JPH06207606A - トルクアクチュエータの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 シングルピストン形の小型アクチュエータの
ボディーの製造コストを下げることを目的とする。 【構成】 出力回転軸５が横断状態で支承される両端開
放の筒状本体１と、この筒状本体１の少なくとも一端に
連結され且つピストン１４，１５が内嵌されるシリンダ
チューブ用有底円筒体２，３とを備え、筒状本体１の内
部には、扇動アーム１１と駆動ピン１９などの運動変換
手段が内装されているトルクアクチュエータの前記筒状
本体１を、その外観形状を変えないで内周面をシリンダ
チューブ用の円柱面に変えてダイキャスト鋳造して、変
形筒状本体１Ｓとし、当該筒状本体１Ｓの両端にはカバ
ープレート４１，４２を取付けると共に、当該筒状本体
１Ｓに出力回転軸５Ｓを横断状態に支承せしめると共
に、当該筒状本体１Ｓの内部には、ピストン４３と当該
ピストン４３の往復運動を前記出力回転軸５Ｓの正逆回
転に変換する手段４４とを内装する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、バタフライ弁などの駆
動手段として使用されるトルクアクチュエータ、即ち、
ピストンから連設されたピストンアームの往復運動を出
力回転軸の正逆回転に変換するようにしたトルクアクチ
ュエータに関するものである。

【０００２】

【従来の技術及びその問題点】この種のトルクアクチュ
エータとしては、ピストンアームの往復運動を、当該ピ
ストンアーム側の駆動ピンとこの駆動ピンに係合する出
力回転軸側の扇動アームとで出力回転軸の正逆回転に変
換するようにしたスカッチョーク形トルクアクチュエー
タや、ピストンアームの往復運動を、当該ピストンアー
ム側のラックギヤと出力回転軸側のピニオンギヤとで出
力回転軸の正逆回転に変換するようにしたラックピニオ
ン形トルクアクチュエータなどが知られ、何れの形式の
トルクアクチュエータに於いても、互いに逆方向に運動
する２つのピストンで両ピストンの中間に配設された１
つの出力回転軸を駆動するダブルピストン形と、１つの
ピストンで１つの出力回転軸を駆動するシングルピスト
ン形とが知られている。

【０００３】而して、ダブルピストン形のトルクアクチ
ュエータのボディーは、シングルピストン形のアクチュ
エータのボディーと比較して当然ながら全長が長くな
る。従って、ダブルピストン形のトルクアクチュエータ
のボディーの一部分を、例えば短く切断するなどの特別
な加工を加えることなしにシングルピストン形のアクチ
ュエータのボディーとして活用することは出来なかっ
た。このため、小トルクの小型アクチュエータを製造す
る場合も、専用に設計された金型を使用してボディーを
ダイキャスト鋳造しており、コストが非常に高くつく欠
点があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は上記のような従
来の問題点を解決するために成されたものであって、そ
の特徴を後述する実施例の参照符号を付して示すと、本
発明のトルクアクチュエータ製造方法は、ボディーＢ
が、出力回転軸５が横断状態で支承される両端開放の筒
状本体１と、この筒状本体１の少なくとも一端に連結さ
れ且つピストン１４，１５が内嵌されるシリンダチュー
ブ用有底円筒体２，３とを備え、前記筒状本体１の内部
には、前記ピストン１４，１５の往復運動を前記出力回
転軸５の正逆回転に変換する手段（扇動アーム１１と駆
動ピン１９）が内装されているトルクアクチュエータの
前記筒状本体１を、その外観形状を変えないで内周面を
シリンダチューブ用の円柱面に変えてダイキャスト鋳造
して、変形筒状本体１Ｓとし、当該筒状本体１Ｓの両端
には前記有底円筒体２，３に変えてカバープレート４
１，４２を取付けると共に、当該筒状本体１Ｓに一体成
形されている軸受部７ａ，７ｂを利用して出力回転軸５
Ｓを横断状態に支承せしめると共に、当該筒状本体１Ｓ
の内部には、ピストン４３と当該ピストン４３の往復運
動を前記出力回転軸５Ｓの正逆回転に変換する手段４４
とを内装する点に特徴を有する。

【０００５】

【実施例】先ず、本発明製造方法を実施するに際して利
用するダブルピストン形のトルクアクチュエータの一例
を、図１Ａ及び図２〜図４に基づいて説明すると、１は
両端開放の筒状本体であり、２，３はシリンダチューブ
用有底円筒体である。これら筒状本体１と２つの有底円
筒体２，３は何れもダイキャスト鋳物から構成されてお
り、筒状本体１の両端に有底円筒体２，３の開口端をＯ
リングなどのシール材４を介して気密に結合一体化し
て、アクチュエータのボディーＢが形成されている。

【０００６】５は筒状本体１の中央部を横断貫通する出
力回転軸であって、図２に詳細が示されるように、一端
部が軸受部材６に回転のみ可能に支承されている。一
方、筒状本体１の中央部両側には、前記軸受部材６が内
嵌する軸受部７ａと、出力回転軸５の遊端部を回転可能
に支承する軸受部７ｂとが一体成形されており、出力回
転軸５の遊端部を軸受部７ｂに挿通させると共に、軸受
部材６を軸受部７ａに内嵌させてボルト８で固定するこ
とにより、出力回転軸５を筒状本体１に回転のみ可能に
支承している。９，１０はＯリングなどの気密保持用シ
ール材である。

【０００７】図１Ａに於いて、１１は扇動アームであっ
て、そのボス部１１ａに於いて出力回転軸５にキー１２
で固定され、当該ボス部１１ａから直径方向両側に延出
するフォーク部１１ｂ，１１ｃを備えている。このフォ
ーク部１１ｂ，１１ｃは、図２に示されるように出力回
転軸５の軸方向に一対並設されており、出力回転軸５の
軸心から各フォーク部１１ｂ，１１ｃの先端までの距離
は、図１Ａに示されるように両有底円筒体２，３の内周
面半径よりも大きく、従って前記筒状本体１の内周面に
は、図２及び図４に示されるように、前記各フォーク部
１１ｂ，１１ｃが出力回転軸５と共に回動するときに当
該フォーク部１１ｂ，１１ｃの先端が嵌合遊動する軸方
向凹溝部１３が、両有底円筒体２，３の内周面より外側
に突出するように形成されている。

【０００８】図１Ａに示されるように、両有底円筒体
２，３にはピストン１４，１５が夫々軸方向摺動可能に
内嵌されており、一方のピストン１４からは、前記扇動
アーム１１の一対の並設フォーク部１１ｂ間で、ボス部
１１ａと筒状本体１の内周面１ａとの間に軸方向摺動可
能に挟まれるピストンアーム１６が連設され、他方のピ
ストン１５からは、前記扇動アーム１１の一対の並設フ
ォーク部１１ｃ間で、ボス部１１ａと筒状本体１の内周
面１ａとの間に軸方向摺動可能に挟まれるピストンアー
ム１７が連設されている。そしてこれら各ピストンアー
ム１６，１７には、前記フォーク部１１ｂ，１１ｃの半
径方向切り欠き溝１８に両端部が遊嵌する駆動ピン１
９，２０が貫通装着されている。図１Ａに於いて、２１
は各ピストン１４，１５に装着されたＯリングなどの気
密用シール材であり、図２に於いて、２２は各駆動ピン
１９，２０の両端に装着された座金と抜け止めリングで
ある。

【０００９】前記扇動アーム１１には、図１Ａ及び図４
に示されるように、一方のフォーク部１１ｂに於ける出
力回転軸５の軸方向一側部で且つ揺動方向の両側に於い
て、被当接部２３，２４が一体に突設されており、両ピ
ストン１４，１５が図１Ａに示されるように離間限位置
まで移動したときに一方の被当接部２３が当接するスト
ッパーボルト２５と、両ピストン１４，１５が接近限位
置まで移動したときに他方の被当接部２４が当接するス
トッパーボルト２６とが、筒状本体１の軸方向に対し直
交する向きで当該軸方向に並列する状態で、図３に示さ
れるように筒状本体１に一体成形されたストッパーボル
ト支承部２７，２８に螺合貫通せしめられている。な
お、これらストッパーボルト２５，２６は、被当接部２
３，２４を受け止める内端の位置を各別に出退調整した
状態で、図２及び図３に示されるロックナット２９，３
０で固定されるものである。３１は気密用シール材であ
る。

【００１０】筒状本体１には、図２及び図３に示される
ようにポート形成用張出部１ｂに於いて２つの圧力流体
給排用ポート３２，３３が並設されている。一方のポー
ト３２は直接筒状本体１の内部に流路３４を介して連通
し、他方のポート３３は、図１Ａに示されるように、筒
状本体１の厚肉壁部１ｃに形成された軸方向貫通流路３
５と、この流路３５の両端に接続するように両有底円筒
体２，３の厚肉壁部２ａ，３ａに形成された流路３６，
３７とを介して、両有底円筒体２，３内の奥端部に連通
している。３８は流路３５，３６及び３５，３７の接続
部に介在されたＯリング等の気密用シール材である。

【００１１】なお、図３に於いて３９は、筒状本体１の
両端に有底円筒体２，３を結合するボルトであって、各
有底円筒体２，３側に一体に成形されたナット部４０に
螺合する。

【００１２】以上のように構成されたスカッチョーク形
のダブルピストン形トルクアクチュエータに於いて、図
１Ａに示されるように両ピストン１４，１５が離間限位
置にあって、扇動アーム１１の被当接部２３がストッパ
ーボルト２５に当接している状態で、ポート３３より流
路３５〜３７を介して両有底円筒体２，３内の奥端側へ
圧力流体を供給し、両ピストン１４，１５を互いに接近
する方向に移動させると、各ピストンアーム１６，１７
の駆動ピン１９，２０が扇動アーム１１のフォーク部１
１ｂ，１１ｃを介して当該扇動アーム１１を、被当接部
２４がストッパーボルト２６に当接するまで、図に於い
て反時計方向に略９０度だけ回動させる。

【００１３】両ピストン１４，１５が接近限位置にあっ
て、扇動アーム１１の被当接部２４がストッパーボルト
２６に当接している状態で、ポート３２より流路３４を
介して筒状本体１内へ圧力流体を供給し、両ピストン１
４，１５を互いに離間する方向に移動させると、各ピス
トンアーム１６，１７の駆動ピン１９，２０が扇動アー
ム１１のフォーク部１１ｂ，１１ｃを介して当該扇動ア
ーム１１を、被当接部２３がストッパーボルト２５に当
接するまで、図に於いて時計方向に略９０度だけ回動さ
せる。

【００１４】上記のようにして扇動アーム１１を略９０
度の範囲で往復揺動させることが出来、この扇動アーム
１１の回転がキー１２を介して出力回転軸５に伝達され
るので、当該出力回転軸５に連結される弁などを正逆開
閉駆動することが出来る。勿論、扇動アーム１１の往復
揺動範囲（出力回転軸５の正逆回転角度）とその行程限
の位置は、両ストッパーボルト２５，２６の出退調整に
より、微調整することが出来る。また、ピストンアーム
１６，１７が、扇動アーム１１の一対の並設フォーク部
１１ｂ間及び１１ｃ間で、ボス部１１ａと筒状本体１の
内周面１ａとの間に軸方向摺動可能に挟まれてガイドさ
れているので、ピストン１４，１５は、その軸方向長さ
が短くとも、こじれることなく円滑に摺動する。

【００１５】次に上記ダブルピストン形トルクアクチュ
エータを利用してシングルピストン形トルクアクチュエ
ータを製造する本発明の製造方法の一実施例を、図１
Ｂ、図５、及び図６に基づいて説明すると、上記ダブル
ピストン形トルクアクチュエータのボディーＢを構成す
る１部品である筒状本体１を、図５に示されるように、
その外観形状を変えないで内周面１ａをシリンダチュー
ブ用の円柱面に変えてダイキャスト鋳造する。即ち、上
記ダブルピストン形トルクアクチュエータのボディーＢ
の１部品としての前記筒状本体１をダイキャスト鋳造す
るための金型の内、外型はそのまま使用し、中型（スラ
イドコアー）のみ円柱状周面を有するものに代えて、ダ
イキャスト鋳造を行う。勿論、ストッパーボルト２５，
２６の螺合貫通孔を成形するための型も併用しない。但
し、両側の軸受部７ａ，７ｂや軸受部材６を取付けるボ
ルト孔８ａ、ポート３２，３３、及び流路３４は同様に
一体成形しておく。なお、流路３５も同様に成形してお
いても良いが、図１Ｂに示されるように、筒状本体１Ｓ
の一端にのみ開口する流路３５Ｓに代えて成形してい
る。

【００１６】そして図１Ｂに示されるように、上記のよ
うにしてダイキャスト鋳造された筒状本体１Ｓの両端に
は、前記有底円筒体２，３に変えてカバープレート４
１，４２を取付けると共に、当該筒状本体１Ｓに一体成
形されている軸受部７ａ，７ｂを利用して出力回転軸５
Ｓを横断状態に支承せしめると共に、当該筒状本体１Ｓ
の内部には、ピストン４３と当該ピストン４３の往復運
動を前記出力回転軸５Ｓの正逆回転に変換する手段４４
とを内装する。

【００１７】前記ピストン４３は、出力回転軸５Ｓの両
側に位置する２つのピストン本体４５，４６と、両ピス
トン本体どうしを連結するロッド部４７とから構成し、
一方のピストン本体４５にのみＯリングなどの気密用シ
ール材４８を嵌合させ、他方のピストン本体４６にはそ
の両側を連通させる貫通孔４９を設けるなどして、前記
ピストン本体４５でのみ筒状本体１Ｓ内を互いに気密の
２つのシリンダ室１Ａ，１Ｂに区画させる。而して、前
記流路３５Ｓは、カバープレート４２内に成形した流路
５０を介して一方のシリンダ室１Ａ内に連通させる。流
路３５Ｓに代えて、先の実施例の流路３５が成形されて
いたとしても、当該流路３５の他端はカバープレート４
１で閉塞することが出来る。

【００１８】前記手段４４は、前記ロッド部４７を挟む
フォーク部５１ａを備え且つ出力回転軸５Ｓにキー止め
された扇動アーム５１と、前記フォーク部５１ａの切り
欠き溝５２に嵌合するように前記ロッド部４７に突設さ
れた駆動ピン５３とから構成されている。５４，５５は
ピストン４３の行程両端を各別に規制するストッパーボ
ルトであって、前記両カバープレート４１，４２を螺合
貫通すると共に、気密用シール材５６，５７を介してロ
ックナット５８，５９により固定されている。

【００１９】なお、カバープレート４１，４２は、シリ
ンダチューブ用有底円筒体２，３を筒状本体１の両端に
取付けるのと同様に、ボルト３９と筒状本体１Ｓ側に一
体成形されているナット部４０、及び気密用シール材４
を利用して筒状本体１Ｓの両端に取付けられている。ま
た、筒状本体１Ｓに一体成形される軸受部７ａ，７ｂの
軸孔７ｃ，７ｄは、使用する出力回転軸５Ｓや軸受部材
６Ｓ（図６参照）に応じて内径を変えても良い。更に、
ピストン本体４６に貫通孔４９を設けておくときは、当
該ピストン本体４６にも気密用シール材４８を嵌合させ
て、ピストン４３全体ががたつきなく滑動するようにす
ることも出来る。勿論、貫通孔４９を設けないで、ピス
トン本体４６の周囲の間隙を通じて当該ピストン本体４
６の両側が同一圧力になるようにしても良い。

【００２０】以上のようにして組み立てられたシングル
ピストン型トルクアクチュエータでは、ポート３３より
流路３５Ｓ，５０を介してシリンダ室１Ａに圧力流体を
供給することにより、ピストン本体４５に対する右向き
圧力によって、図１Ｂに示すようにピストン４３がスト
ッパーボルト５４に当接する行程限まで右方へ移動し、
逆にポート３２より流路３４を介してシリンダ室１Ｂに
圧力流体を供給することにより、ピストン本体４６の両
側では貫通孔４９により同一圧力となるので、ピストン
本体４５に対する左向き圧力によって、ピストン４３が
ストッパーボルト５５に当接する行程限まで左方へ移動
することになる。このピストン４３の往復運動が、ロッ
ド部４７の駆動ピン５３から扇動アーム５１のフォーク
部５１ａを介して出力回転軸５Ｓに伝達され、当該出力
回転軸５Ｓが正逆回転することになる。

【００２１】上記実施例では、ダブルピストン形トルク
アクチュエータの筒状本体１を図５に示される筒状本体
１Ｓのように変形鋳造して、図１Ｂ及び図６に示される
ようにシングルピストン形トルクアクチュエータを構成
したが、図７に示すように、筒状本体１の一端にのみ、
ピストン１４を内嵌したシリンダチューブ用有底円筒体
２を取付け、筒状本体１の他端はカバープレート６０で
閉塞して成る、シングルピストン形トルクアクチュエー
タに於けるボディーＢの筒状本体１を、図５に示される
筒状本体１Ｓのように変形鋳造して、図１Ｂ及び図６に
示されるようにシングルピストン形トルクアクチュエー
タを製造することも出来る。

【００２２】なお、この図７に示されるシングルピスト
ン形トルクアクチュエータでは、ピストン１４の往復運
動を出力回転軸５の正逆回転に変換する手段に使用され
ている扇動アーム１１は、不要なフォーク部１１ｃが省
かれている。

【００２３】上記実施例では、何れもピストンの往復運
動を出力回転軸の正逆回転に変換する手段として、ピス
トンアーム側の駆動ピンと出力回転軸側の扇動アームと
を使用した、スカッチョーク形のトルクアクチュエータ
を例示したが、ピストンアーム側のラックギヤと出力回
転軸側のピニオンギヤとを使用するラックピニオン形の
トルクアクチュエータとしても実施することが出来る。

【００２４】

【発明の作用及び効果】以上のように実施し得る本発明
のトルクアクチュエータ製造方法によれば、ベースにな
るトルクアクチュエータのボディーを、出力回転軸が横
断状態で支承される両端開放の筒状本体と、この筒状本
体の少なくとも一端に連結され且つピストンが内嵌され
るシリンダチューブ用有底円筒体とに分割しており、当
該ボディーの１部品である前記筒状本体を、その外観形
状を変えないで内周面をシリンダチューブ用の円柱面に
変えてダイキャスト鋳造し、当該筒状本体の両端には前
記有底円筒体に変えてカバープレートを取付けると共
に、当該筒状本体に一体成形されている軸受部を利用し
て出力回転軸を横断状態に支承せしめると共に、当該筒
状本体の内部に、ピストンと当該ピストンの往復運動を
前記出力回転軸の正逆回転に変換する手段とを内装する
ことにより、小トルクの小型トルクアクチュエータを製
造することが出来る。

【００２５】即ち、例えば大トルクで大型のダブルピス
トン形トルクアクチュエータのボディーの構成部品であ
る筒状本体の製造設備である金型の内、外型をそのまま
活用して、小トルクの小型トルクアクチュエータのボデ
ィーを製造することが出来るので、製造コストを大幅に
削減することが出来、安価で高品質のアクチュエータを
市場に提供することが出来るのである。

【００２６】しかも、ベースとなるアクチュエータも、
ピストンが内嵌される部分（シリンダチューブ用有底円
筒体）と出力回転軸が支承される部分（筒状本体）とに
分割されているので、各部分が短く小型になる。従っ
て、これら各ボディー構成部品をダイキャスト鋳物で構
成する場合のスライドコアー（中型）に所定の抜き勾配
をもたせても、各ボディー構成部品の両端間の内径差が
非常に小さくなり、その内径差を無くすための機械加工
が施されても内周面の取り代が僅かであるから、内部の
ピンホールが内周面に露出してくる可能性が無くなるか
または非常に少なくなる。即ち、ボディー内周面にピン
ホールが露出することに起因する空気漏れやピストンシ
ール部の損傷などの不具合が実質的に解消するのであ
る。換言すれば、ベースとなる長尺のアクチュエータ自
体も、ダイキャスト鋳物製のボディーを使用しながら、
空気漏れもなく耐久性にも問題のない高品質のトルクア
クチュエータに構成することが可能となる。

【００２７】特に実施例にも示したように、筒状本体１
Ｓに設けられた２つの圧力流体給排用ポート３２，３３
の一つは筒状本体１Ｓの軸方向略中央位置で当該筒状本
体１Ｓ内に連通させ、他の一つは、筒状本体１Ｓに設け
られた流路３５Ｓと片側のカバープレート４２内に設け
た流路５０を介して筒状本体１Ｓの一端内部に連通さ
せ、筒状本体１Ｓに内嵌されるピストン４３を、出力回
転軸５Ｓの両側に位置する一対のピストン本体４５，４
６と両ピストン本体どうしを連結するロッド部４７とか
ら構成すると共に、前記カバープレート４２内の流路５
０が開口する側のピストン本体４５のみで筒状本体１Ｓ
内を互いに気密の２つのシリンダ室１Ａ，１Ｂに区画す
ることにより、次のような作用効果が期待出来る。

【００２８】即ち、ピストン本体４５，４６の厚さを薄
くして、カバープレート４１，４２と出力回転軸５Ｓと
の間の限られた空間内でのピストン行程長さを最大限に
広げながら、ピストン４３をして安定的に滑動させるこ
とが出来、しかも両ピストン本体４５，４６の外側のシ
リンダ室に択一的に圧力流体を供給するように構成する
場合と比較して、圧力流体の給排流路が簡単になり、ダ
ブルピストン形アクチュエータのボディーの一部分とし
て使用されるときの筒状本体に成形される流路をそのま
ま活用することも出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 Ａ図はベースになるダブルピストン形アクチ
ュエータを示す縦断正面図であり、Ｂ図は本発明方法に
従って構成したシングルピストン形アクチュエータを示
す縦断正面図である。

【図２】 同要部の縦断側面図である。

【図３】 同底面図である。

【図４】 同要部の縦断背面図であって、扇動アームが
起立位置まで揺動した状態を示す。

【図５】 本発明の製造方法に従って変形鋳造された筒
状本体を示す縦断側面図である。

【図６】 図１Ｂに示すアクチュエータの底面図であ
る。

【図７】 ベースになるアクチュエータの変形例を示す
概略縦断正面図である。

【符号の説明】

１ 筒状本体 １Ｓ 変形鋳造された筒状本体 ２ シリンダチューブ用有底円筒体 ３ シリンダチューブ用有底円筒体 ５ 出力回転軸 ５Ｓ 出力回転軸 ６ 軸受部材 １１ 扇動アーム １１ａ 扇動アームボス部 １１ｂ 扇動アームフォーク部 １１ｃ 扇動アームフォーク部 １３ 軸方向凹溝部 １４ ピストン １５ ピストン １６ ピストンアーム １７ ピストンアーム １９ 駆動ピン ２０ 駆動ピン ２３ 被当接部 ２４ 被当接部 ２５ ストッパーボルト ２６ ストッパーボルト ３２ 圧力流体給排用ポート ３３ 圧力流体給排用ポート ３４ 流路 ３５ 流路 ３６ 流路 ４１ カバープレート ４２ カバープレート ４３ ピストン ４４ 運動変換手段 ４５ ピストン本体 ４６ ピストン本体 ４７ ロッド部 ４９ 貫通孔 ５０ 流路 ５１ 扇動アーム ５１ａ フォーク部 ５３ 駆動ピン ５４ ストッパーボルト ５５ ストッパーボルト ６０ カバープレート Ｂ ボディー

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ボディーが、出力回転軸が横断状態で支承
   される両端開放の筒状本体と、この筒状本体の少なくと
   も一端に連結され且つピストンが内嵌されるシリンダチ
   ューブ用有底円筒体とを備え、前記筒状本体の内部に
   は、前記ピストンの往復運動を前記出力回転軸の正逆回
   転に変換する手段が内装されているトルクアクチュエー
   タの前記筒状本体を、その外観形状を変えないで内周面
   をシリンダチューブ用の円柱面に変えてダイキャスト鋳
   造し、当該筒状本体の両端には前記有底円筒体に変えて
   カバープレートを取付けると共に、当該筒状本体に一体
   成形されている軸受部を利用して出力回転軸を横断状態
   に支承せしめると共に、当該筒状本体の内部には、ピス
   トンと当該ピストンの往復運動を前記出力回転軸の正逆
   回転に変換する手段とを内装することを特徴とするトル
   クアクチュエータの製造方法。
2. 【請求項２】筒状本体に設けられた２つの圧力流体給排
   用ポートの一つは筒状本体の軸方向略中央位置で当該筒
   状本体内に連通させ、他の一つは、筒状本体に設けられ
   た流路と片側のカバープレート内に設けた流路を介して
   筒状本体の一端内部に連通させ、前記筒状本体に内嵌さ
   れるピストンを、出力回転軸の両側に位置する一対のピ
   ストン本体と両ピストン本体どうしを連結するロッド部
   とから構成すると共に、前記カバープレート内の流路が
   開口する側のピストン本体のみで筒状本体内を互いに気
   密の２室に区画することを特徴とする請求項１に記載の
   トルクアクチュエータの製造方法。