KR101430965B1

KR101430965B1 - 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법 및 그 디스플레이시스템

Info

Publication number: KR101430965B1
Application number: KR1020140060106A
Authority: KR
Inventors: 김한석; 박진근; 윤명훈; 박현규
Original assignee: 테크밸리 주식회사
Priority date: 2014-05-20
Filing date: 2014-05-20
Publication date: 2014-08-20

Abstract

본 발명은, 테이프릴에 배열되는 칩의 개수를 즉시적이고 정확하게 카운팅할 수 있는 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법 및 그 디스플레이시스템에 관한 것으로, 리더부를 이용하여 테이프릴의 식별코드를 입력하는 단계; 상기 식별코드가 데이터베이스에 등록되었는지 여부를 판단하는 단계; 엑스선발생부 및 검출부를 통하여 테이프릴의 평면 이미지를 스캔하는 단계; 데이터베이스에 등록된 해당 테이프릴에 대한 카운팅알고리즘을 호출하여 테이프릴에 나선형으로 배열된 칩의 개수를 카운팅하는 단계; 및 상기 카운팅하는 단계에서 카운팅된 칩의 개수를 카운팅표시부를 통하여 출력하는 단계;를 포함하는 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법을 제공한다.

Description

반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법 및 그 디스플레이시스템{COUNTING METHOD FOR TAPE REEL OF SEMICONDUCTOR AND DISPLAY SYSTEM USING THE SAME}

본 발명은 반도체 칩의 검사장비에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 테이프릴에 배열되는 칩의 개수를 즉시적이고 정확하게 카운팅할 수 있는 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법 및 그 디스플레이시스템에 관한 것이다.

반도체 칩은 결합공정에의 사용을 위하여, 미리 테이프릴에 포장되어 출하되어 사용되고 보관되는 것이 일반적이다.

도 1은 종래기술의 반도체 테이프릴의 사용상태를 나타내는 개념도이다.

반도체 칩은 소형이어서 개별적으로 분리되어 작업이 이루어지는 경우 작업기 까다롭고 대량생산에 부적합하기 때문에, 소정의 기판에 결합이 이루어지기 전에 필름과 같은 재질에 복수로 배열된 상태로 부착되어 사용이 이루어지게 된다.

최근에는 작업 공정의 효율성을 위하여 테이프릴의 형태로 생산이 되는데, 반도체 칩이 테이프(20)에 열을 지어 배열된 상태로 결합되고, 이러한 테이프(20)가 대략 원형의 테이프릴(10)에 권취되어 보관 및 사용이 이루어진다.

도면에 도시된 바와 같이 회전 가능하도록 배치되는 테이프릴(10)로부터 테이프(20)가 인출되면서 반도체 칩의 검사 또는 결합이 완료되고 이러한 테이프(20)는 타측에 배치되는 더미릴(30)에 권취될 수 있다.

그런데, 하나의 테이프릴(10)에 배치된 반도체 칩의 개수는 생산 단계에서는 정형화된 방식으로 결합되기 때문에 쉽게 파악될 수 있으나, 생산 공정 중에서 기판 등에의 결합이 중단되는 경우 사용 후 남은 반도체 칩의 개수를 파악하는 것은 매우 어려운 문제가 있다.

최근에는 반도체 칩의 결합공정이 자동화되어 이루어지는 것이 대부분이기 때문에 사용중에 탈거되어 보관되는 테이프릴(10)에 남아있는 칩의 개수를 모르는 상태로 작업이 이루어지는 경우 작업상의 문제를 야기하게 된다.

도 2는 종래기술의 테이프릴에 권취되는 테이프를 확대하여 도시한 평면도이다.

일반적으로 테이프에는 일측으로 열을 지어 홀(21)이 형성되고, 이러한 홀(21)의 배열과 나란하게 칩(22)이 배치된다.

이러한 칩(22)과 홀(21)의 배열되는 개수는 일정한 비율로 이루어지게 되는데, 예를 들어 도면과 같이 1:1로 배열이 되는 경우는 각각의 수를 눈으로 카운팅하여 남아있는 칩의 개수를 확인하게 된다.

이러한 홀(21)과 칩(22)의 배열되는 비율이 다르기 때문에 보다 카운팅이 용이한 홀(21)의 개수를 통하여 칩(22)의 개수를 파악하는 것이 일반적이다. 그러나, 눈으로 개수를 파악하는 방법에는 한계가 있기 때문에 자동화된 공정상에서 부정확한 작업이 이루어질 수밖에 없고, 칩의 개수를 정확하게 파악할 수 있는 방법의 개선이 요청된다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 반도체 칩이 테이프 상에 배열되어 릴에 권취된 상태에서 즉시적이고 정확하게 반도체 칩의 개수를 카운팅할 수 있도록 함으로써 생산공정상에서의 효율성이 현저하게 향상될 수 있는 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법 및 그 디스플레이시스템을 제공하는 데 목적이 있다.

본 발명은, 리더부를 이용하여 테이프릴의 식별코드를 입력하는 단계; 상기 식별코드가 데이터베이스에 등록되었는지 여부를 판단하는 단계; 엑스선발생부 및 검출부를 통하여 테이프릴의 평면 이미지를 스캔하는 단계; 데이터베이스에 등록된 해당 테이프릴에 대한 카운팅알고리즘을 호출하여 테이프릴에 나선형으로 배열된 칩의 개수를 카운팅하는 단계; 및 상기 카운팅하는 단계에서 카운팅된 칩의 개수를 카운팅표시부를 통하여 출력하는 단계;를 포함하는 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법을 제공한다. 따라서, 정확하고 신속한 칩의 잔여개수의 확인이 가능하다.

상기 등록되었는지 여부를 판단하는 단계 이후에, 저장된 식별코드의 테이프릴이 카운팅 가능한지 여부를 판단하는 단계;를 더 포함하며, 카운팅 가능하지 않은 것으로 판단된 경우 데이터표시부에서 카운팅 불가로 표시하고 이미지를 스캔하지 않은 상태로 해당 테이프릴을 반송하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 등록되었는지 여부를 판단하는 단계에서 등록되지 않은 것으로 판단된 경우, 해당 테이프릴에 대한 릴정보 등록단계를 거친 이후에 카운팅 가능한지 여부를 판단하는 단계를 거칠 수 있다.

상기 출력하는 단계는, 데이터표시부에서 해당 테이프릴에 대한 식별코드와, 등록여부 및 카운팅가부에 대한 결과값과, 카운팅된 칩의 개수를 함께 표시할 수 있다.

또한, 상기 카운팅알고리즘은, 해당 식별코드의 테이프릴에 대한 각각의 칩이미지에서 각각의 칩을 구별할 수 있는 감도정보와 칩의 형태 및 배열정보를 포함하는 것이 바람직하다.

한편, 테이프릴이 데이터베이스에 등록되었는지 여부를 판단할 수 있지만 경우에 따라 이러한 과정은 생략될 수도 있음은 상기한 바와 같다. 본 발명은, 엑스선발생부 및 검출부를 통하여 테이프릴의 평면 이미지를 스캔하는 제1단계; 데이터베이스에 등록된 해당 테이프릴에 대한 카운팅알고리즘을 호출하여 테이프릴에 나선형으로 배열된 칩의 형태와 배열을 추출하는 제2단계; 상기 추출된 칩의 형태와 배열에서 각각의 칩의 영역을 구별하고 개수를 카운팅하는 제3단계; 및 상기 카운팅하는 단계에서 카운팅된 칩의 개수를 카운팅표시부를 통하여 출력하는 제4단계;를 포함하는 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법을 제공한다.

한편, 본 발명은, 반도체 테이프릴의 칩 카운팅을 위한 디스플레이시스템으로서, 엑스선발생부 및 검출부를 통하여 스캔된 테이프릴의 평면 이미지가 표시되는 이미지표시부; 리더부를 통하여 입력된 테이프릴의 식별코드를 출력하는 릴정보부와, 식별코드가 데이터베이스에 등록되었는지 여부가 표시되는 판단표시부와, 데이터베이스에서 호출된 식별코드의 카운팅알고리즘에 의하여 상기 이미지표시부의 나선형으로 배열된 칩이미지로부터 카운팅된 칩의 개수를 표시하는 카운팅표시부를 포함하는 데이터표시부; 및 카운팅의 시작 및 종료 입력을 위한 제어부 및 종료부를 포함하는 동작제어부;를 포함하는 칩 카운팅 디스플레이시스템을 제공한다.

상기 판단표시부는, 입력된 식별코드의 테이프릴이 등록되고 카운팅이 가능한 경우를 제1조건으로 출력하고, 입력된 식별코드의 테이프릴이 등록되지 않은 경우를 제2조건으로 출력하며, 입력된 식별코드의 테이프릴이 등록되었으나 카운팅이 불가능한 것으로 저장된 경우와 입력된 식별코드의 테이프릴이 등록되지 않았으나 등록하는 과정에서 카운팅이 불가능한 것으로 판단된 경우 제3조건으로 출력할 수 있다.

상기 동작제어부는, 상기 제2조건이 출력되면 해당 테이프릴의 등록을 위한 등록제어부로 전환하는 등록전환부를 더 구비하는 것이 바람직하다.

상기 이미지표시부는, 상기 호출된 카운팅알고리즘에 의하여 칩 카운팅시 배제되는 릴이미지와, 칩 카운팅을 위하여 칩이 배열되는 칩이미지와, 칩이 배열되는 중심측에서 칩의 배열의 중심영역인 센터이미지를 포함할 수 있다.

또한, 해당 식별코드에 대한 테이프릴의 최초 제조상태에서 칩의 총개수를 표시하는 출력부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 개념에 따른 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법 및 그 디스플레이시스템은, 종래의 수작업에 의한 칩의 카운팅의 방식을 엑스선빔을 활용한 영상처리 방식으로 대체함으로써 정확성과 신속성이 비약적으로 향상될 수 있으며, 카운팅과정이 다양한 테이프릴에 대응되어 효과적으로 이루어질 수 있으면서도 사용자가 직관적으로 조작이 가능하고 편리하면서도 효율성이 우수한 효과가 있다.

도 1은 종래기술의 엑스선 검사장비를 나타내는 사시도.
도 2는 종래기술의 반도체 칩 테이프를 나타내는 평면도.
도 3은 본 발명의 반도체 테이프릴의 칩 카운팅 방법을 구현하는 시스템을 나타내는 개념도.
도 4는 본 발명의 반도체 테이프릴의 칩 카운팅 방법에서 구현되는 이미지를 도시한 개념도.
도 5는 본 발명의 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법을 나타내는 순서도.
도 6은 본 발명의 반도체 테이프릴의 칩 카운팅의 디스플레이시스템의 실시예를 나타내는 도면.
도 7은 도 6의 디스플레이시스템에서 릴이미지가 구현되는 모습을 나타내는 도면.
도 8은 도 6의 디스플레이시스템에서 칩이 카운팅되는 모습을 나타내는 도면.
도 9는 본 발명의 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법에서 판단표시부의 표시예를 나타내는 도면.
도 10은 도 6의 디스플레이시스템에서 칩이 카운팅되는 실시예를 나타내는 도면.
도 11은 본 발명의 반도체 테이프릴 등록방법을 나타내는 순서도.
도 12는 본 발명의 반도체 테이프릴의 등록방법에서 분석알고리즘을 나타내는 개념도.
도 13은 본 발명의 반도체 테이프릴 등록방법의 디스플레이시스템을 나타내는 도면.
도 14는 도 13의 디스플레이시스템에서 감도에 따른 칩이미지를 나타내는 도면.
도 15는 본 발명의 개념에 따른 반도체 테이프릴의 카운팅장치를 나타내는 사시도.
도 16은 도 15의 정면도.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법 및 그 디스플레이시스템을 더욱 상세하게 설명한다.

도 3은 본 발명에 기본적인 개념에 따른 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법이 적용되는 장비의 배치를 나타내는 개념도이다.

본 발명은 기본적으로 엑스선발생부(2210), 테이프릴(100)을 안착하며 이동가능한 이송수단(200) 및 상기 엑스선발생부(2210)에 대향되어 배치되는 검출부(미도시)를 포함하여 이루어진다.

상기 엑스선발생부(2210)는 클로즈드 타입(Closed Type)의 고전압 엑스선 발생기나 오픈 타입(Open Type)의 엑스선 발생기를 선택적으로 사용할 수 있으며, 또한 전파를 이용하여 물질의 구조를 측정할 수 있는 다양한 파장의 전자기파를 발생할 수 있는 장비라면 선택적으로 이루어질 수 있다.

또한, 상기 검출부는 엑스선발생부(2210)로부터 조사되어 피사체인 테이프릴(100)을 투과한 엑스선 빔을 검출할 수 있는 장치라면 다양한 장치가 적용될 수 있다.

테이프릴(100)은 칩(22)이 결합되는 테이프(20)가 외주에 권취될 수 있는 부재를 의미하는데, 이러한 테이프릴(100)은 대략 원반형상으로 이루어지고 이송수단(200)에 상에서 평행하게 안착된 상태로 칩의 카운팅이 이루어질 수 있다.

엑스선발생부(2210)는 상기 테이프릴(100)의 상측에서 하방으로 엑스선빔을 조사하여 이를 투과한 엑스선빔이 하측에 배치되는 검출부에서 감지될 수 있는데, 일반적으로 테이프릴(100)에서 칩(22)의 엑스선빔 투과율이 가장 낮기 때문에 그레이스케일(gray scale)값의 차이에 의하여 테이프릴(100)에 권취된 테이프에 배치되는 칩의 개수를 카운팅할 수 있게 된다.

더욱 구체적으로는, 테이프릴(100)에 권취된 상태에서의 칩(22)들은 서로 소정 간격 이격되어 테이프(20)에 결합되고, 검출부에서 검출된 엑스선빔은 후술될 바와 같이 영상구현부에서 이미지로 구현될 수 있는데, 이때 칩(22)이 배열된 부위에 해당되는 이미지가 가장 어둡게 표현될 수 있고, 이러한 칩(22)에 해당되는 이미지의 그레이스케일 값을 특정하면 해당 칩(22)들은 도트나 작은 영역의 이미지의 형식으로 구현되고 이러한 도트 또는 이미지를 카운팅함으로써 칩의 개수를 파악할 수 있게 되는 것이다. 다만, 경우에 따라 칩(22)에 해당되는 이미지가 다른 부위보다 밝게 표현될 수도 있음은 물론이다.

종래에는 상기한 바와 같이 테이프릴(100)의 사용 간에 보관이나 사용 중지의 필요성이 존재하는 경우에 잔여 칩의 개수를 파악하기 위하여서는 불가피하게 테이프(20)를 테이프릴(100)로부터 인출하여 일일이 수작업을 통하여 확인을 하였는바, 본 발명의 개념에 따른 경우 테이프(20)가 권취된 상태에서의 카운팅이 가능하므로 정확성이 향상되면서도 편리한 이점이 있음에 유의하여야 한다.

도 4는 본 발명의 기본적인 개념에 따라 테이프릴의 이미지가 디스플레이시스템에서 구현되는 모습을 나태내는 도면이다.

상기한 바와 같이 테이프릴(100)은 이송수단(200) 상에서 수평으로 배치되고, 상측에서 조사되는 엑스선빔에 의하여 검출부에 의하여 감지되어 서로 다른 투과율에 의한 그레이스케일 값에 의하여 영상이 구현될 수 있다.

이와 같이 검출부에서 감지된 감지신호는 후술될 바와 같은 소정의 영상구현부를 통하여 구현될 수 있는데, 이러한 영상구현부는 반드시 시각적으로 확인될 수 있는 디스플레이장치를 의미하는 것은 아님에 유의하여야 한다. 즉, 본 발명에서 주요한 값은 엑스레이의 투과에 의하여 감지된 칩의 개수에 있으므로, 이러한 칩의 개수를 카운팅할 수 있는 것이라면 이러한 영상구현부는 알고리즘 상에서 구현되는 가상의 형태일 수 있고, 이러한 알고리즘에서는 칩(22)에 해당되는 그레이스케일 값의 범위를 지정하여 각각의 칩(22)이 나타내는 도트의 개수를 카운팅하여 사용자에게 제공하면 족하다.

상기와 같이 영상구현부에 의하여 구현되는 영상은 릴이미지(4111)와 칩이미지(4110)일 수 있는데, 일반적으로 엑스선빔에 의하여 검출되는 영상의 이미지는 칩을 투과한 칩이미지(4110)에서 더 어둡게 나타날 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

본 발명에서 미도시된 소정의 제어부는 이러한 영상을 통하여 소정의 그레이스케일 값의 범위를 지정하고 이러한 칩이미지(11)에 해당되는 그레이스케일 값에 해당되는 도트의 개수를 카운팅하여 칩의 개수를 사용자에게 제공할 수 있다.

여기서, 상기 도트의 의미는 하나의 화소에서 구현되는 도트를 의미하는 것이 아니라, 비교적 연속적으로 분포되는 하나의 칩이미지(4110)에 해당되는 이미지의 영역을 의미하는 것으로 이해되어야함에 유의하여야한다.

그런데, 이상적인 경우 엑스선빔이 테이프릴(100)의 배치에 대해 수직방향으로 조사되는 경우는 이러한 칩이미지(4110)가 각각의 칩에 대응될 수 있으나, 실제적으로는 하나의 칩(22)과 반경방향 또는 원주방향으로 배치되는 다른 칩의 이격되는 거리가 가깝고 특정 부위를 제외하고는 엑스선빔이 테이프릴(10)의 법선방향 즉, 축방향에 대해 소정의 경사를 가지고 조사되기 때문에 이미지의 중첩이 발생될 우려가 있다. 이러한 이미지의 중첩은 빔의 하향 진행되는 과정에서 확산되기 때문에 발생되는 것이다.

이에 따라, 엑스선빔의 조사영역 또는 감지영역의 제한의 필요성이 존재한다. 이를 위하여, 엑스선발생부(2210)는 라인빔 형태로서 조사될 수 있다. 바람직하게는 이러한 엑스선발생부(2210)는 테이프릴(100)에 대해 반경방향으로 긴 형태로 배치되며, 테이프릴(100)과 엑스선발생부(2210)가 상대적으로 이동하는 과정에서 빔의 영역을 테이프릴(100)이 통과하는 과정에서 영상의 수집이 이루어진다.

도 5는 본 발명의 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법을 나타내는 순서도이다.

본 발명은 기본적으로, 테이프릴의 정보를 입력받는 단계와, 입력받은 테이프릴의 정보가 등록되어있는 것인지 판단하는 단계와, 테이프릴의 이미지를 스캔하는 단계와, 테이프릴에 배열되는 칩의 개수를 카운팅하는 단계와, 칩의 개수를 표시하고 반송하는 단계를 포함하여 이루어진다.

이러한 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법은 후술될 디스플레이장치에 의하여 시각적으로 구현되고 제어정보를 입력받을 수 있는데, 본 발명의 개념에서는 각각의 단계들이 디스플레이에 의하여 시각적으로 구현되는 경우와 본체 내부에 배치되는 마이콤장비에 의하여 하드웨어 및 소프트웨어적으로 작동되는 경우를 모두 포함하는 것으로 이해되어야함에 유의하여야 한다.

릴정보는 칩이 배치되는 릴의 최초 제조시에 제공되는 정보를 의미하게 되는데, 예를 들어 테이프릴(100)의 규격 및/또는 제조시의 칩의 개수 및/또는 칩의 형태 등과 같은 칩 자체의 규격이 될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

이러한 릴정보는 최초 해당 유형의 릴 등록시 수작업을 통하여 직접 입력될 수도 있지만, 후술될 바와 같은 카운팅장치에 부가되는 리더부에 의하여 자동적으로 인식되는 것이 바람직하다.

이때, 상기 리더부는 소정의 라벨정보를 스캔함으로써 이를 분석 또는 저장하는 기능을 수행할 수 있고, 상기 라벨은 바코드 또는 큐알코드와 같은 수단일 수 있다.

릴정보가 입력(S100)되면, 해당 릴정보가 등록되어 있는 것인지를 판단(S200)하게 되는데 이때 릴정보는 반송장비에서 릴테이프의 입력시 해당 릴테이프가 이미 장비에서 인식할 수 있는 것인지를 판가름하는 기준으로 작동하게 된다. 이러한 인식여부의 중요한 요소는 칩의 크기, 모양, 재질 또는 배열간격과 같은 칩의 요소와 릴의 직경과 후술될 바와 같은 센터영역과 같은 릴의 요소일 수 있다. 상기된 칩의 요소들은 후술될 바와 같이 형태에 따라 반송되는 속도를 조절하거나 감지된 이미지를 식별함에 있어서 민감도를 조절할 수 있는 기준으로서 작용하게 된다.

이렇게 릴정보의 등록여부에 대한 판단(S200)이 이루어진 이후에, 추가적으로 카운팅이 가능한지 여부(S210)에 대한 판단이 이루어질 수 있다. 카운팅이 불가능하다는 것은 칩의 형태나 엑스선의 투과성 정도에 따라 릴에 테이프가 권취된 상태에서 엑스선 이미지로는 정확성을 담보할 수 없음을 의미하는데, 이러한 경우 해당 릴에 대하여서는 종래기술의 카운팅 방식을 사용할 수 있다.

상기 릴정보의 등록여부에 대한 판단(S200)에서 등록되지 않은 것으로 판별된 경우 이를 등록하는 단계(S300)를 거치게 되는바, 이러한 등록은 아래에 설명된 칩 개수를 추출하기 위한 이미지의 스캔(S110)과 같은 방식으로 이루어지되 여기서 차이점은 이미지의 스캔(S110)은 사용 중 교체된 테이프릴(100)에서 잔여 칩의 개수를 측정하는 것임에 반하여 등록하는 단계(S300)에서의 스캔은 최초 릴이 제조된 상태에서 규격화된 해당 릴의 정확성 향상을 위하여 상기된 칩의 요소와 릴의 요소를 미리 정하여 놓는 의미가 있음에 유의하여야 한다.

상기 카운팅의 가부에 대한 판단(S210)에서 카운팅 가능한 유형으로 판단된 경우, 카운팅장치에 테이프릴을 입력하여 상기한 바와 같이 엑스선발생부(2210)와 검출부를 통하여 이미지를 스캔(S110)하게 된다.

이러한 이미지의 스캔은 기본적인 테이프릴(100)의 이미지를 획득하기 위한 것으로 기본적으로 엑스선빔의 방사량과 검출량은 대략 고정되어 있으므로 이미지 자체의 후술될 알고리즘에 의한 조정으로서 칩의 개수를 획득하게 된다. 여기서, 장비 자체의 테이프릴(100)의 종류에 따른 기구적인 작동의 변경은 반송 속도의 조절을 고려해볼 수 있는데 이에 대한 설명은 후술하도록 한다.

상기와 같이 이미지의 스캔(S110)이 완료되면 획득된 이미지를 통하여 칩 개수를 카운팅(S120)하고, 화상 또는 프린트를 통하여 칩개수를 출력(S130)하여 사용자에게 이를 확인하도록 할 수 있다.

상기 칩 개수의 카운팅(S120)은 검출된 칩이미지에서 해당 릴정보에 따른 알고리즘을 통하여 개별 칩이미지의 도트 내지는 칩영역의 구분을 산출하는 것을 의미한다.

또한, 본 발명의 카운팅장치의 경우 기본적으로 디스플레이부를 통하여 화상으로 상기 정보들을 확인하고 제어신호를 입력할 수 있는 기능을 수행할 수 있는데, 추가적인 라벨출력장치와 같은 프린터장치를 구비할 수 있다.

상기 프린터장치의 경우 검사 및 반송이 완료된 테이프릴(100)에 대하여 잔여 칩의 개수를 표시할 수 있도록 출력하는 기능을 수행한다.

또한, 상기 카운팅 가부에 대한 판단(S210)에서 카운팅이 불가한 것으로 판별되면 상기 디스플레이 또는 프린터장치에서 카운팅이 불가한 경우로 출력(S131)이 이루어질 수도 있다. 여기서, 도시된 바와 같이 릴 정보의 등록(S300)이 이루어진 이후에도 해당 릴에 대한 카운팅 가부(S210)에 대한 판단이 이루어질 수 있는데, 등록되어 있는 것으로 판단(S200)된 경우 투입되는 테이프릴(100)의 정보를 데이터베이스에서 추출하여 이를 대비하여 카운팅이 가능한 것으로 판단하게 된다.

도 6은 본 발명의 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법을 구현하는 디스플레이시스템의 실시예를 나타낸다.

상기와 같은 본 발명은 사용자환경의 중심으로 설명이 이루어지나 이는 디스플레이에서 구현되기 위한 각각의 시스템상 장치, 알고리즘, 회로 또는 부(部) 들과 연결되거나 이를 구비하는 것임에 유의하여야 한다. 이러한 사항은 당업자에게 자명하다.

본 발명은 후술될 바와 같이 소정의 메인디스플레이(2100)에 의하여 표시될 수 있는데, 카운팅방법의 작동을 위하여 이러한 메인디스플레이(2100)는 소정의 제어입력을 수신하는 수단과 화상을 출력하는 수단으로서의 기능을 동시에 수행할 수 있고, 이 경우 터치패널로서 구현될 수 있다.

카운팅방법의 경우 상기 메인디스플레이(2100)는 이미지표시부(4100)와, 데이터표시부(4200)와, 동작제어부(4300)로 구분될 수 있다.

상기 이미지표시부(4100)는 검출부에서 감지된 테이프릴(100)의 이미지를 전체적으로 표시하게 되며, 후술될 등록제어부(4500)를 통하여 조작 또는 알고리즘에 의한 조정으로서 칩이미지(4110)가 명확하게 표시되도록 기능하게 된다.

데이터표시부(4200)는 상기된 바와 같이 주로 테이프릴(100)의 이미지가 검출되고난 이후에 이러한 이미지를 통하여 칩의 개수를 표시하도록 기능한다. 이러한 데이터표시부(4200)는 도시된 바와 같이 릴정보부(4210)와, 카운팅표시부(4220)와, 판단표시부(4230)를 포함할 수 있다.

릴정보부(4210)는 상기된 리더부를 통하여 인식된 릴정보를 표시하도록 기능하며, 바람직한 실시예로서 바코드에 의하여 구현되는 소정의 해당 유형의 테이프릴(100)의 고유코드를 표시하여 구분할 수 있도록 한다. 이러한 릴정보부(4210)에 의한 표시는 연속적이고 시계열적인 카운팅 동작시 각각의 테이프릴(100)을 정확하게 구분할 수 있도록 기능하게 된다.

또한, 카운팅표시부(4220)는 칩이미지에 의한 칩의 개수를 표시하도록 기능하는데, 이와 관련하여 후술하도록 한다.

판단표시부(4230)는 상기된 등록여부에 대한 판단(S200) 및/또는 카운팅 가부에 대한 판단(S210)에서의 결과값을 출력하도록 기능할 수 있는데, 이러한 실시예는 도 9의 설명에서 더욱 구체적으로 설명한다.

상기 동작제어부(4300)는, 기본적인 작동을 위한 제어신호를 입력할 수 있도록 기능하는데, 카운팅 개시의 입력을 수행하는 제어부(4310)와, 종료하도록 하는 종료부(4321)와, 기본적인 장비의 작동의 세팅값들을 설정할 수 있는 셋업부(4322)와, 등록전환부(4340)를 포함할 수 있다.

상기된 제어부(4310) 및 종료부(4321)의 기능은 일반적인 온오프 버튼으로서의 기능을 수행할 수 있는데, 상기된 각각의 '부'들은 터치나 마우스와 같은 입력수단에 의한 사용자의 입력을 받을 수 있도록 한다.

상기 등록전환부(4340)는 릴정보등록(S300)의 단계 수행을 위한 디스플레이 전환의 기능을 수행하게 되는데, 이때 테이프릴(100)의 최초 제조상태로서 기초적인 설정이 이루어지는 차이점을 가지게 된다. 이와 관련하여 후술하도록 한다.

한편, 상기 동작제어부(4300)는 칩이미지(4110)의 개수를 표시할 수 있는 출력부(4330)를 포함할 수 있는데, 이러한 출력부(4330)는 카운팅표시부(4220)와 동일한 출력값을 포함할 수 있고, 최초 제조상태의 테이프릴(100)에서의 칩의 총개수를 출력하도록 할 수도 있다.

추가적으로, 메인디스플레이(2100)에서 구현되는 제어시스템은 릴정보입력부(4400)를 더 포함할 수 있는데, 이러한 릴정보입력부(4400)는 리더부에 의한 인식이 어렵거나 오류가 있는 경우 이를 보완하여 입력할 수 있도록 기능하게 된다.

도면에 도시된 상태의 실시예는 본 발명의 개념이 적용된다면 각각의 구성들이 변형, 배치변경, 추가 또는 교환될 수 있는 것임에 유의하여야 한다.

도 7은 도 6의 제어시스템에서 칩이미지가 표시된 상태를 나타내는 도면이다.

도면에 도시된 바와 같이 검출부에서 감지된 테이프릴(100)은 이미지표시부(4100)에서 릴이미지(4111)로서 구현된다. 여기서, 도 6의 설명과 중복되는 설명은 생략하도록 한다.

상기 이미지표시부(4100)에 표시되는 이미지들에서는 주요하게 릴 자체의 이미지인 릴이미지(4111)와, 칩의 배열을 나타내는 칩이미지(4110)와, 테이프가 권취되는 중심측 영역인 센터이미지(4112)로 구분될 수 있다.

칩의 경우 대부분 중량물을 포함하고 있고, 금속성의 재질을 구비하는 경우가 많으므로 일반적으로 수지재질로 이루어지는 릴 자체보다는 엑스선의 투과성이 낮기 때문에 도면과 같이 어두운 영역으로 표시될 수 있으나, 이러한 명암은 경우에 따라 반전될 수도 있는 것임에 유의한다.

본 발명의 개념에서는 테이프릴(100)의 이미지에서 칩의 이미지만을 추출하는 것을 주요한 목적으로 하는데, 따라서 칩이미지(4110) 자체가 가장 중요한 요소가 된다. 또한, 테이프가 권취되는 중심측의 영역은 칩의 카운팅 개시점으로서의 의미를 가질 수 있으며 릴의 외곽부위보다 밀도가 높아 엑스선의 투과성이 낮을 수 있으므로 카운팅알고리즘의 동작시 이를 제거할 필요성이 존재한다. 따라서, 센터이미지(4112)가 알고리즘의 설정을 위한 등록단계에서 유의미한 요소가 되는데 이는 후술하도록 한다.

이렇게 영상으로 구현될 수 있는 테이프릴(100)의 이미지는 카운팅하기 위한 기초자료로서 임시저장부(미도시)에 저장되며, 이를 기반으로 칩의 카운팅이 이루어진다.

한편, 도 6 및 도 7에서 동작제어부(4300)에 부가되는 크기제어부(4310)는, 테이프릴의 개략적인 크기를 미리 설정할 수 있는 입력수단으로서 기능할 수 있다.

일반적인 반도체 테이프릴(100)의 경우 최소 180mm에서 최대 380mm로서 규격화된 직경을 가지게 되는데, 본 발명에서는 이를 감안하여 크기에 따라 기구적인 작동을 추가적으로 제어할 수 있다.

예를 들어, 테이프릴(100)의 크기에 따라 엑스선발생부(2210)의 출력을 가변하거나, 반송수단으로서의 투입이송부(도 15의 1110)의 이송속도를 가변할 수 있다. 바람직한 실시예로서, 상기 크기제어부(4310)는 작은 것과 큰 것의 구분을 할 수 있으며, 여기서 작은 것은 180mm 직경의 테이프릴(100)을 의미하고 큰 것은 이를 초과하는 규격을 의미할 수 있다. 이에, 작은 것의 반송속도가 큰 것의 반송속도보다 느리게 이루어질 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

또한, 테이프릴(100)의 크기를 설정함에 따라 미리 전체 이미지 영역에서 테이프릴(100)이 존재하는 영역을 임시적으로 설정할 수 있으므로 불필요하게 작동되는 카운팅알고리즘의 동작에 의한 손실을 방지할 수 있는 이점도 가질 수 있다.

도 8은 상기된 이미지를 기초로 칩개수가 카운팅되는 모습을 나타내는 도면이다.

도시된 바와 같이 소정의 카운팅알고리즘의 작동에 의하여 이미지표시부(4100)에서 칩이미지(4110)가 최대로 식별될 수 있는 조건으로 표시되고, 이에 따라 도트 또는 칩영역의 선택 및 카운팅 이후에 데이터표시부(4200)에서 결과의 표시가 있게 되는 것이다.

여기서, 릴정보부(4210)는 000-000000AAA라는 식별코드를 표시하고, 칩의 개수로서 10000개가 카운팅되었음을 나타낸다.

한편, 판단표시부(4230)의 경우 상기에서 등록여부 및/또는 카운팅가부의 정보를 표시할 수 있는데, 이는 도 9와 관련하여 더욱 구체적으로 설명하도록 한다.

디스플레이는 후술될 바와 같이 메인디스플레이(도 15의 2100) 및 서브디스플레이(도 15의 2110)를 포함할 수 있다.

엑스선발생부(2210) 및 검출부에 의한 영상검출이 완료되면 카운팅부(미소시)는 최적화된 알고리즘을 통하여 칩의 개수를 카운팅하게 된다. 이러한 카운팅은 그레이스케일값에 의한 칩이미지의 개수를 산출하는 방식으로 이루어지게 된다.

분석과정에서 디스플레이의 화면은 이미지표시부(4100)와 데이터표시부(4200)로 구분될 수 있고, 상기 이미지표시부(4100)에는 검출부(2220)에서 검출된 테이프릴(100)의 이미지를 표시하게 되는데, 의미를 가지는 이미지는 칩이미지(4110)이다. 이때, 외곽 영역과 중심영역은 분석대상에서 제외되어야 하는바, 칩 배열상태에서 내주측의 중심영역(4120)은 테이프릴(100)마다 다른 규격을 가지기 때문에 정확한 배제가 요청된다.

사용상 조작자는 최초 등록 과정에서 칩이미지(4110)를 확인하면서 시각적인 확인을 통하여 중심으로부터 소정의 반경을 임의로 설정하여 각각의 테이프릴(100)의 중심영역의 정확한 규격을 저장할 수 있다. 다만, 이러한 센터영역은 자동적으로 분석 및 설정될 수 있음은 물론이다. 이와 관련하여 등록방법에서 더욱 구체적으로 설명하도록 한다.

또한, 칩이미지(4110)에서 카운팅의 확실성을 향상하기 위하여 각각의 테이프릴(100)마다 서로 다른 카운팅알고리즘을 적용할 수 있는데, 이러한 카운팅알고리즘을 위한 변수로서 테이프릴(100)의 직경, 칩 사이의 간격, 칩의 크기, 칩의 재질, 형상 등이 중요하게 작용될 수 있다. 하나의 장비에서 엑스선발생부(2210)와 검출부는 고정되고 방사선량 또한 다양하게 가변되는 것이 어렵기 때문에 일정한 테이프릴(100)의 이미지가 획득된 상태에서 이미지 조건들을 조절하여 칩이미지가 구분될 수 있는 최적의 상태를 찾아 각각의 알고리즘으로서 마련하는 것이 중요하다. 한편, 정확성을 향상하기 위하여 테이프릴(100)의 이미지의 획득 과정에서 직경에 따라 이송부의 이송속도를 가변할 수도 있다.

데이터표시부(4200)는 확대도와 같이 테이프릴(100)의 유형을 표시하는 릴정보부(4210)와 카운팅된 칩의 개수를 표시하는 카운팅표시부(4220)를 포함할 수 있다.

릴정보부(4210)는 상기된 투입측리더부에서 확인된 기초적인 정보를 확인하도록 하며, 카운팅표시부(4220)는 상기 칩이미지(4110)에서 분석된 칩의 개수정보를 표시하도록 한다.

도 9는 본 발명의 개념에 따른 디스플레이 시스템에서 데이터표시부(4200)의 구현예를 도시한다.

상단의 열에서부터 순차적으로 살펴보면, 첫째 열의 경우는 등록여부의 판단(S200)에서 등록된 것으로 판단하고 카운팅 가부의 판단(S210)에서 카운팅 가능한 것으로 판단된 경우를 제1조건으로 나타낸다. 이에, 판단표시부(4230)는 공백(Null)값으로서 카운팅이 가능함을 표시하게 된다.

또한, 둘째 열의 경우는 등록여부의 판단(S200)에서 등록되지 않은 것으로 판단되는 경우를 등록요망(NR)의 값으로서 제2조건으로 표시한 것을 나타내며, 이 때에는 사용자가 상기된 등록전환부(4340)의 조작을 통하여 최초 테이프릴(100)의 등록절차를 거치도록 한다.

또한, 셋째 열의 경우는 카운팅 가부의 판단(S210)에서 카운팅이 불가능한 경우로 판단된 경우의 표시(NC)인 제3조건으로 나타내는데, 이는 등록여부의 판단(S200)에서 등록되었으나 카운팅이 불가한 경우거나, 릴정보 등록(S300)시 정보의 등록이 불가한 경우를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 도 5와 관련하여 카운팅의 가부 판단(S210)은 상기된 릴정보 등록(S300)시 정보의 등록이 불가능한 경우 내지는 칩에 대한 설정이 불가능한 경우를 포함하는 것으로 이해될 수 있다.

다만, 상기 표시(Null, NR, NC)의 값들은 설정에 따라 다양하게 구현될 수 있음은 물론이다.

도 10은 상기된 예에 따라 칩카운팅이 이루어진 결과를 나타내는 도면이다.

이미지표시부(4100)에서 표시된 칩이미지(4110)는 소정의 설정된 알고리즘에 따라 조정된 결과를 나타내는데, 도 7의 경우보다 물리적으로 더욱 명확하게 구분될 수 있음이 확인된다.

이는 소정의 릴정보 입력(S100)에 의하여 데이터베이스에 입력된 값과의 대비를 통하여 최적의 카운팅알고리즘을 호출하여 칩카운팅(S120)을 하게 되는데, 이러한 릴정보의 입력은 바코드의 스캔을 통하여 이루어질 수 있음은 상기한 바와 같다.

이러한 결과로서 데이터표시부(4200)에서는 릴정보부(4210)에서 식별코드로서 표시되고, 카운팅표시부(4220)에서 카운팅된 칩의 개수로서 표시된다.

여기서, 판단표시부(4230)는 Null값으로 표시되므로 이에 카운팅이 가능한 경우임을 시각적으로 확인할 수 있다.

본 실시예에서는 동작제어부(4300)의 출력부(4330)와 데이터표시부(4200)의 카운팅표시부(4220)의 값이 각각 다르게 표시, 즉 각각 3832 및 10000의 값으로서 표시된다. 여기서 출력부(4330)는 해당 유형의 테이프릴(100)의 최초 제조이후의 칩의 총개수를 표시하고 카운팅표시부(4220)는 유형에 포함되는 검사되는 개별 테이프릴(100)에 대한 잔여량을 표시하는 것으로 구분하여 이해할 수 있다.

이에 따라, 사용자는 원래 최초 단계에서의 총개수 대비 잔여량을 정량적이고 시각적으로 이해할 수 있게 되는 것이다.

상기된 디스플레이시스템에 따라 본 발명의 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법을 더욱 자세하게 설명하도록 한다.

소정의 리더부를 통하여 릴정보가 입력(S100)된 이후에 해당 유형의 테이프릴(100)에 대한 등록여부를 판단(S200)하게 되고, 등록된 유형의 테이프릴이 카운팅이 가능한지 여부를 판단(S210)한다. 이에 두 가지 조건을 만족한 경우 판단표시부(4230)에서는 Null값을 표시할 수 있는데, 카운팅하는 과정은 검출부를 통하여 이미지를 스캔(S110)하여 임시저장부에 이를 저장 및 이미지표시부(4100)에서 표시하고, 해당 유형의 테이프릴(100)에 대하여 카운팅알고리즘을 호출하여 이미지의 조정을 포함하는 칩카운팅(S120) 작업을 수행하게 된다.

데이터표시부(4200)에서는 릴정보부(4210), 판단표시부(4230) 및 카운팅표시부(4220)에서 각각의 결과값들을 출력하게 되는데, 최종적으로 카운팅표시부(4220)의 값은 해당 테이프릴(100)에서 반도체 조립공정의 작업이 중단된 이후의 잔여개수를 정확하게 표시하게 된다.

다른 설명으로서, 본 발명은, 엑스선발생부 및 검출부를 통하여 테이프릴의 평면 이미지를 스캔하는 제1단계; 데이터베이스에 등록된 해당 테이프릴에 대한 카운팅알고리즘을 호출하여 테이프릴에 나선형으로 배열된 칩의 형태와 배열을 추출하는 제2단계; 상기 추출된 칩의 형태와 배열에서 각각의 칩의 영역을 구별하고 개수를 카운팅하는 제3단계; 및 상기 카운팅하는 단계에서 카운팅된 칩의 개수를 카운팅표시부를 통하여 출력하는 제4단계;를 포함하는 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법을 제공한다. 한편, 테이프릴이 데이터베이스에 등록되었는지 여부를 판단할 수 있지만 경우에 따라 이러한 과정은 생략될 수도 있음은 상기한 바와 같다. 여기서, 카운팅알고리즘은 테이프릴의 등록여부 판단시 선택되어 호출되고 이에 의하여 칩의 형태와 배열을 추출한 이후에 각각의 칩의 영역을 구별하여 개수를 카운팅하게 된다.

여기서 각각의 칩의 영역은 해당 알고리즘에 의하여 적절하게 구획되거나 선택될 수 있는데, 이러한 작업은 그림자의 중첩이나 노이즈 등에 의한 이미지의 겹침 현상이 발생하였을 때 소정의 알고리즘을 통하여 해당 릴에 배열된 칩에 대한 형태와 배열정보를 통하여 칩을 구별할 수 있음을 의미한다.

여기서, 등록되어있는지 여부의 판단(S200)시 등록되지 않은 것으로 판단된 경우 릴 정보 등록(S300)단계 이후에 카운팅이 수행되어야하는 바, 이를 위한 시스템 및 등록방법을 아래에서 더욱 구체적으로 설명하도록 한다.

도 11은 본 발명에 따른 릴정보의 등록방법을 나타내는 순서도이다.

리더부에서 읽힌 식별코드가 등록되지 않은 유형의 것으로 판단된 경우, 등록을 위한 이미지의 스캔(S310)이 우선적으로 이루어지게 된다. 여기서, 카운팅방법의 이미지의 스캔(S110)과 엑스선발생부(2210) 및 검출부를 이용하여 이미지를 획득한다는 점에서는 대응되나, 등록방법에서의 이미지의 스캔은 기본적으로 카운팅알고리즘을 데이터베이스에 저장하기 위한 것으로 차이를 가진다. 이러한 기본적인 등록은 테이프릴(100)의 최초 제조이후에 칩의 총개수를 포함한 상태로서 이루어지는 것이 바람직하나, 경우에 따라 현재 카운팅을 개시할 일부의 칩이 이미 사용된 테이프릴(100)에 대해서도 이미지 스캔이 이루어질 수도 있다.

상기 이미지 스캔(S310) 이후에 자동등록여부(S320)를 선택하게 되는데, 여기서 자동등록이란 소정의 조정알고리즘을 통하여 칩의 개수 식별을 위한 조정이 가능한 경우를 의미한다. 이러한 조정이란 이미지의 명암이나 대비 등의 값을 조절하는 경우를 포함할 수 있다.

여기서 자동으로 선택된 경우 상기한 바와 같이 최초 제조 이후의 테이프릴(100)에서의 칩의 총개수를 입력(S330)하는 것이 바람직한데, 이는 카운팅시 오차의 범위를 최대한 줄이기 위함이다. 즉, 이미지의 식별을 위한 각 조정값에 따라 이미지의 왜곡, 축소 또는 그림자의 교차가 발생할 수 있고 이는 각각의 도트 또는 칩영역을 구별하는 데 문제를 발생할 수 있는 요소이다. 따라서, 설정되어야 할 칩의 총개수를 미리 입력하면 현재 조정값을 통하여 카운팅된 개수와 총개수를 대비하여 조정값의 정확성을 판단하게 되는 것이다. 이러한 값이 일치되지 않는 경우는 조정값을 변경하여 후술될 테스트 카운팅(S350)을 반복할 수 있다.

이렇게 칩개수의 입력(S330)이 완료된 이후에 칩정보가 출력(S340)되는데 이는 개별 칩의 길이, 폭, 두께, 칩간격, 반경, 테이프의 두께와 같은 정보를 포함할 수 있다.

이에 따라 테스트 카운팅(S350)이 이루어지고, 릴정보와 일치여부 판단(S360)에서 테스트카운팅 결과값과 칩개수입력(S330)시의 총개수를 대비하여 일치되는 경우 소정의 설정된 조정값들이 최적인 것으로 보아 이를 데이터베이스에 저장(S370)하여 추후 카운팅이 필요한 동일유형의 테이프릴(100)에 대해 해당 조정값을 설정값으로 호출하여 사용할 수 있는 것이다.

다만, 상기 칩개수입력(S330)은 필수적인 사항은 아니며 경우에 따라 이용자의 확인에 의하여 릴정보로서 대비될 수 있으면 족하다.

이때, 릴정보와 테스트카운팅의 결과가 일치하지 않는 경우는 자동등록의 선택(S320)의 단계로 회귀할 수 있는바, 이때 사용자는 수동으로 설정할지 자동으로 설정할지를 선택할 수 있다.

여기서, 자동등록의 선택(S320)에서 수동으로 선택한 경우 감도(S381)을 선택하고, 해당 유형의 테이프릴(100) 및 칩에 따른 분석알고리즘을 추가적으로 선택할 수 있다. 이러한 분석알고리즘은 칩의 유형에 따라 선택될 수 있는데 이와 관련하여서는 도 12의 설명에서 후술하도록 한다.

또한, 카운팅알고리즘 상에서의 칩이미지(4110)에 대한 카운팅은 센터이미지(4112)에 의하여 영향을 받을 수 있음은 상기한 바와 같고 이러한 영향은 등록방법에서도 동일하게 작용된다. 따라서, 수동설정과정에서는 이미지표시부(4100)상에서의 이미지에서 인위적으로 센터이미지(4112)의 범위를 설정할 수 있는데 이는 후술하도록한다.

상기와 같이 소정의 설정 및 조정이 완료되면 테스트카운팅(S350)과정을 거쳐서 소정의 릴정보와의 일치여부를 판단(S360)하여 상기 공정을 다시 반복할지 이를 저장(S370)하고 종료할지 선택될 수 있다.

도 12는 상기된 분석알고리즘의 예를 도시한 개념도이다.

분석알고리즘(300)의 경우 상기 방법에서 수동설정의 경우만을 포함하는 것으로 도시하여 설명하였으나, 자동설정의 과정에서도 이러한 분석알고리즘은 칩이미지(4110)에 따라 적절하게 선택되는 과정을 거칠 수 있다.

이러한 분석알고리즘(300)은 제1모드(310)와 제2모드(320)를 포함할 수 있는데, 제1모드(310)는 정형화된 형태 즉, 입방체, 다면체 등의 분석 및 구별이 용이한 경우를 포함하며 제2모드(320)는 비정형화된 형태 즉, 별모양이나 곡면과 직선이 혼합된 복잡한 형상과 같이 기존의 칩과는 다른 유형의 형태를 포함하는 것으로 이해될 수 있다.

여기서 상기 제1모드(310)는 오토모드(311), 스몰모드(312), 스탠다드모드(313) 및 라지모드(314)를 포함할 수 있는데, 이러한 구분은 일반적으로 칩의 평면상 투영된 이미지 크기에 의존한다. 상기 오토모드(311)는 스몰모드(312), 스탠다드모드(313) 및 라지모드(314)를 분석알고리즘에서 자동적으로 선택할 수 있는 기능을 수행할 수 있다.

또한, 비정형모드인 제2모드(320)는 상기 제1모드(310) 이외의 모든 형태를 포함하는 것으로 이해되며, 후술될 등록 디스플레이시스템에서의 사용자에 의한 미세조정에 더욱 중점을 두게 된다.

도 13은 본 발명의 개념에 따른 등록방법이 작동하는 디스플레이시스템의 바람직한 실시예를 도시한 도면이다.

이러한 등록디스플레이시스템에서도 사용자가 메인디스플레이(2100)를 통하여 시각적으로 확인하고 제어신호를 입력할 수 있는 화상 뿐만 아니라 이의 작동을 위한 기구, 회로, 알고리즘 등을 포함하는 개념으로 이해되어야 한다.

여기서, 시각적인 확인이 의미를 가지기 때문에 등록디스플레이시스템도 카운팅디스플레이시스템과 마찬가지로 이미지표시부(4100)를 포함할 수 있다. 이러한 이미지표시부(4100)는 실질적으로 칩이미지(4110), 릴이미지(4111) 및 센터이미지(4112)를 표시하게 된다. 다만, 여기서 센터이미지(4112)의 식별을 위한 보더라인(4113)을 더 구비하게 되는데 이는 후술하도록 한다.

상기 이미지표시부(4100)와 함께 등록제어부(4500)가 구비되며, 이러한 등록제어부(4500)는 상기된 자동설정을 위한 자동등록부(4510)와 그 밖의 수동등록부를 포함한다.

자동등록부(4510)는 기본적으로 총개수의 입력을 위한 칩개수입력부(4511)와 개시부(4512)를 포함하며, 칩개수입력부(4511)의 값은 테스트카운팅부(4560)에 의한 테스트카운팅값과의 대비를 위한 값으로 의미를 가진다. 이러한 칩개수입력부(4511)는 이용자가 수동으로 최초 설정될 칩의 총개수를 입력할 수 있다. 또한, 개시부(4512)는 자동 등록을 위한 소정의 설정을 위한 입력버튼으로 기능하며 이는 상기된 분석알고리즘(300)을 호출하거나 이를 설정하도록 기능할 수 있다.

수동설정을 위하여 감도의 설정은 감도제어부(4520)에 의하여 이루어질 수 있는데, 이용자는 칩이미지(4110)가 최적으로 식별될 수 있는 감도를 조정하게 된다. 이러한 감도의 조정은 밝기 또는 대비의 조정을 포함할 수 있다.

도 14는 이러한 감도조정의 예를 나타낸다.

도 14의 (a)는 감도의 정도가 낮은 경우를 나타내는데 예를 들어 감도제어부(4520)의 설정값으로 80을 입력한 경우 도시된 바와 같이 칩이미지(4110)가 부각되어 나타난다. 이때에는 칩이미지(4110)는 물론 노이즈와 그림자등이 함께 부각되어 일부 칩들간의 겹침이 나타나 도트 또는 칩영역이 명확하게 구별되지 않는 문제를 가진다.

또한, 도 14의 (b)는 감도가 높은 220의 값이 입력된 경우를 나타내는데, 이때에는 릴이미지(4111)와 노이즈는 효과적으로 소멸되었으나 칩이미지(4110) 또한 함께 소실되는 문제를 가진다. 이 경우 일부 약하게 표시되는 칩들은 없는 것으로 판단될 가능성이 높다.

따라서, 최적의 감도를 설정하는 것은 등록단계에서 중요한 의미를 가지며 이는 카운팅을 위한 알고리즘의 기초설정값으로 활용된다.

도 15의 바람직한 실시예는 칩이미지(4110)가 효과적으로 나타나는 감도인 150이 설정된 경우를 도시하는데, 여기서 감도의 높고 낮음 또는 그 정도는 적용되는 예에 따라 치환되거나 다양하게 설정될 수 있음은 물론이다.

또한, 본 발명의 디스플레이시스템은 센터이미지(4112)의 영역조정을 위한 센터영역조정부(4530)를 더 포함할 수 있다.

센터영역조정부(4530)의 작동에 의한 조절은 보더라인(4113)의 조정을 통하여 이루어지는데, 릴이미지(4111) 전체에 대한 중심점이 설정되고 이를 기준으로 원형의 보더라인(4113)에 대한 직경을 조절하면서 센터이미지(4112)의 영역을 최대한 정확하게 설정할 수 있다.

상기한 바와 같이 테이프가 권취되는 센터영역의 경우 엑스선의 투과성이 다르며 이물이나 노이즈가 개재될 우려가 높기 때문에 상기와 같이 보더라인(4113)의 설정은 카운팅할 영역을 확정하는데 유용하다.

이는 이용자가 터치패널이나 마우스 등의 입력수단을 통하여 수동으로 크기 및/또는 위치의 조정이 가능하다.

등록제어부(4500)에 구비되는 알고리즘선택부(4540)는 상기된 분석알고리즘을 선택하기 위하여 기능하는데, 이러한 구분을 위하여 제1모드부(4541)와 제2모드부(4542)를 구비할 수 있고, 상기 제1모드부(4541)는 바람직한 실시예로서 오토모드, 스몰모드, 스탠다드모드, 라지모드를 포함할 수 있음은 상술한 바와 같다. 이와 중복되는 설명은 생략하도록 한다.

칩정보출력부(4550)는 상기된 수동설정 또는 자동설정의 과정을 통하여 식별된 칩의 정보를 출력(S340)하게 되며, 이러한 출력값은 길이, 넓이, 두께, 간격, 반경, 테이프의 두께를 포함할 수 있다. 여기서, 테이프의 두께는 칩 자체의 정보는 아니나, 칩의 개수를 카운팅하기 위한 직경방향의 이격거리를 설정하므로 유의미한 설정값으로 사용될 수 있다. 또한, 상기 간격은 원주방향의 이격거리를 의미한다.

여기서, 상기된 테스트카운팅(S350)을 수행하기 위한 테스트카운팅부(4560)를 구비하며, 이에 입력동작이 있는 경우 소정의 카운팅값이 출력될 수 있다.

이러한 카운팅값은 릴정보와 일치여부 판단(S360)을 통하여 실제 설정된 값이 정확성을 가지는지 판별할 수 있도록 한다. 이러한 결과가 만족되지 않는 경우 상기 과정을 반복하여 수행하며, 정확성이 만족되는 경우 저장부(4570)를 통하여 해당 테이프릴(100)의 카운팅알고리즘의 기초정보로 활용될 수 있도록 한다.

도 15는 상기된 본 발명의 기본개념에 따른 반도체 테이프릴의 카운팅방법이 구현되는 카운팅장치의 바람직한 실시예를 나타내는 사시도이다.

본 발명의 반도체 테이프릴의 카운팅장치는 기본적으로, 테이프릴(100)이 수평하게 배치된 상태로 내부로 이송되면서 칩의 카운팅이 가능하도록 엑스선을 발생하는 엑스선발생부와 검출부를 구비하는 본체부(2000)와, 상기 본체부(2000)의 일측에 배치되어 테이프릴(100)을 유입이송하는 투입부(1100)와, 상기 본체부(2000)의 타측으로 테이프릴(100)을 배출하는 배출부(1200)와, 상기 본체부(2000)와 연결되어 엑스선 영상을 표시하는 메인디스플레이(2100)를 포함하여 이루어진다. 상기 설명들에서 디스플레이는 메인디스플레이(2100)를 의미하는 것으로 이해될 수 있다.

상기 본체부(2000)는 내부에 고전압발생부와, 고전압발생부의 전력을 입력받아 엑스선을 방출하는 엑스선발생부(2210)가 배치되며, 테이프릴(100)의 이송되는 부위를 사이에 두고 엑스선발생부(2210)를 바라보도록 배치되는 검출부를 포함하는데, 테이프릴(100)의 인입출을 위한 양측의 개구를 제외하고는 엑스선의 차폐를 위하여 전체적으로 외부와 차폐된 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.

따라서, 이러한 본체부(2000)는 하우징(참조번호 미표시)에 의하여 감싸여진 형태로 이루어지고, 유지보수를 위하여 개폐되는 소정의 도어를 구비할 수 있는데 이러한 도어는 후방측에 배치될 수 있다.

상기 투입부(1100)는 본체부(2000)의 일측의 개구와 연통되어 이루어질 수 있고, 투입이송부(1110)가 배치되어 투입부(1100)의 입구측에서의 테이프릴(100)을 자동적으로 본체부(2000)의 내부로 유입시킬 수 있도록 작동한다.

이러한 투입이송부(1110)는 컨베이어 형식으로 이루어질 수 있으며, 투입부(1100) 및/또는 본체부(2000)에는 투입이송부(1110)에의 동력을 제공하기 위한 동력부(미도시)가 배치될 수 있다.

또한, 상기 투입이송부(1110)는 연속적인 테이프릴(100)의 이송을 위하여 본체부(2000) 내부로 연장되는 형태로 배치되며 경우에 따라 배출이송부(1210)와 전체적으로 하나의 장비로서 이루어질 수도 있다.

상기 투입부(1100)의 입구측에는 테이프릴(100)의 정렬을 위한 안착부(3000)가 구비될 수 있는데, 이러한 안착부(3000)는 투입이송부(1110)의 대략 전후방향 중심측에 테이프릴(100)을 위치하도록 함으로써 엑스선발생부(2210)와 검출부의 정확한 위치에 테이프릴(100)이 이송간에 배치될 수 있도록 기능한다.

배출부(1200)는 엑스선빔을 통한 검사가 완료된 테이프릴(100)이 본체부(2000)의 타측으로 배출될 때 수거가 가능하도록 배출시키도록 배출이송부(1210)를 구비하며, 투입이송부(1110)와 배출이송부(1210)가 직렬로 연결된 상태에서 일측으로의 투입 및 타측으로의 배출이 이루어질 수 있다.

다만, 실질적으로 투입과 배출시의 수거는 조작자가 수작업으로 이루어짐을 고려할 때, 본체부(2000)를 기준으로 일측에 투입부(1100)가 배치되고 타측에 배출부(1200)가 배치되는 경우 다수의 테이프릴(100)에 대한 검사가 이루어질 때 두 명 이상의 조작자가 배치되거나 한 명의 조작자가 양측을 이동하면서 작업이 이루어지게 된다. 그러나, 이러한 경우 인력이 추가적으로 소요되거나 작업시간이 추가로 소요되는 문제를 야기하기 때문에 이를 해소할 방안이 요청된다.

이를 위하여 투입부(1100)의 투입구와 배출부(1200)의 배출구는 위치가 인접될 수 있다. 구체적으로, 상기 투입부(1100)가 일측으로 배치될 때, 배출부(1200)는 본체부(2000)의 타측에 연결되되 테이프릴(100)의 이송경로가 타측으로부터 다시 일측으로 형성될 수 있도록 배치될 수 있고, 도면에 도시된 바와 같이 배출부(1200)가 본체부(2000)의 타측에서 개시되어 본체부 전방의 일측으로 연장되는 형태로 형성되는 것이 바람직하다.

이러한 배출부(1200)는 후술할 바와 같이 본체부(2000)와 전송부에 의하여 연결이 이루어질 수 있다.

상기의 구조를 가짐에 따라 한 명의 조작자가 본체부(2000)의 전방 일측의 모서리부위에 인접하여 위치하고 투입, 조작 및 배출의 작업이 위치를 이동하지 않은 상태에서 가능한 것이다.

상기 본체부(2000)는 엑스선장비에 의한 검사의 결과와 조작상태를 시각적으로 확인할 수 있도록 전방측에 메인디스플레이(2100)를 구비할 수 있다. 이러한 메인디스플레이(2100)는 사용상의 편리성을 고려하여 터치패널을 구비하는 화상표시장치로서 이루어지는 것이 바람직하나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

그런데, 메인디스플레이(2100)가 전방측에만 구비되는 경우 조작자가 본체부(2000)의 일측에서 투입을 위한 조작시 현재 장비의 상태를 확인하기 어려운 문제가 있고, 이를 위하여 본체부(2000)의 일측에는 추가적인 서브디스플레이(2110)가 구비될 수 있다.

이러한 서브디스플레이(2110)는 기본적으로 일측에서 투입동작시의 확인의 편리성을 제공하기 위함인 바, 메인디스플레이(2100)와 실질적으로 동일한 정보를 제공할 수 있다. 따라서, 상기 서브디스플레이(2110)는 터치패널을 구비하지 않고 화상출력만 이루어지면 족하다.

상기 서브디스플레이(2110)는 일측을 지향하도록 배치되는데, 도면에 도시된 바와 같이 조작자가 전방 일측 모서리 부위에 위치함을 고려하여 본체부(2000)에 대해 전방으로 회동 가능하도록 배치되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 조작시 측방 및 전방에서 서브디스플레이(2110)의 확인이 어느 정도 가능할 수 있다.

한편, 본 발명은 컨베이어 형태의 이송부가 구비되며 테이프릴(100)이 연속적으로 작업될 수 있기 때문에 검사시의 오류 또는 장비의 문제가 발생하였을 경우 투입 또는 배출 과정에서 비상정지를 위한 수단을 구비하는 것이 바람직하고, 이를 위하여 비상버튼이 구비될 수 있다.

이러한 비상버튼은 본체부(2000)의 전방측에 구비되는 배출측버튼(2010)으로 이루어질 수 있고, 상기한 바와 같이 투입부(1100)측에 인접되어 추가적인 투입측버튼(2011)이 구비될 수 있다.

또한, 외부 또는 원격으로 작업상태 또는 이상상태를 확인할 수 있도록 발광 또는 소리발생 수단으로 이루어지는 경보부(2020)를 더 구비할 수 있다.

본체부(2000)는 상기된 알고리즘의 동작이 가능하도록 소정의 제어부(미도시)를 구비할 수 있는데, 이러한 제어부는 실질적으로 테이프릴의 이미지에서 칩을 추출하여 칩영역의 개수를 카운팅하는 카운팅알고리즘을 포함하는 카운팅부(미도시)로 이루어질 수 있다. 여기서, 구비한다는 것은 반드시 내부에 포함되는 것만을 한정하는 것은 아니며 전기적으로 연결되는 상태를 포함하는 것으로 이해되어야 함에 유의한다.

이러한 카운팅부는 후술될 바와 같이 테이프릴(100)의 유형에 따라 선택된 최적의 알고리즘에 의하여 칩의 구별 및 카운팅을 수행하게 된다.

투입부(1100), 본체부(2000) 및 배출부(1200)가 직렬로 연결되는 경우 이송경로의 전환이 불필요하므로 하나의 컨베이어장치에 의하여 작동될 수 있으나, 상기된 실시예의 경우는 방향의 전환을 위한 추가적인 수단이 필요하다.

따라서, 본체부(2000)의 타측과 배출부(1200)의 타측에서 테이프릴(100)을 전달할 수 있는 전송부(1300)가 추가적으로 배치될 수 있다.

이러한 전송부(1300)는 투입이송부(1110) 및 배출이송부(1210)와 같이 컨베이어 형태로 이루어지는 경우를 고려해볼 수 있는데, 정확하지 않은 전달의 가능성이 존재하고, 이를 위하여 상기 전송부(1300)는 소정의 얼라인 기능을 수행하는 브라켓부가 전후방향으로 배치되는 암을 따라 직선운동하는 방식으로 작동되는 것이 바람직하다. 이러한 전송부의 작동은 도 9의 설명에서 후술하도록 한다.

상기 본체부(2000)는 고전압인가부(2200)와 엑스선발생부(2210) 및 검출부를 구비하는데, 상기한 바와 같이 칩의 배열에 따른 이미지의 간섭 가능성을 고려하여 라인빔을 방출하는 엑스선발생부(2210)가 배치되는 것이 바람직하다.

이를 위하여 엑스선발생부(2210)는 전후방으로 긴 형상으로 이루어지고, 검출부 또한 이에 대응되는 형상으로 이루어질 수 있다.

상기 엑스선발생부(2210)에 고전압을 인가하기 위한 고전압인가부(2200)는 선택된 위치에 배치될 수 있으며, 전자기파의 간섭을 최대한 저감할 수 있도록 후방측에 배치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 투입부(1100)측에는 시스템이 테이프릴(100)의 투입여부를 확인할 수 있도록 투입센서부(1120)가 배치될 수 있다. 이러한 투입센서부(1120)는 컨베이어인 투입이송부(1110)를 사이에 두고 전후방으로 대응되어 배치되는 광발생수단 및 광감지수단일 수 있으며, 상기 광은 적외선 또는 가시광선 등의 다양한 파장을 가진 전자기파를 포함할 수 있다.

마찬가지로, 배출부(1200)측에는 시스템이 테이프릴(100)의 배출여부를 확인할 수 있도록 배출센서부(1220)가 배치될 수 있으며, 컨베이어인 배출이송부(1210)를 사이에 두고 전후방으로 배치될 수 있다.

이러한 투입센서부(1120) 및/또는 배출센서부(1220)의 감지신호는 투입이송부(1110) 및/또는 배출이송부(1210)의 작동 또는 중단을 위한 정보로 활용될 수 있는데, 예를 들어 연속적인 테이프릴(100)의 검사가 진행되는 경우 배출시 조작자의 확인 및 라벨의 부착 등의 과정을 위한 시간의 지연이 필요할 수 있고 배출센서부(1220)에서 테이프릴(100)이 감지되면 배출이송부(1210)의 작동을 소정 시간 또는 조작의 입력이 있을 때까지 중단하고 대기하도록 설정할 수 있다.

도 16은 본 발명의 반도체 테이프릴의 카운팅장치를 정면에서 바라본 도면이다.

상기 서브디스플레이(2110)는 일측을 지향하도록 배치되며 조작자가 전방 일측 모서리 부위에 위치함을 고려하여 본체부(2000)에 대해 전방으로 회동 가능하도록 배치되는 것이 바람직하다. 이를 위하여 서브디스플레이(2110)는 회동부(2120)에 의하여 본체부(2000)에 결합될 수 있다.

정면도를 기준으로 후방측에는 투입부(1100)와 본체부(2000)가 배치되고, 전방측에는 배출부(1200)가 배치되는데, 중복되는 설명은 생략하도록 한다.

상기한 바와 같이 본체부(2000)는 투입부(1100)측에서의 추가적인 화상표시수단인 서브디스플레이(2110)를 구비하고, 테이프릴(100)의 이송경로에 대하여 대칭되게 배치되는 엑스선발생부(2210)와 검출부(2220)를 구비한다.

투입부(1100)는 이물의 유출입 또는 엑스선의 누설을 고려하여 대부분 소정의 커버로 감싸진 형태로 본체부(2000) 일측의 개구와 연결되고, 일측에는 투입을 위한 투입구(1111)가 형성된다. 이러한 투입구(1111) 측에는 테이프릴(100)의 정렬을 위한 안착부(3000)가 구비될 수 있다.

또한, 배출부(1200)도 마찬가지로 대부분 소정의 커버로 감싸진 형태로 본체부(2000)의 타측의 개구 또는 전송부(1300)와 연결되고, 일측에 배출 및 수거를 위한 배출구(1211)가 형성된다.

상기 설명에서 투입 및 배출의 감지를 위한 센서부의 배치를 설명하였다. 이러한 센서부의 기능은 작동여부 또는 테이프릴(100)의 존부를 확인하기 위한 수단인바, 테이프릴(100)의 종류와 기본적인 정보를 확인하는 것이 정확한 실질적으로 테이프릴(100)의 칩 카운팅을 위하여 유용하다.

따라서, 투입되는 테이프릴(100)을 지향하도록 투입측리더부(미도시)와, 배출되는 테이프릴(100)을 지향하도록 배출측리더부(미도시)가 추가적으로 배치될 수 있다.

기본적으로, 본 발명은 테이프릴의 사용 간에 릴에 권취된 상태에서의 칩의 개수를 확인하는 데 주요한 의의를 가진다. 사용 전의 릴에는 개별적으로 설정되는 칩의 수량이 존재하는바, 이를 위하여 최초 테이프릴의 제작시 처음 배치되는 칩의 개수 등의 기본정보를 표시하는 바코드와 같은 식별코드가 부착된 상태로 생산이 이루어지게 된다.

본 발명은 이에 착안하여 투입부(1100) 측에 투입측리더부를 배치함으로써 투입되는 테이프릴(100)의 유형을 미리 파악하도록 할 수 있다. 각각의 테이프릴(100)들은 직경, 칩의 배열, 칩의 재질, 칩의 형태와 크기 등이 상호 간에 다르므로 각각의 종류에 최적화된 카운팅알고리즘을 구비할 필요성이 존재한다.

투입부(1100) 측에 투입측리더부가 배치되는 경우 본체부(2000) 내부로 이송 전에 미리 테이프릴(100)의 유형을 파악할 수 있기 때문에 자동적으로 분석 및 카운팅알고리즘이 최적화되어 준비될 수 있는 장점을 가진다. 카운팅부에서 분석 및 카운팅알고리즘의 선택은 조작자에 의하여 이루어지는 것이 기본적일 것이나, 이러하게 투입측리더부가 배치되는 경우 오류의 경우가 최소화될 수 있고 설정에 필요한 시간이 단축되어 공정의 효율이 증대되는 이점을 가짐에 유의하여야 한다.

한편, 작업시간을 단축하기 위하여 테이프릴(100)이 연속적으로 투입될 수 있음은 상기한 바와 같다. 배출측리더부는 실질적으로 칩의 배열의 분석 및 카운팅에 대해서는 작동하지 않을 수 있는데, 이 경우 배출측리더부는 수거될 테이프릴(100)이 분석이 완료된 테이프릴(100)과 같은 것인지 확인하는 데 유용하다. 따라서, 상기 방법에서 설명된 리더부는 투입측리더부를 의미한다.

투입부(1100) 측에서 하나의 테이프릴(100)이 투입되어 본체부(2000) 내부에서 카운팅이 완료되고 완료된 데이터가 메인디스플레이(2100)에 표시된 상태로 대기하게 되면, 배출부(1200) 측으로 이송되면 투입측리더부에서 확인된 사항과, 카운팅이 완료된 사항과 배출측리더부에서 확인된 사항이 일치되면 해당 테이프릴(100)이 확인이 완료된 것으로 컨펌할 수 있는 것이다.

이렇게 배출측리더부에서 동일한 테이프릴(100)을 컨펌하는 경우 해당 테이프릴(100)에 대한 분석 및/또는 카운팅이 종료된 것으로 이해될 수 있고, 추가적으로 다음 테이프릴(100)에 대한 분석 및 카운팅 작업을 준비하게 된다.

본 발명의 개념에서는 추가적으로 라벨출력부(미도시)를 더 포함할 수 있는데, 이러한 라벨출력부는 카운팅이 완료된 정보를 출력하여 배출부(1200) 측에서 배출어 배출측리더부에서 컨펌된 테이프릴(100)에 부착될 수 있다.

따라서, 사용 중에 보관된 테이프릴은 상기한 과정을 통하여 분석 및 확인이 완료되고 잔여 칩의 개수가 표시된 상태로 작업 가능한 것이다.

한편, 상기 투입측리더부는 분석 과정은 물론 테이프릴(100)의 최초 등록 과정에서도 의미를 가진다. 즉, 본 발명의 시스템에서 카운팅부에 새롭게 적용되는 테이프릴(100)이 적용되는 경우 이를 표준화하기 위하여 등록과정을 먼저 거치는 것이 바람직하고, 이를 위하여 소정의 식별코드를 확인하고 이를 저장하면서 등록과정을 거침으로써 최적의 카운팅알고리즘을 선택하도록 기능하는 것이다.

한편, 상기된 인접되는 칩에 의한 간섭의 방지의 개념을 더욱 구체적으로 설명하도록 한다. 이러한 간섭은 상기된 감도제어부(4520)의 기능에 관련된다.

여기서 칩은 소정의 두께(d)와 높이(h)를 가지게 되는데 이러한 수치는 빔의 조사영역에 영향을 미치는 변수로서 작용한다.

엑스선원으로부터 법선방향으로 연장되는 수직선의 바로 하측에 인접된 영역에서는 조사되는 엑스선빔이 각각의 칩들을 관통하여 바로 검출부에서 검출될 수 있지만, 외주측으로 갈수록 하나의 칩을 관통한 엑스선빔은 외주측으로 인접된 다른 칩에 간섭될 가능성이 높아지고, 결국 중첩영역의 부위가 발생된다.

따라서, 엑스선원으로부터 방사되는 빔의 영역이 제한될 필요성이 존재하는바, 이러한 제한되는 영역은 엑스선원으로부터 법선방향에 대한 각도로 정의될 수 있다.

칩들은 나선형으로 테이프릴(100)의 중심측으로부터 외주방향으로 배열되고, 일반적으로는 반경방향으로의 간격이 원주방향으로의 간격보다 좁으므로 이러한 한계영역(m)을 규정하는 각도(θ)는 반경방향으로의 배열에 의하여 정하여질 수 있다. 다만, 원주방향으로의 배열의 간격이 더 적은 경우에는 이러한 한계각도(θ)가 원주방향의 배열로부터 정해질 수 있으며, 이 경우에는 테이프의 두께 또는 칩의 반경방향의 이격간격을 의미하는 값은 대략 인접되는 칩 간의 원주방향의 간격을 의미하는 것으로 이해될 수 있다.

따라서, 상기와 같이 이미지의 영역은 한계영역(m)으로 정의될 수 있으며, 실질적인 카운팅에서 의미가 있는 엑스선빔의 조사범위를 빔으로 정의하여 사용할 수 있다.

이러한 빔의 한계영역(m)은 칩의 높이(h)에 대한 테이프의 두께의 비의 아크탄젠트(arctan) 값에 의하여 결정될 수 있다. 이러한 설명은 원주방향으로 배열되는 칩에 대해서도 동일하게 적용될 수 있다.

한편, 상기 테이프릴(100)을 투과하는 빔의 조사되는 형상은 원추형 또는 사각뿔형 등 다양한 형상이 선택적으로 적용될 수 있지만, 상기된 바와 같이 양측방향으로의 범위를 최소화할 수 있도록 라인빔 형태로 이루어지는 것이다. 다만, 경우에 따라 사각뿔 형태로 확산되는 빔의 영역이 소정의 커터부재를 통하여 제한되는 방식으로 설정될 수도 있다. 따라서, 상기 엑스선발생부로부터 방사되는 빔은 바람직하지 않은 주변의 피폭 또는 정확한 검출부에서의 영상의 검출을 위하여 셔터를 구비할 수 있다.

다만, 본 발명의 상기 설명에서는 엑스선 빔의 영역 자체를 제한하여 소정의 영역을 지정하는 경우를 예로 들었지만, 검출부에서 검출되는 영역을 소정의 알고리즘으로 통하여 제한하거나 기구적인 장치를 통하여 제한할 수도 있음은 물론이다. 이러한 경우 각각의 검사영역에 대한 이미지를 결합하는 방식으로 분석이 전체적인 릴의 이미지를 형성할 수 있다.

상기한 본 발명의 개념에 따른 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법 및 그 디스플레이시스템은, 종래의 수작업에 의한 칩의 카운팅의 방식을 엑스선빔을 활용한 영상처리 방식으로 대체함으로써 정확성과 신속성이 비약적으로 향상될 수 있는 이점이 있다.

또한, 카운팅과정이 다양한 테이프릴에 대응되어 효과적으로 이루어질 수 있으면서도 사용자가 직관적으로 조작이 가능하고 편리하면서도 효율성이 우수한 이점이 있다.

이상에서, 본 발명은 실시예 및 첨부도면에 기초하여 상세히 설명되었다. 그러나, 이상의 실시예들 및 도면에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않으며, 본 발명의 범위는 후술한 특허청구범위에 기재된 내용에 의해서만 제한될 것이다.

22...칩 100...테이프릴
300...분석알고리즘 310...제1모드
311...오토모드 312...스몰모드
313...스탠다드모드 314...라지모드
320...제2모드 1100...투입부
1110...투입이송부 1111...투입구
1120...투입센서부 1200...배출부
1210...배출이송부 1211...배출구
1220...배출센서부 1300...전송부
1310...전송구동부 1320...안내부
1330...유입측창부 1340...전송측창부
1400...브라켓부 1400...브라켓부
1410...상면부 1420...체결부
1430...측벽부 1440...사면부
2000...본체부 2010...배출측버튼
2011...투입측버튼 2020...경보부
2100...메인디스플레이 2110...서브디스플레이
2200...고전압인가부 2210...엑스선발생부
2220...검출부 2310...투입측리더부
2320...배출측리더부 3000...안착부
4100...이미지표시부 4110...칩이미지
4111...릴이미지 4112...센터이미지
4200...데이터표시부 4210...릴정보부
4220...카운팅표시부 4230...판단표시부
4300...동작제어부 4310...크기제어부
4320...제어부 4321...종료부
4322...셋업부 4330...출력부
4340...등록전환부 4400...릴정보입력부
4500...등록제어부 4510...자동등록부
4511...칩개수입력부 4512...개시부
4520...감도제어부 4530...센터영역조정부
4540...알고리즘선택부 4541...제1모드부
4542...제2모드부 4550...칩정보출력부
4560...테스트카운팅부 4570...저장부

Claims

리더부를 이용하여 테이프릴의 식별코드를 입력하는 단계;
상기 식별코드가 데이터베이스에 등록되었는지 여부를 판단하는 단계;
엑스선발생부 및 검출부를 통하여 테이프릴의 평면 이미지를 스캔하는 단계;
데이터베이스에 등록된 해당 테이프릴에 대한 카운팅알고리즘을 호출하여 테이프릴에 나선형으로 배열된 칩의 개수를 카운팅하는 단계; 및
상기 카운팅하는 단계에서 카운팅된 칩의 개수를 카운팅표시부를 통하여 출력하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법.
제1항에 있어서,
상기 등록되었는지 여부를 판단하는 단계 이후에,
저장된 식별코드의 테이프릴이 카운팅 가능한지 여부를 판단하는 단계;를 더 포함하며,
카운팅 가능하지 않은 것으로 판단된 경우 데이터표시부에서 카운팅 불가로 표시하고 이미지를 스캔하지 않은 상태로 해당 테이프릴을 반송하는 것을 특징으로 하는 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법.
제1항에 있어서,
상기 등록되었는지 여부를 판단하는 단계에서 등록되지 않은 것으로 판단된 경우,
해당 테이프릴에 대한 릴정보 등록단계를 거친 이후에 카운팅 가능한지 여부를 판단하는 단계를 거치는 것을 특징으로 하는 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법.
제2항에 있어서,
상기 출력하는 단계는,
데이터표시부에서 해당 테이프릴에 대한 식별코드와, 등록여부 및 카운팅가부에 대한 결과값과, 카운팅된 칩의 개수를 함께 표시하는 것을 특징으로 하는 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법.
엑스선발생부 및 검출부를 통하여 테이프릴의 평면 이미지를 스캔하는 제1단계;
데이터베이스에 등록된 해당 테이프릴에 대한 카운팅알고리즘을 호출하여 테이프릴에 나선형으로 배열된 칩의 형태와 배열을 추출하는 제2단계;
상기 추출된 칩의 형태와 배열에서 각각의 칩의 영역을 구별하고 개수를 카운팅하는 제3단계; 및
상기 카운팅하는 단계에서 카운팅된 칩의 개수를 카운팅표시부를 통하여 출력하는 제4단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 테이프릴의 칩 카운팅방법.
반도체 테이프릴의 칩 카운팅을 위한 디스플레이시스템으로서,
엑스선발생부 및 검출부를 통하여 스캔된 테이프릴의 평면 이미지가 표시되는 이미지표시부;
리더부를 통하여 입력된 테이프릴의 식별코드를 출력하는 릴정보부와, 식별코드가 데이터베이스에 등록되었는지 여부가 표시되는 판단표시부와, 데이터베이스에서 호출된 식별코드의 카운팅알고리즘에 의하여 상기 이미지표시부의 나선형으로 배열된 칩이미지로부터 카운팅된 칩의 개수를 표시하는 카운팅표시부를 포함하는 데이터표시부; 및
카운팅의 시작 및 종료 입력을 위한 제어부 및 종료부를 포함하는 동작제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 디스플레이시스템.
제6항에 있어서,
상기 판단표시부는,
입력된 식별코드의 테이프릴이 등록되고 카운팅이 가능한 경우를 제1조건으로 출력하고, 입력된 식별코드의 테이프릴이 등록되지 않은 경우를 제2조건으로 출력하며, 입력된 식별코드의 테이프릴이 등록되었으나 카운팅이 불가능한 것으로 저장된 경우와 입력된 식별코드의 테이프릴이 등록되지 않았으나 등록하는 과정에서 카운팅이 불가능한 것으로 판단된 경우 제3조건으로 출력하는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 디스플레이시스템.
제7항에 있어서,
상기 동작제어부는,
상기 제2조건이 출력되면 해당 테이프릴의 등록을 위한 등록제어부로 전환하는 등록전환부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 디스플레이 시스템.
제6항에 있어서,
상기 이미지표시부는,
상기 호출된 식별코드의 카운팅알고리즘에 의하여 칩 카운팅시 배제되는 릴이미지와, 칩 카운팅을 위하여 칩이 배열되는 칩이미지와, 칩이 배열되는 중심측에서 칩의 배열의 중심영역인 센터이미지를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 디스플레이 시스템.
제6항에 있어서,
해당 식별코드에 대한 테이프릴의 최초 제조상태에서 칩의 총개수를 표시하는 출력부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 디스플레이 시스템.