DE112020000048T5

DE112020000048T5 - Automatisierte prüfeinrichtung zum prüfen eines oder mehrerer prüfobjekte undverfahren zum betreiben einer automatisierten prüfeinrichtung

Info

Publication number: DE112020000048T5
Application number: DE112020000048.6T
Authority: DE
Inventors: Marc Mössinger
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2019-12-18
Filing date: 2020-02-06
Publication date: 2022-06-02
Also published as: US20210190859A1; US11500013B2; US20230073119A1; JP2022517158A; JP7217293B2; US20230087389A1; US11899058B2; US11899059B2

Abstract

Eine automatisierte um Prüfen eines oder mehrere DUTs weist einen Prüfkopf und eine DUT-Schnittstelle auf. Die DUT-Schnittstelle weist eine Mehrzahl von Federstiftblöcken auf, zum Beispiel Gruppen oder Felder von Federstiften. Die DUT-Schnittstelle ist beispielsweise dazu konfiguriert, einen elektronischen Signalweg zwischen dem Prüfkopf und einer DUT-Platine oder Lastplatine einzurichten, die das DUT hält oder die eine Verbindung zu dem DUT bereitstellt. Die automatisierte Prüfeinrichtung ist dazu konfiguriert, eine Variation eines Abstands zwischen zumindest zwei Federstiftblöcken zu ermöglichen.

Description

Technisches Gebiet
Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Offenbarung bezieht sich auf eine automatisierte Prüfeinrichtung zum Prüfen eines oder mehrerer zu prüfender Prüfobjekte (devices under test, DUTs). Weitere Ausführungsbeispiele beziehen sich auf ein Verfahren zum Betreiben einer automatisierten Prüfeinrichtung zum Prüfen eines oder mehrerer Prüfobjekte. Insbesondere beziehen sich die Ausführungsbeispiele der vorliegenden Offenbarung auf eine flexible DUT-Schnittstelle oder eine anpassbare DUT-Schnittstelle.
Hintergrund
Halbleiterprüfsysteme werden für die Vorrichtungsprüfung, zum Beispiel von Halbleitervorrichtungen oder anderen elektronischen Vorrichtungen, verwendet. Beispielsweise können ein oder mehrere zu prüfende Vorrichtungen auf einem Wafer angeordnet sein. Zum Prüfen muss ein Prüfobjekt (DUT) mit Prüfeinrichtung wie zum Beispiel elektronischen Instrumenten verbunden sein. Für schnelles und effizientes Prüfen mehrerer DUTs wird das DUT in der Regel auf einer DUT-Platine platziert, die Verbinder zu dem DUT bereitstellt, wobei die Verbinder so angeordnet sind, dass dieselben mit einer bestimmten Anordnung von Verbindern des DUT übereinstimmen. Die DUT-Platine kann wiederum über eine DUT-Schnittstelle mit einem Prüfkopf verbunden sein. Der Prüfkopf stellt normalerweise eine Verbindung zu der Prüfeinrichtung her. Somit stellen die DUT-Platine, die DUT-Schnittstelle und der Prüfkopf eine Verbindung zwischen dem DUT und der Prüfeinrichtung her. Wie oben erwähnt, können die Kontakte der DUT-Platine zum Kontaktieren einzelner Kontaktflächen des DUT so angeordnet sein, dass dieselben mit einem bestimmten DUT übereinstimmen. Im Gegensatz dazu sind die Gegenkontakte der DUT-Platine zum Verbinden der Kontakte, die das DUT kontaktieren, mit der DUT-Schnittstelle in der Regel gemäß einem festen Layout angeordnet, so dass mehrere DUT-Platinen für verschiedene DUTs mit derselben DUT-Schnittstelle verwendet werden können. Anders gesagt weist die DUT-Schnittstelle eines Halbleiterprüfsystems in der Regel eine bestimmte feste Größe auf, wobei die Verbindungen zwischen dem Prüfsystem und der DUT-Platine (oder Lastplatine) sich an bestimmten Stellen befinden.
Es gibt verschiedene Lösungen für das Verbinden eines Prüfkopfs mit einer DUT-Platine. Das Dokument SG193487 A1 zeigt eine Andockvorrichtung zum Verbinden einer Halbleitersonde mit einem Halbleiter-Handler, wobei die Andockvorrichtung eine Sonden- und eine Handler-Site-Verbindungsvorrichtung sowie eine Verschiebevorrichtung aufweist, die eine Translationsverschiebung und geführte Verschiebung der sondenseitigen Verbindungsvorrichtung relativ zu der handlerseitigen Verbindungsvorrichtung aufeinander zu und voneinander weg ermöglicht.
Das Dokument CN101002363A zeigt eine Wafer-Prüfanordnung mit mehreren Sondenkopfsubstraten, die wie Kacheln angeordnet sind, wobei Verbinder auf einer Seite und Sonden auf der gegenüberliegenden Seite angebracht sind.
Das Dokument US 6377062 B1 schlägt eine ungeerdete Schnittstellenanordnung vor, die einen Signalweg zwischen einem Prüfkopf einer integrierten Schaltung und Kontaktflächen auf einer Lastplatine oder Nadelkarte, die auf eine zu prüfende integrierte Schaltung zugreifen, vorsieht. Federstifte oder andere Kontaktgeber zum Kontaktieren der Kontaktflächen sind auf der Schnittstellenanordnung befestigt und durch flexible Leiter mit dem Prüfkopf verbunden.
Das Dokument JP 2017096949A zeigt ein Sondensystem, das eine konfigurierbare universelle Sondenstange mit einer Mehrzahl von Sondenblöcken aufweist, die eine Mehrzahl von Sondenstiften aufweisen, die so positioniert sind, dass sie gleichzeitig mit einer Mehrzahl von Zellenkontaktflächen einer Mehrzahl von Feldern eines Prüfobjekts elektrisch in Eingriff stehen, um eine Mehrzahl von elektrischen Prüfsignalen zu liefern, sowie ein Ausrichtungssystem, das dazu konfiguriert ist, die Mehrzahl von Sondenstiften mit der Mehrzahl von Selbstkontaktflächen der Mehrzahl von Feldern des Prüfobjekts auszurichten.
Ferner zeigt das Dokument WO0073905A2 eine massiv parallele Schnittstelle für elektronische Schaltungsanordnungen. Das Dokument US9921266B1 zeigt eine allgemeine universelle Vorrichtungsschnittstelle für automatische Prüfeinrichtungen für das Prüfen von Halbleitern. Das Dokument WO200807070466A2 schlägt die gemeinsame Nutzung von Ressourcen in einem System zum Prüfen von Halbleitervorrichtungen vor. Das Dokument KR200427961Y1 zeigt einen Manipulator in einer Vorrichtung zur Sondenuntersuchung eines Feldes. Das Dokument JP2013137286A zeigt eine Prüfvorrichtung für elektronische Komponenten.
Dennoch besteht nach wie vor Bedarf an einem Konzept für das Prüfen eines Prüfobjekts, wobei das Konzept einen verbesserten Kompromiss zwischen Zeit- und Kosteneffizienz beim Prüfen verschiedener Prüfobjekte bietet.
Kurzdarstellung der Erfindung
Ein Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung stellt eine automatisierte Prüfeinrichtung zum Prüfen eines oder mehrerer Prüfobjekte bereit, die einen Prüfkopf und eine DUT-Schnittstelle aufweist. Die DUT-Schnittstelle weist eine Mehrzahl von Blöcken von Federstiften auf, zum Beispiel Gruppen oder Felder von Federstiften. Die DUT-Schnittstelle ist beispielsweise dazu konfiguriert, einen elektronischen Signalweg zwischen dem Prüfkopf und einer DUT-Platine oder Lastplatine einzurichten, die das DUT hält oder die eine Verbindung zu dem DUT bereitstellt. Die automatisierte Prüfeinrichtung ist dazu konfiguriert, eine Variation eines Abstands zwischen zumindest zwei Federstiftblöcken zu ermöglichen.
Der Prüfkopf ist zum Beispiel zum Senden oder Empfangen eines elektronischen Signals zu oder von einem Federstift der DUT-Schnittstelle oder zum Einrichten eines elektrischen Signalwegs zwischen einem Federstift der DUT-Schnittstelle und einem Prüfinstrument konfiguriert, beispielsweise einer Quelle für ein elektrisches Signal oder einer Messvorrichtung für ein elektrisches Signal. Ein Federstift der DUT-Schnittstelle kann beispielsweise dazu konfiguriert sein, eine Kontaktfläche oder einen Verbinder einer DUT-Platine zu kontaktieren.
Die automatisierte Prüfeinrichtung beruht auf der Idee, dass eine DUT-Schnittstelle mit einer Mehrzahl von Federstiftblöcken, die einen variablen Abstand haben, eine hohe Flexibilität beim Anordnen der Federstiftblöcke bietet, wodurch die Flexibilität eines Layouts oder Designs einer DUT-Platine, die durch die DUT-Schnittstelle kontaktiert werden soll, erhöht wird. Federstifte bieten eine Möglichkeit zum besonders schnellen Kontaktieren einer DUT-Platine oder einer anderen Schaltungsplatine, während ein elektrischer Kontakt zwischen einem Federstift und einer Kontaktfläche oder einem Verbinder noch sehr gut sein kann. So kann zum Beispiel eine Position des Federstifts relativ zu einer Mitte einer Kontaktfläche, die von dem Federstift kontaktiert werden soll, eine vergleichsweise große Toleranz aufweisen, zum Beispiel im Vergleich zu einer Stecker/Buchsen-Verbindung, ohne dass die Verbindung besteht. Eine DUT-Platine kann beispielsweise eine DUT-Platinenebene aufweisen, auf der Kontakte angeordnet sind, die durch eine DUT-Schnittstelle kontaktiert werden sollen. Die Verwendung von Federstiften kann eine große zulässige Toleranz sowohl für eine seitliche Ausrichtung als auch für eine vertikale oder senkrechte Position der Federstifte oder der Federstiftblöcke in Bezug auf die DUT-Platinenebene vorsehen. Beispielsweise kann eine seitliche Toleranz durch eine seitliche Größe von Kontaktflächen der DUT-Platine und eine vertikale Toleranz durch eine Zusammendrückbarkeit der Federstifte definiert sein.
Durch Variieren eines Abstands zwischen zwei Federstiftblöcken der DUT-Schnittstelle kann eine Position der zwei Federstiftblöcke, d. h. ein Layout der DUT-Schnittstelle, an ein Layout oder eine Position von Kontaktflächen oder Verbindern einer DUT-Platine angepasst werden. So können verschiedene unterschiedliche DUT-Platinen, zum Beispiel DUT-Platinen mit unterschiedlichen Größen oder Kontaktflächenabständen, mit der automatisierten Prüfeinrichtung verwendet werden. Die automatisierte Prüfeinrichtung reduziert deshalb Einschränkungen beim Design von DUT-Platinen und ermöglicht auf diese Weise ein flexibles Design von DUT-Platinen, ohne dass ein übermäßiger oder gar untragbarer Aufwand für eine Anpassung oder einen Austausch der automatisierten Prüfeinrichtung entsteht. Die weit voneinander beabstandeten Verbindungen zwischen dem Prüfsystem und der DUT-Platine führen zu mehr Platz für mehrere DUTs (Multi-Site-Aufbau) und zu einem umfangreichen Platzangebot für die Unterstützung elektronischer Komponenten (z. B. Relais, Bypass-Kondensatoren usw.). Andererseits wird die DUT-Platine durch engere Anordnung der Verbinder kleiner, kostengünstiger und es werden kürzere Leiterbahnen zu dem DUT benötigt, was zu einer verbesserten Signalleistung führt.
Eine automatisierte Prüfeinrichtung, die eine Variation des Abstands zwischen zumindest zwei Federstiftblöcken ermöglicht, erleichtert das Anpassen des Layouts der DUT-Schnittstelle gemäß einem Layout einer DUT-Platine und bietet folglich eine schnelle Anpassung der automatisierten Prüfeinrichtung an verschiedene DUT-Platinen, ohne den Prüfkopf oder die DUT-Schnittstelle auszutauschen. Dadurch können Ausdehnungen für unterschiedliche Prüfköpfe oder DUT-Schnittstellen eingespart und ein zeiteffizienter Betrieb der automatisierten Prüfausrichtung gewährleistet werden. Da die Federstifte eine Toleranz der Positionierung eines Federstifts bezüglich einer Kontaktfläche vorsehen können, ist der Einsatz von Federstiften kombiniert mit einer Variation der Position eines Federstiftblocks sehr vorteilhaft. So kann beispielsweise die Anforderung an die Genauigkeit einer Bewegung eines Federstiftblocks durch die Verwendung von Federstiften im Vergleich zur Verwendung von Stecker/Buchsen-Verbindungen beispielsweise gesenkt werden.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung können die Verbinderfelder oder Federstiftblöcke herausgenommen oder zusammengeschoben werden, um unterschiedliche Anforderungen zu unterstützen, zum Beispiel eine kostengünstigere, kleinere DUT-Platine mit weniger Platz für Komponenten oder eine größere DUT-Platine mit mehr Platz für Komponenten.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist die automatisierte Prüfeinrichtung zwei Gruppen von Federstiftblöcken auf, und die automatisierte Prüfeinrichtung ist dazu konfiguriert, eine Variation eines Abstands zwischen einer ersten Gruppe von Federstiftblöcken und einer zweiten Gruppe von Federstiftblöcken zu ermöglichen.
Die Verwendung von zwei Gruppen von Federstiftblöcken, deren Abstand variieren kann, ermöglicht eine flexible Gestaltung einer Gruppe von Federstiftblöcken, die gemeinsam bewegt werden können. Eine kollektive Bewegung der Federstiftblöcke innerhalb einer Gruppe gewährleistet eine schnelle und präzise Bewegung der Federstiftblöcke.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel ist die erste Gruppe von Federstiften eine erste Reihe von Federstiftblöcken und die zweite Gruppe von Federstiftblöcken ist eine zweite Reihe von Federstiftblöcken. Die erste Reihe von Federstiftblöcken ist parallel zu der zweiten Reihe von Federstiftblöcken, zum Beispiel parallel mit einer Toleranz von ±1 Grad oder ±2 Grad oder ±5 Grad. Darüber hinaus ist die automatische Prüfeinrichtung dazu konfiguriert, eine Variation eines Abstands zwischen der ersten Reihe von Federstiftblöcken und der zweiten Reihe von Federstiftblöcken zu ermöglichen.
Zum Beispiel kann der Abstand zwischen der ersten und der zweiten Reihe von Federstiftblöcken senkrecht zu einer Richtung, die parallel zu den Reihen von Federstiften ist, gemessen werden. Das Variieren eines Abstands zwischen zwei Reihen von Federstiftblöcken führt zu einer besonders geringen Überlappung einer ersten Region, die durch die erste und die zweite Reihe von Federstiften bedeckt ist, vor einer Variation des Abstands und einer zweiten Region, die durch die erste und die zweite Reihe von Federstiften bedeckt wird, nach der Variation des Abstands . Mit anderen Worten kann die Variation des Abstands besonders effizient sein.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist die DUT-Schnittstelle zumindest eine Gruppe von Federstiftblöcken auf, wobei die zumindest eine Gruppe von Federstiftblöcken zumindest ein Feld von Federstiftblöcken aufweist.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel sind die Federstiftblöcke über flexible Kabel, zum Beispiel Pogo-Kabel, mit dem Prüfkopf gekoppelt.
Die Federstifte können zum Beispiel über einzelne flexible Kabel einzeln mit dem Prüfkopf verbunden sein. Durch die flexible Kopplung zwischen den Federstifte und dem Prüfkopf können die Federstiftblöcke leicht bewegt werden, ohne dass die Federstifte nach Variieren des Abstands zwischen den Federstiftblöcken erneut mit dem Prüfkopf verbunden werden müssen.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel wird zumindest ein Federstiftblock unter Verwendung einer linearen Schiene geführt, um eine lineare Verschiebung, zum Beispiel eine geführte lineare Verschiebung, des Federstiftblocks, d. h. des jeweiligen oder des zumindest einen Federstiftblocks, zu ermöglichen. Eine lineare Schiene ist eine einfache Konstruktion, die eine präzise Bewegung eines Federstiftblocks ermöglicht.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel wird ein erster Federstiftblock unter Verwendung einer ersten linearen Schiene und ein zweiter Federstiftblock unter Verwendung einer zweiten linearen Schiene derart geführt, dass ein Abstand zwischen dem ersten Federstiftblock und dem zweiten Federstiftblock variiert werden kann, indem der erste Federstiftblock und der zweite Federstiftblock in entgegengesetzten Richtungen entlang der jeweiligen linearen Schienen verschoben werden. Der erste Federstiftblock und der zweite Federstiftblock können beispielsweise um gleiche Abstände in entgegengesetzte Richtungen verschoben werden.
Das Bewegen eines ersten Federstiftblocks und eines zweiten Federstiftblocks in entgegengesetzte Richtungen kann sicherstellen, dass ein geometrischer Mittelpunkt einer Entität des ersten und des zweiten Federstiftblocks in der Nähe oder an derselben Position bleiben kann, wenn der erste und der zweite Federstiftblock verschoben werden. Auf diese Weise kann eine Ausrichtung der DUT-Schnittstelle mit einer DUT-Platine vereinfacht werden, nachdem der Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten Federstiftblock und der DUT-Platine geändert wurde.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel wird zumindest ein Federstiftblock unter Verwendung eines Scharniers geführt. Ein Scharnier kann eine Drehung in eine Translationsverschiebung umwandeln. Eine Drehung kann mechanisch einfach und kostengünstig implementiert werden und kann besonders schnell und präzise durchgeführt werden.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel wird zumindest ein Federstiftblock unter Verwendung einer Parallelogrammführung geführt. Eine Parallelogrammführung kann den Vorteil der Verwendung eines Scharniers bieten und darüber hinaus eine parallele Ausrichtung einer Ebene, auf der die Spitzen der Federstifte angeordnet sind, relativ zu einer DUT-Platinenebene gewährleisten.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel ist ein Basisabschnitt der Parallelogrammführung mechanisch mit dem Prüfkopf verbunden, zum Beispiel an demselben angebracht, und ein bewegbarer Trägerabschnitt der Parallelogrammführung, der zumindest einen Federstiftblock trägt, wird dahin gehend geführt wird, dass derselbe parallel zu dem Basisabschnitt ist, zum Beispiel innerhalb einer Toleranz von nicht mehr als +/-1 Grad oder nicht mehr als +/-2 Grad oder nicht mehr als +/-5 Grad. Beispielsweise kann der bewegbare Trägerabschnitt unter Verwendung von zumindest zwei parallelen Verbindungen zwischen dem bewegbaren Trägerabschnitt und dem Basisabschnitt geführt werden.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel ist der bewegbare Trägerabschnitt der Parallelogrammführung dahin gehend bewegbar, dass derselbe zwei unterschiedliche Positionen einnimmt, in denen die Abstände zwischen dem Basisabschnitt der Parallelogrammführung und dem bewegbaren Trägerabschnitt des Parallelogramms gleich sind.
Da die Parallelogrammführung dahin gehend bewegbar ist, dass dieselbe zwei unterschiedliche Positionen einnimmt, können diese beiden unterschiedlichen Positionen durch einen mechanischen Anschlag definiert sein und können somit besonders präzise sein. Außerdem kann eine vertikale Position des zumindest einen Federstiftblocks, die sich auf eine Richtung bezieht, die senkrecht zu einer DUT-Platinenebene ist, für beide der zwei unterschiedlichen Positionen der Parallelogrammführung gleich sein. Auf diese Weise kann die Anordnung eine präzise und schnelle Änderung einer Position des zumindest einen Federstiftblocks, zum Beispiel manuell, ermöglichen. Somit kann diese Konfiguration eine besonders kostengünstige und präzise Implementierung der automatisierten Prüfeinrichtung ermöglichen.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist die automatisierte Prüfeinrichtung zumindest eine erste Parallelogrammführung und eine zweite Parallelogrammführung auf. Die erste Parallelogrammführung trägt einen ersten Federstiftblock, und die zweite Parallelogrammführung einen zweiten Federstiftblock. Die Parallelogrammführungen sind dahin gehend angepasst, dass sie zum Beispiel so angeordnet und/oder ausgerichtet sind, dass sie bei einer Draufsicht, die senkrecht zu einer DUT-Platinenebene ist, eine Bewegung von unterschiedlichen Federstiftblöcken in entgegengesetzte Richtungen ermöglichen, beispielsweise derart, dass Projektionen von Bewegungsvektoren zweier unterschiedlicher Federstiftblöcke auf eine DUT-Platinenebene entgegengesetzte Richtungen aufweisen. Dieses Ausführungsbeispiel kombiniert die Vorteile der Parallelogrammführung und einer Verschiebung von zwei Federstiftblöcken in entgegengesetzte Richtungen entlang von linearen Schienen.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist die automatisierte Prüfeinrichtung einen oder mehrere Aktuatoren auf, zum Beispiel Elektromotoren oder Pneumatikzylinder, die dahin gehend angepasst sind, die Variation des Abstands zwischen zumindest zwei Federstiftblöcken zu ermöglichen. Die Aktuatoren können eine besonders präzise Variation des Abstands zwischen den zumindest zwei Federstiftblöcken ermöglichen und ferner eine automatisierte Variation des Abstands ermöglichen. Auf diese Weise kann die automatisierte Prüfeinrichtung in ein automatisiertes Prüfsystem implementiert werden.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung sieht ein Verfahren zum Betreiben einer automatisierten Prüfeinrichtung zum Prüfen eines oder mehrerer Prüfobjekte vor, wobei die automatisierte Prüfeinrichtung einen Prüfkopf und eine DUT-Schnittstelle aufweist, wobei die DUT-Schnittstelle eine Mehrzahl von Federstiftblöcken aufweist, wobei das Verfahren ein Variieren eines Abstands zwischen zumindest zwei Federstiftblöcken der DUT-Schnittstelle aufweist.
Es ist zu beachten, dass die Verfahren auf denselben Überlegungen beruhen wie die entsprechende automatisierte Prüfeinrichtung. Darüber hinaus können die Verfahren durch alle Merkmale, Funktionalitäten und Details, die hierin in Bezug auf die automatisierte Prüfeinrichtung beschrieben werden, sowohl einzeln als auch in Kombination ergänzt werden.
Figurenliste
Ausführungsbeispiele gemäß der vorliegenden Anmeldung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden Figuren beschrieben.

1 veranschaulicht eine automatisierte Prüfeinrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel.
2 veranschaulicht eine Anordnung einer automatisierten Prüfeinrichtung und eine DUT-Platine gemäß einem Ausführungsbeispiel.
3a, b veranschaulichen eine automatisierte Prüfeinrichtung mit linearen Schienen gemäß einem Ausführungsbeispiel,
4, 5 veranschaulichen eine automatisierte Prüfeinrichtung mit einer Parallelogrammführung gemäß einem Ausführungsbeispiel.
6 veranschaulicht eine automatisierte Prüfeinrichtung mit einem Aktuator gemäß einem Ausführungsbeispiel.
7 veranschaulicht eine Anordnung von Gruppen von Federstiftblöcken einer DUT-Schnittstelle gemäß einem Ausführungsbeispiel.
8 veranschaulicht zwei Layouts von DUT-Schnittstellen gemäß einem Ausführungsbeispiel.
9 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens zum Betreiben einer automatisierten Prüfeinrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel.

Ausführliche Beschreibung von veranschaulichenden Ausführungsbeispielen
In der folgenden Beschreibung werden die Ausführungsbeispiele ausführlich erörtert, wobei jedoch zu beachten ist, dass die Ausführungsbeispiele viele anwendbare Konzepte bereitstellen, die in einem breiten Spektrum von Anwendungen bezüglich Vorrichtungsprüfung und DUT-Schnittstellen verkörpert sein können. Die erörterten spezifischen Ausführungsbeispiele veranschaulichen lediglich spezifische Möglichkeiten zur Implementierung und Verwendung des vorliegenden Konzepts und schränken den Schutzbereich der Ausführungsbeispiele nicht ein. In der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen werden gleiche oder ähnliche Elemente oder Elemente, die die gleiche Funktionalität haben, mit demselben Bezugszeichen versehen oder mit dem gleichen Namen gekennzeichnet, und eine wiederholte Beschreibung von Elementen, die mit demselben Bezugszeichen versehen oder mit dem gleichen Namen gekennzeichnet sind, wird in der Regel weggelassen. Daher sind Beschreibungen von Elementen, die mit den gleichen oder ähnlichen Bezugszeichen versehen sind oder mit den gleichen Namen gekennzeichnet sind, gegenseitig austauschbar oder können bei den unterschiedlichen Ausführungsbeispielen aufeinander angewendet werden. In der folgenden Beschreibung ist eine Mehrzahl von Einzelheiten aufgeführt, um die Ausführungsbeispiele der Offenbarung eingehender zu erläutern. Es wird jedoch für einen Fachmann auf dem Gebiet offensichtlich sein, dass andere Ausführungsbeispiele ohne diese spezifischen Einzelheiten praktiziert werden können. In anderen Fällen werden bekannte Strukturen und Vorrichtungen eher in Blockdiagrammform als im Detail dargestellt, um die hierin beschriebenen Beispiele nicht zu verschleiern. Darüber hinaus können Merkmale der verschiedenen hierin beschriebenen Ausführungsbeispiele miteinander kombiniert werden, sofern nicht ausdrücklich anders angegeben.
1 zeigt eine schematische Darstellung einer automatisierten Prüfeinrichtung 10 zum Prüfen eines oder mehrerer Prüfobjekte gemäß einem Ausführungsbeispiel. Die automatisierte Prüfeinrichtung 10 weist einen Prüfkopf 18 und eine DUT-Schnittstelle 11 auf. Die DUT-Schnittstelle 11 weist eine Mehrzahl von Blöcken 12 von Federstiften 14 auf. Die automatisierte Prüfeinrichtung 10 ist dazu konfiguriert, eine Variation eines Abstands zwischen zumindest zwei Blöcken 12 von Federstiften zu ermöglichen.
Die DUT-Schnittstelle 11 weist zum Beispiel eine Mehrzahl von Federstiften 14 auf. Die Federstifte 14 können elektrisch leitfähige Spitzen aufweisen, wobei die Spitzen der Federstifte 14 auf einer Hauptebene 15 der DUT-Schnittstelle 11 angeordnet sind. Die Spitze eines Federstifts 14 kann in Bezug auf einen Körper des Federstifts 14 in eine Richtung, die senkrecht zu der Hauptebene 15 ist, bewegbar sein. Beispielsweise kann der Federstift 14 in die Richtung, die senkrecht zu der Hauptebene ist, zusammengedrückt werden. Die Federstifte 14 der DUT-Schnittstelle 11 sind in zumindest zwei Blöcken 12 von Federstiften gruppiert. Die Körper der Federstifte 14 eines Blocks 12 von Federstiften können durch ein Isoliermaterial mechanisch aneinander angebracht sein, während die Spitzen einzelner Federstifte 14 eines Blocks 12 von Federstiften einzeln in eine Richtung, die senkrecht zu der Hauptebene ist, bewegt werden können. Falls die DUT-Schnittstelle 11 gegen eine DUT-Platine geschoben wird, können die Federstifte 14 zusammengedrückt werden. Da jeder der Federstifte 14 einzeln zusammengedrückt werden kann, können die Federstifte 14 einen guten elektrischen Kontakt zu einer Kontaktfläche auf der DUT-Platine herstellen, selbst wenn eine Oberfläche der DUT-Platine, gegen die die DUT-Schnittstelle geschoben wird, uneben ist oder wenn die Hauptebene der DUT-Schnittstelle und die Oberfläche der DUT-Platine, gegen die die DUT-Schnittstelle geschoben wird, nicht vollkommen parallel sind.
Der Abstand 16 zwischen zumindest zwei Federstiftblöcken 12, der variieren kann, kann parallel zu der Hauptebene 15 der DUT-Schnittstelle gemessen werden.
Die Federstifte 14 der DUT-Schnittstelle 11 können zum Beispiel einzeln mit dem Prüfkopf 18 verbunden sein. Der Prüfkopf 18 kann eine individuelle Verbindung von einer Mehrzahl der Federstifte mit elektronischen Instrumenten ermöglichen.
Die automatisierte Prüfeinrichtung 10 kann optional durch alle Merkmale, Funktionalitäten und Details, die hierin mit Bezug auf die anderen Ausführungsbeispiele beschrieben sind, sowohl einzeln als auch in Kombination, ergänzt werden.
2 zeigt eine schematische Darstellung einer automatisierten Prüfeinrichtung 20 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Die automatisierte Prüfeinrichtung 20 kann der automatisierten Prüfeinrichtung 10 entsprechen. Die automatisierte Prüfeinrichtung 10 weist einen Prüfkopf 28 und eine DUT-Schnittstelle 21 auf, die jeweils dem Prüfkopf 18 und der DUT-Schnittstelle 11 entsprechen können. 2 zeigt ferner eine beispielhafte DUT-Platine 29, die durch die automatisierte Prüfeinrichtung 20 kontaktiert werden soll.
Die automatisierte Prüfeinrichtung 20 weist zwei Gruppen 23, 27 von Federstiftblöcken auf, zum Beispiel die Blöcke 12 von 1. Die automatisierte Prüfeinrichtung 20 ist dazu konfiguriert, eine Variation eines Abstands 26 zwischen einer ersten Gruppe 23 von Federstiftblöcken und einer zweiten Gruppe 27 von Federstiftblöcken zu ermöglichen. Zum Beispiel können Federstiftblöcke aneinander angebracht sein, um eine Gruppe 23, 27 von Federstiftblöcken zu bilden.
7 zeigt eine schematische Darstellung einer DUT-Schnittstelle 81 in einer Ansicht entlang einer Richtung, die senkrecht zu einer Hauptebene 15 der DUT-Schnittstelle 81 ist. Die DUT-Schnittstelle 81 kann der DUT-Schnittstelle 11, 21 entsprechen. 2 zeigt zum Beispiel einen Querschnitt der DUT-Schnittstelle 21, 81. Die DUT-Schnittstelle 81 weist eine Mehrzahl von Federstiftblöcken auf, die in Feldern 82 von Federstiftblöcken angeordnet sind. Die Felder 82 der DUT-Schnittstelle 81 sind in acht Teilgruppen 84 gruppiert. Die Teilgruppen 84 sind dahin gehend angeordnet, dass dieselben eine erste Gruppe 83 und eine zweite Gruppe 87 von Federstiftblöcken bilden, die jeweils den Gruppen 23, 27 von Federstiftblöcken entsprechen können. Ein Abstand 86 zwischen den Gruppen 82, 83 von Federstiftblöcken kann variieren. Zum Beispiel kann der Abstand 86 dem Abstand 26 von 2 entsprechen.
Dementsprechend kann die erste Gruppe 83 von Federstiftblöcken eine erste Reihe von Federstiftblöcken und die zweite Gruppe 87 von Federstiftblöcken eine zweite Reihe von Federstiftblöcken sein. Die erste Reihe von Federstiftblöcken kann parallel zu der zweiten Reihe von Federstiftblöcken sein. Die automatische Prüfeinrichtung kann dazu konfiguriert sein, eine Variation eines Abstands 86 zwischen der ersten Reihe von Federstiftblöcken und der zweiten Reihe von Federstiftblöcken zu ermöglichen.
Beispielsweise kann der Abstand 86 der DUT-Schnittstelle 81 dahin gehend angepasst sein, dass die DUT-Schnittstelle zu einem V93000-Prüfer passt. Die DUT-Schnittstelle 81 kann zum Beispiel 8 Gruppen aufweisen. Jede Gruppe besteht zum Beispiel aus 2 Feldern mit je 9 Federstiftblöcken.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel sind die Federstiftblöcke mit dem Prüfkopf 28 über flexible Kabel 25 gekoppelt. Die Federstifte 14 der Federstiftblöcke können zum Beispiel über flexible Kabel mit dem Prüfkopf 18, 28 gekoppelt sein. Dieses Merkmal ist unabhängig von einer Gruppierung der Federstiftblöcke 12 in Gruppen 23, 27 von Federstiftblöcken 12.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel können, für mehr Flexibilität, die Federstiftblöcke optional zu mehr als einer Position verschoben werden.
3a und 3b zeigen eine schematische Darstellung einer automatisierten Prüfeinrichtung 30 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Die automatisierte Prüfeinrichtung 30 kann der automatisierten Prüfeinrichtung 10, 20 entsprechen. Die automatisierte Prüfeinrichtung 30 weist den Prüfkopf 28 auf und weist ferner einen ersten Federstiftblock 32 und einen Federstiftblock 33 auf. Die Federstiftblöcke 32, 33 weisen Federstifte 24 auf, die den Federstiften 14 entsprechen können. Die automatisierte Prüfeinrichtung 30 weist lineare Schienen 37, 38 auf. Die linearen Schienen 37, 38 bieten eine Möglichkeit zum Verschieben oder Bewegen der Federstiftblöcke 32, 33 parallel zu einer Hauptebene der DUT-Schnittstelle 31, die parallel zu einer Hauptfläche 25 der DUT-Schnittstelle 31 sein kann. Die Hauptfläche 25 kann der Hauptfläche 15 entsprechen, wie sie mit Bezug auf 1 eingeführt wurde.
Die Federstifte 24 der Federstiftblöcke 32, 33 sind mit dem Prüfkopf 28 über flexible Pogo-Kabel 25 verbunden. 3a und 3b zeigen zwei unterschiedliche Positionen der Federstiftblöcke 32, 33. Beispielsweise zeigt 3a eine Ausgestaltung von Federstiftblöcken an inneren Positionen, und der Abstand 26 zwischen den Federstiftblöcken 32, 33, wie in 3a gezeigt ist, kann für kleinere DUT-Platinen verwendet werden, die begrenzten Platz auf der Platine haben, jedoch in platzmäßig begrenzten Anwendungen eingesetzt werden können. Für größere DUT-Platinen, die mehr Platz auf der Platine haben, kann der Abstand 26 zwischen den Federstiftblöcken 32, 33 vergrößert sein, wie in 3b gezeigt ist, wodurch eine Ausgestaltung von Federstiftblöcken an äußeren Positionen dargestellt ist.
Dementsprechend kann zumindest ein Federstiftblock 32 unter Verwendung einer linearen Schiene 37, 38 geführt werden, um eine lineare Verschiebung des Federstiftblocks 32 zu ermöglichen.
Mit anderen Worten, eine Implementierungsidee (ein Aspekt der Erfindung) besteht darin, den Raum durch die Verwendung von linearen Schienen zu vergrößern.
Zum Beispiel wird ein erster Federstiftblock 32 unter Verwendung einer ersten linearen Schiene 37 geführt, und ein zweiter Federstiftblock 33 wird unter Verwendung einer zweiten linearen Schiene 38 geführt. Der erste Federstiftblock 32 und der zweite Federstiftblock 33 können derart geführt werden, dass ein Abstand 26 zwischen dem ersten Federstiftblock 32 und dem zweiten Federstiftblock 33 variiert werden kann, indem der erste Federstiftblock 32 und der zweite Federstiftblock 33 in entgegengesetzten Richtungen entlang der jeweiligen linearen Schiene 37, 38 verschoben werden.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel können der erste Federstiftblock 32 und der zweite Federstiftblock 33 um gleiche Abstände in entgegengesetzte Richtungen verschoben werden.
4 und 5 zeigen eine schematische Darstellung einer automatisierten Prüfeinrichtung 40 gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel. Die automatisierte Prüfeinrichtung 40 kann der automatisierten Prüfeinrichtung 10, 20 entsprechen. Die automatisierte Prüfeinrichtung 40 weist den Prüfkopf 28 und eine DUT-Schnittstelle 41 auf, die der DUT-Schnittstelle 11, 21 entsprechen kann. Die DUT-Schnittstelle 41 weist die Federstiftblöcke 32, 33 auf. Zumindest ein Federstiftblock kann unter Verwendung eines Scharniers geführt werden. Zum Beispiel kann zumindest ein Federstiftblock unter Verwendung einer Parallelogrammführung geführt werden, zum Beispiel der in 4 und 5 gezeigten Parallelogrammführung 47, 48. Mit anderen Worten besteht eine weitere Implementierungsidee (ein Aspekt der Erfindung) darin, den Raum durch den Einsatz von Scharnieren zu vergrößern.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel ist ein Basisabschnitt 45 der Parallelogrammführung 47, 48 mechanisch mit dem Prüfkopf 28 verbunden, und ein bewegbarer Trägerabschnitt 46 der Parallelogrammführung 47, 48, der zumindest einen Federstiftblock 32, 33 trägt, wird dahin gehend geführt, dass derselbe parallel zu dem Basisabschnitt ist.
Beispielsweise kann der bewegbare Trägerabschnitt 46 in Bezug auf den Basisabschnitt 45 bewegt werden. Die Parallelogrammführung 47, 48 kann eine Bewegung des bewegbaren Trägerabschnitts 46 in Bezug auf den Basisabschnitt 45 so führen, dass eine Winkelausrichtung oder eine Drehung des bewegbaren Trägerabschnitts 46 in Bezug auf den Basisabschnitt 45 während der Bewegung konstant bleiben kann, zum Beispiel können der bewegbare Trägerabschnitt 46 und der Basisabschnitt 45 parallel bleiben. Zum Beispiel können der Basisabschnitt 45 und der bewegbare Trägerabschnitt 46 der Parallelogrammführung 47 durch zumindest zwei parallele Verbindungen 49 verbunden sein.
4 zeigt eine erste Position der Parallelogrammführung 47, 48, in der der Abstand 26 zwischen den Federstiftblöcken 32, 33 einen ersten Wert aufweist, der kleiner als ein zweiter Wert ist. 5 zeigt eine zweite Position der Parallelogrammführung 47, 48, in der der Abstand 26 zwischen den Federstiftblöcken 32, 33 den zweiten Wert aufweist. Ein Wert des Abstands 43 zwischen einer Hauptebene 44 der DUT-Schnittstelle 41, die der Hauptebene 15 der DUT-Schnittstelle 11 von 1 entsprechen kann, in der zweiten Position der Parallelogrammführung 47, 48 kann gleich einem Wert des Abstands 43 in der ersten Position der Parallelogrammführung 47, 48 sein. Mit anderen Worten können 4 und 5 Ausgestaltungen von Federstiftblöcken an inneren Positionen bzw. äußeren Positionen darstellen.
Dementsprechend ist der bewegbare Trägerabschnitt 46 der Parallelogrammführung 47 dahin gehend bewegbar, dass derselbe zwei unterschiedliche Positionen einnimmt, in denen die Abstände 43 zwischen dem Basisabschnitt 45 der Parallelogrammführung 47 und dem bewegbaren Trägerabschnitt 46 der Parallelogrammführung 47 gleich sind.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist die automatische Prüfeinrichtung 40 zumindest eine erste Parallelogrammführung 47 und eine zweite Parallelogrammführung 48 auf. Die erste Parallelogrammführung 47 trägt einen ersten Federstiftblock 32, und die zweite Parallelogrammführung 48 trägt einen zweiten Federstiftblock 33. Die Parallelogrammführungen 47, 48 sind dahin gehend angepasst, bei einer Draufsicht, die senkrecht zu einer DUT-Platinenebene ist, eine Bewegung von unterschiedlichen Federstiftblöcken, zum Beispiel der Federstiftblöcke 32, 33, in entgegengesetzten Richtungen zu ermöglichen. Beispielsweise kann die DUT-Platinenebene parallel zu der Hauptebene 44 der DUT-Schnittstelle 41 sein, zum Beispiel innerhalb einer Toleranz von +/-5 Grad.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist die automatische Prüfeinrichtung 10, 20, 30, 40 einen oder mehreren Aktuatoren 67 auf, die dahingehend angepasst sind, die Variation des Abstands zwischen zumindest zwei Federstiftblöcken ermöglichen. Mit anderen Worten kann, je nach einem Aspekt der Erfindung, der Wechsel zwischen den Positionen zum Beispiel manuell oder über einen Aktuator erfolgen. Die Aktuatoren können beispielsweise pneumatisch (zum Beispiel Zylinder) oder elektrisch (zum Beispiel Motoren) sein.
6 zeigt zum Beispiel eine schematische Darstellung einer automatisierten Prüfeinrichtung 60 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Die automatisierte Prüfeinrichtung 60 kann der automatisierten Prüfeinrichtung 10, 20, 30 entsprechen. Die automatisierte Prüfeinrichtung 60 weist den Prüfkopf 28 und eine DUT-Schnittstelle 61 auf, die Federstiftblöcke 32, 33 aufweist. Die DUT-Schnittstelle 61 kann der DUT-Schnittstelle 11, 21 entsprechen. Die DUT-Schnittstelle 61 weist Aktuatoren 67 zum Variieren des Abstands 26 zwischen den Federstiftblöcken 32, 33 auf. Beispielsweise kann jeder der Federstiftblöcke 32, 33 durch einen separaten Aktuator 67 bewegt oder verschoben werden. Gemäß einem anderen Beispiel wird ein Aktuator 67 zum Verschieben oder Bewegen von zumindest zwei Federstiftblöcken 32, 33 verwendet, so dass eine Bewegung der zumindest zwei Federstiftblöcke 32, 33 entgegengesetzt, aber mit gleicher Bewegungsrate erfolgen kann. Zum Beispiel können die Federstiftblöcke 32, 33 durch lineare Schienen geführt werden, zum Beispiel die linearen Schienen 37, 38.
8 zeigt zwei Beispiele für Layouts von DUT-Schnittstellen 90, 91 in einer Draufsicht entlang einer Richtung, die senkrecht zu einer Hauptebene der DUT-Schnittstelle ist. Die DUT-Schnittstellen 90, 91 weisen Federstiftblöcke 92 auf, die in einer ersten Gruppe 93 und einer zweiten Gruppe 97 von Federstiftblöcken gruppiert sind. Die zwei gezeigten Beispiele von DUT-Schnittstellenlayouts unterscheiden sich um den Wert eines Abstands 96 zwischen der ersten Gruppe 93 und der zweiten Gruppe 97 von Federstiftblöcken. Beispielsweise kann die automatische Prüfeinrichtung 10, 20, 30, 40, 60 es ermöglichen, durch Anpassen des Abstands 96 zwischen dem DUT-Schnittstellenlayout 90 und dem DUT-Schnittstellenlayout 91 zu wechseln.
9 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens 1000 zum Betreiben einer automatisierten Prüfeinrichtung 10, 20, 30, 40, 60 zum Prüfen eines oder mehrerer DUTs gemäß einem Ausführungsbeispiel, die einen Prüfkopf 18, 28 und ein DUT -Schnittstelle 11, 21, 31, 41, 61 aufweist. Das Verfahren 1000 weist ein Variieren 1010 eines Abstands 16, 26, 86, 96 zwischen zumindest zwei Federstiftblöcken 12, 32, 33, 92 der DUT-Schnittstelle 11, 21, 31, 41, 61 auf.
Weitere Ausführungsbeispiele sind durch die folgenden Aspekte definiert, die mit den hierin offenbarten Details und Merkmalen und Funktionalitäten kombiniert oder ergänzt werden können. Die Aspekte können einzeln oder in Kombination verwendet werden.
Ein Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung stellt eine DUT-Schnittstelle mit einer größenveränderbaren Einrichtung (oder einer Einrichtung zum Ändern einer Größe) bereit.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel besteht die größenveränderbare Einrichtung aus einer Schiene oder weist eine Schiene auf.
Gemäß einem Ausführungsbeispielbesteht die größenveränderbare Einrichtung aus einem Scharniertyp oder einem Scharnier oder weist einen Scharniertyp oder ein Scharnier auf.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel wird die größenveränderbare Einrichtung zur Änderung der Position von Federstiftblöcken verwendet.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel kann die Position von einer inneren Position in eine äußere Position geändert werden.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel kann die Position manuell geändert werden.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel kann die Position durch einen Aktuator geändert werden.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel besteht der Aktuator aus Pneumatikzylindern oder Elektromotoren.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist die DUT-Schnittstelle ein flexibles Kabel, z. B. ein Pogo-Kabel, und Federstiftblöcke zur Signalübertragung auf.
Obwohl einige Aspekte als Merkmale im Zusammenhang mit einem Apparat beschrieben wurden, ist klar, dass eine solche Beschreibung auch als Beschreibung entsprechender Merkmale einer Methode angesehen werden kann. Auch wenn einige Aspekte im Kontext einer Methode als Merkmale beschrieben wurden, ist klar, dass eine solche Beschreibung auch als Beschreibung entsprechender Merkmale hinsichtlich der Funktionalität eines Geräts angesehen werden kann.
Obwohl manche Aspekte im Zusammenhang mit einer Vorrichtung beschrieben wurden, versteht es sich, dass eine Beschreibung auch als Beschreibung von entsprechenden Merkmalen eines Verfahrens zu verstehen ist. Obwohl manche Aspekte im Zusammenhang mit einem Verfahren beschrieben wurden, versteht es sich, dass eine Beschreibung auch als Beschreibung von entsprechenden Merkmalen bezüglich der Funktionalität einer Vorrichtung zu verstehen ist.
Einige oder alle der Verfahrensschritte können durch oder unter Verwendung einer Hardwarevorrichtung, wie zum Beispiel einen Mikroprozessor, einen programmierbaren Computer oder eine elektronische Schaltung ausgeführt werden. Bei einigen Ausführungsbeispielen können einige oder mehrere der wichtigsten Verfahrensschritte durch eine solche Vorrichtung ausgeführt werden.
Aus der vorstehenden ausführlichen Beschreibung ist ersichtlich, dass verschiedene Merkmale zum Zweck der Straffung der Offenbarung in Beispielen zusammengefasst sind. Dieses Verfahren der Offenbarung ist nicht so zu interpretieren, als spiegele es die Absicht wider, dass die beanspruchten Beispiele mehr Merkmale erfordern, als in jedem Anspruch ausdrücklich aufgeführt sind. Vielmehr kann, wie die folgenden Ansprüche widerspiegeln, der Gegenstand in weniger als allen Merkmalen eines einzelnen offenbarten Beispiels liegen. Daher sind die folgenden Ansprüche hiermit in die ausführliche Beschreibung aufgenommen, in der jeder Anspruch für sich allein als separates Beispiel stehen kann. Während jeder Anspruch für sich allein als separates Beispiel stehen kann, ist zu beachten, dass, obwohl ein abhängiger Anspruch in den Ansprüchen sich auf eine bestimmte Kombination mit einem oder mehreren anderen Ansprüchen beziehen kann, andere Beispiele ebenfalls eine Kombination des abhängigen Anspruchs mit dem Gegenstand jedes anderen abhängigen Anspruchs oder eine Kombination jedes Merkmals mit anderen abhängigen oder unabhängigen Ansprüchen umfassen können. Derartige Kombinationen werden hier vorgeschlagen, es sei denn, es wird angegeben, dass eine bestimmte Kombination nicht beabsichtigt ist. Darüber hinaus ist beabsichtigt, dass sich Merkmale eines Anspruchs auch auf einen beliebigen anderen unabhängigen Anspruch beziehen, selbst wenn dieser Anspruch nicht direkt von dem unabhängigen Anspruch abhängig gemacht ist.
Die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele stellen lediglich eine Veranschaulichung der Prinzipien der vorliegenden Offenbarung dar. Es versteht sich, dass Modifikationen und Variationen der hierin beschriebenen Anordnungen und Einzelheiten anderen Fachleuten auf dem Gebiet einleuchten werden. Deshalb ist beabsichtigt, dass die Erfindung lediglich durch den Schutzumfang der nachstehenden Patentansprüche und nicht durch die spezifischen Einzelheiten, die anhand der Beschreibung und der Erläuterung der Ausführungsbeispiele hierin präsentiert wurden, beschränkt sei.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

SG 193487 A1 [0003]
CN 101002363 A [0004]
US 6377062 B1 [0005]
JP 2017096949 A [0006]
WO 0073905 A2 [0007]
US 9921266 B1 [0007]
WO 200807070466 A2 [0007]
KR 200427961 Y1 [0007]
JP 2013137286 A [0007]

Claims

Eine automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 40; 60) zum Prüfen eines oder mehrerer Prüfobjekte, die folgende Merkmale aufweist: einen Prüfkopf (18; 28) und eine Prüfobjektschnittstelle (11; 21; 31; 41; 61), wobei die Prüfobjektschnittstelle (11; 21; 31; 41; 61) eine Mehrzahl von Blöcken (12; 32; 33) von Federstiften (14; 24) aufweist, wobei die automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 40; 60) dazu konfiguriert ist, eine Variation eines Abstands (16; 26; 86; 96) zwischen zumindest zwei Blöcken (12; 32; 33) von Federstiften zu ermöglichen.
Automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 40; 60) gemäß Anspruch 1, wobei die automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 40; 60) zwei Gruppen (23; 27; 83; 87; 93; 97) von Federstiftblöcken aufweist, wobei die automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 40; 60) dazu konfiguriert ist, eine Variation eines Abstands (16; 26; 86; 96) zwischen einer ersten Gruppe (23; 83; 93) von Federstiftblöcken und einer zweiten Gruppe (27; 87; 97) von Federstiftblöcken zu ermöglichen.
Automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 40; 60) gemäß Anspruch 2, wobei die erste Gruppe (23; 83; 93) von Federstiftblöcken eine erste Reihe von Federstiftblöcken ist, wobei die zweite Gruppe (27; 87; 97) von Federstiftblöcken eine zweite Reihe von Federstiftblöcken ist, wobei die erste Reihe von Federstiftblöcken parallel zu der zweiten Reihe von Federstiftblöcken ist und wobei die automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 40; 60) dazu konfiguriert ist, eine Variation eines Abstands zwischen der ersten Reihe von Federstiftblöcken und der zweiten Reihe von Federstiftblöcken zu ermöglichen.
Automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 40; 60) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Federstiftblöcke (12; 32; 33) mit dem Prüfkopf (18; 28) über flexible Kabel gekoppelt sind.
Automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 60) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei zumindest ein Federstiftblock (12; 32; 33) unter Verwendung einer linearen Schiene (37; 38) geführt ist, um eine lineare Verschiebung des Blocks (12; 32; 33) von Federstiften zu ermöglichen.
Automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 60) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei ein erster Federstiftblock (32) unter Verwendung einer ersten linearen Schiene (37) geführt wird und wobei ein zweiter Federstiftblock (33) unter Verwendung einer zweiten linearen Schiene (38) geführt wird, derart, dass ein Abstand zwischen dem ersten Federstiftblock (32) und dem zweiten Federstiftblock (33) variiert werden kann, indem der erste Federstiftblock (32) und der zweite Federstiftblock (33) in entgegengesetzte Richtungen entlang der jeweiligen linearen Schienen (37; 38) verschoben werden.
Automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 40; 60) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei zumindest ein Federstiftblock unter Verwendung eines Scharniers geführt wird.
Automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 40; 60) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei zumindest ein Federstiftblock (12; 32; 33) unter Verwendung einer Parallelogrammführung (47; 48) geführt wird.
Automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 40; 60) gemäß Anspruch 8, wobei ein Basisabschnitt (45) der Parallelogrammführung (47; 48) mechanisch mit dem Prüfkopf (18; 28) verbunden ist und wobei ein bewegbarer Trägerabschnitt (46) der Parallelogrammführung (47; 48), der zumindest einen Federstiftblock (12; 32; 33) trägt, dahin gehend geführt wird, dass derselbe parallel zu dem Basisabschnitt (45) ist.
Automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 40; 60) gemäß Anspruch 9, wobei der bewegbare Trägerabschnitt (46) der Parallelogrammführung dahin gehend bewegbar ist, dass derselbe zwei unterschiedliche Positionen einnimmt, in denen die Abstände (43) zwischen dem Basisabschnitt (45) der Parallelogrammführung (47; 48) und dem bewegbaren Trägerabschnitt (46) der Parallelogrammführung (47; 48) gleich sind.
Automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 40; 60) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei die automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 40; 60) zumindest eine erste Parallelogrammführung (47) und eine zweite Parallelogrammführung (48) aufweist, wobei die erste Parallelogrammführung (47) einen ersten Federstiftblock (32) trägt und wobei die zweite Parallelogrammführung (48) einen zweiten Federstiftblock (33) trägt und wobei die Parallelogrammführungen (47; 48) dahin gehend angepasst sind, bei einer Draufsicht, die senkrecht zu einer DUT-Platinenebene ist, eine Bewegung von unterschiedlichen Federstiftblöcken (32; 33) in entgegengesetzten Richtungen zu ermöglichen.
Automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 40; 60) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei die automatisierte Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 40; 60) einen oder mehrere Aktuatoren (67) aufweist, die dahin gehend angepasst sind, die Variation des Abstands (16; 26; 86; 96) zwischen zumindest zwei Federstiftblöcken (12; 32; 33) zu ermöglichen.
Ein Verfahren zum Betreiben einer automatisierten Prüfeinrichtung (10; 20; 30; 40; 60) zum Prüfen eines oder mehrerer Prüfobjekte, die einen Prüfkopf (18; 28) und einen Prüfobjektschnittstelle (11; 21; 31; 41; 61) aufweisen, wobei die Prüfobjektschnittstelle (11; 21; 31; 41; 61) eine Mehrzahl von Federstiftblöcken (12; 32; 33; 92) aufweist, wobei das Verfahren folgenden Schritt aufweist: Variieren eines Abstands zwischen zumindest zwei Federstiftblöcken der Prüfobjektschnittstelle.