CN106405368A - 电子部件搬送装置以及电子部件检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供电子部件搬送装置以及电子部件检查装置，例如是能够根据各种IC(集成电路)器件使各臂实施不同处理的电子部件搬送装置以及电子部件检查装置。电子部件检查装置(1)具有：第一部件(4)，其能够相对于IC器件(90)实施第一处理；检查用臂(17A)，其能够配置第一部件(4)；第二部件(6)，其能够对IC器件(90)实施第二处理；检查用臂(17B)，其能够配置第二部件(6)；检查部(16)，其检查IC器件(90)。

Description

电子部件搬送装置以及电子部件检查装置

技术领域

本发明涉及电子部件搬送装置以及电子部件检查装置。

背景技术

以往，已知有例如对IC器件等电子部件的电气特性进行检查的电子部件检查装置，在该电子部件检查装置组装有将IC器件搬送至要实施检查的IC插口的两个搬送手(例如，参照专利文献1)。这两个搬送手具有通过吸附IC器件来对其进行把持的相同功能。

专利文献1：日本特开2002－148307号公报。

然而，有时会想将两个搬送手中的一个搬送手用于其它用途，即，有时会想使作为末端执行器的两个搬送手的功能相互不同，但是在专利文献1记载的电子部件检查装置中，无法安装功能相互不同的末端执行器。

另外，有时希望控制两个搬送手分别发挥不同的功能，但专利文献1记载的电子部件检查装置无法实施这样的控制。

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够以以下方式实现。

应用例1

本应用例的电子部件搬送装置的特征在于，具有：第一部件，其能够对电子部件进行第一处理；第二部件，其能够对上述电子部件进行第二处理；以及至少第一臂和第二臂，在将上述第一部件配置于上述第一臂的情况下，将上述第二部件配置于上述第二臂，在将上述第二部件配置于上述第一臂的情况下，将上述第一部件配置于上述第二臂。

由此，能够根据用户需求，即根据电子部件的种类，在各臂配置、安装处理不同的两个部件。而且，在该状态下，能够使该不同的两个部件例如在一个共用的区域内发挥功能，因此能够迅速地进行电子部件的检查等。

应用例2

本应用例的电子部件搬送装置优选为：具有能够载置上述电子部件的电子部件载置部，上述第一部件能够把持上述电子部件，并能够在上述电子部件载置部载置上述电子部件，上述第二部件能够对被载置于上述电子部件载置部的上述电子部件进行按压。

由此，能够实现基于第一部件的处理与基于第二部件的处理的差别化。

应用例3

本应用例的电子部件搬送装置中优选为：上述第一部件能够在检查后从上述电子部件载置部取出上述电子部件。

由此，能够省略在第一部件之外另行设置进行取出电子部件的处理的部件，因此能够简化电子部件搬送装置的结构。

应用例4

本应用例的电子部件搬送装置中优选为：上述第一部件具有对上述电子部件进行吸附的吸附部。

由此，第一部件能够通过吸附来把持电子部件，并在该把持状态下抬起该电子部件。

应用例5

本应用例的电子部件搬送装置中优选为：上述第二部件具有能够与上述电子部件抵接的端子部。

由此，例如能够在将电子部件搬送装置用于电子部件的电气特性检查的情况下，进行该检查。

应用例6

本应用例的电子部件搬送装置中优选为：上述端子部能够与能对上述电子部件进行检查的检查部连接。

由此，例如能够在将电子部件搬送装置用于电子部件的电气特性检查的情况下，进行该检查。

应用例7

本应用例的电子部件搬送装置优选为：上述电子部件具有突出的凸部，上述第一部件具有能够收纳上述凸部的凹部。

由此，防止在第一部件与电子部件之间产生间隙，因此例如在第一部件构成为吸附电子部件的情况下，第一部件能够恰到好处地吸引该电子部件。

应用例8

本应用例的电子部件搬送装置优选为：在上述电子部件的一个面形成电极端子，在与上述一个面相反一侧的另一个面具有在照射了光的情况下生成电信号的元件。

由此，能够将电子部件以其一个面朝向上方的方式进行搬送。

应用例9

本应用例的电子部件搬送装置优选为：上述电子部件能够进行拍摄。

由此，能够安全地搬送电子部件。

应用例10

本应用例的电子部件搬送装置优选为，上述电子部件为CCD器件。

由此，能够安全地搬送电子部件。

应用例11

本应用例的电子部件检查装置的特征在于，具有：第一部件，其能够对电子部件进行第一处理；第二部件，其能够对上述电子部件进行第二处理；至少第一臂和第二臂；以及检查部，其对上述电子部件进行检查，在将上述第一部件配置于上述第一臂的情况下，将上述第二部件配置于上述第二臂，在将上述第二部件配置于上述第一臂的情况下，将上述第一部件配置于上述第二臂。

由此，能够根据用户需求，即根据电子部件的种类，在各臂配置、安装处理不同的两个部件。而且，在该状态下，能够使该不同的两个部件例如在一个共用的区域内发挥功能，因此能够迅速地进行电子部件的检查等。

应用例12

本应用例的电子部件搬送装置的特征在于，具有：第一臂，其能够对电子部件进行第一处理和第二处理；以及第二臂，其能够对上述电子部件进行上述第一处理和上述第二处理，在上述第一臂进行上述第一处理的情况下，上述第二臂能够进行第二处理，并且在上述第二臂进行上述第一处理的情况下，上述第一臂能够进行第二处理。

由此，能够对处理不同的第一臂、第二臂的控制设定进行切换，例如能够使电子部件搬送装置适于用户需求、即适于电子部件的种类。

应用例13

上述应用例12所述的电子部件搬送装置优选为：具有能够载置上述电子部件的电子部件载置部，上述第一臂能够把持上述电子部件来作为上述第一处理，能够在上述电子部件载置部载置上述电子部件。

由此，能够把持电子部件，并在该把持状态下抬起该电子部件，而将其搬送至电子部件载置部。

应用例14

上述应用例13所述的电子部件搬送装置优选为：上述第二臂能够对被载置于上述电子部件载置部的上述电子部件进行按压来作为上述第二处理。

由此，例如在由电子部件载置部进行电子部件的电气特性的检查的情况下，能够容易并正确地与电子部件进行电连接。

应用例15

上述应用例12至14中任一项所述的电子部件搬送装置优选为：具有能够对上述第一臂和上述第二臂的控制进行切换操作的操作部。

由此，能够在所希望的时机进行第一臂和第二臂的控制的切换操作，因此电子部件搬送装置的使用便利性优异。

应用例16

上述应用例12至15中任一项所述的电子部件搬送装置优选为：具有能够对上述第一臂和上述第二臂的控制的切换设定进行显示的显示部。

由此，能够使第一臂和第二臂的控制的切换设定可视化，因此能够正确地进行该设定。

应用例17

上述应用例12至16中任一项所述的电子部件搬送装置优选为：在上述电子部件的一个面形成电极端子，并在与上述一个面相反一侧的另一个面具有在照射了光的情况下生成电信号的元件。

由此，能够将电子部件以其一个面朝向上方的方式进行搬送。

应用例18

上述应用例12至17中任一项所述的电子部件搬送装置优选为：上述电子部件能够进行拍摄。

由此，能够安全地搬送电子部件。

应用例19

上述应用例12至18中任一项所述的电子部件搬送装置优选为：上述电子部件为CCD器件。

由此，能够安全地搬送电子部件。

应用例20

本应用例的电子部件检查装置的特征在于，具有：第一臂，其能够对电子部件进行第一处理和第二处理；第二臂，其能够对上述电子部件进行上述第一处理和上述第二处理；以及检查部，其对上述电子部件进行检查，在上述第一臂进行上述第一处理的情况下，上述第二臂能够进行第二处理，在上述第二臂进行上述第一处理的情况下，上述第一臂能够进行第二处理。

由此，能够对处理不同的第一臂、第二臂的控制设定进行切换，例如能够使电子部件搬送装置适于用户需求，即适于电子部件的种类。

附图说明

图1是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置的实施方式的示意性立体图。

图2是依次示出图1所示的电子部件检查装置整体的工作状态的示意性俯视图。

图3是依次示出图1所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性局部俯视图。

图4是依次示出图1所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性局部俯视图。

图5是依次示出图1所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性局部俯视图。

图6是依次示出图1所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性局部俯视图。

图7是依次示出图1所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性局部俯视图。

图8是依次示出图1所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性局部俯视图。

图9是依次示出图1所示的电子部件检查装置整体的工作状态的示意性俯视图。

图10是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图11是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图12是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图13是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图14是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图15是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图16是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图17是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图18是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图19是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图20是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图21是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图22是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图23是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图24是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图25是在图1所示的电子部件检查装置所具备的监视器上显示的窗体的一个例子。

图26是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置的实施方式的示意性立体图。

图27是依次示出图26所示的电子部件检查装置整体的工作状态的示意性俯视图。

图28是依次示出图26所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性局部俯视图。

图29是依次示出图26所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性局部俯视图。

图30是依次示出图26所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性局部俯视图。

图31是依次示出图26所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性局部俯视图。

图32是依次示出图26所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性局部俯视图。

图33是依次示出图26所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性局部俯视图。

图34是依次示出图26所示的电子部件检查装置整体的工作状态的示意性俯视图。

图35是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图36是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图37是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图38是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图39是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图40是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图41是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图42是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图43是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图44是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图45是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图46是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图47是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图48是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图49是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图50是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图51是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图52是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图53是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图54是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图55是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图56是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图57是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图58是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图59是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图60是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图61是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图62是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图63是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图64是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。

图65是在图26所示的电子部件检查装置所具备的监视器上显示的窗体的一个例子。

具体实施方式

下面，根据附图所示的优选的实施方式，详细地说明本发明的电子部件搬送装置及电子部件检查装置。

此外，在以下所示的实施方式中，为便于说明，将图中所示的相互正交的三个轴设为X轴、Y轴及Z轴。X轴、Y轴及Z轴这三个轴以箭头示出，使该箭头的前端侧为“+(正)向”或者“正向”，并使基端侧为“－(负)向”或者“负向”。另外，包括X轴和Y轴在内的XY平面为水平方向，Z轴为铅垂方向。另外，与X轴平行的方向亦称为“X方向”，与Y轴平行的方向亦称为“Y方向”，并且与Z轴平行的方向亦称为“Z方向”。另外，电子部件的搬送方向的上游侧亦简称为“上游侧”，下游侧亦简称为“下游侧”。另外，本申请说明书所说的“水平”并不局限于完全的水平，也包括在不阻碍电子部件的搬送的情况下相对于水平略微(例如小于5°左右)倾斜的状态。

另外，以下实施方式所示的检查装置(电子部件检查装置)是用于对作为电子部件的IC器件90的电气特性进行检查/试验(以下简称为“检查”)的装置。例如如图10所示，在以下的实施方式中，IC器件90是CCD器件。该IC器件90的单侧的面902是拍摄(受光)面，在其相反的面具有球状的端子(凸部)901。

为了对像这样构成的IC器件90进行检查，需要在检查装置内将端子901侧朝向(+Z方向)地搬送/载置IC器件90。在该情况下，在检查装置内，在IC器件90的面902侧(下方(－Z方向))配置检查用光源(未图示)，CCD器件亦即IC器件90在来自上述光源的光照到面902时，进行是否向各端子901输出正确的信号的试验。

(实施方式1)

下面对本实施方式的检查装置1进行说明。

图1是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置的实施方式的示意性立体图。图2～图9是依次示出图1所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性俯视图及示意性局部俯视图。图10～图24是依次示出图1所示的电子部件检查装置的检查区域内的工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。图25是在图1所示的电子部件检查装置所具备的监视器上显示的窗体的一个例子。

如图2所示，检查装置1被分为托盘供给区域A1、器件供给区域(以下简称为“供给区域”)A2、检查区域A3、器件回收区域(以下简称为“回收区域”)A4以及托盘除去区域A5。而且，IC器件90从托盘供给区域A1到托盘除去区域A5为止依次经过各区域，并在中途的检查区域A3被实施检查。

如图1、图2所示，检查装置1具备在各区域内搬送IC器件90的电子部件搬送装置、在检查区域A3内进行检查的检查部16、以及控制部80。另外，检查装置1具备监视器300和信号灯400。并且，检查装置1的最外装由罩覆盖，该罩例如有前罩70、侧罩71、侧罩72、后罩73、顶罩74。

此外，检查装置1的配置有托盘供给区域A1、托盘除去区域A5的一侧(图1中的－Y方向侧)为正面侧，其相反一侧、即配置有检查区域A3的一侧(图1中的+Y方向侧)作为背面侧来使用。

托盘供给区域A1是被供给排列有未检查状态的多个IC器件90的托盘(配置部件)200的供件部。在托盘供给区域A1，能够层叠多个托盘200。在托盘200形成有矩阵状地配置的多个凹部(凹处)201。而且，在各凹部201能够一个一个地载置并收纳IC器件90。

供给区域A2是将从托盘供给区域A1移动了的托盘200的、被配置在托盘200上的多个IC器件90分别供给到检查区域A3的区域。此外，在检查装置1，以跨越托盘供给区域A1和供给区域A2的方式，设置有将托盘200一个一个地沿水平方向搬送的托盘搬送机构11A、11B。托盘搬送机构11A是能够使托盘200连同被载置于该托盘200的IC器件90沿Y方向移动的移动部。由此，能够将IC器件90稳定地从托盘供给区域A1搬入供给区域A2。另外，托盘搬送机构11B是能够使空的托盘200从供给区域A2向托盘供给区域A1移动的移动部。

在供给区域A2设置有温度调整部(浸泡板)12、器件搬送臂(供给用臂)13及托盘搬送机构(第一搬送装置)15。

温度调整部12是供多个IC器件90载置的载置部(电子部件载置部)，能够对该多个IC器件90进行加热或者冷却。由此，能够将IC器件90调整到适于检查的温度。

在图2所示的结构中，在Y方向上配置、固定有两个温度调整部12。而且，由托盘搬送机构11A从托盘供给区域A1搬入的(搬送来的)托盘200上的IC器件90被搬送至任一温度调整部12并进行载置。另外，在温度调整部12形成有矩阵状地配置的多个凹部(凹处)121。而且，在各凹部121能够一个一个地载置并收纳IC器件90。

器件搬送臂13被支承为在供给区域A2内能够分别沿X方向、Y方向、Z方向移动。由此，器件搬送臂13能够承担被从托盘供给区域A1搬入的托盘200与温度调整部12之间的IC器件90的搬送、以及温度调整部12与器件供给部14之间的IC器件90的搬送。

托盘搬送机构15是将除去了全部IC器件90的状态下的空的托盘200在供给区域A2内在X方向上进行搬送的机构。而且，该搬送后，空的托盘200通过托盘搬送机构11B而从供给区域A2返回托盘供给区域A1。

检查区域A3是对IC器件90进行检查的区域。在该检查区域A3设置有检查部16和检查用臂17。另外，还设置有以跨越供给区域A2和检查区域A3的方式往复移动的器件供给部(供给往复装置)14、以跨越检查区域A3和回收区域A4的方式往复移动的器件回收部(回收往复装置)18。此外，检查区域A3通过隔壁75和后罩73来保持气密性。

器件供给部14是能够载置被温度调整后的IC器件90并将该IC器件90搬送(使之移动)到检查部16附近的移动部。该器件供给部14被支承为能够在供给区域A2与检查区域A3之间沿X方向而在水平方向上移动。另外，在图2所示的结构中，在Y方向上配置有两个器件供给部14，它们能够分别独立地移动。温度调整部12上的IC器件90被搬送至任一器件供给部14并进行载置。

下面，有时会将这两个器件供给部14中位于Y方向的正向的器件供给部14称为“器件供给部(第一器件供给部)14A”，将位于Y方向的负向的器件供给部14称为“器件供给部(第二器件供给部)14B”。

另外，在器件供给部14形成有在本实施方式中在X方向上配置的两个凹部(凹处)141。而且，在各凹部141能够一个一个地载置并收纳IC器件90。此外，凹部141的配置方式当然并不局限于在X方向上设置两个。另外，凹部141构成为使来自上述光源的光透过(省略图示)。作为其结构，没有特别限定，例如能够例举出形成贯通孔、或以透明材料构成。

检查部16是对IC器件90的电气特性进行检查/试验的单元。检查部16包括测试器(未图示)，能够基于被存储于该测试器所具备的检查控制部的程序，来进行IC器件90的检查。此外，在检查部16中，与温度调整部12相同，能够对IC器件90进行加热或者冷却，而能够将该IC器件90调整为适于检查的温度。另外，在检查部16形成有在本实施方式中在X方向上配置的两个凹部(凹处)161。而且，在各凹部161能够一个一个地载置并收纳IC器件90。此外，凹部161的配置方式当然并不局限于在X方向上设置两个。另外，凹部161构成为使来自上述光源的光透过(省略图示)。作为其结构，没有特别限定，例如能够例举出形成贯通孔、或以透明材料构成。

检查用臂17被支承为在检查区域A3内能够分别沿Y方向、Z方向移动。在图2所示的结构中，在Y方向上配置有两个检查用臂17。下面，有时将这两个检查用臂17中位于Y方向的正向的检查用臂17称为“检查用臂(第一臂)17A”，将位于Y方向的负向的检查用臂17称为“检查用臂(第二臂)17B”。

如图10～图24所示，检查用臂17A和检查用臂17B经由连结部700连结，能够一并地沿Y方向移动。此外，检查用臂17A的沿Z方向的移动和检查用臂17B的沿Z方向的移动能够相独立地进行。而且，如将在下文中说明那样，在检查装置1中，检查用臂17A和检查用臂17B构成为具有相互不同的功能。

图2所示的器件回收部18是供在检查部16中完成了检查的IC器件90载置并将该IC器件90搬送(使之移动)至回收区域A4的移动部。该器件回收部18被支承为能够在检查区域A3与回收区域A4之间沿X方向在水平方向上移动。

另外，在图2所示的结构中，与器件供给部14相同，在Y方向上配置有两个器件回收部18，检查部16上的IC器件90被搬送至任一器件回收部18并进行载置。该搬送由检查用臂17来进行。

下面，有时将这两个器件回收部18中位于Y方向的正向的器件回收部18称为“器件回收部(第一器件回收部)18A”，并将位于Y方向的负向的器件回收部18称为“器件回收部(第二器件回收部)18B”。在检查装置1中，器件供给部14A和器件回收部18A连结，而能够一并地向相同方向移动，器件供给部14B和器件回收部18B连结，而能够一并地向相同方向移动。

另外，在器件回收部18形成有在本实施方式中在X方向上配置的两个凹部(凹处)181。而且，在各凹部181能够一个一个地载置并收纳IC器件90。此外，凹部181的配置方式当然并不局限于在X方向上设置两个。

回收区域A4是对完成了检查的多个IC器件90进行回收的区域。在该回收区域A4设置有回收用托盘19、器件搬送臂(回收用臂)20以及托盘搬送机构(第二搬送装置)21。另外，在回收区域A4还准备有空的托盘200。

回收用托盘19是供IC器件90载置的载置部(电子部件载置部)，其被固定于回收区域A4内，在图2所示的结构中，在X方向上配置有三个。在回收用托盘19形成有矩阵状地配置的多个凹部(凹处)191。而且，在各凹部191能够一个一个地载置并收纳IC器件90。

另外，空的托盘200也是供IC器件90载置的载置部(电子部件载置部)，并在X方向上配置有三个。

而且，移动到回收区域A4的器件回收部18上的IC器件90被搬送至上述回收用托盘19及空的托盘200中任一个，并进行载置。由此，按照每个检查结果回收IC器件90并进行分类。

器件搬送臂20被支承为在回收区域A4内能够分别沿X方向、Y方向、Z方向移动。由此，器件搬送臂20能够将IC器件90从器件回收部18搬送至回收用托盘19、空的托盘200。

托盘搬送机构21是在回收区域A4内沿X方向对从托盘除去区域A5搬入的空的托盘200进行搬送的机构。而且，在该搬送后，空的托盘200被配置于用于回收IC器件90的位置，即能够成为上述三个空的托盘200中的任一个。

这样，在检查装置1中，在回收区域A4设置有托盘搬送机构21，此外，在供给区域A2设置有托盘搬送机构15。由此，例如与以一个搬送机构将空的托盘200沿X方向进行搬送相比，更能够实现生产量(每单位时间的IC器件90的搬送个数)的提高。

此外，作为托盘搬送机构15、21的结构没有特别限定，例如，能够例举出具有吸附托盘200的吸附部件、和将该吸附部件支承为能够沿X方向移动的滚珠螺杆等支承机构的结构。

托盘除去区域A5是对排列有检查完毕状态的多个IC器件90的托盘200进行回收并将其除去的除件部。在托盘除去区域A5能够层叠多个托盘200。

另外，在检查装置1，设置有以跨越回收区域A4和托盘除去区域A5的方式将托盘200一个一个地在水平方向上搬送的托盘搬送机构22A、22B。托盘搬送机构22A是能够使托盘200连同被载置于该托盘200的检查完毕的IC器件90沿Y方向移动的移动部。由此，能够将检查完毕的IC器件90从回收区域A4搬送至托盘除去区域A5。另外，托盘搬送机构22B是能够使用于回收IC器件90的空的托盘200从托盘除去区域A5向回收区域A4移动的移动部。

控制部80例如具有驱动控制部。驱动控制部例如对托盘搬送机构11A、11B、温度调整部12、器件搬送臂13、器件供给部14、托盘搬送机构15、检查部16、检查用臂17、器件回收部18、器件搬送臂20、托盘搬送机构21、以及托盘搬送机构22A、22B的各部分的驱动进行控制。

此外，上述测试器的检查控制部例如基于被存储于未图示的存储器内的程序，而对被配置于检查部16的IC器件90的电气特性进行检查等。

操作人员能够经由监视器300对检查装置1的工作时的温度条件等进行设定、确认。该监视器300例如具有由液晶画面构成的显示画面301，并被配置于检查装置1的正面侧上部(+Z方向)。如图1所示，在托盘除去区域A5的+X方向侧设置有对鼠标进行载置的鼠标台600，其中，该鼠标在对监视器300所显示的画面进行操作时被使用。

另外，信号灯400能够通过发光的颜色的组合来报告检查装置1的工作状态等。信号灯400被配置于检查装置1的上部(+Z方向侧)。此外，在检查装置1内置有扬声器500，通过该扬声器500也能报告检查装置1的工作状态等。

如图10～图24所示，检查用臂17A具有头3，能够在该头3配置并安装第一部件(第一功能部)4。另外，检查用臂17B具有头5，能够在该头5配置并安装第二部件(第二功能部)6。如图2所示，在X方向上并排地安装两个第一部件4，并也在X方向上并排地安装两个第二部件6。

第一部件4是按照IC器件90的各个种类进行更换、被称为所谓的“更换套件”的部件，能够对IC器件90进行第一处理，即具有规定的第一功能。另外，第二部件6也是按照IC器件90的各个种类进行更换、被称为所谓的“更换套件”的部件，能够对IC器件90进行第二处理，即具有规定的第二功能。

检查用臂17A和检查用臂17B因第一部件4和第二部件6而能够发挥相互不同的功能。这样，在检查装置1中，根据用户需求，即根据作为检查对象的IC器件90的种类，来安装功能不同的两个更换套件，而在一个共用的区域(检查区域A3)内发挥该不同的两个功能。

如图10(图11～图24亦同)所示，检查用臂17A的头3具有与喷射器31连接的流路32。另外，头3的下表面33为平面，流路32的与喷射器31相反一侧的部分开口。

第一部件4呈平板状，例如通过螺栓(未图示)而拆装自如地被安装于头3的下表面33。另外，第一部件4具有在下表面41开口的凹部42和从凹部42贯通到上表面43的贯通孔44。在将该第一部件4安装于头3的安装状态下，凹部42经由贯通孔44与头3的流路32连通。

而且，通过使第一部件4的下表面41与IC器件90抵接，并且使喷射器31工作，第一部件4能够通过吸附来把持IC器件90(例如参照图11)，并能够在该把持状态下抬起该IC器件90(例如参照图12)。这样，第一部件4成为吸附IC器件90的吸附部。

另外，如上所述，IC器件90具有多个端子901，并以该端子901侧朝向铅垂上方的状态进行搬送及载置。在使第一部件4的下表面41与IC器件90抵接的状态下，多个端子901被收纳于第一部件4的凹部42。由此，能够防止在第一部件4与IC器件90之间产生间隙，因此第一部件4能够恰到好处地吸引IC器件90。

检查用臂17B的头5具有与检查部16的上述测试器电连接的电缆51。另外，头5的下表面53为平面，供第二部件6安装。

第二部件6呈平板状，例如通过螺栓(未图示)而拆装自如地被安装于头5的下表面53。另外，第二部件6具有由被设置于下表面61的多个探针621构成的端子部62。在将该第二部件6安装于头5的安装状态下，各探针621经由电缆51而与检查部16的上述测试器电连接。而且，通过各探针621与IC器件90的各端子901抵接，能够进行IC器件90的检查(参照图17)。

如图25所示，在监视器300的显示画面301映出操作窗体8。操作窗体8包括第一菜单组81、第二菜单组82以及动作设定窗体9。

第一菜单组81包括按键811～按键818，按键811被分配为“开始(Start)”，按键812被分配为“结束(End)”，按键813被分配为“关机(Shut Down)”，按键814被分配为“设备设置(Device Set)”，按键815被分配为“单元设置(Unit Set)”，按键816被分配为“处理器设置(Handler Set)”，按键817被分配为“维护(Maintenance)”，按键818被分配为“计算器(Calculator)”。而且，如果对按键814进行操作，则在显示画面301显示第二菜单组82。

第二菜单组82包括按键821～按键8211，按键821被分配为“托盘窗体(TrayForm)”，按键822被分配为“托盘分配(Tray Assign)”，按键823被分配为“板窗体(PlateForm)”，按键824被分配为“温度补偿(Temp.Offset)”，按键825被分配为“接触(Contact)”，按键826被分配为“测试器接口(Tester I/F)”，按键827被分配为“料仓(Bin)”，按键828被分配为“设定(Set up)”，按键829被分配为“载置/卸载(Load./Unld.)”，按键8210被分配为“静电释放(ESD)”，按键8211被分配为“扫描模式(Scan Mode)”。而且，如果对按键828进行操作，则在显示画面301显示动作设定窗体9。

动作设定窗体9包括搬送臂动作条件设定模式91、检查条件设定模式92、器件供给部/器件回收部动作条件设定模式93、以及检查用臂动作条件设定模式94。

搬送臂动作条件设定模式91是一并地设定利用器件搬送臂13、器件搬送臂20进行的IC器件90的把持动作的条件的模式“处理模式(Handling Mode)”，包括复选框911～915。复选框911被分配为“两处(2-site)”，复选框912被分配为“方形四处(2×2)(Square 4-site(2×2))”，复选框913被分配为“共线四处(4×1)(In-Line 4-site(4×1))”，复选框914被分配为“频繁往复(单侧，两处CK)(Busy Shuttle(Single，2site CK)))”，复选框915被分配为“频繁往复(双侧，四处CK)(Busy Shuttle(Dual，4site CK))”。而且，能够选择复选框911～915中的任一个。

检查条件设定模式92被分配为“测试位置分配(Test Site Assign)”，包括使检查部16的各凹部161和测试器的沟道相关联的沟道设定模式921、对检查部16的凹部161彼此的间距距离进行设定的距离设定模式922、以及表示检查部16的凹部161的配置状态的图解923。沟道设定模式921被分配为“位置分配(Site Assign)”，距离设定模式922被分配为“插口间距(Socket Pitch)”，图解923被分配为“处理器背面(Back of Handler)”。

沟道设定模式921包括复选框921a～921d，能够分别选择沟道。复选框921a被分配为“插口A(Socket A)”，复选框921b被分配为“插口B(Socket B)”，复选框921c被分配为“插口C(Socket C)”，复选框921d被分配为“插口D(Socket D)”。另外，沟道设定模式921还包括决定所选择的沟道的按键921e，该按键921e被分配为“设置默认值(Set Default)”。

距离设定模式922包括对凹部161彼此的X方向的间距距离进行设定的复选框922x、以及对凹部161彼此的Y方向的间距距离进行设定的复选框922y。复选框922x被分配为“X-间距(X-pitch)”，复选框922y被分配为“Y-间距(Y-pitch)”。

器件供给部/器件回收部动作条件设定模式93是对器件供给部14A和器件回收部18A的移动动作的条件、以及器件供给部14B和器件回收部18B的移动动作的条件进行设定的模式“往复模式(Shuttle Mode)”，包括复选框931～934。复选框931被分配为“标准(Normal)”，复选框932被分配为“单侧(One Side)”，复选框933被分配为“使用往复1(UseShuttle 1)”，复选框934被分配为“使用往复2(Use Shuttle2)”。而且，能够选择复选框931或者复选框932。

在选择了复选框931的情况下，能够执行器件供给部14A和器件回收部18A的移动动作、以及器件供给部14B和器件回收部18B的移动动作。

另外，在选择了复选框932的情况下，能够执行器件供给部14A和器件回收部18A的移动动作、或者器件供给部14B和器件回收部18B的移动动作。在该情况下，能够选择复选框933或者复选框934。

在选择了复选框933的情况下，成为执行器件供给部14A和器件回收部18A的移动动作、而器件供给部14B和器件回收部18B的移动动作停止的状态。另一方面，在选择了复选框934的情况下，成为执行器件供给部14B和器件回收部18B的移动动作、而器件供给部14A和器件回收部18A的移动动作停止的状态。

检查用臂动作条件设定模式94被分配为“固定缺陷动作(Dead Bug Motion)”，包括有复选框941。复选框941被分配为“使能进行固定缺陷动作(Enable Dead BugMotion)”，在选择了复选框941的情况下，成为执行检查用臂17A的移动动作而检查用臂17B的移动动作停止的状态。此外，也可以与此相反，在选择了复选框941的情况下，成为执行检查用臂17B的移动动作而检查用臂17A的动作停止的状态。另外，在不选择复选框941的情况下，能够执行检查用臂17A的移动动作和检查用臂17B的移动动作。

下面参照图2～图24对选择了器件供给部及器件回收部动作条件设定模式93的复选框932、复选框933、以及检查用臂动作条件设定模式94的复选框941的情况下的检查装置1的动作状态进行说明。

如图2所示，被载置于托盘供给区域A1内的托盘200的IC器件90通过托盘搬送机构11A、器件搬送臂13的规定动作而被搬送至位于供给区域A2内的器件供给部14A，并被载置于该器件供给部14A。

接下来，如图3所示，在供给区域A2内载置有IC器件90的器件供给部14A移动至位于+X方向的检查区域A3。由此，IC器件90位于检查区域A3内。

另外，此时，如图10所示，检查用臂17A的第一部件4位于IC器件90的上方，检查用臂17B的第二部件6位于检查部16的上方。之后，如图11所示，检查用臂17A下降直至第一部件4与IC器件90抵接。

而且，使喷射器31工作，而使第一部件4处于吸附有IC器件90的状态，如图12所示，使检查用臂17A上升。由此，能够将IC器件90从器件供给部14A抬起。

接下来，如图4、图13所示，检查用臂17A和检查用臂17B向相同方向、即向Y方向的负向移动。由此，被第一部件4把持的IC器件90位于检查部16的上方，第二部件6从检查部16的上方退避。

接下来，如图14所示，检查用臂17A下降直至IC器件90能够被载置于检查部16的位置。之后，进行基于喷射器31的真空消除，解除第一部件4对IC器件90的吸附。由此，IC器件90被载置于检查部16。

接下来，如图15所示，使检查用臂17A上升。由此，第一部件4从IC器件90分离，即远离。

接下来，如图5、图16所示，检查用臂17A和检查用臂17B向与上述相反的方向，即向Y方向的正向移动。由此，第一部件4从处于被定位并固定的状态的检查部16的上方退避，而第二部件6位于检查部16的上方。

接下来，如图17所示，检查用臂17B下降直至第二部件6的各探针621与IC器件90的各端子901抵接并进一步按压而获得规定的按压力的位置。由此，成为能够对IC器件90进行检查的状态。

而且，在该检查结束后，如图18所示，使检查用臂17B上升。由此，第二部件6从IC器件90分离。

接下来，如图6、图19所示，检查用臂17A和检查用臂17B再次向Y方向的负向移动。由此，第一部件4位于被载置于检查部16的IC器件90的上方，而第二部件6从检查部16的上方退避。另外，器件回收部18A移动至检查区域A3。由此，器件回收部18A位于检查区域A3内。

接下来，如图20所示，检查用臂17A下降直至第一部件4与IC器件90抵接。而且，使喷射器31工作，使第一部件4处于吸附有IC器件90的状态，如图21所示，使检查用臂17A上升。由此，能够抬起IC器件90，而从检查部16将其取出。

接下来，如图7、图22所示，检查用臂17A和检查用臂17B向Y方向的正向移动。由此，把持有IC器件90的第一部件4从检查部16的上方退避，位于器件回收部18A的上方，并且第二部件6位于检查部16的上方。

接下来，如图23所示，检查用臂17A下降直至IC器件90能够被载置于器件回收部18A的位置。之后，进行基于喷射器31的真空消除，解除第一部件4对IC器件90的吸附。由此，IC器件90被载置于器件回收部18A。

接下来，如图24所示，使检查用臂17A上升。由此，第一部件4从IC器件90分离。此外，这里使用检查用臂17A进行了说明，但在使用检查用臂17B的情况下也能够进行相同的控制。

接下来，如图8所示，在检查区域A3载置有IC器件90的器件回收部18A移动至位于+X方向的回收区域A4。由此，IC器件90位于回收区域A4内。

如图9所示，被载置于器件回收部18A的IC器件90通过器件搬送臂20、托盘搬送机构22A的规定动作而被搬送至托盘除去区域A5。

如上所述，在检查装置1中，检查用臂17A和检查用臂17B能够通过第一部件4和第二部件6而在检查区域A3内发挥相互不同的功能。由此，能够迅速地进行与IC器件90对应(在本实施方式中为端子901位于上侧的IC器件90)的搬送和检查。

(实施方式2)

下面对本实施方式所涉及的检查装置101进行说明。此外，在以下说明中，以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同事项、结构等将标注相同的附图标记，并省略其说明。

图26是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置的实施方式的示意性立体图。图27～图34是依次示出图26所示的电子部件检查装置的工作状态的示意性俯视图及示意性局部俯视图。图35～图49是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第一工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。图50～图64是依次示出图26所示的电子部件检查装置的检查区域内的第二工作状态的侧视图(从X方向的正向观察的图)。图65是图26所示的电子部件检查装置所具备的监视器中显示的窗体的一个例子。

如图27所示，检查装置101被分为托盘供给区域A1、器件供给区域(以下简称“供给区域”)A2、检查区域A3、器件回收区域(以下简称“回收区域”)A4、以及托盘除去区域A5。而且，IC器件90从托盘供给区域A1到托盘除去区域A5依次经由各区域，在中途的检查区域A3进行检查。

如图26、图27所示，检查装置101具备在各区域搬送IC器件90的电子部件搬送装置、在检查区域A3内进行检查的检查部16、以及控制部80。另外，检查装置101具备监视器300和信号灯400。并且，检查装置101的最外装被罩覆盖，该罩例如有前罩70、侧罩71、侧罩72、后罩73、以及顶罩74。

此外，检查装置101的正面侧和背面侧、以及托盘供给区域A1、供给区域A2、回收区域A4、托盘除去区域A5都与实施方式1相同，因此省略说明。

检查区域A3是对IC器件90进行检查的区域。在该检查区域A3设置有检查部16和检查用臂117。另外，还设置有以跨越供给区域A2和检查区域A3的方式往复移动的器件供给部(供给往复装置)14、以及以跨越检查区域A3和回收区域A4的方式往复移动的器件回收部(回收往复装置)18。此外，检查区域A3通过隔壁75和后罩73而被保持气密性。

器件供给部14是能够载置被温度调整后的IC器件90并将该IC器件90搬送(使之移动)到检查部16附近的移动部。该器件供给部14被支承为能够在供给区域A2与检查区域A3之间沿X方向在水平方向上移动。另外，在图27所示的结构中，在Y方向上配置有两个器件供给部14，它们能够分别独立地移动。温度调整部12上的IC器件90被搬送至任一器件供给部14并进行载置。下面，有时将这两个器件供给部14中位于Y方向的正向的器件供给部14称为“第一器件供给部(第一供给往复装置)14A”，将位于Y方向的负向的器件供给部14称为“第二器件供给部(第二供给往复装置)14B”。

另外，在器件供给部14形成有在本实施方式中在X方向上配置的两个凹部(凹处)141。而且，在各凹部141能够一个一个地载置并收纳IC器件90。此外，凹部141的配置方式当然并不局限于在X方向上设置两个。另外，凹部141构成为使来自上述光源的光透过(省略图示)。作为其结构，没有特别限定，例如能够例举出形成贯通孔、或以透明材料构成。

检查部16是对IC器件90的电气特性进行检查/试验的单元。检查部16包括测试器(未图示)，能够基于被存储于该测试器所具备的检查控制部中的程序，来进行IC器件90的检查。此外，在检查部16，与温度调整部12相同，能够对IC器件90进行加热或者冷却，而能够将该IC器件90调整为适于检查的温度。另外，在检查部16形成有在本实施方式中在X方向上配置的两个凹部(凹处)161。而且，在各凹部161能够一个一个地载置并收纳IC器件90。此外，凹部161的配置方式当然并不局限于在X方向上设置两个。另外，凹部161构成为使来自上述光源的光透过(省略图示)。作为其结构，没有特别限定，例如能够例举出形成贯通孔、或以透明材料构成。

检查用臂117被支承为在检查区域A3内能够分别沿Y方向、Z方向移动。在图27所示的结构中，在Y方向上配置有两个检查用臂117。下面，有时将这两个检查用臂117中位于Y方向的正向的检查用臂117称为“检查用第一臂(第一臂)117A”，将位于Y方向的负向的检查用臂117称为“检查用第二臂(第二臂)117B”。

如图35～图64所示，检查用第一臂117A和检查用第二臂117B经由连结部700连结，而能够一并沿Y方向移动。此外，检查用第一臂117A的沿Z方向的移动和检查用第二臂117B的沿Z方向的移动能够相独立地进行。而且，如将在下文说明那样，在检查装置101中，检查用第一臂117A和检查用第二臂117B能够是可发挥相互不同的功能的结构。

图27所示的器件回收部18是供在检查部16中完成了检查的IC器件90载置并将该IC器件90搬送(使之移动)至回收区域A4的移动部。该器件回收部18被支承为能够在检查区域A3与回收区域A4之间沿X方向并在水平方向上移动。

另外，在图27所示的结构中，与器件供给部14相同，在Y方向上配置有两个器件回收部18，检查部16上的IC器件90被搬送至任一器件回收部18并进行载置。该搬送由检查用臂117来进行。

下面，有时将这两个器件回收部18中位于Y方向的正向的器件回收部18称为“第一器件回收部(第一回收往复装置)18A”，将位于Y方向的负向的器件回收部18称为“第二器件回收部(第二回收往复装置)18B”。在检查装置101中，第一器件供给部14A和第一器件回收部18A连结，而能够一并地向相同方向移动，第二器件供给部14B和第二器件回收部18B连结，而能够一并地向相同方向移动。

另外，在器件回收部18形成有在本实施方式中在X方向上配置的两个凹部(凹处)181。而且，在各凹部181能够一个一个地载置并收纳IC器件90。此外，凹部181的配置方式当然并不局限于在X方向上设置两个。

控制部80例如具有驱动控制部。驱动控制部例如对托盘搬送机构11A、11B、温度调整部12、器件搬送臂13、器件供给部14、托盘搬送机构15、检查部16、检查用臂117、器件回收部18、器件搬送臂20、托盘搬送机构21、以及托盘搬送机构22A、22B的各部分的驱动进行控制。

此外，上述测试器的检查控制部例如基于被存储于未图示的存储器内的程序，而对被配置于检查部16的IC器件90的电气特性进行检查等。

操作人员能够经由监视器300对检查装置101的工作时的温度条件等进行设定、确认。该监视器300例如具有由液晶画面构成的显示画面(显示部)301，并被配置于检查装置101的正面侧上部(+Z方向)。如图26所示，在托盘除去区域A5的+X方向侧设置有对鼠标进行载置的鼠标台600，其中，该鼠标在对监视器300所显示的画面进行操作时被使用。

如图35～图64所示，检查用第一臂117A具有头3A，能够获得在该头3A配置并安装有第一功能部4的状态(参照图35～图49)、和在该头3A配置并安装有第二功能部106的状态(参照图50～图64)。另外，检查用第二臂117B具有头3B，能够获得在该头3B配置并安装有第二功能部106的状态(参照图35～图49)、和在该头3B配置并安装有第一功能部4的状态(参照图50～图64)。此外，如图27所示，相对于一个检查用臂117，在X方向上并排地安装两个第一功能部4，并也在X方向上并排地安装两个第二功能部106。

第一功能部(第一部件)4是按照IC器件90的各个种类进行更换、被称为所谓的“更换套件”的部件，能够对IC器件90进行第一处理，即具有规定的第一功能。另外，第二功能部(第二部件)6也是按照IC器件90的各个种类进行更换、被称为所谓的“更换套件”的部件，能够对IC器件90进行第二处理，即具有规定的第二功能。

检查用第一臂117A通过在头3A安装第一功能部4而处于能够对IC器件90发挥第一处理的状态，并通过在头3A安装第二功能部106而处于能够对IC器件90发挥第二处理的状态。同样，检查用第二臂117B通过在头3B安装第一功能部4而处于能够对IC器件90发挥第一处理的状态，并通过在头3B安装第二功能部106而处于能够对IC器件90发挥第二处理的状态。

而且，在检查装置101中，能够设定为在检查用第一臂117A(头3A)安装第一功能部4并在检查用第二臂117B(头3B)安装第二功能部106而使检查装置101工作的“第一工作状态”。另外，还能够设定为在检查用第一臂117A(头3A)安装第二功能部106并在检查用第二臂117B(头3B)安装第一功能部4而使检查装置101工作的“第二工作状态”。

这样，在检查装置101中，能够对第一工作状态和第二工作状态进行切换，即，能够对功能不同的状态下的检查用第一臂117A和检查用第二臂117B的控制设定进行切换。

检查用第一臂117A的头3A和检查用第二臂117B的头3B除了配置部位不同以外，它们的结构相同，因此代表性地对头3A进行说明。

如图35(图36～图64亦同)所示，头3A具有与喷射器31连接的流路32。另外，头3A的下表面133为平面，流路32的与喷射器31相反一侧的部分开口。并且，头3A具有与检查部16的上述测试器电连接的电缆34。在电缆34的端部设置有连接器35，连接器35在头3A的下表面133的与流路32不同的位置露出。

第一功能部4呈平板状，例如通过螺栓(未图示)而拆装自如地被安装于头3A或者头3B的下表面133。另外，第一功能部4具有在下表面41开口的凹部42和从凹部42贯通到上表面43的贯通孔44。在将该第一功能部4安装于下表面133的安装状态下，凹部42经由贯通孔44与流路32连通。而且，通过使第一功能部4的下表面41与IC器件90抵接，同时使喷射器31工作，第一功能部4能够通过吸附来把持IC器件90(例如参照图36)，并能够在该把持状态下抬起该IC器件90(例如参照图37)。这样，第一功能部4成为吸附IC器件90的吸附部。

另外，如上所述，IC器件90具有多个端子901，并以该端子901侧朝向铅垂上方的状态进行搬送及载置。在使第一功能部4的下表面41与IC器件90抵接的状态下，多个端子901被收纳于第一功能部4的凹部42。由此，能够防止在第一功能部4与IC器件90之间产生间隙，因此第一功能部4能够恰到好处地吸引IC器件90。

第二功能部106呈块状或者平板状，例如通过螺栓(未图示)而拆装自如地被安装于头3A或者头3B的下表面133。另外，第二功能部106具有由被设置于下表面61的多个探针621构成的端子部62。连接器64在第二功能部106的上表面63露出，经由电缆65而与探针621连接。而且，在将第二功能部106安装于下表面133的安装状态下，连接器64和连接器35连接。

由此，各探针621与检查部16的上述测试器电连接。而且，各探针621与IC器件90的各端子901抵接，由此能够进行IC器件90的检查(例如参照图42)。

如图65所示，在监视器300的显示画面301映出操作窗体108。操作窗体108包括第一菜单组81、第二菜单组82以及动作设定窗体109。

第一菜单组81和第二菜单组82与实施方式1相同。

在本实施方式中，如果操作第二菜单组82的按键828，则在显示画面301显示动作设定窗体109。

动作设定窗体109包括搬送臂动作条件设定模式91、检查条件设定模式92、器件供给部/器件回收部动作条件设定模式93、检查用臂动作条件设定模式94、以及检查用臂选择模式95。搬送臂动作条件设定模式91、检查条件设定模式92、器件供给部/器件回收部动作条件设定模式93与实施方式1相同。

检查用臂动作条件设定模式94被分配为“固定缺陷动作(Dead Bug Motion)”而显示，包括复选框942。复选框942被分配为“使能固定缺陷动作(Enable Dead Bug Motion)”，在选择了复选框942的情况下，能够进行检查用臂选择模式95的操作。

检查用臂选择模式95被分配为“臂的选择(Arm Select)”而显示，是进行切换检查用第一臂117A和检查用第二臂117B的控制的设定操作来选择第一工作状态或者第二工作状态的操作部。

该检查用臂选择模式95包括复选框951和复选框952。在检查用第一臂117A安装有第一功能部4、并在检查用第二臂117B安装有第二功能部106、而在第一工作状态下使检查装置101工作的情况下，选择复选框951。另外，在检查用第一臂117A安装第二功能部106，在检查用第二臂117B安装第一功能部4，并在第二工作状态下使检查装置101工作的情况下，选择复选框952。

下面，参照图27～图49，对选择了器件供给部/器件回收部动作条件设定模式93的复选框932、复选框933、检查用臂动作条件设定模式94的复选框942、以及检查用臂选择模式95的复选框951的情况下的检查装置101的动作状态，即第一工作状态进行说明。

如图27所示，被载置于托盘供给区域A1内的托盘200的IC器件90通过托盘搬送机构11A、器件搬送臂13的规定动作而被搬送至位于供给区域A2内的第一器件供给部14A，并被载置于该第一器件供给部14A。

接下来，如图28所示，在供给区域A2内载置有IC器件90的第一器件供给部14A移动至位于+X方向的检查区域A3。由此，IC器件90位于检查区域A3内。

另外，此时，如图35所示，检查用第一臂117A的第一功能部4位于IC器件90的上方，检查用第二臂117B的第二功能部106位于检查部16的上方。

之后，如图36所示，检查用第一臂117A下降直至第一功能部4与IC器件90抵接。

而且，使喷射器31工作，而使第一功能部4处于吸附有IC器件90的状态，如图37所示，使检查用第一臂117A上升。由此，能够将IC器件90从第一器件供给部14A抬起。

接下来，如图29、图38所示，检查用第一臂117A和检查用第二臂117B向相同方向，即向Y方向的负向移动。由此，被第一功能部4把持的IC器件90位于检查部16的上方，第二功能部106从检查部16的上方退避。

接下来，如图39所示，检查用第一臂117A下降直至IC器件90能够被载置于检查部16的位置。之后，进行基于喷射器31的真空消除，解除第一功能部4对IC器件90的吸附。由此，IC器件90被载置于检查部16。

接下来，如图40所示，使检查用第一臂117A上升。由此，第一功能部4从IC器件90分离，即远离。

接下来，如图30、图41所示，检查用第一臂117A和检查用第二臂117B向与上述相反的方向，即向Y方向的正向移动。由此，第一功能部4从处于被定位并固定的状态的检查部16的上方退避，而第二功能部106位于检查部16的上方。

接下来，如图42所示，检查用第二臂117B下降直至第二功能部106的各探针621与IC器件90的各端子901抵接并进一步按压而获得规定的按压力的位置。由此，成为能够对IC器件90进行检查的状态。而且，在该检查结束后，如图43所示，使检查用第二臂117B上升。由此，第二功能部106从IC器件90分离。

接下来，如图31、图44所示，检查用第一臂117A和检查用第二臂117B再次向Y方向的负向移动。由此，第一功能部4位于被载置于检查部16的IC器件90上方，而第二功能部106从检查部16的上方退避。另外，第一器件回收部18A移动至检查区域A3。由此，第一器件回收部18A位于检查区域A3内。

接下来，如图45所示，检查用第一臂117A下降直至第一功能部4与IC器件90抵接。而且，使喷射器31工作，使第一功能部4处于吸附有IC器件90的状态，如图46所示，使检查用第一臂117A上升。由此，能够抬起IC器件90，而从检查部16将其取出。

接下来，如图32、图47所示，检查用第一臂117A和检查用第二臂117B向Y方向的正向移动。由此，把持有IC器件90的第一功能部4从检查部16的上方退避，位于第一器件回收部18A的上方，并且第二功能部106位于检查部16的上方。

接下来，如图48所示，检查用第一臂117A下降直至IC器件90能够被载置于第一器件回收部18A的位置。之后，进行基于喷射器31的真空消除，解除第一功能部4对IC器件90的吸附。由此，IC器件90被载置于第一器件回收部18A。

接下来，如图49所示，使检查用第一臂117A上升。由此，第一功能部4从IC器件90分离。

接下来，如图33所示，在检查区域A3载置有IC器件90的第一器件回收部18A移动至位于+X方向的回收区域A4。由此，IC器件90位于回收区域A4内。

如图34所示，被载置于第一器件回收部18A的IC器件90通过器件搬送臂20、托盘搬送机构22A的规定动作而被搬送至托盘除去区域A5。

继以上对第一工作状态的说明之后，参照图50～图64对选择了检查用臂选择模式95的复选框952的情况下的检查装置101的动作状态即第二工作状态进行说明。此外，为了选择该复选框952，要处于已经选择了器件供给部/器件回收部动作条件设定模式93的复选框932、复选框934、以及检查用臂动作条件设定模式94的复选框942的状态。

通过规定动作，如图50所示，检查用第二臂117B的第一功能部4位于被载置于第二器件供给部14B的IC器件90的上方，而检查用第一臂117A的第二功能部106位于检查部16的上方。之后，如图51所示，检查用第二臂117B下降直至第一功能部4与IC器件90抵接。

而且，使喷射器31工作，使第一功能部4处于吸附有IC器件90的状态，如图52所示，使检查用第二臂117B上升。由此，能够将IC器件90从第二器件供给部14B抬起。

接下来，如图53所示，检查用第一臂117A和检查用第二臂117B向相同方向，即向Y方向的正向移动。由此，被第一功能部4把持的IC器件90位于检查部16的上方，而第二功能部106从检查部16的上方退避。

接下来，如图54所示，检查用第二臂117B下降直至IC器件90能够被载置于检查部16的位置。之后，进行基于喷射器31的真空消除，解除第一功能部4对IC器件90的吸附。由此，IC器件90被载置于检查部16。

接下来，如图55所示，使检查用第二臂117B上升。由此，第一功能部4从IC器件90分离，即远离。

接下来，如图56所示，检查用第一臂117A和检查用第二臂117B向与上述相反的方向，即向Y方向的负向移动。由此，第一功能部4从检查部16的上方退避，而第二功能部106位于检查部16的上方。

接下来，如图57所示，检查用第一臂117A下降直至第二功能部106的各探针621与IC器件90的各端子901抵接并进一步按压而获得规定的按压力的位置。由此，成为能够对IC器件90进行检查的状态。而且，在该检查结束后，如图58所示，使检查用第一臂117A上升。由此，第二功能部106从IC器件90分离。

接下来，如图59所示，检查用第一臂117A和检查用第二臂117B再次向Y方向的正向移动。由此，第一功能部4位于被载置于检查部16的IC器件90上方，而第二功能部106从检查部16的上方退避。另外，第二器件回收部18B移动至检查区域A3。由此，第二器件回收部18B位于检查区域A3内。

接下来，如图60所示，检查用第二臂117B下降直至第一功能部4与IC器件90抵接。而且，使喷射器31工作，使第一功能部4处于吸附有IC器件90的状态，如图61所示，使检查用第二臂117B上升。由此，能够抬起IC器件90，而从检查部16将其取出。

接下来，如图62所示，检查用第一臂117A和检查用第二臂117B向Y方向的负向移动。由此，把持有IC器件90的第一功能部4从检查部16的上方退避，位于第二器件回收部18B的上方，并且第二功能部106位于检查部16的上方。

接下来，如图63所示，检查用第二臂117B下降直至IC器件90能够被载置于第二器件回收部18B的位置。之后，进行基于喷射器31的真空消除，解除第一功能部4对IC器件90的吸附。由此，IC器件90被载置于第二器件回收部18B。

接下来，如图64所示，使检查用第二臂117B上升。由此，第一功能部4从IC器件90分离。

接下来，通过规定的动作，被载置于第二器件回收部18B的IC器件90被搬送至托盘除去区域A5。

如上所述，检查装置101中，能够切换使用第一工作状态和第二工作状态。由此，能够使检查装置101与用户需求对应，例如能够使其适于IC器件90的种类(在本实施方式中端子901位于上侧的IC器件90)。

以上，根据图示的实施方式对本发明的电子部件搬送装置以及电子部件检查装置进行了说明，但本发明并不局限于此，构成电子部件搬送装置以及电子部件检查装置的各部分可置换为能发挥相同功能的任一结构。另外，还可以附加任意的构成物。

在上述的实施方式中，检查装置设置有两个检查用臂，但检查用臂的设置个数并不局限于两个，也可以是三个以上。例如，也可以还设置用于在检查区域内从检查部取出IC器件的第三个检查用臂。

另外，两个检查用臂在上述实施方式中连结，但并不局限于此，也可以不连结。

另外，在上述的实施方式中，第一部件被配置于装置的背面侧的臂，第二部件被配置于装置的正面侧的臂，但并不局限于此，第一部件也可以被配置于装置的正面侧的臂，第二部件也可以被配置于装置的背面侧的臂。

另外，本发明的电子部件检查装置的第一处理和第二处理在上述的实施方式2中为相互不同的处理，但并不局限于此，也可以是相同的功能。

附图标记说明：

1…检查装置(电子部件检查装置)；11A、11B…托盘搬送机构；12…温度调整部(浸泡板)；121…凹部(凹处)；13…器件搬送臂(供给用臂)；14、14A、14B…器件供给部(供给往复装置)；141…凹部(凹处)；15…托盘搬送机构(第一搬送装置)；16…检查部；161…凹部(凹处)；17、17A、17B…检查用臂；18、18A、18B…器件回收部(回收往复装置)；181…凹部(凹处)；19…回收用托盘；191…凹部(凹处)；20…器件搬送臂(回收用臂)；21…托盘搬送机构(第二搬送装置)；22A、22B…托盘搬送机构；3…头；31…喷射器；32…流路；33…下表面；4…第一部件(第一功能部)；41…下表面；42…凹部；43…上表面；44…贯通孔；5…头；51…电缆；53…下表面；6…第二部件(第二功能部)；61…下表面；62…端子部；621…探针；70…前罩；71…侧罩；72…侧罩；73…后罩；74…顶罩；75…隔壁；8…操作窗体；81…第一菜单组；811、812、813、814、815、816、817、818…按键；82…第二菜单组；821、822、823、824、825、826、827、828、829、8210、8211…按键；9…动作设定窗体；91…搬送臂动作条件设定模式；911、912、913、914、915…复选框；92…检查条件设定模式；921…沟道设定模式；921a、921b、921c、921d…复选框；921e…按键；922…距离设定模式；922x、922y…复选框；923…图解；93…器件供给部/器件回收部动作条件设定模式；931、932、933、934…复选框；94…检查用臂动作条件设定模式；941…复选框；80…控制部；90…IC器件；901…端子；902…面；200…托盘(配置部件)；201…凹部(凹处)；300…监视器；301…显示画面；400…信号灯；500…扬声器；600…鼠标台；700…连结部；A1…托盘供给区域；A2…器件供给区域(供给区域)；A3…检查区域；A4…器件回收区域(回收区域)；A5…托盘除去区域。

Claims (11)

1.一种电子部件搬送装置，其特征在于，具有：

第一部件，其能够对电子部件进行第一处理；

第二部件，其能够对上述电子部件进行第二处理；以及

至少第一臂和第二臂，

在将上述第一部件配置于上述第一臂的情况下，将上述第二部件配置于上述第二臂，

在将上述第二部件配置于上述第一臂的情况下，将上述第一部件配置于上述第二臂。

2.根据权利要求1所述的电子部件搬送装置，其特征在于，

具有能够载置上述电子部件的电子部件载置部，

上述第一部件能够把持上述电子部件，并能够在上述电子部件载置部载置上述电子部件，

上述第二部件能够对被载置于上述电子部件载置部的上述电子部件进行按压。

3.根据权利要求2所述的电子部件搬送装置，其特征在于，

上述第一部件能够在检查后从上述电子部件载置部取出上述电子部件。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的电子部件搬送装置，其特征在于，

上述第一部件具有对上述电子部件进行吸附的吸附部。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的电子部件搬送装置，其特征在于，

上述第二部件具有能够与上述电子部件抵接的端子部。

6.根据权利要求5所述的电子部件搬送装置，其特征在于，

上述端子部能够与能对上述电子部件进行检查的检查部连接。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的电子部件搬送装置，其特征在于，

上述电子部件具有突出的凸部，

上述第一部件具有能够收纳上述凸部的凹部。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的电子部件搬送装置，其特征在于，

在上述电子部件的一个面形成电极端子，在与上述一个面相反一侧的另一个面具有在照射了光的情况下生成电信号的元件。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的电子部件搬送装置，其特征在于，

上述电子部件能够进行拍摄。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的电子部件搬送装置，其特征在于，

上述电子部件为CCD器件。

11.一种电子部件检查装置，其特征在于，具有：

第一部件，其能够对电子部件进行第一处理；

第二部件，其能够对上述电子部件进行第二处理；

至少第一臂和第二臂；以及

检查部，其对上述电子部件进行检查，

在将上述第一部件配置于上述第一臂的情况下，将上述第二部件配置于上述第二臂，

在将上述第二部件配置于上述第一臂的情况下，将上述第一部件配置于上述第二臂。