JP2673924B2 - 電磁弁 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、流体圧アクチュエータ
に連結される方向制御弁と減圧弁とを一体化した電磁弁
に関する。

【０００２】

【従来の技術】特開平１−３０９１０５号公報には、空
気圧用リリーフ付減圧弁と称する弁が掲載されている。
この空気圧用リリーフ付減圧弁は、電磁切換弁を備えた
切換機構によって圧力特性を変えることができ、空気圧
用リリーフ付減圧弁を２個組み合わせて減圧機能と方向
制御機能とを持たせることができる。なお、空気圧用リ
リーフ付減圧弁の減圧弁本体には５種類あるが、何れも
十分な圧力バランスが実現されていない。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、ポペット弁
に減圧弁の機能をもたせ、それと電磁切換弁とを組み合
わせて電磁弁となし、弁操作機構の２個のピストンを中
実のステムによって連結して装置の小型化を図り、減圧
機能をもった１個の電磁弁で流体圧モータ、単動形流体
圧シリンダ等の流体圧アクチュエータを操作することが
できるようになすことを課題とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を達
成するために、電磁切換弁と主弁機構と弁操作機構とを
備えた電磁弁であって、弁操作機構の内側に主弁機構が
配置され、２個のポペット弁と弁シャフトとが備えられ
た主弁機構にはＰポート、Ａポート、Ｒポートが連通さ
れ、弁操作機構の出力部材（第２ピストン）の内側が弁
シャフトに連結されるとともに出力部材の外側が中実の
ステムによって第１ピストンに連結され、出力部材の内
側がフィードバック室とされるとともに出力部材の外側
が第２ピストン室とされ、第１ピストンの内側が第１ピ
ストン室とされるとともに第１ピストンの外側に調整ス
プリング又は圧力設定機構の設定圧が作用して第１ピス
トンが内側方向に付勢され、フィードバック室はフィー
ドバック通路を介してＡポートに連通され、出力部材に
は弁シャフトを一方向に移動させる第１位置と、弁シャ
フトに反対方向への力を作用させる第２位置とがあり、
第１位置と第２位置との切換は電磁切換弁を操作して第
１ピストン室及び第２ピストン室の圧力を制御すること
によって行われ、Ｐポートに流体圧を供給すると、第１
位置の場合はＡポートとＲポートとが連通されて流体が
Ｒポートから排出され、第２位置の場合は、Ａポートの
圧力が設定圧力より低いときはＡポートがＰポートと連
通され 、Ａポートの圧力が設定圧力より高いときはＡポ
ートがＲポートと連通され、Ａポートの圧力が設定圧力
と等しいときはＡポートがＰポートとＲポートから遮断
されて、Ａポート側が設定圧力に維持されることを構成
とする。ここに、第１ピストン室及び第２ピストン室の
圧力を制御するとは、第１ピストン室又は第２ピストン
室の一方の圧力のみを制御し他方は所定圧に維持される
場合を含むことと解釈すべきである。

【０００５】

【作用】Ｐポートに流体圧を供給すると、電磁切換弁の
操作によって、弁操作機構の出力部材が弁シャフトを一
方向に移動させる第１位置、又は弁シャフトに反対方向
への力を作用させる第２位置とに切換えられる。第１位
置のときＡポートとＲポートとが連通されて、Ａポート
側の流体がＲポートに逃がされる。第２位置のときＡポ
ートがＰポート又はＲポートと連通されて、流体がＰポ
ートからＡポートへ流れ、又はＡポートからＲポートに
逃がされて、Ａポート側が設定圧力に維持される。

【０００６】

【実施例】図１は、本発明の第１実施例の電磁弁を示
す。主弁本体73の上面に調整部本体２が載置され、調整
部本体２の上面にカバー10が載置され、これらは相互に
連結され固定される。主弁本体73の上面視の中央には段
付の貫通孔が形成され、段付の貫通孔は上部から順に、
第２ピストン（出力部材）７が摺動自在に嵌合される下
シリンダ部、第１端部材69が嵌合される孔部、第１ポペ
ット弁66が挿通される排気室72、二次圧室62、第２ポペ
ット弁54が挿通される一次圧室61、第２端部材57が嵌合
される孔部とされる。主弁本体73の側面に上部から順に
Ｒポート、Ａポート、Ｐポートが開口され、Ｒポートは
排気室72に連通され、Ａポートは二次圧室62に連通さ
れ、Ｐポートは一次圧室61に連通される。段付の貫通孔
の中心部に、第１小径部52、大径部51、第２小径部53を
有する弁シャフト50が配設され、第１小径部52の先端部
は第２ピストン７の内側のねじ孔に螺合され、連結され
る。第１小径部52は、第１端部材69の内孔にＯリングを
介して摺動自在に挿通され、第１スプリング受け70の内
孔及び第１ポペット弁66の内孔にも摺動自在に挿通され
る。第１スプリング受け70は第１端部材69の段付孔に嵌
合され、第１ポペット弁66の内部の段部と第１スプリン
グ受け70との間に第１スプリング71が介装される。略コ
ップ状の第１ポペット弁66のスカート部67の外周部は、
第１端部材69の大径部にＯリングを介して摺動自在に挿
通され、第１ポペット弁66の頂部隔壁には、第１ポペッ
ト弁66の内部と二次圧室62とを連通する連通孔が形成さ
れる。二次圧室62の壁63の上方端及び下方端には、排気
室72に突出した環状の第１弁座65、及び一次圧室61に突
出した環状の第２弁座64がそれぞれ形成される。第１ポ
ペット弁66の頂部外周には第１シール68が固定され、第
１ポペット弁66のスカート部67の外径と第１弁座65のシ
ール径とは同一とされている。従って、第１シール68が
第１弁座65に当接するとき、排気室72内の空気圧が第１
ポペット弁66に作用する力は、上下方向の大きさが同一
でバランスしており、二次圧が第１ポペット弁66に作用
する力も、上下方向の大きさが同一でバランスしてい
る。

【０００７】第２ポペット弁54及び第２端部材57は、第
１ポペット弁66及び第１端部材69と上下対称に配設さ
れ、第２スカート部55を有する第２ポペット弁54も第１
ポペット弁66と同様に上下方向の力がバランスする。第
２スプリング受け58は第２端部材57の段付孔に嵌合さ
れ、ホルダー59の小径部が第２スプリング受け58の内孔
及び第２端部材57の内孔にＯリングを介して摺動自在に
挿通される。第２ポペット弁54の内部の段部と第２スプ
リング受け58との間に第２スプリング60が介装される。
弁シャフト50の第２小径部53は、第２ポペット弁54の内
孔及びホルダー59の内孔に摺動自在に挿通される。図１
に示す位置のとき、第１ポペット弁66の第１シール68及
び第２ポペット弁54の第２シール56はそれぞれ第１弁座
65及び第２弁座64に当接されている。弁シャフト50を下
方に移動すると、第１ポペット弁66は停止状態を維持
し、第２ポペット弁54は下方に移動され、弁シャフト50
を上方に移動すると、第２ポペット弁54は停止状態を維
持し、第１ポペット弁66は上方に移動される。第２ピス
トン（出力部材）７の上側（外側）の室を第２ピストン
室18と称し、第２ピストン室18の上面は調整部本体２の
下面であり、主弁本体73と調整部本体２との間、及び第
２ピストン外周と下シリンダ部との間にはＯリングが配
設される。第２ピストン７の下側（内側）の室をフィー
ドバック室19と称し、フィードバック室19は、フィード
バック通路23を介してＡポートに連通される。

【０００８】調整部本体２には、スプリング室29と小径
の上シリンダ部とが垂直方向に連続して形成され、スプ
リング室29は調整部本体２の上面で開口される。上シリ
ンダ部には第１ピストン６が摺動自在に嵌合され、第１
ピストン６と第２ピストン７とは中実のステム30によっ
て連結され、第１ピストン６の直径と第２ピストン７の
直径とは同一である。第１ピストン６の外周と上シリン
ダ部との間にはＯリングが配設され、ステム30の外周と
その挿通孔との間にもＯリングが配設される。第１ピス
トン６の下側（内側）の室を第１ピストン室17と称し、
第１ピストン６の上側（外側）の室はスプリング室29と
なる。スプリング室29にはスプリング受け31が挿通さ
れ、スプリング受け31と第１ピストン６との間に調圧ス
プリング32が介装される。カバー10のねじ孔には調整ね
じ33が螺合され、調整ねじ33の下端の小径部がスプリン
グ受け31の孔部に嵌合され、調整ねじ33を回転すること
によりスプリング受け31を移動することができる。調整
部本体２及びカバー10の側面（図１で左側面）に電磁切
換弁３が連結され、電磁切換弁３の側面（図１で右側
面）には、下方からＰポート、Ａポート、Ｒポートが順
次に開口される。電磁切換弁３は、オフ（電気が遮断状
態）のときは弁体が下位置にあってＡポートとＲポート
とが連通され、オン（電気が通電状態）のときは弁体が
上位置にあってＰポートとＡポートとが連通される。電
磁切換弁３のＲポートは排気ポート９を介して大気に連
通され、スプリング室29は通路34を介して大気に連通さ
れる。一次圧室61と電磁切換弁３のＰポートとが通路37
によって連通され、通路37と第１ピストン室17とが通路
38によって連通され、電磁切換弁３のＡポートと第２ピ
ストン室18とが通路39によって連通される。このよう
に、第１実施例の電磁弁は電磁切換弁と主弁機構と弁操
作機構とを備え、弁操作機構の内側に主弁機構が配置さ
れている。主弁機構には２個のポペット弁66、54と弁シ
ャフト50とが備えられ、弁操作機構には第１ピストン
６、第２ピストン７がある。なお、第１実施例におい
て、ピストンをダイヤフラムに変更することは、単純な
設計において任意になすことができ、第１実施例にはピ
ストンに代えてダイヤフラムを用いたものも含まれる。

【０００９】本発明の第１実施例の電磁弁の作用につい
て説明する。エアは、電磁切換弁３の位置に関係なく、
常にＰポート、一次圧室61、通路37、38を通って第１ピ
ストン室17に流入する。電磁切換弁３がオフのとき、電
磁切換弁３の弁体が下位置にあって電磁切換弁３のＡポ
ートとＲポートとが連通されるので、第２ピストン室18
は通路39、電磁切換弁３のＡポート・Ｒポート等を通っ
て大気に連通する。第１ピストン室17内のエアが第１ピ
ストン６に上向きの力を作用させ、この上向きの力が調
圧スプリング32の当初の弾発力に打ち勝ち、第１ピスト
ン６が上昇する。第１ピストン６・第２ピストン７の上
昇により、弁シャフト50が上方へ移動し、第２ポペット
弁54の第２シール56は第２弁座64に当接した位置を維持
し、第１ポペット弁66の第１シール68が第１弁座65から
離れる。従って、一次圧室61と二次圧室62との連通は遮
断され、Ａポートは第１シール68と第１弁座65との間
隙、排気室72を介してＲポートに連通され、Ａポート側
（出口側）のエアはＲポートを通って大気に排出され
る。つまり、電磁切換弁３がオフのとき、一次圧室61と
二次圧室62との連通は遮断され、閉鎖される。次に電磁
切換弁３がオンとなると、電磁切換弁３の弁体が上位置
に切り換えられ、電磁切換弁３のＰポートとＡポートと
が連通され、エアが一次圧室61から通路37、電磁切換弁
３のＰポート・Ａポート、通路39を通って第２ピストン
室18にも流入する。こうして第１ピストン室17及び第２
ピストン室18にエアが供給され、第１ピストン６と第２
ピストン７の受圧面積は同一で、作用する力の方向は反
対であるので、第１ピストン６と第２ピストン７に作用
するエアの力は相殺される。第１ピストン６・第２ピス
トン７及び弁シャフト50は、調圧スプリング32の下向き
の弾発力を受けて下方に移動し、第１ポペット弁66の第
１シール68が第１弁座65に当接し、ついで第２ポペット
弁54の第２シール56が第２弁座64から離れる。一次圧室
61と二次圧室62とが連通され、エアは、一次圧室61から
第２ポペット弁54の第２シール56と第２弁座64との間の
間隙を通って二次圧室62に流入し、Ａポートを通って目
的箇所へ送られる。そして、Ａポート側（出口側）の圧
力が設定圧に達すると、その圧力がフィードバック通路
23を介してフィードバック室19に伝わり、第２ピストン
７の下面に作用する上向きの力が調圧スプリング32の下
向きの弾発力に打ち勝つ。第１ピストン６・第２ピスト
ン７及び弁シャフト50が上方へ移動し、第２ポペット弁
54の第２シール56が第２弁座64に当接して、一次圧室61
と二次圧室62との連通が遮断され、二次圧の上昇は停止
する。一方、二次圧のオーバシュートがあった場合に
は、第１ピストン６・第２ピストン７が更に上方に移動
し、第１シール68が第１弁座65から離れてエアをリリー
フし、所定の圧力に設定する。次にＡポート側の圧力が
設定圧より低下すると、第１ピストン６・第２ピストン
７及び弁シャフト50が再び下方へ移動し、一次圧室61と
二次圧室62とが連通されて、ＰポートからＡポート側に
エアが流れる。調整ねじ33を回転させて調圧スプリング
32の設定を変え、設定圧を変更すると、新しい設定圧を
基準にして前記と同様に作用する。つまり、電磁切換弁
３がオンのとき、一次圧室61と二次圧室62とが連通さ
れ、開放されるが、減圧弁の機能により設定圧に達する
と閉鎖される。このように電磁切換弁３がオンのときに
は、本発明の電磁弁が減圧弁の機能をも奏するので、本
発明の電磁弁を減圧機能付電磁弁と称することができ
る。本発明の電磁弁１個で通常の電磁弁と減圧弁の機能
を有するので、コストの低下と取付工数の減少を実現す
ることができる。

【００１０】本発明の第１実施例の変形例（図示せず）
について説明する。第１実施例の変形例の構成は、第１
実施例の構成における通路37、通路38及び通路39につい
て変更をしたものである。即ち、第１実施例の変形例に
おいては、通路38及び通路39が除去され、一次圧室61と
電磁切換弁３のＰポートとが通路37によって連通され、
電磁切換弁３のＡポートと第１ピストン室17とが通路Ｘ
（図示せず）によって連通され、第２ピストン室18が通
路Ｙ（図示せず）を介して電磁切換弁３のＲポート又は
大気に連通され、その余の構成は第１実施例と同一であ
る。なお、第１実施例及び第１実施例の変形例におい
て、第１ピストン６、第２ピストン７に代えて、第１ダ
イヤフラム、第２ダイヤフラムを用いることができる。

【００１１】本発明の第１実施例の変形例の電磁弁の作
用について説明する。エアは、Ｐポートを通って一次圧
室61に流入し、更に通路37を通って電磁切換弁３のＰポ
ートに達する。電磁切換弁３がオフのとき、電磁切換弁
３のＡポートとＲポートとが連通され、第１ピストン室
17は通路Ｘ、電磁切換弁３のＡポート・Ｒポートを介し
て大気に連通される。第１ピストン室17及び第２ピスト
ン室18が共に大気に連通され大気圧となるので、第１ピ
ストン６・第２ピストン７には調圧スプリング32の弾発
力のみが作用する。この状態は第１実施例の電磁切換弁
３がオンのときと同じであり、第１実施例の電磁切換弁
３がオンのときと同様に作動して、エアは、一次圧室61
から第２ポペット弁54の第２シール56と第２弁座64との
間の隙間を通って二次圧室62に流入し、Ａポートを通っ
て目的箇所へ送られる。そして、Ａポート側（出口側）
の圧力が設定圧に達すると、その圧力がフィードバック
通路23を介してフィードバック室19に伝わり、第２ピス
トン７の下面に作用する上向きの力が調圧スプリング32
の下向きの弾発力に打ち勝つ。第１ピストン６・第２ピ
ストン７及び弁シャフト50が上方へ移動し、第２ポペッ
ト弁54の第２シール56が第２弁座64に当接して、一次圧
室61と二次圧室62との連通が遮断され、二次圧の上昇は
停止する。一方、二次圧のオーバシュートがあった場合
には、第１ピストン６・第２ピストン７が更に上方に移
動し、第１シール68が第１弁座65から離れてエアをリリ
ーフし、所定の圧力に設定する。つまり第１実施例の変
形例では、電磁切換弁３がオフのとき、一次圧室61と二
次圧室62とが連通され、開放されるが、減圧弁の機能に
より設定圧に達すると閉鎖される。電磁切換弁３がオン
になると、電磁切換弁３の弁体が切り換えられて、電磁
切換弁３の弁体のＰポートとＡポートとが連通されるの
で、エアが一次圧室61から通路37、電磁切換弁３弁体の
Ｐポート・Ａポート、通路Ｘを通って第１ピストン室17
に流入する。この状態は第１実施例の電磁切換弁３がオ
フのときと同じであり、第１実施例の電磁切換弁３がオ
フのときと同様に作動して、第１ピストン室17内のエア
が第１ピストン６に上向きの力を作用させ、この上向き
の力が調圧スプリング32の当初の弾発力に打ち勝ち、第
１ピストン６が上昇する。第１ピストン６、第２ピスト
ン７及び弁シャフト50の上昇により、第１ポペット弁66
の第１シール68が第１弁座65から離れ、また第２ポペッ
ト弁54の第２シール56が第２弁座64に当接する。従っ
て、一次圧室61と二次圧室62との連通は遮断され、Ａポ
ートは二次圧室62、第１ポペット弁66の第１シール68と
第１弁座65との間の間隙、排気室72を介してＲポートに
連通され、Ａポート側（出口側）のエアは大気に排出さ
れる。つまり第１実施例の変形例では、電磁切換弁３が
オンのとき、一次圧室61と二次圧室62との連通は遮断さ
れ、閉鎖される。

【００１２】図２は、本発明の第２実施例の圧力設定機
構を示す。弁本体101 の左端面にスプリング室本体102
が連結され、スプリング室本体102 内にはカップ状の押
圧部材111 が重合わされ、押圧部材111 内にスプリング
室103 が形成される。弁本体101 の軸方向の中心に多段
付の孔が形成され、図２で右端部が一次圧室104 とな
り、左端部がスプリング室103 に面する位置に開口され
ている。一次圧室104 の段部から順次に弁座部材106 、
環状で通路付のスペーサ107 、環状の押圧体108、押さ
えリング109 、ダイヤフラム110 が挿入され、これらは
スプリング室本体102 内の押圧部材111 によって押圧さ
れ、固定されている。弁座部材106 の中央には連通路11
2 が形成され、連通路112 の外壁で一次圧室104 側の部
分に弁座113 が形成されている。一次圧室104 内に、逃
がし孔114 付で略カップ状のポペット弁115 が摺動自在
に配設され、ポペット弁115 はスプリング116 によって
弁座113 に押圧されている。ポペット弁115 の内側は通
路117 を介してＲポートに連通され、一次圧室104 は通
路118 を介してＰポートに連通される。ダイヤフラム11
0 はシェル120 及びシェル121 によって挟持され、弁本
体101 側のシェル120にはプッシュロッド122 が突設さ
れ、プッシュロッド122 の先端の小径部は弁座部材106
の連通路112 に及ぶ。シェル120 及びプッシュロッド12
2 の周りの空間が二次圧室105 となり、二次圧室105 は
スペーサ107 内の通路及び弁本体101 内の通路119 を介
してＡポートに連通される。スプリング室103 内にはス
プリング受け123 が配設され、スプリング受け123 とシ
ェル121 との間に調圧スプリング124 が介装され、スプ
リング受け123 は調整ねじ125 によって移動される。

【００１３】Ｒポートは大気に連通され、Ｐポートは圧
力源に連通され、Ａポートは第１実施例及びその変形例
のスプリング室29に連通され、スプリング室29は通路34
を閉じて密閉される。圧力設定機構のＰポートにエアが
供給されないとき、プッシュロッド122 は調圧スプリン
グ124 によって押圧され、プッシュロッド122 の先端が
ポペット弁115 に当接してポペット弁115 の逃がし孔11
4 を閉鎖し、一次圧室104 と二次圧室105 とが連通され
る。調整ねじ125 の回転により調圧スプリング124 がダ
イヤフラム110 に作用する力を変え、Ａポート側の設定
圧力が調整される。Ｐポートにエアを供給し、エアは通
路118 、一次圧室104 、連通路112 、二次圧室105 、通
路119 を通ってＡポートに流れる。Ａポート側の圧力が
設定圧に達すると、ダイヤフラム110 に作用する力が調
圧スプリング124 の力に打ち勝ち、プッシュロッド122
がスプリング室103 の方向に移動し、ポペット弁115 が
弁座113 に当接し、ポペット弁115 が閉じる。従って、
一次圧室104 と二次圧室105 との連通が遮断され、二次
圧の上昇は停止する。一方、二次圧のオーバシュートが
あった場合には、ダイヤフラム110 ・プッシュロッド12
2 が更に図２で左方に移動し、プッシュロッド122 がポ
ペット弁115 から離れてエアをリリーフし、所定の圧力
に設定する。Ａポート側の圧力が所定圧以下に下降する
と、調圧スプリング124 の力によってポペット弁115 が
開き、エアが一次圧室104 から二次圧室105 へと流れ
る。こうして、減圧弁の機能を有する圧力設定機構が構
成される。

【００１４】本発明の第２実施例は図２に示す圧力設定
機構を第１実施例及びその変形例に適用したものであ
る。第２実施例の構成は、圧力設定機構のＡポートが第
１実施例及びその変形例のスプリング室29に連通され、
スプリング室29内の調圧スプリング32、スプリング受け
31、調整ねじ33が除去され、スプリング室29は通路34を
閉じて密閉され、圧力設定機構によって設定された圧力
が導入され、その余の構成は第１実施例及びその変形例
と同じである。第２実施例では、調圧スプリング32に代
わって設定圧力が第１ピストン６又は第１ダイヤフラム
に働き、第１実施例及びその変形例と同様に作用する。
しかも、図２に示す圧力設定機構は調圧スプリング32よ
りも相当に小型であるので、調整部本体２を小型化で
き、第２実施例の電磁弁の小型化が実現される。

【００１５】第２実施例の変形例として、第１ピストン
６の上側に第１ピストン室17を配設し、通路38を連通さ
せ、スプリング室29を第１ピストン６の下側に配設し、
そして第２実施例のＲポートを第２実施例の変形例のＰ
ポートとなして通路37を連通させ、第２実施例のＰポー
トを第２実施例の変形例のＲポートとなす。そして、第
２ピストン室18をフィードバック室となして通路23を介
してＡポートと連通させ、フィードバック室19を第２ピ
ストン室となして通路39を介して電磁切換弁３のＡポー
トに連通させることができる。このようになした第２実
施例の変形例においては、ピストン及び弁シャフト50の
移動方向は第２実施例とは反対の方向であるが、第２実
施例と同じ作用を奏する。

【００１６】

【発明の効果】本発明においては、Ｐポートに流体圧を
供給すると、電磁切換弁の操作によって、弁操作機構の
出力部材が弁シャフトを一方向に移動させる第１位置、
又は弁シャフトに反対方向への力を作用させる第２位置
とに切換えられる。第１位置のときＡポートとＲポート
とが連通されて、Ａポート側の流体がＲポートに逃がさ
れる。第２位置のときＡポートがＰポート又はＲポート
と連通されて、流体がＰポートからＡポートへ流れ、又
はＡポートからＲポートに逃がされて、Ａポート側が設
定圧力に維持される。従って、本発明の減圧機能をもっ
た１個の電磁弁で流体圧モータ、単動形流体圧シリンダ
等の流体圧アクチュエータを操作することができる。ま
た、本発明の電磁弁は、従来の電磁弁に減圧弁を組み合
わせたものよりも少ない部品で構成され、従来の電磁弁
に減圧弁を組み合わせたものと同じ作用をさせることが
でき、小型化とコスト低減を実現させることができる。
従来、減圧弁と電磁切換弁とを直列に接続し、エア源か
らのエアを所定圧力に減圧してアクチュエータに供給す
ることが行われていた。この場合、減圧弁の流路断面積
をＳ₁ 、電磁切換弁の流路断面積をＳ₂ 、「減圧弁＋電
磁切換弁」の有効流路断面積をＳとすると、 １／Ｓ² ＝１／Ｓ₁ ² ＋１／Ｓ₂ ² の関係があり、Ｓ₁ ＝Ｓ₂ ＝１とすると、Ｓ≒0.71と小
さくなってしまう。これに対して、本発明の電磁弁で
は、単一の主弁本体のみによって流体の流れを変え、切
換又は減圧設定できるので、減圧弁と電磁切換弁とを直
列に接続した従来のものと等価な電磁弁を小形にするこ
とができる。また、本発明では、弁操作機構の出力部材
（第２ピストン）の内側が弁シャフトに連結されるとと
もに出力部材の外側が中実のステムによって第１ピスト
ンに連結され、出力部材の内側がフィードバック室とさ
れるとともに出力部材の外側が第２ピストン室とされ、
第１ピストンの内側が第１ピストン室とされるとともに
第１ピストンの外側に調整スプリング又は圧力設定機構
の設定圧が作用して第１ピストンが内側方向に付勢され
ている。このように、第１ピストンと第２ピストンとが
中実のステムで連結され、第１ピストンの内側の第１ピ
ストン室と第２ピストンの外側の第２ピストン室とが隣
接され、第２ピストンの内側のフィードバック室が主弁
機構に最も近接した位置にある。そのため、主弁機構の
Ａポートとフィードバック室とを連通させるフィードバ
ック通路を短くし、電磁切換弁のポートと第１ピストン
室・第２ピストン室との間の連通路を短くすることがで
きる。従って、本発明では、弁操作機構の２個のピスト
ンを中実のステムによって連結して電磁弁の小型化を図
ることができ、コンパクトな電磁弁となった。また、電
磁弁の部品（部材）の構成がいずれも簡単であり、部品
の加工及び組立が容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の断面図である。

【図２】本発明の第２実施例に使用される圧力設定機構
の断面図である。

【符号の説明】

３ 電磁切換弁 ７ 第２ピストン（出力部材） 50 弁シャフト 54 第２ポペット弁 66 第１ポペット弁

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−14763（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−72612（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−20617（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭64−7368（ＪＰ，Ｙ２)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電磁切換弁と主弁機構と弁操作機構とを
   備え、弁操作機構の内側に主弁機構が配置され、２個の
   ポペット弁と弁シャフトとが備えられた主弁機構にはＰ
   ポート、Ａポート、Ｒポートが連通され、弁操作機構の
   出力部材（第２ピストン）の内側が弁シャフトに連結さ
   れるとともに出力部材の外側が中実のステムによって第
   １ピストンに連結され、出力部材の内側がフィードバッ
   ク室とされるとともに出力部材の外側が第２ピストン室
   とされ、第１ピストンの内側が第１ピストン室とされる
   とともに第１ピストンの外側に調整スプリング又は圧力
   設定機構の設定圧が作用して第１ピストンが内側方向に
   付勢され、フィードバック室はフィードバック通路を介
   してＡポートに連通され、出力部材には弁シャフトを一
   方向に移動させる第１位置と、弁シャフトに反対方向へ
   の力を作用させる第２位置とがあり、第１位置と第２位
   置との切換は電磁切換弁を操作して第１ピストン室及び
   第２ピストン室の圧力を制御することによって行われ、
   Ｐポートに流体圧を供給すると、第１位置の場合はＡポ
   ートとＲポートとが連通されて流体がＲポートから排出
   され、第２位置の場合は、Ａポートの圧力が設定圧力よ
   り低いときはＡポートがＰポートと連通され、Ａポート
   の圧力が設定圧力より高いときはＡポートがＲポートと
   連通され、Ａポートの圧力が設定圧力と等しいときはＡ
   ポートがＰポートとＲポートから遮断されて、Ａポート
   側が設定圧力に維持される電磁弁。