JP2001317655A

JP2001317655A - シリンダー操作形複合弁

Info

Publication number: JP2001317655A
Application number: JP2000134833A
Authority: JP
Inventors: Toyonobu Sakurai; 井豊信桜
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2000-05-08
Filing date: 2000-05-08
Publication date: 2001-11-16
Also published as: US20010037830A1; KR20010102936A; EP1154178A3; CN1472458A; EP1154178A2; TW472837U

Abstract

(57)【要約】【課題】基板に対する取り付けが簡単で取付スペース
も小さくてすみ、パージガスの置換特性にも勝れるシリ
ンダー操作形複合弁を得る。【解決手段】ダイヤフラム弁１４の変位により流体流
路１２ａを開閉する弁機構部４Ａ，４Ｂと、複数のピス
トン２４が連結された弁棒２５で上記ダイヤフラム弁１
４を開閉操作するシリンダー操作部５Ａ，５Ｂとからな
る２組の制御弁２Ａ，２Ｂを、相互に結合された１組の
ケーシング７，８内に組み込むことにより一体化し、上
記制御弁２Ａ，２Ｂ同士を結ぶ流路１２ｂ，１２ｂ上記
ケーシング７の内部に設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体圧シリンダー
で弁部材を開閉操作するシリンダー操作形の制御弁を複
合化したシリンダー操作形複合弁に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ガスなどの流体を制御する制御弁の一種
に、流体圧シリンダーで弁部材を開閉操作するシリンダ
ー操作形制御弁がある。この種の制御弁は、例えば半導
体ディバイスの製造工程等において、プロセスガスの流
れをコントロールしたりパージガスと置換したりする場
合などに使用されるもので、ユニット基板上に複数の制
御弁が他の制御機器と組み合わせて設置されることによ
りプロセスガスラインが構成される。図５には、このよ
うなプロセスガスラインを構成する制御ユニットの一例
が示されている。この制御ユニットは、制御機器同士を
結ぶガス流路５２を内部に備えたユニット基板５１上
に、手動弁５３、減圧弁５４、圧力トランスデューサー
５５、オートフィルター５６、２ポート式制御弁５７、
３ポート式制御弁５８、マスフローコントローラー５
９、３ポート式制御弁５８、２ポート式制御弁５７を順
次搭載したもので、基板５１の両端には、プロセスガス
の入口ポート６０と出口ポート６１が設けられている。

【０００３】このようなプロセスガスの制御ユニットに
おいては、マスフローコントローラー５９の前後にそれ
ぞれ２つの制御弁５７，５８が並べて搭載されるが、こ
の場合に、２つの制御弁５７，５８及びユニット基板５
１にボルト等による固定手段を個別に設けなければなら
ないため、その取り付けが面倒であるだけでなく、固定
用のスペースを個々に占有することになるためそれがユ
ニットを小形化する際の障害となる。また、上記２つの
制御弁５７，５８が基板５１の内部に設けた流路５２ａ
を通じて相互に連結されているため、流路長が長くな
り、この結果、上記制御弁５８を開閉してプロセスガス
をパージガス流路６２からのパージガスで置換するとき
のデッドスペースが必然的に大きくなり、置換特性が低
下し易いという問題もある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、特にプロセスガスラインへの使用に適していて、ユ
ニット基板に対する取り付けが簡単で取付スペースも小
さくてすみ、しかもパージガスの置換特性にも勝れると
いったような特徴を有する、シリンダー操作形複合弁を
提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、ダイヤフラム弁の変位により流体
流路を開閉する弁機構部と、上記ダイヤフラム弁を開閉
操作するシリンダー操作部とからなる２組の制御弁を、
相互に一体化した複合弁であって、上記各弁機構部がそ
れぞれ、上記流体流路の中間部分に設けられたバルブシ
ートと、該バルブシートに接離して流路を開閉する、該
バルブシートから離反する方向の弾性力が付与された上
記ダイヤフラム弁と、これらのバルブシート及びダイヤ
フラム弁が設けられた弁孔とを備えていて、２組の弁機
構部が１つのバルブケーシング内に組み込まれると共
に、これら２組の弁機構部を結ぶ流体流路が該バルブケ
ーシングの内部に設けられ、上記各シリンダー操作部が
それぞれ、上記弁孔内に進入する先端部分で上記ダイヤ
フラム弁を開閉させる前後進自在の弁棒と、該弁棒に取
り付けられた複数のピストンと、各ピストンの何れか一
方の受圧面側に形成された圧力室と、これらの各圧力室
に圧力流体を供給するための操作ポートと、該操作ポー
トと上記各圧力室とを結ぶ連通孔と、上記ダイヤフラム
弁がバルブシートに着座する弁閉時に該ダイヤフラム弁
の着座力を発生させる弁ばねとを備えていて、上記バル
ブケーシングに結合された１つのシリンダーケーシング
内に２組のシリンダー操作部が組み込まれていることを
特徴とするシリンダー操作形複合弁が提供される。

【０００６】上記構成を有する本発明の複合弁は、２組
のシリンダー操作形の制御弁を、相互に結合された１つ
のバルブケーシング及びシリンダーケーシング内に組み
込むことにより一体化したので、それを例えばプロセス
ガス用制御ユニットのユニット基板に取り付ける場合に
は、１つの制御弁を取り付ける場合と同じ手数で済むた
め取り付けが簡単であり、取付スペースも小さくてす
む。しかも、２組の制御弁をバルブケーシング内の短い
流路で結ぶことができるため、ユニット基板内に設けた
長い流路で連通させていた従来装置に比べると、プロセ
スガスをパージガスで置換する場合のデッドスペースが
非常に小さくなり、これによって置換特性も向上する。
また、上記各シリンダー操作部が複数のピストンを備え
ていて、ダイヤフラム弁を開閉する際の弁棒の操作力
が、上記複数のピストンに発生する流体圧作用力の和と
なるため、複合弁が小形化されてピストンが小径であっ
ても、必要な大きい操作力を得ることができる。

【０００７】本発明の具体的な実施形態によれば、上記
バルブケーシングが、シリンダーケーシングに連結され
た側とは反対側の端面に、プロセスガス用制御ユニット
のユニット基板へ取り付けるための取付面を有し、該取
付面に上記流体流路に通じる複数のポートを備えてい
る。

【０００８】本発明の他の具体的な実施形態によれば、
上記シリンダーケーシングが、相互に平行に延びる２つ
のシリンダー孔を有していて、各シリンダー孔の内部が
円板形部材からなる複数の隔壁によって複数のピストン
室に仕切られると共に、各ピストン室内にそれぞれ、上
記隔壁と実質的に同じ構成の円板形部材からなる上記ピ
ストンが収容されている。

【０００９】本発明の複合弁においては、上記２組のシ
リンダー操作部が１つの操作ポートを共有していて、こ
の操作ポートが２組のシリンダー操作部の各圧力室に連
通していても、あるいは２組のシリンダー操作部がそれ
ぞれ個別の操作ポートを有していて、各操作ポートが、
対応するシリンダー操作部の各圧力室に弁棒の内部に形
成された上記連通孔を通じて連通していても良い。前者
の場合には、操作ポートを通じて圧力流体を供給するこ
とにより２組の制御弁を同時に動作させることができ、
後者の場合には、個々の操作ポートから圧力流体を供給
することにより２組の制御弁を個別に動作させることが
できる。

【００１０】本発明の複合弁においてはまた、上記２組
の制御弁が、非操作時にダイヤフラム弁が閉弁状態を維
持するノーマルクローズ形制御弁と、非操作時にダイヤ
フラム弁が開弁状態を維持するノーマルオープン形制御
弁とを、同種同士組み合わせて構成したものであって
も、異種同士を組み合わせて構成したものであっても良
い。

【００１１】上記制御弁がノーマルクローズ形である場
合は、上記弁ばねを弁棒とシリンダーケーシングとの間
に設置することにより、該弁ばねの弾発力で弁棒を前進
させてダイヤフラム弁をバルブシートに着座させるよう
にすると共に、上記圧力室を各ピストンの第１受圧面側
に形成することにより、各ピストンに作用する流体圧で
上記弁棒に後退方向の操作力を発生させるように構成さ
れる。

【００１２】また、ノーマルオープン形の制御弁は、上
記弁棒の先端に、ダイヤフラム弁を着座方向に押圧する
ための可動部材を前後動自在に備えていて、この可動部
材を上記弁ばねにより前進方向に弾発し、また上記圧力
室を各ピストンの第２受圧面側に設けることにより、各
ピストンに作用する流体圧で上記弁棒に前進方向の操作
力を発生させるように構成される。

【００１３】上記弁棒の先端とダイヤフラム弁との間に
は、該弁棒の操作力をダイヤフラム弁に伝えるための押
圧子が介設されている。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１及び図２は本発明に係るシリ
ンダー操作形複合弁の第１実施例を示すものである。こ
の複合弁１Ａは、非操作時に弁閉状態を維持するノーマ
ルクローズ形の第１制御弁２Ａと、非操作時に弁開状態
を維持するノーマルオープン形の第２制御弁２Ｂとを、
一体に結合することにより構成されている。

【００１５】上記各制御弁２Ａ，２Ｂはそれぞれ、ダイ
ヤフラム弁１４の変位により流体流路を開閉する弁機構
部４Ａ，４Ｂと、上記ダイヤフラム弁１４を開閉操作す
るシリンダー操作部５Ａ，５Ｂとからなるもので、第１
制御弁２Ａの第１弁機構部４Ａと第２制御弁２Ｂの第２
弁機構部４Ｂとが、１つのバルブケーシング７を共有し
てその内部に平行に並べて組み込まれると共に、第１制
御弁２Ａの第１シリンダー操作部５Ａと第２制御弁２Ｂ
の第２シリンダー操作部５Ｂとが、上記バルブケーシン
グ７に結合された１つのシリンダーケーシング８を共有
してその内部に平行状態に並べて組み込まれている。

【００１６】上記シリンダーケーシング８は、基端部が
該シリンダーケーシング８に取り付けられた結合用のス
リーブ９を含んでいて、このスリーブ９の先端を上記バ
ルブケーシング７の弁孔１０内に嵌合させると共に、こ
のスリーブ９の外周のフランジ部９ａに係合するナット
部材１１をバルブケーシング７にねじ付けることによ
り、該バルブケーシング７に結合されている。

【００１７】次に、上記第１制御弁２Ａの具体的構成に
ついて説明する。この第１制御弁２Ａはノーマルクロー
ズ形の２ポート弁であって、上記第１弁機構部４Ａと第
１シリンダー操作部５Ａとを備えている。このうち第１
弁機構部４Ａは、上記バルブケーシング７の内部に形成
された第１流路１２ａ及び第２流路１２ｂと、これらの
流路１２ａ，１２ｂが開口する上記弁孔１０と、この弁
孔１０内に上記第１流路１２ａの開口部を取り囲むよう
に形成されたバルブシート１３と、該バルブシート１３
に接離して上記第１流路１２ａを開閉するダイヤフラム
弁１４とを備えている。このダイヤフラム弁１４は金属
製のもので、その外周部を円環状のダイヤフラム弁押え
１５で弁孔１０の内底部との間に挟持されることによっ
て設置され、バルブシート１３から離反する方向の弾性
力が付与されている。そして、上記ダイヤフラム弁押え
１５の中央の孔内には、ダイヤフラム弁１４の背面に当
接して開閉方向に一緒に変位する押圧子１６が摺動自在
に嵌合している。

【００１８】上記バルブケーシング７のシリンダーケー
シング８が結合された側とは反対側の端面には、プロセ
スガス用制御ユニットのユニット基板１８へ取り付ける
ための取付面７ａが形成されていて、この取付面７ａに
上記第１流路１２ａに通じるポート１９ａが開口してい
る。また、上記第２流路１２ｂは、上記第２制御弁２Ｂ
の第２流路１２ｂとバルブケーシング７の内部において
相互に直接連通せしめられている。

【００１９】一方、上記第１シリンダー操作部５Ａは、
上記シリンダーケーシング８の内部に形成されたシリン
ダー孔２０を有している。このシリンダー孔２０の内部
は、複数の隔壁２２によって複数のピストン室に仕切ら
れ、各ピストン室内にそれぞれピストン２４が摺動自在
に配設されており、これらの各ピストン２４は、上記各
隔壁２２の中心部を摺動自在に貫通する弁棒２５にそれ
ぞれ取り付けられている。この弁棒２５の先端は、シリ
ンダーケーシング８からスリーブ９内に延出して弁孔１
０内の上記ダイヤフラム弁１４に近接する位置まで延
び、上記押圧子１６に当接している。また、この弁棒２
５の先端とシリンダーケーシング８との間には弁ばね２
７が設けられ、この弁ばね２７の弾発力で上記弁棒２５
が常時ダイヤフラム弁１４側に向けて押されており、こ
の弁ばね２７の弾発力によりダイヤフラム弁１４が、押
圧子１６を介してバルブシート１３に押し付けられ、第
１流路１２ａを閉じるようになっている。従って上記弁
ばね２７は、ダイヤフラム弁１４がバルブシート１３に
着座する弁閉時に、該ダイヤフラム弁１４の着座力を発
生させるものである。なお第１流路１２ａの開放は、弁
棒２５の後退によりダイヤフラム弁１４が自身の弾性力
でバルブシート１３から離反することにより行われる。

【００２０】上記各隔壁２２は、シリンダーケーシング
８とは別体に形成された円板形の部材からなっていて、
これらの各部材が、シリンダー孔２０の内周面に設けた
止め輪２８でシリンダーケーシング８内に取り付けら
れ、その内外周には、シリンダーケーシング８の内周面
との間及び弁棒２５の外周面との間をシールするＯリン
グ２９ａ，２９ｂがそれぞれ取り付けられている。

【００２１】一方のピストン２４は、上記隔壁２２と実
質的に同じ構成の円板形部材からなっていて、弁棒２５
の外周面に設けた止め輪３０によって該弁棒２５に取り
付けられ、その内外周には、シリンダーケーシング８の
内周面との間及び弁棒２５の外周面との間をシールする
Ｏリング３１ａ，３１ｂがそれぞれ取り付けられてい
る。

【００２２】上記各ピストン２４の第１受圧面側（図示
の例では下面側）には、該ピストン２４に流体圧を作用
させるための圧力室３３が形成され、反対の第２受圧面
側（図示の例では上面側）には呼吸室３４が形成されて
おり、またシリンダーケーシング８の上面には、上記各
圧力室３３に圧縮空気等の圧力流体を供給するための操
作ポート３６と、上記各呼吸室３４からの排気を排出す
るための呼吸ポート３７とが設けられ、上記操作ポート
３６と各圧力室３３、及び呼吸ポート３７と各呼吸室３
４とが、シリンダーケーシング８の内部に形成された連
通孔３８ａ，３９ａによってそれぞれ接続されている。

【００２３】上記第１制御弁２Ａは、上記操作ポート３
６から各圧力室３３内に圧力流体が供給されていないと
きは、弁ばね２７の弾発力により弁棒２５が前進し、押
圧子１６を介してダイヤフラム弁１４をバルブシート１
３に押し付けており、このため第１流路１２ａは閉じら
れている。

【００２４】いま、上記操作ポート３６から各圧力室３
３内に圧力流体が供給されると、流体圧により各ピスト
ン２４が駆動されて弁棒２５が後退するため、ダイヤフ
ラム弁１４が自身の弾発力によりバルブシート１３から
離れ、弁開状態になる。このときの弁棒２５の操作力
は、複数のピストン２４に発生する作用力の和となる。
図示の例では３つのピストン２４が設けられているた
め、操作力は１つのピストン２４に作用する力の３倍と
なる。従って、複合弁が小形化されてピストン２４が小
径であっても、大きい操作力を得ることができる。ま
た、１つのシリンダーケーシング８の内部に複数のピス
トン２４を収容した構成であるため、複数のシリンダー
をタンデム式に連結して使用する場合に比べ、構造が簡
単で加工及び組み立ても容易であり、精度も出し易いと
いう利点がある。

【００２５】各圧力室３３内の圧力流体を排出すると、
弁ばね２７の弾発力により弁棒２５は前進し、押圧子１
６を介してダイヤフラム弁１４をバルブシート１３に押
し付けるため、第１流路１２ａが閉じられる。

【００２６】次に、上記第２制御弁２Ｂの具体的構成に
ついて説明する、この第２制御弁２Ｂはノーマルオープ
ン形の３ポート弁であって、上記第２弁機構部４Ｂと第
２シリンダー操作部５Ｂとを備えている。このうち第２
弁機構部４Ｂは、上記バルブケーシング７の内部に第１
流路１２ａと第２流路１２ｂ及び第３流路１２ｃを備え
ていて、第２流路１２ｂと上記第１制御弁２Ａの第２流
路１２ｂとが相互に連通し、第１流路１２ａと第３流路
１２ｃがバルブケーシング７の取付面７ａに開口するポ
ート１９ｂ，１９ｃに連通している。第２弁機構部４Ｂ
のこれ以外の構成は、上記第１弁機構部４Ａと実質的に
同じであるから、主要な同一構成部分に第１弁機構部４
Ａと同じ符号を付してその説明は省略する。

【００２７】一方、上記第２シリンダー操作部５Ｂにお
いては、弁棒２５の先端のシリンダーケーシング８から
スリーブ９内に延出する部分２５ａの内部に、その先端
面から軸線方向に向けて孔４０が形成され、この孔４０
の先端部に押圧子１６に当接する可動部材４１が前後動
自在に設置され、この可動部材４１と孔底部との間に弁
ばね２７が介設されている。４３は上記可動部材４１が
孔４０から抜け出さないように係止させるストッパであ
る。

【００２８】また、上記シリンダーケーシング８の内部
においては、上記弁棒２５に取り付けられたプレート４
４とシリンダー孔２０の孔底との間に復帰ばね４５が設
けられ、この復帰ばね４５で弁棒２５が常時後退方向、
すなわち弁開方向に弾発されている。そして、上記各ピ
ストン２４の上面側である第２受圧面側に圧力室３３が
設けられると共に、下面側である第１受圧面側に呼吸室
３４が設けられ、これらの圧力室３３及び呼吸室３４
が、シリンダーケーシング８内に形成された連通孔３８
ｂ，３９ｂによって上記操作ポート３６及び呼吸ポート
３７にそれぞれ連通している。第２シリンダー操作部５
Ｂの上記以外の構成については、実質的に上記第１シリ
ンダー操作部５Ａと同じであるから、主要な同一構成部
分に第１シリンダー操作部５Ａと同じ符号を付してその
説明は省略する。。

【００２９】この第２制御弁２Ｂにおいて、操作ポート
３６から各圧力室３３に圧力流体が供給されていない非
操作状態では、図２に示すように復帰ばね４５の弾発力
により弁棒２５が後退し、ダイヤフラム弁１４が自身の
弾発力でバルブシート１３から離反することにより弁開
状態を維持している。

【００３０】上記操作ポート３６から各圧力室３３内に
圧力流体が供給されると、各ピストン２４に作用する流
体圧作用力により弁棒２５が前進し、可動部材４１が押
圧子１６を押してダイヤフラム弁１４をバルブシート１
３に圧接させるため、弁閉状態になる。このとき上記弁
ばね２７は圧縮状態にあり、その弾発力がダイヤフラム
弁１４の着座力を発生させる。

【００３１】この場合、上記操作ポート３６及び呼吸ポ
ート３７は２組の制御弁２Ａ，２Ｂに共通のもので、こ
の一つの操作ポート３６に圧力流体を供給することによ
り、２つの制御弁２Ａ，２Ｂが同時に操作される。この
ように、操作ポート３６を共通化することにより、配管
数が減少して構造が簡略化されると共に、配管コストも
安くなる。また、呼吸ポート３７に接続した配管を通じ
て排気を室外に排出することもできるため、複合弁をク
レーンルームで使用する場合などに、室内が排気で汚染
されるのを防いでこの室内をクリーンに保つことができ
る。

【００３２】また、２組の制御弁２Ａ，２Ｂの第２流路
１２ｂ，１２ｂ同士をバルブケーシング７の内部におい
て直接接続しているため、流路の接続長が短くなり、隣
接する制御弁をユニット基板１８内に設けた長い流路で
連通させていた従来装置に比べると、プロセスガスを例
えば第２制御弁２Ｂの第１流路１２ａから供給されるパ
ージガスで置換する場合のデッドスペースが非常に小さ
くなり、これによって置換特性が向上する。

【００３３】図３及び図４は本発明に係る複合弁の第２
実施例を示すもので、この第２実施例の複合弁１Ｂが上
記第１実施例の複合弁１Ａと相違する点は、第１実施例
の複合弁１Ａは、１つの共通の操作ポート３６によって
２組の制御弁２Ａ，２Ｂを同時に操作するように構成さ
れているのに対し、この複合弁１Ｂは、２組の制御弁２
Ａ，２Ｂが個別の操作ポート３６ａ，３６ｂを有してい
て、各操作ポート３６ａ，３６ｂで、対応する制御弁２
Ａ，２Ｂを個別に操作できるように構成されている点で
ある。

【００３４】すなわち、シリンダーケーシング８の上面
には、最も上端に位置する隔壁２２ａの中央部に上方に
立ち上がったボス部４７が形成され、このボス部４７に
上記操作ポート３６ａ，３６ｂが設けられ、この操作ポ
ート３６ａ，３６ｂと各圧力室３３とが、弁棒２５の内
部に形成された連通孔４８を通じて相互に接続されてい
る。従って、上記操作ポート３６ａ，３６ｂから各制御
弁２Ａ，２Ｂの圧力室３３に圧力流体を供給することに
より、２組の制御弁２Ａ，２Ｂを個別に操作することが
できる。なお、第２実施例の上記以外の構成及び作用に
ついては実質的に第１実施例と同じであるから、主要な
同一構成部分に第１実施例と同じ符号を付してその説明
は省略する。

【００３５】また、上記各実施例では、２組の制御弁２
Ａ，２Ｂの呼吸室３４を共通の呼吸ポート３７に接続
し、この呼吸ポート３７から排気をまとめて排出するよ
うにしているが、このような呼吸ポート３７を設けるこ
となく、例えばシリンダーケーシング８の側面に各呼吸
室３４に通じる呼吸孔を個別に設けても良い。

【００３６】更に、上記第１及び第２実施例の複合弁１
Ａ，１Ｂは、ノーマルクローズ形の制御弁２Ａとノーマ
ルオープン形の制御弁２Ｂとを組み合わせたものである
が、ノーマルクローズ形制御弁同士又はノーマルオープ
ン形制御弁同士を組み合わせたものであっても良い。こ
れらの場合に、第１実施例のように２組の制御弁に１つ
の操作ポートを共有させても、各制御弁に操作ポートを
個別に設けても良い。また、その他の変形例等について
も第１及び第２実施例の場合と同様である。

【００３７】

【発明の効果】以上に詳述したように、本発明のシリン
ダー操作形複合弁によれば、２組の制御弁をケーシング
内に一体に組み込むと共に、２組の制御弁同士をケーシ
ング内に設けた短い流路で直接接続しているため、ユニ
ット基板に対する取り付けが簡単で取付スペースも小さ
くてすむだけでなく、パージガスの置換特性にも勝れる
といった利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るシリンダー操作形複合弁の第１実
施形態を示す断面図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】本発明に係るシリンダー操作形複合弁の第２実
施形態を示す断面図である。

【図４】図３の平面図である。

【図５】プロセスガスラインを構成する制御ユニットの
公知例を示す断面図である。

【符号の説明】

１Ａ，１Ｂ複合弁２Ａ第１制御弁２Ｂ第２制御弁４Ａ第１弁機構部４Ｂ第２弁機構部５Ａ第１シリンダー操作部５Ｂ第２シリンダー操作部７バルブケーシング７ａ取付面７８シリンダーケーシング１０弁孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃ流路１３バルブシート１４ダイヤフラム弁１６押圧子１８ユニット基板１９ａ，１９ｂ，１９ｃポート２０シリンダー孔２２，２２ａ隔壁２３ピストン室２４ピストン２５弁棒２７弁ばね３３圧力室３６，３６ａ，３６ｂ操作ポート３８，４８連通孔

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ダイヤフラム弁の変位により流体流路を開
閉する弁機構部と、上記ダイヤフラム弁を開閉操作する
シリンダー操作部とからなる２組の制御弁を、相互に一
体化した複合弁であって、上記各弁機構部がそれぞれ、上記流体流路の中間部分に
設けられたバルブシートと、該バルブシートに接離して
上記流路を開閉する、該バルブシートから離反する方向
の弾性力が付与された上記ダイヤフラム弁と、これらの
バルブシート及びダイヤフラム弁が設けられた弁孔とを
備えていて、２組の弁機構部が１つのバルブケーシング
内に組み込まれると共に、これら２組の弁機構部を結ぶ
流体流路が該バルブケーシングの内部に設けられ、上記各シリンダー操作部がそれぞれ、上記弁孔内に進入
する先端部分で上記ダイヤフラム弁を開閉させる前後進
自在の弁棒と、該弁棒に取り付けられた複数のピストン
と、各ピストンの何れか一方の受圧面側に形成された圧
力室と、これらの各圧力室に圧力流体を供給するための
操作ポートと、該操作ポートと上記各圧力室とを結ぶ連
通孔と、上記ダイヤフラム弁がバルブシートに着座する
弁閉時に該ダイヤフラム弁の着座力を発生させる弁ばね
とを備えていて、上記バルブケーシングに結合された１
つのシリンダーケーシング内に２組のシリンダー操作部
が組み込まれている、ことを特徴とするシリンダー操作
形複合弁。
【請求項２】請求項１に記載の複合弁において、上記バ
ルブケーシングが、シリンダーケーシングに連結された
側とは反対側の端面に、プロセスガス用制御ユニットの
ユニット基板へ取り付けるための取付面を有し、該取付
面に上記流体流路に通じる複数のポートを備えているこ
とを特徴とするもの。
【請求項３】請求項１に記載の複合弁において、上記シ
リンダーケーシングが、相互に平行に延びる２つのシリ
ンダー孔を有していて、各シリンダー孔の内部が円板形
部材からなる複数の隔壁によって複数のピストン室に仕
切られると共に、各ピストン室内にそれぞれ、上記隔壁
と実質的に同じ構成の円板形部材からなる上記ピストン
が収容されていることを特徴とするもの。
【請求項４】請求項１から３までの何れかに記載の複合
弁において、上記２組のダー操作部が１つの操作ポート
を共有していて、この操作ポートが２組のシリンダー操
作部の各圧力室に連通していることを特徴とするもの。
【請求項５】請求項１から４までの何れかに記載の複合
弁において、上記２組のシリンダー操作部がそれぞれ個
別の操作ポートを有していて、各操作ポートが、対応す
るシリンダー操作部の各圧力室に弁棒の内部に形成され
た上記連通孔を通じて連通していることを特徴とするも
の。
【請求項６】請求項１から５までの何れかに記載の複合
弁において、２組の制御弁が、非操作時にダイヤフラム
弁が閉弁状態を維持するノーマルクローズ形制御弁と、
非操作時にダイヤフラム弁が開弁状態を維持するノーマ
ルオープン形制御弁との、同種同士又は異種同士の組み
合わせであることを特徴とするもの。
【請求項７】請求項６に記載の複合弁において、上記ノ
ーマルクローズ形制御弁が、上記弁ばねを弁棒とシリン
ダーケーシングとの間に設置することにより、該弁ばね
の弾発力で弁棒を前進させてダイヤフラム弁をバルブシ
ートに着座させるようにすると共に、上記圧力室を各ピ
ストンの第１受圧面側に形成することにより、各ピスト
ンに作用する流体圧で上記弁棒に後退方向の操作力を発
生させるように構成されていることを特徴とするもの。
【請求項８】請求項６に記載の複合弁において、ノーマ
ルオープン形制御弁が、上記弁棒の先端に、ダイヤフラ
ム弁を着座方向に押圧するための可動部材を前後動自在
に備えていて、この可動部材を上記弁ばねにより前進方
向に弾発し、また上記圧力室を各ピストンの第２受圧面
側に設けることにより、各ピストンに作用する流体圧で
上記弁棒に前進方向の操作力を発生させるように構成さ
れていることを特徴とするもの。
【請求項９】請求項１から８までの何れかに記載の複合
弁において、上記弁棒の先端とダイヤフラム弁との間
に、該弁棒の操作力をダイヤフラム弁に伝えるための押
圧子が介設されていることを特徴とするもの。