CN220709583U - 一种半导体专用自动切换温控系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体温控设备领域，涉及一种半导体专用自动切换温控系统。半导体专用自动切换温控系统包括工艺机台、温控设备和切换管路装置。工艺机台包括第一工作腔室和第二工作腔室，温控设备包括第一温控装置和第二温控装置。切换管路装置包括第一管路部件、第二管路部件和第三管路部件，第一工作腔室与第一温控装置通断连接，第二工作腔室与第二温控装置通断连接。第三管路部件适于通断第一温控装置和第二工作腔室，以及通断第二温控装置和第一工作腔室。本实用新型提供的半导体专用自动切换温控系统，在第一温控装置和第二温控装置中的其中一个宕机时，能够即时将另一个连通对应的工作腔室，实现持续为工作腔室提供恒温流体。

Description

一种半导体专用自动切换温控系统

技术领域

本实用新型涉及半导体温控设备领域，尤其涉及一种半导体专用自动切换温控系统。

背景技术

在集成电路工艺制程中，半导体专用温控设备为工艺机台提供不同温度的恒温流体，工艺机台对半导体温控装置提供的恒温液体温控精度要求较高，同时要求半导体专用温控装置稳定可靠。

目前的工艺机台一般包括至少两个工作腔室，同一个工艺机台的工作腔室内运行的工艺制程相同，因此在同一个工艺机台下，每个工作腔室对应的半导体温控装置的运行状态相同。

但当一个工作腔室对应的半导体温控装置发生故障宕机后，需要查找该半导体温控装置的故障，甚至拆机返修，影响了对应工作腔室的生产进程，进而影响了整个工艺机台的生产效率。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决相关技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种半导体专用自动切换温控系统，能够有效保证持续为工艺机台中的多个工作腔室提供恒温流体，保证工作腔室正常生产，保证了整个工艺机台的生产效率。

本实用新型提供一种半导体专用自动切换温控系统，包括：

工艺机台，包括第一工作腔室和第二工作腔室；

温控设备，包括第一温控装置和第二温控装置；

切换管路装置，包括第一管路部件、第二管路部件和第三管路部件，所述第一工作腔室通过所述第一管路部件与所述第一温控装置通断连接，所述第二工作腔室通过所述第二管路部件与所述第二温控装置通断连接，所述第三管路部件适于通断所述第一温控装置和所述第二工作腔室，以及适于通断所述第二温控装置和所述第一工作腔室；

控制器，所述工艺机台、所述温控设备以及所述切换管路装置均与所述控制器连接。

根据本实用新型提供的一种半导体专用自动切换温控系统，所述第三管路部件包括切换管路组件和第三控制阀组件，所述第一温控装置与所述第二工作腔室通过所述切换管路组件通断连接，所述第二温控装置与所述第一工作腔室通过所述切换管路组件通断连接；

所述第三控制阀组件设置于所述切换管路组件，所述第三控制阀组件用于控制所述切换管路组件的通断。

根据本实用新型提供的一种半导体专用自动切换温控系统，所述第一管路部件包括第一进水管、第一出水管和第一控制阀组件，所述第一进水管的进水口与所述第一温控装置的出水口连通，所述第一进水管的出水口与所述第一工作腔室的进水口连通；所述第一出水管的进水口与所述第一工作腔室的出水口连通，所述第一出水管的出水口与所述第一温控装置的进水口连通；

所述第一控制阀组件设置于所述第一进水管或所述第一出水管，以控制所述第一进水管或所述第一出水管的通断；

所述第二管路部件包括第二进水管、第二出水管和第二控制阀组件，所述第二进水管的进水口与所述第二温控装置的出水口连通，所述第二进水管的出水口与所述第二工作腔室的进水口连通；所述第二出水管的进水口与所述第二工作腔室的出水口连通，所述第二出水管的出水口与所述第二温控装置的进水口连通；

所述第二控制阀组件设置于所述第二进水管或所述第二出水管，以控制所述第二进水管或所述第二出水管的通断。

根据本实用新型提供的一种半导体专用自动切换温控系统，所述切换管路组件包括进水旁通管和出水旁通管，所述进水旁通管的第一端与所述第一进水管通断连接，所述进水旁通管的第二端与所述第二进水管通断连接；所述出水旁通管的第一端与所述第一出水管通断连接，所述出水旁通管的第二端与所述第二出水管通断连接。

根据本实用新型提供的一种半导体专用自动切换温控系统，所述切换管路组件包括第一进水旁通管、第二进水旁通管、第一出水旁通管和第二出水旁通管，所述第一进水旁通管的第一端与所述第一温控装置的出水口连通，所述第一进水旁通管的第二端与所述第二进水管通断连接；所述第一出水旁通管的第一端与所述第一温控装置的进水口连通，所述第一出水旁通管的第二端与所述第二出水管通断连接；

所述第二进水旁通管的第一端与所述第二温控装置的出水口连通，所述第二进水旁通管的第二端与所述第一进水管通断连接；所述第二出水旁通管的第一端与所述第二温控装置的进水口连通，所述第二出水旁通管的第二端与所述第一出水管通断连接；

或，所述第一进水旁通管的第一端与所述第一进水管通断连接，所述第一进水旁通管的第二端与所述第二工作腔室的进水口连通；所述第一出水旁通管的第一端与所述第一出水管通断连接，所述第一出水旁通管的第二端与所述第二工作腔室的出水口连通；

所述第二进水旁通管的第一端与所述第一温控装置的出水口连通，所述第二进水旁通管的第二端与所述第二进水管通断连接；所述第二出水旁通管的第一端与所述第一温控装置的进水口连通，所述第二出水旁通管的第二端与所述第二出水管连通。

根据本实用新型提供的一种半导体专用自动切换温控系统，所述第一控制阀组件包括第一开关阀和第二开关阀，所述第一开关阀设置于所述第一出水管，所述第二开关阀设置于所述第一进水管；

所述第二控制阀组件包括第三开关阀和第四开关阀，所述第三开关阀设置于所述第二出水管，所述第四开关阀设置于所述第二进水管；

所述第三控制阀组件包括第五开关阀和第六开关阀，所述第五开关阀设置于所述进水旁通管，以控制所述进水旁通管的通断；所述第六开关阀设置于所述出水旁通管，以控制所述出水旁通管的通断。

根据本实用新型提供的一种半导体专用自动切换温控系统，所述第一进水管设置有第一三通阀，所述第一三通阀用于控制所述进水旁通管的第一端与所述第一进水管通断连接；所述第一出水管设置有第二三通阀，所述第二三通阀用于控制所述出水旁通管的第一端与所述第一出水管通断连接；

所述第二进水管设置有第三三通阀，所述第三三通阀用于控制所述进水旁通管的第二端与所述第二进水管通断连接；所述第二出水管设置有第四三通阀，所述第四三通阀用于控制所述出水旁通管的第二端与所述第二出水管通断连接。

根据本实用新型提供的一种半导体专用自动切换温控系统，所述第一出水管的进水口设置有第一截止阀，以控制所述第一出水管与所述第一工作腔室的通断；

所述第一进水管的出水口设置有第二截止阀，以控制所述第一进水管与所述第一工作腔室的通断；

所述第二出水管的进水口设置有第三截止阀，以控制所述第二出水管与所述第二工作腔室的通断；

所述第二进水管的出水口设置有第四截止阀，以控制所述第二进水管与所述第二工作腔室的通断。

根据本实用新型提供的一种半导体专用自动切换温控系统，所述第一温控装置和所述第二温控装置均设置有水泵，所述水泵通过水泵接触器与所述控制器连接。

根据本实用新型提供的一种半导体专用自动切换温控系统，所述第一温控装置的出水口设置有第一流量计，所述第二温控装置的出水口设置有第二流量计。

本实用新型实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：

根据本实用新型实施例提供的半导体专用自动切换温控系统，通过将温控设备、工艺机台均连接于控制器，以使控制器能够实时监控工艺机台以及温控设备的运行状态。通过第三管路部件通断第一温控装置和第二工作腔室，以及通过第三管路部件通断第二温控装置和第一工作腔室，从而在第一温控装置和第二温控装置中的其中一个发生故障宕机时，第三管路部件能够即时将第一温控装置和第二温控装置中的另一个连通对应的工作腔室，实现持续为工作腔室提供恒温流体，以使得工作腔室能够保持正常生产，保证了整个工艺机台的生产效率。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的半导体专用自动切换温控系统的管路结构示意图。

附图标记：

1、工艺机台；11、第一工作腔室；12、第二工作腔室；

2、温控设备；21、第一温控装置；22、第二温控装置；

31、第一管路部件；311、第一进水管；312、第一出水管；

32、第二管路部件；321、第二进水管；322、第二出水管；

331、切换管路组件；3311、进水旁通管；3312、出水旁通管；

SV1、第一开关阀；SV2、第二开关阀；SV3、第三开关阀；SV4、第四开关阀；SV5、第五开关阀；SV6、第六开关阀；

BV11、第一截止阀；BV12、第二截止阀；BV13、第三截止阀；BV14、第四截止阀。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。

在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

下面结合图1描述本实用新型实施例的半导体专用自动切换温控系统。

图1示例了本实用新型实施例提供的半导体专用自动切换温控系统的管路结构示意图，如图1所示，半导体专用自动切换温控系统包括工艺机台1、温控设备2和切换管路装置。其中工艺机台1包括第一工作腔室11和第二工作腔室12，第一工作腔室11和第二工作腔室12适于进行各自不同的工艺制程；温控设备2包括第一温控装置21和第二温控装置22。切换管路装置包括第一管路部件31、第二管路部件32和第三管路部件，第一工作腔室11通过第一管路部件31与第一温控装置21通断连接，第二工作腔室12通过第二管路部件32与第二温控装置22通断连接。第三管路部件适于通断第一温控装置21和第二工作腔室12，以及第三管路部件适于通断第二温控装置22和第一工作腔室11。

根据本实用新型实施例提供的半导体专用自动切换温控系统，通过将温控设备2、工艺机台1均连接于控制器，以使控制器能够实时监控工艺机台1以及温控设备2的运行状态。

当第一温控装置21和第二温控装置22均正常运行时，第一工作腔室11通过第一管路部件31与第一温控装置21连通，第二工作腔室12通过第二管路部件32与第二温控装置22连通，以使得第一温控装置21为第一工作腔室11提供恒温流体，第二温控装置22为第二工作腔室12提供恒温流体。

当第一温控装置21故障宕机，第二温控装置22正常工作时，第一温控装置21与第一工作腔室11断连，此时在第二温控装置22与第二工作腔室12连通的同时，第二温控装置22通过第三管路部件与第一工作腔室11连通，从而使得第二温控装置22同时为第一工作腔室11、第二工作腔室12提供恒温流体。

同样的，当第二温控装置22故障宕机，第一温控装置21正常工作时，此时则由第一温控装置21同时为第一工作腔室11、第二工作腔室12提供恒温流体。

也即是说，通过第三管路部件通断第一温控装置21和第二工作腔室12，以及通过第三管路部件通断第二温控装置22和第一工作腔室11，从而在第一温控装置21和第二温控装置22中的其中一个发生故障宕机时，第三管路部件能够即时将第一温控装置21和第二温控装置22中的另一个连通对应的工作腔室，实现持续为工作腔室提供恒温流体，以使得工作腔室能够保持正常生产，保证了整个工艺机台1的生产效率。

在本实用新型的实施例中，第一温控装置21、第二温控装置22均设置有水泵，水泵通过水泵接触器与控制器连接，具体地，控制器与水泵接触器的常开触点信号连接。控制器通过获取水泵接触器的运行状态，实现对第一温控装置21和第二温控装置22的运行状态进行监控。

以第一温控装置21为例，当第一温控装置21的水泵接触器常开触点的反馈信号为1时，水泵接触器正常工作，水泵泵送恒温流体，第一温控装置21处于正常运行状态。当水泵接触器常开触电的反馈信号为0时，水泵接触器不工作，水泵停止工作，第一温控装置21处于宕机状态。

控制器对第二温控装置22的监控方式相同，此处不再详细描述。

这里需要说明的是，控制器中设置有PLC，PLC与水泵接触器的常开触点连接。

这里还需要说明的是，控制器监控第一温控装置21和第二温控装置22的运行状态的方式并不限定于通过监控水泵接触器的信号实现，也可将控制器与第一温控装置21、第二温控装置22通讯连接，亦可采用其他可实现的连接方式。

进一步地，工艺机台1设置有报警器，报警器与控制器电连接。当控制器检测出第一温控装置21和第二温控装置22都处于宕机状态时，控制器控制报警器报警，以便操作人员及时发现并对第一温控装置21和第二温控装置22进行维修处理。

在本实用新型的实施例中，如图1所示，第一管路部件31包括第一进水管311、第一出水管312和第一控制阀组件，第一进水管311的进水口与第一温控装置21的出水口连通，第一进水管311的出水口与第一工作腔室11的进水口连通；第一出水管312的进水口与第一工作腔室11的出水口连通，第一出水管312的出水口与第一温控装置21的进水口连通。

第一控制阀组件设置于第一进水管311或第一出水管312，以控制第一进水管311或第一出水管312的通断。

第二管路部件32包括第二进水管321、第二出水管322和第二控制阀组件，第二进水管321的进水口与第二温控装置22的出水口连通，第二进水管321的出水口与第二工作腔室12的进水口连通；第二出水管322的进水口与第二工作腔室12的出水口连通，第二出水管322的出水口与第二温控装置22的进水口连通。

第二控制阀组件设置于第二进水管321或第二出水管322，以控制第二进水管321或第二出水管322的通断。

当第一温控装置21和第二温控装置22均正常工作时，第一控制阀组件、第二控制阀组件打开，通过第一进水管311、第一出水管312实现将第一温控装置21与第一工作腔室11连通，第二进水管321、第二出水管322实现将第二温控装置22与第二工作腔室12连通，从而使得第一温控装置21能够为第一工作腔室11提供恒温流体，第二温控装置22能够为第二工作腔室12提供恒温流体，以保证第一工作腔室11和第二工作腔室12的正常工作。

进一步地，第三管路部件包括切换管路组件331和第三控制阀组件，第一温控装置21与第二工作腔室12通过切换管路组件331通断连接，第二温控装置22与第一工作腔室11通过切换管路组件331通断连接。第三控制阀组件设置于切换管路组件331，第三控制阀组件用于控制切换管路组件331的通断。

当第一温控装置21正常工作，第二温控装置22故障宕机时，第二控制阀组件将第二温控装置22与第二工作腔室12断连，此时第一温控装置21通过切换管路组件331与第二工作腔室12连通，以使第一温控装置21能够同时为第一工作腔室11、第二工作腔室12提供恒温流体，进而保证第一工作腔室11和第二工作腔室12的正常工作。

而当第一温控装置21故障宕机，第二温控装置22正常工作时，第一温控装置21与第一工作腔室11断连，第二温控装置22通过切换管路组件331连通第一工作腔室11，使得第二温控装置22能够同时为第一工作腔室11、第二工作腔室12提供恒温流体，进而保证第一工作腔室11和第二工作腔室12的正常工作。

具体地，为实现将第一温控装置21与第二工作腔室12连通，第二温控装置22与第一工作腔室11连通，切换管路组件331可采用以下的设置方式：

第一种设置方式，切换管路组件331包括进水旁通管3311和出水旁通管3312，进水旁通管3311的第一端与第一进水管311通断连接，进水旁通管3311的第二端与第二进水管321通断连接。出水旁通管3312的第一端与第一出水管312通断连接，出水旁通管3312的第二端与第二出水管322通断连接。

本实施例中，当第一温控装置21与第二温控装置22均正常工作时，第一进水管311、第二进水管321均与进水旁通管3311断连，第一出水管312、第二出水管322均与出水旁通管3312断连。

当第一温控装置21正常工作，第二温控装置22宕机时，第二控制阀组件关闭，以将第二温控装置22和第二工作腔室12断连同时，第三控制阀组件打开，第一进水管311和第二进水管321之间通过进水旁通管3311连通，第一出水管312和第二出水管322之间通过出水旁通管3312连通。此时第一温控装置21的恒温流体在通过第一进水管311输入第一工作腔室11的同时，恒温流体还通过进水旁通管3311、第二进水管321输入第二工作腔室12，以保证第二工作腔室12的正常工作。在流经第二工作腔室12后，恒温流体通过第二出水管322、出水旁通管3312流回第一温控装置21。

当第二温控装置22正常工作，第一温控装置21宕机时，第一控制阀组件关闭，以将第一温控装置21和第一工作腔室11断连同时，第三控制阀组件打开，第一进水管311和第二进水管321之间通过进水旁通管3311连通，第一出水管312和第二出水管322之间通过出水旁通管3312连通。此时第二温控装置22的恒温流体在通过第二进水管321输入第二工作腔室12的同时，恒温流体还通过进水旁通管3311、第一进水管311输入第一工作腔室11，以保证第一工作腔室11的正常工作。在流经第一工作腔室11后，恒温流体通过第一出水管312、出水旁通管3312流回第二温控装置22。

第二种设置方式，切换管路组件331包括第一进水旁通管、第二进水旁通管、第一出水旁通管和第二出水旁通管。当第一温控装置21、第二温控装置22均正常工作时，第一进水旁通管、第二进水旁通管、第一出水旁通管和第二出水旁通管均处于断连状态。

第一进水旁通管的第一端与第一温控装置21的出水口连通，第一进水旁通管的第二端与第二进水管321通断连接。第一出水旁通管的第一端与第一温控装置21的进水口连通，第一出水旁通的第二端与第二出水管322通断连接。

当第一温控装置21正常工作，第二温控装置22宕机时，第一进水旁通管的第二端与第二进水管321连通，第一出水旁通管的第二端与第二出水管322连通，从而将第一温控装置21同时连通第一工作腔室11和第二工作腔室12，以实现将第一温控装置21的恒温流体同时输入第一工作腔室11和第二工作腔室12，保证第一工作腔室11和第二工作腔室12的正常工作。

第二进水旁通管的第一端与第二温控装置22的出水口连通，第二进水旁通管的第二端与第一进水管311通断连接。第二出水旁通管的第一端与第二温控装置22的进水口连通，第二出水旁通管的第二端与第一出水管312通断连接。

当第二温控装置22正常工作，第一温控装置21宕机时，第二进水旁通管的第二端与第一进水管311连通，第二出水旁通管的第二端与第一出水管312连通，从而将第二温控装置22同时连通第一工作腔室11和第二工作腔室12，以实现将第二温控装置22的恒温流体同时输入第一工作腔室11和第二工作腔室12，保证第一工作腔室11和第二工作腔室12的正常工作。

第三种设置方式，第一进水旁通管的第一端与第一进水管311通断连接，第一进水旁通管的第二端与第二工作腔室12的进水口连通。第一出水旁通管的第一端与第一出水管312通断连接，第一出水旁通管的第二端与第二工作腔室12的出水口连通。

当第一温控装置21正常工作，第二温控装置22宕机时，第一进水旁通管的第一端与第一进水管311连通，第一出水旁通管的第一端与第一出水管312连通，从而将第一温控装置21同时连通第一工作腔室11和第二工作腔室12，以实现将第一温控装置21的恒温流体同时输入第一工作腔室11和第二工作腔室12，保证第一工作腔室11和第二工作腔室12的正常工作。

第二进水旁通管的第一端与第二进水管321通断连接，第二进水旁通管的第二端与第一工作腔室11的进水口连通。第二出水旁通管的第一端与第二出水管322通断连接，第二出水旁通管的第二端与第一工作腔室11的出水口连通。

当第二温控装置22正常工作，第一温控装置21宕机时，第二进水旁通管的第一端与第二进水管321连通，第二出水旁通管的第一端与第一出水管312连通，从而将第二温控装置22同时连通第一工作腔室11和第二工作腔室12，以实现将第二温控装置22的恒温流体同时输入第一工作腔室11和第二工作腔室12，保证第一工作腔室11和第二工作腔室12的正常工作。

本实施例中，切换管路组件331采用第一种设置方式，以减少切换管路组件331的管路数量，降低切换管路组件331中的管路安装时的复杂程度。

在本实用新型的实施例中，第一控制阀组件包括第一开关阀SV1和第二开关阀SV2，第一开关阀SV1设置于第一出水管312，以控制第一出水管312的通断，第二开关阀SV2设置于第一进水管311，以控制第一进水管311的通断。

第二控制阀组件包括第三开关阀SV3和第四开关阀SV4，第三开关阀SV3设置于第二出水管322，以控制第二出水管322的通断，第四开关阀SV4设置于第二进水管321，以控制第二进水管321的通断。

第三控制阀组件包括第五开关阀SV5和第六开关阀SV6，第五开关阀SV5设置于进水旁通管3311，以控制进水旁通管3311的通断。第六开关阀SV6设置于出水旁通管3312，以控制出水旁通管3312的通断。

其中，本实施例中，当第一温控装置21和第二温控装置22均正常工作时，将第一开关阀SV1、第二开关阀SV2、第三开关阀SV3和第四开关阀SV4开启，第五开关阀SV5和第六开关阀SV6关闭，以将第一温控装置21和第一工作腔室11连通，将第二温控装置22和第二工作腔室12连通。

当第一温控装置21正常工作，第二温控装置22故障宕机时，将第一开关阀SV1、第二开关阀SV2、第五开关阀SV5和第六开关阀SV6开启，将第三开关阀SV3和第四开关阀SV4关闭，以将第一温控装置21同时连通第一工作腔室11和第二工作腔室12。

当第二温控装置22正常工作，第一温控装置21故障宕机时，将第三开关阀SV3、第四开关阀SV4、第五开关阀SV5和第六开关阀SV6开启，将第一开关阀SV1和第二开关阀SV2关闭，以将第二温控装置22同时连通第一工作腔室11和第二工作腔室12。

进一步地，为实现将第一进水管311和第二进水管321通断连接，第一出水管312和第二出水管322通断连接，在本实施例中，第一进水管311设置有第一三通阀，第一三通阀用于控制进水旁通管3311的第一端与第一进水管311通断连接。第一出水管312设置有第二三通阀，第二三通阀用于控制出水旁通管3312的第一端与第一出水管312通断连接。

第二进水管321设置有第三三通阀，第三三通阀用于控制进水旁通管3311的第二端与第二进水管321通断连接。第二出水管322设置有第四三通阀，第四三通阀用于控制出水旁通管3312的第二端与第二出水管322通断连接。

具体地，在本实施例中，第一进水管311包括第一进水支管和第一进水主管，第一出水管312包括第一出水支管和第一出水主管。第二进水管321包括第二进水支管和第二进水主管，第二出水管322包括第二出水支管和第二出水主管。

当第一温控装置21和第二温控装置22均正常工作时，第一三通阀将第一进水支管和第一进水主管连通，第二三通阀将第一出水支管和第一出水主管连通；同时第三三通阀将第二进水支管和第二进水主管连通，第四三通阀将第二出水支管和第二进水主管连通。

当第一温控装置21正常工作，第二温控装置22宕机时，在第一三通阀连通第一进水支管和第一进水主管，第二三通阀连通第一出水主管和第一出水支管的同时，还通过第一三通阀连通第一进水支管和进水旁通管3311，通过第三三通阀连通第二进水主管和进水旁通管3311，通过第四三通阀连通第二出水主管和出水旁通管3312，通过第二三通阀连通出水旁通管3312和第一出水支管，从而实现将第一温控装置21同时连通第一工作腔室11和第二工作腔室12。

当第二温控装置22正常工作，第一温控装置21宕机时，在第三三通阀连通第二进水支管和第二进水主管，第四三通阀连通第二出水主管和第二出水支管的同时，还通过第三三通阀连通第二进水支管和进水旁通管3311，通过第一三通阀连通第一进水主管和进水旁通管3311，通过第二三通阀连通第一出水主管和出水旁通管3312，通过第四三通阀连通出水旁通管3312和第二出水支管，从而实现将第二温控装置22同时连通第一工作腔室11和第二工作腔室12。

在本实用新型的实施例中，第一出水管312的进水口设置有第一截止阀BV11，以控制第一出水管312与第一工作腔室11的通断。第一进水管311的出水口设置有第二截止阀BV12，以控制第一进水管311与第一工作腔室11的通断。进而在第一工作腔室11出现故障时，通过第一截止阀BV11能够有效实现将第一进水管311与第一工作腔室11断连，通过第二截止阀BV12能够有效实现将第二出水管322与第一工作腔室11断连，从而保证在对第一工作腔室11进行维修时，第一进水管311和第一出水管312中的恒温流体不会发生泄漏，有效避免物料浪费。

同时，第二出水管322的进水口设置有第三截止阀BV13，以控制第二出水管322与第二工作腔室12的通断。第二进水管321的出水口设置有第四截止阀BV14，以控制第二进水管321与第二工作腔室12的通断。进而在第二工作腔室12出现故障时，通过第三截止阀BV13能够有效实现将第一进水管311与第一工作腔室11断连，通过第四截止阀BV14能够有效实现将第二出水管322与第一工作腔室11断连，从而保证在对第二工作腔室12进行维修时，第二进水管321和第二出水管322中的恒温流体不会发生泄漏，有效避免物料浪费。

在本实用新型的实施例中，第一温控装置21的出水口设置有第一流量计，第二温控装置22的出水口设置有第二流量计，第一流量计用于监控第一温控装置21所输出的流体流量，第二流量计用于监控第二温控装置22所输出的流体流量，从而有效实现了对第一温控装置21和第二温控装置22的实时工作状态进行监控。

例如，当第一流量计所检测的流量小于预设值时，即说明第一温控装置21出现故障，此时控制器即可控制第一温控装置21与工艺机台1断连，以方便对第一温控装置21进行维修。

而在对第一温控装置21进行检修后，当第一流量计所检测的第一温控装置21所输出的流体流量大于预设值时，即代表已完成对第一温控装置21的维修。

下面结合图1对本实用新型提供的半导体专用自动切换温控系统的一个具体实施例进行工作原理说明。

将第一温控装置21和第二温控装置22的水泵接触器与控制器电连接，控制器监控水泵接触器常开触点的反馈信号。当第一温控装置21的水泵接触器常开触点的反馈信号为1，第二温控装置22的水泵接触器常开触点的反馈信号为1时，控制器控制第一开关阀SV1、第二开关阀SV2、第三开关阀SV3和第四开关阀SV4打开，并控制第五开关阀SV5和第六开关阀SV6关闭，以将第一温控装置21与第一工作腔室11连通，第二温控装置22与第二工作腔室12连通，以使得第一温控装置21为第一工作腔室11提供恒温流体，第二温控装置22为第二工作腔室12提供恒温流体。

当第一温控装置21的水泵接触器常开触点的反馈信号为1，第二温控装置22的水泵接触器常开触点的反馈信号为0时，此时第一温控装置21正常工作，第二温控装置22宕机。控制器控制第一开关阀SV1、第二开关阀SV2、第五开关阀SV5和第六开关阀SV6打开，并控制第三开关阀SV3和第四开关阀SV4关闭，以将第一温控装置21同时连通第一工作腔室11和第二工作腔室12，以使得第一温控装置21同时为第一工作腔室11和第二工作腔室12提供恒温流体。

当第二温控装置22的水泵接触器常开触点的反馈信号为1，第一温控装置21的水泵接触器常开触点的反馈信号为0时，此时第二温控装置22正常工作，第一温控装置21宕机。控制器控制第三开关阀SV3、第三开关阀SV3、第五开关阀SV5和第六开关阀SV6打开，并控制第一开关阀SV1和第一开关阀SV1关闭，以将第二温控装置22同时连通第一工作腔室11和第二工作腔室12，以使得第二温控装置22同时为第一工作腔室11和第二工作腔室12提供恒温流体。

根据本实用新型提供的半导体专用自动切换温控系统，在第一温控装置21和第二温控装置22中的其中一个发生故障宕机时，第三管路部件能够即时将第一温控装置21和第二温控装置22中的另一个连通对应的工作腔室，实现持续为工作腔室提供恒温流体，以使得工作腔室能够保持正常生产，保证了整个工艺机台1的生产效率。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种半导体专用自动切换温控系统，其特征在于，包括：

工艺机台，包括第一工作腔室和第二工作腔室；

温控设备，包括第一温控装置和第二温控装置；

切换管路装置，包括第一管路部件、第二管路部件和第三管路部件，所述第一工作腔室通过所述第一管路部件与所述第一温控装置通断连接，所述第二工作腔室通过所述第二管路部件与所述第二温控装置通断连接，所述第三管路部件适于通断所述第一温控装置和所述第二工作腔室，以及适于通断所述第二温控装置和所述第一工作腔室；

控制器，所述工艺机台、所述温控设备以及所述切换管路装置均与所述控制器连接。

2.根据权利要求1所述的半导体专用自动切换温控系统，其特征在于，所述第一管路部件包括第一进水管、第一出水管和第一控制阀组件，所述第一进水管的进水口与所述第一温控装置的出水口连通，所述第一进水管的出水口与所述第一工作腔室的进水口连通；所述第一出水管的进水口与所述第一工作腔室的出水口连通，所述第一出水管的出水口与所述第一温控装置的进水口连通；

所述第一控制阀组件设置于所述第一进水管或所述第一出水管，以控制所述第一进水管或所述第一出水管的通断；

所述第二管路部件包括第二进水管、第二出水管和第二控制阀组件，所述第二进水管的进水口与所述第二温控装置的出水口连通，所述第二进水管的出水口与所述第二工作腔室的进水口连通；所述第二出水管的进水口与所述第二工作腔室的出水口连通，所述第二出水管的出水口与所述第二温控装置的进水口连通；

所述第二控制阀组件设置于所述第二进水管或所述第二出水管，以控制所述第二进水管或所述第二出水管的通断。

3.根据权利要求2所述的半导体专用自动切换温控系统，其特征在于，所述第三管路部件包括切换管路组件和第三控制阀组件，所述第一温控装置与所述第二工作腔室通过所述切换管路组件通断连接，所述第二温控装置与所述第一工作腔室通过所述切换管路组件通断连接；

所述第三控制阀组件设置于所述切换管路组件，所述第三控制阀组件用于控制所述切换管路组件的通断。

4.根据权利要求3所述的半导体专用自动切换温控系统，其特征在于，所述切换管路组件包括进水旁通管和出水旁通管，所述进水旁通管的第一端与所述第一进水管通断连接，所述进水旁通管的第二端与所述第二进水管通断连接；所述出水旁通管的第一端与所述第一出水管通断连接，所述出水旁通管的第二端与所述第二出水管通断连接。

5.根据权利要求3所述的半导体专用自动切换温控系统，其特征在于，所述切换管路组件包括第一进水旁通管、第二进水旁通管、第一出水旁通管和第二出水旁通管，所述第一进水旁通管的第一端与所述第一温控装置的出水口连通，所述第一进水旁通管的第二端与所述第二进水管通断连接；所述第一出水旁通管的第一端与所述第一温控装置的进水口连通，所述第一出水旁通管的第二端与所述第二出水管通断连接；

所述第二进水旁通管的第一端与所述第二温控装置的出水口连通，所述第二进水旁通管的第二端与所述第一进水管通断连接；所述第二出水旁通管的第一端与所述第二温控装置的进水口连通，所述第二出水旁通管的第二端与所述第一出水管通断连接；

或，所述第一进水旁通管的第一端与所述第一进水管通断连接，所述第一进水旁通管的第二端与所述第二工作腔室的进水口连通；所述第一出水旁通管的第一端与所述第一出水管通断连接，所述第一出水旁通管的第二端与所述第二工作腔室的出水口连通；

所述第二进水旁通管的第一端与所述第一温控装置的出水口连通，所述第二进水旁通管的第二端与所述第二进水管通断连接；所述第二出水旁通管的第一端与所述第一温控装置的进水口连通，所述第二出水旁通管的第二端与所述第二出水管连通。

6.根据权利要求4所述的半导体专用自动切换温控系统，其特征在于，所述第一控制阀组件包括第一开关阀和第二开关阀，所述第一开关阀设置于所述第一出水管，所述第二开关阀设置于所述第一进水管；

所述第二控制阀组件包括第三开关阀和第四开关阀，所述第三开关阀设置于所述第二出水管，所述第四开关阀设置于所述第二进水管；

所述第三控制阀组件包括第五开关阀和第六开关阀，所述第五开关阀设置于所述进水旁通管，以控制所述进水旁通管的通断；所述第六开关阀设置于所述出水旁通管，以控制所述出水旁通管的通断。

7.根据权利要求6所述的半导体专用自动切换温控系统，其特征在于，所述第一进水管设置有第一三通阀，所述第一三通阀用于控制所述进水旁通管的第一端与所述第一进水管通断连接；所述第一出水管设置有第二三通阀，所述第二三通阀用于控制所述出水旁通管的第一端与所述第一出水管通断连接；

所述第二进水管设置有第三三通阀，所述第三三通阀用于控制所述进水旁通管的第二端与所述第二进水管通断连接；所述第二出水管设置有第四三通阀，所述第四三通阀用于控制所述出水旁通管的第二端与所述第二出水管通断连接。

8.根据权利要求3所述的半导体专用自动切换温控系统，其特征在于，所述第一出水管的进水口设置有第一截止阀，以控制所述第一出水管与所述第一工作腔室的通断；

所述第一进水管的出水口设置有第二截止阀，以控制所述第一进水管与所述第一工作腔室的通断；

所述第二出水管的进水口设置有第三截止阀，以控制所述第二出水管与所述第二工作腔室的通断；

所述第二进水管的出水口设置有第四截止阀，以控制所述第二进水管与所述第二工作腔室的通断。

9.根据权利要求1至8中任意一项所述的半导体专用自动切换温控系统，其特征在于，所述第一温控装置和所述第二温控装置均设置有水泵，所述水泵通过水泵接触器与所述控制器连接。

10.根据权利要求1至8中任意一项所述的半导体专用自动切换温控系统，其特征在于，所述第一温控装置的出水口设置有第一流量计，所述第二温控装置的出水口设置有第二流量计。