TWI797552B - 用於測試一或多個受測裝置之自動測試設備及用於操作自動測試設備的方法 - Google Patents

Abstract

一種用於測試一或多個受測裝置(DUT)之自動測試設備包含一測試頭及一DUT介面。該DUT介面包含複數個簧壓式接腳區塊，例如簧壓式接腳之群組或欄區。舉例而言，該DUT介面係組配來在該測試頭與一DUT板或裝載板之間建立一電子信號路徑，該DUT板或裝載板留持著該DUT或提供對該DUT的一連接。該自動測試設備係組配來允許至少兩個簧壓式接腳區塊間的一距離之一變化。

Description

用於測試一或多個受測裝置之自動測試設備及用於操作自動測試設備的方法

本揭露內容之實施例係關於一種用於測試一或多個測試受測裝置(DUT)之自動測試設備。其他實施例係關於一種用於操作一用於測試一或多個受測裝置的自動測試設備之方法。特定言之，本揭露內容之實施例係關於一彈性DUT介面或一可適應性DUT介面。

半導體測試系統係用於例如半導體裝置或其他電子裝置之裝置測試。舉例而言，一或多個待測裝置可配置於一晶圓上。為了測試，一受測裝置(DUT)需要連接至諸如電子儀器之測試設備。為了多個DUT之快速且高效的測試，DUT一般來說係置放於一提供連接器給DUT之DUT板上，該連接器經配置成匹配DUT之連接器的一特定配置。又，DUT板可經由一DUT介面連接至一測試頭。測試頭一般來說提供對測試設備之一連接。因此，DUT板、DUT介面及測試頭提供一DUT與測試設備之間的連接。如上所述，用於接觸DUT之個別接觸墊的DUT板之接點，可經配置以匹配一特定DUT。對比而言，使DUT接觸DUT介面、用於連接接點的DUT板之相對接點，一般來說係根據一固定佈局而配置，使得用於各種DUT之多個DUT板可與同一DUT介面一起使用。換言之，一半導體測試系統之DUT介面一般來說具有一某種固定大小，該測試系統與 DUT板(或裝載板)之間的連接係位於特定位置處。

存在各種用於將一測試頭連接至一DUT板之解決方案。文件SG193487 A1顯示一用於將一半導體探針連接至一半導體處置器之對接裝置，該對接裝置具有一探針側及一處置器側連接裝置及一移位裝置，其允許探針側連接裝置相對於處置器側連接裝置，進行一朝向及遠離彼此之平移及引導移位。

文件CN101002363A顯示一包括多個探針頭基體之晶圓測試總成，該等探針頭基材係如磚片配置，一側附接著連接器、且在相對側上支撐著探針。

文件US 6377062 B1提出一浮動介面總成，其在一積體電路測試頭與位於一用以接取待測積體電路之裝載板或探針卡上的接觸墊之間，提供一信號路徑。簧壓式接腳或用於接觸接觸墊之其他接觸器係安裝在介面總成上且藉由撓性導體鏈接至測試頭。

文件JP 2017096949A顯示一探針系統，其併有一具有複數個探針區塊之可組配通用探針桿，該等探針區塊包含複數個探針接腳，該等探針接腳定位成得以與一受測裝置之複數個面板之複數個單元接觸墊同時電氣地接合，以傳送複數個電氣測試信號；以及一對準系統，其係組配來將複數個探針接腳與受測裝置之複數個面板之該等複數個自接觸墊對準。

另外，文件WO0073905A2顯示一用於電子電路的大規模平行介面。文件US9921266B1顯示一用於半導體測試之自動測試設備之一般通用裝置介面。文件WO2008070466A2提出一用於測試半導體裝置之系統中的共用資源。文件KR200427961Y1顯示一用於探測一面板之裝置中的一操縱器。文件JP2013137286A顯示一電子組件測試裝置。

儘管如此，仍然有一種對一用於測試一DUT之概念的需求，該概 念在不同DUT之測試中提供時間與成本效率間之一改良權衡。

本發明之一實施例提供一種用於測試一或多個DUT之自動測試設備，其包含一測試頭及一DUT介面。DUT介面包含複數個簧壓式接腳區塊，例如簧壓式接腳之群組或欄區。舉例而言，DUT介面係組配來在測試頭與一DUT板或裝載板之間建立一電子信號路徑，該DUT板或裝載板留持著DUT或提供對DUT的一連接。自動測試設備係組配來允許至少兩個簧壓式接腳區塊間的距離之一變化。

舉例而言，測試頭係組配來將一電子信號發送至DUT介面之一簧壓式接腳或自其接收一電子信號，或者來於DUT介面之一簧壓式接腳與諸如一電信號來源或一電信號量測裝置之一測試儀器之間建立一電信號路徑。舉例而言，DUT介面之一簧壓式接腳可經組配來接觸一接觸墊或一DUT板之一連接器。

自動測試設備依賴於以下觀念：一有具一可變距離之複數個簧壓式接腳區塊的DUT介面，其在配置簧壓式接腳區塊上提供高靈活性，因此增強了一待由DUT介面接觸之DUT板之一佈局或設計的靈活性。簧壓式接腳提供一接觸構件，其用於特別快速接觸一DUT板或另一電路板、而一介於一簧壓式接腳與一接觸墊或一連接器間的電接觸仍可為非常良好。舉例而言，例如與一插頭/插座連接相比，不包含該連接，一簧壓式接腳之位置相對於待由該簧壓式接腳接觸之一接觸墊之一中心，可具有一比較上較大的容差。舉例而言，一DUT板可具有一DUT板平面，其上配置有待由一DUT介面接觸之接點。簧壓式接腳之使用，可提供簧壓式接腳或簧壓式接腳區塊之一側向對準及一直向或垂直位置兩者，相對於DUT板平面之一大允許容差。舉例而言，一側向容差可藉由該DUT板之接觸墊的一側向大小來界定，且一垂直容差藉由簧壓式接腳之一可壓 縮性來界定。

藉由變化DUT介面之兩個簧壓式接腳區塊間之距離，兩個簧壓式接腳區塊之位置，亦即一DUT介面之佈局，可適於一DUT板之接觸墊或連接器之一佈局或位置。因此，例如具有不同大小或接觸墊間距之DUT板之各種不同DUT板，可配合自動測試設備使用。因此，自動測試設備減少在DUT板之設計上之限制，因此允許DUT板之一靈活設計，而不會對自動測試設備之調適或交換造成過度或甚至是抑制之作用。使測試系統與DUT板之間的連接遠離彼此，導致對於多個DUT(多點設置)有增加之空間且對於支援電子組件(例如繼電器、旁路電容器等)有大量空間。另一方面，將連接器放得更接近在一起，會使DUT板更小、更不昂貴且至DUT之跡線更短，因此導致增強之信號效能。

具有一允許至少兩個簧壓式接腳區塊間距離之一變化之自動測試設備，有利於根據一DUT板之一佈局來調適DUT介面之佈局，且因此提供了一自動測試設備對各種DUT板之快速適應，而不需交換測試頭或DUT介面。因此，可節省用於不同測試頭或DUT介面之擴張範圍，且可授予一自動測試設備之有時間效率的操作。由於簧壓式接腳可提供一簧壓式接腳相對於一接觸墊之定位之容差，簧壓式接腳之使用在結合一簧壓式接腳區塊之位置的變化上是非常有益的。舉例而言，相較於一插頭/插座連接之使用，一對於一簧壓式接腳區塊之移動之精確性的要求可例如藉由簧壓式接腳之使用而降低。

根據本發明之一態樣，連接器欄區或簧壓式接腳區塊可被移出或推在一起以支援不同要求，例如一較低成本、具有較小組件空間之較小的DUT板，或一具有更多組件空間之較大的DUT板。

根據一實施例，自動測試設備包含兩個群組之簧壓式接腳區塊，且自動測試設備係組配來允許第一群組之簧壓式接腳區塊與第二群組之簧壓式接腳區塊間的距離之一變化。

具有其間的距離可改變之兩個群組之簧壓式接腳區塊，允許一群組之可集體移動之簧壓式接腳區塊之一靈活設計。一群組內之簧壓式接腳區塊之一集體移動，確保該等簧壓式接腳區塊之快速且精確的移動。

根據一實施例，第一群組之簧壓式接腳為一第一列簧壓式接腳區塊，且第二群組之簧壓式接腳為一第二列簧壓式接腳區塊。該第一列簧壓式接腳區塊平行於該第二列簧壓式接腳區塊，例如，在±1度或±2度或±5度之容差內平行。另外，該自動測試設備係組配來允許該第一列簧壓式接腳區塊與該第二列簧壓式接腳區塊間的距離之一變化。

舉例而言，第一列與第二列簧壓式接腳區塊間之距離，可以垂直於與簧壓式接腳之該等列平行之方向量測。變化兩列簧壓式接腳區塊間之距離，導致在距離變化前由第一列及第二列簧壓式接腳覆蓋的第一區域、與距離變化後由第一列及第二列簧壓式接腳覆蓋的第二區域兩者間特別小之重疊。換言之，該距離之變化可特別高效。

根據一實施例，DUT介面包含至少一群組之簧壓式接腳區塊，該至少一群組之簧壓式接腳區塊包含至少一欄區的簧壓式接腳區塊。

根據一實施例，簧壓式接腳區塊係經例如彈式纜線之撓性纜線來耦接至測試頭。

舉例而言，簧壓式接腳可藉由個別撓性纜線個別地連接至測試頭。由於該等簧壓式接腳與該測試頭之間的撓性耦接，簧壓式接腳區塊可容易地移動而無需在變化該等簧壓式接腳區塊間的距離之後將該等簧壓式接腳重新連接至該測試頭。

根據一實施例，至少一簧壓式接腳區塊係使用一線性軌道引導，以允許各別的該簧壓式接腳區塊或該至少一簧壓式接腳區塊之一線性移位，例如引導線性移位。一線性軌道為允許一簧壓式接腳區塊之一精確移動的一簡單 構造。

根據一實施例，使用一第一線性軌道引導一第一簧壓式接腳區塊，及使用一第二線性軌道引導一第二簧壓式接腳區塊，以使得該第一簧壓式接腳區塊與該第二簧壓式接腳區塊間的一距離可藉由使該第一簧壓式接腳區塊及該第二簧壓式接腳區塊沿著各別的線性軌道之相反方向移位來變化。舉例而言，第一簧壓式接腳區塊及第二簧壓式接腳區塊可在相反方向上移位相等距離。

使一第一簧壓式接腳區塊及一第二簧壓式接腳區塊於相反方向上移動，可確保當該第一及該第二簧壓式接腳區塊移位時，具該第一及該第二簧壓式接腳區塊之一實體的一幾何中心可保持接近於該相同位置或處於該相同位置。因此，在已改變該第一及該第二簧壓式接腳區塊及DUT板間的距離後，可簡化DUT介面與一DUT板之一對準。

根據一實施例，至少一簧壓式接腳區塊係使用一鉸鏈引導。一鉸鏈可將一旋轉變換成一平移。一旋轉可機械地、簡易地且有成本效率地實行，且可特別迅速且精確地執行。

根據一實施例，至少一簧壓式接腳區塊係使用一平行四邊形連桿引導。一平行四邊形連桿可提供使用一鉸鏈之優點，且可進一步確保一配置著簧壓式接腳尖端之平面相對於一DUT板平面之平行對準。

根據一實施例，平行四邊形連桿之一基底部分，係機械式連接(例如附接)至測試頭及該平行四邊形連桿之一可移動載體部分，其攜載至少一簧壓式接腳區塊、被引導成平行於該基底部分，例如，在不超過+/-1度或不超過+/-2度或不超過+/-5度之一容差內。舉例而言，該可移動載體部分可使用該可移動載體部分與該基底部分之間的至少兩個平行鏈結來引導。

根據一實施例，平行四邊形連桿之可移動載體部分可移動以採取 兩個不同位置，其中該平行四邊形連桿之基底部分與該平行四邊形之該可移動載體部分之間的距離為相等的。

由於平行四邊形連桿可移動以採取兩個不同位置，這兩個不同位置可由一機械止動件界定且因此可為特別精確。另外，參照垂直於一DUT板平面之方向的至少一簧壓式接腳區塊之一直向位置，對於平行四邊形連桿之兩個不同位置皆可為相等的。因此，該配置可允許該至少一簧壓式接腳區塊之一精確且快速的改變位置，例如以人工之方式。因此，此組配可提供自動測試設備之一特別便宜且精確的實行。

根據一實施例，自動測試設備包含至少一第一平行四邊形連桿及一第二平行四邊形連桿。該第一平行四邊形連桿攜載一第一簧壓式接腳區塊且該第二平行四邊形連桿攜載一第二簧壓式接腳區塊。該等平行四邊形連桿經例如配置及/或對準之調適來允許不同的簧壓式接腳區塊當在垂直於一DUT板平面之一俯視圖中觀看時以相反方向移動，例如，使得兩個不同簧壓式接腳區塊之移動向量在一DUT板平面上之投影具有相反方向。此實施例組合了平行四邊形連桿及兩個簧壓式接腳區塊沿著線性軌道在相反方向上之移位的優點。

根據一實施例，自動測試設備包含一或多個致動器，例如電動馬達或氣動汽缸，其適於實現至少兩個簧壓式接腳區塊間距離之變化。該等致動器可允許至少兩個簧壓式接腳區塊間距離之一特別精確的變化，且可進一步允許該距離之自動變化。因此，該自動測試設備可於一自動測試系統中實行。

本發明之另一實施例提供一種用於操作一用於測試一或多個受測裝置之自動測試設備的方法，該自動測試設備包含一測試頭及一DUT介面，其中該DUT介面包含複數個簧壓式接腳區塊，該方法包含變化該DUT介面之至少兩個簧壓式接腳區塊間之距離。

應注意，該等方法係基於與對應自動測試裝置相同的考量。此 外，該等方法可藉由本文中就自動測試裝置說明的特徵、功能及細節中之任一者，以單獨或組合這兩種方式來補充。

10,20,30,40,60:自動測試設備

11,21,31,41,61,81:DUT介面

12,92:(簧壓式接腳)區塊

14,24:簧壓式接腳

15:主平面，主表面

16,26,43,86,96:距離

18,28:測試頭

23,83:(第一)群組

25:撓性(彈式)纜線

27:(第二)群組

29:DUT板

32:(第一)簧壓式接腳區塊

33:(第二)簧壓式接腳區塊

37,38:線性軌道

44:主平面

45:基底部分

46:可移動載體部分

47,48:平行四邊形連桿

49:鏈結

67:致動器

82:欄區

84:子群組

87,97:第二群組

90、91:DUT介面(佈局)

93:第一群組

1000:方法

1010:方塊

隨後將參考附圖說明根據本申請案之實施例。

圖1根據一實施例例示一自動測試設備。

圖2根據一實施例例示一自動測試設備及一DUT板之一配置。

圖3a、b根據一實施例例示一具有線性軌道之自動測試設備。

圖4、5根據一實施例例示一具有一平行四邊形連桿之自動測試設備。

圖6根據一實施例例示一具有一致動器之自動測試設備。

圖7根據一實施例例示DUT介面之簧壓式接腳區塊群組之一配置。

圖8根據一實施例例示DUT介面之兩個佈局。

圖9根據一實施例顯示一種用於操作一自動測試設備的方法之一流程圖。

在以下說明中將詳細論述實施例，然而應可瞭解的是，該等實施例提供許多可適用的概念，可體現於涉及裝置測試及DUT介面之廣泛多種應用中。所論述之特定實施例僅用於例示實行及使用本概念之特定方式，並非用以限制實施例之範圍。在以下對實施例之說明中，相同或類似之元件或具有相同功能性之元件具備相同參考符號或以相同名稱識別，且一般省略具備相同參考數字或以相同名稱識別的元件之重複說明。故針對具有相同或類似參考數字或以相同名稱識別之元件所提供的說明，在不同實施例中可相互交換或可應用於彼此。在以下說明中，將闡述複數個細節以提供對本揭露內容之實施例的較透 徹解釋。然而，對於熟習此藝者顯然可見的是，其他實施例可在沒有這些特定細節的情況下實踐。在其他實例中，熟知之結構及裝置係以方塊圖形式顯示而非詳細顯示，以便避免模糊了本文中所說明之範例。另外，除非特別有相反說明，否則本文所說明之不同實施例的特徵可以互相組合。

圖1根據一實施例顯示一用於測試一或多個DUT之自動測試設備10之一示意表示形態。自動測試設備10包含一測試頭18及一DUT介面11。DUT介面11包含簧壓式接腳14之複數個區塊12，其中該等複數個簧壓式接腳14之複數個區塊12中之各者包含在一第一維度上之至少兩行簧壓式接腳。自動測試設備10係組配來允許至少兩個簧壓式接腳區塊12間的距離在平行於該第一維度之方向上之一變化。

舉例而言，DUT介面11包含複數個簧壓式接腳14。簧壓式接腳14可包含導電尖端，簧壓式接腳14之尖端係配置於DUT介面11之一主平面15上。一簧壓式接腳14之尖端可在垂直於主平面15之方向上，相對於簧壓式接腳14之一本體移動。舉例而言，簧壓式接腳14可在垂直於主平面之方向上壓縮。DUT介面11之簧壓式接腳14被分組於至少兩個簧壓式接腳區塊12中。一簧壓式接腳區塊12的簧壓式接腳14之本體可藉由一絕緣材料機械地附接至彼此，而一個簧壓式接腳區塊12的個別簧壓式接腳14之尖端可在垂直於主平面之方向上個別移動。若DUT介面11被推抵一DUT板，則簧壓式接腳14可被壓縮。由於簧壓式接腳14中之每一者皆可個別地壓縮，因此簧壓式接腳14可對DUT板上之一接觸墊提供良好的電接觸，即使該DUT介面所推抵之DUT板的一表面有不平整、或即使DUT介面之主平面與該DUT介面所推抵之DUT板的該表面並非完全平行的。

至少兩個簧壓式接腳區塊12間之距離16，其可被改變，係可平行於DUT介面之主平面15來量測。

DUT介面11之簧壓式接腳14可例如個別地連接至測試頭18。測試 頭18可提供複數個簧壓式接腳至電子儀器之個別連接。

自動測試設備10可任擇地藉由本文中就其他實施例說明的特徵、功能及細節中之任一者，以單獨或組合這兩種方式來補充。

圖2根據一實施例顯示一自動測試設備20之一示意表示形態。自動測試設備20可對應於自動測試設備10。自動測試設備10包含一測試頭28及一DUT介面21，其可各別對應於測試頭18及DUT介面11。圖2進一步顯示待由自動測試設備20接觸之一範例性DUT板29。

自動測試設備20包含兩個群組23、27之簧壓式接腳區塊(或彈針區塊)，例如圖1之區塊12。自動測試設備20係組配來允許一第一群組23之簧壓式接腳區塊與一第二群組27之簧壓式接腳區塊間的距離26之一變化。舉例而言，簧壓式接腳區塊可彼此附接，以形成一群組23、27之簧壓式接腳區塊。

圖7顯示在沿著垂直於DUT介面81之主平面15的方向之視圖中DUT介面81之一示意表示形態。DUT介面81可對應於DUT介面11、21。舉例而言，圖2可顯示DUT介面21、81之截面。DUT介面81包含複數個簧壓式接腳區塊，其配置於簧壓式接腳區塊的欄區82中。DUT介面81之欄區82分組成八個子群組84。子群組84係配置來形成簧壓式接腳區塊之一第一群組83及一第二群組87，其各別對應於簧壓式接腳區塊之群組23、27。簧壓式接腳區塊之群組82、83間的距離86可變化。舉例而言，距離86可對應於圖2的距離26。

據此，第一群組83之簧壓式接腳區塊可為一第一列簧壓式接腳區塊，且第二群組87之簧壓式接腳區塊可為一第二列簧壓式接腳區塊。第一列簧壓式接腳區塊可平行於第二列簧壓式接腳區塊。自動測試設備係可經組配來允許第一列簧壓式接腳區塊與第二列簧壓式接腳區塊間的距離86之一變化。

舉例而言，DUT介面81之距離86可經調適以使該DUT介面匹配一V93000測試器。舉例而言，DUT介面81可具有8個群組。舉例而言，每個群組 由2個欄區組成，其各有9個簧壓式接腳區塊。

根據一實施例，簧壓式接腳區塊係經由撓性纜線25耦接至測試頭28。舉例而言，簧壓式接腳區塊之簧壓式接腳14可經由撓性纜線耦接至測試頭18、28。此特徵獨立於將簧壓式接腳區塊12分組成簧壓式接腳區塊12之群組23、27。

根據一實施例，為了更多的靈活性，簧壓式接腳區塊可任擇地移動至多於一個位置。

圖3a及圖3b根據一實施例顯示一自動測試設備30之一示意表示形態。自動測試設備30可對應於自動測試設備10、20。自動測試設備30包含測試頭28，且進一步包含一第一簧壓式接腳區塊32及一第二簧壓式接腳區塊33。簧壓式接腳區塊32、33包含簧壓式接腳24，其可對應於簧壓式接腳14。自動測試設備30包含線性軌道37、38。線性軌道37、38提供移位或移動構件，其用以平行於DUT介面31之一主平面移位或移動簧壓式接腳區塊32、33，其可平行於DUT介面31之一主表面25。主表面25可對應於就圖1所介紹之主表面15。

簧壓式接腳區塊32、33中的簧壓式接腳24係經由撓性彈式纜線25連接至測試頭28。圖3a及圖3b顯示簧壓式接腳區塊32、33的兩個不同位置。舉例而言，圖3a顯示簧壓式接腳區塊在內位置處之一組配，且如圖3a中所顯示之簧壓式接腳區塊32、33間的距離26，可用於較小DUT板，其可具有受限的板空間但其可因此施用於空間有限應用。對於提供增加的板空間之較大DUT板，可增加簧壓式接腳區塊32、33間的距離26，如圖3b中所顯示，其可表示在外位置處簧壓式接腳區塊之一組配。

據此，至少一簧壓式接腳區塊32可使用一線性軌道37、38引導，以允許簧壓式接腳區塊32的一線性移位。

換言之，一實行構想(本發明之態樣)係藉由使用線性軌道來增加 空間。

舉例而言，一第一簧壓式接腳區塊32係使用一第一線性軌道37引導，且一第二簧壓式接腳區塊33係使用一第二線性軌道38引導。第一簧壓式接腳區塊32及第二簧壓式接腳區塊33可受引導，使得第一簧壓式接腳區塊32與第二簧壓式接腳區塊33間的距離26可藉由使第一簧壓式接腳區塊32及第二簧壓式接腳區塊33沿著各別線性軌道37、38在相反方向上移位來變化。

根據一實施例，第一簧壓式接腳區塊32及第二簧壓式接腳區塊33可沿相反方向移位相等距離。

圖4及圖5根據另一實施例顯示一自動測試設備40之一示意表示形態。自動測試設備40可對應於自動測試設備10、20。自動測試設備40包含測試頭28及可對應於DUT介面11、21之一DUT介面41。DUT介面41包含簧壓式接腳區塊32、33。至少一簧壓式接腳區塊可使用一鉸鏈(或鉸鏈類型)引導。舉例而言，可使用一平行四邊形連桿，例如圖4及5所顯示之平行四邊形連桿47、48，來引導至少一簧壓式接腳區塊。換言之，另一實行構想(本發明之態樣)係藉由使用鉸鏈來增加空間。

根據一實施例，平行四邊形連桿47、48之一基底部分45係機械式連接至測試頭28，且平行四邊形連桿47、48之攜載至少一簧壓式接腳區塊32、33的一可移動載體部分46，被引導成平行於該基底部分。

舉例而言，可移動載體部分46可相對於基底部分45移動。平行四邊形連桿47、48可引導可移動載體部分46相對於基底部分45之一移動，使得可移動載體部分46相對於基底部分45之一角度對準或一旋轉可在移動期間保持恆定，例如，可移動載體部分46及基底部分45可保持平行。舉例而言，平行四邊形連桿47之基底部分45及可移動載體部分46可藉由至少二平行鏈結49連接。

圖4顯示平行四邊形連桿47、48之一第一位置，其中簧壓式接腳 區塊32、33間的距離26具有小於一第二值之一第一值。圖5顯示平行四邊形連桿47、48之一第二位置，其中簧壓式接腳區塊32、33之間的距離26具有該第二值。DUT介面41之主平面44可對應於圖1之DUT介面11之主平面15，主平面44間在平行四邊形連桿47、48之第二位置中的距離43之一值，可相等於平行四邊形連桿47、48之第一位置中的距離43之一值。換言之，圖4及5可各別表示簧壓式接腳區塊在內位置及外位置處之組配。

據此，平行四邊形連桿47之可移動載體部分46係可移動以採取兩個不同位置，其中平行四邊形連桿47之基底部分45與平行四邊形連桿47之可移動載體部分46間的距離43為相等的。

根據一實施例，自動測試設備40包含至少一第一平行四邊形連桿47及一第二平行四邊形連桿48。第一平行四邊形連桿47攜載一第一簧壓式接腳區塊32且第二平行四邊形連桿48攜載一第二簧壓式接腳區塊33。平行四邊形連桿47、48適於允許例如簧壓式接腳區塊32、33之不同的簧壓式接腳區塊當在垂直於一DUT板平面之一俯視圖中觀看時以相反方向移動。舉例而言，該DUT板平面可平行於DUT介面41之主平面44，例如，在+/-5度之容差內。

根據一實施例，自動測試設備10、20、30、40包含一或多個致動器67，其適於實現至少兩個簧壓式接腳區塊間的距離之變化。換言之，根據本發明之一態樣，該等位置之間的改變可例如人工地或經由一致動器完成。該等致動器可為例如氣動的(例如汽缸)或電動的(例如馬達)。

舉例而言，圖6根據一實施例顯示一自動測試設備60之一示意表示形態。自動測試設備60可對應於自動測試設備10、20、30。自動測試設備60包含測試頭28以及一包含簧壓式接腳區塊32、33的DUT介面61。DUT介面61可對應於DUT介面11、21。DUT介面61包含用於變化簧壓式接腳區塊32、33間的距離26之致動器67。舉例而言，簧壓式接腳區塊32、33中之每一者可藉由一單 獨的致動器67移動或移位。根據另一範例，一致動器67用於移位或移動至少兩個簧壓式接腳區塊32、33，使得至少兩個簧壓式接腳區塊32、33的移動可相反但為相等移動速率。舉例而言，簧壓式接腳區塊32、33可藉由線性軌道來引導，例如線性軌道37、38。

圖8顯示在沿著垂直於DUT介面之一主平面之方向之一俯視圖中的DUT介面90、91(例如，既存V93K DUT IF及Nordwant DUT IF)之佈局之兩個範例。DUT介面90、91包含分組於簧壓式接腳區塊之一第一群組93及一第二群組97的簧壓式接腳區塊92。兩個所示DUT介面佈局之範例相差第一群組93與第二群組97之簧壓式接腳區塊間的距離96之一值。舉例而言，自動測試設備10、20、30、40、60可藉由調適距離96而允許在DUT介面佈局90與DUT介面佈局91間切換。

圖9根據一實施例顯示一種用以操作一自動測試設備10、20、30、40、60來測試一或多個DUT的方法1000之一流程圖，其包含一測試頭18、28及一DUT介面11、21、31、41、61。方法1000包含在方塊1010變化DUT介面11、21、31、41、61之至少兩個簧壓式接腳區塊12、32、33、92間的距離16、26、86、96。

其他實施例由以下態樣界定，其可與本文所揭露之任何細節及特徵及功能來組合或補充。該等態樣係可個別使用或以組合方式採用。

本發明之一實施例提供具有一大小可變構件(或用以改變大小之一構件)之一DUT介面。

根據一實施例，該大小可變構件由一線性軌道組成或包含一線性軌道。

根據一實施例，該大小可變構件由一鉸鏈類型或一鉸鏈組成或包含一鉸鏈類型或一鉸鏈。

根據一實施例，該大小可變構件係用於變更簧壓式接腳區塊的位置。

根據一實施例，該位置可從一內位置改變至一外位置。

根據一實施例，該位置可人工改變。

根據一實施例，該位置可藉由一致動器改變。

根據一實施例，該致動器由氣動汽缸或電動馬達組成。

根據一實施例，該DUT介面具有用於信號傳輸之一撓性纜線(例如一彈式纜線)以及一簧壓式接腳區塊。

雖然一些態樣已被說明為一設備情境下之特徵，但此一說明明顯亦可被當作一方法之對應特徵之一說明。雖然一些態樣已被說明為一方法情境下之特徵，但此一說明明顯亦可被當作一設備之關於功能性的對應特徵之一說明。

方法步驟中之一些或全部可由(或是使用)一硬體設備來執行，例如一微處理器、一可規劃電腦、或一電子電路。在一些實施例中，最重要的方法步驟中之一或多個可由此一設備來施行。

在前述實施方式中可看出，為了流暢化本揭露內容，而在範例中將各種特徵聚集在一起。本揭露內容之方法不應被解讀成反映所稱範例需要每個請求項中明載的特徵外更多特徵之一意圖。而是，如以下請求項反映，標的可存在於少於單一所揭露範例之所有特徵。因此，以下請求項以此併入實施方式中，其中每個請求項皆可獨立地作為一單獨範例。雖然每個請求項皆可獨立地作為一單獨範例，但應注意，雖然一依附項在該請求項中可提到一或多個其他請求項之一特定組合，但其他範例亦可包括該依附項與其他依附項彼此之標的之一組合、或每個特徵與其他依附或獨立項之一組合。除非有陳明一特定組合係非意欲的，否則本文係提議有如等組合在。此外，意欲亦將一請求項的特 徵包括至任何其他獨立項，即使該請求項並非直接依附於該獨立項。

上述實施例僅例示本揭露內容之原理。應理解，本文所述配置及細節之修改及變化對於熟習此藝者將為顯易可見。因此，意欲僅受到待決之申請專利範圍的範疇之限制而不受以本文實施例之說明及解釋方式所呈現的特定細節之限制。

10:自動測試設備

11:DUT介面

12:簧壓式接腳區塊

14:簧壓式接腳

15:主平面，主表面

16:距離

18:測試頭

Claims (13)

1. 一種用以測試一或多個受測裝置之自動測試設備，該自動測試設備包含：一受測裝置介面，其包含複數個簧壓式接腳區塊，其等經組配來電氣地接觸一受測裝置板，其中該等複數個簧壓式接腳區塊中之各者包含在一第一維度上之至少兩行簧壓式接腳；一測試頭，其經組配來將該受測裝置介面耦接至一測試儀器，以及其中在該等複數個簧壓式接腳區塊中之一第一區塊與一第二區塊間的一距離可在平行於該第一維度之方向上被調整。
2. 如請求項1之自動測試設備，其中該等複數個簧壓式接腳區塊包含：一第一群組之簧壓式接腳區塊；一第二群組之簧壓式接腳區塊，以及其中在該第一群組之簧壓式接腳區塊與該第二群組之簧壓式接腳區塊間的一距離為可調整的。
3. 如請求項2之自動測試設備，其中該第一群組之簧壓式接腳區塊為一第一列簧壓式接腳區塊，其中該第二群組之簧壓式接腳區塊為一第二列簧壓式接腳區塊，其中該第一列簧壓式接腳區塊係平行於該第二列簧壓式接腳區塊，且其中該自動測試設備係經組配來允許該第一列簧壓式接腳區塊與該第二列簧壓式接腳區塊間的距離之一變化。
4. 如請求項1至3中之一項之自動測試設備，其中該等簧壓式接腳區塊係經由撓性纜線耦接至該測試頭。
5. 如請求項1至3中之一項之自動測試設備，其中至少一簧壓式接腳區塊係使用一線性軌道引導，以允許該簧壓式接腳區塊的一線性移位。
6. 如請求項1至3中之一項之自動測試設備，其中一第一簧壓式接腳區塊係使用一第一線性軌道引導，且其中一第二簧壓式接腳區塊係使用一第二線性軌道引導，使得該第一簧壓式接腳區塊與該第二簧壓式接腳區塊間的一距離可藉由使該第一簧壓式接腳區塊及該第二簧壓式接腳區塊沿著各別的該線性軌道以相反方向移位來變化。
7. 如請求項1至3中之一項之自動測試設備，其中至少一簧壓式接腳區塊係使用線性軌道而引導。
8. 如請求項1至3中之一項之自動測試設備，其中至少一簧壓式接腳區塊係使用一平行四邊形連桿引導。
9. 如請求項8之自動測試設備，其中該平行四邊形連桿之一基底部分係機械地連接至該測試頭，且其中該平行四邊形連桿之一可移動載體部分，其攜載至少一簧壓式接腳區塊，係被引導成平行於該基底部分。
10. 如請求項9之自動測試設備，其中該平行四邊形連桿之該可移動載體部分係可移動以採取兩個不同的位置，其中該平行四邊形連桿之該基底部分與該平行四邊形連桿之該可移動載體部分間的距離為相等的。
11. 如請求項1至3中之一項之自動測試設備，其中該自動測試設備包含至少一第一平行四邊形連桿及一第二平行四邊形連桿， 其中該第一平行四邊形連桿攜載一第一簧壓式接腳區塊，且其中該第二平行四邊形連桿攜載一第二簧壓式接腳區塊，且其中該等平行四邊形連桿適於允許不同的簧壓式接腳區塊當在垂直於一受測裝置板平面之一俯視圖中觀看時以相反方向的一移動。
12. 如請求項1至3中之一項之自動測試設備，其中該自動測試設備包含一或多個致動器，其適於實現該等至少兩個簧壓式接腳區塊間的該距離之該變化。
13. 一種用以操作用於測試一或多個受測裝置之一自動測試設備的方法，該自動測試設備包含一受測裝置介面，其中該受測裝置介面包含複數個簧壓式接腳區塊，該方法包含：將該等複數個簧壓式接腳區塊中之一個區塊耦接至一第一受測裝置板；該受測裝置介面之至少兩個簧壓式接腳區塊間的一距離沿著一移動軸變化，其中該等至少兩個簧壓式接腳區塊中之各者包含至少兩行之簧壓式接腳，其中該等行之簧壓式接腳係垂直於該移動軸；以及在該變化後將該等複數個簧壓式接腳區塊中之該一個區塊耦接至一第二受測裝置板。

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