KR20060088097A - 선형 액츄에이터 - Google Patents

Abstract

슬라이드 테이블(24)의 변위량을 조정하는 변위량 조정기구로서, 상기의 슬라이드 테이블(24)의 저면에 형성된 절결부(cutout:34)를 향하여 실린더 본체(22)의 상면에 고정되는 스톱퍼(36)와, 상기 슬라이드 테이블(24)에 진퇴가 자유롭게 설치되어 상기 절결부(34)에 연통하는 나사홀(91)에 나입되는 제1조정볼트(90)와, 상기 실린더 본체의 일단면에 고정되는 조정용 플레이트(93)와, 상기 조정용 플레이트(93)의 홀부(96)에 나입되는 제2조정볼트(98)를 포함한다.

Description

선형 액츄에이터{Linear Actuator}

도 1은 본 발명의 실시예1에 따른 선형 액츄에이터의 사시도이다.

도 2는 도 1에 도시하는 선형 액츄에이터의 분해사시도이다.

도 3은 도 1에 도시하는 선형 액츄에이터의 축선방향에서 본 측면도이다.

도 4는 도 3의 IV-IV선을 따른 종단면도이다.

도 5는 도 1에 도시하는 선형 액츄에이터의 일부 파단평면도이다.

도 6은 도 1에 도시하는 선형 액츄에이터의 일부 파단측면도이다.

도 7은 본 발명의 실시예2에 따른 선형 액츄에이터의 사시도이다.

도 8은 도 7에 도시하는 선형 액츄에이터의 일부 파단평면도이다.

본 발명은, 유체출입포트로부터 압력유체를 도입하는 것에 의하여, 실린더 본체의 축선방향을 따라서 슬라이더를 왕복운동시키는 선형 액츄에이터에 관한 것이다.

종래부터 자재 등의 운송수단으로서 선형 액츄에이터가 사용되고 있다. 이 러한 선형 액츄에이터는, 실린더 본체를 따라서 슬라이드 테이블을 직선상으로 왕복운동시키는 것에 의하여, 상기 슬라이드 테이블에 위치하는 자재를 운송하고 있다.

종래기술에 있어서의 선형 액츄에이터는 (예를 들면, 일본실용신안등록 제 2540597호공보), 피스톤을 이동가능하게 내재하는 실린더 본체와, 상기 피스톤에 연결되어 실린더 본체의 측부에서 외부를 향하여 돌출하는 로드와, 상기 로드의 한 쪽 단부에 연결되는 수하부(vetically extending section)를 가지고 상기 실린더 본체의 축선방향을 따라서 변위되도록 설치된 테이블과, 상기 실린더 본체의 상면에 확장되어 형성된 가이드레일을 따라서 미끄럼운동하는 가이드블록을 갖는 선형 가이드를 포함한다.

상기 선형 액츄에이터는 다음과 같이 작동한다. 실린더 본체의 측부에 설치된 전진용 포트에 공기를 공급하면, 피스톤이 이동하여 실린더 본체의 상면에 부착된 테이블도 일체적으로 이동한다. 그리고, 테이블은 상기 테이블과 실린더 본체와의 사이에 설치되는 선형 가이드에 의해 원활히 안내되어 직선상으로 왕복운동할 수가 있다.

그러나, 상기 선형 액츄에이터에서는, 다음의 구조가 채택된다. 즉, 실린더 본체로부터 외부로 돌출하며, 테이블(수하부)과는 반대측에 위치하는 로드의 다른 쪽 단부에 스톱퍼가 연결된다. 상기 스톱퍼가 실린더 본체의 단면에 접하는 것에 의하여 테이블의 전진단이 규제된다. 그래서, 스토퍼를 갖는 로드는, 테이블이 이동하는 스트로크(strock) 길이만큼 실린더 본체의 외부를 향하여 돌출하게 된다. 그러므로, 선형 액츄에이터 전체 크기의 컴팩트화를 꾀할 수 없다. 또한, 이 선형 액츄에이터에서는, 테이블의 후진단을 규제하는 수단이 어떠한 것도 설치되어 있지 않다. 그리고, 상기 테이블의 후진 스트로크량을 임의로 조정할 수가 없다. 따라서, 장치전체의 소형화 및 장치의 편리성을 확보할 수 없다는 문제가 있다.

본 발명의 일반적인 목적은 이러한 문제를 고려하여 이루어진 것이며, 장치 전체의 소형화 및 장치의 편리성의 확보를 가능하게 하는 선형 액츄에이터를 제공하는 것이다.

본 발명의 주목적은 청결이 요구되는 클린룸과 같은 환경에서 바람직하게 사용될 수 있는 선형 액츄에이터를 제공하는 것이다.

본 발명의 상기의 목적과, 특징, 장점은 본 발명의 바람직한 실시예에서 설명에 도움이 되는 실례에 의하여 도시된 부수되는 도면과 관련되어 하기하는 발명의 상세한 설명에서 더욱 잘 표현된다.

본 발명은, 유체출입포트에 연통하는 실린더챔버가 형성된 실린더 본체와, 상기 실린더 본체의 축선방향을 따라서 왕복운동하는 슬라이더와, 상기 실린더챔버를 따라 미끄럼운동이 자유롭게 배설되는 피스톤의 변위작용하에 상기의 슬라이더를 왕복운동시키는 실린더 기구와, 상기 슬라이더를 상기 실린더 본체의 축선방향 을 따라서 안내하는 가이드 기구와, 상기의 슬라이더의 변위량을 조정하는 변위량 조정기구를 포함하고, 상기 슬라이더는 금속사출성형 또는 주조에 의하여 일체 형성되며, 상기 변위량조정기구는 상기 실린더 본체와 상기 슬라이더와의 사이에 형성된 절결부(折缺部)에 면하여 상기 실린더 본체 또는 상기 슬라이더의 어느 한쪽에 고정되는 스톱퍼와, 상기 실린더 본체와 상기 슬라이더의 다른 어느 방향으로 진퇴가 자유롭게 설치된 제1조정볼트(adjust bolt)를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터이다.

상기 스토퍼는 상기 실린더 본체의 상부면에 형성된 나사홀을 통해 나입되어 상기 실린더 본체에 고정되고, 상기 제1조정볼트는 상기 슬라이더의 일단에 형성된 나사홀에 나입되고 록너트에 의해 고정되는 것을 특징으로 한다.

또, 상기 변위량조정기구는, 상기 실린더 본체의 단면에 축선방향으로 고정되는 부착부재와, 상기 부착부재에 진퇴가 자유롭게 설치되는 제2조정볼트를 더 포함하고, 상기 제2조정볼트가 상기 슬라이더의 단면에 당접하는 것을 특징으로 한다.

또, 상기 상기 절결부와 연통되는 관통홀이 상기 슬라이더의 상부면에 설치되는 것을 특징으로 한다.

또 다른 발명은, 유체출입 포트에 연통하는 실린더챔버가 형성된 실린더 본체와, 상기 실린더 본체의 축선방향을 따라서 왕복운동하는 슬라이더와, 상기 실린더챔버를 따라 미끄럼 운동이 자유롭게 배설되는 피스톤의 변위작용하에 상기의 슬라이더를 왕복운동시키는 실린더 기구와, 상기 슬라이더를 상기 실린더 본체의 축 선방향을 따라서 안내하는 가이드 기구를 포함하고, 상기 실린더 본체의 외측으로 노출되는 피스톤로드가 상기 피스톤에 연결되며, 상기 피스톤로드와 상기 슬라이더사이의 결합부분에는 플로팅기능을 갖는 제1부시 및 제2부시가 설치되고, 상기 슬라이더와 접촉하는 상기 제1부시 및 제2부시의 접촉면에는 씰링(sealing)이 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터이다.

상기 실린더 본체에는 흡인용 포트가 설치되는 것을 특징으로 한다.

또, 상기 실린더 본체의 내부에는 피스톤로드를 변위가 자유롭게 지지하는 로드커버가 장착되며, 상기 로드커버에는 상기 흡인용포트에 연통하는 복수의 홀부가 형성되는 것을 특징으로 한다.

또 다른 발명은, 유체출입포트에 연통하는 실린더챔버가 형성된 실린더 본체와, 상기 실린더 본체의 축선방향을 따라서 왕복운동하는 슬라이더와, 상기 실린더챔버를 따라 미끄럼운동이 자유롭게 배설되는 피스톤의 변위작용하에 상기의 슬라이더를 왕복운동시키는 실린더 기구와, 상기 슬라이더를 상기 실린더 본체의 축선방향을 따라서 안내하는 가이드 기구를 포함하고, 상기 실린더 본체에 상기 피스톤을 수용하도록 설치되는 관통홀이 형성되며, 상기 관통홀의 일단은 엔드캡에 의해 폐쇄되고, 상기 엔드캡은 걸림편에 의해 걸리는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터이다.

상기 엔드캡은 상기 실린더 본체의 저면측으로부터 구멍을 따라 삽입된 상기 걸림편이 상기 엔드캡에 형성된 걸림용 홈부에 장착되도록 걸어맞춰지는 것을 특징으로 한다.

또, 센서 부착 레일이 상기 실린더 본체의 축에 평행게 놓여진 일측면에 착탈가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.

또, 배관용 블록이 상기 실린더 본체의 축에 평행하게 놓여진 타측면에 연결되는 것을 연결되는 것을 특징으로 한다.

또, 상기 배관용 블록에는 상기 실린더 본체의 축선방향으로부터 배관인출이 가능한 배관용 부재가 설치되는 것을 특징으로 한다.

도 1에 있어서, 참조번호 20은, 본 발명의 실시예1에 따른 선형액츄에이터를 나타낸다. 상기 선형 액츄에이터(20)는, 실질적으로 직각의 평행6면체 형상의 실린더 본체(22)와, 상기 실린더 본체(22)의 길이 방향을 따라서 직선상으로 왕복운동하는 슬라이드 테이블(슬라이더)(24)과, 상기 실린더본체(22)의 일측면부에 나입된 센서 부착용레일(26)을 갖는다.

도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 상기 실린더 본체(22)의 상면부에는, 상기 실린더 본체(22)의 축선방향을 따라서 연장하는 가이드부(28)가 상기 실린더 본체(22)와 일체적으로 확장되어 형성된다. 상기 가이드부(28)의 상호 대향하는 양측면에 복수의 볼베어링(30)이 전동하도록 하는 원형 아크형상의 단면부를 가지는 볼전동홈(32a, 32b)이 길이 방향을 따라서 형성된다.

또, 도 2에 도시하는 바와 같이, 상기 실린더 본체(22)의 상면에 대면하는 상기 슬라이드테이블(24)의 하면에는, 직사각형상의 절결부(34)가 형성된다. 상기 절결부(34)의 내부에는, 실린더 본체(22)의 상면에 고정된 스톱퍼(36)가 면하도록 설치된다. 상기의 경우, 상기 스톱퍼(36)는 원주부를 갖는 나사 부재로 이루어진 다. 상기 스톱퍼(36)는 실린더 본체(22)의 상면의 대략 중앙부에 형성된 나사홀(37)에 나입(螺入)하는 것에 의하여 고정된다.

또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 실린더 본체(22)에 축선방향을 따라 관통홀(40)이 형성된다. 상기 관통홀(40)내에는, 외주면에 피스톤패킹(42) 및 댐퍼(damper:44)가 장착된 피스톤(46)과, 상기 피스톤(46)에 연결된 피스톤로드(48)가 수장(收裝)된다.

상기 관통홀(40)의 일단부(一端部)는, 엔드캡(50)에 의해 기밀하게 폐쇄된다. 상기 엔드캡(50)은, 실린더 본체(22)의 저면측으로부터 구멍(52)을 따라 삽입되는 걸림편(係止片;fastening piece)(54)이 이 엔드캡(50)의 단면에 형성된 걸림용 홈부(50a)에 걸어맞춤에 따라 이탈을 방지하고 있다.(도 2 및 4 참조) 상기 엔드켑(50)은 관통홀(40)의 일단부가 폐쇄되도록 상기 걸림편(54)에 의해 고정된다. 따라서, 상기 조립체의 작동은 편리해지고 상기 조립체는 쉽게 수행될 수 있다. 상기 관통홀(40)의 타단부는, 피스톤로드(48)의 외주면에 슬라이딩하여, 상기 관통홀 (40)내에 유지된 로드패킹(56) 및 로드커버 (58)에 의해 폐쇄된다.

또, 상기 로드커버(58)는, 수지제재료에 의해 형성된 대략 원통체로 이루어진다. 상기 로드커버(58)는 실린더본체(22)의 단면에 나사에 의하여 장착되는 플레이트(61)에 의해 이탈을 방지한다. 상기의 로드커버(58)는, 피스톤로드(48)의 베어링으로써 기능한다. 상기 로드커버(58)에는, 후술하는 진공포트(vacuum port,108a,108b)로부터 진공흡입하였을 때에 상기 피스톤로드(48)의 베어링부와 로드패킹(56)의 슬라이딩부위에서 발생한 먼지와 티끌을 흡인하기 위한 홀 부(59a~59d)가 둘레 방향을 따라 90도의 이간각도로 복수 형성되어 있다.

이 경우, 관통홀(40)의 양단을 폐쇄하는 엔드캡(50)과 로드커버(58)에 의해, 실질적으로 제1 실린더챔버(60) 및 제2 실린더챔버(62)가 형성된다. (도4 참조).

또한, 실린더 본체(22)의 서로 대향하는 양측면에는, 한쌍의 제1유체출입포트(64a, 64b) 및 제2유체출입포트(66a, 66b)가 상기 실린더 본체(22)의 축선을 대칭축으로하여 각각의 선대칭의 위치에 배치된다. 상기 제1유체출입 포트(64a, 64b)는 제1실린더챔버(60)에 연통하고, 제2 유체출입 포트(66a, 66b)는 제2 실린더 챔버(62)에 각각의 연통하도록 형성되어 있다.

상기 피스톤로드(48)의 선단부에는, 슬라이드테이블(24)과 피스톤로드(48)의 사이의 편위를 흡수하는 플로팅 기구가 설치된다. 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 플로팅 기구는, 클리어런스(67)를 개재하여 슬라이드테이블(24)을 그 사이에 두는 제1부시(68)와 제2부시(70)를 포함한다.

또한, 도 2에 도시하는 바와 같이, 상기 슬라이드 테이블(24)은, 평판상의 테이블부(72)와 절곡부(74)로 이루어지는 단면이 대략 L자형상을 가진다. 상기 슬라이드 테이블(24)은 금속사출성형에 의하여 일체형성되어 있지만, 주조에 의하여 일체형성되어도 좋다. 또한, 상기 절곡부(74)에 형성된 홀부 내에 도시하지 않는 완충부재가 삽입된다. 상기 완충부재는 슬라이드테이블 (24)의 한쪽의 변위종단위치에 있어서, 상기 절곡부(74)가 실린더 본체(22)의 단면에 당접할 때에 발생하는 충격을 완화하는 기능을 한다.

또한, 슬라이드 테이블(24)의 절곡부(74)가 그 사이에 끼워지는 상기 제1 및 제2부시(68,70)의 접촉면에는, 환상홈을 통하여 O링(실링)(71)이 끼워져 있다.(도 4 참조) 상기 O링(71)은 상기 제1및 제2부시(68,70)가 플로팅할 때에 발생하는 먼지와 티끌을 외부로 유출하는 것을 저지하는 기능을 수행한다. 또한 상기 제1 및 제2부시(68, 70)의 플로팅을 확보하기 위해 절곡부(74)에 클리어런스(67)가 형성된다. 상기 O링(71)이 탄성 변형하여 상기 클리어런스(67)를 충족하기 때문에, 백래쉬(backlash)또는 풀림(loosening)의 발생을 방지할 수가 있다.

상기 테이블부(72)에는, 4개의 자재유지용 홀부(80a~80d)와, 원형홀부 및 긴홀로 이루어진 위치결정용 홀부(81a, 81b)와, 실린더 본체(22)의 부착용 홀부(82a~82d)에 대응하며 상기 테이블부(72)를 관통하는 4개의 관통홀(84a~84d)이 형성된다(도 2참조). 이 경우, 상기의 관통홀(84a~84d)을 통해 테이블부(72)의 상면측으로부터 도시하지 않는 부착용볼트를 부착용 홀부(82a~82d)에 나입하여 실린더 본체(22)를 다른 부재에 부착한다. 또는, 실린더 본체(22)의 저면측으로부터 볼트를 부착용 홀부(82a~82d)에 직접 나입하여 부착하는 것이 가능하다. 이와 같이, 작업자는 선형 액츄에이터(20)의 부착방향을 상 방향, 하 방향 중 어느 한 쪽을 선택할 수가 있다.

또한, 관통홀(84a)은 절결부(34)에 연통하도록 설치되어 있다. 따라서, 상기의 관통홀(84a)의 위치와 나사홀(37)의 위치가 대략 일치하도록 슬라이드 테이블(24)을 임의로 이동시키고, 상기의 관통홀(84a)을 삽통(揷通)하여 상기 스톱퍼(36)를 상기의 실린더 본체(22)의 상면의 나사홀(37)에 나입한다. 따라서, 상기의 스톱퍼(36)가 실린더 본체(22)에 고정된다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 상기 슬라이드 테이블(24)의 하면부에는, 실린더 본체(22)의 상면부에 길이 방향을 따라 연장되는 가이드부(28)에 대응하는 오목부가 형성된다. 상기 오목부에는 서로 대향하는 한쌍의 볼 전동홈(86a, 86b)이 길이 방향을 따라 형성된다.

도 2에 도시하는 바와바와, 상기 슬라이드 테이블(24)의 일단면에는, 변위량조정기구로 기능하는 제1조정볼트(90)가 나입되는 나사홀(91)이 형성된다. 상기 나사홀(91)은 상기 절결부(34)에 연통하도록 설치된다. 상기 제1조정볼트(90)의 선단부에는, 예를 들면, 우레탄 등의 고무제 재료로 이루어진 완충부재(94)가 장착된다. 상기 제1조정볼트(90)는 록 너트(lock nut, 92)에 의하여 원하는 위치에 고정된다. 또한, 상기의 슬라이드 테이블 (24)의 일단면에는, 볼 전동홈(32a, 32b, 86a, 86b)을 따라 전동하는 볼 베어링(30)의 탈락을 저지하는 플레이트(88)가 장착된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 실린더 본체(22)와 슬라이드 테이블(24)과의 사이에 형성된 절결부(34)를 향하는 스톱퍼(36)가 실린더 본체(22)에 고정되고, 또 상기 제1조정볼트(90)를 슬라이드 테이블(24)에 진퇴가 자유롭게 설치된다. 그러나, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 다음의 경우가 또한 가능하다. 실린더 본체(22)에 형성된 절결부(34)를 향하는 스톱퍼(36)가 슬라이드 테이블(24)에 고정되고, 또한 제1조정볼트(90)가 실린더 본체(22)에 진퇴가 자유롭게 설치된다.

또한, 상기 실린더 본체(22)의 일단면에는, 대략 L자 형상의 조정용 플레이트(부착부재,93)가 볼트(95a, 95b)에 의하여 고정되어 있다. 상기 조정용 플레이 트(93)의 홀부(96)에는, 슬라이드 테이블(24)의 변위량조정기구로 기능하는 제2조정볼트(98)가 록 너트(100)에 의하여 나입된다. 상기 제2조정볼트(98)의 선단부가 상기의 슬라이드 테이블(24)의 단면에 당접하도록 되어있다. 상기 제2조정볼트(98)의 선단부에도, 예를 들면, 우레탄 등의 고무제 재료로 이루어지는 완충부재(102)가 장착된다.

슬라이드 테이블(24)이 전진하는 경우(도1의 화살표 A방향), 상기 제1조정볼트 (90)는 슬라이드 테이블(24)과 일체적으로 변위하며, 상기 완충부재(94)가 실린더 본체 (22)의 상면에 고정된 스톱퍼(36)에 당접한다. 따라서, 상기 슬라이드 테이블(24)의 A방향의 이동이 규제된다.

한편, 슬라이드테이블(24)이 후퇴하는 경우(도 1의 화살표B 방향), 슬라이드테이블(24)이 변위하고, 상기 슬라이드테이블(24)의 단면이 실린더 본체(22)의 단면에 조정용 플레이트(93)에 의하여 고정된 제2조정볼트(98)에 당접하게 된다. 따라서, 슬라이드테이블(24)의 B방향의 이동이 규제된다.

환언하면, 실린더 본체(22)에 대한 슬라이드테이블(24)의 전진단 스트로크 규제는, 스톱퍼(36)에 당접하는 한쪽의 제1조정볼트(90)에 의하여 실시된다. 실린더 본체(22)에 대한 슬라이드테이블(24)의 후진단 스트로크 규제는, 슬라이드 테이블(24)의 단면이 조정용 플레이트(93)에 의하여 유지된 제2조정볼트(98)에 당접하는 것에 의하여 실시된다.

그리고, 제1 및 제2 조정볼트(90, 98)의 선단에 완충부재(94, 102)를 각각 설치한다. 따라서, 슬라이드 테이블(24)이 변위종단위치에 각각 도달할 때에 상기 슬라이드 테이블(24)에 부여되는 불균형한 하중(偏荷重)을 억제시킬 수 있다. 그 결과, 슬라이드 테이블(24)에 위치되는, 도시하지 않는 자재에 대해서 불균형한 하중이 전달되는 것을 방지할 수가 있다.

슬라이드 테이블(24)을 실린더 본체(22)의 축선방향을 따라 안내하는 가이드 기구는, 상기 실린더 본체(22)의 상면부에 일체적으로 확장되어 형성되며, 그 양측면에 상호 대향하는 한쌍의 볼 전동홈(32a, 32b)가 형성된 가이드부(28)와, 상기 슬라이드테이블(24)의 하면부의 길이방향 중앙부에 설치된 오목부의 양측면에 형성된 한 쌍의 볼 전동홈(86a, 86b)을 포함한다.

도 2에 도시되는 바와 같이, 상기 실린더 본체(22)의 한측면에는, 센서부착용 레일(26)이 한 쌍의 나사 부재에 의하여 착탈이 자유롭게 설치되어 있다. 상기 센서 부착용 레일(26)은 축선방향으로 원형의 아크형상의 단면을 가지는 하나의 긴 홀(27)을 가진다. 상기 긴 홀(27)의 소정의 부위에는 도시되지 않은 센서가 선택적으로 고정된다.

도 5에 도시된 바와 같이, 서로 대향하는 상기의 센서 부착용 레일(26)의 측면과 실린더 본체(22)의 측면 사이에 틈(31)이 형성된다. 상기 틈(31)은 연결부로써 작용하는 양단부를 제외하고 소정의 이격거리로 상기 측면들을 분리시킨다. 상기 슬라이드 테이블(24)의 측면의 소정부위에는 부착금구에 의하여 자성체(29)가 고정된다. 상기 자성체(29)는 상기의 틈(31)을 따라 변위하도록 설치되었다.

따라서, 슬라이드 테이블(24)과 일체적으로 변위하는 자성체(29)의 자계가 센서 부착용 레일(26)에 장착시킨 도시하지 않은 센서에 의해 검사된다. 따라서, 상기 슬라이드 테이블(24)의 위치가 검출된다.

또한, 상기의 실린더 본체(22)의 측면에는, 각각 진공포트(흡입용 포트) (108a, 108b)가 설치되어있다. 상기 진공포트 (108a,108b)에 대하여 도시하지 않은 진공펌프 등의 흡입수단을 접속하고, 제2실린더챔버(62)로부터 새는 공기와 피스톤로드(48)와 로드패킹(56)과의 슬라이딩에 의해 발생되는 먼지를 흡입하기 위하여 로드커버(58)에 형성된 홀부(59a~59d)를 통하여 진공흡인을 수행한다. 따라서, 상기 선형 액츄에이터(20)는 예를 들면, 클린룸 등의 청정성이 요구되는 환경에서 알맞게 사용할 수 있다.

본 발명의 실시예1에 따른 선형 액츄에이터(20)는, 기본적으로는 이상과 같이 구성되는 것이며, 다음에 그 동작과 작용효과에 대하여 설명하겠다.

도시하지 않는 압력유체 공급원을 부세(賦勢, energized)하여 압력유체를 상기 제1유체출입 포트(64a)에 공급한다. 이 경우, 상기 제2유체출입포트(66a)는, 도시하지 않은 전환밸브의 조작하에 대기개방상태로 해 둔다.

상기 압력유체는, 제1유체출입포트(64a)에 연통하는 한쪽의 제1실린더 챔버(60)에 공급되며, 피스톤(46)을 도 1에 도시된 화살표 A방향으로 압압한다. 상기 피스톤(46)의 압압(押壓)작용하에 피스톤로드(48)에 설치되는 슬라이드 테이블(24)이 도 1에 도시된 화살표 A방향으로 변위한다. 볼 베어링(30)의 전동작용하에 상기 슬라이드 테이블 (24)이 변위한다.

상기 슬라이드 테이블(24)이 도 1에 도시된 화살표 A방향(전진)을 향하여 변위하는 과정에 있어서, 상기 슬라이드 테이블(24)과 일체적으로 변위하는 제1조정 볼트(90)가 실린더 본체(22)의 상면에 고정된 스톱퍼(36)에 당접한다. 따라서, 상기 슬라이드 테이블(24)는 한쪽의 변위종단위치에 도달한다. 이 경우, 록 너트(92)를 헐겁게 하여 제1조정볼트(90)의 나사 조임양을 조정하는 것에 의하여, 슬라이드 테이블(24)의 변위량이 증감변경하여 슬라이드테이블(24)의 전진단의 위치를 조정할 수 있게 된다.

상기와는 반대로, 상기 슬라이드 테이블(24)을 화살표 B방향(후퇴)을 향하여 변위시키는 경우에는, 다른 방향의 제2유체출입포트(66a)에 압력유체를 공급한다. 상기 공급된 압력유체는 다른방향의 제2실린더챔버(62)에 도입되며, 피스톤(46)을 도1의 화살표 B방향을 향하여 압압한다. 상기 피스톤(46)의 압압작용하에, 피스톤 로드(48)에 계합하는 슬라이드 테이블(24)이 화살표 B로 변위하고, 상기 슬라이드테이블(24)의 단면이 상기 조정용 플레이트(93)에 의하여 실린더 본체(22)의 단면에 고정된 제2조정볼트(98)에 당접된다. 따라서, 상기 슬라이드 테이블(24)이 다른 쪽의 변위종단위치에 도달한다.

상기 조정용 플레이트(93)의 홀부(96)에 대한 상기 제2조정볼트(98)의 나사 조임양을 조정하므로써, 슬라이드 테이블(24)의 변위량이 증감변경되며, 이 슬라이드 테이블(24)의 후진단에 있어서의 위치를 조정할 수 있다. 또한, 제1조정볼트(90) 및 제2조정볼트(98)의 선단에, 슬라이드 테이블(24)과 당접할 때의 충격을 흡수하는 완충부재(94, 102)를 설치한다. 따라서, 불균형한 하중을 억제시키는것도 가능하게 된다.

그 결과, 실시예1에 따른 선형 액츄에이터(20)에서는, 장치전체의 소형화, 경량화를 꾀할 수가 있다. 또한, 장치의 편리성을 향상시킬 수 있다.

다음으로, 본 발명의 실시예2에 따른 선형 액츄에이터(200)을 도 7 및 도 8에 도시한다. 또한, 실시예1에 따른 선형 액츄에이터(20)과 동일 구성요소에는 동일한 참조부호를 붙이고, 그 상세한 설명을 생략한다.

실시예2에 따른 상기 선형 액츄에이터(200)에서는, 상기 실린더 본체(22)에 대해, 센서부착용 레일(26)이 연결되는 한쪽의 측면과 반대측의 다른 쪽 측면에, 별개로 형성된 배관용 블록(202)이 연결되는 점에서 다르다. 상기 배관용 블록(202)에는, 길이 방향을 따라 관통로(204)가 설치된다. 상기 관통로(24)의 일단에는 제3유체출입포트(206)가 설치되며, 타단에는 강구(steel ball, 208)가 압압되어 폐쇄되어 있다(도 8참조).

상기 관통로(204)와 직교하는 방향으로 한쌍의 나사홀(210, 212)이 관통형성되어 있다. 동일 구성으로 이루어지는 배관용 나사(배관용 부재, 214, 216)가 상기 배관용 블록(202)의 나사홀(210, 212)을 관통하여, 각각 상기 제1유체출입포트(64a), 상기 제2유체출입포트(66a)에 나입된다. 따라서, 상기 배관용 블록(202)이 상기 실린더 본체(22)에 고정된다.

이 경우에, 상기 배관용 나사(216)에는, 도 8에 도시하는 바와 같이, 축선방향을 따라 연장되는 유체통로(218)가 설치된다. 또, 상기 배관용 나사(216)에는 상기 유체통로(218)와 직교하는 방향으로 연통로(220)가 설치되어, 상기 제2유체출입포트(66a)와 상기 제3유체출입포트(206)가 연통한다. 또한, 상기 배관용 나사(214)와 제1유체출입 포트(64a)의 사이에, 도시하지않는 맹전(盲栓, blank cap)(예를들 어, 강구)이 장착되어 상기 제1유체출입 포트(64a)가 폐쇄된다.

또한, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 실린더 본체(22)의 단면에 고정되는 조정용 플레이트(93)의 대략 중앙부에는, 제1실린더 챔버(60)에 연통하는 제4유체출입포트(222)가 설치된다. 이 경우, 실린더 본체(22)의 관통홀(40)의 일단부에 장착된 엔드 캡(50)에 의하여, 상기 제4유체출입포트(222)와 제1실린더 챔버(60)를 연통시키는 도시하지 않은 연통로가 형성되어 있다.

실시예 2에 따른 선형 액츄에이터(200)에서는, 제3유체출입포트(206) 및 제4유체출입포트(222)가, 각각 실린더 본체(22)의 단면측에 설치되며, 실린더 본체(22)의 축선방향에서만 배관의 접속 및 배관인출이 가능하다는 점에서 한층 더 편리성을 가진다.

또한, 실시예 2에 따른 선형 액츄에이터(200)의 그 밖의 작용효과는, 배관용 블럭(202)의 추가가공에 의하여 설치의 자유도가 향상하는 것 이외에는 실시예1에 따른 선형 액츄에이터(20)와 똑같기 때문에 그 상세한 설명은 생략한다.

상술한 바와 같이, 실시예 1 및 실시예 2에 따른 선형 액츄에이터(20, 200)에 의하면, 장치 전체의 소형화 및 장치의 편리성을 확보 할 수가 있다.

본 발명의 바람직한 실시예를 통하여 상세히 설명하였지만, 다양한 교체 및 변경이 첨부되는 청구항의 범주를 벗어나지 않는 한 가능하다는 것을 이해할 수 있다.

본 발명에 있어서의 선형 액츄에이터에 의하면, 종래 기술과 비교하여, 조정볼트가 실린더 본체의 축선방향으로부터 돌출하는 양이 억제되는 것에 의하여, 장치 전체의 소형화 및 장치의 편리성을 확보한다는 효과를 달성할 수 있다.

Claims (3)

1. 유체출입 포트에 연통하는 실린더챔버가 형성된 실린더 본체와,

   상기 실린더 본체의 축선방향을 따라서 왕복운동하는 슬라이더와,

   상기 실린더챔버를 따라 미끄럼 운동이 자유롭게 배설되는 피스톤의 변위작용하에 상기의 슬라이더를 왕복운동시키는 실린더 기구와,

   상기 슬라이더를 상기 실린더 본체의 축선방향을 따라서 안내하는 가이드 기구를 포함하고,

   상기 실린더 본체의 외측으로 노출되는 피스톤로드가 상기 피스톤에 연결되며, 상기 피스톤로드와 상기 슬라이더 사이의 결합부분에는 플로팅기능을 갖는 제1부시 및 제2부시가 설치되고, 상기 슬라이더와 접촉하는 상기 제1부시 및 제2부시의 접촉면에는 씰링(sealing)이 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 실린더 본체에는 흡인용 포트가 설치되는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 실린더 본체의 내부에는 상기 피스톤로드를 변위가 자유롭게 지지하는 로드커버가 장착되며, 상기 로드커버에는 상기 흡인용포트에 연통하는 복수의 홀부가 형성되는 것을 특징으로 하는 선형 액츄에이터.

Images