KR101685064B1

KR101685064B1 - 칩 카운팅 장치

Info

Publication number: KR101685064B1
Application number: KR1020150046298A
Authority: KR
Inventors: 박해봉; 진영덕; 한승현
Original assignee: 주식회사 쎄크
Priority date: 2015-04-01
Filing date: 2015-04-01
Publication date: 2016-12-12
Also published as: KR20160118047A

Abstract

본 발명은 릴에 부착된 다수의 반도체 칩을 카운팅하는 장치에 관한 것으로, 하우징; 상기 하우징 내부에 배치되어 엑스-레이를 조사하는 엑스-레이 튜브; 상기 하우징 내부에 배치되어 상기 엑스-레이 튜브에 대응하는 위치에 배치되는 디텍터; 및 상기 엑스-레이가 조사될 수 있도록 상기 엑스-레이 튜브와 디텍터 사이에 배치되며, 다수의 반도체 칩에 부착된 릴이 권취된 상태로 안착되는 릴 안착부;를 포함하며, 상기 디텍터는 1회 촬영에 의해 릴의 엑스-레이 영상을 획득하도록 상기 릴의 크기보다 더 큰 면적을 가지며, 상기 릴 안착부는 피검사체인 릴의 지름에 따라 릴의 검사위치를 선택적으로 설정하는 것을 특징으로 한다.

Description

칩 카운팅 장치{CHIP COUNTING APPARATUS}

본 발명은 칩 카운팅 장치에 관한 것으로, 특히 릴에 일렬로 부착된 다수의 반도체 칩을 카운팅하되 엑스-레이를 통해 릴을 펼치지 않고 릴이 권취된 상태로 반도체 칩을 카운팅하는 칩 카운팅 장치에 관한 것이다.

릴에 일렬로 부착된 다수의 반도체 칩을 카운팅하기 위한 칩 카운팅 장치는 릴을 아이들 회전축에 걸어 놓고 릴의 일단을 다른 회전축에 권취시키면서, 다수의 칩이 카운터부를 통과하면서 다수의 칩을 카운팅 한다.

하지만, 종래의 칩 카운팅 장치는 릴을 풀면서 다수의 칩을 하나씩 카운팅 해야 하므로 릴의 지름이 클수록 전체적인 카운팅 작업에 많은 시간이 소요되는 문제가 있다.

또한, 릴을 회전 가능하게 걸어주는 구성과, 풀어진 릴을 다시 감아야 하는 구성이 소정 간격을 두고 위치해야 하므로 칩 카운팅 장치의 전체적인 길이가 증가하게 되는 문제가 있었다.

상기 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은 대면적 디텍터를 사용하여 권취된 릴을 1회 촬영하여 단시간 내에 릴에 부착된 다수의 반도체 칩을 카운팅할 수 있는 칩 카운팅 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 피검사체인 릴의 지름에 따라 검사위치를 선택적으로 설정할 수 있는 칩 카운팅 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 칩 카운팅 장치의 부피를 줄여 컴팩트하게 이루어지는 칩 카운팅 장치를 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 하우징; 상기 하우징 내부에 배치되어 엑스-레이를 조사하는 엑스-레이 튜브; 상기 하우징 내부에 배치되어 상기 엑스-레이 튜브에 대응하는 위치에 배치되는 디텍터; 상기 엑스-레이가 조사될 수 있도록 상기 엑스-레이 튜브와 디텍터 사이에 배치되며, 다수의 반도체 칩에 부착된 릴이 권취된 상태로 안착되는 릴 안착부;를 포함하며, 상기 디텍터는 1회 촬영에 의해 릴의 엑스-레이 영상을 획득하도록 상기 릴의 크기보다 더 큰 면적을 가지며, 상기 릴 안착부는 피검사체인 릴의 지름에 따라 릴의 검사위치를 선택적으로 설정하는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치를 제공한다.

상기 릴 안착부는, 릴이 안착되는 검사대; 상기 검사대를 상기 하우징의 내부로 인입 또는 상기 하우징 외부로 인출하는 인출입 가동부; 및 상기 하우징 내부에서 상기 인출입 가동부를 미리 설정된 위치로 승강시키는 승강부;를 포함할 수 있다.

상기 각 릴 안착부는, 릴이 안착되는 검사대; 및 상기 검사대를 상기 하우징의 내부로 인입 또는 상기 하우징 외부로 인출하며, 상하로 이격 배치되는 적어도 2개의 인출입 가동부;를 포함할 수 있다.

상기 적어도 2개의 인출입 가동부는 검사하는 릴의 지름에 대응하도록 각각 상기 디텍터와 서로 다른 간격으로 배치될 수 있다.

상기 하우징은 상기 검사대가 인출되는 개구를 개폐하는 도어를 구비하며, 상기 도어는 상기 하우징 내부로부터 인출되는 상기 검사대에 연동하여 상기 개구를 개방하고, 상기 검사대가 상기 하우징으로 인입됨에 따라 상기 개구를 폐쇄하도록 상기 하우징에 탄력적으로 힌지 연결될 수 있다. 이 경우 상기 도어는 상기 하우징과의 힌지 연결부분에 배치되는 댐퍼를 포함할 수 있다.

상기 인출입 가동부는, 상기 하우징 내부에 고정되는 한 쌍의 고정프레임; 상기 검사대가 분리 가능하게 안착되며, 상기 한 쌍의 고정프레임을 따라 상기 개구를 통해 상기 하우징의 내부 및 외부로 이동하는 한 쌍의 가동프레임; 및 상기 하우징 내부에 설치되어 상기 한 쌍의 가동프레임에 구동력을 제공하는 정회전 및 역회전 가능한 구동모터;를 포함할 수 있다.

삭제

상기 하우징은 상기 인출입 가동부가 인출되는 측으로 안전센서가 배치될 수 있다.

본 발명은 상기 엑스-레이 튜브의 엑스-레이 방출구를 개폐하기 위한 셔터부를 더 포함할 수 있다.

상기 디텍터는 상기 하우징에 X축 및 Y축 방향을 따라 평면상에서 이동할 수 있다.

상기 엑스-레이 튜브 또는 상기 디텍터는 상하 방향으로 미리 설정된 거리만큼 승강 되는 것도 물론 가능하다.

상기한 바와 같이 본 발명에 있어서는, 릴을 풀지 않고 권취된 상태로 1회 촬영을 통해 다수의 반도체 칩을 카운팅할 수 있어 칩 카운팅 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있고, 칩 카운팅 장치의 부피를 줄여 컴팩트하게 형성할 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명은 릴의 지름에 따라 검사위치를 선택적으로 설정할 수 있으므로 릴의 크기에 구애받지 않고 효과적으로 칩을 카운팅할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 칩 카운팅 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 칩 카운팅 장치의 개폐도어를 개방한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 칩 카운팅 장치의 내부를 보여주는 단면도이다.
도 4는 하우징 외부로 인출된 인출입 가동부에 검사대가 안착된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 5는 도 4에 표시된 Ⅴ부분을 나타내는 확대 단면도이다.
도 6은 도 4에 표시된 Ⅵ부분을 나타내는 확대 단면도이다.
도 7은 엑스-레이 튜브, 디텍터 및 엑스-레이 튜브의 엑스-레이 방출구를 개폐하기 위한 셔터부를 함께 나타내는 사시도이다.
도 8 및 도 9는 릴 안착부의 인출입 가동부 및 승강부 간의 배치구조를 상측 및 하측에서 각각 바라보는 사시도이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 칩 카운팅 장치를 나타내는 사시도이다.
도 11은 도 10에 도시된 칩 카운팅 장치의 내부를 보여주는 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명한다. 이하에서 설명되는 실시예는 발명의 이해를 돕기 위하여 예시적으로 나타낸 것이며, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예와 다르게 다양하게 변형되어 실시될 수 있음이 이해되어야 할 것이다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기능 혹은 구성요소에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명 및 구체적인 도시를 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 발명의 이해를 돕기 위하여 실제 축척대로 도시된 것이 아니라 일부 구성요소의 치수가 과장되게 도시될 수 있다.

도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 칩 카운팅 장치(100)는 하우징(110), 엑스-레이 튜브(131), 디텍터(133), 릴 안착부(150),조작부(171), 디스플레이부(173) 및 제어부(미도시)를 포함한다.

하우징(110)은 소정 높이로 이루어지며, 내부에 엑스-레이 튜브(131), 디텍터(133) 및 릴 안착부(150)가 배치된다.

또한, 하우징(110)은 일측으로 릴(R)이 안착되는 릴 안착부(150)의 검사대(151)가 인입 및 인출될 수 있는 개구(111)가 형성된다. 또한, 상기 개구(111)는 검사대(151)의 인입 및 인출 시 상기 개구(111)를 개폐하는 도어(113)를 구비한다.

도 4를 참조하면, 도어(113)는 하단이 하우징(110)의 개구(111) 하단에 인접하게 설치된 댐퍼(D)에 연결된다. 이 경우, 도어(113)는 댐퍼(D)의 탄성력에 의해 상단이 하우징(110) 측으로 밀착되도록 가압된다.

이에 따라 도어(113)에 가해지는 외력이 없을 경우 댐퍼(D)에 의해 개구(111)를 폐쇄하게 된다. 반대로 개구(111)를 통해 인출되는 후술하는 릴 안착부(150)의 인출입 가동부(153)에 의해 도어(113)가 밀리는 경우, 도어(113)의 내측이 인출입 가동부(153)의 선단부에 밀착된 상태로 밀리면서 도어(113) 하단을 중심으로 인출입 가동부(153)의 인출방향으로 선회한다. 또한, 인출입 가동부(153)가 하우징(110)으로 인입되면 댐퍼(D)에 의해 도어(113)의 내측이 인출입 가동부(153)의 선단부에 밀착된 상태로 인출입 가동부(153)의 인입방향으로 선회하여 개구(111)를 폐쇄한다. 이와 같이 도어(113)는 인출입 가동부(153)의 인출 및 인입에 연동하여 개구(111)를 개폐하게 된다.

도 5를 참조하면, 도어(113)는 내측에 한 쌍의 제1 슬라이딩 롤러(113a)가 설치될 수 있다. 제1 슬라이딩 롤러(113a)는 검사대(151)가 하우징(110)에 인입 및 인출될 때 제1 및 제2 가동프레임(153a,153b)의 저면에 슬라이딩 가능하게 접촉하면서, 제1 및 제2 가동프레임(153a,153b)의 이동 동작을 원활하게 가이드 할 수 있다.

한편, 도어(113)는 릴 안착부(150)의 인출입 가동부(153)의 인입 및 인출 동작과 연동하지 않고 하우징(110) 내측에 배치되는 소정의 푸셔(미도시)를 통해 개폐동작이 행해질 수도 있다. 이 경우, 푸셔는 리미트 스위치(미도시)의 온/오프에 따라 도어(113)를 밀거나 당길 수 있는 솔레노이드 방식으로 동작될 수 있다.

또한, 하우징(110)은 일측에 유지보수용 개구(115)가 형성되고, 유지보수용 개구(115)를 개폐하기 위한 개폐도어(117)를 구비한다. 이 유지보수용 개구(115)는 사용자가 하우징(110) 내부로의 접근이 용이하도록 검사대(151)가 통과하는 개구(111)보다 더 크게 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 하우징(110)은 인출입 가동부(153)의 제1 및 제2 가동프레임(153c,153d)이 하우징(110) 외부로 인출될 때 도어(113)에 인접한 곳에 서있는 작업자나 구조물을 감지할 수 있는 안전 센서(미도시)가 하우징(110) 일면에 배치될 수 있다. 이 경우, 안전센서에 의해 작업자나 구조물이 감지되면 제어부는 도어(113)의 인출 동작을 멈추도록 제어할 수 있다.

엑스-레이 튜브(131)는 도 3과 같이 검사위치로 이동한 피검사체인 권취된 상태의 릴(R) 전체를 향해 엑스-레이를 조사한다.

도 7을 참조하면, 엑스-레이 튜브(131)는 상측에 셔터부(135)가 배치되어, 엑스-레이가 방출되는 엑스-레이 튜브(131)의 방출구(미도시)를 개폐한다. 셔터부(135)는 구동부(135a)와, 방출구 상부에 배치되어 구동부(135a)로부터 전달되는 동력에 의해 방출구를 개폐하는 셔터(135b)를 포함한다. 작업자는 엑스-레이 튜브(131) 온 상태에서 셔터부(135)를 통해 방출구를 폐쇄한 상태에서 피검사체인 릴(R)을 교체한 후 다시 방출구를 개방한다. 이에 따라, 릴(R)을 교체하는 동안 엑스-레이 튜브(131)를 온/오프 반복적으로 행할 필요가 없으므로 엑스-레이 튜브(131)를 기동하는 시간을 줄여 검사에 소요되는 작업 시간을 크게 단축시킬 수 있다.

디텍터(133)는 대면적 엑스-레이 튜브(131)의 상측에 엑스-레이 튜브(131)와 소정 간격을 두고 배치된다. 디텍터(133)는 릴(R)을 투과한 엑스-레이를 수신하여 릴(R)의 엑스-레이 영상을 획득한다. 디텍터(133)는 1회 촬영에 의해 릴(R)의 엑스-레이 영상을 획득하도록 릴(R)의 크기보다 더 큰 면적을 가지는 것이 바람직하다.

한편, 디텍터(133)에 의해 획득한 영상에는 릴(R)의 일면에 일렬로 부착되어 있는 다수의 반도체 칩(미도시)이 표시되며, 제어부는 미리 저장된 프로그램을 통해 상기 영상을 분석하여 릴(R)에 부착된 반도체 칩을 카운팅할 수 있다.

또한, 디텍터(133)는 하우징(100)의 천장에 설치된 X축 가이드(134a) 및 Y축 가이드(134b)를 따라 수평방향으로 이동 가능하게 배치될 수 있다. 이 경우 디텍터(133)는 구동모터들에 의해(미도시) X축 및 Y축 가이드(134a,134b)를 따라 사용자가 설정하는 위치로 이동할 수 있다.

본 발명의 제1 실시예에서는 엑스-레이 튜브(131)가 하측에 배치되고, 디텍터(133)가 엑스-레이 튜브(131)의 상측에 배치되는 것으로 설명하지만, 이에 제한되지 않고, 엑스-레이 튜브(131)와 디텍터(133)의 위치가 서로 반대로 설정되는 것도 물론 가능하다.

도 8 및 도 9를 참조하면, 릴 안착부(150)는 검사대(151), 인출입 가동부(153) 및 승강부(157)를 포함한다.

검사대(151)는 대략 사각형을 이루는 프레임(151a)과, 이 프레임(151a)에 고정되며 릴(R)이 안착되는 카본 플레이트(151b)와, 릴 고정돌기(151c)로 이루어질 수 있다.

상기 프레임(151a)의 하단에는 후술하는 승강부(157)의 다수의 고정돌기(157h)가 분리 가능하게 삽입되는 다수의 위치고정홀(미도시)이 형성된다. 다수의 위치고정홀은 검사대(151)가 승강부(157)에 의해 수직 방향으로 승강 시 다수의 고정돌기(157h)가 삽입됨에 따라 진동에 의해 검사대(151)의 자세가 변경되지 않고 안정적으로 승강부(157)에 고정될 수 있다. 릴 고정돌기(151c)는 카본 플레이트(151b)의 상면에 돌출 형성되어, 릴(R)을 고정한다.

인출입 가동부(153)는 제1 및 제2 고정프레임(153a,153b), 제1 및 제2 가동프레임(153c,153d), 연결프레임(153f) 및 제1 구동부(154)를 포함한다.

제1 및 제2 고정프레임(153a,153b)은 하우징(110) 내부의 서로 마주하는 벽면에 각각 동일한 높이로 고정된다. 제2 고정프레임(153b)은 일측면 선단 및 후단에 각각 리미트 센서(S1,S2)가 배치된다.

제1 및 제2 가동프레임(153c,153d)은 제1 및 제2 고정프레임(153a,153b)에 각각 슬라이딩 가능하게 결합된다. 이 경우, 제2 가동프레임(153d)의 일측에는 상기 리미트 센서(S1,S2)에 의해 감지되는 피검지핀(153e)이 일측에 설치된다. 이에 따라, 제1 및 제2 가동프레임(153c,153d)의 전후진 이동가능한 구간이 설정될 수 있다.

연결프레임(153f)은 제1 및 제2 가동프레임(153c,153d)가 함께 이동할 수 있도록 양단이 제1 및 제2 가동프레임(153c,153d)의 선단에 각각 연결된다. 또한, 연결프레임(153f)은 연결프레임(153f)의 길이방향을 따라 연결프레임(153f)의 선단면에 완충부재(153g), 한 쌍의 제2 슬라이딩 롤러(153h)가 형성된다.

완충부재(153g)는 검사대(151)를 하우징(110) 외측으로 인출 시 칩 카운팅 장치(100)에 인접한 작업자나 소정의 구조물과 충돌 시 발생하는 충격을 흡수한다. 이에 따라 완충부재(153g)는 인출입 가동부(153)의 파손 및 작업자가 다치는 것을 미연에 방지할 수 있다.

또한, 연결프레임(153f)은 제1 및 제2 가동프레임(153c,153d)의 상단 전후에 각각 다수의 스톱퍼(153i)가 결합된다. 다수의 스톱퍼(153i)는 안착되는 검사대(151)의 4모서리를 각각 지지함에 따라 검사대(151)를 제1 및 제2 가동프레임(153c,153d) 상단에 안정적으로 고정할 수 있다.

한 쌍의 제2 슬라이딩 롤러(153h)는 연결프레임(153f)의 좌측 및 우측에 각각 치우치도록 배치될 수 있다. 이와 같은 제2 슬라이딩 롤러(153h)는 도어(113) 개방 시 도어(113) 내측에 슬라이딩 가능하게 지지됨으로써 도어(113)가 원활하게 회전할 수 있도록 돕는다.

제1 구동부(154)는 정회전 및 역회전 가능한 구동모터(154a), 구동모터(154a)에 연결된 감속기(154b)와, 피니언 기어(154c)와, 래크부(154d)를 포함한다.

피니언 기어(154c)는 감속기(154b)의 구동축에 연결되며, 구동모터(154a)의 구동에 따라 정회전 및 역회전한다. 래크부(154d)는 제2 가동프레임(153d)의 외측면을 따라 형성되며, 피니언 기어(154c)와 기어 결합한다.

이에 따라, 제1 및 제2 가동프레임(153c,153d), 연결프레임(153f)은 피니언 기어(154c)의 정회전 및 역회전에 따라 전진 및 후진하여 검사대(151)를 하우징(110)으로부터 인출 및 인입시킬 수 있다.

승강부(157)는 제1 및 제2 수직가이드(157a,157b), 가동플레이트(157c), 제1 및 제2 승강프레임(157d,157e), 연결프레임(157f) 및 제2 구동부(158)를 포함한다.

제1 내지 제2 수직가이드(157a,157b)는 검사대(151)를 미리 설정된 검사 위치로 승강시키기 위한 것으로, 하우징(110)의 내벽 중 검사대(151)가 통과하는 개구(111)에 마주한 내벽에 소정 간격을 두고 수직 방향으로 평행하게 고정된다. 또한, 제1 내지 제2 수직가이드(157a,157b)는 각각 인출입 가동부(153)의 제1 및 제2 지지프레임(153a,153b)의 내측에 인접한 위치에 배치된다.

가동플레이트(157c)는 배면이 제1 내지 제2 수직가이드(157a,157b)를 따라 슬라이딩 가능하도록 연결된다. 가동플레이트(157c)는 제2 수직가이드(157b)의 일측 상단 및 하단에 각각 설치된 리미트 센서(S3,S4)에 의해 감지되는 피검지편(157g)이 일측에 설치된다. 이에 따라, 가동플레이트(157c)의 승강 이동가능한 구간이 설정된다.

제1 및 제2 승강프레임(157d,157e)은 소정 간격을 두고 서로 평행하게 배치되며, 후단이 각각 가동플레이트(157c)의 전면에 고정된다. 이에 따라, 가동플레이트(157c)와 함께 제1 내지 제2 수직가이드(157a,157b)를 따라 소정 위치로 승강한다. 이 경우 제1 및 제2 승강프레임(157d,157e)은 연결프레임(157f)에 의해 선단이 상호 연결된다.

또한, 제1 및 제2 승강프레임(157d,157e)은 검사대(151)의 프레임(151a)에 형성된 다수의 위치고정홀에 삽입되는 다수의 고정돌기(157h)를 구비한다. 이 경우, 제1 및 제2 승강프레임(157d,157e)은 검사대(151)가 개구(111)로 인입 및 인출 시 다수의 고정돌기(157h)가 검사대(151) 하부에 간섭되지 않도록 다수의 고정돌기(157h)의 상단이 검사대(151)의 저면과 이격될 수 있는 위치에 배치된다.

제2 구동부(158)는 정회전 및 역회전 가능한 구동모터(158a), 구동모터(158a)에 연결된 감속기(158b)와, 구동풀리(158c), 종동풀리(158d), 타이밍 벨트(158e)를 포함한다.

구동풀리(158c)는 감속기(158b)의 구동축에 결합되고, 종동풀리(158d)는 제2 수직가이드(157b)의 상단부에 인접한 위치에 설치된다.

타이밍 벨트(157e)는 양단이 구동풀리(158c) 및 종동풀리(158d)에 각각 연결되어, 정방향 및 역방향으로 회전한다. 이 경우, 타이밍 벨트(157e)는 일부가 가동플레이트(157c)의 후면에 고정됨으로써, 타이밍 벨트(157e)의 구동에 따라 가동플레이트(157c)를 승강시킬 수 있다.

한편, 본 발명의 제1 실시예에서는 피검사체인 릴(R)의 지름에 따라 릴(R)이 엑스-레이 조사범위(A) 내로 위치할 수 있도록 승강부(157)를 통해 검사대(151)를 원하는 높이로 설정할 수 있다. 즉, 릴(R)의 지름이 클수록 검사대(151)를 상측으로 이동시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 제1 실시예에서는 승강부(157)를 구비하는 것으로 설명하지만, 승강부(157)를 생략하고 엑스-레이 튜브(131) 또는 디텍터(133)를 수직 방향(Z축 방향)으로 승강 가능하도록 구성하는 경우 승강부(157)를 구비하는 동일한 기능을 수행할 수 있다.

제어부는 조작부(171)를 통해 사용자로부터 입력된 명령에 따라 전술한 엑스-레이 튜브(131), 디텍터(133) 및 릴 안착부(150)를 제어하며, 칩 카운팅 프로세스를 위한 각종 설정이나 현재 상태 등을 디스플레이부(173)를 통해 사용자에게 디스플레이한다. 이 경우 디스플레이부(173)는 터치 스크린으로 이루어져 사용자의 명령을 직접 입력받을 수 있다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 제1 실시예에 따른 칩 카운팅 장치(100)의 작용에 대하여 설명한다.

먼저, 피검사체인 릴(R)을 검사대(151)에 안착시키기 위해 검사대(151)를 하우징(110) 외부로 인출한다. 이 경우, 제1 구동부(154)의 구동에 따라 제1 및 제2 가동프레임(153c,153d)은 제1 및 제2 고정프레임(153a,153b)에 가이드 되면서 하우징(110) 내부에서 개구(111)를 통해 하우징(110) 외부 측으로 이동한다. 이때 연결프레임(153f)의 제2 슬라이딩 롤러(153h)가 도어(113) 내측에 슬라이딩 접촉한다.

도어(113)는 제1 및 제2 가동프레임(153a,153b)의 인출되는 동작에 연동하여 일방향으로 회전하면서 개구(111)를 개방한다. 도어(113)가 어느 정도 회전하면 제1 및 제2 가동프레임(153a,153b)의 하측에 도어(113)의 내측이 위치하게 되면서, 제1 슬라이딩 롤러(113a)가 1 및 제2 가동프레임(153a,153b)의 하측을 슬라이딩 가능하게 지지한다.

제1 및 제2 가동프레임(153a,153b)의 인출 동작이 완료되면, 검사대(151)를 제1 및 제2 가동프레임(153a,153b) 상측에 안착시킨다. 이어서, 피검사체인 릴(R) 을 권취된 상태로 검사대(151)에 안착시킨다.

그 후, 릴(R)이 안착된 검사대(151)를 하우징(110) 내측으로 위치시키도록 제1 및 제2 가동프레임(153a,153b)을 하우징(110) 내측으로 인입시킨다. 이와 같이 제1 및 제2 가동프레임(153a,153b)이 하우징(110) 내측으로 인입되는 과정에서 도어(113)는 댐퍼(D)에 의해 역방향으로 회전하면서 개구(111)를 폐쇄한다.

하우징(110) 내부로 인입된 검사대(151)는 승강부(157)의 제2 구동부(158)의구동에 따라 제1 및 제2 승강프레임(157d,157e)이 미리 설정된 검사위치로 상승한다. 이 경우, 검사대(151)는 제1 및 제2 승강프레임(157d,157e)의 다수의 고정돌기(157h)가 프레임(151a)에 하단에 형성된 다수의 위치고정홀에 삽입된 상태로 상승함에 따라 이동시 진동이 발생하더라도 제1 및 제2 승강프레임(157d,157e) 상에서의 안착위치를 유지할 수 있다.

한편, 검사위치는 릴(R)의 지름에 따라 그 설정 높이가 달라진다. 예를 들면, 릴(R)의 지름이 클수록 디텍터(133)와 좁은 간격을 유지하도록 높은 위치로 상승한다.

검사대(151)가 검사위치로 이동하면, 엑스-레이 튜브(131)는 엑스-레이를 발생시켜 검사대(151)를 향해 조사한다. 이에 따라 릴(R)은 전체적으로 엑스-레이 조사범위(A)에 포함되며, 디텍터(133)는 릴(R) 전체에 대한 엑스-레이 영상을 획득할 수 있다.

이어서 제어부는 릴(R) 전체를 전면적으로 촬영한 이미지를 판독하여 릴(R)에 부착된 다수의 반도체 칩을 카운팅한다. 이와 같이 제어부는 릴(R)의 전체 면적을 1회 촬영 후 획득한 이미지를 판독하여 반도체 칩을 카운팅 함에 따라 검사 시간을 현저히 줄일 수 있다.

이하, 도 10 및 도 11을 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 칩 카운팅 장치(200)의 구성을 설명한다.

제2 실시예는 제1 실시예와 대부분의 구성이 동일하며, 다만 릴 안착부는 2개의 검사대를 상하로 배치할 수 있고, 승강부가 생략된 점에서 구성이 상이하다. 따라서 제2 실시예의 구성은 제1 실시예와 상이한 구성에 대해서만 설명한다.

칩 카운팅 장치(200)의 하우징(210)은 상하 간격을 두고 배치되는 상부 개구(211a) 및 하부 개구(211b)가 형성되며, 상기 각 개구(211a,211b)를 개폐하는 상부 도어(213a) 및 하부 도어(213b)가 회전 가능하게 설치된다. 상부 및 하부 도어(213a,213b)는 전술한 제1 실시예의 도어(133)와 동일한 구조로 이루어진다.

아울러, 릴 안착부(250)는 상부 개구(211a) 및 하부 개구(211b)에 각각 대응하는 상부 인출입 가동부(253a)와 하부 인출입 가동부(253b)를 각각 구비한다. 이 경우, 상부 및 하부 인출입 가동부(253a,253b)는 각각 전술한 제1 실시예의 인출입 가동부(153)와 그 구성이 동일한다.

이와 같이 제2 실시예는 상하로 간격을 두고 배치되는 상부 및 하부 인출입 가동부(253a,253b)가 구비됨에 따라, 릴(R)의 지름에 따라 선택적으로 검사대를 안착시킬 수 있다. 즉, 릴(R)의 지름이 작으면 검사대를 디텍터로부터 먼 거리에 있는 하부 인출입 가동부(253b)에 안착시키고, 릴(R)의 지름이 크면 검사대를 하부 인출입 가동부(253b)보다 디텍터에 더 가깝게 배치된 상부 인출입 가동부(253a)에 안착시켜 촬영한다.

한편, 제2 실시예에서는 인출입 가동부(253a,253b)를 2개로 설정하였으나, 이에 제한되지 않고 엑스-레이 튜브(131)와 디텍터(133) 간의 간격 및 하우징(210)의 높이를 고려하여 3개 이상의 인출입 가동부를 구비하는 것도 물론 가능하다.

도 11에서 미설명 부호 231은 엑스-레이 튜브이고, 233은 디텍터이며, 235는 셔터부를 각각 나타낸다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.

110,210: 하우징 131,231: 엑스-레이 튜브
133,233: 디텍터 135,235: 셔터부
150,250: 릴 안착부 151: 검사대
153,253a,253b: 인출입 가동부 157: 승강부
171: 조작부 173: 디스플레이부

Claims

다수의 반도체 칩에 부착된 릴이 인입 또는 인출되는 개구를 개폐하는 도어를 가지는 하우징;
상기 하우징 내부에 배치되어 엑스-레이를 조사하는 엑스-레이 튜브;
상기 하우징 내부에 배치되어 상기 엑스-레이 튜브에 대응하는 위치에 배치되는 디텍터; 및
상기 엑스-레이가 조사될 수 있도록 상기 엑스-레이 튜브와 디텍터 사이에 배치되며, 상기 릴이 권취된 상태로 안착되는 검사대를 가지는 릴 안착부;를 포함하며,
상기 디텍터는 릴의 전체 면적을 1회 촬영하여 릴의 엑스-레이 영상을 획득하도록 상기 릴의 크기보다 더 큰 면적을 가지며,
상기 릴 안착부는, 상기 검사대를 상기 하우징의 내부로 인입 또는 상기 하우징 외부로 인출하는 인출입 가동부;를 포함하고, 피검사체인 릴의 지름에 따라 릴의 검사위치를 선택적으로 설정하며,
상기 인출입 가동부는, 상기 하우징 내부에 고정되는 한 쌍의 고정프레임; 및 상기 검사대가 분리 가능하게 안착되며, 상기 한 쌍의 고정프레임을 따라 상기 개구를 통해 상기 하우징의 내부 및 외부로 이동하는 한 쌍의 가동프레임;을 포함하며,
상기 도어는 내측면에 상기 한 쌍의 가동프레임이 상기 하우징 인입 및 인출 시 상기 한 쌍의 가동프레임의 저부에 슬라이딩 접촉하는 제1 슬라이딩 롤러가 배치되는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치.
제1항에 있어서,
상기 릴 안착부는,
상기 하우징 내부에서 상기 인출입 가동부를 미리 설정된 위치로 승강시키는 승강부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치.
제1항에 있어서,
상기 인출입 가동부는 적어도 2개이며, 상하로 이격 배치되는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치.
제3항에 있어서,
상기 적어도 2개의 인출입 가동부는 검사하는 릴의 지름에 대응하도록 각각 상기 디텍터와 서로 다른 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치.
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 도어는 상기 하우징 내부로부터 인출되는 상기 검사대에 연동하여 상기 개구를 개방하고, 상기 검사대가 상기 하우징으로 인입됨에 따라 상기 개구를 폐쇄하도록 상기 하우징에 탄력적으로 힌지 연결되는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치.
제5항에 있어서,
상기 도어는 상기 하우징과의 힌지 연결부분에 배치되는 댐퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치.
제5항에 있어서,
상기 인출입 가동부는,
상기 하우징 내부에 설치되어 상기 한 쌍의 가동프레임에 구동력을 제공하는 정회전 및 역회전 가능한 구동모터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치.
제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 가동프레임의 선단을 상호 연결하는 연결프레임을 더 포함하며,
상기 연결프레임은 선단을 따라 완충부재가 결합되고, 완충부재에 인접한 위치에 적어도 하나의 제2 슬라이딩 롤러가 배치되는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 하우징은 상기 인출입 가동부가 인출되는 측으로 안전센서가 배치되는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치.
제1항에 있어서,
상기 엑스-레이 튜브의 엑스-레이 방출구를 개폐하기 위한 셔터부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치.
제1항에 있어서,
상기 디텍터는 상기 하우징에 X축 및 Y축 방향을 따라 평면 상에서 이동하는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치.
제1항에 있어서,
상기 엑스-레이 튜브 또는 상기 디텍터는 상하 방향으로 미리 설정된 거리만큼 승강되는 것을 특징으로 하는 칩 카운팅 장치.