KR20140033521A - 기판 반송 로봇 및 시스템 - Google Patents

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가와사키 쥬코교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명의 로봇은, 기판을 대략 수평으로 보유지지하는 엔드 이펙터와, 엔드 이펙터를 수직방향으로 구동하는 수직구동수단과, 수직구동수단을 수평방향으로 구동하는 수평구동수단과, 수평구동수단을 수직방향의 회전축선 주위로 회전구동하는 회전구동수단을 구비하고 있다. 수직구동수단에 엔드 이펙터의 단부가 접속된다. 수평구동수단에 수직구동수단의 단부가 접속된다.

Description

기판 반송 로봇 및 시스템 {SUBSTRATE TRANSFER ROBOT AND SYSTEM}
본 발명은, 기판을 반송하기 위한 로봇 및 동 로봇을 구비한 기판 반송 시스템에 관한 것이다. 특히, 본 발명에 따른 기판 반송 로봇 및 시스템은, 태양전지판용의 대형 유리기판과 같은 무거운 기판을 반송하기에 적합하다.
화학 증착 장치(CVD 장치)와 같은 기판처리장치에 대해, 처리해야 할 기판을 반입(搬入)하고, 처리가 끝난 기판을 반출(搬出)하기 위해, 각종의 로봇이 사용되고 있다.
처리되는 기판의 일례로서, 태양전지판(太陽電池板)에 사용되는 각형(角形)의 유리기판이 있는데, 그 사이즈는 일변이 2m를 넘고 있어 대형의 중량물(重量物)이다.
태양전지판용 유리기판과 같은 대형의 중량물을 안전하고 적확(的確)하게 반송하기 위해서는, 그와 같은 중량에 충분히 견딜 수 있는 로봇이 필요하다.
또, 기판 반송 시스템을 설치하기 위해 필요로 되는 바닥 면적에 대해서는, 한정된 스페이스에 설치할 수 있도록 하기 위해, 될 수 있으면 작게 하는 것이 요망되고 있다.
특허문헌 1 : 일본국 특개2008-137115호 공보 특허문헌 2 : 일본국 특개2008-73788호 공보 특허문헌 3 : 일본국 특개2007-260862호 공보 특허문헌 4 : 일본국 특개2007-54939호 공보
그러나, 종래의 기판 반송 로봇에서는, 엔드 이펙터(end effector)와 함께 기판을 승강시킬 때에, 기판이 보유지지(hold)된 엔드 이펙터 뿐만 아니라, 엔드 이펙터가 장착된 아암(arm) 등도 함께 승강구동된다.
이 때문에, 일변이 2m를 넘는 대형의 중량(重量) 유리기판을 안전하고 적확하게 승강하기 위해서는, 구동원으로서 대용량의 모터가 필요하게 되고, 이에 따라 장치가 대형화되고, 그 제조비용도 증대하게 된다고 하는 문제가 있었다.
또, 종래의 기판 반송 로봇은, 상기와 같이 그 자체가 대형화된다고 하는 문제에 더해, 로봇의 주위에 기판처리장치 등을 배치할 때에, 기판이나 아암과의 간섭을 방지해야 하는 관계상, 콤팩트한 레이아웃을 채용하기가 어렵다고 하는 문제가 있었다.
더욱이, 종래의 기판 반송 로봇은, 엔드 이펙터가 수평이동할 때에 아암을 수평방향으로 신장시키는 구조이기 때문에, 신장된 아암의 자중(自重)에 의한 휘어짐에 기인해서 엔드 이펙터의 위치가 어긋나게 되는 문제가 있었다.
본 발명은, 앞에서 설명한 사정을 감안해서 이루어진 것으로, 구조의 대형화를 방지하면서, 대형 유리기판과 같은 중량물을 안전하고 적확하게 반송할 수 있는 기판 반송 로봇 및 동 로봇을 구비한 기판 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또, 본 발명은, 기판 반송 로봇의 주위에 기판처리장치 등을 배치할 때에, 콤팩트한 레이아웃을 채용할 수 있도록 하는 기판 반송 로봇 및 동 로봇을 구비한 기판 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 기판 반송 로봇은, 기판을 대략 수평으로 보유지지하는 엔드 이펙터와, 상기 엔드 이펙터를 수직방향으로 구동하는 수직구동수단과, 상기 수직구동수단을 수평방향으로 구동하는 수평구동수단과, 상기 수평구동수단을 수직방향의 회전축선 주위로 회전구동하는 회전구동수단을 구비하되, 상기 수직구동수단에 상기 엔드 이펙터의 단부가 접속되고, 상기 수평구동수단에 상기 수직구동수단의 단부가 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 수평구동수단은, 수평방향으로 뻗고, 전단부 및 후단부를 포함하는 주행지지부재(走行支持部材)로서, 상기 회전구동수단에 의해 상기 회전축선 주위로 회전구동되는 주행지지부재와, 상기 수직구동수단을 상기 주행지지부재의 상기 전단부와 상기 후단부 사이에서 주행구동하는 주행구동기구를 구비하고 있다.
바람직하게는, 상기 주행구동기구는, 상기 주행지지부재의 상기 전단부와 상기 후단부 사이에 걸쳐지고, 상기 수직구동수단의 하단부가 고착된 수평반송벨트와, 상기 수평반송벨트를 구동하는 수평반송용 모터를 구비하고 있다.
바람직하게는, 상기 수직구동수단은, 수직방향으로 뻗고, 상단부 및 하단부를 포함하는 승강지지부재로서, 상기 하단부가 상기 수평구동수단에 장착된 승강지지부재와, 상기 엔드 이펙터를 상기 승강지지부재의 상기 상단부와 상기 하단부 사이에서 승강구동하는 승강구동기구를 구비하고 있다.
바람직하게는, 상기 승강구동기구는, 상기 승강지지부재의 상기 상단부와 상기 하단부와의 사이에 걸쳐지고, 상기 엔드 이펙터의 기단부가 고착된 수직반송벨트와, 상기 수직반송벨트를 구동하는 수직반송용 모터를 구비하고 있다.
바람직하게는, 상기 엔드 이펙터는, 수평방향으로 뻗고, 기단부 및 선단부를 갖되, 상기 기단부가 상기 수직구동수단에 장착되어 있고, 상기 수직구동수단이 상기 수평구동수단의 후단부에 위치하고 있을 때, 상기 엔드 이펙터의 상기 선단부가 상기 수평구동수단의 전단보다도 후단 측에 위치하도록 구성되어 있다.
바람직하게는, 상기 회전축선(回轉軸線)은, 상기 수평구동수단의 전후방향의 중앙위치보다도 후단 쪽으로 치우쳐 위치하도록 되어 있다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 기판 반송 시스템은, 기판을 반송하기 위한 로봇으로서, 상기 로봇에 인접해서 배치된 상기 기판을 처리하기 위한 기판처리장치에 대해 상기 기판을 반출입(搬出入)하기 위한 로봇과, 상기 로봇에 인접해서 배치되어 상기 로봇의 근방까지 상기 기판을 반입하는 한편 상기 로봇으로부터 받은 상기 기판을 반출하기 위한 기판 반출입수단을 구비하되, 상기 로봇은, 상기 기판을 대략 수평으로 보유지지하도록 하는 엔드 이펙터와, 상기 엔드 이펙터를 수직방향으로 구동하는 수직구동수단과, 상기 수직구동수단을 수평방향으로 구동하는 수평구동수단과, 상기 수평구동수단을 수직방향의 회전축선 주위로 회전구동하는 회전구동수단을 구비하고서, 상기 수직구동수단에 상기 엔드 이펙터의 단부(端部)가 접속되고, 상기 수평구동수단에는 상기 수직구동수단의 단부가 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 이 기판 반송 시스템은, 상기 로봇에 인접해서 배치되어, 상기 로봇에 의해 상기 기판 반출입수단과 상기 기판처리장치 사이에서 반송되는 상기 기판이 잠정적으로 저장되는 잠정저장장치를 더 구비하고 있다.
바람직하게는, 상기 엔드 이펙터는, 수평방향으로 뻗고, 기단부 및 선단부를 구비하되, 상기 기단부가 상기 수직구동수단에 장착되어 있고, 상기 로봇은, 상기 수직구동수단이 상기 수평구동수단의 후단부에 위치하고 있을 때, 상기 엔드 이펙터의 상기 선단부가 상기 수평구동수단의 전단보다도 후단 측에 위치하도록 구성되어 있으며, 상기 기판처리장치 및 상기 잠정저장장치 중의 적어도 한 장치의 하부에는, 적어도 상기 로봇에 면하는 측이 개방된 개방공간이 형성되어 있고, 상기 로봇은, 상기 회전축선 주위에 상기 수평구동수단이 회전할 때에 상기 수평구동수단의 전단부가 적어도 1개의 상기 개방공간 내를 통과하도록 배치되어 있다.
바람직하게는, 상기 기판처리장치와 상기 기판 반출입수단이 상기 로봇을 사이에 두고 대향(對向)해서 배치되어 있고, 상기 잠정저장장치가 상기 기판처리장치와 상기 기판 반출입수단을 잇는 선에 직교하는 선 상에 배치되어 있다.
바람직하게는, 이 기판 반송 시스템은, 상기 로봇을 사이에 두고 대향해서 배치된 1쌍의 상기 잠정저장장치를 구비한다.
바람직하게는, 상기 회전축선은, 상기 수평구동수단의 전후방향 중앙위치보다도 후단 쪽으로 치우쳐 위치하도록 되어 있다.
바람직하게는, 상기 수평구동수단은, 수평방향으로 뻗고, 전단부 및 후단부를 포함하는 주행지지부재로서, 상기 회전구동수단에 의해 상기 회전축선 주위로 회전구동되는 주행지지부재와, 상기 수직구동수단을 상기 주행지지부재의 상기 전단부와 상기 후단부 사이에서 주행구동하는 주행구동기구를 구비하되, 상기 주행구동기구는, 상기 주행지지부재의 상기 전단부와 상기 후단부 사이에 걸쳐지고, 상기 수직구동수단의 하단부가 고착된 수평반송벨트와, 상기 수평반송벨트를 구동하는 수평반송용 모터를 구비하고 있다.
바람직하게는, 상기 수직구동수단은, 수직방향으로 뻗고, 상단부 및 하단부를 포함하는 승강지지부재로서, 상기 하단부가 상기 수평구동수단에 장착된 승강지지부재와, 상기 엔드 이펙터를 상기 승강지지부재의 상기 상단부와 상기 하단부 사이에서 승강구동하는 승강구동기구를 구비하되, 상기 승강구동기구는, 상기 승강지지부재의 상기 상단부와 상기 하단부와의 사이에 걸쳐지고, 상기 엔드 이펙터의 기단부가 고착된 수직반송벨트와, 상기 수직반송벨트를 구동하는 수직반송용 모터를 구비하고 있다.
도 1은 본 발명의 1실시형태에 따른 기판 반송 로봇을 구비한 기판 반송 시스템의 개략적인 구성을 기판처리장치와 함께 나타낸 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 기판 반송 시스템 및 기판처리장치의 평면도.
도 3은 본 발명의 1실시형태에 따른 기판 반송 로봇의 개략적인 구성을 나타낸 종단면도.
도 4는 도 1에 도시된 잠정저장장치, 기판처리장치 및, 컨베이어 장치에서의 개방공간을 설명하기 위한 도면으로서, (a)는 잠정저장장치, (b)는 기판처리장치, (c)는 컨베이어 장치를 나타낸다.
도 5는 도 1에 도시된 기판 반송 시스템 및 기판처리장치의 레이아웃을 설명하기 위한 도면으로서, (a)는 부분 평면도, (b)는 부분 측면도.
도 6은 도 1에 도시된 기판 반송 시스템 및 기판처리장치의 레이아웃을 설명하기 위한 측면도.
이하, 본 발명의 1실시형태에 따른 기판 반송 로봇 및 동 로봇을 포함하는 기판 반송 시스템에 대해, 도면을 참조해서 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 이 기판 반송 시스템은, 기판 반송 로봇(1)과, 그 주위에 배치된 잠정저장장치(2, 3) 및 컨베이어 장치(4)를 구비하고 있다. 또, 로봇(1)에 인접해서, 기판을 처리하기 위한 기판처리장치(5)가 배치되어 있다.
로봇(1) 및 각 장치(2∼5)의 배치관계에 대해 설명하면, 기판처리장치(5)와 컨베이어 장치(4)가 로봇(1)을 사이에 두고 대향해서 배치되어 있다. 또, 1쌍의 잠정저장장치(2, 3)가, 기판처리장치(5)와 컨베이어 장치(4)를 잇는 선에 직교하는 선 상에서, 로봇(1)을 사이에 두고 대향해서 배치되어 있다.
이 반송 시스템은, 특히 태양전지판용 대형 유리기판(100)을 반송하기에 적합한 것으로, 로봇(1)이 컨베이어 장치(4), 1쌍의 잠정저장장치(2, 3) 및 기판처리장치(5)의 사이에서, 적절히 유리기판(100)을 반송한다.
구체적으로는, 컨베이어 장치(4)에 의해 로봇(1)의 근방까지 반송된 미처리의 유리기판(100)이, 로봇(1)에 의해 제1 잠정저장장치(暫定貯藏裝置; 2)로 반송된다. 이 제1 잠정저장장치(2)에 잠정적으로 저장되어 있는 미처리의 유리기판(100)은, 로봇(1)에 의해 기판처리장치(5)로 반입된다.
기판처리장치(5)는, 유리기판(100)에 대해 화학 증착(CVD) 처리 등을 실시하고, 처리가 끝난 유리기판(100)은 로봇(1)에 의해 기판처리장치(5) 내로부터 반출되어 제2 잠정저장장치(3)로 반송된다.
이 제2 잠정저장장치(3)에 잠정적으로 저장되어 있는 처리가 끝난 유리기판(100)은, 로봇(1)에 의해 컨베이어 장치(4)로 반송되고, 컨베이어 장치(4)에 의해 반출된다.
도 3에 도시된 바와 같이 기판 반송 로봇(1)은, 바닥(50)에 고정되어 설치된 기대(基臺; 10)를 갖고, 이 기대(10)에 의해 수평방향으로 뻗어 있는 가늘고 긴 주행지지부재(11)가 회전할 수 있게 지지되어 있다.
구체적으로는, 주행지지부재(11)의 하부면에 회전지지축(12)이 고정되어 설치되어 있고, 이 회전지지축(12)이 기대(10)의 베어링(13)에 의해 추지(樞支)되어 있다. 회전지지축(12)은, 주행지지부재(11)의 길이방향의 중앙위치보다도 약간 후단부(11B) 쪽으로 치우친 위치에 설치되어 있다.
기대(10)의 내부에는, 인코더(encoder)를 구비한 서보모터(14)가 설치되어 있는바, 기어기구(15, 16)를 매개로 서보모터(14)의 회전구동력이 회전지지축(12)에 전달된다. 이에 따라, 주행지지부재(11)가, 기대(10)에 대해, 수직방향의 회전축선(17) 주위로 회전구동된다. 서보모터(14) 및 기어기구(15, 16)가 회전구동수단을 구성한다.
주행지지부재(11)에는, 수직방향으로 뻗어 있는 승강지지부재(18)가 주행지지부재(11)의 전단부(11A)와 후단부(11B) 사이를 그 직립상태를 유지하면서 이동할 수 있도록 장착되어 있다.
보다 구체적으로는, 주행지지부재(11)의 내부 공간에는, 전단부(11A)와 후단부(11B) 사이에 1쌍의 풀리(수평반송용 풀리; 19A, 19B)를 매개로 걸쳐진 수평반송벨트(20)가 설치되어 있다. 주행지지부재(11)의 상부면은 개구(開口)되어 있고, 수평반송벨트(20)의 상부면에 승강지지부재(18)의 하단부(18B)가 고정되어 있다. 한편, 주행지지부재(11)의 상부면 개구는, 씰 벨트(seal belt) 등에 의해 밀봉되어도 좋다.
한쪽의 풀리(19A)는, 인코더(encoder)를 구비한 서보모터(21)에 의해 회전구동되고, 수평반송벨트(20)가 전후로 구동된다. 이에 따라, 승강지지부재(18)가 주행지지부재(11)의 전단부(11A)와 후단부(11B) 사이에서 주행구동된다. 서보모터(21), 수평반송벨트(20), 풀리(19A, 19B)는, 승강지지부재(18)를 수평방향으로 주행시키는 주행구동기구를 구성한다. 이 주행구동기구와 주행지지부재(11)에 의해 수평구동수단이 구성된다.
승강지지부재(18)의 앞면에는, 수평방향으로 뻗어 있는 엔드 이펙터(22)가, 승강지지부재(18)의 상단부(18A)와 하단부(18B) 사이를 그 수평상태를 유지하면서 승강할 수 있도록 장착되어 있다.
보다 구체적으로는, 승강지지부재(18)의 내부 공간에는, 상단부(18A)와 하단부(18B) 사이에 1쌍의 풀리(수직반송용 풀리: 23A, 23B)를 매개로 걸쳐진 수직반송벨트(24)가 설치되어 있다. 승강지지부재(18)의 앞면은 개구되어 있고, 수직반송벨트(24)의 앞면에 엔드 이펙터(22)의 기단부(22B)가 고정되어 있다. 한편, 승강지지부재(18)의 앞면 개구는, 씰 벨트 등에 의해 밀봉되어도 좋다.
한쪽의 풀리(23A)는, 인코더를 구비한 서보모터(25)에 의해 회전구동되고, 수직반송벨트(24)가 상하로 구동된다. 이에 따라, 엔드 이펙터(22)가 승강지지부재(18)의 상단부(18A)와 하단부(18B) 사이에서 주행구동된다. 서보모터(25), 수직반송벨트(24), 및 풀리(23A, 23B)는, 엔드 이펙터(22)를 수직방향으로 승강시키는 승강구동기구를 구성한다. 이 승강구동기구와 승강지지부재(18)에 의해 수직구동수단이 구성된다.
도 3은 승강지지부재(18)가 주행지지부재(11)의 후단부(11B)에 위치하고 있는 상태를 나타내고 있는바, 이 대기상태에서 엔드 이펙터(22)의 선단부(22A)는 주행지지부재(11)의 전단보다도 후단 측에 위치하고 있다.
이 기판 반송 시스템에서는, 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 잠정저장장치(2, 3)의 각 하부에, 적어도 로봇(1)에 면하는 측(전면 측)이 개방된 개방공간(2A, 3A)이 형성되어 있다.
또, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 기판처리장치(5)에서도, 그 하부에, 적어도 로봇(1)에 면하는 측(전면 측)이 개방된 개방공간(5A)이 형성되어 있다. 한편, 기판처리장치(5)의 하부에 개방공간(5A)을 형성하는 대신, 로봇의 최소회전반경에 간섭을 하지 않도록 기판처리장치(5)를 배치하는 경우도 있다.
그리고, 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 컨베이어 장치(4)에서는, 상하의 벨트 사이에 끼인 영역에서, 적어도 로봇(1)에 면하는 측(전면 측)이 개방된 개방공간(4A)이 형성되어 있다.
로봇(1)의 주행지지부재(11)를 회전축선(17) 주위로 회전시키면, 주행지지부재(11)의 전단부(11A)는, 도 2에서 부호 26으로 나타낸 원형의 궤적을 그리게 된다.
그리고, 주행지지부재(11)의 전단부(11A)의 원형의 궤적(26)은, 그 일부가 잠정저장장치(2, 3), 컨베이어 장치(4) 및 기판처리장치(5)의 설치 영역과 겹쳐지도록 되어 있다. 한편, 기판처리장치(5)에 대해서는, 원형의 궤적(26)과 겹치지 않도록 배치되는 경우도 있다.
그러나, 각 장치에는 도 4에 도시된 개방공간(2A, 2B, 4A, 5A)이 형성되어 있기 때문에, 로봇(1)의 주행지지부재(11)는 그 회전에 즈음하여 전단부(11A)가 개방공간(2A, 2B, 4A, 5A)의 내부를 통과하게 된다.
이 점에 대해 도 5 및 도 6을 참조해서 설명하면, 로봇(1)의 주행지지부재(11)는 기판처리장치(5)의 아래 쪽에 형성된 개방공간(5A) 및 컨베이어 장치(4) 내부의 개방공간(4A) 각각에 대응하는 높이의 위치에 배치되어 있다. 또, 잠정저장장치(2, 3)에 관해서도, 주행지지부재(11)는 개방공간(2A, 3A)의 각각에 대응하는 높이의 위치에 배치되어 있다.
이에 따라, 주행지지부재(11)가 회전할 때에는, 그 전단부(11A)가 개방공간(2A, 3A, 4A, 5A)의 내부를 통과할 수 있게 되어, 주행지지부재(11)와 각 장치(2∼5)와의 간섭을 방지할 수 있게 된다.
또 앞에서 설명한 바와 같이 회전지지축(12)은, 주행지지부재(11)의 길이방향의 중앙위치보다도 약간 후단부(11B) 쪽으로 치우친 위치에 설치되어 있다. 이에 따라, 승강지지부재(18)가 주행지지부재(11)의 후단부(11B)에 위치하고 있는 상태에서 주행지지부재(11)를 회전시킨 경우라 하더라도, 승강지지부재(18)가 각 장치(2∼5)에 간섭하지 않게 된다.
또, 회전지지축(12)을 주행지지부재(11)의 길이방향 중앙위치보다도 약간 후단 쪽 위치에 설치함으로써, 로봇이 선회할 때에 선회축에서의 중량 밸런스가 개선되어 원활한 회전동작을 달성할 수 있다.
즉, 로봇이 선회할 때에는 승강지지부재(18)가 주행지지부재(11)의 후단부(11B) 측에 위치하고 있으나, 주행지지부재(11)의 전방부분을 후방부분보다도 길게 함으로써 전방부분의 중량이 커져 중량 밸런스가 개선된다.
한편, 본 실시형태에서의 주행구동기구 및 승강구동기구에서는, 직동기구(直動機構)로서 벨트 및 풀리를 사용하고 있으나, 예컨대 랙 피니언(rack pinion), 볼 스크류, 리니어 모터, 실린더, 텔레스코픽(telescopic), 팬터그래프(patagraph)와 같은 직동기구를 사용해도 좋다.
또, 본 실시형태에서의 회전구동수단에서는, 서보모터(14)의 동력을 기어기구(15, 16)를 매개로 주행지지부재(11)에 전달하도록 되어 있으나, 예컨대 큰 출력의 모터에 주행지지부재(11)를 직접 접속시켜도 좋다.
다음에는, 컨베이어 장치(4) 상의 유리기판(100)을 기판처리장치(5)로 반송하는 경우의 로봇(1)의 동작에 대해 설명한다.
초기상태에서는, 도 1에 도시된 바와 같이 엔드 이펙터(22)가 컨베이어 장치(4)의 방향을 향해 있고, 이때에는 도 3에 도시된 바와 같이 승강지지부재(18)는 주행지지부재(11)의 후단부(11B) 측에 위치하고 있다.
이 상태에서, 수직반송용의 서보모터(25)를 구동해서 엔드 이펙터(22)를 강하시켜, 컨베이어 장치(4) 상의 유리기판(100)의 하부면으로부터 소정 거리만큼 아래쪽으로 이동시킨다.
다음에, 수평반송용의 서보모터(21)를 구동해서 승강지지부재(18)를 주행지지부재(11)의 전단부(11A) 측으로 이동시켜 엔드 이펙터(22)를 유리기판(100)의 아래 쪽에 위치시킨다.
계속해서, 수직반송용의 서보모터(25)를 구동해서 엔드 이펙터(22)를 소정 거리만큼 위쪽으로 이동시키고, 엔드 이펙터(22)에 유리기판(100)을 보유지지시킨다.
그리고, 수평반송용의 서보모터(21)를 구동해서, 승강지지부재(18)를 주행지지부재(11)의 후단부(11B) 측으로 이동시킨다.
다음에, 회전구동용의 서보모터(14)를 구동해서 주행지지부재(11)를 회전시켜, 엔드 이펙터(22)가 기판처리장치(5)의 방향을 향하도록 한다.
계속해서, 수직반송용의 서보모터(25)를 구동해서 엔드 이펙터(22)를 기판처리장치(5)의 기판 재치부의 높이로부터 소정 거리 위쪽으로 이동시킨다.
그리고, 수평반송용 서보모터(21)를 구동해서 승강지지부재(18)를 주행지지부재(11)의 전단부(11A) 측으로 이동시켜 엔드 이펙터(22)를 기판처리장치(5)의 기판 재치부(載置部)의 위쪽에 위치시킨다.
이 상태에서, 수직반송용 서보모터(25)를 구동해서 엔드 이펙터(22)를 소정 거리 아래쪽으로 이동시키고, 기판처리장치(5)의 기판 재치부에 유리기판(100)을 올려놓는다.
마지막으로, 수평반송용 모터(21)를 구동해서 승강지지부재(18)를 주행지지부재(11)의 후단부(11B)로 이동시킨다.
한편, 본 실시형태에서는, 컨베이어 장치(4)를 사용해서 유리기판(100)을 반입, 반출하도록 하였으나, 예컨대 유리기판(100)을 올려놓기 위한 재치대(載置臺)를 설치하여, 로봇 등에 의해 유리기판(100)을 재치대 상에 반입, 반출해도 좋고, 혹은 기판용 용기에 복수로 수용된 상태로 유리기판(100)을 반입, 반출하도록 해도 좋다.
상기와 같이 구성된 본 실시형태의 기판 반송 로봇(1)에서는, 유리기판(100)을 엔드 이펙터(22)로 보유지지해서 승강시킬 때에는, 로봇(1) 전체 중 엔드 이펙터(22)만 승강구동하면 족하다. 그 때문에, 종래의 기술과 같이 엔드 이펙터와 함께 다른 아암을 동작하게 하는 경우에 비해, 구동수단을 구성하는 서보모터의 용량을 작게 억제할 수 있다. 이에 따라, 로봇(1)의 대형화를 방지하고, 또한 제조비용의 증대를 억제할 수 있다.
또, 본 실시형태에 따른 기판 반송 로봇(1)은, 수직구동수단 자체를 수평방향으로 이동시킴으로써 엔드 이펙터(22)를 수평방향으로 이동시키도록 하였기 때문에, 종래의 기판 반송 로봇과 같이 아암을 수평방향으로 신장(伸長)시킬 필요가 없다. 그 때문에, 아암의 신장에 의한 휘어짐의 문제가 없어, 엔드 이펙터(22)를 소망하는 위치로 정확하게 위치 결정할 수 있다.
그리고, 본 실시형태에 따른 기판 반송 로봇(1)을 구비한 반송 시스템에 의하면, 로봇(1)의 주행지지부재(11)와 각 장치(2∼5)와의 간섭을 방지하면서, 각 장치(2∼5)를 로봇(1)에 대해 종래보다도 가까운 위치에 배치할 수 있기 때문에, 기판처리장치(5)를 포함해서 시스템 전체의 레이아웃을 종래보다도 콤팩트하게 할 수 있다.
이상, 본 발명을 그 실시형태를 이용해서 설명했지만, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시형태에 기재된 범위에 한정되지 않고, 상기 실시형태에 다양한 변경 또는 개량을 가할 수 있다. 그러한 변경 또는 개량을 가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있는바, 특허청구의 범위의 기재로부터 명백하다.

Claims (17)

  1. 수평방향으로 뻗은 상부면을 갖고, 당해 상부면 상에 기판이 수평으로 재치되어 보유지지되는 엔드 이펙터와,
    상기 엔드 이펙터를 수직방향으로 구동하는 수직구동수단과,
    상기 수직구동수단을 수평방향으로 구동하는 수평구동수단과,
    상기 수평구동수단을 수직방향의 회전축선 주위로 회전구동하는 회전구동수단을 구비하되,
    상기 수직구동수단에 상기 엔드 이펙터의 단부가 접속되고,
    상기 수평구동수단에 상기 수직구동수단의 단부가 접속되어 있으며,
    상기 회전축선은 상기 수평구동수단의 전후방향의 중앙위치보다도 후단 쪽으로 치우친 위치에 있고,
    상기 엔드 이펙터는 기단부 및 선단부를 갖되, 상기 기단부가 상기 수직구동수단에 장착되어 있으며,
    상기 수직구동수단이 상기 수평구동수단의 후단부에 위치하고 있을 때, 상기 엔드 이펙터의 상기 선단부 및 당해 엔드 이펙터의 상부면 상에 보유지지된 상기 기판의 선단부가 상기 수평구동수단의 전단보다도 후단 측에 위치함과 더불어 당해 수평구동수단의 전단에 위치하고 있고, 상기 회전축선은 상기 엔드 이펙터의 수평방향의 중앙위치 및 상기 엔드 이펙터의 상부면 상에 보유지지되는 상기 기판의 수평방향의 중앙위치에 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇.
  2. 제1항에 있어서, 상기 엔드 이펙터는, 당해 엔드 이펙터의 상부면 상에, 태양전지판용의 유리기판이 수평으로 재치되어 보유지지되도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 수평구동수단은, 수평방향으로 뻗고, 전단부 및 후단부를 포함하는 주행지지부재로서, 상기 회전구동수단에 의해 상기 회전축선 주위로 회전구동되는 주행지지부재와, 상기 수직구동수단을 상기 주행지지부재의 상기 전단부와 상기 후단부 사이에서 주행구동하는 주행구동기구를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇.
  4. 제3항에 있어서, 상기 주행구동기구는, 상기 주행지지부재의 상기 전단부와 상기 후단부 사이에 걸쳐지고, 상기 수직구동수단의 하단부가 고착된 수평반송벨트와, 상기 수평반송벨트를 구동하는 수평반송용 모터를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 수직구동수단은, 수직방향으로 뻗고, 상단부 및 하단부를 포함하는 승강지지부재로서, 상기 하단부가 상기 수평구동수단에 장착된 승강지지부재와, 상기 엔드 이펙터를 상기 승강지지부재의 상기 상단부와 상기 하단부 사이에서 승강구동하는 승강구동기구를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇.
  6. 제5항에 있어서, 상기 승강구동기구는, 상기 승강지지부재의 상기 상단부와 상기 하단부 사이에 걸쳐지고, 상기 엔드 이펙터의 기단부가 고착된 수직반송벨트와, 상기 수직반송벨트를 구동하는 수직반송용 모터를 가진 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 엔드 이펙터는, 기단부 및 선단부를 갖되, 상기 기단부가 상기 수직구동수단에 장착되어 있고,
    상기 수직구동수단이 상기 수평구동수단의 후단부에 위치하고 있을 때, 상기 엔드 이펙터의 상기 선단부가 상기 수평구동수단의 전단보다도 후단 측에 위치하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 회전축선은, 상기 수평구동수단의 전후방향의 중앙위치보다도 후단 쪽으로 치우친 위치에 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇.
  9. 제1항에 기재된 기판 반송 로봇으로서, 상기 로봇에 인접해서 배치된 상기 기판을 처리하기 위한 기판처리장치에 대해 상기 기판을 반출입하기 위한 로봇과,
    상기 로봇에 인접해서 배치되어 상기 로봇의 근방까지 상기 기판을 반입하는 한편 상기 로봇으로부터 받은 상기 기판을 반출하기 위한 기판 반출입수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 시스템.
  10. 제9항에 있어서, 상기 로봇에 인접해서 배치되어, 상기 로봇에 의해 상기 기판 반출입수단과 상기 기판처리장치 사이에서 반송되는 상기 기판이 잠정적으로 저장되는 잠정저장장치를 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 상기 엔드 이펙터는, 기단부 및 선단부를 갖되, 상기 기단부가 상기 수직구동수단에 장착되어 있고,
    상기 로봇은, 상기 수직구동수단이 상기 수평구동수단의 후단부에 위치하고 있을 때, 상기 엔드 이펙터의 상기 선단부가 상기 수평구동수단의 전단보다도 후단 측에 위치하도록 구성되어 있으며,
    상기 기판처리장치 및 상기 잠정저장장치 중의 적어도 하나의 장치의 하부에는, 적어도 상기 로봇에 면하는 측이 개방된 개방공간이 형성되어 있고,
    상기 로봇은, 상기 회전축선 주위를 상기 수평구동수단이 회전할 때에 상기 수평구동수단의 전단부가 적어도 1개의 상기 개방공간 내를 통과하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 시스템.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 기판처리장치와 상기 기판 반출입수단이 상기 로봇을 사이에 두고 대향해서 배치되어 있고,
    상기 잠정저장장치가, 상기 기판처리장치와 상기 기판 반출입수단을 잇는 선에 직교하는 선 상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 시스템.
  13. 제12항에 있어서, 상기 로봇을 사이에 두고 대향해서 배치된 1쌍의 상기 잠정저장장치를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 시스템.
  14. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 회전축선은, 상기 수평구동수단의 전후방향의 중앙위치보다도 후단 쪽으로 치우친 위치에 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 시스템.
  15. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수평구동수단은, 수평방향으로 뻗고, 전단부 및 후단부를 포함하는 주행지지부재로서, 상기 회전구동수단에 의해 상기 회전축선 주위로 회전구동되는 주행지지부재와, 상기 수직구동수단을 상기 주행지지부재의 상기 전단부와 상기 후단부 사이에서 주행구동하는 주행구동기구를 갖고,
    상기 주행구동기구는, 상기 주행지지부재의 상기 전단부와 상기 후단부 사이에 걸쳐지고, 상기 수직구동수단의 하단부가 고착된 수평반송벨트와, 상기 수평반송벨트를 구동하는 수평반송용 모터를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 반송 시스템.
  16. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수직구동수단은, 수직방향으로 뻗고, 상단부 및 하단부를 포함하는 승강지지부재로서, 상기 하단부가 상기 수평구동수단에 장착된 승강지지부재와, 상기 엔드 이펙터를 상기 승강지지부재의 상기 상단부와 상기 하단부 사이에서 승강구동하는 승강구동기구를 갖고,
    상기 승강구동기구는, 상기 승강지지부재의 상기 상단부와 상기 하단부 사이에 걸쳐지고, 상기 엔드 이펙터의 기단부가 고착된 수직반송벨트와, 상기 수직반송벨트를 구동하는 수직반송용 모터를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 반송 시스템.
  17. 기판 반송 로봇으로서, 당해 로봇에 인접해서 배치된 상기 기판을 처리하기 위한 기판처리장치에 대해 상기 기판을 반출입하기 위한 로봇과,
    상기 로봇에 인접해서 배치되어 상기 로봇의 근방까지 상기 기판을 반입하는 한편 상기 로봇으로부터 받은 상기 기판을 반출하기 위한 기판 반출입수단과,
    상기 로봇에 인접해서 배치되어 상기 로봇에 의해 기판 반출입수단과 상기 기판처리장치 사이에서 반송되는 상기 기판이 잠정적으로 저장되는 잠정저장징치를 구비하되,
    상기 기판 반송 로봇은,
    기판이 수평으로 보유지지되는 엔드 이펙터와,
    상기 엔드 이펙터를 수직방향으로 구동하는 수직구동수단과,
    상기 수직구동수단을 수평방향으로 구동하는 수평구동수단과,
    상기 수평구동수단을 수직방향의 회전축선 주위로 회전구동하는 회전구동수단을 갖추며,
    상기 수직구동수단에 상기 엔드 이펙터의 단부가 접속되고,
    상기 수평구동수단에 상기 수직구동수단의 단부가 접속되어 있으며,
    상기 회전축선은, 상기 수평구동수단의 전후방향의 중앙위치보다도 후단 쪽으로 치우친 위치에 있고,
    상기 엔드 이펙터는 수평방향으로 뻗고, 기단부 및 선단부를 갖되, 상기 기단부가 상기 수직구동수단에 장착되어 있으며,
    상기 로봇은, 상기 수직구동수단이 상기 수평구동수단의 후단부에 위치하고 있을 때, 상기 엔드 이펙터의 상기 선단부가 상기 수평구동수단의 전단보다도 후단 측에 위치하도록 구성되어 있고,
    상기 기판처리장치 및 상기 잠정저장장치 중의 적어도 하나의 장치의 하부에는, 적어도 상기 로봇에 면하는 측이 개방된 개방공간이 형성되어 있으며,
    상기 로봇은, 상기 회전축선 주위를 상기 수평구동수단이 회전할 때에 상기 수평구동수단의 전단부가 적어도 1개의 상기 개방공간 내를 통과하고, 상기 기판처리장치 및 상기 잠정저장장치와 간섭하지 않도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 시스템.
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KR1020117007791A KR20110050558A (ko) 2008-10-07 2009-09-28 기판 반송 로봇 및 시스템

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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2452320B (en) * 2007-09-03 2012-04-11 Dek Int Gmbh Workpiece processing system and method
KR101488649B1 (ko) * 2008-10-07 2015-02-04 가와사키 쥬코교 가부시키가이샤 기판 반송 로봇 및 시스템
US8814239B2 (en) * 2012-02-15 2014-08-26 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Techniques for handling media arrays
JP6031520B2 (ja) * 2012-08-10 2016-11-24 川崎重工業株式会社 板ガラスのパッキング装置
ITTV20130195A1 (it) * 2013-11-21 2015-05-22 Vismunda Srl "impianto automatico e procedimento produttivo di un backsheet conduttivo con strato incapsulante e dielettrico integrato, per pannelli fotovoltaici a celle"
ITTV20130211A1 (it) * 2013-12-23 2015-06-24 Vismunda Srl "metodo d'assemblaggio di un pannello fotovoltaico di tipo back-contact con prefissaggio delle celle, e stazione combinata di carico e pre-fissaggio".
EP2958155B1 (en) * 2014-06-20 2016-10-19 Vismunda S.r.l. Plant and system for the automatic horizontal assembly of photovoltaic panels with front-back connection of the cells and pre-fixing
CN104400773B (zh) * 2014-11-14 2017-02-08 天津长荣印刷设备股份有限公司 一种板框存储单元及其工作方法
CN204689095U (zh) * 2015-03-24 2015-10-07 富泰华工业（深圳）有限公司 移载装置
CN108406727A (zh) * 2018-03-02 2018-08-17 俞权锋 一种搬运机械手装置
CN110676196A (zh) * 2019-10-09 2020-01-10 青岛航天半导体研究所有限公司 用于自动金丝键合机上的工装安装、键合方法
CN114446844A (zh) * 2020-11-03 2022-05-06 长鑫存储技术有限公司 传送装置及半导体生产设备
CN113752268B (zh) * 2021-11-11 2022-01-04 季华实验室 电路板抓取控制方法、装置、设备及存储介质
USD997224S1 (en) * 2022-01-07 2023-08-29 Milvus Robotics Teknoloji A.S. Transfer robot

Family Cites Families (74)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1212409B (it) * 1980-03-14 1989-11-22 Raveggi Ornella Minnetti Macchina per prelevare e scaricare matasse.
EP0235488B1 (fr) * 1986-09-19 1990-01-24 REDOUTE CATALOGUE Société Anonyme: Installation de manutention robotisée
JPH03284534A (ja) * 1990-03-30 1991-12-16 Matsushita Electric Works Ltd 移載装置
JP2644912B2 (ja) * 1990-08-29 1997-08-25 株式会社日立製作所 真空処理装置及びその運転方法
US5423503A (en) * 1990-10-31 1995-06-13 Tokyo Electron Sagami Limited Plate-like member conveying apparatus
JPH0539194A (ja) * 1991-08-05 1993-02-19 Ken Controls:Kk 搬送用ロボツト
US5445486A (en) * 1992-03-29 1995-08-29 Tokyo Electron Sagami Limited Substrate transferring apparatus
JP3030160B2 (ja) * 1992-04-28 2000-04-10 東京エレクトロン株式会社 真空処理装置
US5716187A (en) * 1992-05-22 1998-02-10 Costa; Larry J. Two-axis cartesian robot
KR940006241A (ko) * 1992-06-05 1994-03-23 이노우에 아키라 기판이재장치 및 이재방법
US5636960A (en) * 1992-07-29 1997-06-10 Tokyo Electron Limited Apparatus for detecting and aligning a substrate
KR100280947B1 (ko) * 1993-10-04 2001-02-01 마쓰바 구니유키 판 형상체 반송장치
JPH07297258A (ja) * 1994-04-26 1995-11-10 Tokyo Electron Ltd 板状体の搬送装置
JPH0911161A (ja) * 1995-06-21 1997-01-14 Yamaha Motor Co Ltd 単軸ロボット
US5613821A (en) * 1995-07-06 1997-03-25 Brooks Automation, Inc. Cluster tool batchloader of substrate carrier
US5615988A (en) * 1995-07-07 1997-04-01 Pri Automation, Inc. Wafer transfer system having rotational capability
US5788868A (en) * 1995-09-04 1998-08-04 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Substrate transfer method and interface apparatus
US5980195A (en) * 1996-04-24 1999-11-09 Tokyo Electron, Ltd. Positioning apparatus for substrates to be processed
US5873214A (en) * 1996-11-15 1999-02-23 Lantech, Inc. Method and apparatus for load building and stretch wrapping
JP3579228B2 (ja) * 1997-01-24 2004-10-20 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
US6390754B2 (en) * 1997-05-21 2002-05-21 Tokyo Electron Limited Wafer processing apparatus, method of operating the same and wafer detecting system
JPH1111663A (ja) * 1997-06-27 1999-01-19 Tokyo Electron Ltd 基板搬送装置
US5915910A (en) * 1997-08-29 1999-06-29 Daitron, Inc. Semiconductor wafer transfer method and apparatus
FR2778496B1 (fr) * 1998-05-05 2002-04-19 Recif Sa Procede et dispositif de changement de position d'une plaque de semi-conducteur
US6888343B1 (en) * 1999-01-13 2005-05-03 Intest Ip Corporation Test head manipulator
KR100616293B1 (ko) * 1999-11-11 2006-08-28 동경 엘렉트론 주식회사 기판처리장치 및 기판처리방법
JP3973006B2 (ja) 2000-03-23 2007-09-05 日本電産サンキョー株式会社 ダブルアーム型ロボット
US6371717B1 (en) * 2000-05-11 2002-04-16 Abb Automation Inc. Device for mechanically gripping and loading cylindrical objects
US6766996B1 (en) * 2001-07-16 2004-07-27 Reid-Ashman Manufacturing, Inc. Manipulator
JP4011900B2 (ja) * 2001-12-04 2007-11-21 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法
JP4093462B2 (ja) * 2002-10-09 2008-06-04 東京エレクトロン株式会社 基板処理方法及び基板処理装置
KR20060095951A (ko) * 2003-09-25 2006-09-05 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 기판 처리 장치 및 기판의 제조 방법
JP3999723B2 (ja) * 2003-10-08 2007-10-31 川崎重工業株式会社 基板保持装置
US7905960B2 (en) * 2004-03-24 2011-03-15 Jusung Engineering Co., Ltd. Apparatus for manufacturing substrate
KR101037087B1 (ko) * 2004-06-29 2011-05-26 엘지디스플레이 주식회사 엠엠지용 기판 생산장비
JP4266197B2 (ja) * 2004-10-19 2009-05-20 東京エレクトロン株式会社 縦型熱処理装置
KR100621775B1 (ko) * 2005-04-15 2006-09-15 삼성전자주식회사 기판 세정장치
US7296673B2 (en) * 2005-06-10 2007-11-20 Applied Materials, Inc. Substrate conveyor system
US7438175B2 (en) * 2005-06-10 2008-10-21 Applied Materials, Inc. Linear vacuum deposition system
JP4666215B2 (ja) * 2005-08-10 2011-04-06 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP2007054939A (ja) 2005-08-26 2007-03-08 Mitsubishi Electric Corp 産業用ロボット及びその輸送方法
JP2007260862A (ja) 2006-03-29 2007-10-11 Nachi Fujikoshi Corp ロボット
JP2008053643A (ja) * 2006-08-28 2008-03-06 Hirata Corp 基板移載ロボット
US7670555B2 (en) * 2006-09-08 2010-03-02 Rex A. Hoover Parallel gripper for handling multiwell plate
JP4770663B2 (ja) 2006-09-20 2011-09-14 株式会社安川電機 基板吸着装置およびそれを用いた基板搬送ロボット
US8128333B2 (en) * 2006-11-27 2012-03-06 Hitachi Kokusai Electric Inc. Substrate processing apparatus and manufacturing method for semiconductor devices
JP5016302B2 (ja) 2006-12-01 2012-09-05 日本電産サンキョー株式会社 アーム駆動装置及び産業用ロボット
JP5014811B2 (ja) * 2007-01-22 2012-08-29 東京エレクトロン株式会社 基板の処理方法
JP4531778B2 (ja) * 2007-02-09 2010-08-25 東京エレクトロン株式会社 温度制御方法、温度調節器および加熱処理装置
JP4313824B2 (ja) * 2007-03-23 2009-08-12 東京エレクトロン株式会社 基板移載装置及び基板移載方法並びに記憶媒体
US8814488B2 (en) * 2007-04-02 2014-08-26 Hitachi Kokusai Electric Inc. Substrate processing apparatus and semiconductor device manufacturing method
JP4313401B2 (ja) * 2007-04-24 2009-08-12 東京エレクトロン株式会社 縦型熱処理装置及び被処理基板移載方法
JP4955447B2 (ja) * 2007-04-26 2012-06-20 株式会社ダイヘン 搬送装置
JP4908306B2 (ja) * 2007-05-10 2012-04-04 株式会社ダイヘン 搬送装置
US8771483B2 (en) * 2007-09-05 2014-07-08 Intermolecular, Inc. Combinatorial process system
JP4989398B2 (ja) * 2007-09-27 2012-08-01 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
JP4863985B2 (ja) * 2007-12-20 2012-01-25 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
KR101094387B1 (ko) * 2008-08-28 2011-12-15 세메스 주식회사 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법
JP5131094B2 (ja) * 2008-08-29 2013-01-30 東京エレクトロン株式会社 熱処理装置及び熱処理方法並びに記憶媒体
JP5456287B2 (ja) * 2008-09-05 2014-03-26 東京エレクトロン株式会社 縦型熱処理装置
JP2010077508A (ja) * 2008-09-26 2010-04-08 Tokyo Electron Ltd 成膜装置及び基板処理装置
KR101488649B1 (ko) * 2008-10-07 2015-02-04 가와사키 쥬코교 가부시키가이샤 기판 반송 로봇 및 시스템
WO2010042577A2 (en) * 2008-10-07 2010-04-15 Applied Materials, Inc. Advanced platform for processing crystalline silicon solar cells
US8151852B2 (en) * 2009-06-30 2012-04-10 Twin Creeks Technologies, Inc. Bonding apparatus and method
JP5274339B2 (ja) * 2009-03-30 2013-08-28 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置および基板搬送方法
JP5419581B2 (ja) * 2009-07-31 2014-02-19 東京エレクトロン株式会社 搬送機構の組み立て方法および搬送室
JP2011035103A (ja) * 2009-07-31 2011-02-17 Tokyo Electron Ltd 搬送装置及び処理システム
JP5736687B2 (ja) * 2009-10-06 2015-06-17 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
KR20120127463A (ko) * 2010-01-22 2012-11-21 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 기판 냉각을 수반하는 이송 로봇
US20110245957A1 (en) * 2010-04-06 2011-10-06 Applied Materials, Inc. Advanced platform for processing crystalline silicon solar cells
US20110308458A1 (en) * 2010-06-21 2011-12-22 Semes Co., Ltd. Thin Film Deposition Apparatus
JP5704871B2 (ja) * 2010-09-16 2015-04-22 東京エレクトロン株式会社 搬送装置、処理システム、搬送装置の制御方法およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体
JP5847393B2 (ja) * 2010-11-30 2016-01-20 川崎重工業株式会社 搬送ロボット
JP6185722B2 (ja) * 2012-03-08 2017-08-23 株式会社日立国際電気 基板処理装置、基板移載方法及び半導体装置の製造方法並びに状態検知プログラム

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Publication number Publication date
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