KR100819768B1 - 피엠아이 밸브 - Google Patents

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KR100819768B1
KR100819768B1 KR1020060063173A KR20060063173A KR100819768B1 KR 100819768 B1 KR100819768 B1 KR 100819768B1 KR 1020060063173 A KR1020060063173 A KR 1020060063173A KR 20060063173 A KR20060063173 A KR 20060063173A KR 100819768 B1 KR100819768 B1 KR 100819768B1
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이희만
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Abstract

본 발명은 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브에 관한 것으로서, 반도체 제조 설비 배관 설비에 있어서, 소정량의 화학 약품을 자동으로 공급하는 수지제 유압 작동 자동 밸브와 약품의 공급을 수동으로 차단할 수 있는 매뉴얼 밸브를 일체형으로 통합 성형한 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(Pneumatic and Manual Integrated Valve)에 관한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브는 배관 라인에 설치되어 유로를 형성하고, 이 유로를 차단 또는 개방할 수 있는데,
화학 약품이 유입되는 밸브 내부의 유로를 형성하는 유입구 및 유출구, 상기 유입구로 유입된 유로를 수동으로 개폐하기 위한 매뉴얼 밸브부, 상기 매뉴얼 밸브부에 연속되어 공기압에 의해 소정 주기로 개폐 동작을 반복하는 유압 작동 자동 밸브부, 상기 매뉴얼 밸브부와 상기 유압 작동 자동 밸브부 사이에 유로를 형성하는 내부 유로, 및 상기 매뉴얼 밸브부와 상기 유압 작동 자동 밸브부를 동시에 수용할 수 있는 하부 프레임을 포함하여 일체로 이루어는 것을 특징으로 한다.
매뉴얼 밸브, 유압 작동 자동 밸브, 오토 밸브, 밸브 관리 상자

Description

피엠아이 밸브{Pneumatic and Manual Integrated Valve}
도 1은 종래의 반도체 제조 설비의 배관 라인을 예시적으로 도시한 개념도,
도 2a는 도 1에 도시한 반도체 제조 설비의 배관 라인에서 반도체 제조 장비에 소정량의 약액을 자동으로 공급하기 위한 유압 작동 자동 밸브의 사시도,
도 2b는 도 2a에 도시한 유압 작동 자동 밸브의 단면도,
도 3a는 도 1에 도시한 배관 라인에 설치되어 반도체 제조 장비에 소정량의 약액을 공급 또는 차단하기 위한 공급하기 위한 매뉴얼 밸브의 상세한 구조를 도시한 사시도,
도 3b는 도 3a에 도시한 매뉴얼 밸브의 단면도,
도 4는 도 2a에 도시한 유압 작동 자동 밸브와 매뉴얼 밸브가 도 1에 도시한 배관 라인 상의 VMB에 설치하기 위한 유압 작동 자동 밸브와 매뉴얼 밸브의 연결 상태도,
도 5a는 본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브의 상세한 구조를 도시한 사시도,
도 5b는 도 5a에 도시한 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브의 내부 구조를 설명하기 위한 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브 101 : 유체 인입구
103 : 유체 유출구 110 : 매뉴얼 밸브부
111 : 핸들부 113 : 샤프트
115 : 다이어프램 120 : 자동 밸브부
121 : 공기압 인입구 123 : 실린더
125 : 다이어프램
본 발명은 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(Pneumatic and Manual Integrated Valve, 이하, 단순히 PMI 밸브 또는 피엠아이 밸브라 칭할 수도 있다)에 관한 것으로서, 보다 상세히 설명하면, 반도체 제조 설비 배관 라인, 식품 제조 설비 배관 라인, 또는 화학 약품 제조 설비 배관 라인 등에서 널리 사용되고 있는 불소 수지 등으로 이루어진 배관 라인 상에 설치되어 소정량의 화학 약품을 자동으로 공급하는 수지제 유압 작동 자동 밸브[pneumatically actuated automatic valve, 이하, 단순히 "자동 밸브(automatic valve)"라 칭함]와 약품의 공급을 수동으로 차단할 수 있는 매뉴얼 밸브를 일체형으로 통합 성형한 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브에 관한 것이다.
현재, 반도체 제조 설비 배관 라인, 식품 제조 설비 배관 라인, 또는 화학 약품 제조 설비 배관 라인에는 화학 약품을 제조 설비에 공급 또는 차단하기 위한 배관으로서는 내열성, 내약품성, 성형성이 우수하고, 낮은 수축성을 갖는 불포화 폴리에스테르 조성물 다시 말하면, 불소계 수지제로 이루어진 배관 및 여러 종류의 밸브가 널리 사용되고 있다.
도 1은 현재 널리 사용되고 있는 반도체 제조 설비의 배관 라인을 개략적으로 도시한 개념도이다.
도 1에 있어서, 복수의 화학 약품 용액 저장 탱크(도시하지 않음)로부터 여러 종류의 화학 약품 용액을 복수의 반도체 제조 장치(30)에 연속 또는 단속적으로 제공하기 위해서는 복수의 화학 약품 용액 저장 탱크로부터 각각의 메인 공급 배관 및 서브 메인 공급 배관이 서로 교차되지 않고 엇갈리게 설치되어 있고, 메인 공급 배관 및 서브 메인 공급 배관의 분기점에 티형 분기관이 설치되어 있고, 반도체 칩의 대량 생산을 위해 CMP 공정, WET 에칭 공정, 포토리소그래픽(Photo Lithograpic) 공정을 반복적으로 수행하기 위한 반도체 제조 장치(30)들에 약품을 소정 간격으로 소정량의 약액을 공급하기 위해 도 2a 및 도 2b에 도시한 바와 같은 자동 밸브(70)이 설치되어 있다. 또한, 자동 밸브(70)의 전후단부에는 자동 밸브(70)의 약액을 수동으로 제어하기 위해 도 3a 및 도 3b에 도시한 바와 같은 매뉴얼 밸브(80)가 사용되고 있다.
이러한 복수의 유압 작동 자동 밸브(70) 및 매뉴얼 밸브(80)는 일반적으로 반도체 제조 장치로의 약품의 공급을 제어 및 모니터링하기 위해 밸브 관리 함(VMB : Valve Management Box, 이하 단순히 VMB라 약칭한다)(50)에 수용되도록 설치된다.
도 2a 및 도 2b는 도 1에 도시한 반도체 제조 설비의 배관 라인에서 반도체 제조 장비(30)에 소정량의 약액을 자동으로 공급하기 위한 자동 밸브(70)의 사시도 및 단면도이다.
도 2a 및 도 2b에 있어서, 자동 밸브(70)은 공기압 유입구(79)를 통해 콤프레셔(도시하지 않음)에서 공급되는 공기압에 의해 밸브 내부에 구성된 피스톤(75)을 상승시키고, 피스톤(75)의 하단부에 부착된 다이어프램(77)도 동시에 상승하여 유로가 개방되어 소정량의 약액을 반도체 제조 장치(30)에 공급한다. 또한, 상승된 피스톤(75)는 유입구(79)의 반대쪽에 설치되어 있는 공기 유출구(78)을 통해 배출됨에 따라 밸브 내의 공기압이 감소하여 서서히 하강하게 되어 밸브내의 공기압이 모두 배출되는 경우, 이 피스톤에 연결된 다이어프램(77)이 유로를 완전히 차단하여 약액의 공급이 차단된다. 이러한 자동 밸브(70)는 프로그램된 공기압의 공급 주기 등에 따라 반도체 제조 장치(30)로의 약품 공급량과 주기를 조절할 수 있다.
또한, 이러한 자동 밸브(70)의 배관 라인 전단부 또는 후단부에는 일반적으로 약품의 바이패스 또는 차단을 위한 수동 매뉴얼 밸브(80)가 설치된다.
도 3a 및 도 3b는 도 1에 도시한 배관 라인에 설치되어 반도체 제조 장비에 소정량의 약액을 공급 또는 차단하기 위한 공급하기 위한 매뉴얼 밸브의 상세한 구조를 도시한 사시도 및 단면도이다.
이러한 수동 매뉴얼 밸브(80)는 핸들(85)을 구비하고 있고, 핸들을 인위적으로 조작하여 약액을 공급 및 차단하는 구조로 이루어져 있다. 이러한 수동 매뉴얼 밸브(80)의 구조에 대해서는 본 발명의 출원인에 의해 출원되어 등록된 한국실용신안 등록제 20-395463호에 상세히 설명되어 있다. 따라서, 여기에서는 수동 매뉴얼 밸브(80)의 구조 및 작동 원리에 대한 상세한 설명을 생략하기로 한다.
한편, 일반적으로 상술한 매뉴얼 밸브(80) 및 자동 밸브(70)는 반도체 제조 장치(30)에 공급되는 약액의 공급 및 누설 등을 관리하기 위해 도 1에 도시한 바와 같은 VMB에 일괄적으로 설치하여 모니터링 및 제어 조작하게 된다.
도 4는 도 2a에 도시한 자동 유압 밸브(70)와 도 3a에 도시한 매뉴얼 밸브(80)가 도 1에 도시한 배관 라인 상의 VMB에 설치하기 위한 자동 유압 밸브(70)와 매뉴얼 밸브(80)의 연결 상태도이다.
이러한 매뉴얼 밸브(80) 및 자동 밸브(70)를 VMB에 설치하기 위해서는 도 4에 도시한 바와 같이 자동 밸브(70)의 유출구(71)에 배관 라인(90)을 통해 매뉴얼 밸브(80)에 접속되어 연결된다.
일반적으로 반도체 제조 설비에 있어서는 도 2a 및 도 3a에 도시한 자동 밸브와 매뉴얼 밸브를 VMB에 설치하기 위해서는 자동 밸브가 위쪽으로 직립하고, 매뉴얼 밸브가 하단부에 배치되는 경향이 있으나, 반대 방향으로 배치되어도 어떠한 문제도 발생되지 않는다.
이러한 종래의 매뉴얼 밸브(80)와 자동 밸브(70)를 VMB(도 1의 50)에 설치하기 위해서는 VMB가 상대적으로 커지게 된다는 문제점이 있다. 다시 말하면, VMB는 통상적으로 내부를 관찰할 수 있는 유리 창문을 포함하는 철제 박스 형태로 이루어지는데 매뉴얼 밸브와 자동 밸브를 이 VMB에 설치하기 위해서는 이들 사이에는 배관 라인(9)이 필수적으로 포함되어야 한다. 따라서, 아무리 작은 또는 근접하게 배관 라인을 설치할지라도 매뉴얼 밸브의 유출구와 자동 밸브의 유입구 사이에 배관 라인이 설치되어야 하므로, 설치면적이 커질 수밖에 없고, 따라서, VMB의 크기도 커야할 수밖에 없다.
또한, 매뉴얼 밸브의 유출구와 자동 밸브의 유입구 사이에 배관 라인(9)이 설치되어야 하므로, 누설점(leakage point)이 많아 진다는 것을 알 수 있다.
도 4에 도시한 종래의 기술에서의 누설점은 매뉴얼 밸브의 유입구의 접속체결부, 유출구의 접속체결부, 다이어프램부와 자동 밸브의 유입구의 접속체결부, 유출구의 접속체결부, 다이어프램부로 작용할 수 있다. 다시 말하면, 접속 체결부가 풀리거나, 또는 다이어프램부가 파손에 의해 누설점이 발생할 수 있다는 것이다.
따라서, 도 4에 도시한 매뉴얼 밸브와 자동 밸브를 연결하여 VMB에 수용하기 위해서는 상술한 바와 같은 누설점을 줄이는 것이 제품을 신뢰성을 향상시키는 것이고, 밸브가 점유하는 면적을 줄임으로써, VMB의 크기를 줄일 수 있으며, VMB의 크기를 줄임으로써, VMB의 모니터링 및 밸브 조작을 용이하게 할 수 있다.
상술한 단점들을 감안하여 이루어진 본 발명의 실시예는, 종래의 매뉴얼 밸브와 자동 밸브를 일체형으로 형성함으로써, 반도체 제조 설비의 VMB에 있어서, VMB의 크기와 접속점 즉, 누설점을 획기적으로 줄일 수 있어서 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명의 실시예는 매뉴얼 밸브와 자동 밸브를 일체형으로 형성함으로써, 반도체 제조 설비의 약액 공급 모니터링 및 유지 보수를 획기적으로 간편하게 할 수 있는 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명의 실시예는, 매뉴얼 밸브와 자동 밸브를 일체형으로 형성함으로써, 반도체 제조 설비의 배관 설비에 있어서, 배관 라인 상에 설치되는 부품 수를 줄일 수 있고, 최초 설치 및 유지 보수에 필요한 시간 및 인적 자원을 감소시킬 수 있으며, 화학 약품 용액 및 가스의 누출 사고시에도 빠른 시간내에 대처할 수 있는 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 한 실시예에 따른 수지제 배관 라인용 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브는,
배관 라인에 설치되어 유로를 형성하고, 이 유로를 차단 또는 개방할 수 있는데,
화학 약품이 유입되는 밸브 내부의 유로를 형성하는 유입구 및 유출구, 상기 유입구로 유입된 유로를 수동으로 개폐하기 위한 매뉴얼 밸브부, 상기 매뉴얼 밸브부에 연속되어 공기압에 의해 소정 주기로 개폐 동작을 반복하는 유압 작동 자동 밸브부, 상기 매뉴얼 밸브부와 상기 유압 작동 자동 밸브부 사이에 유로를 형성하는 내부 유로, 및 상기 매뉴얼 밸브부와 상기 유압 작동 자동 밸브부를 동시에 수용할 수 있는 하부 프레임을 포함하여 일체로 이루어는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 한 실시예에 따른 수지제 배관 라인용 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브를 구성하는 상기 매뉴얼 밸브부는, 회전에 의해 개폐 동작을 수행하는 핸들부, 및 상기 핸들부에 축의 한쪽 단부가 연결되고, 다른쪽 단부에 연결되어 핸들의 회전 동작에 의해 유로를 개폐하는 다이어프램으로 이루어져 있고,
상기 유압 작동 자동 밸브부는, 외부의 컴프레사로부터 압축공기를 유입되는 공기압 유입구 및 내부로 유입된 압축공기가 외부로 유출되는 유출구, 유입된 압축공기압에 의해 상하로 운동하는 실린더, 및 상기 실런더에 중심부가 연결되어 실린더의 상하 동작에 의해 유로를 개폐하는 다이어프램으로 이루어져 있는 것이 바람직하다.
(실시예)
이하, 도 5a 및 도 5b를 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 종래의 매뉴얼 밸브와 자동 밸브가 일체형으로 통합되어진 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)에 대해 상세히 설명하고자 한다.
도 5a는 본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브의 상세한 구조를 도시한 사시도이고, 도 5b는 도 5a에 도시한 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브의 내부 구조를 설명하기 위한 단면도이며, 도 6은 도 5a에 도시한 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브가 채용된 반도체 배관 라인 상의 VMB의 구조도이다.
도 5에 있어서, 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)는 이미 상술한 바와 같이, 도 2a에 도시한 자동 밸브(70)과 도 3a에 도시한 매뉴얼 밸브(80)를 일체형으로 구성된 형태로 이루어진 새로운 형태의 밸브임을 사전에 인지하여야 한다.
본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)는 크게 분류하면, 유입/유출구(101, 103), 매뉴얼 밸브부(120)과 자동 밸브부(130)로 이루어져 있다.
매뉴얼 밸브부(110)과 자동 밸브부(120)는 각각 종래의 매뉴얼 밸브(80)과 자동 밸브(70)의 각각의 내부 구성요소를 동일하게 포함하고 있기 때문에 그 기능 은 종래의 기능과 동일함을 알 수 있다.
도 5a 및 도 5b에 도시한 본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)는 종래의 매뉴얼 밸브(80)과 자동 밸브(70)와 비교하여 볼 때, 매뉴얼 밸브의 유출구와 자동 밸브의 유입구가 생략될 수 있으므로, 누설점은 종래의 밸브 장치에 비해 대략 1/3~1/2 줄어든다는 것을 알 수 있다.
도 5b에 있어서, 매뉴얼 밸브부(110)는 도 3b에 도시한 바와 같이, 핸들부(111), 핸들부에 한쪽 단부가 고정된 축(113), 축의 다른 쪽 단부에 고정된 다이어프램(115)를 포함하고 있고, 자동 밸브부(120) 역시 도 2b에 도시한 바와 같이, 공기압 유입구 및 유출구(121, 122), 실린더(123), 다이어프램(125)로 구성되어 있다.
본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)를 구성하는 상술한 구성요소는 각각 종래의 매뉴얼 밸브(80)과 자동 밸브(70)를 구성요소와 동일하다는 것임을 알 수 있다.
그러나, 종래의 매뉴얼 밸브(80)과 자동 밸브(70)와 비교하여 보면, 본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)은 1개의 하부 베이스에 매뉴얼 밸브부(110)과 자동 밸브부(120)를 통합하여 성형되도록 설계되었다. 따라서, 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)는 하부 베이스가 1 개이고, 매뉴얼 밸브부(110)와 자동 밸브부(120)사이에 내부 유로(130)가 형성되어 있다는 점에서 차이가 있다.
본 발명의 상세한 설명에서는 매뉴얼 밸브부(110)가 자동 밸브부(120)의 전단부에 형성되어 있는 것으로 설명하였으나, 이는 설명을 간단히 하고자 하는 것이므로, 이에 제한되지 않는다는 것을 인지하여야 한다. 즉, 완성된 본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)는 설치시 자동 밸브부(120)이 전단부에 배치될 수 있도록 할 수 있다. 한편, 본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)이 수직으로 설치될 경우, 자동 밸브부(120)이 수직으로 직립 또는 위쪽에 배치되고, 매뉴얼 밸브부(110)이 하단부 또는 아래쪽에 배치되는 것이 밸브의 조작에 유리하다.
이하, 도 5b를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)의 개폐 동작에 대해서 상세히 설명한다.
도 5b에 있어서, 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)의 유입구(101)를 통해 유입된 약액은 매뉴얼 밸브부(110)의 핸들(111)을 회전시켜 다이어프램(115)를 상승시킴으로써, 내부 유로(130)으로 흐르게 되고, 반대 방향으로 회전시킴으로써, 다이어프램(115)가 하강되어 약액이 유로(130)로 흐르는 것을 차단한다. 내부 유로(130)는 도면에서 볼때 매뉴얼 밸브(110)의 유출구 및 자동 밸브부(120)의 유입구 역활을 수행한다.
매뉴얼 밸브부(110)가 개방되어 유로가 개방되면, 내부 유로(130)로 흐르게 된다. 자동 밸브부(120)의 인입구 역할을 하는 내부 유로(130)내의 약액은 외부에 설치된 컴프레사로부터 공기압 인입구(121)에 소정의 공기압이 유입되면, 내부의 실린더(123)이 상승하게 되고, 실린더의 상승에 의해 실린더에 연결되어 있는 다이어프램(125)가 유로를 개방하여 약액이 유출구(103)으로 흐르게 한다. 자동 밸브부(120) 내부에 유입된 공기압이 외부로 배출됨에 따라 실린더가 하강하여 유로를 폐쇄하게 된다.
본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)의 유입구(101) 및 유출구(103)는 용접 등의 접속 방법에 의해 배관라인에 접속된다.
본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)는 도 1에 도시한 VMB(50)에 설치될 때 종래의 기술에 비해 밸브가 차지하는 공간이 적을 뿐만 아니라 밸브의 조작 면에서 상당한 편리성을 제공한다. 본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)는 일반적으로 자동 밸브부(120)가 위쪽으로 배치되고, 매뉴얼 밸브부(110)가 아래쪽으로 향하게 된다.
매뉴얼 밸브부(110)가 일반적으로 수직면에 대해 직각으로 배치되는 경우보다는 위쪽 또는 아래쪽으로 배치되는 것이 조작에 있어서 편리성을 제공한다.
또한, 본 발명의 실시예예 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브(100)는 도 1에 도시한 VMB(50)에 설치되어 화학 그룹별 통합 관리 등이 용이하며, 샘플링 기능 등을 수행할 수 있는 장점 등이 있다.
본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브는, 종래의 매뉴얼 밸브와 자동 밸브를 일체형으로 형성함으로써, 반도체 제조 설비의 VMB에 있어서, VMB의 크기와 접속점 즉, 누설점을 획기적으로 줄일 수 있어서 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브는, 매뉴얼 밸브와 자동 밸브를 일체형으로 형성함으로써, 반도체 제조 설비의 약액 공급 모니터링 및 유지 보수를 획기적으로 간편하게 할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브는, 매뉴얼 밸브와 자동 밸브를 일체형으로 형성함으로써, 반도체 제조 설비의 배관 설비에 있어서, 배관 라인 상에 설치되는 부품 수를 줄일 수 있고, 최초 설치 및 유지 보수에 필요한 시간 및 인적 자원을 감소시킬 수 있으며, 화학 약품 용액 및 가스의 누출 사고시에도 빠른 시간내에 대처할 수 있다는 장점이 있다.
도면에서 상세히 도시하고, 상술한 실시예에서 상세히 설명한 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의해서만 제한되고, 본 발명의 기술분야엣 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 변경하는 것이 가능하다. 따라서, 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.

Claims (3)

  1. 배관 라인에 설치되어 유로를 형성하고, 이 유로를 자동으로 개폐할 수 있을 뿐만 아니라 수동으로 개폐할 수 있는 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브에 있어서,
    화학 약품이 유입되는 밸브 내부의 유로를 형성하는 유입구 및 유출구,
    상기 유입구로 유입된 유로를 수동으로 개폐하기 위한 매뉴얼 밸브부,
    상기 매뉴얼 밸브부에 연속되어 공기압에 의해 소정 주기로 개폐 동작을 자동으로 반복하는 유압 작동 자동 밸브부,
    상기 매뉴얼 밸브부와 상기 유압 작동 자동 밸브부 사이에 유로를 형성하는 내부 유로, 및
    상기 매뉴얼 밸브부와 상기 유압 작동 자동 밸브부를 동시에 수용할 수 있는 하부 프레임
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 매뉴얼 밸브부가
    회전에 의해 개폐 동작을 수행하는 핸들부, 및
    상기 핸들부에 축의 한쪽 단부가 연결되고, 다른쪽 단부에 연결되어 핸들의 회전 동작에 의해 유로를 개폐하는 다이어프램
    으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 유압 작동 자동 밸브부가
    외부의 컴프레사로부터 압축공기를 유입되는 공기압 유입구 및 내부로 유입된 압축공기가 외부로 유출되는 유출구,
    유입된 압축공기압에 의해 상하로 운동하는 실린더, 및
    상기 실런더에 중심부가 연결되어 실린더의 상하 동작에 의해 유로를 개폐하는 다이어프램
    로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 자동 및 수동 일체형 피엠아이 밸브.
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