以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
<第1実施形態>
以下、図1〜図9を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向(第1の方向)」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向(第2の方向)」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向(第3の方向)」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。また、本願明細書で言う「鉛直」とは、完全な鉛直に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、鉛直に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。また、図1、図3〜図6中(図10、図11、図14〜図17、図19および図20についても同様)の上側、すなわち、Z軸方向正側を「上」または「上方」、下側、すなわち、Z軸方向負側を「下」または「下方」と言うことがある。
本発明の電子部品搬送装置10は、図1に示す外観を有するハンドラーである。図2に示すように、この電子部品搬送装置10は、電子部品であるICデバイス90または電気絶縁性部材(以下単に「絶縁性部材」と言う)80Aが載置され、ICデバイス90(電子部品)または絶縁性部材80Aに対して電圧を印加する電気的検査を行い、通電したか否かを示す信号を出力する検査部16が設けられる検査領域A3(検査実行部)と、ICデバイス90(電子部品)または絶縁性部材80Aを検査部16に搬送する搬送部25と、検査部16にICデバイス90(電子部品)が載置されているかを検出する検出部804とを備えている。搬送部25が、検査が終わったICデバイス90を検査部16から搬送する動作をし、絶縁性部材80Aを検査部16に搬送して載置することができる。そして、その後、検出部804は、電気的検査を行い、通電したことを示す信号を出力した場合には、検査部16にICデバイス90(電子部品)が載置されていると判断する。
また、本発明の電子部品搬送装置10は、ICデバイス90(電子部品)を搬送する電子部品搬送装置10である。この電子部品搬送装置10は、電子部品であるICデバイス90または絶縁性部材80Aが載置され、ICデバイス90(電子部品)または絶縁性部材80Aに対して電圧を印加する電気的検査を行い、通電したか否かを示す信号を出力する検査部16(テスター)が設けられる検査領域A3と、ICデバイス90(電子部品)または電気絶縁性部材を検査部16(テスター)に搬送する搬送部25と、プロセッサー802とを備えている。プロセッサー802は、搬送部25に、検査が終わったICデバイス90を検査部16から搬送する動作をさせ、絶縁性部材80Aを検査部16に搬送して載置させ、検査部16に、電気的検査を行わせ、通電したことを示す信号を出力した場合には、検査部16(テスター)にICデバイス90(電子部品)が載置されていると判断する。
この検査に際しては、例えば図3、図4に示すように、検査部16にICデバイス90が残留している場合がある。この場合、残留しているICデバイス90に、次に検査されるべきICデバイス90(未検査のICデバイス90)が重なって載置されてしまう。このような状態では、未検査のICデバイス90に対する検査を正確に行なうことが困難となるおそれがある。
そのため、ICデバイス90の残留を検出することが考えられるが、この検出に際しては、例えば、検査用ソケットに向かってスリット光を照射する光照射部や、検査用ソケットの画像を撮像する撮像部を設置する等、各種の構成(ハードウェア)が必要となる。
これに対し、本発明によれば、後述するように、残留デバイス90Aの有無の検出を、検出部804でのプログラム(ソフトウェア)上で行なうことができ、残留検出のための前記ハードウェアの設置を可能な限り省略して、電子部品搬送装置10の構成を簡単なものとすることができる。
また、図2に示すように、本発明の電子部品検査装置1は、電子部品搬送装置10を備え、さらに、電子部品を検査する検査部16を備えるテストシステム(test system)である。すなわち、本発明の電子部品検査装置1は、電子部品であるICデバイス90または電気絶縁性部材(以下単に「絶縁性部材」と言う)80Aが載置され、ICデバイス90(電子部品)または絶縁性部材80Aに対して電圧を印加する電気的検査を行い、通電したか否かを示す信号を出力する検査部16と、検査部16が設けられる検査領域A3と、ICデバイス90(電子部品)または絶縁性部材80Aを検査部16に搬送する搬送部25と、検査部16にICデバイス90(電子部品)が載置されているかを検出する検出部804とを備えている。搬送部25が、検査が終わったICデバイス90を検査部16から搬送する動作をし、絶縁性部材80Aを検査部16に搬送して載置することができる。そして、その後、検査部16は、電気的検査を行い、通電したことを示す信号を出力した場合には、検査部16にICデバイス90(電子部品)が載置されていると判断する。
これにより、前述した電子部品搬送装置10の利点を持つ電子部品検査装置1が得られる。また、検査部16にまでICデバイス90を搬送することができ、よって、当該ICデバイス90に対する検査を検査部16で行なうことができる。また、検査後のICデバイス90を検査部16から搬送することができる。
以下、各部の構成について詳細に説明する。
図1、図2に示すように、電子部品搬送装置10を有する電子部品検査装置1は、例えばBGA(Ball Grid Array)パッケージであるICデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験(以下単に「検査」と言う)する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。ICデバイス90は、本実施形態では平板状をなすものとなっている。また、ICデバイス90の下面には、半球状の複数の端子901が配置されている(図3および図4参照)。
なお、ICデバイスとしては、前記のものの他に、例えば、「LSI(Large Scale Integration)」「CMOS(Complementary MOS)」「CCD(Charge Coupled Device)」や、ICデバイスを複数モジュールパッケージ化した「モジュールIC」、また、「水晶デバイス」、「圧力センサー」、「慣性センサー(加速度センサー)」、「ジャイロセンサー」、「指紋センサー」等が挙げられる。
電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)は、トレイ供給領域A1と、デバイス供給領域A2と、検査領域A3と、デバイス回収領域A4と、トレイ除去領域A5とを備え、これらの領域は、後述するように各壁部で分けられている。そして、ICデバイス90は、トレイ供給領域A1からトレイ除去領域A5まで前記各領域を矢印α90方向に順に経由し、途中の検査領域A3で検査が行われる。このように電子部品検査装置1は、各領域を経由するようにICデバイス90を搬送する搬送部25を有する電子部品搬送装置10と、検査領域A3内で検査を行なう検査部16と、産業用コンピューターで構成された制御部800とを備えたものとなっている。また、その他、電子部品検査装置1は、モニター300と、シグナルランプ400と、操作パネル700とを備えている。
なお、電子部品検査装置1は、トレイ供給領域A1、トレイ除去領域A5が配された方、すなわち、図2中の下側が正面側となり、検査領域A3が配された方、すなわち、図2中の上側が背面側として使用される。
また、電子部品検査装置1は、ICデバイス90の種類ごとに交換される「チェンジキット」と呼ばれるものを予め搭載して用いられる。このチェンジキットには、例えば、温度調整部12と、デバイス供給部14と、デバイス回収部18とがある。また、このようなチェンジキットとは別に、ICデバイス90の種類ごとに交換されるものとしては、例えば、ユーザーが用意するトレイ200と、回収用トレイ19と、検査部16とがある。
トレイ供給領域A1は、未検査状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が供給される給材部である。トレイ供給領域A1は、トレイ200を複数積み重ねて搭載可能な搭載領域と言うこともできる。なお、本実施形態では、各トレイ200には、複数の凹部(ポケット)が行列状に配置されている。各凹部には、ICデバイス90を1つずつ収納、載置することができる。
デバイス供給領域A2は、トレイ供給領域A1から搬送されたトレイ200上の複数のICデバイス90がそれぞれ検査領域A3まで搬送、供給される領域である。なお、トレイ供給領域A1とデバイス供給領域A2とをまたぐように、トレイ200を1枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構11A、トレイ搬送機構11Bが設けられている。トレイ搬送機構11Aは、搬送部25の一部であり、トレイ200を、当該トレイ200に載置されたICデバイス90ごとY方向の正側、すなわち、図2中の矢印α11A方向に移動させることができる。これにより、ICデバイス90を安定してデバイス供給領域A2に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構11Bは、空のトレイ200をY方向の負側、すなわち、図2中の矢印α11B方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ200をデバイス供給領域A2からトレイ供給領域A1に移動させることができる。
デバイス供給領域A2には、温度調整部(ソークプレート(英語表記:soak plate、中国語表記(一例):均温板))12と、デバイス搬送ヘッド13と、トレイ搬送機構15とが設けられている。また、デバイス供給領域A2と検査領域A3とをまたぐように移動するデバイス供給部14も設けられている。
温度調整部12は、複数のICデバイス90が載置され、当該載置されたICデバイス90を一括して加熱または冷却することができる「ソークプレート」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部16で検査される前のICデバイス90を予め加熱または冷却して、当該検査(高温検査や低温検査)に適した温度に調整することができる。
このような載置部としての温度調整部12は、固定されている。これにより、当該温度調整部12上でのICデバイス90に対して安定して温度調整することができる。
また、温度調整部12は、グランドされて(接地されて)いる。
図2に示す構成では、温度調整部12は、Y方向に2つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構11Aによってトレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200上のICデバイス90は、いずれかの温度調整部12まで搬送される。
デバイス搬送ヘッド13は、ICデバイス90を把持するものであり、デバイス供給領域A2内でX方向およびY方向に移動可能に支持され、さらにZ方向にも移動可能に支持されている。このデバイス搬送ヘッド13は、搬送部25の一部でもあり、トレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200と温度調整部12との間のICデバイス90の搬送と、温度調整部12と後述するデバイス供給部14との間のICデバイス90の搬送とを担うことができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド13のX方向の移動を矢印α13Xで示し、デバイス搬送ヘッド13のY方向の移動を矢印α13Yで示している。
デバイス供給部14は、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90が載置され、当該ICデバイス90を検査部16近傍まで搬送することができる「供給用シャトルプレート」または単に「供給シャトル」と呼ばれるものである。このデバイス供給部14も、搬送部25の一部となり得る。このデバイス供給部14は、ICデバイス90が収納、載置される凹部(ポケット)を有している。
また、デバイス供給部14は、デバイス供給領域A2と検査領域A3との間をX方向、すなわち、矢印α14方向に往復移動可能(移動可能)に支持されている。これにより、デバイス供給部14は、ICデバイス90をデバイス供給領域A2から検査領域A3の検査部16近傍まで安定して搬送することができ、また、検査領域A3でICデバイス90がデバイス搬送ヘッド17によって取り去られた後は再度デバイス供給領域A2に戻ることができる。
図2に示す構成では、デバイス供給部14は、Y方向に2つ配置されており、Y方向負側のデバイス供給部14を「デバイス供給部14A」と言い、Y方向正側のデバイス供給部14を「デバイス供給部14B」と言うことがある。そして、温度調整部12上のICデバイス90は、デバイス供給領域A2内でデバイス供給部14Aまたはデバイス供給部14Bまで搬送される。また、デバイス供給部14は、温度調整部12と同様に、当該デバイス供給部14に載置されたICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90に対して、その温度調整状態を維持して、検査領域A3の検査部16近傍まで搬送することができる。また、デバイス供給部14も、温度調整部12と同様に、グランドされている。
トレイ搬送機構15は、全てのICデバイス90が除去された状態の空のトレイ200をデバイス供給領域A2内でX方向の正側、すなわち、矢印α15方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、トレイ搬送機構11Bによってデバイス供給領域A2からトレイ供給領域A1に戻される。
検査領域A3は、ICデバイス90を検査する領域である。この検査領域A3には、ICデバイス90に対して検査を行なう検査部16と、デバイス搬送ヘッド17とが設けられている。
デバイス搬送ヘッド17は、搬送部25の一部であり、温度調整部12と同様に、把持したICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。また、図3〜図6に示すように、デバイス搬送ヘッド17は、ICデバイス90を吸着により把持する吸着パッド(吸着ノズル)171を有している。このような構成により、前記温度調整状態が維持されたICデバイス90を把持して、前記温度調整状態を維持したまま、ICデバイス90を検査領域A3内で搬送することができる。
このようなデバイス搬送ヘッド17は、検査領域A3内でY方向およびZ方向に往復移動可能に支持され、「インデックスアーム(測定ロボット)」と呼ばれる機構の一部となっている。これにより、デバイス搬送ヘッド17は、デバイス供給領域A2から搬入されたデバイス供給部14から、ICデバイス90を持ち上げて、検査部16上に搬送し、載置することができる。
なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド17のY方向の往復移動を矢印α17Yで示している。そして、デバイス搬送ヘッド17は、検査領域A3内で、ICデバイス90のデバイス供給部14Aから検査部16への搬送と、ICデバイス90のデバイス供給部14Bから検査部16への搬送とを担うことができる。また、デバイス搬送ヘッド17は、Y方向に往復移動可能に支持されているが、これに限定されず、X方向にも往復移動可能に支持されていてもよい。
また、本実施形態では、デバイス搬送ヘッド17は、Y方向に2つ配置されている(図2参照)。以下、Y方向負側のデバイス搬送ヘッド17を「デバイス搬送ヘッド17A」と言い、Y方向正側のデバイス搬送ヘッド17を「デバイス搬送ヘッド17B」と言うことがある。デバイス搬送ヘッド17Aは、検査領域A3内で、ICデバイス90のデバイス供給部14Aから検査部16への搬送を担うことができ、デバイス搬送ヘッド17Bは、検査領域A3内で、ICデバイス90のデバイス供給部14Bから検査部16への搬送を担うことができる。また、デバイス搬送ヘッド17Aは、検査領域A3内で、ICデバイス90の検査部16からデバイス回収部18Aへの搬送を担うことができ、デバイス搬送ヘッド17Bは、検査領域A3内で、検査部16からデバイス回収部18Bへの搬送を担うことができる。
検査部16は、電子部品であるICデバイス90を載置して、当該ICデバイス90の電気的特性を検査することができる。図3〜図6に示すように、検査部16は、凹部(ポケット)165を有している。この凹部165には、ICデバイス90が1つずつ収納され、載置される。なお、凹部165の形成数は、図3〜図6に示す構成では1つであるが、これに限定されず、複数であってもよい。
また、凹部165の底部には、ICデバイス90の端子901と同数のプローブピン163が突出して配置されている。各プローブピン163は、テスター900と電気的に接続されている。そして、ICデバイス90を検査する際には、ICデバイス90の端子901とプローブピン163とが電気的に接続される、すなわち、接触することにより、その検査を行なうことができる。また、この検査は、テスター900が備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。なお、検査部16でも、温度調整部12と同様に、ICデバイス90を加熱または冷却して、当該ICデバイス90を検査に適した温度に調整することができる。
デバイス回収領域A4は、検査領域A3で検査され、その検査が終了した複数のICデバイス90が回収される領域である。このデバイス回収領域A4には、回収用トレイ19と、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構21とが設けられている。また、検査領域A3とデバイス回収領域A4とをまたぐように移動するデバイス回収部18も設けられている。また、デバイス回収領域A4には、空のトレイ200も用意されている。
デバイス回収部18は、検査部16で検査が終了したICデバイス90が載置され、当該ICデバイス90をデバイス回収領域A4まで搬送する「回収用シャトルプレート」または単に「回収シャトル」と呼ばれる。このデバイス回収部18も、搬送部25の一部となり得る。
また、デバイス回収部18は、検査領域A3とデバイス回収領域A4との間をX方向、すなわち、矢印α18方向に沿って往復移動可能に支持されている。また、図2に示す構成では、デバイス回収部18は、デバイス供給部14と同様に、Y方向に2つ配置されており、Y方向負側のデバイス回収部18を「デバイス回収部18A」と言い、Y方向正側のデバイス回収部18を「デバイス回収部18B」と言うことがある。そして、検査部16上のICデバイス90は、デバイス回収部18Aまたはデバイス回収部18Bに搬送され、載置される。そして、デバイス搬送ヘッド17は、検査領域A3内で、ICデバイス90の検査部16からデバイス回収部18Aへの搬送と、ICデバイス90の検査部16からデバイス回収部18Bへの搬送とを担うことができる。また、デバイス回収部18も、温度調整部12やデバイス供給部14と同様に、グランドされている。
回収用トレイ19は、検査部16で検査されたICデバイス90が載置され、デバイス回収領域A4内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド20等の各種可動部が比較的多く配置されたデバイス回収領域A4であっても、回収用トレイ19上では、検査済みのICデバイス90が安定して載置されることとなる。なお、図2に示す構成では、回収用トレイ19は、X方向に沿って3つ配置されている。
また、空のトレイ200も、X方向に沿って3つ配置されている。この空のトレイ200も、検査部16で検査されたICデバイス90が載置される。そして、デバイス回収領域A4に移動してきたデバイス回収部18上のICデバイス90は、回収用トレイ19および空のトレイ200のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ICデバイス90は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
デバイス搬送ヘッド20は、デバイス回収領域A4内でX方向およびY方向に移動可能に支持され、さらにZ方向にも移動可能な部分を有している。このデバイス搬送ヘッド20は、搬送部25の一部であり、ICデバイス90をデバイス回収部18から回収用トレイ19や空のトレイ200に搬送することができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド20のX方向の移動を矢印α20Xで示し、デバイス搬送ヘッド20のY方向の移動を矢印α20Yで示している。
トレイ搬送機構21は、トレイ除去領域A5から搬入された空のトレイ200をデバイス回収領域A4内でX方向、すなわち、矢印α21方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、ICデバイス90が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記3つの空のトレイ200のうちのいずれかとなり得る。
トレイ除去領域A5は、検査済み状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域A5では、多数のトレイ200を積み重ねることができる。
また、デバイス回収領域A4とトレイ除去領域A5とをまたぐように、トレイ200を1枚ずつY方向に搬送するトレイ搬送機構22A、トレイ搬送機構22Bが設けられている。トレイ搬送機構22Aは、搬送部25の一部であり、トレイ200をY方向、すなわち、矢印α22A方向に往復移動させることができる。これにより、検査済みのICデバイス90をデバイス回収領域A4からトレイ除去領域A5に搬送することができる。また、トレイ搬送機構22Bは、ICデバイス90を回収するための空のトレイ200をY方向の正側、すなわち、矢印α22B方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ200をトレイ除去領域A5からデバイス回収領域A4に移動させることができる。
制御部800は、例えば、トレイ搬送機構11Aと、トレイ搬送機構11Bと、温度調整部12と、デバイス搬送ヘッド13と、デバイス供給部14と、トレイ搬送機構15と、検査部16と、デバイス搬送ヘッド17と、デバイス回収部18と、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構21と、トレイ搬送機構22Aと、トレイ搬送機構22Bの各部の作動を制御することができる。この制御部800は、例えば、本実施形態では、少なくとも1つのプロセッサー802(at least one processor)と、少なくとも1つのメモリー803とを有している(図2参照)。プロセッサー802は、メモリー803に記憶されている各種情報(例えば、判断用プログラム、指示・命令用プログラム等)を読み込み、判断や指令(命令)を実行することができる。
また、制御部800は、電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)に内蔵されていてもよいし、外部のコンピューター等の外部機器に設けられていてもよい。この外部機器は、例えば、電子部品検査装置1とケーブル等を介して通信される場合、無線通信される場合、電子部品検査装置1とネットワーク(例えばインターネット)を介して接続されている場合等がある。
オペレーターは、モニター300を介して、電子部品検査装置1の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター300は、例えば液晶画面で構成された表示画面301を有し、電子部品検査装置1の正面側上部に配置されている。図1に示すように、トレイ除去領域A5の図中の右側には、マウスを載置するマウス台600が設けられている。このマウスは、モニター300に表示された画面を操作する際に用いられる。
また、モニター300に対して図1の右下方には、操作パネル700が配置されている。操作パネル700は、モニター300とは別に、電子部品検査装置1に所望の動作を命令するものである。
また、シグナルランプ400は、発光する色の組み合わせにより、電子部品検査装置1の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ400は、電子部品検査装置1の上部に配置されている。なお、電子部品検査装置1には、スピーカー500が内蔵されており、このスピーカー500によっても電子部品検査装置1の作動状態等を報知することもできる。
電子部品検査装置1は、トレイ供給領域A1とデバイス供給領域A2との間が第1隔壁231によって区切られており、デバイス供給領域A2と検査領域A3との間が第2隔壁232によって区切られており、検査領域A3とデバイス回収領域A4との間が第3隔壁233によって区切られており、デバイス回収領域A4とトレイ除去領域A5との間が第4隔壁234によって区切られている。また、デバイス供給領域A2とデバイス回収領域A4との間も、第5隔壁235によって区切られている。
電子部品検査装置1は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー241、サイドカバー242、サイドカバー243、リアカバー244、トップカバー245がある。
前述したように、検査領域A3には、ICデバイス90を載置して検査可能な検査部16が配置されている。そして、例えば図3、図4に示すように、検査部16にICデバイス90が残留していた場合(以下このICデバイス90を「残留デバイス90A」という)、この検査部16で検査が行われる次のICデバイス90(以下このICデバイス90を「未検査デバイス」という)が残留デバイス90Aに重なって載置されてしまうおそれがある。このような状態では、未検査デバイスに対する検査を正確に行なうことが困難となり、その結果、良不良の分類、すなわち、そのデバイスが良品であるのか、それとも不良品であるのかの分類も不正確となるおそれがある。
そこで、電子部品検査装置1は、このような現象を解消することができる構成となっている。以下、この構成および作用について説明する。
図2に示すように、電子部品検査装置1は、検査部16にICデバイス90が載置されているかを検出する検出部804を備えている。本実施形態では、検出部804は、プロセッサー802と、メモリー803とで構成されている。
また、検査部16にICデバイス90が載置されて(残留して)いるか、すなわち、残留デバイス90Aの有無を検出する際には、電気的絶縁性を有する絶縁性部材80Aを用いる。
絶縁性部材80Aは、小片で構成されている。絶縁性部材80Aとは、検査部16で検査したときに通電できない程度の電気的絶縁性を有する部材である。この絶縁性部材80Aの平面視での外形形状は、特に限定されないが、例えば、ICデバイス90と同じ(近似した)外形形状であるのが好ましい。また、絶縁性部材80Aの厚さも、特に限定されないが、例えば、ICデバイス90と同じであるのが好ましい。絶縁性部材80Aの構成材料としては、特に限定されず、例えば、各種樹脂材料を用いることができる。また、このような絶縁性部材80Aとしては、一般に「クリーニングデバイス」と呼ばれるデバイスを用いることもできる。また、絶縁性部材80Aは、その全体が絶縁性を有している場合に限定されず、少なくとも下面が絶縁性を有していればよい。
また、絶縁性部材80Aは、トレイ供給領域A1の温度調整部12に予め載置されている。そして、絶縁性部材80Aは、デバイス供給領域A2内では、デバイス搬送ヘッド13によって、温度調整部12からデバイス供給部14まで搬送される。その後、図3〜図6に示すように、絶縁性部材80Aは、検査領域A3内では、デバイス搬送ヘッド17によって、検査部16まで搬送され、検査部16に載置される。なお、絶縁性部材80Aは、電子部品搬送装置10(ハンドラー)内部に予め載置されるとともに、通常の検査において検査対象となるICデバイス90と区別できるように配置されていればよく、配置場所は温度調整部12に限られない。
次に、残留デバイス90Aを検出する際の電子部品検査装置1の動作(残留デバイス検出検査)について説明する。残留デバイス90Aが有る場合の電子部品検査装置1の動作について、図3、図4を参照して説明し、残留デバイス90Aが無い場合の電子部品検査装置1の動作について、図5、図6を参照して説明する。なお、ここでは、一例として、残留デバイス90Aは、良品として分類されるICデバイス90となっている。また、残留デバイス90Aの検出を行なうタイミングとしては、特に限定されず、例えば、任意のタイミングで行なうことができる。
まず、残留デバイス90Aが有る場合の電子部品検査装置1の動作について説明する。
図3に示すように、検査部16は、凹部165に残留デバイス90Aが残留した状態となっている。また、デバイス搬送ヘッド17は、吸着パッド171が絶縁性部材80Aを吸着している。この絶縁性部材80Aは、検査部16の上方で、凹部165内の残留デバイス90Aに臨んだ状態となっている。
図3に示す状態からデバイス搬送ヘッド17を下降させていくと、図4に示す状態となる。この図4に示す状態では、絶縁性部材80Aが検査部16に載置され、残留デバイス90Aに重なっている。また、残留デバイス90Aは、デバイス搬送ヘッド17によって、絶縁性部材80Aごと押圧されて(コンタクトされて)いる。これにより、残留デバイス90Aは、検査部16のプローブピン163に押し付けられ、各端子901が各プローブピン163と電気的に接続される。これにより、検査部16での検査が可能となる。
そして、検査部16での検査を開始する。このとき、検査部16に対して通電を行なう。すなわち、検査部16で検査を実行する入力信号SG1がテスター900によって検査部16に入力され、その後、検査部16からは、検査結果を含む出力信号SG2が出力される。出力信号SG2は、テスター900で受信される。
このように残留デバイス検出検査(ダミーテスト)を行なった際、残留デバイス90Aが有る場合には、検査部16に対する通電が行なわれる、すなわち、出力信号SG2がテスター900で受信される。検出部804は、この受信状態を確認した場合には、残留デバイス90Aが有ると判断する。
次に、残留デバイス90Aが無い場合の電子部品検査装置1の動作について説明する。
図5に示すように、検査部16は、凹部165に残留デバイス90Aが残留しておらず、空の状態となっている。また、デバイス搬送ヘッド17は、吸着パッド171が絶縁性部材80Aを吸着している。この絶縁性部材80Aは、検査部16の上方で、凹部165に臨んだ状態となっている。
図5に示す状態からデバイス搬送ヘッド17を下降させていくと、図6に示す状態となる。この図6に示す状態では、絶縁性部材80Aが検査部16に載置されている。また、絶縁性部材80Aは、デバイス搬送ヘッド17による押圧力により、検査部16の各プローブピン163に押し付けられ、接触している。これにより、見かけ上は、検査部16での検査が可能となる。
そして、検査部16での検査を開始する。このとき、入力信号SG1がテスター900によって検査部16に入力される。図6に示すように、検査部16に載置されているものは、絶縁性部材80Aである。そのため、検査部16から出力される出力信号SG2は、テスター900では得られない。
このように残留デバイス検出検査を行なった際、残留デバイス90Aが無い場合には、検査部16に対する通電が阻止される、すなわち、テスター900では出力信号SG2が受信されない。検出部804は、この非受信状態を確認した場合には、残留デバイス90Aが無いと判断する。
以上のように、検出部804は、絶縁性部材80Aが検査部16に載置された状態で、検査部16での通電がされた場合には、検査部16にICデバイス90が残留して載置されている、すなわち、残留デバイス90Aが有ると判断することができる。
一方、検出部804は、搬送部25が、検査が終わったICデバイス90を検査部16から搬送する動作をし、絶縁性部材80Aを検査部16に搬送して載置した後に、電気的検査を行い、通電しないことを示す信号を出力した場合には、検査部16にICデバイス90(電子部品)が残留していない(載置されていない)、すなわち、残留デバイス90Aが無いと判断することができる。
このような構成によれば、電子部品検査装置1は、残留デバイス90Aの有無を検出するのに際し、検査部16に向かってスリット光を照射する光照射部や、検査部16の画像を撮像する撮像部等の従来用いていた各種の構成(以下「検出用ハードウェア」と言う)を搭載するのを省略した簡単な構成とすることができる。また、電子部品検査装置1では、残留デバイス90Aの有無の検出を、検出用ハードウェアに代えて、制御部800の検出部804でのプログラム(ソフトウェア)上で行なうことができる。
また、前述したように、残留デバイス90Aは、良品として分類されるICデバイス90となっている。この場合、残留デバイス90Aの有無の検出を省略すると、検査部16で検査が行われる次のICデバイス90は、残留デバイス90Aに重なってしまい、ICデバイス90の検査結果として、残留デバイス90Aの検査結果が得られてしまう。そして、このICデバイス90は、それが良品、不良品に関わらず、すなわち、不良品として分類されるべきであっても、良品として分類されてしまう。
そこで、残留デバイス90Aの有無の検出を行なうことにより、残留デバイス90Aが有る場合、その残留デバイス90Aを検出することができる。その後、オペレーターは、残留デバイス90Aを検査部16から除去して、検査部16を空の状態にすることができる。これにより、ICデバイス90に対する正確な検査を行なうことができ、よって、ICデバイス90の良不良の分類も正確に行なうことができる。
また、残留デバイス90Aの有無の検出は、デバイス搬送ヘッド17の吸着パッド171が絶縁性部材80Aを吸着した状態で行なわれる。これにより、残留デバイス90Aが無い状態でも、吸着パッド171が検査部16の各プローブピン163に直接接するのが防止される。これにより、例えば吸着パッド171が導電性を有する場合であっても、吸着パッド171と各プローブピン163とが接触して、短絡が生じるのを防止することができる。
また、電子部品検査装置1では、通常の生産時のロットにおけるICデバイス90の検査(以下「通常検査」と言う)の回数を計測し、記憶することができる。電子部品検査装置1では、この通常検査と、残留デバイス検出検査とを区別して、通常検査の回数に、残留デバイス検出検査の回数が上乗せされて、計測されるのを防止することができる。
また、残留デバイス90Aの有無の検出時には、検査部16の各プローブピン163に対して、それに接触可能な部材(絶縁性部材80Aまたは残留デバイス90A)を押圧して、当該部材と、各プローブピン163とを十分に接触させることができる。これにより、残留デバイス検出検査を、実際の通常検査と同じ条件下で行なうことができる。
次に、残留デバイス検出検査を行なう際の制御プログラムを、図7に示すフローチャートに基づいて説明する。
吸着パッド171が絶縁性部材80Aを吸着した状態のデバイス搬送ヘッド17が、絶縁性部材80Aを検査部16に対して押圧する(ステップS101)。
次いで、検査部16での検査を開始する(ステップS102)。
次いで、出力信号SG2がテスター900で受信された否かを判断する(ステップS103)。
ステップS103での判断の結果、出力信号SG2がテスター900で受信されていないと判断された場合には、残留デバイス90Aが無いとして(ステップS104)、すなわち、図6に示す状態であると判断して、その旨を報知する(ステップS105)。
一方、ステップS103での判断の結果、出力信号SG2がテスター900で受信されたと判断された場合には、残留デバイス90Aが有るとして(ステップS106)、すなわち、図4に示す状態であると判断して、その旨を報知する(ステップS107)。この場合、オペレーターは、所定の操作(作業)により、残留デバイス90Aを検査部16から除去して、残留デバイス90Aの残留状態を解消することができる。
なお、ステップS105およびステップS107での報知は、例えば、モニター300(表示画面301)での画像による報知、シグナルランプ400での発光色の組み合わせによる報知、スピーカー500での音声による報知、または、これらの報知態様の組み合わせが挙げられる。
また、電子部品検査装置1では、残留デバイス検出検査に関する各種諸条件を選択する(設定する)ことができる。その選択画像(選択ウィンドウ)3は、図8に示すように、モニター300に表示される。選択画像3には、残留デバイス検出検査を実行するタイミングを設定する第1設定部31と、残留デバイス検出の方式を設定する第2設定部32とが含まれている。
第1設定部31には、本実施形態では、第1項目311と、第2項目312と、第3項目313と、第4項目314と、第5項目315と、第6項目316とが含まれている。第1項目311は、「稼動開始時(常に有効)」を選択する項目である。第2項目312は、「測定ロボットのデバイス吸着エラー発生時のクリーンアウト後」を選択する項目である。第3項目313は、「回収シャトルのデバイスプレイスエラー発生時のクリーンアウト後」を選択する項目である。第4項目314は、「コンタクト回数指定」を選択する項目である。第5項目315は、「連続良品カテゴリ回数指定」を選択する項目である。第6項目316は、「ロットエンド」を選択する項目である。各項目のチェックボックスにチェックを入れることができる。そして、チェックが入った項目が選択され、設定される。
第2設定部32には、本実施形態では、第1項目321と、第2項目322とが含まれている。第1項目321は、「測定ロボットによる吸着確認(常に有効)」を選択する項目である。第2項目322は、「ダミーテストによるオープン確認」を選択する項目である。各項目のチェックボックスにチェックを入れることができる。そして、チェックが入った項目が選択され、設定される。
また、第2項目322には、第1デバイス使用条件323と、第2デバイス使用条件324とが含まれている。第1デバイス使用条件323は、「オープン(クリーニング)デバイス使用」を選択することができる。第2デバイス使用条件324は、「良品デバイス使用」を選択することができる。各条件のチェックボックスにチェックを入れることができる。そして、チェックが入った条件が選択され、設定される。なお、本実施形態では、第1デバイス使用条件323にチェックを入れることとなる。
また、電子部品検査装置1は、図4に示す状態が報知されるよう構成されている。その報知画像4は、図9に示すように、モニター300に表示される。報知画像4には、本実施形態では、第1項目41と、第2項目42と、第3項目43と、第4項目44と、第5項目45とが含まれている。第1項目41には、エラーコードが表示される。第2項目42には、エラーが生じたユニット番号が表示される。第3項目43には、エラーが生じたユニット名が表示される。第4項目44には、エラーメッセージ(題目)が表示される。第5項目45には、エラーの原因および対処方法が表示される。
なお、図4に示す状態では、一例として、第1項目41に「15」、第2項目42に「3」、第3項目43に「測定ロボット」が表示される。また、第4項目44には、「デバイススタックエラー(デバイス2個重なり) デバイスがソケットにスタックしました。 RETRY,SKIP選択後STARTしてください。」が表示される。第5項目45には、「(1)デバイスがソケットに残っています。 −ソケットからデバイスを取り除いてください。」が表示される。
このような報知画像4により、電子部品検査装置1が図4に示す状態となっているのを視覚により確認することができる。
<第2実施形態>
以下、図10〜図13を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、残留デバイスの良不良が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
図10および図11に示すように、検査部16は、残留デバイス90Aが残留した状態となっている。また、本実施形態では、残留デバイス90Aは、例えば内部回路が断線しており、不良品として分類されるICデバイス90となっている。
図10に示すように、デバイス搬送ヘッド17は、吸着パッド171が絶縁性部材80Aを吸着している。この絶縁性部材80Aは、検査部16の上方で、凹部165内の残留デバイス90Aに臨んだ状態となっている。
図10に示す状態からデバイス搬送ヘッド17を下降させていくと、図11に示す状態となる。この図11に示す状態では、絶縁性部材80Aが検査部16に載置され、残留デバイス90Aに重なっている。また、残留デバイス90Aは、デバイス搬送ヘッド17によって、絶縁性部材80Aごと押圧されている。これにより、残留デバイス90Aは、検査部16のプローブピン163に押し付けられ、各端子901が各プローブピン163と電気的に接続される。これにより、検査部16での検査が可能となる。
そして、検査部16での検査を開始する。このとき、入力信号SG1がテスター900によって検査部16に入力される。前述したように、残留デバイス90Aは、内部回路が断線した不良品のICデバイス90である。そのため、検査部16から出力される出力信号SG2は、テスター900では得られない。
このように残留デバイス検出検査を行なった際、前記第1実施形態と異なり、残留デバイス90Aが有る場合でも、残留デバイス90Aの良不良の状態によっては、検査部16に対する通電が阻止される、すなわち、テスター900では出力信号SG2が受信されないことがある。検出部804は、この非受信状態を確認した場合には、残留デバイス90Aが無いと判断するおそれがある。
そこで、本実施形態では、検出部804に残留デバイス90Aが無いと判断した後に、不良品であると判断された判断回数が連続して所定回数に達した場合には、その旨を報知し、一旦、オペレーターに検査部16の状態の確認を促すことができる。
次に、本実施形態での残留デバイス検出検査を行なう際の制御プログラムを、図12に示すフローチャートに基づいて説明する。
吸着パッド171が絶縁性部材80Aを吸着した状態のデバイス搬送ヘッド17が、絶縁性部材80Aを検査部16に対して押圧する(ステップS201)。
次いで、検査部16での検査を開始する(ステップS202)。
次いで、出力信号SG2がテスター900で受信された否かを判断する(ステップS203)。
ステップS203での判断の結果、出力信号SG2がテスター900で受信されていないと判断された場合には、残留デバイス90Aが無いとする(ステップS204)。
なお、ステップS204での判断の結果、出力信号SG2がテスター900で受信されていないと判断された場合には、残留デバイス90Aが無いとして、その旨を報知するようにしてもよい。
次いで、吸着パッド171は検査対象であるICデバイス90を吸着した状態のデバイス搬送ヘッド17が、ICデバイス90を検査部16に対して押圧し、検査部16での検査を開始する。ICデバイス90が通電しない、すなわち不良品であると判断された連続回数(連続不良回数)が、閾値のN回繰り返されたか否かを判断する(ステップS205)。なお、閾値Nは、任意に設定することができる。
なお、ステップS205での判断の結果、連続回数が閾値Nまで達していないと判断された場合には、残留デバイス90Aが無いとする旨を報知してもよい(ステップS206)。
ステップS205での判断の結果、不良品であるとした連続回数が閾値Nに達したと判断された場合には、その旨を報知する(ステップS207)。この場合、オペレーターは、念のため検査部16の状態の確認することができる。そして、残留デバイス90Aが有る場合には、この残留デバイス90Aを検査部16から除去して、残留デバイス90Aの残留状態を解消することができる。
また、ステップS203での判断の結果、出力信号SG2がテスター900で受信されたと判断された場合には、残留デバイス90Aが有るとして(ステップS208)、その旨を報知する(ステップS209)。この場合、オペレーターは、所定の操作(作業)により、残留デバイス90Aを検査部16から除去して、残留デバイス90Aの残留状態を解消することができる。
なお、ステップS207での報知は、例えば、モニター300(表示画面301)での画像による報知、シグナルランプ400での発光色の組み合わせによる報知、スピーカー500での音声による報知、または、これらの報知態様の組み合わせが挙げられる。
このように電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)は、検出部804が、検査部16にICデバイス90が載置されていないと判断した場合には、検査部16によりICデバイス90が検査された後に検査部16から検査結果を受信して記憶することを所定回数継続し、その記憶された複数の検査結果のいずれもが同じ検査結果である場合には、検査部16にICデバイス90が載置されていると判断する。これにより、残留デバイス90Aの良不良に関わらず、その残留デバイス90Aを検出することができる。
また、電子部品検査装置1は、図11に示す状態が報知されるよう構成されている。その報知画像4は、図13に示すように、モニター300に表示される。図13に示す状態の報知画像4は、一例として、第1項目41に「406」、第2項目42に「7」、第3項目43に「テスタインターフェース」が表示される。また、第4項目44には、「ソケット連続BINアラーム ソケットで連続BINが発生しました。 RETRY,C.OUT選択後STARTしてください。」が表示される。第5項目45には、「(1)継続運転 −RETRYスイッチを押してください。 −STARTスイッチを押してください。 (2)残りデバイス無検査 供給トレイの残りデバイスを無検査で指定トレイに払い出します。」が表示される。
このような報知画像4により、電子部品検査装置1が図11に示す状態となっているのを視覚により確認することができる。
なお、上記フローチャートでは、残留デバイス90Aが無いと判断された後に、さらに、ICデバイス90が通電しないと判断された連続回数が閾値のN回繰り返されたか否かを判断しているが、残留デバイス90Aの有無について判断が無く、単に、ICデバイス90が通電しないと判断された連続回数(連続不良回数)が閾値のN回繰り返されたことを判断して、残留デバイスがあると判断してもよい。また、残留デバイス90Aの有無について判断が無く、単に、ICデバイス90が通電したと判断された連続回数(連続良品回数)が閾値のN回繰り返されたことを判断して、残留デバイスがあると判断してもよい。
<第3実施形態>
以下、図14〜図18を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第3実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、残留デバイスの有無を判断する際の制御が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
本発明の電子部品搬送装置10は、電子部品であるICデバイス90または導電性部材80Bが載置され、ICデバイス90(電子部品)または導電性部材80Bに対して電圧を印加する電気的検査を行い、通電したか否かを示す信号を出力する検査部16が設けられる検査領域A3と、ICデバイス90(電子部品)または導電性部材80Bを検査部16に搬送する搬送部25と、検査部16にICデバイス90(電子部品)が載置されているかを検出する検出部804とを備えている。搬送部25は、検査が終わったICデバイス90を検査部16から搬送する動作をし、導電性部材80Bを検査部16に搬送して載置することができる。そして、その後、検出部804は、電気的検査を行い、通電しないことを示す信号を出力した場合には、検査部16にICデバイス90(電子部品)が載置されていると判断する。
本発明によれば、前記第1実施形態と同様に、残留デバイス90Aの有無の検出を、検出部804でのプログラム(ソフトウェア)上で行なうことができ、検出用ハードウェアを搭載するのを省略して、電子部品搬送装置10の構成を簡単なものとすることができる。
また、本発明の電子部品検査装置1は、電子部品搬送装置10を備え、さらに、電子部品を検査する検査部16を備えるテストシステム(test system)である。すなわち、本発明の電子部品検査装置1は、ICデバイス90または導電性部材80Bが載置され、ICデバイス90(電子部品)または導電性部材80Bに対して電圧を印加する電気的検査を行い、通電したか否かを示す信号を出力する検査部16と、検査部16が設けられる検査領域A3と、ICデバイス90(電子部品)または導電性部材80Bを検査部16に搬送する搬送部25と、検査部16にICデバイス90(電子部品)が載置されているかを検出する検出部804とを備えている。搬送部25は、検査が終わったICデバイス90を検査部16から搬送する動作をし、導電性部材80Bを検査部16に搬送して載置することができる。そして、その後、検査部16(検出部804)は、電気的検査を行い、通電しないことを示す信号を出力した場合には、検査部16にICデバイス90(電子部品)が載置されていると判断する。
これにより、前述した電子部品搬送装置10の利点を持つ電子部品検査装置1が得られる。また、検査部16にまでICデバイス90を搬送することができ、よって、当該ICデバイス90に対する検査を検査部16で行なうことができる。また、検査後のICデバイス90を検査部16から搬送することができる。
本実施形態では、残留デバイス90Aの有無を判断するのに際して、導電性部材80Bを用いる。導電性部材80Bとは、検査部で検査したときに通電できる程度の導電性を有する部材である。導電性部材80Bとしては、例えば、良品として分類されるICデバイス90を用いるのが好ましいが、これに限定されない。なお、本実施形態では、選択画像3の第2デバイス使用条件324(図8参照)にチェックを入れることとなる。
図14〜図17に示すように、検査部16は、残留デバイス90Aが残留した状態となっている。また、本実施形態では、残留デバイス90Aは、例えば内部回路が断線しており、不良品として分類されるICデバイス90となっている。
次に、残留デバイス90Aを検出する際の電子部品検査装置1の動作(残留デバイス検出検査)について説明する。残留デバイス90Aが有る場合の電子部品検査装置1の動作について、図14、図15を参照して説明し、残留デバイス90Aが無い場合の電子部品検査装置1の動作について、図16、図17を参照して説明する。
まず、残留デバイス90Aが有る場合の電子部品検査装置1の動作について説明する。
図14に示すように、デバイス搬送ヘッド17は、吸着パッド171が導電性部材80Bを吸着している。この導電性部材80Bは、検査部16の上方で、凹部165内の残留デバイス90Aに臨んだ状態となっている。
図14に示す状態からデバイス搬送ヘッド17を下降させていくと、図15に示す状態となる。この図15に示す状態では、導電性部材80Bが検査部16に載置され、残留デバイス90Aに重なっている。また、残留デバイス90Aは、デバイス搬送ヘッド17によって、導電性部材80Bごと押圧されている。これにより、残留デバイス90Aは、検査部16のプローブピン163に押し付けられ、各端子901が各プローブピン163と電気的に接続される。これにより、検査部16での検査が可能となる。
そして、検査部16での検査を開始する。このとき、入力信号SG1がテスター900によって検査部16に入力される。前述したように、残留デバイス90Aは、内部回路が断線した不良品のICデバイス90である。そのため、検査部16から出力される出力信号SG2は、テスター900では得られない。
このように残留デバイス検出検査を行なった際、残留デバイス90Aが有る場合には、検査部16に対する通電が阻止される、すなわち、テスター900では出力信号SG2が受信されない。検出部804は、この非受信状態を確認した場合には、残留デバイス90Aが有ると判断する。
次に、残留デバイス90Aが無い場合の電子部品検査装置1の動作について説明する。
図16に示すように、検査部16は、凹部165に残留デバイス90Aが残留しておらず、空の状態となっている。また、デバイス搬送ヘッド17は、吸着パッド171が導電性部材80Bを吸着している。この導電性部材80Bは、検査部16の上方で、凹部165に臨んだ状態となっている。
図16に示す状態からデバイス搬送ヘッド17を下降させていくと、図17に示す状態となる。この図17に示す状態では、導電性部材80Bが検査部16に載置されている。また、導電性部材80Bは、デバイス搬送ヘッド17による押圧力により、検査部16の各プローブピン163に押し付けられ、接触している。これにより、検査部16での検査が可能となる。
そして、検査部16での検査を開始する。このとき、検査部16に対して通電を行なう。すなわち、検査部16で検査を実行する入力信号SG1がテスター900によって検査部16に入力され、その後、検査部16からは、検査結果を含む出力信号SG2が出力される。出力信号SG2は、テスター900で受信される。
このように残留デバイス検出検査を行なった際、残留デバイス90Aが無い場合には、検査部16に対する通電が行なわれる、すなわち、出力信号SG2がテスター900で受信される。検出部804は、この受信状態を確認した場合には、残留デバイス90Aが無いと判断する。
以上のように、検出部804は、導電性部材80Bが検査部16に載置された状態で、検査部16での通電がされない場合には、検査部16にICデバイス90が残留して載置されている、すなわち、残留デバイス90Aが有ると判断することができる。また、その残留デバイス90Aが、断線によって不良品となったものであることも把握することができる。
一方、検出部804は、搬送部25が、検査が終わったICデバイス90を検査部16から搬送する動作をし、導電性部材80Bを検査部16に搬送して載置した後に、電気的検査を行い、通電したことを示す信号を出力した場合には、検査部16にICデバイス90(電子部品)が残留していない(載置されていない)、すなわち、残留デバイス90Aが無いと判断することができる。
このような構成によれば、前記第1実施形態と同様に、電子部品検査装置1は、残留デバイス90Aの有無を検出するのに際し、検出用ハードウェアを搭載するのを省略した簡単な構成とすることができる。また、本実施形態でも、残留デバイス90Aの有無の検出を、検出用ハードウェアに代えて、制御部800の検出部804でのプログラム(ソフトウェア)上で行なうことができる。
次に、本実施形態での残留デバイス検出検査を行なう際の制御プログラムを、図18に示すフローチャートに基づいて説明する。
吸着パッド171が導電性部材80Bを吸着した状態のデバイス搬送ヘッド17が、導電性部材80Bを検査部16に対して押圧する(ステップS301)。
次いで、検査部16での検査を開始する(ステップS302)。
次いで、出力信号SG2がテスター900で受信された否かを判断する(ステップS303)。
ステップS303での判断の結果、出力信号SG2がテスター900で受信されたと判断された場合には、残留デバイス90Aが無いとして(ステップS304)、その旨を報知する(ステップS305)。
一方、ステップS303での判断の結果、出力信号SG2がテスター900で受信されていないと判断された場合には、残留デバイス90Aが有るとして(ステップS306)、その旨を報知する(ステップS307)。この場合、オペレーターは、所定の操作により、残留デバイス90Aを検査部16から除去して、残留デバイス90Aの残留状態を解消することができる。
<第4実施形態>
以下、図19および図20を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第4実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、残留デバイスの良不良が異なること以外は前記第3実施形態と同様である。
図19および図20に示すように、検査部16は、残留デバイス90Aが残留した状態となっている。また、本実施形態では、残留デバイス90Aは、良品として分類されるICデバイス90となっている。
図19に示すように、デバイス搬送ヘッド17は、吸着パッド171が導電性部材80Bを吸着している。この導電性部材80Bは、検査部16の上方で、凹部165内の残留デバイス90Aに臨んだ状態となっている。
図19に示す状態からデバイス搬送ヘッド17を下降させていくと、図20に示す状態となる。この図20に示す状態では、導電性部材80Bが検査部16に載置され、残留デバイス90Aに重なっている。また、残留デバイス90Aは、デバイス搬送ヘッド17によって、導電性部材80Bごと押圧されている。これにより、残留デバイス90Aは、検査部16のプローブピン163に押し付けられ、各端子901が各プローブピン163と電気的に接続される。これにより、検査部16での検査が可能となる。
そして、検査部16での検査を開始する。このとき、検査部16に対して通電を行なう。すなわち、検査部16で検査を実行する入力信号SG1がテスター900によって検査部16に入力され、その後、検査部16からは、検査結果を含む出力信号SG2が出力される。出力信号SG2は、テスター900で受信される。
このように残留デバイス検出検査を行なった際、前記第3実施形態と異なり、残留デバイス90Aが有る場合でも、残留デバイス90Aの良不良の状態によっては、検査部16に対する通電が行なわれる。すなわち、残留デバイス90Aが存在するにも関わらず、テスター900で出力信号SG2が受信されることがある。検出部804は、この受信状態を確認した場合には、残留デバイス90Aが無いと判断するおそれがある。
そこで、本実施形態では、電子部品検査装置1(電子部品搬送装置10)は、検査部16にICデバイス90が載置されていないと判断した場合には、検査部16によりICデバイス90が検査された後に検査部16から検査結果を受信して記憶することを所定回数継続し、その記憶された複数の検査結果のいずれもが同じ検査結果である場合には、検査部16にICデバイス90が載置されていると判断する。これにより、オペレーターは、残留デバイス90Aの有無を正確に把握することができる。
<第5実施形態>
以下、図21を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第5実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、テストシステム(電子部品検査装置)の構成が異なること以外は前記第1実施形態と同様である。
図21に示すように、本実施形態では、ハンドラーである電子部品搬送装置10は、産業用コンピューターで構成された制御部800に加え、モーター制御装置91を内蔵し、さらに、その他の制御装置93も内蔵している。
制御部800は、モーター制御装置91と、その他の制御装置93と接続されている。制御部800では、プロセッサー802が、メモリー803から指令を読取り、制御を実行することができる。また、制御部800では、前記テスター900と接続されるI/Fボード(図示せず)と接続されているのが好ましい。
モーター制御装置91は、プロセッサー911と、メモリー912とを有し、プロセッサー911が、メモリー912から指令を読取り、制御を実行することができる。そして、モーター制御装置91は、モーター913と接続され、このモーター913の作動を制御することができる。なお、モーター913は、例えば、トレイ搬送機構11A、トレイ搬送機構11B、デバイス搬送ヘッド13、デバイス供給部14、トレイ搬送機構15、デバイス搬送ヘッド17、デバイス回収部18、デバイス搬送ヘッド20、トレイ搬送機構21、トレイ搬送機構22Aまたはトレイ搬送機構22Bを駆動させる駆動源である。
なお、制御部800のプロセッサー802が、モーター制御装置91のメモリー912から指令を読取り、制御を実行することもできる。
その他の制御装置93としては、例えば、モニター300等の作動を制御する装置等が挙げられる。
また、上記各制御装置は、制御対象部材と別体でも一体となっていてもよい。例えば、モーター制御装置91が、モーター913と一体となっていてもよい。
また、制御部800は、ハンドラーである電子部品搬送装置10の外部で、コンピューター94と接続されている。コンピューター94は、プロセッサー941と、メモリー942とを有している。そして、制御部800のプロセッサー802が、メモリー942から指令を読取り、制御を実行することができる。
また、コンピューター94は、LAN等のネットワーク95を介して、クラウド96に接続されている。クラウド96は、プロセッサー961と、メモリー962とを有している。そして、制御部800のプロセッサー802が、メモリー962から指令を読取り、制御を実行することができる。
なお、制御部800は、ネットワーク95と直接接続されていてもよい。
<第6実施形態>
以下、図22を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第6実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、テストシステム(電子部品検査装置)の構成が異なること以外は前記第5実施形態と同様である。
図22に示す本実施形態では、制御部800が、モーター制御装置91の制御機能と、その他の制御装置93の制御機能とを有する構成となっている。すなわち、制御部800は、モーター制御装置91と、その他の制御装置93とを内蔵した(一体にした)構成となっている。このような構成は、制御部800の小型化に寄与する。
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。