JP2018189387A - 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】把持部の位置の微調整を正確に行うことができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品端子を有する電子部品と接触する検査部端子を有する電子部品載置部を配置可能であり、前記電子部品を把持して搬送可能な把持部と、前記把持部を撮像する撮像部と、前記把持部および前記撮像部の作動を制御し、かつ、前記電子部品端子と前記検査部端子との位置合わせを行う際の前記把持部の移動範囲である位置合わせ移動範囲の設定を行う制御部と、を備える。【選択図】図4
Description
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
従来から、例えばICデバイス等のような電子部品(部品)の電気的な試験をする部品試験装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。この特許文献1に記載の部品試験装置では、電子部品に対して試験を行なう際、ICデバイスをソケットまで搬送し、ソケットに載置して、その試験を行なうよう構成されている。
また、特許文献1に記載の部品試験装置では、ICデバイスをソケットまで搬送する間に、複数のカメラ(例えば、部品認識カメラ、ソケット認識カメラ等)でICデバイスの画像を撮像していた。そして、この画像に基づいてICデバイスの位置を適宜調整する(補正する)ことにより、ICデバイスをソケットまで正確に搬送することができる。ICデバイスの位置を調整する際、例えば、ICデバイスを把持した把持部の位置を調整(微調整)することにより、ICデバイスの位置を調整することができる。
しかしながら、特許文献1に記載の部品試験装置では、把持部の位置の微調整を行う際、把持部を移動させるための指示値に対して把持部が指示値通りに正確に移動しない、すなわち、若干位置ズレが生じる場合がある。この場合、正確な微調整を行うのが困難になる。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下のものとして実現することが可能である。
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品端子を有する電子部品と接触する検査部端子を有する電子部品載置部を配置可能であり、
前記電子部品を把持して搬送可能な把持部と、
前記把持部を撮像する撮像部と、
前記把持部および前記撮像部の作動を制御し、かつ、前記電子部品端子と前記検査部端子との位置合わせを行う際の前記把持部の移動範囲である位置合わせ移動範囲の設定を行う制御部と、を備え、
前記撮像部は、第1の位置に位置する前記把持部を撮像して第1の画像とし、前記第1の位置から第1の指示値に基づいて移動した第2の位置に位置する前記把持部を撮像して第2の画像とし、前記第2の位置から第2の指示値に基づいて移動した第3の位置に位置する前記把持部を撮像して第3の画像とし、
前記第1の指示値と、前記第1の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第2の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第1のズレ量と、の比を第1の比とし、
前記第2の指示値と、前記第2の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第3の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第2のズレ量と、の比を第2の比としたとき、
前記制御部は、前記第1の比および前記第2の比の双方が所定の範囲内である場合には、前記位置合わせ移動範囲に、前記第1の位置、前記第2の位置および前記第3の位置を含めることを特徴とする。
前記電子部品を把持して搬送可能な把持部と、
前記把持部を撮像する撮像部と、
前記把持部および前記撮像部の作動を制御し、かつ、前記電子部品端子と前記検査部端子との位置合わせを行う際の前記把持部の移動範囲である位置合わせ移動範囲の設定を行う制御部と、を備え、
前記撮像部は、第1の位置に位置する前記把持部を撮像して第1の画像とし、前記第1の位置から第1の指示値に基づいて移動した第2の位置に位置する前記把持部を撮像して第2の画像とし、前記第2の位置から第2の指示値に基づいて移動した第3の位置に位置する前記把持部を撮像して第3の画像とし、
前記第1の指示値と、前記第1の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第2の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第1のズレ量と、の比を第1の比とし、
前記第2の指示値と、前記第2の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第3の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第2のズレ量と、の比を第2の比としたとき、
前記制御部は、前記第1の比および前記第2の比の双方が所定の範囲内である場合には、前記位置合わせ移動範囲に、前記第1の位置、前記第2の位置および前記第3の位置を含めることを特徴とする。
これにより、把持部を移動させる指示値に対して把持部が正確に移動する範囲を位置合わせ移動範囲に設定することができる。よって、設定された位置合わせ移動範囲において把持部の位置合わせを行うことにより、正確な位置合わせを行うことができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記撮像部は、前記第3の位置から第3の指示値に基づいて移動した第4の位置に位置する前記把持部を撮像して第4の画像とし、前記第4の位置から第4の指示値に基づいて移動した第5の位置に位置する前記把持部を撮像して第5の画像とし、
前記第3の指示値と、前記第3の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第4の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第3のズレ量と、の比を第3の比とし、
前記第4の指示値と、前記第4の画像に含まれる前記把持部の像に対する第5の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第4のズレ量と、の比を第4の比としたとき、
前記制御部は、前記第1の比、前記第2の比、前記第3の比および前記第4の比が所定の範囲内である場合には、
前記第1の比および前記第2の比の第1の差と、前記第3の比および前記第4の比の第2の差とを比較し、前記第1の差の方が前記第2の差よりも小さい場合には、前記位置合わせ移動範囲に、前記第1の位置、前記第2の位置および前記第3の位置を含め、前記第2の差の方が前記第1の差よりも小さい場合には、前記位置合わせ移動範囲に、前記第3の位置、前記第4の位置および前記第5の位置を含めるのが好ましい。
前記第3の指示値と、前記第3の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第4の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第3のズレ量と、の比を第3の比とし、
前記第4の指示値と、前記第4の画像に含まれる前記把持部の像に対する第5の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第4のズレ量と、の比を第4の比としたとき、
前記制御部は、前記第1の比、前記第2の比、前記第3の比および前記第4の比が所定の範囲内である場合には、
前記第1の比および前記第2の比の第1の差と、前記第3の比および前記第4の比の第2の差とを比較し、前記第1の差の方が前記第2の差よりも小さい場合には、前記位置合わせ移動範囲に、前記第1の位置、前記第2の位置および前記第3の位置を含め、前記第2の差の方が前記第1の差よりも小さい場合には、前記位置合わせ移動範囲に、前記第3の位置、前記第4の位置および前記第5の位置を含めるのが好ましい。
これにより、把持部を移動させる指示値に対して把持部がさらに正確に移動する範囲を位置合わせ移動範囲に設定することができる。よって、設定された位置合わせ移動範囲において把持部の位置合わせを行うことにより、さらに正確な位置合わせを行うことができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記制御部は、予め定められた位置合わせ移動範囲の長さに基づいて前記設定を行うのが好ましい。
これにより、予め定められた、すなわち、必要に応じて設定された任意の距離分の位置合わせ移動範囲を設定することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記位置合わせを行う際の前記把持部の可動範囲を最大可動範囲とした場合、前記制御部は、前記最大可動範囲の全域にわたって前記把持部を移動させるのが好ましい。
これにより、最大可動範囲の中から位置合わせ移動範囲を設定することができる。すなわち、より広い範囲の中から最大可動範囲を検出することができ、より正確に把持部が移動する位置合わせ移動範囲を設定することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記制御部は、前記第1の画像における前記把持部の像において、特徴点を抽出し、前記特徴点に基づいて、前記設定を行うのが好ましい。
このような構成によれば把持部にマーカーを設けたり、把持部にマーカー部材を設けたりするのを省略することができる。よって、把持部の構成を簡素にすることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記特徴点は、前記把持部の角部であるのが好ましい。
このような構成によれば把持部にマーカーを設けたり、把持部にマーカー部材を設けたりするのを省略することができる。よって、把持部の構成を簡素にすることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記把持部は、互いに直交する第1の方向および第2の方向に沿って移動可能で、前記第1の方向および前記第2の方向に直交する軸回りに回動可能であり、
前記制御部は、前記第1の方向、前記第2の方向および前記把持部の回動方向において、それぞれ前記設定を行うのが好ましい。
前記制御部は、前記第1の方向、前記第2の方向および前記把持部の回動方向において、それぞれ前記設定を行うのが好ましい。
これにより、第1の方向、第2の方向および第3の方向において、指示値に対して正確に移動する位置合わせ移動範囲を設定することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記把持部を前記第1の方向に移動させる第1のアクチュエーターと、前記把持部を前記第2の方向に移動させる第2のアクチュエーターと、前記把持部を前記回動方向に回動させる第3のアクチュエーターと、をさらに有するのが好ましい。
これにより、把持部を、第1の方向、第2の方向および第3の方向に移動させることができる。よって、第1の方向、第2の方向および第3の方向において、位置合わせ移動範囲をそれぞれ設定することができる。
本発明の電子部品検査装置は、電子部品端子を有する電子部品と接触する検査部端子を有する電子部品載置部を配置可能であり、
前記電子部品を把持して搬送可能な把持部と、
前記把持部を撮像する撮像部と、
前記把持部および前記撮像部の作動を制御し、かつ、前記電子部品端子と前記検査部端子との位置合わせを行う際の前記把持部の移動範囲である位置合わせ移動範囲を設定する制御部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備え、
前記撮像部は、第1の位置に位置する前記把持部を撮像して第1の画像とし、前記第1の位置から第1の指示値に基づいて移動した第2の位置に位置する前記把持部を撮像して第2の画像とし、前記第2の位置から第2の指示値に基づいて移動した第3の位置に位置する前記把持部を撮像して第3の画像とし、
前記第1の指示値と、前記第1の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第2の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第1のズレ量と、の比を第1の比とし、
前記第2の指示値と、前記第2の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第3の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第2のズレ量と、の比を第2の比としたとき、
前記制御部は、前記第1の比および前記第2の比の双方が所定の範囲内である場合には、前記位置合わせ移動範囲に、前記第1の位置、前記第2の位置および前記第3の位置を含めることを特徴とする。
前記電子部品を把持して搬送可能な把持部と、
前記把持部を撮像する撮像部と、
前記把持部および前記撮像部の作動を制御し、かつ、前記電子部品端子と前記検査部端子との位置合わせを行う際の前記把持部の移動範囲である位置合わせ移動範囲を設定する制御部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備え、
前記撮像部は、第1の位置に位置する前記把持部を撮像して第1の画像とし、前記第1の位置から第1の指示値に基づいて移動した第2の位置に位置する前記把持部を撮像して第2の画像とし、前記第2の位置から第2の指示値に基づいて移動した第3の位置に位置する前記把持部を撮像して第3の画像とし、
前記第1の指示値と、前記第1の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第2の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第1のズレ量と、の比を第1の比とし、
前記第2の指示値と、前記第2の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第3の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第2のズレ量と、の比を第2の比としたとき、
前記制御部は、前記第1の比および前記第2の比の双方が所定の範囲内である場合には、前記位置合わせ移動範囲に、前記第1の位置、前記第2の位置および前記第3の位置を含めることを特徴とする。
これにより、把持部を移動させる指示値に対して把持部が正確に移動する範囲を位置合わせ移動範囲に設定することができる。よって、設定された位置合わせ移動範囲において把持部の位置合わせを行うことにより、正確な位置合わせを行うことができる。
また、検査部としての電子部品載置部にまで電子部品を搬送することができ、よって、当該電子部品に対する検査を検査部で行なうことができる。また、検査後の電子部品を検査部から搬送することができる。
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
<第1実施形態>
以下、図1〜図11を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向(第1の方向)」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向(第2の方向)」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。また、図1および図3の上側、すなわち、Z軸方向正側を「上」または「上方」、下側、すなわち、Z軸方向負側を「下」または「下方」と言うことがある。
以下、図1〜図11を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向(第1の方向)」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向(第2の方向)」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。また、図1および図3の上側、すなわち、Z軸方向正側を「上」または「上方」、下側、すなわち、Z軸方向負側を「下」または「下方」と言うことがある。
本発明の電子部品搬送装置10は、図1に示す外観を有するものである。この本発明の電子部品搬送装置10は、ハンドラーであり、電子部品端子を有するICデバイス90(電子部品)と接触する検査部端子を有する検査部16(電子部品載置部)を配置可能であり、ICデバイス90(電子部品)を把持して搬送可能な保持部98(把持部)と、保持部98(把持部)を撮像する撮像部と、保持部98(把持部)および撮像部26の作動を制御し、かつ、電子部品端子と検査部端子との位置合わせを行う際の保持部98(把持部)の移動範囲である位置合わせ移動範囲Aの設定を行う制御部800と、を備える。また、撮像部26は、第1の位置に位置する保持部98(把持部)を撮像して第1の画像とし、第1の位置から第1の指示値に基づいて移動した第2の位置に位置する保持部98(把持部)を撮像して第2の画像とし、第2の位置から第2の指示値に基づいて移動した第3の位置に位置する保持部98(把持部)を撮像して第3の画像とし、第1の指示値と、第1の画像に含まれる保持部98(把持部)の像に対する第2の画像に含まれる保持部98(把持部)の像の第1のズレ量と、の比を第1の比とし、第2の指示値と、第2の画像に含まれる保持部98(把持部)の像に対する第3の画像に含まれる保持部98(把持部)の像の第2のズレ量との比を第2の比としたとき、制御部800は、第1の比および第2の比の双方が所定の範囲内である場合には、位置合わせ移動範囲Aに、第1の位置、第2の位置および第3の位置を含める。
これにより、保持部98を移動させる指示値に対して保持部98が正確に移動する範囲を位置合わせ移動範囲Aに設定することができる。よって、設定された位置合わせ移動範囲Aにおいて保持部98の位置合わせを行うことにより、正確な位置合わせを行うことができる。
また、図2に示すように、本発明の電子部品検査装置1は、電子部品搬送装置10を有し、さらに、電子部品を検査する検査部16を有する。すなわち、本発明の電子部品検査装置1は、電子部品端子を有するICデバイス90(電子部品)と接触する検査部端子を有する検査部16(電子部品載置部)を配置可能であり、ICデバイス90(電子部品)を把持して搬送可能な保持部98(把持部)と、保持部98(把持部)を撮像する撮像部と、保持部98(把持部)および撮像部26の作動を制御し、かつ、電子部品端子と検査部端子との位置合わせを行う際の保持部98(把持部)の移動範囲である位置合わせ移動範囲Aの設定を行う制御部800と、ICデバイス90(電子部品)を検査する検査部16と、を備える。また、撮像部26は、第1の位置に位置する保持部98(把持部)を撮像して第1の画像とし、第1の位置から第1の指示値に基づいて移動した第2の位置に位置する保持部98(把持部)を撮像して第2の画像とし、第2の位置から第2の指示値に基づいて移動した第3の位置に位置する保持部98(把持部)を撮像して第3の画像とし、第1の指示値と、第1の画像に含まれる保持部98(把持部)の像に対する第2の画像に含まれる保持部98(把持部)の像の第1のズレ量と、の比を第1の比とし、第2の指示値と、第2の画像に含まれる保持部98(把持部)の像に対する第3の画像に含まれる保持部98(把持部)の像の第2のズレ量との比を第2の比としたとき、制御部800は、第1の比および第2の比の双方が所定の範囲内である場合には、位置合わせ移動範囲Aに、第1の位置、第2の位置および第3の位置を含める。
これにより、前述した電子部品搬送装置10の利点を持つ電子部品検査装置1が得られる。また、検査部16にまで電子部品を搬送することができ、よって、当該電子部品に対する検査を検査部16で行なうことができる。また、検査後の電子部品を検査部16から搬送することができる。
以下、各部の構成について詳細に説明する。
図1、図2に示すように、電子部品搬送装置10を有する電子部品検査装置1は、例えばBGA(Ball Grid Array)パッケージであるICデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験(以下単に「検査」と言う)する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。ICデバイス90は、本実施形態では平板状をなすものとなっている。また、図示はしないが、ICデバイス90は、その下面に、平面視でマトリックス状に配置された複数の端子(電子部品端子)。
図1、図2に示すように、電子部品搬送装置10を有する電子部品検査装置1は、例えばBGA(Ball Grid Array)パッケージであるICデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験(以下単に「検査」と言う)する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。ICデバイス90は、本実施形態では平板状をなすものとなっている。また、図示はしないが、ICデバイス90は、その下面に、平面視でマトリックス状に配置された複数の端子(電子部品端子)。
なお、ICデバイスとしては、前記のものの他に、例えば、「LSI(Large Scale Integration)」「CMOS(Complementary MOS)」「CCD(Charge Coupled Device)」や、ICデバイスを複数モジュールパッケージ化した「モジュールIC」、また、「水晶デバイス」、「圧力センサー」、「慣性センサー(加速度センサー)」、「ジャイロセンサー」、「指紋センサー」等が挙げられる。
電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)は、トレイ供給領域A1と、デバイス供給領域A2と、検査領域A3と、デバイス回収領域A4と、トレイ除去領域A5とを備え、これらの領域は、後述するように各壁部で分けられている。そして、ICデバイス90は、トレイ供給領域A1からトレイ除去領域A5まで前記各領域を矢印α90方向に順に経由し、途中の検査領域A3で検査が行われる。このように電子部品検査装置1は、各領域を経由するようにICデバイス90を搬送する搬送部25を有する電子部品搬送装置10と、検査領域A3内で検査を行なう検査部16と、制御部800とを備えたものとなっている。また、その他、電子部品検査装置1は、モニター300と、シグナルランプ400と、操作パネル700とを備えている。
なお、電子部品検査装置1は、トレイ供給領域A1、トレイ除去領域A5が配された方、すなわち、図2中の下側が正面側となり、検査領域A3が配された方、すなわち、図2中の上側が背面側として使用される。
また、電子部品検査装置1は、ICデバイス90の種類ごとに交換される「チェンジキット」と呼ばれるものを予め搭載して用いられる。このチェンジキットには、ICデバイス90(電子部品)が載置される載置部(電子部品載置部)がある。本実施形態の電子部品検査装置1では、この載置部は、複数の箇所に設置されており、例えば、後述する温度調整部12と、デバイス供給部14と、デバイス回収部18とがある。また、ICデバイス90(電子部品)が載置される載置部(電子部品載置部)には、前記のようなチェンジキットとは別に、ユーザーが用意するトレイ200と、回収用トレイ19と、その他、検査部16もある。
トレイ供給領域A1は、未検査状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が供給される給材部である。トレイ供給領域A1は、トレイ200を複数積み重ねて搭載可能な搭載領域と言うこともできる。なお、本実施形態では、各トレイ200には、複数の凹部(ポケット)が行列状に配置されている。各凹部には、ICデバイス90を1つずつ収納、載置することができる。
デバイス供給領域A2は、トレイ供給領域A1から搬送されたトレイ200上の複数のICデバイス90がそれぞれ検査領域A3まで搬送、供給される領域である。なお、トレイ供給領域A1とデバイス供給領域A2とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構11A、11Bが設けられている。トレイ搬送機構11Aは、搬送部25の一部であり、トレイ200を、当該トレイ200に載置されたICデバイス90ごとY方向の正側、すなわち、図2中の矢印α11A方向に移動させることができる。これにより、ICデバイス90を安定してデバイス供給領域A2に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構11Bは、空のトレイ200をY方向の負側、すなわち、図2中の矢印α11B方向に移動させることができる移動部である。これにより、空のトレイ200をデバイス供給領域A2からトレイ供給領域A1に移動させることができる。
デバイス供給領域A2には、温度調整部(ソークプレート(英語表記:soak plate、中国語表記(一例):均温板))12と、デバイス搬送ヘッド13と、トレイ搬送機構15とが設けられている。また、デバイス供給領域A2と検査領域A3とを跨ぐように移動するデバイス供給部14も設けられている。
温度調整部12は、複数のICデバイス90が載置される載置部であり、当該載置されたICデバイス90を一括して加熱または冷却することができる「ソークプレート」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部16で検査される前のICデバイス90を予め加熱または冷却して、当該検査(高温検査や低温検査)に適した温度に調整することができる。
このような載置部としての温度調整部12は、固定されている。これにより、当該温度調整部12上でのICデバイス90に対して安定して温度調整することができる。
また、温度調整部12は、グランドされて(接地されて)いる。
図2に示す構成では、温度調整部12は、Y方向に2つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構11Aによってトレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200上のICデバイス90は、いずれかの温度調整部12まで搬送される。
図2に示す構成では、温度調整部12は、Y方向に2つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構11Aによってトレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200上のICデバイス90は、いずれかの温度調整部12まで搬送される。
デバイス搬送ヘッド13は、ICデバイス90を把持する把持部であり、デバイス供給領域A2内でX方向およびY方向に移動可能に支持され、さらにZ方向にも移動可能に支持されている。このデバイス搬送ヘッド13は、搬送部25の一部でもあり、トレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200と温度調整部12との間のICデバイス90の搬送と、温度調整部12と後述するデバイス供給部14との間のICデバイス90の搬送とを担うことができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド13のX方向の移動を矢印α13Xで示し、デバイス搬送ヘッド13のY方向の移動を矢印α13Yで示している。
デバイス供給部14は、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90が載置される載置部であり、当該ICデバイス90を検査部16近傍まで搬送することができる「供給用シャトルプレート」または単に「供給シャトル」と呼ばれるものである。このデバイス供給部14も、搬送部25の一部となり得る。このデバイス供給部14は、図示はしないが、ICデバイス90が収納、載置される凹部(ポケット)を有している。
また、載置部としてのデバイス供給部14は、デバイス供給領域A2と検査領域A3との間をX方向、すなわち、矢印α14方向に沿って往復移動可能(移動可能)に支持されている。これにより、デバイス供給部14は、ICデバイス90をデバイス供給領域A2から検査領域A3の検査部16近傍まで安定して搬送することができ、また、検査領域A3でICデバイス90がデバイス搬送ヘッド17(ハンドユニット9)によって取り去られた後は再度デバイス供給領域A2に戻ることができる。
図2に示す構成では、デバイス供給部14は、Y方向に2つ配置されており、Y方向負側のデバイス供給部14を「デバイス供給部14A」と言い、Y方向正側のデバイス供給部14を「デバイス供給部14B」と言うことがある。そして、温度調整部12上のICデバイス90は、デバイス供給領域A2内でデバイス供給部14Aまたはデバイス供給部14Bまで搬送される。また、デバイス供給部14は、温度調整部12と同様に、当該デバイス供給部14に載置されたICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90に対して、その温度調整状態を維持して、検査領域A3の検査部16近傍まで搬送することができる。また、デバイス供給部14も、温度調整部12と同様に、グランドされている。
トレイ搬送機構15は、全てのICデバイス90が除去された状態の空のトレイ200をデバイス供給領域A2内でX方向の正側、すなわち、矢印α15方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、トレイ搬送機構11Bによってデバイス供給領域A2からトレイ供給領域A1に戻される。
検査領域A3は、ICデバイス90を検査する領域である。この検査領域A3には、ICデバイス90に対して検査を行なう検査部16と、デバイス搬送ヘッド17とが設けられている。
デバイス搬送ヘッド17は、搬送部25の一部であり、温度調整部12と同様に、把持したICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。このデバイス搬送ヘッド17は、後述するように、ICデバイス90(電子部品)を把持するハンドユニット9(把持部)を有している。これにより、前記温度調整状態が維持されたICデバイス90を把持して、前記温度調整状態を維持したまま、ICデバイス90を検査領域A3内で搬送することができる。
このようなデバイス搬送ヘッド17は、検査領域A3内でY方向およびZ方向に往復移動可能に支持され、「インデックスアーム」と呼ばれる機構の一部となっている。これにより、デバイス搬送ヘッド17は、デバイス供給領域A2から搬入されたデバイス供給部14から、ICデバイス90を持ち上げて、検査部16上に搬送し、載置することができる。
なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド17のY方向の往復移動を矢印α17Yで示している。また、デバイス搬送ヘッド17は、Y方向に往復移動可能に支持されているが、これに限定されず、X方向にも往復移動可能に支持されていてもよい。また、図2に示す構成では、デバイス搬送ヘッド17は、Y方向に2つ配置されており、Y方向負側のデバイス搬送ヘッド17を「デバイス搬送ヘッド17A」と言い、Y方向正側のデバイス搬送ヘッド17を「デバイス搬送ヘッド17B」と言うことがある。デバイス搬送ヘッド17Aは、検査領域A3内で、ICデバイス90のデバイス供給部14Aから検査部16への搬送を担うことができ、デバイス搬送ヘッド17Bは、検査領域A3内で、ICデバイス90のデバイス供給部14Bから検査部16への搬送を担うことができる。
検査部16(ソケット)は、電子部品であるICデバイス90を載置して、当該ICデバイス90の電気的特性を検査する載置部(電子部品載置部)である。この検査部16は、図示はしないが、ICデバイス90が収納、載置される凹部(ポケット)を有し、その凹部の底部に、複数のプローブピン(載置部端子)が設けられている。そして、ICデバイス90の端子とプローブピンとが電気的に接続される、すなわち、接触することにより、ICデバイス90の検査を行なうことができる。ICデバイス90の検査は、検査部16に接続されるテスターが備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。なお、プローブピンの上端部の形状は、ICデバイス90の端子の形状に適合しており、例えば、半球状の端子である場合、王冠状をなしている。
このような検査部16は、温度調整部12と同様に、ICデバイス90を加熱または冷却して、当該ICデバイス90を検査に適した温度に調整することができる。
デバイス回収領域A4は、検査領域A3で検査され、その検査が終了した複数のICデバイス90が回収される領域である。このデバイス回収領域A4には、回収用トレイ19と、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構21とが設けられている。また、検査領域A3とデバイス回収領域A4とを跨ぐように移動するデバイス回収部18も設けられている。また、デバイス回収領域A4には、空のトレイ200も用意されている。
デバイス回収部18は、検査部16で検査が終了したICデバイス90が載置され、当該ICデバイス90をデバイス回収領域A4まで搬送することができる載置部であり、「回収用シャトルプレート」または単に「回収シャトル」と呼ばれる。このデバイス回収部18も、搬送部25の一部となり得る。
また、デバイス回収部18は、検査領域A3とデバイス回収領域A4との間をX方向、すなわち、矢印α18方向に沿って往復移動可能に支持されている。また、図2に示す構成では、デバイス回収部18は、デバイス供給部14と同様に、Y方向に2つ配置されており、Y方向負側のデバイス回収部18を「デバイス回収部18A」と言い、Y方向正側のデバイス回収部18を「デバイス回収部18B」と言うことがある。そして、検査部16上のICデバイス90は、デバイス回収部18Aまたはデバイス回収部18Bに搬送され、載置される。なお、ICデバイス90の検査部16からデバイス回収部18Aへの搬送は、デバイス搬送ヘッド17Aが担い、検査部16からデバイス回収部18Bへの搬送は、デバイス搬送ヘッド17Bが担う。また、デバイス回収部18も、温度調整部12やデバイス供給部14と同様に、グランドされている。
回収用トレイ19は、検査部16で検査されたICデバイス90が載置される載置部であり、デバイス回収領域A4内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド20等の各種可動部が比較的多く配置されたデバイス回収領域A4であっても、回収用トレイ19上では、検査済みのICデバイス90が安定して載置されることとなる。なお、図2に示す構成では、回収用トレイ19は、X方向に沿って3つ配置されている。
また、空のトレイ200も、X方向に沿って3つ配置されている。この空のトレイ200も、検査部16で検査されたICデバイス90が載置される載置部となる。そして、デバイス回収領域A4に移動してきたデバイス回収部18上のICデバイス90は、回収用トレイ19および空のトレイ200のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ICデバイス90は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
デバイス搬送ヘッド20は、デバイス回収領域A4内でX方向およびY方向に移動可能に支持され、さらにZ方向にも移動可能な部分を有している。このデバイス搬送ヘッド20は、搬送部25の一部であり、ICデバイス90をデバイス回収部18から回収用トレイ19や空のトレイ200に搬送することができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド20のX方向の移動を矢印α20Xで示し、デバイス搬送ヘッド20のY方向の移動を矢印α20Yで示している。
トレイ搬送機構21は、トレイ除去領域A5から搬入された空のトレイ200をデバイス回収領域A4内でX方向、すなわち、矢印α21方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、ICデバイス90が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記3つの空のトレイ200のうちのいずれかとなり得る。
トレイ除去領域A5は、検査済み状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域A5では、多数のトレイ200を積み重ねることができる。
また、デバイス回収領域A4とトレイ除去領域A5とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつY方向に搬送するトレイ搬送機構22A、トレイ搬送機構22Bが設けられている。トレイ搬送機構22Aは、搬送部25の一部であり、トレイ200をY方向、すなわち、矢印α22A方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、検査済みのICデバイス90をデバイス回収領域A4からトレイ除去領域A5に搬送することができる。また、トレイ搬送機構22Bは、ICデバイス90を回収するための空のトレイ200をY方向の正側、すなわち、矢印α22B方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ200をトレイ除去領域A5からデバイス回収領域A4に移動させることができる。
制御部800は、例えば、トレイ搬送機構11Aと、トレイ搬送機構11Bと、温度調整部12と、デバイス搬送ヘッド13と、デバイス供給部14と、トレイ搬送機構15と、検査部16と、デバイス搬送ヘッド17と、デバイス回収部18と、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構21と、トレイ搬送機構22Aと、トレイ搬送機構22Bの作動を制御することができる。
また、制御部800は、後述する第1圧電アクチュエーター911、第2圧電アクチュエーター912および第3圧電アクチュエーター913の作動も制御することができる。制御部800が、第1圧電アクチュエーター911、第2圧電アクチュエーター912および第3圧電アクチュエーター913にそれぞれ信号を送信することにより、第1圧電アクチュエーター911、第2圧電アクチュエーター912および第3圧電アクチュエーター913が駆動し、98の位置の微調整(位置合わせ)を行うことができる。
オペレーターは、モニター300を介して、電子部品検査装置1の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター300は、例えば液晶画面で構成された表示画面301を有し、電子部品検査装置1の正面側上部に配置されている。図1に示すように、トレイ除去領域A5の図中の右側には、マウスを載置するマウス台600が設けられている。このマウスは、モニター300に表示された画面を操作する際に用いられる。
また、モニター300に対して図1の右下方には、操作パネル700が配置されている。操作パネル700は、モニター300とは別に、電子部品検査装置1に所望の動作を命令するものである。
また、シグナルランプ400は、発光する色の組み合わせにより、電子部品検査装置1の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ400は、電子部品検査装置1の上部に配置されている。なお、電子部品検査装置1には、スピーカー500が内蔵されており、このスピーカー500によっても電子部品検査装置1の作動状態等を報知することもできる。
電子部品検査装置1は、トレイ供給領域A1とデバイス供給領域A2との間が第1隔壁231によって区切られており、デバイス供給領域A2と検査領域A3との間が第2隔壁232によって区切られており、検査領域A3とデバイス回収領域A4との間が第3隔壁233によって区切られており、デバイス回収領域A4とトレイ除去領域A5との間が第4隔壁234によって区切られている。また、デバイス供給領域A2とデバイス回収領域A4との間も、第5隔壁235によって区切られている。
電子部品検査装置1は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー241、サイドカバー242、サイドカバー243、リアカバー244、トップカバー245がある。
ところで、近年のICデバイス90の小型化に伴い、ICデバイス90の端子同士のピッチも狭まり、その結果、各端子と、この端子と接触すべき検査部16のプローブピンとが接触しづらくなり、正確な検査が困難になるおそれがある。
そこで、電子部品検査装置1では、このような不具合を防止することができるよう構成されている。以下、このことについて説明する。
図3に示すように、デバイス搬送ヘッド17は、少なくとも1つのハンドユニット9を有している。ハンドユニット9は、デバイス供給部14上のICデバイス90(電子部品)を把持して、検査部16まで搬送するものである。なお、ハンドユニット9の配置数は、特に限定されない。
ハンドユニット9は、基部94と、基部94に支持され、基部94に対してX方向に往復移動可能な第1移動部95と、第1移動部95に支持され、第1移動部95に対してY方向に往復移動可能な第2移動部96と、第2移動部96に支持され、第2移動部96に対してZ軸回りに回動(回転)可能な回動部(回転部)97と、回動部97に設けられたシャフト99と、シャフト99に固定された保持部98(把持部)と、第1移動部95を基部94に対して移動させる第1圧電アクチュエーター911と、第2移動部96を第1移動部95に対して移動させる第2圧電アクチュエーター912と、回動部97を第2移動部96に対して回動させる第3圧電アクチュエーター(回動部用圧電アクチュエーター)913とを有している。
基部94は、Z方向に厚みを有する板状をなす板状部941と、板状部941の下面に設けられ、第1移動部95をX方向へ案内するための係合部942および係合部943とを有している。係合部942および係合部943は、それぞれ、X方向に延在しており、また、互いにY方向に離間している。係合部942および係合部943の構成は、特に限定されないが、本実施形態では、それぞれ、後述するレール952およびレール953の長手方向に開放する溝を有している。言い換えれば、係合部942および係合部943は、図3中の下方に開放する長尺の溝を有する長尺部で構成されている。
また、基部94は、板状部941からZ方向負側に向けて延出し、第1圧電アクチュエーター911と当接する当接部947を有している。当接部947は、第2移動部96まで伸びており、第1移動部95および第2移動部96に対してY方向に並ぶように設けられている。また、当接部947の下面947aは、X方向に延在しており、この下面947aに第1圧電アクチュエーター911の凸部911a(上端部)が当接している。下面947aの表面には、凸部911aとの間の摩擦抵抗を高めるための処理を施したり、高摩擦層を形成したりするのが好ましい。
第1移動部95は、基部951と、基部951に設けられ、基部94の係合部942に係合するレール952と、基部951に設けられ、基部94の係合部943に係合するレール953とを有している。これにより、第1移動部95のX方向以外への移動が規制され、第1移動部95が円滑かつ確実にX方向に移動する。
また、第1移動部95は、基部951からZ方向負側に向けて延出し、第1圧電アクチュエーター911が固定された第1固定部954を有している。第1固定部954は、XZ平面に広がりを有し、Y方向に厚みを有する板状をなしており、第2移動部96(基部961)に対してY方向に並ぶように設けられている。そして、第1固定部954の表面に第1圧電アクチュエーター911が固定されている。
第1圧電アクチュエーター911は、板状をなしており、Y方向を厚さとするように第1固定部954に固定されている。第1圧電アクチュエーター911をこのように配置することにより、第1圧電アクチュエーター911の外方への過度な突出を抑えることができ、ハンドユニット9の小型化を図ることができる。
また、第1移動部95は、基部951からZ方向負側に向けて延出し、第2圧電アクチュエーター912が固定された第2固定部(図示せず)を有している。この第2固定部は、YZ平面に広がりを有し、X方向に厚みを有する板状をなしており、第2移動部96(基部961)に対してX方向に並ぶように設けられている。そして、第2固定部の裏面に第2圧電アクチュエーター912が固定されている。
第2圧電アクチュエーター912は、板状をなしており、X方向を厚さとするように前記第2固定部に固定されている。第2圧電アクチュエーター912をこのように配置することにより、第2圧電アクチュエーター912の外方への突出を抑えることができ、ハンドユニット9の小型化を図ることができる。また、第2圧電アクチュエーター912の上端部は、第2移動部96に下側から当接している。
また、第1移動部95は、第2移動部96をY方向へ案内するための係合部(案内部)956を有している。係合部956は、Y方向に延在している。係合部956の構成は特に限定されないが、本実施形態では、後述するレール963の長手方向に開放する溝を有している。言い換えれば、係合部956は、図3中の下方に開放する長尺の溝を有する長尺部で構成されている。
第2移動部96は、柱状の基部961と、基部961に設けられ、第1移動部95の係合部956に係合するレール963とを有している。これにより、第2移動部96のY方向以外への移動が規制され、第2移動部96が円滑かつ確実にY方向に移動する。
また、第2移動部96の基部961には、他の部分よりも凹没した面961aが形成されており、この面961aに回動部97を回動させるための第3圧電アクチュエーター913が固定されている。面961aは、YZ平面で構成されており、板状の第3圧電アクチュエーター913は、X方向を厚さとするように、面961aに固定されている。このように第3圧電アクチュエーター913を配置することにより、第3圧電アクチュエーター913の外方への過度な突出を抑制できるため、ハンドユニット9の小型化を図ることができる。
ハンドユニット9では、以上のような構成の第1移動部95と第2移動部96とにより、位置調整機構92が構成されている。
第2移動部96の下方(Z方向負側)には、回動部97が位置している。回動部97は、第2移動部96の基部961の下端に固定された管状の支持部971を有している。この支持部971の内側には、例えば、支持部971と同軸的に設けられ、シャフト99が挿通した回動体(図示せず)や、回動体を支持部971に対して回動可能に支持するベアリング(図示せず)等が配置されている。
また、前記回動体には、その回動軸から偏心した位置に、第3圧電アクチュエーター913の凸部913aが当接している。そして、第3圧電アクチュエーター913の駆動によって、前記回動体が支持部971(第2移動部96)に対して回動する。
ハンドユニット9では、以上のような構成の回動部97により、姿勢調整機構93が構成されている。
このように、電子部品搬送装置10は、保持部98(把持部)をX方向(第1の方向)に移動させる第1圧電アクチュエーター911(第1のアクチュエーター)と、保持部98(把持部)をY方向(第2の方向)に移動させる第2圧電アクチュエーター912(第2のアクチュエーター)と、保持部98(把持部)をZ軸回り(回動方向)に回動させる第3圧電アクチュエーター913(第3のアクチュエーター)と、を有する。これにより、保持部98を、X方向、Y方向およびZ軸回りに独立して移動させることができ、保持部98の、X方向およびY方向の位置やZ軸回りの姿勢の微調整を独立して行うことができる。
このように、電子部品搬送装置10では、ICデバイス90を検査部16に載置する際、保持部98の位置を微調整することにより、ICデバイス90の位置と姿勢との双方を必要に応じて適宜調整することができ、よって、その載置を正確に行なうことができる。
シャフト99は、基部94の板状部941まで延在している。基部94には、倣い機構(コンプライアンス機構)948が内蔵されている。シャフト99は、倣い機構948に連結されている。これにより、シャフト99の姿勢は、シャフト99が受ける外力に倣うことができる。
シャフト99の下端には、ICデバイス90を保持する保持部98が配置されている。この保持部98は、シャフト99を介して回動部97に支持されており、前記回動体と一体的に、第2移動部96に対して回動することができる。
また、保持部98は、ICデバイス90と対向する吸着面981と、吸着面981に開放する吸着孔982と、吸着孔982内を減圧する減圧ポンプ983とを有している。吸着孔982を塞ぐように吸着面981をICデバイス90に接触させた状態にて、減圧ポンプ983によって吸着孔982内を減圧すると、吸着面981にICデバイス90を吸着、保持することができる。反対に、減圧ポンプ983を停止し吸着孔982内を解放すれば、ICデバイス90を放すことができる。
第1圧電アクチュエーター911、第2圧電アクチュエーター912、第3圧電アクチュエーター913としては、例えば、短冊状の圧電素子を有する構成のものを用いることができる。圧電素子は、交流電圧を印加することにより、その長手方向に伸縮する。そして、この伸縮動作を利用して、第1移動部95を基部94に対して移動させたり、第2移動部96を第1移動部95に対して移動さたり、回動部97を第2移動部96に対して回動させたりすることができる。なお、圧電素子の構成材料としては、特に限定されず、チタン酸ジルコニウム酸鉛(PZT)、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の各種のものを用いることができる。
なお、本明細書中では、保持部98をX軸方向およびY軸方向に駆動させて動かすこと、および、保持部98をZ軸回りの方向(回動方向)に駆動させて回動させることも「移動」に含む。
このように電子部品搬送装置10では、保持部98の位置の微調整を行うことができる。よって、ICデバイス90を検査部16に載置する際、ICデバイス90の位置と姿勢との双方を必要に応じて適宜調整することができ、よって、その載置を正確に行なうことができる。
なお、以下では、ICデバイス90の位置および姿勢を調整(微調整)するために、保持部98の位置および姿勢を調整(微調整)することを、「保持部98の位置合わせ」または「位置合わせ」とも言う。
図2に示すように、検査領域A3には、撮像部26が配置、固定されている。撮像部26は、検査部16と、検査領域A3内で停止したデバイス供給部14との間に位置する。前述したように、デバイス供給部14には、デバイス供給部14Aとデバイス供給部14Bとがある。従って、撮像部26は、検査部16とデバイス供給部14Aとの間に位置するものと、検査部16とデバイス供給部14Bとの間に位置するものとがある。以下では、代表的に、デバイス供給部14A側の撮像部26について説明する。
撮像部26は、例えばCCD(Charge Coupled Devices)カメラや3次元カメラ等の各種カメラで構成されている。撮像部26は、その撮像方向が上方を向いており、ハンドユニット9を撮像することができる。
ところで、保持部98の位置合わせを行う際、保持部98が制御部800からの指示(移動指示信号)通りに正確に移動すれば、正確な位置合わせが行われる。しかしながら、例えば、保持部98が制御部800からの指示通りに正確に移動しない、すなわち、若干位置ズレが生じる場合、正確な位置合わせを行うのが困難になる。
そこで、本発明では、保持部98の最大可動範囲Axのうち、保持部98が制御部800からの指示通りに正確に移動することができる範囲を検出し、その検出した範囲を、位置合わせを行う際に用いる位置合わせ移動範囲Aに設定する。この位置合わせ移動範囲A内で保持部98を移動させることにより、位置合わせを正確に行うことができる。
以下、このことについて、図11に示すフローチャートを用いて詳細に説明する。なお、電子部品搬送装置10では、保持部98をX方向に沿って移動させる第1圧電アクチュエーター911と、保持部98をY方向に沿って移動させる第2圧電アクチュエーター912と、保持部98をZ軸回りに回転(移動)させる第3圧電アクチュエーター913に対して同様の制御が行われるため、以下では、第1圧電アクチュエーター911に対する制御について代表的に説明する。
図4には、保持部98がX方向に移動可能な最大可動範囲Axを示している。保持部98は、座標Xminから座標Xmaxまで移動可能となっている。なお、座標とは、一例として角部984が位置している座標とする。なお、角部984としては、図示の角部984に限定されず、どの角部を用いてもよい。
ステップS101において、保持部98を移動させつつ撮像部26によって保持部98の画像を複数枚撮像する(図8参照)。
まず、保持部98を座標Xminに配置し、撮像部26によって画像を撮像する(図5参照)。すなわち、保持部98の座標Xminでの位置を位置P1としたとき、保持部98が位置P1に位置しているときの画像D1を撮像する。
次いで、保持部98を、位置P1から+X側の位置P2に移動させ、保持部98が位置P2に位置しているときの画像D2を撮像する(図6参照)。このとき、保持部98を、位置P1から+X側の位置P2に移動させるために、制御部800が第1圧電アクチュエーター911に指示した距離(指示移動距離)を指示値C1とする。
次いで、保持部98を、位置P2から+X側の位置P3に移動させ、保持部98が位置P3に位置しているときの画像D3を撮像する(図7参照)。このとき、保持部98を、位置P2から+X側の位置P3に移動させるために、制御部800が第1圧電アクチュエーター911に指示した距離(指示移動距離)を指示値C2とする。
そして、同様にして、同じ値の指示値を保持部98に指示しつつ、保持部98が座標Xmaxに位置するまで、画像を撮像する。なお、本実施形態では、保持部98が座標Xmaxに位置しているときの位置を位置P10とし、保持部98を位置P1、位置P2、位置P3、位置P4、位置P5、位置P6、位置P7、位置P8、位置P9および位置P10の順に移動させ、各位置で画像を撮像する。
また、保持部98が位置P4に位置しているときに撮像した画像を画像D4とする。保持部98が位置P5に位置しているときに撮像した画像を画像D5とする。保持部98が位置P6に位置しているときに撮像した画像を画像D6とする。保持部98が位置P7に位置しているときに撮像した画像を画像D7とする。保持部98が位置P8に位置しているときに撮像した画像を画像D8とする。保持部98が位置P9に位置しているときに撮像した画像を画像D9とする。保持部98が位置P10に位置しているときに撮像した画像を画像D10とする。また、保持部98を位置P3から位置P4に移動させるために指示した距離(指示移動距離)を指示値C3とする。また、保持部98を位置P4から位置P5に移動させるために指示した距離(指示移動距離)を指示値C4とする。また、保持部98を位置P5から位置P6に移動させるために指示した距離(指示移動距離)を指示値C5とする。また、保持部98を位置P6から位置P7に移動させるために指示した距離(指示移動距離)を指示値C6とする。また、保持部98を位置P7から位置P8に移動させるために指示した距離(指示移動距離)を指示値C7とする。また、保持部98を位置P8から位置P9に移動させるために指示した距離(指示移動距離)を指示値C8とする。また、保持部98を位置P9から位置P10に移動させるために指示した距離(指示移動距離)を指示値C9とする。
なお、本実施形態では、指示値C1、指示値C2、指示値C3、指示値C4、指示値C5、指示値C6、指示値C7、指示値C8および指示値C9は、同じ値とする。すなわち、本実施形態では、保持部98を理論上同じ間隔となるよう間欠的に移動させる。また、撮像部26は、保持部98が停止しているときに画像を撮像する。
次いで、ステップS102において、保持部98の実移動距離を検出する。
本ステップでは、図5および図6に示すように、画像D1と画像D2とを比較して実移動距離L1を検出する。この検出は、画像D1における角部984が画像D2においてどの位置に移動したか、すなわち、画像D1および画像D2における角部984のズレ量に基づいて行われる。
本ステップでは、図5および図6に示すように、画像D1と画像D2とを比較して実移動距離L1を検出する。この検出は、画像D1における角部984が画像D2においてどの位置に移動したか、すなわち、画像D1および画像D2における角部984のズレ量に基づいて行われる。
次いで、図6および図7に示すように、画像D2と画像D3とを比較して実移動距離L2を検出する。この検出は、前記と同様に、画像D2における角部984が画像D3においてどの位置に移動したかにより検出される。
前記と同様にして、画像D3と画像D4とを比較して実移動距離L3を検出する。画像D4と画像D5とを比較して実移動距離L4を検出する。画像D5と画像D6とを比較して実移動距離L5を検出する。画像D6と画像D7とを比較して実移動距離L6を検出する。画像D7と画像D8とを比較して実移動距離L7を検出する。画像D8と画像D9とを比較して実移動距離L8を検出する。画像D9と画像D10とを比較して実移動距離L9を検出する。
次いで、ステップS103において、実移動距離と指示値とを比較し、実移動距離と指示値との比を算出する。
具体的には、まず、実移動距離L1と指示値C1とを比較する。すなわち、実移動距離L1と指示値C1との比R1(L1/C1)を算出する。同様にして、実移動距離L2と指示値C2との比R2(L2/C2)を算出する。同様にして、実移動距離L3と指示値C3との比R3(L3/C3)を算出する。同様にして、実移動距離L4と指示値C4との比R4(L4/C4)を算出する。同様にして、実移動距離L5と指示値C5との比R5(L5/C5)を算出する。同様にして、実移動距離L6と指示値C6との比R6(L6/C6)を算出する。同様にして、実移動距離L7と指示値C7との比R7(L7/C7)を算出する。同様にして、実移動距離L8と指示値C8との比R8(L8/C8)を算出する。同様にして、実移動距離L9と指示値C9との比R9(L9/C9)を算出する。
なお、これら比R1〜R9は、1であると指示値と実移動距離が一致したこととなり、保持部98が指示通りに正確に作動したこととなる。
次いで、ステップS104において、位置合わせ移動範囲A、すなわち、位置合わせを行う際、実際に使用する(稼動させる)範囲を設定する。本実施形態では、位置合わせ移動範囲Aとして、指示値2つ分の距離を設定する。
このように制御部800は、予め定められた位置合わせ移動範囲Aの長さ(本実施形態では、指示値2つ分の距離)に基づいて、位置合わせ移動範囲Aの設定を行う。これにより、予め定められた、すなわち、必要に応じて設定された任意の距離分の位置合わせ移動範囲Aを設定することができる。
まず、比R1と比R2とが所定の範囲内であるか否かを判断する。次いで、比R2と比R3とが所定の範囲内であるか否かを判断する。次いで、比R3と比R4とが所定の範囲内であるか否かを判断する。次いで、比R4と比R5とが所定の範囲内であるか否かを判断する。次いで、比R5と比R6とが所定の範囲内であるか否かを判断する。次いで、比R6と比R7とが所定の範囲内であるか否かを判断する。次いで、比R7と比R8とが所定の範囲内であるか否かを判断する。次いで、比R8と比R9とが所定の範囲内であるか否かを判断する。
なお、「所定の範囲」とは、特に限定されないが、0.8以上、1.2以下であるのが好ましく、0.9以上、1.1以下であるのがより好ましく、0.95以上、1.05以下であるのが特に好ましい。図4には、傾きが1の直線に対して、±0.1の範囲(許容範囲Rp)を破線で示している。
図4に示すように、比R1(L1/C1)と比R2(L2/C2)とが許容範囲Rp内に納まっている。この場合、位置P1から位置P2、そして、位置P2から位置P3には、保持部98が正確に移動した、すなわち、連続して安定して移動したとみなし、位置P1から位置P3までの範囲を位置合わせ移動範囲Aに設定する。
このように、本発明では、撮像部26は、位置P1(第1の位置)に位置する保持部98(把持部)の画像D1(第1の画像)と、位置P1(第1の位置)から指示値C1(第1の指示値)に基づいて移動した位置P2(第2の位置)に位置する保持部98(把持部)の画像D2(第2の画像)と、位置P2(第2の位置)から指示値C2(第2の指示値)に基づいて移動した位置P3(第3の位置)に位置する保持部98(把持部)の画像D3(第3の画像)と、を撮像可能である。そして、指示値C1(第1の指示値)と、画像D1(第1の画像)に含まれる保持部98(把持部)の像に対する画像D2(第2の画像)に含まれる保持部98(把持部)の像の第1のズレ量(実移動距離L1)と、の比を比R1(第1の比)とし、指示値C2(第2の指示値)と、画像D2(第2の画像)に含まれる保持部98(把持部)の像に対する画像D3(第3の画像)に含まれる保持部98(把持部)の像の第2のズレ量(実移動距離L2)との比を比R2(第2の比)としたとき、制御部800は、位置合わせ移動範囲Aの設定を行う際、比R1(第1の比)および前記比R2(第2の比)の双方が所定の範囲内である場合には、位置合わせ移動範囲Aに、位置P1(第1の位置)、位置P2(第2の位置)および位置P3(第3の位置)を含める。
このような本発明によれば、設定した位置合わせ移動範囲A内で保持部98を移動させることにより、保持部98が指示値に対して正確に移動することができる。よって、位置合わせを正確に行うことができ、ICデバイス90を検査部16に載置する際、その載置を正確に行なうことができる。その結果、検査を正確に行うことができる。
なお、ICデバイス90を検査部16に載置する際には、例えば、保持部98がICデバイス90を把持した状態で、撮像部26によってICデバイス90の撮像を行うとともに、図示しない撮像部によって検査部16のプローブピンを撮像する。そして、この2つの画像に基づいて、保持部98の位置合わせを行うことができる。
また、位置合わせを行う際の保持部98(把持部)の可動範囲を最大可動範囲Amaxとしたとき、設定を行う際、制御部800は、最大可動範囲Amaxの全域にわたって保持部98(把持部)を移動させる。これにより、最大可動範囲Amaxの中から位置合わせ移動範囲Aを設定することができる。すなわち、より広い範囲の中から最大可動範囲Amaxを検出することができ、より正確に保持部98が移動する位置合わせ移動範囲Aを設定することができる。
また、制御部800は、画像D1(第1の画像)における保持部98(把持部)の像において、特徴点を抽出し、特徴点に基づいて、位置合わせ移動範囲Aの設定を行う。本実施形態では、特徴点は、保持部98(把持部)の角部984である。このような構成によれば、保持部98にマーカーを設けたり、保持部98にマーカー部材を設けたりするのを省略することができる。よって、保持部98の構成を簡素にすることができる。
また、保持部98(把持部)は、鉛直方向とは異なり、互いに交わるX方向(第1の方向)およびY方向(第2の方向)に沿って移動可能に構成され、かつ、鉛直軸回りの第3の方向に回動可能であり、制御部800は、X方向(第1の方向)、Y方向(第2の方向)および回動方向において、それぞれ位置合わせ移動範囲Aの設定を行う。すなわち、前記で説明したX方向の位置合わせ移動範囲Aの設定に加え、図9に示すように、Y軸方向に保持部98を移動させつつY方向の位置合わせ移動範囲Aを設定する。そして、図10に示すように、Z軸回りに移動(回転)させつつZ軸回りの位置合わせ移動範囲Aを設定する。これにより、第1の方向、第2の方向および第3の方向において、指示値に対して正確に移動する位置合わせ移動範囲Aを設定することができる。
<第2実施形態>
以下、図10を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
以下、図10を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、制御部の制御動作が異なること以外は前記第1実施形態と略同様である。
本実施形態では、第1実施形態と同様に、ステップS101〜ステップS103を行う。そして、ステップS104において、位置合わせ移動範囲A、すなわち、位置合わせを行う際、実際に使用する(稼動させる)範囲を設定する。
図12に示すように、本実施形態では、比R1(L1/C1)と比R2(L2/C2)とが許容範囲Rp内に納まっており、かつ、比R3(L3/L3)と比R4(L4/C4)とが許容範囲Rpに納まっている。
この場合、比R1(L1/C1)と比R2(L2/C2)との差と、比R3(L3/L3)と比R4(L4/C4)との差とが小さい方を位置合わせ移動範囲Aに設定する。本実施形態では、比R1(L1/C1)と比R2(L2/C2)との差の方が、比R3(L3/L3)と比R4(L4/C4)との差よりも小さいため、位置合わせ移動範囲Aに、位置P1(第1位置)、位置P2(第2位置)および位置P3(第3位置)を含める。
このように設定することにより、位置合わせを行う際、保持部98が指示値に対してさらに正確に移動することができる。よって、位置合わせをさらに正確に行うことができ、ICデバイス90を検査部16に載置する際、その載置をさらに正確に行なうことができる。その結果、検査をさらに正確に行うことができる。
このように本実施形態では、撮像部26は、画像D1、画像D2および画像D3に加え、位置P3(第3の位置)から指示値C3(第3の指示値)に基づいて移動した位置P4(第4の位置)に位置する保持部98(把持部)を撮像して画像D4(第4の画像)とし、位置P4(第4の位置)から指示値C4(第4の指示値)に基づいて移動した位置P5(第5の位置)に位置する保持部98(把持部)を撮像して画像D5(第5の画像)とする。
そして、指示値C3(第3の指示値)と、画像D3(第3の画像)に含まれる保持部98(把持部)の像に対する画像D4(第4の画像)に含まれる保持部98(把持部)の像がズレた量である第3のズレ量(実移動距離L4)との比を比R3(第3の比)とし、指示値C4(第4の指示値)と、画像D4(第4の画像)に含まれる保持部98(把持部)の像に対する画像D5(第5の画像)に含まれる保持部98(把持部)の像がズレた量である第4のズレ量(実移動距離L4)との比を比R4(第4の比)としたとき、制御部800は、比R1(第1の比)、比R2(第2の比)、比R3(第3の比)および比R4(第4の比)が所定の範囲内である場合には、比R1(第1の比)および比R2(第2の比)の第1の差と、比R3(第3の比)および比R4(第4の比)の第2の差とを比較し、第1の差の方が第2の差よりも小さい場合には、位置合わせ移動範囲Aに、位置P1(第1の位置)、位置P2(第2の位置)および位置P3(第3の位置)を含める。なお、第2の差の方が第1の差よりも小さい場合には、位置合わせ移動範囲Aに、位置P3(第3の位置)、位置P4(第4の位置)および位置P5(第6の位置)を含める。
これにより、位置合わせをさらに正確に行うことができ、ICデバイス90を検査部16に載置する際、その載置をさらに正確に行なうことができる。その結果、検査をさらに正確に行うことができる。
なお、比R1(L1/C1)と比R2(L2/C2)とが許容範囲Rp内に納まっており、かつ、例えば、比R5(L5/L5)と比R6(L6/C6)とが許容範囲Rpに納まっている場合、すなわち、比が許容範囲Rp内に納まっている領域が互いに離れている場合であっても、前記のように比の差が小さい領域を位置合わせ移動範囲Aに設定することができる。
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
また、前記各実施形態では、把持部の撮像を行う際、各指示値が同じ値、すなわち、把持部を等間隔で移動させつつ撮像を行う場合について説明したが、本発明では、これに限定されず、各指示値が異なる値、すなわち、把持部を異なる間隔で移動させつつ撮像してもよい。
また、前記各実施形態では、把持部の撮像を行う際の把持部の移動回数は、9回(位置P1〜位置P10)の場合について説明したが、本発明ではこれに限定されず、少なくとも2回移動して3つの画像を撮像すればよい。また、把持部を移動させる際、アクチュエーターの最小分解能分ずつ、最大可動範囲の全域を移動させるのが好ましい。
また、前記各実施形態では、把持部を間欠的に移動させながら停止しているときに撮像を行ったが、本発明ではこれに限定されず、例えば、把持部を連続的に移動させ、定期的に撮像を行ってもよい。
なお、前記各実施形態では、把持部の実移動距離L1〜L9を検出し、その後、比R1〜R9を算出する場合について説明したが、本発明ではこれに限定されず、実移動距離L1を検出して比R1を算出し、その後、実移動距離L2を検出して比R2を算出し、実移動距離L3を検出して比R3を算出し、実移動距離L4を検出して比R4を算出し、実移動距離L5を検出して比R5を算出し、実移動距離L6を検出して比R6を算出し、実移動距離L7を検出して比R7を算出し、実移動距離L8を検出して比R8を算出し、実移動距離L9を検出して比R9を算出してもよい。
また、前記各実施形態では、抽出する特徴点として、把持部の角部を抽出する場合について説明したが、本発明ではこれに限定されず、例えば、把持部に設けたマーカーや、マーカー部材であってもよく、吸引孔の中心点等であってもよい。
1…電子部品検査装置、9…ハンドユニット、10…電子部品搬送装置、11A…トレイ搬送機構、11B…トレイ搬送機構、12…温度調整部、13…デバイス搬送ヘッド、14…デバイス供給部、14A…デバイス供給部、14B…デバイス供給部、15…トレイ搬送機構、16…検査部、17…デバイス搬送ヘッド、17A…デバイス搬送ヘッド、
17B…デバイス搬送ヘッド、18…デバイス回収部、18A…デバイス回収部、18B…デバイス回収部、19…回収用トレイ、20…デバイス搬送ヘッド、21…トレイ搬送機構、22A…トレイ搬送機構、22B…トレイ搬送機構、231…第1隔壁、232…第2隔壁、233…第3隔壁、234…第4隔壁、235…第5隔壁、241…フロントカバー、242…サイドカバー、243…サイドカバー、244…リアカバー、245…トップカバー、25…搬送部、26…撮像部、911…第1圧電アクチュエーター、911a…凸部、912…第2圧電アクチュエーター、913…第3圧電アクチュエーター、913a…凸部、92…位置調整機構、93…姿勢調整機構、94…基部、941…板状部、942…係合部、943…係合部、947…当接部、947a…下面、948…機構、95…第1移動部、951…基部、952…レール、953…レール、954…第1固定部、956…係合部、96…第2移動部、961…基部、961a…面、963…レール、97…回動部、971…支持部、98…保持部、981…吸着面、982…吸着孔、983…減圧ポンプ、984…角部、99…シャフト、90…ICデバイス、200…トレイ、300…モニター、301…表示画面、400…シグナルランプ、500…スピーカー、600…マウス台、700…操作パネル、800…制御部、A1…トレイ供給領域、A2…デバイス供給領域、A3…検査領域、A4…デバイス回収領域、A5…トレイ除去領域、Amax…最大可動範囲、Ax…最大可動範囲、C1…指示値、C2…指示値、C3…指示値、C4…指示値、C5…指示値、C6…指示値、C7…指示値、C8…指示値、C9…指示値、D1…画像、D2…画像、D3…画像、D4…画像、D5…画像、D6…画像、D7…画像、D8…画像、D9…画像、D10…画像、L1…実移動距離、L2…実移動距離、L3…実移動距離、L4…実移動距離、L5…実移動距離、L6…実移動距離、L7…実移動距離、L8…実移動距離、L9…実移動距離、P1…位置、P2…位置、P3…位置、P4…位置、P5…位置、P6…位置、P7…位置、P8…位置、P9…位置、P10…位置、R1…比、R2…比、R3…比、R4…比、R5…比、R6…比、R7…比、R8…比、R9…比、Rp…許容範囲、S101…ステップ、S102…ステップ、S103…ステップ、S104…ステップ、Xmax…座標、Xmin…座標、α11A…矢印、α11B…矢印、α13X…矢印、α13Y…矢印、α14…矢印、α15…矢印、α17Y…矢印、α18…矢印、α20X…矢印、α20Y…矢印、α21…矢印、α22A…矢印、α22B…矢印、α90…矢印
17B…デバイス搬送ヘッド、18…デバイス回収部、18A…デバイス回収部、18B…デバイス回収部、19…回収用トレイ、20…デバイス搬送ヘッド、21…トレイ搬送機構、22A…トレイ搬送機構、22B…トレイ搬送機構、231…第1隔壁、232…第2隔壁、233…第3隔壁、234…第4隔壁、235…第5隔壁、241…フロントカバー、242…サイドカバー、243…サイドカバー、244…リアカバー、245…トップカバー、25…搬送部、26…撮像部、911…第1圧電アクチュエーター、911a…凸部、912…第2圧電アクチュエーター、913…第3圧電アクチュエーター、913a…凸部、92…位置調整機構、93…姿勢調整機構、94…基部、941…板状部、942…係合部、943…係合部、947…当接部、947a…下面、948…機構、95…第1移動部、951…基部、952…レール、953…レール、954…第1固定部、956…係合部、96…第2移動部、961…基部、961a…面、963…レール、97…回動部、971…支持部、98…保持部、981…吸着面、982…吸着孔、983…減圧ポンプ、984…角部、99…シャフト、90…ICデバイス、200…トレイ、300…モニター、301…表示画面、400…シグナルランプ、500…スピーカー、600…マウス台、700…操作パネル、800…制御部、A1…トレイ供給領域、A2…デバイス供給領域、A3…検査領域、A4…デバイス回収領域、A5…トレイ除去領域、Amax…最大可動範囲、Ax…最大可動範囲、C1…指示値、C2…指示値、C3…指示値、C4…指示値、C5…指示値、C6…指示値、C7…指示値、C8…指示値、C9…指示値、D1…画像、D2…画像、D3…画像、D4…画像、D5…画像、D6…画像、D7…画像、D8…画像、D9…画像、D10…画像、L1…実移動距離、L2…実移動距離、L3…実移動距離、L4…実移動距離、L5…実移動距離、L6…実移動距離、L7…実移動距離、L8…実移動距離、L9…実移動距離、P1…位置、P2…位置、P3…位置、P4…位置、P5…位置、P6…位置、P7…位置、P8…位置、P9…位置、P10…位置、R1…比、R2…比、R3…比、R4…比、R5…比、R6…比、R7…比、R8…比、R9…比、Rp…許容範囲、S101…ステップ、S102…ステップ、S103…ステップ、S104…ステップ、Xmax…座標、Xmin…座標、α11A…矢印、α11B…矢印、α13X…矢印、α13Y…矢印、α14…矢印、α15…矢印、α17Y…矢印、α18…矢印、α20X…矢印、α20Y…矢印、α21…矢印、α22A…矢印、α22B…矢印、α90…矢印
Claims (9)
- 電子部品端子を有する電子部品と接触する検査部端子を有する電子部品載置部を配置可能であり、
前記電子部品を把持して搬送可能な把持部と、
前記把持部を撮像する撮像部と、
前記把持部および前記撮像部の作動を制御し、かつ、前記電子部品端子と前記検査部端子との位置合わせを行う際の前記把持部の移動範囲である位置合わせ移動範囲の設定を行う制御部と、を備え、
前記撮像部は、第1の位置に位置する前記把持部を撮像して第1の画像とし、前記第1の位置から第1の指示値に基づいて移動した第2の位置に位置する前記把持部を撮像して第2の画像とし、前記第2の位置から第2の指示値に基づいて移動した第3の位置に位置する前記把持部を撮像して第3の画像とし、
前記第1の指示値と、前記第1の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第2の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第1のズレ量と、の比を第1の比とし、
前記第2の指示値と、前記第2の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第3の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第2のズレ量と、の比を第2の比としたとき、
前記制御部は、前記第1の比および前記第2の比の双方が所定の範囲内である場合には、前記位置合わせ移動範囲に、前記第1の位置、前記第2の位置および前記第3の位置を含めることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 前記撮像部は、前記第3の位置から第3の指示値に基づいて移動した第4の位置に位置する前記把持部を撮像して第4の画像とし、前記第4の位置から第4の指示値に基づいて移動した第5の位置に位置する前記把持部を撮像して第5の画像とし、
前記第3の指示値と、前記第3の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第4の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第3のズレ量と、の比を第3の比とし、
前記第4の指示値と、前記第4の画像に含まれる前記把持部の像に対する第5の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第4のズレ量と、の比を第4の比としたとき、
前記制御部は、前記第1の比、前記第2の比、前記第3の比および前記第4の比が所定の範囲内である場合には、
前記第1の比および前記第2の比の第1の差と、前記第3の比および前記第4の比の第2の差とを比較し、前記第1の差の方が前記第2の差よりも小さい場合には、前記位置合わせ移動範囲に、前記第1の位置、前記第2の位置および前記第3の位置を含め、前記第2の差の方が前記第1の差よりも小さい場合には、前記位置合わせ移動範囲に、前記第3の位置、前記第4の位置および前記第5の位置を含める請求項1に記載の電子部品搬送装置。 - 前記制御部は、予め定められた位置合わせ移動範囲の長さに基づいて前記設定を行う請求項1に記載の電子部品搬送装置。
- 前記位置合わせを行う際の前記把持部の可動範囲を最大可動範囲とした場合、前記制御部は、前記最大可動範囲の全域にわたって前記把持部を移動させる請求項1に記載の電子部品搬送装置。
- 前記制御部は、前記第1の画像における前記把持部の像において、特徴点を抽出し、前記特徴点に基づいて、前記設定を行う請求項1に記載の電子部品搬送装置。
- 前記特徴点は、前記把持部の角部である請求項5に記載の電子部品搬送装置。
- 前記把持部は、互いに直交する第1の方向および第2の方向に沿って移動可能で、前記第1の方向および前記第2の方向に直交する軸回りに回動可能であり、
前記制御部は、前記第1の方向、前記第2の方向および前記把持部の回動方向において、それぞれ前記設定を行う請求項1に記載の電子部品搬送装置。 - 前記把持部を前記第1の方向に移動させる第1のアクチュエーターと、前記把持部を前記第2の方向に移動させる第2のアクチュエーターと、前記把持部を前記回動方向に回動させる第3のアクチュエーターと、をさらに有する請求項7に記載の電子部品搬送装置。
- 電子部品端子を有する電子部品と接触する検査部端子を有する電子部品載置部を配置可能であり、
前記電子部品を把持して搬送可能な把持部と、
前記把持部を撮像する撮像部と、
前記把持部および前記撮像部の作動を制御し、かつ、前記電子部品端子と前記検査部端子との位置合わせを行う際の前記把持部の移動範囲である位置合わせ移動範囲を設定する制御部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備え、
前記撮像部は、第1の位置に位置する前記把持部を撮像して第1の画像とし、前記第1の位置から第1の指示値に基づいて移動した第2の位置に位置する前記把持部を撮像して第2の画像とし、前記第2の位置から第2の指示値に基づいて移動した第3の位置に位置する前記把持部を撮像して第3の画像とし、
前記第1の指示値と、前記第1の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第2の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第1のズレ量と、の比を第1の比とし、
前記第2の指示値と、前記第2の画像に含まれる前記把持部の像に対する前記第3の画像に含まれる前記把持部の像がズレた量である第2のズレ量と、の比を第2の比としたとき、
前記制御部は、前記第1の比および前記第2の比の双方が所定の範囲内である場合には、前記位置合わせ移動範囲に、前記第1の位置、前記第2の位置および前記第3の位置を含めることを特徴とする電子部品検査装置。
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