JP3685372B2 - 直線作動機 - Google Patents

直線作動機 Download PDF

Info

Publication number
JP3685372B2
JP3685372B2 JP26723999A JP26723999A JP3685372B2 JP 3685372 B2 JP3685372 B2 JP 3685372B2 JP 26723999 A JP26723999 A JP 26723999A JP 26723999 A JP26723999 A JP 26723999A JP 3685372 B2 JP3685372 B2 JP 3685372B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base
guide rail
rodless cylinder
linear actuator
groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP26723999A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000097208A (ja
Inventor
光雄 野田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Howa Machinery Ltd
Original Assignee
Howa Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Howa Machinery Ltd filed Critical Howa Machinery Ltd
Priority to JP26723999A priority Critical patent/JP3685372B2/ja
Publication of JP2000097208A publication Critical patent/JP2000097208A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3685372B2 publication Critical patent/JP3685372B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Actuator (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガイドレールとロッドレスシリンダとを並設して、ロッドレスシリンダの外部移動体とガイドレールに案内されるスライド体を連結して成る直線作動機に関する。
【0002】
【従来の技術】
直線作動機として、▲1▼ベース上に長手方向に伸びるロッドレスシリンダを設けると共に、同じベース上においてロッドレスシリンダの側方位置にガイドレールを設けて、ガイドレールに案内される案内子とスリットを上向きとしたロッドレスシリンダの外部移動体とを案内体で連結したもの(実開昭63−152003号)、▲2▼ガイドレールとマグネット式のロッドレスシリンダとを並設し、それらの軸方向両端部をエンドプレートのみで連結し、ガイドレールに案内されるテーブルとロッドレスシリンダの外部移動体とを連結したもの(特開平7−248006号)などが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
前記▲1▼では、同一のベースの上に、ロッドレスシリンダとガイドレールが並べて設けてあるので、全体の厚み(高さ)は、ベースの厚み、ロッドシリンダの厚みに、さらに外部移動体と案内体の厚みを加えたものとなっており、全体高さが高いものとなっていた。前記▲2▼では、ロッドレスシリンダとガイドレールとをエンドプレートのみで連結しているために、前記▲1▼のようにベースを用いているものに比べて、その高さがベース分だけ低くできて厚みの薄い直線作動機となる利点があるが、ガイドレールとロッドレスシリンダとをエンドプレートのみで接続しているので、エンドプレート部分のみで両端支持の態様で機械装置に取り付けた場合には、全体の剛性がベースを用いたものに比べて低く、直線案内の円滑性に欠ける恐れがある。そのため、▲2▼のものでは、機械装置に取り付ける時には、ガイドレールの長手に沿って設けた複数の取付孔を利用して、機械装置側に用意された、ほぼガイドレールの全長に及ぶ直線作動機取付用の取付面にボルトにより取り付けるのが好ましい取付け態様であるが、そうすると、直線作動機の取付態用が限られる問題があった。
本願の課題は、これらの従来技術に鑑み、直線作動機としての剛性を保ちつつ、しかも、厚み(高さ)の薄い直線作動機を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
前記課題の解決のために、本願では、ベース上にガイドレールを取り付け、このガイドレールの側方にロッドレスシリンダを配置し、ロッドレスシリンダの外部移動体とガイドレールに案内されるスライド体を連結して成る直線作動機において、ベースを底壁とその側端から上方に立ち上げた側壁とから成る断面L字に形成し、ベースの長手方向両端部に接続プレートを固着し、そのベースの底壁の上面にガイドレールを取り付け、ベースの底壁の、前記側壁の無い側の側面の側方の収容空間にガイドレールに沿ってロッドレスシリンダをベースの底壁の厚さとロッドレスシリンダの高さ方向の一部を重ねて配置し、そのロッドレスシリンダと前記接続プレートとを固着し、側壁に付帯部材の取付け用溝を設けたことを特徴とする。
【0005】
これにより、ベースの底壁の厚みとロッドレスシリンダが重ねられた分は直線作動機の高さ(厚さ)を低くでき、しかも、ガイドレールがベースに固着してあるので、剛性が高い。
【0006】
【実施例】
図1,2,3において、ベース1は底壁1aとその側端から上方へ立ち上げた側壁1bとから成る断面L字に形成されている。底壁1aの上面には、長手全長にわたって、ガイドレール取付け用の浅い溝2が設けてある。溝2の底部上面には、ベース全長にわたってT字溝3が設けてある。溝2の、側壁1bと幅方向反対側には、ストップ部材取付ホルダ75の取付け用のT字溝4がベース1全長に設けてある。ベース1の、側壁1bの無い側の側面1cの近くは上方に突出した突出部5となっており、この突出部5には、ベース1全長にわたって流体通路となる貫通孔6が設けてある。底壁1aの下面には、左右に2条の直線作動機の取付け用のT溝7,7がこれも、ベース1全長に渡って設けてある。ベース1は例えば、アルミニウム合金の押出形材で構成されている。
【0007】
ベース1の前記溝2には、ベース1全長より僅かに短い長さのガイドレール10が配設され、ガイドレール10に設けた長手方向複数のねじ孔11に、取付けボルト12を通し、前記T字溝3に嵌入したT溝ナット13に螺合して、ガイドレール10をベース1に一体固着している。ガイドレール10は幅方向左右に長手全長に渡ってくぼんだ案内溝14(ここでは半円形:V字型等もある)を有し、この案内溝14と案内子15のボール溝16との間には、多数のボール17が転動自在に介在され、案内子15が長手方向に直線転動案内されている。ガイドレール10にはこうした案内子15が2つ案内されている。これら2つの案内子15は、スライドテーブル(スライド体)18の下面に連結してある。案内子15の数は、前記に限定されない。
【0008】
ベース1の軸線方向前後端面には、夫々矩形の接続プレート20,21がボルト22により固着してある。接続プレート20,21は、ベース1の側壁1bの無い側の側面1cより,さらに側方に伸びた形状を成し、その高さは、ロッドレスシリンダユニット30のシリンダバレル31を横向きにしたときのバレルの高さ(スリットの幅方向におけるバレル厚さH)とほぼ一致しており、ベース1の側面1cの側方に、ロッドレスシリンダユニット30を収容する収容空間Cが形成されるようになっている。接続プレート20,21間には、ガイドレール10に沿ってロッドレスシリンダユニット30が配設される。
【0009】
ロッドレスシリンダユニット30において、シリンダバレル31は略矩形断面で、長手方向全長にわたってスリット32を有している。シリンダバレル31の両端は端部嵌合部材33で塞がれている。図6に右側のものを示すが、1対の端部嵌合部材33は、バレル31のシリンダ孔34に嵌合する嵌合軸部33aと、軸方向位置決めのための薄いつば部33bと、軸方向外側に向く接続プレート20,21との嵌合部33cと、ピストン40で区画される左右のシリンダ室S1,S2に開口する連通路33dを備えている。端部嵌合部材33は、その嵌合軸部33aが先端に装着されたシール部材(Oリング)25によりシリンダ孔34を塞ぐようにシリンダ孔34に嵌合されているのみで、バレル31には固着されない。図4に示すように、つば部33bと嵌合軸部33aは、スリットと対応する一部分が切り欠かれてインナシールバンドの挿通平面(挿通部)33eになっており、後述の組み付け方法でインナシールバンドを組み付けるときに、インナーシールバンドを容易に長手方向に動かすことができるようになっている。端部嵌合部材33の嵌合軸部33aには、前記挿通平面33eの幅方向中心に軸方向にアウタシールバンド固定用の2つのねじ孔35が設けてある。ねじ孔35より長手内側には、インナシールバンド50の両端外側にワッシャ36を固定するためのリベット37の頭部が嵌まり込む溝38が、挿通平面33eの幅方向中心に形成してある。このワッシャ36は、図5に示すように、スリット32にきっちり嵌まり込んで、インナシールバンド50がスリット32に対して幅方向にずれないように機能する。こうしたワッシャ36は、他の形式のシールバンド、例えばスリット32に弾性的に嵌まり込むようなリップを有する形状の弾性シールバンドの場合は必要がない。
【0010】
シリンダ孔34には内部移動体としてのピストン40が軸方向移動自在に嵌装されている。ピストン40の軸方向両端には、ピストンパッキン41が取り付けてあり、ピストン40によりシリンダ孔34が左右のシリンダ室S1,S2に区画されている。ピストン40の一部がスリット32から外部へ突出したヨーク42となっており、このヨーク42に孔42aとピン42bとを介してマウント43が連結されて、外部移動体44を構成する。マウント43の前後にエンドプレート45が固着され、エンドプレート45にはスクレーパ46が取り付けられ、スクレーパ46は、外部移動体44の全周を取り囲むスクレーパ取付用のOリング47で保持されている。スリット32を内側から塞ぐインナシールバンド50と、スリット32を外側から塞ぐアウタシールバンド51が、ヨーク42の上側と下側の案内面に案内されて外部移動体44を貫通している。インナシールバンド50,アウタシールバンド51はステンレスクロム鋼などの磁性金属材料から成る薄い可撓製シールバンドであり、スリット32の外面縁部に設けたマグネットストリップ52により吸着されるようになっている。このインナ、アウタシールバンド50,51は、他の形式の可撓性シールバンド、例えば、ウレタンゴム、ナイロン、クロム鋼とゴムなどの材料から成り、インナ、アウタシールバンドが互いに弾性的に係脱して、あるいは、夫々がスリット32に弾性的に係脱してスリット32を塞ぐような形式のものであってもよい。
【0011】
図5,6に示すように、インナシールバンド50とアウタシールバンド51の両端が、前記一対の端部嵌合部材33に連結されている。アウタシールバンド51の端部は、スリット32の端部において、アウタシールバンド51の外面に取付プレート53を当て付け、その取付プレート53の外側から固定ねじ54をスリット32を通して前記端部嵌合部材33の嵌合軸部32aのねじ孔35に螺合して、バレル31との間で挾持固定されている。インナシールバンド50の端部は、インナシールバンド50のリベット37を端部嵌合部材33の溝38内に位置させた状態、すなわち、ワッシャ36をスリット32の端部に位置させた状態で、バレル31に固定された取付プレート53に止めねじ55を螺合して、その止めねじ55をスリット32内を通過させ、止めねじ55の先端と嵌合軸部33aの挿通平面33eとの間で挾持している。止めねじ55は、先端内側に尖先部55aを有する形状であり、押しつけ固定するときに、その尖先部55aがインナシールバンド50に食い込むので、極めて強力に固定できる。
【0012】
図6に示すようにロッドレスシリンダユニット30の一対の端部嵌合部材33のつば部33bの外側端面33f間の寸法(ロッドレスシリンダユニット30の取付け寸法L1)は、組み付け容易のために、接続プレート20,21間の内法寸法(取付け寸法L2)より僅かに小さく設定してある。そして、スリット32がガイドレール10に向くようにロッドレスシリンダユニット30を横向きとして、両端部嵌合部材33の嵌合部33cが、接続プレート20,21に設けた嵌合孔60にシール部材(Oリング)61を介して嵌合されている。一方の接続プレート(右側)21には、対向する端部嵌合部材33の前記つば部33bと対向する位置に、押しねじ62が設けてあり、この押しねじ62で一方の端部嵌合部材33のつば部33bを軸方向に押し付け,バレル31ごと左側の接続プレート20に左側の端部嵌合部材33のつば部33bが押しつけられ、その状態では、押しねじ62に押されているつば部33bの軸方向外側端面33fと、右側の接続プレート21の内面との間には僅かな隙間tができている。この状態で、左右の接続プレート21,22とシリンダバレル31の長手端面とを固定ねじ63で固着してある。左側の接続プレート20には、前記貫通孔6の左端部と対向する位置、及び、左側の端部嵌合部材33の連通路33dと対向する位置に、夫々圧流体の給排ポート23a,23bが設けられている。右側の接続プレート21には、貫通孔6の右端部と連通するともに、右側の端部嵌合部材33の連通路33dに連通する給排通路24が設けてあり、一方の(左側の)接続プレート20からのみの集中配管ができるようになっている。もちろん、左右の接続プレート20,21の夫々に、左右のシリンダ室S1,S2に対応した給排ポートを設けてもよい。
【0013】
スライドテーブル18は、幅方向の側壁1b寄り位置で案内子15と連結されている。スライドテーブル18は案内子15との連結部分からロッドレスシリンダユニット30の外部移動体44上方まで幅方向にオーバハングしていて、シリンダバレル31と上下に重なっていない。外部移動体44と重なっている部分には、外部移動体44の軸方向前後を挟む位置に、脚70がベース方向に突設してある。前後一対の脚70の間に外部移動体44が挟まれており、外部移動体44のエンドプレート45と脚70との間には、ゴムダンパ(緩衝部材)71が介在してあって外部移動体44の移動がスライドテーブル18に伝えられるようになっている。スライドテーブル18の下面には、案内子15と脚70の間に、長手長さを、スライドテーブル18の長手長さより短くしたストッパ72が固着してある。ストッパ72の軸方向端面は、後述のショックアブソーバとの衝接面73,73になっており、図示から明らかなように、スライドテーブル18の端面18aより衝接面73,73が長手方向内側に入り込んでいる。
【0014】
次に接続プレート20,21の内側位置においては、図4に示すように、前記ガイドレール10の端部に、ストップ部材取付ホルダ75の基部に設けた凹溝76が嵌合され、その先端部77がロッドレスシリンダユニット30に向けて突出され、前記T溝4を利用して、T溝ナット78とそれに螺合する締め付けボルト79により、軸方向移動自在に固着してある。凹溝76の左右面は、ガイドレール10の左右の周面(垂直面)10a,10a(案内溝14と関係のないガイドレールの幅方向面部分)にほぼ密着している。図2に示すように、T溝ナット78は、締め付けボルト79との結合部78aより、長手方向内側に延設部78bを有した形状をなしている。ストップ部材取付用ホルダ75の先端は2つ割になっていて、ショックアブソーバ80の外周に形成してあるねじ部81が螺合され、ショックアブソーバ80自体がホルダ75に軸方向に位置調整可能になっており、所定の軸方向位置でショックアブソーバ80をホルダ75に固定ねじ82で固定するようになっている。このショックアブソーバ80は、前記スライドテーブル18のストッパ72と軸方向に対向しており、接続プレート20,21の軸方向外側端面より、軸方向内側に位置している。このショックアブソーバ80は、直線作動機の使用形態によっては使用しないこともある。尚、85は接続プレート20,21を上下に貫通する取付孔、86は側壁1bに設けられた、スイッチなどの付帯部材の取付け用溝である。
【0015】
このように、ガイドレール10はベース1に固着し、ベース1の端部(ここでは端面)にベース側方に伸びる接続プレート20,21を固着し、その接続プレート20,21間においてベース1の側方に、ベース底壁1aとロッドレスシリンダユニット30とを高さ方向を重ねてスリット32をガイドレール10に向けて横向きに配置したので、ガイドレール10はベース1と一体であるから剛性が高く維持され、従って、接続プレート20,21の取付孔85を利用して機械装置に取り付ける場合であっても、全くベースのないものに比べて、スライドテーブル18の案内が円滑に保たれてその使用態様が多様化する上に、スリット32が横向きで、そのスリット32の外側に配置される外部移動体44が横向きとなるので、厚みの薄い直線作動機となり、上下方向の間隔が狭い設置個所にも適用できる。
【0016】
給排ポート23a,23bから圧流体(圧縮空気)を給排すると、ピストン40が一方のストローク端から他方のストローク端に向けて移動し、これにより、外部移動体44がスライドテーブル18を移動させ、スライドテーブル18がガイドレール10に案内された状態で正確に直進移動する。スライドテーブル18がストローク端にくると、ストッパ72の衝接面73がショックアブソーバ80に衝接し、スライドテーブル18は停止ショックを和らげられて停止する。例えば図1の右側のショックアブソーバ80では、衝接時には、軸方向力が作用してそのホルダ75の基部には、その軸方向力により水平方向において時計回りのモーメントがかかるが、ホルダ75の基部の嵌合溝76がベース1に堅固に固着されている長手寸法の長いガイドレール10の左右面10a,10aに嵌め込まれているので、そのモーメントをガイドレール10の左右面10a,10bを介して実質的にベース1全体で受けることができ、締め付けねじ79のみによる締め付けだけでは弛みやすいストップ部材取付ホルダ75を、長期にわたって弛むことなく所定の位置に保持できるうえに、モーメントを受けるガイドレール10の左右の垂直面10a,10aが、案内溝14と無関係な面なので、このような構成としても、案内子15の案内に悪影響を及ぼすことがない。又、同様にして前記軸方向力により、ストップ部材取付ホルダ75に,ホルダ75をベース1から浮き上がらせる方向のモーメントも生じるが、T溝ナット78に延設部78bがあるので、そのモーメントを延設部78bで確実に受け止め、その方向のモーメントによる締め付けねじ79の弛みも防止される。
【0017】
ストローク端においては、ショックアブソーバ80の突出部がスライドテーブル18の下にもぐり込んで衝接面73と衝接するので、従来、衝接面がスライドテーブル18の端面にあったものに比べて、同じストロークとするなら、この構成のほうが、スライドテーブル18と衝接時に重合する長さ分が、直線作動機の全長を短くし、全体をコンパクトにでき、また、直線作動機の全長を同じとすれば、この構成によれば、ストロークを長くできる。
【0018】
次に使用上の都合で、前記構成からショックアブソーバ80を外した場合を考えると、ロッドレスシリンダユニット30は、そのピストン40が両方の端部嵌合部材33に当接するストロークエンド間で往復移動することになる。すると、ストロークエンドでは、必ず端部嵌合部材33にピストン推力が作用し、端部嵌合部材33は軸方向外向きの力を受ける。端部嵌合部材33は、シリンダ孔34に嵌合してあるだけであるから、特に、押しねじ62を設けた側では、アウタシールバンド51を止めている固定ねじ54による摩擦保持があるとはいえ、到底その推力に打ち勝つほどの保持力がなく、シールバンド50,51を引っ張って軸方向外側に向けて隙間t分だけ移動しようとするが、その推力は、押しねじ62を介して接続プレート21で受けられるので、結果としてシールバンド50,51にそのような推力による過大に張力を発生することが防止でき、シールバンド50,51の変形、破損を防止し得る。また、ショックアブソーバ80を外さない場合でも圧流体を供給することにより、対応した端部嵌合部材33が流体圧により軸方向の推力を受けるが、ショックアブソーバ80を外したときと同様に、押しねじ62の作用で、その推力を接続プレート21で受けることができ、バンド50,51にその推力による張力発生を防止できる。
【0019】
尚、本願において、図7に斜視図で示すようにロッドレスシリンダユニットは、スリット式に限らず、非磁性材料から成る薄肉のシリンダチューブ90の内部を移動する内部移動体(図示なし)とシリンダチューブ90の外側面に嵌装されて摺動する外部移動体91とが、少なくといずれか一方に設けた磁石装置による磁気結合力で連結されている、いわゆる、マグネット式のロッドレスシリンダユニット95であっても、同様の効果を生じることはいうまでもない。更に、本願においては、ロッドレスシリンダユニットをガイドレールの側方に配置したもので説明したが、ロッドレスシリンダユニットは、単独で作動可能な普通のロッドレスシリンダで置き換えることができることはいうまでもない。
【0020】
【発明の効果】
以上のように本願発明では、ガイドレールはベースに取付けて剛性を高く保持した直線作動機であっても、ロッドレスシリンダの下側にベースがないので、ベース厚み分は全体の厚みを薄くでき、高さ制限のある設置個所に配置できる利点がある上に、そのように全体の剛性が高いので、接続プレート部分のみで機械装置に取り付けても、ガイドレールによりスライド体が円滑に案内され、機械装置に対する取付態様を多様化できる。また、ガイドレールを取付けるベースを底壁と側壁とからなる断面L字としたので、側壁にスイッチなどの付帯部材の取付け用の溝を設けることで付帯部材を取付けできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願構造の直線作動機の斜視図である。
【図2】直線作動機の平面図である。
【図3】図2のIII−III断面拡大図である。
【図4】図2のIV−IV断面拡大図である。
【図5】図4のV−V視図(縮小図)である。
【図6】バンド取付部の詳細図である。
【図7】ロッドレスシリンダの形式をマグネット式とした直線作動機の斜視図である。
【符号の説明】
1 ベース
1a 底壁
1b 側壁
10 ガイドレール
18 スライドテーブル
20,21 接続プレート
30 ロッドレスシリンダユニット
44 外部移動体
86 取付け用溝
C 収容空間

Claims (1)

  1. ベース上にガイドレールを取り付け、このガイドレールの側方にロッドレスシリンダを配置し、ロッドレスシリンダの外部移動体とガイドレールに案内されるスライド体を連結して成る直線作動機において、ベースを底壁とその側端から上方に立ち上げた側壁とから成る断面L字に形成し、ベースの長手方向両端部に接続プレートを固着し、そのベースの底壁の上面にガイドレールを取り付けベースの底壁の、前記側壁の無い側の側面の側方の収容空間にガイドレールに沿ってロッドレスシリンダをベースの底壁の厚さとロッドレスシリンダの高さ方向の一部を重ねて配置し、そのロッドレスシリンダと前記接続プレートとを固着し、側壁に付帯部材の取付け用溝を設けたことを特徴とする直線作動機。
JP26723999A 1999-09-21 1999-09-21 直線作動機 Expired - Fee Related JP3685372B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26723999A JP3685372B2 (ja) 1999-09-21 1999-09-21 直線作動機

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26723999A JP3685372B2 (ja) 1999-09-21 1999-09-21 直線作動機

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7353897A Division JP3011084B2 (ja) 1995-12-27 1995-12-27 直線作動機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000097208A JP2000097208A (ja) 2000-04-04
JP3685372B2 true JP3685372B2 (ja) 2005-08-17

Family

ID=17442080

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26723999A Expired - Fee Related JP3685372B2 (ja) 1999-09-21 1999-09-21 直線作動機

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3685372B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112355199B (zh) * 2020-09-07 2023-08-11 芜湖奇峰操控索有限公司 无杆气缸跑车定位的选换挡拉线铆压辅助设备
KR102341618B1 (ko) * 2021-06-07 2021-12-21 김대일 자동 나사 체결장치

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000097208A (ja) 2000-04-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7191695B2 (en) Linear actuator
JP3011084B2 (ja) 直線作動機
JP4273476B2 (ja) リニアアクチュエータ
JP3685372B2 (ja) 直線作動機
JP3685377B2 (ja) 往復作動機
JP2007218296A (ja) アクチュエータ
JP2970516B2 (ja) ガイド付ロッドレスシリンダの組立システム及びガイド付ロッドレスシリンダ群
JP2970515B2 (ja) ストップ部材の取付機構
JP3685385B2 (ja) 直線作動機
JP3158398B2 (ja) スライドユニット
JP3304911B2 (ja) 直線作動機
JP3590966B2 (ja) ロッドレスシリンダ
JP2996291B2 (ja) アクチュエータ
US5724880A (en) Rodless power cylinder including a securing member for the inner seal band which passes through the slit in the cylinder barrel
JP2937877B2 (ja) シールバンドの取付構造と組付方法及び直線作動機
JP5237903B2 (ja) リニアアクチュエータ
JPH09196012A (ja) ストップ部材を有する往復作動機
JP3375249B2 (ja) 直線作動機
JP3247166U (ja) チャック装置およびチャックシステム
JP2002349511A (ja) 位置検出センサの取付構造
JPH0732961Y2 (ja) スライドユニット
JPH0438096Y2 (ja)
JP4962263B2 (ja) ガイド付マグネット式ロッドレスシリンダ
JP2001082412A (ja) スライドユニット
JP2001090709A (ja) ロッドレスシリンダ

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20041215

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050105

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050513

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050526

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090610

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090610

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100610

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100610

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110610

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120610

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130610

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140610

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees