KR200280455Y1 - 에어밸브 테스트 장치 - Google Patents

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KR200280455Y1
KR200280455Y1 KR2020020010164U KR20020010164U KR200280455Y1 KR 200280455 Y1 KR200280455 Y1 KR 200280455Y1 KR 2020020010164 U KR2020020010164 U KR 2020020010164U KR 20020010164 U KR20020010164 U KR 20020010164U KR 200280455 Y1 KR200280455 Y1 KR 200280455Y1
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air
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KR2020020010164U
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권경만
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아남반도체 주식회사
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Abstract

본 고안은 에어밸브 테스트 장치에 관한 것으로서, 반도체 소자의 제조장치에 사용되는 에어밸브의 이상여부를 테스트하는 장치에 있어서, 에어공급부(11)로부터 공급되는 에어의 흐름을 제어하여 에어밸브(1)를 개폐시키는 솔레노이드밸브(10)와; 솔레노이드밸브(10)에 의해 개방된 에어밸브(1)의 입구에 유체를 공급하는 유체공급부(20)와; 에어밸브(1)의 출구에 연결되며, 에어밸브(1)의 입구로 공급된 유체를 외부로 배출시키는 배출파이프(30)와; 배출파이프(30)로부터 배출되는 유체 압력의 이상여부를 테스트할 수 있는 압력계(40)를 포함하는 것으로서, 반도체 소자의 제조장치에 사용되는 에어밸브의 이상여부를 신속하고 정확하게 테스트할 수 있도록 함으로써 에어밸브의 이상으로 인한 반도체 소자의 제조장치에 고장이 발생하는 것을 방지함과 아울러 고장 발생시 신속하게 대처하여 반도체 소자의 제조장치의 가동율을 증가시키는 효과를 가지고 있다.

Description

에어밸브 테스트 장치{AIR VALVE TESTER}
본 고안은 에어밸브 테스트 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 소자의 제조장치에 사용되는 에어밸브의 이상여부를 신속하고 정확하게 테스트할 수 있는 에어밸브 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자를 제조하기 위한 공정에는 초순수, 질소가스, 진공 등이 필요에 따라 공급되어지며, 이를 위해 반도체 소자의 제조장치에는 초순수, 질소가스, 진공 등의 흐름을 개폐하기 위하여 에어밸브가 구비된다.
이러한 에어밸브는 이상이 발생하는 경우 반도체 소자의 제조장치의 가동율을 현저하게 저하시키게 되며, 특히 에어밸브의 이상이 반도체 소자의 제조장치의 여러 부분과 연계되어 문제를 발생하는 경우 이러한 문제점 발견에 상당한 시간과 노력을 필요로 하므로 수시로 에어밸브의 이상여부를 테스트할 수 있는 별도의 장치가 필요하다.
본 고안은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 필요성에 의한 것으로서, 본 고안의 목적은 반도체 소자의 제조장치에 사용되는 에어밸브의 이상여부를 신속하고 정확하게 테스트할 수 있도록 함으로써 에어밸브의 이상으로 인한 반도체 소자의 제조장치에 고장이 발생하는 것을 방지함과 아울러 고장 발생시 신속하게 대처하여 반도체 소자의 제조장치의 가동율을 증가시키는 에어밸브 테스트 장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 고안은, 반도체 소자의 제조장치에 사용되는 에어밸브의 이상여부를 테스트하는 장치에 있어서, 에어공급부로부터 공급되는 에어의 흐름을 제어하여 에어밸브를 개폐시키는 솔레노이드밸브와; 솔레노이드밸브에 의해 개방된 에어밸브의 입구에 유체를 공급하는 유체공급부와; 에어밸브의 출구에 연결되며, 에어밸브의 입구로 공급된 유체를 외부로 배출시키는 배출파이프와; 배출파이프로부터 배출되는 유체 압력의 이상여부를 테스트할 수 있는 압력계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
유체공급부는 초순수공급부와, 질소가스공급부와, 진공공급부로 이루어져,이들로부터 에어밸브의 입구에 초순수 또는 질소가스 또는 진공을 선택적으로 공급하는 것을 특징으로 한다.
도 1은 본 고안에 따른 에어밸브 테스트 장치를 도시한 구성도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10 ; 솔레노이드밸브 11 ; 에어공급부
20 ; 유체공급부 21 ; 초순수공급부
21a,22a,23a ; 공급파이프 21b,22b,23b ; 개폐밸브
22 ; 질소가스공급부 23 ; 진공공급부
30 ; 배출파이프 40 ; 압력계
이하, 본 고안의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 고안에 따른 에어밸브 테스트 장치를 도시한 구성도이다. 도시된 바와 같이, 반도체 소자의 제조장치에 사용되는 에어밸브(1)의 이상여부를 테스트하는 에어밸브 테스트 장치는 에어공급부(11)로부터 공급되는 에어의 흐름을 제어하여 에어밸브(1)를 개폐시키는 솔레노이드밸브(10)와, 솔레노이드밸브(10)에 의해 개방된 에어밸브(1)의 입구에 유체를 공급하는 유체공급부(20)와, 에어밸브(1)의 출구에 연결되며 에어밸브(1)의 입구로 공급된 유체를 외부로 배출시키는 배출파이프(30)와, 배출파이프(30)로부터 배출되는 유체 압력의 이상여부를 테스트할 수 있는 압력계(40)를 포함한다.
솔레노이드밸브(10)는 스위치(SW)의 개방에 의해 전원공급부(12)로부터 전원을 인가받아 동작함으로써 에어공급부(11)의 에어를 에어밸브(1)로 공급하여 에어밸브(1)를 개방시킨다.
유체공급부(20)는 초순수공급부(21)와 질소가스공급부(22)와 진공공급부(23)로 이루어져, 이들로부터 초순수 또는 질소가스 또는 진공을 에어밸브(1)의 입구에 선택적으로 공급한다.
초순수공급부(21)와 질소가스공급부(22)와 진공공급부(23)로부터 초순수 또는 질소가스 또는 진공을 에어밸브(1)의 입구에 선택적으로 공급하기 위해 초순수공급부(21)와 질소가스공급부(22)와 진공공급부(23)는 에어밸브(1)의 입구로 초순수 또는 질소가스 또는 진공을 공급하는 공급파이프(21a,22a,23a)가 각각 연결되며, 공급파이프(21a,22a,23a) 각각에는 개폐밸브(21b,22b,23b)가 설치된다.
한편, 에어밸브(1)의 입구가 복수인 경우에는 공급파이프(21a,22a,23a) 및 개폐밸브(21b,22b,23b)가 복수개로 구비되며, 도 1은 에어밸브(1)의 입구가 두 개임과 아울러 출구가 하나인 삼방향 에어밸브를 나타낸다.
배출파이프(30)는 에어밸브(1)의 출구에 연결되어 에어밸브(1)의 입구로 공급된 초순수 또는 질소가스 또는 진공을 외부로 배출하며, 배출파이프(30)의 끝단에는 배출되는 초순수를 집수할 수 있도록 집수탱크(31)가 구비된다.
압력계(40)는 배출파이프(30)상에 설치되어 배출되는 초순수 또는 질소가스 또는 진공에 의한 배출파이프(30) 내부의 압력을 외부로 표시한다.
이와 같은 구조로 이루어진 에어밸브 테스트 장치의 동작은 다음과 같이 이루어진다.
스위치(SW)를 닫아 전원공급부(12)로부터 전원을 솔레노이드밸브(10)로 인가하여 에어공급부(11)로부터 테스트하고자 하는 에어밸브(1)로 공급하여 에어밸브(1)를 개방시킨다.
에어밸브(1)가 개방되면, 에어밸브(1)가 제어했던 유체에 해당하는 공급파이프(21a,22a,23a)의 해당 개폐밸브(21b,22b,23b)를 개방시켜 에어밸브(1)의 입구로초순수 또는 질소가스 또는 진공을 공급한다. 에어밸브(1)의 입구로 공급된 유체는 에어밸브(1)의 출구측의 배출파이프(30)를 통해 배출된다.
이 때, 배출파이프(30) 내부의 압력이 압력계(40)에 의해 외부로 표시됨으로써 작업자는 에어밸브(1)의 이상여부를 신속하고도 정확하게 판단하게 된다. 따라서, 에어밸브(1)의 이상으로 인한 반도체 소자의 제조장치에 고장이 발생하는 것을 방지함과 아울러 고장 발생시 신속하게 대처하여 반도체 소자의 제조장치의 가동율을 증가시킨다.
상술한 바와 같이, 본 고안에 따른 에어밸브 테스트 장치는 반도체 소자의 제조장치에 사용되는 에어밸브의 이상여부를 신속하고 정확하게 테스트할 수 있도록 함으로써 에어밸브의 이상으로 인한 반도체 소자의 제조장치에 고장이 발생하는 것을 방지함과 아울러 고장 발생시 신속하게 대처하여 반도체 소자의 제조장치의 가동율을 증가시키는 효과를 가지고 있다.
이상에서 설명한 것은 본 고안에 따른 에어밸브 테스트 장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 실용신안등록청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 고안의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (2)

  1. 반도체 소자의 제조장치에 사용되는 에어밸브의 이상여부를 테스트하는 장치에 있어서,
    에어공급부로부터 공급되는 에어의 흐름을 제어하여 상기 에어밸브를 개폐시키는 솔레노이드밸브와;
    상기 솔레노이드밸브에 의해 개방된 상기 에어밸브의 입구에 유체를 공급하는 유체공급부와;
    상기 에어밸브의 출구에 연결되며, 상기 에어밸브의 입구로 공급된 유체를 외부로 배출시키는 배출파이프와;
    상기 배출파이프로부터 배출되는 유체 압력의 이상여부를 테스트할 수 있는 압력계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어밸브 테스트 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 유체공급부는 초순수공급부와, 질소가스공급부와, 진공공급부로 이루어져, 이들로부터 상기 에어밸브의 입구에 초순수 또는 질소가스 또는 진공을 선택적으로 공급하는 것을 특징으로 하는 에어밸브 테스트 장치.
KR2020020010164U 2002-04-04 2002-04-04 에어밸브 테스트 장치 KR200280455Y1 (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20170001447U (ko) * 2015-10-14 2017-04-24 한국남부발전 주식회사 솔레노이드 밸브 테스트장치
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