KR20140117319A

KR20140117319A - 전자 부품 반송 장치 및 전자 부품 검사 장치

Info

Publication number: KR20140117319A
Application number: KR1020140110558A
Authority: KR
Inventors: 후유미 다까따; 다까시 야마자끼
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2012-07-20
Filing date: 2014-08-25
Publication date: 2014-10-07
Also published as: TWI622541B; JP6083140B2; JP2014020985A; KR101491281B1; TW201404697A; CN106185236A; CN103569624B; CN103569624A; TW201641397A; TWI591353B; CN106185235A; KR20140012600A

Abstract

전자 부품이 재치되는 트레이를 제1 방향으로 이동하는 제1 컨베이어와, 전자 부품에 설치된 개체 식별 번호를 검출하는 촬상 장치와, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 촬상 장치를 이동하는 트레이 반송부와, 개체 식별 번호를 이용하여 전자 부품의 식별 정보를 연산하는 개체 식별 번호 연산부를 구비한다.

Description

전자 부품 반송 장치 및 전자 부품 검사 장치{ELECTRONIC COMPONENT TRANSPORT DEVICE AND ELECTRONIC COMPONENT INSPECTION DEVICE}

본 발명은, 전자 부품 반송 장치 및 전자 부품 검사 장치에 관한 것이다.

종래, 전자 부품을 각종 장치에 재료 공급하고 재료 제거하는 전자 부품 반송 장치가 이용되고 있다. 이 전자 부품 반송 장치는 IC(Integrated Circuit) 핸들러라고도 칭하게 된다. 트레이에 수납된 전자 부품을 이동하는 IC 핸들러가 특허문헌 1에 개시되어 있다. 그에 따르면, IC 핸들러는 전자 부품을 트레이로부터 검사하는 테스트 헤드에 공급하고, 검사가 종료된 전자 부품을 트레이에 수납하고 있었다. 미검사 트레이 수납부에서는 미검사의 전자 부품이 매트릭스 형상으로 재치된 트레이가 복수 겹쳐져 있다. 그리고, 부품 취출부가 전자 부품을 트레이로부터 이동하고, 부품 공급부가 전자 부품을 테스트 헤드에 공급한다.

전자 부품이 이동된 후의 빈 트레이를 트레이 이송부가 빈 트레이 수납부, 양호 부품 트레이 수납부, 불량 트레이 수납부로 이동한다. 이 미검사 트레이 수납부, 빈 트레이 수납부, 양호 부품 트레이 수납부, 불량 트레이 수납부는 직선 위를 따라서 배치되어 있다. 그리고, 트레이 이송부는 한 방향으로 연장되는 레일 부재를 따라서 이동함으로써 각 트레이 수납부에 트레이를 이동하는 것이 가능하게 되어 있다.

일본 특허 출원 공개 제2010-151589호 공보

특허문헌 1에 개시되는 종래의 IC 핸들러에는 IC, CIS(Contact Image Sensor) 등의 전자 부품의 식별 번호를 인식하는 기능이 없었다. 따라서, 잘못된 전자 부품이 IC 핸들러에 들어가도, 그대로 검사 장치에 반송되어, 검사되는 경우가 있어, 정상적인 검사 결과가 얻어지지 않는다. 따라서, 본원 발명은, 개개의 IC의 식별 번호를 인식함으로써, 잘못된 전자 부품을 유동시키지 않을 수 있는 전자 부품 반송 장치를 제공하게 된다.

본 발명은, 상술한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 이하의 형태 또는 적용예로서 실현하는 것이 가능하다.

[적용예 1]

본 적용예에 관한 전자 부품 반송 장치로서, 전자 부품에 표시된 식별 정보를 검출하는 식별 정보 검출부와, 상기 식별 정보를 이용하여 상기 전자 부품의 개체 식별을 하는 개체 식별부와, 상기 전자 부품을 소정의 장소로 반송하는 것이 가능한 반송 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 적용예에 따르면, 전자 부품에는 식별 정보가 설치되고, 식별 정보 검출부가 식별 정보를 검출한다. 그리고, 개체 식별부가 식별 정보로부터 전자 부품의 식별 정보를 검출한다. 그리고, 반송 기구가 전자 부품을 소정의 장소로 반송한다. 따라서, 전자 부품 반송 장치는 전자 부품의 식별 정보를 인식할 수 있다. 그 결과, 전자 부품 반송 장치는 잘못된 전자 부품을 소정의 장소로 반송하는 일이 없도록 할 수 있다.

[적용예 2]

상기 적용예에 관한 전자 부품 반송 장치에 있어서, 상기 전자 부품을 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 복수 재치하는 것이 가능한 용기와, 상기 제1 방향으로 상기 용기를 이동시키는 제1 이동부와, 상기 제2 방향으로 상기 식별 정보 검출부를 이동시키는 제2 이동부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 적용예에 따르면, 용기에 전자 부품이 재치되고, 그 용기가 전자 부품 반송 장치에 설치된다. 용기에는 전자 부품을 제1 방향 및 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 복수 재치하는 것이 가능하게 되어 있다. 전자 부품 반송 장치는 제1 이동부 및 제2 이동부를 구비하고 있다. 제1 이동부가 용기를 제1 방향으로 이동한다. 제2 이동부는 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 식별 정보 검출부를 이동한다. 따라서, 제1 이동부와 제2 이동부를 구동함으로써 전자 부품 반송 장치는 전자 부품과 식별 정보 검출부를 2차원에 있어서 상대 이동시킬 수 있다. 따라서, 용기에 전자 부품이 복수의 열을 이루어 재치되어 있을 때에도 전자 부품 반송 장치는 각 전자 부품의 식별 정보를 인식할 수 있다. 그 결과, 용기에 설치된 전자 부품의 식별 정보를 전부 인식할 수 있다.

[적용예 3]

상기 적용예에 관한 전자 부품 반송 장치에 있어서, 상기 개체 식별부에 의해 얻어지는 식별 결과에 기초하여, 상기 전자 부품을 상기 소정의 장소로 반송하거나, 또는, 반송하지 않는 것을 절환하는 것을 특징으로 한다.

본 적용예에 따르면, 개체 식별부가 전자 부품의 개체 식별을 하는, 그리고, 얻어지는 식별 결과에 기초하여, 전자 부품에 소정의 처치를 실시할 때에는 반송 기구가 전자 부품을 상기 소정의 장소로 반송한다. 전자 부품에 소정의 처치를 실시하지 않을 때에는, 전자 부품을 반송하지 않는다. 따라서, 전자 부품 반송 장치는 확실하게 잘못된 전자 부품에 소정의 처치를 하여 유동하는 일이 없도록 할 수 있다.

[적용예 4]

상기 적용예에 관한 전자 부품 반송 장치에 있어서, 상기 제2 이동부는 상기 식별 정보 검출부를 이동시키는 타이밍과 다른 타이밍에서 상기 제2 방향으로 상기 용기를 이동시키는 것이 가능한 것을 특징으로 한다.

본 적용예에 따르면, 전자 부품 반송 장치는 제2 이동부를 구비하고 있다. 제2 이동부는 제2 방향으로 용기를 이동한다. 이에 의해, 용기를 제1 이동부로부터 제외할 수 있다. 그리고, 제2 이동부는 용기와 식별 정보 검출부를 다른 타이밍에 의해 이동시킨다. 따라서, 용기를 이동하기 위한 부위와 식별 정보 검출부를 이동하기 위한 부위와의 2개의 부위를 설치할 때에 비해 간이한 구조로 할 수 있다. 그 결과, 전자 부품 반송 장치를 생산성 좋게 제조할 수 있다.

[적용예 5]

상기 적용예에 관한 전자 부품 반송 장치에 있어서, 상기 개체 식별의 결과를 출력하는 정보 출력부를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 적용예에 따르면, 정보 출력부가 개체 식별의 결과를 출력한다. 따라서, 전자 부품의 식별 정보를 활용할 수 있다.

[적용예 6]

상기 적용예에 관한 전자 부품 반송 장치에 있어서, 상기 정보 출력부는 상기 개체 식별의 결과를 표시하는 정보 표시부를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 적용예에 따르면, 정보 표시부가 개체 식별의 결과를 표시한다. 따라서, 조작자가 전자 부품의 식별 정보를 확인하여 식별 정보의 표시에 따른 대응을 할 수 있다.

[적용예 7]

상기 적용예에 관한 전자 부품 반송 장치에 있어서, 상기 정보 출력부는 상기 개체 식별의 결과를 신호로 하여 출력하는 출력 인터페이스를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 적용예에 따르면, 출력 인터페이스가 개체 식별의 결과를 신호로 하여 출력한다. 따라서, 신호를 입력하는 기기가 전자 부품의 개체 식별의 결과를 확인하여 식별 정보에 따른 대응을 할 수 있다.

[적용예 8]

본 적용예에 관한 전자 부품 반송 장치로서, 전자 부품에 표시된 식별 정보를 화상으로서 촬상하는 화상 촬상부와, 상기 화상 촬상부에 의해 촬상된 상기 식별 정보를 화상 데이터로 변환하는 데이터 변환부와, 상기 데이터 변환부에 의해 변환된 화상 데이터를 이용하여 상기 전자 부품의 개체 식별을 하는 개체 식별부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 적용예에 따르면, 화상 촬상부가 전자 부품에 표시된 식별 정보를 화상으로서 촬상한다. 다음에, 데이터 변환부가 화상 촬상부에 의해 촬상된 식별 정보를 데이터 변환한다. 계속해서, 개체 식별부가 데이터 변환부에 의해 변환된 데이터를 이용하여 전자 부품의 개체 식별을 한다. 따라서, 전자 부품 반송 장치는 전자 부품의 식별 정보를 인식할 수 있다. 그 결과, 전자 부품 반송 장치는 잘못된 전자 부품에 소정의 처치를 하여 유동하는 일이 없도록 할 수 있다.

[적용예 9]

상기 적용예에 관한 전자 부품 반송 장치에 있어서, 상기 식별 정보는 문자를 포함하고, 상기 개체 식별부는 상기 화상 데이터를 문자로서 인식하는 문자 인식 기능을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 적용예에 따르면, 개체 식별부는 문자 인식 기능을 갖고 있다. 따라서, 식별 정보가 문자를 포함하고 있을 때에 개체 식별부는 문자의 화상 데이터를 문자로서 인식할 수 있다.

[적용예 10]

상기 적용예에 관한 전자 부품 반송 장치에 있어서, 상기 식별 정보는 바코드를 포함하고, 상기 식별 정보 검출부는 상기 바코드를 판독하는 바코드 판독기를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 적용예에 따르면, 식별 정보 검출부는 바코드 판독기를 갖는다. 또한, 바코드 판독기가 검출하는 바코드는 1차원의 바코드와 2차원의 바코드를 포함하고 있다. 따라서, 식별 정보가 바코드를 포함하고 있을 때에도 용이하게 식별 정보로부터 개체 식별이 되는 정보를 판독할 수 있다.

[적용예 11]

상기 적용예에 관한 전자 부품 반송 장치에 있어서, 상기 식별 정보와 비교하는 비교 정보를 입력하는 정보 입력부와, 상기 비교 정보와 상기 식별 정보가 다를 때에는 경보 정보를 출력하는 경보 출력부를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 적용예에 따르면, 정보 입력부에 있어서 비교 정보가 입력된다. 그리고, 개체 식별부가 개체 식별을 한다. 정보 비교부가 비교 정보와 식별 정보를 비교하고, 다를 때에는 경보 정보를 출력한다. 따라서, 전자 부품 반송 장치가 취급할 예정의 전자 부품과 설치된 전자 부품이 다를 때에는 이 상황에 따른 대응을 할 수 있다.

[적용예 12]

본 적용예에 관한 전자 부품 검사 장치로서, 전자 부품에 표시된 식별 정보를 검출하는 식별 정보 검출부와, 상기 식별 정보를 이용하여 상기 전자 부품의 개체 식별을 하는 개체 식별부와, 상기 전자 부품을 검사하는 검사부와, 상기 전자 부품을 상기 검사부에 반송하는 반송 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 적용예에 따르면, 전자 부품에는 식별 정보가 설치되고, 식별 정보 검출부가 식별 정보를 검출한다. 그리고, 개체 식별부가 식별 정보로부터 전자 부품의 식별 정보를 검출한다. 그리고, 반송 기구가 전자 부품을 소정의 처치가 실시되는 위치로 반송한다. 따라서, 전자 부품 반송 장치는 전자 부품의 식별 정보를 인식할 수 있다. 반송 기구가 전자 부품을 검사부에 반송하고, 검사부가 전자 부품을 검사한다. 그 결과, 전자 부품 검사 장치는 잘못된 전자 부품을 검사하는 일이 없도록 할 수 있다.

도 1은 제1 실시 형태에 관계되는 부품 검사 장치의 구조를 도시하는 모식 평면도.
도 2의 (a) 및 (b)는 부품 검사 장치의 구조를 도시하는 모식 측면도.
도 3은 부품 검사 장치의 구조를 도시하는 개략 사시도.
도 4는 전자 부품을 설명하기 위한 모식 평면도.
도 5는 부품 검사 장치의 전기 제어 블록도.
도 6은 전자 부품의 검사 방법을 나타내는 플로우차트.
도 7은 전자 부품의 검사 방법을 설명하기 위한 모식도.
도 8은 전자 부품의 검사 방법을 설명하기 위한 모식도.
도 9는 제2 실시 형태에 관한 것으로, (a)는 전자 부품을 설명하기 위한 모식 평면도, (b)는 부품 검사 장치의 구조를 도시하는 모식 측면도.
도 10은 변형예에 관계되는 전자 부품을 설명하기 위한 모식 평면도.

본 실시 형태에서는, 부품 반송 장치를 구비한 부품 검사 장치와 이 부품 반송 장치가 부품을 반송하는 방법의 특징적인 예에 대해서 설명한다. 이하, 실시 형태에 대해서 도면에 따라서 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서의 각 부재는, 각 도면 상에서 인식 가능한 정도의 크기로 하므로, 각 부재마다 축척을 서로 다르게 하여 도시하고 있다.

(제1 실시 형태)

제1 실시 형태에 관계되는 부품 검사 장치에 대해서 도 1 내지 도 8에 따라서 설명한다.

(부품 검사 장치)

도 1은, 부품 검사 장치의 구조를 도시하는 모식 평면도이고, 커버를 제거한 도면으로 되어 있다. 도 2의 (a) 및 도 2의 (b)는, 부품 검사 장치의 구조를 도시하는 모식 측면도이다. 도 3은, 부품 검사 장치의 구조를 도시하는 개략 사시도이다. 도 1 내지 도 3에 도시하는 바와 같이 부품 검사 장치(1)는 직사각형의 판 형상의 기대(2)를 구비하고 있다. 기대(2)의 평면에서 보아 기대(2)의 직교하는 2변이 연장되는 방향을 X방향과 Y방향으로 하고, 연직 방향을 -Z방향으로 한다. 부품 검사 장치(1)는 주로 전자 부품을 검사하는 검사부(1a)와 검사부(1a)에 부품을 반송하는 부품 반송 장치로서의 반송부(1b)로 구성되어 있다.

기대(2) 위의 X방향측에는 X방향으로 길게 연장되는 6개의 벨트 컨베어가 설치되어 있다. 벨트 컨베어는 -Y방향측으로부터 순서대로 제1 이동부로서의 제1 컨베이어(3), 제2 컨베이어(4), 제3 컨베이어(5), 제4 컨베이어(6), 제5 컨베이어(7), 제6 컨베이어(8)로 되어 있다. 제1 컨베이어(3)는 재료 공급용의 벨트 컨베어이고, 제1 컨베이어(3) 위에는 용기로서의 트레이(9)가 재치되어 있다. 트레이(9)는 칸막이판에 의해 5행 5열의 매트릭스 형상으로 구획되어 있고, 각 구획에는 전자 부품(10)이 재치되어 있다. 따라서, 트레이(9)는 직교하는 2방향으로 배열하여 전자 부품(10)을 재치하는 것이 가능하게 되어 있다.

제1 컨베이어(3)는 내부에 모터, 감속기, 풀리(3a)를 구비하고, 감속기에 의해 감속된 회전수로 모터가 풀리를 회동한다. 그리고, 풀리의 외주와 접촉하여 벨트(3b)가 설치되고, 모터가 풀리를 회동함으로써, 벨트가 이동하게 되어 있다. 그리고, 제1 컨베이어(3) 위에 재치된 트레이(9)는 벨트와 함께 X방향으로 왕복 이동된다. 제1 컨베이어(3)가 트레이(9)를 이동하는 X방향을 제1 방향(3c)으로 한다. 제2 컨베이어(4) 내지 제6 컨베이어(8)는 제1 컨베이어(3)와 동일한 구조로 되어 있고, 제1 컨베이어(3)와 마찬가지로 트레이(9)를 X방향으로 왕복 이동하는 것이 가능하게 되어 있다.

제2 컨베이어(4) 및 제3 컨베이어(5)는 빈 트레이(9)를 두는 장소로 되어 있고, 제4 컨베이어(6)는 불량으로 판정된 전자 부품(10)을 저장하는 트레이(9)를 두는 장소로 되어 있다. 그리고, 제5 컨베이어(7) 및 제6 컨베이어(8)는 양품으로 판정된 전자 부품(10)을 저장하는 트레이(9)를 두는 장소로 되어 있다.

전자 부품(10)의 형태는 특별히 한정되지 않지만, 본 실시 형태에서는, 예를 들면, 전자 부품(10)은 플랫 패키지 등의 각종의 패키지 형태의 IC(Integrated Circuit), CIS, 액정 패널, 액정 모듈 및 전자 모듈 등을 적응할 수 있다. 그리고, 부품 검사 장치(1)는 전자 부품(10)의 전기 특성을 검사하여 양품과 불량품을 분별하는 장치로 되어 있다.

제1 컨베이어(3) 내지 제6 컨베이어(8)와 대향하는 장소에는 제2 이동부로서의 트레이 반송부(11)가 설치되어 있다. 트레이 반송부(11)는 제1 컨베이어(3) 내지 제6 컨베이어(8)를 넘어 설치된 문형의 트레이 반송 지지부(12)를 구비하고 있다. 트레이 반송 지지부(12)는 Y방향으로 긴 형상이고, 트레이 반송 지지부(12)의 -X방향측에는 Y방향으로 연장되는 레일(13)이 설치되어 있다.

레일(13)의 -X방향측에는 레일(13)을 따라서 이동하는 이동 기구로서의 트레이 이동 스테이지(14)가 설치되어 있다. 트레이 이동 스테이지(14)가 이동하는 Y방향을 제2 방향(14a)으로 한다. 제2 방향(14a)은 제1 방향(3c)과 직교하는 방향이고, 제1 방향(3c) 및 제2 방향(14a)은 트레이(9)에 전자 부품(10)이 배열되는 방향으로 되어 있다. 트레이 반송 지지부(12)의 내부에는 트레이 이동 스테이지(14)를 이동시키는 직동 기구가 설치되어 있다. 이 직동 기구의 종류는 특별히 한정되지 않고, 리니어 모터, 모터와 볼 나사와의 조합하고, 래크, 피니온 및 모터의 조합 등 각종의 형태를 이용할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 예를 들면, 서보 모터와 볼 나사의 조합을 채용하고 있다.

트레이 이동 스테이지(14)의 -X방향측의 면에는 트레이 파지 지지부(15)를 통하여 트레이 파지부(16)가 설치되어 있다. 트레이 파지부(16)는 승강 장치와 진공 척을 구비하고 있다. 진공 척은 흡반을 구비하고, 흡반이 배관에 의해 진공 펌프와 접속되어 있다. 그리고, 승강 장치는 진공 척을 승강시키는 기능을 구비하고 있다. 승강 장치가 진공 척을 하강시켜 진공 척의 흡반을 트레이(9)에 접촉시킨다. 그리고, 흡반과 트레이(9) 사이를 진공으로 함으로써 진공 척은 트레이(9)를 파지한다. 그 후, 승강 장치가 트레이(9)를 상승시킴으로써 트레이(9)가 제1 컨베이어(3)로부터 분리되어, 트레이 이동 스테이지(14)가 트레이(9)를 Y방향으로 이동 가능하게 된다. 트레이 반송부(11)는 트레이 반송 지지부(12), 레일(13), 트레이 이동 스테이지(14), 트레이 파지 지지부(15) 및 트레이 파지부(16) 등에 의해 구성되어 있다.

트레이 이동 스테이지(14)의 -X방향측의 면에는 트레이 파지부(16) 외에도 식별 정보 검출부 및 화상 촬상부로서의 촬상 장치(17)가 설치되어 있다. 그리고, 트레이 이동 스테이지(14)는 촬상 장치(17)를 제2 방향(14a)으로 왕복 이동한다. 트레이 이동 스테이지(14)가 구비하는 이동 기구는 촬상 장치(17)와 트레이 파지부(16)를 이동한다. 다시 말해서, 촬상 장치(17)와 트레이 파지부(16)는 공통의 이동 기구를 갖고 있다.

촬상 장치(17)는 내부에 대물 렌즈, 오토 포커스 장치, 동축낙사 조명 장치와 CCD(Charge Coupled Device) 촬상 소자가 내장된 것이다. 촬상 장치(17)는 대물 렌즈가 전자 부품(10)을 향하여 설치되어 있다. 우선, 동축낙사 조명 장치로부터 사출한 광은 전자 부품(10)을 조사한다. 촬상 장치(17)는 전자 부품(10)에서 반사하는 광을 대물 렌즈를 통과시켜 입력한다. 그리고, 오토 포커스 장치가 CCD 촬상 소자에 결상한다. CCD 촬상 소자가 화상을 전기 신호로 변환함으로써 촬상 장치(17)는 전자 부품(10)을 촬상하는 것이 가능하게 되어 있다.

제1 컨베이어(3) 내지 제6 컨베이어(8)의 -X방향측에는 반송 기구로서의 부품 재료 제거/공급부(20)가 설치되어 있다. 부품 재료 제거/공급부(20)는 기대(2) 위에 설치된 문형의 부품 반송 지지부(21)를 구비하고 있다. 부품 반송 지지부(21)는 기대(2)에 세워 설치된 한 쌍의 지주부(21a)와 지주부(21a) 사이에 가교된 가교 부재(21b)로 구성되어 있다. 가교 부재(21b)의 기대(2)측의 면에는 Y방향으로 연장되는 레일(22)이 설치되어 있다. 그리고, 가교 부재(21b)의 레일(22)에 현가하여 직방체 형상의 재료 공급 Y스테이지(23) 및 재료 제거 Y스테이지(24)가 설치되어 있다. 가교 부재(21b)에는 직동 기구가 내장되고, 이 직동 기구가 재료 공급 Y스테이지(23) 및 재료 제거 Y스테이지(24)를 Y방향으로 왕복 이동시킨다. 또한, 가교 부재(21b)의 직동 기구는 트레이 이동 스테이지(14)를 구동하는 직동 기구와 마찬가지인 기구를 이용할 수 있다.

재료 공급 Y스테이지(23)의 기대(2)측에는 X방향으로 연장되는 제1 지지 들보(25)가 설치되고, 제1 지지 들보(25)에는 X방향으로 연장되는 레일(26)이 설치되어 있다. 그리고, 제1 지지 들보(25)의 레일(26)에 현가하여 직방체 형상의 재료 공급 X스테이지(27)가 설치되어 있다. 제1 지지 들보(25)에는 직동 기구가 내장되고, 이 직동 기구가 재료 공급 부품 파지부(28)를 X방향으로 왕복 이동시킨다. 또한, 제1 지지 들보(25)의 직동 기구는 트레이 이동 스테이지(14)를 구동하는 직동 기구와 마찬가지인 기구를 이용할 수 있다. 재료 공급 X스테이지(27)의 기대(2)측에는 재료 공급 부품 파지부(28)가 설치되고, 재료 공급 부품 파지부(28)는 승강 장치 및 진공 척을 구비하고 있다. 이 승강 장치 및 진공 척은 트레이 파지부(16)가 구비하는 승강 장치 및 진공 척과 마찬가지인 구조이며 설명을 생략한다. 재료 공급 Y스테이지(23), 제1 지지 들보(25), 재료 공급 X스테이지(27) 및 재료 공급 부품 파지부(28) 등에 의해 반송 기구로서의 부품 재료 공급부(29)가 구성되어 있다.

재료 공급 부품 파지부(28)에서는 승강 장치가 진공 척을 하강시켜 진공 척의 흡반을 전자 부품(10)에 접촉시킨다. 그리고, 흡반과 전자 부품(10) 사이를 진공으로 함으로써 진공 척은 전자 부품(10)을 파지한다. 그 후, 승강 장치가 전자 부품(10)을 상승시킴으로써 재료 공급 Y스테이지(23) 및 재료 공급 X스테이지(27)가 전자 부품(10)을 X방향 및 Y방향으로 이동할 수 있다.

마찬가지로, 재료 제거 Y스테이지(24)의 기대(2)측에는 X방향으로 연장되는 제2 지지 들보(30)가 설치되고, 제2 지지 들보(30)의 기대(2)측에는 X방향으로 연장되는 레일(26)이 설치되어 있다. 그리고, 제2 지지 들보(30)의 레일(26)에 현가하여 직방체 형상의 재료 제거 X스테이지(31)가 설치되어 있다. 제2 지지 들보(30)에는 직동 기구가 내장되고, 이 직동 기구가 재료 제거 X스테이지(31)를 X방향으로 왕복 이동시킨다. 또한, 제2 지지 들보(30)의 직동 기구는 트레이 이동 스테이지(14)를 구동하는 직동 기구와 마찬가지인 기구를 이용할 수 있다. 재료 제거 X스테이지(31)의 기대(2)측에는 재료 제거 부품 파지부(32)가 설치되고, 재료 제거 부품 파지부(32)는 승강 장치 및 진공 척을 구비하고 있다. 이 승강 장치 및 진공 척은 트레이 파지부(16)가 구비하는 승강 장치 및 진공 척과 마찬가지인 구조이며 설명을 생략한다. 재료 제거 Y스테이지(24), 제2 지지 들보(30), 재료 제거 X스테이지(31) 및 재료 제거 부품 파지부(32) 등에 의해 부품 재료 제거부(33)가 구성되어 있다.

재료 제거 부품 파지부(32)에서는 승강 장치가 진공 척을 하강시켜 진공 척의 흡반을 전자 부품(10)에 접촉시킨다. 그리고, 흡반과 전자 부품(10) 사이를 진공으로 함으로써 진공 척은 전자 부품(10)을 파지한다. 그 후, 승강 장치가 전자 부품(10)을 상승시킴으로써 재료 제거 Y스테이지(24) 및 재료 제거 X스테이지(31)가 전자 부품(10)을 X방향 및 Y방향으로 이동할 수 있다.

부품 반송 지지부(21)의 -X방향에는 기대(2) 위에 검사용 소켓(34)이 설치되어 있다. 검사용 소켓(34)은 전자 부품(10)을 검사하는 장소이다. 검사용 소켓(34)에는 전자 부품(10)의 외형 형상과 거의 동일한 형상의 오목부가 형성되고, 이 오목부에 전자 부품(10)이 설치 가능하게 되어 있다. 그리고, 오목부에는 전자 부품(10)의 단자와 전기적으로 접촉 가능한 프로브가 설치되어 있다. 검사용 소켓(34)에는 4개의 오목부가 설치되고, 4개의 전자 부품(10)을 동시에 검사할 수 있다.

검사용 소켓(34)의 X방향에는 검사용 소켓(34)과 부품 반송 지지부(21) 사이에 한 쌍의 레일(35)이 설치되어 있다. 레일(35)은 Y방향으로 연장되어 설치되고, 레일(35) 위에는 레일(35)을 따라서 이동하는 제1 셔틀 스테이지(36)가 설치되어 있다. 기대(2)에는 한 쌍의 레일(35)의 사이에 직동 기구가 내장되고, 이 직동 기구가 제1 셔틀 스테이지(36)를 Y방향으로 왕복 이동시킨다. 또한, 레일(35)의 사이의 직동 기구에는 트레이 이동 스테이지(14)를 구동하는 직동 기구와 마찬가지인 기구를 이용할 수 있다.

제1 셔틀 스테이지(36)의 Z방향을 향하는 면에는 전자 부품(10)을 설치하기 위한 오목부(37)가 8개 설치되어 있다. 이 중 4개의 오목부(37)는 제1 셔틀 스테이지(36)의 -Y방향측에 배치되고, 이 오목부(37)를 재료 공급용 오목부(37a)로 한다. 남은 4개의 오목부(37)는 제1 셔틀 스테이지(36)의 Y방향측에 배치되고, 이 오목부(37)를 재료 제거용 오목부(37b)로 한다. 재료 제거용 오목부(37b)가 검사용 소켓(34)의 옆에 위치할 때, 기대(2)의 평면에서 보아 재료 공급용 오목부(37a)는 부품 재료 공급부(29)의 재료 공급 부품 파지부(28)가 이동 가능한 장소에 위치한다. 마찬가지로, 재료 공급용 오목부(37a)가 검사용 소켓(34)의 옆에 위치할 때, 기대(2)의 평면에서 보아 재료 제거용 오목부(37b)는 부품 재료 제거부(33)의 재료 제거 부품 파지부(32)가 이동 가능한 장소에 위치한다.

검사용 소켓(34)의 -X방향에는 검사용 소켓(34)과 기대(2)의 단부 사이에 한 쌍의 레일(40)이 설치되어 있다. 레일(40)은 Y방향으로 연장되어 설치되고, 레일(40) 위에는 레일(40)을 따라서 이동하는 제2 셔틀 스테이지(41)가 설치되어 있다. 기대(2)에는 한 쌍의 레일(40)의 사이에 직동 기구가 내장되고, 이 직동 기구가 제2 셔틀 스테이지(41)를 Y방향으로 왕복 이동시킨다. 또한, 레일(40)의 사이의 직동 기구는 트레이 이동 스테이지(14)를 구동하는 직동 기구와 마찬가지인 기구를 이용할 수 있다.

제2 셔틀 스테이지(41)의 Z방향을 향하는 면에는 전자 부품(10)을 설치하기 위한 오목부(42)가 8개 설치되어 있다. 이 중 4개의 오목부(42)는 제2 셔틀 스테이지(41)의 -Y방향측에 배치되고, 이 오목부(42)를 재료 공급용 오목부(42a)로 한다. 남은 4개의 오목부(42)는 제2 셔틀 스테이지(41)의 Y방향측에 배치되고, 이 오목부(42)를 재료 제거용 오목부(42b)로 한다. 재료 제거용 오목부(42b)가 검사용 소켓(34)의 옆에 위치할 때, 기대(2)의 평면에서 보아 재료 공급용 오목부(42a)는 부품 재료 공급부(29)의 재료 공급 부품 파지부(28)가 이동 가능한 장소에 위치한다. 마찬가지로, 재료 공급용 오목부(42a)가 검사용 소켓(34)의 옆에 위치할 때, 기대(2)의 평면에서 보아 재료 제거용 오목부(42b)는 부품 재료 제거부(33)의 재료 제거 부품 파지부(32)가 이동 가능한 장소에 위치한다.

제1 셔틀 스테이지(36) 및 제2 셔틀 스테이지(41)와 대향하는 장소에는 반송 기구로서의 부품 압압 장치(43)가 설치되어 있다. 부품 압압 장치(43)는 제1 셔틀 스테이지(36) 및 제2 셔틀 스테이지(41)를 넘어 설치된 문형의 압압 지지부(44)를 구비하고 있다. 압압 지지부(44)는 X방향으로 긴 형상이고, 압압 지지부(44)의 Y방향측에는 X방향으로 연장되는 레일(45)이 설치되어 있다.

레일(45)의 Y방향측에는 레일(45)을 따라서 이동하는 측정 X스테이지(46)가 설치되어 있다. 압압 지지부(44)의 내부에는 측정 X스테이지(46)를 이동시키는 직동 기구가 설치되어 있다. 또한, 측정 X스테이지(46)의 직동 기구는 트레이 이동 스테이지(14)를 구동하는 직동 기구와 마찬가지인 기구를 이용할 수 있다.

측정 X스테이지(46)의 Y방향측에는 검사 부품 파지부(47)가 설치되고, 검사 부품 파지부(47)는 승강 장치 및 진공 척을 구비하고 있다. 이 승강 장치 및 진공 척은 트레이 파지부(16)가 구비하는 승강 장치 및 진공 척과 마찬가지인 구조이며 설명을 생략한다. 검사 부품 파지부(47)의 진공 척은 4개의 흡반을 구비하고, 4개의 전자 부품(10)을 한 번에 파지할 수 있다.

검사 부품 파지부(47)에서는 승강 장치가 진공 척을 하강시켜 진공 척의 흡반을 전자 부품(10)에 접촉시킨다. 그리고, 흡반과 전자 부품(10) 사이를 진공으로 함으로써 진공 척은 전자 부품(10)을 파지한다. 그 후, 승강 장치가 전자 부품(10)을 상승시킴으로써 측정 X스테이지(46)가 전자 부품(10)을 X방향으로 왕복 이동할 수 있다.

그리고, 부품 압압 장치(43)는 제1 셔틀 스테이지(36)의 재료 공급용 오목부(37a)에 재치된 전자 부품(10)을 파지하여 검사용 소켓(34)으로 이동한다. 그리고, 부품 압압 장치(43)는 전자 부품(10)을 검사용 소켓(34)에 압압한다. 이때, 전자 부품(10)의 단자가 프로브에 압압되므로, 단자와 프로브는 확실하게 전기적으로 접속된다. 이 상태가 유지되어 전자 부품(10)의 전기 특성 검사가 행해진다. 그리고, 전자 부품(10)의 전기 특성 검사가 종료된 후, 부품 압압 장치(43)는 전자 부품(10)을 제1 셔틀 스테이지(36)의 재료 제거용 오목부(37b)로 이동한다. 마찬가지의 수순으로, 검사 부품 파지부(47)는 제2 셔틀 스테이지(41)에 재치된 전자 부품(10)을 검사용 소켓(34)까지 이동하고, 전자 부품(10)을 검사용 소켓(34)에 압압함으로써 전기 특성 검사를 보조한다.

부품 재료 공급부(29), 제1 셔틀 스테이지(36), 제2 셔틀 스테이지(41) 및 부품 압압 장치(43)의 반송 기구는 소정의 처치가 실시되는 위치로 반송한다. 이 소정의 처치란, 전자 부품(10)을 검사용 소켓(34)에 삽입하기 위해 전자 부품(10)의 방향을 바꾸는, 전자 부품(10)을 검사용 소켓(34)에 삽입하는, 전자 부품(10)에 검사 전류를 넣어서 검사하는 등의 처치이다. 반송부(1b)는, 주로, IC 테스트 핸들러에 이용되는 것이며, 단순히, IC를 벨트 컨베어로 반송하는 장치는 아니다.

기대(2)의 -X방향측에는 전기 특성 검사 장치(50)가 설치되어 있다. 전기 특성 검사 장치(50)는 검사용 소켓(34)에 설치된 프로브와 접속되어 있다. 그리고, 전기 특성 검사 장치(50)는 전자 부품(10)과 전기 신호의 교신을 행하고, 전자 부품(10)의 전기 특성의 양부 판정을 행하는 장치이다. 기대(2)의 X방향측에는 제어부(51)가 설치되어 있다. 제어부(51)는 부품 검사 장치(1)의 동작을 제어하는 장치이다. 제어부(51)에는 정보 출력부, 정보 표시부 및 경보 출력부로서의 정보 표시 장치(51a) 및 정보 입력부로서의 정보 입력 장치(51b)가 탑재되어 있다. 또한, 제3 컨베이어(5)의 Z방향에 위치하는 장소에는 정보 표시 장치(48)가 설치되어 있다. 정보 표시 장치(48) 및 정보 표시 장치(51a)는 액정 표시 장치 등의 표시 장치이고, 조작자에게 알리는 정보를 표시하는 장치이다. 정보 입력 장치(51b)는 키보드나 마우스 패드 등의 장치이고, 조작자가 제어부(51)에 지시하는 내용을 입력하기 위한 장치이다. 또한, 정보 입력 장치(51b)는 외부 기기와 교신하여 데이터를 입력하는 기능을 구비하고 있다.

기대(2)의 X방향측 또한 Y방향측의 코너에는 경고등(52)이 설치되어 있다. 경고등(52)은 검사할 예정이 아닌 전자 부품(10)이 혼입되었을 때, 점멸되어 조작자에게 주의를 재촉하는 장치이다. 부품 검사 장치(1)는 Z방향측에 커버(53)가 설치되고, 정보 표시 장치(48)는 커버(53)에 고정되어 있다. 커버(53)는 광을 투과하는 수지에 의해 형성되고, 커버(53)를 통하여 내부를 관찰 가능하게 되어 있다. 그리고, 커버(53)는 부품 검사 장치(1)에 티끌이나 먼지가 침입하는 것을 방지하고 있다.

커버(53)의 Z방향측에는 공기 공급부(54)가 설치되어 있다. 공기 공급부(54)는 티끌이나 먼지의 통과를 방지하는 필터와 팬을 구비하고 있다. 그리고, 공기 공급부(54)는 티끌이나 먼지가 제거된 공기를 부품 검사 장치(1)에 공급한다. 공기는 공기 공급부(54)로부터 커버(53)의 내부에 유입되고, 기대(2) 및 기대(2)와 커버(53) 사이로부터 유출된다. 이에 의해, 부품 검사 장치(1)에 티끌이나 먼지가 침입하지 않게 되어 있다.

검사용 소켓(34)은 히터를 구비하고, 전자 부품(10)을 가열하는 것이 가능하게 되어 있다. 이에 의해, 전자 부품(10)을 소정의 온도로 검사할 수 있다. 그리고, 검사용 소켓(34) 및 부품 압압 장치(43)를 둘러싸 칸막이판(55)이 설치되어 있다. 칸막이판(55)이 검사용 소켓(34)의 주위로부터 열이 방산되는 것을 억제한다. 이에 의해, 전자 부품(10)을 가열하는 열이 검사용 소켓(34)의 주위에 머물게 되어 있다.

부품 검사 장치(1) 중 검사용 소켓(34) 및 전기 특성 검사 장치(50)가 검사부(1a)를 구성한다. 그리고, 부품 검사 장치(1) 중 전자 부품(10)을 트레이(9)와 검사용 소켓(34) 사이로 반송하는 각 스테이지 및 컨베이어가 반송부(1b)를 구성한다.

도 4는 전자 부품을 설명하기 위한 모식 평면도이다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 전자 부품(10)에는 메이커명(10a), 품종 표시명(10b), 식별 정보로서의 개체 식별 번호(10c)를 나타내는 문자열이 인쇄되어 있다. 또한, 식별 정보란, 전자 부품(10)에 마킹되는, 로고나 마크 등의 도형, 메이커명 등의 문자 정보, 전자 부품의 코드 번호나 일련 번호, 로트 번호 등의 숫자 정보 등의, 해당하는 전자 부품과 다른 전자 부품을 식별할 수 있는 정보이다. 문자의 내용이나 배치 등의 속성은 특별히 한정되지 않고, 전자 부품(10)마다 설정되어 있다. 메이커명(10a), 품종 표시명(10b), 개체 식별 번호(10c)의 문자열은 촬상 장치(17)에서 촬영 가능한 색조로 되어 있는 것이 바람직하다. 본 실시 형태에서는, 예를 들면, 배경이 흑색이고, 문자색이 백색으로 되어 있다.

도 5는 부품 검사 장치의 전기 제어 블록도이다. 도 5에 있어서, 부품 검사 장치(1)는 부품 검사 장치(1)의 동작을 제어하는 제어부(51)를 구비하고 있다. 그리고, 제어부(51)는 프로세서로서 각종의 연산 처리를 행하는 CPU(중앙 연산 처리 장치)(58)와, 각종 정보를 기억하는 메모리(59)를 구비하고 있다. 또한, 스테이지 구동 장치(60), 컨베이어 구동 장치(61), 파지부 구동 장치(62), 촬상 장치(17), 정보 입력 장치(51b), 정보 표시 장치(48), 정보 표시 장치(51a), 정보 출력부 및 출력 인터페이스로서의 정보 출력 장치(65), 전기 특성 검사 장치(50)는 입출력 인터페이스(66) 및 데이터 버스(67)를 통하여 CPU(58)에 접속되어 있다.

스테이지 구동 장치(60)는 트레이 이동 스테이지(14), 트레이 파지부(16)에 설치된 트레이 승강 스테이지(68)를 구동한다. 각 스테이지는 위치를 검출하는 장치를 구비하고 있다. 그리고, 스테이지 구동 장치(60)는 이동 목적의 장소에 도달할 때까지 스테이지를 이동함으로써 원하는 장소에 트레이 파지부(16)를 이동하여 정지시킬 수 있다.

또한, 스테이지 구동 장치(60)는 재료 공급 X스테이지(27), 재료 공급 Y스테이지(23), 재료 공급 부품 파지부(28)에 설치된 재료 공급 Z스테이지(69)를 구동한다. 또한, 스테이지 구동 장치(60)는 재료 제거 X스테이지(31), 재료 제거 Y스테이지(24), 재료 제거 부품 파지부(32)에 설치된 재료 제거 Z스테이지(70)를 구동한다. 그리고, 스테이지 구동 장치(60)는 이동 목적의 장소에 도달할 때까지 스테이지를 이동함으로써 원하는 장소에 재료 공급 부품 파지부(28) 및 재료 제거 부품 파지부(32)를 이동하여 정지시킬 수 있다.

또한, 스테이지 구동 장치(60)는 제1 셔틀 스테이지(36), 제2 셔틀 스테이지(41), 측정 X스테이지(46), 검사 부품 파지부(47)에 설치된 측정 Z스테이지(71)를 구동한다. 그리고, 스테이지 구동 장치(60)는 각 스테이지를 구동함으로써 제1 셔틀 스테이지(36), 제2 셔틀 스테이지(41), 검사용 소켓(34) 사이에서 전자 부품(10)을 이동시킬 수 있다.

컨베이어 구동 장치(61)는 제1 컨베이어(3) 내지 제6 컨베이어(8)를 구동한다. 컨베이어 구동 장치(61)는 각 컨베이어를 구동하여 트레이(9)가 이동 목적의 장소에 도달할 때까지 컨베이어를 이동함으로써 원하는 장소에 트레이(9)를 이동하여 정지시킬 수 있다.

파지부 구동 장치(62)는 트레이 파지부(16), 재료 공급 부품 파지부(28), 재료 제거 부품 파지부(32) 및 검사 부품 파지부(47)를 구동한다. 파지부 구동 장치(62)는 각 파지부와 접속된 진공 펌프를 구동한다. 그리고, 각 파지부와 진공 펌프 사이에 설치된 밸브를 구동하여 밸브를 개폐한다. 이에 의해, 파지부 구동 장치(62)는 각 파지부에 전자 부품(10)을 파지시킨 후 해방시킬 수 있다. 정보 출력 장치(65)는 외부 기기와 접속되고, 외부 기기에 정보를 전기 신호로 하여 출력하는 인터페이스 기능을 갖는 장치이다.

메모리(59)는, RAM, ROM 등의 반도체 메모리나, 하드디스크, DVD-ROM 등의 외부 기억 장치를 포함하는 개념이다. 기능적으로는, 부품 검사 장치(1)의 동작의 제어 수순이 기술된 프로그램 소프트(72)를 기억하는 기억 영역이나, 촬상 장치(17)가 촬영하는 화상의 데이터인 화상 데이터(73)를 기억하는 기억 영역이 설정된다. 그 외에도, 전자 부품(10)이 검사할 예정의 것인지 여부의 판정에 이용하는 데이터인 비교 정보로서의 비교 판정 데이터(74)를 기억하기 위한 기억 영역이 설정된다. 이 비교 판정 데이터(74)에는 검사할 예정의 전자 부품(10)에 있어서의 개체 식별 번호(10c)의 일람표를 포함하고 있다. 비교 판정 데이터(74)는 정보 입력 장치(51b)를 이용하여 입력된다. 그 외에도, 전자 부품(10)에 설치된 개체 식별 번호(10c)를 검출한 데이터인 식별 정보로서의 개체 식별 데이터(75)를 기억하는 기억 영역이 설정된다. 그 외에도, CPU(58)를 위한 워크 에어리어나 템퍼러리 파일 등으로서 기능하는 기억 영역이나 그 밖의 각종 기억 영역이 설정된다.

CPU(58)는, 메모리(59) 내에 기억된 프로그램 소프트(72)에 따라서, 전자 부품(10)을 검사하는 제어를 행하는 것이다. 구체적인 기능 실현부로서 스테이지 제어부(76)를 갖는다. 스테이지 제어부(76)는 스테이지 구동 장치(60)와 교신을 행하고 각 스테이지의 위치 정보를 취득한다. 그리고 스테이지 제어부(76)가 희망하는 장소에 각 스테이지를 이동시켜 정지하도록 스테이지 구동 장치(60)에 명령 신호를 출력한다. 또한, 스테이지 제어부(76)는 컨베이어 구동 장치(61)와 교신을 행하고 제1 컨베이어(3) 내지 제6 컨베이어(8)의 위치 정보를 취득한다. 그리고 스테이지 제어부(76)가 희망하는 장소에 각 컨베이어를 이동시켜 정지하도록 컨베이어 구동 장치(61)에 명령 신호를 출력한다.

그 외에도, CPU(58)는 파지 제어부(77)를 갖는다. 파지 제어부(77)는 파지부 구동 장치(62)에 트레이 파지부(16), 재료 공급 부품 파지부(28), 재료 제거 부품 파지부(32), 검사 부품 파지부(47)를 구동시킨다. 그리고, 각 파지부에 전자 부품(10)을 흡착시키는 동작과 해방하는 동작의 제어를 행한다. 그리고, 스테이지 제어부(76)와 파지 제어부(77)가 제휴하여 전자 부품(10)을 반송한다.

그 외에도, CPU(58)는 데이터 변환부(78)를 갖는다. 데이터 변환부(78)는 촬상 장치(17)가 출력하는 전기 신호를 디지털 데이터로 변환하여 화상 데이터(73)를 메모리(59)에 기억한다. 그 외에도, CPU(58)는 개체 식별부로서의 개체 식별 번호 연산부(79)를 갖는다. 개체 식별 번호 연산부(79)는 촬상 장치(17)가 촬영하여 얻어진 화상 데이터(73)를 이용하여 개체 식별 데이터(75)를 추출하는 연산을 행한다. 전자 부품(10)에 설치된 개체 식별 번호(10c)는 문자와 숫자로 구성되어 있다. 그리고, 개체 식별 번호 연산부(79)는 개체 식별 번호(10c)의 화상 데이터(73)를 문자로서 인식하고 문자 데이터로 변환하는 문자 인식 기능을 갖고, 산출한 문자 정보를 포함하는 개체 식별 데이터(75)를 메모리(59)에 기억한다. 개체 식별 데이터(75)에 의해 전자 부품(10)은 개체 식별된다.

그 외에도, CPU(58)는 정보 비교부로서의 개체 식별 번호 판정부(80)를 갖는다. 개체 식별 번호 판정부(80)는 미리 메모리(59)에 기억된 비교 판정 데이터(74)와 개체 식별 데이터(75)를 비교한다. 그리고, 산출된 개체 식별 데이터(75)가 비교 판정 데이터(74)와 일치하는지 여부를 판정한다. 개체 식별 데이터(75)가 비교 판정 데이터(74)와 일치하지 않을 때에는 경보 정보를 출력한다.

그 외에도, CPU(58)는 정보 표시 제어부(81)를 갖는다. 정보 표시 제어부(81)는 정보 표시 장치(48) 및 정보 표시 장치(51a)에 산출한 개체 식별 데이터(75)를 표시한다. 또한, 개체 식별 번호 판정부(80)가 판정한 결과를 정보 표시 제어부(81)는 정보 표시 장치(48) 및 정보 표시 장치(51a)에 표시한다. 개체 식별 데이터(75)가 비교 판정 데이터(74)와 일치하지 않을 때, 정보 표시 제어부(81)는 경고등(52)을 점멸시킨다. 그리고, 정보 표시 제어부(81)는, 개체 식별 데이터(75)가 비교 판정 데이터(74)와 일치하지 않는 것을 나타내는 경보 정보를 정보 표시 장치(48) 및 정보 표시 장치(51a)에 표시하여 조작자에게 알린다.

그 외에도, CPU(58)는 정보 출력 제어부(82)를 갖는다. 정보 출력 제어부(82)는 정보 출력 장치(65)를 통하여 외부 기기에 개체 식별 데이터(75) 및 개체 식별 번호 판정부(80)가 판정한 결과를 출력한다. 이에 의해, 외부 기기는 개체 식별 데이터(75)를 활용하고, 개체 식별 번호 판정부(80)가 판정한 결과에 대응한 동작을 행할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 상기의 각 기능이 CPU(58)를 이용하여 프로그램 소프트로 실현하는 것으로 하였지만, 상기의 각 기능이 CPU(58)를 이용하지 않는 단독의 전자 회로(하드웨어)에 의해 실현할 수 있는 경우에는, 그와 같은 전자 회로를 이용하는 것도 가능하다.

(전자 부품의 검사 방법)

다음에 상술한 부품 검사 장치(1)를 이용하여 전자 부품(10)을 검사하는 방법에 대해서 도 6 내지 도 8에서 설명한다. 도 7 및 도 8은 전자 부품의 검사 방법을 설명하기 위한 모식도이다.

도 6은 전자 부품의 검사 방법을 나타내는 플로우차트이다. 도 6에 있어서, 스텝 S1은 비교 정보 입력 공정에 상당한다. 조작자가 정보 입력 장치(51b)를 이용하여 비교 판정 데이터(74)를 입력하는 공정이다. 다음으로 스텝 S2로 이행한다. 스텝 S2는 트레이 설치 공정에 상당한다. 이 공정은, 조작자가 제1 컨베이어(3)에 트레이(9)를 설치하는 공정이다. 다음으로 스텝 S3으로 이행한다. 스텝 S3은 마크 촬상 공정에 상당한다. 이 공정은, 촬상 장치(17)가 전자 부품(10)을 촬영하는 공정이다. 다음으로 스텝 S4로 이행한다. 스텝 S4는 식별 정보 연산 공정에 상당한다. 이 공정은, 개체 식별 번호 연산부(79)가 화상을 이용하여 개체 식별 데이터(75)를 연산하는 공정이다. 다음으로 스텝 S5로 이행한다.

스텝 S5는 개체 식별 판정 공정에 상당하는 공정이다. 이 공정에서는, 개체 식별 번호 판정부(80)가 비교 판정 데이터(74)와 개체 식별 데이터(75)를 비교한다. 데이터가 일치하지 않을 때 스텝 S10으로 이행한다. 데이터가 일치하였을 때 스텝 S6으로 이행한다. 스텝 S6은 확인 종료 판정 공정에 상당하는 공정이다. 이 공정에서는, CPU(58)가 트레이(9)에 설치된 전자 부품(10)을 전부 확인하였는지를 판정한다. 트레이(9) 내에 미확인의 전자 부품(10)이 있을 때 스텝 S3으로 이행한다. 트레이(9) 내의 전자 부품(10)을 전부 확인하였을 때 스텝 S7로 이행한다.

스텝 S7은 검사 공정에 상당한다. 이 공정에서는, 반송부(1b)가 전자 부품(10)을 검사용 소켓(34)에 반송하고, 검사부(1a)가 전자 부품(10)의 전기 특성을 검사한다. 그리고, 검사된 전자 부품(10)을 반송부(1b)가 트레이(9)에 수납하는 공정이다. 다음에 스텝 S8로 이행한다. 스텝 S8은 빈 트레이 이동 공정에 상당한다. 이 공정은, 제1 컨베이어(3) 내지 제6 컨베이어(8) 사이에서 트레이 반송부(11)가 빈 트레이(9)를 이동하는 공정이다. 다음에 스텝 S9로 이행한다. 스텝 S9는 트레이 제거 공정에 상당한다. 이 공정은, 조작자가 제4 컨베이어(6) 내지 제6 컨베이어(8)로부터 검사 완료된 전자 부품(10)이 수납된 트레이(9)를 제거하는 공정이다. 스텝 S5로부터 이행하는 스텝 S10은 이상 통지 공정에 상당한다. 이 공정은 비교 판정 데이터(74)와 개체 식별 데이터(75)가 일치하지 않는 것을 조작자에게 알리는 공정이다. 이상의 공정에서 전자 부품(10)을 검사하는 공정이 종료된다.

다음으로, 도 7 및 도 8을 이용하여, 도 6에 도시한 스텝과 대응시켜, 전자 부품(10)의 검사 방법을 상세하게 설명한다. 우선, 스텝 S1의 비교 정보 입력 공정에서는, 조작자가 정보 입력 장치(51b)를 이용하여 검사할 예정의 품종 표시명(10b) 및 개체 식별 번호(10c)를 입력한다. 입력된 데이터는 비교 판정 데이터(74)의 일람표로서 메모리(59)에 기억된다.

개체 식별 번호(10c)는 문자와 숫자로 되어 있다. 1개의 트레이(9)에 설치된 복수의 전자 부품(10)의 개체 식별 번호(10c)가 연속된 숫자를 포함할 때에는, 조작자가 연속된 숫자의 최초와 최후의 숫자를 입력하고, CPU(58)가 사이의 숫자를 연산하여 등록해도 좋다. 그 외에도, 이미 다른 기기에 개체 식별 번호(10c)의 데이터가 기억되어 있을 때에는, 정보 입력 장치(51b)를 통하여 교신함으로써 데이터를 입력하여 메모리(59)에 비교 판정 데이터(74)로서 기억해도 좋다.

도 7의 (a)는 스텝 S2의 트레이 설치 공정에 대응하는 도면이다. 도 7의 (a)에 도시하는 바와 같이, 조작자는 트레이(9)에 전자 부품(10)을 배열하여 설치한다. 이 전자 부품(10)은, 스텝 S1의 비교 정보 입력 공정에서 비교 판정 데이터(74)가 등록된 것이고, 이제부터 전기 특성 검사를 행할 예정인 것이다. 다음에, 조작자는 전자 부품(10)이 설치된 트레이(9)를 제1 컨베이어(3)에 재치한다.

도 7의 (b) 및 도 7의 (c)는 스텝 S3의 마크 촬상 공정에 대응하는 도면이다. 도 7의 (b)에 도시하는 바와 같이, 스텝 S3에 있어서 스테이지 제어부(76)가 컨베이어 구동 장치(61)에 제1 컨베이어(3)를 구동시킨다. 그리고, 스테이지 제어부(76)는 전자 부품(10)을 제1 방향(3c)으로 이동시킨다. 또한, 스테이지 제어부(76)가 스테이지 구동 장치(60)에 트레이 이동 스테이지(14)를 구동시킨다. 그리고, 스테이지 제어부(76)는 촬상 장치(17)를 제2 방향(14a)으로 이동시킨다. 이에 의해, 스테이지 제어부(76)는 촬상 장치(17)와 검사하는 대상의 전자 부품(10)을 대향하는 장소로 이동시킬 수 있다. 다음으로, 촬상 장치(17)는 동축낙사 조명 장치에 광을 사출시켜 전자 부품(10)을 비추고, 오토 포커스 장치를 구동하여 전자 부품(10)에 초점을 맞춘다. 그리고, 전자 부품(10)을 촬영한다.

그 결과, 도 7의 (c)에 도시하는 바와 같이, 전자 부품(10)을 촬영한 화상(84)이 촬영된다. 화상(84)에는 메이커명(10a)에 대응하는 메이커명상(84a), 품종 표시명(10b)에 대응하는 품종 표시명상(84b), 개체 식별 번호(10c)에 대응하는 개체 식별 번호상(84c)이 사상(맵핑)되어 있다. 그리고, 데이터 변환부(78)가 화상을 나타내는 아날로그의 전기 신호를 디지털 데이터로 변환하여 화상 데이터(73)로 한다. 데이터 변환부(78)는 화상 데이터(73)를 메모리(59)에 기억시킨다.

스텝 S4의 식별 정보 연산 공정에서는, 우선, 개체 식별 번호 연산부(79)가 화상(84)으로부터 개체 식별 번호상(84c)을 추출한다. 개체 식별 번호상(84c)의 위치는 미리 설정되어 있으므로, 소정의 마스크 화상과 화상(84)을 맞춤으로써 개체 식별 번호상(84c)을 추출할 수 있다. 다음에, 개체 식별 번호 연산부(79)는 개체 식별 번호상(84c)의 연속하는 선분을 암시선으로 하여 개체 식별 번호상(84c)을 개별 문자의 상(像)으로 분리한다. 계속해서, 문자의 상이 숫자의 "1" 내지 "9"와 알파벳의 "A" 내지 "Z" 중 어느 문자에 가까운지를 판정한다. 이때, 문자의 상에 포함되는 종선의 수, 횡선의 수, 경사선의 수, 곡선의 수, 교점의 수 등의 특징량을 산출한다. 미리, 메모리(59)에는 각 문자 및 숫자의 특징량이 기억되어 있다. 그리고, 문자의 상의 특징량과 기지의 문자의 특징량을 비교해서 판정한다. 이와 같이 하여 개체 식별 번호 연산부(79)는 개체 식별 번호상(84c)으로부터 개체 식별 데이터(75)를 산출하여 메모리(59)에 기억한다. 또한, 개체 식별 번호상(84c)으로부터 개체 식별 데이터(75)를 산출하는 방법은 이 방법에 한정되지 않고, 공지의 방법을 이용할 수 있다.

스텝 S5의 개체 식별 판정 공정에서는, 스텝 S4에서 산출된 개체 식별 데이터(75)가 비교 판정 데이터(74)의 일람표 중에 있는지 여부를 검색한다. 개체 식별 데이터(75)가 비교 판정 데이터(74) 중에 있을 때, 정상 상태라고 판단한다. 그리고, 스텝 S6의 확인 종료 판정 공정으로 이행한다. 스텝 S6에서는, 트레이(9)에 설치된 전자 부품(10)을 전부 확인하였는지를 판단한다. 그리고, 트레이(9)에 설치된 전자 부품(10)을 전부 확인할 때까지 스텝 S3 내지 스텝 S5를 반복한다. 스텝 S6에서 트레이(9)에 설치된 전자 부품(10)을 전부 확인하였을 때, 스텝 S7로 이행한다.

스텝 S5에 있어서 개체 식별 데이터(75)가 비교 판정 데이터(74) 중에 없을 때, 검사 예정에 없는 전자 부품(10)이 혼입된 이상 상태로 판단하고 스텝 S10으로 이행한다. 스텝 S10의 이상 통지 공정에서는, 예정 외의 전자 부품(10)이 혼입된 것을 정보 표시 장치(48) 및 정보 표시 장치(51a)에 표시한다. 또한, 경고등(52)을 점멸시켜 조작자에게 이상 상태인 것을 알린다. 또한, 정보 출력 제어부(82)로부터 외부 기기와 교신하여 이상 상태인 것을 알려도 좋다. 어떠한 경우에 있어서도 조작자는 전자 부품(10)을 교체하는 작업을 행하여, 예정된 전자 부품(10)이 트레이(9)에 설치된 정상 상태로 수정할 수 있다.

도 7의 (d) 내지 도 8의 (b)는 스텝 S7의 검사 공정에 대응하는 도면이다. 도 7의 (d)에 도시하는 바와 같이 스텝 S7에 있어서 스테이지 제어부(76)는 컨베이어 구동 장치(61)에 제1 컨베이어(3)를 구동시켜 트레이(9)를 부품 재료 제거/공급부(20)에 접근시킨다. 다음에, 스테이지 제어부(76)는 스테이지 구동 장치(60)에 제1 셔틀 스테이지(36)를 이동시킨다. 그리고, 재료 공급용 오목부(37a)를 재료 공급 부품 파지부(28)의 이동 범위 내로 이동시킨다.

계속해서, 스테이지 제어부(76) 및 파지 제어부(77)는 스테이지 구동 장치(60) 및 파지부 구동 장치(62)에 부품 재료 공급부(29)를 구동시켜, 트레이(9) 위의 4개의 전자 부품(10)을 재료 공급용 오목부(37a)로 이동시킨다. 다음에, 도 8의 (a)에 도시하는 바와 같이 스테이지 제어부(76)는 스테이지 구동 장치(60)에 제1 셔틀 스테이지(36)를 이동시켜, 재료 공급용 오목부(37a)를 검사용 소켓(34)의 가로로 이동시킨다.

계속해서, 스테이지 제어부(76) 및 파지 제어부(77)는 스테이지 구동 장치(60) 및 파지부 구동 장치(62)에 부품 압압 장치(43)를 구동시킨다. 그리고, 파지 제어부(77)는 검사 부품 파지부(47)에 전자 부품(10)을 파지시킨다. 다음에, 스테이지 제어부(76)는 측정 X스테이지(46) 및 측정 Z스테이지(71)를 이동시켜, 전자 부품(10)을 재료 공급용 오목부(37a)로부터 검사용 소켓(34)으로 이동시킨다.

계속해서, 스테이지 제어부(76)는 부품 압압 장치(43)에 전자 부품(10)을 검사용 소켓(34)에 압압시킨다. 이에 의해, 검사용 소켓(34)의 프로브가 전자 부품(10)의 단자와 도통한다. 다음에, 전기 특성 검사 장치(50)가 전자 부품(10)과 교신하여 전자 부품(10)의 전기 특성을 검사한다.

전기 특성 검사 장치(50)가 전자 부품(10)의 전기 특성을 검사하고 있는 동안에, 스테이지 제어부(76)는 제1 셔틀 스테이지(36)를 이동시켜 재료 제거용 오목부(37b)를 검사용 소켓(34)의 옆으로 이동시킨다. 계속해서, 스테이지 제어부(76)는 제2 셔틀 스테이지(41)를 이동시킨다. 그리고, 재료 공급용 오목부(42a)를 재료 공급 부품 파지부(28)의 이동 범위 내로 이동시킨다. 다음에, 스테이지 제어부(76) 및 파지 제어부(77)는 스테이지 구동 장치(60) 및 파지부 구동 장치(62)에 부품 재료 공급부(29)를 구동시켜, 트레이(9) 위의 4개의 전자 부품(10)을 제2 셔틀 스테이지(41)의 재료 공급용 오목부(42a)로 이동시킨다. 다음에, 스테이지 제어부(76)는 스테이지 구동 장치(60)에 제2 셔틀 스테이지(41)를 이동시켜, 재료 공급용 오목부(42a)를 검사용 소켓(34)의 옆으로 이동시킨다. 그리고, 전자 부품(10)의 검사가 종료될 때까지 반송부(1b)는 대기한다.

전자 부품(10)의 검사가 종료된 후, 스테이지 제어부(76)는 스테이지 구동 장치(60)에 측정 X스테이지(46) 및 측정 Z스테이지(71)를 이동시켜, 전자 부품(10)을 검사용 소켓(34)으로부터 제1 셔틀 스테이지(36)의 재료 제거용 오목부(37b)로 이동시킨다.

계속해서, 스테이지 제어부(76) 및 파지 제어부(77)는 스테이지 구동 장치(60) 및 파지부 구동 장치(62)에 부품 압압 장치(43)를 구동시킨다. 그리고, 파지 제어부(77)는 검사 부품 파지부(47)에 재료 공급용 오목부(42a)에 위치하는 전자 부품(10)을 파지시킨다. 다음에, 스테이지 제어부(76)는 스테이지 구동 장치(60)에 측정 X스테이지(46) 및 측정 Z스테이지(71)를 이동시켜, 전자 부품(10)을 재료 공급용 오목부(42a)로부터 검사용 소켓(34)으로 이동시킨다.

계속해서, 스테이지 제어부(76)는 검사 부품 파지부(47)에 전자 부품(10)을 검사용 소켓(34)에 압압시킨다. 이때, 검사용 소켓(34)의 프로브와 전자 부품(10)의 단자가 도통한다. 다음에, 전기 특성 검사 장치(50)가 전자 부품(10)과 교신하여 전자 부품(10)의 전기 특성을 검사한다.

전기 특성 검사 장치(50)가 전자 부품(10)의 전기 특성을 검사하고 있는 동안에, 스테이지 제어부(76)는 스테이지 구동 장치(60)에 제2 셔틀 스테이지(41)를 이동시킨다. 그리고, 스테이지 구동 장치(60)는 재료 제거용 오목부(42b)를 검사용 소켓(34)의 옆으로 이동시킨다. 다음에, 스테이지 제어부(76)는 스테이지 구동 장치(60)에 제1 셔틀 스테이지(36)를 이동시킨다. 그리고, 스테이지 구동 장치(60)는 재료 제거용 오목부(37b)를 재료 제거 부품 파지부(32)의 이동 범위 내로 이동시킨다. 계속해서, 스테이지 제어부(76) 및 파지 제어부(77)는 재료 제거 부품 파지부(32)에 전자 부품(10)을 파지시킨다.

전기 특성 검사의 결과, 검사한 전자 부품(10)이 양품일 때 스테이지 제어부(76)는 부품 재료 제거부(33)에 전자 부품(10)을 제5 컨베이어(7) 또는 제6 컨베이어(8) 위의 트레이(9)에 재치시킨다. 전기 특성 검사의 결과, 전자 부품(10)이 불량품일 때 스테이지 제어부(76)는 부품 재료 제거부(33)에 전자 부품(10)을 제4 컨베이어(6) 위의 트레이(9)에 재치시킨다.

다음에, 스테이지 제어부(76)는 스테이지 구동 장치(60)에 제1 셔틀 스테이지(36)를 구동시켜 재료 공급용 오목부(37a)를 재료 공급 부품 파지부(28)의 이동 범위 내로 이동시킨다. 이와 같이, 부품 재료 공급부(29), 제1 셔틀 스테이지(36), 제2 셔틀 스테이지(41), 부품 압압 장치(43)가 제1 컨베이어(3) 위의 트레이(9)로부터 전자 부품(10)을 검사용 소켓(34)으로 이동한다. 그리고, 검사용 소켓(34) 및 전기 특성 검사 장치(50)가 전자 부품(10)의 전기 특성을 검사한다. 다음에, 부품 압압 장치(43)가 검사용 소켓(34)으로부터 전자 부품(10)을 제1 셔틀 스테이지(36) 또는 제2 셔틀 스테이지(41)로 이동한다.

도 8의 (b)에 도시하는 바와 같이, 다음에, 부품 재료 제거부(33)가 제1 셔틀 스테이지(36) 또는 제2 셔틀 스테이지(41)로부터 전자 부품(10)을 제4 컨베이어(6) 내지 제6 컨베이어(8) 위의 트레이(9)로 이동한다. 이 동작을 순차 반복하여 전자 부품(10)의 전기 특성 검사를 행한다. 또한, 각 전자 부품(10)의 전기 특성 검사의 판정 결과는 메모리(59)에 기억되고, 정보 표시 장치(48) 및 정보 표시 장치(51a)에 표시된다. 또한, 전기 특성 검사의 판정 결과는 메모리(59)로부터 정보 출력 장치(65)에 의해 외부 기기에 출력하는 것이 가능하게 되어 있다.

도 8의 (c)는 스텝 S8의 빈 트레이 이동 공정에 대응하는 도면이다. 도 8의 (c)에 도시하는 바와 같이 스텝 S8에서는, 스테이지 제어부(76)가 스테이지 구동 장치(60)에 트레이 이동 스테이지(14)를 이동시켜, 컨베이어 구동 장치(61)에 제1 컨베이어(3)를 구동시킨다. 그리고, 전자 부품(10)이 이동되어 비어진 트레이(9)와 트레이 파지부(16)가 대향하도록 스테이지 제어부(76)는 트레이(9)와 트레이 파지부(16)를 이동시킨다.

다음에, 스테이지 제어부(76)는 트레이 파지부(16)에 설치된 트레이 승강 스테이지(68)를 스테이지 구동 장치(60)에 구동시켜 트레이 파지부(16)를 하강시킨다. 계속해서, 스테이지 제어부(76)는 파지부 구동 장치(62)에 명령 신호를 출력하여 트레이 파지부(16)에 트레이(9)를 파지시킨다. 다음에, 스테이지 제어부(76)는 스테이지 구동 장치(60) 및 파지부 구동 장치(62)에 명령 신호를 출력하여 트레이(9)를 제2 컨베이어(4) 위 또는 제3 컨베이어(5) 위로 이동시킨다.

제4 컨베이어(6) 내지 제6 컨베이어(8) 위의 트레이(9)에 전자 부품(10)을 재치할 장소가 없고, 트레이(9)를 설치할 장소가 있을 때, 스테이지 제어부(76)는 스테이지 구동 장치(60), 컨베이어 구동 장치(61), 파지부 구동 장치(62)에 명령 신호를 출력한다. 그리고, 스테이지 제어부(76)는 제2 컨베이어(4) 및 제3 컨베이어(5)로부터 제4 컨베이어(6) 내지 제6 컨베이어(8) 위로 트레이(9)를 이동시킨다.

도 8의 (d)는 스텝 S9의 트레이 제거 공정에 대응하는 도면이다. 도 8의 (d)에 도시하는 바와 같이, 스텝 S9에 있어서, 스테이지 제어부(76)는 컨베이어 구동 장치(61)에 명령 신호를 출력한다. 그리고, 스테이지 제어부(76)는 컨베이어 구동 장치(61)에 제4 컨베이어(6) 내지 제6 컨베이어(8)를 구동시켜, 전자 부품(10)이 재치된 트레이(9)를 커버(53)의 외측으로 이동한다. 계속해서, 조작자는 전자 부품(10)이 재치된 트레이(9)를 부품 검사 장치(1)로부터 제거하고 다음 공정의 작업 장소로 반송한다. 이상의 공정에 의해 전자 부품(10)을 검사하는 공정을 종료한다.

상술한 바와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 이하의 효과를 갖는다.

(1) 본 실시 형태에 따르면, 트레이(9)에 전자 부품(10)이 재치되고, 그 트레이(9)가 부품 검사 장치(1)에 설치된다. 전자 부품(10)에는 개체 식별 번호(10c)가 설치되고, 촬상 장치(17)가 개체 식별 번호(10c)를 촬영한다. 그리고, 개체 식별 번호 연산부(79)가 촬영한 개체 식별 번호(10c)로부터 전자 부품(10)의 개체 식별 데이터(75)를 연산한다. 따라서, 부품 검사 장치(1)는 전자 부품(10)의 개체 식별 데이터(75)를 인식할 수 있다.

(2) 본 실시 형태에 따르면, 부품 검사 장치(1)는 제1 컨베이어(3) 및 트레이 반송부(11)를 구비하고 있다. 제1 컨베이어(3)가 트레이(9)를 제1 방향(3c)으로 이동한다. 트레이 반송부(11)는 제1 방향(3c)과 교차하는 제2 방향(14a)으로 촬상 장치(17)를 이동한다. 따라서, 제1 컨베이어(3)와 트레이 반송부(11)를 구동함으로써 부품 검사 장치(1)는 트레이(9)와 촬상 장치(17)를 2차원 방향에 있어서 상대 이동시킬 수 있다. 따라서, 트레이(9)에 전자 부품(10)이 매트릭스 형상으로 복수열 재치되어 있을 때에도 부품 검사 장치(1)는 각 전자 부품(10)의 개체 식별 데이터(75)를 인식할 수 있다.

특허문헌 1과 같은 IC 핸들러에서는, 트레이 이송부는 한 방향만의 이동이므로, 가령, 트레이 이송부에 검출 수단을 설치할 수 있는 경우라도, IC 전체수를 식별할 수는 없었다. 부품 검사 장치(1)는 트레이(9)와 촬상 장치(17)를 2차원 방향에 있어서 상대 이동시킬 수 있기 때문에, 트레이에 설치된 IC 전체수를 식별할 수 있다.

(3) 본 실시 형태에 따르면, 부품 검사 장치(1)는 부품 재료 공급부(29) 및 트레이 반송부(11)를 구비하고 있다. 부품 재료 공급부(29)는 전자 부품(10)을 트레이(9)로부터 순차적으로 이동한다. 이에 의해, 트레이(9)는 전자 부품(10)이 재치되어 있어 있지 않은 상태로 된다. 트레이 반송부(11)는 제2 방향(14a)으로 트레이(9)를 이동한다. 이에 의해, 트레이(9)를 제1 컨베이어(3)로부터 제거할 수 있다. 그리고, 빈 트레이(9)를 이동하는 부위와 촬상 장치(17)를 이동하는 부위와는 공통인 이동 기구를 갖는 트레이 이동 스테이지(14)로 되어 있다. 따라서, 빈 트레이(9)를 이동하기 위한 이동 기구와 촬상 장치(17)를 이동하기 위한 이동 기구와의 2개의 이동 기구를 설치할 때에 비해서 간이한 구조로 할 수 있다.

(4) 본 실시 형태에 따르면, 정보 표시 장치(48), 정보 표시 장치(51a) 및 정보 출력 장치(65)가 개체 식별 데이터(75)를 출력한다. 따라서, 전자 부품(10)의 개체 식별 데이터(75)를 활용할 수 있다.

(5) 본 실시 형태에 따르면, 정보 표시 장치(48) 및 정보 표시 장치(51a)가 개체 식별 데이터(75)를 표시한다. 따라서, 조작자가 전자 부품(10)의 개체 식별 데이터(75)를 확인하여 개체 식별 데이터(75)에 따른 대응을 할 수 있다.

(6) 본 실시 형태에 따르면, 정보 출력 장치(65)가 개체 식별 데이터(75)를 외부 기기에 출력한다. 따라서, 외부 기기가 전자 부품(10)의 개체 식별 데이터(75)를 확인하여 개체 식별 데이터(75)에 따른 대응을 할 수 있다.

(7) 본 실시 형태에 따르면, 트레이 반송부(11)에 촬상 장치(17)가 설치되어 있다. 촬상 장치(17)는 트레이 반송부(11) 외에 부품 재료 공급부(29)에 설치할 수 있다. 부품 재료 공급부(29)는 전자 부품(10)을 이동하는 부위이다. 전자 부품(10)의 개수는 트레이(9)의 개수보다 많으므로, 트레이(9)를 빨리 이동함으로써 빨리 전자 부품(10)을 이동하는 것이 생산성의 향상에 기여한다.

그리고, 부품 재료 공급부(29)의 재료 공급 X스테이지(27)에 촬상 장치(17)에 설치할 때 재료 공급 X스테이지(27)가 무거워지므로 이동 속도가 저하된다. 따라서 이 구조에서는 부품 재료 공급부(29)가 전자 부품(10)을 이동하는 데 시간이 길게 걸린다. 이 구조에 비해 본 실시 형태에서는 트레이 반송부(11)에 촬상 장치(17)가 설치되어 있으므로, 생산성 좋게 전자 부품(10)을 이동시킬 수 있다.

(제2 실시 형태)

다음으로, 개체 식별 번호가 표시된 전자 부품 및 부품 검사 장치의 일 실시 형태에 대해서 도 9를 이용하여 설명한다. 도 9의 (a)는 전자 부품을 설명하기 위한 모식 평면도이고, 도 9의 (b)는 부품 검사 장치의 구조를 도시하는 모식 측면도이다. 본 실시 형태가 제1 실시 형태와 다른 부분은, 품종 표시명(10b)이나 개체 식별 번호(10c)의 표시에 바코드가 이용되고 있는 점에 있다. 또한, 제1 실시 형태와 동일한 점에 대해서는 설명을 생략한다.

즉, 본 실시 형태에서는 도 9의 (a)에 도시하는 바와 같이, 전자 부품(85)에는 메이커명(85a), 품종 표시명(85b), 개체 식별 번호(85c)를 나타내는 문자열이 인쇄되어 있다. 또한, 전자 부품(85)에는 품종 표시명(85b)을 바코드로 표시한 품종 바코드(85d)와 개체 식별 번호(85c)를 바코드로 표시한 식별 정보로서의 개체 식별 바코드(85e)가 인쇄되어 있다. 또한, 문자나 바코드의 내용이나 배치 등의 속성은 특별히 한정되지 않고, 전자 부품(85)마다 설정되어 있다.

도 9의 (b)에 도시하는 바와 같이, 부품 검사 장치(86)에는 트레이 이동 스테이지(14)에 바코드 판독기(87)가 설치되어 있다. 바코드 판독기(87)는 품종 바코드(85d) 및 개체 식별 바코드(85e)에 광선(87a)을 사출하여 주사한다. 그리고, 바코드 판독기(87)는 반사광을 수광하고, 반사광의 광 강도 신호를 바코드가 나타내는 문자 정보로 변환한다. 이 문자 정보가 개체 식별 데이터(75)이다. CPU(58)는 바코드 판독기(87)로부터 문자 정보를 입력하여 메모리(59)에 기억한다.

(1) 본 실시 형태에 따르면, 부품 검사 장치(86)는 바코드 판독기(87)를 갖는다. 따라서, 전자 부품(85)의 식별 정보가 바코드를 포함하고 있을 때에도 용이하게 식별 정보로부터 개체 식별 데이터(75)를 인식할 수 있다.

(2) 본 실시 형태에 따르면, 부품 검사 장치(86)는 바코드 판독기(87)를 구비하고 있다. 바코드 판독기(87)는 촬상 장치(17)와 개체 식별 번호 연산부(79)에서 문자 정보를 인식할 때에 비해 간편한 장치로 되어 있다. 따라서, 생산성 좋게 부품 검사 장치(86)를 제조할 수 있다.

또한, 본 실시 형태는 상술한 실시 형태에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 기술적 사상 내에서 해당 분야에 있어서 통상적인 지식을 갖는 자에 의해 다양한 변경이나 개량을 가하는 것도 가능하다. 변형예를 이하에 설명한다.

(변형예 1)

상기 제2 실시 형태에서는, 전자 부품(85)에 1차원의 개체 식별 바코드(85e)가 인쇄되어 있었다. 바코드는 1차원에 한정되지 않고, 2차원의 바코드로 해도 좋다. 도 10은 전자 부품을 설명하기 위한 모식 평면도이다. 도 10에 도시하는 바와 같이 전자 부품(88)에는 메이커명(88a), 품종 표시명(88b), 개체 식별 번호(88c)를 나타내는 문자열이 인쇄되어 있다. 또한, 전자 부품(88)에는 품종 표시명(88b)을 2차원 바코드로 표시한 품종 바코드(88d)와 개체 식별 번호(88c)를 2차원 바코드로 표시한 식별 정보로서의 개체 식별 바코드(88e)가 인쇄되어 있다.

그리고, 바코드 판독기(87)는 2차원의 바코드를 문자 데이터로 변환하는 장치로 되어 있다. 바코드를 1차원으로부터 2차원으로 함으로써, 표시 가능한 문자수를 늘릴 수 있다. 따라서, 전자 부품(88)에 표시하는 정보량을 많게 할 수 있다.

(변형예 2)

상기 제1 실시 형태에서는, 제1 컨베이어(3) 내지 제6 컨베이어(8)가 트레이(9)를 이동하였다. 컨베이어에 한정되지 않고 직동 기구를 구비한 스테이지가 트레이(9)를 이동해도 좋다. 스테이지는 위치 정밀도 좋게 트레이(9)를 이동할 수 있다. 그 외에도 반송차가 트레이(9)를 이동해도 좋다. 자유도가 높은 반송로를 설정할 수 있다.

(변형예 3)

상기 제1 실시 형태에서는, 촬상 장치(17)는 내부에 CCD 촬상 소자가 내장되어 있었다. 화상을 전기 신호로 변환하는 장치는 CCD 촬상 소자에 한정되지 않는다. 촬상관이나 CMOS(상보성 금속 산화막 반도체) 이미지 센서를 이용할 수 있다. 그 외에도 적외선 이미지 센서를 이용할 수 있다. 촬영하는 환경이나 전자 부품(10)의 인쇄 상황에 맞추어 선택해도 좋다.

(변형예 4)

상기 제1 실시 형태에서는, 트레이 반송부(11)가 촬상 장치(17)를 이동시켰다. 이에 한정되지 않고, 촬상 장치(17)를 제2 방향(14a)으로 이동하는 촬상 장치 이동부를 설치해도 좋다. 그리고, 촬상 장치 이동부가 촬상 장치(17)를 이동하고, 트레이 반송부(11)가 트레이 파지부(16)를 이동하도록 한다. 이에 의해, 촬상 장치(17)가 전자 부품(10)을 촬영하는 공정과 트레이 반송부(11)가 빈 트레이(9)를 이동하는 공정을 동시에 행할 수 있다. 따라서, 생산성 좋게 공정을 진행시킬 수 있다.

(변형예 5)

상기 제1 실시 형태에서는, 제2 방향(14a)은 제1 방향(3c)과 직교하는 방향으로 되어 있었다. 제1 방향(3c)과 제2 방향(14a)은 반드시 직교하지 않아도 좋다. 제1 방향(3c)과 제2 방향(14a)은 교차하는 방향이어도 좋다. 이 경우에도, 촬상 장치(17)는 복수열의 전자 부품(10)을 촬영할 수 있다. 그리고, 설계의 자유도를 높일 수 있다.

(변형예 6)

상기 제1 실시 형태에서는, 스텝 S3의 마크 촬상 공정 내지 스텝 S6의 확인 종료 판정 공정을 행하고 나서 스텝 S7의 검사 공정으로 이행하였다. 이에 한정되지 않고, 스텝 S3의 마크 촬상 공정 내지 스텝 S6의 확인 종료 판정 공정과 스텝 S7의 검사 공정을 병행하여 행해도 좋다. 즉, 스텝 S5의 개체 식별 판정 공정에서 개체 식별 데이터(75)가 비교 판정 데이터(74)의 일람표에 존재할 때에는 개체 식별 번호(10c)를 검사한 전자 부품(10)을 순차적으로 스텝 S7의 검사 공정을 행해도 좋다. 개체 식별 데이터(75)의 확인과 전기 특성 검사가 병행하여 행해지므로, 생산성 좋게 검사를 행할 수 있다.

1b : 부품 반송 장치로서의 반송부
1, 86 : 부품 검사 장치
3 : 제1 이동부로서의 제1 컨베이어
3c : 제1 방향
9 : 용기로서의 트레이
10 : 전자 부품
10c : 식별 정보로서의 개체 식별 번호
11 : 제2 이동부로서의 트레이 반송부
14 : 이동 기구로서의 트레이 이동 스테이지
14a : 제2 방향
17 : 식별 정보 검출부 및 화상 촬상부로서의 촬상 장치
20 : 반송 기구로서의 부품 재료 제거/공급부
29 : 반송 기구로서의 부품 재료 공급부
36 : 반송 기구로서의 제1 셔틀 스테이지
41 : 반송 기구로서의 제2 셔틀 스테이지
43 : 반송 기구로서의 부품 압압 장치
51a : 정보 출력부, 정보 표시부 및 경보 출력부로서의 정보 표시 장치
51b : 정보 입력부로서의 정보 입력 장치
65 : 정보 출력부 및 출력 인터페이스로서의 정보 출력 장치
74 : 비교 정보로서의 비교 판정 데이터
75 : 식별 정보로서의 개체 식별 데이터
78 : 데이터 변환부
79 : 개체 식별부로서의 개체 식별 번호 연산부
80 : 정보 비교부로서의 개체 식별 번호 판정부
85e, 88e : 식별 정보로서의 개체 식별 바코드
87 : 바코드 판독기

Claims

전자 부품에 표시된 식별 정보를 검출하는 식별 정보 검출부와,
상기 식별 정보를 이용하여 상기 전자 부품의 개체 식별을 하는 개체 식별부와,
상기 전자 부품을 소정의 장소로 반송하는 것이 가능한 반송 기구
를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 반송 장치.