JP2019045232A - 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】検査用凹部のピッチが互いに異なる第1検査部と第2検査部とが交換されても、その交換に容易に対応して、電子部品を搬送することができる電子部品搬送装置おおび電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、電子部品を検査可能な第1検査部および電子部品が載置される第1搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、第1ピッチに設定可能で、電子部品を検査可能な第2検査部および電子部品が載置される第2搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、第1ピッチと異なる第2ピッチに設定可能であることを特徴とする電子部品搬送装置。【選択図】図10
Description
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
従来から、ICデバイスに対して電気的な試験をするICハンドラーが知られている(例えば、特許文献1参照)。この特許文献1に記載のICハンドラーでは、ICデバイスに対して試験を行なう際、ICデバイスをコンタクトヘッドで把持してソケットまで搬送し、ソケットに載置して、その試験を行なうよう構成されている。
また、通常、ソケットは、複数配置されており、各ソケットにICデバイスを載置して、これらのICデバイスに対して一括して試験を行なうことができる。
しかしながら、特許文献1に記載のICハンドラーでは、ソケット同士のピッチ(中心間距離)が変更になると、その変更に対応して、コンタクトヘッド同士のピッチも変更しなければならない。この場合、ピッチが変更されたコンタクトヘッドを有するユニットを別途用意して、このユニットに交換する必要がある。このような交換作業は、ICハンドラーを操作するオペレーターにとっては、非常に煩雑であり、労力を要するものであった。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下のものとして実現することが可能である。
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を検査可能な第1検査部または第2検査部が設置可能で、
電子部品が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、前記電子部品を載置して移動可能である搬送部と、
前記第1搬送部材から前記第1検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または前記第2搬送部材から前記第2検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1検査部は、前記電子部品が載置される第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有し、
前記第2検査部は、前記電子部品が載置される前記第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の検査用凹部とを有し、
前記第1搬送部材は、前記電子部品が載置される第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有し、
前記第2搬送部材は、前記電子部品が載置される前記第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第2ピッチで設けられた前記第2の搬送用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1検査部および前記第1搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2検査部および前記第2搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする電子部品搬送装置。
電子部品が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、前記電子部品を載置して移動可能である搬送部と、
前記第1搬送部材から前記第1検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または前記第2搬送部材から前記第2検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1検査部は、前記電子部品が載置される第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有し、
前記第2検査部は、前記電子部品が載置される前記第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の検査用凹部とを有し、
前記第1搬送部材は、前記電子部品が載置される第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有し、
前記第2搬送部材は、前記電子部品が載置される前記第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第2ピッチで設けられた前記第2の搬送用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1検査部および前記第1搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2検査部および前記第2搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする電子部品搬送装置。
これにより、検査用凹部のピッチが互いに異なる第1検査部と第2検査部とが交換されても、その交換に容易に対応して、第1の把持部と第2の把持部との第1方向のピッチを変更することができる。これにより、例えば、把持搬送部を別途交換せずとも、共通の把持搬送部で、電子部品を目的の検査部(第1検査部または第2検査部)に正確に搬送することができる。
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を検査可能な第1検査部または第2検査部が設置可能で、
前記第1検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または、前記第2検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1検査部は、前記電子部品が載置される第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有し、
前記第2検査部は、前記電子部品が載置される前記第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の検査用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1検査部が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2検査部が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする。
前記第1検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または、前記第2検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1検査部は、前記電子部品が載置される第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有し、
前記第2検査部は、前記電子部品が載置される前記第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の検査用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1検査部が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2検査部が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする。
これにより、検査用凹部のピッチが互いに異なる第1検査部と第2検査部とが交換されても、その交換に容易に対応して、第1の把持部と第2の把持部との第1方向のピッチを変更することができる。これにより、例えば、把持搬送部を別途交換せずとも、共通の把持搬送部で、電子部品を目的の検査部(第1検査部または第2検査部)に正確に搬送することができる。
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を検査可能な検査部が設置可能で、
前記電子部品が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、前記電子部品を載置して移動可能である搬送部と、
前記第1搬送部材から前記検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または、前記第2搬送部材から前記検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1搬送部材は、前記電子部品が載置される第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有し、
前記第2搬送部材は、前記電子部品が載置される前記第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の搬送用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能である。
前記電子部品が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、前記電子部品を載置して移動可能である搬送部と、
前記第1搬送部材から前記検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または、前記第2搬送部材から前記検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1搬送部材は、前記電子部品が載置される第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有し、
前記第2搬送部材は、前記電子部品が載置される前記第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の搬送用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能である。
これにより、検査用凹部のピッチが互いに異なる第1検査部と第2検査部とが交換されても、その交換に容易に対応して、第1の把持部と第2の把持部との第1方向のピッチを変更することができる。これにより、例えば、把持搬送部を別途交換せずとも、共通の把持搬送部で、電子部品を目的の検査部(第1検査部または第2検査部)に正確に搬送することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記把持搬送部は、前記第1の把持部と前記第2の把持部とを、前記第1ピッチを前記第2ピッチに設定する第1方向に相対的に移動可能な一方向移動機構部を有するのが好ましい。
これにより、第1の把持部と第2の把持部とのピッチを迅速かつ安定して変更することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記一方向移動機構部は、前記第1の把持部と前記第2の把持部とを前記第1方向に相対的に少なくとも6mm移動させ得るのが好ましい。
近年、一般的に市場に流通している検査部には、検査用凹部のピッチが57.15mmのものと、ピッチが60mmのものと、ピッチが63.5mmのものとがあり、これらの種類が主に占めている。従って、第1の把持部と第2の把持部とを第1方向に相対的に少なくとも6mm移動することができれば、把持搬送部を別途交換せずとも、第1方向のピッチが上記範囲の検査部に対して、過不足なくピッチ変換して、十分に適応することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記一方向移動機構部は、電圧を印加することにより伸縮する圧電素子を有するのが好ましい。
これにより、圧電素子の伸縮動作を利用して、第1の把持部と第2の把持部とのピッチの変更を円滑かつ迅速に行なうことができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記第1ピッチおよび前記第2ピッチに関する情報を入力する入力部を備えるのが好ましい。
これにより、距離に関する情報を適宜変更することができる。
これにより、距離に関する情報を適宜変更することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記一方向移動機構部は、前記情報に基づいて、前記第1の把持部と前記第2の把持部とを前記第1方向に相対的に移動させるのが好ましい。
これにより、第1の把持部と第2の把持部とのピッチを自動的に変更することができる。
これにより、第1の把持部と第2の把持部とのピッチを自動的に変更することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記把持搬送部は、前記第1方向と交差する第2方向に複数の前記第1の把持部と、複数の前記第2の把持部とを有しており、
前記複数の前記第1の把持部と、前記複数の前記第2の把持部とをそれぞれ相対的に前記第2方向に移動可能であるのが好ましい。
前記複数の前記第1の把持部と、前記複数の前記第2の把持部とをそれぞれ相対的に前記第2方向に移動可能であるのが好ましい。
これにより、電子部品の種類に応じて、第1検査部と第2検査部とが、第2方向の互いに大きさが異なるピッチのものに交換されたとしても、第1の把持部同士、第2の把持部同士の第2方向のピッチを変更することができる。
本発明の電子部品検査装置は、電子部品を検査可能な第1検査部または第2検査部と、
電子部品が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、前記電子部品を載置して移動可能である搬送部と、
前記第1搬送部材から前記第1検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または前記第2搬送部材から前記第2検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1検査部は、前記電子部品が載置される第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有し、
前記第2検査部は、前記電子部品が載置される前記第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の検査用凹部とを有し、
前記第1搬送部材は、前記電子部品が載置される第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有し、
前記第2搬送部材は、前記電子部品が載置される前記第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第2ピッチで設けられた前記第2の搬送用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1検査部および前記第1搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2検査部および前記第2搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする。
電子部品が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、前記電子部品を載置して移動可能である搬送部と、
前記第1搬送部材から前記第1検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または前記第2搬送部材から前記第2検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1検査部は、前記電子部品が載置される第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有し、
前記第2検査部は、前記電子部品が載置される前記第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の検査用凹部とを有し、
前記第1搬送部材は、前記電子部品が載置される第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有し、
前記第2搬送部材は、前記電子部品が載置される前記第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第2ピッチで設けられた前記第2の搬送用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1検査部および前記第1搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2検査部および前記第2搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする。
これにより、検査用凹部のピッチが互いに異なる第1検査部と第2検査部とが交換されても、その交換に容易に対応して、第1の把持部と第2の把持部との第1方向のピッチを変更することができる。これにより、例えば、把持搬送部を別途交換せずとも、共通の把持搬送部で、電子部品を目的の検査部(第1検査部または第2検査部)に正確に搬送することができる。また、電子部品に対する検査を第1検査部や第2検査部で行なうことができる。
本発明の電子部品検査装置は、電子部品を検査可能な第1検査部または第2検査部と、
前記第1検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または、前記第2検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1検査部は、前記電子部品が載置される第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有し、
前記第2検査部は、前記電子部品が載置される前記第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の検査用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1検査部が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2検査部が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする。
前記第1検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または、前記第2検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1検査部は、前記電子部品が載置される第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有し、
前記第2検査部は、前記電子部品が載置される前記第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の検査用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1検査部が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2検査部が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする。
これにより、検査用凹部のピッチが互いに異なる第1検査部と第2検査部とが交換されても、その交換に容易に対応して、第1の把持部と第2の把持部との第1方向のピッチを変更することができる。これにより、例えば、把持搬送部を別途交換せずとも、共通の把持搬送部で、電子部品を目的の検査部(第1検査部または第2検査部)に正確に搬送することができる。また、電子部品に対する検査を第1検査部や第2検査部で行なうことができる。
本発明の電子部品検査装置は、電子部品を検査可能な検査部と、
前記電子部品が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、前記電子部品を載置して移動可能である搬送部と、
前記第1搬送部材から前記検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または、前記第2搬送部材から前記検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1搬送部材は、前記電子部品が載置される第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有し、
前記第2搬送部材は、前記電子部品が載置される前記第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の搬送用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする。
前記電子部品が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、前記電子部品を載置して移動可能である搬送部と、
前記第1搬送部材から前記検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または、前記第2搬送部材から前記検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1搬送部材は、前記電子部品が載置される第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有し、
前記第2搬送部材は、前記電子部品が載置される前記第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の搬送用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする。
これにより、検査用凹部のピッチが互いに異なる第1検査部と第2検査部とが交換されても、その交換に容易に対応して、第1の把持部と第2の把持部との第1方向のピッチを変更することができる。これにより、例えば、把持搬送部を別途交換せずとも、共通の把持搬送部で、電子部品を目的の検査部(第1検査部または第2検査部)に正確に搬送することができる。また、電子部品に対する検査を第1検査部や第2検査部で行なうことができる。
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
<第1実施形態>
以下、図1〜図26を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向(第1の方向)」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向(第2の方向)」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向(第3の方向)」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。また、図1、図3および図10〜図24中(図28についても同様)の上側、すなわち、Z軸方向正側を「上」または「上方」、下側、すなわち、Z軸方向負側を「下」または「下方」と言うことがある。
以下、図1〜図26を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向(第1の方向)」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向(第2の方向)」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向(第3の方向)」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。また、図1、図3および図10〜図24中(図28についても同様)の上側、すなわち、Z軸方向正側を「上」または「上方」、下側、すなわち、Z軸方向負側を「下」または「下方」と言うことがある。
本発明の電子部品搬送装置10は、図1に示す外観を有するものである。この電子部品搬送装置10は、ハンドラーであり、ICデバイス90(電子部品)を検査可能な第1検査部または第2検査部が設置可能である。電子部品搬送装置10は、ICデバイス90(電子部品)が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、ICデバイス90(電子部品)を載置して移動可能である搬送部と、第1搬送部材から第1検査部へICデバイス90(電子部品)を把持して搬送可能である、または第2搬送部材から第2検査部へICデバイス90(電子部品)を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備える。第1検査部は、ICデバイス90(電子部品)が載置される第1の検査用凹部と、第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有している。第2検査部は、ICデバイス90(電子部品)が載置される第1の検査用凹部と、第1の検査用凹部から第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有している。第1搬送部材は、ICデバイス90(電子部品)が載置される第1の搬送用凹部と、第1の搬送用凹部から第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有している。第2搬送部材は、ICデバイス90(電子部品)が載置される第1の搬送用凹部と、第1の搬送用凹部から第2ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有している。把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、第1検査部および第1搬送部材が設置された場合に、第1の把持部と第2の把持部とのピッチを、第1ピッチに設定可能で、第2検査部および第2搬送部材が設置された場合に、第1の把持部と第2の把持部とのピッチを、第2ピッチに設定可能である。
本実施形態では、第1検査部および第2検査部のうちの一方の検査部は、検査部16α、検査部16β、検査部16γのいずれかとなり、他方の検査部は、残りの2つの検査部のいずれかとなる。
第1搬送部材は、第1方向にピッチが第1ピッチで離間して並べられており、ICデバイス90(電子部品)が載置される複数の凹部141(第1の搬送用凹部)を有している。第2搬送部材は、Y方向(第1方向)にピッチが第2ピッチで離間して並べられており、ICデバイス90(電子部品)が載置される複数の凹部141(第2の搬送用凹部)を有している。本実施形態では、第1搬送部材および第2搬送部材のうちの一方の搬送部材は、デバイス供給部14α、デバイス供給部14β、デバイス供給部14γのいずれかとなり、他方の搬送部材は、残りの2つのデバイス供給部のいずれかとなる。また、各搬送部材は、交換して載置可能なプレート(搬送治具)であり、図示しない駆動部により、Y方向に移動可能に支持されている。そして、この駆動部は、搬送部材をICデバイス90ごと搬送する搬送部を構成している。
把持搬送部は、ICデバイス90(電子部品)を把持する第1の把持部と、第1の把持部に対して第1方向に並べて配置され、ICデバイス90(電子部品)を把持する第2の把持部と、第1の把持部と第2の把持部とをY方向(第1方向)に相対的に移動可能であり、第1検査部配置状態のときに、第1の把持部と第2の把持部とのY方向(第1方向)のピッチを第1ピッチとし、第2検査部配置状態のときに、第1の把持部と第2の把持部との第1方向のピッチを第2ピッチとするピッチ変換機構部(一方向移動機構部)91Aと、を有している。
本実施形態では、把持搬送部は、デバイス搬送ヘッド17である。このデバイス搬送ヘッド17は、第1ハンドユニット9Aと、第2ハンドユニット9Bとを有している。そして、第1の把持部は、第1ハンドユニット9Aの把持部98であり、第2の把持部は、第2ハンドユニット9Bの把持部98である。
このような構成により、後述するように、凹部161(検査用凹部)のピッチが互いに異なる第1検査部と第2検査部とが交換されても、その交換に容易に対応して、第1の把持部と第2の把持部との第1方向のピッチを変更することができる。これにより、例えば、把持搬送部を別途交換せずとも、共通の把持搬送部で、ICデバイス90を目的の検査部(第1検査部または第2検査部)に正確に搬送することができる。
また、図2に示すように、本発明の電子部品検査装置1は、電子部品搬送装置10を有し、さらに、電子部品を検査する検査部16を有する。すなわち、本発明の電子部品検査装置1は、ICデバイス90(電子部品)を検査可能な第1検査部または第2検査部と、ICデバイス90(電子部品)が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、ICデバイス90(電子部品)を載置して移動可能である搬送部と、第1搬送部材から第1検査部へICデバイス90(電子部品)を把持して搬送可能である、または第2搬送部材から第2検査部へICデバイス90(電子部品)を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備える。第1検査部は、ICデバイス90(電子部品)が載置される第1の検査用凹部と、第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有している。第2検査部は、ICデバイス90(電子部品)が載置される第1の検査用凹部と、第1の検査用凹部から第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有している。第1搬送部材は、ICデバイス90(電子部品)が載置される第1の搬送用凹部と、第1の搬送用凹部から第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有している。第2搬送部材は、ICデバイス90(電子部品)が載置される第1の搬送用凹部と、第1の搬送用凹部から第2ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有している。把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、第1検査部および第1搬送部材が設置された場合に、第1の把持部と第2の把持部とのピッチを、第1ピッチに設定可能で、第2検査部および第2搬送部材が設置された場合に、第1の把持部と第2の把持部とのピッチを、第2ピッチに設定可能である。
このような構成により、前述した電子部品搬送装置10の利点を持つ電子部品検査装置1が得られる。また、ICデバイス90に対する検査を第1検査部や第2検査部で行なうことができる。
以下、各部の構成について詳細に説明する。
図1、図2に示すように、電子部品搬送装置10を有する電子部品検査装置1は、例えばBGA(Ball Grid Array)パッケージであるICデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験(以下単に「検査」と言う)する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。ICデバイス90は、本実施形態では平板状をなすものとなっている。また、ICデバイス90は、その下面に、平面視でマトリックス状に配置された複数の端子902を有している。各端子902は、例えば、半球状をなしている。
図1、図2に示すように、電子部品搬送装置10を有する電子部品検査装置1は、例えばBGA(Ball Grid Array)パッケージであるICデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験(以下単に「検査」と言う)する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。ICデバイス90は、本実施形態では平板状をなすものとなっている。また、ICデバイス90は、その下面に、平面視でマトリックス状に配置された複数の端子902を有している。各端子902は、例えば、半球状をなしている。
なお、ICデバイス90としては、前記のものの他に、例えば、「LSI(Large Scale Integration)」「CMOS(Complementary MOS)」「CCD(Charge Coupled Device)」や、ICデバイスを複数モジュールをパッケージ化した「モジュールIC」、また、「水晶デバイス」、「圧力センサー」、「慣性センサー(加速度センサー)」、「ジャイロセンサー」、「指紋センサー」等が挙げられる。
電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)は、トレイ供給領域A1と、デバイス供給領域A2と、検査領域A3と、デバイス回収領域A4と、トレイ除去領域A5とを備え、これらの領域は、後述するように各壁部で分けられている。そして、ICデバイス90は、トレイ供給領域A1からトレイ除去領域A5まで前記各領域を矢印α90方向に順に経由し、途中の検査領域A3で検査が行われる。このように電子部品検査装置1は、各領域を経由するようにICデバイス90を搬送する搬送部25を有する電子部品搬送装置10と、検査領域A3内で検査を行なう検査部16(第1検査部、第2検査部)と、制御部800とを備えたものとなっている。また、その他、電子部品検査装置1は、モニター300と、シグナルランプ400と、操作パネル700とを備えている。
また、電子部品検査装置1は、ICデバイス90の種類ごとに交換される「チェンジキット」と呼ばれるものを予め搭載して用いられる。このチェンジキットには、ICデバイス90(電子部品)が載置される載置部(電子部品載置部)がある。本実施形態の電子部品検査装置1では、この載置部は、複数の箇所に設置されており、例えば、後述する温度調整部12と、デバイス供給部14と、デバイス回収部18とがある。また、ICデバイス90(電子部品)が載置される載置部(電子部品載置部)には、前記のようなチェンジキットとは別に、ユーザーが用意するトレイ200と、回収用トレイ19と、その他、検査部16もある。
トレイ供給領域A1は、未検査状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が供給される給材部である。トレイ供給領域A1は、トレイ200を複数積み重ねて搭載可能な搭載領域と言うこともできる。なお、本実施形態では、各トレイ200には、複数の凹部(ポケット)が行列状に配置されている。各凹部には、ICデバイス90を1つずつ収納、載置することができる。
デバイス供給領域A2は、トレイ供給領域A1から搬送されたトレイ200上の複数のICデバイス90がそれぞれ検査領域A3まで搬送、供給される領域である。なお、トレイ供給領域A1とデバイス供給領域A2とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構11A、11Bが設けられている。トレイ搬送機構11Aは、搬送部25の一部であり、トレイ200を、当該トレイ200に載置されたICデバイス90ごとY方向の正側、すなわち、図2中の矢印α11A方向に移動させることができる。これにより、ICデバイス90を安定してデバイス供給領域A2に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構11Bは、空のトレイ200をY方向の負側、すなわち、図2中の矢印α11B方向に移動させることができる移動部である。これにより、空のトレイ200をデバイス供給領域A2からトレイ供給領域A1に移動させることができる。
デバイス供給領域A2には、温度調整部(ソークプレート(英語表記:soak plate、中国語表記(一例):均温板))12と、デバイス搬送ヘッド13と、トレイ搬送機構15とが設けられている。また、デバイス供給領域A2と検査領域A3とを跨ぐように移動するデバイス供給部14も設けられている。
温度調整部12は、複数のICデバイス90が載置される載置部であり、当該載置されたICデバイス90を一括して加熱または冷却することができる「ソークプレート」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部16で検査される前のICデバイス90を予め加熱または冷却して、当該検査(高温検査や低温検査)に適した温度に調整することができる。
このような載置部としての温度調整部12は、固定されている。これにより、当該温度調整部12上でのICデバイス90に対して安定して温度調整することができる。
また、温度調整部12は、グランドされて(接地されて)いる。
また、温度調整部12は、グランドされて(接地されて)いる。
図2に示す構成では、温度調整部12は、Y方向に2つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構11Aによってトレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200上のICデバイス90は、いずれかの温度調整部12まで搬送される。
デバイス搬送ヘッド13は、ICデバイス90を把持して搬送するものであり、デバイス供給領域A2内でX方向およびY方向に移動可能に支持され、さらにZ方向にも移動可能に支持されている。このデバイス搬送ヘッド13は、搬送部25の一部でもあり、トレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200と温度調整部12との間のICデバイス90の搬送と、温度調整部12と後述するデバイス供給部14との間のICデバイス90の搬送とを担うことができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド13のX方向の移動を矢印α13Xで示し、デバイス搬送ヘッド13のY方向の移動を矢印α13Yで示している。
デバイス供給部14は、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90が載置される載置部であり、当該ICデバイス90を検査部16近傍まで搬送することができる「供給用シャトルプレート」または単に「供給シャトル」と呼ばれるものである。このデバイス供給部14も、搬送部25の一部となり得る。このデバイス供給部14は、ICデバイス90が収納、載置される凹部141を有している(例えば図10参照)。
また、載置部としてのデバイス供給部14は、デバイス供給領域A2と検査領域A3との間をX方向、すなわち、矢印α14方向に沿って往復移動可能(移動可能)に支持されている。これにより、デバイス供給部14は、ICデバイス90をデバイス供給領域A2から検査領域A3の検査部16近傍まで安定して搬送することができ、また、検査領域A3でICデバイス90がデバイス搬送ヘッド17(ハンドユニット9)によって取り去られた後は再度デバイス供給領域A2に戻ることができる。
図2に示す構成では、デバイス供給部14は、Y方向に2つ配置されており、Y方向負側のデバイス供給部14を「デバイス供給部14A」と言い、Y方向正側のデバイス供給部14を「デバイス供給部14B」と言うことがある。そして、温度調整部12上のICデバイス90は、デバイス供給領域A2内でデバイス供給部14Aまたはデバイス供給部14Bまで搬送される。また、デバイス供給部14は、温度調整部12と同様に、当該デバイス供給部14に載置されたICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90に対して、その温度調整状態を維持して、検査領域A3の検査部16近傍まで搬送することができる。また、デバイス供給部14も、温度調整部12と同様に、グランドされている。
トレイ搬送機構15は、全てのICデバイス90が除去された状態の空のトレイ200をデバイス供給領域A2内でX方向の正側、すなわち、矢印α15方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、トレイ搬送機構11Bによってデバイス供給領域A2からトレイ供給領域A1に戻される。
検査領域A3は、ICデバイス90を検査する領域である。この検査領域A3には、ICデバイス90に対して検査を行なう検査部16と、デバイス搬送ヘッド17とが設けられている。
デバイス搬送ヘッド17は、搬送部25の一部であり、温度調整部12と同様に、把持したICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。このデバイス搬送ヘッド17は、後述するように、ICデバイス90(電子部品)を把持するハンドユニット9(把持部)を有している。これにより、前記温度調整状態が維持されたICデバイス90を把持して、前記温度調整状態を維持したまま、ICデバイス90を検査領域A3内で搬送することができる。
このようなデバイス搬送ヘッド17は、検査領域A3内でY方向およびZ方向に往復移動可能に支持され、「インデックスアーム」と呼ばれる機構の一部となっている。これにより、デバイス搬送ヘッド17は、デバイス供給領域A2から搬入されたデバイス供給部14から、ICデバイス90を持ち上げて、検査部16上に搬送し、載置することができる。
なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド17のY方向の往復移動を矢印α17Yで示している。また、デバイス搬送ヘッド17は、Y方向に往復移動可能に支持されているが、これに限定されず、X方向にも往復移動可能に支持されていてもよい。また、図2に示す構成では、デバイス搬送ヘッド17は、Y方向に2つ配置されており、Y方向負側のデバイス搬送ヘッド17を「デバイス搬送ヘッド17A」と言い、Y方向正側のデバイス搬送ヘッド17を「デバイス搬送ヘッド17B」と言うことがある。デバイス搬送ヘッド17Aは、検査領域A3内で、ICデバイス90のデバイス供給部14Aから検査部16への搬送を担うことができ、デバイス搬送ヘッド17Bは、検査領域A3内で、ICデバイス90のデバイス供給部14Bから検査部16への搬送を担うことができる。
検査部16(ソケット)は、電子部品であるICデバイス90を載置して、当該ICデバイス90の電気的特性を検査する載置部(電子部品載置部)である。この検査部16は、ICデバイス90が収納、載置される凹部161を有し、その凹部161の底部に、複数のプローブピン(図示せず)が設けられている。そして、ICデバイス90の端子902とプローブピンとが導電可能に接続される、すなわち、接触することにより、ICデバイス90の検査を行なうことができる。ICデバイス90の検査は、検査部16に接続されるテスターが備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。
このような検査部16は、温度調整部12と同様に、ICデバイス90を加熱または冷却して、当該ICデバイス90を検査に適した温度に調整することができる。
前述したように、検査部16は、ICデバイス90の種類ごとに交換される。例えば、本実施形態では、検査部16として、図4に示す検査部16αと、図6に示す検査部16βと、図8に示す検査部16γとがある。
図4に示すように、検査部16αは、4つの凹部161を有している。これら4つの凹部161は、X方向に2つ、Y方向に2つずつマトリックス状(行列状)に配置されている。この検査部16αでは、X方向に配置された2つの凹部161同士は、ピッチX16αで離間している。また、Y方向に配置された2つの凹部161同士は、ピッチY16αで離間している。
図6に示すように、検査部16βは、4つの凹部161を有している。これら4つの凹部161は、X方向に2つ、Y方向に2つずつマトリックス状(行列状)に配置されている。この検査部16βでは、X方向に配置された2つの凹部161同士は、ピッチX16βで離間している。また、Y方向に配置された2つの凹部161同士は、ピッチY16βで離間している。
図8に示すように、検査部16γは、4つの凹部161を有している。これら4つの凹部161は、X方向に2つ、Y方向に2つずつマトリックス状(行列状)に配置されている。この検査部16γでは、X方向に配置された2つの凹部161同士は、ピッチX16γで離間している。また、Y方向に配置された2つの凹部161同士は、ピッチY16γで離間している。
本実施形態では、ピッチX16αと、ピッチX16βと、ピッチX16γとは、大きさが同じである。
また、ピッチY16αと、ピッチY16βと、ピッチY16γとは、大きさが異なっている。本実施形態では、「ピッチY16α<ピッチY16β<ピッチY16γ」となっている。
なお、「ピッチ」とは、凹部161同士の中心間距離とするのが好ましいが、これに限定されず、例えば、共通の特徴を有する特徴点(例えば、切欠き部)を抽出して、この特徴点の間の距離とすることもできる(以降の「ピッチ」についても同様)。
検査領域A3には、これらの検査部16を交換して配置することができる。そして、先に配置される方の検査部16を「第1検査部」と言い、検査部16の後に配置される方の検査部16を「第2検査部」と言うことができる。また、第1検査部の凹部161を「第1の検査用凹部」と言い、第2検査部の凹部161を「第2の検査用凹部」と言うこともできる。また、Y方向(第1方向)に離間して並べられた第1の検査用凹部同士のピッチを「第1ピッチ」と言い、Y方向(第1方向)に離間して並べられた第2の検査用凹部同士のピッチを「第2ピッチ」と言うことができる。
例えば、あるICデバイスの検査に対応した検査部16αを配置して試験を行ない、その後、別のICデバイスを検査するために、検査部16βに交換して試験を行なうことができる。この場合、検査部16αが第1検査部となり、検査部16βが第2検査部となる。
また、あるICデバイスの検査に対応した検査部16αを配置して試験を行ない、その後、別のICデバイスを検査するために、検査部16γに交換して試験を行なうことができる。この場合、検査部16αが第1検査部となり、検査部16γが第2検査部となる。
また、あるICデバイスの検査に対応した検査部16βを配置して試験を行ない、その後、別のICデバイスを検査するために、検査部16αに交換して試験を行なうことができる。この場合、検査部16βが第1検査部となり、検査部16βが第2検査部となる。
また、あるICデバイスの検査に対応した検査部16βを配置して試験を行ない、その後、別のICデバイスを検査するために、検査部16γに交換して試験を行なうことができる。この場合、検査部16βが第1検査部となり、検査部16γが第2検査部となる。
また、あるICデバイスの検査に対応した検査部16γを配置して試験を行ない、その後、別のICデバイスを検査するために、検査部16αに交換して試験を行なうことができる。この場合、検査部16γが第1検査部となり、検査部16αが第2検査部となる。
また、あるICデバイスの検査に対応した検査部16γを配置して試験を行ない、その後、別のICデバイスを検査するために、検査部16βに交換して試験を行なうことができる。この場合、検査部16γが第1検査部となり、検査部16βが第2検査部となる。
デバイス回収領域A4は、検査領域A3で検査され、その検査が終了した複数のICデバイス90が回収される領域である。このデバイス回収領域A4には、回収用トレイ19と、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構21とが設けられている。また、検査領域A3とデバイス回収領域A4とを跨ぐように移動するデバイス回収部18も設けられている。また、デバイス回収領域A4には、空のトレイ200も用意されている。
デバイス回収部18は、検査部16で検査が終了したICデバイス90が載置され、当該ICデバイス90をデバイス回収領域A4まで搬送することができる載置部であり、「回収用シャトルプレート」または単に「回収シャトル」と呼ばれる。このデバイス回収部18も、搬送部25の一部となり得る。
また、デバイス回収部18は、検査領域A3とデバイス回収領域A4との間をX方向、すなわち、矢印α18方向に沿って往復移動可能に支持されている。また、図2に示す構成では、デバイス回収部18は、デバイス供給部14と同様に、Y方向に2つ配置されており、Y方向負側のデバイス回収部18を「デバイス回収部18A」と言い、Y方向正側のデバイス回収部18を「デバイス回収部18B」と言うことがある。そして、検査部16上のICデバイス90は、デバイス回収部18Aまたはデバイス回収部18Bに搬送され、載置される。なお、ICデバイス90の検査部16からデバイス回収部18Aへの搬送は、デバイス搬送ヘッド17Aが担い、検査部16からデバイス回収部18Bへの搬送は、デバイス搬送ヘッド17Bが担う。また、デバイス回収部18も、温度調整部12やデバイス供給部14と同様に、グランドされている。
また、検査部16と同様に、デバイス供給部14やデバイス回収部18も、ICデバイス90の種類ごとに交換される。デバイス供給部14と、デバイス回収部18とは、配置箇所が異なること以外は、ICデバイス90が載置される凹部については、同じ配置態様であるので、デバイス供給部14(デバイス供給部14A)について代表的に説明する。
本実施形態では、デバイス供給部14Aとして、図10〜図14に示すデバイス供給部14αと、図15〜図19に示すデバイス供給部14βと、図20〜図24に示すデバイス供給部14γとがある。
デバイス供給部14αは、4つの凹部141を有している。これら4つの凹部141は、X方向に2つ、Y方向に2つずつマトリックス状(行列状)に配置されている。このデバイス供給部14αでは、X方向に配置された2つの凹部161同士は、ピッチX16αと同じピッチで離間している。また、図10(図11〜図14についても同様)に示すように、Y方向に配置された2つの凹部161同士は、ピッチY16αと同じピッチY14αで離間している。そして、デバイス供給部14αは、検査領域A3に検査部16αが配置された状態のときに、ICデバイス90を検査領域A3まで搬送する。
デバイス供給部14βは、4つの凹部141を有している。これら4つの凹部141は、X方向に2つ、Y方向に2つずつマトリックス状(行列状)に配置されている。このデバイス供給部14βでは、X方向に配置された2つの凹部161同士は、ピッチX16βと同じピッチで離間している。また、図15(図16〜図19についても同様)に示すように、Y方向に配置された2つの凹部161同士は、ピッチY16βと同じピッチY14βで離間している。そして、デバイス供給部14βは、検査領域A3に検査部16βが配置された状態のときに、ICデバイス90を検査領域A3まで搬送する。
デバイス供給部14γは、4つの凹部141を有している。これら4つの凹部141は、X方向に2つ、Y方向に2つずつマトリックス状(行列状)に配置されている。このデバイス供給部14γでは、X方向に配置された2つの凹部161同士は、ピッチX16γと同じピッチで離間している。また、図20(図21〜図24についても同様)に示すように、Y方向に配置された2つの凹部161同士は、ピッチY16γと同じピッチY14γで離間している。そして、デバイス供給部14γは、検査領域A3に検査部16γが配置された状態のときに、ICデバイス90を検査領域A3まで搬送する。
このようなデバイス供給部14α、デバイス供給部14β、デバイス供給部14γは、検査部16α、検査部16β、検査部16γのうちのいずれかが「第1検査部」であるかまたは「第2検査部」に応じて、「第1搬送部材」、「第2搬送部材」と言うことができる。「第1搬送部材」とは、検査領域A3に第1検査部が配置された第1検査部配置状態のときに、ICデバイス90(電子部品)を検査領域A3まで搬送するデバイス供給部14のことを言う。「第2搬送部材」とは、検査領域A3に第2検査部が配置された第2検査部配置状態のときに、ICデバイス90(電子部品)を検査領域A3まで搬送するデバイス供給部14のことを言う。また、第1搬送部材の凹部141を「第1の搬送用凹部」と言い、第2搬送部材の凹部141を「第2の検査用凹部」と言う。
例えば、検査部16αが第1検査部の場合、デバイス供給部14αが第1搬送部材となる。このデバイス供給部14αでは、Y方向(第1方向)に離間して並べられた第1の検査用凹部同士のピッチY14αが「第1ピッチ」となる。
また、検査部16αが第2検査部の場合、デバイス供給部14αが第2搬送部材となる。このデバイス供給部14αでは、Y方向(第1方向)に離間して並べられた第2の検査用凹部同士のピッチY14αが「第2ピッチ」となる。
また、検査部16βが第1検査部の場合、デバイス供給部14βが第1搬送部材となる。このデバイス供給部14βでは、Y方向(第1方向)に離間して並べられた第1の検査用凹部同士のピッチY14βが「第1ピッチ」となる。
また、検査部16βが第2検査部の場合、デバイス供給部14βが第2搬送部材となる。このデバイス供給部14βでは、Y方向(第1方向)に離間して並べられた第2の検査用凹部同士のピッチY14βが「第2ピッチ」となる。
また、検査部16γが第1検査部の場合、デバイス供給部14γが第1搬送部材となる。このデバイス供給部14γでは、Y方向(第1方向)に離間して並べられた第1の検査用凹部同士のピッチY14γが「第1ピッチ」となる。
また、検査部16γが第2検査部の場合、デバイス供給部14γが第2搬送部材となる。このデバイス供給部14γでは、Y方向(第1方向)に離間して並べられた第2の検査用凹部同士のピッチY14γが「第2ピッチ」となる。
回収用トレイ19は、検査部16で検査されたICデバイス90が載置される載置部であり、デバイス回収領域A4内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド20等の各種可動部が比較的多く配置されたデバイス回収領域A4であっても、回収用トレイ19上では、検査済みのICデバイス90が安定して載置されることとなる。なお、図2に示す構成では、回収用トレイ19は、X方向に沿って3つ配置されている。
また、空のトレイ200も、X方向に沿って3つ配置されている。この空のトレイ200も、検査部16で検査されたICデバイス90が載置される載置部となる。そして、デバイス回収領域A4に移動してきたデバイス回収部18上のICデバイス90は、回収用トレイ19および空のトレイ200のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ICデバイス90は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
デバイス搬送ヘッド20は、デバイス回収領域A4内でX方向およびY方向に移動可能に支持され、さらにZ方向にも移動可能な部分を有している。このデバイス搬送ヘッド20は、搬送部25の一部であり、ICデバイス90をデバイス回収部18から回収用トレイ19や空のトレイ200に搬送することができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド20のX方向の移動を矢印α20Xで示し、デバイス搬送ヘッド20のY方向の移動を矢印α20Yで示している。
トレイ搬送機構21は、トレイ除去領域A5から搬入された空のトレイ200をデバイス回収領域A4内でX方向、すなわち、矢印α21方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、ICデバイス90が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記3つの空のトレイ200のうちのいずれかとなり得る。
トレイ除去領域A5は、検査済み状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域A5では、多数のトレイ200を積み重ねることができる。
また、デバイス回収領域A4とトレイ除去領域A5とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつY方向に搬送するトレイ搬送機構22A、トレイ搬送機構22Bが設けられている。トレイ搬送機構22Aは、搬送部25の一部であり、トレイ200をY方向、すなわち、矢印α22A方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、検査済みのICデバイス90をデバイス回収領域A4からトレイ除去領域A5に搬送することができる。また、トレイ搬送機構22Bは、ICデバイス90を回収するための空のトレイ200をY方向の正側、すなわち、矢印α22B方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ200をトレイ除去領域A5からデバイス回収領域A4に移動させることができる。
制御部800は、少なくとも1つのプロセッサーを有し、このプロセッサーが各種の判断や各種の命令等を行なう。制御部800(プロセッサー)は、例えば、トレイ搬送機構11Aと、トレイ搬送機構11Bと、温度調整部12と、デバイス搬送ヘッド13と、デバイス供給部14と、トレイ搬送機構15と、検査部16と、デバイス搬送ヘッド17と、デバイス回収部18と、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構21と、トレイ搬送機構22Aと、トレイ搬送機構22Bの作動を制御することができる。
オペレーターは、モニター300を介して、電子部品検査装置1の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター300は、例えば液晶画面で構成された表示画面301を有し、電子部品検査装置1の正面側上部に配置されている。図1に示すように、トレイ除去領域A5の図中の右側には、マウスを載置するマウス台600が設けられている。このマウスは、モニター300に表示された画面を操作する際に用いられる。
また、モニター300に対して図1の右下方には、操作パネル700が配置されている。操作パネル700は、モニター300とは別に、電子部品検査装置1に所望の動作を命令するものである。
また、シグナルランプ400は、発光する色の組み合わせにより、電子部品検査装置1の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ400は、電子部品検査装置1の上部に配置されている。なお、電子部品検査装置1には、スピーカー500が内蔵されており、このスピーカー500によっても電子部品検査装置1の作動状態等を報知することもできる。
電子部品検査装置1は、トレイ供給領域A1とデバイス供給領域A2との間が第1隔壁231によって区切られており、デバイス供給領域A2と検査領域A3との間が第2隔壁232によって区切られており、検査領域A3とデバイス回収領域A4との間が第3隔壁233によって区切られており、デバイス回収領域A4とトレイ除去領域A5との間が第4隔壁234によって区切られている。また、デバイス供給領域A2とデバイス回収領域A4との間も、第5隔壁235によって区切られている。
電子部品検査装置1は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー241、サイドカバー242、サイドカバー243、リアカバー244、トップカバー245がある。
次に、デバイス搬送ヘッド17の詳細な構成について説明する。前述したように、デバイス搬送ヘッド17には、デバイス搬送ヘッド17Aとデバイス搬送ヘッド17Bとがある。デバイス搬送ヘッド17Aとデバイス搬送ヘッド17Bとは、配置箇所が異なること以外は、同じ構成であるため、以下、デバイス搬送ヘッド17Aについて代表的に説明する。
デバイス搬送ヘッド17Aは、検査領域A3内で、第1搬送部材(デバイス供給部14)から第1検査部(検査部16)へ、または、第2搬送部材(デバイス供給部14)から第2検査部(検査部16)へ、ICデバイス90(電子部品)を搬送する把持搬送部である。
図5、図7、図9に示すように、デバイス搬送ヘッド17は、4つのハンドユニット9と、4つのハンドユニットを連結する連結部171とを有している。これらのハンドユニット9は、X方向に2つ、Y方向に2つずつマトリックス状(行列状)に配置されている。以下、Y方向負側に配置されているハンドユニット9を「第1ハンドユニット9A」と言い、Y方向正側に配置されているハンドユニット9を「第2ハンドユニット9B」と言うことがある。従って、第2ハンドユニット9Bは、第1ハンドユニット9Aに対してY方向(第1方向)正側に並べて配置されたハンドユニット9である。
なお、ハンドユニット9の配置数および配置態様(X方向にいくつ配置され、Y方向にいくつ配置されているか)については、図5、図7、図9に示すものに限定されない。
図3に示すように、ハンドユニット9は、基部94と、基部94に支持され、基部94に対してX方向に往復移動可能な第1移動部95と、第1移動部95に支持され、第1移動部95に対してY方向に往復移動可能な第2移動部96と、第2移動部96に支持され、第2移動部96に対してZ軸回りに回動(回転)可能な回動部(回転部)97と、回動部97に設けられたシャフト99と、シャフト99に固定された把持部98と、第1移動部95を基部94に対して移動させる第1圧電アクチュエーター911と、第2移動部96を第1移動部95に対して移動させる第2圧電アクチュエーター912と、回動部97を第2移動部96に対して回動させる第3圧電アクチュエーター(回動部用圧電アクチュエーター)913とを有している。
基部94は、Z方向に厚みを有する板状をなす板状部941と、板状部941の下面に設けられ、第1移動部95をX方向へ案内するための係合部942および係合部943とを有している。係合部942および係合部943は、それぞれ、X方向に延在しており、また、互いにY方向に離間している。係合部942および係合部943の構成は、特に限定されないが、本実施形態では、それぞれ、後述するレール952およびレール953の長手方向に開放する溝を有している。言い換えれば、係合部942および係合部943は、図3中の下方に開放する長尺の溝を有する長尺部で構成されている。
また、基部94は、板状部941からZ方向負側に向けて延出し、第1圧電アクチュエーター911と当接する当接部947を有している。当接部947は、第2移動部96まで伸びており、第1移動部95および第2移動部96に対してY方向に並ぶように設けられている。また、当接部947の下面947aは、X方向に延在しており、この下面947aに第1圧電アクチュエーター911の凸部911a(上端部)が当接している。下面947aの表面には、凸部911aとの間の摩擦抵抗を高めるための処理を施したり、高摩擦層を形成したりするのが好ましい。
第1移動部95は、基部951と、基部951に設けられ、基部94の係合部942に係合するレール952と、基部951に設けられ、基部94の係合部943に係合するレール953とを有している。これにより、第1移動部95のX方向以外への移動が規制され、第1移動部95が円滑かつ確実にX方向に移動する。
また、第1移動部95は、基部951からZ方向負側に向けて延出し、第1圧電アクチュエーター911が固定された第1固定部954を有している。第1固定部954は、XZ平面に広がりを有し、Y方向に厚みを有する板状をなしており、第2移動部96(基部961)に対してY方向に並ぶように設けられている。そして、第1固定部954の表面に第1圧電アクチュエーター911が固定されている。
第1圧電アクチュエーター911は、板状をなしており、Y方向を厚さとするように第1固定部954に固定されている。第1圧電アクチュエーター911をこのように配置することにより、第1圧電アクチュエーター911の外方への過度な突出を抑えることができ、ハンドユニット9の小型化を図ることができる。
また、第1移動部95は、基部951からZ方向負側に向けて延出し、第2圧電アクチュエーター912が固定された第2固定部(図示せず)を有している。この第2固定部は、YZ平面に広がりを有し、X方向に厚みを有する板状をなしており、第2移動部96(基部961)に対してX方向に並ぶように設けられている。そして、第2固定部の裏面に第2圧電アクチュエーター912が固定されている。
第2圧電アクチュエーター912は、板状をなしており、X方向を厚さとするように前記第2固定部に固定されている。第2圧電アクチュエーター912をこのように配置することにより、第2圧電アクチュエーター912の外方への突出を抑えることができ、ハンドユニット9の小型化を図ることができる。また、第2圧電アクチュエーター912の上端部は、第2移動部96に下側から当接している。
また、第1移動部95は、第2移動部96をY方向へ案内するための係合部(案内部)956を有している。係合部956は、Y方向に延在している。係合部956の構成は特に限定されないが、本実施形態では、後述するレール963の長手方向に開放する溝を有している。言い換えれば、係合部956は、図3中の下方に開放する長尺の溝を有する長尺部で構成されている。
第2移動部96は、柱状の基部961と、基部961に設けられ、第1移動部95の係合部956に係合するレール963とを有している。これにより、第2移動部96のY方向以外への移動が規制され、第2移動部96が円滑かつ確実にY方向に移動する。
また、第2移動部96の基部961には、他の部分よりも凹没した面961aが形成されており、この面961aに回動部97を回動させるための第3圧電アクチュエーター913が固定されている。面961aは、YZ平面で構成されており、板状の第3圧電アクチュエーター913は、X方向を厚さとするように、面961aに固定されている。このように第3圧電アクチュエーター913を配置することにより、第3圧電アクチュエーター913の外方への過度な突出を抑制できるため、ハンドユニット9の小型化を図ることができる。
ハンドユニット9では、以上のような構成の第1移動部95と第2移動部96とにより、位置調整機構92が構成されている。位置調整機構92は、把持部98に保持されたICデバイス90(電子部品)をZ方向(鉛直方向)と直行する方向、すなわち、X方向とY方向とに移動させるものである。X方向への移動は、第1移動部95が担い、Y方向への移動は、第2移動部96が担う。これにより、Y方向およびZ方向に往復移動可能に支持されたデバイス搬送ヘッド17の中でも、ICデバイス90のX方向、Y方向の位置をそれぞれ独立して微調整することができる。
第2移動部96の下方(Z方向負側)には、回動部97が位置している。回動部97は、第2移動部96の基部961の下端に固定された管状の支持部971を有している。この支持部971の内側には、例えば、支持部971と同軸的に設けられ、シャフト99が挿通した回動体(図示せず)や、回動体を支持部971に対して回動可能に支持するベアリング(図示せず)等が配置されている。
また、前記回動体には、その回動軸から偏心した位置に、第3圧電アクチュエーター913の凸部913aが当接している。そして、第3圧電アクチュエーター913の駆動によって、前記回動体が支持部971(第2移動部96)に対して回動する。
ハンドユニット9では、以上のような構成の回動部97により、姿勢調整機構93が構成されている。姿勢調整機構93は、把持部98に保持されたICデバイス90(電子部品)をZ軸(鉛直軸)回りに回動させるものである。これにより、Y方向およびZ方向に往復移動可能に支持されたデバイス搬送ヘッド17の中でも、ICデバイス90の姿勢、すなわち、Z軸回りの向きを独立して微調整することができる。
このように、ハンドユニット9(把持部)は、ICデバイス90(電子部品)の位置を調整する位置調整機構92と、ICデバイス90(電子部品)の姿勢を調整する姿勢調整機構93とを有している。これにより、後述するように、ICデバイス90を検査部16に載置する際、ICデバイス90の位置と姿勢との双方を必要に応じて適宜微調することができ、よって、その載置を正確に行なうことができる。
シャフト99は、基部94の板状部941まで延在している。基部94には、倣い機構(コンプライアンス機構)948が内蔵されている。シャフト99は、倣い機構948に連結されている。これにより、シャフト99の姿勢は、シャフト99が受ける外力に倣うことができる。
シャフト99の下端には、ICデバイス90を保持する把持部98が配置されている。この把持部98は、シャフト99を介して回動部97に支持されており、前記回動体と一体的に、第2移動部96に対して回動することができる。
第1ハンドユニット9Aでは、把持部98は、ICデバイス90(電子部品)を把持する第1の把持部となる。また、第2ハンドユニット9Bでは、把持部98は、ICデバイス90(電子部品)を把持する第2の把持部となる。
把持部98は、ICデバイス90と対向する吸着面981と、吸着面981に開放する吸着孔982と、吸着孔982内を減圧する減圧ポンプ983とを有している。吸着孔982を塞ぐように吸着面981をICデバイス90に接触させた状態にて、減圧ポンプ983によって吸着孔982内を減圧すると、吸着面981にICデバイス90を吸着して把持することができる。反対に、減圧ポンプ983を停止し吸着孔982内を解放すれば、ICデバイス90を放すことができる。
第1圧電アクチュエーター911、第2圧電アクチュエーター912、第3圧電アクチュエーター913としては、例えば、短冊状の圧電素子を有する構成のものを用いることができる。圧電素子は、交流電圧を印加することにより、その長手方向に伸縮する。そして、この伸縮動作を利用して、第1移動部95を基部94に対して移動させたり、第2移動部96を第1移動部95に対して移動さたり、回動部97を第2移動部96に対して回動させたりすることができる。なお、圧電素子の構成材料としては、特に限定されず、チタン酸ジルコニウム酸鉛(PZT)、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の各種のものを用いることができる。
前述したように、検査部16は、ICデバイス90の種類に応じて、ピッチY16α、ピッチY16βまたはピッチY16γのものに交換される。また、デバイス供給部14(デバイス回収部18についても同様)も、ICデバイス90の種類に応じて、ピッチY14α、ピッチY14βまたはピッチY14γのものに交換される。そして、デバイス搬送ヘッド17では、この交換に伴って、第1ハンドユニット9Aの把持部98と第2ハンドユニット9Bの把持部98とのY方向のピッチを、ピッチY9α、ピッチY9β、ピッチY9γのいずれかに変更することができる。以下、このような変更を「Y方向ピッチ変換(以下単に「ピッチ変換」)」と言う。
なお、図10〜図14では、「ピッチY16α=ピッチY14α=ピッチY9α」である。図15〜図19では、「ピッチY16β=ピッチY14β=ピッチY9β」である。図20〜図24では、「ピッチY16γ=ピッチY14γ=ピッチY9γ」である。
デバイス搬送ヘッド17は、ピッチ変換を行なうピッチ変換機構部(一方向移動機構部)91Aを有している。ピッチ変換機構部91Aは、第1ハンドユニット9Aの第2移動部96および第2圧電アクチュエーター912と、第2ハンドユニット9Bの第2移動部96および第2圧電アクチュエーター912とで構成されている。これにより、第1ハンドユニット9Aの把持部98(第1の把持部)と第2ハンドユニット9Bの把持部98(第2の把持部)とをY方向(第1方向)に相対的に移動させる、すなわち、双方の把持部98の間の中央部を中心として互いに接近離間させることができる。
そして、検査領域A3に第1検査部が配置された第1検査部配置状態のときに、第1ハンドユニット9Aの把持部98と第2ハンドユニット9Bの把持部98とのY方向(第1方向)のピッチ(ピッチY9α、ピッチY9β、ピッチY9γ)を「第1ピッチ」とすることができる。
また、検査領域A3に第2検査部が配置された第2検査部配置状態のときに、第1ハンドユニット9Aの把持部98と第2ハンドユニット9Bの把持部98とのY方向(第1方向)のピッチ(ピッチY9α、ピッチY9β、ピッチY9γ)を「第2ピッチ」とすることができる。
図25に示すように、第1ハンドユニット9Aの把持部98と第2ハンドユニット9Bの把持部98とがY方向に最大に離間可能なピッチを最大ピッチY9maxとした場合(つまり、(1)第1ハンドユニット9Aの把持部98と第2ハンドユニット9Bの把持部98とがY方向に最大に接近可能なピッチ(または最小に離間可能なピッチ)と、(2)第1ハンドユニット9Aの把持部98が移動できる一方の端から同把持部98が移動できる他方の端までの距離(フルストローク)と、(3)第2ハンドユニット9Bの把持部98が移動できる一方の端から同把持部98が移動できる他方の端までの距離(フルストローク)と、の3つを足し合わせたもの)、最大ピッチY9maxのうち、一部をピッチY9α、ピッチY9β、ピッチY9γに用い、残りを把持部98の微調整ΔY9に用いることができる。
また、別の観点から表現すれば、第1ハンドユニット9A、9Bの把持部98の所定位置(例えば、検査部16や搬送部25等の凹部中心にあたる位置)から、同把持部98の移動できる一方端までの距離のうち、一部をピッチY9α、ピッチY9β、ピッチY9γに用い、残りを把持部98の微調整ΔY9に用いることができる。例えば、所定位置から端まで±3mm移動できる場合は(フルストロークは6mm)、3mmのうち一部をピッチY9α、ピッチY9β、ピッチY9γに用い、残りを把持部98の微調整ΔY9に用いることができる。
また、ピッチ変換機構部(一方向移動機構部)91Aを構成する第2圧電アクチュエーター912は、前述したように、電圧を印加することにより伸縮する圧電素子を有している。この圧電素子の伸縮動作を利用して、第2移動部96をY方向に容易に移動させることができ、よって、ピッチ変換を円滑かつ迅速に行なうことができる。
前述したように、デバイス搬送ヘッド17A(把持搬送部)は、Y方向(第1方向)と交差するX方向(第2方向)に2つ(複数)の第1ハンドユニット9Aの把持部98(第1の把持部)と、2つ(複数)の第2ハンドユニット9Bの把持部98(第2の把持部)とを有している。
また、デバイス搬送ヘッド17Aは、X方向に隣り合う第1ハンドユニット9Aの把持部98同士のX方向のピッチを、ピッチX9α、ピッチX9β、ピッチX9γのいずれかに変更することができる(第2ハンドユニット9Bについても同様)。以下、このような変更を「X方向ピッチ変換」と言う。
そして、デバイス搬送ヘッド17A(把持搬送部)は、Y方向(第1方向)と交差するX方向(第2方向)に、2つ(複数)の第1ハンドユニット9Aの把持部98(第1の把持部)と、2つ(複数)の第2ハンドユニット9Bの把持部98(第2の把持部)とをそれぞれ相対的に移動可能な、すなわち、X方向ピッチ変換可能なピッチ変換機構部(第2方向移動機構部)91Bを有している。このピッチ変換機構部91Bは、第1ハンドユニット9Aの第1移動部95および第1圧電アクチュエーター911と、第2ハンドユニット9Bの第1移動部95および第1圧電アクチュエーター911とで構成されている。
このような構成のピッチ変換機構部91Bにより、ICデバイス90の種類に応じて、検査部16が、互いに大きさが異なるピッチX16α、ピッチX16β、ピッチX16γのものに交換されたとしても、ピッチX9α、ピッチX9β、ピッチX9γに変更することができる。なお、「ピッチX16α=ピッチX9α」である。「ピッチX16β=ピッチX9β」である。「ピッチX16γ=ピッチX9γ」である。
電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)は、「第1ピッチ」および「第2ピッチ」に関する距離情報(情報)を入力する入力部を備えている。この入力部としての機能を、本実施形態では、例えば、モニター300が有している。モニター300には、距離情報を入力する画面が表示される。そして、例えば、マウスを用いて、この画面に距離情報を入力する操作を行なうことができる。これにより、距離情報を適宜変更することができる。
また、ピッチ変換機構部(一方向移動機構部)91Aは、距離情報(情報)に基づいて、第1ハンドユニット9Aの把持部98(第1の把持部)と第2ハンドユニット9Bの把持部98(第2の把持部)をY方向(第1方向)に相対的に移動させる、すなわち、ピッチ変換を行なうことができる。これにより、ピッチ変換が自動的に行なわれる。
次に、距離情報が入力されてからピッチ変換が自動的に行なわれるまでの制御プログラムを図26のフローチャートに基づいて説明する。
モニター300を介して距離情報が入力された判断されたら(ステップS101)、第1ハンドユニット9Aおよび第2ハンドユニット9Bをそれぞれ原点に移動させる(ステップS102)。次いで、ピッチ変換機構部91Aを作動させて、距離情報の数値の分だけ、Y方向のピッチ変換を行なう(ステップS103)。
また、第1ハンドユニット9Aの原点としては、例えば、第1ハンドユニット9Aの移動限界となるストッパーに第1ハンドユニット9Aが当接する位置とすることができる。同様に、第2ハンドユニット9Bの原点としても、例えば、第2ハンドユニット9Bの移動限界となるストッパーに第2ハンドユニット9Bが当接する位置とすることができる。
また、ステップS102では、原点への移動が不十分の場合、その移動が十分となるまで、原点へ移動する動作を複数回繰り返してもよい。
また、ステップS103の後に、必要であれば、ピッチ変換機構部91Bを作動させて、X方向のピッチ変換を行なってもよい。
次に、検査領域A3内で、デバイス搬送ヘッド17AがICデバイス90をデバイス供給部14から検査部16まで搬送して、ICデバイス90に対する検査が可能な状態となるまでの動作(一例)について、図10〜図24を参照して説明する。なお、ここでは、Y方向のピッチ変換を例に挙げて説明するが、X方向のピッチ変換が必要な場合には、このX方向のピッチ変換をY方向のピッチ変換と同様に行なうことができる。
図10に示すように、電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)には、検査部16として検査部16α、デバイス供給部14Aとしてデバイス供給部14αが設置されている。検査部16αのピッチY16αと、デバイス供給部14αのピッチY14αとは、同じである。また、デバイス供給部14αの各凹部141には、ICデバイス90が収納されている。
デバイス搬送ヘッド17Aは、第1ハンドユニット9Aと第2ハンドユニット9BとがピッチY9αで離間している。ピッチY9αは、ピッチY16αやピッチY14αと同じである。また、第1ハンドユニット9Aは、デバイス供給部14αの図10中の右側(Y方向負側)の凹部141の直上にあり、この凹部141に第1ハンドユニット9Aの把持部98が臨んだ状態となっている。一方、第2ハンドユニット9Bは、デバイス供給部14αの図10中の左側(Y方向正側)の凹部141の直上にあり、この凹部141に第2ハンドユニット9Bの把持部98が臨んだ状態となっている。
次いで、図11に示すように、デバイス供給部14Aの各凹部141に載置されたICデバイス90に、第1ハンドユニット9Aおよび第2ハンドユニット9Bの各把持部98が当接するまで、デバイス搬送ヘッド17Aを下降させる。これにより、各把持部98にICデバイス90を把持させることができる。
次いで、図12に示すように、デバイス搬送ヘッド17Aを、図10中のデバイス搬送ヘッド17Aと同じ高さまで上昇させる。
次いで、図13に示すように、ピッチY9αを維持したまま、デバイス搬送ヘッド17AをY方向正側、すなわち、検査部16α側に移動させて、検査部16αの直上で停止させる。このとき、第1ハンドユニット9Aは、検査部16αの図13中の右側(Y方向負側)の凹部161の直上にあり、この凹部161に、第1ハンドユニット9Aの把持部98に把持されたICデバイス90が臨んだ状態となっている。一方、第2ハンドユニット9Bは、検査部16αの図13中の左側(Y方向正側)の凹部161の直上にあり、この凹部161に、第2ハンドユニット9Bの把持部98に把持されたICデバイス90が臨んだ状態となっている。
次いで、図14に示すように、デバイス搬送ヘッド17Aを下降させる。これにより、第1ハンドユニット9Aの把持部98に把持されたICデバイス90は、それに対応する凹部161と導電可能に接続されることとなり、よって、このICデバイス90に対する検査が可能となる。同様に、第2ハンドユニット9Bの把持部98に把持されたICデバイス90も、それに対応する凹部161と導電可能に接続されることとなり、よって、このICデバイス90に対する検査が可能となる。
そして、この検査後、図15に示すように、検査部16β、デバイス供給部14βに交換する。検査部16βのピッチY16βと、デバイス供給部14βのピッチY14βとは、同じである。また、デバイス供給部14βの各凹部141には、ICデバイス90が収納されている。
デバイス搬送ヘッド17Aは、第1ハンドユニット9Aと第2ハンドユニット9BとがピッチY9βで離間している。ピッチY9βは、ピッチY16βやピッチY14βと同じである。また、第1ハンドユニット9Aは、デバイス供給部14βの図15中の右側(Y方向負側)の凹部141の直上にあり、この凹部141に第1ハンドユニット9Aの把持部98が臨んだ状態となっている。一方、第2ハンドユニット9Bは、デバイス供給部14βの図15中の左側(Y方向正側)の凹部141の直上にあり、この凹部141に第2ハンドユニット9Bの把持部98が臨んだ状態となっている。
次いで、図16に示すように、デバイス供給部14Aの各凹部141に載置されたICデバイス90に、第1ハンドユニット9Aおよび第2ハンドユニット9Bの各把持部98が当接するまで、デバイス搬送ヘッド17Aを下降させる。これにより、各把持部98にICデバイス90を把持させることができる。
次いで、図17に示すように、デバイス搬送ヘッド17Aを、図15中のデバイス搬送ヘッド17Aと同じ高さまで上昇させる。
次いで、図18に示すように、ピッチY9βを維持したまま、デバイス搬送ヘッド17AをY方向正側、すなわち、検査部16β側に移動させて、検査部16βの直上で停止させる。このとき、第1ハンドユニット9Aは、検査部16βの図18中の右側(Y方向負側)の凹部161の直上にあり、この凹部161に、第1ハンドユニット9Aの把持部98に把持されたICデバイス90が臨んだ状態となっている。一方、第2ハンドユニット9Bは、検査部16βの図18中の左側(Y方向正側)の凹部161の直上にあり、この凹部161に、第2ハンドユニット9Bの把持部98に把持されたICデバイス90が臨んだ状態となっている。
次いで、図19に示すように、デバイス搬送ヘッド17Aを下降させる。これにより、第1ハンドユニット9Aの把持部98に把持されたICデバイス90は、それに対応する凹部161と導電可能に接続されることとなり、よって、このICデバイス90に対する検査が可能となる。同様に、第2ハンドユニット9Bの把持部98に把持されたICデバイス90も、それに対応する凹部161と導電可能に接続されることとなり、よって、このICデバイス90に対する検査が可能となる。
そして、この検査後、図20に示すように、検査部16γ、デバイス供給部14γに交換する。検査部16γのピッチY16γと、デバイス供給部14γのピッチY14γとは、同じである。また、デバイス供給部14γの各凹部141には、ICデバイス90が収納されている。
デバイス搬送ヘッド17Aは、第1ハンドユニット9Aと第2ハンドユニット9BとがピッチY9γで離間している。ピッチY9γは、ピッチY16γやピッチY14γと同じである。また、第1ハンドユニット9Aは、デバイス供給部14γの図20中の右側(Y方向負側)の凹部141の直上にあり、この凹部141に第1ハンドユニット9Aの把持部98が臨んだ状態となっている。一方、第2ハンドユニット9Bは、デバイス供給部14γの図20中の左側(Y方向正側)の凹部141の直上にあり、この凹部141に第2ハンドユニット9Bの把持部98が臨んだ状態となっている。
次いで、図21に示すように、デバイス供給部14Aの各凹部141に載置されたICデバイス90に、第1ハンドユニット9Aおよび第2ハンドユニット9Bの各把持部98が当接するまで、デバイス搬送ヘッド17Aを下降させる。これにより、各把持部98にICデバイス90を把持させることができる。
次いで、図22に示すように、デバイス搬送ヘッド17Aを、図20中のデバイス搬送ヘッド17Aと同じ高さまで上昇させる。
次いで、図23に示すように、ピッチY9γを維持したまま、デバイス搬送ヘッド17AをY方向正側、すなわち、検査部16γ側に移動させて、検査部16γの直上で停止させる。このとき、第1ハンドユニット9Aは、検査部16γの図23中の右側(Y方向負側)の凹部161の直上にあり、この凹部161に、第1ハンドユニット9Aの把持部98に把持されたICデバイス90が臨んだ状態となっている。一方、第2ハンドユニット9Bは、検査部16γの図23中の左側(Y方向正側)の凹部161の直上にあり、この凹部161に、第2ハンドユニット9Bの把持部98に把持されたICデバイス90が臨んだ状態となっている。
次いで、図24に示すように、デバイス搬送ヘッド17Aを下降させる。これにより、第1ハンドユニット9Aの把持部98に把持されたICデバイス90は、それに対応する凹部161と導電可能に接続されることとなり、よって、このICデバイス90に対する検査が可能となる。同様に、第2ハンドユニット9Bの把持部98に把持されたICデバイス90も、それに対応する凹部161と導電可能に接続されることとなり、よって、このICデバイス90に対する検査が可能となる。
以上のように、凹部161のピッチが互いに異なる検査部16α、検査部16β、検査部16γが交換されても、その交換に容易に対応して、ICデバイス90を目的の検査部16(検査部16α、検査部16β、検査部16γ)まで正確に搬送することができる。
なお、上記説明では、検査部16α、検査部16β、検査部16γの順に検査をおこなっていたが、検査順番は、これに限定されない。この場合でも、ICデバイス90を正確に搬送することができる。
また、本実施形態では、ピッチ変換機構部(一方向移動機構部)91Aは、第1ハンドユニット9Aの把持部98(第1の把持部)と第2ハンドユニット9Bの把持部98(第2の把持部)とをY方向(第1方向)に相対的に少なくとも6mm移動させ得るのが好ましい。
近年、一般的に市場に流通している検査部16には、凹部161のY方向のピッチが57.15mmのものと、ピッチが60mmのものと、ピッチが63.5mmのものとがあり、これらの種類が主に占めている。
従って、第1ハンドユニット9Aの把持部98(第1の把持部)と第2ハンドユニット9Bの把持部98(第2の把持部)とが相対的に少なくとも6mm移動することができれば、デバイス搬送ヘッド17を別途交換せずとも、凹部161のY方向のピッチが上記範囲の検査部16に対して、過不足なくピッチ変換して、十分に適応することができる。
また、ピッチ変換する構成としては、本実施形態では、圧電素子を用い、各ハンドユニット9が独立して移動可能な構成となっているが、これに限定されない。例えば、微調整が不要な場合は、他のピッチ変換する構成としては、例えば、リンク機構を用いた構成となっていてもよい。微調整する機構が不要となり、部品数を低減できる。
<第2実施形態>
以下、図27および図28を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
以下、図27および図28を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、ピッチ変換機構部の各構成が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
図27および図28に示すように、本実施形態では、ピッチ変換機構部91Aは、リニアガイド914と、第2圧電アクチュエーター912とで構成されている。
リニアガイド914は、第1ハンドユニット9Aと第2ハンドユニット9Bとにそれぞれ配置されている。各リニアガイド914は、Y方向に延びるレール914aと、レール914aの下側(Z軸方向負側)を摺動するスライダー914bとを有している。また、スライダー914bには、第1ハンドユニット9Aまたは第2ハンドユニット9Bの把持部98が支持されている。
第2圧電アクチュエーター912は、スライダー914bに設けられている。第2圧電アクチュエーター912が有する圧電素子は、その伸縮方向がレール914aに対して傾斜している。そして、この伸縮により、第2圧電アクチュエーター912が、例えば、後述するリニアガイド915のスライダー915bを突っつくことができる。これにより、第1ハンドユニット9Aの把持部98と、第2ハンドユニット9Bの把持部98とがそれぞれ移動することができ、その結果、これら把持部98同士のY方向のピッチ変換を行なうことができる、すなわち、ピッチY9α、ピッチY9β、ピッチY9γに変更することができる。
ピッチ変換機構部91Bは、リニアガイド915と、第1圧電アクチュエーター911とで構成されている。
リニアガイド915は、Y方向正側とY方向負側とにそれぞれ配置されている。各リニアガイド915は、X方向に延在するレール915aと、レール915aの下側を摺動する2つのスライダー915bとを有している。Y方向正側では、各スライダー915bに、リニアガイド914を介して、第1ハンドユニット9Aの把持部98が支持されている。同様に、Y方向負側でも、各スライダー915bに、リニアガイド914を介して、第2ハンドユニット9Bの把持部98が支持されている。
第1圧電アクチュエーター911は、スライダー915bに設けられている。第1圧電アクチュエーター911が有する圧電素子は、その伸縮方向がレール915aに対して傾斜している。そして、この伸縮により、第1圧電アクチュエーター911が例えば連結部171を突っつくことができる。これにより、各第1ハンドユニット9Aの把持部98がそれぞれ移動することができ、その結果、これら把持部98同士のX方向のピッチ変換を行なうことができる、すなわち、ピッチX9α、ピッチX9β、ピッチX9γに変更することができる(第2ハンドユニット9Bの把持部98についても同様)。
以上のような構成は、例えば、3mm以上のピッチ変換を要する場合に有効な構成である。また、微調整も十分行うことができ、高精度の位置決めを行なうことができる。
<第3実施形態>
以下、図29を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第3実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
以下、図29を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第3実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、ピッチ変換機構部のリニアガイドの構成が異なること以外は前記第2実施形態と同様である。このとき、第2実施形態と同じくX方向に駆動するX方向アクチュエーター、Y方向に駆動するY方向アクチュエーターとして、第1圧電アクチュエーター、第2圧電アクチュエーターをスライダーに設けている。
図29に示すように、本実施形態では、ピッチ変換機構部91Aは、リニアガイド916を有している。このリニアガイド916は、Y方向に延びるレール916aと、レール914aの下側(Z軸方向負側)を摺動する2つのスライダー916bとを有している。そして、各スライダー916bには、第1ハンドユニット9Aおよび第2ハンドユニット9Bの各把持部98が支持されている。これにより、ピッチY9α、ピッチY9β、ピッチY9γに変更することができる。
ピッチ変換機構部91Bは、リニアガイド917を有している。リニアガイド917は、X方向に延在する2本のレール917aと、2本のレール917aをまたいで設けられた2つのスライダー917bとを有している。そして、各スライダー917bには、リニアガイド916を介して、第1ハンドユニット9Aまたは第2ハンドユニット9Bの各把持部98が支持されている。これにより、ピッチX9α、ピッチX9β、ピッチX9γに変更することができる。
以上のような構成により、例えば、第1実施形態や第2実施形態と比べて、ピッチ変換可能な範囲を比較的大きく(広く)確保することができる。また、ピッチ変換機構部91Aおよびピッチ変換機構部91Bの構成を簡単なものとすることができ、よって、製造コストを低減させることができる。また、ピッチ変換機構部91Aおよびピッチ変換機構部91Bの剛性を高めることができる。
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、上記圧電アクチュエーターに代えてモータ等設けてもよい。また、アクチュエーターを設けず、把持搬送部の把持部を移動させた後に固定等を行うものであってもよい。いずれにしても、把持搬送部の把持部を、異なるピッチに設定可能なものであればよい。
また、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
また、電子部品搬送装置(電子部品検査装置)が高温試験や低温試験を行なわない装置である場合には、例えば、第2隔壁、第3隔壁、第5隔壁を省略してもよい。
また、各検査部および各搬送部材のサイト数は4であったが、サイト数は8でも16でもよい。さらに、2行×2列であったが、1列のみを設けてもよく、例えば、Y方向に一列に並べて設けてもよい。このとき、1列に2つを並べて設けてもよく、1列に4つを並べて設けてもよい。
また、電子部品搬送装置(電子部品検査装置)は、第1検査部および第2検査部の2種の検査部が設置可能に限定されず、1種の検査部が設置可能であってもよい。このとき、第1搬送部材および第2搬送部材の2種の搬送部材が設置可能であってもよい。
1…電子部品検査装置、10…電子部品搬送装置、11A…トレイ搬送機構、11B…トレイ搬送機構、12…温度調整部、13…デバイス搬送ヘッド、14…デバイス供給部、14A…デバイス供給部、14B…デバイス供給部、14α…デバイス供給部、14β…デバイス供給部、14γ…デバイス供給部、141…凹部、15…トレイ搬送機構、16…検査部、16α…検査部、16β…検査部、16γ…検査部、161…凹部、17…デバイス搬送ヘッド、17A…デバイス搬送ヘッド、17B…デバイス搬送ヘッド、171…連結部、18…デバイス回収部、18A…デバイス回収部、18B…デバイス回収部、19…回収用トレイ、20…デバイス搬送ヘッド、21…トレイ搬送機構、22A…トレイ搬送機構、22B…トレイ搬送機構、231…第1隔壁、232…第2隔壁、233…第3隔壁、234…第4隔壁、235…第5隔壁、241…フロントカバー、242…サイドカバー、243…サイドカバー、244…リアカバー、245…トップカバー、25…搬送部、9…ハンドユニット、9A…第1ハンドユニット、9B…第2ハンドユニット、91A…ピッチ変換機構部(一方向移動機構部)、91B…ピッチ変換機構部(他方向移動機構部)、911…第1圧電アクチュエーター、911a…凸部、912…第2圧電アクチュエーター、913…第3圧電アクチュエーター(回動部用圧電アクチュエーター)、913a…凸部、914…リニアガイド、914a…レール、914b…スライダー、915…リニアガイド、915a…レール、915b…スライダー、916…リニアガイド、916a…レール、916b…スライダー、917…リニアガイド、917a…レール、917b…スライダー、92…位置調整機構、93…姿勢調整機構、94…基部、941…板状部、942…係合部、943…係合部、947…当接部、947a…下面、948…倣い機構(コンプライアンス機構)、95…第1移動部、951…基部、952…レール、953…レール、954…第1固定部、956…係合部(案内部)、96…第2移動部、961…基部、961a…面、963…レール、97…回動部(回転部)、971…支持部、98…把持部、981…吸着面、982…吸着孔、983…減圧ポンプ、99…シャフト、90…ICデバイス、902…端子、200…トレイ、300…モニター、301…表示画面、400…シグナルランプ、500…スピーカー、600…マウス台、700…操作パネル、800…制御部、A1…トレイ供給領域、A2…デバイス供給領域、A3…検査領域、A4…デバイス回収領域、A5…トレイ除去領域、S101〜S103…ステップ、X9α…ピッチ、X9β…ピッチ、X9γ…ピッチ、X16α…ピッチ、X16β…ピッチ、X16γ…ピッチ、Y9max…最大ピッチ、Y9α…ピッチ、Y9β…ピッチ、Y9γ…ピッチ、ΔY9…微調整、Y14α…ピッチ、Y14β…ピッチ、Y14γ…ピッチ、Y16α…ピッチ、Y16β…ピッチ、Y16γ…ピッチ、α11A…矢印、α11B…矢印、α13X…矢印、α13Y…矢印、α14…矢印、α15…矢印、α17Y…矢印、α18…矢印、α20X…矢印、α20Y…矢印、α21…矢印、α22A…矢印、α22B…矢印、α90…矢印
Claims (12)
- 電子部品を検査可能な第1検査部または第2検査部が設置可能で、
電子部品が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、前記電子部品を載置して移動可能である搬送部と、
前記第1搬送部材から前記第1検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または前記第2搬送部材から前記第2検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1検査部は、前記電子部品が載置される第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有し、
前記第2検査部は、前記電子部品が載置される前記第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の検査用凹部とを有し、
前記第1搬送部材は、前記電子部品が載置される第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有し、
前記第2搬送部材は、前記電子部品が載置される前記第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第2ピッチで設けられた前記第2の搬送用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1検査部および前記第1搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2検査部および前記第2搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 電子部品を検査可能な第1検査部または第2検査部が設置可能で、
前記第1検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または、前記第2検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1検査部は、前記電子部品が載置される第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有し、
前記第2検査部は、前記電子部品が載置される前記第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の検査用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1検査部が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2検査部が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 電子部品を検査可能な検査部が設置可能で、
前記電子部品が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、前記電子部品を載置して移動可能である搬送部と、
前記第1搬送部材から前記検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または、前記第2搬送部材から前記検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1搬送部材は、前記電子部品が載置される第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有し、
前記第2搬送部材は、前記電子部品が載置される前記第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の搬送用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 前記把持搬送部は、前記第1の把持部と前記第2の把持部とを、前記第1ピッチを前記第2ピッチに設定する第1方向に相対的に移動可能な一方向移動機構部を有する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 前記一方向移動機構部は、前記第1の把持部と前記第2の把持部とを前記第1方向に相対的に少なくとも6mm移動させ得る請求項4に記載の電子部品搬送装置。
- 前記一方向移動機構部は、電圧を印加することにより伸縮する圧電素子を有する請求項4に記載の電子部品搬送装置。
- 前記第1ピッチおよび前記第2ピッチに関する情報を入力する入力部を備える請求項4に記載の電子部品搬送装置。
- 前記一方向移動機構部は、前記情報に基づいて、前記第1の把持部と前記第2の把持部とを前記第1方向に相対的に移動させる請求項7に記載の電子部品搬送装置。
- 前記把持搬送部は、前記第1方向と交差する第2方向に複数の前記第1の把持部と、複数の前記第2の把持部とを有しており、
前記複数の前記第1の把持部と、前記複数の前記第2の把持部とをそれぞれ相対的に前記第2方向に移動可能である請求項4に記載の電子部品搬送装置。 - 電子部品を検査可能な第1検査部または第2検査部と、
電子部品が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、前記電子部品を載置して移動可能である搬送部と、
前記第1搬送部材から前記第1検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または前記第2搬送部材から前記第2検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1検査部は、前記電子部品が載置される第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有し、
前記第2検査部は、前記電子部品が載置される前記第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の検査用凹部とを有し、
前記第1搬送部材は、前記電子部品が載置される第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有し、
前記第2搬送部材は、前記電子部品が載置される前記第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第2ピッチで設けられた前記第2の搬送用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1検査部および前記第1搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2検査部および前記第2搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする電子部品検査装置。 - 電子部品を検査可能な第1検査部または第2検査部と、
前記第1検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または、前記第2検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1検査部は、前記電子部品が載置される第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から第1ピッチで設けられた第2の検査用凹部とを有し、
前記第2検査部は、前記電子部品が載置される前記第1の検査用凹部と、前記第1の検査用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の検査用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1検査部が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2検査部が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする電子部品検査装置。 - 電子部品を検査可能な検査部と、
前記電子部品が載置される第1搬送部材または第2搬送部材が設置可能であり、前記電子部品を載置して移動可能である搬送部と、
前記第1搬送部材から前記検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である、または、前記第2搬送部材から前記検査部へ前記電子部品を把持して搬送可能である把持搬送部と、を備え、
前記第1搬送部材は、前記電子部品が載置される第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から第1ピッチで設けられた第2の搬送用凹部とを有し、
前記第2搬送部材は、前記電子部品が載置される前記第1の搬送用凹部と、前記第1の搬送用凹部から前記第1ピッチとは異なる第2ピッチで設けられた前記第2の搬送用凹部とを有し、
前記把持搬送部は、第1の把持部および第2の把持部を設置可能で、
前記第1搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第1ピッチに設定可能で、
前記第2搬送部材が設置された場合に、前記第1の把持部と前記第2の把持部とのピッチを、前記第2ピッチに設定可能であることを特徴とする電子部品検査装置。
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