JP3044686B2 - 流体圧アクチュエータ装置およびその組立方法 - Google Patents

流体圧アクチュエータ装置およびその組立方法

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JP3044686B2
JP3044686B2 JP8231261A JP23126196A JP3044686B2 JP 3044686 B2 JP3044686 B2 JP 3044686B2 JP 8231261 A JP8231261 A JP 8231261A JP 23126196 A JP23126196 A JP 23126196A JP 3044686 B2 JP3044686 B2 JP 3044686B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリンダに挿入さ
れたピストンをガス圧および液圧のような流体圧によっ
て駆動することにより、流体圧を機械的運動に変換する
流体圧アクチュエータ装置およびその組立方法に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、シリンダに挿入されたピストン
をガス圧および液圧のような流体によって駆動して、流
体圧を機械的運動に変換する流体圧アクチュエータは、
例えばジグシリンダなどと称され、自動組立装置、工作
機械等に広く使用されている。流体圧により駆動される
この種のアクチュエータにおいて、大きな動作力すなわ
ち推力を得ようとする場合には、原理的にピストンにお
ける流体の受圧面積を増加させればよい。ピストンにお
ける受圧面積を増大させるには、基本的にピストン径を
大きくすればよいが、そのためにシリンダ径が大きくな
ってしまいアクチュエータ全体が大型化してしまう。
【0003】そこで、現実には、それぞれ単一のシリン
ダに単一のピストンを設けたシリンダユニットを複数個
用い、これらシリンダユニットを多段に縦列配置して、
各ピストンのピストンロッドを連結し、各シリンダに対
して、共通の方向への動作力を作用させるように流体を
供給することが行われている。このようにしても、連結
されたピストンロッドに対するピストンの受圧面積を、
単一のピストンロッドの複数倍に増大させることができ
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、複数個
の前記シリンダユニットを多段に縦列配置して、各ピス
トンのピストンロッドを連結する場合、複数のシリンダ
および複数のピストンロッドをそれぞれボルト締め等に
より連結するため、多数の連結部および接合面等を、精
密に加工しなければならない。また、前記複数個のシリ
ンダユニットを多段に結合するための組立工数も多く、
組立作業が繁雑になる。また、このように複数個の前記
シリンダユニットを多段に縦列配置して、各ピストンの
ピストンロッドを連結し、各シリンダに対して、共通の
方向への動作力を作用させるように流体を供給する場合
には、シリンダユニット毎に、流体の供給および排出の
配管を施さねばならず、配管の数量が増加し且つ配管自
体も複雑化する。
【0005】本発明は、上述の事情に鑑みてなされたも
ので、その第1の目的とするところは、簡単で且つコン
パクトな構成で大きな推力を得ることができる流体圧ア
クチュエータ装置およびその組立方法を提供することに
あり、第2の目的とするところは、製造および組み立て
が容易な流体圧アクチュエータ装置およびその組立方法
を提供することにあり、第3の目的は、シリンダに流体
を供給したり排出したりするための配管構成が簡略で且
つその配管作業が極めて容易な流体アクチュエータ装置
を提供することにある。
【0006】
【0007】
【課題を解決するための手段】 請求項1に係る 流体圧ア
クチュエータ装置は、複数のピストン部材と、この複数
のピストン部材のうちの最も内側のピストン部材に結合
され、且つ他のピストン部材と次々に連結してこれら他
のピストン部材を隔離して支持するピストンロッド部材
と、それぞれ、両端が開口した筒状をなし、内部に前記
各ピストン部材を気密に且つ所定範囲において摺動可能
に収容するとともに、前記各ピストン部材の摺動範囲の
両端にそれぞれ開口する第1および第2の開口部を形成
する複数のシリンダライナ部材と、前記ピストンロッド
部材を気密に挿通し、前記複数のシリンダライナ部材の
間を閉塞して、各シリンダライナ部材で形成されるシリ
ンダ室を隔離する前記ピストン部材の数より1つ少ない
個数のセパレータ部材と、ほぼ有底筒状をなして前記複
数のシリンダライナおよびセパレータ部材を収容し、前
記複数のシリンダライナ部材の前記各第1の開口部に連
通する第1の流体通路および前記複数のシリンダライナ
部材の前記各第2の開口部に連通する第2の流体通路を
筒状の周側壁の肉厚内に形成し、且つ軸方向に沿う前記
第1および第2の流体通路に連結され外部に開口して圧
力媒体である流体の導入路を形成する第3の流体通路を
有するとともに、前記第3の流体通路への連結部におい
て前記第1および第2の流体通路にそれぞれ連結する第
1および第2の排出口を設けて一体に形成された1個の
シリンダ部材と、前記シリンダ部材の前記第1および第
2の流体通路と第3の流体通路との連結部に前記第1お
よび第2の流体通路と交差するように設けられたバルブ
孔に嵌挿され所定範囲内のスライド移動が許容され、外
部操作に応動して一方側に位置しているときは前記第1
および第2の流体通路の一方を選択的に前記第3の流体
通路に連通させ且つ他方を前記第1および第2の排出口
の少なくとも一方に連通させ、他方側に位置していると
きは前記第1および第2の流体通路の他方を選択的に前
記第3の流体通路に連通させ且つ一方を前記第1および
第2の排出口の他方に連通させるバルブ部材と、前記ピ
ストンロッド部材のみを気密に挿通し前記複数のシリン
ダライナ部材のうち、最も外側のシリンダライナ部材と
当接しその抜け止めをし且つ前記シリンダ部材の開口部
を閉塞するキャップ部材とを具備することを特徴として
いる。
【0008】
【0009】
【0010】請求項2に係る流体圧アクチュエータ装置
は、複数のピストン部材と、前記複数のピストン部材の
うちの最も内側のピストン部材に結合され、且つ他のピ
ストン部材を貫通してこれら他のピストン部材を次々に
等間隔で支持するピストンロッド部材と、前記ピストン
ロッド部材を気密に挿通し、前記各ピストン部材の移動
範囲だけ間隔を開けて配置される少なくとも1つのセパ
レータ部材と、ほぼ有底筒状をなして内部に前記各ピス
トン部材を気密に且つ前記セパレータ部材で気密に隔離
された所定範囲において摺動可能に収容するとともに、
前記各ピストン部材の摺動範囲の一端にそれぞれ開口す
る第1の流体通路および前記各ピストン部材の摺動範囲
の他端にそれぞれ開口する第2の流体通路を筒状の周側
壁の肉厚内に形成し、且つ軸方向に沿う前記第1および
第2の流体通路に連結され外部に開口して圧力媒体であ
る流体の導入路を形成する第3の流体通路を有するとと
もに、前記第3の流体通路への連結部において前記第1
および第2の流体通路にそれぞれ連結する第1および第
2の排出口を設けて一体に形成された1個のシリンダ部
材と、前記シリンダ部材の前記第1および第2の流体通
路と第3の流体通路との連結部に前記第1および第2の
流体通路と交差するように設けられたバルブ孔に挿通さ
れ所定範囲のスライド移動が許容され、外部操作に応動
して一方側に位置しているときは前記第1および第2の
流体通路の一方を選択的に前記第3の流体通路に連通さ
せ且つ他方を前記第1および第2の排出口の少なくとも
一方に連通させ、他方側に位置しているときは前記第1
および第2の流体通路の他方を選択的に前記第3の流体
通路に連通させ且つ一方を前記第1および第2の排出口
の他方に連通させるバルブ部材と、前記ピストンロッド
部材のみを気密に挿通して、前記シリンダ部材の開口部
を閉塞するキャップ部材とを具備することを特徴として
いる。
【0011】
【0012】請求項3に係る流体圧アクチュエータ装置
の組立方法は、複数のピストン部材と、前記複数のピス
トン部材にそれぞれ結合され、互いに縦続的に連結可能
に形成され、連結状態では前記複数のピストン部材を貫
通してこれら複数のピストン部材をほぼ等間隔で支持す
るピストンロッド部材と、それぞれ、両端が開口した筒
状をなし、内部に前記各ピストン部材を気密に且つ所定
範囲において摺動可能に収容すると共に、前記各ピスト
ン部材の摺動範囲の両端にそれぞれ開口する第1および
第2の開口部を形成する複数のシリンダライナ部材と、
前記ピストンロッド部材を気密に挿通し、前記複数のシ
リンダライナ部材の間を閉塞して、各シリンダライナ部
材で形成されるシリンダ室を隔離する前記ピストン部材
の数より1つ少ない個数のセパレータ部材と、ほぼ有底
筒状をなして前記複数のシリンダライナおよびセパレー
タ部材を収容し、前記複数のシリンダライナ部材の前記
各第1の開口部に連通する第1の流体通路および前記複
数のシリンダライナ部材の前記各第2の開口部に連通す
る第2の流体通路を筒状の周側壁の肉厚内に軸方向に沿
って形成し、且つ前記第1および第2の流体通路に連結
され外部に開口して圧力媒体である流体の導入路を形成
する第3の流体通路を有するとともに、前記第3の流体
通路への連結部において前記第1および第2の流体通路
にそれぞれ連結する第1および第2の排出口を設けて一
体に形成された1個のシリンダ部材と、前記シリンダ部
材の前記第1および第2の流体通路と第3の流体通路と
の連結部に前記第1および第2の流体通路と交差するよ
うに設けられたバルブ孔に嵌挿され所定範囲内のスライ
ド移動が許容され、外部操作に応動して一方側に位置し
ているときは前記第1および第2の流体通路の一方を選
択的に前記第3の流体通路に連通させ且つ他方を前記第
1および第2の排出口の少なくとも一方に連通させ、他
方側に位置しているときは前記第1および第2の流体通
路の他方を選択的に前記第3の流体通路に連通させ且つ
一方を前記第1および第2の排出口の他方に連通させる
バルブ部材と、前記ピストンロッド部材のみを気密に挿
通し前記複数のシリンダライナ部材のうち、最も外側の
シリンダライナ部材と当接しその抜け止めをし且つ前記
シリンダ部材の開口部を閉塞するキャップ部材とを具備
する流体圧アクチュエータ装置を組み立てるにあたり、
最初のピストン部材に最初のピストンロッド部材を結合
するステップと、前記最初のピストンロッド部材を最初
のセパレータ部材に挿通するステップと、前記最初のピ
ストンロッド部材と中間のピストン部材とを連結するス
テップと、前記最初のピストンロッド部材および前記中
間のピストン部材に中間のピストンロッドを連結するス
テップと、前記中間のピストン部材および中間のピスト
ンロッド部材を中間のシリンダライナ部材に嵌入させる
ステップと、前記中間のピストンロッド部材を最後のセ
パレータ部材に挿通するステップと、前記中間のピスト
ンロッド部材を最後のピストン部材に結合するステップ
と、前記中間のピストンロッド部材および前記最後のピ
ストン部材に最後のピストンロッドを連結するステップ
と、シリンダ部材の中空部に最初のシリンダライナ部材
を嵌入させるステップと、前記最初のシリンダライナ部
材に前記最初のピストン部材を嵌入させて、前記シリン
ダ部材の中空部に、前記全てのピストン部材、全てのピ
ストンロッド部材、全てのセパレータ部材および中間の
シリンダライナ部材からなる部分を嵌入させるステップ
と、前記シリンダ部材の中空部内壁と前記最後のピスト
ンとの間に最後のシリンダライナ部材を嵌入させるステ
ップと、キャップ部材に前記最後のピストンロッド部材
を嵌入し挿通させて、前記最初のシリンダライナ部材、
前記最初のセパレータ、前記中間のシリンダライナ部
材、前記最後のセパレータ部材、前記最後のシリンダラ
イナ部材を順次前記シリンダ部材の中間部の底部に片寄
せした状態で前記キャップ部材で前記シリンダ部材の中
空部開口端を閉塞し且つ、前記キャップ部材が抜け出さ
ないように係止するステップと、を有することを特徴と
している。
【0013】請求項4に係る流体圧アクチュエータ装置
組立装置の組立方法は、複数のピストン部材と、前記
複数のピストン部材のうちの最も内側のピストン部材に
結合され、且つ他のピストン部材を貫通してこれら他の
ピストン部材を次々に等間隔で支持するピストンロッド
部材と、前記ピストンロッド部材を気密に挿通し、前記
各ピストン部材の移動範囲だけ間隔を開けて配置される
少なくとも1つのセパレータ部材と、ほぼ有底筒状をな
して内部に前記各ピストン部材を気密に且つ前記セパレ
ータ部材で気密に隔離された所定範囲において摺動可能
に収容するとともに、前記各ピストン部材の摺動範囲の
一端にそれぞれ開口する第1の流体通路および前記各ピ
ストン部材の摺動範囲の他端にそれぞれ開口する第2の
流体通路を筒状の周側壁の肉厚内に軸方向に沿って形成
し、且つ前記第1および第2の流体通路に連結され外部
に開口して圧力媒体である流体の導入路を形成する第3
の流体通路を有するとともに、前記第3の流体通路への
連結部において前記第1および第2の流体通路にそれぞ
れ連結する第1および第2の排出口を設けて一体に形成
された1個のシリンダ部材と、前記シリンダ部材の前記
第1および第2の流体通路と第3の流体通路との連結部
に前記第1および第2の流体通路と交差するように設け
られたバルブ孔に挿通され所定範囲のスライド移動が許
容され、外部操作に応動して一方側に位置しているとき
は前記第1および第2の流体通路の一方を選択的に前記
第3の流体通路に連通させ且つ他方を前記第1および第
2の排出口の少なくとも一方に連通させ、他方側に位置
しているときは前記第1および第2の流体通路の他方を
選択的に前記第3の流体通路に連通させ且つ一方を前記
第1および第2の排出口の他方に連通させるバルブ部材
と、前記ピストンロッド部材のみを気密に挿通して、前
記シリンダ部材の開口部を閉塞するキャップ部材と具備
する流体圧アクチュエータ装置を組み立てるにあたり、
最初のピストン部材に最初のピストンロッド部材を結合
するステップと、前記最初のピストン部材および最初の
ピストンロッド部材をシリンダ部材の中空部に挿入する
ステップと、前記最初のピストンロッド部材を最初のセ
パレータ部材に挿通すると共に、該最初のセパレータ部
材を前記シリンダ部材の中空部の所定位置に取着するス
テップと、前記最初のピストンロッド部材を中間のピス
トン部材に結合するステップと、前記最初のピストンロ
ッド部材および前記中間のピストン部材に中間のピスト
ンロッドを連結するステップと、前記中間のピストンロ
ッド部材を最後のセパレータ部材に挿通すると共に、該
最後のセパレータ部材を前記シリンダ部材の中空部の所
定位置に取着するステップと、前記中間のピストンロッ
ド部材を最後のピストン部材に結合するステップと、前
記中間のピストンロッド部材および前記最後のピストン
部材に最後のピストンロッドを連結するステップと、キ
ャップ部材に前記最後のピストンロッド部材を嵌入し挿
通させて、前記キャップ部材で前記シリンダ部材の中空
部開口端を閉塞するステップと、を有することを特徴と
している。請求項5に係る流体圧アクチュエータ装置に
おける第1〜第3の流体通路は、それぞれ流体としてエ
アを流通させるエア通路とし、且つ第1および第2の排
出口は、それぞれエアを排出する排気口として、加圧媒
体となる流体としてエアを用いることを特徴としてい
る。
【0014】
【作用】上述のように構成された流体圧アクチュエータ
装置においては、ピストンロッド部材が結合されたピス
トン部材を、筒状をなすシリンダライナ部材の内部に気
密に且つ所定範囲において摺動可能に収容するととも
に、前記シリンダライナ部材は、前記ピストン部材の摺
動範囲の両端に、それぞれ開口する第1および第2の開
口部を形成している。前記ピストン部材、ピストンロッ
ド部材およびシリンダライナ部材は、ほぼ有底筒状をな
すシリンダ部材の中空部に1組以上収容される。
【0015】前記ピストン部材、ピストンロッド部材お
よびシリンダライナ部材が、前記シリンダ部材の中空部
に複数個設けられる場合には、各組の間にピストンロッ
ド部材のみを気密に挿通するセパレータ部材を設ける。
前記シリンダ部材は、前記第1および第2の開口部にそ
れぞれ連通する第1および第2の流体通路を筒状の周側
壁の肉厚内に形成し、且つ前記第1および第2の流体通
路に連結され外部に開口する第3の流体通路を有する。
前記シリンダ部材の前記第1および第2の流体通路と第
3の流体通路との連結部には、外部操作に応動して前記
第1および第2の流体通路を選択的に前記第3の流体通
路に連通させるバルブ部材が付設される。
【0016】前記シリンダ部材の開口部には、前記ピス
トンロッド部材のみを気密に挿通して、前記開口部を閉
塞するキャップ部材が設けられる。あるいは、他の流体
圧アクチュエータ装置においては、ピストンロッド部材
が結合されたピストン部材を、ほぼ有底筒状をなすシリ
ンダ部材の中空部に1組以上設ける。前記ピストン部材
およびピストンロッド部材が複数組設けられる場合に
は、各組の間にピストンロッド部材のみを気密に挿通す
るセパレータ部材を固定する。
【0017】前記シリンダ部材は、前記ピストンロッド
部材が結合されたピストン部材を、気密に且つ所定範囲
において摺動可能に収容するとともに、該ピストン部材
の摺動範囲の両端にそれぞれ開口する第1および第2の
流体通路を筒状の周側壁の肉厚内に形成し、且つ前記第
1および第2の流体通路に連結され外部に開口する第3
の流体通路を有する。前記シリンダ部材の前記第1およ
び第2の流体通路と第3の流体通路との連結部には、外
部操作に応動して前記第1および第2の流体通路を選択
的に前記第3の流体通路に連通させるバルブ部材が付設
される。前記シリンダ部材の開口部には、前記ピストン
ロッド部材のみを挿通して、前記開口部を閉塞するキャ
ップ部材が設けられる。
【0018】このような構成の流体圧アクチュエータ装
置は、簡単な構成であるにもかかわらず、前記第3の流
体通路の外部への開口部に操作流体を供給することによ
り、前記ピストンロッドを操作駆動することができ、前
記バルブ部材の操作により、前記ピストンロッドの駆動
方向を切り換えることができる。
【0019】上述した流体圧アクチュエータ装置の組立
方法では、複数のピストン部材と、前記複数のピストン
部材にそれぞれ立設され、互いに縦続的に連結可能に形
成され、連結状態では前記複数のピストン部材を貫通し
てこれら複数のピストン部材を等間隔で支持するピスト
ンロッド部材と、それぞれ、両端が開口した筒状をな
し、内部に前記各ピストン部材を気密に且つ所定範囲に
おいて摺動可能に収容する複数のシリンダライナ部材
と、前記ピストンロッド部材を気密に挿通し、前記複数
のシリンダライナ部材の間を閉塞して、各シリンダライ
ナ部材で形成されるシリンダ室を隔離する少なくとも1
個のセパレータ部材と、ほぼ有底筒状をなして前記複数
のシリンダライナおよびセパレータ部材を収容するシリ
ンダ部材と、前記ピストンロッド部材のみを気密に挿通
して、前記シリンダ部材の開口部を閉塞するキャップ部
材と、を具備する流体圧アクチュエータ装置を組み立て
る。
【0020】このような流体圧アクチュエータ装置の組
立方法においては、最初のピストン部材に最初のピスト
ンロッド部材を結合する。前記最初のピストンロッド部
材を最初のセパレータ部材に挿通し、前記最初のピスト
ンロッド部材を中間のピストン部材に嵌合し、前記最初
のピストンロッド部材に前記中間のピストン部材を介し
て中間のピストンロッドを連結し、前記中間のピストン
部材および中間のピストンロッド部材を中間のシリンダ
ライナ部材に嵌入する。前記中間のピストンロッド部材
を最後のセパレータ部材に挿通し、前記中間のピストン
ロッド部材を最後のピストン部材に嵌合し、前記中間の
ピストンロッド部材に前記最後のピストン部材を介して
最後のピストンロッドを連結する。
【0021】シリンダ部材の中空部に最初のシリンダラ
イナ部材を嵌入させ、前記最初のシリンダライナ部材に
前記最初のピストン部材を嵌入させて、前記シリンダ部
材の中空部に、前記全てのピストン部材、全てのピスト
ンロッド部材、全てのセパレータ部材および中間のシリ
ンダライナ部材からなる部分を嵌入させる。前記シリン
ダ部材の中空部内壁と前記最後のピストンとの間に最後
のシリンダライナ部材を嵌入させ、そしてキャップ部材
に前記最後のピストンロッド部材を嵌入し挿通させて、
前記キャップ部材で前記シリンダ部材の中空部開口端を
閉塞する。
【0022】また、上述した流体圧アクチュエータ装置
の他の組立方法では、複数のピストン部材と、前記複数
のピストン部材にそれぞれ結合され、互いに縦続的に連
結可能に形成され、連結状態では前記複数のピストン部
材を貫通してこれら複数のピストン部材をほぼ等間隔で
支持するピストンロッド部材と、ほぼ有底筒状をなして
内部に前記各ピストン部材を気密に且つ所定範囲におい
て摺動可能に収容するシリンダ部材と、前記ピストンロ
ッド部材のみを気密に挿通して、前記シリンダ部材の開
口部を閉塞するキャップ部材とを具備する流体圧アクチ
ュエータ装置を組み立てる。
【0023】このような流体圧アクチュエータ装置の組
立方法においては、最初のピストン部材に最初のピスト
ンロッド部材を結合し、前記最初のピストン部材および
最初のピストンロッド部材をシリンダ部材の中空部に挿
入し、前記最初のピストンロッド部材を最初のセパレー
タ部材に挿通して、該最初のセパレータ部材を前記シリ
ンダ部材の中空部の所定位置に取着し、前記最初のピス
トンロッド部材を中間のピストン部材に結合するステッ
プと、前記最初のピストンロッド部材および前記中間の
ピストン部材に中間のピストンロッドを結合し、前記中
間のピストンロッド部材を最後のセパレータ部材に挿通
して、該最後のセパレータ部材を前記シリンダ部材の中
空部の所定位置に取着し、前記中間のピストンロッド部
材を最後のピストン部材に結合するステップと、前記中
間のピストンロッド部材および前記最後のピストン部材
に最後のピストンロッドを連結し、そしてキャップ部材
に前記最後のピストンロッド部材を嵌入し挿通させて、
前記キャップ部材で前記シリンダ部材の中空部開口端を
閉塞する。上述のような、流体圧アクチュエータ装置の
組立方法により、それぞれの、流体圧アクチュエータ装
置を、適切に且つ確実に組み立てることができる。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて具体的に説明する。図1〜図3は、本発明に
係る流体圧アクチュエータ装置の第1の実施の形態の構
成を示す図である。図1、図2および図3は、それぞれ
流体圧アクチュエータ装置の主要部の構成を示す図3の
B−B線矢視方向断面図、図1におけるA−A線矢視方
向断面図、および左側目図をそれぞれ示している。この
実施の形態は、流体として空気、すなわちエアを用いる
3段構成の空気圧アクチュエータとして構成している。
【0025】図1〜図3に示す空気圧アクチュエータ装
置の主要部は、シリンダ部材としてのシリンダ1、シリ
ンダライナ部材としてのシリンダライナ2,3,4、ラ
イナOリング5,6,7、ピストン部材としてのピスト
ン8,9,10、ピストンOリング11,12,13、
ピストンロッド部材としてのピストンロッド14,1
5,16、セパレータ部材としてのセパレータ17,1
8、セパレータOリング19,20、ロッドOリング2
1,22、キャップ部材としてのキャップ23、キャッ
プOリング24,25、ブッシュ26、C型止め輪2
7、バルブステム28、バルブOリング29,30,3
1、ステムストッパ32および33を具備する。
【0026】シリンダ1は、ほぼ有底円筒状をなし、円
筒状の周側壁の肉厚内に軸方向に延びる第1および第2
のエア通路1Aおよび1Bを有し、側面部の肉厚内に第
3の流体通路としての第3のエア通路1Cを有してい
る。第3のエア通路1Cの一端は、外部に接続されるエ
ア入口1Dに連通している。第1および第2のエア通路
1Aおよび1Bは、各一端が閉塞されており、第1のエ
ア通路1Aは、第1、第2および第3のピストン8,9
および10の各々の最引き込み位置における背面側のシ
リンダ内壁に開口する奥側開口部1E,1Fおよび1G
に連通している。
【0027】第2のエア通路1Bは、第1、第2および
第3のピストン8、9および10の各々の最押し出し位
置における前面側のシリンダ内壁に開口する手前側開口
部1H,1Iおよび1Jに連通している。第1および第
2のエア通路1Aおよび1Bの各他端と第3のエア通路
1Cの他端は、両者に交差するようにシリンダ1の肉厚
内に設けられたバルブ孔1Kに連通している。バルブ孔
1Kには、図3に示すようにシリンダ1の外部に開口す
排出口としての第1および第2の排気口1Lおよび1
Mが設けられている。
【0028】第1、第2および第3のシリンダライナ
2,3および4は、それぞれ両端が開口した円筒状をな
し、各両端開口部の外周面を中間部分の外周面より小径
として段差部2A,2B、3A,3Bおよび4A,4B
が形成されている。第1、第2および第3のシリンダラ
イナ2,3および4の各一方の段差部2A,3Aおよび
4Aには、それぞれ1個以上のすり割り溝2E,3Eお
よび4Eが形成されており、第1、第2および第3のシ
リンダライナ2,3および4の各他方の段差部2B,3
Bおよび4Bには、それぞれ1個以上のすり割り溝2
F,3Fおよび4Fが形成されている。
【0029】これら第1、第2および第3のシリンダラ
イナ2,3および4は、シリンダ1の中空部に、前記各
一方の段差部2A,3Aおよび4Aをシリンダ1の左端
部側に向けて順次配列されて嵌挿される。第1、第2お
よび第3のシリンダライナ2,3および4は、各々の中
間部の外周面にそれぞれ形成されたOリング溝に、ライ
ナOリング5,6および7が嵌め込まれてシリンダ1の
中空部内周面との間が気密にシールされる。
【0030】第1、第2および第3のピストン8,9お
よび10は、ほぼ円盤状をなし、それぞれ第1、第2お
よび第3のシリンダライナ2,3および4の内部に嵌挿
される。第1、第2および第3のピストン8,9および
10は、各々の外周にそれぞれ形成されたOリング溝
に、第1、第2および第3のピストンOリング11,1
2および13が嵌め込まれて、第1、第2および第3の
シリンダライナ2,3および4の内周面との間が気密に
且つ摺動可能にシールされる。
【0031】第1、第2および第3のピストン8,9お
よび10の中心には、板面にそれぞれ垂直に第1、第2
および第3のピストンロッド14,15および16が立
設状態で結合される。第1および第2のピストンロッド
14および15のピストン前面(図1において右面)側
の先端部には雌ねじ部が形成され、且つ第2および第3
のピストンロッド15および16には、ピストン背面側
に突出して前記雌ねじ部に対応する雄ねじ部が形成され
ている。すなわち、第1および第2のピストンロッド1
4および15、ならびに第2および第3のピストンロッ
ド15および16は、前記雌ねじ部および雄ねじ部によ
りねじ結合されて、1本の長尺のピストンロッドとして
機能する。
【0032】第1および第2のセパレータ17および1
8は、それぞれ、シリンダライナ2〜4とほぼ同一の外
径を有し且つ中心部に第1および第2のピストンロッド
14および15を挿通する貫通孔部を有する円盤状をな
して、シリンダ1の中空部の第1のシリンダライナ2と
第2のシリンダライナ3との間および第2のシリンダラ
イナ3と第3のシリンダライナ4との間に嵌挿される。
第1および第2のセパレータ17および18は、それら
の外周面に形成された環状溝に第1および第2のセパレ
ータOリング19および20が嵌め込まれて、第1およ
び第2のセパレータ17および18とシリンダ1の内周
面との間が気密にシールされる。また、第1および第2
のセパレータ17および18の前記貫通孔部の内周面に
も環状溝が形成されており、これらの内周面に設けられ
た環状溝に第1および第2のロッドOリング21および
22が嵌め込まれて、第1および第2のピストンロッド
14および15の外周面との間が気密に且つ摺動可能に
シールされる。
【0033】キャップ部材としてのキャップ23は、セ
パレータ17および18とほぼ同様の円盤状の前面側に
円筒状の部分を突出させてほぼフランジ状に形成され、
第3のシリンダライナ4の前側端面に前記円盤状部分を
当接し、シリンダ1の開口部を閉塞する。このキャップ
23は、外周面に形成された環状溝に第1のキャップO
リング24が嵌め込まれて、該キャップ23とシリンダ
1の開口端部の内周面との間が気密にシールされる。ま
た、キャップ23の中心部の穴部の内周面にも環状溝が
形成されており、この内周面に設けられた段差部に第2
のキャップOリング25が嵌め込まれて、第3のピスト
ンロッド16の外周面との間が気密に且つ摺動可能にシ
ールされる。
【0034】第2のキャップOリング25は、キャップ
23の段差部内の前面側に嵌挿されるブッシュ26によ
りキャップ23の段差との間で保持される。キャップ2
3は、シリンダ1の開口端縁の内周面に形成された環状
溝に嵌め込まれたC型止め輪27により、抜け止めされ
てシリンダ1に固定される。バルブステム28は、外周
面にそれぞれ形成された環状溝に嵌め込まれた第1、第
2および第3のバルブOリング29、30および31の
間に、第2のバルブOリング30により分離される2つ
の小径部を有し、バルブ孔1Kに嵌挿される。すなわ
ち、バルブステム28は、バルブ孔1Kに嵌挿された状
態において、前記2つの小径部により筒状の2室を形成
する。バルブステム28は、両端に固定されて大径部を
形成する第1および第2のステムストッパ32および3
3により脱落が防止されるとともに、バルブ孔1K内に
おける所定範囲内でのスライド移動が許容される。バル
ブステム28が作動ストロークの一端、例えばステムス
トッパ32が突出している側(図2とは逆の状態)、に
位置するときは、前記筒状の2室の一方(図2におい
て、上方)により、第1のエア通路1Aと第3のエア通
路1Cとが連通し、前記筒状の2室の他方により、第2
のエア通路1Bと第2の排気口1Mとが連通する。
【0035】そして、図2に示されるように、バルブス
テム28が前記作動ストロークの他端、すなわち、ステ
ムストッパ33が突出する側、に位置するときは、前記
筒状の2室の一方(図2において、上方)により、第1
のエア通路1Aと第1の排気口1Lとが連通し、前記筒
状の2室の他方(図において下方)により、第2のエア
通路1Bと第3のエア通路1Cとが連通する。図1およ
び図2に示すように、第1〜第3のピストン8〜10
は、シリンダ1の底面、セパレータ17,18およびキ
ャップ23により作動ストロークの他端(図1において
右端)が規制される。
【0036】また第1〜第3のピストン8〜10の作動
ストロークの一端側、すなわち最引き込み(図1におい
て左端)側は、第1〜第3のシリンダライナ2〜4によ
り位置規制される。ピストン8〜10は、第1〜第3の
シリンダライナ2〜4により規制される。第1〜第3の
ピストン8〜10が最引き込み側、あるいは最押し出し
側のいずれに位置する状態でも、第1〜第3のピストン
8〜10の背面側(図1において左面側)は、第1〜第
3のシリンダライナ2〜4のすり割り溝2E〜4Eから
なる貫通孔を介して奥側の段差部2A〜4Aにより形成
される円環状の通路に連通し、さらに奥側開口部1E〜
1Gを介して第1のエア通路1Aに連通している。
【0037】また、第1〜第3のピストン8〜10の前
面側は、第1〜第3のシリンダライナ2〜4のすり割り
溝2F〜4Fからなる通孔を介して手前側の段差部2B
〜4Bにより形成される円環状の通路に連通し、さらに
手前側開口部1H〜1Jを介して第2のエア通路1Bに
連通している。したがって、押し出し操作時には、図1
および図2に示したように、当初ピストン8〜10が最
引き込み側に位置しており、バルブステム28が図とは
逆のステムストッパ32側に偏倚している状態で、コン
プレッサ等から高圧エアをエア入口1Dに注入する。
【0038】すると、エア入口1Dに注入されたエア
は、第3のエア通路1Cから、バルブステム28により
第1のエア通路1Aに導かれ、奥側開口部1E〜1Gを
介して、シリンダライナ2〜4の段差部2A〜4Aと、
セパレータ17および18の壁面と、シリンダ1の底面
および内周壁と、により形成される環状溝部に注入され
る。この環状溝部に注入されたエアは、さらにすり割り
溝2E〜4Eと、シリンダ1の底面、セパレータ17お
よび18の壁面と、により形成される開口部からピスト
ン11〜13の背面側(図1において左面側)に導か
れ、ピストン8〜10を前方(右方)に向けて押圧す
る。
【0039】一方、ピストン8〜10の前面側は、すり
割り溝2F〜4Fと、セパレータ17,18およびキャ
ップ23の壁面と、により形成される開口部から、シリ
ンダライナ2〜4の段差部2B〜4Bと、セパレータ1
7,18およびキャップ23の壁面と、シリンダ1の内
周壁と、により形成される環状溝部に連通している。こ
の環状溝部は、さらに手前側開口部1H〜1Jおよび第
2のエア通路1Bを介して、バルブステム28により排
気口1Mに連通している。こうして、ピストン8〜10
は、背面側を前方に向けて押圧され、前面側は無理なく
排気されるので、前方に押し出され、ピストンロッド1
4〜16が押し出し操作される。
【0040】また、引き込み操作時には、図1および図
2とは逆に、当初ピストン11〜13が最押し出し側に
位置しており、バルブステム28が図1および図2と同
様にステムストッパ33側に偏倚している状態で、コン
プレッサ等から高圧エアをエア入口1Dに注入する。す
ると、エア入口1Dに注入されたエアは、第3のエア通
路1Cから、バルブステム28により第2のエア通路1
Bに導かれ、手前側開口部1H〜1Jを介して、シリン
ダライナ2〜4の段差部2B〜4Bと、セパレータ1
7、18およびキャップ23の壁面と、シリンダ1の内
周壁と、により形成される環状溝部に注入される。
【0041】この環状溝部に導入されたエアは、さらに
すり割り溝2F〜4Fと、セパレータ17、18および
キャップ23の壁面と、により形成される開口部からピ
ストン8〜10の前面側に導かれ、ピストン8〜10を
後方(左方)側に押圧する。一方、ピストン8〜10の
背面側は、すり割り溝2E〜4Eと、シリンダ1の底
面、セパレータ17および18の壁面と、により形成さ
れる開口部から、シリンダライナ2〜4の段差部2A〜
4Aと、セパレータ17,18の壁面と、シリンダ1の
底面および内周壁と、により形成される環状溝部に連通
している。この環状溝部は、さらに奥側開口部1E〜1
Gおよび第1のエア通路1Aを介して、バルブステム2
8により排気口1Lに連通している。
【0042】こうして、ピストンは、前面側を押
圧され、背面側は無理なく排気されるので、後方に引き
込まれ、ピストンロッド14〜16が引き込み作動す
る。すなわち、バルブステム28のスライド操作によ
り、押し出し/引き込みの作動切換を容易に行うことが
でき、しかもピストン8〜10に対応する各シリンダ室
へのエアの導入/排気は、全てシリンダ1の肉厚内に形
成した通路を介して行われるので、面倒な配管を行う必
要がなく、全体も小型化し易い。なお、セパレータ17
および18は、シリンダライナ2〜4と一体に形成して
もよい。
【0043】次に、このような構成の空気圧アクチュエ
ータ装置の製造および組立について説明する。シリンダ
1は、アルミニウム(A6063)により鋳造され、中
空部等の内面の切削加工が施された後、アルマイト処理
されて形成される。シリンダライナ2,3,4、ピスト
ン8,9,10、セパレータ17,18およびキャップ
23は、耐摩耗性および耐食性の優れたアルミニウム
(A5056)により、切削形成される。そして、ピス
トンロッド14,15および16は、ステンレス鋼(3
03)により切削形成される。
【0044】まず、鋳造されたシリンダ1の加工および
組立について説明する。 (1-1) シリンダ1に、シリンダライナ2〜4、セパレ
ータ17、18およびキャップ23を嵌入保持する中空
部およびC型止め輪27を嵌合させる内周面の周回溝を
切削加工する。 (1-2) エア入口1Dを穿設し、外部配管接続用の雌ね
じ加工をする。 (1-3) 図1の上方から第3の流体通路としての第3の
エア通路1Cを穿設する。 (1-4) 図1の左方、つまりシリンダ1の底面側から、
シリンダ1の筒状の周壁の肉厚内にエア通路1Aおよび
1Bを穿設する。
【0045】(1-5) シリンダ1の外周面からエア通路
1Aおよび1Bを通してシリンダ1の中空部の内周面の
所定位置に開口する貫通孔を穿設して、開口部1E〜1
Gおよび開口部1H〜1Jを形成する。 (1-6) 開口部1E〜1Jを形成するための捨て穴、エ
ア通路1A〜1Cを形成するための捨て穴をタッピング
して雌ねじ加工を行う。 (1-7) 工程(1-6) で形成した捨て穴にいわゆるイモね
じ等のめくらねじをねじ込む。このとき、シールを完全
にするために、市販のテフロン(商標:4フッ化エチレ
ン樹脂)シール付きの止めねじをめくらねじとして用い
るか、接着剤等のいわゆるねじロック、ロックタイト
(商標)等を外周に塗布してめくらねじをねじ込むこと
が望ましい。
【0046】次に、空気圧アクチュエータ装置全体の組
立について説明する。 (2-1) 第1のピストン8に、第1のピストンロッド1
4をねじ込んで立設状態に結合する。 (2-2) 第1のピストンロッド14の先端部(図1にお
ける右端部)を、セパレータ17の穴部に挿入する。 (2-3) 第1のピストンロッド14の先端を第2のピス
トン9に形成された凹部に嵌入させる。 (2-4) 第1のピストンロッド14の先端(図1におけ
る右端)のねじ孔に第2のピストンロッド15の後端部
(図1における左端部)のねじ部をねじ込み、第2のピ
ストン9を第1および第2のピストンロッド14および
15に固定する。
【0047】(2-5) 第2のピストン9の外周にシリン
ダライナ3を嵌合させる。 (2-6) 第2のピストンロッド15の先端部をセパレー
タ18の穴部に挿入する。 (2-9) 第2のピストンロッド15の先端を第3のピス
トン10に形成された凹部に嵌入させる。 (2-10) 第1のピストン8を、チャッキングして回り止
めした状態で、第3のピストンロッド16の端部を第2
のピストンロッド15の先端にねじ込み、第3のピスト
ン10を第1および第2のピストンロッド15および1
6に固定する。
【0048】(2-11) シリンダライナ2をシリンダ1の
中空部に嵌入させる。 (2-12) ステップ(2-10)で形成されるユニットのうちの
ピストン8部分をシリンダ2内に挿入する。 (2-13) この状態でシリンダ1の中空部と、ピストン1
0との間に、シリンダライナ4を嵌入する。 (2-14) 予めキャップ23にキャップOリング25およ
びブッシュ26を圧入して、ユニットとしておく。 (2-15) ステップ(2-14)のユニットに、ピストンロッド
16の先端部を挿通する。
【0049】(2-16) キャップ23の前面(図1の右
側)のシリンダ1の中空部内面に形成された円環状内周
溝に、C型止め輪27を係合させ、キャップ23を固定
する。なお、シリンダライナ2〜4、セパレータ17,
18、およびピストン8〜10には組み込む前に、予め
各Oリング5〜7,19,20、および11〜13をそ
れぞれ嵌めておくものとする。そして、切換バルブ部分
の組立について説明する。 (3-1) バルブステム28の外周面の2つの小径部を挟
むように設けた周回溝にバルブOリング29〜31を嵌
め込む。 (3-2) ステムストッパ32および33の一方を、バル
ブステム28の一端にねじ込んで固定する。
【0050】(3-3) バルブステム28を、シリンダ1
のバルブ孔1Kに嵌入する。 (3-4) バルブステム28の他端に、ステムストッパ3
2および33の他方をねじ込んで固定する。なお、上述
では、3段構成とした場合について詳細に説明したが、
1段構成、2段構成または4段以上の構成とした場合に
も上述とほぼ同様にして構成することができる。
【0051】上述した本発明の第1の実施の形態に係る
流体圧アクチュエータ装置は、シリンダ1の内部にシリ
ンダライナ2〜4を設けているので、シリンダ1自体の
素材、内面の仕上げ、耐食性、あるいは耐摩耗性にさほ
ど気を使う必要がないので、少量生産に適する鋳造によ
り成型したシリンダ1とすることもでき、シリンダ1の
材料および成型法にかかわらず有効である。
【0052】図4および図5は、本発明に係る流体圧ア
クチュエータ装置の第2の実施の形態の構成を示す図で
ある。図4は、図5に示す流体圧アクチュエータ装置の
C−C線矢視方向断面図、図5は、流体圧アクチュエー
タ装置の正面図をそれぞれ示している。この実施の形態
も、操作流体として空気すなわちエアを用いる2段構成
の空気圧アクチュエータとして構成している。
【0053】図4および図5に示す空気圧アクチュエー
タ装置の主要部は、シリンダ部材としてのシリンダ5
1、ピストン部材としてのピストン52,53、ピスト
ンOリング54,55、ピストンロッド部材としてのピ
ストンロッド56,57、セパレータ部材としてのセパ
レータ58、セパレータOリング59、ロッドOリング
60、キャップ部材としてのキャップ61、キャップO
リング62,63、ブッシュ64、C型止め輪65,6
6,67、バルブステム68、ステムストッパ69,7
0およびキャップスクリュー71を具備する。
【0054】シリンダ51は、ほぼ有底円筒状をなし、
図1のシリンダ1とほぼ同様に、円筒状の周側壁の肉厚
内に軸方向に延びる第1および第2の流体通路としての
第1および第2のエア通路51Aおよび51Bを有し、
底面部の肉厚内に第3のエア通路51Cを有している。
第3のエア通路51Cの一端は、外部に接続されるエア
入口51Dに連通している。第1および第2のエア通路
51Aおよび51Bは、各一端が閉塞されており、第1
のエア通路1Aは、第1および第2のピストン52お
よび53の各々の最引き込み位置における背面側のシリ
ンダ内壁に開口する奥側開口部51Eおよび51Fに連
通している。
【0055】第2のエア通路51Bは、第1および第2
のピストン52および53の各々の最押し出し位置にお
ける前面側のシリンダ内壁に開口する手前側開口部51
Gおよび51Hに連通している。第1および第2のエア
通路51Aおよび51Bの各他端と第3のエア通路51
Cの他端は、両者に交差するようにシリンダ51の肉厚
内に設けられたバルブ孔51Iに連通している。バルブ
孔51Iには、シリンダ51の外部に開口する第1およ
び第2の排気口51Jおよび51Kが設けられている。
【0056】第1および第2のピストン52および53
は、ほぼ円盤状をなし、それぞれシリンダ51の中空部
内に嵌挿される。第1および第2のピストン52および
53は、各々の外周にそれぞれ形成されたOリング溝
に、第1および第2のピストンOリング54および55
が嵌め込まれて、シリンダ51の内周面との間が気密に
且つ摺動可能にシールされる。第1および第2のピスト
ン52および53の中心には、その板面にそれぞれ垂直
に第1および第2のピストンロッド56および57が立
設(結合)される。第1のピストンロッド56のピスト
ン前面側の先端部には雌ねじ部が形成され、且つ第2の
ピストンロッド57には、ピストン背面側に突出して前
記雌ねじ部に対応する雄ねじ部が形成されている。
【0057】すなわち、第1および第2のピストンロッ
ド56および57は、前記雌ねじ部および雄ねじ部によ
りねじ結合されて、1本の長尺のピストンロッドとして
機能する。セパレータ58は、シリンダ51内径に対応
する外径を有し且つ中心部に第1のピストンロッド56
を挿通する穴部を有する円盤状をなしており、シリンダ
51の中空部の中間位置に嵌挿される。セパレータ58
は、外周面に形成された環状溝にセパレータOリング5
9が嵌め込まれて、セパレータ58とシリンダ51の内
周面との間が気密にシールされる。このセパレータ58
は、それぞれシリンダ51の内周面に形成された環状溝
に嵌合するC型止め輪65および66により、前後方向
(図4においては左右方向)から挟持されてシリンダ5
1の内周壁に固定される。
【0058】また、セパレータ58の前記穴部の内周面
にも環状溝が形成されており、この内周面に設けられた
環状溝にロッドOリング60が嵌め込まれて、第1のピ
ストンロッド56の外周面との間が気密に且つ摺動可能
にシールされる。キャップ61は、セパレータ58とほ
ぼ同様の円盤状をなし、その前面側に円筒状の部分を突
出させてほぼフランジ状に形成され、シリンダ51の開
口端部に形成された段差部に背面の外周部を係合させ
て、シリンダ51の開口部を閉塞する。キャップ61
は、外周面に形成された環状溝に第1のキャップOリン
グ62が嵌め込まれて、該キャップ61とシリンダ51
の開口端部の内周面との間が気密にシールされる。
【0059】また、キャップ61の中心部の穴部の内周
面にも環状溝が形成されており、この内周面に設けられ
た段差部に第2のキャップOリング63が嵌め込まれ
て、第2のピストンロッド57の外周面との間が気密に
且つ摺動可能にシールされる。第2のキャップOリング
63は、キャップ61の段差部内の前面側に嵌挿される
ブッシュ64によりキャップ61の段差との間で保持さ
れる。キャップ61は、シリンダ51の開口端縁の内周
面に形成された環状溝に嵌め込まれたC型止め輪67に
より、抜け止めされてシリンダ51に固定される。
【0060】バルブステム68は、図示していないが、
図1〜図3の場合と同様に、分離された2つの小径部を
有し、バルブ孔51Iに嵌挿される。すなわち、バルブ
ステム68は、バルブ孔51Iに嵌挿された状態におい
て、前記2つの小径部により筒状の2室を形成する。バ
ルブステム68は、両端に固定されて大径部を形成する
第1および第2のステムストッパ69および70により
脱落が防止されるとともに、バルブ孔51I内における
所定範囲内でのスライド移動が許容される。バルブステ
ム68が動作ストロークの一端、ステムストッパ69側
(図5とは逆の状態)、に位置するときは、前記筒状の
2室の一方により、第1のエア通路51Aと第3のエア
通路51Cとが連通し、前記筒状の2室の他方により、
第2のエア通路51Bと第2の排気口51Kとが連通す
る。
【0061】そして、図5に示されるように、バルブス
テム68が前記動作ストロークの他端、ステムストッパ
70側、に位置するときは、前記筒状の2室の一方によ
り、第1のエア通路51Aと第1の排気口51Jとが連
通し、前記筒状の2室の他方により、第2のエア通路5
1Bと第3のエア通路51Cとが連通する。図4に示す
ように、第1および第2のピストン52および53が、
シリンダ51の底面、セパレータ58およびキャップ6
1により規制される動作ストロークの一端、すなわち最
引き込み側に位置する状態でも、その逆に第1および
2のピストン52および53が、前記動作ストロークの
他端すなわち最押し出し側に位置する状態でも、第1
および第2のピストン52および53の背面側は、奥側
開口部51Eおよび51Fを介して第1のエア通路51
Aに連通している。同様に、第1および第2のピストン
52および53の前面側は、手前側開口部51Gおよび
51Hを介して第2のエア通路51Bに連通している。
【0062】キャップスクリュー71は、組立時にピス
トンロッド56の回り止めに用いる穴を塞いでシリンダ
51内を気密にする。したがって、押し出し操作時に
は、図4に示したように、ピストン52および53が最
引き込み側に位置しており、バルブステム68が図5に
示す状態とは逆のステムストッパ69側に偏倚している
状態で、コンプレッサ等から高圧エアをエア入口51D
に注入する。エア入口51Dに注入されたエアは、第3
のエア通路51Cから、バルブステム68により第1の
エア通路51Aに導かれ、奥側開口部51Eおよび51
Fを介して、ピストン52および53の背面側に導か
れ、ピストン52および53を前方(図4において右
方)に向けて押圧する。
【0063】一方、ピストン52および53の前面側
は、手前側開口部51Gおよび51Hおよび第2のエア
通路51Bを介して、バルブステム68により排気口5
1Kに連通している。こうして、ピストン52および5
3は、背面側を前方に向けて押圧され、前面側は無理な
く排気されるので、前方に押し出され、ピストンロッド
56および57が押し出し駆動される。また、引き込み
操作時には、図4とは逆に、ピストン52および53が
最押し出し側に位置しており、バルブステム68が図4
と同様にステムストッパ70側に偏倚している状態で、
コンプレッサ等から高圧エアをエア入口51Dに注入す
る。
【0064】すると、エア入口51Dに注入されたエア
は、第3のエア通路51Cから、バルブステム68によ
り第2のエア通路51Bに導かれ、手前側開口部51G
および51Hを介して、ピストン52および53の前面
側に導かれ、ピストン52および53を後方に向けて押
圧する。一方、ピストン52および53の背面側は、奥
側開口部51Eおよび51Fおよび第1のエア通路51
Aを介して、バルブステム68により排気口51Jに連
通している。こうして、ピストン52および53は、前
面側を後方に向けて押圧され、背面側は無理なく排気さ
れるので、後方に引き込まれ、ピストンロッド56およ
び57が引き込み操作される。
【0065】すなわち、バルブステム68のスライド操
作により、押し出し/引き込みの作動切換を容易に行う
ことができ、しかもピストン52および53に対応する
各シリンダ室へのエアの導入/排気は、全てシリンダ5
1の肉厚内に形成した通路を介して行われるので、面倒
な配管を行う必要がなく、全体も小型化し易い。なお、
セパレータ58は、シリンダ51と一体に形成してもよ
い。
【0066】次に、このような構成の空気圧アクチュエ
ータ装置の製造および組立について説明する。シリンダ
51は、アルミニウム(A6063)により押し出し成
型され、中空部等の内面の切削加工が施された後、必要
に応じてアルマイト処理されて形成される。ピストン5
2,53、セパレータ58およびキャップ61は、耐摩
耗性および耐食性の優れたアルミニウム(A5056)
により、切削形成される。そして、ピストンロッド56
および57は、ステンレス鋼(303)により切削形成
される。
【0067】(1) 最初のピストン52に、最初のピス
トンロッド56をねじ込んで立設する。 (2) このステップ(1) で形成されたユニットをシリン
ダ51の中空部に挿入する。 (3) C型止め輪65を、シリンダ51の内周面の周回
溝に係合させる。 (4) シリンダ51の中空部内部にセパレータ58を挿
入する。 (5) シリンダ51の内周面の周回溝に、C型止め輪6
6を係合させて、セパレータ58を固定する。
【0068】(6) 最初のピストンロッド56の先端を
中間のピストン53に形成された凹部に嵌入させる。 (7) 中間のピストンロッド57の端部を、最初のピス
トンロッド56の先端にねじ込み、中間のピストン53
を最初のピストンロッド56および57に挟持固定す
る。このとき、最初のピストンロッド56に予め形成し
ておいたドライバ溝にドライバを差し込んで、回り止め
を行った状態で、第2のピストンロッド57をねじ込
む。
【0069】(8) 予めキャップOリング62,63お
よびブッシュ64を取り付けてユニット化したキャップ
61を、シリンダ51の中空部内壁と、第2のピストン
ロッド57との間に嵌入させる。 (9) キャップ61の前面(図4の右側)のシリンダ5
1中空部内面の円環状内周溝に、C型止め輪67を係合
させ、キャップ61を固定する。 (10) 第1のピストンロッド56の回り止めにドライバ
を挿通するために用いたシリンダ51の通孔にキャップ
スクリュー71をねじ込む。 (11) バルブステム68、ステムストッパ69および7
0等からなるバルブユニットの組み立ておよびシリンダ
51への組み付けを行う。
【0070】(12) シリンダ51の加工時に形成された
各捨て穴にそれぞれめくらねじをねじ込む。この場合
も、シールを完全にするために、市販のテフロン(商
標:4フッ化エチレン樹脂)シール付きの止めねじをめ
くらねじとして用いるか、接着剤あるいはいわゆるねじ
ロック(商標)、ロックタイト(商標)等を外周に塗布
してめくらねじをねじ込むことが望ましい。なお、上述
では、2段構成とした場合について詳細に説明したが、
1段構成または3段以上の構成の場合にも上述とほぼ同
様にして構成することができる。
【0071】上述した本発明の第2の実施の形態に係る
流体圧アクチュエータ装置は、シリンダ51の内部にシ
リンダライナを設けていないので、構成が簡単であり、
シリンダ51自体が、十分な内面の仕上げ、耐食性、お
よび耐摩耗性を得ることができる場合に適する構成であ
る。特に、鋳造に比して、高い強度を得ることができ、
肉厚を薄くすることができる押し出し成型等の塑性加工
により、シリンダ51を形成する場合には最適である。
もちろん、本発明は、空気圧を用いたアクチュエータ装
置に限らず、他のガス圧、油圧および水圧等の各種流体
圧を用いたアクチュエータ装置に適用することができ
る。
【0072】また、バルブ部材は、手動で切換作動され
る場合に限らず、電磁ソレノイド等により切換作動され
るように構成してもよい。電磁ソレノイドを用いた場合
には、遠隔地点より、リモートコントロールにより、切
換制御および自動制御が可能となり、至便なものとな
る。また、流体圧の供給口であるエア入口1D(51
D)に、いわゆるクイックカプラーまたはワンタッチカ
プラーと称される接続金具の一方を装着しておけば、配
管パイプをワンタッチで接続でき便宜である。
【0073】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、請求項1の
発明によれば、シリンダ部材の筒状の周壁部の肉厚肉
に、複数のピストン部材の一側および他側に作動流体を
交互に供給するための第1および第2の流体通路を軸方
向に沿って形成し、且つ前記第1および第2の流体通路
に連結され外部に開口して圧力媒体である流体の導入路
を形成する第3の流体通路を有するとともに、前記第3
の流体通路への連結部において前記第1および第2の流
体通路にそれぞれ連結する第1および第2の排出口を設
けて一体に形成し、さらに、これら流体通路の連結部に
第1および第2の流体通路と交差するように設けられた
バルブ孔に嵌挿され外部操作に応動して第1および第2
の流体通路の一方を選択的に第3の流体通路に連通させ
且つ他方を前記第1および第2の排出口の少なくとも一
方に連通させ、他方側に位置しているときは第1および
第2の流体通路の他方を選択的に第3の流体通路に連通
させ且つ一方を第1および第2の排出口の他方に連通さ
るバルブ部材を併設したので、従来の流体圧アクチュ
エータ装置の場合、作動流体の切換用のさほど小型とは
いえないバルブユニットが別途必要であったが、本発明
の場合それが不要となりアクチュエータ装置のシステム
全体からみれば、コスト的に有利となるばかりでなく小
型化が実現され、さらには、作動流体を生成するコンプ
レッサからアクチュエータ装置に作動流体を導く配管パ
イプに関してみれば、従来のアクチュエータ装置の場
合、複数のピストン部材を備えたアクチュエータ装置で
は、ピストンの一面側と他面側に流動体を導く配管パイ
プがそれぞれ必要であり、そのため例えば切削機械等に
設置したときに切粉等による配管パイプへの損傷に対す
る保護措置を施さなければならないが、本発明ではシリ
ンダ部材の一部に開口せしめた第3の流体通路に配管パ
イプを1本だけ接続すればよいから、配管パイプが大幅
に節減でき配管作業が簡易となり、配管設置作業コスト
を大幅に低減化できると共に、切削機械等に設置した場
合、配管パイプが作業の支障となることがなくなり、切
粉等による配管パイプの保護手段を特別設ける必要のな
い流体圧アクチュエータ装置を提供することができる。
【0074】また、請求項1に記載の発明によれば、シ
リンダの内部にシリンダライナ部材を設けているので、
シリンダ自体の素材、内面の仕上げ精度、耐食性あるい
は対摩耗性にさほど気を使う必要がなく、鋳鉄など材料
コストの低い材料を用いることができ、鋳物による成型
で足りるから製造コストの低減化を図ることができる。
【0075】また、請求項に記載の発明によれば、単
一のシリンダ部材内に複数のピストン部材とピストンロ
ッド部材を縦列状に連結すると共に、隣接するピストン
部材の間をセパレータ部材で気密状態に仕切り、このセ
パレータ部材に気密に挿通されたピストンロッド部材
往復動可能になるように構成したので、従来のように複
数のシリンダを順に接合するように組立てるものに比
べ、部品点数および機械加工工数並びに組立工程数を大
幅に削減化すると共に組付精度が格段に向上する流体圧
アクチュエータ装置を提供することができる。
【0076】また、複数のピストン部材をそれぞれセパ
レータ部材により隔絶し、ピストンロッド部材を縦列状
に連結したので、ピストン部材の受圧面積が同じでシリ
ンダ部材に印加される流体の圧力が同じであるとすれ
ば、1つのピストン部材からなる流体圧アクチュエータ
装置に比べ本発明に係る流体アクチュエータは、ピスト
ン部材の個数(N個)に概ね匹敵する分だけ増倍(N倍
弱)された作動力(推力)が得られると共に、各シリン
ダ室の圧力は、1個のピストンを作動させる場合に比べ
概ね1/Nの圧力となるので、その分一体成型されたシ
リンダの肉厚も概ね1/Nで足りることとなり、小型
化、軽量化を図ることができる。
【0077】また、請求項の記載の発明によれば1つ
のピストン部材からなる流体アクチュエータ装置に比べ
ピストン部材の直径を小さくしつつ大きな推力が得られ
るから必要出力に対し、スペース(特に直径方向のスペ
ース)の関係で設置できなかったような個所にも設置が
可能になる。
【0078】
【0079】
【0080】請求項に記載の発明によれば、請求項1
に記載の発明と同様にシリンダ部材の内部にバルブ部材
を設けたので、別途作動流体切換用のバルブを設ける必
要がなくなり配管パイプも1本で足りるため、配管資
材、配管作業が節減化されまた配管パイプの存在による
スペースの節減、配管パイプの保護などの手段を施す必
要がない。
【0081】また、請求項に記載の発明によれば、シ
リンダ部材の内部にシリンダライナ部材を設けていない
ので、構成が簡単でありシリンダ部材自体が十分な内面
の仕上げ、対摩耗性、および耐食性を得ることができる
場合に適する構成であり、例えば材料としてアルミニウ
ムを用いた場合には押し出し成型等の粗性加工が可能と
なり、製造コストの低減化を実現できると共に、鋳物に
比べ高い強度を有し、肉厚を薄くすることができその分
小型・軽量化を実現し得る流体圧アクチュエータ装置を
提供することができる。
【0082】請求項に記載の発明によれば、上記請求
に記載の発明と同様に、単一のシリンダ部材内に複
数のピストン部材とピストンロッド部材を縦列状に連結
すると共に、隣接するピストン部材の間をセパレータ部
材で気密状態に仕切り、このセパレータ部材に気密に挿
通されたピストンロッドを往復動可能になるように構成
したので、従来のように複数のシリンダを順に接合する
ように組立てるものに比べ、部品点数および機械加工工
数並びに組立工程数を大幅に削減化すると共に組付精度
が格段に向上する流体圧アクチュエータ装置を提供する
ことができる。
【0083】また、複数のピストン部材をそれぞれセパ
レータ部材により隔絶し、ピストンロッド部材を縦列状
に連結したので、ピストン部材の受圧面積が同じでシリ
ンダ部材に印加される流体の圧力が同じであるとすれ
ば、1つのピストン部材からなる流体圧アクチュエータ
装置に比べ本発明に係る流体アクチュエータは、ピスト
ン部材の個数(N個)に概ね匹敵する分だけ増倍(多段
に構成した場合、ピストンロッド部材の断面積の分だけ
ピストン部材の受圧面積が減るので、厳密にはN倍弱)
された作動力(推力)が得られると共に、各シリンダ室
の圧力は、1個のピストンを作動させる場合に比べ概ね
1/Nの圧力となるので、その分一体成型されたシリン
ダの肉厚も概ね1/Nで足りることとなり、小型化、軽
量化を図ることができる。
【0084】また、請求項の記載の発明によれば1つ
のピストン部材からなる流体アクチュエータ装置に比べ
ピストン部材の直径を小さくしつつ大きな推力が得られ
るから必要出力に対し、スペース(特に直径方向のスペ
ース)の関係で設置できなかったような個所にも設置が
可能になる。また、請求項に記載の発明によっても、
上述した請求項の発明と同様の効果を奏する流体圧ア
クチュエータ装置を提供することができる。
【0085】請求項およびに記載の発明に係る組立
方法によれば、請求項およびに記載の発明のような
流体圧アクチュエータ装置を確実、迅速且つ正確に組立
てることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態に係る流体圧アク
チュエータ装置の主要部の構成を示す図3のB−B線矢
視方向断面図である。
【図2】 図1のA−A線矢視方向断面図である。
【図3】 図1の流体圧アクチュエータ装置の左側面図
である。
【図4】 本発明の第2の実施の形態に係る流体圧アク
チュエータ装置の主要部の構成を示す図5のC−C線矢
視方向縦断面図である。
【図5】 図4の流体圧アクチュエータ装置左側面図で
ある。
【符号の説明】
1,51 シリンダ 2,3,4 シリンダライナ 5,6,7,11,12,13,19,20,21,2
2,24,25,29,30,31,54,55,5
9,60,62,63 Oリング 8,9,10,52,53 ピストン 14,15,16,56,57 ピストンロッド 17,18,58 セパレータ 23,61 キャップ 26,64 ブッシュ 27,65,66,67 C型止め輪 28,68 バルブステム 32,33,69,70 ステムストッパ 71 キャップスクリュー

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のピストン部材と、 この複数のピストン部材のうちの最も内側のピストン部
    に結合され、且つ他のピストン部材と次々に連結して
    これら他のピストン部材を隔離して支持するピストンロ
    ッド部材と、 それぞれ、両端が開口した筒状をなし、内部に前記各ピ
    ストン部材を気密に且つ所定範囲において摺動可能に収
    容するとともに、前記各ピストン部材の摺動範囲の両端
    にそれぞれ開口する第1および第2の開口部を形成する
    複数のシリンダライナ部材と、 前記ピストンロッド部材を気密に挿通し、前記複数のシ
    リンダライナ部材の間を閉塞して、各シリンダライナ部
    材で形成されるシリンダ室を隔離する前記ピストン部材
    の数より1つ少ない個数のセパレータ部材と、 ほぼ有底筒状をなして前記複数のシリンダライナおよび
    セパレータ部材を収容し、前記複数のシリンダライナ部
    材の前記各第1の開口部に連通する第1の流体通路およ
    び前記複数のシリンダライナ部材の前記各第2の開口部
    に連通する第2の流体通路を筒状の周側壁の肉厚内に形
    成し、且つ軸方向に沿う前記第1および第2の流体通路
    に連結され外部に開口して圧力媒体である流体の導入路
    を形成する第3の流体通路を有するとともに、前記第3
    の流体通路への連結部において前記第1および第2の流
    体通路にそれぞれ連結する第1および第2の排出口を設
    けて一体に形成された1個のシリンダ部材と、 前記シリンダ部材の前記第1および第2の流体通路と第
    3の流体通路との連結部に前記第1および第2の流体通
    路と交差するように設けられたバルブ孔に嵌挿され所定
    範囲内のスライド移動が許容され、外部操作に応動して
    一方側に位置しているときは前記第1および第2の流体
    通路の一方を選択的に前記第3の流体通路に連通させ且
    つ他方を前記第1および第2の排出口の少なくとも一方
    に連通させ、他方側に位置しているときは前記第1およ
    び第2の流体通路の他方を選択的に前記第3の流体通路
    に連通させ且つ一方を前記第1および第2の排出口の他
    方に連通させるバルブ部材と、 前記ピストンロッド部材のみを気密に挿通し前記複数の
    シリンダライナ部材の うち、最も外側のシリンダライナ
    部材と当接しその抜け止めをし且つ前記シリンダ部材の
    開口部を閉塞するキャップ部材とを具備することを特徴
    とする流体圧アクチュエータ装置。
  2. 【請求項2】 複数のピストン部材と、 前記複数のピストン部材のうちの最も内側のピストン部
    に結合され、且つ他のピストン部材を貫通してこれら
    他のピストン部材を次々に等間隔で支持するピストンロ
    ッド部材と、前記ピストンロッド部材を気密に挿通し、前記各ピスト
    ン部材の移動範囲だけ間隔を開けて配置される少なくと
    も1つのセパレータ部材と、 ほぼ有底筒状をなして内部に前記各ピストン部材を気密
    に且つ前記セパレータ部材で気密に隔離された所定範囲
    において摺動可能に収容するとともに、前記各ピストン
    部材の摺動範囲の一端にそれぞれ開口する第1の流体通
    路および前記各ピストン部材の摺動範囲の他端にそれぞ
    れ開口する第2の流体通路を筒状の周側壁の肉厚内に形
    成し、且つ軸方向に沿う前記第1および第2の流体通路
    に連結され外部に開口して圧力媒体である流体の導入路
    を形成する第3の流体通路を有するとともに、前記第3
    の流体通路への連結部において前記第1および第2の流
    体通路にそれぞれ連結する第1および第2の排出口を設
    けて一体に形成された1個のシリンダ部材と、 前記シリンダ部材の前記第1および第2の流体通路と第
    3の流体通路との連結部に前記第1および第2の流体通
    路と交差するように設けられたバルブ孔に挿通され所定
    範囲のスライド移動が許容され、外部操作に応動して
    方側に位置しているときは前記第1および第2の流体通
    路の一方を選択的に前記第3の流体通路に連通させ且つ
    他方を前記第1および第2の排出口の少なくとも一方に
    連通させ、他方側に位置しているときは前記第1および
    第2の流体通路の他方を選択的に前記第3の流体通路に
    連通させ且つ一方を前記第1および第2の排出口の他方
    に連通させるバルブ部材と、 前記ピストンロッド部材のみを気密に挿通して、前記シ
    リンダ部材の開口部を閉塞するキャップ部材とを具備す
    ることを特徴とする流体圧アクチュエータ装置。
  3. 【請求項3】 複数のピストン部材と、前記複数のピス
    トン部材にそれぞれ結合され、互いに縦続的に連結可能
    に形成され、連結状態では前記複数のピストン部材を貫
    通してこれら複数のピストン部材をほぼ等間隔で支持す
    るピストンロッド部材と、それぞれ、両端が開口した筒
    状をなし、内部に前記各ピストン部材を気密に且つ所定
    範囲において摺動可能に収容すると共に、前記各ピスト
    ン部材の摺動範囲の両端にそれぞれ開口する第1および
    第2の開口部を形成する複数のシリンダライナ部材と、
    前記ピストンロッド部材を気密に挿通し、前記複数のシ
    リンダライナ部材の間を閉塞して、各シリンダライナ部
    材で形成されるシリンダ室を隔離する前記ピストン部材
    の数より1つ少ない個数のセパレータ部材と、ほぼ有底
    筒状をなして前記複数のシリンダライナおよびセパレー
    タ部材を収容し、前記複数のシリンダライナ部材の前記
    各第1の開口部に連通する第1の流体通路および前記複
    数のシリンダライナ部材の前記各第2の開口部に連通す
    る第2の流体通路を筒状の周側壁の肉厚内に軸方向に沿
    って形成し、且つ前記第1および第2の流体通路に連結
    され外部に開口して圧力媒体である流体の導入路を形成
    する第3の流体通路を有するとともに、前記第3の流体
    通路への連結部において前記第1および第2の流体通路
    にそれぞれ連結する第1および第2の排出口を設けて一
    体に形成された1個のシリンダ部材と、前記シリンダ部
    材の前記第1および第2の流体通路と第3の流体通路と
    の連結部に前記第1および第2の流体通路と交差するよ
    うに設けられたバルブ孔に嵌挿され所定範囲内のスライ
    ド移動が許容され、外部操作に応動して一方側に位置し
    ているときは前記第1および第2の流体通路の一方を選
    択的に前記第3の流体通路に連通させ且つ他方を前記第
    1および第2の排出口の少なくとも一方に連通させ、他
    方側に位置しているときは前記第1および第2の流体通
    路の他方を選択的に前記第3の流体通路に連通させ且つ
    一方を前記第1および第2の排出口の他方に連通させる
    バルブ部材と、前記ピストンロッド部材のみを気密に挿
    通し前記複数のシリンダライナ部材のうち、最も外側の
    シリンダライナ部材と当接しその抜け止めをし且つ前記
    シリンダ部材の開口部を閉塞するキャップ部材とを具備
    する流体圧アクチュエータ装置を組み立てるにあたり、 最初のピストン部材に最初のピストンロッド部材を結合
    するステップと、 前記最初のピストンロッド部材を最初のセパレータ部材
    に挿通するステップと、 前記最初のピストンロッド部材と中間のピストン部材と
    を連結するステップと、 前記最初のピストンロッド部材および前記中間のピスト
    ン部材に中間のピストンロッドを連結するステップと、 前記中間のピストン部材および中間のピストンロッド部
    材を中間のシリンダライナ部材に嵌入させるステップ
    と、 前記中間のピストンロッド部材を最後のセパレータ部材
    に挿通するステップと、 前記中間のピストンロッド部材を最後のピストン部材に
    結合するステップと、 前記中間のピストンロッド部材および前記最後のピスト
    ン部材に最後のピストンロッドを連結するステップと、 シリンダ部材の中空部に最初のシリンダライナ部材を嵌
    入させるステップと、 前記最初のシリンダライナ部材に前記最初のピストン部
    材を嵌入させて、前記シリンダ部材の中空部に、前記全
    てのピストン部材、全てのピストンロッド部材、全ての
    セパレータ部材および中間のシリンダライナ部材からな
    る部分を嵌入させるステップと、 前記シリンダ部材の中空部内壁と前記最後のピストンと
    の間に最後のシリンダライナ部材を嵌入させるステップ
    と、 キャップ部材に前記最後のピストンロッド部材を嵌入し
    挿通させて、前記最初のシリンダライナ部材、前記最初
    のセパレータ、前記中間のシリンダライナ部材、前記最
    後のセパレータ部材、前記最後のシリンダライナ部材を
    順次前記シリンダ部材の中間部の底部に片寄せした状態
    前記キャップ部材で前記シリンダ部材の中空部開口端
    を閉塞し且つ、前記キャップ部材が抜け出さないように
    係止するステップと、を有することを特徴とする流体圧
    アクチュエータ装置の組立方法。
  4. 【請求項4】 複数のピストン部材と、前記複数のピス
    トン部材のうちの最も内側のピストン部材に結合され、
    且つ他のピストン部材を貫通してこれら他のピストン部
    材を次々に等間隔で支持するピストンロッド部材と、
    記ピスト ンロッド部材を気密に挿通し、前記各ピストン
    部材の移動範囲だけ間隔を開けて配置される少なくとも
    1つのセパレータ部材と、ほぼ有底筒状をなして内部に
    前記各ピストン部材を気密に且つ前記セパレータ部材で
    気密に隔離された所定範囲において摺動可能に収容する
    とともに、前記各ピストン部材の摺動範囲の一端にそれ
    ぞれ開口する第1の流体通路および前記各ピストン部材
    の摺動範囲の他端にそれぞれ開口する第2の流体通路を
    筒状の周側壁の肉厚内に軸方向に沿って形成し、且つ前
    記第1および第2の流体通路に連結され外部に開口して
    圧力媒体である流体の導入路を形成する第3の流体通路
    を有するとともに、前記第3の流体通路への連結部にお
    いて前記第1および第2の流体通路にそれぞれ連結する
    第1および第2の排出口を設けて一体に形成された1個
    シリンダ部材と、前記シリンダ部材の前記第1および
    第2の流体通路と第3の流体通路との連結部に前記第1
    および第2の流体通路と交差するように設けられたバル
    ブ孔に挿通され所定範囲のスライド移動が許容され、外
    部操作に応動して一方側に位置しているときは前記第1
    および第2の流体通路の一方を選択的に前記第3の流体
    通路に連通させ且つ他方を前記第1および第2の排出口
    の少なくとも一方に連通させ、他方側に位置していると
    きは前記第1および第2の流体通路の他方を選択的に前
    記第3の流体通路に連通させ且つ一方を前記第1および
    第2の排出口の他方に連通させるバルブ部材と、前記ピ
    ストンロッド部材のみを気密に挿通して、前記シリンダ
    部材の開口部を閉塞するキャップ部材と具備する流体圧
    アクチュエータ装置を組み立てるにあたり、 最初のピストン部材に最初のピストンロッド部材を結合
    するステップと、 前記最初のピストン部材および最初のピストンロッド部
    材をシリンダ部材の中空部に挿入するステップと、 前記最初のピストンロッド部材を最初のセパレータ部材
    に挿通すると共に、該最初のセパレータ部材を前記シリ
    ンダ部材の中空部の所定位置に取着するステップと、 前記最初のピストンロッド部材を中間のピストン部材に
    結合するステップと、 前記最初のピストンロッド部材および前記中間のピスト
    ン部材に中間のピストンロッドを連結するステップと、 前記中間のピストンロッド部材を最後のセパレータ部材
    に挿通すると共に、該最後のセパレータ部材を前記シリ
    ンダ部材の中空部の所定位置に取着するステップと、 前記中間のピストンロッド部材を最後のピストン部材に
    結合するステップと、 前記中間のピストンロッド部材および前記最後のピスト
    ン部材に最後のピストンロッドを連結するステップと、 キャップ部材に前記最後のピストンロッド部材を嵌入し
    挿通させて、前記キャップ部材で前記シリンダ部材の中
    空部開口端を閉塞するステップと、を有することを特徴
    とする流体圧アクチュエータ装置の組立方法。
  5. 【請求項5】 第1〜第3の流体通路は、それぞれ流体
    としてエアを流通させるエア通路とし、且つ第1および
    第2の排出口は、それぞれエアを排出する排気口とし
    て、加圧媒体となる流体としてエアを用いることを特徴
    とする請求項1または2に記載の流体圧アクチュエータ
    装置。
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