JP2009002524A - 流体制御器用多段アクチュエータおよびこれを備えた流体制御器 - Google Patents
流体制御器用多段アクチュエータおよびこれを備えた流体制御器 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 常時閉型の流体制御器用多段アクチュエータ1は、中間ピストン7を上下移動可能に支持する中間リング8を備えており、中間リング8の下端部に、ボンネット2のねじ部2aに着脱可能にねじ合わされているねじ部8aが、同上端部に、アクチュエータキャップ3のねじ部3aに着脱可能にねじ合わされているねじ部8bがそれぞれ形成されている。
【選択図】 図1
Description
(2)(42) ボンネット
(2a)(42a) おねじ部
(3)(43) アクチュエータキャップ
(3a)(43a) めねじ部
(4)(44) ステム
(5)(45) 下段ピストン
(6)(46) 上段ピストン
(7)(47) 中間ピストン
(8)(48) 中間リング
(8a)(48a) 大径部(ねじ部)
(8b)(48b) 小径部(ねじ部)
(9)(49) 下カウンタープレート
(10)(50) 上カウンタプレート
(14) 弁体押さえ
(15)(19) 上方突出部
(21)(23)(61) コイルばね
(24)(66) 下側空気導入室
(25)(64) 上側空気導入室
(26)(65) 中間空気導入室
(28)(29)(30)(31)(32) 通路
(57)(59) 下方突出部
(67)(68)(69)(70) 通路
Claims (6)
- 上端部におねじ部またはめねじ部が設けられた筒状ボンネットと、下端部にボンネットにねじ合わせ可能なねじ部を有しボンネットとともにピストン可動空間を形成するアクチュエータキャップと、下方にのびるステムが一体に設けられてボンネット内に上下移動可能に支持された下段ピストンと、アクチュエータキャップに上下移動可能に支持された上段ピストンと、下段ピストンと上段ピストンとの間に配置されて一体に上下移動可能なように両ピストンに結合された中間ピストンと、中間ピストンと下段ピストンとの中間に位置してボンネットに固定されている下カウンタープレートと、上段ピストンと中間ピストンとの中間に位置してアクチュエータキャップに固定されている上カウンタープレートと、ステムの下端部に設けられた弁体押さえとを備えている流体制御器用多段アクチュエータにおいて、
中間ピストンを上下移動可能に支持する中間リングをさらに備えており、中間リングの下端部に、ボンネットのねじ部に着脱可能にねじ合わされているねじ部が、同上端部に、アクチュエータキャップのねじ部に着脱可能にねじ合わされているねじ部がそれぞれ形成されていることを特徴とする流体制御器用多段アクチュエータ。 - 下段および中間ピストンは、それぞれその上に位置するカウンタプレートを貫通する上方突出部を有しており、下段ピストンとボンネットの上面との間に、下側空気導入室が、上段ピストンと上カウンタプレートとの間に、上側空気導入室が、中間ピストンと下カウンタープレートとの間に、中間空気導入室がそれぞれ形成されるとともに、各空気導入室に通じる通路がアクチュエータキャップ頂壁および各ピストンに形成されることにより、各空気導入室への空気導入時にステムを上方に移動させるようになされている請求項1の流体制御器用多段アクチュエータ。
- ステムを下方に付勢するばねがボンネットに設けられ、上段ピストンを下方に付勢するばねがアクチュエータキャップに設けられ、下段ピストンと中間ピストンとがねじ合わされ、中間ピストンの上方突出部の先端が上段ピストンの下面に当接させられている請求項2の流体制御器用多段アクチュエータ。
- 上段および中間ピストンは、それぞれその下に位置するカウンタプレートを貫通する下方突出部を有しており、アクチュエータキャップ頂壁下面と上段ピストンとの間に、上側空気導入室が、上カウンタプレートと中間ピストンとの間に、中間空気導入室が、下カウンタープレートと下段ピストンとの間に、下側空気導入室がそれぞれ形成されるとともに、各空気導入室に通じる通路がアクチュエータキャップ頂壁、上段ピストンおよび中間ピストンに形成されることにより、各空気導入室への空気導入時にステムを下方に移動させるようになされている請求項1の流体制御器用多段アクチュエータ。
- 下段ピストンを上方に付勢するばねがボンネットに設けられ、中間ピストンの下方突出部の先端が下段ピストンの上面に当接させられ、上段ピストンの下方突出部の先端が中間ピストンの上面に当接させられている請求項4の流体制御器用多段アクチュエータ。
- ボディ内の流路を通常時は閉鎖し空気導入によって開放する常時閉型の流体制御器用多段アクチュエータとボディ内の流路を通常時は開放し空気導入によって閉鎖する常時開型の流体制御器用多段アクチュエータとが1つのボディに取り付けられることで形成された流体制御器であって、常時閉型の多段アクチュエータが請求項2または3のものとされるとともに、常時開型の多段アクチュエータが請求項4または5のものとされていることを特徴とする流体制御器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008257968A JP2009002524A (ja) | 2008-10-03 | 2008-10-03 | 流体制御器用多段アクチュエータおよびこれを備えた流体制御器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008257968A JP2009002524A (ja) | 2008-10-03 | 2008-10-03 | 流体制御器用多段アクチュエータおよびこれを備えた流体制御器 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002266244A Division JP2004100889A (ja) | 2002-09-12 | 2002-09-12 | 多段アクチュエータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009002524A true JP2009002524A (ja) | 2009-01-08 |
Family
ID=40319108
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008257968A Pending JP2009002524A (ja) | 2008-10-03 | 2008-10-03 | 流体制御器用多段アクチュエータおよびこれを備えた流体制御器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009002524A (ja) |
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