JP3685377B2

JP3685377B2 - 往復作動機

Info

Publication number: JP3685377B2
Application number: JP2000014328A
Authority: JP
Inventors: 光雄野田
Original assignee: Howa Machinery Ltd
Current assignee: Howa Machinery Ltd
Priority date: 1996-01-16
Filing date: 2000-01-24
Publication date: 2005-08-17
Anticipated expiration: 2016-01-16
Also published as: JP2000154806A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、スライド体の移動端を規制するストップ部材を備えた往復作動機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記のような往復作動機として、シリンダバレルにガイドレ−ルをベースを介して一体に設け、そのガイドレールに沿ってスライドテーブルを往復直線案内し、シリンダバレルに設けたスリットから、バレル内部のピストンの一部を外部へ突出させて前記スライドテーブルと接続し、スリットはシールバンドで密封するようにし、そのガイドレールにアブソーバホルダを軸方向位置を調節自在に設け、そのアブソーバホルダにショックアブソーバを設けて成るもの（実開昭６３−１０６９０７号）、ベースに、マグネットによる磁気結合力により、あるいはシリンダチューブ内部のピストンの動きを、ピストンに連結したワイヤで外部へ取りだすようにしたロッドレスシリンダとそのロッドレスシリンダに沿ってガイドレールを設け、ガイドレールに案内されるスライドテーブルとこうしたロッドレスシリンダの外部スライド体とを接続し、ベース前後に設けたエンドプレート又は、ガイドレールに移動自在に設けた保持板にショックアブソーバを軸方向位置調整可能に設けたもの（実開平４−１３３５５０号、実開昭６１−１４１０３０号）が公知である。また、ロッドレスシリンダのシリンダチューブが円弧状に形成され、そのシリンダチューブに沿って、設けたガイドレールにスライドテーブルが円弧案内され、ガイドレールには、スライドテーブルのストローク端を定めるストッパがガイドレールに沿って移動自在に設けてあるものがある（実開平４−１１７２０１号）。これらの技術では、スライドテーブルが移動端にいたると、ショックアブソーバ、あるいはストッパにスライドテーブルの移動方向端面が衝接するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記した技術において、特に直線往復作動機では、ショックアブソーバが衝接する衝接面がスライドテーブルの移動方向端面に設けてあるので、往復作動機の全長は、スライドテーブルの移動方向長さ、スライドテーブルの最大ストローク、及び、前後の２つのショックアブソーバ（ストップ部材）の全長の和となる。このような構成のストップ部材付きの往復作動機では、例えば前記実開平４−１３３５５０号にみられるように、スライドテーブルを最大ストロークで使用する場合には、ショックアブソーバの後端部が軸方向外側に大きく突出し、その結果、往復作動機の取付けがスペース的に確保できず、困難となる問題があった。この発明の課題は、ストップ部材を有する往復作動機、ことに直線作動機をコンパクト化することにある。この課題は、また、同じサイズであれば、ストロークを大きくできる直線作動機を得ることにある、とも言い替えることができる。
【０００４】
また、前記円弧状往復動装置でも、スライドテーブルの端面がストッパに当接しているので、スライドテーブルの最大ストロークは、スライドテーブルの長さ、ストッパの長さを、円弧軌跡の円周長さから差し引いたものとなり、それ以上のストロークを必要とするときは、円弧半径を大きくする格別の工夫が必要であり、構造が複雑となるなどの問題がある。この発明の課題は、このような円弧状往復作動機において、同一円弧半径でも、ストロークを大きくできる往復動作動機を提供することでもある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記課題の解決のため、本願では、ロッドレスシリンダユニットの駆動体によりスライドテーブルを往復移動させるようにし、そのスライドテーブルの移動端において、スライドテーブルに設けたストッパと衝接するストップ部材を備えて成る往復作動機において、底壁とその側端から上方へ立ち上げた側壁とから成る断面Ｌ字に形成されたベースを備え、そのベースの側壁の無い側の側面の側方に前記ロッドレスシリンダユニットをベース底壁と高さ方向を重ねて配設し、ベースの底壁の上面にガイドレールを固着し、そのガイドレールにスライドテーブルの下面に固着した案内子を案内させ、案内子と前記駆動体との間のスライドテーブルの下面に前記ストッパを固着し、そのストッパの長手長さをスライドテーブルの長手長さより短くしかつストッパの軸方向端面の衝接面をスライドテーブルの端面より長手方向内側に入り込ませ、前記ベースの底壁の上面にストッパの衝接面と軸方向に対向する位置に前記ストップ部材をスライドテーブルの下にもぐり込むように固着して成ることを特徴とする（請求項１）。これによれば、スライドテーブルがストップ部材と衝接するときに、ストップ部材がスライドテーブルの下にもぐり込んで、スライドテーブルと重なった状態で、スライドテーブルの下面に設けたストッパの衝接面と衝接する。
【０００６】
また本願では、ベースの底壁の上面にガイドレール取付け用の溝を設け、その溝にガイドレールを配設して長手方向複数のねじ孔に取付けボルトを通すことでガイドレールをベースに固着し、ガイドレール取付け用の溝の、ベースの側壁と幅方向反対側には、ストップ部材取付ホルダの取付け用のＴ字溝がベース全長に設けてあり、ストップ部材を固着したストップ部材取付ホルダをベースの底壁の上面にＴ字溝を利用して、締め付けボルトと、締め付けボルトとの結合部より、長手方向内側に延設部を有した形状のＴ溝ナットにより固着し、そのストップ部材取付ホルダに設けた嵌合溝をガイドレールに嵌合させて成る。
【０００７】
また本願では、ロッドレスシリンダユニットをシリンダバレルにスリットを有するもので構成し、ロッドレスシリンダユニットをベースの側方にスリットをガイドレールに向けて横向きに配設して成る（請求項３）。
【０００８】
往復作動機は、スライドテーブルがガイドレールに直線案内されており、そのスライドテーブルと駆動機構の駆動体とが接続されている直線作動機であっても、また、スライドテーブルが円弧状に案内移動される曲線作動機であってもよい。
【０００９】
【実施例】
図１，２，３において、ベース１は底壁１ａとその側端から上方へ立ち上げた側壁１ｂとから成る断面Ｌ字に形成されている。底壁１ａの上面には、長手全長にわたって、ガイドレール取付け用の浅い溝２が設けてある。溝２の底部上面には、ベース全長にわたってＴ字溝３が設けてある。溝２の、側壁１ｂと幅方向反対側には、ストップ部材取付ホルダ７５の取付け用のＴ字溝４がベース１全長に設けてある。ベース１の、側壁１ｂの無い側の側面１ｃの近くは上方に突出した突出部５となっており、この突出部５には、ベース１全長にわたって流体通路となる貫通孔６が設けてある。底壁１ａの下面には、左右に２条の直線作動機の取付け用のＴ溝７，７がこれも、ベース１全長に渡って設けてある。ベース１は例えば、アルミニウム合金の押出形材で構成されている。
【００１０】
ベース１の前記溝２には、ベース１全長より僅かに短い長さのガイドレール１０が配設され、ガイドレール１０に設けた長手方向複数のねじ孔１１に、取付けボルト１２を通し、前記Ｔ字溝３に嵌入したＴ溝ナット１３に螺合して、ガイドレール１０をベース１に一体固着している。ガイドレール１０は幅方向左右に長手全長に渡ってくぼんだ案内溝１４（ここでは半円形：Ｖ字型等もある）を有し、この案内溝１４と案内子１５のボール溝１６との間には、多数のボール１７が転動自在に介在され、案内子１５が長手方向に直線転動案内されている。ガイドレール１０にはこうした案内子１５が２つ案内されている。これら２つの案内子１５は、スライドテーブル（スライド体本体）１８の下面に連結してある。案内子１５の数は、前記に限定されない。
【００１１】
ベース１の軸線方向前後端面には、夫々矩形の接続プレート２０，２１がボルト２２により固着してある。接続プレート２０，２１は、ベース１の側壁１ｂの無い側の側面１ｃより，さらに側方に伸びた形状を成し、その高さは、ロッドレスシリンダユニット３０のシリンダバレル３１を横向きにしたときのバレルの高さ（スリットの幅方向におけるバレル厚さＨ）とほぼ一致しており、ベース１の側面１ｃの側方に、ロッドレスシリンダユニット３０を収容する収容空間Ｃが形成されるようになっている。接続プレート２０，２１間には、ガイドレール１０に沿ってロッドレスシリンダユニット（駆動機構）３０が配設される。
【００１２】
ロッドレスシリンダユニット３０において、シリンダバレル３１は略矩形断面で、長手方向全長にわたってスリット３２を有している。シリンダバレル３１の両端は端部嵌合部材３３で塞がれている。図６に右側のものを示すが、１対の端部嵌合部材３３は、バレル３１のシリンダ孔３４に嵌合する嵌合軸部３３ａと、軸方向位置決めのための薄いつば部３３ｂと、軸方向外側に向く接続プレート２０，２１との嵌合部３３ｃと、ピストン４０で区画される左右のシリンダ室Ｓ１，Ｓ２に開口する連通路３３ｄを備えている。端部嵌合部材３３は、その嵌合軸部３３ａが先端に装着されたシール部材（Ｏリング）２５によりシリンダ孔３４を塞ぐようにシリンダ孔３４に嵌合されているのみで、バレル３１には固着されない。図４に示すように、つば部３３ｂと嵌合軸部３３ａは、スリット３２と対応する一部分が切り欠かれてインナシールバンド５０の挿通平面（挿通部）３３ｅになっており、インナシールバンド５０を組み付けるときに、インナシールバンド５０を容易に長手方向に動かすことができるようになっている。端部嵌合部材３３の嵌合軸部３３ａには、前記挿通平面３３ｅの幅方向中心に軸方向にアウタシールバンド固定用の２つのねじ孔３５が設けてある。ねじ孔３５より長手内側には、インナシールバンド５０の両端外側にワッシャ３６を固定するためのリベット３７の頭部が嵌まり込む溝３８が、挿通平面３３ｅの幅方向中心に形成してある。このワッシャ３６は、図５に示すように、スリット３２にきっちり嵌まり込んで、インナシールバンド５０がスリット３２に対して幅方向にずれないように機能する。こうしたワッシャ３６は、他の形式のシールバンド、例えばスリット３２に弾性的に嵌まり込むようなリップを有する形状の弾性シールバンドの場合は必要がない。
【００１３】
シリンダ孔３４には内部移動体としてのピストン４０が軸方向移動自在に嵌装されている。ピストン４０の軸方向両端には、ピストンパッキン４１が取り付けてあり、ピストン４０によりシリンダ孔３４が左右のシリンダ室Ｓ１，Ｓ２に区画されている。ピストン４０の一部がスリット３２から外部へ突出したヨーク４２となっており、このヨーク４２に孔４２ａとピン４２ｂとを介してマウント４３が連結されて、外部移動体（駆動体）４４を構成する。マウント４３の前後にエンドプレート４５が固着され、エンドプレート４５にはスクレーパ４６が取り付けられ、スクレーパ４６は、外部移動体４４の全周を取り囲むスクレーパ取付用のＯリング４７で保持されている。スリット３２を内側から塞ぐインナシールバンド５０と、スリット３２を外側から塞ぐアウタシールバンド５１が、ヨーク４２の上側と下側の案内面に案内されて外部移動体４４を貫通している。インナシールバンド５０，アウタシールバンド５１はステンレスクロム鋼などの磁性金属材料から成る薄い可撓製シールバンドであり、スリット３２の外面縁部に設けたマグネットストリップ５２により吸着されるようになっている。このインナ、アウタシールバンド５０，５１は、他の形式の可撓性シールバンド、例えば、ウレタンゴム、ナイロン、クロム鋼とゴムなどの材料から成り、インナ、アウタシールバンドが互いに弾性的に係脱して、あるいは、夫々がスリット３２に弾性的に係脱してスリット３２を塞ぐような形式のものであってもよい。
【００１４】
図５，６に示すように、インナシールバンド５０とアウタシールバンド５１の両端が、前記一対の端部嵌合部材３３に連結されている。アウタシールバンド５１の端部は、スリット３２の端部において、アウタシールバンド５１の外面に取付プレート５３を当て付け、その取付プレート５３の外側から固定ねじ５４をスリット３２を通して前記端部嵌合部材３３の嵌合軸部３３ａのねじ孔３５に螺合して、バレル３１との間で挾持固定されている。インナシールバンド５０の端部は、インナシールバンド５０のリベット３７を端部嵌合部材３３の溝３８内に位置させた状態、すなわち、ワッシャ３６をスリット３２の端部に位置させた状態で、バレル３１に固定された取付プレート５３に止めねじ５５を螺合して、その止めねじ５５をスリット３２内を通過させ、止めねじ５５の先端と嵌合軸部３３ａの挿通平面３３ｅとの間で挾持している。止めねじ５５は、先端内側に尖先部５５ａを有する形状であり、押しつけ固定するときに、その尖先部５５ａがインナシールバンド５０に食い込むので、極めて強力に固定できる。
【００１５】
図６に示すようにロッドレスシリンダユニット３０の一対の端部嵌合部材３３のつば部３３ｂの外側端面３３ｆ間の寸法（ロッドレスシリンダユニット３０の取付け寸法Ｌ１）は、組み付け容易のために、接続プレート２０，２１間の内法寸法（取付け寸法Ｌ２）より僅かに小さく設定してある。そして、スリット３２がガイドレール１０に向くようにロッドレスシリンダユニット３０を横向きとして、両端部嵌合部材３３の嵌合部３３ｃが、接続プレート２０，２１に設けた嵌合孔６０にシール部材（Ｏリング）６１を介して嵌合されている。一方の接続プレート（右側）２１には、対向する端部嵌合部材３３の前記つば部３３ｂと対向する位置に、押しねじ６２が設けてあり、この押しねじ６２で一方の端部嵌合部材３３のつば部３３ｂを軸方向に押し付け，バレル３１ごと左側の接続プレート２０に左側の端部嵌合部材３３のつば部３３ｂが押しつけられ、その状態では、押しねじ６２に押されているつば部３３ｂの軸方向外側端面３３ｆと、右側の接続プレート２１の内面との間には僅かな隙間ｔができている。この状態で、左右の接続プレート２１，２２とシリンダバレル３１の長手端面とを固定ねじ６３で固着してある。左側の接続プレート２０には、前記貫通孔６の左端部と対向する位置、及び、左側の端部嵌合部材３３の連通路３３ｄと対向する位置に、夫々圧流体の給排ポート２３ａ，２３ｂが設けられている。右側の接続プレート２１には、貫通孔６の右端部と連通するともに、右側の端部嵌合部材３３の連通路３３ｄに連通する給排通路２４が設けてあり、一方の（左側の）接続プレート２０からのみの集中配管ができるようになっている。もちろん、左右の接続プレート２０，２１の夫々に、左右のシリンダ室Ｓ１，Ｓ２に対応した給排ポートを設けてもよい。
【００１６】
スライドテーブル１８は、幅方向の側壁１ｂ寄り位置で案内子１５と連結されている。スライドテーブル１８は案内子１５との連結部分からロッドレスシリンダユニット３０の外部移動体４４上方まで幅方向にオーバハングしていて、シリンダバレル３１とは上下に重なっていない。外部移動体４４と重なっている部分には、外部移動体４４の軸方向前後を挟む位置に、脚７０がベース方向に突設してある。前後一対の脚７０の間に外部移動体４４が挟まれており、外部移動体４４のエンドプレート４５と脚７０との間には、ゴムダンパ（緩衝部材）７１が介在してあって外部移動体４４の移動がスライドテーブル１８に伝えられるようになっている。スライドテーブル１８の下面には、案内子１５と脚７０の間に、長手長さを、スライドテーブル１８の長手長さより短くしたストッパ７２が固着してある。ストッパ７２の軸方向端面は、後述のショックアブソーバ８０との衝接面７３，７３になっており、図示から明らかなように、スライドテーブル１８の端面１８ａより衝接面７３，７３が長手方向内側に入り込んでいる。
【００１７】
次に接続プレート２０，２１の内側位置においては、図４に示すように、前記ガイドレール１０の端部に、ストップ部材取付ホルダ７５の基部に設けた凹溝（嵌合溝）７６が嵌合され、その先端部７７がロッドレスシリンダユニット３０に向けて幅方向に突出され、前記Ｔ字溝４を利用して、Ｔ溝ナット７８とそれに螺合する締め付けボルト７９により、軸方向移動自在に固着してある。凹溝７６の左右面は、ガイドレール１０の左右の周面（垂直面）１０ａ，１０ａ（案内溝１４と関係のないガイドレールの幅方向面部分）にほぼ密着している。図２に示すように、Ｔ溝ナット７８は、締め付けボルト７９との結合部７８ａより、長手方向内側に延設部７８ｂを有した形状をなしている。ストップ部材取付ホルダ７５の先端は２つ割になっていて、ショックアブソーバ８０の外周に形成してあるねじ部８１が螺合されて、ガイドレール１０から側方に偏移した位置でショックアブソーバ８０自体がホルダ７５に軸方向に位置調整可能になっており、所定の軸方向位置でショックアブソーバ８０をホルダ７５に固定ねじ８２で固定するようになっている。このショックアブソーバ８０は、前記スライドテーブル１８のストッパ７２と軸方向に対向しており、接続プレート２０，２１の軸方向外側端面より、軸方向内側に位置している。このショックアブソーバ８０は、直線作動機の使用形態によっては使用しないこともある。尚、８５は接続プレート２０，２１を上下に貫通する取付孔、８６は側壁１ｂに設けられた、スイッチなどの付帯部材の取付け用溝である。
【００１８】
このように、ガイドレール１０はベース１に固着し、ベース１の端部（ここでは端面）にベース側方に伸びる接続プレート２０，２１を固着し、その接続プレート２０，２１間においてベース１の側方に、ベース底壁１ａとロッドレスシリンダユニット３０とを高さ方向を重ねてスリット３２をガイドレール１０に向けて横向きに配置したので、ガイドレール１０はベース１と一体であるから剛性が高く維持され、従って、接続プレート２０，２１の取付孔８５を利用して機械装置に取り付ける場合であっても、全くベースのないものに比べて、スライドテーブル１８の案内が円滑に保たれてその使用態様が多様化する上に、スリット３２が横向きで、そのスリット３２の外側に配置される外部移動体４４が横向きとなるので、厚みの薄い直線作動機となり、上下方向の間隔が狭い設置個所にも適用できる。
【００１９】
給排ポート２３ａ，２３ｂから圧流体（圧縮空気）を給排すると、ピストン４０が一方のストローク端から他方のストローク端に向けて移動し、これにより、外部移動体４４がスライドテーブル１８を移動させ、スライドテーブル１８がガイドレール１０に案内された状態で正確に直進移動する。スライドテーブル１８がストローク端にくると、ストッパ７２の衝接面７３がショックアブソーバ８０に衝接し、スライドテーブル１８は停止ショックを和らげられて停止する。例えば図１の右側のショックアブソーバ８０では、衝接時には、軸方向力が作用してそのホルダ７５の基部には、その軸方向力により水平方向において時計回りのモーメントがかかるが、ホルダ７５の基部の嵌合溝７６がベース１に堅固に固着されている長手寸法の長いガイドレール１０の左右面１０ａ，１０ａに嵌め込まれているので、そのモーメントをガイドレール１０の左右面１０ａ，１０ａを介して実質的にベース１全体で受けることができ、締め付けねじ７９のみによる締め付けだけでは弛みやすいストップ部材取付ホルダ７５を、長期にわたって弛むことなく所定の位置に保持できるうえに、モーメントを受けるガイドレール１０の左右の垂直面１０ａ，１０ａが、案内溝１４と無関係な面なので、このような構成としても、案内子１５の案内に悪影響を及ぼすことがない。又、同様にして前記軸方向力により、ストップ部材取付ホルダ７５に，ホルダ７５をベース１から浮き上がらせる方向のモーメントも生じるが、Ｔ溝ナット７８に延設部７８ｂがあるので、そのモーメントを延設部７８ｂで確実に受け止め、その方向のモーメントによる締め付けボルト７９の弛みも防止される。
【００２０】
ストローク端においては、ショックアブソーバ８０の突出部がスライドテーブル１８の下にもぐり込んで衝接面７３と衝接するので、従来、衝接面がスライドテーブル１８の端面にあったものに比べて、同じストロークとするなら、この構成のほうが、スライドテーブル１８と衝接時に重合する長さ分が、直線作動機の全長を短くし、全体をコンパクトにでき、また、直線作動機の全長を同じとすれば、この構成によれば、ストロークを長くできる。
【００２１】
次に使用上の都合で、前記構成からショックアブソーバ８０を外した場合を考えると、ロッドレスシリンダユニット３０は、そのピストン４０が両方の端部嵌合部材３３に当接するストロークエンド間で往復移動することになる。すると、ストロークエンドでは、必ず端部嵌合部材３３にピストン推力が作用し、端部嵌合部材３３は軸方向外向きの力を受ける。端部嵌合部材３３は、シリンダ孔３４に嵌合してあるだけであるから、特に、押しねじ６２を設けた側では、アウタシールバンド５１を止めている固定ねじ５４による摩擦保持があるとはいえ、到底その推力に打ち勝つほどの保持力がなく、シールバンド５０，５１を引っ張って軸方向外側に向けて隙間ｔ分だけ移動しようとするが、その推力は、押しねじ６２を介して接続プレート２１で受けられるので、結果としてシールバンド５０，５１にそのような推力による過大に張力を発生することが防止でき、シールバンド５０，５１の変形、破損を防止し得る。また、ショックアブソーバ８０を外さない場合でも圧流体を供給することにより、対応した端部嵌合部材３３が流体圧により軸方向の推力を受けるが、ショックアブソーバ８０を外したときと同様に、押しねじ６２の作用で、その推力を接続プレート２１で受けることができ、バンド５０，５１にその推力による張力発生を防止できる。
【００２２】
尚、本実施例では直線往復作動機で説明したが、本願構成を採用してこのようにストロークを長くできる効果は、従来技術として説明した前述の円弧状の往復作動機においても、全く同じである。すなわち、円弧半径を同じとしたときには、ストップ部材がスライドテーブル１８と重合する分は、余分にストロークできることになる。
【００２３】
【発明の効果】
以上のように本願発明によれば、ガイドレールが断面Ｌ字に形成されたベースと一体であるから剛性が高く維持されて、スライドテーブルの案内が円滑に保たれる。また、スライドテーブルのストローク端において、スライドテーブルとストップ部材とが、スライドテーブルの移動方向において重なるようにしたので、往復作動機のサイズを同じとすれば、そのサイズを大きくすることなく、ストロークを重ねた分だけ大きくでき、また、ストロークを同じとすれば、往復作動機の大きさをコンパクトにでき、ストッパをスライドテーブルと別に設けるものでは、ストッパが繰返しのストップ部材との衝接で摩耗したときには、これのみを交換すれば良く、安価である。
また、ストップ部材取付用ホルダの基部の嵌合溝をベースに固着されているガイドレールに嵌め込んでいるので、ストップ部材取付ホルダに固定のストップ部材がストッパに衝接したときのモーメントを、ガイドレールを介して実質的にベース全体で受けることができ、ストップ部材取付用ホルダを長期にわたって弛むこと無く保持できる。また、ストップ部材取付ホルダに固定のストップ部材がストッパに衝接したときのモーメントをＴ溝ナットの延設部で確実に受け止め、締め付けボルトの弛みも防止される。
また、ロッドレスシリンダユニットをベースの側方に、スリットをガイドレールに向けて横向きとなるように配置し、スリットの外側となる駆動体が横向きとなるようにしたので、装置の厚みを薄くできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願構造の直線作動機の斜視図である。
【図２】直線作動機の平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面拡大図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ断面拡大図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ視図（縮小図）である。
【図６】バンド取付部の詳細図である。
【符号の説明】
１ベース
１０ガイドレール
１１ねじ孔
１２取付けボルト
１８スライドテーブル
３０ロッドレスシリンダユニット（駆動機構）
３１シリンダバレル
３２スリット
４０ピストン
４４外部移動体（駆動体）
７３衝接面
７５ストップ部材取付ホルダ
７６凹溝（嵌合溝）
７９締め付けボルト
８０ショックアブソーバ

Claims

ロッドレスシリンダユニットの駆動体によりスライドテーブルを往復移動させるようにし、そのスライドテーブルの移動端において、スライドテーブルに設けたストッパと衝接するストップ部材を備えて成る往復作動機において、底壁とその側端から上方へ立ち上げた側壁とから成る断面Ｌ字に形成されたベースを備え、そのベースの側壁の無い側の側面の側方に前記ロッドレスシリンダユニットをベース底壁と高さ方向を重ねて配設し、ベースの底壁の上面にガイドレールを固着し、そのガイドレールにスライドテーブルの下面に固着した案内子を案内させ、案内子と前記駆動体との間のスライドテーブルの下面に前記ストッパを固着し、そのストッパの長手長さをスライドテーブルの長手長さより短くしかつストッパの軸方向端面の衝接面をスライドテーブルの端面より長手方向内側に入り込ませ、前記ベースの底壁の上面にストッパの衝接面と軸方向に対向する位置に前記ストップ部材をスライドテーブルの下にもぐり込むように固着して成る往復作動機。
ベースの底壁の上面にガイドレール取付け用の溝を設け、その溝にガイドレールを配設して長手方向複数のねじ孔に取付けボルトを通すことでガイドレールをベースに固着し、ガイドレール取付け用の溝の、ベースの側壁と幅方向反対側には、ストップ部材取付ホルダの取付け用のＴ字溝がベース全長に設けてあり、ストップ部材を固着したストップ部材取付ホルダをベースの底壁の上面にＴ字溝を利用して、締め付けボルトと、締め付けボルトとの結合部より、長手方向内側に延設部を有した形状のＴ溝ナットにより固着し、そのストップ部材取付ホルダに設けた嵌合溝をガイドレールに嵌合させて成る請求項１記載の往復作動機。
ロッドレスシリンダユニットをシリンダバレルにスリットを有するもので構成し、ロッドレスシリンダユニットをベースの側方にスリットをガイドレールに向けて横向きに配設して成る請求項１又は請求項２記載の往復作動機。