KR20060095951A - 기판 처리 장치 및 기판의 제조 방법 - Google Patents

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마코토 히라노
아키히로 요시다
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가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
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Abstract

본 발명은 사람의 손을 통하지 않고, 자동적으로 정상 상태에 있는 기판을 회수할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 기판(12)을 다단으로 유지하는 기판 유지 도구(26)와, 이 기판 유지 도구(26)에 기판(12)을 이동 적재하는 기판 이동 적재기(34)로 이루어지고, 기판 유지 도구(26)의 기판 유지 상태는 검지부(60)에 의해 검지된다. 검지부(60)는 포토센서(64a, 64b)를 갖고, 이 포토센서(64a, 64b)로부터 검지된 검지 파형이 정상 파형과 비교되어, 적어도 이상하다고 판단된 기판(12) 이외의 기판(12)을 기판 이동 적재기(34)에 의해 이동 적재하도록 제어하는 제어부(66)가 설치되어 있다.
기판 처리 장치, 검지 방법, 다단, 이동 적재

Description

기판 처리 장치 및 기판의 제조 방법{SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND METHOD OF PRODUCING SUBSTRATES}
본 발명은 반도체 디바이스 등의 기판을 처리하기 위한 기판 처리 장치 및 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
이러한 기판 처리 장치로서, 기판을 다단(多段)으로 유지하는 기판 유지 도구와, 이 기판 유지 도구에 기판을 이동 적재하는 이동 적재기를 갖고, 기판 유지 도구에 다수의 기판을 유지한 상태로 처리로(處理爐)에서 기판을 처리하는 것은 공지(公知)이다.
발명의 개시
발명이 해결하고자 하는 과제
처리로 내에서 승온(昇溫)되었을 때 또는 처리로로부터 취출(取出)되어 냉각되었을 때, 열응력에 의해, 기판에는 깨짐, 휨 등의 이상(異常)을 발생시키는 경우가 있다. 이 깨짐이나 휨이 기판 자동 반송 기구에 의해 자동 반송할 수 없는 레벨에 있을 경우, 기판을 출납하는 트위더가 기판과 충돌하여 기판 유지 도구를 쓰러뜨리고, 예를 들어 석영제의 부품을 파손(破損)하는 등의 중대 사고로 연결된다.
이것을 해결하기 위해 기판의 상태를 검지하는 기구를 설치하는 것을 생각할 수 있다. 검지 기구는 예를 들어 이동 적재기에 포토센서를 설치하고, 이동 적재기의 상하축을 이용하여 포토센서를 이동시켜, 기판 유지 도구의 기판을 검지한다.
기판에 의해 광이 차단된 부분과 기판 사이에 광이 투과하는 부분을 기록하고, 상하축의 이동량 및 포토센서의 검지 데이터를 이용하여, 미리 알고 있는 기판 유지 도구의 피치에 대하여 기판 피치가 정상인지 확인한다.
기판의 깨짐 또는 이동 적재 오류에 의해, 기판이 기판 유지 도구의 지지 홈으로부터 낙하한 경우, 상술한 포토센서에 의한 광의 차단, 투과의 기록 데이터에 착오가 생기고, 이 착오를 발생시킨 지지 홈의 기판을 이상(異常) 이동 적재 상태로 한다.
마찬가지로 깨짐 등에 의해 기판이 지지 홈으로부터 완전히 낙하하여 원래 유지되어야 할 지지 홈에 기판이 존재하지 않을 경우는, 광을 차단하지 않기 때문에, 기판 로스트(lost)로서 검지 가능하다.
기판 검지 기구에 의해 기판 상태를 검지한 후, 에러(error)가 생긴 지지 홈에 이동 적재되어 있는 기판은 장치 내에 사람이 들어가, 손으로 회수한다.
또한, 사람의 눈에 의해 안전하다고 확인된 후, 기판 자동 반송 기구에 의해 자동 이동 적재한다.
최근, 기판 처리 장치에 있어서, 대기(大氣)에 포함되는 수분이나 파티클을 싫어하고, 기판에 대한 오염을 경감하기 위해, L/L 장치(로드록(load-lock) 장치), N2 퍼지(purge) 장치, 유기 필터 등을 사용하여, 소환경(minienvironment)을 실현하 는 것이 과제로 되어 있다. 상기한 바와 같이, 기판 상태 검지 기구에 의해 이상을 검지한 후, 사람의 손에 의해 이상 기판을 회수하도록 하면, 정상 상태에 있는 기판에 대해서도 인체로부터 발생한 파티클이 악영향을 미칠 가능성이 높고, 또한 N2 퍼지 장치를 사용한 기판 처리 장치에서는, 장치 내를 대기로 되돌려, 사람이 들어갈 수 있는 환경으로 해야만 한다. 이것에서는 기판 표면의 자연 산화막을 저감시키는 것이 불가능하며, 정상 이동 적재된 기판에 대해서도 프로세스상 문제가 있다.
본 발명의 목적은 사람의 손을 통하지 않고, 자동적으로 정상 상태에 있는 기판을 회수할 수 있는 기판 처리 장치를 제공함에 있다.
과제를 해결하기 위한 수단
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 제 1 특징으로 하는 바는, 기판 처리실과, 상기 기판 처리실에 삽입 가능하고, 기판을 실질적으로 연직(鉛直) 방향으로 다단(多段)으로 유지하는 기판 유지 도구와, 이 기판 유지 도구에 기판을 이동 적재하는 기판 이동 적재기와, 상기 기판 유지 도구에 의해 유지된 기판의 유지 상태를 검지하는 검지 장치를 갖는 기판 처리 장치로서, 기판의 이동 적재를 행할 때에, 상기 검지 장치에 의해 기판의 유지 상태를 검지하고, 기판 유지 상태가 이상하다고 판단된 기판 이외의 기판을 상기 기판 이동 적재기에 의해 이동 적재하도록 상기 기판 이동 적재기를 제어하는 제어 장치를 갖는 기판 처리 장치에 있다.
본 발명의 제 2 특징으로 하는 바는, 기판 처리실과, 상기 기판 처리실에 삽 입 가능하고, 기판을 실질적으로 연직 방향으로 다단으로 유지하는 기판 유지 도구와, 이 기판 유지 도구에 기판을 이동 적재하는 기판 이동 적재기와, 상기 기판 유지 도구에 의해 유지된 기판의 유지 상태를 검지하는 검지 장치를 갖는 기판 처리 장치로서, 기판의 이동 적재를 행할 때에, 상기 검지 장치에 의해 기판의 유지 상태를 검지하고, 기판 유지 상태가 이상하다고 판단된 기판 이외의 기판을 상기 기판 이동 적재기에 의해 이동 적재하도록 상기 기판 이동 적재기를 제어하는 제어 장치를 갖는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 제어 장치는, 상기 이상하다고 판단된 기판 및 이상하다고 판단된 기판의 적어도 위 또는 아래의 어느쪽에 유지된 기판의 적어도 1매의 기판 이외의 기판을 상기 기판 이동 적재기에 의해 이동 적재하도록 상기 기판 이동 적재기를 제어하는 기판 처리 장치에 있다.
본 발명의 제 3 특징으로 하는 바는, 기판이 실질적으로 연직 방향으로 다단으로 유지된 기판 유지 도구를 기판 처리실 내에 삽입하는 공정과, 상기 기판 처리실에서 상기 기판을 열처리하는 공정과, 상기 기판 유지 도구에 의해 유지되어 있는 기판의 유지 상태를 검지하는 공정과, 기판의 유지 상태가 이상하다고 판단된 기판 이외의 기판을 기판 이동 적재기에 의해 이동 적재하는 공정을 갖는 기판의 제조 방법에 있다.
본 발명의 제 4 특징으로 하는 바는, 기판이 실질적으로 연직 방향으로 다단으로 유지된 기판 유지 도구를 기판 처리실 내에 삽입하는 공정과, 상기 기판 처리실에서 상기 기판을 열처리하는 공정과, 상기 기판 유지 도구에 의해 유지되어 있는 기판의 유지 상태를 검지하는 공정과, 기판의 유지 상태가 이상하다고 판단된 기판 이외의 기판을 기판 이동 적재기에 의해 이동 적재하는 공정을 갖는 기판의 제조 방법에 있어서, 상기 기판의 이동 적재는, 복수의 소정 매수씩 반송하며, 반송하고자 하는 상기 소정 매수의 기판 전체가 기판의 유지 상태가 정상이라고 판단된 경우는, 상기 소정 매수를 모두 일괄적으로 반송하고, 적어도 1매의 기판의 유지 상태가 이상하다고 판단된 경우는, 상기 소정 매수의 기판 중 상기 이상하다고 판단된 기판 이외의 기판을 1매씩 반송하는 기판의 제조 방법에 있다.
제어 수단은 이상하다고 판단된 기판 이외의 모든 기판을 이동 적재기에 의해 이동 적재하도록 이동 적재기를 제어할 수도 있지만, 바람직하게는, 이상하다고 판단된 기판 및 그 기판의 상하 적어도 1매씩의 기판 이외의 기판을 이동 적재기에 의해 이동 적재하도록 이동 적재기를 제어한다.
발명의 효과
본 발명의 기판 처리 장치에 의하면, 기판의 이동 적재를 행할 때에, 기판의 유지 상태를 검지하여, 적어도 이상하다고 판단된 기판 이외의 기판을 이동 적재기에 의해 이동 적재하도록 상기 이동 적재기를 제어하게 했기 때문에, 자동적으로 정상 상태에 있는 기판을 회수할 수 있고, 장치 내에 파티클이 들어가거나, 기판이 산화되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치 전체를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치 전체를 나타낸 단면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치에 사용한 처리로 및 그 주 변을 나타낸 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치에 사용한 기판 이동 적재기의 측면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치에 사용한 기판 유지 도구의 측면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치에서의 기판 유지의 이상 상태를 설명하는 도면으로서, (a)는 정상 상태를 나타낸 평면도, (b)는 기판에 깨짐을 발생시킨 상태를 나타낸 정면도, (c)는 기판 유지 도구를 나타낸 정면도, (d)는 기판 유지 도구의 측면도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치에 있어서, 기판 유지의 이상 상태가 있었을 경우의 검지 방법을 설명하는 도면으로서, (a)는 기판 유지의 이상 상태와 검지 파형의 관계를 나타낸 설명도, (b)는 기판 이동 적재기의 평면도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치에서의 기판 검지 동작을 나타낸 플로차트.
발명을 실시하기 위한 최선의 형태
다음으로, 본 발명의 실시예를 도면에 의거하여 설명한다.
도 1 및 도 2에는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치(10)가 도시되어 있다. 기판 처리 장치(10)는 기판에 확산 처리나 CVD 처리 등을 행하는 종형(縱型)의 것이다. 이 기판 처리 장치(10)는 실리콘 등으로 이루어지는 기판(12)을 수납한 포드(pod)(14)를 외부로부터 하우징(housing)(16) 내에 삽입하기 위한 입출( 入出) 스테이지(18)가 하우징(16)의 전면(前面)에 부설(附設)되어 있다. 하우징(16) 내에는 삽입된 포드(14)를 보관하기 위한 카세트 선반(22)이 설치되어 있다. 또한, 하우징(16) 내에는 N2 퍼지실(24)이 설치되어 있으며, 이 N2 퍼지실(24)은 기판(12)의 반송 영역이고, 기판 유지 도구(보트)(26)의 반입 및 반출 공간으로 되어 있다. N2 퍼지실(24)은, 기판(12)의 처리를 행할 경우, N2 가스 등의 불활성 가스로 충만되어, 기판(12)에 자연 산화막이 형성되는 것을 방지하게 되어 있다.
상술한 포드(14)로서는 FOUP가 사용되고 있으며, 포드(14)의 일 측면에 설치된 개구부를 뚜껑체(도시 생략)로 폐색함으로써 대기로부터 기판(12)을 격리하여 반송할 수 있고, 뚜껑체를 제거함으로써 포드(14) 내에 기판(12)을 입출시킬 수 있다. 이 포드(14)에는 예를 들어 25매의 기판(12)이 수납된다. 이 포드(14)의 뚜껑체를 떼어내, 포드(14) 내의 분위기와 N2 퍼지실(24)의 분위기를 연통(連通)시키기 위해, N2 퍼지실(24)의 전면에는 포드 오프너(opener)(28)가 설치되어 있다. 포드 오프너(28), 카세트 선반(22) 및 입출 스테이지(18) 사이의 포드(14) 반송은 카세트 이동 적재기(30)에 의해 실행된다. 이 카세트 이동 적재기(30)에 의한 포드(14)의 반송 공간에는, 하우징(16)에 설치된 클린(clean) 유닛(도시 생략)에 의해 청정화된 공기를 플로(flow)시키게 되어 있다.
N2 퍼지실(24)의 내부에는, 복수의 기판(12)을 다단으로 적재(積載)하는 기판 유지 도구(26)와, 기판(12)의 노치(notch)(또는 오리엔테이션 플랫 (orientation-flat) 위치를 임의의 위치에 맞추는 기판 위치 맞춤 장치(32)와, 포드 오프너(28) 상의 포드(14)와 기판 위치 맞춤 장치(32) 사이에서 기판(12)의 반송을 행하는 기판 이동 적재기(34)가 설치되어 있다. 또한, N2 퍼지실(24)의 상부에는 기판(12)을 처리하기 위한 처리로(36)가 설치되어 있으며, 기판 유지 도구(26)는 승강 수단인 보트 엘리베이터(38)에 의해 처리로(36)로 로딩(loading)되거나, 또는 처리로(36)로부터 언로딩(unloading)된다. 처리로(36)는, 기판(12)의 처리중 이외는, 노구(爐口) 셔터(40)에 의해 노구가 폐쇄되어 있다.
다음으로, 상기 실시예에 따른 기판 처리 장치(10)의 동작에 대해서 설명한다.
우선, AGV나 OHT 등에 의해 하우징(16)의 외부로부터 반송된 포드(14)는 입출 스테이지(18)에 탑재 배치된다. 입출 스테이지(18)에 탑재 배치된 포드(14)는 카세트 이동 적재기(30)에 의해 직접 포드 오프너(28) 상에 반송되거나, 또는 일단 카세트 선반(22)에 저장(stock)된 후에 포드 오프너(28) 상에 반송된다. 포드 오프너(28) 상에 반송된 포드(14)는 포드 오프너(28)에 의해 포드(14)의 뚜껑체가 떼어내져, 포드(14)의 내부 분위기가 N2 퍼지실(24)의 분위기와 연통된다.
다음으로, 기판 이동 적재기(34)에 의해, N2 퍼지실(24)의 분위기와 연통된 상태의 포드(14) 내로부터 기판(12)을 취출한다. 취출된 기판(12)은 기판 위치 맞춤 장치(32)에 의해 임의의 위치에 노치 또는 오리엔테이션 플랫이 정해지도록 위치 맞춤이 실행되고, 위치 맞춤 후, 기판 유지 도구(26)로 반송된다.
기판 유지 도구(26)로의 기판(12) 반송이 완료되면, 처리로(36)의 노구 셔터(40)를 개방하여, 보트 엘리베이터(38)에 의해 기판(12)을 탑재한 기판 유지 도구(26)를 처리로(36) 내에 로딩한다.
로딩 후는, 처리로(36)에서 기판(12)에 소정의 처리가 실시되고, 처리 후는 상술한 것과 반대의 순서로 기판(12) 및 포드(14)는 하우징(16)의 외부로 방출된다.
도 3에 있어서, 상기 처리로(36)의 주변 구성이 도시되어 있다. 처리로(36)는 예를 들어 석영(SiO2) 등의 내열성 재료로 이루어지는 아우터 튜브(outer tube)(42)를 갖는다. 이 아우터 튜브(42)는 상단(上端)이 폐쇄되고, 하단(下端)에 개구를 갖는 원통형의 형태이다. 이 아우터 튜브(42) 내에는 동심원(同心圓) 형상으로 이너 튜브(inner tube)(44)가 배치되어 있다. 또한, 아우터 튜브(42)의 외주(外周)에는 가열 수단으로서의 히터(46)가 동심원 형상으로 배치되어 있다. 이 히터(46)는 히터 베이스(48)를 통하여 하우징(16) 상에 유지되어 있다.
도 4 및 도 5에도 나타낸 바와 같이, 기판 유지 도구(26)는 예를 들어 석영, 탄화규소 등으로 이루어지는 예를 들어 3개의 지주(支柱)(50)가 수직 방향으로 평행하게 배치되고, 이들 지주(50)에 형성된 지지 홈(52)에 기판(12)을 유지한다. 기판 이동 적재기(34)는, 상하 방향으로 이동하고, 회전하는 이동 적재기 본체(54)와, 이 이동 적재기 본체(54) 상에서 왕복(往復) 운동하는 메인 트위더 본체(56)를 갖는다. 이 메인 트위더 본체(56)에는 예를 들어 4개의 트위더(58a, 58b, 58c, 58d)가 평행하게 연장되도록 고정되어 있다. 또한, 이동 적재기 본체(54) 상에는 서브 트위더 본체(57)가 메인 트위더 본체(56)와는 일체로 왕복 운동할 수 있는 동시에, 메인 트위더 본체(56)와는 독립적으로 왕복 운동할 수 있게 설치되어 있다. 이 서브 트위더 본체(57)에는, 트위더(58e)가 상술한 4개의 트위더(58a∼58d)의 아래 위치에서 평행하게 고정되어 있다. 이 때문에, 도 4에 나타낸 바와 같이, 기판 이동 적재기(34)는 5개의 트위더(58a∼58e)에 의해 5매의 기판(12)을 일괄적으로 이동 적재할 수 있고, 최하단(最下端)의 트위더(58e)를 이용하여 1매의 모니터 기판을 이동 적재(시트(sheet) 이동 적재)할 수도 있다. 모니터 기판을 이동 적재할 경우는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 일괄적으로 이동 적재한 5매의 기판(12)과의 사이를 1슬롯분 개방하고, 통상의 기판(12)과는 다른 포드로부터 모니터 기판(59)을 취출하여, 5매의 기판 세트 사이에 삽입한다.
포드(14)에는 예를 들어 25매의 기판(12)이 수납되어 있으며, 기판 이동 적재기(34)에 의해 기판(12)을 기판 유지 도구(26)로 이동 적재하거나, 또는 기판 유지 도구(26)로부터 회수할 경우, 5개의 슬롯(슬롯 그룹) 중에 이상 상태의 기판이 없을 때는, 5개의 트위더(58a∼58e)에 의해 5매의 기판(12)을 일괄적으로 이동 적재하거나 회수하고, 슬롯 그룹 중에 이상 상태의 기판이 있을 때는, 정상 상태의 기판만을 최하단의 트위더(58e)를 이용하여 회수한다. 또한, 모니터 기판에 대해서는, 삽입 시와 동일하게 1매씩 회수할 수도 있다.
검지 수단으로서의 검지부(60)는 이동 적재기 본체(54)에 설치되어 있다. 이 검지부(60)는 평행한 2개의 암(arm)(62a, 62b)을 갖고, 상기 암(62a, 62b)이 이 동 적재기 본체(54)의 측면에서 회동(回動)할 수 있게 설치되어 있다. 상기 암(62a, 62b)의 선단(先端) 부근에는, 한쪽이 투광(投光) 소자, 다른쪽이 수광(受光) 소자로 이루어지는 투과형 포토센서(64a, 64b)가 설치되어 있다. 기판 유지 도구(26)에 이동 적재된 기판(12)의 유지 상태를 검지할 경우는, 암(62a, 62b)을 기판 유지 도구(26) 측에 회동 고정시키고, 포토센서(64a, 64b)의 광축(光軸)이 기판(12)을 통과하도록 하며, 기판 이동 적재기(34)를 기판 유지 도구(26) 하단으로부터 상단까지 이동시켜, 포토센서(64a, 64b)의 검지 출력을 모니터한다. 한편, 기판 이동 적재기(34)에 의해 기판(12)을 기판 유지 도구(26)에 이동 적재할 경우는, 암(62a, 62b)을 기판 유지 도구의 반대쪽으로 회동시켜, 암(62a, 62b)이 기판(12) 또는 기판 유지 도구(26)와 간섭하는 것을 방지하게 되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 포토센서(64a, 64b)로부터 출력되는 아날로그 신호는 예를 들어 컴퓨터로 이루어지는 제어부(66)에 출력된다. 제어부(66)는 예를 들어 모터 등으로 이루어지는 구동부(68)를 통하여 기판 이동 적재기(34)를 제어한다.
다음으로, 기판(12)의 이상 상태 검지에 대해서 설명한다.
도 6의 (a)에 나타낸 바와 같이, 기판 유지 도구(26)의 상면으로부터 보아 투광 소자(64a)가 우측에 있고, 수광 소자(64b)가 좌측에 있다고 하며, 이들 투광 소자(64a)와 수광 소자(64b)는 기판 유지 도구(26)의 전면 측에 배치되어 있다고 한다.
도 6의 (b)에 나타낸 바와 같이, 기판(12)은 기판 유지 도구(26)에 의해 유 지된 상태에서 깨지거나, 기판 유지 도구(26)의 지지 홈(52)으로부터 낙하하여 이상 상태로 된다. 도 6의 (c) 및 (d)에 나타낸 바와 같이, 기판(12)의 이상 상태에는 다음과 같은 것이 있다.
A. 낙하/2매 겹침
B. 낙하/투광측 낙하(좌면(左面) 낙하)
C. 낙하/수광측 낙하(우면(右面) 낙하)
D. 낙하/후방(後方) 낙하(배면(背面) 낙하)
E. 낙하/전방(前方) 낙하(전면(前面) 낙하)
F. 깨짐/가운데 깨짐
G. 깨짐/전방 깨짐
H. 깨짐/후방 깨짐
J. 기판 없음
또한, 기판(12)이 정상 상태에 있을 경우는, 1개의 기판(12)이 1개의 지지 홈(52)에 평행하게 지지되어 있다.
도 7의 (a)에 있어서, 이상 상태에 대한 포토센서(64a, 64b)로부터의 신호 출력 관계가 도시되어 있다. 또한, 기판 유지 도구(26)와 포토센서(64a, 64b)의 위치 관계는, 도 7의 (b)에 나타낸 바와 같이, 포토센서(64a, 64b) 측을 전면, 포토센서의 반대쪽을 배면으로 한다.
기판(12)의 유지 상태가 정상일 경우는, 포토센서(64a, 64b)로부터 출력되는 파형은 규칙적으로 된다. 예를 들어 기판(12)의 좌면 또는 우면이 낙하하면, 그 낙하한 부분에 대한 포토센서(64a, 64b)의 검지 파형은 정상 파형과 비교하여 피크의 좌우에서 완만하게 확장되어, 기준선에서의 폭이 넓어진다. 또한, 기판(12)이 지지 홈(52)으로부터 완전히 낙하하면, 그 낙하한 지지 홈(52)에서는 포토센서(64a, 64b)의 검지 출력이 없어진다. 또한, 기판(12)이 배면에서 지지 홈(52)으로부터 낙하하면, 정상 파형과 비교하여 피크가 상측으로 벗어난다. 또한, 기판(12)이 전면에서 지지 홈(52)으로부터 낙하하면, 정상 파형과 비교하여 피크가 하측으로 벗어난다. 기판(12)이 깨진 경우도 동일하게 검지할 수 있다.
도 8에 있어서, 상술한 제어부에 의한 기판 검지 동작의 일례가 플로차트로서 도시되어 있다.
우선, 스텝 S10에서, 기판 이동 적재기와 포토센서의 구동을 개시한다. 즉, 도 3에 나타낸 바와 같이, 암(62a, 62b)을 기판 유지 도구(26) 측에 회동 고정시키고, 기판 이동 적재기(34)를 기판 유지 도구(26)의 최하단으로부터 일정 속도로 상승시켜, 포토센서(64a, 64b)에 의해 기판(12)의 이동 적재 상태를 검지한다. 포토센서(64a, 64b)의 투광/수광의 광량(光量)이 아날로그 신호로서 제어부(66)에 입력된다.
다음 스텝 S12에서는, 포토센서(64a, 64b)로부터 입력된 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하여, 포토센서(64a, 64b)로부터의 검지 출력을 해석한다. 이 포토센서(64a, 64b)로부터의 출력 해석은, 포토센서(64a, 64b)로부터의 검지 파형을 기록하고, 정상 파형과 비교하여 이상 슬롯을 특정하여, 이상 슬롯 리스트를 작성한다.
다음 스텝 S14에서는, 열처리 후인지 열처리 전인지를 판정한다. 열처리 전이라고 판정된 경우는, 스텝 S16으로 이행하여, 이상 슬롯이 있는지의 여부를 판정하고, 이상 슬롯이 없다고 판정된 경우는, 스텝 S18로 이행하여, 기판 유지 도구(26)를 처리로(36) 내에 반입하여 열처리를 실시한다. 한편, 스텝 S14에서, 열처리 후라고 판정된 경우 또는 스텝 S16에서, 이상 슬롯이 있다고 판정된 경우는, 스텝 S20으로 이행하여, 기판(12)의 회수(回收)를 개시한다. 상술한 바와 같이, 기판(12)의 회수는 슬롯 그룹마다 실행되며, 제 1 슬롯 그룹으로부터 개시하고, 최종 슬롯 그룹인 제 5 슬롯 그룹에서 종료한다. 다음 스텝 S22에서, 회수해야 할 슬롯 그룹의 5매의 기판 모두가 정상 상태로 이동 적재되었는지(이상 슬롯 리스트에 없음)를 판정한다. 이 스텝 S22에서, 5매의 모든 기판이 정상 상태라고 판정된 경우는, 스텝 S24로 이행하여, 5매 모두를 일괄적으로 회수한다. 한편, 스텝 S22에서, 대상으로 하는 슬롯 그룹의 5매 기판(12) 중에 이상 상태의 것이 있다(이상 슬롯 리스트에 있다)고 판정된 경우는, 스텝 S26으로 이행하여, 정상 상태에 있는 기판(12)만을 시트 이동 적재에 의해 회수한다. 다음 스텝 S28에서, 모든 슬롯 그룹에 대해서 회수가 종료되지 않은 경우는 다음 슬롯 그룹의 처리로 되돌아가고, 모든 슬롯 그룹에 대해서 회수가 종료된 경우는 처리를 종료한다.
또한, 상기 실시예에서는, 이상 상태의 기판이 있었을 경우, 이상 상태의 기판을 기판 유지 도구에 남기고, 정상 상태의 기판 모두를 포드에 되돌리도록 했지만, 반드시 이것에 한정되지는 않는다. 이상 상태의 기판이 있으면, 상하의 기판도 어떠한 손상을 발생시킬 우려가 있다. 그래서, 이상 상태의 기판 중 적어도 상 하 어느 한쪽의 기판을 기판 유지 도구에 남기고, 그 이외의 정상 상태에 있는 기판을 포드에 되돌리도록 할 수도 있다.
본 발명은 기판을 자동적으로 회수하는 기판 처리 장치에 이용할 수 있다.

Claims (4)

  1. 기판 처리실과,
    상기 기판 처리실에 삽입 가능하고, 기판을 실질적으로 연직(鉛直) 방향으로 다단(多段)으로 유지하는 기판 유지 도구와,
    이 기판 유지 도구에 기판을 이동 적재(積載)하는 기판 이동 적재기와,
    상기 기판 유지 도구에 의해 유지된 기판의 유지 상태를 검지하는 검지 장치를 갖는 기판 처리 장치로서,
    기판의 이동 적재를 행할 때에, 상기 검지 장치에 의해 기판의 유지 상태를 검지하고, 기판 유지 상태가 이상하다고 판단된 기판 이외의 기판을 상기 기판 이동 적재기에 의해 이동 적재하도록 상기 기판 이동 적재기를 제어하는 제어 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어 장치는, 상기 이상하다고 판단된 기판 및 이상하다고 판단된 기판의 적어도 위 또는 아래의 어느쪽에 유지된 기판의 적어도 1매의 기판 이외의 기판을 상기 기판 이동 적재기에 의해 이동 적재하도록 상기 기판 이동 적재기를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 기판이 실질적으로 연직 방향으로 다단으로 유지된 기판 유지 도구를 기판 처리실 내에 삽입하는 공정과,
    상기 기판 처리실에서 상기 기판을 열처리하는 공정과,
    상기 기판 유지 도구에 의해 유지되어 있는 기판의 유지 상태를 검지하는 공정과,
    기판의 유지 상태가 이상하다고 판단된 기판 이외의 기판을 기판 이동 적재기에 의해 이동 적재하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 기판의 제조 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 기판의 이동 적재는, 복수의 소정 매수씩 반송하며, 반송하고자 하는 상기 소정 매수의 기판 전체가 기판의 유지 상태가 정상이라고 판단된 경우는, 상기 소정 매수를 모두 일괄적으로 반송하고, 적어도 1매의 기판의 유지 상태가 이상하다고 판단된 경우는, 상기 소정 매수의 기판 중 상기 이상하다고 판단된 기판 이외의 기판을 1매씩 반송하는 것을 특징으로 하는 기판의 제조 방법.
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