DE112016001987T5 - Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren - Google Patents

Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren Download PDF

Info

Publication number
DE112016001987T5
DE112016001987T5 DE112016001987.4T DE112016001987T DE112016001987T5 DE 112016001987 T5 DE112016001987 T5 DE 112016001987T5 DE 112016001987 T DE112016001987 T DE 112016001987T DE 112016001987 T5 DE112016001987 T5 DE 112016001987T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electrode
probes
static
dynamic
probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE112016001987.4T
Other languages
English (en)
Inventor
Yoichi Sakamoto
Takayuki Hamada
Nobuyuki Takita
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sintokogio Ltd
Original Assignee
Sintokogio Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2015-091957 priority Critical
Priority to JP2015091957A priority patent/JP6520356B2/ja
Application filed by Sintokogio Ltd filed Critical Sintokogio Ltd
Priority to PCT/JP2016/057892 priority patent/WO2016174944A1/ja
Publication of DE112016001987T5 publication Critical patent/DE112016001987T5/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601Apparatus or methods therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607Circuits therefor
    • G01R31/2632Circuits therefor for testing diodes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2891Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607Circuits therefor
    • G01R31/2608Circuits therefor for testing bipolar transistors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607Circuits therefor
    • G01R31/2621Circuits therefor for testing field effect transistors, i.e. FET's

Abstract

Eine Inspektionsvorrichtung umfasst eine Plattform zum Platzieren einer zu prüfenden Vorrichtung darauf, eine Dynamikeigenschaftstestsonde zum elektrischen Verbinden einer Elektrode der zu prüfenden Vorrichtung mit einem Dynamikeigenschaftstester zum Ausführen eines Dynamikeigenschaftstests, eine Statikeigenschaftstestsonde zum elektrischen Verbinden der Elektrode mit einem Statikeigenschaftstester zum Ausführen eines Statikeigenschaftstest und eine Steuervorrichtung, ausgebildet zum Ausführen einer Positionssteuerung durch Verschieben von zumindest der Plattform, der Dynamikeigenschaftstestsonde und/oder der Statikeigenschaftstestsonde. Die Steuervorrichtung führt die Positionssteuerung derart aus, dass die Dynamikeigenschaftstestsonde in einen Dynamikeigenschaftstestzustand eingestellt wird, bei welchem die Dynamikeigenschaftstestsonde mit der Elektrode in Kontakt gebracht wird, wenn der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird, und führt die Positionssteuerung derart aus, dass die Statikeigenschaftstestsonde in einen Statikeigenschaftstestzustand eingestellt wird, bei welchem die Statikeigenschaftstestsonde mit der Elektrode in Kontakt gebracht wird, während die Dynamikeigenschaftstestsonde von der Elektrode getrennt ist, wenn der Statikeigenschaftstest ausgeführt wird.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Offenbarung betrifft eine Inspektionsvorrichtung und ein Inspektionsverfahren.
  • Stand der Technik
  • Eine Inspektion einer Vorrichtung wie beispielsweise eines Halbleiterleistungsmoduls umfasst einen Dynamikeigenschaft (AC: Wechselstrom) Test und einen Statikeigenschaft (DC: Gleichstrom) Test. Bei der Inspektion werden zwei Arten von Testern verwendet, und zwar ein Dynamikeigenschaftstester und ein Statikeigenschaftstester.
  • Beispielsweise beschreibt Patentliteratur 1 eine integrierte Testvorrichtung, welche einen Dynamikeigenschaftstester und einen Statikeigenschaftstester umfasst. Diese integrierte Testvorrichtung verbindet elektrisch den Dynamikeigenschaftstester und den Statikeigenschaftstester mit Elektroden einer zu prüfenden Vorrichtung (DUT: Device Under Test-Vorrichtung im Test) über eine Zwischenelektrodenplatte. Dies ermöglicht es, dass beide Tests, und zwar der Dynamikeigenschaftstest und der Statikeigenschaftstest, mittels einer integrierten Testvorrichtung ausgeführt wird.
  • Literaturliste
  • Patentliteratur
    • Patentveröffentlichungsschrift mit der Nummer 2012-78174
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Technische Aufgabe
  • Mit einer Verbesserung einer Vorrichtungsleistung wird eine Verbesserung einer Inspektionsgenauigkeit gefordert. Bei der in Patentliteratur 1 beschriebenen integrierten Testvorrichtung neigen, da der Dynamikeigenschaftstest und der Statikeigenschaftstest über die Zwischenelektrodenplatte ausgeführt werden, Messergebnisse der Tester dazu durch eine Induktivität der Zwischenelektrodenplatte beeinflusst zu werden. Beispielsweise neigt bei dem Dynamikeigenschaftstest, welcher ein Messen einer Schaltzeit der zu prüfenden Vorrichtung umfasst, die Inspektionsgenauigkeiten dazu abzunehmen, da diese zunehmend durch die Induktivität der Zwischenelektrodenplatte beeinflusst wird.
  • Die vorliegende Offenbarung stellt eine Inspektionsvorrichtung und ein Inspektionsverfahren bereit, welche zum Verbessern der Inspektionsgenauigkeit einer Vorrichtung wie beispielsweise eines Halbleiterleistungsmoduls geeignet sind.
  • Lösung der Aufgabe
  • Eine Inspektionsvorrichtung gemäß einem Aspekt der vorliegenden Offenbarung umfasst eine Plattform zum Platzieren einer zu prüfenden Vorrichtung darauf, eine Dynamikeigenschaftstestsonde zum elektrischen Verbinden einer Elektrode der zu prüfenden Vorrichtung mit einem Dynamikeigenschaftstester zum Ausführen eines Dynamikeigenschaftstest, eine Statikeigenschaftstestsonde zum elektrischen Verbinden der Elektroden mit einem Statikeigenschaftstester zum Ausführen eines Statikeigenschaftstest, und eine Steuervorrichtung, ausgebildet zum Ausführen einer Positionssteuerung durch Verschieben von zumindest der Plattform, der Dynamikeigenschaftstestsonde und/oder der Statikeigenschaftstestsonde. Die Steuervorrichtung führt die Positionssteuerung derart aus, dass die Dynamikeigenschaftstestsonde in einen Dynamikeigenschaftsprüfzustand eingestellt wird, bei welchem die Dynamikeigenschaftstestsonde in Kontakt mit der Elektrode gebracht wird, wenn der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird, und die Positionssteuerung derart ausführt, dass die Statikeigenschaftstestsonde in einen Statikeigenschaftsprüfzustand eingestellt wird, bei welchem die Statikeigenschaftstestsonde in Kontakt mit der Elektrode gebracht wird, während die Dynamikeigenschaftstestsonde von der Elektrode getrennt ist, wenn der Statikeigenschaftstest ausgeführt wird.
  • Ein Inspektionsverfahren gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Offenbarung umfasst einen Dynamikeigenschaftstestschritt zum in Kontakt-Bringen einer Dynamikeigenschaftstestsonde mit einer Elektrode einer zu prüfenden Vorrichtung zum Ausführen eines Dynamikeigenschaftstests, und einen Statikeigenschaftstestschritt zum in Kontakt-Bringen einer Statikeigenschaftstestsonde mit der Elektrode zum Ausführen eines Statikeigenschaftstests. Bei dem Statikeigenschaftstestschritt wird eine Positionssteuerung derart ausgeführt, dass die Dynamikeigenschaftstestsonde von der Elektrode getrennt ist, durch Verschieben von zumindest einer Plattform, auf welchem die zu prüfende Vorrichtung positioniert ist, der Dynamikeigenschaftstestsonde und/oder der Statikeigenschaftstestsonde.
  • Gemäß dem obigen Inspektionssystem und Inspektionsverfahren wird der Dynamikeigenschaftstest durch den Dynamikeigenschaftstester in einem Zustand ausgeführt, bei welchem die Dynamikeigenschaftstestsonde mit der Elektrode der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt ist. Zusätzlich wird der Statikeigenschaftstest durch den Statikeigenschaftstester in einem Zustand ausgeführt, bei welchem die Statikeigenschaftstestsonde in Kontakt mit der Elektrode der zu prüfenden Vorrichtung ist. Der Begriff „Kontakt“, wie dieser hierin verwendet wird, bedeutet, dass jede Sonde mit der Elektrode in Kontakt ist, und zwar nicht über ein anderes Element (beispielsweise eine Zwischenelektrodenplatte, welche im Stand der Technik verwendet wird, oder etwas Ähnlichem) (das heißt jede Sonde ist mit der Elektrode in physischem Kontakt). Aus diesem Grund kann jeder Tester mit einer zu prüfenden Vorrichtung elektrisch mit einer kleineren Induktivitätskomponente verbunden werden, im Vergleich zu einer Konfiguration aus dem Stand der Technik, bei welcher jeder Tester mit einer Elektrode einer zu prüfenden Vorrichtung über eine Zwischenelektroden beispielsweise verbunden ist. Im Ergebnis ist es möglich eine Messgenauigkeit des Dynamikeigenschaftstest zu verbessern, welcher besonders dafür anfällig ist, durch die Induktivitätskomponente beeinflusst zu werden. Weiter wird entsprechend dem obigen Inspektionssystem und dem Inspektionsverfahren, während der Statikeigenschaftstest ausgeführt wird, die Dynamikeigenschaftstestsonde von der Elektrode der zu prüfenden Vorrichtung getrennt. Beispielsweise kann ebenso berücksichtigt werden, anstelle, dass die Dynamikeigenschaftstestsonde von der Elektrode der zu prüfenden Vorrichtung getrennt ist, dass ein Relais zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde und dem Dynamikeigenschaftstester vorgesehen ist, um den Dynamikeigenschaftstester elektrisch zu trennen. Allerdings wird in diesem Fall die Messgenauigkeit des Dynamikeigenschaftstests dadurch verringert, dass diese durch die Induktivitätskomponente des Relais beeinflusst wird. Durch physisches Trennen der Dynamikeigenschaftstestsonde von der Elektrode der zu prüfenden Vorrichtung, wie oben beschrieben, kann eine Konfiguration erhalten werden, bei welcher ein Relais zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde und dem Dynamikeigenschaftstester nicht vorgesehen ist, was verhindert, dass die Messgenauigkeit des Dynamikeigenschaftstests aufgrund der Induktivitätskomponente des Relais vermindert wird. Entsprechend ist es möglich die Messgenauigkeit der zu prüfenden Vorrichtung zu verbessern.
  • Die obige Inspektionsvorrichtung kann einen Trennungsschaltkreis umfassen, welche zum elektrischen Trennen der Statikeigenschaftstestsonde von dem Statikeigenschaftstester ausgebildet ist, die Steuervorrichtung kann die Positionssteuerung derart ausführen, dass ein Zustand sowohl der Dynamikeigenschaftstestsonde als auf der Statikeigenschaftstestsonde mit der Elektrode in Kontakt sind, als den Dynamikeigenschaftstestzustand, und der Trennungsschaltkreis kann die Statikeigenschaftstestsonde von dem Statikeigenschaftstester trennen, wenn der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird. Beispielsweise kann berücksichtigt werden, dass die Statikeigenschaftstestsonde verschoben wird, um den Statikeigenschaftstester von der Elektrode der zu prüfenden Vorrichtung elektrisch zu trennen, allerdings ist es in diesem Fall notwendig, dass eine zusätzliche Verschiebungsvorrichtung zum Verschieben der Statikeigenschaftstestsonde vorgesehen ist, ebenso wie ein Maschinendesign oder etwas Ähnliches dafür notwendig ist. Durch Annehmen der oben beschriebenen Konfiguration, bei welcher die Statikeigenschaftstestsonde elektrisch von dem Statikeigenschaftstester durch den Trennungsschaltkreis elektrisch getrennt wird, kann eine solche Verschiebungsvorrichtung und ein Maschinendesign unnötig werden.
  • Die Dynamikeigenschaftstestsonde und die Statikeigenschaftstestsonde können derart angeordnet sein, dass diese mit der Elektrode von einem unteren Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht werden, und die Steuervorrichtung durch Verschieben der Dynamikeigenschaftstestsonde in einer aufwärts und abwärts aufwärts und abwärts Richtung einen Kontaktzustand zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde, der Statikeigenschaftstestsonde und der Elektrode zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand schalten kann. Dadurch ist es ebenso möglich, dass die oben beschriebene Positionssteuerung erzielt wird. In diesem Fall können die Elemente, welche in der Inspektionsvorrichtung umfasst sind, wie beispielsweise die Statikeigenschaftstestsonde und die Dynamikeigenschaftstestsonde gemeinsam in nach unten gerichteten Abschnitten der Inspektionsvorrichtung angeordnet werden (beispielsweise Abschnitte einer Seite, welche niedriger als die Plattform ist). Dies ermöglicht es, dass die Inspektionsvorrichtung kompakt ausgestaltet wird.
  • Die Dynamikeigenschaftstestsonde kann derart angeordnet sein, dass diese mit der Elektrode von einem unteren Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht wird, die Statikeigenschaftstestsonde kann derart angeordnet sein, dass diese mit der Elektrode von einem oberen Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht wird, und die Steuervorrichtung kann durch Verschieben der Statikeigenschaftstestsonde und der Dynamikeigenschaftstestsonde in einer aufwärts und abwärts Richtung einen Kontaktzustand zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde, der Statikeigenschaftstestsonde und der Elektrode zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand wechseln. Dadurch ist es möglich die oben beschriebene Positionssteuerung zu erzielen.
  • Die Dynamikeigenschaftstestsonde kann derart angeordnet sein, dass diese mit der Elektrode von einem unteren Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht wird, die Statikeigenschaftstestsonde kann derart angeordnet sein, dass diese mit der Elektrode von einem oberen Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht wird, und die Steuervorrichtung kann durch Verschieben der Plattform in einer aufwärts und abwärts Richtung einen Kontaktzustand zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde, der Statikeigenschaftstestsonde und der Elektrode zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand wechseln. Dadurch wird es möglich die oben beschriebene Positionssteuerung zu erzielen
  • Die Dynamikeigenschaftstestsonde und die Statikeigenschaftstestsonde können derart angeordnet sein, dass diese mit der Elektrode von einem oberen Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht werden, und die Steuervorrichtung kann durch Verschieben der Plattform und der Dynamikeigenschaftstestsonde in einer aufwärts und abwärts Richtung einen Kontaktzustand zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde, der Statikeigenschaftstestsonde und der Elektrode zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand schalten. Dadurch ist es möglich die oben beschriebene Positionssteuerung zu erzielen.
  • Die Statikeigenschaftstestsonde kann eine Federsonde sein, welche zum Ausdehnen und Zusammenziehen in einer aufwärts und abwärts Richtung geeignet ist, sein und kann derart angeordnet sein, dass diese mit der Elektrode von einem oberen Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht wird, die Dynamikeigenschaftstestsonde kann derart angeordnet sein, dass diese mit der Elektrode von einem oberen Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht wird, wobei ein Ende der Dynamikeigenschaftstestsonde über einem Ende der Statikeigenschaftstestsonde positioniert ist, und die Steuervorrichtung durch Verschieben der Plattform in der aufwärts und abwärts Richtung einen Kontaktzustand zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde, der Statikeigenschaftstestsonde und der Elektrode zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand schalten kann. Dadurch ist es ebenso möglich die oben beschriebene Positionssteuerung zu erzielen.
  • Die Dynamikeigenschaftstestsonde und die Statikeigenschaftstestsonde können derart angeordnet sein, dass diese mit der Elektrode von einem oberen Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht werden, und die Steuervorrichtung kann durch Verschieben der Dynamikeigenschaftstestsonde und der Statikeigenschaftstestsonde in einer aufwärts und abwärts Richtung einen Kontaktzustand zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde, der Statikeigenschaftstestsonde und der Elektrode zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand schalten. Dadurch ist es ebenso möglich die oben beschriebene Positionssteuerung zu erzielen.
  • Vorteilhafte Effekte der Erfindung
  • Entsprechend der vorliegenden Offenbarung ist es möglich die Inspektionsgenauigkeit einer Vorrichtung wie beispielsweise eines Halbleiterleistungsmoduls zu verbessern.
  • Kurzbeschreibung der Figuren
  • 1 ist ein Diagramm, welches ein Inspektionssystem eines linearen Typs schematisch darstellt.
  • 2 ist ein Diagramm, welches ein Inspektionssystem eines rotierenden Typs darstellt.
  • 3 ist ein Diagramm, welches einen Messschaltkreis in einer Inspektionsvorrichtung darstellt, welcher den jeweiligen Ausführungsformen gemein ist.
  • 4 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine schematische Konfiguration einer Inspektionsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform zeigt.
  • 5 ist eine Frontansicht der Inspektionsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform.
  • 6 ist ein Diagramm, welches ein Betriebsbeispiel der Inspektionsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform darstellt.
  • 7 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine schematische Konfiguration einer Inspektionsvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform zeigt.
  • 8 ist eine Frontansicht der Inspektionsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform.
  • 9 ist ein Diagramm, welches ein Betriebsbeispiel der Inspektionsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform darstellt.
  • 10 ist eine Frontansicht einer Inspektionsvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform.
  • 11 ist ein Diagramm, welches ein Betriebsbeispiel der Inspektionsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform darstellt.
  • 12 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine schematische Konfiguration einer Inspektionsvorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform zeigt.
  • 13 ist eine Draufsicht der Inspektionsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform.
  • 14 ist eine Frontansicht der Inspektionsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform.
  • 15 ist ein Diagramm, welches ein Betriebsbeispiel der Inspektionsvorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform darstellt.
  • 16 ist eine Frontansicht einer Inspektionsvorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform.
  • 17 ist ein Diagramm, welches ein Betriebsbeispiel der Inspektionsvorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform darstellt.
  • 18 ist eine Frontansicht einer Inspektionsvorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform.
  • 19 ist ein Diagramm, welches ein Betriebsbeispiel der Inspektionsvorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform darstellt.
  • 20 ist ein Diagramm, welches eine detaillierte Konfiguration eines Trennungsschaltkreises darstellt.
  • 21 ist ein Diagramm, welches einen Strompfad durch den Trennungsschaltkreis darstellt.
  • 22 ist ein Zeitablaufsdiagramm, welches eine Beziehung zwischen Ein und Aus eines jeden Schalters in einem Trennungsschaltkreis und eine Ein-Spannung eines jeden Transistors und Dioden einer DUT zeigt.
  • 23 ist ein Diagramm, welches eine detaillierte Konfiguration eines Schaltschaltkreises darstellt.
  • 24 ist ein Zeitablaufsdiagramm, welches eine Beziehung zwischen Ein und Aus eines jeden Schalters in einem Schaltschaltkreis und einem Betriebszustand eines jeden eines Betriebsschaltkreises eines Dynamikeigenschaftstesters und eines Betriebsschaltkreises eines Statikeigenschaftstesters zeigt.
  • Beschreibung von Ausführungsformen
  • Nachfolgend wird eine Beschreibung von Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung mit Bezug zu den Figuren gegeben. Dieselben Komponenten werden mit denselben Bezugszeichen bezeichnet und eine doppelte Beschreibung davon wird falls möglich ausgelassen. Abmessungen und Formen in den entsprechenden Figuren sind nicht notwendigerweise dieselben wie die in einem tatsächlichen Fall.
  • Zuerst wird eine Beschreibung von Hauptkomponenten gegeben, welche den jeweiligen Ausführungsformen gemein sind. In einer Inspektionsvorrichtung gemäß der jeweiligen Ausführungsformen wird eine Vorrichtung wie beispielsweise ein Halbleiterleistungsmodul als eine zu prüfende Vorrichtung (DUT) verwendet und werden ein Dynamikeigenschaftstest und ein Statikeigenschaftstest an der DUT ausgeführt. Beispielsweise werden bei einem in 1 schematisch dargestellten Inspektionssystems eines linearen Typs entlang einer linearen Bewegung eine Plattform 11 der Schritt S1 zum Einführen einer DUT 60 vor der Inspektion und zum Positionieren der DUT 60 auf der Plattform 11, der Schritt S2 zum Ausführen des Dynamikeigenschaftstests und des Statikeigenschaftstests und S3 zum Herausnehmen der DUT 60 nach der Inspektion ausgeführt. Es wird darauf hingewiesen, dass nachdem der Schritt S3 abgeschlossen ist, ein Zurückschritt S4 zum Verschieben der Plattform 11 in eine Position ausgeführt wird, bei welcher der Prozess aus dem Schritt S1 ausgeführt wird, um die Plattform 11 in dem Schritt S1 erneut zu verwenden. In einem in 2 schematisch dargestellten Inspektionssystem eines rotierenden Typs werden die Schritte S1 bis S3, wie oben beschrieben, entlang einer Rotationsbewegung der Plattform 11 ausgeführt.
  • 3 ist ein Diagramm, welches eine beispielhafte Schaltkreiskonfiguration des Dynamikeigenschaftstesters und des Statikeigenschaftstesters, welche in dem oben beschriebenen Schritt S2 verwendet werden, dargestellt ist. In dem in 3 dargestellten Beispiel ist die DUT 60 ein Leistungsmodul, welches Transistoren Q1 und Q2, Dioden D1 und D2, eine P-Pol Elektrode 71, eine Ausgangselektrode 72, eine N-Pol Elektrode 73, eine Vielzahl von Steuerelektroden 81 und eine Vielzahl von Steuerelektroden 82 umfasst. Bei dem in 3 dargestellten Beispiel sind die Transistoren Q1 und Q2 jeweils ein IGBT (Isolierter Gate Bipolar Transistor), allerdings können die Transistoren Q1 und Q2 jeweils beispielsweise ein FET (Feldeffekttransistor) sein. Der Transistor Q1 kann für einen oberen Arm eines Ein-Phasen-Inverterschaltkreises verwendet werden und der Transistor Q2 kann für einen unteren Arm verwendet werden. Jede der Dioden D1 und D2 ist eine Freilaufdiode, welche jeweils mit den Transistoren Q1 und Q2 verbunden ist. Die P-Pol Elektrode 71 ist mit einem Kollektor des Transistors Q1 verbunden. Die Ausgangselektrode 72 ist mit einem Emitter des Transistors Q1 und einem Kollektor des Transistors Q2 verbunden. Die N-Pol Elektrode 73 ist mit einem Emitter des Transistors Q2 verbunden. Es wird darauf hingewiesen, dass die P-Pol Elektrode 71, die Ausgangselektrode 72 und die N-Pol Elektrode 73 jeweils durch Referenzzeichen P, Q und N in Klammern in 3 zur einfachen Unterscheidung bezeichnet sind. Die Steuerelektroden 81 umfassen einen Abschnitt, welcher mit einem Gate des Transistors Q1 (gezeigt als eine Steuerelektrode 81(G)) verbunden ist, und einen Abschnitt, welche mit dem Emitter des Transistors Q1 (gezeigt als eine Steuerelektrode 81(E)) verbunden ist. Die Steuerelektroden 82 umfassen einen Abschnitt, welcher mit einem Gate des Transistors Q2 (gezeigt als eine Steuerelektrode 82(G)) verbunden ist, und einen Abschnitt, welcher mit dem Emitter des Transistors Q2 (gezeigt als eine Steuerelektrode 82(E)) verbunden ist.
  • Eine Inspektionsvorrichtung 100 umfasst Sonden 21 bis 23, Sonden 31 bis 33, Sonden 51 und 52, einen Trennungsschaltkreis 136 und einen Schaltschaltkreis 150. Die Sonden 21 bis 23 sind jeweils eine Dynamikeigenschaftstestsonde (erste Sonde) zum elektrischen Verbinden der P-Pol Elektrode 71, der Ausgangselektrode 72 und der N-Pol Elektrode 73 mit einem Dynamikeigenschaftstester 120. Die Sonden 31 bis 33 sind jeweils eine Statikeigenschaftstestsonde (zweite Sonde) zum elektrischen Verbinden der P-Pol Elektrode 71, der Ausgangselektrode 72 und der N-Pol Elektrode mit dem Statikeigenschaftstester 130. Die Sonden 51 und 52 sind jeweils eine Sonde (dritte Sonde) zum elektrischen Verbinden der Steuerelektroden 81 und 82 mit einem Betriebsschaltkreis 125 des Dynamikeigenschaftstesters 120 oder einem Betriebsschaltkreis 135 des Statikeigenschaftstesters 130, welche später beschrieben werden.
  • Der Dynamikeigenschaftstester 120 führt den Dynamikeigenschaftstest an der DUT 60 aus. Beispielsweise verwendet der Dynamikeigenschaftstester 120 einen Testschaltkreis, welcher den Betriebsschaltkreis 125, einen Kondensator 121, Transistoren 122 bis 124 und eine Induktivität 126 zum Ausführen einer Messung von Schaltzeiten der Transistoren Q1 und Q2, umfasst in der DUT 60, oder etwas Ähnliches umfasst. Daneben sind verschiedene Tests wie beispielsweise eine Messung eines Kurzschluss-Sicherheitsbetriebsbereichs und eine Messung einer Stoßentladung (Avalanche) in dem durch den Dynamikeigenschaftstester 120 ausgeführten Dynamikeigenschaftstest umfasst.
  • Der Statikeigenschaftstester 130 führt den Statikeigenschaftstest an der DUT 60 aus. Beispielsweise verwendet der Statikeigenschaftstester 130 einen Testschaltkreis, welcher den Betriebsschaltkreis 135, eine Hochspannungsquelle 131, einen Transistor 132, einen Strommessschaltkreis 133 und einen Stromabtastwiderstand 134 umfasst, zum Ausführen einer Messung von Ein-Spannungen der Transistoren Q1 und Q2 und der Dioden D1 und D2, umfasst in der DUT 60, oder etwas Ähnlichem. Daneben werden verschiedene Tests wie beispielsweise eine Messung eines Kriechstroms und eine Messung einer Schaltspannung in dem durch den Statikeigenschaftstester 130 ausgeführten Statikeigenschaftstest umfasst.
  • Der Trennungsschaltkreis 136 trennt die Sonden 31 bis 33 von dem Statikeigenschaftstester 130 elektrisch. Der Schaltschaltkreis 150 schaltet eine elektrische Verbindung der Sonden 51 und 52 mit dem Betriebsschaltkreis 125 des Dynamikeigenschaftstester 120 und des Betriebsschaltkreises 135 des Statikeigenschaftstesters 130. Details des Trennungsschaltkreises 136 und des Schaltschaltkreis 150 werden später mit Bezug zu den 20 bis 24 beschrieben.
  • Entsprechend einem in der Inspektionsvorrichtung 100 ausgeführten Inspektionsverfahren, wenn der Dynamikeigenschaftstest durch den Dynamikeigenschaftstester 120 ausgeführt wird, wird eine Positionssteuerung derart ausgeführt, dass die Sonden 21 bis 23 jeweils in einen Zustand zum Kontaktieren mit der P-Pol Elektrode 71, der Ausgangselektrode 72 und der N-Pol Elektrode 73 der DUT 60 jeweils gebracht werden (Dynamikeigenschaftstestzustand). Zusätzlich wird bei der Inspektionsvorrichtung 100, wenn der Statikeigenschaftstest durch den Statikeigenschaftstester 130 ausgeführt wird, die Positionssteuerung derart ausgeführt, dass die Sonden 31 bis 33 jeweils in einen Zustand zum Kontaktieren mit der P-Pol Elektrode 71, der Ausgangselektrode 72 und der N-Pol Elektrode 73 der DUT 60 jeweils gebracht werden (Statikeigenschaftstestzustand), während die Sonden 21 bis 23 jeweils von der P-Pol Elektrode 71, der Ausgangselektrode 72 und der N-Pol Elektrode 73 der DUT 60 jeweils getrennt werden. Es wird darauf hingewiesen, dass die Positionssteuerung durch eine später beschriebene Steuervorrichtung 40 (in 4 oder etwas Ähnliches) ausgeführt wird.
  • Die Steuervorrichtung 40 kann die Positionssteuerung derart ausführen, dass alle Sonden 21 bis 23 und Sonden 31 bis 33 in den Zustand zum Kontaktieren mit der P-Pol Elektrode 71, der Ausgangselektrode 72 und der N-Pol Elektrode 73 der DUT 60 gebracht werden, als den Dynamikeigenschaftstestzustand. In diesem Fall, wenn der Dynamikeigenschaftstestzustand durch den Dynamikeigenschaftstester 120 ausgeführt wird, trennt der Trennungsschaltkreis 136 die Sonden 31 bis 33 von dem Statikeigenschaftstester 130 elektrisch.
  • Nachfolgend wird eine Beschreibung der Inspektionsvorrichtung gemäß den Ausführungsformen gegeben.
  • [Erste Ausführungsform]
  • 4 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine schematische Konfiguration einer Inspektionsvorrichtung 101 gemäß einer ersten Ausführungsform zeigt. 5 ist eine Frontansicht der in 1 dargestellten Inspektionsvorrichtung 101. Es wird drauf hingewiesen, dass Elemente, welche in der Inspektionsvorrichtung 101, der Steuervorrichtung 40, dem Trennungsschaltkreis 136 und dem Schaltschaltkreis 150 umfasst sind, schematisch dargestellt sind und Positionen und Größen der Steuervorrichtung 40, des Trennungsschaltkreises 136 und des Schaltschaltkreis 150 nicht notwendigerweise genau gezeigt sind. Dasselbe gilt für den Dynamikeigenschaftstester 120 und den Statikeigenschaftstester 130.
  • Wie in 4 und 5 gezeigt, umfasst die DUT 60 einen Hauptkörper 61, in Elektrode 70 und ein Elektrode 80. Der Hauptkörper 61 weist eine Plattenform auf. Der Hauptkörper 61 umfasst die Transistoren Q1 und Q2 und die Dioden D1 und D2 (in 3). Der Hauptkörper 61 ist durch beispielsweise ein Harz geformt. Die Elektrode 70 besteht aus der P-Pol Elektrode 71, der Ausgangselektrode 72 und der N-Pol Elektrode 73. Die Elektrode 70 ist eine Elektrode, welche sich von einer lateralen Seite von vier lateralen Seiten des Hauptkörpers 61 nach außen von dem Hauptkörper 61 und senkrecht zu der lateralen Seite erstreckt. Entlang dieser lateralen Seite sind die P-Pol Elektrode 71, die Ausgangselektrode 72 und die N-Pol Elektrode 73 angeordnet, um in dieser Reihenfolge ausgerichtet zu sein. Die Elektrode 80 besteht aus den Steuerelektroden 81 und den Steuerelektroden 82. Die Elektrode 80 ist eine Elektrode, welche sich von einer lateralen Seite des Hauptkörpers 61 auf der gegenüberliegenden Seite der Elektrode 70 mit Bezug zu dem Hauptkörper 61 nach außen des Hauptkörpers 61 und senkrecht zu der lateralen Seite erstreckt. Entlang dieser lateralen Seite sind die Steuerelektroden 81 und die Steuerelektroden 82 angeordnet, um in dieser Reihenfolge ausgerichtet zu sein. Es wird darauf hingewiesen, dass in dem in 4 gezeigten Beispiel die Anzahl der Steuerelektroden 81 und die Anzahl der Steuerelektroden 82 jeweils gleich fünf ist, allerdings die jeweilige Anzahl der Steuerelektroden 81 und der Steuerelektroden 82 nicht hierauf beschränkt ist. Die Steuerelektroden 81 können zumindest die Steuerelektrode 81(G) und die Steuerelektrode 81(E), gezeigt in 3, umfassen und die Steuerelektroden 82 können zumindest die Steuerelektroden 82(G) und die Steuerelektroden 82(E) umfassen.
  • Die Inspektionsvorrichtung 101 umfasst eine Befestigungseinheit 1, eine Absatzeinheit 10, eine Dynamikeigenschaftstestsondeneinheit 20, eine Statikeigenschaftstestsondeneinheit 30, die Steuervorrichtung 40, eine Sondeneinheit 50, den Trennungsschaltkreis 136 und den Schaltschaltkreis 150.
  • Die Absatzeinheit 10 umfasst die Plattform 11 und eine isolierte Basis 12. Die Plattform 11 ist eine isolierte Plattform, welche auf der isolierten Basis 12 vorgesehen ist. Die DUT 60 wird auf der Plattform 11 positioniert. Die Plattform 11 weist eine Absatzseite 11a auf. Die Absatzseite 11a trägt den Hauptkörper 61 der DUT 60. Wenn die Absatzseite 11a von oben betrachtet wird, sind zumindest ein Teil der Elektroden 70 und zumindest ein Teil der Elektroden 80 der DUT 60 außerhalb der Absatzseite 11a positioniert.
  • Es wird drauf hingewiesen, dass ein XYZ Koordinatensystem in den Figuren eingestellt ist, um Richtungen der Inspektionsvorrichtung 101 darzustellen. Dieses XYZ Koordinatensystem ist mit der Absatzseite 11a der Plattform 11 als eine XY Ebene bestimmt eingestellt. Eine X-Achse und eine y-Achse sind orthogonal zueinander und eine Z Achse ist orthogonal zu der XY Ebene. Mit anderen Worten ist die Z Achse in einer Richtung orthogonal zu der Absatzseite 11a der Plattform 11. Eine positive Z-Achsenrichtung ist eine „nach oben gerichtete“ Richtung und eine negative Z-Achsenrichtung ist eine „nach unten gerichtete“ Richtung, es sei denn etwas anderes ist hierin spezifisch angegeben. Allerdings kann in einem Schutzbereich, ohne von dem Geist der vorliegenden Offenbarung abzuweichen, die positive Z-Achsenrichtung als die nach unten gerichtete Richtung gelesen werden und kann die negative Z-Achsenrichtung als die nach oben gerichtete Richtung gelesen werden.
  • Die Dynamikeigenschaftstestsondeneinheit 20 umfasst die Sonden 21 bis 23, eine bewegliche Basis 24 und einen Sondenhalter 25. Die Sonde 21 ist ausgebildet, sodass diese niedrige Induktivitätseigenschaften aufweist, und dass diese einen großen Strom zulässt (beispielsweise eine Strom von 100 A bis 10 Kiloampere). Insbesondere ist die Sonde 21 gebildet durch eine Vielzahl von (beispielsweise mehrere bis Hunderte) kurzen/kleinen Sonden. Eine Länge einer jeden kurzen/kleinen Sonde ist ungefähr 1 mm bis 10 mm beispielsweise. Dass die Sonde 21 durch die kurzen/kleinen Sonden gebildet ist, werden niedrige Induktivitätseigenschaften der Sonde 21 erzielt. Zusätzlich, dadurch, dass die Sonde 21 durch eine Vielzahl von kleinen/kurzen Sonden gebildet ist, kann die Sonde 21 einen großen Strom zulassen. Die Sonde 21 und die Sonde 23 werden ebenso durch eine Vielzahl von kurzen/kleinen Sonden ähnlich zu der Sonde 21 gebildet. Jede Sonde kann beispielsweise eine Sonde eines Streichtyps oder eine Sonde eines Federtyps sein. In dem Fall der Sonde eines Streichtyps kontaktiert ein Spitzenendabschnitt einer jeden Sonde die Elektrode 70, während eine Oberfläche der Elektrode 70 überstrichen wird. Bei dem Fall der Sonde eines Federtyps kontaktiert ein Spitzenendabschnitt einer jeden Sonde die Elektrode 70 durch Verwenden eines Ausdehnens und Zusammenziehens einer Feder. Die Sonde eines Federtyps ist mehr eine Allzweck und eine teurere Sonde als die Sonde eines Streichtyps. Der Sondenhalter 25 nimmt die Sonden 21 bis 23 derart auf, dass die Spitzenendabschnitte der Sonden 21 bis 23 nach oben aus dem Sondenhalter 25 herausstehen. Die bewegliche Basis 24 ist eine Komponente, welche den Sondenhalter 25 stützt. Die bewegliche Basis 24 wird in einer aufwärts und abwärts Richtung durch eine aufwärts und abwärts Antriebseinheit 41, welche später beschrieben wird, betrieben. Die Sonden 21 bis 23 sind jeweils an nach unten gerichteten Seiten der P-Pol Elektrode 71, der Ausgangselektrode 72 und der N-Pol Elektrode 73 der DUT 60 jeweils in einem Zustand angeordnet, bei welchem die DUT 60 auf der Plattform 11 positioniert ist.
  • Die Statikeigenschaftstestsondeneinheit 30 umfasst die Sonden 31 bis 33 und einen Sondenhalter 34. Die Sonden 31 bis 33 sind jeweils aus einer Vielzahl von Kontaktsonden beispielsweise ähnlich zu der Sonde 21 bis zu der Sonde 23 gebildet. Der Sondenhalter 34 nimmt die Sonden 31 bis 33 derart auf, dass Spitzenendabschnitte der Sonden 31 bis 33 nach oben aus dem Sondenhalter 34 herausstehenden. Die Sonden 31 bis 33 sind aus einer Vielzahl von kurzen/kleinen Sonden ähnlich zu den Sonden 21 bis 23 gebildet. Der Sondenhalter 34 ist an der isolierten Basis 12 befestigt. Die Spitzenendabschnitte der Sonden 31 bis 33 sind oberhalb der Absatzseite 11a der Plattform 11 derart positioniert, dass diese mit der Elektrode 70 in einem Zustand in Kontakt sind, bei welchem die DUT 60 auf der Plattform 11 positioniert ist. Die Sonden 31 bis 33 sind jeweils an den nach unten gerichteten Seiten der P-Pol Elektrode 71, der Ausgangselektrode 72 und der N-Pol Elektrode 73 der DUT 60 jeweils in einem Zustand positioniert, bei welchem die DUT 60 auf der Plattform 11 platziert ist.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 101 sind die Sonde 21 und die Sonde 31 nebeneinander ausgerichtet, sodass diese jeweils mit unterschiedlichen Abschnitten der P-Pol Elektrode 71 der DUT 60 von einem unteren Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht werden. Die Sonde 22 und die Sonde 32 sind nebeneinander derart angeordnet, sodass diese jeweils mit unterschiedlichen Abschnitten der Ausgangselektrode 72 der DUT 60 von dem unteren Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht werden. Die Sonde 23 und die Sonde 33 sind nebeneinander derart angeordnet, sodass diese mit unterschiedlichen Abschnitten der N-Pol Elektrode 73 der DUT 60 von dem unteren Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht werden. Die Sonde 21 bis 23 und die Sonde 31 bis 33 sind in einer XY Ebenenrichtung nebeneinander derart angeordnet, sodass diese mit unterschiedlichen Abschnitten der Elektrode 70 der DUT 60 in Kontakt gebracht werden.
  • Die Sondeneinheit 50 umfasst die Sonden 51 und 52 und einen Sondenhalter 53. Die Sonden 51 und 52 sind jeweils aus einer Vielzahl von Pins gebildet. Die Anzahl der die Sonde 51 bildenden Pins ist identisch zu der Anzahl der Steuerelektroden 81 der DUT 60 und die Anzahl der die Sonde 52 bildenden Pins ist identisch zu der Anzahl der Steuerelektroden 82 der DUT 60. Die Sonden 51 und 52 sind jeweils Sonden eines Federtyps, welche in dem Sondenhalter 53 durch eine nicht gezeigte Feder beispielsweise gestützt wird und zum Ausdehnen und Zusammenziehen in der aufwärts und abwärts Richtung mittels einer Ausdehnung und einem Zusammenziehen der entsprechenden Feder geeignet ist. Der Sondenhalter 53 nimmt die Sonden 51 und 52 derart auf, sodass Spitzenendabschnitte der Sonden 51 und 52 nach oben aus dem Sondenhalter 53 herausstehenden. Der Sondenhalter 53 ist an der isolierten Basis 12 befestigt. Die Sonden 51 und 15 weisen jeweils an nach unten gerichteten Seiten der Steuerelektroden 81 und 1802 entsprechend der DUT 60 in einem Zustand positioniert, bei welchem die DUT 60 auf der Plattform 11 platziert ist. Die Spitzenendabschnitte der Sonden 51 und 52 sind oberhalb der Absatzseite 11a der Plattform 11 derart positioniert, dass diese mit der Elektrode 80 beispielsweise mittels der Ausdehnung und Zusammenziehen der oben beschriebenen Feder in einem Zustand in Kontakt sind, bei welchem die DUT 60 auf der Plattform 11 platziert ist.
  • Der Strom fließt kaum in die Sonden 51 und 52 im Vergleich zu den Sonden 21 bis 23 und den Sonden 31 bis 33. Aus diesem Grund sind die Anzahl der die Sonden 51 und 52 bildenden Pins und eine Größe eines Durchmessers des Pins geeignet in Anbetracht einer Sicherstellung einer elektrischen Verbindung zwischen den Sonden 51 und 52 und der Elektrode 80 bestimmt.
  • Die Befestigungseinheit 1 umfasst eine Haltebasis 2 und Halteblöcke 3 und 4. Die Haltebasis 2 ist ein der Plattform 11 gegenüberliegend angeordneter plattenförmiger Block. Der Halteblock 3 ist ein isolierter Block, welcher an einer unteren Seite der Haltebasis 2 vorgesehen ist und derart angeordnet ist, den Sonden 21 bis 23 und den Sonden 31 bis 33 gegenüber zu liegen. Der Halteblock 4 ist ein isolierter Block, welcher auf der unteren Seite der Haltebasis 2 ist und angeordnet ist, sodass dieser den Sonden 51 und 52 gegenüberliegt.
  • Die Steuervorrichtung 40 umfasst die oben-und-und Betriebseinheit 41, eine aufwärts und abwärts Betriebseinheit 42 und eine Steuereinheit 45. Die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 41 betreibt die bewegliche Basis 24 derart, dass die bewegliche Basis 24 sich in der aufwärts und abwärts Richtung bewegt. Die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 42 betreibt die Haltebasis 2 derart, dass die Haltebasis 2 sich in der aufwärts und abwärts Richtung bewegt. Bei dem Betreiben durch die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 41 und die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 42 wird ein elektrischer Zylinder beispielsweise mittels einer Magnetspulenvorrichtung verwendet. Die Steuereinheit 45 steuert die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 41 und die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 42. Diese Steuerung wird durch Verwenden beispielsweise von elektrischen Signalen ausgeführt. Die Steuerung durch die Steuereinheit 45 kann durch Veranlassen eines Computers dazu erzielt werden, dass eine vorbestimmte Computersoftware (Programm) ausgeführt wird, oder kann durch Verwenden beispielsweise einer zugeordneten Hardware erzielt werden. Entsprechend der oben beschriebenen Konfiguration bewegt die Steuervorrichtung 40 die bewegliche Basis 24 (das heißt die Dynamikeigenschaftstestsondeneinheit 20) in der aufwärts und abwärts Richtung durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheit 41. Zusätzlich bewegt die Steuervorrichtung 40 die Haltebasis 2 und die Halteblöcke 3 und 4 in der aufwärts und abwärts Richtung durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheit 42.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 101 werden in einem Anfangszustand, bei welchem die Steuerung durch die Steuervorrichtung 40 nicht ausgeführt wird (das heißt, in einem Zustand, bevor die Steuerung durch die Steuervorrichtung 40 gestartet wird), die Spitzenenden der Sonden 21 bis 23, die Spitzenenden der Sonden 31 bis zu der Sonde 33 und die Spitzenenden der Sonden 51 und 52 auf derselben Höhe positioniert.
  • 6 ist ein Diagramm, welches ein Betriebsbeispiel der Inspektionsvorrichtung 101 darstellt. Wie in (a) aus 6 gezeigt, bewegt die Steuereinheit 45 die Haltebasis 2 nach unten durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheit 42 in einem Zustand, bei welchem die DUT 60 auf der Plattform 11 platziert ist. Dadurch drücken die Halteblöcke 3 und 4 die Elektroden 70 und 80 der DUT 60 nach unten. Da die Sonden 31 bis 33 derart angeordnet sind, dass diese mit der Elektrode 70 in einem Zustand in Kontakt sind, bei welchem die DUT 60 auf der Plattform 11 platziert ist, werden die Sonden 31 bis 33 mit der Elektrode 70 der DUT 60 von dem unteren Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht. Zusätzlich, da die Sonden 51 und 52 derart angeordnet sind, dass diese mit der Elektrode 80 in einem Zustand in Kontakt sind, bei welchem die DUT 60 auf der Plattform 11 platziert ist, werden die Sonden 51 und 52 mit der Elektrode 80 der DUT 60 von dem unteren Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht.
  • Zu diesem Zeitpunkt bringt die Steuereinheit 45 die Sonden 21 bis 23 in Kontakt mit der Elektrode 70 der DUT 60 von dem unteren Teil der DUT 60 durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheit 41. Auf diese Weise stellt die Steuervorrichtung 40 einen Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 70 in dem Dynamikeigenschaftstestzustand ein. Bei diesem Dynamikeigenschaftstestzustand wird der Dynamikeigenschaftstest durch den Dynamikeigenschaftstester 120 durchgeführt (Dynamikeigenschaftstestschritt). Während der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird, werden die Sonden 31 bis 33 elektrisch von dem Statikeigenschaftstester durch den Trennungsschaltkreis 136 getrennt.
  • Nachfolgend, wie in (b) aus 6 gezeigt, bewegt die Steuereinheit 45 die bewegliche Basis 24 und die Sonden 21 bis 23 nach unten durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheit 41 zum Trennen der Sonden 21 bis 23 von der Elektrode 70 der DUT 60. Auf diese Weise stellt die Steuervorrichtung 40 den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 70 in den Statikeigenschaftstestzustand ein. Bei diesem Statikeigenschaftstestzustand wird der Statikeigenschaftstest durch den Statikeigenschaftstester 130 ausgeführt (Statikeigenschaftstestschritt). Während der Statikeigenschaftstest ausgeführt wird, wird die Trennung durch den Trennungsschaltkreis 136 nicht ausgeführt und die Sonden 31 bis 33 sind elektrisch mit dem Statikeigenschaftstester 130 verbunden.
  • Bei der bis hierhin beschriebenen Inspektionsvorrichtung 101 sind die Sonden 21 bis 23 und die Sonden 31 bis 33 derart angeordnet, dass diese mit der Elektrode 70 von dem unteren Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht werden. Dann schaltet die Steuereinheit 45 durch Verschieben der Sonden 21 bis 23 in der aufwärts und abwärts Richtung durch die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 41 den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 70 zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand (einem Zustand, bei welchem die Sonden 21 bis 23 mit der Elektrode 70 in Kontakt sind, oder ein Zustand, bei welchem alle Sonden 21 bis 23 und die Sonden 31 bis 33 mit der Elektrode 70 in Kontakt sind) und dem Statikeigenschaftstestzustand (einem Zustand, bei welchem die Sonden 31 bis 33 mit der Elektrode 70 in Kontakt sind, während die Sonden 21 bis 23 von der Elektrode 70 getrennt sind).
  • Entsprechend der Inspektionsvorrichtung 101 wird der Dynamikeigenschaftstest durch den Dynamikeigenschaftstester 120 in einem Zustand ausgeführt, bei welchem die Sonden 21 bis 23 mit der Elektrode 70 der DUT 60 in Kontakt sind. Zusätzlich wird der Statikeigenschaftstest durch den Statikeigenschaftstester 130 in einem Zustand ausgeführt, bei welchem die Sonden 31 bis 33 in Kontakt mit der Elektrode 70 der DUT 60 sind. Aus diesem Grund kann jeder Tester mit einer zu prüfenden Vorrichtung mit einer kleineren Induktivitätskomponente elektrisch verbunden werden, im Vergleich zu einer Konfiguration aus dem Stand der Technik, bei welcher jeder Tester mit einer Elektrode einer zu prüfenden Vorrichtung über eine Zwischenelektrode beispielsweise verbunden wird. Im Ergebnis ist es möglich eine Messgenauigkeit des Dynamikeigenschaftstests zu verbessern, welcher besonders anfällig ist, durch die Induktivitätskomponente beeinflusst zu werden. Weiter entsprechend der Inspektionsvorrichtung 101 sind, während der Statikeigenschaftstest ausgeführt wird, die Sonden 21 bis 23 von der Elektrode 70 der DUT 60 getrennt. Beispielsweise kann ebenso berücksichtigt werden, dass, anstatt, die Sonden 21 bis 23 von der Elektrode 70 der DUT 60 zu trennen, ein Relais zwischen den Sonden 21 bis 23 und dem Dynamikeigenschaftstester 120 vorgesehen ist, um den Dynamikeigenschaftstester 120 elektrisch zu trennen. Allerdings wird in diesem Fall die Messgenauigkeit des Dynamikeigenschaftstest vermindert, da diese durch die Induktivitätskomponente des Relais beeinflusst wird. Durch physisch Trennen der Sonden 21 bis 23 von der Elektrode 70 der DUT 60 wie in der Inspektionsvorrichtung 101 kann eine Konfiguration erhalten werden, bei welcher eine Rille zwischen den Sonden 21 bis 23 und dem Dynamikeigenschaftstester 120 nicht vorgesehen ist, was verhindert, dass die Messgenauigkeit des Dynamikeigenschaftstests aufgrund der Induktivitätskomponente des Relais vermindert wird. Daher entsprechend der Inspektionsvorrichtung 101 ist es möglich, die Inspektionsgenauigkeit der DUT 60 wie beispielsweise einem Halbleiterleistungsmodul zu verbessern.
  • Darüber hinaus, wenn der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird, sind alle Sonden 21 bis 23 und Sonden 31 bis 33 in einem Zustand, bei welchem diese mit der Elektrode 70 der DUT 60 in Kontakt sind. In diesem Fall werden ebenso die Sonden 31 bis 33 von dem Statikeigenschaftstester 130 durch den Trennungsschaltkreis 136 elektrisch getrennt. Beispielsweise kann ebenso berücksichtigt werden, dass die Sonden 31 bis 33 verschoben werden (in der nach unten gerichteten Richtung), um den Statikeigenschaftstester 130 von der Elektrode 70 der DUT 60 elektrisch zu trennen, allerdings ist in diesem Fall eine zusätzliche Verschiebungsvorrichtung zum Verschieben der Sonden 31 bis 33 ebenso wie ein Maschinendesign oder etwas Ähnliches dafür notwendig. Durch Übernehmen der Konfiguration wie in der Inspektionsvorrichtung 101, bei welcher die Sonden 31 bis 33 von dem Statikeigenschaftstester 130 durch den Trennungsschaltkreis 136 elektrisch getrennt sind, kann eine solche Verschiebungsvorrichtung und Maschinendesign unnötig werden. Es wird darauf hingewiesen, dass die Induktivitätskomponente durch Bereitstellen des Trennungsschaltkreises 136 beispielsweise erzeugt wird, dies beeinflusst allerdings den Statikeigenschaftstest kaum. Dies liegt daran, wie zuvor beschrieben, dass der Statikeigenschaftstest weniger durch die Induktivitätskomponente im Vergleich zu dem Dynamikeigenschaftstest zum Ausführen der Messung einer sehr kurzzeitigen Änderung wie beispielsweise einer Schaltzeit des Transistors beeinflusst wird, da der Statikeigenschaftstest ein Test zum Ausführen einer Messung der Ein-Spannungen des Transistors und der Diode oder etwas Ähnlichem ist.
  • Weiter sind bei der Inspektionsvorrichtung 101 die Sonden 21 bis 23, die Sonden 31 bis 33 und die Sonden 51 und 52 derart angeordnet, dass diese mit den Elektroden 70 und 80 von dem unteren Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht werden. Aus diesem Grund können entsprechend der Inspektionsvorrichtung 101 die Elemente, welche in der Inspektionsvorrichtung 101 umfasst sind, wie beispielsweise die Sonden 21 bis 23, die Sonden 31 bis 33, die Sonden 51 und 52, der Trennungsschaltkreis 136 und der Schaltschaltkreis 150 gemeinsam bei nach unten gerichteten Abschnitten der Inspektionsvorrichtung 101 angeordnet werden (beispielsweise Abschnitten an einer Seite, welche niedriger als die Plattform 11 ist). Dies ermöglicht es, dass die Inspektionsvorrichtung 101 kompakt ausgebildet wird. Darüber hinaus ist es ebenso möglich eine Verdrahtung zum Verbinden der jeweiligen Elemente zu verkürzen.
  • [Zweite Ausführungsform]
  • 7 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine schematische Konfiguration einer Inspektionsvorrichtung 102 entsprechend einer zweiten Ausführungsform zeigt 8 ist eine Frontansicht der Inspektionsvorrichtung 102. Die Inspektionsvorrichtung 102 unterscheidet sich im Vergleich zu der Inspektionsvorrichtung 101 insbesondere in den Positionen, bei welchen die Sonden 31 bis 33 vorgesehen sind, und einem durch die Steuervorrichtung 40 gesteuerten Inhalt.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 102 sind die Sonden 31 bis 33 derart angeordnet, dass diese mit der Elektrode 70 der DUT von einem oberen Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht werden. Insbesondere sind die Sonden 31 bis 33 in einem nicht gezeigten Sondenhalter untergebracht, welcher an dem Halteblock 3 vorgesehen ist. Die Sonden 31 bis 33 sind in dem entsprechenden Sondenhalter derart untergebracht, dass die Spitzenendabschnitte der Sonden 31 bis 33 nach unten aus dem entsprechenden Sondenhalter herausstehend. Die Sonden 31 bis 33 liegenden Sonden 21 bis 23 jeweils gegenüber. Die Sonden 31 bis 33 sind jeweils an nach oben gerichteten Seiten der P-Pol Elektrode 71, der Ausgangselektrode 72 und der N-Pol Elektrode 73 jeweils der DUT 60 in einem Zustand positioniert, bei welchem die DUT 60 auf der Plattform 11 platziert ist.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 102 schaltet die Steuervorrichtung 40 durch Verschieben der Sonden 21 bis 23 und der Sonden 31 bis 33 in der aufwärts und abwärts Richtung den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 70 zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 102 werden in einem Anfangszustand die Spitzenenden der Sonden 21 bis 23 und die Spitzenenden der Sonden 51 und 52 auf derselben Höhe positioniert.
  • 9 ist ein Diagramm, welches ein Betriebsbeispiel der Inspektionsvorrichtung 102 darstellt. Wie in (a) aus 9 gezeigt, verschiebt die Steuereinheit 45 die Haltebasis 2 nach unten durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheit 42 in einem Zustand, bei welchem die DUT 60 auf der Plattform 11 platziert ist. Dadurch werden die Sonden 31 bis 33 mit der Elektrode 70 der DUT 60 von dem oberen Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht. Zusätzlich werden die Sonden 21 bis 23 mit der Elektrode 70 der DUT 60 von dem unteren Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht und werden die Sonden 51 und 52 mit der Elektrode 80 der DUT 60 von dem unteren Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht. Auf diese Weise stellt die Steuervorrichtung 40 den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 70 in dem Dynamikeigenschaftstestzustand ein. Bei diesem Dynamikeigenschaftstestzustand wird der Dynamikeigenschaftstest durch den Dynamikeigenschaftstester 120 ausgeführt (Dynamikeigenschaftstestschritt). Während der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird, werden die Sonden 31 bis 33 von dem Statikeigenschaftstester 130 durch den Trennungsschaltkreis 136 elektrisch getrennt.
  • Nachfolgend, wie in (b) aus 9 gezeigt, verschiebt die Steuervorrichtung 40 die bewegliche Basis 24 und die Sonden 21 bis 23 durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheit 41 nach unten, um die Sonden 21 bis 23 von der Elektrode 70 der DUT 60 zu trennen. Dadurch stellt die Steuervorrichtung 40 den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 70 in den Statikeigenschaftstestzustand ein. Bei diesem Statikeigenschaftstestzustand wird der Statikeigenschaftstest durch den Statikeigenschaftstester 130 ausgeführt (Statikeigenschaftstestschritt). Während der Statikeigenschaftstest ausgeführt wird, wird die Trennung durch den Trennungsschaltkreis 136 nicht ausgeführt und werden die Sonden 31 bis 33 mit dem Statikeigenschaftstester 130 elektrisch verbunden.
  • Entsprechend ebenso dem Betrieb der Inspektionsvorrichtung 102 auf diese Weise wird die Positionssteuerung durch die Steuervorrichtung 40 ausgeführt, um den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 70 der DUT 60 zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand zu schalten, ähnlich zu der Inspektionsvorrichtung 101. Entsprechend ist es möglich die Inspektionsgenauigkeit der DUT 60 zu verbessern. Darüber hinaus entsprechend der Inspektionsvorrichtung 102 werden die Sonden 21 bis 23 mit der unteren Seite der Elektrode 70 in Kontakt gebracht und werden die Sonden 31 bis 33 mit einer oberen Seite der Elektrode 70 in Kontakt gebracht. Dies ermöglicht es, dass die Inspektion an der DUT 60 durch in Kontakt zu bringen der Sonden 21 bis 23 und der Sonden 31 bis 33 jeweils mit beiden Seiten der Elektrode 70 ausgeführt wird, selbst in einem Fall, bei welchem beispielsweise schwierig ist alle Sonden 21 bis 23 und Sonden 31 bis 33 mit lediglich einer Seite der Elektrode 70 in Kontakt zu bringen, da ein Bereich der Elektrode 70 klein ist.
  • [Dritte Ausführungsform]
  • 10 ist eine Frontansicht eine Inspektionsvorrichtung 103 entsprechend einer dritten Ausführungsform. Die Inspektionsvorrichtung 103 unterscheidet sich im Vergleich zu der Inspektionsvorrichtung 102 insbesondere darin, dass die Steuervorrichtung 40 eine aufwärts und abwärts Betriebseinheit 43 umfasst, und in den Positionen, bei welchen die Sonden 51 und 52 vorgesehen sind, und durch die Steuervorrichtung 40 gesteuerte Inhalte. Es wird darauf hingewiesen, dass bei der Inspektionsvorrichtung 103 die Steuervorrichtung 40 nicht notwendigerweise die aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 41 und 42 umfassen muss.
  • Die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 43 betreibt die isolierte Basis 12 derart, dass die isolierte Basis 12 sich in der aufwärts und abwärts Richtung bewegt. Die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 43 wird durch die Steuereinheit 45 ähnlich zu den aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 41 und 42 gesteuert.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 103 werden die Sonden 51 und 52 (hier ist die Sonde 51 in 10 nicht gezeigt, welches eine Frontansicht ist) derart angeordnet, dass diese ebenso mit der Elektrode 70 der DUT 60 von dem oberen Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht werden. Insbesondere sind die Sonden 51 und 52 in einem nicht gezeigten Sondenhalter untergebracht, welcher an dem Halteblock 4 vorgesehen ist. Die Sonden 51 und 52 sind in dem entsprechenden Sonden halte derart untergebracht, dass die Spitzenendabschnitte der Sonden 51 und 52 von dem entsprechenden Sondenhalter nach unten herausstehend. Diese an der Seite des Halteblocks 4 vorgesehenen Sonden 51 und 52 liegen jeweils den Sonden 51 und 52 jeweils gegenüber, welche auf der Seite der isolierten Basis 12 vorgesehen sind. Die auf der Seite des Halteblocks 4 vorgesehenen Sonden 51 und 52 sind jeweils an den nach oben gerichteten Seiten der Steuerelektroden 81 und 18 bei der DUT 60 in einem Zustand positioniert, bei welchem die DUT 60 auf der Plattform 11 platziert ist.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 103 schaltet Steuervorrichtung 40 durch Verschieben der Plattform 11 in der aufwärts und abwärts Richtung den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 70 zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 103 sind in einem anfänglichen Zustand die Spitzenenden der Sonden 21 bis 23 und die Spitzenenden der Sonden 51 und 52 auf der Seite der isolierten Basis 12 auf derselben Höhe positioniert. Zusätzlich sind die Spitzenenden der Sonden 31 bis 33 und die Spitzenenden der Sonden 51 und 52 auf der Seite des Halteblocks 4 auf derselben Höhe positioniert.
  • 11 ist ein Diagramm, welches ein Betriebsbeispiel der Inspektionsvorrichtung 103 darstellt. Wie in (a) aus 11 gezeigt, verschiebt die Steuereinheit 45 die isolierte Basis (A1 zu A2) nach oben durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheit 43 in einem Zustand, bei welchem die DUT 60 auf der Plattform 11 platziert ist. Dadurch werden die Sonden 31 bis 33 mit der Elektrode 70 der DUT 60 von dem oberen Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht. Darüber hinaus sind die an der Seite des Halteblocks 4 vorgesehenen Sonden 51 und 52 mit der Elektrode 80 der DUT 60 von dem oberen Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht. Auf diese Weise stellt die Steuervorrichtung 40 den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und den Elektroden 70 in den Statikeigenschaftstestzustand ein. Bei diesem Statikeigenschaftstestzustand wird der Statikeigenschaftstest durch den Statikeigenschaftstester 130 ausgeführt (Statikeigenschaftstestschritt). Während der Statikeigenschaftstest ausgeführt wird, wird die Trennung durch den Trennungsschaltkreis 136 nicht ausgeführt und die Sonden 31 bis 33 sind mit dem Statikeigenschaftstester 130 elektrisch verbunden.
  • Zusätzlich verschiebt die Steuereinheit 45 die isolierte Basis 12 durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheit 43 nach unten dadurch werden die Sonden 21 bis 23 mit der Elektrode 70 der DUT 60 von dem unteren Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht. Darüber hinaus werden die auf der Seite der isolierten Basis 12 vorgesehenen Sonden 51 und 52 mit der Elektrode 70 der DUT 60 von dem unteren Teil der DUT 60 in Kontakt gebracht. Auf diese Weise stellt die Steuervorrichtung 40 einen Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 70 in dem Dynamikeigenschaftstestzustand ein bei diesem Dynamikeigenschaftstestzustand wird der Dynamikeigenschaftstest durch den Dynamikeigenschaftstester 120 ausgeführt (Dynamikeigenschaftstestschritt). Es wird drauf hingewiesen, dass bei der Inspektionsvorrichtung 103, während der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird, da die Sonden 31 bis 33 von der Elektrode 70 der DUT 60 getrennt sind, die Sonden 31 bis 33 nicht von dem Statikeigenschaftstester 130 durch den Trennungsschaltkreis 136 elektrisch getrennt werden müssen. Aus diesem Grund können die Sonden 31 bis 33 mit dem Statikeigenschaftstester 130 nicht über den Trennungsschaltkreis 136 elektrisch verbunden sein und in diesem Fall ist die Inspektionsvorrichtung 103 ausgebildet, den Trennungsschaltkreis 136 nicht zu umfassen.
  • Entsprechend ebenso dem Betrieb der Inspektionsvorrichtung 103 auf diese Weise wird die Positionssteuerung durch die Steuervorrichtung 40 ausgeführt, sodass der Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 70 der DUT 60 zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand geschaltet wird, ähnlich zu der Inspektionsvorrichtung 101. Entsprechend ist es möglich, die Inspektionsgenauigkeit der DUT 60 zu verbessern. Zusätzlich ist es möglich die Inspektion an der DUT 60 auszuführen, dadurch dass die Sonden 21 bis 23 und die Sonden 31 bis 33 in Kontakt mit beiden Seiten der Elektrode 70 gebracht werden, ähnlich zu der Inspektionsvorrichtung 102. Weiter entsprechend den Stationsvorrichtung 103, da es nicht unabdingbar ist, die Sonden 21 bis 23, die Sonden 31 bis 33 und die Sonden 51 und 52 zu verschieben, können die aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 41 und 42 unnötig werden.
  • [Vierte Ausführungsform]
  • 12 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine schematische Konfiguration einer Inspektionsvorrichtung 104 gemäß einer vierten Ausführungsform zeigt. 13 ist eine Draufsicht der Inspektionsvorrichtung 104. 14 ist eine Frontansicht der Inspektionsvorrichtung 104. Die Inspektionsvorrichtung 104 für die Inspektion einer DUT 65 aus. Die DUT 65 weist eine Funktion identisch zu der DUT 60 auf, allerdings weist diese eine unterschiedliche Form zu der DUT 60 auf.
  • Die DUT 65 umfasst einen Hauptkörper 66, und eine Elektrode 75, und eine Elektrode 85. Der Hauptkörper 66 umfasst die Transistoren Q1 und Q2 und die Dioden D1 und D2 (in 3). Der Hauptkörper 66 weist ein erstes Element 67 und ein zweites Element 68 auf. Das erste Element 67 und das zweite Element 68 weisen jeweils eine Plattenform auf. Das zweite Element 68, wenn dieses in der XY Ebene betrachtet wird, weist einen Bereich kleiner als das erste Element 67 auf. Das zweite Element 68 ist auf dem ersten Element 67 vorgesehen.
  • Die Elektrode 75 besteht aus einer P-Pol Elektrode 76, einer Ausgangselektrode 77 und einer N-Pol Elektrode 78. Die P-Pol Elektrode 76, die Ausgangselektrode 77 und die N-Pol Elektrode 78 sind jeweils auf dem zweiten Element 68 vorgesehen. Diese Elektroden sind auf einer oberen Seite des zweite Elements 68 entlang der X Achsen positiven Richtung in der Reihenfolge die Ausgangselektrode 77, die N-Pol Elektrode 78 und die P-Pol Elektrode 76 angeordnet. Die vorgesehene Verwendung für die P-Pol Elektrode 76, die Ausgangselektrode 77 und die N-Pol Elektrode 78 ist dieselbe wie für die P-Pol Elektrode 71, die Ausgangselektrode 72 und die N-Pol Elektrode 73 und somit wird eine Beschreibung davon hier ausgelassen. Die Elektrode 85 besteht aus Steuerelektroden 86 und 87. Die Steuerelektroden 86 und 87 sind auf einem Abschnitt des ersten Elements 67 vorgesehen, wo das zweite Element 68 nicht vorgesehen ist. Diese Elektroden sind auf einer oberen Seite des ersten Elements 67 entlang der positiven Y-Achsenrichtung in einer Reihenfolge von den Steuerelektroden 87 und den Steuerelektroden 86 angeordnet. Die vorgesehene Verwendung für die Steuerelektroden 86 und die Steuerelektroden 87 ist identisch zu der für die Steuerelektroden 81 und der Steuerelektroden 82 und somit wird die Beschreibung davon hier ausgelassen.
  • Die Inspektionsvorrichtung 104 umfasst ebenso die Sonden 21 bis 23, die Sonden 31 bis 33 und die Sonden 51 bis 52 ähnlich zu der Inspektionsvorrichtung 101. Allerdings ist eine bestimmte Konfiguration der Sonden 21 bis 23 und unten 31 bis 33 in der Inspektionsvorrichtung 104 geeignet geändert, um die Inspektion an der DUT 65 auszuführen. Darüber hinaus umfasst bei der Inspektionsvorrichtung 104 die Dynamikeigenschaftstestsondeneinheit 20 einen sich in der X Achsenrichtung erstreckenden Haltestab 26. Bei der Dynamikeigenschaftstestsondeneinheit 20 sind die Sonden 21 bis 23 an dem Haltestab 26 derart angebracht, dass die Spitzenendenabschnitte davon sich von dem Haltestab 26 in der nach unten gerichteten Seite erstrecken. Die Sonde 21 bis zu der Sonde 23 sind jeweils an nach oben gerichteten Seiten der P-Pol Elektrode 76, der Ausgangselektrode 77 und der N-Pol Elektrode 78 der DUT 65 jeweils in einem Zustand positioniert, bei welchem die DUT 65 auf einer Plattform 16 platziert ist. Die Statikeigenschaftstestsondeneinheit 30 umfasst einen Haltestab 36, welcher sich in der X Achsenrichtung erstreckt. Der Haltestab 36 ist auf derselben Höhe wie der Haltestab 26 positioniert und ist nebeneinander mit dem Haltestab 26 in der Y-Achsenrichtung ausgerichtet. Bei der Statikeigenschaftstestsondeneinheit 30 sind die Sonden 31 bis 33 an dem Haltestab 36 derart angebracht, dass die Spitzenendenabschnitte davon sich von dem Haltestab 36 in die nach unten gerichtete Seite erstrecken. Die Sonden 31 bis 33 sind jeweils an den nach oben gerichteten Seiten der P-Pol Elektrode, der Ausgangselektrode 77 und der N-Pol Elektrode 78 der DUT 65 jeweils in einem Zustand positioniert, bei welchem die DUT 65 auf der Plattform 16 platziert ist. Die Sondeneinheit 50 umfasst einen Haltestab 56, welcher sich in der Y Achsenrichtung erstreckt. Bei der Sondeneinheit 50 sind die Sonden 51 und 52 an dem Haltestab 56 derart angebracht, dass die Spitzenendenabschnitte davon sich von dem Haltestab 56 in der nach unten gerichteten Seite erstrecken. Die Sonden 51 und 15 weisen jeweils an nach oben gerichteten Seiten der Steuerelektroden 87 und 86 der DUT 65 jeweils in einem Zustand positioniert, bei welchem die DUT 65 auf der Plattform 16 platziert ist.
  • Es wird drauf hingewiesen, dass in 12 der Dynamikeigenschaftstester 120, der Statikeigenschaftstester 130 und der Trennungsschaltkreis 136 als eine Einheit auf einer nach oben gerichteten Seite angeordnet sind. Allerdings können die jeweiligen Elemente getrennt angeordnet sein. Bei der Inspektionsvorrichtung 104 ist eine Leitung W1, welche die Sonde 21 und die Sonde 23 mit dem Dynamikeigenschaftstester 120 verbindet (das heißt eine Leitung, welche die P-Pol Elektrode 76 und die N-Pol Elektrode 78 mit dem Dynamikeigenschaftstester 120 verbindet), als Parallelplatten ausgebildet, welche aus einer flachen geflochtenen leitenden Leitung gebildet sind, wobei ein Isolator eingefügt ist. Der Isolator ist beispielsweise ein Isolierpapier oder ein Isolierstrumpfschlauch. In diesem Fall, da die Ströme entgegengesetzt zueinander in den jeweiligen Platten der Parallelplatten fließen, kann eine Leitungskapazität reduziert werden. Weiter kann eine Flexibilität der Leitung W1 ebenso erhalten werden. Dieselbe Konfiguration wie bei der Leitung W1 kann bei einer Leitung W2 angewendet werden, welche die Sonde 31 und die Sonde 33 mit dem Statikeigenschaftstester 130 verbindet (insbesondere der Trennungsschaltkreis 136).
  • Die Inspektionsvorrichtung 104 unterscheidet sich mit Vergleich zu der Inspektionsvorrichtung 101 insbesondere darin, dass diese eine Absatzeinheit 15 anstelle der Absatzeinheit 10 umfasst und eine Steuervorrichtung 90 anstelle der Steuervorrichtung 40 umfasst.
  • Die Absatzeinheit 15 umfasst die Plattform 16 und eine isolierte Basis 17. Die Plattform 16 ist eine isolierte Plattform, welche an der isolierten Basis 17 vorgesehen ist. Die DUT 65 wird auf der Plattform 16 platziert. Die Plattform 16 weist eine Absatzseite 16a auf. Die Absatzseite 16a hält den Hauptkörper 66 (erstes Element 67) der DUT 65. Wenn die DUT 65 von oben betrachtet wird, ist der Hauptkörper 66 der DUT 65 innerhalb der Absatzseite 16a positioniert.
  • Die Steuervorrichtung 90 umfasst aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 91 bis 94 und eine Steuereinheit 95. Die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 91 ist ein Paar von Betriebseinheiten, welche mit beiden Enden des Haltestabs 26 verbunden sind und den Haltestab 26 derart betreiben, dass der Haltestab 26 sich in der aufwärts und abwärts Richtung verschiebt. Die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 92 ist ein paar von Betriebseinheiten, welche mit beiden Enden des Haltestabs 36 verbunden sind und den Haltestab 36 derart betreiben, dass der Haltestab 36 sich in der aufwärts und abwärts Richtung verschiebt. Die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 93 ist ein Paar von Betriebseinheiten, welche mit beiden Enden des Haltestabs 56 verbunden sind und den Haltestab 56 derart betreiben, dass der Haltestab 56 sich in der aufwärts und abwärts Richtung verschiebt. Die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 94 betreibt die isolierte Basis 17 derart, dass die isolierte Basis 17 sich in der aufwärts und abwärts Richtung verschiebt. Beim Betreiben durch die aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 91 bis 94 wird ein elektrischer Zylinder mittels einer Magnetspulenvorrichtung beispielsweise verwendet. Die Steuereinheit 95 steuert die aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 91 bis 94. Entsprechend der oben beschriebenen Konfiguration verschiebt die Steuereinheit 95 den Haltestab 26 (das heißt die Sonden 21 bis 23) in der aufwärts und abwärts Richtung durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheit 91. Zusätzlich verschiebt die Steuereinheit 95 den Haltestab 36 (das heißt die Sonden 31 bis 33) in der aufwärts und abwärts Richtung durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 92. Darüber hinaus verschiebt die Steuereinheit 95 den Haltestab 56 (das heißt die Sonden 51 und 52) in der aufwärts und abwärts Richtung durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheit 93 Punkte weiter verschiebt die Steuereinheit 95 die isolierte Basis 17 und die Plattform 16 in der aufwärts und abwärts Richtung durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheit 94.
  • Es wird darauf hingewiesen, dass bei der Inspektionsvorrichtung 104 es nicht notwendig ist alle aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 91 bis 94, welche oben beschrieben sind, zu verwenden. In einem beispielhaften Betrieb der Inspektionsvorrichtung 104, welcher später beschrieben wird, sind die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 91 und die aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 94 verwendet. Aus diesem Grund sind lediglich die aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 91 und 94 der aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 91 bis 94 in 14 und 15 dargestellt, welche später beschrieben werden.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 104 sind die Sonden 21 bis 23 und die Sonden 31 bis 33 derart angeordnet, dass diese mit der Elektrode 75 der DUT 65 von einem oberen Teil der DUT 65 in Kontakt gebracht werden. Dann schaltet die Steuervorrichtung 90 durch Verschieben der Plattform 16 und der Sonden 21 bis 23 in der aufwärts und abwärts Richtung den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 75 zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand. Der Dynamikeigenschaftstestzustand ist hier ein Zustand, bei welchem die Sonden 21 bis 23 jeweils in Kontakt mit der P-Pol Elektrode 76, der Ausgangselektrode 77 und der N-Pol Elektrode 78 der DUT 65 jeweils in Kontakt sind. Der Statikeigenschaftstestzustand hier ist ein Zustand, bei welchem die Sonden 31 bis 33 jeweils mit der P-Pol Elektrode 76, der Ausgangselektrode 77 und der N-Pol Elektrode 78 der DUT 65 jeweils in Kontakt gebracht sind, während die Sonden 21 bis 23 jeweils von der P-Elektrode 76, der Ausgangselektrode 77 und der N-Pol Elektrode 78 der DUT 65 jeweils getrennt sind.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 104 sind in einem Anfangszustand, bei welchem die Steuerung durch die Steuervorrichtung 90 nicht ausgeführt wird (das heißt in einem Zustand, bevor die Steuerung durch die Steuervorrichtung 90 gestartet ist), die Spitzenenden der Sonden 21 bis 23 und die Spitzenenden der Sonden 31 bis 33 auf derselben Höhe positioniert. Die Spitzenenden der Sonden 51 und 52 sind niedriger als die Spitzenenden der Sonden 21 bis 23 und die Spitzenenden der Sonden 31 bis 33 positioniert. Ein Abstand in einer Höhenrichtung zwischen den Spitzenenden der Sonden 21 bis 23 und Sonden 31 bis 33 und den Spitzenenden der Sonden 51 und 52 ist im Wesentlichen gleich einem Abstand in der Höhenrichtung (Z-Achsenrichtung) zwischen einer Oberfläche der Elektrode 75 und einer Oberfläche der Elektrode 85.
  • 15 ist ein Diagramm, welches ein Betriebsbeispiel der Inspektionsvorrichtung 104 darstellt. Wie in (a) aus 15 gezeigt, verschiebt die Steuereinheit 95 die Plattform 16 nach oben durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheit 94 in einem Zustand, bei welchem die DUT 65 auf der Plattform 16 platziert ist. Dadurch werden die Sonden 21 bis 23 und die Sonden 31 bis 33 mit der Elektrode 75 der DUT 65 von dem oberen Teil der DUT 65 in Kontakt gebracht. Darüber hinaus sind die Sonden 51 und 52 mit der Elektrode 85 der DUT 65 von dem oberen Teil der DUT 65 in Kontakt gebracht. Auf diese Weise stellt die Steuervorrichtung 90 einen Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 23 und der Elektrode 75 in dem Dynamikeigenschaftstestzustand ein. Bei diesem Dynamikeigenschaftstestzustand wird der Dynamikeigenschaftstest durch den Dynamikeigenschaftstester 120 ausgeführt (Dynamikeigenschaftstestschritt). Während der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird, sind die Sonden 31 bis 33 von dem Statikeigenschaftstester 130 durch den Trennungsschaltkreis 136 elektrisch getrennt.
  • Folglich verschiebt die Steuereinheit 95 die Sonden 21 bis 23 nach oben durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 91. Dadurch, wie in (b) aus 15 gezeigt, werden die Sonden 21 bis 23 von der Elektrode 75 der DUT 65 getrennt. Dadurch stellt die Steuervorrichtung 90 den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 75 in den Statikeigenschaftstestzustand ein. Bei dem Statikeigenschaftstestzustand wird der Statikeigenschaftstest durch den Statikeigenschaftstester 130 ausgeführt (Statikeigenschaftstestschritt). Während der Statikeigenschaftstest ausgeführt wird, wird die Trennung durch den Trennungsschaltkreis 136 nicht ausgeführt und die Sonden 31 bis 33 sind mit dem Statikeigenschaftstester 130 elektrisch verbunden.
  • Entsprechend der Inspektionsvorrichtung 104 wird die Positionssteuerung durch die Steuervorrichtung 90 ausgeführt, um den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 323, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 75 der DUT 65 zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand zu schalten. Daher ist es entsprechend einem Prinzip ähnlich zu der Inspektionsvorrichtung 101 möglich, die Inspektionsgenauigkeit der DUT 65 zu verbessern. Weiter kann entsprechend der Inspektionsvorrichtung 104, da diese nicht unabdingbar ist zum Verschieben der Sonden 31 bis 33 und der Sonden 51 und 52, die aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 92 und die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 93 unnötig sein.
  • [Fünfte Ausführungsform]
  • 16 ist eine Frontansicht eine Inspektionsvorrichtung 105 gemäß einer fünften Ausführungsform. Die Inspektionsvorrichtung 105 unterscheidet sich im Vergleich zu der Inspektionsvorrichtung 104 insbesondere in einer bestimmten Konfiguration der Sonden 31 bis 33 und Sonden 51 und 52, einer Positionsbeziehung zwischen den Sonden 21 bis 23 und den Sonden 31 bis 33 und einem durch die Steuervorrichtung 90 gesteuerten Inhalt. Es wird darauf hingewiesen, dass bei einem beispielhaften Betrieb der Inspektionsvorrichtung 105, wie später beschrieben, die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 94 verwendet wird. Aus diesem Grund ist lediglich die aufwärts und abwärts Betriebseinheit 94 der aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 91 bis 94 in 16 und in 7. denn, welche später beschrieben wird, dargestellt.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 105 sind die Sonden 31 bis 33 und die Sonden 51 und 52 jeweils Federsonden, welche zum Ausdehnen und Zusammenziehen in der aufwärts und abwärts Richtung geeignet sind. Daher sind die Sonden 31 bis 33 und die Sonden 51 und 52 jeweils durch eine nicht gezeigte Feder beispielsweise gestützt, um zum Ausdehnen und Zusammenziehen in der aufwärts und abwärts Richtung mittels einer Ausdehnung und eines Zusammenziehen der entsprechenden Feder geeignet zu sein.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 105 schaltet die Steuervorrichtung 90 durch Verschieben der Plattform 16 in der aufwärts und abwärts Richtung den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 75 zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 105 wird bei einem Anfangszustand eine für Z2 bei den Spitzenenden der Sonden 21 bis 23 oberhalb einer Höhe Z1 bei den Spitzenenden der Sonden 31 bis 33 positioniert.
  • 17 ist ein Diagramm, welches ein Betriebsbeispiel der Inspektionsvorrichtung 105 darstellt. Wie in (a) aus 17 gezeigt, verschiebt die Steuereinheit 95 die Plattform 16 nach oben durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 94 in einem Zustand, bei welchem die DUT 65 auf der Plattform 16 platziert ist. Zu diesem Zeitpunkt verschiebt die Steuervorrichtung 90 die Plattform 16 derart nach oben, dass eine Position einer Oberfläche der Elektrode 75 der DUT 65 bei der Höhe Z1 positioniert ist. Dadurch grenzen die Spitzenenden der Sonden 31 bis 33 an die Elektrode 75 der DUT 65 und grenzen die Spitzenenden der Sonden 51 und 52 an die Elektrode 85 der DUT 65. Mit anderen Worten werden die Sonden 31 bis 33 in Kontakt mit der Elektrode 75 der DUT 65 von dem oberen Teil der DUT 65 gebracht, während die Sonden 21 bis 23 von der Elektrode 75 der DUT 65 getrennt sind. Darüber hinaus werden die Sonden 51 und 52 mit der Elektrode 85 der DUT 65 von dem oberen Teil der DUT 65 in Kontakt gebracht. Auf diese Weise stellt die Steuervorrichtung 90 den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 75 in den Statikeigenschaftstestzustand ein. Bei dem Statikeigenschaftstestzustand wird der Statikeigenschaftstest durch den Statikeigenschaftstester 130 ausgeführt (Statikeigenschaftstestschritt). Während der Statikeigenschaftstest ausgeführt wird, wird die Trennung durch den Trennungsschaltkreis 136 nicht ausgeführt und die Sonden 31 bis 33 sind mit dem Statikeigenschaftstester 130 elektrisch verbunden.
  • Folglich, wie in (b) aus 17 gezeigt, verschiebt die Steuervorrichtung 90 die Plattform 16 weiter nach oben, sodass die Position der Oberfläche der Elektrode 75 der DUT 65 bei der Höhe Z2 positioniert ist. Die Sonden 31 bis 33 werden nach oben durch die Elektrode 75 der DUT 65 gedrückt und zusammengedrückt, da diese Sonden eines Federtyps sind. Ähnlich werden die Sonden 51 und 52 nach oben durch die Elektrode 85 der die OT 65 gedrückt und zusammengedrückt. Zusätzlich grenzen die Spitzenenden der Sonden 21 bis 23 an die Elektrode 75 der DUT 65. Dadurch werden neben den Sonden 31 bis 33 die Sonden 21 bis 23 ebenso mit der Elektrode 75 der DUT 65 von dem oberen Teil der DUT 65 in Kontakt gebracht. Auf diese Weise stellt die Steuervorrichtung 90 den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 75 in denen Dynamikeigenschaftstestzustand ein. Bei diesem Dynamikeigenschaftstestzustand wird der Dynamikeigenschaftstest durch den Dynamikeigenschaftstester 120 ausgeführt (Dynamikeigenschaftstestschritt). Während der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird, werden die Sonden 31 bis 33 von dem Statikeigenschaftstester 130 durch den Trennungsschaltkreis 136 elektrisch getrennt.
  • Entsprechend ebenso des Betriebs der Inspektionsvorrichtung 105 auf diese Weise wird die Positionssteuerung durch die Steuervorrichtung 90 ausgeführt, um den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 75 der DUT 65 zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand zu schalten, ähnlich zu der Inspektionsvorrichtung 104. Entsprechend ist es möglich die Inspektionsgenauigkeit der DUT 65 zu verbessern. Weiter kann entsprechend der Inspektionsvorrichtung 105, da diese zum Verschieben der Sonden 21 bis 23, der Sonden 31 bis 33 und der Sonden 51 und 52 nicht unabdingbar sind, die aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 91 bis 93 unnötig werden.
  • [Sechste Ausführungsform]
  • 18 ist eine Frontansicht der Inspektionsvorrichtung 106 entsprechend einer sechsten Ausführungsform. Die Inspektionsvorrichtung 106 unterscheidet sich im Vergleich zu der Inspektionsvorrichtung 104 insbesondere in dem durch die Steuervorrichtung 90 gesteuerten Inhalt. Es wird darauf hingewiesen, dass ein beispielhafter Betrieb der Inspektionsvorrichtung 106, welcher später beschrieben wird, die aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 91 bis 93 verwendet. Aus diesem Grund sind lediglich die aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 91 bis 93 der aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 91 bis 94 in 18 und in 19, welche später beschrieben werden, dargestellt.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 106 schaltet die Steuervorrichtung 90 durch Verschieben der Sonden 21 bis 23 und der Sonden 31 bis 33 in der aufwärts und abwärts Richtung den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 75 zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand.
  • Bei der Inspektionsvorrichtung 106 sind bei einem Anfangszustand die Sonden 21 bis 23 und die Sonden 31 bis 33 von der Elektrode 75 der DUT 65 getrennt.
  • 19 ist ein Diagramm, welches ein Betriebsbeispiel der Inspektionsvorrichtung 106 darstellt. Wie in (a) aus 19 gezeigt, verschiebt die Steuereinheit 95 die Sonden 21 bis 23 nach unten durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 91 von einem Zustand, bei welchem der DUT 65 auf der Plattform 16 platziert ist. Dadurch werden die Sonden 21 bis 23 mit der Elektrode 75 der DUT 65 von dem oberen Teil der DUT 65 in Kontakt gebracht. Darüber hinaus verschiebt die Steuereinheit 95 die Sonden 51 und 52 nach unten durch Steuern der Open-und-unten Betriebseinheiten 93. Dadurch werden die Sonden 51 und 52 mit der Elektrode 75 der DUT 65 von dem oberen Teil der DUT 65 in Kontakt gebracht. Für die Sonden 31 bis 33 wird ein Anfangszustand beibehalten (das heißt ein Zustand, bei welchem diese von der Elektrode 75 der DUT 65 getrennt sind). Auf diese Weise stellt die Steuervorrichtung 90 den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 75 in den Dynamikeigenschaftstestzustand ein. Bei diesem Dynamikeigenschaftstestzustand wird der Dynamikeigenschaftstest durch den Dynamikeigenschaftstester 120 ausgeführt (Dynamikeigenschaftstestschritt).
  • Zusätzlich, wie in (b) aus 19 gezeigt, verschiebt die Steuereinheit 95 die Sonden 31 bis 33 nach unten durch Steuern der aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 92 von dem Anfangszustand. Dadurch werden die Sonden 31 bis 33 mit der Elektrode 75 der DUT 65 von dem oberen Teil der DUT 65 in Kontakt gebracht. Darüber hinaus verschiebt die Steuereinheit 95 die Sonden 51 und 52 nach unten durch Betreiben der Open-und-unten Betriebseinheiten 93. Dadurch werden die Sonden 51 und 52 Mitte der Elektrode 75 der DUT 65 von dem oberen Teil der DUT 65 in Kontakt gebracht. Die Sonden 21 bis 23 werden in dem Anfangszustand beibehalten (das heißt einem Zustand, bei welchem diese von der Elektrode 75 der DUT 65 getrennt sind). Auf diese Weise stellt die Steuervorrichtung 90 den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 75 in den Statikeigenschaftstestzustand ein. Bei dem Statikeigenschaftstestzustand wird der Statikeigenschaftstest durch den Statikeigenschaftstester 130 ausgeführt (Statikeigenschaftstestschritt). Während der Statikeigenschaftstest ausgeführt wird, wird die Trennung durch den Trennungsschaltkreis 136 nicht ausgeführt und die Sonden 31 bis 33 sind mit dem Statikeigenschaftstester 130 elektrisch verbunden.
  • Entsprechend ebenso dem Betrieb der Inspektionsvorrichtung 10 auf diese Weise wird die Positionssteuerung durch die Steuervorrichtung 90 ausgeführt, um den Kontaktzustand zwischen den Sonden 21 bis 23, den Sonden 31 bis 33 und der Elektrode 75 der DUT 65 zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand, ähnlich zu der Inspektionsvorrichtung 104, zu schalten. Entsprechend ist es möglich die Inspektionsgenauigkeit der DUT 65 zu verbessern. Weiter entsprechend der Inspektionsvorrichtung 106, da diese zum Verschieben der Plattform 16 nicht unabdingbar ist, kann die aufwärts und abwärts Betriebseinheiten 94 unnötig werden.
  • Es wird drauf hingewiesen, dass bei der Inspektionsvorrichtung 106, während der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird, da die Sonden 31 bis 33 von der Elektrode 75 der DUT 65 getrennt sind, es nicht notwendig ist, dass die Sonden 31 bis 33 von dem Statikeigenschaftstester 130 durch den Trennungsschaltkreis 136 elektrisch getrennt werden. Aus diesem Grund können die Sonden 31 bis 33 mit dem Statikeigenschaftstester 130 nicht über den Trennungsschaltkreis 136 elektrisch verbunden werden und in diesem Fall ist die Inspektionsvorrichtung 106 ausgebildet den Trennungsschaltkreis 136 nicht zu umfassen. Natürlich kann bei der Inspektionsvorrichtung 106 der Dynamikeigenschaftstest in einem Zustand ausgeführt werden, bei welchem alle Sonden 21 bis 23 und die Sonden 31 bis 33 mit der Elektrode 75 der DUT 65 in Kontakt gebracht sind, und in diesem Fall, während der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird, werden die Sonden 31 bis 33 von dem Statikeigenschaftstester 130 durch den Trennungsschaltkreis 136 elektrisch getrennt.
  • [Detaillierte Konfiguration des Trennungsschaltkreises]
  • Als Nächstes wird eine Beschreibung einer detaillierten Konfiguration des Trennungsschaltkreises 136 mit Bezug zu 20 gegeben, wie in 20 gezeigt, umfasst der Trennungsschaltkreis 136 eine Vielzahl von Schaltelementen. Ein Schalter SW_DC_P wird hauptsächlich zum Schalten zwischen der elektrischen Verbindung und Trennung eines Anschlusses einer positiven Seite des Statikeigenschaftstesters 130 mit und von dem Trennungsschaltkreis 136 verwendet. Ein Schalter SW_DC_N wird hauptsächlich zum Schalten zwischen der elektrischen Verbindung und Trennung eines Anschlusses auf einer negativen Seite des Statikeigenschaftstesters 130 mit und von dem Trennungsschaltkreis 136 verwendet. Ein Schalter SW_DUT_P_P, ein Schalter SW_DUT_O_P und ein SW_DUT_N_P werden jeweils hauptsächlich zum Schalten zwischen der elektrischen Verbindung und Trennung des Anschlusses auf der positiven Seite des Statikeigenschaftstest das 130 mit und von der P-Pol Elektrode 71, der Ausgangselektrode 72 und der N-Pol Elektrode 73 der DUT 60 jeweils verwendet. Ein Schalter SW_DUT_P_N, ein Schalter SW_DUT_O_N und ein Schalter SW_DUT_N_N werden jeweils hauptsächlich zum Schalten zwischen der elektrischen Verbindung und Trennung des Anschlusses auf der negativen Seite des Statikeigenschaftstest das 130 mit und von der P-Pol Elektrode 71, der Ausgangselektrode sind 2 und der N-Pol Elektrode 73 der DUT 60 jeweils verwendet. Jeder Schalter wird beispielsweise durch einen nicht gezeigten Steuerschaltkreises gesteuert, welcher in dem Trennungsschaltkreis 136 umfasst ist. Der Steuerschaltkreis empfängt Steuersignale von der Steuereinheit 45 (oder der Steuereinheit 95) zum Steuern eines jeden Schalters beispielsweise. Dies ermöglicht es, dass die Operationen der Sonden 21 bis 23, Sonden 31 bis 33 und Sonden 51 und 52 mit der Operation des Trennungsschaltkreises 136 koordiniert werden.
  • 21 ist ein Diagramm, welches einen Strompfad durch den Trennungsschaltkreis 136 darstellt. Wie in 21 dargestellt, werden vier Pfade D1 bis D4 als die Strompfade durch den Glättungsschaltkreis 136 erhalten.
  • Der Pfad P1 ist ein Strompfad, welche erhalten wird, wenn der Schalter SW_DC_P, der Schalter SW_DUT_P_P, der SW_DUT_O_N und der Schalter SW_DC_N in einem leitenden Zustand (Ein) sind und andere Schalter in einem nicht leitenden Zustand (Aus) sind. Der durch den Pfad P1 fließende Strom verursacht beispielsweise, dass die Ein-Spannung des Transistors Q1 in dem oberen Arm gemessen wird.
  • Der Pfad P2 ist ein Strompfad, welche erhalten wird, wenn der Schalter SW_DC_P, der Schalter SW_DUT_O_P, der Schalter SW_DUT_P_N und der Schalter SW_DC_N Ein sind und andere Schalter Aus sind. Der durch den Pfad P2 fließende Strom verursacht beispielsweise, dass die Ein-Spannung der Diode D1 in dem oberen Arm gemessen wird.
  • Der Pfad P3 ist ein Strompfad, welche erhalten wird, wenn der Schalter SW_DC_P, der Schalter SW_DUT_O_P, der Schalter SW_DUT_N_N und der Schalter SW_DC_N Ein sind und andere Schalter Aus sind. Der durch den Pfad P3 fließende Strom verursacht beispielsweise, dass eine Ein-Spannung des Transistors Q2 in dem unteren Arm gemessen wird.
  • Der Pfad P4 ist ein Strompfad, welche erhalten wird, wenn der Schalter SW_DC_P, der Schalter SW_DUT_N_P, der Schalter SW_DUT_O_N und der Schalter SW_DC_N Ein sind und andere Schalter Aus sind. Der durch den Pfad P4 fließende Strom verursacht beispielsweise, dass die Ein-Spannung der Diode D2 in dem unteren Arm gemessen wird.
  • 22 ist ein Zeitablaufsdiagramm, welches eine Beziehung zwischen Ein und Aus eines jeden Schalters in den Glättungsschaltkreis 136 und der Ein-Spannung eines jeden der Transistoren Q1 und Q2 und Dioden D1 und D2 der DUT 60 zeigt.
  • Im Schritt S11 wird jeder Schalter Aus eingestellt und eine Spannung in den Transistoren Q1 und Q2 und den Dioden D1 und D2 wird nicht erzeugt.
  • Im Schritt S12, wenn die Schalter SW_DC_P, N (SW_DC_P und SW_DC_N), der Schalter SW_DUT_P_P und der Schalter SW_DUT_O_N Ein eingestellt sind und andere Schalter Aus eingestellt sind und dadurch der Pfad P1 erhalten wird, wird eine Spannung in dem Transistor Q1 erzeugt. Dies ermöglicht, dass die Ein-Spannung des Transistors Q1 gemessen wird.
  • Im Schritt S13, wenn die Schalter SW_DC_P, N, der Schalter SW_DUT_P_N und der Schalter SW_DUT_O_P Ein eingestellt sind und andere Schalter Aus eingestellt sind und dadurch der Pfad P2 erhalten wird, wird eine Spannung in der Diode D1 erzeugt. Dies ermöglicht es, dass die Ein-Spannung der Diode D1 gemessen wird.
  • Im Schritt S14 wird, wenn die Schalter SW_DC_P, N, der Schalter SW_DUT_O_P und der Schalter SW_DUT_N_N Ein eingestellt sind und andere Schalter Aus eingestellt sind und dadurch der Pfad P3 erhalten wird, eine Spannung in dem Transistor Q2 erzeugt. Dies ermöglicht es, dass die Ein-Spannung des Transistors Q2 gemessen wird.
  • Im Schritt S15 wird, wenn die Schalter SW_DC_P, N, der Schalter DUT_O_N und der Schalter SW_DUT_N_P Ein eingestellt sind und andere Schalter aus eingestellt sind und darauf der Pfad P4 erhalten wird, eine Spannung in der Diode D2 erzeugt. Dies ermöglicht es, dass die Ein-Spannung der Diode D2 gemessen wird.
  • Im Schritt S16 werden alle Schalter Aus eingestellt.
  • Wie bis hierhin beschrieben, können entsprechend dem Trennungsschaltkreis 136 bei dem Statikeigenschaftstest die Ein-Spannungen aller Elemente in den Transistoren Q1 und Q2 und Dioden D1 und D2 durch schalten der entsprechenden Schalter gemessen werden. Zusätzlich, während der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird, werden alle Schalter in den Glättungsschaltkreis 136 Aus eingestellt und dadurch werden die Sonden 31 bis 33 von dem Statikeigenschaftstester 130 elektrisch getrennt.
  • [Detaillierte Konfiguration des Schaltschaltkreises]
  • Als Nächstes wird eine Beschreibung einer detaillierten Konfiguration des Schaltschaltkreises 150 mit Bezug zu 23 gegeben. Wie in 23 gezeigt, umfasst der Schaltschaltkreis 150 eine Vielzahl von Schaltern. Ein Schalter SW_AC_G1 und ein Schalter SW_AC_E1 werden jeweils hauptsächlich zum Schalten zwischen der elektrischen Verbindung und Trennung des Gates und Emitters (Steuerelektroden 81(G) und 81(E)) jeweils der Transistoren mit und von dem Betriebsschaltkreis 125 verwendet. Ein Schalter SW_AC_G2 und ein Schalter SW_AC_E2 werden hauptsächlich zum Schalten zwischen der elektrischen Verbindung und Trennung des Gates und Emitters (Steuerelektroden 82(G) und 82(E)) jeweils des Transistors Q2 mit und von dem Betriebsschaltkreis 125 verwendet. Ein Schalter SW_DC_G1 und ein Schalter SW_DC_E1 werden hauptsächlich zum Schalten zwischen der elektrischen Verbindung und Trennung des Gates und des Emitters jeweils des Transistors Q1 mit und von dem Betriebsschaltkreis 135 verwendet. Ein Schalter SW_DC_G2 und ein Schalter SW_DC_E2 werden jeweils hauptsächlich zum Schalten zwischen der elektrischen Verbindung und Trennung des Gates und Emitters jeweils des Transistors Q2 mit und von dem Betriebsschaltkreis 135 verwendet. Jeder Schalter wird beispielsweise durch einen nicht gezeigten Steuerschaltkreis gesteuert, welche in dem Schaltschaltkreis 150 umfasst ist. Der Steuerschaltkreis empfängt Steuersignale von der Steuereinheit 45 (oder der Steuereinheit 95) zum Steuern eines jeden Schalters beispielsweise. Dies ermöglicht es, dass die Operationen der Sonden 21 bis 23, sondern 31 bis 33 und Sonden 51 und 52 mit der Operation des Schaltschaltkreises 150 koordiniert werden.
  • 24 ist ein Zeitablaufsdiagramm, welches eine Beziehung zwischen Ein und Aus eines jeden Schalters in dem Schaltschaltkreis 150 und einem Betriebszustand jeweils des Betriebsschaltkreises 125 des Dynamikeigenschaftstesters 120 und des Betriebsschaltkreises 135 des Statikeigenschaftstesters 130 zeigt.
  • Im Schritt S21 ist die Inspektionsvorrichtung in einem Zustand, bevor die Messung durch den Dynamikeigenschaftstest und den Statikeigenschaftstest gestartet wird, und jeder Schalter auf einen nicht leitenden Zustand (Aus) eingestellt ist und der Betriebsschaltkreis 125 und der Betriebsschaltkreis 135 nicht betrieben werden.
  • Im Schritt S22 werden der Schalter SW_AC_G1, der Schalter SW_AC_E1, der Schalter SW_AC_G2 und der Schalter SW_AC_E2 (Schalter SW_AC_G1, E1, G2 und E2) auf Ein eingestellt und andere Schalter werden auf Aus eingestellt. Zusätzlich wird der Betriebsschaltkreis 125 betrieben. Dadurch wird der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt.
  • Im Schritt S23 werden der Schalter SW_DC_G1, der Schalter SW_DC_E1, der Schalter SW_DC_G2 und der Schalter SW_DC_E2 (Schalter SW_DC_G1, E1, G2 und E2) auf Ein eingestellt und andere Schalter werden auf Aus eingestellt. Zusätzlich wird der Betriebsschaltkreis 135 betrieben. Dadurch wird der Statikeigenschaftstest ausgeführt.
  • Im Schritt S24 werden alle Schalter auf Aus eingestellt, in Reaktion darauf, dass der Dynamikeigenschaftstest und der Statikeigenschaftstest abgeschlossen ist. Zusätzlich werden der Betriebsschaltkreis 125 und der Betriebsschaltkreis 135 nicht betrieben.
  • Wie bis hierhin beschrieben, entsprechend dem Schaltschaltkreis 150 ist es möglich, dass der Dynamikeigenschaftstest und der Statikeigenschaftstest durch Schalten der Verbindung des Betriebsschaltkreises 125 und des Betriebsschaltkreises 135 mit der DUT 60 kontinuierlich ausgeführt wird. Es wird drauf hingewiesen, dass eine Reihenfolge, in welcher der Dynamikeigenschaftstest und der Statikeigenschaftstest ausgeführt werden, nicht besonders beschränkt ist.
  • Bis hierhin wurde eine Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung beschrieben, allerdings ist die vorliegende Erfindung nicht auf die obigen Ausführungsform beschränkt. Bei den obigen Ausführungsformen wird jedes Element der Sonden 21 bis 23, der Sonden 31 bis 33, der Sonden 51 und 52 und der Plattformen 11 und 16 durch die Steuervorrichtung 40 oder 90 in der aufwärts und abwärts Richtung verschoben, allerdings ist die Verschiebungsrichtung eines jeden Elements durch die Steuervorrichtung 40 oder 90 nicht auf die aufwärts und abwärts Richtung beschränkt. Die Verschiebungsrichtung eines jeden Elements kann eine Richtung sein, wodurch der Dynamikeigenschaftstestzustand unter Statikeigenschaftstestzustand geschaltet werden kann, durch Ändern des Abstandes zwischen den Sonden 21 bis 23 und Sonden 31 bis 33 und den Elektroden 70, 75. Die Positionen der Sonden 23 bis 23 und die Positionen der Sonden 31 bis 33 können miteinander vertauscht werden innerhalb eines Schutzbereichs, ohne von einem ähnlichen Geist abzuweichen. Beispielsweise können die Positionen der jeweiligen Sonden mit Bezug zu der DUT oben und unten umgedreht werden.
  • Weiter ist bei den obigen Ausführungsformen die Beschreibung des Falls gegeben, bei welchem die DUTs 60 und 65 jeweils ein Leistungsmodul als die oberen und unteren Arme eines Ein-Phasen-Inverterschaltkreises sind, allerdings ist die zu prüfende Vorrichtung nicht auf ein solches Leistungsmodul beschränkt. Beispielsweise ist es für ein Leistungsmodul als der obere und untere Arm eines Inverterschaltkreises mit zwei oder mehr Phasen möglich, die Prüfung auszuführen, das heißt den Dynamikeigenschaftstest und den Statikeigenschaftstest durch Verändern der Anzahl, Form oder etwas Ähnlichem der Sonden, um zu dem entsprechenden Leistungsmodul zu passen.
  • Bezugszeichenliste
  • 21 bis 23
    Sonde(erste Sonde)
    31 bis 33
    Sonde (zweite Sonde)
    40, 90
    Steuervorrichtung
    60, 65
    DUT (Device Under Test – zu prüfende Vorrichtung)
    70, 75
    Elektrode
    100 bis 106
    Inspektionsvorrichtung
    120
    Dynamikeigenschaftstester
    130
    Statikeigenschaftstester
    136
    Trennungsschaltkreis

Claims (9)

  1. Eine Inspektionsvorrichtung, umfassend: eine Plattform zum darauf Platzieren einer zu prüfenden Vorrichtung; eine Dynamikeigenschaftstestsonde zum elektrischen Verbinden einer Elektrode der zu prüfenden Vorrichtung mit einem Dynamikeigenschaftstester zum Ausführen eines Dynamikeigenschaftstests; eine Statikeigenschaftstestsonde zum elektrischen Verbinden der Elektrode mit einem Statikeigenschaftstester zum Ausführen eines Statikeigenschaftstests; und eine Steuervorrichtung, ausgebildet zum Ausführen einer Positionssteuerung durch Verschieben von zumindest der Plattform, der Dynamikeigenschaftstestsonde und/oder der Statikeigenschaftstestsonde, wobei die Steuervorrichtung die Positionssteuerung derart ausführt, dass die Dynamikeigenschaftstestsonde in einen Dynamikeigenschaftstestzustand eingestellt ist, bei welchem die Dynamikeigenschaftstestsonde in Kontakt mit der Elektrode gebracht ist, wenn der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird, und die Positionssteuerung derart ausführt, dass die Statikeigenschaftstestsonde in einen Statikeigenschaftstestzustand eingestellt ist, bei welchem die Statikeigenschaftstestsonde in Kontakt mit der Elektrode gebracht ist, während die Dynamikeigenschaftstestsonde von der Elektrode getrennt ist, wenn der Statikeigenschaftstest ausgeführt wird.
  2. Inspektionsvorrichtung gemäß Anspruch 1, weiter umfassend: einen Trennungsschaltkreis, ausgebildet zum elektrischen Trennen der Statikeigenschaftstestsonde von dem Statikeigenschaftstester, wobei die Steuervorrichtung die Positionssteuerung derart ausführt, dass ein Zustand, bei welchem sowohl die Dynamikeigenschaftstestsonde als auch die Statikeigenschaftstestsonde mit der Elektrode in Kontakt sind, der Dynamikeigenschaftstestzustand ist, und der Trennungsschaltkreis die Statikeigenschaftstestsonde von dem Statikeigenschaftstester trennt, wenn der Dynamikeigenschaftstest ausgeführt wird.
  3. Inspektionsvorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Dynamikeigenschaftstestsonde und die Statikeigenschaftstestsonde derart angeordnet sind, dass diese mit der Elektrode von einem unteren Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht sind, und die Steuervorrichtung durch Verschieben der Dynamikeigenschaftstestsonde in einer aufwärts und abwärts Richtung einen Kontaktzustand zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde, der Statikeigenschaftstestsonde und der Elektrode zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand schaltet.
  4. Inspektionsvorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Dynamikeigenschaftstestsonde derart angeordnet ist, dass diese mit der Elektrode von einem unteren Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht ist, die Statikeigenschaftstestsonde derart angeordnet ist, dass diese mit der Elektrode von einem oberen Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht ist, und die Steuervorrichtung durch Verschieben der Statikeigenschaftstestsonde und der Dynamikeigenschaftstestsonde in einer aufwärts und abwärts Richtung einen Kontaktzustand zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde, der Statikeigenschaftstestsonde und der Elektrode zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand schaltet.
  5. Inspektionsvorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Dynamikeigenschaftstestsonde derart angeordnet ist, dass diese mit der Elektrode von einem unteren Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht ist, die Statikeigenschaftstestsonde derart angeordnet ist, dass diese mit der Elektrode von einem oberen Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht ist, und die Steuervorrichtung durch Verschieben der Plattform in einer aufwärts und abwärts aufwärts und abwärts Richtung einen Kontaktzustand zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde, der Statikeigenschaftstestsonde und der Elektrode zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand schaltet.
  6. Inspektionsvorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Dynamikeigenschaftstestsonde und die Statikeigenschaftstestsonde derart angeordnet sind, dass diese mit der Elektrode von einem oberen Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht sind, und die Steuervorrichtung durch Verschieben der Plattform und der Dynamikeigenschaftstestsonde in einer aufwärts und abwärts aufwärts und abwärts Richtung einen Kontaktzustand zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde, der Statikeigenschaftstestsonde und der Elektrode zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand schaltet.
  7. Inspektionsvorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Statikeigenschaftstestsonde eine Federsonde ist, welche zum Ausdehnen und Zusammenziehen in einer aufwärts und abwärts aufwärts und abwärts Richtung geeignet ist, und derart angeordnet ist, dass diese mit der Elektrode von einem oberen Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht ist, die Dynamikeigenschaftstestsonde derart angeordnet ist, dass diese mit der Elektrode von einem oberen Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht ist, wobei ein Ende der Dynamikeigenschaftstestsonde oberhalb einem Ende der Statikeigenschaftstestsonde positioniert ist, und die Steuervorrichtung durch Verschieben der Plattform in der aufwärts und abwärts aufwärts und abwärts Richtung einen Kontaktzustand zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde, der Statikeigenschaftstestsonde und der Elektrode zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand schaltet.
  8. Inspektionsvorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Dynamikeigenschaftstestsonde und die Statikeigenschaftstestsonde derart angeordnet sind, dass diese mit der Elektrode von einem oberen Teil der zu prüfenden Vorrichtung in Kontakt gebracht sind, und die Steuervorrichtung durch Verschieben der Dynamikeigenschaftstestsonde und der Statikeigenschaftstestsonde in einer aufwärts und abwärts Richtung einen Kontaktzustand zwischen der Dynamikeigenschaftstestsonde, der Statikeigenschaftstestsonde und der Elektrode zwischen dem Dynamikeigenschaftstestzustand und dem Statikeigenschaftstestzustand schaltet.
  9. Ein Inspektionsverfahren, umfassend: einen Dynamikeigenschaftstestschritt zum in Kontakt-Bringen einer Dynamikeigenschaftstestsonde mit einer Elektrode einer zu prüfenden Vorrichtung, um einen Dynamikeigenschaftstest auszuführen; und einen Statikeigenschaftstestschritt zum in Kontakt-Bringen einer Statikeigenschaftstestsonde mit der Elektrode, um einen Statikeigenschaftstest auszuführen, wobei bei dem Statikeigenschaftstestschritt eine Positionssteuerung derart ausgeführt wird, dass die Dynamikeigenschaftstestsonde von der Elektrode durch Verschieben von zumindest einer Plattform, auf welcher die zu prüfende Vorrichtung platziert ist, der Dynamikeigenschaftstestsonde und/oder der Statikeigenschaftstestsonde getrennt wird.
DE112016001987.4T 2015-04-28 2016-03-14 Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren Pending DE112016001987T5 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015-091957 2015-04-28
JP2015091957A JP6520356B2 (ja) 2015-04-28 2015-04-28 検査装置および検査方法
PCT/JP2016/057892 WO2016174944A1 (ja) 2015-04-28 2016-03-14 検査装置および検査方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE112016001987T5 true DE112016001987T5 (de) 2018-01-11

Family

ID=57198307

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112016001987.4T Pending DE112016001987T5 (de) 2015-04-28 2016-03-14 Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10578663B2 (de)
JP (1) JP6520356B2 (de)
CN (1) CN108156820B (de)
DE (1) DE112016001987T5 (de)
TW (1) TWI702406B (de)
WO (1) WO2016174944A1 (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20190353701A1 (en) * 2017-02-22 2019-11-21 Sintokogio, Ltd. Test system
CN109459604B (zh) * 2018-06-21 2020-12-11 国网浙江江山市供电有限公司 无人机验电用接触式导体
KR20210013158A (ko) * 2018-06-28 2021-02-03 주식회사 히타치하이테크 반도체 검사 장치
CN109085391B (zh) * 2018-09-19 2020-12-22 四川爱联科技股份有限公司 电子设备测试装置及电子设备
JP2020165904A (ja) 2019-03-29 2020-10-08 新東工業株式会社 検査装置
JP2020165903A (ja) 2019-03-29 2020-10-08 新東工業株式会社 検査装置
JP2020165902A (ja) 2019-03-29 2020-10-08 新東工業株式会社 検査装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69229389T2 (de) * 1992-02-25 1999-10-07 Hewlett Packard Co Testsystem für Schaltkreise
CN2572557Y (zh) 2002-09-25 2003-09-10 万润科技股份有限公司 晶片测试机
JP2005121553A (ja) * 2003-10-17 2005-05-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd プローブカード及び半導体チップの試験方法
US7256600B2 (en) 2004-12-21 2007-08-14 Teradyne, Inc. Method and system for testing semiconductor devices
CN101101886A (zh) 2006-06-05 2008-01-09 松下电器产业株式会社 半导体检查装置及半导体集成电路的检查方法
US7924035B2 (en) * 2008-07-15 2011-04-12 Formfactor, Inc. Probe card assembly for electronic device testing with DC test resource sharing
JP5260172B2 (ja) 2008-07-31 2013-08-14 東京エレクトロン株式会社 被検査体の検査方法及び被検査体の検査用プログラム
JP2011257227A (ja) 2010-06-08 2011-12-22 Panasonic Corp 半導体検査装置および検査方法
JP5413349B2 (ja) * 2010-09-30 2014-02-12 富士電機株式会社 半導体試験装置および半導体試験回路の接続装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201643448A (zh) 2016-12-16
US10578663B2 (en) 2020-03-03
US20180113165A1 (en) 2018-04-26
CN108156820A (zh) 2018-06-12
JP2016206150A (ja) 2016-12-08
CN108156820B (zh) 2020-07-14
JP6520356B2 (ja) 2019-05-29
WO2016174944A1 (ja) 2016-11-03
TWI702406B (zh) 2020-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60007516T2 (de) Passive breitbandige testkarte für integrierte schaltungen
EP2700962B1 (de) Messung eines Widerstands eines Schaltkontakts eines elektrischen Leistungsschalters
DE69734815T2 (de) Fall-nadelbett-prüfgerät für bestückte gedruckte schaltungen
DE112012002279T5 (de) Verfahren und Vorrichtung für die Stromverteilung mit mehreren Eingängen an nebeneinander liegende Ausgänge
DE60003312T2 (de) Parallelprüfer für halbleiterschaltungen
EP2246938B1 (de) Elektrischer Verbinder
US4967148A (en) Apparatus for electrical function testing of wiring matrices, particularly of printed circuit boards
KR101835680B1 (ko) 파워 디바이스용의 프로브 카드
EP0257546B1 (de) Maschine zur Positionierung von Chips mit Prüffunktion
EP0078339A1 (de) Tastkopfanordnung für Leiterzugüberprüfung mit mindestens einem, eine Vielzahl von federnden Kontakten aufweisenden Tastkopf
US4225819A (en) Circuit board contact contamination probe
EP3126851B1 (de) Kontakt-abstandstransformer, elektrische prüfeinrichtung sowie verfahren zur herstellung eines kontakt-abstandstransformers
DE10003282B4 (de) Kontaktstruktur
EP1266234B1 (de) Vorrichtung zum testen von leiterplatten
DE102014117019A1 (de) Elektonisches Bauteil
JP2004191208A (ja) 検査方法及び検査装置
DE19837138B4 (de) Prüfkarte zum Prüfen von Chips mit integrierten Schaltungen
KR20120128159A (ko) 프로브 장치
US20040124861A1 (en) Ultra-short low-force vertical probe test head and method
DE102004027489A1 (de) Verfahren zum Anordnen von Chips eines ersten Substrats auf einem zweiten Substrat
DE69734866T2 (de) Prüfadapter mit Kontaktstiftführung für bestückte Leiterplatten
US5977776A (en) Circuit board testing method
DE19944980A1 (de) Ummantelte elektrische Verbindung für eine Anschlußstruktur
DE202005021386U1 (de) Prüfkopf mit einem Messfühler mit Membranaufhängung
EP1436849A2 (de) Kompakter vertikaler hall-sensor