JP2001027353A - 多段ピストンアクチュエータ - Google Patents
多段ピストンアクチュエータInfo
- Publication number
- JP2001027353A JP2001027353A JP11202740A JP20274099A JP2001027353A JP 2001027353 A JP2001027353 A JP 2001027353A JP 11202740 A JP11202740 A JP 11202740A JP 20274099 A JP20274099 A JP 20274099A JP 2001027353 A JP2001027353 A JP 2001027353A
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- JP
- Japan
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- cylinder
- cup
- stage piston
- valve
- piston actuator
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
- F16K31/1225—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston with a plurality of pistons
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 単一の作動ステムに複数のピストンを設ける
タイプの多段ピストンアクチュエータにおいて、そのシ
リンダ内に設ける隔壁構造を単純化する。 【構成】 シリンダ内にピストンに対応させて設ける隔
壁を、作動ステムが摺動する中心筒状部と、シリンダ内
周壁に嵌合固定される周縁筒状部と、中心筒状部と周縁
筒状部を接続する円盤部とを有するカップ状隔壁部材か
ら構成した多段ピストンアクチュエータ。
タイプの多段ピストンアクチュエータにおいて、そのシ
リンダ内に設ける隔壁構造を単純化する。 【構成】 シリンダ内にピストンに対応させて設ける隔
壁を、作動ステムが摺動する中心筒状部と、シリンダ内
周壁に嵌合固定される周縁筒状部と、中心筒状部と周縁
筒状部を接続する円盤部とを有するカップ状隔壁部材か
ら構成した多段ピストンアクチュエータ。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、単一のステムに複数のピストン
を設けるタイプの多段ピストンアクチュエータに関し、
特にそのシリンダ内に設ける隔壁構造に関する。
を設けるタイプの多段ピストンアクチュエータに関し、
特にそのシリンダ内に設ける隔壁構造に関する。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】この種の多段ピストンア
クチュエータは、例えば、小さい開弁圧力または閉弁圧
力で大きい開弁力または閉弁力を得る多段ピストン弁と
して用いられている。この多段ピストン弁では、シリン
ダ内に隔壁を設けて複数のピストンに対応した複数の室
を形成し、各室に開弁圧力または閉弁圧力を及ぼしてい
る。
クチュエータは、例えば、小さい開弁圧力または閉弁圧
力で大きい開弁力または閉弁力を得る多段ピストン弁と
して用いられている。この多段ピストン弁では、シリン
ダ内に隔壁を設けて複数のピストンに対応した複数の室
を形成し、各室に開弁圧力または閉弁圧力を及ぼしてい
る。
【０００３】この多段ピストン弁のシリンダ内の隔壁は
従来、シリンダ内に嵌めたピストン様隔壁をシリンダに
固定するタイプ、あるいは、シリンダを複数に分割し、
分割されたシリンダと一体に隔壁を削り出して形成する
タイプが一般的に用いられてきた。しかし、ピストン様
隔壁もシリンダ削り出し隔壁もともに、加工コストが高
く、かつ薄型化、小型化が困難であった。また、シリン
ダ内に嵌めるタイプのピストン様隔壁は、該隔壁とシリ
ンダ内壁とのシールのために、Ｏリング等の特別なシー
ル部材を必要とした。
従来、シリンダ内に嵌めたピストン様隔壁をシリンダに
固定するタイプ、あるいは、シリンダを複数に分割し、
分割されたシリンダと一体に隔壁を削り出して形成する
タイプが一般的に用いられてきた。しかし、ピストン様
隔壁もシリンダ削り出し隔壁もともに、加工コストが高
く、かつ薄型化、小型化が困難であった。また、シリン
ダ内に嵌めるタイプのピストン様隔壁は、該隔壁とシリ
ンダ内壁とのシールのために、Ｏリング等の特別なシー
ル部材を必要とした。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、従来の多段ピストンアクチュ
エータについての以上の問題意識に基づき、加工コスト
が安く、薄型化、小型化が容易な多段ピストンアクチュ
エータを得ることを目的とする。
エータについての以上の問題意識に基づき、加工コスト
が安く、薄型化、小型化が容易な多段ピストンアクチュ
エータを得ることを目的とする。
【０００５】
【発明の概要】本発明は、作動ステム；この作動ステム
に軸方向位置を異ならせて設けた複数のピストン；これ
ら複数のピストンを摺動自在に嵌めたシリンダ；及びシ
リンダ内に位置し、複数のピストンに対応させて圧力室
を画成する隔壁；を有する多段ピストンアクチュエータ
において、隔壁を、作動ステムが摺動する中心筒状部
と、シリンダ内周壁に嵌合固定される周縁筒状部と、中
心筒状部と周縁筒状部を接続する円盤部とを有するカッ
プ状隔壁部材から構成したことを特徴としている。
に軸方向位置を異ならせて設けた複数のピストン；これ
ら複数のピストンを摺動自在に嵌めたシリンダ；及びシ
リンダ内に位置し、複数のピストンに対応させて圧力室
を画成する隔壁；を有する多段ピストンアクチュエータ
において、隔壁を、作動ステムが摺動する中心筒状部
と、シリンダ内周壁に嵌合固定される周縁筒状部と、中
心筒状部と周縁筒状部を接続する円盤部とを有するカッ
プ状隔壁部材から構成したことを特徴としている。
【０００６】カップ状隔壁部材は、例えば、金属板材の
プレス加工、または金属材料の切削加工によって形成す
ることができる。
プレス加工、または金属材料の切削加工によって形成す
ることができる。
【０００７】
【発明の実施形態】図示実施形態は、常閉型の多段ピス
トン弁に本発明を適用したものである。図１の下方に位
置する流路ブロック１１には、流体通路１２が設けら
れ、その一部に、図の上下方向の軸を有する環状弁座１
３が形成されている。流路ブロック１１には、この環状
弁座１３と同軸のシリンダ接続筒状部１４が形成されて
おり、この筒状部１４内に、環状弁座１３を開閉する円
板状の金属ダイアフラム１５、この金属ダイアフラム１
５の周縁を流路ブロック１１に押しつけるリテイナ１
６、及び金属ダイアフラム１５を挟んで環状弁座１３の
反対側に位置する押圧体１７が挿入されている。
トン弁に本発明を適用したものである。図１の下方に位
置する流路ブロック１１には、流体通路１２が設けら
れ、その一部に、図の上下方向の軸を有する環状弁座１
３が形成されている。流路ブロック１１には、この環状
弁座１３と同軸のシリンダ接続筒状部１４が形成されて
おり、この筒状部１４内に、環状弁座１３を開閉する円
板状の金属ダイアフラム１５、この金属ダイアフラム１
５の周縁を流路ブロック１１に押しつけるリテイナ１
６、及び金属ダイアフラム１５を挟んで環状弁座１３の
反対側に位置する押圧体１７が挿入されている。
【０００８】シリンダ接続筒状部１４の外周には、シリ
ンダ２０が螺合固定されている。シリンダ２０は、筒状
部１４の外周に螺合固定された下部シリンダ２１と、下
部シリンダ２１の上端に螺合固定された上部シリンダ２
２とからなっていて、リテイナ１６は、下部シリンダ２
１によって、流路ブロック１１に固定状態とされてい
る。弁ステム（作動ステム）２３は、下部シリンダ２１
の下端壁２１ａの中心孔と上部シリンダ２２の上部の小
径筒状部２２ａに摺動自在に支持されており、その下端
部は、リテイナ１６の中心孔を通って押圧体１７の上面
に当接している。
ンダ２０が螺合固定されている。シリンダ２０は、筒状
部１４の外周に螺合固定された下部シリンダ２１と、下
部シリンダ２１の上端に螺合固定された上部シリンダ２
２とからなっていて、リテイナ１６は、下部シリンダ２
１によって、流路ブロック１１に固定状態とされてい
る。弁ステム（作動ステム）２３は、下部シリンダ２１
の下端壁２１ａの中心孔と上部シリンダ２２の上部の小
径筒状部２２ａに摺動自在に支持されており、その下端
部は、リテイナ１６の中心孔を通って押圧体１７の上面
に当接している。
【０００９】弁ステム２３には、この実施形態では、２
つのピストン２４、２５が軸方向位置を異ならせて固定
されている。すなわち、図の下方のピストン２４は、弁
ステム２３の段部２３ａと抜け止めリング２４ａによっ
て、弁ステム２３に固定され、図の上方のピストン２５
は、弁ステム２３の段部２３ｂと抜け止めリング２５ａ
によって、弁ステム２３に固定されている。ピストン２
５と弁ステム２３の間には、ピストン２５（弁ステム２
３）を図の下方に押圧付勢する圧縮ばね２７が挿入され
ており、この圧縮ばね２７の力により、弁ステム２３は
押圧体１７を介して常時は金属ダイアフラム１５を環状
弁座１３に着座させる（流体通路１２を閉じる）。
つのピストン２４、２５が軸方向位置を異ならせて固定
されている。すなわち、図の下方のピストン２４は、弁
ステム２３の段部２３ａと抜け止めリング２４ａによっ
て、弁ステム２３に固定され、図の上方のピストン２５
は、弁ステム２３の段部２３ｂと抜け止めリング２５ａ
によって、弁ステム２３に固定されている。ピストン２
５と弁ステム２３の間には、ピストン２５（弁ステム２
３）を図の下方に押圧付勢する圧縮ばね２７が挿入され
ており、この圧縮ばね２７の力により、弁ステム２３は
押圧体１７を介して常時は金属ダイアフラム１５を環状
弁座１３に着座させる（流体通路１２を閉じる）。
【００１０】シリンダ２０内には、圧縮ばね２７の力に
抗して弁ステム２３を開弁方向に移動させるために、ピ
ストン２４、２５に対応させて圧力室３０、３１が画成
されている。圧力室３０は、下部シリンダ２１、その下
端壁２１ａ及びピストン２４によって、ピストン２４の
図の下方に画成されている。これに対し、圧力室３１
は、シリンダ２０内に嵌めたカップ状隔壁部材４０とピ
ストン２５によって、ピストン２５の図の下方に形成さ
れている。
抗して弁ステム２３を開弁方向に移動させるために、ピ
ストン２４、２５に対応させて圧力室３０、３１が画成
されている。圧力室３０は、下部シリンダ２１、その下
端壁２１ａ及びピストン２４によって、ピストン２４の
図の下方に画成されている。これに対し、圧力室３１
は、シリンダ２０内に嵌めたカップ状隔壁部材４０とピ
ストン２５によって、ピストン２５の図の下方に形成さ
れている。
【００１１】カップ状隔壁部材４０は、図２に単体形状
を示すように、弁ステム２３が摺動する中心筒状部４１
と、シリンダ２０の内周壁に嵌合固定される周縁筒状部
４２と、この中心筒状部４１と周縁筒状部４２を接続す
る円盤部４３と有しており、周縁筒状部４２は、図１に
示すように、下部シリンダ２１の段部２１ｂと、上部シ
リンダ２２の下端部との間に挟着されて、軸方向に移動
しないようにシリンダ２０に固定されている。もっと
も、弁ステム２３の図の上端部やピストン２５の上端部
の移動端が上部シリンダ２２の内部によって規制される
ならば、隔壁部材４０を挟着固定する必要はない。この
カップ状隔壁部材４０は、金属板材のプレス加工（絞り
加工）または金属材料の切削加工によって形成すること
ができるが、コスト的には板材のプレス加工が好まし
い。
を示すように、弁ステム２３が摺動する中心筒状部４１
と、シリンダ２０の内周壁に嵌合固定される周縁筒状部
４２と、この中心筒状部４１と周縁筒状部４２を接続す
る円盤部４３と有しており、周縁筒状部４２は、図１に
示すように、下部シリンダ２１の段部２１ｂと、上部シ
リンダ２２の下端部との間に挟着されて、軸方向に移動
しないようにシリンダ２０に固定されている。もっと
も、弁ステム２３の図の上端部やピストン２５の上端部
の移動端が上部シリンダ２２の内部によって規制される
ならば、隔壁部材４０を挟着固定する必要はない。この
カップ状隔壁部材４０は、金属板材のプレス加工（絞り
加工）または金属材料の切削加工によって形成すること
ができるが、コスト的には板材のプレス加工が好まし
い。
【００１２】弁ステム２３には、上部シリンダ２２の圧
力ポート２２ｃに通じる軸方向通路２３ｃが形成されて
おり、この軸方向通路２３ｃは、圧力室３０、３１に通
じる径方向通路２３ｄ、２３ｅと連通している。圧力ポ
ート２２ｃは、制御弁２８を介してパイロット圧力源２
９に接続されている。シリンダ２０の下部シリンダ２１
と上部シリンダ２２には、ピストン２４、２５の上方の
室を大気に開放する大気開放穴２１ｄ、２２ｄが穿設さ
れている。
力ポート２２ｃに通じる軸方向通路２３ｃが形成されて
おり、この軸方向通路２３ｃは、圧力室３０、３１に通
じる径方向通路２３ｄ、２３ｅと連通している。圧力ポ
ート２２ｃは、制御弁２８を介してパイロット圧力源２
９に接続されている。シリンダ２０の下部シリンダ２１
と上部シリンダ２２には、ピストン２４、２５の上方の
室を大気に開放する大気開放穴２１ｄ、２２ｄが穿設さ
れている。
【００１３】上記構成の本多段ピストン弁は、圧力ポー
ト２２ｃにパイロット圧力を導入しない状態では、圧縮
ばね２７の力により弁ステム２３が押圧体１７を介して
金属ダイアフラム１５を環状弁座１３に着座させ、流体
通路１２を閉じている。この閉弁状態から、制御弁２８
を介してパイロット圧力源２９からのパイロット圧を圧
力ポート２２ｃに及ぼすと、弁ステム２３の軸方向通路
２３ｃ、径方向通路２３ｄ、２３ｅを介して、圧力室３
０、３１にパイロット圧力が導入される。すると、ピス
トン２４、２５を介して、弁ステム２３に圧縮ばね２７
の力に抗する上方への力が及ぼされ、上方への合力が圧
縮ばね２７の力に打ち勝つと、弁ステム２３が上昇す
る。その結果、流体通路１２内を流れる流体の圧力によ
り金属ダイアフラム１５が弾性変形して環状弁座１３か
ら離れ、流路が開くことになる。一つの弁ステム２３に
２つのピストン２４、２５が結合されているため、２つ
のピストンの受ける合力で開弁力が得られ、小さい開弁
圧力で大きい開弁力が得られることになる。
ト２２ｃにパイロット圧力を導入しない状態では、圧縮
ばね２７の力により弁ステム２３が押圧体１７を介して
金属ダイアフラム１５を環状弁座１３に着座させ、流体
通路１２を閉じている。この閉弁状態から、制御弁２８
を介してパイロット圧力源２９からのパイロット圧を圧
力ポート２２ｃに及ぼすと、弁ステム２３の軸方向通路
２３ｃ、径方向通路２３ｄ、２３ｅを介して、圧力室３
０、３１にパイロット圧力が導入される。すると、ピス
トン２４、２５を介して、弁ステム２３に圧縮ばね２７
の力に抗する上方への力が及ぼされ、上方への合力が圧
縮ばね２７の力に打ち勝つと、弁ステム２３が上昇す
る。その結果、流体通路１２内を流れる流体の圧力によ
り金属ダイアフラム１５が弾性変形して環状弁座１３か
ら離れ、流路が開くことになる。一つの弁ステム２３に
２つのピストン２４、２５が結合されているため、２つ
のピストンの受ける合力で開弁力が得られ、小さい開弁
圧力で大きい開弁力が得られることになる。
【００１４】以上は、通常の常閉型の多段ピストン弁の
動作である。本実施形態の特徴は、シリンダ２０内に圧
力室３１を形成するカップ状隔壁部材４０にある。カッ
プ状隔壁部材４０によれば、簡単な形状、構造でシリン
ダ２０内に圧力室３１を形成することができ、小型化、
薄型化に寄与できる。
動作である。本実施形態の特徴は、シリンダ２０内に圧
力室３１を形成するカップ状隔壁部材４０にある。カッ
プ状隔壁部材４０によれば、簡単な形状、構造でシリン
ダ２０内に圧力室３１を形成することができ、小型化、
薄型化に寄与できる。
【００１５】図３、図４は、カップ状隔壁部材４０の他
の形状例を示している。これらは、中心筒状部４１と周
縁筒状部４２の方向を図１、図２の実施形態とは異なら
せたもので、図３では、中心筒状部４１を周縁筒状部４
２とは反対方向に延長し、図４では、周縁筒状部４２を
中心筒状部４１とは反対方向に延長している。また、図
５は、図２の形態において中心筒状部４１に形成した保
持部４４に、弁ステム２３とのシール材（Ｏリング）４
５を保持した例である。これらは、シリンダ２０、ピス
トン２４、２５等の形態に応じて適宜選択使用すること
ができる。
の形状例を示している。これらは、中心筒状部４１と周
縁筒状部４２の方向を図１、図２の実施形態とは異なら
せたもので、図３では、中心筒状部４１を周縁筒状部４
２とは反対方向に延長し、図４では、周縁筒状部４２を
中心筒状部４１とは反対方向に延長している。また、図
５は、図２の形態において中心筒状部４１に形成した保
持部４４に、弁ステム２３とのシール材（Ｏリング）４
５を保持した例である。これらは、シリンダ２０、ピス
トン２４、２５等の形態に応じて適宜選択使用すること
ができる。
【００１６】以上の実施形態は、常閉型の多段ピストン
弁に本発明を適用したものであるが、本発明は弁ステム
を流路が開く方向に付勢した常開型の多段ピストン弁に
も勿論適用できる。また、上記実施形態では、弁ステム
２３が環状弁座１３を開閉する金属ダイアフラム１５を
押圧するタイプの開閉弁であるが、金属ベローズ弁や、
弁ステム２３の下端部に直接弁体を設ける弁構造、ある
いは弁ステム２３の動きを弁ステムとは別体の弁体に伝
達する弁構造にも本発明は適用できる。さらに、本発明
は、作動ステム２３によって弁の開閉以外の仕事をさせ
る多段ピストンアクチュエータとしても使用できる。
弁に本発明を適用したものであるが、本発明は弁ステム
を流路が開く方向に付勢した常開型の多段ピストン弁に
も勿論適用できる。また、上記実施形態では、弁ステム
２３が環状弁座１３を開閉する金属ダイアフラム１５を
押圧するタイプの開閉弁であるが、金属ベローズ弁や、
弁ステム２３の下端部に直接弁体を設ける弁構造、ある
いは弁ステム２３の動きを弁ステムとは別体の弁体に伝
達する弁構造にも本発明は適用できる。さらに、本発明
は、作動ステム２３によって弁の開閉以外の仕事をさせ
る多段ピストンアクチュエータとしても使用できる。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、多段ピス
トンアクチュエータにおいて、シリンダ内の隔壁をカッ
プ状隔壁部材から構成したので、加工コストが安く、薄
型化、小型化が容易な多段ピストンアクチュエータを得
ることができる。
トンアクチュエータにおいて、シリンダ内の隔壁をカッ
プ状隔壁部材から構成したので、加工コストが安く、薄
型化、小型化が容易な多段ピストンアクチュエータを得
ることができる。
【図１】本発明による多段ピストンアクチュエータを多
段ピストン弁に適用した一実施形態を示す縦断面図であ
る。
段ピストン弁に適用した一実施形態を示す縦断面図であ
る。
【図２】図１の多段ピストンアクチュエータの隔壁部分
を主に示す斜視図である。
を主に示す斜視図である。
【図３】他の隔壁構造の実施形態を示す斜視図である。
【図４】他の隔壁構造の実施形態を示す斜視図である。
【図５】他の隔壁構造の実施形態を示す断面図である。
１１ 流路ブロック １２ 流体通路 １３ 環状弁座 １５ 金属ダイアフラム １６ リテイナ １７ 押圧体 ２０ シリンダ ２１ 下部シリンダ ２２ 上部シリンダ ２２ｃ 圧力ポート ２３ 弁ステム（作動ステム） ２３ｃ 軸方向通路 ２３ｄ ２３ｅ 径方向通路 ２４ ２５ ピストン ２７ 圧縮ばね ２８ 制御弁 ２９ パイロット圧力源 ３０ ３１ 圧力室 ４０ カップ状隔壁部材 ４１ 中心筒状部 ４２ 周縁筒状部 ４３ 円盤部
Claims (4)
- 【請求項１】 作動ステム；この作動ステムに軸方向位
置を異ならせて設けた複数のピストン；これら複数のピ
ストンを摺動自在に嵌めたシリンダ；及び上記シリンダ
内に位置し、上記複数のピストンに対応させて圧力室を
画成する隔壁；を有する多段ピストンアクチュエータに
おいて、 上記隔壁を、上記作動ステムが摺動する中心筒状部と、
上記シリンダ内周壁に嵌合固定される周縁筒状部と、上
記中心筒状部と周縁筒状部を接続する円盤部とを有する
カップ状部材から構成したことを特徴とする多段ピスト
ンアクチュエータ。 - 【請求項２】 請求項１記載の多段ピストンアクチュエ
ータにおいて、カップ状隔壁部材の周縁筒状部とシリン
ダ内周壁とは、両者の間にシール部材を介在させること
なく嵌合している多段ピストンアクチュエータ。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の多段ピストンア
クチュエータにおいて、カップ状隔壁部材は、金属板材
のプレス加工によって形成されている多段ピストンアク
チュエータ。 - 【請求項４】 請求項１または２記載の多段ピストンア
クチュエータにおいて、カップ状隔壁部材は、金属材料
の切削加工によって形成されている多段ピストンアクチ
ュエータ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20274099A JP3300686B2 (ja) | 1999-07-16 | 1999-07-16 | 多段ピストンアクチュエータ |
| US09/615,985 US6357339B1 (en) | 1999-07-16 | 2000-07-14 | Multi-stage piston actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20274099A JP3300686B2 (ja) | 1999-07-16 | 1999-07-16 | 多段ピストンアクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001027353A true JP2001027353A (ja) | 2001-01-30 |
| JP3300686B2 JP3300686B2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=16462385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20274099A Expired - Fee Related JP3300686B2 (ja) | 1999-07-16 | 1999-07-16 | 多段ピストンアクチュエータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6357339B1 (ja) |
| JP (1) | JP3300686B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008138730A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Jfe Steel Kk | 流体圧アクチュエータ |
| JP2008144817A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Ckd Corp | エアオペレイトバルブ |
| JP2009002524A (ja) * | 2008-10-03 | 2009-01-08 | Fujikin Inc | 流体制御器用多段アクチュエータおよびこれを備えた流体制御器 |
| US9995322B2 (en) | 2014-10-07 | 2018-06-12 | Fujikura Rubber Ltd. | Multistage piston actuator |
| TWI649507B (zh) * | 2016-02-02 | 2019-02-01 | 藤倉橡膠工業股份有限公司 | 多段活塞致動器 |
| KR20200117855A (ko) * | 2019-04-05 | 2020-10-14 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 유체 제어 밸브 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6736370B1 (en) * | 2002-12-20 | 2004-05-18 | Applied Materials, Inc. | Diaphragm valve with dynamic metal seat and coned disk springs |
| US20070045587A1 (en) * | 2003-04-14 | 2007-03-01 | Terrence Kolenc | Diaphragm valve seat |
| AU2003903803A0 (en) * | 2003-07-23 | 2003-08-07 | Goyen Controls Co Pty Ltd | Poppet type flow control valve |
| CN1704615A (zh) * | 2004-06-01 | 2005-12-07 | 斯瓦戈洛克公司 | 流体致动器 |
| US20060065868A1 (en) * | 2004-09-28 | 2006-03-30 | Strong Warren N | Diaphragm valve |
| JP5597468B2 (ja) * | 2010-07-27 | 2014-10-01 | 株式会社フジキン | エアオペレートバルブ |
| US20220275871A1 (en) * | 2019-06-27 | 2022-09-01 | Fujikin Incorporated | Diaphragm valve |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3392301B2 (ja) * | 1996-10-03 | 2003-03-31 | 藤倉ゴム工業株式会社 | 倍力開閉弁 |
| DE19750300A1 (de) * | 1997-11-13 | 1999-06-02 | Alfa Laval Lkm A S | Doppelsitzventil |
| DE19900239C1 (de) * | 1999-01-07 | 2000-06-21 | Tuchenhagen Gmbh | Antrieb für ein sitzreinigungsfähiges Doppelsitzventil |
-
1999
- 1999-07-16 JP JP20274099A patent/JP3300686B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-07-14 US US09/615,985 patent/US6357339B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008138730A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Jfe Steel Kk | 流体圧アクチュエータ |
| JP2008144817A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Ckd Corp | エアオペレイトバルブ |
| JP2009002524A (ja) * | 2008-10-03 | 2009-01-08 | Fujikin Inc | 流体制御器用多段アクチュエータおよびこれを備えた流体制御器 |
| US9995322B2 (en) | 2014-10-07 | 2018-06-12 | Fujikura Rubber Ltd. | Multistage piston actuator |
| TWI649507B (zh) * | 2016-02-02 | 2019-02-01 | 藤倉橡膠工業股份有限公司 | 多段活塞致動器 |
| KR20200117855A (ko) * | 2019-04-05 | 2020-10-14 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 유체 제어 밸브 |
| JP2020169706A (ja) * | 2019-04-05 | 2020-10-15 | Ckd株式会社 | 流体制御弁 |
| KR102314574B1 (ko) * | 2019-04-05 | 2021-10-20 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 유체 제어 밸브 |
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