KR101451113B1 - 테이프릴의 정렬기구 및 이를 구비한 칩카운팅장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 다양한 크기의 테이프릴을 컨베이어에 대해 정렬할 수 있도록 하는 테이프릴의 정렬기구 및 이를 구비한 칩카운팅장치에 관한 것으로, 외관을 형성하는 판 형태의 바디부 및 상기 바디부의 일측으로 다단을 이루어 배치되되 테이프릴의 외주에 대응되도록 내주의 일부가 호 형상을 이루며 상기 호는 서로 다른 반경으로 이루어지는 복수의 삽입부를 포함하며, 상기 삽입부는 서로 중심선이 일치되도록 배치되며 테이프릴의 수평방향 이송시 각각의 반경에 대응되는 테이프릴이 삽입되어 전후방향 위치를 정렬하여 타측으로 배출하는 테이프릴의 정렬기구를 제공한다. 따라서, 이송수단을 통하여 이송 전에 테이프릴의 위치를 간단한 방법으로 정확하게 정렬이 가능하다.

Description

테이프릴의 정렬기구 및 이를 구비한 칩카운팅장치{ALIGNING DEVICE OF REEL TAPE AND COUNTING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR HAVING THE SAME}

본 발명은 테이프릴에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 다양한 크기의 테이프릴을 컨베이어에 대해 정렬할 수 있도록 하는 테이프릴의 정렬기구 및 이를 구비한 칩카운팅장치에 관한 것이다.

반도체 칩은 결합공정에의 사용을 위하여, 미리 테이프릴에 포장되어 출하되어 사용되고 보관되는 것이 일반적이다.

도 1은 종래기술의 반도체 테이프릴의 사용상태를 나타내는 개념도이다.

반도체 칩은 소형이어서 개별적으로 분리되어 작업이 이루어지는 경우 작업기 까다롭고 대량생산에 부적합하기 때문에, 소정의 기판에 결합이 이루어지기 전에 필름과 같은 재질에 복수로 배열된 상태로 부착되어 사용이 이루어지게 된다.

최근에는 작업 공정의 효율성을 위하여 테이프릴의 형태로 생산이 되는데, 반도체 칩이 테이프(20)에 열을 지어 배열된 상태로 결합되고, 이러한 테이프(20)가 대략 원형의 테이프릴(10)에 권취되어 보관 및 사용이 이루어진다.

도면에 도시된 바와 같이 회전 가능하도록 배치되는 테이프릴(10)로부터 테이프(20)가 인출되면서 반도체 칩의 검사 또는 결합이 완료되고 이러한 테이프(20)는 타측에 배치되는 더미릴(30)에 권취될 수 있다.

대한민국 공개특허 제10-2006-0036214호는, 완성된 반도체 패키지가 수납되는 포켓(pocket)을 갖는 캐리어 테이프(carrier tape)를 공급하는 캐리어 테이프 공급릴(supply reel)과, 그 반도체 패키지를 그 포켓에 수납시키는 픽커(picker)와, 그 반도체 패키지를 밀봉하도록 상기 캐리어 테이프에 부착되는 커버 테이프(cover tape)를 공급하는 커버 테이프 공급릴과, 그 커버 테이프를 그 캐리어 테이프상에 압착(壓着)시키는 압착수단과, 그 반도체 패키지가 수납되어 밀봉 완료된 캐리어 테이프를 감아내는 캐리어 테이프 권취릴(捲取 reel)을 포함하는 커리어 테이프를 이용한 반도체 패키지의 포장 장치를 공개하고 있다.

이러한 테이프릴은 개별로 이송되어 각각의 반도체 공정에서 필요한 수만큼 사용되고 보관된다.

종래에는 반도체 테이프릴이 개별적으로 탈착되어 사용되었기 때문에 시계열적으로 다수의 테이프릴을 이송하는 공정에 관하여는 개시하고 있지 않다.

그러나, 최근 기술발전에 따라 공정의 속도가 증가되고 검사 또는 반도체결합공정 등에서 다수의 테이프릴을 연속적으로 사용하여야할 수 있고, 이러한 경우 원반형의 테이프릴을 소정의 이송수단에 정렬하여 공급할 필요성이 있다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 테이프릴을 이송수단이 위치시켜 이송함에 있어서 정확한 위치에 용이한 방법으로 정렬할 수 있는 테이프릴의 정렬기구를 제공하는 데 목적이 있다.

또한, 본 발명은 반도체 칩이 테이프 상에 배열되어 릴에 권취된 상태에서 즉시적이고 정확하게 반도체 칩의 개수를 카운팅할 수 있도록 함으로써 생산공정상에서의 효율성이 현저하게 향상될 수 있는 칩카운팅장치를 제공하는 데 목적이 있다.

본 발명은, 외관을 형성하는 판 형태의 바디부; 및 상기 바디부의 일측으로 다단을 이루어 배치되되 테이프릴의 외주에 대응되도록 내주의 일부가 호 형상을 이루며 상기 호는 서로 다른 반경으로 이루어지는 복수의 삽입부;를 포함하며, 상기 삽입부는 서로 중심선이 일치되도록 배치되며 테이프릴의 수평방향 이송시 각각의 반경에 대응되는 테이프릴이 삽입되어 전후방향 위치를 정렬하여 타측으로 배출하는 테이프릴의 정렬기구를 제공한다. 따라서, 이송수단을 통하여 이송 전에 테이프릴의 위치를 간단한 방법으로 정확하게 정렬이 가능하다.

상기 삽입부는, 타단측이 이송수단을 마주보도록 하향경사지게 배치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 바디부는, 타단측 저면이 이송수단의 상면에서 이격되도록 배치되는 것이 바람직하다.

상기 삽입부는, 타측으로 하향경사진 경사면부와, 경사면부의 하단측엣 하방으로 연장되어 테이프릴의 외주가 접촉되는 단턱부와, 테이프릴의 저면이 안착되는 안착면부로 이루어질 수 있다.

또한, 상기 삽입부는, 단턱부가 타측으로 연장되어 테이프릴의 이송수단에 의한 인출시 직선이동이 가이드될 수 있도록 평면상 직사각 형상으로 이루어지는 연장부를 더 구비할 수 있다. 따라서, 이송수단에 완전히 안착되기 전에 전후방향의 유동을 방지할 수 있다.

또한, 상기 바디부와 이송수단의 사이에 개재되며, 측면상 타측으로 갈수록 높이가 작아지는 형상의 경사제공부를 더 포함할 수 있다.

상측에 배치되는 상측삽입부는 직경이 380mm인 반도체 테이프릴에 대응되는 반경의 호 형상으로 이루어지고, 하측에 배치되는 하측삽입부는 직경이 180mm인 반도체 테이프릴에 대응되는 반경의 호 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다.

한편, 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 테이프릴의 정렬기구를 구비하는 칩카운팅장치로서, 반도체 테이프릴이 수평한 상태로 일측으로부터 타측으로 이송되고, 테이프릴에 엑스선을 조사하는 엑스선발생부와, 검출부와, 검출부에서 검출된 이미지에서 칩의 개수를 카운팅하는 카운팅부를 구비하는 본체부; 상기 테이프릴의 정렬기구가 입구측에 배치되고 본체부로 테이프릴을 유입시키는 투입부; 상기 본체부로부터 테이프릴을 전달받아 배출하는 배출부 및 상기 검출부에서 검출된 이미지와 카운팅부에서 카운팅된 개수를 표시하는 디스플레이부를 포함할 수 있다. 따라서, 정확한 칩의 잔여수량의 확인이 가능하다.

상기 엑스선발생부는, 나선형으로 배열되는 칩이미지간에 반경방향의 간섭을 방지하기 위하여 전후방향으로 긴 형태의 라인빔을 테이프릴의 상측에서 조사할 수 있다.

본 발명의 정렬기구는 이송수단의 투입측에 간단한 방식으로 배치되면서도 다양한 크기의 테이프릴을 단순 삽입하는 과정만으로도 정확한 정렬이 가능하므로 구조의 단순성과 이송의 정확성이 향상되는 이점을 가진다.

본 발명에 따른 반도체 테이프릴의 칩 카운팅 시스템 및 그 방법은, 종래의 수작업에 의한 칩의 카운팅의 방식을 엑스선빔을 활용한 영상처리 방식으로 대체함으로써 정확성과 신속성이 비약적으로 향상될 수 있고, 분석에 필요한 인력과 조작자의 동선을 최소화할 수 있는 구조를 가지므로 작업의 효율성이 향상되는 효과가 있다.

도 1은 종래기술의 엑스선 검사장비를 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명의 테이프릴의 정렬기구를 나타내는 평면도.
도 3은 본 발명의 테이프릴의 정렬기구가 사용되는 상태를 타나내는 도면.
도 4는 본 발명의 테이프릴의 정렬기구를 나타내는 측단면도.
도 5는 본 발명의 개념에 따른 칩 카운팅 시스템을 나타내는 개념도.
도 6은 도 5의 칩 카운팅 시스템에 의해 구현된 영상을 도시한 도면.
도 7은 본 발명에 따른 반도체 칩카운팅장치를 나타내는 사시도.
도 8은 도 7의 투시 평면도.
도 9는 본 발명의 칩카운팅장치에서 디스플레이에 나타나는 정보를 나타내는 도면.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 테이프릴의 정렬기구 및 이를 구비한 칩카운팅장치를 더욱 상세하게 설명한다.

본 발명은 기본적으로, 원반 형태의 테이프릴의 일부가 삽입되어 안착되고 이송수단에 인접되어 배치되는 정렬수단을 제공한다.

본 발명의 설명에서는 이러한 테이프릴이 반도체 칩이 결합된 상태의 테이프를 권취한 경우를 예로 설명하나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

또한, 상기 이송수단은 컨베이어의 이송면을 예로 설명하나, 무한궤도, 로봇 이송수단, 이송을 위한 트레이(tray) 또는 아암(arm) 방식 등의 다양한 이송수단을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

도 2는 본 발명에 따른 테이프릴의 정렬기구를 나타내는 평면도이다.

본 발명은, 외관을 형성하는 판 형태의 바디부(3100)와, 상기 바디부의 일측으로 다단을 이루어 배치되되 테이프릴의 외주면에 대응되도록 내주의 일부가 호 형상을 이루며 상기 호는 서로 다른 반경으로 이루어지는 복수의 삽입부를 구비하여 이루어진다.

도면에 도시된 사항을 기준으로, 정렬기구(3000)는 일측에서 상면이 대략 평판 형태로 이루어지며 타측으로 갈수록 하향 단차진 복수의 삽입부가 구비되는데, 타측이 이송수단에서 테이프릴이 안착되는 상면을 지향하여 배치된다.

상기 삽입부들은, 호 형상의 단차를 구비하며 가장 외곽측, 즉 일측이 반경이 가장 큰 호 형상을 포함하는 상측삽입부(3400)가 배치되고, 가장 내곽측, 즉 타측이 반경이 가장 작은 호 형상을 포함하는 하측삽입부(3300)가 배치된다.

이러한 삽입부들의 형태를 더욱 구체적으로 살펴보면, 각각의 삽입부가 하향 단차지도록 배치되므로 각각 홈 형태를 이루며 내주측이 소정의 단차진 내벽을 구비하게 된다. 이러한 홈의 저부는 각각 내벽의 형태에 대응되는 테이프릴의 저면을 마주보도록 배치되는데, 이렇게 삽입부에 삽입되는 테이프릴의 타측의 저면의 최소한 일부는 이송수단의 상면에 접촉되어 마찰력을 제공받는다.

본 발명의 개념에서 정렬기구(3000)는 테이프릴의 타측을 삽입하여 이송수단에 대해 정렬하면 족하므로 정렬이 완료되면 이송수단과의 마찰력에 의하여 타측으로 이동되어 소정의 장비로 투입되는 것이다.

이러한 정렬의 목적을 달성하기 위하여 각각의 삽입부의 호 형태들은 동심원의 일부로서 이루어질 수 있고, 따라서 정렬기구(3000)는 전체적으로 바디부(3100)의 양측 중심선을 기준으로 전후방으로 대칭되는 형상으로 형성된다.

다만, 상기 호 형태의 삽입부의 배치는 양측방향으로 소정의 간격을 두고 이루어질 수 있는데, 간격이 멀거나 가까운 경우 동심원을 이루지 않을 수 있으며, 최소한 양측방향으로의 가상의 중심선은 일치되는 조건이 요구된다. 여기서, 중심선이란 각각의 삽입부에 대해 전후방향의 중심에서 양측을 연장하는 가상의 직선을 의미한다.

이때, 상기 호 형상들은 타측으로의 인출을 원활하게 수행할 수 있도록 반원 이하, 즉 호 형상의 단부측을 연결하는 각도가 90도 이하로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 타측으로 수평방향 이동시의 안내가 가능하도록 호 형상의 단부측에서는 내벽인 단차가 양측방향으로 이어지는 직선 형태로 이루어지는 것이 더욱 바람직하다.

상기 개념에 따라, 삽입부는 일측의 호 형상과 타측의 직사각 형상이 결합된 형태로 형성되는 것이다. 즉, 일측의 호 형상은 테이프릴의 센터링의 기능을 수행하며, 타측의 직사각 형상은 연장부(3500)로서 타측으로 이동시 가이드 역할을 수행하게 된다.

상기 삽입부들이 호 형상으로만 이루어지는 경우 정렬기구(3000)에서 완전히 이탈되기 전에 이송수단과의 마찰력에 의한 이송 과정에서 실질적으로 테이프릴의 저면의 타측만이 접촉된 상태에서 이송이 이루어지는데, 내벽과의 접촉의 해제시에 유격이 발생하게 되어 미묘한 마찰력의 차이에 따라 양측으로의 정확한 직선이동이 어려운 문제를 야기할 수 있다. 상기된 연장부(3500)는 정렬기구(3000)에서 테이프릴이 완전히 이탈되어 이송수단의 상면에 안착되기까지 정확한 위치를 잡아주는 이점을 가짐에 유의하여야 한다.

이러한 정렬기구(3000)의 작동은 조작자에 의하여 최초 실질적으로 테이프릴을 삽입부측으로 하향이동되고, 정렬이 완료된 이후에 이송수단에 의하여 수평이동이 이루어지는데, 삽입부의 내주면과 테이프릴의 외주면이 거의 일치되는 경우 삽입이 사실상 어려운 문제가 발생될 수 있다. 이를 위하여 각각의 삽입부의 상단부측, 즉 상측의 삽입부와의 연결부위는 모따기 형태로 이루어져 경사면부(3210)를 이루는 것이 바람직하다.

이러한 경사면부(3210)는 테이프릴의 원활한 삽입이 가능하도록 한다. 이에 대한 더욱 구체적인 설명은 도 4의 설명에서 후술하도록 한다.

한편, 상기 바디부(3100)는 상하를 관통하여 소정의 체결홀(3111)을 구비할 수 있으며, 이러한 체결홀(3111)의 형태, 개수와 배치는 선택적으로 이루어질 수 있다. 이러한 체결홀(3111)은 소정의 체결부재가 삽입되어 이송수단측에 고정될 수 있도록 기능하게 된다.

도 3은 본 발명의 반도체 테이프릴의 카운팅장치에서 투입부의 정렬기구의 작동상태를 도시한 사시도이다.

이송수단은 투입이송부(1110)로 정의되고, 이러한 이송수단은 컨베이어로 이루어지는 예에서, 상기된 정렬기구(3000)가 투입이송부(1110)의 일측에서 상방으로 배치된다.

도시된 사항에서는 삽입부가 4개의 서로 다른 직경으로 이루어져 배열되고, 가장 작은 하측삽입부(3300)에서 정렬된 상태를 나타낸다. 이하 설명에서의 방향은 도 2를 기준으로 통일하여 설명하도록 한다.

조작자는 테이프릴(100)을 든 상태에서 하방 및 일측으로 소정의 압력을 가한 상태로 하측삽입부(3300)의 내벽에 테이프릴(100)의 외주를 밀착시키면 자연스럽게 정렬이 이루어진다.

이 상태에서 테이프릴(100)의 타측 저부는 투입이송부(1110)의 상면에 접촉되고, 손가락의 압력을 해제하면 마찰력에 의하여 타측으로 견인되어 정렬기구(3000)에서 완전하게 이탈되면 테이프릴(100)이 완전하게 투입이송부(1110)의 중심선을 따라 안착되어 소정의 장비로 이동할 수 있다.

도 4는 도 3의 배치상태를 측면에서 바라본 측단면도이다.

상기한 바와 같이 투입이송부(1110)는 컨베이어의 예를 나타내고, 그 일측으로 정렬기구(3000)가 상측으로 배치된다.

이때, 정렬기구(3000)는 타측을 향하여 하향경사지도록 배치되는 것이 바람직한데, 이러한 경우 정렬이 완료된 이후의 인출은 투입이송부(1110)와의 마찰력 및 테이프릴(100)의 자중에 의하여 이루어지므로 더욱 원활하게 이송될 수 있다.

또한, 상기 정렬기구(3000)의 타측 단부의 저면은 이송수단으로부터 상측으로 이격되는 것이 바람직한 바, 본 발명의 예에서는 각각의 삽입부들이 호 형상을 이루고 단차지어 배치되기 때문에 소정의 높이를 가지게 되고, 단순히 수평하게 배치하는 경우는 이송수단과의 접촉이 사실상 불가능해지는 문제를 가지며 경사를 가지고 밀착 배치되는 경우 사실상 삽입부와 테이프릴(100)의 접촉은 일측의 내벽의 일부에서만 이루어질 수밖에 없으므로 정렬의 확실성을 위하여 삽입부에의 테이프릴의 정확한 삽입 상태에서 테이프릴의 저면이 삽입부의 저부에 완전히 밀착할 수 있는 정도의 경사와 이격 간격을 가지는 것이 바람직한 것이다.

각각의 삽입부들이 경사면부(3210)를 구비하는 것이 바람직함은 상기한 바와 같다. 측단면상의 구조를 더욱 정확하게 설명하면, 삽입부는 상측으로부터 하향경사진 경사면부(3210)와, 상기 경사면부(3210)의 하단측에서 하방으로 이어지며 내벽을 형성하는 단턱부(3220)와, 저부에서 테이프릴(100)이 삽입 및 안착되는 안착면부(3230)로 이루어진다.

여기서, 테이프릴(100)의 반경에 대응되는 정렬기구(3000)의 부위는 경사면부(3210)가 아닌 단턱부(3220)임에 유의하여야 한다. 상기 경사면부(3210)는 해당 삽입부에 삽입되는 테이프릴(100)의 반경보다 더 큰 반경을 가지게 된다.

테이프릴(100)의 배치상태에 따라 안착면부(3230)는 테이프릴(100)의 저면이 전체적으로 밀착되는 것은 아니다.

도 2를 참고하면, 각각의 안착면부(3230)들은 테이프릴의 저면에 대응되는 반경을 가진 원의 일부의 형태를 구비하는데, 하측삽입부(3300)는 안착면부(3230)가 원이 전후방으로 잘린 면과 직사각형이 결합된 형태로 형성되나 상측삽입부(3400)를 포함하는 다른 삽입부들은 전체적으로 호 형태와 그 단부측에 배치되는 두 개의 직사각형의 형태를 가짐을 확인할 수 있다. 이러한 형태는 본 발명의 다단으로 배치되는 개념으로 도출되는 형상이다.

바디부(3100)는 소정의 체결홀(3111)을 구비할 수 있고, 이에 체결부재(3110)가 삽입되어 이송수단의 부위에 고정되도록 할 수 있다. 다만, 상기 바디부(3100)가 소정의 돌기 또는 홈을 가지고 이송수단의 대응되는 부위에 이에 결합되는 홈 또는 돌기를 가진 경우도 본 발명의 개념에 포함된다.

한편, 상기와 같이 정렬기구(3000)는 타측으로 하향 경사지되 이송수단의 상면에서 소정 간격 이격되는 것이 바람직함은 상기한 바와 같다.

따라서, 바디부(3100)의 하측에는 측단면상 타측으로 높이가 작아지는 형태의 경사제공부(3120)가 이송수단과의 사이에 개재되어 배치될 수 있다.

또한, 상기 경사제공부(3120)는 바디부(3100)의 일부로서 이루어질 수 있는데, 이러한 경우 바디부(3100)는 상술한 평판 형태의 예와 달리 타측으로 갈수록 높이가 점점 감소되는 형태로 형성된다.

이러한 정렬기구(3000)의 다단형태의 삽입부들은 선택에 따른 형상과 개수로 이루어질 수 있는데, 아래에 설명될 반도체 테이프릴의 경우 당업계에서 대략 180mm 내지 380mm의 규격을 사용함을 고려하여 하측삽입부(3300)의 호의 반경이 90mm에 대응되도록 이루어지고, 상측삽입부(3400)의 호의 반경이 190mm에 대응되도록 이루어질 수 있다. 여기서, 대응의 의미는 테이프릴(100)의 반경과 동일한 것이 아닌 삽입이 가능할 정도의 유격을 가지는 것을 의미하는 바, 동일한 영역과 수mm 가량 더 큰 영역을 포함하는 개념으로 이해됨에 유의한다.

또한, 반도체 테이프릴에서 상기 다단의 개수는 4개로 이루어지는 것이 바람직하나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

또한, 상기 경사면부(3210)는 상측에 배치되는 삽입부의 안착면부(3230)와의 관계를 고려하여 45도 각도로 형성되는 것이 바람직하나 반드시 이에 한정되지 않는다.

상기된 본 발명의 정렬기구(3000)는 이송수단의 투입측에 간단한 방식으로 배치되면서도 다양한 크기의 테이프릴을 단순 삽입하는 과정만으로도 정확한 정렬이 가능하므로 구조의 단순성과 이송의 정확성이 향상되는 이점을 가진다.

한편, 종래기술에서 반도체 테이프릴의 경우 감각적으로 대략적인 개수를 가늠하거나 도 1과 같이 테이프릴을 풀고 권취하는 과정에서 개별적으로 확인하는 방식 밖에 존재하지 않아 칩의 개수의 확인이 부정확하거나 시간이 지나치게 많이 소요되는 비경제성이 발생하였다.

최근에는 하나의 공정에서 생산하는 전자제품이 다양해지고 대량생산의 추세에 따라 테이프릴의 교체와 소모가 빨라 잔여되는 칩 개수의 정확한 확인은 전체적인 공정의 효율성을 위하여 당면의 과제가 된다.

도 5는 이를 해결하기 위하여 제안되는 반도체 테이프릴의 칩 카운팅 시스템을 나타내는 개념도이다.

본 발명은 기본적으로 엑스선발생부(2210), 테이프릴(100)을 안착하며 이동가능한 이송수단(200) 및 상기 엑스선발생부(2210)에 대향되어 배치되는 검출부(미도시)를 포함하여 이루어진다.

상기 검출부는 엑스선발생부(2210)로부터 조사되어 피사체인 테이프릴(100)을 투과한 엑스선 빔을 검출할 수 있는 장치라면 다양한 장치가 적용될 수 있다.

이러한 테이프릴(100)은 대략 원반형상으로 이루어지고 이송수단(200)에 상에서 평행하게 안착된 상태로 칩의 카운팅이 이루어질 수 있다.

엑스선발생부(2210)는 상기 테이프릴(100)의 상측에서 하방으로 엑스선빔을 조사하여 이를 투과한 엑스선빔이 하측에 배치되는 검출부에서 감지될 수 있는데, 일반적으로 테이프릴(100)에서 칩(22)의 엑스선빔 투과율이 가장 낮기 때문에 그레이스케일(gray scale)값의 차이에 의하여 테이프릴(100)에 권취된 테이프에 배치되는 칩의 개수를 카운팅할 수 있게 된다.

더욱 구체적으로는, 테이프릴(100)에 권취된 상태에서의 칩(22)들은 서로 소정 간격 이격되어 테이프(20)에 결합되고, 검출부에서 검출된 엑스선빔은 후술될 바와 같이 영상구현부에서 이미지로 구현될 수 있는데, 이때 칩(22)이 배열된 부위에 해당되는 이미지가 가장 어둡게 표현될 수 있고, 이러한 칩(22)에 해당되는 이미지의 그레이스케일 값을 특정하면 해당 칩(22)들은 도트나 작은 영역의 이미지의 형식으로 구현되고 이러한 도트 또는 이미지를 카운팅함으로써 칩의 개수를 파악할 수 있게 되는 것이다. 다만, 경우에 따라 칩(22)에 해당되는 이미지가 다른 부위보다 밝게 표현될 수도 있음은 물론이다.

종래에는 상기한 바와 같이 테이프릴(100)의 사용 간에 보관이나 사용 중지의 필요성이 존재하는 경우에 잔여 칩의 개수를 파악하기 위하여서는 불가피하게 테이프(20)를 테이프릴(100)로부터 인출하여 일일이 수작업을 통하여 확인을 하였는바, 본 발명의 개념에 따른 경우 테이프(20)가 권취된 상태에서의 카운팅이 가능하므로 정확성이 향상되면서도 편리한 이점이 있음에 유의하여야 한다.

도 6은 상기된 반도체 테이프릴의 칩 카운팅 시스템에 의한 테이프릴의 이미지가 구현된 모습을 나타내는 도면이다.

상기한 바와 같이 테이프릴(100)은 이송수단(200) 상에서 수평으로 배치되고, 상측에서 조사되는 엑스선빔에 의하여 검출부에 의하여 감지되어 서로 다른 투과율에 의한 그레이스케일 값에 의하여 영상이 구현될 수 있다.

이와 같이 검출부에서 감지된 감지신호는 후술될 바와 같은 소정의 영상구현부를 통하여 구현될 수 있는데, 이러한 영상구현부는 반드시 시각적으로 확인될 수 있는 디스플레이장치를 의미하는 것은 아님에 유의하여야 한다. 즉, 본 발명에서 주요한 값은 엑스레이의 투과에 의하여 감지된 칩의 개수에 있으므로, 이러한 칩의 개수를 카운팅할 수 있는 것이라면 이러한 영상구현부는 알고리즘 상에서 구현되는 가상의 형태일 수 있고, 이러한 알고리즘에서는 칩(22)에 해당되는 그레이스케일 값의 범위를 지정하여 각각의 칩(22)이 나타내는 도트의 개수를 카운팅하여 사용작에게 제공하면 족하다.

상기와 같이 영상구현부에 의하여 구현되는 영상은 릴이미지(4111)와 칩이미지(4110)일 수 있는데, 일반적으로 엑스선빔에 의하여 검출되는 영상의 이미지는 칩을 투과한 칩이미지(4110)에서 더 어둡게 나타날 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

본 발명에서 미도시된 소정의 제어부는 이러한 영상을 통하여 소정의 그레이스케일 값의 범위를 지정하고 이러한 칩이미지(11)에 해당되는 그레이스케일 값에 해당되는 도트의 개수를 카운팅하여 칩의 개수를 사용자에게 제공할 수 있다.

여기서, 상기 도트의 의미는 하나의 화소에서 구현되는 도트를 의미하는 것이 아니라, 비교적 연속적으로 분포되는 하나의 칩이미지(4110)에 해당되는 이미지의 영역을 의미하는 것으로 이해되어야함에 유의하여야한다.

그런데, 이상적인 경우 엑스선빔이 테이프릴(100)의 배치에 대해 수직방향으로 조사되는 경우는 이러한 칩이미지(4110)가 각각의 칩에 대응될 수 있으나, 실제적으로는 하나의 칩(22)과 반경방향 또는 원주방향으로 배치되는 다른 칩의 이격되는 거리가 가깝고 특정 부위를 제외하고는 엑스선빔이 테이프릴(10)의 법선방향 즉, 축방향에 대해 소정의 경사를 가지고 조사되기 때문에 이미지의 중첩이 발생될 우려가 있다. 이러한 이미지의 중첩은 빔의 하향 진행되는 과정에서 확산되기 때문에 발생되는 것이다.

이에 따라, 엑스선빔의 조사영역 또는 감지영역의 제한의 필요성이 존재한다. 이를 위하여, 엑스선발생부(2210)는 라인빔 형태로서 조사될 수 있다. 바람직하게는 이러한 엑스선발생부(2210)는 테이프릴(100)에 대해 반경방향으로 긴 형태로 배치되며, 테이프릴(100)과 엑스선발생부(2210)가 상대적으로 이동하는 과정에서 빔의 영역을 테이프릴(100)이 통과하는 과정에서 영상의 수집이 이루어진다. 후술될 바와 같이 상기 엑스선발생부(2210)는 테이프릴(100)이 양측의 수평방향을 따라 이동할 때 전후방으로 긴 형태로 배치되는 것이 바람직하다.

도 7은 상기된 본 발명의 칩카운팅장치의 바람직한 실시예를 나타내는 사시도이다.

본 발명의 반도체 테이프릴의 카운팅장치는 기본적으로, 테이프릴(100)이 수평하게 배치된 상태로 내부로 이송되면서 칩의 카운팅이 가능하도록 엑스선을 발생하는 엑스선발생부와 검출부를 구비하는 본체부(2000)와, 상기 본체부(2000)의 일측에 배치되어 테이프릴(100)을 유입이송하는 투입부(1100)와, 상기 본체부(2000)의 타측으로 테이프릴(100)을 배출하는 배출부(1200)와, 상기 본체부(2000)와 연결되어 엑스선 영상을 표시하는 메인디스플레이(2100)를 포함하여 이루어진다.

상기 본체부(2000)는 내부에 고전압발생부와, 고전압발생부의 전력을 입력받아 엑스선을 방출하는 엑스선발생부(2210)가 배치되며, 테이프릴(100)의 이송되는 부위를 사이에 두고 엑스선발생부(2210)를 바라보도록 배치되는 검출부를 포함하는데, 테이프릴(100)의 인입출을 위한 양측의 개구를 제외하고는 엑스선의 차폐를 위하여 전체적으로 외부와 차폐된 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.

따라서, 이러한 본체부(2000)는 하우징(참조번호 미표시)에 의하여 감싸여진 형태로 이루어지고, 유지보수를 위하여 개폐되는 소정의 도어를 구비할 수 있는데 이러한 도어는 후방측에 배치될 수 있다.

상기 투입부(1100)는 본체부(2000)의 일측의 개구와 연통되어 이루어질 수 있고, 투입이송부(1110)가 배치되어 투입부(1100)의 입구측에서의 테이프릴(100)을 자동적으로 본체부(2000)의 내부로 유입시킬 수 있도록 작동한다.

이러한 투입이송부(1110)는 컨베이어 형식으로 이루어질 수 있으며, 투입부(1100) 및/또는 본체부(2000)에는 투입이송부(1110)에의 동력을 제공하기 위한 동력부(미도시)가 배치될 수 있다.

또한, 상기 투입이송부(1110)는 연속적인 테이프릴(100)의 이송을 위하여 본체부(2000) 내부로 연장되는 형태로 배치되며 경우에 따라 배출이송부(1210)와 전체적으로 하나의 장비로서 이루어질 수도 있다.

상기 투입부(1100)의 입구측에는 테이프릴(100)의 정렬을 위한 상기 정렬기구(3000)가 구비되고, 이러한 정렬기구(3000)는 투입이송부(1110)의 대략 폭방향 중심측에 테이프릴(100)을 위치하도록 함으로써 엑스선발생부(2210)와 검출부의 정확한 위치에 테이프릴(100)이 이송간에 배치될 수 있도록 기능한다.

여기서, 투입시의 정렬기구(3000)에 의한 테이프릴(100)의 정렬은 정확한 분석을 위하여 더욱 의미를 가진다. 즉, 본 발명에서는 이미지의 간섭을 최소화하기 위하여 전후방으로 긴 라인빔 형태의 엑스선빔을 사용하기 때문에 수평방향으로 투입되는 테이프릴(100)의 중심을 실질적으로 투입이송부(1110)의 중심선에 맞추는 작업이 요청된다. 상기한 바와 같이 테이프릴들은 저마다 다른 크기와 규격을 가지기 때문에 조작자가 눈대중으로 테이프릴(100)을 정확한 위치에 위치시키는 것은 사실상 불가능한 문제를 간단한 구조로서 해소하는 것이다.

배출부(1200)는 엑스선빔을 통한 검사가 완료된 테이프릴(100)이 본체부(2000)의 타측으로 배출될 때 수거가 가능하도록 배출시키도록 배출이송부(1210)를 구비하며, 투입이송부(1110)와 배출이송부(1210)가 직렬로 연결된 상태에서 일측으로의 투입 및 타측으로의 배출이 이루어질 수 있다.

다만, 실질적으로 투입과 배출시의 수거는 조작자가 수작업으로 이루어짐을 고려할 때, 본체부(2000)를 기준으로 일측에 투입부(1100)가 배치되고 타측에 배출부(1200)가 배치되는 경우 다수의 테이프릴(100)에 대한 검사가 이루어질 때 두 명 이상의 조작자가 배치되거나 한 명의 조작자가 양측을 이동하면서 작업이 이루어지게 된다. 그러나, 이러한 경우 인력이 추가적으로 소요되거나 작업시간이 추가로 소요되는 문제를 야기하기 때문에 이를 해소할 방안이 요청된다.

이를 위하여 투입부(1100)의 투입구와 배출부(1200)의 배출구는 위치가 인접될 수 있다. 구체적으로, 상기 투입부(1100)가 일측으로 배치될 때, 배출부(1200)는 본체부(2000)의 타측에 연결되되 테이프릴(100)의 이송경로가 타측으로부터 다시 일측으로 형성될 수 있도록 배치될 수 있고, 도면에 도시된 바와 같이 배출부(1200)가 본체부(2000)의 타측에서 개시되어 본체부 전방의 일측으로 연장되는 형태로 형성되는 것이 바람직하다.

이러한 배출부(1200)는 후술할 바와 같이 본체부(2000)와 전송부에 의하여 연결이 이루어질 수 있다.

상기의 구조를 가짐에 따라 한 명의 조작자가 본체부(2000)의 전방 일측의 모서리부위에 인접하여 위치하고 투입, 조작 및 배출의 작업이 위치를 이동하지 않은 상태에서 가능한 것이다.

상기 본체부(2000)는 엑스선장비에 의한 검사의 결과와 조작상태를 시각적으로 확인할 수 있도록 전방측에 메인디스플레이(2100)를 구비할 수 있다. 이러한 메인디스플레이(2100)는 사용상의 편리성을 고려하여 터치패널을 구비하는 화상표시장치로서 이루어지는 것이 바람직하나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

그런데, 메인디스플레이(2100)가 전방측에만 구비되는 경우 조작자가 본체부(2000)의 일측에서 투입을 위한 조작시 현재 장비의 상태를 확인하기 어려운 문제가 있고, 이를 위하여 본체부(2000)의 일측에는 추가적인 서브디스플레이(2110)가 구비될 수 있다.

이러한 서브디스플레이(2110)는 기본적으로 일측에서 투입동작시의 확인의 편리성을 제공하기 위함인 바, 메인디스플레이(2100)와 실질적으로 동일한 정보를 제공할 수 있다. 따라서, 상기 서브디스플레이(2110)는 터치패널을 구비하지 않고 화상출력만 이루어지면 족하다.

상기 서브디스플레이(2110)는 일측을 지향하도록 배치되는데, 도면에 도시된 바와 같이 조작자가 전방 일측 모서리 부위에 위치함을 고려하여 본체부(2000)에 대해 전방으로 회동 가능하도록 배치되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 조작시 측방 및 전방에서 서브디스플레이(2110)의 확인이 어느 정도 가능할 수 있다.

한편, 본 발명은 컨베이어 형태의 이송부가 구비되며 테이프릴(100)이 연속적으로 작업될 수 있기 때문에 검사시의 오류 또는 장비의 문제가 발생하였을 경우 투입 또는 배출 과정에서 비상정지를 위한 수단을 구비하는 것이 바람직하고, 이를 위하여 비상버튼이 구비될 수 있다.

이러한 비상버튼은 본체부(2000)의 전방측에 구비되는 배출측버튼(2010)으로 이루어질 수 있고, 상기한 바와 같이 투입부(1100)측에 인접되어 추가적인 투입측버튼(2011)이 구비될 수 있다.

또한, 외부 또는 원격으로 작업상태 또는 이상상태를 확인할 수 있도록 발광 또는 소리발생 수단으로 이루어지는 경보부(2020)를 더 구비할 수 있다.

본체부(2000)는 상기된 알고리즘의 동작이 가능하도록 소정의 제어부(미도시)를 구비할 수 있는데, 이러한 제어부는 실질적으로 테이프릴의 이미지에서 칩을 추출하여 칩영역의 개수를 카운팅하는 카운팅부(미도시)로 이루어질 수 있다. 여기서, 구비한다는 것은 반드시 내부에 포함되는 것만을 한정하는 것은 아니며 전기적으로 연결되는 상태를 포함하는 것으로 이해되어야 함에 유의한다.

이러한 카운팅부는 후술될 바와 같이 테이프릴(100)의 유형에 따라 선택된 최적의 알고리즘에 의하여 칩의 구별 및 카운팅을 수행하게 된다.

도 8은 본 발명의 반도체 테이프릴의 카운팅장치를 나타내는 평면도로서, 대략적인 내부구조를 함께 투시하여 도시한다.

상기한 바와 같이 투입부(1100)의 투입구와 배출부(1200)의 배출구가 일측으로 인접되어 위치되는 경우 도시된 바와 같이 후방측에는 일측으로부터 투입부(1100) 및 본체부(2000)가 구비되고 전방측에는 타측으로부터 일측으로 연장되는 배출부(1200)가 구비된다.

투입부(1100), 본체부(2000) 및 배출부(1200)가 직렬로 연결되는 경우 이송경로의 전환이 불필요하므로 하나의 컨베이어장치에 의하여 작동될 수 있으나, 상기된 실시예의 경우는 방향의 전환을 위한 추가적인 수단이 필요하다.

따라서, 본체부(2000)의 타측과 배출부(1200)의 타측에서 테이프릴(100)을 전달할 수 있는 전송부(1300)가 추가적으로 배치될 수 있다.

이러한 전송부(1300)는 투입이송부(1110) 및 배출이송부(1210)와 같이 컨베이어 형태로 이루어지는 경우를 고려해볼 수 있는데, 정확하지 않은 전달의 가능성이 존재하고, 이를 위하여 상기 전송부(1300)는 소정의 얼라인 기능을 수행하는 브라켓부가 전후방향으로 배치되는 암을 따라 직선운동하는 방식으로 작동되는 것이 바람직하다. 이러한 전송부의 작동은 도 8의 설명에서 후술하도록 한다.

상기 본체부(2000)는 고전압인가부(2200)와 엑스선발생부(2210) 및 검출부를 구비하는데, 상기한 바와 같이 칩의 배열에 따른 이미지의 간섭 가능성을 고려하여 라인빔을 방출하는 엑스선발생부(2210)가 배치되는 것이 바람직하다.

이를 위하여 엑스선발생부(2210)는 전후방으로 긴 형상으로 이루어지고, 검출부 또한 이에 대응되는 형상으로 이루어질 수 있다.

상기 엑스선발생부(2210)에 고전압을 인가하기 위한 고전압인가부(2200)는 선택된 위치에 배치될 수 있으며, 전자기파의 간섭을 최대한 저감할 수 있도록 후방측에 배치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 투입부(1100)측에는 시스템이 테이프릴(100)의 투입여부를 확인할 수 있도록 투입센서부(1120)가 배치될 수 있다. 이러한 투입센서부(1120)는 컨베이어인 투입이송부(1110)를 사이에 두고 전후방으로 대응되어 배치되는 광발생수단 및 광감지수단일 수 있으며, 상기 광은 적외선 또는 가시광선 등의 다양한 파장을 가진 전자기파를 포함할 수 있다.

마찬가지로, 배출부(1200)측에는 시스템이 테이프릴(100)의 배출여부를 확인할 수 있도록 배출센서부(1220)가 배치될 수 있으며, 컨베이어인 배출이송부(1210)를 사이에 두고 전후방으로 배치될 수 있다.

이러한 투입센서부(1120) 및/또는 배출센서부(1220)의 감지신호는 투입이송부(1110) 및/또는 배출이송부(1210)의 작동 또는 중단을 위한 정보로 활용될 수 있는데, 예를 들어 연속적인 테이프릴(100)의 검사가 진행되는 경우 배출시 조작자의 확인 및 라벨의 부착 등의 과정을 위한 시간의 지연이 필요할 수 있고 배출센서부(1220)에서 테이프릴(100)이 감지되면 배출이송부(1210)의 작동을 소정 시간 또는 조작의 입력이 있을 때까지 중단하고 대기하도록 설정할 수 있다.

상기한 바와 같이 본체부(2000)는 투입부(1100)측에서의 추가적인 화상표시수단인 서브디스플레이(2110)를 구비하고, 테이프릴(100)의 이송경로에 대하여 대칭되게 배치되는 엑스선발생부(2210)와 검출부를 구비한다.

투입부(1100)는 이물의 유출입 또는 엑스선의 누설을 고려하여 대부분 소정의 커버로 감싸진 형태로 본체부(2000) 일측의 개구와 연결되고, 일측에는 투입을 위한 투입구가 형성된다. 이러한 투입구(1111) 측에는 테이프릴(100)의 정렬을 위한 정렬기구(3000)가 구비됨은 상기한 바와 같다.

또한, 배출부(1200)도 마찬가지로 대부분 소정의 커버로 감싸진 형태로 본체부(2000)의 타측의 개구 또는 전송부(1300)와 연결되고, 일측에 배출 및 수거를 위한 배출구가 형성된다.

한편, 상기 센서부의 기능은 작동여부 또는 테이프릴(100)의 존부를 확인하기 위한 수단인바, 테이프릴(100)의 종류와 기본적인 정보를 확인하는 것이 정확한 실질적으로 테이프릴(100)의 칩 카운팅을 위하여 유용하다.

따라서, 투입되는 테이프릴(100)을 지향하도록 투입측리더부와, 배출되는 테이프릴(100)을 지향하도록 배출측리더부가 추가적으로 배치될 수 있다.

기본적으로, 본 발명은 테이프릴의 사용 간에 릴에 권취된 상태에서의 칩의 개수를 확인하는 데 주요한 의의를 가진다. 사용 전의 릴에는 개별적으로 설정되는 칩의 수량이 존재하는바, 이를 위하여 최초 테이프릴의 제작시 처음 배치되는 칩의 개수 등의 기본정보를 표시하는 바코드와 같은 인식코드가 부착된 상태로 생산이 이루어지게 된다.

본 발명은 이에 착안하여 투입부(1100) 측에 투입측리더부를 배치함으로써 투입되는 테이프릴(100)의 유형을 미리 파악하도록 할 수 있다. 각각의 테이프릴(100)들은 직경, 칩의 배열, 칩의 재질, 칩의 형태와 크기 등이 상호 간에 다르므로 각각의 종류에 최적화된 카운팅 알고리즘을 구비할 필요성이 존재한다.

투입부(1100) 측에 투입측리더부가 배치되는 경우 본체부(2000) 내부로 이송 전에 미리 테이프릴(100)의 유형을 파악할 수 있기 때문에 자동적으로 분석 및 카운팅 알고리즘이 최적화되어 준비될 수 있는 장점을 가진다. 카운팅부에서 분석 및 카운팅 알고리즘의 선택은 조작자에 의하여 이루어지는 것이 기본적일 것이나, 이러하게 투입측리더부가 배치되는 경우 오류의 경우가 최소화될 수 있고 설정에 필요한 시간이 단축되어 공정의 효율이 증대되는 이점을 가짐에 유의하여야 한다.

한편, 작업시간을 단축하기 위하여 테이프릴(100)이 연속적으로 투입될 수 있음은 상기한 바와 같다. 배출측리더부는 실질적으로 칩의 배열의 분석 및 카운팅에 대해서는 작동하지 않을 수 있는데, 이 경우 배출측리더부는 수거될 테이프릴(100)이 분석이 완료된 테이프릴(100)과 같은 것인지 확인하는 데 유용하다.

즉, 투입부(1100) 측에서 하나의 테이프릴(100)이 투입되어 본체부(2000) 내부에서 카운팅이 완료되고 완료된 데이터가 메인디스플레이(2100)에 표시된 상태로 대기하게 되면, 배출부(1200) 측으로 이송되면 투입측리더부에서 확인된 사항과, 카운팅이 완료된 사항과 배출측리더부에서 확인된 사항이 일치되면 해당 테이프릴(100)이 확인이 완료된 것으로 컨펌할 수 있는 것이다.

이렇게 배출측리더부에서 동일한 테이프릴(100)을 컨펌하는 경우 해당 테이프릴(100)에 대한 분석 및/또는 카운팅이 종료된 것으로 이해될 수 있고, 추가적으로 다음 테이프릴(100)에 대한 분석 및 카운팅 작업을 준비하게 된다.

본 발명의 개념에서는 추가적으로 라벨출력부(미도시)를 더 포함할 수 있는데, 이러한 라벨출력부는 카운팅이 완료된 정보를 출력하여 배출부(1200) 측에서 배출어 배출측리더부에서 컨펌된 테이프릴(100)에 부착될 수 있다.

따라서, 사용 중에 보관된 테이프릴은 상기한 과정을 통하여 분석 및 확인이 완료되고 잔여 칩의 개수가 표시된 상태로 작업 가능한 것이다.

한편, 상기 투입측리더부는 분석 과정은 물론 테이프릴(100)의 최초 등록 과정에서도 의미를 가진다. 즉, 본 발명의 시스템에서 카운팅부에 새롭게 적용되는 테이프릴(100)이 적용되는 경우 이를 표준화하기 위하여 등록과정을 먼저 거치는 것이 바람직하고, 이를 위하여 소정의 인식코드를 확인하고 이를 저장하면서 등록과정을 거침으로써 최적의 알고리즘을 선택하도록 할 수 있다.

도 9는 본 발명의 반도체 테이프릴의 칩카운팅장치에서 디스플레이에 표시되는 예를 나타내는 도면이다.

디스플레이는 메인디스플레이(2100) 및 서브디스플레이(2110)를 포함할 수 있으며, 이와 중복되는 설명은 생략하도록 한다.

본체부(2000)의 내부에서 엑스선발생부(2210) 및 검출부에 의한 영상검출이 완료되면 카운팅부(미소시)는 최적화된 알고리즘을 통하여 칩의 개수를 카운팅하게 된다. 이러한 카운팅은 그레이스케일값에 의한 칩이미지의 개수를 산출하는 방식으로 이루어지는데, 투입측리더부에 의한 라벨의 입력을 통하여 작업의 효율성이 더욱 향상될 수 있음은 상기한 바와 같다.

분석과정에서 디스플레이의 화면은 이미지표시부(4100)와 데이터표시부(4200)로 구분될 수 있다.

상기 이미지표시부(4100)에는 검출부에서 검출된 테이프릴(100)의 이미지를 표시하게 되는데, 의미를 가지는 이미지는 칩이미지(4110)이다. 이때, 외곽 영역과 중심영역은 분석대상에서 제외되어야 하는바, 칩 배열상태에서 내주측의 중심영역(4120)은 테이프릴(100)마다 다른 규격을 가지기 때문에 정확한 배제가 요청된다.

사용상 조작자는 최초 등록 과정에서 칩이미지(4110)를 확인하면서 시각적인 확인을 통하여 중심으로부터 소정의 반경을 임의로 설정하여 각각의 테이프릴(100)의 중심영역의 정확한 규격을 저장할 수 있다. 다만, 이러한 중심영역은 자동적으로 분석 및 설정될 수 있음은 물론이다.

또한, 칩이미지(4110)에서 카운팅의 확실성을 향상하기 위하여 각각의 테이프릴(100)마다 서로 다른 알고리즘을 적용할 수 있는데, 이러한 알고리즘을 위한 변수로서 테이프릴(100)의 직경, 칩 사이의 간격, 칩의 크기, 칩의 재질, 형상 등이 중요하게 작용될 수 있다. 하나의 장비에서 엑스선발생부(2210)와 검출부는 고정되고 방사선량 또한 다양하게 가변되는 것은 사실상 불가능하기 때문에 일정한 테이프릴(100)의 이미지가 획득된 상태에서 이미지 조건들을 조절하여 칩이미지가 구분될 수 있는 최적의 상태를 찾아 각각의 알고리즘으로서 마련하는 것이 중요하다. 한편, 정확성을 향상하기 위하여 테이프릴(100)의 이미지의 획득 과정에서 직경에 따라 이송부의 이송속도를 가변할 수도 있다.

데이터표시부(4200)는 확대도와 같이 테이프릴(100)의 유형을 표시하는 유형표시부(4210)와 카운팅된 칩의 개수를 표시하는 카운팅표시부(4220)를 포함할 수 있다.

유형표시부(4210)는 상기된 투입측리더부에서 확인된 기초적인 정보를 확인하도록 하며, 카운팅표시부(4220)는 상기 칩이미지(4110)에서 분석된 칩의 개수정보를 표시하도록 한다.

상기한 본 발명의 개념에 따른 반도체 테이프릴의 카운팅장치는, 종래의 수작업에 의한 칩의 카운팅의 방식을 엑스선빔을 활용한 영상처리 방식으로 대체함으로써 정확성과 신속성이 비약적으로 향상될 수 있는 이점이 있다.

또한, 분석에 필요한 인력과 조작자의 동선을 최소화할 수 있는 구조를 가지므로 작업의 효율성이 향상되는 이점이 있다.

이상에서, 본 발명은 실시예 및 첨부도면에 기초하여 상세히 설명되었다. 그러나, 이상의 실시예들 및 도면에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않으며, 본 발명의 범위는 후술한 특허청구범위에 기재된 내용에 의해서만 제한될 것이다.

100...테이프릴 1100...투입부
1110...투입이송부 1111...투입구
1120...투입센서부 1200...배출부
1210...배출이송부 1211...배출구
1220...배출센서부 1300...전송부
1310...전송구동부 1320...안내부
2000...본체부 2010...배출측버튼
2011...투입측버튼 2020...경보부
2100...메인디스플레이 2110...서브디스플레이
2210...엑스선발생부 3000...정렬기구
3100...바디부 3110...체결부재
3111...체결홀 3120...경사제공부
3210...경사면부 3220...단턱부
3230...안착면부 3300...하측삽입부
3400...상측삽입부 3500...연장부
4100...이미지표시부 4110...칩이미지
4200...데이터표시부 4210...유형표시부
4220...카운팅표시부

Claims (9)

1. 외관을 형성하는 판 형태의 바디부; 및
   상기 바디부의 일측으로 다단을 이루어 배치되되 테이프릴의 외주에 대응되도록 내주의 일부가 호 형상을 이루며 상기 호는 서로 다른 반경으로 이루어지는 복수의 삽입부;를 포함하며,
   상기 삽입부는,
   서로 중심선이 일치되도록 배치되며 테이프릴의 수평방향 이송시 각각의 반경에 대응되는 테이프릴이 삽입되어 전후방향 위치를 정렬하여 타측으로 배출하는 것을 특징으로 하는 테이프릴의 정렬기구.
2. 제1항에 있어서,
   상기 삽입부는,
   타단측이 이송수단을 마주보도록 하향경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는 테이프릴의 정렬기구.
3. 제2항에 있어서,
   상기 바디부는,
   타단측 저면이 이송수단의 상면에서 이격되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 테이프릴의 정렬기구.
4. 제1항에 있어서,
   상기 삽입부는,
   타측으로 하향경사진 경사면부와, 경사면부의 하단측엣 하방으로 연장되어 테이프릴의 외주가 접촉되는 단턱부와, 테이프릴의 저면이 안착되는 안착면부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테이프릴의 정렬기구.
5. 제4항에 있어서,
   상기 삽입부는,
   단턱부가 타측으로 연장되어 테이프릴의 이송수단에 의한 인출시 직선이동이 가이드될 수 있도록 평면상 직사각 형상으로 이루어지는 연장부;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 테이프릴의 정렬기구.
6. 제2항에 있어서,
   상기 바디부와 이송수단의 사이에 개재되며, 측면상 타측으로 갈수록 높이가 작아지는 형상의 경사제공부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프릴의 정렬기구.
7. 제1항에 있어서,
   상측에 배치되는 상측삽입부는 직경이 380mm인 반도체 테이프릴에 대응되는 반경의 호 형상으로 이루어지고, 하측에 배치되는 하측삽입부는 직경이 180mm인 반도체 테이프릴에 대응되는 반경의 호 형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테이프릴의 정렬기구.
8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 테이프릴의 정렬기구를 구비하는 칩카운팅장치로서,
   반도체 테이프릴이 수평한 상태로 일측으로부터 타측으로 이송되고, 테이프릴에 엑스선을 조사하는 엑스선발생부와, 검출부와, 검출부에서 검출된 이미지에서 칩의 개수를 카운팅하는 카운팅부를 구비하는 본체부;
   상기 테이프릴의 정렬기구가 입구측에 배치되고 본체부로 테이프릴을 유입시키는 투입부;
   상기 본체부로부터 테이프릴을 전달받아 배출하는 배출부; 및
   상기 검출부에서 검출된 이미지와 카운팅부에서 카운팅된 개수를 표시하는 디스플레이부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 테이프릴의 카운팅장치.
9. 제8항에 있어서,
   상기 엑스선발생부는,
   나선형으로 배열되는 칩이미지간에 반경방향의 간섭을 방지하기 위하여 전후방향으로 긴 형태의 라인빔을 테이프릴의 상측에서 조사하는 것을 특징으로 하는 반도체 테이프릴의 카운팅장치.

Images