JP2017219382A - 検査システム - Google Patents
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Abstract
Description
11 線源部
12 放射線検出部
31 実測画像生成部
32 予測画像生成部
33 予測画像蓄積部
34 比較部
35 良否判定部
36 画像処理部
E 強調表示
S 減肉部
W 被測定物
Claims (5)
- 部品又は製品からなる被測定物を挟んで配置される線源部及び放射線検出部を備え、前記線源部から照射されて被測定物を透過した放射線の前記計数値を前記放射線検出部で検出する検査システムであって、
前記放射線検出部が検出した検出データに基づいて被測定物の放射線投影画像となる実測画像を生成する実測画像生成部と、
被測定物の三次元設計データと、被測定物の放射線透過に関する関連データとに基づいて生成された前記実測画像に対する予測画像を蓄積する予測画像蓄積部と、
前記実測画像と前記予測画像との差分を求める比較部と、
前記比較部で求めた差分と所定の閾値との比較に基づき、被測定物の良否を判定する判定データを作成する良否判定部とを備えていることを特徴とする検査システム。 - 部品又は製品からなる被測定物を挟んで配置される線源部及び放射線検出部を備え、前記線源部から照射されて被測定物を透過した放射線の前記計数値を前記放射線検出部で検出する検査システムであって、
前記放射線検出部が検出した検出データに基づいて被測定物の放射線投影画像となる実測画像を生成する実測画像生成部と、
被測定物の三次元設計データと、被測定物の放射線透過に関する関連データとに基づいて生成された前記実測画像に対する予測画像を蓄積する予測画像蓄積部と、
前記実測画像と前記予測画像との差分を求める比較部と、
前記比較部で求めた差分と所定の閾値との比較に基づいて被測定物で減肉した部分を減肉部として特定し、該減肉部にそれ以外の部分とは異なる強調表示を施した被測定物の強調表示画像を生成する画像処理部とを備えていることを特徴とする検査システム。 - 前記画像処理部で生成された前記強調表示画像が出力される良否判定部を備え、
前記良否判定部は、前記強調表示画像における強調表示の有無を判定し、該判定に基づいて被測定物の良否を判定する判定データを作成することを特徴とする請求項2に記載の検査システム。 - 被測定物の三次元設計データと、被測定物の放射線透過に関する関連データとに基づいて前記予測画像を生成する予測画像生成部を更に備えていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の検査システム。
- 前記予測画像及び前記実測画像は、その投影方向の被測定物の厚みに応じてコントラスト値が変化し、
前記比較部では、前記予測画像及び前記実測画像における各領域のコントラスト値の差分を求めることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の検査システム。
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