CN103889202A - 电子部件安装装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种电子部件安装装置，其适当地抓持电子部件。电子部件安装装置具有：电子部件供给装置，其将引线型电子部件向保持位置供给；搭载头主体，其具有抓持吸嘴、吸嘴驱动部及搭载头支撑体，该抓持吸嘴由空气压力驱动，用于保持从电子部件供给装置供给的电子部件的电子部件主体，该吸嘴驱动部安装抓持吸嘴并进行上下驱动及旋转驱动，并供给空气压力，该搭载头支撑体支撑抓持吸嘴及吸嘴驱动部；控制部，其控制搭载头主体的动作，控制部在抓持电子部件之前切换空气压力的设定值，每次利用压力检测装置对抓持吸嘴的抓持力进行检测，并求出空气压力和抓持力之间的相关关系，基于该相关关系而设定空气压力，以得到适于抓持电子部件的抓持力。

Description

电子部件安装装置

技术领域

本发明涉及一种电子部件安装装置，其将电子部件的引线向基

板的插入孔中插入，并将该电子部件向基板上安装。

背景技术

向基板上搭载电子部件的电子部件安装装置，具备具有吸嘴的搭载头，利用该吸嘴保持电子部件并向基板上搭载。电子部件安装装置通过使搭载头的吸嘴沿与基板的表面正交的方向移动，从而对位于电子部件供给装置中的部件进行吸附，然后，使搭载头沿与基板的表面平行的方向相对地移动，在到达所吸附的部件的搭载位置后，通过使搭载头的吸嘴沿与基板的表面正交的方向移动而接近基板，从而将所吸附的电子部件向基板上搭载。

在这里，作为向基板安装的电子部件，除了搭载于基板上的搭载型电子部件以外，还存在插入型电子部件，该插入型电子部件具有主体以及与主体连结的引线，通过向插入孔中插入引线而安装。作为将插入型电子部件向基板上安装的电子部件安装装置，存在例如专利文献1中记载的装置。

另外，在专利文献1中记载有下述内容：在插入部件时向插入头施加规定的部件插入力，并且，设置用于对插入头的移动量和移动时间进行检测，从而检测出部件的插入状态的插入状态检测单元，根据在规定时间内是否达到规定的插入量，从而检测部件的插入是否良好。

另外，在专利文献2中记载有下述内容：使用电空调节器，以对吸附吸嘴的抓持力进行控制。

专利文献1：日本特公平2－26799号公报

专利文献2：日本特开2000－183596号公报

专利文献3：日本特开平5－21991号公报

专利文献4：日本特开2003－204689号公报

电空调节器根据搭载头构造上的要求而安装在搭载头上部。另一方面，吸嘴安装在搭载头前端部。由此，即使利用电空调节器对空气压力进行控制，在实际中也可能无法利用吸嘴得到期望的抓持力。

另外，由于在对电空调节器和吸嘴之间的开闭进行控制的电磁阀、和吸嘴之间设置有空气压力路径，所以在从打开电磁阀开始直至吸嘴产生抓持力之前，会产生延迟时间，虽然该延迟时间较短，但仍会使节拍时间降低。

发明内容

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，提供一种能够适当地抓持电子部件的电子部件安装装置。

本发明是一种电子部件安装装置，其利用在水平面上移动的搭载头将位于保持位置的电子部件向基板的搭载位置移送并安装，其特征在于，具有：电子部件供给装置，其将具有电子部件主体以及与所述主体连结的引线的引线型电子部件向所述保持位置供给；搭载头主体，其具有抓持吸嘴、吸嘴驱动部以及搭载头支撑体，该抓持吸嘴由空气压力驱动，用于对从所述电子部件供给装置供给的电子部件的电子部件主体进行保持，该吸嘴驱动部安装所述抓持吸嘴并进行上下驱动以及旋转驱动，并且供给空气压力，该搭载头支撑体对所述抓持吸嘴以及所述吸嘴驱动部进行支撑；以及控制部，其对所述搭载头主体的动作进行控制，所述控制部在抓持电子部件之前，对空气压力的设定值进行切换，每次利用压力检测装置对所述抓持吸嘴的抓持力进行检测，并求出空气压力和抓持力之间的相关关系，基于该相关关系而设定空气压力，以得到适于抓持电子部件的抓持力。

在这里，优选所述控制部针对每个电子部件、每个抓持吸嘴或者每个电子部件和抓持吸嘴的组合，求出表示空气压力的设定值和抓持力之间的相关关系的校正式，基于该校正式和所安装的电子部件的部件数据的信息，设定空气压力，以得到适于抓持电子部件的抓持力。

另外，优选还具有电磁阀，其在自身为断开状态时，将所述吸嘴驱动部和所述抓持吸嘴之间切断，在自身为接通状态时，将所述吸嘴驱动部和所述抓持吸嘴之间连通，所述控制部求出从使所述电磁阀由断开状态变化至接通状态时开始、直至利用所述抓持吸嘴产生抓持力为止的延迟时间，在与希望抓持电子部件的定时相比提前所述延迟时间后的时间之前，使所述电磁阀从断开状态向接通状态变化。

另外，优选所述压力检测装置具有：抵接部件，其用于调整为了检测压力而被按压的按压部的抓持宽度，与所述按压部抵接；驱动系统，其使所述抵接部件沿所述按压部的轴向进退；以及电动机，其向所述驱动系统施加驱动力，所述控制部，通过使所述电动机旋转，从而将所述按压部的抓持宽度调整为电子部件的抓持宽度。

另外，优选所述控制部基于电子部件的质量以及材质的信息，求出适于抓持电子部件的抓持力，基于所述相关关系而设定空气压力，以得到适于抓持电子部件的抓持力。

另外，优选还具有传感器，其设置在所述搭载头主体上，所述控制部通过使所述吸嘴驱动部驱动，从而使所述抓持吸嘴向所述传感器的检测范围移动，使用所述传感器对所述抓持吸嘴的开闭状态进行检测。

另外，优选还具有显示图像的显示部，所述控制部在所述抓持吸嘴的检测尺寸和所述抓持吸嘴的基准尺寸之间的差不是小于或等于容许值的情况下，将表示该情况的信息在所述显示部上显示。

另外，优选所述控制部在由所述抓持吸嘴抓持电子部件的情况下，通过使所述吸嘴驱动部驱动，从而使电子部件向所述传感器的检测范围移动，使用所述传感器对电子部件的形状、姿态或者它们的组合进行检测。

发明的效果

本发明可以适当地抓持电子部件。由此，可以利用适当的抓持力抓持电子部件并向基板上插入，可以减少插入不良，提高产品的成品率，可以提高生产性。

附图说明

图1是表示电子部件安装装置的概略结构的示意图。

图2是表示部件供给单元的一个例子的概略结构的示意图。

图3是表示电子部件安装装置的搭载头的概略结构的示意图。

图4是表示电子部件安装装置的搭载头的概略结构的示意图。

图5是表示吸嘴的一个例子的说明图。

图6是表示电子部件保持带的一个例子的概略结构的示意图。

图7是表示部件供给单元的电子部件供给装置的概略结构的斜视图。

图8是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。

图9是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。

图10是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。

图11是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。

图12是表示抓持吸嘴和对抓持吸嘴的抓持力进行检测的压力检测单元的概略结构的图。

图13是将压力检测单元配置在部件供给单元中的概观斜视图。

图14是表示对测力传感器进行控制的电路结构的框图。

图15是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。

图16是表示抓持吸嘴的抓持力和电空调节器的设定压力之间的关系的图。

图17是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。

图18是表示希望抓持电子部件的定时、将电磁阀从断开设为接通的定时、利用抓持吸嘴抓持部件的定时的时序图。

图19是表示希望抓持电子部件的定时、将电磁阀从断开设为接通的定时、利用抓持吸嘴抓持部件的定时的时序图。

图20是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。

图21是表示抓持吸嘴、对抓持吸嘴的抓持力进行检测的测力传感器、对测力传感器的抓持宽度进行调整的抵接部件的概略结构的图。

图22是表示向由抓持吸嘴抓持的电子部件上施加的力的图。

图23是抓持吸嘴的侧视图。

图24是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。

图25是抓持吸嘴的侧视图。

图26是从铅垂上方向向铅垂下方向观察图25的抓持吸嘴的俯视图。

图27是卡盘部的斜视图。

图28是图27的卡盘部的侧视图。

图29是其他卡盘部的斜视图。

图30是图29的卡盘部的分解斜视图。

图31是其他卡盘部的斜视图。

图32是图31的卡盘部的分解斜视图。

图33是从图32的箭头A方向观察卡盘部的分解斜视图。

图34是图31的卡盘部的侧视图。

图35是表示利用图25的抓持吸嘴抓持电子部件的情况的侧视图。

图36是表示利用图25的抓持吸嘴抓持电子部件的情况的侧视图。

图37是表示更换吸嘴保持机构的俯视图。

图38是表示电子部件安装装置各部分的动作定时的时序图。

图39是表示电子部件安装装置各部分的动作定时的时序图。

图40是表示电子部件安装装置各部分的动作内容的图。

图41是表示电子部件安装装置各部分的动作内容的图。

图42是表示电子部件安装装置吸附电子部件时的动作内容的图。

图43是表示电子部件安装装置将电子部件向基板上安装时的动作内容的图。

图44是用于说明电子部件的惯性的图。

图45是表示生产程序的生成画面的图。

图46是表示增益参数表的一个例子的图。

图47是表示增益参数的输入画面的图。

图48是表示增益表以及增益切换输入画面的图。

图49是表示电子部件安装装置的增益切换动作的动作概要的流程图。

图50是表示电子部件安装装置的增益切换动作的详细内容的流程图。

图51是表示电子部件安装装置的轴移动动作的流程图。

图52是表示电子部件安装装置的吸嘴支撑部的原点返回流程的流程图。

图53是表示用于准备的单独控制画面的图。

符号的说明

8基板，10电子部件安装装置，11框体，12基板输送部，14、14f、14r部件供给单元，15搭载头，16XY移动机构，17VCS单元，18更换吸嘴保持机构，19部件储存部，20控制装置，22X轴驱动部，24Y轴驱动部，30搭载头主体，31搭载头支撑体，32吸嘴，34吸嘴驱动部，34a Z轴电动机，38激光识别装置，40操作部，42显示部，60控制部，62搭载头控制部，64部件供给控制部，70电子部件保持带，72保持带主体，80电子部件，82主体（电子部件主体），84引线，90、90a电子部件供给装置，96支撑台，301、401抓持吸嘴，303卡盘部，310测力传感器，312、313按压部，320压力检测单元（压力检测装置），370抵接部件，375电动机，376～380齿轮

具体实施方式

下面，参照附图，对本发明进行详细说明。此外，本发明并不由下述用于实施发明的方式（以下称为实施方式）限定。另外，在下述实施方式中的构成要素中，包含本领域技术人员可以容易想到的要素、实质上相同的要素等所谓等同范围内的要素。另外，在下述实施方式中公开的构成要素可以适当组合。

下面，基于附图，对本发明所涉及的电子部件安装装置的实施方式进行详细说明。此外，本发明并不受本实施方式限定。本发明的电子部件安装装置是用于安装所谓插入型电子部件的电子部件安装装置，该插入型电子部件具有引线，通过将该引线向基板的基板孔（插入孔、孔）中插入，从而向基板上安装。电子部件安装装置具有安装插入型电子部件（引线型电子部件）的功能。在这里，插入型电子部件通过将引线向在基板上形成的孔中插入而安装。另外，将不向插入孔（基板孔）中插入而搭载于基板上的电子部件，例如SOP、QFP等，称为搭载型电子部件。此外，电子部件安装装置也可以具有安装向基板上搭载的搭载型电子部件的功能。以下实施方式中的电子部件安装装置10具有安装搭载型电子部件和插入型电子部件这两者的功能。

下面，使用图1至图53，对本实施方式的可以安装搭载型电子部件和插入型电子部件这两者的电子部件安装装置10进行说明。电子部件安装装置10是可以安装通过向基板上搭载而安装的搭载型电子部件、和将引线向基板的插入孔中插入而安装的引线型电子部件（插入型电子部件）这两者的装置。可以利用1台电子部件安装装置10安装搭载型电子部件和引线型电子部件这两者，也可以利用1台电子部件安装装置10仅安装其中一种电子部件。即，电子部件安装装置10能够安装搭载型电子部件和引线型电子部件这两者，并可以根据要制造的基板及其他电子部件安装装置的设计而用于各种用途。

图1是表示电子部件安装装置的概略结构的示意图。图1所示的电子部件安装装置10是向基板8上搭载电子部件的装置。电子部件安装装置10具有：框体11、基板输送部12、部件供给单元14f、14r、搭载头15、XY移动机构16、VCS单元17、更换吸嘴保持机构18、部件储存部19、控制装置20、操作部40以及显示部42。此外，XY移动机构16具有X轴驱动部22以及Y轴驱动部24。在这里，本实施方式的电子部件安装装置10如图1所示，以基板输送部12为中心而在前侧和后侧具有部件供给单元14f、14r。在电子部件安装装置10中，部件供给单元14f配置在电子部件安装装置10的前侧，部件供给单元14r配置在电子部件安装装置10的后侧。另外，下面在不特别地区分2个部件供给单元14f、14r的情况下，统称为部件供给单元14。

基板8只要是用于搭载电子部件的部件即可，其结构并不特别地限定。本实施方式的基板8是板状部件，表面设置有配线图案。在设置于基板8上的配线图案的表面，附着作为利用回流将板状部件的配线图案和电子部件接合的接合部件的焊料。另外，在基板8上，还形成用于插入电子部件的通孔（插入孔、基板孔）。

基板输送部12是将基板8沿图中X轴方向输送的输送机构。基板输送部12具有：沿X轴方向延伸的导轨；以及输送机构，其对基板8进行支撑，使基板8沿导轨移动。基板输送部12以使得基板8的搭载对象面与搭载头15相对的朝向，通过利用输送机构使基板8沿导轨移动，从而将基板8沿X轴方向输送。基板输送部12将从向电子部件安装装置10进行供给的设备供给来的基板8，输送至导轨上的规定位置。搭载头15在上述规定位置处，将电子部件向基板8的表面搭载。基板输送部12在向输送至规定位置的基板8上搭载电子部件后，将基板8向进行下一个工序的装置处输送。此外，作为基板输送部12的输送机构，可以使用各种结构。例如，可以使用将输送机构一体化的传送带方式的输送机构，在这种方式的输送机构中，将沿基板8的输送方向配置的导轨和沿上述导轨旋转的环形带组合，在将基板8搭载在环形带上的状态下进行输送。

电子部件安装装置10在前侧配置部件供给单元14f，在后侧配置部件供给单元14r。前侧的部件供给单元14f和后侧的部件供给单元14r分别具有电子部件供给装置，其保持多个向基板8上搭载的电子部件，可以向搭载头15供给，即，可以以由搭载头15进行保持（吸附或者抓持）的状态向保持位置供给电子部件。本实施方式的部件供给单元14f、14r均供给具有主体和与主体连结的引线的引线型电子部件。

图2是表示部件供给单元的一个例子的概略结构的示意图。部件供给单元14如图2所示具有多个电子部件供给装置（以下简称为“部件供给装置”）90、90a。

具体地说，部件供给单元14也可以在安装多个下述电子部件供给装置90的基础上，具有下述电子部件供给装置90a，其中，该电子部件供给装置90安装通过将多个径向引线型电子部件（径向引线部件）固定在保持带主体上而形成的电子部件保持带（径向部件保持带），在保持位置（第2保持位置）将该电子部件保持带保持的引线型电子部件的引线切断，而可以利用搭载头上所具有的吸附吸嘴或者抓持吸嘴，对位于该保持位置的引线型电子部件进行保持，该电子部件供给装置90a安装通过将多个搭载型电子部件固定于保持带主体上而形成的电子部件保持带（芯片部件保持带），在保持位置（第1保持位置）将该电子部件保持带所保持的搭载型电子部件从保持带主体进行剥离，利用搭载头上所具有的吸附吸嘴或者抓持吸嘴，对位于该保持位置的搭载型电子部件进行保持。在部件供给单元14中，也可以作为其他电子部件供给装置90a而在后侧收容器上设置杆式供给器或托盘式供给器。图2所示的多个部件供给装置90、90a保持在支撑台（收容器）96上。另外，支撑台96除了搭载部件供给装置90、90a之外，还可以搭载其它装置（例如，测量装置或照相机）。

在部件供给单元14中，保持于支撑台96上的多个部件供给装置90、90a，由进行搭载的电子部件的种类、保持电子部件的机构或者供给机构不同的多种电子部件供给装置90、90a构成。另外，部件供给单元14也可以具有多个相同种类的电子部件供给装置90、90a。另外，优选部件供给单元14具有可相对于装置主体拆卸的结构。

部件供给装置90使用在保持带上粘贴多个径向引线型电子部件的引线而构成的电子部件保持带，向搭载头15供给径向引线型电子部件。部件供给装置90是保持带供给器，其对电子部件保持带进行保持，将所保持的电子部件保持带进行输送，将所保持的径向引线型电子部件移动至可以利用搭载头15的吸嘴对电子部件进行保持的保持区域（吸附位置、抓持位置、保持位置）。部件供给装置90通过将移动至保持区域的径向引线型电子部件的引线切断并分离，从而可以使由该保持带固定引线的径向引线型电子部件成为可以保持在规定位置处的状态，可以利用搭载头15的吸嘴对该径向引线型电子部件进行保持（吸附、抓持）。对于部件供给装置90在后面记述。此外，多个部件供给装置90可以分别供给不同品种的电子部件，也可以供给多种电子部件。另外，部件供给装置90并不限定于在保持带中收容多个径向引线型电子部件，也可以使用碗式供给器、轴向供给器、杆式供给器、托盘式供给器等。

电子部件供给装置90a使用在保持带上粘接进行基板搭载的芯片型电子部件而构成的电子部件保持带，向搭载头15供给电子部件。此外，电子部件保持带在保持带上形成多个储存室，在该储存室中储存电子部件。电子部件供给装置90a是下述的保持带供给器，其对电子部件保持带进行保持，对所保持的电子部件保持带进行输送，使储存室移动至可以利用搭载头15的吸嘴吸附电子部件的保持区域。此外，通过使储存室移动至保持区域，可以成为收容在该储存室中的电子部件在规定位置露出的状态，可以利用搭载头15的吸嘴吸附、抓持该电子部件。电子部件供给装置90a并不限定于保持带供给器，可以采用供给芯片型电子部件的各种芯片部件供给器。作为芯片部件供给器，例如可以使用杆式供给器、保持带供给器、散装（bulk）供给器。

搭载头15利用吸嘴对在部件供给单元14f上保持的电子部件或者在部件供给单元14r上保持的电子部件进行保持（吸附或者抓持），将所保持的电子部件向利用基板输送部12移动至规定位置的基板8上进行安装。另外，搭载头15在部件供给单元14r具有电子部件供给装置90a的情况下，将在电子部件供给装置90a上保持的芯片型电子部件（搭载型电子部件）向基板8上搭载（安装）。此外，对于搭载头15的结构在后面记述。此外，芯片型电子部件（搭载型电子部件）是不具有插入在基板上形成的插入孔（通孔）的引线的无引线电子部件。作为搭载型电子部件，如上所述例示了SOP、QFP等。芯片型电子部件向基板上安装时，无需将引线插入插入孔中。

XY移动机构16是使搭载头15沿图1中的X轴方向以及Y轴方向，即在与基板8的表面平行的面上移动的移动机构，具有X轴驱动部22和Y轴驱动部24。X轴驱动部22与搭载头15连结，使搭载头15沿X轴方向移动。Y轴驱动部24经由X轴驱动部22与搭载头15连结，通过使X轴驱动部22沿Y轴方向移动，从而使搭载头15沿Y轴方向移动。XY移动机构16通过使搭载头15沿XY轴方向移动，从而可以使搭载头15向与基板8相对的位置，或者与部件供给单元14f、14r相对的位置移动。另外，XY移动机构16通过使搭载头15移动，从而对搭载头15和基板8之间的相对位置进行调整。由此，可以使搭载头15所保持的电子部件向基板8表面的任意位置移动，可以将电子部件向基板8表面的任意位置搭载。即，XY移动机构16是使搭载头15在水平面（XY平面）上移动，将位于部件供给单元14f、14r的电子部件供给装置90、90a中的电子部件向基板8的规定位置（搭载位置、安装位置）输送的输送单元。此外，作为X轴驱动部22，可以使用使搭载头15向规定方向移动的各种机构。作为Y轴驱动部24，可以使用使X轴驱动部22向规定方向移动的各种机构。作为使对象物向规定方向移动的机构，例如可以使用线性电动机、齿条齿轮、使用滚珠丝杠的输送机构、利用传送带的输送机构等。

VCS单元17、更换吸嘴保持机构18以及部件储存部19，在XY平面中配置在与搭载头15的可动区域重合的位置，且在Z方向上的位置与搭载头15相比更靠近铅垂方向下侧的位置处。在本实施方式中，VCS单元17、更换吸嘴保持机构18以及部件储存部19，在基板输送部12和部件供给单元14r之间相邻配置。

VCS单元（部件状态检测部、状态检测部）17是图像识别装置，具有对搭载头15的吸嘴附近进行拍摄的照相机及对拍摄区域进行照明的照明单元。VCS单元17对由搭载头15的吸嘴吸附的电子部件的形状以及由吸嘴保持的电子部件的保持状态进行识别。更具体地说，如果使搭载头15移动至与VCS单元17相对的位置，则VCS单元17从铅垂方向下侧对搭载头15的吸嘴进行拍摄，通过对拍摄到的图像进行解析，从而对由吸嘴吸附的电子部件的形状及由吸嘴保持的电子部件的保持状态进行识别。VCS单元17将取得的信息向控制装置20发送。

更换吸嘴保持机构18是对多种吸嘴进行保持的机构。更换吸嘴保持机构18以可以使搭载头15拆卸更换吸嘴的状态，保持多种吸嘴。在这里，本实施方式的更换吸嘴保持机构18保持有：吸引吸嘴，其通过进行吸引而保持电子部件；以及抓持吸嘴，其通过进行抓持而保持电子部件。搭载头15通过变更利用更换吸嘴保持机构18进行安装的吸嘴，向所安装的吸嘴供给空气压力而驱动，从而可以以适当的条件（吸引或者抓持）对要保持的电子部件进行保持。

部件储存部19是储存由搭载头15利用吸嘴进行保持且没有安装在基板8上的电子部件的箱体。即，在电子部件安装装置10中，成为将没有安装在基板8上的电子部件进行废弃的废弃箱。电子部件安装装置10在由搭载头15保持的电子部件中存在不向基板8安装的电子部件的情况下，使搭载头15向与部件储存部19相对的位置移动，通过将所保持的电子部件释放，从而将电子部件放入部件储存部19。

控制装置20对电子部件安装装置10的各部分进行控制。控制装置20是各种控制部的集合体。操作部40是作业人员输入操作的输入设备。作为操作部40，例示出键盘、鼠标以及触摸面板等。操作部40将检测出的各种输入向控制装置20发送。显示部42是向作业人员显示各种信息的画面。作为显示部42，具有触摸面板、图像监视器等。显示部42基于从控制装置20输入的图像信号而显示各种图像。

此外，本实施方式的电子部件安装装置10设置了1个搭载头，但也可以与部件供给单元14f、14r分别对应而设置2个搭载头。在此情况下，设置2个X轴驱动部，通过使2个搭载头分别沿XY方向移动，从而可以使2个搭载头独立移动。另外，还优选电子部件安装装置10平行地配置2个基板输送部12。如果电子部件安装装置10利用2个基板输送部12使2个基板交替地向电子部件搭载位置移动，并利用2个搭载头15交替地进行部件搭载，则可以更高效地向基板搭载电子部件。

下面，使用图3及图4，对搭载头15的结构进行说明。图3是表示电子部件安装装置的搭载头的概略结构的示意图。图4是表示电子部件安装装置的搭载头的概略结构的示意图。此外，在图3中，同时示出对电子部件安装装置10进行控制的各种控制部和部件供给单元14r的1个部件供给装置90。搭载头15如图3及图4所示，具有搭载头主体30、拍摄装置（基板状态检测部）36、高度传感器（基板状态检测部）37、以及激光识别装置（部件状态检测部、状态检测部、传感器）38。

电子部件安装装置10如图3所示，具有控制部60、搭载头控制部62以及部件供给控制部64。控制部60、搭载头控制部62以及部件供给控制部64是上述控制装置20的一部分。另外，电子部件安装装置10与电源连接，使用控制部60、搭载头控制部62、部件供给控制部64以及各种电路，将从电源供给的电力向各部分供给。对于控制部60、搭载头控制部62以及部件供给控制部64，在后面记述。

电子部件供给装置90使引线保持在电子部件保持带（径向部件保持带）上的电子部件80的主体向上方露出。此外，作为电子部件80，例示出铝电解电容器。此外，作为电子部件80，除了铝电解电容器之外，还可以使用带有引线的各种电子部件。电子部件供给装置90通过将电子部件保持带拉出并使其移动，从而使在电子部件保持带中保持的电子部件80向保持区域（吸附区域、抓持区域）移动。在本实施方式中，部件供给装置90的Y轴方向的前端附近，成为由搭载头15的吸嘴对保持于电子部件保持带中的电子部件80进行保持的保持区域。对于电子部件供给装置90的结构，在后面记述。另外，与电子部件供给装置90a的情况相同地，规定位置成为由搭载头15的吸嘴对保持于电子部件保持带中的电子部件80进行保持的保持区域。

搭载头主体30具有对各部分进行支撑的搭载头支撑体31、多个吸嘴32以及吸嘴驱动部34。在本实施方式的搭载头主体30上，如图4所示将6根吸嘴32配置为一列。6根吸嘴32沿与X轴平行的方向排列。此外，图4所示的吸嘴32均配置有吸附并保持电子部件80的吸嘴。

搭载头支撑体31是与X轴驱动部22连结的支撑部件，对吸嘴32以及吸嘴驱动部34进行支撑。此外，搭载头支撑体31还对激光识别装置38进行支撑。

吸嘴32是吸附、保持电子部件80的吸附机构。吸嘴32在前端具有开口32a。开口32a经由内部的空洞以及吸嘴支撑部33的空洞与吸嘴驱动部34连结。吸嘴32通过从该开口32a吸引空气，从而在前端吸附、保持电子部件80。吸嘴32相对于吸嘴支撑部33可拆卸，在没有安装于吸嘴支撑部33上的情况下，在更换吸嘴保持机构18中保管（储存）。另外，对于吸嘴32，存在开口32a的形状、大小各异的吸嘴。另外，在本实施方式中，示出了具有用于吸附电子部件的开口的吸附型的吸嘴，但也可以使用抓持型的吸嘴，其使用通过空气压力而动作的臂部将电子部件夹入，从而对电子部件进行保持。

吸嘴支撑部33是利用铅垂方向下侧的端部（前端）保持吸嘴32的机构，例如具有：轴，其通过吸嘴驱动部34而相对于搭载头支撑体31移动；以及插口，其与吸嘴32连结。轴是棒状部件，沿Z轴方向延伸而配置。轴对配置在铅垂方向下侧的端部的插口进行支撑。轴在能够使与插口连结的部分进行Z轴方向移动的状态以及沿θ方向旋转的状态下，支撑在搭载头支撑体31上。在这里，Z轴是与XY平面正交的轴，Z轴成为与基板8的表面正交的方向。所谓θ方向，是与以Z轴为中心的圆的圆周方向平行的方向，其中，Z轴是与吸嘴驱动部34使吸嘴32移动的方向平行的轴。此外，θ方向成为吸嘴32的转动方向。轴通过吸嘴驱动部34使与插口连结的部分沿Z轴方向以及θ方向移动、旋转。

吸嘴驱动部34通过使吸嘴保持部33沿Z轴方向移动，从而使吸嘴32沿Z轴方向移动，利用吸嘴32的开口32a吸附电子部件80。另外，吸嘴驱动部34在电子部件80的安装时等通过使吸嘴保持部33沿θ方向旋转，从而使吸嘴32沿θ方向旋转。

在吸嘴驱动部34中，作为使吸嘴32沿Z轴方向移动的机构，例如存在具有Z轴电动机34a、具体为Z轴方向为驱动方向的直线电动机的机构。吸嘴驱动部34通过利用Z轴电动机34a使吸嘴32和吸嘴保持部33沿Z轴方向移动，从而使吸嘴32的前端部的开口32a的轴沿Z轴方向移动。另外，在吸嘴驱动部34中，作为使吸嘴32沿θ方向旋转的机构，例如存在由将电动机和与吸嘴保持部33的轴进行连结的传动要素构成的机构。吸嘴驱动部34将从电动机输出的驱动力利用传动要素向吸嘴保持部33的轴传递，使轴沿θ方向旋转，从而吸嘴32的前端部也沿θ方向旋转。

在吸嘴驱动部34中，作为利用吸嘴32的开口32a对电子部件80进行吸附的机构即吸引机构，存在例如具有下述部件的机构：空气管，其与吸嘴32的开口32a连结；泵（电空调节器），其与该空气管连接；以及电磁阀，其对空气管的管路的开闭进行切换。吸嘴驱动部34利用泵对空气管的空气进行吸引，通过对电磁阀的开闭进行切换，从而对是否从开口32a吸引空气进行切换。吸嘴驱动部34通过打开电磁阀，从开口32a吸引空气，从而使开口32a吸附（保持）电子部件80，通过关闭电磁阀，使开口32a不吸引空气，从而将吸附在开口32a上的电子部件80释放，即，成为不利用开口32a吸附电子部件80的状态（不进行保持的状态）。

另外，本实施方式的搭载头15在对电子部件的主体进行保持时，主体上表面为无法利用吸嘴（吸附吸嘴）32吸附的形状的情况下，使用后述的抓持吸嘴。抓持吸嘴通过与吸附吸嘴相同地对空气进行吸引释放，从而使可动片相对于固定片开闭，由此可以从上方抓持、释放电子部件的主体。另外，搭载头15通过利用吸嘴驱动部34使吸嘴32移动而执行更换动作，从而可以更换由吸嘴驱动部34驱动的吸嘴。

拍摄装置36固定在搭载头主体30的搭载头支撑体31上，对与搭载头15相对的区域、例如基板8或搭载了电子部件80的基板8等进行拍摄。拍摄装置36具有照相机和照明装置，在利用照明装置对视野进行照明的同时，利用照相机取得图像。由此，可以拍摄与搭载头主体30相对的位置的图像、例如基板8或部件供给单元14的各种图像。例如，拍摄装置36对在基板8表面上形成的作为基准标记的BOC标记（以下简称为BOC）或通孔（插入孔）的图像进行拍摄。在这里，在使用除BOC标记以外的基准标记的情况下，对该基准标记的图像进行拍摄。

高度传感器37固定在搭载头主体30的搭载头支撑体31上，对搭载头15和相对的区域、例如基板8或搭载了电子部件80的基板8之间的距离进行测量。作为高度传感器37可以使用激光传感器，该激光传感器具有：发光元件，其照射激光；以及受光元件，其对在相对的位置处反射而返回的激光进行受光，该激光传感器根据从激光发出后至受光为止的时间，对与相对的部分之间的距离进行测量。另外，高度传感器37通过使用测定时的自身位置以及基板位置，对与相对的部分之间的距离进行处理，从而对相对的部分、具体地说为电子部件的高度进行检测。此外，也可以由控制部60进行基于与电子部件之间的距离的测定结果检测电子部件的高度的处理。

激光识别装置38具有光源38a和受光元件38b。激光识别装置38内置在托架50上。托架50如图3所示，与搭载头支撑体31的下侧、基板8以及部件供给装置90侧连结。激光识别装置38是通过对由搭载头主体30的吸嘴32吸附的电子部件80照射激光，从而对电子部件80的状态进行检测的装置。在这里，作为电子部件80的状态，是指电子部件80的形状、以及利用吸嘴32是否以正确的姿势吸附电子部件80等。光源38a是输出激光的发光元件。受光元件38b的Z轴方向上的位置配置在与光源38a相对的位置、即高度相同的位置上。对于利用激光识别装置38对形状的识别处理，在后面记述。

下面，对电子部件安装装置10的装置结构的控制功能进行说明。电子部件安装装置10如图3所示，作为控制装置20具有控制部60、搭载头控制部62以及部件供给控制部64。各种控制部分别由CPU、ROM及RAM等具有运算处理功能和存储功能的部件构成。另外，在本实施方式中，为了便于说明而设置多个控制部，但也可以设置1个控制部。另外，在将电子部件安装装置10的控制功能由1个控制部实现的情况下，可以由1个运算装置实现，也可以由多个运算装置实现。

控制部60与电子部件安装装置10的各部分连接，基于所输入的操作信号、在电子部件安装装置10的各部分中检测出的信息，执行所存储的程序，对各部分的动作进行控制。控制部60例如对基板8的输送动作、利用XY移动机构16实现的搭载头15的驱动动作、利用激光识别装置38实现的形状检测动作等进行控制。另外，控制部60如上述所示向搭载头控制部62发送各种指示，对搭载头控制部62的控制动作进行控制。控制部60还对部件供给控制部64的控制动作进行控制。

搭载头控制部62与吸嘴驱动部34、配置在搭载头支撑体31上的各种传感器以及控制部60连接，对吸嘴驱动部34进行控制，从而对吸嘴32的动作进行控制。搭载头控制部62基于从控制部60供给的操作指示以及各种传感器（例如距离传感器）的检测结果，对吸嘴32对电子部件的吸附（保持）/释放动作、各吸嘴32的转动动作、Z轴方向的移动动作进行控制。对于搭载头控制部62的控制，在后面记述。

部件供给控制部64对部件供给单元14f、14r进行的电子部件80的供给动作进行控制。可以在部件供给装置90、90a上分别设置部件供给控制部64，也可以利用1个部件供给控制部64对所有的部件供给装置90、90a进行控制。例如，部件供给控制部64对部件供给装置90所进行的电子部件保持带的拉出动作（移动动作）、引线的切断动作以及对径向引线型电子部件的保持动作进行控制。另外，部件供给控制部64在部件供给单元14具有部件供给装置90a的情况下，对部件供给装置90a所进行的电子部件保持带的拉出动作（移动动作）进行控制。部件供给控制部64基于控制部60的指示执行各种动作。部件供给控制部64通过对电子部件保持带或者电子部件保持带的拉出动作进行控制，从而对电子部件保持带或者电子部件保持带的移动进行控制。

在这里，在上述实施方式中，说明了作为在搭载头上安装的吸嘴而使用吸附吸嘴的情况，但并不限定于此。图5是表示吸嘴的一个例子的说明图。图5是表示抓持吸嘴（夹持吸嘴）的一个例子的图。图5所示的吸嘴201具有固定臂202和可动臂204。在吸嘴201中，可动臂204的支点205以可转动的状态固定在吸嘴201的主体上，可动臂204可以以支点205为轴，使与固定臂202相对的部分从接近固定臂202的方向向远离的方向移动。在可动臂204中，在隔着支点205的、相对于吸嘴201的主体部分而与固定臂202接近或远离的部分的相反侧，连结驱动部206。驱动部206利用驱动抓持吸嘴的驱动源（空气压力）而移动。可动臂204通过驱动部206的移动，从而使与固定臂202相对的部分从接近固定臂202的方向向远离的方向移动。

吸嘴201在固定臂202和可动臂204之间存在电子部件80的状态下，通过使固定臂202和可动臂204之间的距离缩短，从而可以抓持电子部件80。

抓持吸嘴并不限定于吸嘴201，可以是各种形状。抓持吸嘴分别是固定臂和可动臂之间的间隔及可动范围不同的吸嘴。这样，对于抓持吸嘴，与每个吸嘴形状相对应而可抓持的电子部件的形状不同。

电子部件安装装置10通过与要保持的电子部件的种类相应地选择保持该电子部件的吸嘴的种类，从而可以适当地保持电子部件。具体地说，通过与要保持的电子部件对应地选择是使用吸附吸嘴还是使用抓持吸嘴，且在各个种类的吸嘴中对使用哪个吸嘴进行切换，从而可以利用1台电子部件安装装置安装更多种类的电子部件。

下面，使用图6及图7，对部件供给装置90进行说明。部件供给装置90如上述所示，是将径向引线型电子部件向保持位置供给的径向供给器。首先，使用图6，对电子部件保持带进行说明。图6是表示电子部件保持带的一个例子的概略结构的示意图。

图6所示的电子部件保持带（径向部件保持带）70具有：保持带主体72；以及多个电子部件（径向引线型电子部件、径向引线部件）80，其保持在保持带主体72上。保持带主体72将第1保持带74和与第1保持带74相比宽度较窄的第2保持带76贴合而形成。另外，保持带主体72沿延伸方向以固定间隔形成有作为进给孔的孔78。即，保持带主体72沿延伸方向以直列状形成有多个孔78。

电子部件80具有：电子部件主体（以下简称为“主体”）82；以及2根引线84，其沿主体82的半径方向配置。电子部件80的引线84夹持在第1保持带74和第2保持带76之间而固定。由此，电子部件80通过将引线84夹持在第1保持带74和第2保持带76之间而固定，从而固定在保持带主体72的规定位置处。另外，对于多个电子部件80，在2根引线84之间配置孔78，从而分别固定在保持带主体72的形成有孔78的位置上。即，电子部件80以与孔78相同的进给间距P的间隔而配置在与保持带的延伸方向上的位置相同的位置处。此外，电子部件80只要其形状为具有夹持在保持带主体72的第1保持带74和第2保持带76之间的引线即可，引线以及主体的形状、种类不特别地限定。另外，对于电子部件保持带，可以对保持带的延伸方向上的孔78和电子部件80之间的相对位置关系进行各种设定。例如，电子部件保持带也可以在孔78和孔78之间配置电子部件80。

下面，图7是表示部件供给单元的电子部件供给装置的概略结构的斜视图。如图7所示，电子部件供给装置（部件供给装置）90具有：框体210，其对其他各部分进行保持，对电子部件保持带进行引导；夹持单元212，其与后侧收容器46连结；供给器单元214，其对电子部件保持带进行输送；以及切断单元216，其将保持在电子部件保持带中的电子部件的引线切断。另外，电子部件供给装置90在框体210的内部配置空气压力调整部。空气压力调整部对供给器单元214的驱动部和切断单元216的驱动部的空气压力进行调整，对各部分的驱动进行控制。

框体210是纵向细长的中空箱体，内部保持夹持单元212、供给器单元214、切断单元216以及空气压力调整部。框体210设置有引导槽220、引导部222、排出部226、抓持部228。引导槽220具有将框体210的铅垂方向上侧的细长表面的沿长度方向形成的2根直线的一侧端部连结的形状。即，引导槽220形成为从框体210的一侧端部向另一侧端部附近延伸，在另一侧端部附近折回，并延伸至一侧端部的U字形状。引导槽220是对电子部件保持带进行引导的槽，从U字形状的一侧端部（供给侧的端部）供给电子部件保持带。引导槽220使所供给的电子部件保持带沿U字形状移动，从U字形状的另一侧端部（排出侧的端部）排出。另外，引导槽220以在保持带主体72位于框体210的内部、且电子部件向框体210的外部露出的状态，对电子部件保持带进行引导。

引导部222与引导槽220的供给侧的端部连结，将保持有电子部件的状态下的电子部件保持带向引导槽220引导。排出部226与引导槽220的排出侧的端部连结，将在框体210内移动并将电子部件向搭载头15供给后的部分从电子部件保持带中排出。抓持部228是在电子部件供给装置90输送时等由操作人员抓持的部分。

夹持单元212是与支撑台96连结的机构。夹持单元212固定在框体210上，是能够对下述状态进行切换的机构，即，与支撑台96连结并固定的状态、以及不与支撑台96连结而放开的状态。操作人员通过对夹持单元212进行操作，从而可以将电子部件供给装置90相对于支撑台96装卸。

供给器单元214是对电子部件保持带进行输送的机构，即，是使沿引导槽220被引导的电子部件保持带移动的机构。供给器单元214具有向电子部件保持带的孔中插入的凸起部，通过在凸起部插入至电子部件保持带的孔中的状态下，使该凸起部沿输送方向移动，从而使电子部件保持带移动。供给器单元214的凸起部在向与输送方向的相反侧移动的情况下，从孔中脱离。由此，供给器单元214通过使凸起部与保持带主体72的孔78的1个间距相对应而沿进给方向往复运动，从而可以使保持带沿进给方向依次移动1个间距。

切断单元216配置在供给电子部件的供给位置上，将电子部件保持带所保持的电子部件的引线切断。另外，切断单元216夹持即保持引线被切断后的电子部件，直至电子部件被吸嘴吸附（保持）为止。切断单元216具有对切断引线的高度进行调整的机构、对在夹持电子部件时使执行夹持的机构移动的范围进行调整的机构等。通过利用该机构进行各种调整，从而可以切断各种引线型电子部件的引线，并进行夹持。

电子部件安装装置10通过由切断单元216将引线较短地切断，可以在利用吸嘴对位于部件供给装置90的保持位置上的电子部件的主体进行保持时，提高引线间隔的稳定性，可以增加能够将引线插入插入孔中的部件，可以非常高效且高精度地进行安装。

电子部件供给装置90为上述结构，由夹持单元212固定在支撑台96的规定位置上。电子部件供给装置90利用供给器单元214使电子部件保持带移动。另外，电子部件供给装置90利用切断单元216将位于供给位置上的电子部件的引线切断，直至由搭载头15的吸嘴32吸附切断引线后的电子部件为止，对该电子部件进行保持。由此，可以成为下述状态，即，能够利用搭载头输送由电子部件保持带输送的电子部件。

下面，对电子部件安装装置的各部分的动作进行说明。此外，下述说明的电子部件安装装置的各部分的动作，均可以通过由控制装置20对各部分的动作进行控制而执行。

图8是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。使用图8，对电子部件安装装置10的整体处理动作的概略进行说明。此外，图8所示的处理是通过由控制装置20控制各部分的动作而执行的。在电子部件安装装置10中，作为步骤S52，读入生产程序。生产程序是由专用的生产程序生成装置生成的，或基于所输入的各种数据而由控制装置20生成的。

电子部件安装装置10在步骤S52中读入生产程序后，作为步骤S54，对装置的状态进行检测。具体地说，对部件供给单元14f、14r的结构、已填充的电子部件的种类、已准备的吸嘴的种类等进行检测。电子部件安装装置10在步骤S54中对装置的状态进行检测并准备结束后，作为步骤S56，将基板搬入。电子部件安装装置10在步骤S56中搬入基板，向安装电子部件的位置配置基板后，作为步骤S58，将电子部件向基板安装。电子部件安装装置10在步骤S58中电子部件的安装结束后，作为步骤S60将基板搬出。电子部件安装装置10在步骤S60中将基板搬出后，作为步骤S262，对生产是否结束进行判定。电子部件安装装置10在步骤S262中判定为生产没有结束（否）的情况下，进入步骤S56，执行步骤S56至步骤S60的处理。即，执行基于生产程序向基板安装电子部件的处理。电子部件安装装置10在步骤S262中判定为生产结束（是）的情况下，结束本处理。

电子部件安装装置10通过如上所述，在读取生产程序并进行各种设定后，向基板安装电子部件，从而可以制造出安装有电子部件的基板。另外，在电子部件安装装置10中，作为电子部件，将具有主体和与该主体连接的引线的引线型电子部件向基板安装，具体地说，通过将引线向基板上形成的孔（插入孔）中插入，从而可以将该电子部件向基板安装。

图9是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。此外，图9所示的处理动作是从搬入基板后至向基板上搭载电子部件完成为止的动作。另外，图9所示的处理动作是通过由控制部60对各部分的动作进行控制而执行的。

作为步骤S102，控制部60搬入基板。具体地说，控制部60利用基板输送部12将搭载电子部件的对象基板向规定位置输送。控制部60在步骤S102中搬入基板后，作为步骤S104，进行保持移动。在这里，所谓保持移动（吸附移动），是指使搭载头主体30移动至吸嘴32与位于部件供给单元14的保持区域中的电子部件80相对的位置的处理动作。

控制部60在步骤S104中进行吸附移动后，作为步骤S106，使吸嘴32下降。即，控制部60使吸嘴32向下方移动至可以保持（吸附、抓持）电子部件80的位置。控制部60在步骤S106中使吸嘴32下降后，作为步骤S108，利用吸嘴32对部件进行保持，作为步骤S110，使吸嘴32上升。控制部60在步骤S110中使吸嘴32上升至规定位置后，具体地说，使电子部件80移动至激光识别装置38的测量位置后，作为步骤S112，对由吸嘴32吸附的电子部件的形状进行检测。控制部60在步骤S112中对电子部件的形状进行检测后，作为步骤S114，使吸嘴32上升。此外，控制部60如上述所示对步骤S112的部件形状进行检测，判定为所保持的电子部件为不可搭载的情况下，将电子部件废弃，再次吸附电子部件。控制部60在使吸嘴32上升至规定位置后，作为步骤S116，进行搭载移动，即，进行使由吸嘴32吸附的电子部件向与基板8的搭载位置（安装位置）相对的位置移动的处理动作，作为步骤S118，使吸嘴32下降，作为步骤S120，进行部件搭载（部件安装），即，进行从吸嘴32上释放电子部件80的处理动作，作为步骤S122，使吸嘴32上升。即，控制部60执行步骤S112至步骤S120的处理动作，执行上述安装处理。

控制部60在步骤S122中使吸嘴32上升的情况下，作为步骤S124，对全部部件的搭载是否已完成、即预定向基板8上搭载的电子部件的安装处理是否已完成进行判定。控制部60在步骤S124中判定为全部部件的搭载还没有完成（否）、即预定进行搭载的电子部件还有残留的情况下，进入步骤S104，执行将下一个电子部件向基板8上搭载的处理动作。如上述所示，控制部60反复进行上述处理动作，直至完成向基板上搭载全部部件为止。控制部60在步骤S124中判定为全部部件的搭载已经完成（是）的情况下，结束本处理。

下面，图10所示的处理是电子部件安装前的处理，具体地说，是电子部件形状的测量处理以及基于测量结果的判定处理。此外，控制部60针对要保持的全部电子部件执行图10的处理。作为步骤S150，控制部60取得保持对象的电子部件的数据。在这里，所谓保持对象（吸附对象、抓持对象）的电子部件的数据，是指用于将该电子部件向基板上搭载所需的各种信息。保持对象的电子部件的数据是保持该电子部件的电子部件供给装置90的位置、电子部件的形状数据、电子部件的吸附高度（保持高度）、由激光识别装置38对电子部件进行测量的测量位置的信息等。

在步骤S150中取得数据后，作为步骤S152，控制部60确定测量位置。即，控制部60基于步骤S150中取得的数据，确定对电子部件的形状进行检测的位置、即电子部件的Z轴方向上的位置。此外，控制部60也可以在电子部件的吸附前进行步骤S150以及步骤S152的处理。

在步骤S152中确定测量位置、且利用吸嘴吸附了电子部件的情况下，作为步骤S154，控制部60对电子部件的Z轴位置进行调整。即，控制部60通过使吸嘴沿Z轴方向移动，从而使步骤S152中确定的电子部件的测量位置向激光识别装置38的测量区域移动。控制部60在步骤S154中对电子部件的Z轴位置进行调整后，作为步骤S156，对电子部件的形状进行测量。即，控制部60使用激光识别装置38，对电子部件的测量位置处的形状进行检测。

控制部60在步骤S156中对电子部件的测量位置处的形状进行检测后，作为步骤S158，对测量是否结束进行判定。即，控制部60对步骤S152中确定的测量位置处的形状测量是否结束进行判定。控制部60在步骤S158中判定为测量没有结束（否）的情况下，进入步骤S154，再次进行步骤S154和步骤S156的处理，对测量没有结束的测量位置的形状进行测量。控制部60通过如上述所示反复进行电子部件的位置调整和形状测量，从而对所设定的测量位置的形状进行检测。

控制部60在步骤S158中判定为测量结束（是）的情况下，作为步骤S160，将测量结果和基准数据进行比较。在这里，基准数据是步骤S150中取得的吸附对象（保持对象）的电子部件形状的数据。控制部60通过将测量结果和基准数据进行比较，从而对所吸附的电子部件是否为与基准数据一致的形状、电子部件的朝向是否与基准数据的朝向一致等进行判定。

在步骤S160中进行比较后，作为步骤S162，控制部60对部件是否适当进行判定。具体地说，控制部60在步骤S162中对是否以可安装的状态吸附了电子部件进行判定。控制部60在步骤S162中判定为部件不适当（否）的情况下，作为步骤S164，将吸嘴所吸附的电子部件废弃，结束本处理。控制部60使搭载头以及吸嘴向与部件储存部19相对的位置移动，通过将该吸嘴所保持的电子部件放入部件储存部19，从而将电子部件废弃。此外，控制部60再次执行将同一种类的电子部件向基板的同一搭载位置（安装位置）安装的处理。

控制部60在步骤S162中判定为部件适当（是）的情况下，作为步骤S166，对部件的方向（吸嘴的旋转方向上的方向）是否适当进行判定。即，对所吸附的电子部件是否与基准的朝向相同进行判定。此外，作为步骤S166，本实施方式的控制部60对电子部件是否反转进行判定。控制部60在步骤S166中判定为方向不适当，即电子部件为反转后的状态（否）的情况下，在步骤S168中使电子部件反转后，进入步骤S170。

控制部60在步骤S166中判定为是的情况下或者执行了步骤S168的处理的情况下，作为步骤S170，基于保持位置，对电子部件的搭载位置（安装位置）进行微调。例如，基于电子部件的形状的检测结果，对吸嘴吸附着电子部件的位置进行检测，基于保持位置相对于基准位置的偏移，对安装时的吸嘴和基板的相对位置进行调整。控制部60在执行步骤S170的处理后，结束本处理。另外，控制部60在进行图10的步骤S170的处理后，对所判定的电子部件基于步骤S170的结果而将电子部件向基板上搭载。

电子部件安装装置10通过如上述所示使用激光识别装置38对电子部件的形状进行检测，基于其结果，进行各种处理，从而可以更适当地向基板上搭载电子部件。

电子部件安装装置10在图10所示的流程图的步骤S164中将电子部件废弃，但也可以在判定为电子部件的引线形状不适当的情况下，执行对引线形状进行修正的处理。即，也可以在步骤S164中不将电子部件废弃，而是将电子部件的引线校正（加工）为可插入的形状，并向搭载位置（安装位置）安装。在电子部件安装装置10中，可以利用电子部件供给装置90的切断单元216的用于夹持电子部件的机构，对电子部件的引线进行修正，也可以利用另外设置的修正机构对电子部件的引线进行修正。如上述所示，作为对引线的形状进行加工的加工单元，可以使用对电子部件的主体或者引线进行夹持的机构、另外设置的修正机构等各种单元。

下面，使用图11，对电子部件的搭载时的处理动作的一个例子进行说明。图11是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。电子部件安装装置10在每次利用搭载头的吸嘴进行保持电子部件的动作时，执行图11的处理。此外，图11的处理基本上是在作为电子部件将引线型电子部件和搭载型电子部件这两者向基板安装的情况下的处理。在电子部件安装装置10中，作为步骤S180，对保持的电子部件进行确定，作为步骤S182，对保持对象的部件是否为引线型电子部件进行判定。

电子部件安装装置10在步骤S182中判定为引线型电子部件（是）的情况下，作为步骤S184，利用吸嘴对电子部件供给装置90的引线型电子部件进行保持。即，电子部件安装装置10利用吸嘴对向电子部件供给装置90的保持位置（第2保持位置）供给的引线型电子部件进行保持。电子部件安装装置10在步骤S184中利用吸嘴对引线型电子部件进行保持后，作为步骤S186，将引线型电子部件的引线向插入孔中插入，并向基板安装。

电子部件安装装置10在步骤S182中判定为不是引线型电子部件（否）的情况下，作为步骤S187，利用吸嘴对电子部件供给装置90a的搭载型电子部件进行保持。即，电子部件安装装置10利用吸嘴对向电子部件供给装置90a的保持位置（第1保持位置）供给的搭载型电子部件进行保持。电子部件安装装置10在步骤S187中利用吸嘴对搭载型电子部件进行保持后，作为步骤S188，将搭载型电子部件向基板安装。即，电子部件安装装置10不将搭载型电子部件向插入孔中插入而向基板安装。

电子部件安装装置10在执行步骤S186或者步骤S188的处理、即对电子部件进行安装后，作为步骤S189，对所有电子部件的安装是否结束进行判定。电子部件安装装置10在步骤S189中判定为安装没有结束（否）的情况下，进入步骤S180，对下一个安装的电子部件进行确定，对该确定后的电子部件执行上述处理。电子部件安装装置10如果在步骤S189中判定为安装结束（是），则结束本处理。

电子部件安装装置10如图11所示，可以利用1个搭载头将搭载型电子部件和引线型电子部件向基板安装。另外，电子部件安装装置10可以利用同一个吸嘴，对搭载型电子部件和引线型电子部件这两者进行搭载。在这里，电子部件安装装置10通过对引线型电子部件的主体进行保持（吸附或者抓持），从而可以利用同一个吸嘴对搭载型电子部件进行输送、安装。另外，电子部件安装装置10通过对是搭载型电子部件还是引线型电子部件进行判定，分别相应地对将引线向插入孔中插入或不插入进行切换，从而即使在利用相同搭载头或相同吸嘴进行安装的情况下，也可以以与各个电子部件相适应的条件向基板安装。由此，不必对吸嘴进行更换就可以对搭载型电子部件和引线型电子部件进行安装。另外，由于可以不对搭载型电子部件和引线型电子部件进行区分而混合搭载，所以可以使搭载顺序的限制变得更少，可以进一步提高安装效率。

下面，使用图12至图15，对抓持吸嘴的抓持力的调整动作进行说明。图12是表示抓持吸嘴和检测抓持吸嘴的抓持力的压力检测单元（压力检测装置）的概略结构的侧视图。此外，在图12中，为了容易说明而省略吸嘴支撑部33的图示。

抓持吸嘴（卡盘吸嘴）301具有吸嘴基座302。以从吸嘴基座302的中央部向Z轴方向（铅垂上方向）延伸的方式，形成安装部302a。安装部302a能够在吸嘴支撑部33上装卸。抓持吸嘴301通过将安装部302a安装在吸嘴支撑部33上而支撑于吸嘴支撑部33上。安装部302a的内部成为空洞，经由吸嘴支撑部33的空洞与吸嘴驱动部34内的电空调节器（电子式真空调节器）连通。

在吸嘴基座302内形成有一对气缸，该一对气缸从吸嘴基座302的中央部沿水平方向（图中的左右方向）分别延伸，轴向大致一致。各气缸与安装部302a的空洞连通。即，各气缸经由安装部302a的空洞以及吸嘴支撑部33的空洞与吸嘴驱动部34内的电空调节器连通。

向各气缸中插入2个滑动部304的一个端部。在各滑动部304的另一个端部上，安装一对卡盘部303。通过使各滑动部304在各气缸内进退，从而能够使一对卡盘部303向彼此接近的方向以及彼此远离的方向移动。在各滑动部304上，配置有将各滑动部304向远离吸嘴基座302的方向预紧的预紧单元（例如例示出弹簧）。如果利用电空调节器向抓持吸嘴301供给空气，则向气缸施加压力，一对卡盘部303向彼此接近的方向移动，可以利用与供给压力（正压）相对应的抓持力抓持电子部件80或者测力传感器310。在没有向抓持吸嘴301供给空气的情况下，一对卡盘部303通过预紧单元的预紧力而成为以规定距离分开的状态。此外，在这里，抓持吸嘴301通过正压而产生抓持电子部件80的抓持力，但也可以通过负压或者真空而产生抓持力。

测力传感器310是将力变换为电气信号的传感器，例如是应变计式测力传感器。测力传感器310在被称为变形体的弹性体上粘贴应变计，利用应力（力）和应变输出的正比关系，对抓持吸嘴301的抓持力进行检测。此外，作为测力传感器310，也可以使用压电式、电容式、电磁式、音叉式等的传感器。

测力传感器310具有主体311。向主体311中插入从主体311向水平方向（图中的左右方向）分别延伸的2个按压部312、313。如果向使各按压部312、313接近的方向施加负载，则配置在主体311内部的金属电阻体发生变形，通过测定由该变形引起的电气电阻的变化，从而可以对负载（抓持力）进行检测。在本实施方式中，利用一对卡盘部303抓持（按压）按压部312、313，对卡盘部303的抓持力进行检测。

从测力传感器310的主体311的中央部向与Z轴相反的方向（铅垂下方向）使杆314延伸，杆314嵌入至压力检测单元320中。由此，可以稳定地设置测力传感器310。此外，如后述所示，在压力检测单元320内内置对测力传感器310进行控制的电路。

在本实施方式中，压力检测单元320配置在部件供给单元14上而使用。图13是将压力检测单元配置在部件供给单元上的概略斜视图。在图13中，以使测力传感器310的按压部312、313的轴向与部件供给单元14的长度方向大致一致的方式，将压力检测单元320配置在部件供给单元14上。此外，也可以在1台电子部件安装装置10上固定地设置而使用1台压力检测单元320。但是，由于考虑到抓持力的测定并不是频繁地进行这一点，所以如果将1台压力检测单元320及其配线设为在电子部件安装装置10上可拆卸，可移动地在多个部件安装装置10中重复使用，则经济性好。

图14是表示控制测力传感器的电路结构的框图。压力检测单元320接收来自控制部60的指示，对测力传感器310进行控制。压力检测单元320具有CPU361以及测力传感器放大器362。控制部60具有上位基板351以及控制基板352。

CPU361与上位基板351以及测力传感器放大器362进行通信，接收来自上位基板351的指示，对测力传感器放大器362进行控制。测力传感器放大器362从上位基板351接受电源供给，向测力传感器310进行电源供给。另外，测力传感器放大器362与CPU361进行通信，接受来自CPU361的指示，对测力传感器310进行控制。测力传感器310的输出信号的电压最大为20mV左右。因此，测力传感器放大器362将测力传感器310的输出信号放大而向CPU361发送。CPU361将测力传感器放大器362的输出信号向上位基板351输出。上位基板351基于CPU361的输出信号而计算抓持吸嘴301的抓持力。

控制基板352向电空调节器330进行电源供给。另外，控制基板352接受来自上位基板351的控制信号，对电空调节器330进行控制。控制基板352将对来自上位基板351的控制信号进行D/A变换后的模拟控制信号向电空调节器330输出并进行控制。控制基板352将对来自电空调节器330的响应信号进行A/D变换后的数字信号向上位基板351输出。电空调节器330与来自控制基板352的控制信号相对应，从大气吸入空气，经由电磁阀340向抓持吸嘴（卡盘吸嘴）301供给。电磁阀340设置在吸嘴支撑部33的空洞内，能够将电空调节器330～电磁阀340～抓持吸嘴301的空气压力路径内切换为负压或者正压。电空调节器330在空气压力路径上安装于电磁阀340的前侧（上游），能够通过电磁阀340的开闭控制将利用电空调节器330对压力进行变更控制后的空气，向抓持吸嘴301供给。通过如上述所示向抓持吸嘴301供给空气，从而使抓持吸嘴301产生抓持力，抓持测力传感器310。

在本实施方式中，利用抓持吸嘴301向测力传感器310施加抓持力，通过切换设定压力并在多个部位处对此时的电空调节器330的设定压力和由测力传感器310得到的抓持力之间的关系进行测定。在这里，设定4个电空调节器330的设定压力，每次利用测力传感器310测定抓持力。

图15是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。此外，图15所示的处理动作是对电空调节器的设定压力和由测力传感器得到的抓持力之间的关系进行测定的动作。另外，图15所示的处理动作是通过由控制部60对各部分的动作进行控制而执行的。

在控制部60中，作为步骤S200，使抓持吸嘴301向测力传感器310的抓持位置移动。然后，在控制部60中，作为步骤S202，向电空调节器330设定（调整）任意的压力，作为步骤S204，向抓持吸嘴301施加正压，使一对卡盘部303向彼此接近的方向移动而闭合，从而抓持测力传感器310。然后，在控制部60中，作为步骤S206，利用测力传感器310测定抓持吸嘴301的抓持力。

在控制部60中，作为步骤S208，判定步骤S202～S206的测定是否正常结束，如果判定为没有正常结束（否），则使处理进入步骤S202，再次执行步骤S202～S206，再次进行测定。另一方面，在控制部60中，如果在步骤S208中判定为正常结束（是），则作为步骤S210，判定测定是否结束。具体地说，在这里，由于设定4个电空调节器330的设定压力，利用测力传感器310测定抓持力，所以控制部60对是否反复进行了4次步骤S202～S208的处理进行判定。在控制部60中，如果在步骤S210中判定为测定没有结束（否），则使处理进入步骤S202，再次执行步骤S202～S208，再次进行测定。另一方面，在控制部60中，如果在步骤S210中判定为测定结束（是），则结束本处理。

图16是表示抓持吸嘴的抓持力（N）和电空调节器的设定压力（MPa）之间的关系的图。线370是表示抓持吸嘴的抓持力（N）和电空调节器的设定压力（MPa）之间的理论关系的线。它是基于气缸的截面积等而计算的。4个点372是通过执行图15所示的流程图而得到的采样点，虚线374是针对4个点372通过最小二乘法等方法计算出的、表示抓持吸嘴的抓持力（N）和电空调节器的设定压力（MPa）之间的相关关系的线。将表示由该虚线374示出的相关关系的式子作为校正式，向控制部60中记录。

如果参照图16，则可知在希望将抓持吸嘴301的抓持力设为A（N）的情况下，理论上只要将电空调节器330的设定压力设为B（MPa）即可。但是，实际上，即使将电空调节器330的设定压力设为B（MPa），抓持吸嘴301的抓持力也仅为C（N）（在这里，C＜A）。其原因在于，在空气压力路径或电磁阀340等中存在损耗或空气泄漏等。因此，可知为了得到期望的抓持力A（N），而使用记录的校正式，将电空调节器330的设定压力设定为D（MPa）（在这里，D＞B）即可。

在实际中安装（插入）电子部件80时，可以与要安装的电子部件80的重量等相对应而预先设定所需的抓持力，基于校正式，设定电空调节器330的压力，从而得到目标的抓持力。例如，在部件抓持动作之前进行图17所示的压力调整处理。

图17是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。此外，图17所示的处理动作是为了得到期望的抓持力而设定电空调节器的压力的动作。另外，图17所示的处理动作是通过由控制部60对各部分的动作进行控制而执行的。

在控制部60中，作为步骤S220，读取部件数据。此外，部件数据是已经说明的数据。然后，在控制部60中，作为步骤S222，判定是否正常读取了部件数据，如果判定为没有正常读取（否），则作为步骤S223，在显示部42上显示错误信息，结束本处理。此外，所谓没有正常读取部件数据的情况，是指例如成为当前对象的电子部件80的电子数据不存在的情况等。

在控制部60中，如果在步骤S222中判定为正常读取部件数据（是），则作为步骤S224，从部件数据中取得电子部件80所要求的抓持力。然后，在控制部60中，作为步骤S226，将在步骤S224中取得的抓持力向校正式输入，作为步骤S228，对电空调节器330的压力进行计算。然后，在控制部60中，作为步骤S230，判定在步骤S228中计算出的压力是否为正常值，如果判定为不是正常值（否），则作为步骤S223，在显示部42上显示错误信息，结束本处理。另一方面，在控制部60中，如果在步骤S230中判定为压力是正常值（是），则作为步骤S232，将在步骤S228中计算出的压力自动设定为电空调节器330的设定压力，结束本处理。

如上述所示，电子部件安装装置10测定电空调节器的设定压力和由测力传感器得到的抓持力之间的关系（参照图15），利用最小二乘法等方法求出校正式，求出并设定用于得到电子部件80所要求的抓持力的电空调节器330的设定压力（参照图17），从而即使在空气压力路径或电磁阀340等中存在损耗的情况下，也可以以适当的抓持力抓持电子部件80并向基板8上插入，可以减少插入不良，提高产品的成品率。

此外，控制部60也可以针对每个电子部件、每个抓持吸嘴或者电子部件和抓持吸嘴的每个组合，计算电空调节器330的设定压力和抓持力之间的相关关系，并进行存储。由此，电子部件安装装置10可以得到适于抓持电子部件的抓持力，可以提高成品率，可以提高生产性。

另外，来自电空调节器330的空气，在电磁阀340断开时被切断，在电磁阀340接通时通过。并且，通过电磁阀340的空气经由空气压力路径向抓持吸嘴301供给。因此，在从电磁阀340由断开变化为接通时，直至利用抓持吸嘴301抓持电子部件80之前，可能产生延迟。

图18及图19是表示希望抓持电子部件的定时、将电磁阀从断开设为接通的定时、利用抓持吸嘴抓持部件的定时的时序图。

如图18所示，如果在希望抓持电子部件80的定时将电磁阀340从断开设为接通，则由于通过电磁阀340的空气经由空气压力路径向抓持吸嘴301供给，所以从希望抓持电子部件80的定时延迟Δt而通过抓持吸嘴301抓持电子部件80。

因此，如图19所示，如果在与希望抓持电子部件80的定时相比提前Δt后的时间之前，将电磁阀340从断开设为接通，则可以在希望抓持电子部件80的定时，利用抓持吸嘴301抓持电子部件80。例如，在抓持吸嘴301向与Z轴相反的方向（铅垂下方向）下降的中途，与希望抓持电子部件80的定时相比提前Δt而进行将电磁阀340从断开设为接通的动作，由此，可以在抓持吸嘴301向与Z轴相反的方向下降结束时立即抓持部件，可以较少时间损耗，缩短节拍时间，提高生产性。

此外，从将电磁阀340由断开设为接通时，直至利用抓持吸嘴抓持电子部件80为止的延迟时间Δt，随着抓持吸嘴的卡盘部的形状、构造等而不同。因此，在本实施方式中，针对每个抓持吸嘴，使用测力传感器310预先测定延迟时间Δt，并作为抓持吸嘴数据而存储。

图20是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。此外，图20所示的处理动作是为了在期望的定时抓持电子部件而对将电磁阀从断开设为接通的定时进行调整的动作。另外，图20所示的处理动作是通过由控制部60对各部分的动作进行控制而执行的。

在控制部60中，作为步骤S240，读取当前支撑在吸嘴支撑部33上的抓持吸嘴的抓持吸嘴数据。从将电磁阀340由断开设为接通时直至利用抓持吸嘴抓持电子部件80为止的延迟时间Δt，随着抓持吸嘴的形状、构造等而不同。因此，在本实施方式中，针对每个抓持吸嘴预先测定延迟时间Δt，并作为抓持吸嘴数据而存储。然后，在控制部60中，作为步骤S240，读取当前支撑在吸嘴支撑部33上的抓持吸嘴的抓持吸嘴数据。

在控制部60中，作为步骤S242，判定是否正常读取抓持吸嘴数据，如果判定为没有正常读取（否），则作为步骤S243，在显示部42上显示错误信息，结束本处理。此外，所谓没有正常读取抓持吸嘴数据的情况，是指例如当前成为对象的抓持吸嘴301的抓持吸嘴数据不存在的情况等。

在控制部60中，如果在步骤S242中判定为正常读取抓持吸嘴数据（是），则作为步骤S244，从抓持吸嘴数据中取得抓持吸嘴301所产生的延迟时间Δt。然后，在控制部60中，作为步骤S246，基于延迟时间Δt，以一系列的安装工序的流程中的起算时刻（安装工序开始时刻）为基准，计算将电磁阀340从断开设为接通的（抓持动作开始）定时。

然后，在控制部60中，作为步骤S248，判定在步骤S246中计算出的定时是否为正常值，如果判定为不是正常值（否），则作为步骤S243，在显示部42上显示错误信息，结束本处理。另一方面，在控制部60中，如果在步骤S248中判定为定时是正常值（是），则作为步骤S250，将在步骤S246中计算出的定时，设定为将电磁阀340由断开设为接通的抓持动作开始定时，结束本处理。

如上述所示，测定从将电磁阀由断开设为接通直至利用抓持吸嘴301抓持电子部件80为止的延迟时间Δt（参照图18），将测定的延迟时间Δt作为抓持吸嘴数据而存储，基于延迟时间Δt，以一系列的安装工序的流程中的起算时刻（安装工序开始时刻）为基准，计算并设定将电磁阀340由断开设为接通的定时（参照图20）。由此，电子部件安装装置10即使在从将电磁阀340由断开设为接通开始直至抓持电子部件80之前存在延迟时间Δt的情况下，也可以以适当的定时抓持电子部件80，可以较少时间损耗，缩短节拍时间，提高生产性。

此外，从将电磁阀由断开设为接通时直至利用抓持吸嘴抓持电子部件为止的延迟时间Δt，随着抓持吸嘴的卡盘部的形状、构造、电子部件的宽度等而不同。因此，在本实施方式中，为了在对将电磁阀由断开设为接通的定时进行调整时，更准确地测定延迟时间Δt，而在测力传感器的按压部上设置用于调整测力传感器的抓持宽度的抵接部件。

图21是表示抓持吸嘴、对抓持吸嘴的抓持力进行检测的测力传感器、设置在测力传感器的按压部上并对测力传感器的抓持宽度进行调整的抵接部件的概略结构的侧视图。此外，在图21中，为了容易说明而省略吸嘴支撑部33的图示。

如图21所示，在测力传感器310的按压部312、313上，设置对测力传感器310的抓持宽度进行调整的抵接部件370。抵接部件370具有头部371、372。头部371具有大致半球状的形状。在头部371的平面部分，设置有向与该平面大致垂直方向延伸的轴部373。轴部373以其轴线方向与按压部312的轴线方向大致一致的方式与按压部312抵接。因此，头部371的半球状的部分朝向远离测力传感器310的水平方向（图中的左方向）。在轴部373的侧表面上形成有螺旋状的槽（外螺纹槽），其螺旋的轴向与轴部373的轴向大致一致。

相同地，头部372具有大致半球状的形状。在头部372的平面部分，设置向与该平面大致垂直方向延伸的轴部374。轴部374以其轴线方向与按压部313的轴线方向大致一致的方式与按压部313抵接。因此，头部372的半球状的部分朝向远离测力传感器310的水平方向（图中的右方向）。在轴部374的侧表面上，形成有螺旋状的槽（外螺纹槽），其螺旋的轴向与轴部374的轴向大致一致。

轴部373与在环状的齿轮379的包含中心轴的部分上形成的贯穿孔中所形成的螺旋状的槽（内螺纹槽）螺合。对于齿轮379，其中心轴方向与轴部373的轴向大致一致，在该齿轮379的包含中心轴的部分上形成贯穿孔。在齿轮379的贯穿孔的内周面上形成有螺旋状的槽（内螺纹槽），其螺旋的轴向与齿轮379的中心轴方向大致一致。在该齿轮379的贯穿孔中形成的槽（内螺纹槽）与在轴部373上形成的槽（外螺纹槽）螺合。如上述所示，由于在齿轮379的贯穿孔上形成的槽（内螺纹槽）和在轴部373上形成的槽（外螺纹槽）螺合，所以如果齿轮379旋转，则头部371沿其轴向进退。

相同地，轴部374与在环状的齿轮380的包含中心轴的部分上形成的贯穿孔中所形成的螺旋状的槽（内螺纹槽）螺合。对于齿轮380，其中心轴方向与轴部374的轴向大致一致，在该齿轮380的包含中心轴的部分上形成贯穿孔。在齿轮380的贯穿孔的内周面上形成有螺旋状的槽（内螺纹槽），其螺旋的轴向与齿轮380的中心轴方向大致一致。在该齿轮380的贯穿孔中形成的槽（内螺纹槽）与在轴部374上形成的槽（外螺纹槽）螺合。如上述所示，由于在齿轮380的贯穿孔中形成的槽（内螺纹槽）和在轴部374上形成的槽（外螺纹槽）螺合，所以如果齿轮380旋转，则头部372沿其轴向进退。

在压力检测单元320中，可旋转地嵌入有齿轮377。齿轮377以其轴向与齿轮379的轴向平行的方式，嵌入在压力检测单元320中。并且，在齿轮377的侧周面上形成的齿和在齿轮379的侧周面上形成的齿啮合。如上述所示，由于在齿轮377的侧周面上形成的齿和在齿轮379的侧周面上形成的齿啮合，所以如果齿轮377旋转，则使齿轮379旋转。

相同地，在压力检测单元320中，可旋转地嵌入有齿轮378。齿轮378以其轴向与齿轮380的轴向平行的方式，嵌入在压力检测单元320中。并且，在齿轮378的侧周面上形成的齿和在齿轮380的侧周面上形成的齿啮合。如上述所示，由于在齿轮378的侧周面上形成的齿和在齿轮380的侧周面上形成的齿啮合，所以如果齿轮378旋转，则使齿轮380旋转。

另外，在压力检测单元320中，可旋转地嵌入有齿轮376。齿轮376以其轴向成为Z轴方向（铅垂上方向）的方式，嵌入在压力检测单元320中。并且，在齿轮376的外周部上形成的齿、在齿轮377的侧周面上形成的齿以及在齿轮378的侧周面上形成的齿啮合。此外，齿轮377和齿轮378隔着齿轮376的轴而位于对称的部位上。如上述所示，由于在齿轮376的外周部上形成的齿、在齿轮377的侧周面上形成的齿以及在齿轮378的侧周面上形成的齿啮合，所以如果齿轮376旋转，则使齿轮377、378旋转。

另外，在压力检测单元320中，嵌入有电动机375。电动机375在控制部60的控制下旋转。电动机375以其输出轴375a成为Z轴方向（铅垂上方向）的方式，嵌入在压力检测单元320中。并且，输出轴375a与齿轮376的中心轴连结。如上述所示，由于输出轴375a与齿轮376的中心轴连结，所以如果输出轴375a旋转，则使齿轮376旋转。

在如上述所示构成后，如果电动机375的输出轴375a旋转，则使齿轮376旋转，如果齿轮376旋转，则使齿轮377、378旋转，如果齿轮377旋转，则使齿轮379旋转，如果齿轮378旋转，则使齿轮380旋转，如果齿轮379旋转，则使头部371以及轴部373进退，如果齿轮380旋转，则使头部372以及轴部374进退。即，如果电动机375的输出轴375a旋转，则使头部371以及轴部373、头部372以及轴部374进退。由此，控制部60可以自动地调整测力传感器310的抓持宽度。此外，可以通过利用在电动机375中内置的编码器等对输出轴375a的旋转量进行检测，从而检测抵接部件370的位移量。

由此，电子部件安装装置10可以将测力传感器310的抓持宽度调整为目标电子部件的宽度，可以在对将电磁阀由断开设为接通的定时进行调整时，更准确地测定延迟时间Δt，因此，可以减少时间损耗，缩短节拍时间，提高生产性。此外，电子部件安装装置10，通过对称地构成齿轮376～齿轮377～齿轮379的驱动系统、以及齿轮376～齿轮378～齿轮380的驱动系统，从而可以使头部371以及轴部373、头部372以及轴部374均等地进退。

另外，适于通过抓持吸嘴抓持电子部件的抓持力，随着电子部件的质量、材质、向电子部件施加的与Z轴相反的方向（铅垂下方向）的加速度等而不同。因此，优选能够容易地确定适于通过抓持吸嘴抓持电子部件的抓持力。

图22是表示向由抓持吸嘴抓持的电子部件施加的力的图。此外，在图22中，为了容易说明而省略吸嘴支撑部33的图示。在图22中，F是抓持力，m是电子部件80的质量，a是与抓持吸嘴301的下降相伴而向电子部件施加的加速度，g是重力加速度。

因此，控制部60首先从用户向操作部40输入的信息中，读取部件的质量、材质的数据。然后，控制部60根据材质的数据，从预先登录的摩擦系数的数据库中，读出部件与在抓持吸嘴301的卡盘部303的抓持部上安装的橡胶之间的摩擦系数。然后，控制部60考虑电子部件的重量、摩擦系数、部件落下，基于与Z轴相反的方向（铅垂下方向）的加速度及安全率的信息，通过下式（1）计算所需的抓持力F。

F＝（mg＋ma）S/2μ    ···（1）

在这里，g是重力加速度，a是与抓持吸嘴301的下降相伴而向电子部件施加的加速度，S是安全率，μ是摩擦系数。

电子部件安装装置10通过基于式（1）中计算出的抓持力F，执行此前说明的图17所示的处理，从而可以自动地确定电空调节器330的设定压力，可以容易地确定电空调节器330的设定压力，可以以适当的抓持力抓持电子部件80并向基板8上插入，可以减少插入不良，提高产品的成品率，提高生产性。

另外，如果能够确认抓持吸嘴是否由于随时间变化等而无法进行正常开闭动作这一点，则可以减少电子部件的抓持错误以及与此相伴的电子部件、基板、电子部件安装装置自身破损的可能性，因此优选。还考虑在抓持吸嘴中内置用于检测开闭状态的传感器，以检测抓持吸嘴是否能够进行正常开闭动作。

但是，（1）由于抓持吸嘴安装在吸嘴支撑部上，所以要求重量轻，（2）由于使抓持吸嘴在吸嘴支撑部上可装卸，所以难以进行抓持吸嘴内置的传感器和控制部之间的电气连接，由于上述等原因，所以难以在抓持吸嘴中内置用于检测抓持吸嘴是否能够进行正常开闭动作的传感器。此外，在专利文献3中记载有通过使用电位差而检测吸嘴的开闭状态的内容，但并不是直接检测吸嘴的开闭状态的技术。

因此，本实施方式提供下述功能，即，不必在抓持吸嘴中内置传感器，就可以检测抓持吸嘴是否能够进行正常开闭动作。

图23是表示检测抓持吸嘴是否能够进行正常开闭动作的侧视图。抓持吸嘴451具有吸嘴基座454。以从吸嘴基座454的中央部向Z轴方向（铅垂上方向）延伸的方式，形成有安装部454a。安装部454a可以在吸嘴支撑部33上装卸。此外，在图23中，为了容易说明而省略吸嘴支撑部33的图示。抓持吸嘴451通过将安装部454a安装于吸嘴支撑部33上，从而支撑在吸嘴支撑部33上。对于安装部454a，内部成为空洞，经由吸嘴支撑部33的空洞与吸嘴驱动部34内的电空调节器（电子式真空调节器）连通。

在吸嘴基座454内形成一对气缸，该一对气缸分别从吸嘴基座454的中央部向水平方向（图中的左右方向）延伸，轴向大致一致。各气缸与安装部454a的空洞连通。即，各气缸经由安装部454a的空洞以及吸嘴支撑部33的空洞，与吸嘴驱动部34内的电空调节器连通。

在各气缸中，插入2个滑动部453的一个端部。在各滑动部453的另一个端部上安装一对卡盘部452。通过使各滑动部453在各气缸内进退，从而能够使一对卡盘部452向彼此接近的方向以及彼此远离的方向移动。在各滑动部453上，配置有将各滑动部453向远离吸嘴基座454的方向预紧的预紧单元（例如例示出弹簧）。如果利用电空调节器330向抓持吸嘴451供给空气，则向气缸施加压力，一对卡盘部452向彼此接近的方向移动，可以利用与供给压力（正压）相对应的抓持力抓持电子部件或者测力传感器。在没有向抓持吸嘴451供给空气的情况下，一对卡盘部452通过预紧单元的预紧力而成为以规定距离分开的状态。此外，在这里，抓持吸嘴451通过正压而产生抓持电子部件的抓持力，但也可以通过负压或者真空而产生抓持力。

图24是表示电子部件安装装置的动作的一个例子的流程图。此外，图24所示的处理动作是检测抓持吸嘴是否能够进行正常开闭动作的动作。另外，图24所示的处理动作是通过由控制部60对各部分的动作进行控制而执行的。

在控制部60中，作为步骤S260，使抓持吸嘴451的卡盘部452向激光识别装置38的光路的高度移动。如此前说明的图3所示，激光识别装置38具有光源38a以及受光元件38b。激光识别装置38内置在托架50上。托架50与搭载头支撑体31的下侧、基板8以及部件供给装置90侧连结。控制部60通过使Z轴电动机34a驱动，从而使吸嘴支撑部33向Z轴方向（铅垂方向）移动，由此如图23所示，使抓持吸嘴451向光源38a和受光元件38b之间的光路的高度移动。

在控制部60中，作为步骤S262，将卡盘部452分开，即，使一对卡盘部452向彼此远离的方向移动。具体地说，控制部60将电磁阀340控制为断开状态。由此，对于抓持吸嘴451，空气供给被切断，通过预紧单元的预紧力而成为以规定距离分开的状态。

在控制部60中，作为步骤S264，测定卡盘部452的外形尺寸，即，一对卡盘部452之间的宽度（间隔）。具体地说，控制部60通过使吸嘴驱动部34向θ方向旋转规定角度（例如，180度、360度等），从而使抓持吸嘴451向θ方向旋转规定角度。这样，改变抓持吸嘴451遮挡光源38a和受光元件38b之间的光路的姿态，因此，受光元件38b所受光的光发生变化。控制部60通过对该光的变化进行检测，从而可以测定卡盘部452的外形尺寸，即，一对卡盘部452之间的宽度（间隔）。

在控制部60中，作为步骤S266，判定所测定的卡盘部452之间的尺寸、和预先存储的卡盘部452分开时的基准尺寸之间的差是否小于或等于容许值，如果判定为所测定的卡盘部452之间的尺寸和预先存储的基准尺寸之间的差不是小于或等于容许值（否），则作为步骤S268，在显示部42上显示错误信息，结束本处理。

另一方面，在控制部60中，如果在步骤S266中判定为所测定的卡盘部452之间的尺寸和预先存储的基准尺寸之间的差小于或等于容许值（是），则作为步骤S270，使卡盘部452闭合，即，使一对卡盘部452向彼此接近的方向移动。具体地说，控制部60将电磁阀340控制为接通状态。由此，对于抓持吸嘴451，供给空气，通过空气的压力而成为闭合的状态。

在控制部60中，作为步骤S272，测定卡盘部452的外形尺寸，即，一对卡盘部452之间的宽度（间隔）。具体地说，控制部60通过使吸嘴驱动部34向θ方向旋转规定角度（例如，180度、360度等），从而使抓持吸嘴451向θ方向旋转规定角度。这样，改变抓持吸嘴451遮挡光源38a和受光元件38b之间的光路的姿态，因此，受光元件38b所受光的光发生变化。控制部60通过对该光的变化进行检测，从而可以测定卡盘部452的外形尺寸，即，一对卡盘部452之间的宽度（间隔）。

在控制部60中，作为步骤S274，判定所测定的卡盘部452之间的尺寸、和预先存储的卡盘部452闭合时的基准尺寸之间的差是否小于或等于容许值，如果判定为所测定的卡盘部452之间的尺寸和预先存储的基准尺寸之间的差不是小于或等于容许值（否），则作为步骤S276，在显示部42上显示错误信息，结束本处理。

另一方面，在控制部60中，如果在步骤S274中判定为所测定的卡盘部452之间的尺寸和预先存储的基准尺寸之间的差小于或等于容许范围（是），则不在显示部42上显示错误信息，结束本处理。

如上述所示，电子部件安装装置10通过使抓持吸嘴451向光源38a和受光元件38b之间的光路的高度移动，使抓持吸嘴451开闭，从而可以检测抓持吸嘴451是否进行正常开闭动作。由此，对于电子部件安装装置10，不必在抓持吸嘴451中内置传感器，就可以检测抓持吸嘴451是否能够进行正常开闭动作。由此，电子部件安装装置10可以减少电子部件的抓持错误及与其相伴的电子部件、基板、电子部件安装装置自身破损的可能性。

另外，电子部件安装装置10，在抓持吸嘴451无法进行正常开闭动作的情况下，在显示部42上显示表示该情况的错误信息，因此，可以向用户通知抓持吸嘴451已经劣化这一情况、及需要维护这一情况等。由此，电子部件安装装置10可以减少电子部件的抓持错误及与其相伴的电子部件、基板、电子部件安装装置自身破损的可能性。

此外，图24的处理可以在适当的定时执行。例如，可以在某日的电子部件安装装置10的最初工作之前、刚更换抓持吸嘴之后、变更·切换所抓持的电子部件之前、向1片基板安装电子部件结束之后、1组的制造结束之后等适当的定时执行。

此外，在这里，以能够使一对卡盘部452向彼此接近的方向以及彼此远离的方向移动的抓持吸嘴451为例，进行了说明，但对于其他类型的抓持吸嘴，例如图5所示的具有固定臂202以及可动臂204的抓持吸嘴（夹持吸嘴）201等，也可以相同地进行检测。

另外，在这里，利用激光识别装置38对一对卡盘部452的开闭状态进行检测，但也可以利用CMOS图像传感器、CCD图像传感器、超声波传感器等其他种类的传感器，对一对卡盘部452的开闭状态进行检测。在使用CMOS图像传感器、CCD图像传感器、超声波传感器等其他种类的传感器，对一对卡盘部452的开闭状态进行检测的情况下，也可以用于在抓持电子部件时对电子部件的形状、姿态等进行检测。即，可以兼用作对一对卡盘部452的开闭状态进行检测的传感器和对所抓持的电子部件的形状、姿态等进行检测的传感器。

另外，在基板上安装各种规格（尺寸）的电子部件。因此，在电子部件安装装置中，希望能够安装各种规格的电子部件。即，希望能够抓持各种规格的电子部件的抓持吸嘴。

图25是能够抓持各种规格的电子部件的抓持吸嘴的侧视图。图26是从铅垂上方向向铅垂下方向观察图25的抓持吸嘴的俯视图。此外，在图25及图26中，为了容易说明而省略吸嘴支撑部33的图示。

该抓持吸嘴401具有吸嘴基座402。以从吸嘴基座402的中央部向Z轴方向（铅垂上方向）延伸的方式，形成安装部402a。安装部402a能够在吸嘴支撑部33上装卸。抓持吸嘴401通过将安装部402a安装在吸嘴支撑部33上而支撑于吸嘴支撑部33上。安装部402a的内部成为空洞，经由吸嘴支撑部33的空洞与吸嘴驱动部34内的电空调节器（电子式真空调节器）连通。

在吸嘴基座402内形成有一对气缸，该一对气缸从吸嘴基座402的中央部向水平方向（图中的左右方向）分别延伸，轴方向大致一致。各气缸与安装部402a的空洞连通。即，各气缸经由安装部402a的空洞以及吸嘴支撑部33的空洞与吸嘴驱动部34内的电空调节器连通。

向各气缸中插入2个滑动部405的一个端部。在各滑动部405的另一个端部上，安装一对卡盘开闭连结部407。卡盘开闭连结部407具有沿大致铅垂方向延伸的板状的形状。在各卡盘开闭连结部407的铅垂下侧的面上，利用从铅垂下方向朝向铅垂上方向而与卡盘开闭连结部407螺合的螺钉414，紧固有卡盘部404。卡盘部404具有爪412，该爪412具有侧视观察时为大致L字状的形状，并具有朝向吸嘴中央方向大致水平延伸的水平部分、以及从该水平部分的吸嘴中央侧的端部向与Z轴相反的方向（铅垂下方向）大致垂直地延伸的垂直部分。爪412的垂直部分的吸嘴中央侧的面，成为抓持电子部件的抓持面。在爪412的抓持面上，安装用于增加抓持面和电子部件之间的摩擦而使电子部件不易滑动的橡胶413。

通过使各滑动部405在各气缸内进退，从而使各卡盘开闭连结部407进退，一对卡盘部404能够向彼此接近的方向以及彼此远离的方向移动。在各滑动部405上，配置有将各滑动部405向远离吸嘴基座402的方向预紧的预紧单元406（例如，例示出弹簧）。如果利用电空调节器330向抓持吸嘴401供给空气，则向气缸施加压力，一对卡盘部404向彼此接近的方向移动，可以利用与供给压力（正压）相对应的抓持力抓持电子部件80或者测力传感器310。在没有向抓持吸嘴401供给空气的情况下，一对卡盘部404通过预紧单元406的预紧力而成为以规定距离分开的状态。此外，在这里，抓持吸嘴401通过正压而产生抓持电子部件80的抓持力，但也可以通过负压或者真空而产生抓持力。

吸嘴基座402具有滚动轴承409，该滚动轴承409的轴向与气缸的轴向平行。在滚动轴承409中，插入轴408的一个端部，轴408通过滚动轴承409以可进退的方式被轴支撑。轴408的另一个端部安装在卡盘部404上。卡盘部404通过由轴408和滑动部405支撑，从而可以保持稳定的姿态。

在吸嘴基座402的气缸的开口部上，设置有爪分开止动器410。卡盘部404通过爪分开止动器410而限制分开方向上的移动距离。另外，在吸嘴基座402的安装部402a的根部，设置有爪闭合止动器411。卡盘部404通过爪闭合止动器411而限制闭合方向上的移动距离。抓持吸嘴401通过上述爪分开止动器410以及爪闭合止动器411，限制开闭的移动距离。即，对于抓持吸嘴401，即使如后述所示在更换爪的情况下，也不会受到爪更换的影响，而限制开闭的移动距离。

图27是卡盘部的斜视图。图28是图27的卡盘部的侧视图。在卡盘开闭连结部407上，形成有向Z轴方向（铅垂上下方向）贯穿卡盘开闭连结部407的2个贯穿孔407a。在贯穿孔407a的内壁面上，形成有螺旋的轴向为Z轴方向（铅垂上下方向）的螺旋槽（内螺纹槽）。在爪412的水平部分，形成有向Z轴方向（铅垂上下方向）贯穿爪412的水平部分的2个贯穿孔。螺钉414从铅垂下侧朝向铅垂上方向贯穿爪412的贯穿孔，并且与在卡盘开闭连结部407的贯穿孔407a中形成的内螺纹槽螺合，将爪412紧固在卡盘开闭连结部407上。

这样构成的抓持吸嘴401可以通过装卸螺钉414而更换爪412。因此，可以准备各种规格（例如，爪的水平部分的进退方向的长度、爪的垂直部分的垂直方向的长度等）的爪，与电子部件的规格（尺寸）相对应而将适当的爪向抓持吸嘴401上安装。由此，抓持吸嘴401可以将各种规格的电子部件向基板上安装，可以提高节拍，提高生产性。

此外，在更换爪时，将新安装的爪的轮廓数据（例如，爪的各部分的尺寸、能够抓持的电子部件的抓持宽度的范围、能够抓持的电子部件的铅垂方向的高度范围、能够抓持的电子部件的与抓持宽度正交的方向的宽度范围等），向控制部60导入即可。爪的轮廓数据可以经由磁盘、半导体存储器、LAN及互联网等网络导入。由此，控制部60可以更高精度地控制爪，电子部件安装装置10可以提高电子部件的安装精度，可以提高节拍，提高生产性。此外，也可以将多个爪的轮廓数据预先导入控制部60，在更换爪时，对新安装的爪的轮廓数据进行选择。

图29是其他卡盘部的斜视图。图30是图29的卡盘部的分解斜视图。该卡盘部具有卡盘开闭连结部427以及爪422。在卡盘开闭连结部427上，形成有向Z轴方向（铅垂上下方向）贯穿卡盘开闭连结部427的2个贯穿孔427a。在贯穿孔427a的内壁面上，形成有螺旋的轴向为Z轴方向（铅垂上下方向）的螺旋槽（内螺纹槽）。另外，在卡盘开闭连结部427的下表面形成键427b。键427b具有从卡盘开闭连结部427的下表面朝向铅垂下方向凸出的形状。

爪422具有侧视观察时为大致L字状的形状，并具有朝向吸嘴中央方向大致水平延伸的水平部分、以及从该水平部分的吸嘴中央侧的端部向与Z轴相反的方向（铅垂下方向）大致垂直地延伸的垂直部分。爪422的垂直部分的吸嘴中央侧的面，成为抓持电子部件的抓持面。在爪422的抓持面上，安装用于增加抓持面和电子部件之间的摩擦而使电子部件不易滑动的橡胶413。在爪422的水平部分的中央，形成沿卡盘部的进退方向延伸的键槽422b。键槽422b与卡盘开闭连结部427的键427b嵌合。对于爪422，通过使键槽422b与卡盘开闭连结部427的键427b嵌合，从而易于进行爪422和卡盘开闭连结部427之间的定位，并且使得爪422和卡盘开闭连结部427之间的紧固稳定。

另外，在爪422的水平部分的键槽422b的两侧，形成有长度方向沿卡盘部的进退方向的一对贯穿孔422a。螺钉414从铅垂下侧朝向铅垂上方向而贯穿爪422的贯穿孔422a，并且与在卡盘开闭连结部427的贯穿孔427a中形成的内螺纹槽螺合，将爪422紧固在卡盘开闭连结部427上。

在爪422中，键槽422b以及贯穿孔422a沿卡盘部的进退方向延伸。因此，能够沿卡盘部的进退方向，对爪422的在卡盘开闭连结部427上紧固的位置进行调整。由此，爪422可以与电子部件的规格（尺寸）相对应而对卡盘部的进退方向的位置进行调整。由此，爪422可以将各种规格的电子部件向基板上安装，可以提高节拍，提高生产性。

图31是其他卡盘部的斜视图。图32是图31的卡盘部的分解斜视图。图33是从图32的箭头A方向观察卡盘部的分解斜视图。图34是图31的卡盘部的侧视图。

该卡盘部具有卡盘开闭连结部437以及爪432。在卡盘开闭连结部437的与吸嘴中央相反侧的侧面上，形成有沿Z轴方向（铅垂方向）延伸的键槽437a。键槽437a的侧面具有随着朝向远离吸嘴中央的方向而前端变细的形状。另外，在卡盘开闭连结部437的两侧部上，形成有沿卡盘部的进退方向贯穿卡盘开闭连结部437的一对贯穿孔437b。在各贯穿孔437b的内壁面上，形成有螺旋的轴向沿卡盘部的进退方向的螺旋槽（内螺纹槽）。

爪432具有侧视观察时为大致I字状的形状，具有朝向与Z轴相反的方向（铅垂下方向）大致垂直地延伸的垂直部分。爪432的吸嘴中央侧的面的下方成为抓持电子部件的抓持面。在爪432的抓持面上，安装用于增加抓持面和电子部件之间的摩擦而使电子部件不易滑动的橡胶413。在爪432的吸嘴中央侧的面的上方，形成有沿Z轴方向（铅垂方向）延伸的一对键432a。键432a的侧面形成为，随着朝向吸嘴中央侧而前端变宽。键432a与卡盘开闭连结部437的键槽437a嵌合。键槽437a的与Z轴相反的方向（铅垂下方向）设置有键槽底部437c。因此，键432a通过从卡盘开闭连结部437的铅垂上方向接近卡盘开闭连结部437，相对于卡盘开闭连结部437从铅垂上方向向铅垂下方向下降，从而与键槽437a嵌合。另外，对于爪432，在键432a的最下部与键槽底部437c抵接后，被限制下降。

爪432通过使键432a与卡盘开闭连结部437的键槽437a嵌合，从而易于进行爪432和卡盘开闭连结部437之间的定位，并且，使得爪432和卡盘开闭连结部437之间的紧固稳定。

另外，在爪432的键432a的两侧，形成有沿卡盘部的进退方向贯穿爪432的一对贯穿孔432b。螺钉414朝向吸嘴中央方向贯穿爪432的贯穿孔432b，并且与在卡盘开闭连结部437的贯穿孔437b中形成的内螺纹槽螺合，将爪432紧固在卡盘开闭连结部437上。

这样构成的爪432可以将爪432和爪432之间的间隔扩大为，比卡盘开闭连结部437和卡盘开闭连结部437之间的间隔宽。由此，爪432可以抓持宽度大的电子部件。由此，抓持吸嘴可以将各种规格的电子部件向基板上安装，可以提高节拍，提高生产性。

图35及图36是表示利用图25的抓持吸嘴抓持电子部件的情况下的侧视图。此外，在图35及图36中，为了容易说明而省略吸嘴支撑部33的图示。如果控制部60将电磁阀340控制为断开状态，则抓持吸嘴401的空气供给被电磁阀340切断。因此，抓持吸嘴401通过预紧单元406而向使一对卡盘部404彼此远离的方向预紧，如图35所示，成为分开的状态。然后，如果控制部60将电磁阀340控制为接通状态，则对抓持吸嘴401进行空气供给，利用空气压力使一对卡盘部404向彼此接近的方向移动，可以抓持电子部件80。

另外，在抓持吸嘴（卡盘吸嘴）比较重的情况下，在向吸嘴支撑部33上安装抓持吸嘴时，可能产生各种问题。例如，（1）在θ轴控制的增益较小（较弱）的情况下，可能产生由于抓持吸嘴的重量而使θ轴振动、旋转的问题。另外，（2）在θ轴控制的增益较大（较强）的情况下，可能产生下述问题，即，从根据增益的大小而使θ轴进行旋转控制的电动机发出异响。在利用这种较重的抓持吸嘴抓持较重的电子部件的情况下，可能使上述问题更严重。如果将θ轴控制的增益设为固定，则难以消除上述问题。

此外，在专利文献4中记载有对伺服电动机的增益进行切换的技术。但是，在专利文献4记载的技术中，产生增益切换时间的节拍损耗。另外，随动性差（慢），需要昂贵的伺服系统。

另外，在安装较重的抓持吸嘴并抓持较重的电子部件的情况下，在绕θ轴旋转的角速度为高速时、以及为低速时，最佳的增益不同。

另外，如果在使吸嘴绕θ轴旋转之前的定时切换增益，则缓慢。严格地说，由于安装较重的抓持吸嘴并抓持较重的电子部件，所以产生上述（1）、（2）的问题。

另外，如果在电子部件安装装置启动之后进行原点返回，则在存储器中没有记录是否安装了抓持吸嘴，因此，无法利用软件（控制部60）判定是否安装有抓持吸嘴，因此，产生上述（1）、（2）的问题。

另外，在电子部件安装装置中，作为准备动作而具有使各轴任意地动作的功能。并且，由于存在用户手动地拆卸、安装抓持吸嘴的情况，所以无法判定利用哪个增益使θ轴进行旋转控制好。在此情况下，产生上述（1）、（2）的问题。

因此，本实施方式提供能够减少上述问题的增益切换功能。

图37是表示更换吸嘴保持机构的俯视图。更换吸嘴保持机构501具有4个吸嘴收容部501a～501d。吸嘴收容部501a位于图中的左下，吸嘴收容部501b位于图中的右下，吸嘴收容部501c位于图中的左上，吸嘴收容部501d位于图中的右上。在更换吸嘴保持机构501上，设置有能够向图中的左右方向滑动的滑动板502。滑动板502通过设置在更换吸嘴保持机构501上的气缸503，向图中的左右方向滑动。气缸503通过控制部60而进行动作控制。

在气缸503收缩时，滑动板502向图中的右方向滑动，在气缸503延伸时，滑动板502向图中的左方向滑动。在滑动板502向图中的右方向滑动时，吸嘴收容部501a及501c开放，能够向吸嘴收容部501a及501c进行吸嘴的收容以及取出。在滑动板502向图中的左方向滑动时，吸嘴收容部501b及501d开放，能够向吸嘴收容部501b及501d进行吸嘴的收容以及取出。

图38是表示将吸嘴放回更换吸嘴保持机构时的电子部件安装装置各部分的动作定时的时序图。图39是表示安装吸嘴时的电子部件安装装置各部分的动作定时的时序图。图40是表示将吸嘴放回更换吸嘴保持机构时的电子部件安装装置各部分的动作内容的图。图41是表示安装吸嘴时的电子部件安装装置各部分的动作内容的图。

首先，参照图38及图40，对将吸嘴放回更换吸嘴保持机构时的电子部件安装装置的各部分的动作进行说明。控制部60使X轴驱动部22以及Y轴驱动部24动作，使吸嘴支撑部33向放回吸嘴的位置移动（图38及图40中的定时1）。与此同时，控制部60使吸嘴驱动部34动作，使吸嘴支撑部33向Z轴方向移动，以将吸嘴支撑部33向确认吸嘴的有无的高度移动（图38及图40中的定时2）。与此同时，控制部60使气缸503动作，以使滑动板502开放（图38及图40中的定时3）。

控制部60在吸嘴支撑部33的移动完毕后（图38及图40中的定时4），使激光识别装置38动作，判定吸嘴是否已经安装在吸嘴支撑部33上（图38及图40中的定时5）。控制部60等待用于对滑动板502的开放进行检测的开放传感器检测出滑动板502的开放完毕（图38及图40中的定时6C）。

控制部60在开放传感器检测出滑动板502的开放完毕后，使吸嘴支撑部33向Z轴方向移动，向滑动板502的位置移动。此外，在本实施方式中，在使吸嘴支撑部33向滑动板502的位置移动时，分2个阶段进行移动（图38及图40中的定时7及8）。控制部60在该定时7使向Z轴方向的移动开始，并且，将绕θ的旋转控制的增益，从具有抓持吸嘴时的增益切换为没有抓持吸嘴时的增益。

控制部60在使吸嘴支撑部33向滑动板502的位置移动完毕后，开始滑动板502的关闭（图38及图40中的定时9），进行第1次的送风（50ms）（图38及图40中的定时10），然后进行第2次的送风（50ms）（图38及图40中的定时11），等待用于检测滑动板502的关闭的关闭传感器检测出滑动板502关闭（图38及图40中的定时12C）。

控制部60在关闭传感器检测出滑动板502的关闭完毕后，使吸嘴支撑部33向Z轴方向移动，向吸嘴更换高度移动（图38及图40中的定时13）。然后，控制部60将送风设为接通（图38及图40中的定时14），将吸嘴支撑部33维持在吸嘴更换高度，等待规定时间（图38及图40中的定时15A）。然后，控制部60使吸嘴支撑部33向吸嘴确认高度移动（图38及图40中的定时16），利用激光识别装置38确认有无吸嘴（图38及图40中的定时17E）。控制部60在该定时17之前不进行吸嘴支撑部33的绕θ的旋转，因此，可靠地切换绕θ的旋转控制的增益。

然后，控制部60使吸嘴支撑部33沿Z轴方向移动至能够在X及Y轴方向上移动的高度（图38及图40中的定时18），并使送风停止（图38及图40中的定时19）。

下面，参照图39及图41，对安装吸嘴时的电子部件安装装置的各部分的动作进行说明。控制部60使电空调节器330动作，形成真空（图39以及图41中的定时1）。然后，控制部60使吸嘴驱动部34动作，使吸嘴支撑部33向Z轴方向移动，以将吸嘴支撑部33向确认吸嘴的有无的高度移动（图39及图41中的定时2）。

控制部60使激光识别装置38动作，判定吸嘴是否已经安装在吸嘴支撑部33上（图39及图41中的定时3）。然后，控制部60使吸嘴支撑部33沿Z轴方向移动至能够在X及Y轴方向上移动的高度（图39及图41中的定时4）。控制部60在使吸嘴支撑部33沿Z轴方向移动至能够在X及Y轴方向上移动的高度后，使X轴驱动部22以及Y轴驱动部24动作，以将吸嘴支撑部33向安装吸嘴的位置移动（图39及图41中的定时5）。

控制部60在使吸嘴支撑部33向安装吸嘴的位置移动完毕后（图39及图41中的定时6），使吸嘴支撑部33沿Z轴方向移动至滑动板502的高度＋5mm的位置（图39及图41中的定时7）。与此同时，控制部60使吸嘴驱动部34动作，使吸嘴支撑部33沿θ方向旋转至吸嘴安装角度（图39及图41中的定时8）。然后，控制部60等待Z轴方向的回位（10ms）（图39及图41中的定时9）。

控制部60利用激光识别装置38对吸嘴是否没有故障进行确认（图39及图41中的定时10）。然后，控制部60使吸嘴支撑部33沿Z轴方向移动至吸嘴更换位置（图39及图41中的定时11B）。然后，控制部60对真空的压力上升进行确认（图39及图41中的定时12）。然后，控制部60将吸嘴支撑部33沿Z轴方向移动至能够使滑动板502移动的位置（图39及图41中的定时13）。控制部60在该定时13使吸嘴支撑部33向Z轴方向的移动开始，并且，将绕θ旋转的旋转控制的增益，从没有抓持吸嘴时的增益切换为有抓持吸嘴时的增益。

控制部60在将吸嘴支撑部33沿Z轴方向移动至能够使滑动板502移动的位置后，停止真空（图39及图41中的定时14）。另外，控制部60将送风接通（图39及图41中的定时15）。然后，控制部60使滑动板502的开放动作开始（图39及图41中的定时16），等待开放传感器检测出滑动板502的开放（图39及图41中的定时17E）。控制部60在开放传感器检测出滑动板502的开放后，停止送风（图39及图41中的定时18）。

控制部60使吸嘴支撑部33沿Z轴方向移动至确认吸嘴安装的高度（图39及图41中的定时19）。然后，控制部60利用激光识别装置38对有无吸嘴进行检查（图39及图41中的定时20）。控制部20在该定时20之前不使吸嘴支撑部33绕θ旋转，因此，可以可靠地切换绕θ旋转的旋转控制的增益。

控制部60使滑动板502的关闭动作开始（图39及图41中的定时21），等待关闭传感器检测出滑动板502关闭（图39及图41中的定时22D）。控制部60在关闭传感器检测出滑动板502关闭后，使吸嘴支撑部33沿Z轴方向移动至能够在X及Y轴方向上移动的高度（图39及图41中的定时23）。

由于控制部60在吸嘴支撑部33向Z轴方向下降的同时切换增益，所以在使吸嘴支撑部33上升时，增益已切换完成。

图42是表示电子部件安装装置吸附电子部件时的动作内容的图。控制部60使X轴驱动部22以及Y轴驱动部24动作，使吸嘴支撑部33沿X及Y轴方向移动至电子部件吸附位置（图42中的定时1）。然后，控制部60使吸嘴驱动部34动作，使吸嘴支撑部33向Z轴方向下降移动（图42中的定时2）。控制部60在该定时2使吸嘴支撑部33向Z轴方向的下降移动开始，并且，将绕θ旋转的旋转控制的增益，从没有电子部件时的增益切换为有电子部件时的增益。

然后，控制部60使电空调节器330动作，形成真空（图42中的定时3）。然后，控制部60等待吸嘴支撑部33向Z轴方向下降完毕（图42中的定时4）。然后，控制部60等待真空稳定（图42中的定时5）。在这里，电子部件被吸嘴抓持或者吸附。然后，控制部60使吸嘴支撑部33向Z轴方向上升（图42中的定时6）。然后，控制部60使吸嘴支撑部33沿X及Y轴方向移动至电子部件安装位置（图42中的定时7）。由于控制部60在该定时7之前不使吸嘴支撑部33绕θ旋转，所以可以可靠地切换绕θ旋转的旋转控制的增益。

由于控制部60在吸嘴支撑部33向Z轴方向下降的同时切换增益，所以在使吸嘴支撑部33上升时，增益已切换完成。

图43是表示电子部件安装装置向基板搭载（安装）电子部件时的动作内容的图。控制部60使X轴驱动部22以及Y轴驱动部24动作，使吸嘴支撑部33沿X及Y轴方向移动至电子部件搭载位置（图43中的定时1）。然后，控制部60使吸嘴驱动部34动作，使吸嘴支撑部33向Z轴方向下降移动（图43中的定时2）。控制部60在该定时2使吸嘴支撑部33向Z轴方向的下降移动开始，并且，将绕θ旋转的旋转控制的增益，从有电子部件时的增益切换为没有电子部件时的增益。

然后，控制部60使电空调节器330的动作停止，停止真空（图43中的定时3）。然后，控制部60等待吸嘴支撑部33向Z轴方向下降完毕（图43中的定时4）。然后，控制部60等待真空稳定（图43中的定时5）。在这里，电子部件向基板上搭载。然后，控制部60使吸嘴支撑部33向Z轴方向上升（图43中的定时6）。然后，控制部60使吸嘴支撑部33沿X及Y轴方向移动至电子部件吸附位置（图43中的定时7）。由于控制部60在该定时7之前不使吸嘴支撑部33绕θ进行旋转，所以可靠地切换绕θ旋转的旋转控制的增益。

由于控制部60在吸嘴支撑部33向Z轴方向下降的同时切换增益，所以在使吸嘴支撑部33上升时，增益已切换完成。

通过上述动作，电子部件安装装置10可以切换增益，而不会降低节拍。此外，上述动作是不产生节拍降低的优选切换动作，但只要是在使吸嘴支撑部33向θ方向旋转之前，则在任何时刻均可以切换增益。

图44是用于说明电子部件的惯性的图。图44所示的电子部件461具有大致长方体的形状，其以贯穿主面的方向作为旋转轴，长度方向的长度为a，宽度方向的长度为b。如果将该电子部件461的重量设为M，则电子部件461的惯性J由下述式（2）表示。

〔式2〕

$J=M\frac{a^2+b^2}{12}\·\·\·\left(2\right)$

该式（2）是根据电子部件的重量而计算惯性的通用的计算式。由于不知道用户所使用（安装）的电子部件是哪种形状，所以利用通用的计算式求出惯性。

图45是表示生产程序的生成画面的图。该画面471表示部件数据的输入画面，输入有下述参数，即，部件类别“方芯片”，包装样式“保持带”，外形尺寸中的横向（W）：“1.00”，纵向（L）：“1.00”，高度（H）：“1.00”，其它尺寸中的吸附深度：“0.00”，凸起高度：“0.00”，供给装置“8mm纸保持带”，间距“2mm（2×1）”，部件供给角度“0°”，进给速度使用“不”，“高速”，部件废弃“废弃箱”等。

用户输入作为最低限信息的电子部件重量。控制部60通过软件处理，根据电子部件尺寸使用式（2）计算惯性，可以确定相应的惯性区分。

画面471可以在显示部42上显示，也可以在能够与电子部件安装装置10通信的个人计算机等的显示器上显示。各种数据的输入可以从操作部40进行，也可以从能够与电子部件安装装置10通信的个人计算机等的输入装置进行。

图46是表示增益参数表的一个例子的图。将该增益参数表保存在控制部60的存储器中，控制部60在动作时根据相应的索引对增益参数表进行参照，切换增益。

图47是表示增益参数的输入画面的图。在该画面472中，增益表索引输入栏472d的值与速度区分输入栏472c、吸嘴区分输入栏472a以及惯性区分输入栏472b联动。如果将速度区分“0”输入至速度区分输入栏472c，将吸嘴区分“1：中型卡盘”输入至吸嘴区分输入栏472a，将惯性区分“2：惯性2”输入至惯性区分输入栏472b，则控制部60在增益表索引输入栏472d中显示“120”作为输入候选。

画面472可以在显示部42上显示，也可以在能够与电子部件安装装置10通信的个人计算机等的显示器上显示。各种数据的输入可以从操作部40进行，也可以从能够与电子部件安装装置10通信的个人计算机等的输入装置进行。

图48是表示增益表以及增益切换（坐标/速度）输入画面的图。该画面473与图47的画面472的增益表索引联动。如果在画面472中输入增益表索引“120”，则控制部60在增益区分输入栏473a中显示增益区分“120”，将负荷惯性力矩比“50”、模型控制增益“130”、位置控制增益“270”、速度控制增益“4100”、速度积分补偿“350”、速度微分补偿“980”，作为输入候选在输入栏组473b中显示。另外，控制部60将轴共振控制过滤“1”、切换坐标上限“0”、切换坐标下限“0”、YL轴索引“1”、YR轴索引“2”，作为输入候选在输入栏组473c中显示。

画面473可以在显示部42上显示，也可以在能够与电子部件安装装置10通信的个人计算机等的显示器上显示。各种数据的输入可以从操作部40进行，也可以从能够与电子部件安装装置10通信的个人计算机等的输入装置进行。

图49是表示电子部件安装装置的增益切换动作的动作概要的流程图。在控制部60中，作为步骤S280，在增益切换函数中设置吸嘴区分、惯性区分、速度区分。然后，在控制部60中，作为步骤S282，使吸嘴支撑部33绕θ轴旋转。

图50是表示电子部件安装装置的增益切换动作的详细内容的流程图。在控制部60中，作为步骤S284，根据速度区分惯性区分、吸嘴区分而设置增益。然后，在控制部60中，作为步骤S286，启动θ增益切换计时器，该θ增益切换计时器用于对切换绕θ轴旋转的旋转控制的增益的定时进行计时。

图51是表示电子部件安装装置的轴移动动作的流程图。在控制部60中，作为步骤S290，检查是否正在对绕θ旋转的旋转控制的增益进行切换，如果判定为不是增益切换中（否），则作为步骤S294，进行轴移动（绕θ的旋转）。另一方面，如果控制部60在步骤S290中判定为增益切换中（是），则作为步骤S292，可靠地等待绕θ旋转的旋转控制的增益进行切换，以避免先行开始的绕θ旋转的旋转控制的增益切换没有及时完毕的情况，如果绕θ旋转的旋转控制的增益切换完毕，则作为步骤S294，进行轴移动（绕θ的旋转）。

图52是表示电子部件安装装置的吸嘴支撑部的原点返回流程的流程图。控制部60在吸嘴支撑部33的原点返回之前不知道是否安装有抓持吸嘴。因此，控制部60按照图52所示的步骤进行吸嘴支撑部33的原点返回。

在控制部60中，作为步骤S300，对是否使用抓持吸嘴（卡盘吸嘴）进行检查，如果判定为不使用抓持吸嘴（卡盘吸嘴）（否），则作为步骤S302，进行通常的原点返回（X轴方向、Y轴方向、Z轴方向以及θ轴方向），结束处理。

在控制部60中，如果在步骤S300中判定为使用抓持吸嘴（卡盘吸嘴）（是），则作为步骤S304，使Z轴方向向原点返回。然后，在控制部60中，作为步骤S306，使抓持吸嘴（卡盘吸嘴）的爪部沿Z轴方向上升至激光识别装置38的光路的高度。然后，在控制部60中，作为步骤S308，对全部吸嘴支撑部33进行激光识别。然后，在控制部60中，作为步骤S310，对宽度是否大于或等于规定长度（抓持吸嘴闭合的宽度，例如20mm）进行检查。

如果控制部60在步骤S310中判定为宽度不大于或等于规定长度（否），则作为步骤S302，进行通常的原点返回（X轴方向、Y轴方向、Z轴方向以及θ轴方向），结束处理。

另一方面，如果控制部60在步骤S310中判定为宽度大于或等于规定长度（是），则作为步骤S312，在显示部42上显示使吸嘴支撑部33向Z轴方向下降的通知，并且显示用于提醒用户拆卸抓持吸嘴（卡盘吸嘴）的通知。

然后，在控制部60中，作为步骤S314，在显示部42上显示使吸嘴支撑部33向Z轴方向上升的通知。

然后，在控制部60中，作为步骤S316，对是否拆卸了抓持吸嘴（卡盘吸嘴）进行检查，如果判定为拆卸了吸嘴（是），则结束处理。

另一方面，如果控制部60在步骤S316中判定为没有拆卸抓持吸嘴（卡盘吸嘴）（否），则作为步骤S318，检查是否反复进行了规定次数（例如3次等）的步骤S306～S316，如果判定为没有反复进行规定次数（否），则使处理进入步骤S306，再次执行步骤S306～S318。

另一方面，如果控制部60在步骤S318中判定为反复进行了规定次数（是），则作为步骤S320，在显示部42上显示错误信息，结束处理。

控制部60在原点返回时，以原点返回时的增益进行θ旋转。此时，存在无意地安装有抓持吸嘴（卡盘吸嘴）和电子部件的情况。由于该情况通过哪种方法均无法避免，所以控制部60预先按照图52所示的流程进行原点返回。控制部60先进行Z轴方向的原点返回（步骤S304），使抓持吸嘴（卡盘吸嘴）移动至激光识别装置38的光路的高度（步骤S306）。控制部60通过激光识别而取得抓持吸嘴（卡盘吸嘴）宽度（步骤S308），如果大于或等于规定长度（例如，20mm（中型卡盘吸嘴闭合的宽度），则判断为安装有抓持吸嘴（卡盘吸嘴）（步骤S310中为是），在显示部42显示通知，以使用户手动拆卸（步骤S312）。

图53是表示用于准备工序的单独控制画面的图。该画面474是用于在使吸嘴支撑部33向θ轴方向旋转之前，使用户进行绕θ旋转的旋转控制的增益切换的画面。控制部60有时在利用单独动作使吸嘴支撑部33向θ轴方向旋转时，不知道是否安装有抓持吸嘴（卡盘吸嘴）（用户手动地将抓持吸嘴（卡盘吸嘴）安装于吸嘴支撑部33上的情况）。在此情况下，控制部60必须对绕θ轴旋转的旋转控制的增益进行切换。用户利用吸嘴区分输入栏474a选择吸嘴区分（在这里，“通常吸嘴”、“中型卡盘”、“大型卡盘”），通过将增益切换按钮474c按下，从而对绕θ旋转的旋转控制的增益进行切换。用户所选择的吸嘴区分，在吸嘴区分扩大显示栏474b内被扩大显示为“当前为～卡盘”。由于由用户输入抓持吸嘴（卡盘吸嘴）的重量这一点很繁琐，所以在此情况下，设定通用的增益。

画面474可以在显示部42上显示，也可以在能够与电子部件安装装置10通信的个人计算机等的显示器上显示。各种数据的输入可以从操作部40进行，也可以从能够与电子部件安装装置10通信的个人计算机等的输入装置进行。

根据本实施方式，电子部件安装装置10通过对绕θ轴旋转的旋转控制的增益进行切换，从而可以减少抓持吸嘴（卡盘吸嘴）振动、旋转的问题产生。另外，电子部件安装装置10通过对绕θ轴旋转的旋转控制的增益进行切换，从而可以减少绕θ轴旋转的异响的发生。另外，电子部件安装装置10可以减少节拍降低。另外，电子部件安装装置10可以尽可能抑制用户可用性的降低。

Claims (8)

1.一种电子部件安装装置，其利用在水平面上移动的搭载头将位于保持位置的电子部件向基板的搭载位置移送并安装，

其特征在于，具有：

电子部件供给装置，其将具有电子部件主体以及与所述主体连结的引线的引线型电子部件向所述保持位置供给；

搭载头主体，其具有抓持吸嘴、吸嘴驱动部以及搭载头支撑体，该抓持吸嘴由空气压力驱动，用于对从所述电子部件供给装置供给的电子部件的电子部件主体进行保持，该吸嘴驱动部安装所述抓持吸嘴并进行上下驱动以及旋转驱动，并且供给空气压力，该搭载头支撑体对所述抓持吸嘴以及所述吸嘴驱动部进行支撑；以及

控制部，其对所述搭载头主体的动作进行控制，

所述控制部在抓持电子部件之前，对空气压力的设定值进行切换，每次利用压力检测装置对所述抓持吸嘴的抓持力进行检测，并求出空气压力和抓持力之间的相关关系，基于该相关关系而设定空气压力，以得到适于抓持电子部件的抓持力。

2.根据权利要求1所述的电子部件安装装置，其特征在于，

所述控制部针对每个电子部件、每个抓持吸嘴或者每个电子部件和抓持吸嘴的组合，求出表示空气压力的设定值和抓持力之间的相关关系的校正式，基于该校正式和所安装的电子部件的部件数据的信息，设定空气压力，以得到适于抓持电子部件的抓持力。

3.根据权利要求1所述的电子部件安装装置，其特征在于，

还具有电磁阀，其在自身为断开状态时，将所述吸嘴驱动部和所述抓持吸嘴之间切断，在自身为接通状态时，将所述吸嘴驱动部和所述抓持吸嘴之间连通，

所述控制部求出从使所述电磁阀由断开状态变化至接通状态时开始、直至利用所述抓持吸嘴产生抓持力为止的延迟时间，在与希望抓持电子部件的定时相比提前所述延迟时间后的时间之前，使所述电磁阀从断开状态向接通状态变化。

4.根据权利要求1所述的电子部件安装装置，其特征在于，

所述压力检测装置具有：抵接部件，其用于调整为了检测压力而被按压的按压部的抓持宽度，与所述按压部抵接；驱动系统，其使所述抵接部件沿所述按压部的轴向进退；以及电动机，其向所述驱动系统施加驱动力，

所述控制部，通过使所述电动机旋转，从而将所述按压部的抓持宽度调整为电子部件的抓持宽度。

5.根据权利要求1所述的电子部件安装装置，其特征在于，

所述控制部基于电子部件的质量以及材质的信息，求出适于抓持电子部件的抓持力，基于所述相关关系而设定空气压力，以得到适于抓持电子部件的抓持力。

6.根据权利要求1所述的电子部件安装装置，其特征在于，

还具有传感器，其设置在所述搭载头主体上，

所述控制部通过使所述吸嘴驱动部驱动，从而使所述抓持吸嘴向所述传感器的检测范围移动，使用所述传感器对所述抓持吸嘴的开闭状态进行检测。

7.根据权利要求6所述的电子部件安装装置，其特征在于，

还具有显示图像的显示部，

所述控制部在所述抓持吸嘴的检测尺寸和所述抓持吸嘴的基准尺寸之间的差不是小于或等于容许值的情况下，将表示该情况的信息在所述显示部上显示。

8.根据权利要求6或7所述的电子部件安装装置，其特征在于，

所述控制部在由所述抓持吸嘴抓持电子部件的情况下，通过使所述吸嘴驱动部驱动，从而使电子部件向所述传感器的检测范围移动，使用所述传感器对电子部件的形状、姿态或者它们的组合进行检测。

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