KR20120057571A

KR20120057571A - 크린 룸

Info

Publication number: KR20120057571A
Application number: KR1020117027760A
Authority: KR
Inventors: 신지 와라비노; 키요타카 와키; 모토히코 나카무라; 타미키 무라야마
Original assignee: 가부시키가이샤 아사히 코교샤
Priority date: 2010-10-28
Filing date: 2010-11-12
Publication date: 2012-06-05
Also published as: TW201217719A; KR101284022B1; TWI431229B; JP4755307B1; CN102656410A; JP2012093066A; CN102656410B; WO2012056592A1

Abstract

본 발명은, 순환 풍량이 적어도, 필요한 다운 플로우의 풍속을 확보할 수 있고, 게다가 필터 리크 시험도 간단하게 할 수 있는 크린 룸을 제공한다.
크린 룸(10)의 크린 존(11)의 온도조절된 청정공기의 취출구가, 복수의 플레이트 노즐(20)로 형성된 것이다.

Description

크린 룸{Clean Room}

본 발명은, 반도체 제조, 액정기판 제조, 의약품이나 식품 제조 등에 이용되는 크린 룸에 관한 것으로, 특히 크린 존에 정밀 온도조절(溫調)된 청정공기를 불어내는 취출구(吹出口)를 개량한 크린 룸에 관한 것이다.

반도체 제조, 액정기판 제조, 의약품이나 식품 제조 등의 제조공장에서는, 건물 전체를 크린 룸화하고 있다.

크린 룸으로는, 도8에 나타낸 일방향 흐름식(층류식)과, 도9에 나타낸 비일방향식(난류식)의 2가지 방식이 있다.

도8에 나타낸 일방향 흐름식 크린 룸(40)은, 제조설비(M)가 설치되는 크린 존(41)의 천정의 거의 전면에 걸쳐 급기(給氣) 챔버(42)가 설치되고, 그 급기 챔버(42)의 취출구(43)에 고성능 필터(HEPA 또는 ULPA)(44)가 설치되고, 마루(45)의 하부에는 리턴 챔버(46)가 형성되고, 리턴 챔버(46)와 급기 챔버(42)를 이어 순환로(47)가 접속되고, 그 순환로(47)에 공조기(48)가 접속되어 구성된다.

도9에 나타낸 비일방향식 크린 룸(50)은, 크린 존(41)의 천정부의 필요 개소에 각각 필터 유닛(51)을 설치한 것이다. 필터 유닛(51)은, 급기 챔버(52)의 취출구(53)에 고성능 필터(54)를 설치하여 구성된다. 이 도9의 크린 룸(50)에서는, 필터 유닛(51)을 제외하고, 리턴 챔버(46), 순환로(47), 공조기(48)의 구성은 도8의 크린 룸(40)과 같다.

도8에 나타낸 일방향 흐름식 크린 룸(40)에서는, 급기 챔버(42)의 취출구(43)에 설치된 필터(44)로부터 청정공기가 균일하게 크린 존(41)에 급기되고, 크린 존(41)을 다운 플로우로 마루(45)에서 리턴 챔버(46)로 배기(환기)되는 기류가 되기 때문에, 크린 존(41) 내에서 발생한 입자가 확산하지 않고 리턴 챔버(46)로 흘러, 크린 존(41)의 청정도를 높임과 동시에 온도 분포의 균일화를 도모할 수 있다.

한편, 도9에 나타낸 비일방향식 크린 룸(50)에서는, 크린 존(41)의 천정부의 필요 개소에 필터 유닛(51)이 설치되기 때문에, 필터 유닛(51, 51) 사이에서는, 청정공기가 흐르지 않고 대류가 생겨 난류(亂流)로 되지만, 제조설비(M)의 설치 위치에 맞추어 필터 유닛(51)을 배치함으로써, 필요 개소에서 입자의 확산을 방지할 수 있다. 그러나, 비일방향식의 경우, 크린 존(41) 내에서 요구되는 열 부하를 처리하기 위해 급기 온도를 제어해도, 필터 유닛(51)의 바로 아래와 그 이외에서 차이가 나는 온도 분포가 된다.

크린 존(41)에서 발생한 입자의 확산을 제어하여, 제조설비(M)의 장치 등으로부터의 발열을 제거하기 위해서는, 다운 플로우의 면(面) 풍속은 0.15?0.5 m/sec가 필요하고, 도8의 일방향 흐름식에서는, 팽대한 공기 순환량을 필요로 하는 문제가 있다. 이 점에서는, 도9의 비일방향식은, 필요 개소에 필터 유닛(51)을 설치함으로써, 총 풍량은 일방향 흐름식보다 적다.

특허문헌 1: 일본 특개2010-112646호 공보

그런데, 최근에는 제조설비(M)도 대형화되고 있고, 크린 존(41)의 높이도 6 m 이상이나 필요로 하고 있어, 비일방향식으로, 필터(54)에서 온도조절된 청정공기를 불어내도, 마루(45)에 도달할 때에는 확산해버려, 필요 개소에서의 다운 플로우가 되는 풍속(0.15?0.5 m/sec)을 얻을 수 없는 문제가 있다.

따라서, 일방향 흐름식과 같이 크린 존의 수평 단면의 전체를 다운 플로우로 흘리는 것이 바람직하지만, 순환 총 풍량이 많아지는 문제가 해소되지 않는다.

또, 양 방식 모두 필터로부터 청정공기를 불어내기 때문에, 필터에 핀 홀이 있는지 없는지, 급기 쪽에서 급기와 함께 에어로졸을 흘려 필터 리크 시험을 할 필요가 있다. 이 필터 리크 시험은, 필터의 아랫면의 샘플링 프로브를 종횡으로 주사하여 리크한 에어로졸의 유무와 핀 홀의 위치를 특정하는 것이지만, 검사에는 팽대한 시간이 걸리는 문제가 있다.

그래서, 본 발명의 목적은, 상기 과제를 해결하여, 순환 풍량이 적어도, 온도 제어 및 청정도 확보에 필요한 다운 플로우의 풍속을 확보할 수 있고, 게다가 필터 리크 시험도 간단하게 할 수 있는 크린 룸을 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 크린 룸은, 크린 존의 온도조절된 청정공기의 취출구가, 복수의 플레이트 노즐로 형성된 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 크린 룸은, 제조설비가 설치되는 크린 존과, 상기 크린 존의 천정에, 하부가 개구하여 설치된 급기 챔버와, 상기 크린 존의 마루 아래에 설치된 리턴 챔버와, 상기 리턴 챔버와 상기 급기 챔버를 잇는 공기 순환로와, 공기 순환로에 접속된 공조기와, 공조기와 상기 급기 챔버를 잇는 순환로에 설치된 고성능 필터와, 상기 급기 챔버와 크린 존의 천정의 개구를 덮도록 설치된 복수의 플레이트 노즐을 갖추어 이루어지는 것이다.

또 고성능 필터는, 상기 공기 순환로에 접속하는 대신에 급기 챔버 내에 설치하도록 해도 좋다.

본 발명에 이용되는 플레이트 노즐은, 박형(薄型) 상자형상으로 형성된 플레이트와, 그 플레이트의 종횡으로 다수의 노즐이, 그 플레이트와 일체로 수지 성형하여 형성된다. 노즐의 내경은 2?40 mm의 범위 내의 어느 하나로 형성된다.

또, 본 발명에 있어서, 플레이트 노즐의 플레이트에는, 일정 각도로 청정공기를 불어내는 내경이 큰 노즐과, 그 노즐 사이에 배치되고, 내경이 작아 청정공기를 광각도로 청정공기를 불어내는 노즐이 설치되도록 해도 좋다.

본 발명에 있어서, 플레이트 노즐의 노즐로부터 불어져 나온 청정공기가, 풍속 0.5 m/sec가 되는 유효 분사 거리를 노즐 내경에 따라 미리 구해 두고, 상기 마루 위의 어느 높이의 면에서 풍속 0.15?0.5 m/sec가 되도록, 상기 노즐의 유효 분사 거리로부터 노즐 내경을 선정한다.

또, 각 노즐로부터 불어져 나온 청정공기는, 유효 분사 거리에 도달하는 동안에 일정한 분산 각도로 불어져 나오고, 노즐끼리의 간격은, 인접하는 노즐로부터 불어져 나온 청정공기의 분산 각도로, 상기 유효 분사 거리 내에서 인접하는 노즐로부터의 청정공기가 상호 교차하도록 설정된다.

본 발명은, 다음과 같은 우수한 효과를 발휘한다.

(1) 크린 존의 청정공기의 취출구가, 복수의 플레이트 노즐로 형성됨으로써, 플레이트 노즐의 각 노즐에서 불어내는 온도조절된 청정공기의 풍속과 그 도달 거리를 자유롭게 선정할 수 있다.

(2) 크린 룸의 천정이 높아도 노즐의 도달 거리와 크린 존이 필요로 하는 풍속을 최적화할 수 있다.

(3) 크린 룸 내에서의 공기의 총 순환량을 종래의 크린 룸의 1/3?1/10으로 할 수 있다.

(4) 고성능 필터는, 순환계로나 급기 챔버에 설치하기 때문에, 필터 리크 시험 등의 검사를 간단하게 할 수 있다.

도1은 본 발명의 한 실시형태를 나타낸 전체도이다.
도2는 본 발명의 다른 실시형태를 나타낸 전체도이다.
도3은 도1, 도2에 있어서, 급기 챔버에 플레이트 노즐을 설치하는 상태를 나타낸 부분 사시도이다.
도4는 도1, 도2에 있어서, 급기 챔버에 플레이트 노즐을 설치한 상태의 부분 확대 단면도이다.
도5는 본 발명에 있어서, 노즐의 각 내경의 차이에 의한, 노즐로부터 불어져 나오는 풍속과 도달 거리의 관계를 나타낸 도면이다.
도6은 본 발명에 있어서, 플레이트 노즐의 각 노즐로부터 불어져 나온 청정공기의 분산(퍼짐) 상태를 설명하는 도면이다.
도7은 본 발명에 있어서, 플레이트 노즐에, 분산 각도가 다른 노즐을 설치한 때의, 양 노즐로부터 불어져 나온 청정공기의 확산 상태를 설명하는 도면이다.
도8은 종래의 일방향 흐름식 크린 룸을 나타낸 전체도이다.
도9는 종래의 비일방향식 크린 룸을 나타낸 전체도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 한 실시형태를 첨부도면에 기초하여 상술한다.

도1은, 본 발명의 크린 룸의 전체도를 나타낸 것이다.

먼저 크린 룸(10)은, 제조설비(M)가 설치되는 크린 존(11)의 천정에는, 거의 전면(全面)에 걸쳐 복수의 급기 챔버(12)가 상호 인접하도록 설치되고, 크린 존(11)의 마루(15)의 하부에는 리턴 챔버(16)가 형성되고, 리턴 챔버(16)와 급기 챔버(12)를 연결하여 순환로(17)가 접속되고, 그 순환로(17)에 공조기(18)가 접속되어 구성된다.

본 실시형태에 있어서는, 순환로(17)에 고성능 필터(HEPA 또는 ULPA)(19)가 설치되고, 급기 챔버(12)의 개구부에, 복수의 플레이트 노즐(20)을 설치하여 취출구가 구성된다.

공조기(18)는, 증발기(21)와 순환 팬(22)을 갖고, 그 흡입 쪽에 외기(外氣)(OA)의 도입 라인(13)이 접속되고, 공조기(18)에 이르는 순환로(17)에는, 순환공기의 일부를 배기하는 배기 팬을 갖춘 배기 라인(14)이 접속된다.

이 크린 룸(10)은, 크린 존(11)의 천정이 플레이트 노즐(20)의 노즐(24)로 형성되고, 노즐(24)로부터, 공조기(18)에서 공조되고, 고성능 필터(19)로 제진(除塵)된 청정공기(CA)가 불어져 나오기 때문에, 크린 존(11)의 천정 높이가 높아도 노즐 직경을 자유롭게 선정함으로써, 마루(15) 위의 필요 높이(유스 포인트), 예를 들어 마루(15)에서 1 m의 높이에서, 필요한 다운 플로우가 되는 풍속(0.15?0.5 m/sec)을 확보할 수 있음과 동시에, 필요한 공기 순환량도 종래의 1/3?1/10의 풍량으로 할 수 있게 된다.

또, 고성능 필터(19)는, 순환로(17)에 접속할 뿐이고, 그 필터 리크 시험도 간단하게 할 수 있다.

도2는, 본 발명의 다른 크린 룸의 전체도를 나타낸 것이다.

도2의 크린 룸(10)은, 도1의 크린 룸(10)과 기본 구성은 같지만, 고성능 필터(19)를 급기 챔버(12) 내에 설치한 것이다. 도2의 크린 룸(10)은, 고성능 필터(19)의 설치 위치가, 도1과 상이한 이외는, 도1과 동일하기 때문에, 도2에 도1과 같은 부호를 붙이고 그 설명은 생략한다.

상기 도1, 도2에 나타낸 크린 룸(10)에 있어서, 크린 존(11)의 천정에 설치하는 급기 챔버(12)는, 복수 개 나열하여 천정의 거의 전면에 설치하여, 일방향 흐름식 크린 룸을 구성하는 예를 나타내었으나, 급기 챔버(12)를 천정의 필요 개소에 설치하여 비일방향식 크린 룸을 구성하도록 해도 좋다.

또 급기 챔버(12)는, 복수 개 나열하는 대신에, 천정의 거의 전면을 덮도록 하나의 급기 챔버(12)로 구성하도록 해도 좋다.

그리고, 도3은 본 발명의 플레이트 노즐(20)을 급기 챔버(12)의 개구부에 설치할 때의 부분 확대 사시도를 나타내고, 도4는 플레이트 노즐(20)을 급기 챔버(12)에 설치한 부분 단면도를 나타낸 것이다.

플레이트 노즐(20)은, 금형을 이용하여 수지 성형으로 박형 상자형상의 플레이트(23)와 노즐(24)이 일체 성형된다.

상기 플레이트 노즐(20)은, 예를 들어 30 cm × 30 cm, 50 cm × 50 cm의 사이즈로, 플레이트(23)의 주위 두께 10?20 mm 정도로 형성되고, 노즐(24)의 높이는 20?200 mm, 내경은 Φ 2?40 mm의 범위로 적절히 형성된다.

사용하는 수지는, 엔지니어링 플라스틱으로, 폴리아세탈, 폴리이미드, 폴리카보네이트, 변성 폴리페닐렌에테르, 폴리부틸렌텔레프탈레이트의 어느 하나를 선택할 수 있다. 또 수지에 카본 블랙이나 흑연분말, 산화아연 등의 도전성 분말이나 노니온계 또는 아니온계 계면활성제 등으로 이루어지는 대전방지제를 첨가하도록 해도 좋다.

또, 플레이트(23)의 주위에는 후술하는 비스 고정을 위한 비스용 구멍(25)이 각 변에 3개소 형성된다.

다음에 플레이트 노즐(20)의 급기 챔버(12)에의 설치를 설명한다.

먼저, 플레이트 노즐(20)은, SUS나 알루미늄 등 금속 각파이프로 형성한 지지틀(30)에 나열하여 지지된다. 상기 지지틀(30)은, 플레이트 노즐(20)을 지지하는 사각형 틀(31, 31)을 갖고, 그 사각형 틀(31)에, 플레이트 노즐(20)의 비스용 구멍(25)에 대향하여 나사구멍(32)이 설치된다.

플레이트 노즐(20)을 지지틀(30)에 설치할 때, 그 사이를 실링하는 실링재(26)가 설치된다. 실링재(26)는, 지지틀(30)의 사각형 틀(31)의 틀 형상으로 형성되고, 또 지지틀(30)의 나사구멍(32)과 일치하는 위치에 비스 구멍(27)이 형성된다.

지지틀(30)에의 플레이트 노즐(20)의 설치는, 지지틀(30) 위에 틀 형상의 실링재(26)를 놓고, 그 실링재(26) 위에 플레이트 노즐(20)을 전후좌우로 나열한다. 그 상태로, 비스용 구멍(25)에 비스(28)를, 실링재(26)의 비스 구멍(27)을 통하여 지지틀(30)의 나사구멍(32)에 삽입하여, 플레이트 노즐(20)을 지지틀(30)에 설치한다.

이와 같이 플레이트 노즐(20)은, 실링재(26)를 사이에 두고 지지틀(30)에 비스 고정하여 설치한 후, 그 지지틀(30)을 급기 챔버(12)에 설치한다.

상기 급기 챔버(12)는, 도4에 나타낸 바와 같이, 개구부가 각파이프로 직육면체 형상으로 형성된 박스상의 프레임(33)을 갖고, 그 프레임(33)의 둘레면과 윗면에 커버(35)가 설치되어 구성된다. 지지틀(30)은, 프레임(33)의 윗면에, 실링재(38)를 사이에 두고 볼트?너트(39)로 설치된다.

이와 같이, 급기 챔버(12)에, 플레이트 노즐(20)을 설치한 지지틀(30)을 설치한 후, 도1, 도2에 나타낸 크린 존(11)의 천정에 급기 챔버(12)를 설치함과 동시에 순환로(17)의 덕트와 접속함으로써 크린 룸(10)이 구성된다.

다음에, 크린 존(11)의 천정의 취출구를 형성하는 플레이트 노즐(20)의 노즐(24)의 형상과 그 내경 및 그 설치 간격에 대해서 설명한다.

먼저 노즐(24)의 형상은, 도3, 4에 나타낸 바와 같이, 역 깔때기(누두)형상으로 형성되지만, 원통형상으로 형성해도 좋다.

이어서, 노즐(24)의 배치 수에 대해서 설명한다.

먼저, 종래의 고성능 필터에서 불어내는 청정공기를, 면적 1 ㎡당, 면 풍속을 0.05 m/sec로 했을 때의 풍량(3 ㎥/min)을 기준으로 하고, 노즐 내경을, 각각 Φ 2 mm, Φ 5 mm, Φ 10 mm, Φ 20 mm, Φ 40 mm로 하여, 동일 풍량(3 ㎥/min)을 불어낼 때의 노즐 수는 다음과 같이 된다.

Φ 2 mm의 노즐에서는 노즐 수 1591개(40×40개), Φ 5 mm의 노즐에서는 노즐 수 254개(16×16개), Φ 10 mm의 노즐에서는 노즐 수 63개(8×8개), Φ 20 mm의 노즐에서는 노즐 수 16개(4×4개), Φ 40 mm의 노즐에서는 노즐 수 4개(2×2개)가 된다. 따라서 이들 수를, 1 ㎡당, 종횡으로 사각형상으로 등간격으로, 또는 지그재그로 삼각형상으로 등간격으로 나열하도록 설치하면 된다.

이어서, Φ 2 mm, Φ 5 mm, Φ 10 mm, Φ 20 mm, Φ 40 mm의 노즐에서 아래쪽으로 불어져 나오는 청정공기의 풍속(m/sec)과 도달 거리(m)에 대해서, 시뮬레이션한 결과를 도5에 의해 설명한다.

먼저, 종래의 필터로는, 풍속 0.05 m/sec로 불어냈을 때의 도달 거리는 5 m가 최대이고, 5 m에 도달하면 풍속이 제로가 된다.

이에 대하여, Φ 2 mm의 노즐에서는 도달 거리 5 m, Φ 5 mm의 노즐에서는 도달 거리 6.5 m, Φ 10 mm의 노즐에서는 도달 거리 7.2 m, Φ 20 mm와 Φ 40 mm의 노즐에서는 도달 거리 8 m로, 노즐 직경이 커지면 도달 거리가 길어지고, Φ 20 mm?Φ 40 mm 범위의 노즐에서는 도달 거리에 차이가 없음을 알 수 있다.

여기에서, 크린 존의 마루로부터 필요한 높이 면(面)에서, 입자의 확산을 제어하여, 제조설비의 장치 등으로부터의 발열을 제거할 수 있는 최소의 풍속 0.15 m/sec를 얻고자 할 경우, Φ 2 mm의 노즐에서는, 노즐 위치에서 마루 위의 필요한 높이 면(예를 들어 높이 1 m, 통상 높이 2 m 이내)까지의 거리(이하 유효 분사 거리라 한다)는 약 3 m, Φ 5 mm의 노즐에서는 유효 분사 거리는 약 5 m, Φ 10 mm의 노즐에서는 유효 분사 거리는 6.5 m, Φ 20 mm의 노즐에서는 유효 분사 거리는 7 m, Φ 40 mm의 노즐에서는 유효 분사 거리는 8 m가 된다. 결국, 필요한 높이 면에서 노즐까지의 거리가 그 노즐의 유효 분사 거리 내이면, 필요한 높이 면에서 풍속 0.15 m/sec 이상의 충분한 풍속이 얻어짐을 알 수 있다.

따라서, 도1, 도2에 나타낸 크린 존(11)의 천정 높이로부터, 마루(15)의 필요한 높이 면에서, 풍속 0.15 m/sec 이상이 얻어지는 노즐 내경과, 그 배치 수도 자유롭게 설계할 수 있게 되고, 총 순환 풍량도 필터 전면에서 불어내는 방식에 비해 1/3?1/10의 풍량으로 할 수 있다.

도6은, 플레이트 노즐(20)의 각 노즐(24)에서 불어져 나오는 온도조절된 청정공기(CA)의 확산 상태를 모식적으로 나타낸 것이다.

먼저, 각 노즐(24)에서 불어져 나오는 온도조절된 청정공기(CA)는, 아래쪽으로 불어져 나옴과 동시에, 노즐(24)의 취출 형상에 의해, 일정한 분산 각(θ)을 갖는다. 여기에서 상술한 바와 같이, 예를 들어, Φ 10 mm의 노즐을 선정한 경우, 풍속 0.15 m/sec의 유효 분사 거리(L)는 6.5 m이고, 그 도달 거리 이내에서, 도6에 나타낸 바와 같이 인접하는 노즐(24)로부터의 온도조절된 청정공기(CA)끼리 서로 겹칠 수 있으면, 마루면으로부터의 필요 높이(예를 들어 1 m)에서의 면 전체를 균일한 풍속, 균일한 온도의 기류로 할 수 있다.

또, 도6에서는, 크린 존(11)의 천정 가까이에서는, 노즐(24)끼리 간격을 두고 설치되기 때문에, 불어져 나온 온도조절된 청정공기(CA) 사이에서는, 공기의 대류가 생기지만, 대류하는 공기는 그 주위가 각 노즐(24)로부터의 온도조절된 청정공기(C)로 포위되기 때문에, 대류공기 중에 입자가 발생해도, 어느 온도조절된 청정공기(CA)에 동반하여 넓게는 확산하지 않고 리턴 챔버로 흐른다.

도7은, 크린 존(11)의 천정 가까이에서 입자가 발생한 경우의 확산을 확실하게 방지하는 예를 나타낸 것이다.

본 예에 있어서는, 확산 각(θ)을 갖는 노즐(24θ, 24θ) 사이에, 보다 각도가 있는 분산 각(α)을 갖는 노즐(24α)을 배치하도록 플레이트 노즐(20)을 형성하는 예를 나타낸 것이다.

상기 분산 각(α)을 갖는 노즐(24α)은, 노즐(24θ, 24θ)로부터 불어져 나오는 청정공기(CA) 사이에 내뿜을 뿐이고, 도달 거리는 짧다. 따라서, 노즐(24α)은, 노즐(24θ, 24θ)의 내경보다 작은, 예를 들어 Φ 2 mm의 노즐을 이용해도 5 m의 도달 거리가 있고, 게다가 노즐의 취출 각도(α)는 자유롭게 선정할 수 있어, 보다 확실한 발생 입자의 확산을 방지할 수 있다.

또, 플레이트 노즐(20)의 플레이트(23)에 형성하는 노즐(24)의 내경을 바꾸는 외에, 본 발명에서는, 노즐 내경이 다른 플레이트 노즐(20)을 여러 종류 형성해 두고, 이것을 크린 존(11)의 제조설비(M)의 배치상황에 따라, 노즐 직경이 다른 플레이트 노즐(20)을 크린 존(11)에 청정공기를 불어내는 급기 챔버(12)에 설치함으로써, 크린 존(11)의 에어리어 전체의 풍속 분포도 자유롭게 설정할 수 있다. 즉, 입자 확산이 요구되는 에어리어 위의 천정에는, 내경이 큰 노즐로 이루어지는 플레이트 노즐(20)을 배치하고, 입자 확산의 영향이 없는 에어리어에서는, 노즐 내경이 작은 플레이트 노즐(20)을 배치함으로써, 순환 풍량을 보다 억제한, 일방향 흐름식과 비일방향 흐름식의 중간의 취출 방식으로 할 수도 있다.

이상 본 발명의 실시형태를 설명했으나, 본 발명에서는 각종 변경이 가능하다. 즉, 크린 룸으로서 설명했으나, 크린 룸은 넓은 의미의 것이며, 예를 들어 액정기판을 노광하는 노광장치 내에 형성되는 크린 룸이나 국소적으로 형성된 크린 룸에서도 적용할 수 있는 것은 물론이다.

10: 크린 룸 11: 크린 존
12: 급기 챔버 16: 리턴 챔버
20: 플레이트 노즐 23: 플레이트
24: 노즐

Claims

크린 존의 천정에, 온도조절된 청정공기의 취출구를 형성하기 위한 개구부를 형성하고, 그 개구부에, 플레이트의 아랫면에 복수의 노즐을 형성한 플레이트 노즐을 여러 장 나열하여 설치하여, 상기 취출구를 형성한 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제1항에 있어서, 상기 플레이트 노즐은, 박형 상자형상으로 형성된 플레이트와, 상기 플레이트의 종횡으로 복수의 노즐이, 그 플레이트의 아랫면에서 돌출하도록 플레이트와 일체로 수지 성형하여 형성되는 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제2항에 있어서, 상기 노즐의 내경이 2?40 mm의 범위 내의 어느 하나로 형성되고, 상기 노즐의 높이가 20?200 mm의 범위 내의 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제3항에 있어서, 상기 플레이트에는, 내경이 크고, 그리고 일정한 취출 각도로 청정공기를 불어내는 노즐과, 상기 노즐 사이에 배치되고, 내경이 작고 청정공기를 광각도로 청정공기를 불어내는 노즐이 설치되는 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제조설비가 설치되는 크린 존;
상기 크린 존의 천정에 설치되고, 하부에, 온도조절된 청정공기의 취출구를 형성하기 위한 개구부를 갖는 급기 챔버;
상기 크린 존의 마루 아래에 설치된 리턴 챔버;
상기 리턴 챔버와 상기 급기 챔버를 잇는 공기 순환로;
공기 순환로에 접속된 공조기;
공조기와 상기 급기 챔버를 잇는 순환로에 설치된 고성능 필터; 및
플레이트의 아랫면에 복수의 노즐을 형성하여 구성되고, 상기 급기 챔버의 하부의 개구부를 덮도록 여러 장 나열하여 설치되고, 상기 크린 존의 천정에 상기 취출구를 형성하기 위한 복수의 플레이트 노즐;
을 갖춘 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제5항에 있어서, 상기 급기 챔버의 하부의 개구부에, 사각형의 개구가 복수 형성된 지지틀이 설치되고, 그 지지틀의 각 개구에, 실링재를 사이에 두고 상기 플레이트 노즐이 설치되는 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제5항에 있어서, 상기 플레이트 노즐은, 박형 상자형상으로 형성된 플레이트와, 상기 플레이트의 종횡으로 다수의 노즐이, 그 플레이트로부터 돌출하도록 플레이트와 일체로 수지 성형하여 형성되는 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제7항에 있어서, 상기 노즐의 내경이 2?40 mm의 범위 내의 어느 하나로 형성되고, 상기 노즐의 높이가 20?200 mm의 범위 내의 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제7항에 있어서, 상기 플레이트 노즐의 각 노즐로부터 불어져 나온 청정공기가, 풍속 0.15 m/sec가 되는 유효 분사 거리를 노즐 내경에 따라 미리 구해 두고, 상기 마루 위의 한 높이 면에서 풍속 0.15?0.5 m/sec가 되도록, 상기 노즐의 유효 분사 거리로부터 노즐 내경을 선정하는 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제9항에 있어서, 각 노즐로부터 불어져 나온 청정공기는, 유효 분사 거리에 도달하는 동안에 일정한 분산 각으로 불어져 나오고, 노즐끼리의 간격은, 인접하는 노즐로부터 불어져 나온 청정공기의 분산 각으로, 상기 유효 분사 거리 내에서 인접하는 노즐로부터의 청정공기가 상호 교차하도록 설정되는 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제조설비가 설치되는 크린 존;
상기 크린 존의 천정에 설치되고, 하부에, 온도조절된 청정공기의 취출구를 형성하기 위한 개구부를 갖는 급기 챔버;
상기 크린 존의 마루 아래에 설치된 리턴 챔버;
상기 리턴 챔버와 상기 급기 챔버를 잇는 공기 순환로;
공기 순환로에 접속된 공조기;
급기 챔버 내에 설치된 고성능 필터; 및
플레이트의 아랫면에 복수의 노즐을 형성하여 구성되고, 상기 급기 챔버의 하부의 개구부를 덮도록 여러 장 나열하여 설치되고, 상기 크린 존의 천정에 상기 취출구를 형성하기 위한 복수의 플레이트 노즐;
을 갖춘 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제11항에 있어서, 상기 급기 챔버의 하부의 개구부에, 사각형의 개구가 복수 형성된 지지틀이 설치되고, 그 지지틀의 각 개구에, 실링재를 사이에 두고 플레이트 노즐이 설치되는 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제11항에 있어서, 상기 플레이트 노즐은, 박형 상자형상으로 형성된 플레이트와, 상기 플레이트의 종횡으로 다수의 노즐이, 그 플레이트로부터 돌출하도록 플레이트와 일체로 수지 성형하여 형성되는 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제13항에 있어서, 노즐의 내경이 2?40 mm의 범위 내의 어느 하나로 형성되고, 상기 노즐의 높이가 20?200 mm의 범위 내의 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제14항에 있어서, 상기 플레이트 노즐의 각 노즐로부터 불어져 나온 청정공기가, 풍속 0.15 m/sec가 되는 유효 분사 거리를 노즐 내경에 따라 미리 구해 두고, 상기 마루 위의 한 높이 면에서 풍속 0.15?0.5 m/sec가 되도록, 상기 노즐의 유효 분사 거리로부터 노즐 내경을 선정하는 것을 특징으로 하는 크린 룸.
제15항에 있어서, 각 노즐로부터 불어져 나온 청정공기는, 유효 분사 거리에 도달하는 동안에 일정한 분산 각으로 불어져 나오고, 노즐끼리의 간격은, 인접하는 노즐로부터 불어져 나온 청정공기의 분산 각으로, 상기 유효 분사 거리 내에서 인접하는 노즐로부터의 청정공기가 상호 교차하도록 설정되는 것을 특징으로 하는 크린 룸.