JP2018136239A - 電子部品搬送装置及び電子部品検査装置 - Google Patents

電子部品搬送装置及び電子部品検査装置 Download PDF

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Abstract

【課題】処理能力(UPH)を短縮できる電子部品搬送装置及び電子部品検査装置を提供する。【解決手段】電子部品搬送装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、電子部品を保持可能な第1保持部を有し、電子部品に対し、第1検査及び第1検査とは異なる第2検査を行う検査部を配置可能で、検査部は、電子部品に対して第1検査を行い、第1検査の結果が予め決められた条件を満たす場合に、第1検査を行った電子部品に対して第2検査を行い、第1検査の結果が予め決められた条件を満たさない場合に、第1検査を行った電子部品に対して第2検査を行わず、第1検査を行っていない別の電子部品に対して第1検査を行う。【選択図】図4

Description

本発明は、電子部品搬送装置及び電子部品検査装置に関するものである。
現在、指紋識別装置は、建物の出入り管理、携帯装置、又はパソコンなど個人身分の識別と確認に広く用いられている。指紋識別装置においては、指紋識別電子部品を用いて利用者の指紋画像を検知すると同時に、指紋画像をデータバンク内のサンプル指紋画像とを比較して利用者の身分を識別している。指紋識別電子部品の底面には、複数の電気的コンタクトが設けられるとともに、頂面には指紋を検知可能な検知部が設けられている。指紋識別電子部品は、複数のステップを経て製作されるため、業者は、出荷品質を確保するために、指紋識別電子部品の製作終了後に、電子部品検査装置により指紋識別電子部品に指(指紋)が接していない状態及び指(指紋)が接している状態に対して検査を行い、不良品を排除するようにしている。
例えば、電子部品(CCDセンサー)を複数の検査結果で分類する開示がある(例えば、特許文献1参照)。
また、電子部品(CCDセンサー)を検査するときに光の照射の有無で検査する開示がある(例えば、特許文献2参照)。
また、電子部品(CCDセンサー)を複数の検査項目で検査するという開示がある。(例えば、特許文献3参照)。
特開2010−78408号公報 特開2008−135211号公報 特開2006−317280号公報
しかしながら、特許文献1〜3では、複数の異なる検査を連続して行って、前の検査の結果の良否で次の検査の有無を判断する開示はない。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例に係る電子部品搬送装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、前記電子部品を保持可能な第1保持部を有し、前記電子部品に対し、第1検査及び前記第1検査とは異なる第2検査を行う検査部を配置可能で、前記検査部は、前記電子部品に対して前記第1検査を行い、前記第1検査の結果が予め決められた条件を満たす場合に、前記第1検査を行った前記電子部品に対して前記第2検査を行い、前記第1検査の結果が前記予め決められた条件を満たさない場合に、前記第1検査を行った前記電子部品に対して前記第2検査を行わず、前記第1検査を行っていない別の前記電子部品に対して前記第1検査を行う、ことを特徴とする。
本適用例によれば、第1検査の結果が予め決められた条件を満たさないとなれば第2検査を実施せずに搬送を継続することが可能である。これにより、ひとつの電子部品について、異なる検査を同時、連続して行うことで処理能力(UPH)を短縮できる。
予め決められた条件とは、例えば、電子部品に対して検査動作を行う検査プログラムを実行することにより、電子部品の欠陥(不具合)がないことである。
[適用例2]上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第1検査及び前記第2検査のうち少なくともいずれか一方は、複数回行われる、ことが好ましい。
本適用例によれば、正確な検査を行うことができる。
[適用例3]上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第1検査は、前記電子部品に対して物理的作用を加えない検査であり、前記第2検査は、前記電子部品に対して前記物理的作用を加える検査である、ことが好ましい。
本適用例によれば、電子部品に対して物理的作用を加える検査を行うことができる。
[適用例4]上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記物理的作用は、光及び電荷の少なくともいずれか1つである、ことが好ましい。
本適用例によれば、物理的作用を行う検査を容易に行うことができる。
[適用例5]上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第1検査は、前記電子部品に指(指紋)が接していない状態の検査であり、前記第2検査は、前記電子部品に前記指(指紋)が接している状態の検査である、ことが好ましい。
本適用例によれば、電子部品に指(指紋)が接していない状態及び指(指紋)が接している状態の検査を行うことができる。
[適用例6]上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第1保持部とは異なる構造である第2保持部を有する、ことが好ましい。
本適用例によれば、検査環境に特化した保持部を備えることができる。
[適用例7]上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第1保持部は、指紋照合を行う際に指の指紋パターンの代わりに用いられる指紋代用部材を備え、前記第2保持部は、前記指紋代用部材を備えない、ことが好ましい。
本適用例によれば、検査環境に特化した第2保持部を備えることができる。
[適用例8]本適用例に係る電子部品搬送装置は、電子部品を保持可能な第1保持部と、前記電子部品を保持可能で、前記第1保持部とは異なる構造である第2保持部と、を有し、前記電子部品を載置する載置部を有し、前記電子部品に対して検査が可能な検査部を配置可能で、前記第1保持部は、前記電子部品を前記載置部に搬送して前記載置部に載置し、前記第2保持部は、前記第1保持部が前記電子部品を前記載置部に載置した後に、前記電子部品を押圧して所定の検査を行う、ことを特徴とする。
本適用例によれば、検査環境に特化した第2保持部を備えることができる。これにより、異なる形状の電子部品の検査に対応することができる。また、第2保持部が電子部品を吸着できない構造でも、載置部に電子部品を載置した第1保持部で電子部品を搬送することも可能である。
[適用例9]上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第1保持部は、吸着機構を有し、前記第2保持部は、前記吸着機構を有しない、ことが好ましい。
本適用例によれば、検査環境に特化した第2保持部を備えることができる。
[適用例10]上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第2保持部は、電気検査を行う端子を有している、ことが好ましい。
本適用例によれば、検査環境に特化した第2保持部を備えることができる。
[適用例11]本適用例に係る電子部品検査装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、前記電子部品を保持可能な第1保持部と、前記電子部品に対し、第1検査及び前記第1検査とは異なる第2検査を行う検査部と、を有し、前記検査部は、前記電子部品に対して前記第1検査を行い、前記第1検査の結果が予め決められた条件を満たす場合に、前記第1検査を行った前記電子部品に対して前記第2検査を行い、前記第1検査の結果が前記予め決められた条件を満たさない場合に、前記第1検査を行った前記電子部品に対して前記第2検査を行わず、前記第1検査を行っていない別の電子部品に対して前記第1検査を行う、ことを特徴とする。
本適用例によれば、第1検査の結果が予め決められた条件を満たさないとなれば第2検査を実施せずに搬送を継続することが可能である。これにより、ひとつの電子部品について、異なる検査を同時、連続して行うことで処理能力(UPH)を短縮できる。
第1実施形態に係るICハンドラーの構造を示す模式平面図。 第1実施形態に係る測定ロボットの構造を示す模式正面図。 第1実施形態に係る測定ロボットの構造を示す模式正面図。 第1実施形態に係るICハンドラーの検査工程を示すフローチャート。 第2実施形態に係る測定ロボットの構造を示す模式正面図。 第2実施形態に係る測定ロボットの構造を示す模式正面図。 第2実施形態に係るICハンドラーの構造を示す模式平面図。 第3実施形態に係る測定ロボットの構造を示す模式正面図。 第3実施形態に係るICハンドラーの構造を示す模式平面図。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大又は縮小して表示している。
(第1実施形態)
図1は、本実施形態に係るICハンドラーの構造を示す模式平面図であり、本実施形態に係る電子部品としての指紋識別電子部品74を搬送可能な搬送部を備える電子部品搬送装置を電子部品検査装置としてのICハンドラーに用いた例を示す図である。
本実施形態のICハンドラーは、ベース80に、供給トレイ82、回収トレイ86、検査部10、測定ロボット20、供給ロボット90、回収ロボット92、及び制御装置(図示せず)を備えている。供給トレイ82には、少なくとも1つの検査される指紋識別電子部品74を載置するための少なくとも1つのポケット(図示せず)が設けられている。供給ロボット90の供給側ロボットハンドユニット94は、ポケットより指紋識別電子部品74を取り出すとともに、シャトル62,68に移送する。指紋識別電子部品74は、物理的作用を検知する検知部78を備えている。物理的作用とは、例えば、光、電荷、圧力、音、温度、振動、電界変化、磁界変化の少なくともいずれか1つである。
検査部10には、少なくとも1つの載置部としての検査用ソケット14を有する検査用回路板12(図2参照)が設けられている。検査部10は、指紋識別電子部品74を検査する。
シャトル62,68には、指紋識別電子部品74を載置する少なくとも1つの載置部が設けられている。本実施形態において、検査部10の供給ロボット90側に検査前の指紋識別電子部品74を載置する第1載置部64及び第3載置部70が設けられている。検査部10の回収ロボット92側に検査が終了した指紋識別電子部品74を載置する第2載置部66及び第4載置部72が設けられている。第1載置部64及び第3載置部70は、供給ロボット90の供給側ロボットハンドユニット94により検査前の指紋識別電子部品74を取り入れるとともに、検査前の指紋識別電子部品74を検査部10の側方に移送する。
図2は、本実施形態に係る測定ロボット20の構造を示す模式正面図である。
測定ロボット20には、少なくとも一方向に変位する押圧保持部34が設けられている。押圧保持部34は、指紋識別電子部品74を検査用ソケット14に入れ、又は検査用ソケット14から取り出し、かつ指紋識別電子部品74を検査用ソケット14に当接させる。また、押圧保持部34には、変位作動可能な押圧測定部材48が設けられて指紋識別電子部品74の検知部78に当接する。
本実施形態に係る搬送部は、指紋識別電子部品74を保持可能な第1保持部としての押圧保持部34を備えている。電子部品搬送装置は、指紋識別電子部品74に対し、第1検査及び第1検査とは異なる第2検査を行う検査部10を配置可能である。検査部10は、指紋識別電子部品74に対して第1検査を行い、第1検査の結果が予め決められた条件を満たす場合に、第1検査を行った指紋識別電子部品74に対して第2検査を行う。検査部10は、第1検査の結果が予め決められた条件を満たさない場合に、第1検査を行った指紋識別電子部品74に対して第2検査を行わず、第1検査を行っていない別の指紋識別電子部品74に対して第1検査を行う。
本実施形態における予め決められた条件とは、指紋識別電子部品74に対して検査動作を行う検査プログラムを実行することにより、指紋識別電子部品74の欠陥(不具合)がないことである。
本実施形態に係るICハンドラーは、指紋識別電子部品74を保持可能な押圧保持部34と、指紋識別電子部品74に対して、第1検査及び第1検査とは異なる第2検査を行う検査部10と、を備えている。
第1検査及び第2検査のうち少なくともいずれか一方は、複数回行われてもよい。これによれば、正確な検査を行うことができる。例えば、検査を複数回行われた場合は、総合して合否判断してもよい。
第1検査は、指紋識別電子部品74に対して物理的作用を加えない検査である。第2検査は、指紋識別電子部品74に対して物理的作用を加える検査である。これによれば、指紋識別電子部品74に対して物理的作用を加える検査を行うことができる。
物理的作用は、光及び電荷の少なくともいずれか1つであってもよい。これによれば、物理的作用を加える検査を容易に行うことができる。
第1検査は、指紋識別電子部品74の検知部78に指(指紋)が接していない状態の検査である。第2検査は、指紋識別電子部品74の検知部78に指(指紋)が接している状態の検査である。これによれば、指紋識別電子部品74の検知部78に指(指紋)が接していない状態及び指(指紋)が接している状態の検査を行うことができる。
検査部10には、少なくとも1つの検査用ソケット14を有する検査用回路板12が設けられ指紋識別電子部品74を検査する。本実施形態において、検査用ソケット14には、検査用回路板12に電気的に接続された複数のプローブ18が配置されて指紋識別電子部品74の電気的コンタクト76に電気的に接続される。電気的コンタクト76は、スズボールや接続ピンなどであってよい。
測定ロボット20には、少なくとも一方向に変位する押圧保持部34が設けられている。押圧保持部34は、指紋識別電子部品74を検査用ソケット14への出し入れを行うとともに、検査用ソケット14内の指紋識別電子部品74の非検知部位に当接する。
本実施形態において、測定ロボット20には、第1方向、第2方向(例えばZ方向、Y方向)に変位する移送装置32が設けられている。移送装置32には、押圧保持部34が取り付けられている。押圧保持部34の一端が移送装置32の底部に取り付けられている。他端には、押圧移転部材36が設けられて指紋識別電子部品74の非検知部位に当接している。押圧移転部材36の底面には、複数の吸着部38が設けられて指紋識別電子部品74の出し入れを行う。吸着部38は、吸引管61を介して図示しない吸引ポンプに接続されている。
また、押圧保持部34の内部に収容空間40が設けられている。収容空間40の底面に押圧移転部材36まで貫通する貫通孔42が開設されている。測定ロボット20は、押圧保持部34の内部に変位作動可能な押圧測定部材48が設けられている。押圧測定部材48の下方に押当て部52が設けられている。押当て部52の下方に指紋代用部材としての導電部材56が設けられている。導電部材56は指紋識別電子部品74の検知部78に当接する。導電部材56は、指紋照合を行う際に指の指紋パターンの代わりに用いられる部材である。
本実施形態において、押圧保持部34の収容空間40内に弾性部材が設けられた押圧測定部材48が配置されている。さらに、押圧測定部材48の一端にフランジ50が設けられている。押圧測定部材48と空気室44内の上面との間に引張ばね54である弾性部材が設けられている。ばね54は押圧測定部材48をZ方向の上方に弾性復帰させる。
押当て部52の底面に取り付けられた導電部材56は(本実施形態において、導電部材56は、導電性プラスチックシートであってもよい)、静電気放電を行う。また、押圧測定部材48の他端に貫通孔42に挿通された押当て部52が設けられている。押当て部52の底面に取り付けられた導電部材56が指紋識別電子部品74の検知部78に押し当てられる。また、押圧保持部34には、押圧測定部材48を駆動してZ方向に変位させる少なくとも1つの駆動構造が設けられている。
本実施形態において、駆動構造には、押圧測定部材48の一端の上方に少なくとも1つの通気口46に連通する空気室44が設けられている。空気室44の空気を加圧させて押圧測定部材48をZ方向に押圧して下方に変位させる。空気室44は、シール部材59を使用することにより、空気室44の加圧された空気の漏れを防止することができるように構成されている。
本実施形態において、検査部10の一方側に第3方向(例えばX方向)に変位する第1シャトル62が設けられている。第1シャトル62の供給ロボット90側には、検査前の指紋識別電子部品74を載置する少なくとも1つの第1載置部64が設けられている。また、第1シャトル62の回収ロボット92側には、検査が終了した指紋識別電子部品74を載置する少なくとも1つの第2載置部66が設けられている。
検査部10の他方側には、第3方向に変位する第2シャトル68が設けられている。第2シャトル68の供給ロボット90側には、検査前の指紋識別電子部品74を載置する少なくとも1つの第3載置部70が設けられている。また、第2シャトル68の回収ロボット92側には、検査が終了した指紋識別電子部品74を載置する少なくとも1つの第4載置部72が設けられている。
使用時に、第1シャトル62の第1載置部64は、検査前の指紋識別電子部品74を載置するとともに、X方向に変位し、検査前の指紋識別電子部品74を検査部10の一方側に移送する。測定ロボット20の移送装置32は、押圧保持部34及び押圧測定部材48を駆動してY方向に変位させる。移送装置32は、押圧保持部34を第1載置部64の上方に位置させる。移送装置32によりさらに押圧保持部34を駆動してZ方向に変位させる。押圧保持部34の吸着部38により指紋識別電子部品74の非検知部位に接触して吸着する。さらに第1シャトル62の第1載置部64から検査前の指紋識別電子部品74を取り出す。
測定ロボット20の押圧保持部34が検査前の指紋識別電子部品74を取り出した後に、測定ロボット20の移送装置32により押圧保持部34及び検査前の指紋識別電子部品74を駆動してY方向に変位させる。移送装置32により検査前の指紋識別電子部品74を検査部10の検査用ソケット14の上方に位置させる。移送装置32は、さらに押圧保持部34をZ方向に駆動して下方に変位させる。
押圧保持部34は、図2に示すように、検査前の指紋識別電子部品74を検査用ソケット14に配置させる。押圧保持部34は、押圧移転部材36を指紋識別電子部品74に当接させる。押圧保持部34は、指紋識別電子部品74の電気的コンタクト76を確実に検査用ソケット14のプローブ18に接触させる。
押圧保持部34の押圧移転部材36は、指紋識別電子部品74の非検知部位に当接させる。押圧移転部材36は、指紋識別電子部品74の検知部78に影響を与えないので、検査用ソケット14内で指紋識別電子部品74の検知部78に対して第1検査としての指(指紋)が接していない状態(検知部78に導電部材56が接していない状態)の検査を実行することができる。検査用ソケット14は、検査用回路板12を介して検査データをコントローラー(図示せず)に送信する。
図3は、本実施形態に係る測定ロボット20の構造を示す模式正面図である。
測定ロボット20は、図3に示すように、指紋識別電子部品74の検知部78に対して指(指紋)が接していない状態の検査を実行した後に、通気口46を介して空気を空気室44に注入する。そして、空気室44の空気を加圧させ、空気室44の加圧された空気の圧力により押圧測定部材48をZ方向に押圧して下方に変位させる。押圧測定部材48は、フランジ50が押圧保持部34に当接するか、導電部材56が指紋識別電子部品74の検知部78に接触するかまで、押当て部52及び導電部材56を押圧保持部34の貫通孔42内で下方に変位する。導電部材56により指紋識別電子部品74の検知部78に接触して押しつけ、導電部材56により静電気放電を行う。検査部10の検査用ソケット14内で指紋識別電子部品74の検知部78に対して第2検査としての指(指紋)が接している状態(検知部78に導電部材56が接している状態)の検査を実行する。
検査終了後に、測定ロボット20は、先ず通気口46を介して空気室44内の空気を排出させる。押圧測定部材48は、空気室44内の空気からの外部力を受けないため、引張ばね54の復帰弾力によりZ方向に沿って上方に変位し、導電部材56を駆動して指紋識別電子部品74の検知部78から離間させることができる。指紋識別電子部品74が依然として押圧保持部34の吸着部38により保持吸着されているため、移送装置32により押圧保持部34をZ方向に駆動して上方に変位させるときに、押圧保持部34の吸着部38により検査が終了した指紋識別電子部品74を吸着して検査部10の検査用ソケット14から取り出すことができる。
測定ロボット20の押圧保持部34により検査が終了した指紋識別電子部品74を取り出した後に、第2シャトル68の第4載置部72がX方向に沿って検査部10の他方側に変位する。測定ロボット20は、移送装置32により押圧保持部34及び検査が終了した指紋識別電子部品74を駆動してY方向に変位させ、検査が終了した指紋識別電子部品74を第4載置部72の上方に移送する。移送装置32によりさらに押圧保持部34をZ方向に変位させ、検査が終了した指紋識別電子部品74を第2シャトル68の第4載置部72に配置し、第4載置部72により検査が終了した指紋識別電子部品74を取り出す。
図4は、本実施形態に係るICハンドラーの検査工程を示すフローチャートである。
先ず、ステップS10において、制御装置は、検査用ソケット14に指紋識別電子部品74を載置する。
次に、ステップS20において、制御装置は、指(指紋)が接していない状態(検知部78に導電部材56が接していない状態)の指紋識別電子部品74に対して検査を実行する。
次に、ステップS30において、制御装置は、指(指紋)が接していない状態の指紋識別電子部品74に対して検査が正常に終了したか判断する。検査の結果が予め決められた条件を満たす場合は、YESでステップS40に進む。検査の結果が予め決められた条件を満たさない場合は、NOでステップS32に進む。
次に、ステップS32において、制御装置は、指(指紋)が接していない状態の指紋識別電子部品74に対して検査が2回未満か判断する。1回目の場合は、YESでステップS34に進む。2回目の場合は、NOでステップS70に進む。
次に、ステップS34において、制御装置は、検査用ソケット14に載置されている指紋識別電子部品74を載置し直す間、検査部10を待機状態にさせる。制御装置は、測定ロボット20に検査用ソケット14に載置されている指紋識別電子部品74を載置し直させる(ステップS36)。そして、検査終了を確認してステップS20に戻る。
次に、ステップS40において、制御装置は、検査環境を変更する間、検査部10を待機状態にさせる。制御装置は、測定ロボット20に検査環境を変更させる(ステップS42)。具体的には、測定ロボット20は、押当て部52の底面に取り付けられた導電部材56が指紋識別電子部品74の検知部78に押し当てる。
次に、ステップS50において、制御装置は、指(指紋)が接している状態(検知部78に導電部材56が接している状態)の指紋識別電子部品74に対して検査を実行する。
次に、ステップS60において、制御装置は、指(指紋)が接している状態の指紋識別電子部品74に対して検査が正常に終了したか判断する。検査の結果が予め決められた条件を満たす場合は、YESでステップS70に進む。検査の結果が予め決められた条件を満たさない場合は、NOでステップS62に進む。
次に、ステップS62において、制御装置は、指(指紋)が接している状態の指紋識別電子部品74に対して検査が2回未満か判断する。1回目の場合は、YESでステップS64に進む。2回目の場合は、NOでステップS70に進む。
次に、ステップS64において、制御装置は、導電部材56を指紋識別電子部品74の検知部78に押し当て直す間、検査部10を待機状態にさせる。制御装置は、測定ロボット20に導電部材56を指紋識別電子部品74の検知部78に押し当て直させる(ステップS66)。そして、検査終了を確認してステップS50に戻る。
次に、ステップS70において、制御装置は、次にテストする指紋識別電子部品74があるか判断する。次の指紋識別電子部品74がある場合は、YESでステップS10に戻り、検査を繰り返す。次の指紋識別電子部品74がない場合は、NOで検査を終了する。
上記ステップを実行することにより制御装置は、検査対象の指紋識別電子部品74が正常かどうか判断することができる。なお、上記ステップでは、検査の結果が予め決められた条件を満たさない場合、再検査を2回未満としたが、再検査は2回未満に限定されず、例えば、2回以上の再検査を行ってもよい。
本実施形態において、図1に示すように、検査部10の上方に測定ロボット20と同じ第1測定ロボット22及び第2測定ロボット24が設けられている。第1測定ロボット22及び第2測定ロボット24は、それぞれ第1載置部64及び第3載置部70の検査前の指紋識別電子部品74を検査部10の検査用ソケット14に当接するように取り入れて検査を行う。
また、検査用ソケット14内の検査が終了した指紋識別電子部品74を取り出すとともにそれぞれ第2載置部66及び第4載置部72に移送する。第2載置部66及び第4載置部72は、回収ロボット92の回収側ロボットハンドユニット96により、検査が終了した指紋識別電子部品74を取り出すとともに、回収側ロボットハンドユニット96により検査が終了した指紋識別電子部品74を回収トレイ86に移送する。
回収トレイ86には、少なくとも1つの検査が終了した指紋識別電子部品74を載置するための少なくとも1つの載置部が設けられている。回収ロボット92の回収側ロボットハンドユニット96により検査の結果に基づいて検査が終了した指紋識別電子部品74を載置部に移送し分類してストックする。制御装置は、各装置の動作を制御調整して自動化検査を実行し、生産効率を高めるという実用的効果を達成する。
本実施形態によれば、第1検査の結果が予め決められた条件を満たさないとなれば第2検査を実施せずに搬送を継続することが可能である。これにより、ひとつの指紋識別電子部品74について、異なる検査を同時、連続して行うことで処理能力(UPH)を短縮できる。
なお、測定ロボット20は、押圧保持部34とは異なる構造である第2保持部を備えてもよい。これによれば、検査環境に特化した保持部を備えることができる。例えば、押圧保持部34を搬送専用とし、第2保持部を押圧・検査用としてもよい。
また、押圧保持部34は、指紋照合を行う際に指の指紋パターンの代わりに用いられる導電部材56を備えていてもよい。第2保持部は、導電部材56を備えていなくてもよい。これによれば、検査環境に特化した第2保持部を備えることができる。
(第2実施形態)
図5は、本実施形態に係る測定ロボット26の構造を示す模式正面図である。図6は、本実施形態に係る測定ロボット28の構造を示す模式正面図である。図7は、本実施形態に係るICハンドラーの構造を示す模式平面図である。
本実施形態のICハンドラーは、第1保持部としての第1押圧保持部35と、第1押圧保持部35とは異なる構造である第2保持部としての第2押圧保持部37と、を備える点が、第1実施形態とは異なっている。以下、第1実施形態と同じ構成部材には同一符号を付し、ここではそれらの説明を省略又は簡略化する。
本実施形態に係るICハンドラーは、指紋識別電子部品74を保持可能な第1押圧保持部35と、指紋識別電子部品74を保持可能で、第1押圧保持部35とは異なる構造である第2押圧保持部37と、を備えている。第1押圧保持部35は、指紋識別電子部品74を検査用ソケット14に搬送して検査用ソケット14に載置する。第2押圧保持部37は、第1押圧保持部35が指紋識別電子部品74を検査用ソケット14に載置した後に、指紋識別電子部品74を押圧して所定の検査を行う。
本実施形態において、検査部10の上方に第1測定ロボット26及び第2測定ロボット28が設けられている。
測定ロボット26,28には、少なくとも一方向に変位する押圧保持部35,37が設けられている。押圧保持部35,37は、指紋識別電子部品74を検査用ソケット14への出し入れを行うとともに、検査用ソケット14内の指紋識別電子部品74の非検知部位に当接する。本実施形態において、測定ロボット26,28には、第1方向、第2方向(例えばZ方向、Y方向)に変位する移送装置32が設けられている。移送装置32には、押圧保持部35,37が取り付けられている。押圧保持部35,37の一端が移送装置32の底部に取り付けられ、他端には、押圧移転部材36が設けられて指紋識別電子部品74の非検知部位に当接する。押圧移転部材36の底面には、複数の吸着部38が設けられて指紋識別電子部品74の出し入れを行う。
第2測定ロボット28には、第2押圧保持部37の他端に押当て部52が設けられている。押当て部52の底面に取り付けられた導電部材56が指紋識別電子部品74の検知部78に押し当てられる。
第1測定ロボット26には、第1押圧保持部35の他端に押当て部52の底面に導電部材が設けられていない。第1測定ロボット26の第1押圧保持部35は、指紋識別電子部品74の検知部78に当接しない。
本実施形態の指紋識別電子部品74は、図7に示すように、矢印A、矢印B、及び矢印Cの順路で搬送される。具体的には、指紋識別電子部品74の検知部78に対して指(指紋)が接していない状態の検査を実行した後に、第1測定ロボット26は、検査用ソケット14に指紋識別電子部品74を残したまま、指紋識別電子部品74から離間する。第2測定ロボット28は、押圧移転部材36を指紋識別電子部品74に当接させる。第2測定ロボット28は、押当て部52及び導電部材56を下方に変位させ、導電部材56により指紋識別電子部品74の検知部78に接触して押しつけ、導電部材56により静電気放電を行い、検査部10の検査用ソケット14内で指紋識別電子部品74の検知部78に対して指(指紋)が接している状態の検査を実行する。
第2測定ロボット28の第2押圧保持部37により検査が終了した指紋識別電子部品74を取り出した後に、第2シャトル68の第4載置部72がX方向に沿って検査部10の他方側に変位する。第2測定ロボット28は、移送装置32により第2押圧保持部37及び検査が終了した指紋識別電子部品74を駆動してY方向に変位させ、検査が終了した指紋識別電子部品74を第4載置部72の上方に移送する。移送装置32によりさらに第2押圧保持部37をZ方向に変位させ、検査が終了した指紋識別電子部品74を第2シャトル68の第4載置部72に配置し、第4載置部72により検査が終了した指紋識別電子部品74を取り出す。
なお、指紋識別電子部品74の搬送経路は、第2シャトル68側から搬送してもよい。
また、第2押圧保持部37は、電気検査を行う端子を備えてもよい。これによれば、検査環境に特化した第2押圧保持部37を備えることができる。
(第3実施形態)
図8は、本実施形態に係る測定ロボット30の構造を示す模式正面図である。図9は、本実施形態に係るICハンドラーの構造を示す模式平面図である。
本実施形態のICハンドラーは、第2保持部としての第2押圧保持部39が吸着機構を備えていない点が、第2実施形態とは異なっている。以下、第2実施形態と同じ構成部材には同一符号を付し、ここではそれらの説明を省略又は簡略化する。
本実施形態のICハンドラーの第1押圧保持部35は、吸着機構を備え、第2押圧保持部39は、吸着機構を備えていない。これによれば、検査環境に特化した第2押圧保持部39を備えることができる。
本実施形態において、検査部10の上方に第1測定ロボット26及び第2測定ロボット30が設けられている。
第2測定ロボット30には、第2押圧保持部39の他端に押当て部52が設けられている。押当て部52の底面に取り付けられた導電部材56が指紋識別電子部品74の検知部78に押し当てられる。
本実施形態の指紋識別電子部品74は、図9に示すように、矢印D、矢印E、矢印F、及び矢印Gの順路で搬送される。具体的には、指紋識別電子部品74の検知部78に対して指(指紋)が接していない状態の検査を実行した後に、第1測定ロボット26は、検査用ソケット14に指紋識別電子部品74を残したまま、指紋識別電子部品74から離間する。第2測定ロボット30は、押当て部52及び導電部材56を下方に変位させ、導電部材56により指紋識別電子部品74の検知部78に接触して押しつけ、導電部材56により静電気放電を行い、検査部10の検査用ソケット14内で指紋識別電子部品74の検知部78に対して指(指紋)が接している状態の検査を実行する。
そして、指紋識別電子部品74の検知部78に対して指(指紋)が接している状態の検査を実行した後に、第2測定ロボット30は、検査用ソケット14に指紋識別電子部品74を残したまま、指紋識別電子部品74から離間する。第1測定ロボット26は、押圧移転部材36を指紋識別電子部品74に当接させる。第1測定ロボット26は、検査が終了した指紋識別電子部品74を取り出した後に、第1シャトル62の第2載置部66がX方向に沿って検査部10の他方側に変位する。第1測定ロボット26は、移送装置32により第1押圧保持部35及び検査が終了した指紋識別電子部品74を駆動してY方向に変位させ、検査が終了した指紋識別電子部品74を第2載置部66の上方に移送する。
移送装置32によりさらに第1押圧保持部35をZ方向に変位させ、検査が終了した指紋識別電子部品74を第1シャトル62の第2載置部66に配置し、第2載置部66により検査が終了した指紋識別電子部品74を取り出す。
なお、指紋識別電子部品74の搬送経路は、第2シャトル68側から搬送してもよい。
また、第2押圧保持部39は、電気検査を行う端子を備えてもよい。これによれば、検査環境に特化した第2押圧保持部39を備えることができる。
本実施形態によれば、検査環境に特化した第2押圧保持部39を備えることができる。これにより、異なる形状の指紋識別電子部品74の検査に対応することができる。また、第2押圧保持部39が指紋識別電子部品74を吸着できない構造でも、検査用ソケット14に指紋識別電子部品74を載置した第1押圧保持部35で指紋識別電子部品74を搬送することも可能である。
10…検査部 12…検査用回路板 14…検査用ソケット 18…プローブ 20…測定ロボット 22,26…第1測定ロボット 24,28,30…第2測定ロボット 32…移送装置 34…押圧保持部 35…第1押圧保持部 36…押圧移転部材 37,39…第2押圧保持部 38…吸着部 40…収容空間 42…貫通孔 44…空気室 46…通気口 48…押圧測定部材 50…フランジ 52…押当て部 54…ばね 56…導電部材 59…シール部材 61…吸引管 62…第1シャトル 64…第1載置部 66…第2載置部 68…第2シャトル 70…第3載置部 72…第4載置部 74…指紋識別電子部品 76…電気的コンタクト 78…検知部 80…ベース 82…供給トレイ 86…回収トレイ 90…供給ロボット 92…回収ロボット 94…供給側ロボットハンドユニット 96…回収側ロボットハンドユニット。

Claims (11)

  1. 電子部品を搬送可能な搬送部と、
    前記電子部品を保持可能な第1保持部を有し、
    前記電子部品に対し、第1検査及び前記第1検査とは異なる第2検査を行う検査部を配置可能で、
    前記検査部は、前記電子部品に対して前記第1検査を行い、
    前記第1検査の結果が予め決められた条件を満たす場合に、前記第1検査を行った前記電子部品に対して前記第2検査を行い、
    前記第1検査の結果が前記予め決められた条件を満たさない場合に、前記第1検査を行った前記電子部品に対して前記第2検査を行わず、前記第1検査を行っていない別の前記電子部品に対して前記第1検査を行う、電子部品搬送装置。
  2. 前記第1検査及び前記第2検査のうち少なくともいずれか一方は、複数回行われる、請求項1に記載の電子部品搬送装置。
  3. 前記第1検査は、前記電子部品に対して物理的作用を加えない検査であり、
    前記第2検査は、前記電子部品に対して前記物理的作用を加える検査である、請求項1又は2に記載の電子部品搬送装置。
  4. 前記物理的作用は、光及び電荷の少なくともいずれか1つである、請求項3に記載の電子部品搬送装置。
  5. 前記第1検査は、前記電子部品に指(指紋)が接していない状態の検査であり、
    前記第2検査は、前記電子部品に前記指(指紋)が接している状態の検査である、請求項1又は2に記載の電子部品搬送装置。
  6. 前記第1保持部とは異なる構造である第2保持部を有する、請求項1又は2に記載の電子部品搬送装置。
  7. 前記第1保持部は、指紋照合を行う際に指の指紋パターンの代わりに用いられる指紋代用部材を備え、
    前記第2保持部は、前記指紋代用部材を備えない、請求項6に記載の電子部品搬送装置。
  8. 電子部品を保持可能な第1保持部と、
    前記電子部品を保持可能で、前記第1保持部とは異なる構造である第2保持部と、
    を有し、
    前記電子部品を載置する載置部を有し、前記電子部品に対して検査が可能な検査部を配置可能で、
    前記第1保持部は、前記電子部品を前記載置部に搬送して前記載置部に載置し、
    前記第2保持部は、前記第1保持部が前記電子部品を前記載置部に載置した後に、前記電子部品を押圧して所定の検査を行う、電子部品搬送装置。
  9. 前記第1保持部は、吸着機構を有し、
    前記第2保持部は、前記吸着機構を有しない、請求項8に記載の電子部品搬送装置。
  10. 前記第2保持部は、電気検査を行う端子を有している、請求項8又は9に記載の電子部品搬送装置。
  11. 電子部品を搬送可能な搬送部と、
    前記電子部品を保持可能な第1保持部と、
    前記電子部品に対し、第1検査及び前記第1検査とは異なる第2検査を行う検査部と、
    を有し、
    前記検査部は、前記電子部品に対して前記第1検査を行い、
    前記第1検査の結果が予め決められた条件を満たす場合に、前記第1検査を行った前記電子部品に対して前記第2検査を行い、
    前記第1検査の結果が前記予め決められた条件を満たさない場合に、前記第1検査を行った前記電子部品に対して前記第2検査を行わず、前記第1検査を行っていない別の前記電子部品に対して前記第1検査を行う、電子部品検査装置。
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