JP7217293B2 - １または複数の被テストデバイスをテストするための自動テスト装置、および、自動テスト装置を操作するための方法 - Google Patents

Description

本開示の実施形態は、１または複数の被テストデバイス（ＤＵＴ）をテストするための自動テスト装置に関する。更なる実施形態は、１または複数の被テストデバイスをテストするための自動テスト装置を操作するための方法に関する。特に、本開示の実施形態は、柔軟なＤＵＴインタフェースまたは適用可能なＤＵＴインタフェースに関する。

半導体テストシステムは、例えば、半導体デバイスまたは他の電子デバイスのデバイステストに使用される。例えば、１または複数の被テストデバイスは、ウェハ上に配置され得る。テストのために、被テストデバイス（ＤＵＴ）は、電子機器などのテスト装置に接続される必要性がある。複数のＤＵＴの高速かつ効率的なテストのために、ＤＵＴは通常、ＤＵＴへのコネクタを提供するＤＵＴボードに配置され、コネクタは、ＤＵＴのコネクタの特定の構成に一致するように配置される。また、ＤＵＴボードは、ＤＵＴインタフェースを介してテストヘッドに接続され得る。テストヘッドは通常、テスト装置への接続を提供する。このように、ＤＵＴボード、ＤＵＴインタフェースおよびテストヘッドは、ＤＵＴとテスト装置との間の接続を提供する。上記のように、ＤＵＴの個々の接触パッドを接触させるためのＤＵＴボードのコンタクトは、特定のＤＵＴに一致するように配置され得る。対称的に、ＤＵＴインタフェースに接触するコンタクトをＤＵＴに接続するためのＤＵＴボードの反対側のコンタクトは通常、固定レイアウトに従って配置される。これにより、様々なＤＵＴについての複数のＤＵＴボードが、同一のＤＵＴインタフェースと共に使用され得る。換言すると、半導体テストシステムのＤＵＴインタフェースは通常、特定の固定サイズを有し、テストシステムとＤＵＴボード（またはロードボード）との間の接続は、特定の位置に位置する。

テストヘッドをＤＵＴボードに接続するための様々な解決手段が存在する。文献ＳＧ１９３４８７ Ａ１は、半導体プローブを半導体ハンドラに接続するためのドッキング装置を示す。ドッキング装置は、プローブ部およびハンドラ部接続デバイスと、変位デバイスとを有する。これにより、ハンドラ側接続デバイスに対して、プローブ側接続デバイスが、互いに近づくように、および遠ざかるように、ガイドされた並進変位を行うことが可能になる。

文献ＣＮ１０１００２３６３Ａは、コネクタが一方の側に取り付けられ、プローブが反対側で支持される、タイル状に配置された複数のプローブヘッド基板を含むウェハテストアセンブリを示す。

文献ＵＳ ６３７７０６２ Ｂ１は、集積回路テストヘッドと、被テスト集積回路にアクセスするロードボードまたはプローブ上の接触パッドとの間に信号経路を提供するフロートインタフェースアセンブリを提供する。接触パッドに接触するためのスプリング搭載ピンまたは他のコンタクタは、インタフェースアセンブリに取り付けられ、可撓性導体によってテストヘッドに連結される。

文献ＪＰ ２０１７０９６９４９Ａは、複数の電気テスト信号を送るために被テストデバイスの複数のパネルの複数のセル接触パッドと同時に電気的に係合するよう配置された複数のプローブピンを含む複数のプローブブロックを有する構成可能なユニバーサルプローブバーを組み込むプローブシステム、および、複数のプローブピンを、被テストデバイスの複数のパネルの複数の自己接触パッドと整列させるよう構成される整列システムを示す。

更に、文献ＷＯ００７３９０５Ａ２は、電子回路のために超並列インタフェースを示す。文献ＵＳ９９２１２６６Ｂ１は、半導体テストのための自動テスト装置のための汎用ユニバーサルデバイスインタフェースを示す。文献ＷＯ２００８０７０４６６Ａ２は、半導体デバイスをテストするためのシステムにおける共有リソースを提供する。文献ＫＲ２００４２７９６１Ｙ１は、パネルを調査するためのデバイスにおけるマニピュレータを示す。文献ＪＰ２０１３１３７２８６Ａは、電子コンポーネントテストデバイスを示す。

それにもかかわらず、異なるＤＵＴのテストにおいて時間効率と費用効率との間のトレードオフの改善を提供する、ＤＵＴをテストするための概念に対する需要がまだある。

本発明による実施形態は、テストヘッドおよびＤＵＴインタフェースを含む、１または複数のＤＵＴをテストするための自動テスト装置を提供する。ＤＵＴインタフェースは、スプリング搭載ピンの複数のブロック、例えば、スプリング搭載ピンのグループまたはフィールドを含む。例えば、ＤＵＴインタフェースは、テストヘッドと、ＤＵＴを保持する、または、ＤＵＴへの接続を提供するＤＵＴボードまたはロードボードとの間に電子信号経路を確立するよう構成される。自動テスト装置は、スプリング搭載ピンの少なくとも２つのブロックの間の距離の変動を可能にするよう構成される。

例えば、テストヘッドは、ＤＵＴインタフェースのスプリング搭載ピンとの間で電子信号を送信または受信するよう、または、ＤＵＴインタフェースのスプリング搭載ピンと、電気信号の供給元または電気信号の測定デバイスなどのテスト機器との間の電気信号経路を確立するよう構成される。例えば、ＤＵＴインタフェースのスプリング搭載ピンは、ＤＵＴボードの接触パッドまたはコネクタを接触するよう構成され得る。

自動テスト装置は、可変距離を有するスプリング搭載ピンの複数のブロックとのＤＵＴインタフェースは、スプリング搭載ピンのブロックの配置において高い柔軟性を提供するので、ＤＵＴインタフェースが接触するＤＵＴボードのレイアウトまたは設計の柔軟性が強化されるという思想に基づく。スプリング搭載ピンは、スプリング搭載ピンと接触パッドまたはコネクタとの間の電気接触がなお非常に良好であり得る一方で、ＤＵＴボード、または、別の回路ボードを特に高速に接触するための手段を提供する。例えば、スプリング搭載ピンが接触する接触パッドの中心に対するスプリング搭載ピンの位置は、例えばプラグ／ソケット接続と比較して、当該接続を含むことなく同程度に大きい公差を有し得る。例えばＤＵＴボードは、ＤＵＴインタフェースが接触するコンタクトが配置されたＤＵＴボード平面を有し得る。スプリング搭載ピンの使用は、ＤＵＴボード平面に対する、スプリング搭載ピンまたはスプリング搭載ピンのブロックの横方向の整列および鉛直または垂直方向の位置の両方について、大きい許容可能な公差を提供し得る。例えば、横方向の公差は、ＤＵＴボードの接触パッドの横方向のサイズによって定義され得、鉛直方向の公差は、スプリング搭載ピンの圧縮可能性によって定義され得る。

ＤＵＴインタフェースのスプリング搭載ピンの２つのブロック間の距離を変動させることにより、スプリング搭載ピンの２つのブロックの位置、すなわち、ＤＵＴインタフェースのレイアウトは、ＤＵＴボードの接触パッドまたはコネクタのレイアウトまたは位置に適用され得る。このように、様々な異なるＤＵＴボード、例えば、異なるサイズまたは接触パッド空間を有するＤＵＴボードは、自動テスト装置と共に使用され得る。したがって、自動テスト装置は、ＤＵＴボードの設計における制約を低減するので、自動テスト装置の適用または交換のための高価な、または更には過剰な労力を生じさせることなく、ＤＵＴボードの柔軟な設計を可能にする。互いに遠く離れたテストシステムとＤＵＴボードとの間に接続があることにより、複数のＤＵＴ（マルチサイトセットアップ）のための空間が増加し、電子コンポーネント（例えば、リレー、バイパスコンデンサなど）を支持するための空間の量が大きくなる。一方、コネクタを共により近くに配置することにより、ＤＵＴボードが小さくなり、ＤＵＴのための必要なトレースが安価かつ短くなるので、信号性能の強化につながる。

スプリング搭載ピンの少なくとも２つのブロックの間の距離の変動を可能にする自動テスト装置を有することにより、ＤＵＴボードのレイアウトに従ってＤＵＴインタフェースのレイアウトを適用することが容易になり、その結果、テストヘッドまたはＤＵＴインタフェースを交換することなく、自動テスト装置を様々なＤＵＴボードに高速に適用することを提供する。このように、異なるテストヘッドまたはＤＵＴインタフェースの広がりが省かれ得、自動テスト装置の時間効率的な操作が可能になり得る。スプリング搭載ピンは、接触パッドに対するスプリング搭載ピンの配置の公差を提供し得るので、スプリング搭載ピンのブロックの位置の変動との組み合わせにおいて、スプリング搭載ピンの使用は非常に有益である。例えば、スプリング搭載ピンのブロックの移動の精度に対する要件は、例えば、プラグ／ソケット接続の使用時と比較して、スプリング搭載ピンの使用によって下げられ得る。

本発明の一態様によれば、スプリング搭載ピンのコネクタフィールドまたはブロックは、例えば、より小さいコンポーネント空間を有する、より低費用で、より小さいＤＵＴボード、または、より大きいコンポーネント空間を有する、より大きいＤＵＴボードなど、異なる要件をサポートするために、移動させることができる、または、共に寄せることができる。

一実施形態によれば、自動テスト装置は、スプリング搭載ピンのブロックの２つのグループを含み、自動テスト装置は、スプリング搭載ピンのブロックの第１のグループと、スプリング搭載ピンのブロックの第２のグループとの間の距離の変動を可能にするよう構成される。

スプリング搭載ピンのブロックの２つのグループ（その間の距離は変動し得る）を有することにより、まとめて移動され得るスプリング搭載ピンのブロックのグループの柔軟な設計が可能になる。グループ内のスプリング搭載ピンのブロックをまとめて移動することにより、スプリング搭載ピンのブロックの高速かつ正確な移動が確実になる。

一実施形態によれば、スプリング搭載ピンの第１のグループは、スプリング搭載ピンのブロックの第１の列であり、スプリング搭載ピンのブロックの第２のグループは、スプリング搭載ピンのブロックの第２の列である。スプリング搭載ピンのブロックの第１の列は、スプリング搭載ピンのブロックの第２の列と平行であり、例えば、±１度または±２度または±５度の公差内で平行である。更に、自動テスト装置は、スプリング搭載ピンのブロックの第１の列と、スプリング搭載ピンのブロックの第２の列との間の距離を変動させることを可能にするよう構成される。

例えば、スプリング搭載ピンのブロックの第１の列と第２の列との間の距離は、スプリング搭載ピンの列に平行な方向に対して垂直に測定され得る。スプリング搭載ピンのブロックの２つの列の間の距離が変動する結果、距離の変動の前のスプリング搭載ピンの第１の列および第２の列によってカバーされる第１の領域と、距離の変動の後のスプリング搭載ピンの第１の列および第２の列によってカバーされる第２の領域との間の重複が特に小さくなる。換言すると、距離の変動は特に効率的であり得る。

一実施形態によれば、ＤＵＴインタフェースは、スプリング搭載ピンのブロックの少なくとも１つのグループを含み、スプリング搭載ピンのブロックの少なくとも１つのグループは、スプリング搭載ピンのブロックの少なくとも１つのフィールドを含む。

一実施形態によれば、スプリング搭載ピンのブロックは、可撓性ケーブル、例えばポゴケーブルを介して、テストヘッドに結合される。

例えば、スプリング搭載ピンは、個々の可撓性ケーブルによって、テストヘッドに個別に接続され得る。スプリング搭載ピンとテストヘッドとの間の柔軟な結合に起因して、スプリング搭載ピンのブロックの間の距離を変動させた後に、テストヘッドにスプリング搭載ピンを再接続する必要性を生じさせることなく、スプリング搭載ピンのブロックは、容易に移動され得る。

一実施形態によれば、スプリング搭載ピンの少なくとも１つのブロックは、直線レールを使用してガイドされ、スプリング搭載ピンのブロック（個別、または、少なくとも１つのブロックのスプリング搭載ピン）の直線変位、例えば、ガイドされた直線変位を可能にする。直線レールは、スプリング搭載ピンのブロックの正確な移動を可能にする単純な構造物である。

一実施形態によれば、スプリング搭載ピンの第１のブロックは、第１の直線レールを使用してガイドされ、スプリング搭載ピンの第２のブロックは、第２の直線レールを使用してガイドされ、その結果、スプリング搭載ピンの第１のブロックおよびスプリング搭載ピンの第２のブロックをそれぞれの直線レールに沿って反対方向に変位させることによって、スプリング搭載ピンの第１のブロックと、スプリング搭載ピンの第２のブロックとの間の距離を変動させることができる。例えば、スプリング搭載ピンの第１のブロックおよびスプリング搭載ピンの第２のブロックは、等しい距離だけ反対方向に変位し得る。

スプリング搭載ピンの第１のブロックと、スプリング搭載ピンの第２のブロックとを反対方向に移動させることにより、スプリング搭載ピンの第１および第２のブロックが変位したときに、スプリング搭載ピンの第１および第２のブロックのエンティティの幾何学的中心が、同一位置に、または、その近くに留まり得ることを確実にし得る。このように、スプリング搭載ピンの第１および第２のブロックと、ＤＵＴボードとの間の距離を変更させた後、ＤＵＴボードに対するＤＵＴインタフェースの整列が単純化され得る。

一実施形態によれば、スプリング搭載ピンの少なくとも１つのブロックは、ヒンジを使用してガイドされる。ヒンジは回転を並進に変換し得る。回転は機械的に容易に実装され得、費用対効果が高く、特に迅速かつ精密に実行され得る。

一実施形態によれば、スプリング搭載ピンの少なくとも１つのブロックは、平行四辺形リンクを使用してガイドされる。平行四辺形リンクは、ヒンジを使用する利点を提供し得、更に、スプリング搭載ピンの先端が配置される平面をＤＵＴボード平面に対して平行に整列することを確実にし得る。

一実施形態によれば、平行四辺形リンクの基礎部分は、スプリング搭載ピンの少なくとも１つのブロックを保持する、例えば±１度以下または±２度以下または±５度以下の公差内で基礎部分に平行となるようにガイドされる平行四辺形リンクの可動キャリア部分、および、テストヘッドに機械的に接続される、例えば取り付けられる。例えば、可動キャリア部分は、可動キャリア部分と基礎部分との間の少なくとも２つの平行リンクを使用してガイドされ得る。

一実施形態によれば、平行四辺形リンクの可動キャリア部分は、平行四辺形リンクの基礎部分と平行四辺形リンクの可動キャリア部分との間の距離が等しい、２つの異なる位置を取るように移動可能である。

平行四辺形リンクは、２つの異なる位置を取るように移動可能なので、これらの２つの異なる位置は、機械的な停止によって定義され得て、このようにして、特に精度が高くなり得る。更に、ＤＵＴボード平面に対して垂直な方向に関する、スプリング搭載ピンの少なくとも１つのブロックの鉛直位置は、平行四辺形リンクの２つの異なる位置の両方で等しいことがあり得る。このように、当該構成は、例えば手動による、スプリング搭載ピンの少なくとも１つのブロックの位置の精密かつ高速な変更を可能にし得る。このように、当該構成は、自動テスト装置の特に安価かつ精密な実装を提供し得る。

一実施形態によれば、自動テスト装置は、少なくとも第１の平行四辺形リンクと、第２の平行四辺形リンクとを含む。第１の平行四辺形リンクは、スプリング搭載ピンの第１のブロックを保持し、第２の平行四辺形リンクは、スプリング搭載ピンの第２のブロックを保持する。スプリング搭載ピンの異なるブロックが、ＤＵＴボード平面に垂直である上面図において見たときに、反対方向に移動することを可能にするべく、例えば、ＤＵＴボード平面に対するスプリング搭載ピンの２つの異なるブロックの動きベクトルの射影が反対方向であるように、平行四辺形リンクが適用される、例えば、配置および／または整列される。この実施形態は、平行四辺形リンクの利点と、スプリング搭載ピンの２つのブロックの、直線レールに沿った反対方向の変位とを組み合わせる。

一実施形態によれば、自動テスト装置は、スプリング搭載ピンの少なくとも２つのブロックの間の距離の変動を実現するよう適用された１または複数のアクチュエータ、例えば、電気モーターまたは空気圧シリンダを含む。アクチュエータは、スプリング搭載ピンの少なくとも２つのブロックの間の距離の特に精密な変動を可能にし得、更に距離の自動変動を可能にし得る。このように、自動テスト装置は自動テストシステムにおいて実装され得る。

本発明による別の実施形態は、１または複数の被テストデバイスをテストするための自動テスト装置を操作するための方法を提供し、当該自動テスト装置は、テストヘッドおよびＤＵＴインタフェースを備え、ここで、ＤＵＴインタフェースは、スプリング搭載ピンの複数のブロックを含み、当該方法は、ＤＵＴインタフェースのスプリング搭載ピンの少なくとも２つのブロックの間の距離を変動させる段階を含む。

当該方法は、対応する自動テストデバイスと同一の想定に基づいていることに留意すべきである。更に、当該方法は、自動テストデバイスに関して本明細書に記載される機構、機能および詳細のいずれかによって（個別または組み合わせの両方）補完され得る。

本出願に記載の実施形態は、添付の図面を参照して以下で説明される。

一実施形態による自動テスト装置を示す。

一実施形態による自動テスト装置およびＤＵＴボードの構成を示す。

一実施形態による、直線レールを有する自動テスト装置を示す。 一実施形態による、直線レールを有する自動テスト装置を示す。

一実施形態による、平行四辺形リンクを有する自動テスト装置を示す。 一実施形態による、平行四辺形リンクを有する自動テスト装置を示す。

一実施形態による、アクチュエータを有する自動テスト装置を示す。

一実施形態による、ＤＵＴインタフェースのスプリング搭載ピンのブロックのグループの構成を示す。

一実施形態による、ＤＵＴインタフェースの２つのレイアウトを示す。

一実施形態による、自動テスト装置を操作するための方法のフローチャートを示す。

以下の説明において、実施形態を詳細に説明する。しかしながら、実施形態は、デバイステストおよびＤＵＴインタフェースに関する様々な幅広い適用において具現化され得る多くの適用可能な概念を提供することが理解されるべきである。説明される特定の実施形態は単に、本発明の概念を実装および使用するための特定の手段の例示であり、実施形態の範囲を限定するものではない。以下の実施形態の説明において、同一または類似の要素、または、同一の機能を有する要素には、同一の参照符号が付与される、または、同一名称で識別される。同一の参照番号が付与される、または、同一名称で識別される要素の繰り返しの説明は通常、省略される。したがって、同一または類似の参照番号を有する、または、同一名称で識別される要素について提供される説明は、互いに交換可能である、または、異なる実施形態において互いに適用され得る。以下の説明において、本開示の実施形態のより完全な説明を提供するために、複数の詳細が説明される。しかしながら、これらの具体的な詳細無しで他の実施形態が実施され得ることは、当業者にとって明らかである。他の場合において、本明細書に記載の例を曖昧にすることを回避するべく、既知の構造およびデバイスが、詳細に示される代わりにブロック図の形態で示されている。更に、別段の具体的な記載が無い限り、本明細書に記載の異なる実施形態の機構は、互いに組み合わされ得る。

図１は、一実施形態による１または複数のＤＵＴをテストするための自動テスト装置１０の概略図を示す。自動テスト装置１０は、テストヘッド１８およびＤＵＴインタフェース１１を含む。ＤＵＴインタフェース１１は、スプリング搭載ピン１４の複数のブロック１２を含む。自動テスト装置１０は、スプリング搭載ピンの少なくとも２つのブロック１２の間の距離の変動を可能にするよう構成される。

例えば、ＤＵＴインタフェース１１は、複数のスプリング搭載ピン１４を含む。スプリング搭載ピン１４は、電導性の先端を含み得、スプリング搭載ピン１４の先端は、ＤＵＴインタフェース１１の主平面１５上に配置される。スプリング搭載ピン１４の先端は、主平面１５に対して垂直な方向に、スプリング搭載ピン１４の本体に対して移動可能であり得る。例えば、スプリング搭載ピン１４は、主平面に対して垂直な方向に圧縮され得る。ＤＵＴインタフェース１１のスプリング搭載ピン１４は、スプリング搭載ピンの少なくとも２つのブロック１２にグループ化される。スプリング搭載ピンのブロック１２のスプリング搭載ピン１４の本体は、絶縁材料によって互いに機械的に取り付けられ得る。一方、スプリング搭載ピンのブロック１２の個々のスプリング搭載ピン１４の先端は、主平面に対して垂直な方向に個別に移動し得る。ＤＵＴインタフェース１１がＤＵＴボードに押し当てられる場合、スプリング搭載ピン１４は圧縮され得る。スプリング搭載ピン１４の各々が個別に圧縮され得るので、ＤＵＴインタフェースが押し当てられるＤＵＴボードの表面が不均一である場合でも、または、ＤＵＴインタフェースの主平面、および、ＤＵＴインタフェースが押し当てられるＤＵＴボードの表面が完全に平行でない場合でも、スプリング搭載ピン１４は、ＤＵＴボード上の接触パッドに良好な電気接触を提供し得る。

スプリング搭載ピンの少なくとも２つのブロック１２の間の変動し得る距離１６は、ＤＵＴインタフェースの主平面１５に対して平行に測定され得る。

ＤＵＴインタフェース１１のスプリング搭載ピン１４は、例えば個別に、テストヘッド１８に接続され得る。テストヘッド１８は、複数のスプリング搭載ピンの個々の接続を電子機器に提供し得る。

自動テスト装置１０は任意で、他の実施形態に関して本明細書において説明される機構、機能および詳細のいずれかによって（個別および組み合わせの両方で）補完され得る。

図２は、一実施形態による自動テスト装置２０の概略図を示す。自動テスト装置２０は、自動テスト装置１０に対応し得る。自動テスト装置１０は、テストヘッド２８およびＤＵＴインタフェース２１を含む。これらはそれぞれ、テストヘッド１８およびＤＵＴインタフェース１１に対応し得る。図２は更に、自動テスト装置２０によって接触される例示的なＤＵＴボード２９を示す。

自動テスト装置２０は、スプリング搭載ピンのブロック、例えば、図１のブロック１２の２つのグループ２３、２７を含む。自動テスト装置２０は、スプリング搭載ピンのブロックの第１のグループ２３と、スプリング搭載ピンのブロックの第２のグループ２７との間の距離２６の変動を可能にするよう構成される。例えば、スプリング搭載ピンのブロックは、互いに取り付けられ得、スプリング搭載ピンのブロックのグループ２３、２７を形成する。

図７は、ＤＵＴインタフェース８１の主平面１５に垂直な方向に沿った視点におけるＤＵＴインタフェース８１の概略図を示す。ＤＵＴインタフェース８１は、ＤＵＴインタフェース１１、２１に対応し得る。例えば、図２は、ＤＵＴインタフェース２１、８１の断面図を示し得る。ＤＵＴインタフェース８１は、スプリング搭載ピンのブロックのフィールド８２に配置されるスプリング搭載ピンの複数のブロックを含む。ＤＵＴインタフェース８１のフィールド８２が８のサブグループ８４にグループ化される。サブグループ８４は、スプリング搭載ピンのブロックの第１のグループ８３および第２のグループ８７を形成するよう配置される。これらはそれぞれ、スプリング搭載ピンのブロックのグループ２３、２７に対応し得る。スプリング搭載ピンのブロックのグループ８２、８３の間の距離８６は変動し得る。例えば、距離８６は図２の距離２６に対応し得る。

従って、スプリング搭載ピンのブロックの第１のグループ８３は、スプリング搭載ピンのブロックの第１の列であり得、スプリング搭載ピンのブロックの第２のグループ８７は、スプリング搭載ピンのブロックの第２の列であり得る。スプリング搭載ピンのブロックの第１の列は、スプリング搭載ピンのブロックの第２の列に平行であり得る。自動テスト装置は、スプリング搭載ピンのブロックの第１の列と、スプリング搭載ピンのブロックの第２の列との間の距離８６の変動を可能にするよう構成され得る。

例えば、ＤＵＴインタフェース８１は８のグループを有し得る。例えば、すべてのグループは、スプリング搭載ピンの９のブロックを各々が有する２つのフィールドから成る。

一実施形態によれば、スプリング搭載ピンのブロックは、可撓性ケーブル２５を介してテストヘッド２８に結合される。例えば、スプリング搭載ピンのブロックのスプリング搭載ピン１４は、可撓性ケーブルを介して、テストヘッド１８、２８に結合され得る。この機構は、スプリング搭載ピンのブロック１２をスプリング搭載ピンのブロック１２のグループ２３、２７にグループ化することから独立している。

一実施形態によれば、更なる柔軟性のために、スプリング搭載ピンのブロックは任意で、１つより多くの位置に移動させることができる。

図３ａおよび図３ｂは、一実施形態による自動テスト装置３０の概略図を示す。自動テスト装置３０は自動テスト装置１０、２０に対応し得る。自動テスト装置３０は、テストヘッド２８を含み、更に、スプリング搭載ピンの第１のブロック３２、および、スプリング搭載ピンの第２のブロック３３を含む。スプリング搭載ピンのブロック３２、３３は、スプリング搭載ピン１４に対応し得るスプリング搭載ピン２４を含む。自動テスト装置３０は直線レール３７、３８を含む。直線レール３７、３８は、ＤＵＴインタフェース３１の主面２５に平行であり得るデューティインタフェース３１の主平面に平行に、スプリング搭載ピンのブロック３２、３３を変位または移動させるための手段を提供する。主面２５は、図１に関して紹介されるような主面１５に対応し得る。

スプリング搭載ピン３２、３３のブロックのスプリング搭載ピン２４は、可撓性ポゴケーブル２５を介してテストヘッド２８に接続される。図３ａおよび図３ｂは、スプリング搭載ピンのブロック３２、３３の２つの異なる位置を示す。例えば、図３ａは、内側位置におけるスプリング搭載ピンのブロックの構成を示し、図３ａに示されるようなスプリング搭載ピンのブロック３２、３３の間の距離２６は、限定されたボード空間を有し得るが、故に空間が限定される適用に適用され得る、より小さいＤＵＴボードのために使用され得る。増加したボード空間を提供する、より大きいＤＵＴボードについては、外側位置におけるスプリング搭載ピンのブロックの構成を表し得る図３ｂに示されるように、スプリング搭載ピンのブロック３２、３３の間の距離２６は増加し得る。

従って、スプリング搭載ピンの少なくとも１つのブロック３２は、直線レール３７、３８を使用してガイドされ得る。これにより、スプリング搭載ピンのブロック３２の直線変位を可能にする。

換言すると、一実装思想（本発明の態様）は、直線レールの使用によって空間を増加させることである。

例えば、スプリング搭載ピンの第１のブロック３２は、第１の直線レール３７を使用してガイドされ、スプリング搭載ピンの第２のブロック３３は、第２の直線レール３８を使用してガイドされる。スプリング搭載ピンの第１のブロック３２およびスプリング搭載ピンの第２のブロック３３を、それぞれ直線レール３７、３８に沿って反対方向に変位させることによって、スプリング搭載ピンの第１のブロック３２と、スプリング搭載ピンの第２のブロック３３との間の距離２６を変動させることができるように、スプリング搭載ピンの第１のブロック３２およびスプリング搭載ピンの第２のブロック３３はガイドされ得る。

一実施形態によれば、スプリング搭載ピンの第１のブロック３２、および、スプリング搭載ピンの第２のブロック３３は、等しい距離だけ反対方向に変位され得る。

図４および図５は、別の実施形態による自動テスト装置４０の概略図を示す。自動テスト装置４０は、自動テスト装置１０、２０に対応し得る。自動テスト装置４０は、ＤＵＴインタフェース１１、２１に対応し得るテストヘッド２８およびＤＵＴインタフェース４１を含む。ＤＵＴインタフェース４１は、スプリング搭載ピンのブロック３２、３３を含む。スプリング搭載ピンの少なくとも１つのブロックは、ヒンジを使用してガイドされ得る。例えば、スプリング搭載ピンの少なくとも１つのブロックは、平行四辺形リンク、例えば、図４および図５に示されるような平行四辺形リンク４７、４８を使用してガイドされ得る。換言すると、別の実装思想（発明の態様）は、ヒンジの使用によって空間を増加させることである。

一実施形態によれば、平行四辺形リンク４７、４８の基礎部分４５は、テストヘッド２８に機械的に接続され、スプリング搭載ピンの少なくとも１つのブロック３２、３３を保持する平行四辺形リンク４７、４８の可動キャリア部分４６は、基礎部分に平行にガイドされる。

例えば、可動キャリア部分４６は基礎部分４５に対して移動され得る。平行四辺形リンク４７、４８は、基礎部分４５に対して可動キャリア部分４６の移動をガイドし得る。その結果、基礎部分４５に対する可動キャリア部分４６の角度の整列または回転は、移動中に一定のままであり得る。例えば、可動キャリア部分４６および基礎部分４５は、平行のままであり得る。例えば、平行四辺形リンク４７の基礎部分４５および可動キャリア部分４６は、少なくとも２つの平行リンク４９によって接続され得る。

図４は、スプリング搭載ピンのブロック３２、３３の間の距離２６が、第２の値より小さい第１の値を有する、平行四辺形リンク４７、４８の第１の位置を示す。図５は、スプリング搭載ピンのブロック３２、３３の間の距離２６が第２の値を有する、平行四辺形リンク４７、４８の第２の位置を示す。平行四辺形リンク４７、４８の第２の位置における、図１のＤＵＴインタフェース１１の主平面１５に対応し得る、ＤＵＴインタフェース４１の主平面４４とテストヘッドとの間の距離４３の値は、平行四辺形リンク４７、４８の第１の位置における距離４３の値に等しいことがあり得る。換言すると、図４および図５はそれぞれ、内側位置および外側位置におけるスプリング搭載ピンのブロックの構成を表し得る。

従って、平行四辺形リンク４７の可動キャリア部分４６は、平行四辺形リンク４７の基礎部分４５と、平行四辺形リンク４７の可動キャリア部分４６との間の距離４３が等しい、２つの異なる位置を取るように移動可能である。

一実施形態によれば、自動テスト装置４０は、少なくとも第１の平行四辺形リンク４７と、第２の平行四辺形リンク４８とを含む。第１の平行四辺形リンク４７は、スプリング搭載ピンの第１のブロック３２を保持し、第２の平行四辺形リンク４８は、スプリング搭載ピンの第２のブロック３３を保持する。ＤＵＴボード平面に対して垂直な上面図を見たときに、スプリング搭載ピンの異なるブロック、例えば、スプリング搭載ピンのブロック３２、３３が反対方向に移動することを可能にするために、平行四辺形リンク４７、４８が適用される。例えば、ＤＵＴボード平面は、例えば±５度の公差内で、ＤＵＴインタフェース４１の主平面４４に平行であり得る。

一実施形態によれば、自動テスト装置１０、２０、３０、４０は、スプリング搭載ピンの少なくとも２つのブロックの間の距離の変動を実現するよう適用された１または複数のアクチュエータ６７を含む。換言すると、本発明の一態様によれば、位置の間の変化は、例えば、手動で、または、アクチュエータを介して行われ得る。アクチュエータは例えば、空気式（例えばシリンダ）、または電気式（例えばモーター）であり得る。

例えば、図６は、一実施形態による自動テスト装置６０の概略図を示す。自動テスト装置６０は、自動テスト装置１０、２０、３０に対応し得る。自動テスト装置６０は、テストヘッド２８と、スプリング搭載ピンのブロック３２、３３を含むＤＵＴインタフェース６１とを備える。ＤＵＴインタフェース６１はＤＵＴインタフェース１１、２１に対応し得る。ＤＵＴインタフェース６１は、スプリング搭載ピンのブロック３２、３３の間の距離２６を変動させるためのアクチュエータ６７を含む。例えば、スプリング搭載ピンのブロック３２、３３の各々は、別個のアクチュエータ６７によって移動または変位され得る。別の例によれば、１つのアクチュエータ６７は、スプリング搭載ピンの少なくとも２つのブロック３２、３３を変位または移動させるために使用され、その結果、スプリング搭載ピンの少なくとも２つのブロック３２、３３の移動は、反対方向になり得るが、移動の速度は等しい。例えば、スプリング搭載ピンのブロック３２、３３は、直線レール、例えば直線レール３７、３８によってガイドされ得る。

図８は、ＤＵＴインタフェースの主平面に対して垂直な方向に沿った、上面図におけるＤＵＴインタフェース９０、９１のレイアウトの２つの例を示す。ＤＵＴインタフェース９０、９１は、スプリング搭載ピンのブロックの第１のグループ９３および第２のグループ９７にグループ化されたスプリング搭載ピンのブロック９２を含む。ＤＵＴインタフェースレイアウトの２つの示される例は、スプリング搭載ピンのブロックの第１のグループ９３と第２のグループ９７との間で、距離９６の値が異なる。例えば、自動テスト装置１０、２０、３０、４０、６０は、距離９６を適用することによって、ＤＵＴインタフェースレイアウト９０とＤＵＴインタフェースレイアウト９１との間で切り換可能であり得る。

図９は、テストヘッド１８、２８およびＤＵＴインタフェース１１、２１、３１、４１、６１を備える、一実施形態による、１または複数のＤＵＴをテストするための自動テスト装置１０、２０、３０、４０、６０を操作するための方法１０００のフローチャートを示す。方法１０００は、ＤＵＴインタフェース１１、２１、３１、４１、６１のスプリング搭載ピンの少なくとも２つのブロック１２、３２、３３、９２の間の距離１６、２６、８６、９６を変動させる段階１０１０を含む。

更なる実施形態は、本明細書に開示される任意の詳細および機構および機能と組み合わされ得る、または、それらによって補完され得る以下の態様によって定義される。当該態様は、個別に、または組み合わされて使用され得る。

本発明による実施形態は、ＤＵＴインタフェースにサイズ変更可能手段（またはサイズを変更するための手段）を提供する。

一実施形態によればサイズ変更可能手段は、直線レールから成る、または、それを含む。

一実施形態によれば、サイズ変更可能手段は、ヒンジタイプまたはヒンジから成る、または、それを含む。

一実施形態によれば、サイズ変更可能手段は、スプリング搭載ピンのブロックの位置を変更するために使用される。

一実施形態によれば、位置は、内側位置から外側位置に変更され得る。

一実施形態によれば、位置は手動で変更され得る。

一実施形態によれば、位置はアクチュエータによって変更され得る。

一実施形態によれば、アクチュエータは、空気圧シリンダまたは電気モーターから成る。

一実施形態によれば、ＤＵＴインタフェースは、可撓性ケーブル、例えば、ポゴケーブルと、信号伝送のためのスプリング搭載ピンのブロックとを有する。

いくつかの態様が機器の文脈で機構として説明されたが、そのような説明は、方法の対応する機構の説明としてもみなされ得ることは明らかである。いくつかの態様が方法の文脈で機構として説明されたが、そのような説明は、機能に関する、機器の対応する機構の説明としてもみなされ得ることは明らかである。

方法の段階の一部または全部は、ハードウェア機器、例えば、マイクロプロセッサ、プログラマブルコンピュータ、または電子回路によって（またはそれらを使用することによって）実行され得る。いくつかの実施形態において、もっとも重要な方法の段階の１または複数は、そのような機器によって実行され得る。

上記の詳細な説明において、開示を分かりやすくする目的のための例として、様々な機構が共にグループ化されることが分かる。本開示のこの方法は、主張される例が、各請求項において明示的に引用される機構より多くを要求する意図を反映するものとして解釈されるべきでない。むしろ、以下の特許請求の範囲では、主題は、単一の開示される例の全部の機構より少ない機構を有し得ることにあり得る。このように、以下の特許請求の範囲は、本明細書で詳細な説明に組み込まれ、各請求項は、別の例として、それ自体で成立し得る。各請求項は、別の例として、それ自体で成立し得る一方で、特許請求の範囲において従属請求項が１または複数の他の請求項との特定の組み合わせに言及し得るが、他の例はまた、他の各従属請求項の主題との従属請求項の組み合わせ、または、他の従属または独立請求項との各機構の組み合わせを含み得ることに留意すべきである。そのような組み合わせが本明細書において提示されるが、特定の組み合わせが意図されないことが記載される場合を除く。更に、請求項の機構を任意の他の独立請求項に含めることが意図される。この請求項が当該独立請求項に直接従属していない場合でも同様である。

上記の実施形態は単に、本開示の原理を例示するものである。構成の修正および変形、ならびに、本明細書に説明される詳細は、当業者に明らかであることが理解される。したがって、本明細書の実施形態の記載および説明によって示される具体的な詳細によってではなく、出願中の特許請求の範囲のみによって限定されることが意図されている。

Claims (14)

1. １または複数の被テストデバイスをテストするための自動テスト装置であって、
   テストヘッドと、
   被テストデバイスへの接続を提供する被テストデバイスボードまたはロードボードと前記テストヘッドとの間に電子信号経路を確立する被テストデバイスインタフェースと
   を備え、
   前記被テストデバイスインタフェースは、複数のブロックを含み、前記複数のブロックのそれぞれは前記被テストデバイスボードまたは前記ロードボードの接触パッドまたはコネクタと接触する複数のスプリング搭載ピンを含み、
   前記自動テスト装置は、前記被テストデバイスボードまたは前記ロードボードの接触パッドまたはコネクタのレイアウトまたは位置に応じて、前記複数のブロックのうちの少なくとも２つのブロックの間の距離を変動させることを可能にするよう構成される、
   自動テスト装置。
2. １または複数の被テストデバイスをテストするための自動テスト装置であって、
   テストヘッドと、
   被テストデバイスへの接続を提供する被テストデバイスボードまたはロードボードと前記テストヘッドとの間に電子信号経路を確立する被テストデバイスインタフェースと
   を備え、
   前記被テストデバイスインタフェースは、複数のブロックを含み、前記複数のブロックのそれぞれは前記被テストデバイスボードまたは前記ロードボードの接触パッドまたはコネクタと接触する複数のスプリング搭載ピンを含み、
   前記自動テスト装置は、前記被テストデバイスボードまたは前記ロードボードの大きさに応じて、前記複数のブロックのうちの少なくとも２つのブロックの間の距離を変動させることを可能にするよう構成される、
   自動テスト装置。
3. 前記自動テスト装置は、前記ブロックの２つのグループを含み、
   前記自動テスト装置は、前記ブロックの第１のグループと、前記ブロックの第２のグループとの間の距離を変動させることを可能にするよう構成される、請求項１または２に記載の自動テスト装置。
4. 前記第１のグループは、前記ブロックの第１の列であり、
   前記第２のグループは、前記ブロックの第２の列であり、
   前記第１の列は、前記第２の列に平行であり、
   前記自動テスト装置は、前記第１の列と、前記第２の列との間の距離の変動を可能にするよう構成される、
   請求項３に記載の自動テスト装置。
5. 前記ブロックは、可撓性ケーブルを介して前記テストヘッドに結合される、請求項１から４のいずれか一項に記載の自動テスト装置。
6. 前記複数のブロックのうちの少なくとも１つのブロックは、直線レールを使用してガイドされ、前記少なくとも１つのブロックの直線変位を可能にする、請求項１から５のいずれか一項に記載の自動テスト装置。
7. 前記複数のブロックのうちの第１のブロックは、第１の直線レールを使用してガイドされ、
   前記複数のブロックのうちの第２のブロックは、第２の直線レールを使用してガイドされ、
   その結果、前記第１のブロックを前記第１の直線レールに沿って、前記第２のブロックを前記第２の直線レールに沿って反対方向に変位させることによって、前記第１のブロックと、第２のブロックとの間の距離を変動することができる、請求項１から６のいずれか一項に記載の自動テスト装置。
8. 前記複数のブロックのうちの少なくとも１つのブロックは、ヒンジを使用してガイドされる、請求項１から７のいずれか一項に記載の自動テスト装置。
9. 前記複数のブロックのうちの少なくとも１つのブロックは、平行四辺形リンクを使用してガイドされ、
   前記平行四辺形リンクの基礎部分は、前記テストヘッドに機械的に接続され、
   前記少なくとも１つのブロックを保持する前記平行四辺形リンクの可動キャリア部分は、前記基礎部分に平行となるようにガイドされる、請求項１から８のいずれか一項に記載の自動テスト装置。
10. 前記平行四辺形リンクの前記可動キャリア部分は、前記平行四辺形リンクの前記基礎部分と前記平行四辺形リンクの前記可動キャリア部分との間の距離が等しい２つの異なる位置を取るように移動可能である、請求項９に記載の自動テスト装置。
11. 前記自動テスト装置は、少なくとも第１の平行四辺形リンクおよび第２の平行四辺形リンクを含み、
    前記第１の平行四辺形リンクは、前記複数のブロックのうちの第１のブロックを保持し、前記第２の平行四辺形リンクは、前記複数のブロックのうちの第２のブロックを保持し、
    前記第１の平行四辺形リンクおよび前記第２の平行四辺形リンクは、被テストデバイスボード平面に垂直である上面図において見たときに、異なる前記ブロックを反対方向に移動させることを可能にするように適用される、請求項１から１０のいずれか一項に記載の自動テスト装置。
12. 前記自動テスト装置は、前記複数のブロックのうちの少なくとも２つのブロックの間の距離を変動させる１または複数のアクチュエータを含む、請求項１から１１のいずれか一項に記載の自動テスト装置。
13. テストヘッド、および被テストデバイスへの接続を提供する被テストデバイスボードまたはロードボードと前記テストヘッドとの間に電子信号経路を確立する被テストデバイスインタフェースを備え、１または複数の被テストデバイスをテストするための自動テスト装置を操作するための方法であって、前記被テストデバイスインタフェースは、複数のブロックを備え、前記複数のブロックのそれぞれは前記被テストデバイスボードまたは前記ロードボードの接触パッドまたはコネクタと接触する複数のスプリング搭載ピンを含み、前記方法は、
    前記被テストデバイスボードまたは前記ロードボードの接触パッドまたはコネクタのレイアウトまたは位置に応じて、前記複数のブロックのうちの少なくとも２つのブロックの間の距離を変動させる段階を含む、方法。
14. テストヘッド、および被テストデバイスへの接続を提供する被テストデバイスボードまたはロードボードと前記テストヘッドとの間に電子信号経路を確立する被テストデバイスインタフェースを備え、１または複数の被テストデバイスをテストするための自動テスト装置を操作するための方法であって、前記被テストデバイスインタフェースは、複数のブロックを備え、前記複数のブロックのそれぞれは前記被テストデバイスボードまたは前記ロードボードの接触パッドまたはコネクタと接触する複数のスプリング搭載ピンを含み、前記方法は、
    前記被テストデバイスボードまたは前記ロードボードの大きさに応じて、前記複数のブロックのうちの少なくとも２つのブロックの間の距離を変動させる段階を含む、方法。

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