持部。
[發明功效] 本發明之一態樣的刀片保持器具，係透過附著於保持部之保持面的液體，藉由液體的表面張力保持切割刀片。藉此，藉由使用該刀片保持器具，使作業員不直接觸碰而能保持切割刀片。
參照附圖說明本發明之一態樣的實施方式。圖1係示意表示本實施方式之刀片保持器具2之構成例的俯視圖，圖2係示意表示刀片保持器具2之構成例的側面圖。如圖1及圖2所示，刀片保持器具2具備板狀的保持構件（保持部）4，其係以樹脂或金屬等材料所形成。
保持構件4，例如，具有約略平坦的第1面（保持面）4a、及與該第1面4a相反側的第2面4b，且在俯視下形成半環狀（U形）。第1面4a的表面粗糙度，例如，算術平均粗糙度（Ra）為6.3μm以下。藉由使第1面4a形成這樣的表面粗糙度，刀片保持器具2可以適當地保持切割刀片12（參照圖3等）。
保持構件4的前端側，夾住開口4c而分成第1部分4d與第2部分4e。開口4c的形狀，例如，在俯視下為半圓形等。又，本實施方式中，使該開口4c形成大於切割刀片12之開口12b（參照圖3等）的方式。藉此，可防止切割刀片12的裝設處，即切割單元等與刀片保持器具2的干涉。然而，開口4c的形狀、大小等並無特別限制。
在保持構件4的第2面4b側，用以讓作業員等把持的被把持構件（被把持部）6係設於俯視下不與開口4c重疊的位置。該被把持構件6包含：板狀的基部6a，從保持構件4向外延伸出；突出部6b，從基部6a向與保持構件4之相反側突出。例如，藉由以手指抓住該突出部6b，可把持被把持構件6。然而，被把持構件6的構造及把持的態樣並無特別限制。
圖3係示意表示以刀片保持器具2保持切割刀片12之狀態的俯視圖。在以刀片保持器具2保持圓環狀的切割刀片12時，首先，使液體（未圖示）附著於保持構件4的第1面4a。接著，透過該液體，使第1面4a接觸切割刀片12的任一被保持面（本實施方式中為第1面12a）。
結果，藉由液體的表面張力，切割刀片12的任一被保持面（本實施方式中為第1面12a）與刀片保持器具2的第1面4a密合。藉此，可以刀片保持器具2保持切割刀片12。本實施方式中，係以使切割刀片12的開口12b配置於保持構件4之開口4c內側的方式，調整切割刀片12與刀片保持器具2的位置關係。
藉此，可防止切割單元等與刀片保持器具2的干涉。另外，本實施方式中，雖使刀片保持器具2的第1面4a接觸切割刀片12的第1面12a側而保持切割刀片12，但亦可使第1面4a接觸與第1面12a相反的第2面（未圖示）側而保持切割刀片12。
附著於保持構件4之第1面4a的液體類型並無特別限制，但從成本及易取得性等的觀點來看，期望係使用水。使用水的情況，亦具有不需要後續洗淨等的優點。又，本實施方式中，雖使液體附著於刀片保持器具2側（保持構件4的第1面4a），但亦可使液體附著於切割刀片12側（被保持面）。
接著說明以該刀片保持器具2所保持之切割刀片12裝設於切割單元的情況。圖4係示意表示對切割單元22裝設切割刀片12之態樣的立體圖。如圖4所示，切割單元22，例如，具備筒狀的主軸外殼24，其被切割裝置之移動機構（未圖示）等所支撐。
主軸外殼24的內部容納有作為旋轉軸的主軸26。主軸26的前端部，露出於主軸外殼24的外部。在該主軸26的前端部，安裝有用以裝設切割刀片12的後凸緣28。後凸緣28包含：凸緣部30，在徑向上向外延伸出；轂部32，從凸緣部30的前面中央部分往前方突出。
凸緣部30的外周側的表面（前面），成為與切割刀片12之被保持面相反側的面（本實施方式中為第2面）接觸的接觸面。該接觸面，從主軸26的軸心方向看去，形成圓環狀。轂部32形成圓筒狀，其外周面設有螺紋。
藉由透過刀片保持器具2保持切割刀片12，使轂部32插入其開口12b，可將切割刀片12安裝於後凸緣28。本實施方式中，係以使切割刀片12的開口12b配置於保持構件4之開口4c內側的方式，調整切割刀片12與刀片保持器具2的位置關係，因此轂部32不會干涉刀片保持器具2。
將切割刀片12安裝於後凸緣28之後，使刀片保持器具2相對於切割刀片12的保持面（本實施方式中為第1面12a）平行滑動，可從切割刀片12取下刀片保持器具2。切割刀片12，因為僅以液體的表面張力被刀片保持器具2所保持，故可藉由使刀片保持器具2相對切割刀片12平行滑動而從切割刀片12輕易地取下刀片保持器具2。
在從切割刀片12取下刀片保持器具2之後，將圓環狀的前凸緣34裝設於切割刀片12的被保持面側（本實施方式中為第1面12a側）。開口34a形成於前凸緣34之中央，後凸緣28的轂部32插入該開口34a。另外，前凸緣34的外周側的背面（後面），成為與切割刀片12的被保持面接觸的接觸面。前凸緣34的接觸面設於與後凸緣28的接觸面對應的位置。
使前凸緣34插入轂部32之後，將圓環狀的固定螺帽36鎖入轂部32的前端。藉此，前凸緣34往後凸緣28側按壓，切割刀片12被後凸緣28與前凸緣34夾持。另外，固定螺帽36上形成有開口36a，該開口36a的內壁面設有與轂部32的螺紋對應的螺槽。
如以上所述，本實施方式之刀片保持器具2，透過附著於保持構件（保持部）4之第1面（保持面）4a的液體，而藉由液體的表面張力保持切割刀片12。藉此，藉由使用該刀片保持器具2，可在作業員不直接觸碰的情況下保持切割刀片12。
另外，本發明不限於上述實施方式之記載，可實施各種變化。例如，上述實施方式中，在將切割刀片12裝設於切割單元22時，雖使切割刀片12的被保持面接觸前凸緣34、使與切割刀片12之被保持面相反側的面接觸後凸緣28（凸緣部30），但亦可使切割刀片12的被保持面接觸後凸緣28（凸緣部30）、使與切割刀片12的被保持面相反側的面接觸前凸緣34。
此外，上述實施方式之構造、方法等，只要不脫離本發明之目的的範圍，則可適當變化而據以實施。
2‧‧‧刀片保持器具4‧‧‧保持構件（保持部）4a‧‧‧第1面（保持面）4b‧‧‧第2面4c‧‧‧開口4d‧‧‧第1部分4e‧‧‧第2部分6‧‧‧被把持構件（被把持部）6a‧‧‧基部6b‧‧‧突出部12‧‧‧切割刀片12a‧‧‧第1面12b‧‧‧開口22‧‧‧切割單元24‧‧‧主軸外殼26‧‧‧主軸28‧‧‧後凸緣30‧‧‧凸緣部32‧‧‧轂部34‧‧‧前凸緣34a‧‧‧開口36‧‧‧固定螺帽36a‧‧‧開口
圖1係示意表示刀片保持器具之構成例的俯視圖。 圖2係示意表示刀片保持器具之構成例的側視圖。 圖3係示意表示以刀片保持器具保持切割刀片之狀態的俯視圖。 圖4係示意表示對切割單元裝設切割刀片之態樣的立體圖。
2‧‧‧刀片保持器具
4‧‧‧保持構件(保持部)
4b‧‧‧第2面
4c‧‧‧開口
4d‧‧‧第1部分
4e‧‧‧第2部分
6‧‧‧被把持構件(被把持部)
6a‧‧‧基部
6b‧‧‧突出部

Claims (2)

  1. 一種刀片保持器具，用以保持環狀之切割刀片，其特徵為包含：板狀且U形的保持部，在外側具備保持該切割刀片的保持面；透過附著於該保持面的液體，藉由該液體的表面張力而保持該切割刀片。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之刀片保持器具，其中更具備設於該保持部的與該保持面相反的第2面側且從該保持部延伸的被把持部。
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