CN113376501A - 电子部件输送装置及其状态确认方法、电子部件检查装置 - Google Patents

电子部件输送装置及其状态确认方法、电子部件检查装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了能够正确地检测移动部的坐标的电子部件输送装置及其状态确认方法、电子部件检查装置。电子部件输送装置(2)具备:容器载置构件(49),载置搭载有IC器件(13)的托盘(24);支承构件(52),是支承容器载置构件(49)的加强构件的一部分,并沿着第一轴(50)延伸;第一输送机器人(57),具有保持IC器件(13)并沿着第二导轨(57c)移动的第一器件输送头(31);以及第一传感器(59),配置于第一器件输送头(31),在支承构件(52)上设置有第一标记(53)和第二标记(54),通过第一传感器(59)检测第一标记(53)和第二标记(54)的位置。

Description

电子部件输送装置及其状态确认方法、电子部件检查装置
技术领域
本发明涉及电子部件输送装置及其状态确认方法、电子部件检查装置。
背景技术
具有在IC(Integrated Circuit:集成电路)、半导体器件等电子部件的电气特性检查中根据合格品、不合格品的检查结果将电子部件分类并收纳的电子部件输送装置。
例如,在专利文献1中公开了水平输送式自动处理装置的移动部的手的位置调整方法。根据该文献,在托盘或托架上载置设有孔的IC仿制件,用手的前端搜寻孔并通过将孔的坐标作为正确的坐标来校正手的位置。另外,托盘、IC仿制件都被设置成可拆卸。
专利文献1:日本特开平10-156639号公报
发明内容
然而,在专利文献1中,IC仿制件以及放置有IC仿制件的托盘、托架都是可装卸的结构,因此在将它们进行了拆卸或安装在错误的位置的情况下,难以以它们为基准正确地将输送机器人的XY轴进行对位。
电子部件输送装置具备:容器载置构件,载置搭载有电子部件的容器;支承构件,支承所述容器载置构件,并沿第一轴延伸;输送机器人,具有保持所述电子部件并移动的移动部;以及传感器,配置于所述移动部,在所述支承构件上设置有标记,所述传感器检测所述标记的位置。
电子部件检查装置具备检查所述电子部件的检查部以及上述的电子部件输送装置。
电子部件输送装置的状态确认方法是输送电子部件的电子部件输送装置的状态确认方法,输送机器人的传感器检测支承构件的第一标记的位置,并将所述第一标记的位置作为第一测量坐标输出给控制部,所述控制部将预先存储的第一基准坐标与所述第一测量坐标进行比较,所述输送机器人的所述传感器检测所述支承构件的第二标记的位置,并将所述第二标记的位置作为第二测量坐标输出给所述控制部,所述控制部将所述第一测量坐标与所述第二测量坐标的单轴分量进行比较,在所述第一测量坐标与所述第一基准坐标之差为规定值以上的情况下,或者在所述第一测量坐标与所述第二测量坐标的单轴分量之差为规定值以上的情况下,输出为所述输送机器人的移动部处于偏移的状态。
附图说明
图1是从正面侧观察第一实施方式所涉及的电子部件检查装置的简要立体图。
图2是示出电子部件检查装置的动作状态的简要俯视图。
图3是示出机器人的配置的示意性俯视图。
图4是示出加强构件的示意性侧视图。
图5是示出器件输送头的侧视图。
图6是用于说明标记的检测方法的示意图。
图7是用于说明标记的检测方法的示意图。
图8是用于说明标记的检测方法的图。
图9是用于说明检测标记的坐标的方法的示意图。
图10是用于说明检测标记的坐标的方法的示意图。
图11是示出控制装置的结构的电气框图。
图12是坐标偏移的检测方法的流程图。
图13是示出第二实施方式所涉及的器件输送头的侧视图。
图14是用于说明第五实施方式所涉及的支承构件中心线的检测方法的示意图。
图15是用于说明支承构件中心线的检测方法的示意图。
附图标记说明
1…电子部件检查装置;2…电子部件输送装置;4…控制部;13…作为电子部件的IC器件;18…作为输送机器人的输送部;19…检查部;24…作为容器的托盘;31、88…作为移动部的第一器件输送头;49…容器载置构件;50…第一轴;51…第二轴;52…支承构件;53…作为标记的第一标记;54…作为标记的第二标记;57…作为输送机器人的第一输送机器人;57a…作为引导件和第二轴引导件的第一导轨;57c…作为引导件和第一轴引导件的第二导轨;58…作为标记的第三标记;59…作为传感器和光学传感器的第一传感器;61…作为基准点的第一传感器原点;64…作为传感器和光学传感器的第二传感器;66…对置面;67…斜面;71…边缘;73…判定值;89…作为传感器和光学传感器的照相机;91…作为标记的第七标记。
具体实施方式
第一实施方式
如图1所示,将彼此正交的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴。另外,包括X轴和Y轴的XY平面为水平方向,Z轴为铅直方向。另外,将与X轴平行的方向作为X方向。将与Y轴平行的方向作为Y方向。将与Z轴平行的方向作为Z方向。将各方向的箭头所朝向的方向作为“正”,将其相反方向作为“负”。
所谓“水平”不限于完全水平,也包括相对于水平稍微倾斜的状态,只要不阻碍电子部件的输送即可。所谓“铅直”不限于完全铅直,也包括相对于铅直稍微倾斜的状态,只要不阻碍电子部件的输送即可。稍微倾斜状态的倾斜角度小于5°。
有时将图1中的上侧、即Z方向正侧称为“上”或“上方”,将下侧、即Z方向负侧称为“下”或“下方”。
具有电子部件输送装置2的电子部件检查装置1是对例如作为BGA(Ball GridArray:球栅阵列)封装的IC(Integrated Circuit:集成电路)器件等电子部件的电气特性进行检查/测试的装置。电气特性的检查是电特性检查。如图1所示,电子部件检查装置1在内部具备电子部件输送装置2。电子部件输送装置2是输送电子部件的装置。
电子部件输送装置2被盖3覆盖。在电子部件检查装置1中,在Y方向负侧且X方向负侧具备控制部4。控制部4控制电子部件检查装置1的动作。在控制部4的附近配置有扬声器5。在电子部件检查装置1中,在Y方向负侧且X方向正侧配置有监视器6、操作面板7以及鼠标台8。在监视器6的显示画面6a上显示各种信息。监视器6具有例如由液晶画面构成的显示画面6a,并且配置在电子部件检查装置1的正面侧上部。在托盘去除区域12的图1中右侧设置有载置鼠标的鼠标台8。操作者操作鼠标台8上的鼠标和操作面板7,设定电子部件检查装置1的动作条件等并输入指示内容。操作面板7是指示电子部件检查装置1进行期望的动作的界面。
在电子部件检查装置1中,在Y方向负侧且X方向负侧具备信号灯9。信号灯9和扬声器5通知电子部件检查装置1的动作状态等。信号灯9通过发光颜色的组合来通知电子部件检查装置1的动作状态等。信号灯9配置在电子部件检查装置1的上部。
在电子部件检查装置1中,在Y方向负侧设置有托盘供给区域11和托盘去除区域12。操作者将排列有电子部件的托盘供给到托盘供给区域11。电子部件检查装置1从托盘供给区域11取入托盘,进行电特性检查。电子部件检查装置1将排列有电特性检查结束后的电子部件的托盘排出到托盘去除区域12。
如图2所示,为了便于说明,以使用作为电子部件的IC器件13的情况为代表进行说明。IC器件13呈平板状。在IC器件13的下表面配置有多个半球形端子。
作为IC器件13,例如可举出LSI(Large Scale Integration:大规模集成)、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor:互补金属氧化物半导体)、CCD(ChargeCoupled Device:电荷耦合器件)、将多个模块封装而得到的模块IC、晶体器件、压力传感器、惯性传感器、加速度传感器、陀螺仪传感器、指纹传感器等。
电子部件输送装置2具备托盘供给区域11、器件供给区域14、检查区域15、器件回收区域16以及托盘去除区域12。这些各区域由壁隔开。IC器件13从托盘供给区域11到托盘去除区域12沿第一箭头17方向依次经由上述各区域,在中途的检查区域15中进行检查。电子部件检查装置1具备:电子部件输送装置2,具有以使IC器件13经由各区域的方式输送IC器件13的作为输送机器人的输送部18;检查部19,在检查区域15内进行检查;以及控制部4,由工业用计算机构成。
在电子部件检查装置1中,配置有托盘供给区域11和托盘去除区域12的一侧为正面侧,配置有检查区域15的一侧被用作背面侧。
电子部件检查装置1是预先搭载有按照IC器件13的类型进行更换的被称为“更换套件”的部件而被使用的。更换套件中例如有温度调整部21、器件供给部22以及器件回收部23。除了更换套件之外,作为按照IC器件13的类型进行更换的部件,例如有作为容器的托盘24、回收用托盘25以及检查部19。托盘24是搭载有IC器件13的容器。
托盘供给区域11是供给排列有未检查状态的多个IC器件13的托盘24的供材部。在托盘供给区域11中,层叠搭载有多个托盘24。在各托盘24上以矩阵状配置有多个凹部。将IC器件13逐个收纳在各凹部中。
在器件供给区域14中,从托盘供给区域11输送的托盘24上的多个IC器件13分别被输送至器件供给部22。通过器件供给部22从器件供给区域14向检查区域15输送IC器件13。以跨越托盘供给区域11与器件供给区域14的方式设置有沿水平方向逐个输送托盘24的第一托盘输送机构26、第二托盘输送机构27。第一托盘输送机构26是输送部18的一部分。第一托盘输送机构26使搭载了IC器件13的托盘24向Y方向正侧即图2中的第二箭头28方向移动。由此,将IC器件13送入器件供给区域14。另外,第二托盘输送机构27使空的托盘24向Y方向负侧即图2中的第三箭头29方向移动。第二托盘输送机构27使空的托盘24从器件供给区域14移动到托盘供给区域11。
在器件供给区域14设置有温度调整部21、作为移动部的第一器件输送头31、托盘输送机构32以及器件供给部22。温度调整部21也被称为均温板(英语表述:soak plate,中文表述:均温板)。器件供给部22以跨越器件供给区域14与检查区域15的方式移动。
在温度调整部21上载置有多个IC器件13。温度调整部21能够一并加热或冷却载置的IC器件13。温度调整部21预先加热或冷却IC器件13,将其调整为适于电特性检查的温度。
在本实施方式中,例如,在Y方向上配置有两个温度调整部21。而且,通过第一托盘输送机构26从托盘供给区域11搬入的托盘24上的IC器件13被输送至任意一个温度调整部21。
第一器件输送头31具备保持IC器件13的机构。第一器件输送头31在器件供给区域14内将IC器件13向X方向、Y方向以及Z方向移动。第一器件输送头31是输送部18的一部分。第一器件输送头31在从托盘供给区域11搬入的托盘24与温度调整部21之间输送IC器件13。第一器件输送头31在温度调整部21与器件供给部22之间输送IC器件13。此外,在图2中,用第四箭头33表示第一器件输送头31在X方向上的移动,用第五箭头34表示第一器件输送头31在Y方向上的移动。
在器件供给部22载置有通过温度调整部21进行调整温度后的IC器件13。器件供给部22将IC器件13输送至检查部19附近。器件供给部22被称为“供给用梭板”或“供给梭”。器件供给部22也是输送部18的一部分。器件供给部22具有收纳并载置IC器件13的凹部。
器件供给部22在器件供给区域14与检查区域15之间在X方向即第六箭头35方向上进行往返移动。由此,器件供给部22将IC器件13从器件供给区域14输送至检查区域15的检查部19附近。在检查区域15中通过第二器件输送头36移除IC器件13之后,器件供给部22再次返回到器件供给区域14。
在Y方向上配置有两个器件供给部22。将Y方向正侧的器件供给部22作为第一器件供给部22a。将Y方向负侧的器件供给部22作为第二器件供给部22b。而且,温度调整部21上的IC器件13通过第一器件输送头31在器件供给区域14内被输送至第一器件供给部22a或第二器件供给部22b。器件供给部22能够加热或冷却载置于器件供给部22的IC器件13。通过温度调整部21调整温度后的IC器件13维持着温度调整状态而被输送至检查区域15的检查部19附近。另外,器件供给部22和温度调整部21被电接地到机架。
托盘输送机构32是将去除了所有IC器件13的状态的空托盘24在器件供给区域14内向X方向正侧即第七箭头32a方向输送的机构。在向第七箭头32a方向输送之后,空的托盘24通过第二托盘输送机构27从器件供给区域14返回到托盘供给区域11。
检查区域15是检查IC器件13的区域。在检查区域15中设置有检查IC器件13的检查部19以及第二器件输送头36。
第二器件输送头36是输送部18的一部分,能够加热或冷却所保持的IC器件13。在检查区域15内维持温度调整状态的状态下,第二器件输送头36输送IC器件13。
第二器件输送头36被支承为在检查区域15内能够在Y方向和Z方向上进行往返移动,并且是被称为“分度臂”的机构的一部分。第二器件输送头36拾起IC器件13并将其从器件供给部22输送并载置到检查部19上。
在图2中,用第八箭头36c表示第二器件输送头36在Y方向上的往返移动。第二器件输送头36在检查区域15内负责将IC器件13从第一器件供给部22a向检查部19输送以及将IC器件13从第二器件供给部22b向检查部19输送。另外,第二器件输送头36被支承为能够在Y方向上进行往返移动。
在Y方向上配置有两个第二器件输送头36。将Y方向正侧的第二器件输送头36作为第三器件输送头36a。将Y方向负侧的第二器件输送头36作为第四器件输送头36b。第三器件输送头36a负责将IC器件13从第一器件供给部22a向检查部19输送。第四器件输送头36b负责将IC器件13从第二器件供给部22b向检查部19输送。第三器件输送头36a负责将IC器件13从检查部19向第一器件回收部23a输送。第四器件输送头36b负责将IC器件13从检查部19向第二器件回收部23b输送。
在检查部19上载置有IC器件13,检查部19检查IC器件13的电气特性。在检查部19设置有与IC器件13的端子电连接的多个探针。而且,IC器件13的端子与探针电连接。而且,检查部19进行IC器件13的检查。基于与检查部19电连接的测试器所具备的检查控制部中存储的程序来进行IC器件13的检查。在检查部19中也加热或冷却IC器件13以将IC器件13调整到适于检查的温度。
器件回收区域16是回收检查结束后的多个IC器件13的区域。在器件回收区域16中设置有回收用托盘25、第五器件输送头37以及第三托盘输送机构38。还设置有以跨越检查区域15与器件回收区域16的方式移动的器件回收部23。在器件回收区域16中也准备有空的托盘24。
在器件回收部23中载置有检查结束后的IC器件13。器件回收部23将IC器件13输送到器件回收区域16。器件回收部23也被称为“回收用梭板”或简称为“回收梭”。器件回收部23也是输送部18的一部分。
器件回收部23被支承为能够在检查区域15与器件回收区域16之间沿着X方向即第九箭头23c方向进行往返移动。在Y方向上配置有两个器件回收部23。Y方向正侧的器件回收部23是第一器件回收部23a。Y方向负侧的器件回收部23是第二器件回收部23b。检查部19上的IC器件13被输送并载置到第一器件回收部23a或第二器件回收部23b。第二器件输送头36负责将IC器件13从检查部19向第一器件回收部23a输送以及将IC器件13从检查部19向第二器件回收部23b输送。另外,器件回收部23被电接地到机架。
在回收用托盘25中载置有通过检查部19检查后的IC器件13。IC器件13被固定于回收用托盘25,以便不在器件回收区域16内移动。即使在配置有较多的第五器件输送头37等各种可动部的器件回收区域16中,检查完成的IC器件13也会稳定地载置于回收用托盘25上。沿着X方向配置有三个回收用托盘25。
沿着X方向还配置有四个空的托盘24。在空的托盘24中载置有检查后的IC器件13。器件回收部23上的IC器件13被输送并载置到回收用托盘25和空的托盘24中的任意一方。根据检查结果对IC器件13进行分类和回收。
第五器件输送头37被支承为能够在器件回收区域16内向X方向和Y方向移动。第五器件输送头37具有也能够在Z向方向上移动的部分。第五器件输送头37是输送部18的一部分。第五器件输送头37将IC器件13从器件回收部23输送到回收用托盘25或空的托盘24。在图2中,用第十箭头37a表示第五器件输送头37在X方向上的移动,用第十一箭头37b表示第五器件输送头37在Y方向上的移动。
第三托盘输送机构38是将从托盘去除区域12搬入的空的托盘24在器件回收区域16内向X方向即第十二箭头38a方向输送的机构。在输送之后,空的托盘24配置于回收IC器件13的位置。
在托盘去除区域12中,将排列有检查完成状态的多个IC器件13的托盘24回收并去除。在托盘去除区域12中层叠有多个托盘24。
设置有以跨越器件回收区域16与托盘去除区域12的方式向Y方向逐个输送托盘24的第四托盘输送机构39和第五托盘输送机构41。第四托盘输送机构39是输送部18的一部分,并且使托盘24在Y方向即第十三箭头39a方向上进行往返移动。第四托盘输送机构39将检查完成的IC器件13从器件回收区域16输送到托盘去除区域12。第五托盘输送机构41使用于回收IC器件13的空的托盘24向Y方向正侧即第十四箭头41a方向移动。第五托盘输送机构41将空的托盘24从托盘去除区域12移动到器件回收区域16。
控制部4控制第一托盘输送机构26、第二托盘输送机构27、温度调整部21、第一器件输送头31、器件供给部22、托盘输送机构32、检查部19、第二器件输送头36、器件回收部23、第五器件输送头37、第三托盘输送机构38、第四托盘输送机构39以及第五托盘输送机构41各部的动作。控制部4具有CPU42(Central Processing Unit:中央处理单元)和存储器43。CPU42读取存储在存储器43中的判断用程序、指示/命令用程序等各种信息,并执行判断、命令。
控制部4既可以内置在电子部件检查装置1或电子部件输送装置2中,也可以设置在外部的计算机等外部设备中。关于外部设备,例如有经由电缆等与电子部件检查装置1通信的情况、无线通信的情况、经由网络与电子部件检查装置1连接的情况等。
电子部件检查装置1中,托盘供给区域11与器件供给区域14之间由第一分隔壁44隔开。器件供给区域14与检查区域15之间由第二分隔壁45隔开。检查区域15与器件回收区域16之间由第三分隔壁46隔开。器件回收区域16与托盘去除区域12之间由第四分隔壁47隔开。器件供给区域14与器件回收区域16之间也由第五分隔壁48隔开。
如图3所示,电子部件检查装置1具备载置托盘24的容器载置构件49。将与X轴平行的轴作为第一轴50。将与第一轴50正交的轴作为第二轴51。第二轴51是与Y轴平行的轴。在容器载置构件49配置有沿着第一轴50延伸的支承构件52。支承构件52是支承容器载置构件49的加强构件的一部分。支承构件52大致位于容器载置构件49的中央。支承构件52与容器载置构件49牢固地固定。支承构件52是悬挂容器载置构件49的骨架构件。
支承构件52具备作为标记的第一标记53、作为标记的第二标记54、第四标记55以及第五标记56。各标记配置在支承构件52的Y方向上的中心线上。各标记沿着第一轴50配置。
在容器载置构件49的X方向负侧配置有具有第一器件输送头31的作为输送机器人的第一输送机器人57。第一输送机器人57具备在第二轴51方向上延伸的作为第二轴引导件的第一导轨57a。在第一导轨57a上配置有第一臂57b。第一臂57b沿着第一导轨57a移动。
第一臂57b具备在第一轴50方向上延伸的作为第一轴引导件的第二导轨57c。在第一臂57b设置有第一器件输送头31。第一器件输送头31沿着第二导轨57c移动。第一输送机器人57具备未图示的两个电机、固定到各电机的轴上的皮带轮以及绕挂在各皮带轮上的皮带。各皮带固定在第一臂57b和第一器件输送头31上。第一输送机器人57通过驱动各电机,使第一器件输送头31向X方向和Y方向移动。第一输送机器人57具有保持IC器件13并沿着第一导轨57a和第二导轨57c移动的第一器件输送头31。
在容器载置构件49的X方向负侧,在温度调整部21与托盘24之间配置有作为标记的第三标记58。第一标记53、第二标记54以及第三标记58配置在第一器件输送头31的移动范围内。
第一器件输送头31具备检测各标记在X方向和Y方向上的位置的作为传感器和光学传感器的第一传感器59。第一传感器59检测第一标记53、第二标记54以及第三标记58的位置。第一输送机器人57在通电时使第一器件输送头31移动到初始位置。此时,将与第一传感器59对置的地方设为作为基准点的第一传感器原点61。预先测量以第一传感器原点61为原点的第一标记53、第二标记54及第三标记58的坐标,并将其存储在存储器43中。
在容器载置构件49的X方向正侧配置有具有第五器件输送头37的第二输送机器人62。第二输送机器人62具备在第二轴51方向上延伸的第三导轨62a。在第三导轨62a上配置有第二臂62b。第二臂62b沿着第三导轨62a移动。
第二臂62b具备在第一轴50方向上延伸的第四导轨62c。在第二臂62b设置有第五器件输送头37。第五器件输送头37沿着第四导轨62c移动。第二输送机器人62具备未图示的两个电机、固定到各电机的轴上的皮带轮以及绕挂在各皮带轮上的皮带。各皮带固定在第二臂62b和第五器件输送头37上。第二输送机器人62通过驱动各电机,使第五器件输送头37向X方向和Y方向移动。第二输送机器人62具有保持IC器件13并沿着第三导轨62a和第四导轨62c移动的第五器件输送头37。支承构件52为第一导轨57a、第二导轨57c、第三导轨62a以及第四导轨62c的基准。
在容器载置构件49的X方向正侧,在托盘24与第三导轨62a之间配置有第六标记63。第四标记55、第五标记56以及第六标记63配置在第五器件输送头37的移动范围内。
第五器件输送头37具备检测各标记在X方向和Y方向上的位置的作为传感器和光学传感器的第二传感器64。第二传感器64检测第四标记55、第五标记56以及第六标记63的位置。第二输送机器人62在通电时使第五器件输送头37移动到初始位置。此时,将与第二传感器64对置的地方作为第二传感器原点65。预先测量以第二传感器原点65为原点的第四标记55、第五标记56及第六标记63的坐标,并将其存储在存储器43中。
如图4所示,第一标记53、第二标记54、第四标记55以及第五标记56是圆柱状的凸部。进而,第三标记58和第六标记63也是圆柱状的凸部。第一标记53至第六标记63具备连接于与第一传感器59及第二传感器64对置的对置面66的斜面67。
如图5所示,第一器件输送头31具备保持IC器件13的保持手68。保持手68排列成两行四列。保持手68具备升降部68a和吸附部68b。升降部68a具备直动机构,使吸附部68b在Z方向上升降。吸附部68b通过配管与未图示的减压泵连接,吸附并保持IC器件13。
第一传感器59具备物镜59a、投光用光纤59b、受光用光纤59c、传感器控制器59d。传感器控制器59d具备LED59e(light emitting diode:发光二极管)、光电晶体管59f以及传感器驱动部59g。传感器驱动部59g是驱动LED59e和光电晶体管59f的电路。物镜59a通过支承构件69固定于第一器件输送头31。
LED59e发出的光通过投光用光纤59b和物镜59a照射第一标记53~第六标记63等。在第一标记53~第六标记63等反射的光通过受光用光纤59c照射光电晶体管59f。将光电晶体管59f接收的光的量转换为模拟电信号并输出给传感器驱动部59g。传感器驱动部59g将模拟电信号转换为数字电信号并输出给CPU42。
第一传感器59是始终发光的光学传感器。第一传感器59射出光并检测在第一标记53~第六标记63反射的光。由于能够将LED59e和光电晶体管59f的温度维持在一定温度,因此能够高精度地检测第一标记53~第六标记63。由于打开和关闭光学传感器的频率小,因此能够容易地进行控制。此外,第一传感器59和第二传感器64为相同的结构。
如图6所示,在检测第一标记53的位置时,从物镜59a照射光70。光70通过物镜59a会聚。将聚光的地方作为聚光点70a。第一输送机器人57使聚光点70a接近第一标记53的对置面66。由于对置面66为镜面,因此朝向物镜59a反射的光70的光量大。
如图7所示,第一输送机器人57一边维持聚光点70a在Z方向上的位置,一边移动第一传感器59。在第一标记53中,对置面66的外周即边缘71的周围为斜面67。会聚的光70照射斜面67。此时,光70在斜面67反射而改变前进方向。由于反射的光70不朝向物镜59a,因此照射物镜59a的光70的光量小。
在图8中,横轴表示聚光点70a移动的位置。纵轴表示光电晶体管59f接收的光70的光量。当光70照射对置面66时,反射光的光量较大。当光70照射斜面67时,反射光的光量变小。
在作为跨越第一标记53的边缘71的多个地方的检测点72处检测第一传感器59接收的多个光量。使用检测到的多个光量的平均值,设定第一传感器59检测第一标记53的边缘71的判定值73。详细地说,在对置面66的多个检测点72检测光量并计算平均值。接下来,在斜面67的多个检测点72检测光量并计算平均值。然后,将从对置面66的光量的平均值中减去斜面67的光量的平均值而得到的值除以规定值后的值作为判定宽度74。将从对置面66的反射光的光量中减去判定宽度74而得到的值作为判定值73。此外,在计算判定宽度74时,参照反射光的分布来设定除法运算中使用的规定值。
根据该方法,检测第一传感器59接收的在第一标记53的对置面66反射的光70的光量。第一传感器59接收在第一标记53外侧的斜面67反射的光70,检测光70的光量。将检测到的光量的中间光量设定为判定值73。利用设定的判定值73,第一传感器59检测第一标记53的边缘71。因此,由于根据第一标记53的反射状态来检测边缘71,因此第一传感器59能够正确地检测。
接下来,说明检测第一标记53的坐标的方法。如图9所示,第一标记53的对置面66的边缘71是圆形,第一标记53的坐标表示圆形的边缘71的中心71a。首先,第一输送机器人57在X方向上移动第一传感器59。将通过第一传感器59的对置面66的聚光点70a的轨迹作为第一轨迹75。将第一轨迹75与边缘71交叉的两个点作为第一交叉点75a和第二交叉点75b。第一传感器59检测第一交叉点75a和第二交叉点75b。
接下来,第一输送机器人57在Y方向上移动第一传感器59。将通过第一传感器59的对置面66的聚光点70a的轨迹作为第二轨迹76。将第二轨迹76与边缘71交叉的两个点作为第三交叉点76a和第四交叉点76b。第一传感器59检测第三交叉点76a和第四交叉点76b。
将第一轨迹75中的第一交叉点75a与第二交叉点75b的垂直二等分线段作为第一线段75c。将第二轨迹76中的第三交叉点76a与第四交叉点76b的垂直二等分线段作为第二线段76c。CPU42计算第一线段75c与第二线段76c的交点并将其作为边缘71的中心71a。
如图10所示,接下来,第一传感器59检测在边缘71检测到的多个边缘上的点71b。接下来,CPU42计算多个边缘上的点71b处的半径71c。CPU42计算半径71c的平均值,并将该平均值乘2倍而设为直径71d。这样,CPU42检测平面形状为圆形的第一标记53的边缘71的多个坐标。然后,根据多个边缘71的坐标计算第一标记53的直径71d。
CPU42将直径71d与第一判定值77和第二判定值78进行比较。当第一标记53的直径71d小于第一判定值77或超过第二判定值78时,重新检测第一标记53的边缘71的多个坐标,并再次检测中心71a。
根据该方法,电子部件输送装置2检测第一标记53的边缘71的多个坐标,计算第一标记53的直径71d。当测量的第一标记53的直径71d不在正常范围内时,再次测量第一标记53的直径71d。因此,能够可靠地进行第一标记53的位置的检测。
CPU42使用与检测第一标记53的坐标的方法相同的方法来检测第二标记54~第六标记63的坐标。
如图11所示,控制部4具备作为处理器进行各种运算处理的CPU42以及存储各种信息的存储器43。第一机器人控制部79、第二机器人控制部80、第一传感器59以及第二传感器64经由接口81与CPU42电连接。
第一机器人控制部79控制第一输送机器人57的动作。第一机器人控制部79使第一器件输送头31移动到从CPU42输入指示信号而指示的地方。
第二机器人控制部80控制第二输送机器人62的动作。第二机器人控制部80使第五器件输送头37移动到从CPU42输入指示信号而指示的地方。
存储器43是包括RAM、ROM等半导体存储器、硬盘等外部存储装置的概念。存储器43存储记述了电子部件输送装置2的动作的控制顺序、输送不良的判定顺序等的程序82。除此之外,存储器43还存储第一传感器59和第二传感器64所输出的坐标数据83。除此之外,存储器43还存储判定数据的第一判定值77和第二判定值78等的判定数据84。
CPU42根据存储在存储器43内的程序82控制电子部件输送装置2的动作。CPU42具有用于实现功能的各种功能部。作为具体的功能部,CPU42具有动作控制部85。动作控制部85指示第一器件输送头31、第五器件输送头37的移动目的地和移动定时。
除此之外,CPU42具有标记计测部86。标记计测部86计算第一标记53~第六标记63的位置。除此之外,CPU42还具有不良判定部87。不良判定部87判定第一输送机器人57和第二输送机器人62是否正常。
接下来,对电子部件输送装置2的状态确认方法进行说明。第二输送机器人62等输送机器人的状态确认也用与第一输送机器人57相同的方法进行状态确认。对第一输送机器人57进行说明,并省略关于其他输送机器人的状态确认方法的说明。在图12中,步骤S1是原点设定工序。在该工序中,将第一输送机器人57的第一器件输送头31移动到沿着第一轴50延伸的第二导轨57c的基准位置。接下来,将第一输送机器人57的第一器件输送头31移动到沿着与第一轴50正交的第二轴51延伸的第一导轨57a的基准位置。接下来,将第一输送机器人57的第一传感器59的第一传感器原点61设定在第一器件输送头31的基准位置。
根据该方法,将第一输送机器人57的第一器件输送头31移动到第一轴50的第二导轨57c的基准位置,并移动到第二轴51的第一导轨57a的基准位置。然后,将第一传感器59的第一传感器原点61设定在基准位置。因此,由于使第一传感器原点61与第一器件输送头31的基准位置对应,所以能够正确地检测第一器件输送头31的偏移。接下来转移到步骤S2。
步骤S2是位置检测工序。在该工序中,第一输送机器人57的第一传感器59检测支承构件52的第一标记53的位置,并将其作为第一测量坐标而输出给控制部4。接下来,第一输送机器人57的第一传感器59检测支承构件52的第二标记54的位置,并将其作为第二测量坐标而输出给控制部4。接下来,第一输送机器人57的第一传感器59检测第三标记58的位置,并将其作为第三测量坐标而输出给控制部4。CPU42将第一测量坐标、第二测量坐标以及第三测量坐标的坐标数据83存储在存储器43中。接下来转移到步骤S3。
步骤S3是第一比较工序。在该工序中,控制部4的不良判定部87将预先存储的第一基准坐标与第一测量坐标进行比较。进而,不良判定部87将预先存储的第二基准坐标与第二测量坐标进行比较。进而,不良判定部87将预先存储的第三基准坐标与第三测量坐标进行比较。坐标的比较表示进行X坐标的比较和Y坐标的比较。
在第一测量坐标与第一基准坐标之差为规定值以上的情况下,不良判定部87判断为第一输送机器人57的第一器件输送头31处于偏移的状态。进而,在第二测量坐标与第二基准坐标之差为规定值以上的情况下,不良判定部87判断为第一输送机器人57的第一器件输送头31处于偏移的状态。进而,在第三测量坐标与第三基准坐标之差为规定值以上的情况下,不良判定部87判断为第一输送机器人57的第一器件输送头31处于偏移的状态。当不良判定部87判断为第一器件输送头31处于偏移的状态时,将不良信息输出给监视器6,并且转移到步骤S8。
当第一测量坐标与第一基准坐标之差小于规定值,且第二测量坐标与第二基准坐标之差小于规定值,并且第三测量坐标与第三基准坐标之差小于规定值时,不良判定部87判断为第一输送机器人57的第一器件输送头31处于未偏移的状态,并且转移到步骤S4。
步骤S4是第二比较工序。在该工序中,控制部4的不良判定部87比较第一测量坐标与第二测量坐标的单轴分量。在第一测量坐标与第二测量坐标的单轴分量之差为规定值以上的情况下,不良判定部87判断为第一输送机器人57的第一器件输送头31处于偏移的状态,接下来,在步骤S8中将轴偏移的不良信息输出给监视器6。在第一测量坐标与第二测量坐标的单轴分量之差小于规定值的情况下,不良判定部87判断为第一输送机器人57的第一器件输送头31处于未偏移的状态,接下来转移到步骤S5。
步骤S5是电特性检查工序。该工序是输送部18依次将IC器件13输送到检查部19而进行IC器件13的电特性检查的工序。接下来转移到步骤S6。
步骤S6是结束判断工序。该工序是判断预定的IC器件13的电特性检查是否全部结束的工序。当由于预定的IC器件13的电特性检查全部结束而结束时,结束进行IC器件13的电特性检查的工序。当还存在预定的IC器件13的电特性检查时,接下来转移到步骤S7。
步骤S7是状态检查判断工序。该工序是判断是否进行状态检查的工序。当在托盘24或温度调整部21上未正确载置的IC器件13的数量与第一输送机器人57输送的IC器件13的数量的比率超过了不良判定值时,转移到步骤S1以进行第一输送机器人57的状态确认。
当第一输送机器人57未正常进行动作时,或者电子部件输送装置2开始动作时,转移到步骤S1以进行第一输送机器人57的状态确认。当第一输送机器人57正常进行动作时,转移到步骤S1,继续进行电特性检查。通过以上工序,结束包括确认第一输送机器人57的状态的工序在内的工序。
根据电子部件输送装置2的结构,支承构件52是支承容器载置构件49的加强构件的一部分,是沿着第一轴50延伸的形状,并且固定成不能拆卸。因此,设置于支承构件52的第一标记53和第二标记54是作为第一轴50的基准的正确位置的标识。通过利用第一器件输送头31的第一传感器59检测第一标记53和第二标记54的位置,能够正确地检测第一器件输送头31相对于第一轴50的偏移。由此,在第一器件输送头31相对于第一轴50偏移时,能够判断为需要进行第一器件输送头31的修理、再次对位的示教。因此,能够提供一种能够正确地检测第一器件输送头31相对于第一轴50的偏移的电子部件输送装置2。
根据电子部件输送装置2的结构,第一标记53~第六标记63为圆柱状。由于容易检测圆的中心,因此能够容易地检测到第一标记53~第六标记63的位置。
根据电子部件输送装置2的结构,第一标记53~第六标记63具备对置面66和斜面67。第一传感器59射出的光70的一部分被对置面66反射而照射第一传感器59。照射到斜面67的光70改变前进方向,因此不会返回到第一传感器59。因此,能够容易地检测到对置面66与斜面67相连接的边缘71。
电子部件检查装置1具备上述电子部件输送装置2。关于上述电子部件输送装置2,在第一器件输送头31与物体接触时,也能够检测到偏移,从而进行第一器件输送头31的修理、再次对位的示教。因此,在第一器件输送头31与物体接触时,电子部件检查装置1也能够检测到偏移,从而进行第一器件输送头31的修理、再次对位的示教。
根据该方法,在支承构件52上设置有第一标记53和第二标记54。第一测量坐标是第一输送机器人57的第一传感器59检测到的第一标记53的位置的坐标。在第一测量坐标与第一基准坐标之差为规定值以上的情况下,控制部4向监视器6输出为第一输送机器人57的第一器件输送头31处于偏移状态。
第一标记53和第二标记54配置在与第一器件输送头31所移动的一个轴平行的线上。第二测量坐标是第一输送机器人57的第一传感器59检测到的第二标记54的位置的坐标。在第一测量坐标与第二测量坐标的单轴分量之差为规定值以上的情况下,控制部4向监视器6输出为第一输送机器人57的第一器件输送头31发生偏移。因为第一标记53和第二标记54配置在支承构件52上,所以坐标相对于原点的相对位置的变化较小。因此,能够可靠地检测第一器件输送头31的偏移。
当在容器中未正确放置的IC器件13的数量与第一输送机器人57输送的IC器件13的数量的比率超过了不良判定值时,第一器件输送头31有可能偏移。当第一输送机器人57未正常地动作时,第一器件输送头31有可能偏移。当电子部件输送装置2开始动作时,第一器件输送头31有可能偏移。当第一器件输送头31有可能偏移时,进行电子部件输送装置2的状态确认。而且,在第一器件输送头31相对于第一轴50偏移时,能够进行第一器件输送头31的修理、再次对位的示教。因此,能够使电子部件输送装置2可靠地工作。
第二实施方式
本实施方式与第一实施方式的不同之处在于,使用照相机代替第一传感器59。对与第一实施方式相同的结构标注相同的附图标记,并省略重复说明。如图13所示,作为移动部的第一器件输送头88具备检测各标记在X方向和Y方向上的位置的作为传感器和光学传感器的照相机89。照相机89检测作为标记的第七标记91的位置。第七标记91相当于第一标记53、第二标记54。
照相机89具备物镜89a、固体摄像元件89b、连接布线89c、照相机控制器89d。固体摄像元件89b是二维传感器,拍摄第七标记91的平面形状。固体摄像元件89b经由连接布线89c将影像信号发送到照相机控制器89d。照相机控制器89d将影像信号转换为静止图像并进行数字转换而发送到CPU42。
第七标记91被着色成与周围不同的颜色。因此,能够容易地区分第七标记91和作为背景的支承构件52。第七标记91是形成于支承构件52的涂布膜、薄膜或以附着了色素的形态形成于支承构件52且不从支承构件52突出,因此能够抑制对照相机89的干扰。第七标记91是圆状图形。与第二标记54~第六标记63相对应的标记也是与第七标记91相同的圆状图形。因此,能够容易地计算图形的中心。
第七标记91的形状可以是圆形、四边形、多边形、十字形。第七标记91的形状优选为上下左右对称的形状。能够容易地计算图形的中心。
第三实施方式
第一实施方式的第一标记53~第六标记63为圆柱状。除此之外,第一标记53~第六标记63也可以是圆状的凹部。因为容易检测圆的中心,所以能够容易地检测标记的位置。因为圆状的凹部易于形成,所以能够高生产率地形成标记。凹部也可以在朝向Z方向的上表面与侧面之间具有斜面。除此之外,第一标记53~第六标记63也可以是圆状以外的凹部。在凹部的上表面与侧面之间可以具备斜面。例如,第一标记53~第六标记63可以是四边形的凹部。
除此之外,第一标记53~第六标记63可以是使反射光的光量不同的图形。除此之外,第一标记53~第六标记63可以是有高低差的立体结构物。立体结构物也可以在朝向Z方向的上表面与侧面之间具有斜面。例如,第一标记53~第六标记63可以是四棱柱状的突起。第一标记53~第六标记63也可以被着色成与周围不同的颜色。第一标记53~第六标记63也可以具备镜面。此时,第一传感器59、第二传感器64以及照相机89能够容易地检测标记。
第四实施方式
在第一实施方式中,不良判定部87将预先存储的第一基准坐标与第一测量坐标进行了比较。进而,不良判定部87将预先存储的第二基准坐标与第二测量坐标进行了比较。进而,不良判定部87将预先存储的第三基准坐标与第三测量坐标进行了比较。
也可以只比较第一基准坐标与第一测量坐标。进而,也可以只比较第二基准坐标与第二测量坐标。进而,也可以只比较第三基准坐标与第三测量坐标。
除此之外,可以进行第一基准坐标与第一测量坐标的比较以及第二基准坐标与第二测量坐标的比较这两者。另外,也可以进行第一基准坐标与第一测量坐标的比较以及第三基准坐标与第三测量坐标的比较这两者。另外,也可以进行第二基准坐标与第二测量坐标的比较以及第三基准坐标与第三测量坐标的比较这两者。
第五实施方式
在第一实施方式中,使用第一标记53和第二标记54检测支承构件52延伸的方向。也可以是,不使用第一标记53和第二标记54,而检测支承构件52的Y方向的中心。如图14所示,支承构件52在Y方向正侧和Y方向负侧的侧面上形成有斜面52a。使第一传感器59在Y方向上移动,检测Y方向正侧的第一边缘52b和Y方向负侧的第二边缘52c。
如图15所示,接下来计算作为第一边缘52b和第二边缘52c的中间点的第一中间点52d的坐标。接下来,使第一传感器59向X方向正侧移动,同样地检测第一边缘52b和第二边缘52c。进而,计算作为第一边缘52b和第二边缘52c的中间点的第二中间点52e。将通过第一中间点52d和第二中间点52e的线作为支承构件中心线52f。支承构件中心线52f是支承构件52延伸的方向。将支承构件中心线52f与预先存储的基准线进行比较。当基准线和支承构件中心线52f所成的角度为判定角度以上时,控制部4向监视器6输出为第一输送机器人57的第一器件输送头31发生偏移。由于支承构件52牢固地固定在容器载置构件49上,因此坐标相对于原点的相对位置的变化较小。因此,能够可靠地检测第一器件输送头31的偏移。
在本方法中,支承构件52具有标记的功能。由于未形成第一标记53和第二标记54,因此能够高生产率地制造电子部件输送装置2。

Claims (10)

1.一种电子部件输送装置,其特征在于,具备:
容器载置构件,载置搭载有电子部件的容器;
支承构件,支承所述容器载置构件,并沿第一轴延伸;
输送机器人,具有保持所述电子部件并移动的移动部;以及
传感器,配置于所述移动部,
在所述支承构件上设置有标记,所述传感器检测所述标记的位置。
2.根据权利要求1所述的电子部件输送装置,其特征在于,
所述标记是圆柱状的凸部。
3.根据权利要求1所述的电子部件输送装置,其特征在于,
所述标记是圆状的凹部。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的电子部件输送装置,其特征在于,
所述传感器射出光并检测在所述标记反射的光,
所述标记具备连接于与所述传感器对置的对置面的斜面。
5.根据权利要求1所述的电子部件输送装置,其特征在于,
所述标记的颜色是与周围不同的颜色。
6.一种电子部件检查装置,其特征在于,具备:
检查部,检查所述电子部件;以及
权利要求1~5中任一项所述的电子部件输送装置。
7.一种电子部件输送装置的状态确认方法,其特征在于,所述电子部件输送装置输送电子部件,
输送机器人的传感器检测支承构件的第一标记的位置,并作为第一测量坐标而输出给控制部,
所述控制部将预先存储的第一基准坐标与所述第一测量坐标进行比较,
所述输送机器人的所述传感器检测所述支承构件的第二标记的位置,并作为第二测量坐标而输出给所述控制部,
所述控制部将所述第一测量坐标与所述第二测量坐标的单轴分量进行比较,
在所述第一测量坐标与所述第一基准坐标之差为规定值以上的情况下,或者在所述第一测量坐标与所述第二测量坐标的单轴分量之差为规定值以上的情况下,输出为所述输送机器人的移动部处于偏移的状态。
8.根据权利要求7所述的电子部件输送装置的状态确认方法,其特征在于,
在平面形状为圆形的所述第一标记的边缘检测多个坐标,
基于所述多个坐标计算所述第一标记的直径,
当所述第一标记的直径小于第一判定值或超过第二判定值时,在所述第一标记的所述边缘重新检测多个坐标。
9.根据权利要求7所述的电子部件输送装置的状态确认方法,其特征在于,
将所述输送机器人的所述移动部移动到沿着第一轴延伸的第一轴引导件的基准位置,
将所述输送机器人的所述移动部移动到沿着与所述第一轴正交的第二轴延伸的第二轴引导件的基准位置,
将所述输送机器人的所述传感器的基准点设定在基准位置。
10.根据权利要求8所述的电子部件输送装置的状态确认方法,其特征在于,
所述传感器是光学传感器,
在跨越所述第一标记的所述边缘的多个位置处检测所述光学传感器接收到的多个光量,
使用检测到的多个所述光量的平均值,设定所述光学传感器检测所述第一标记的所述边缘的判定值。
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