JP2001317655A - シリンダー操作形複合弁 - Google Patents

シリンダー操作形複合弁

Info

Publication number
JP2001317655A
JP2001317655A JP2000134833A JP2000134833A JP2001317655A JP 2001317655 A JP2001317655 A JP 2001317655A JP 2000134833 A JP2000134833 A JP 2000134833A JP 2000134833 A JP2000134833 A JP 2000134833A JP 2001317655 A JP2001317655 A JP 2001317655A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
cylinder
diaphragm
casing
composite
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000134833A
Other languages
English (en)
Inventor
Toyonobu Sakurai
井 豊 信 桜
Original Assignee
Smc Corp
エスエムシー株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Smc Corp, エスエムシー株式会社 filed Critical Smc Corp
Priority to JP2000134833A priority Critical patent/JP2001317655A/ja
Publication of JP2001317655A publication Critical patent/JP2001317655A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/122Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
    • F16K31/1225Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston with a plurality of pistons
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00Fluid handling
    • Y10T137/8593Systems
    • Y10T137/87917Flow path with serial valves and/or closures

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板に対する取り付けが簡単で取付スペース
も小さくてすみ、パージガスの置換特性にも勝れるシリ
ンダー操作形複合弁を得る。 【解決手段】 ダイヤフラム弁14の変位により流体流
路12aを開閉する弁機構部4A,4Bと、複数のピス
トン24が連結された弁棒25で上記ダイヤフラム弁1
4を開閉操作するシリンダー操作部5A,5Bとからな
る2組の制御弁2A,2Bを、相互に結合された1組の
ケーシング7,8内に組み込むことにより一体化し、上
記制御弁2A,2B同士を結ぶ流路12b,12b上記
ケーシング7の内部に設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【0001】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体圧シリンダー
で弁部材を開閉操作するシリンダー操作形の制御弁を複
合化したシリンダー操作形複合弁に関するものである。

【0002】

【従来の技術】ガスなどの流体を制御する制御弁の一種
に、流体圧シリンダーで弁部材を開閉操作するシリンダ
ー操作形制御弁がある。この種の制御弁は、例えば半導
体ディバイスの製造工程等において、プロセスガスの流
れをコントロールしたりパージガスと置換したりする場
合などに使用されるもので、ユニット基板上に複数の制
御弁が他の制御機器と組み合わせて設置されることによ
りプロセスガスラインが構成される。図5には、このよ
うなプロセスガスラインを構成する制御ユニットの一例
が示されている。この制御ユニットは、制御機器同士を
結ぶガス流路52を内部に備えたユニット基板51上
に、手動弁53、減圧弁54、圧力トランスデューサー
55、オートフィルター56、2ポート式制御弁57、
3ポート式制御弁58、マスフローコントローラー5
9、3ポート式制御弁58、2ポート式制御弁57を順
次搭載したもので、基板51の両端には、プロセスガス
の入口ポート60と出口ポート61が設けられている。

【0003】このようなプロセスガスの制御ユニットに
おいては、マスフローコントローラー59の前後にそれ
ぞれ2つの制御弁57,58が並べて搭載されるが、こ
の場合に、2つの制御弁57,58及びユニット基板5
1にボルト等による固定手段を個別に設けなければなら
ないため、その取り付けが面倒であるだけでなく、固定
用のスペースを個々に占有することになるためそれがユ
ニットを小形化する際の障害となる。また、上記2つの
制御弁57,58が基板51の内部に設けた流路52a
を通じて相互に連結されているため、流路長が長くな
り、この結果、上記制御弁58を開閉してプロセスガス
をパージガス流路62からのパージガスで置換するとき
のデッドスペースが必然的に大きくなり、置換特性が低
下し易いという問題もある。

【0004】

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、特にプロセスガスラインへの使用に適していて、ユ
ニット基板に対する取り付けが簡単で取付スペースも小
さくてすみ、しかもパージガスの置換特性にも勝れると
いったような特徴を有する、シリンダー操作形複合弁を
提供することにある。

【0005】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、ダイヤフラム弁の変位により流体
流路を開閉する弁機構部と、上記ダイヤフラム弁を開閉
操作するシリンダー操作部とからなる2組の制御弁を、
相互に一体化した複合弁であって、上記各弁機構部がそ
れぞれ、上記流体流路の中間部分に設けられたバルブシ
ートと、該バルブシートに接離して流路を開閉する、該
バルブシートから離反する方向の弾性力が付与された上
記ダイヤフラム弁と、これらのバルブシート及びダイヤ
フラム弁が設けられた弁孔とを備えていて、2組の弁機
構部が1つのバルブケーシング内に組み込まれると共
に、これら2組の弁機構部を結ぶ流体流路が該バルブケ
ーシングの内部に設けられ、上記各シリンダー操作部が
それぞれ、上記弁孔内に進入する先端部分で上記ダイヤ
フラム弁を開閉させる前後進自在の弁棒と、該弁棒に取
り付けられた複数のピストンと、各ピストンの何れか一
方の受圧面側に形成された圧力室と、これらの各圧力室
に圧力流体を供給するための操作ポートと、該操作ポー
トと上記各圧力室とを結ぶ連通孔と、上記ダイヤフラム
弁がバルブシートに着座する弁閉時に該ダイヤフラム弁
の着座力を発生させる弁ばねとを備えていて、上記バル
ブケーシングに結合された1つのシリンダーケーシング
内に2組のシリンダー操作部が組み込まれていることを
特徴とするシリンダー操作形複合弁が提供される。

【0006】上記構成を有する本発明の複合弁は、2組
のシリンダー操作形の制御弁を、相互に結合された1つ
のバルブケーシング及びシリンダーケーシング内に組み
込むことにより一体化したので、それを例えばプロセス
ガス用制御ユニットのユニット基板に取り付ける場合に
は、1つの制御弁を取り付ける場合と同じ手数で済むた
め取り付けが簡単であり、取付スペースも小さくてす
む。しかも、2組の制御弁をバルブケーシング内の短い
流路で結ぶことができるため、ユニット基板内に設けた
長い流路で連通させていた従来装置に比べると、プロセ
スガスをパージガスで置換する場合のデッドスペースが
非常に小さくなり、これによって置換特性も向上する。
また、上記各シリンダー操作部が複数のピストンを備え
ていて、ダイヤフラム弁を開閉する際の弁棒の操作力
が、上記複数のピストンに発生する流体圧作用力の和と
なるため、複合弁が小形化されてピストンが小径であっ
ても、必要な大きい操作力を得ることができる。

【0007】本発明の具体的な実施形態によれば、上記
バルブケーシングが、シリンダーケーシングに連結され
た側とは反対側の端面に、プロセスガス用制御ユニット
のユニット基板へ取り付けるための取付面を有し、該取
付面に上記流体流路に通じる複数のポートを備えてい
る。

【0008】本発明の他の具体的な実施形態によれば、
上記シリンダーケーシングが、相互に平行に延びる2つ
のシリンダー孔を有していて、各シリンダー孔の内部が
円板形部材からなる複数の隔壁によって複数のピストン
室に仕切られると共に、各ピストン室内にそれぞれ、上
記隔壁と実質的に同じ構成の円板形部材からなる上記ピ
ストンが収容されている。

【0009】本発明の複合弁においては、上記2組のシ
リンダー操作部が1つの操作ポートを共有していて、こ
の操作ポートが2組のシリンダー操作部の各圧力室に連
通していても、あるいは2組のシリンダー操作部がそれ
ぞれ個別の操作ポートを有していて、各操作ポートが、
対応するシリンダー操作部の各圧力室に弁棒の内部に形
成された上記連通孔を通じて連通していても良い。前者
の場合には、操作ポートを通じて圧力流体を供給するこ
とにより2組の制御弁を同時に動作させることができ、
後者の場合には、個々の操作ポートから圧力流体を供給
することにより2組の制御弁を個別に動作させることが
できる。

【0010】本発明の複合弁においてはまた、上記2組
の制御弁が、非操作時にダイヤフラム弁が閉弁状態を維
持するノーマルクローズ形制御弁と、非操作時にダイヤ
フラム弁が開弁状態を維持するノーマルオープン形制御
弁とを、同種同士組み合わせて構成したものであって
も、異種同士を組み合わせて構成したものであっても良
い。

【0011】上記制御弁がノーマルクローズ形である場
合は、上記弁ばねを弁棒とシリンダーケーシングとの間
に設置することにより、該弁ばねの弾発力で弁棒を前進
させてダイヤフラム弁をバルブシートに着座させるよう
にすると共に、上記圧力室を各ピストンの第1受圧面側
に形成することにより、各ピストンに作用する流体圧で
上記弁棒に後退方向の操作力を発生させるように構成さ
れる。

【0012】また、ノーマルオープン形の制御弁は、上
記弁棒の先端に、ダイヤフラム弁を着座方向に押圧する
ための可動部材を前後動自在に備えていて、この可動部
材を上記弁ばねにより前進方向に弾発し、また上記圧力
室を各ピストンの第2受圧面側に設けることにより、各
ピストンに作用する流体圧で上記弁棒に前進方向の操作
力を発生させるように構成される。

【0013】上記弁棒の先端とダイヤフラム弁との間に
は、該弁棒の操作力をダイヤフラム弁に伝えるための押
圧子が介設されている。

【0014】

【発明の実施の形態】図1及び図2は本発明に係るシリ
ンダー操作形複合弁の第1実施例を示すものである。こ
の複合弁1Aは、非操作時に弁閉状態を維持するノーマ
ルクローズ形の第1制御弁2Aと、非操作時に弁開状態
を維持するノーマルオープン形の第2制御弁2Bとを、
一体に結合することにより構成されている。

【0015】上記各制御弁2A,2Bはそれぞれ、ダイ
ヤフラム弁14の変位により流体流路を開閉する弁機構
部4A,4Bと、上記ダイヤフラム弁14を開閉操作す
るシリンダー操作部5A,5Bとからなるもので、第1
制御弁2Aの第1弁機構部4Aと第2制御弁2Bの第2
弁機構部4Bとが、1つのバルブケーシング7を共有し
てその内部に平行に並べて組み込まれると共に、第1制
御弁2Aの第1シリンダー操作部5Aと第2制御弁2B
の第2シリンダー操作部5Bとが、上記バルブケーシン
グ7に結合された1つのシリンダーケーシング8を共有
してその内部に平行状態に並べて組み込まれている。

【0016】上記シリンダーケーシング8は、基端部が
該シリンダーケーシング8に取り付けられた結合用のス
リーブ9を含んでいて、このスリーブ9の先端を上記バ
ルブケーシング7の弁孔10内に嵌合させると共に、こ
のスリーブ9の外周のフランジ部9aに係合するナット
部材11をバルブケーシング7にねじ付けることによ
り、該バルブケーシング7に結合されている。

【0017】次に、上記第1制御弁2Aの具体的構成に
ついて説明する。この第1制御弁2Aはノーマルクロー
ズ形の2ポート弁であって、上記第1弁機構部4Aと第
1シリンダー操作部5Aとを備えている。このうち第1
弁機構部4Aは、上記バルブケーシング7の内部に形成
された第1流路12a及び第2流路12bと、これらの
流路12a,12bが開口する上記弁孔10と、この弁
孔10内に上記第1流路12aの開口部を取り囲むよう
に形成されたバルブシート13と、該バルブシート13
に接離して上記第1流路12aを開閉するダイヤフラム
弁14とを備えている。このダイヤフラム弁14は金属
製のもので、その外周部を円環状のダイヤフラム弁押え
15で弁孔10の内底部との間に挟持されることによっ
て設置され、バルブシート13から離反する方向の弾性
力が付与されている。そして、上記ダイヤフラム弁押え
15の中央の孔内には、ダイヤフラム弁14の背面に当
接して開閉方向に一緒に変位する押圧子16が摺動自在
に嵌合している。

【0018】上記バルブケーシング7のシリンダーケー
シング8が結合された側とは反対側の端面には、プロセ
スガス用制御ユニットのユニット基板18へ取り付ける
ための取付面7aが形成されていて、この取付面7aに
上記第1流路12aに通じるポート19aが開口してい
る。また、上記第2流路12bは、上記第2制御弁2B
の第2流路12bとバルブケーシング7の内部において
相互に直接連通せしめられている。

【0019】一方、上記第1シリンダー操作部5Aは、
上記シリンダーケーシング8の内部に形成されたシリン
ダー孔20を有している。このシリンダー孔20の内部
は、複数の隔壁22によって複数のピストン室に仕切ら
れ、各ピストン室内にそれぞれピストン24が摺動自在
に配設されており、これらの各ピストン24は、上記各
隔壁22の中心部を摺動自在に貫通する弁棒25にそれ
ぞれ取り付けられている。この弁棒25の先端は、シリ
ンダーケーシング8からスリーブ9内に延出して弁孔1
0内の上記ダイヤフラム弁14に近接する位置まで延
び、上記押圧子16に当接している。また、この弁棒2
5の先端とシリンダーケーシング8との間には弁ばね2
7が設けられ、この弁ばね27の弾発力で上記弁棒25
が常時ダイヤフラム弁14側に向けて押されており、こ
の弁ばね27の弾発力によりダイヤフラム弁14が、押
圧子16を介してバルブシート13に押し付けられ、第
1流路12aを閉じるようになっている。従って上記弁
ばね27は、ダイヤフラム弁14がバルブシート13に
着座する弁閉時に、該ダイヤフラム弁14の着座力を発
生させるものである。なお第1流路12aの開放は、弁
棒25の後退によりダイヤフラム弁14が自身の弾性力
でバルブシート13から離反することにより行われる。

【0020】上記各隔壁22は、シリンダーケーシング
8とは別体に形成された円板形の部材からなっていて、
これらの各部材が、シリンダー孔20の内周面に設けた
止め輪28でシリンダーケーシング8内に取り付けら
れ、その内外周には、シリンダーケーシング8の内周面
との間及び弁棒25の外周面との間をシールするOリン
グ29a,29bがそれぞれ取り付けられている。

【0021】一方のピストン24は、上記隔壁22と実
質的に同じ構成の円板形部材からなっていて、弁棒25
の外周面に設けた止め輪30によって該弁棒25に取り
付けられ、その内外周には、シリンダーケーシング8の
内周面との間及び弁棒25の外周面との間をシールする
Oリング31a,31bがそれぞれ取り付けられてい
る。

【0022】上記各ピストン24の第1受圧面側(図示
の例では下面側)には、該ピストン24に流体圧を作用
させるための圧力室33が形成され、反対の第2受圧面
側(図示の例では上面側)には呼吸室34が形成されて
おり、またシリンダーケーシング8の上面には、上記各
圧力室33に圧縮空気等の圧力流体を供給するための操
作ポート36と、上記各呼吸室34からの排気を排出す
るための呼吸ポート37とが設けられ、上記操作ポート
36と各圧力室33、及び呼吸ポート37と各呼吸室3
4とが、シリンダーケーシング8の内部に形成された連
通孔38a,39aによってそれぞれ接続されている。

【0023】上記第1制御弁2Aは、上記操作ポート3
6から各圧力室33内に圧力流体が供給されていないと
きは、弁ばね27の弾発力により弁棒25が前進し、押
圧子16を介してダイヤフラム弁14をバルブシート1
3に押し付けており、このため第1流路12aは閉じら
れている。

【0024】いま、上記操作ポート36から各圧力室3
3内に圧力流体が供給されると、流体圧により各ピスト
ン24が駆動されて弁棒25が後退するため、ダイヤフ
ラム弁14が自身の弾発力によりバルブシート13から
離れ、弁開状態になる。このときの弁棒25の操作力
は、複数のピストン24に発生する作用力の和となる。
図示の例では3つのピストン24が設けられているた
め、操作力は1つのピストン24に作用する力の3倍と
なる。従って、複合弁が小形化されてピストン24が小
径であっても、大きい操作力を得ることができる。ま
た、1つのシリンダーケーシング8の内部に複数のピス
トン24を収容した構成であるため、複数のシリンダー
をタンデム式に連結して使用する場合に比べ、構造が簡
単で加工及び組み立ても容易であり、精度も出し易いと
いう利点がある。

【0025】各圧力室33内の圧力流体を排出すると、
弁ばね27の弾発力により弁棒25は前進し、押圧子1
6を介してダイヤフラム弁14をバルブシート13に押
し付けるため、第1流路12aが閉じられる。

【0026】次に、上記第2制御弁2Bの具体的構成に
ついて説明する、この第2制御弁2Bはノーマルオープ
ン形の3ポート弁であって、上記第2弁機構部4Bと第
2シリンダー操作部5Bとを備えている。このうち第2
弁機構部4Bは、上記バルブケーシング7の内部に第1
流路12aと第2流路12b及び第3流路12cを備え
ていて、第2流路12bと上記第1制御弁2Aの第2流
路12bとが相互に連通し、第1流路12aと第3流路
12cがバルブケーシング7の取付面7aに開口するポ
ート19b,19cに連通している。第2弁機構部4B
のこれ以外の構成は、上記第1弁機構部4Aと実質的に
同じであるから、主要な同一構成部分に第1弁機構部4
Aと同じ符号を付してその説明は省略する。

【0027】一方、上記第2シリンダー操作部5Bにお
いては、弁棒25の先端のシリンダーケーシング8から
スリーブ9内に延出する部分25aの内部に、その先端
面から軸線方向に向けて孔40が形成され、この孔40
の先端部に押圧子16に当接する可動部材41が前後動
自在に設置され、この可動部材41と孔底部との間に弁
ばね27が介設されている。43は上記可動部材41が
孔40から抜け出さないように係止させるストッパであ
る。

【0028】また、上記シリンダーケーシング8の内部
においては、上記弁棒25に取り付けられたプレート4
4とシリンダー孔20の孔底との間に復帰ばね45が設
けられ、この復帰ばね45で弁棒25が常時後退方向、
すなわち弁開方向に弾発されている。そして、上記各ピ
ストン24の上面側である第2受圧面側に圧力室33が
設けられると共に、下面側である第1受圧面側に呼吸室
34が設けられ、これらの圧力室33及び呼吸室34
が、シリンダーケーシング8内に形成された連通孔38
b,39bによって上記操作ポート36及び呼吸ポート
37にそれぞれ連通している。第2シリンダー操作部5
Bの上記以外の構成については、実質的に上記第1シリ
ンダー操作部5Aと同じであるから、主要な同一構成部
分に第1シリンダー操作部5Aと同じ符号を付してその
説明は省略する。。

【0029】この第2制御弁2Bにおいて、操作ポート
36から各圧力室33に圧力流体が供給されていない非
操作状態では、図2に示すように復帰ばね45の弾発力
により弁棒25が後退し、ダイヤフラム弁14が自身の
弾発力でバルブシート13から離反することにより弁開
状態を維持している。

【0030】上記操作ポート36から各圧力室33内に
圧力流体が供給されると、各ピストン24に作用する流
体圧作用力により弁棒25が前進し、可動部材41が押
圧子16を押してダイヤフラム弁14をバルブシート1
3に圧接させるため、弁閉状態になる。このとき上記弁
ばね27は圧縮状態にあり、その弾発力がダイヤフラム
弁14の着座力を発生させる。

【0031】この場合、上記操作ポート36及び呼吸ポ
ート37は2組の制御弁2A,2Bに共通のもので、こ
の一つの操作ポート36に圧力流体を供給することによ
り、2つの制御弁2A,2Bが同時に操作される。この
ように、操作ポート36を共通化することにより、配管
数が減少して構造が簡略化されると共に、配管コストも
安くなる。また、呼吸ポート37に接続した配管を通じ
て排気を室外に排出することもできるため、複合弁をク
レーンルームで使用する場合などに、室内が排気で汚染
されるのを防いでこの室内をクリーンに保つことができ
る。

【0032】また、2組の制御弁2A,2Bの第2流路
12b,12b同士をバルブケーシング7の内部におい
て直接接続しているため、流路の接続長が短くなり、隣
接する制御弁をユニット基板18内に設けた長い流路で
連通させていた従来装置に比べると、プロセスガスを例
えば第2制御弁2Bの第1流路12aから供給されるパ
ージガスで置換する場合のデッドスペースが非常に小さ
くなり、これによって置換特性が向上する。

【0033】図3及び図4は本発明に係る複合弁の第2
実施例を示すもので、この第2実施例の複合弁1Bが上
記第1実施例の複合弁1Aと相違する点は、第1実施例
の複合弁1Aは、1つの共通の操作ポート36によって
2組の制御弁2A,2Bを同時に操作するように構成さ
れているのに対し、この複合弁1Bは、2組の制御弁2
A,2Bが個別の操作ポート36a,36bを有してい
て、各操作ポート36a,36bで、対応する制御弁2
A,2Bを個別に操作できるように構成されている点で
ある。

【0034】すなわち、シリンダーケーシング8の上面
には、最も上端に位置する隔壁22aの中央部に上方に
立ち上がったボス部47が形成され、このボス部47に
上記操作ポート36a,36bが設けられ、この操作ポ
ート36a,36bと各圧力室33とが、弁棒25の内
部に形成された連通孔48を通じて相互に接続されてい
る。従って、上記操作ポート36a,36bから各制御
弁2A,2Bの圧力室33に圧力流体を供給することに
より、2組の制御弁2A,2Bを個別に操作することが
できる。なお、第2実施例の上記以外の構成及び作用に
ついては実質的に第1実施例と同じであるから、主要な
同一構成部分に第1実施例と同じ符号を付してその説明
は省略する。

【0035】また、上記各実施例では、2組の制御弁2
A,2Bの呼吸室34を共通の呼吸ポート37に接続
し、この呼吸ポート37から排気をまとめて排出するよ
うにしているが、このような呼吸ポート37を設けるこ
となく、例えばシリンダーケーシング8の側面に各呼吸
室34に通じる呼吸孔を個別に設けても良い。

【0036】更に、上記第1及び第2実施例の複合弁1
A,1Bは、ノーマルクローズ形の制御弁2Aとノーマ
ルオープン形の制御弁2Bとを組み合わせたものである
が、ノーマルクローズ形制御弁同士又はノーマルオープ
ン形制御弁同士を組み合わせたものであっても良い。こ
れらの場合に、第1実施例のように2組の制御弁に1つ
の操作ポートを共有させても、各制御弁に操作ポートを
個別に設けても良い。また、その他の変形例等について
も第1及び第2実施例の場合と同様である。

【0037】

【発明の効果】以上に詳述したように、本発明のシリン
ダー操作形複合弁によれば、2組の制御弁をケーシング
内に一体に組み込むと共に、2組の制御弁同士をケーシ
ング内に設けた短い流路で直接接続しているため、ユニ
ット基板に対する取り付けが簡単で取付スペースも小さ
くてすむだけでなく、パージガスの置換特性にも勝れる
といった利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図1】本発明に係るシリンダー操作形複合弁の第1実
施形態を示す断面図である。

【図2】図1の平面図である。

【図3】本発明に係るシリンダー操作形複合弁の第2実
施形態を示す断面図である。

【図4】図3の平面図である。

【図5】プロセスガスラインを構成する制御ユニットの
公知例を示す断面図である。

【符号の説明】

1A,1B 複合弁 2A 第1制御弁 2B 第2制御弁 4A 第1弁機構部 4B 第2弁機構部 5A 第1シリンダー操作部 5B 第2シリンダー操作部 7 バルブケーシング 7a 取付面7 8 シリンダーケーシング 10 弁孔 12a,12b,12c 流路 13 バルブシート 14 ダイヤフラム弁 16 押圧子 18 ユニット基板 19a,19b,19c ポート 20 シリンダー孔 22,22a 隔壁 23 ピストン室 24 ピストン 25 弁棒 27 弁ばね 33 圧力室 36,36a,36b 操作ポート 38,48 連通孔

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ダイヤフラム弁の変位により流体流路を開
    閉する弁機構部と、上記ダイヤフラム弁を開閉操作する
    シリンダー操作部とからなる2組の制御弁を、相互に一
    体化した複合弁であって、 上記各弁機構部がそれぞれ、上記流体流路の中間部分に
    設けられたバルブシートと、該バルブシートに接離して
    上記流路を開閉する、該バルブシートから離反する方向
    の弾性力が付与された上記ダイヤフラム弁と、これらの
    バルブシート及びダイヤフラム弁が設けられた弁孔とを
    備えていて、2組の弁機構部が1つのバルブケーシング
    内に組み込まれると共に、これら2組の弁機構部を結ぶ
    流体流路が該バルブケーシングの内部に設けられ、 上記各シリンダー操作部がそれぞれ、上記弁孔内に進入
    する先端部分で上記ダイヤフラム弁を開閉させる前後進
    自在の弁棒と、該弁棒に取り付けられた複数のピストン
    と、各ピストンの何れか一方の受圧面側に形成された圧
    力室と、これらの各圧力室に圧力流体を供給するための
    操作ポートと、該操作ポートと上記各圧力室とを結ぶ連
    通孔と、上記ダイヤフラム弁がバルブシートに着座する
    弁閉時に該ダイヤフラム弁の着座力を発生させる弁ばね
    とを備えていて、上記バルブケーシングに結合された1
    つのシリンダーケーシング内に2組のシリンダー操作部
    が組み込まれている、ことを特徴とするシリンダー操作
    形複合弁。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の複合弁において、上記バ
    ルブケーシングが、シリンダーケーシングに連結された
    側とは反対側の端面に、プロセスガス用制御ユニットの
    ユニット基板へ取り付けるための取付面を有し、該取付
    面に上記流体流路に通じる複数のポートを備えているこ
    とを特徴とするもの。
  3. 【請求項3】請求項1に記載の複合弁において、上記シ
    リンダーケーシングが、相互に平行に延びる2つのシリ
    ンダー孔を有していて、各シリンダー孔の内部が円板形
    部材からなる複数の隔壁によって複数のピストン室に仕
    切られると共に、各ピストン室内にそれぞれ、上記隔壁
    と実質的に同じ構成の円板形部材からなる上記ピストン
    が収容されていることを特徴とするもの。
  4. 【請求項4】請求項1から3までの何れかに記載の複合
    弁において、上記2組のダー操作部が1つの操作ポート
    を共有していて、この操作ポートが2組のシリンダー操
    作部の各圧力室に連通していることを特徴とするもの。
  5. 【請求項5】請求項1から4までの何れかに記載の複合
    弁において、上記2組のシリンダー操作部がそれぞれ個
    別の操作ポートを有していて、各操作ポートが、対応す
    るシリンダー操作部の各圧力室に弁棒の内部に形成され
    た上記連通孔を通じて連通していることを特徴とするも
    の。
  6. 【請求項6】請求項1から5までの何れかに記載の複合
    弁において、2組の制御弁が、非操作時にダイヤフラム
    弁が閉弁状態を維持するノーマルクローズ形制御弁と、
    非操作時にダイヤフラム弁が開弁状態を維持するノーマ
    ルオープン形制御弁との、同種同士又は異種同士の組み
    合わせであることを特徴とするもの。
  7. 【請求項7】請求項6に記載の複合弁において、上記ノ
    ーマルクローズ形制御弁が、上記弁ばねを弁棒とシリン
    ダーケーシングとの間に設置することにより、該弁ばね
    の弾発力で弁棒を前進させてダイヤフラム弁をバルブシ
    ートに着座させるようにすると共に、上記圧力室を各ピ
    ストンの第1受圧面側に形成することにより、各ピスト
    ンに作用する流体圧で上記弁棒に後退方向の操作力を発
    生させるように構成されていることを特徴とするもの。
  8. 【請求項8】請求項6に記載の複合弁において、ノーマ
    ルオープン形制御弁が、上記弁棒の先端に、ダイヤフラ
    ム弁を着座方向に押圧するための可動部材を前後動自在
    に備えていて、この可動部材を上記弁ばねにより前進方
    向に弾発し、また上記圧力室を各ピストンの第2受圧面
    側に設けることにより、各ピストンに作用する流体圧で
    上記弁棒に前進方向の操作力を発生させるように構成さ
    れていることを特徴とするもの。
  9. 【請求項9】請求項1から8までの何れかに記載の複合
    弁において、上記弁棒の先端とダイヤフラム弁との間
    に、該弁棒の操作力をダイヤフラム弁に伝えるための押
    圧子が介設されていることを特徴とするもの。
JP2000134833A 2000-05-08 2000-05-08 シリンダー操作形複合弁 Pending JP2001317655A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000134833A JP2001317655A (ja) 2000-05-08 2000-05-08 シリンダー操作形複合弁

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000134833A JP2001317655A (ja) 2000-05-08 2000-05-08 シリンダー操作形複合弁
TW90205935U TW472837U (en) 2000-05-08 2001-04-16 Cylinder-operated composited valve
US09/836,361 US20010037830A1 (en) 2000-05-08 2001-04-18 Cylinder operated combination valve
EP20010303899 EP1154178A3 (en) 2000-05-08 2001-04-30 Piston actuated valve
CNA011167858A CN1472458A (zh) 2000-05-08 2001-04-30 缸操作式复合阀
KR1020010024534A KR20010102936A (ko) 2000-05-08 2001-05-07 실린더 조작형 복합밸브

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001317655A true JP2001317655A (ja) 2001-11-16

Family

ID=18643034

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000134833A Pending JP2001317655A (ja) 2000-05-08 2000-05-08 シリンダー操作形複合弁

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20010037830A1 (ja)
EP (1) EP1154178A3 (ja)
JP (1) JP2001317655A (ja)
KR (1) KR20010102936A (ja)
CN (1) CN1472458A (ja)
TW (1) TW472837U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009002524A (ja) * 2008-10-03 2009-01-08 Fujikin Inc 流体制御器用多段アクチュエータおよびこれを備えた流体制御器
JP2009180333A (ja) * 2008-01-31 2009-08-13 Ckd Corp 薬液供給装置及び薬液供給弁

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7811532B2 (en) * 2005-04-18 2010-10-12 Air Products And Chemicals, Inc. Dual-flow valve and internal processing vessel isolation system
KR100819768B1 (ko) * 2006-07-05 2008-04-07 주식회사 퓨어라인 피엠아이 밸브
DE102008039420B4 (de) * 2008-08-13 2011-04-28 Prettl, Rolf Control fluid valve
CN103133722B (zh) * 2013-02-27 2016-02-24 中国科学院过程工程研究所 一种多功能的通用阀
US20140305522A1 (en) * 2013-04-12 2014-10-16 Parker-Hannifin Corporation Stream switching system
US9587759B2 (en) 2013-09-20 2017-03-07 Itt Manufacturing Enterprises Llc Quick release valve compressor
WO2016056066A1 (ja) * 2014-10-07 2016-04-14 藤倉ゴム工業株式会社 多段ピストンアクチュエータ
TWI649507B (zh) * 2016-02-02 2019-02-01 藤倉橡膠工業股份有限公司 多段活塞致動器

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2609321B1 (fr) * 1987-01-06 1989-05-05 Beauvir Jacques Vanne a commande pneumatique et bloc de distribution destine a une telle vanne
JP2852843B2 (ja) * 1993-04-02 1999-02-03 株式会社ベンカン Slow vent valve
FR2717113B1 (fr) * 1994-03-10 1996-05-03 Alcan France Dispositif portable de commande d'un outil, notamment pour le poinçonnage de profilés métalliques.
US5762086A (en) * 1995-12-19 1998-06-09 Veriflo Corporation Apparatus for delivering process gas for making semiconductors and method of using same
JP3940854B2 (ja) * 1997-03-25 2007-07-04 Smc株式会社 サックバックバルブ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009180333A (ja) * 2008-01-31 2009-08-13 Ckd Corp 薬液供給装置及び薬液供給弁
JP2009002524A (ja) * 2008-10-03 2009-01-08 Fujikin Inc 流体制御器用多段アクチュエータおよびこれを備えた流体制御器

Also Published As

Publication number Publication date
US20010037830A1 (en) 2001-11-08
KR20010102936A (ko) 2001-11-17
EP1154178A3 (en) 2003-01-22
TW472837U (en) 2002-01-11
EP1154178A2 (en) 2001-11-14
CN1472458A (zh) 2004-02-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6079636A (en) Fuel injection valve with a piezo-electric or magnetostrictive actuator
US6814338B2 (en) Two-port vacuum valve capable of adjusting valve-opening
US5007328A (en) Linear actuator
US7225830B1 (en) Fluid control valve
JP3997337B2 (ja) 流体制御装置
JP5762744B2 (ja) 複動形流体流れ方向制御弁
US8205632B2 (en) Fluid flow control device
US6935374B2 (en) Pressure proportional control valve
EP1664957B1 (en) Side spray diverter valve
ES2236263T3 (es) Valvula de control neumatico.
US7021332B2 (en) Hydraulic valve section with reduced bore distortion
EP0208126B1 (de) Verfahren zur Verwirklichung eines leckagefrei schaltenden und sitzreinigungsfähigen Doppelsitzventils und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
JP4247579B2 (ja) 外部ポート付きマニホールド形電磁弁
JP2004162918A (ja) 圧力バランス取りピストンを備える弁およびそれに関わる方法
DE10234482B3 (de) Vorrichtung zum Antrieb für Doppelsitzventile
AT506019B1 (de) Ventilträgerbaugruppe
JP5991288B2 (ja) 残圧排出弁付き5ポート切換弁
KR101723128B1 (ko) 밸브 부재 단부를 밀봉하기 위한 다이어프램을 구비한 압력 평형 밸브
US7690622B2 (en) Diaphragm-type electromagnetic valve with closing-force strengthening mechanism
US5156184A (en) Solenoid operated transmission cartridge valve
BE1000959A3 (fr) Organe empilable de base de distribution pour circuit de fluide.
CH691877A5 (de) Vakuumdruck-Kontrollventil für verlangsamte Absaugung.
JP4275135B2 (ja) 方向制御弁
US20040061082A1 (en) Valve arrangement and method of directing fluid flow
WO2004048784A3 (en) Modular surface mount fluid system