KR101997310B1 - 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름 - Google Patents

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Abstract

기재 (11) 와, 기재 (11) 의 편측에 형성된 박리제층 (12) 을 구비한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름 (1) 으로서, 박리제층 (12) 은, 활성 에너지선 경화성 성분 및 실리콘계 성분을 함유하는 박리제 조성물의 경화물이고, 박리제층 (12) 의 기재 (11) 와는 반대측의 면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 가 8 ㎚ 이하이고, 또한 최대 돌기 높이 (Rp) 가 50 ㎚ 이하인 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름 (1). 이러한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름 (1) 에 의하면, 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 두께 불균일 등의 결함이 발생하는 것을 방지·억제할 수 있고, 나아가서는 세라믹 그린 시트의 박리성도 우수하다.

Description

세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름{PEELING FILM FOR STEP FOR PRODUCING CERAMIC GREEN SHEET}
본 발명은 세라믹 그린 시트를 제조하는 공정에서 사용하는 박리 필름에 관한 것이다.
종래부터, 적층 세라믹 콘덴서나 다층 세라믹 기판과 같은 적층 세라믹 제품을 제조하려면, 세라믹 그린 시트를 성형하여, 얻어진 세라믹 그린 시트를 복수 장 적층하여 소성하는 것이 실시되고 있다.
세라믹 그린 시트는, 티탄산바륨이나 산화티탄 등의 세라믹 재료를 함유하는 세라믹 슬러리를 박리 필름 위에 도공함으로써 성형된다. 박리 필름으로는, 필름 기재에 폴리실록산 등의 실리콘계 화합물이 박리 처리된 것이 사용되고 있다. 이 박리 필름에는, 당해 박리 필름 위에 성형한 얇은 세라믹 그린 시트를 당해 박리 필름으로부터 파단시키거나 하지 않고 박리할 수 있는 박리성이 요구된다.
최근, 전자 기기의 소형화 및 고성능화에 수반하여, 적층 세라믹 콘덴서나 다층 세라믹 기판의 소형화 및 다층화가 진행되고, 세라믹 그린 시트의 박막화가 진행되고 있다. 세라믹 그린 시트가 박막화되어, 그 건조 후의 두께가 예를 들어 3 ㎛ 이하가 되면, 세라믹 슬러리를 도공하여 건조시켰을 때에 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 두께 불균일 등의 결함이 발생하기 쉬워진다. 또, 성형한 세라믹 그린 시트를 박리 필름으로부터 박리할 때에, 세라믹 그린 시트의 강도 저하에 의한 파단 등의 문제가 발생하기 쉬워진다.
전자의 문제를 해결하기 위해서, 특허문헌 1 에는, 캐리어 필름 (박리 필름) 으로서 세라믹 슬러리의 도포면에 있어서의 JIS B0601 로 정의되는 최대 높이 Rmax 가 0.2 ㎛ 이하인 표면을 갖는 것을 사용하는 것이 제안되어 있다.
일본 공개특허공보 2003-203822호
그러나, 특허문헌 1 과 같이 최대 높이 Rmax 를 규정한 박리 필름을 사용하더라도, 박막화한 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 두께 불균일 등의 결함이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 없었다. 또, 박막화한 세라믹 그린 시트를 박리 필름으로부터 박리할 때에, 세라믹 그린 시트가 파단되거나 하는 등의 문제는 여전히 있었다.
본 발명은 이와 같은 실상을 감안하여 이루어진 것으로, 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 두께 불균일 등의 결함이 발생하는 것을 방지·억제할 수 있고, 나아가서는 세라믹 그린 시트의 박리성도 우수한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 첫째로, 본 발명은, 기재와, 상기 기재의 편측에 형성된 박리제층을 구비한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름으로서, 상기 박리제층은, 활성 에너지선 경화성 성분 및 실리콘계 성분을 함유하는 박리제 조성물의 경화물이고, 상기 박리제층의 상기 기재와는 반대측의 면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 가 8 ㎚ 이하이고, 또한 최대 돌기 높이 (Rp) 가 50 ㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름을 제공한다 (발명 1).
상기 발명 (발명 1) 에 의하면, 주로 활성 에너지선 경화성 성분의 경화물에 의해 박리제층의 표면이 고 (高) 평활해지고, 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 두께 불균일 등의 결함이 발생하는 것을 효과적으로 방지·억제할 수 있고, 또, 실리콘계 성분 또는 그 경화물에 의해 세라믹 그린 시트와의 박리성도 우수하다.
상기 발명 (발명 1) 에 있어서, 상기 박리제층의 상기 기재와는 반대측의 면에 있어서의 높이 10 ㎚ 이상의 돌기 높이를 갖는 조대 돌기의 면적 점유율은, 10 ％ 이하인 것이 바람직하다 (발명 2).
상기 발명 (발명 1, 2) 에 있어서, 상기 실리콘계 성분은, 반응성 관능기를 갖는 폴리오르가노실록산인 것이 바람직하다 (발명 3).
상기 발명 (발명 1 ∼ 3) 에 있어서, 상기 박리제 조성물 중에 있어서의 상기 실리콘계 성분의, 상기 활성 에너지선 경화성 성분 및 상기 실리콘계 성분의 합계 질량에 대한 질량 비율은, 0.7 ∼ 5 질량％ 인 것이 바람직하다 (발명 4).
상기 발명 (발명 1 ∼ 4) 에 있어서, 상기 활성 에너지선 경화성 성분은, (메트)아크릴산에스테르인 것이 바람직하다 (발명 5).
상기 발명 (발명 5) 에 있어서, 상기 (메트)아크릴산에스테르는, 3 관능 이상의 (메트)아크릴산에스테르인 것이 바람직하다 (발명 6).
상기 발명 (발명 1 ∼ 6) 에 있어서, 상기 박리제층의 두께는, 0.3 ∼ 2 ㎛ 인 것이 바람직하다 (발명 7).
상기 발명 (발명 1 ∼ 7) 에 있어서는, 상기 기재의 상기 박리제층과는 반대측의 면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 가 5 ∼ 50 ㎚ 이고, 또한 최대 돌기 높이 (Rp) 가 30 ∼ 500 ㎚ 인 것이 바람직하다.
본 발명에 관련된 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름에 의하면, 박리제층의 표면이 고평활해지고, 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 두께 불균일 등의 결함이 발생하는 것을 효과적으로 방지·억제할 수 있고, 나아가서는 세라믹 그린 시트와의 박리성도 우수하다.
도 1 은 본 발명의 일 실시형태에 관련된 박리 필름의 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름 (이하, 간단히 「박리 필름」이라고 하는 경우가 있다) (1) 은, 기재 (11) 와, 기재 (11) 의 제 1 면 (도 1 에서는 상면) 위에 적층된 박리제층 (12) 을 구비하여 구성된다.
본 실시형태에 관련된 박리 필름 (1) 에 있어서, 세라믹 슬러리가 성형되는 면인 박리제층 (12) 의 표면 (도 1 에서는 상면；기재 (11) 와는 반대측의 면) 에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 는 8 ㎚ 이하이고, 또한 최대 돌기 높이 (Rp) 는 50 ㎚ 이하이다. 본 명세서에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 및 최대 돌기 높이 (Rp) 는, JIS B0601-1994 에 준거하여 측정 (시험예에서는, 미쓰토요사 제조의 표면 조도 측정기 SV3000S4 (촉침식) 를 사용하여 측정) 한 값으로 한다.
박리제층 (12) 의 표면의 산술 평균 조도 (Ra) 및 최대 돌기 높이 (Rp) 를 상기와 같은 범위로 함으로써, 박리제층 (12) 의 표면을 충분히 고평활한 것으로 할 수 있고, 예를 들어 두께 1 ㎛ 미만의 박막 세라믹 그린 시트를 당해 박리제층 (12) 의 표면에 성형했을 때에도, 박막 세라믹 그린 시트에는 핀홀이나 두께 불균일 등의 결함이 발생하기 어려워, 양호한 시트 성형성이 나타난다. 이 우수한 효과는, 특허문헌 1 과 같이 박리제층 (12) 의 최대 높이 (Rmax) 를 규정하는 것만으로는 얻어지지 않는다.
박리제층 (12) 의 표면의 산술 평균 조도 (Ra) 는, 바람직하게는 6 ㎚ 이하이고, 특히 바람직하게는 4 ㎚ 이하이다. 또, 박리제층 (12) 의 표면의 최대 돌기 높이 (Rp) 는, 바람직하게는 40 ㎚ 이하이고, 특히 바람직하게는 30 ㎚ 이하이다.
박리제층 (12) 의 표면에 있어서의 높이 10 ㎚ 이상의 돌기 높이를 갖는 조대 돌기의 면적 점유율은, 10 ％ 이하인 것이 바람직하고, 특히 8.5 ％ 이하인 것이 바람직하고, 나아가서는 7 ％ 이하인 것이 바람직하다. 여기서, 높이 10 ㎚ 이상의 돌기 높이를 갖는 조대 돌기의 면적 점유율이란, 높이 10 ㎚ 이상의 돌기 높이를 갖는 조대 돌기를, 높이 10 ㎚ 의 부분에서 박리제층 (12) 의 표면과 평행하게 잘라냈을 때에 발생하는 절취면의 면적의 합계가, 박리제층 (12) 의 표면의 면적에서 차지하는 비율을 말한다. 본 명세서에 있어서의 조대 돌기의 면적 점유율은, 광 간섭식 표면 형상 관찰 장치를 사용 (시험예에서는, Vecco 사 제조의 「WYKO-1100」을 사용) 하여 PSI 모드에서 50 배율로 관찰하여, 얻어진 91.2 × 119.8 ㎛ 의 범위에 있어서의 표면 형상 화상을, 돌기 높이 10 ㎛ 이상의 부분과 그 이외의 부분으로 2 치화 처리하고, 돌기 높이 10 ㎛ 이상의 부분을, 높이 10 ㎚ 의 부분에서 박리제층 (12) 의 표면과 평행하게 잘라냈을 때에 발생하는 절취면으로 하여, 그 면적의, 전체 면적에 대한 비율을 백분율로서 산출한 것이다.
상기 조대 돌기의 면적 점유율이 10 ％ 를 초과하는 박리 시트이면, 매우 드물게 높은 돌기 (예를 들어, 높이가 40 ∼ 50 ㎚ 부근의 돌기) 가 존재할 우려가 있지만, 한편, 조대 돌기의 면적 점유율이 10 ％ 이하의 박리 시트이면, 그러한 높은 돌기가 거의 존재하지 않게 된다. 이와 같은 박리 시트를 사용하여 얻어지는 세라믹 그린 시트에서는, 핀홀이나 두께 불균일 등의 결함이 발생하는 것이 보다 효과적으로 방지·억제된다.
본 실시형태에 관련된 박리 필름 (1) 에 있어서의 기재 (11) 로는, 특별히 제한은 없고, 종래 공지된 것 중에서 임의의 것을 적절히 선택하여 사용할 수 있다. 이와 같은 기재 (11) 로는, 예를 들어, 폴리에틸렌테레프탈레이트나 폴리에틸렌나프탈레이트 등의 폴리에스테르, 폴리프로필렌이나 폴리메틸펜텐 등의 폴리올레핀, 폴리카보네이트, 에틸렌-아세트산비닐 공중합체 등의 플라스틱으로 이루어지는 필름을 들 수 있고, 단층이어도 되고, 동종 또는 이종의 2 층 이상의 다층이어도 된다. 이들 중에서도 폴리에스테르 필름이 바람직하고, 특히 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름이 바람직하고, 나아가서는 2 축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름이 바람직하다. 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름은, 가공시, 사용시 등에 있어서 먼지 등이 발생하기 어렵기 때문에, 예를 들어 먼지 등에 의한 세라믹 슬러리 도공 불량 등을 효과적으로 방지할 수 있다.
또, 이 기재 (11) 에 있어서는, 그 제 1 면에 형성되는 박리제층 (12) 과의 밀착성을 향상시킬 목적으로, 제 1 면에, 산화법 등에 의한 표면 처리, 혹은 프라이머 처리를 실시할 수 있다. 상기 산화법으로는, 예를 들어 코로나 방전 처리, 플라즈마 방전 처리, 크롬 산화 처리 (습식), 화염 처리, 열풍 처리, 오존, 자외선 조사 처리 등을 들 수 있고, 이들의 표면 처리법은 기재 필름의 종류에 따라 적절히 선택되지만, 일반적으로 코로나 방전 처리법이 효과 및 조작성의 면에서 바람직하게 사용된다.
기재 (11) 의 두께는, 통상적으로 10 ∼ 300 ㎛ 이면 되고, 바람직하게는 15 ∼ 200 ㎛ 이며, 특히 바람직하게는 20 ∼ 125 ㎛ 이다.
기재 (11) 의 제 1 면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 는, 2 ∼ 50 ㎚ 인 것이 바람직하고, 특히 5 ∼ 30 ㎚ 인 것이 바람직하다. 또, 기재 (11) 의 제 1 면에 있어서의 최대 돌기 높이 (Rp) 는, 10 ∼ 700 ㎚ 인 것이 바람직하고, 특히 30 ∼ 500 ㎚ 인 것이 바람직하다. 기재 (11) 의 제 1 면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 및 최대 돌기 높이 (Rp) 를 상기의 범위로 설정함으로써, 박리제층 (1) 의 표면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 및 최대 돌기 높이 (Rp) 를 전술한 범위 내로 하는 것이 용이해진다.
한편, 기재 (11) 의 제 2 면 (제 1 면과 반대측의 면；도 1 에서는 하면；「이면」이라고 하는 경우가 있다) 에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 는, 5 ∼ 50 ㎚ 인 것이 바람직하고, 특히 10 ∼ 30 ㎚ 인 것이 바람직하다. 또, 기재 (11) 의 제 2 면에 있어서의 최대 돌기 높이 (Rp) 는, 30 ∼ 500 ㎚ 인 것이 바람직하고, 특히 50 ∼ 300 ㎚ 인 것이 바람직하다.
기재 (11) 의 제 2 면의 산술 평균 조도 (Ra) 가 지나치게 작으면, 당해 제 2 면이 지나치게 평활해지고, 박리 필름 (1) 의 권취시에 기재 (11) 의 제 2 면과 고평활한 박리제층 (12) 이 밀착되어, 블로킹이 발생하기 쉬워진다. 한편, 기재 (11) 의 제 2 면의 산술 평균 조도 (Ra) 가 지나치게 크면, 기재 (11) 의 제 2 면의 최대 돌기 높이 (Rp) 를 상기의 바람직한 낮은 범위로 하는 것이 곤란해지는 경우가 있다.
기재 (11) 의 제 2 면에 있어서의 최대 돌기 높이 (Rp) 가 지나치게 크면, 세라믹 그린 시트 성형 후에 권취했을 때에, 당해 세라믹 그린 시트에 밀착되는 기재 (11) 의 제 2 면의 돌기 형상이 세라믹 그린 시트에 전사되고, 세라믹 그린 시트가 부분적으로 얇아져, 당해 세라믹 그린 시트를 적층하여 콘덴서를 제작했을 때에 단락에 의한 문제가 발생할 우려가 있다. 한편, 기재 (11) 의 제 2 면의 최대 돌기 높이 (Rp) 가 지나치게 작으면, 기재 (11) 의 제 2 면의 요철이 균일해져, 당해 제 2 면이 평탄해지기 때문에, 박리제층 (12) 을 형성하는 공정 등에서, 기재 (11) 가 롤에 접하는 면에서 공기를 끌어들이기 쉬워진다. 그 결과, 반송되고 있는 기재 (11) 가 사행되거나 롤상으로 권취할 때에 어긋나게 감기거나 하는 경우가 있다.
또, 기재 (11) 의 제 2 면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 및 최대 돌기 높이 (Rp) 를 상기와 같은 범위로 하면, 권취시에 어긋나게 감기는 것을 효과적으로 억제할 수 있기 때문에 권취 장력을 높일 필요가 없고, 그로 인해, 권취 장력에서 기인하는 권심부의 변형을 억제하는 것이 가능해진다.
또한, 기재 (11) 의 제 1 면과 반대의 면에, 후술하는 박리제층 (12) 과 동일한 층을 형성하거나, 또는 박리제층 (12) 과는 상이한 층을 형성하거나 해도 되고, 이 경우, 기재 (11) 의 제 2 면은, 이들 층의 면 중, 기재 (11) 측과는 반대측의 면을 가리킨다.
기재 (11) 의 제 1 면의 최대 돌기 높이 (Rp) 와 제 2 면의 최대 돌기 높이 (Rp) 모두가 상기의 바람직한 범위에 있는 필름을 얻기 위해, 기재 (11) 로서, 기재 (11) 의 제 1 면의 최대 돌기 높이 (Rp) 와 제 2 면의 최대 돌기 높이 (Rp) 가 상이한, 즉 표리 상이 조도인 것을 사용해도 되고, 제 1 면의 최대 돌기 높이 (Rp) 와 제 2 면의 최대 돌기 높이 (Rp) 가 실질적으로 동일한, 즉 표리 동일 조도인 것을 사용해도 된다.
박리제층 (12) 은, 원하는 박리성을 가짐과 함께, 상기 기재 (11) 의 제 1 면에 적층되었을 때에, 당해 박리제층 (12) 의 표면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 및 최대 돌기 높이 (Rp) 를 전술한 범위로 할 수 있고, 활성 에너지선 경화성 성분 및 실리콘계 성분을 함유하는 박리제 조성물 (이하 「박리제 조성물 C」라고 한다) 을 경화시킴으로써 얻어지는 것이다. 이러한 박리제 조성물 C 에 의하면, 주로 활성 에너지선 경화성 성분의 경화물에 의해 기재 (11) 의 제 1 면에 존재하는 돌기 상호 간의 오목 부분을 효과적으로 메워, 얻어지는 박리제층 (12) 의 표면을 고평활화시킬 수 있고, 또, 실리콘계 성분 또는 그 경화물에 의해 박리제층 (12) 의 표면에 적당한 박리성을 부여할 수 있다. 종래부터, 특정의 수지 필름, 특히 폴리에스테르계 필름에 있어서는, 표면의 미끄러짐 용이성이나 기계적 강도를 부여하기 위해서 충전재의 첨가가 필수이며, 그 때문에, 충전재에서 기인한 표면의 조대 돌기의 면적 점유율을 낮게 제한하는 것이 곤란하였다. 이것에 대하여, 상기와 같이 활성 에너지선 경화성 성분의 경화물에 의해 박리제층 (12) 의 표면을 고평활화함으로써, 박리제층 (12) 의 표면의 조대 돌기의 면적 점유율을 낮게 제한하는 것이 용이해진다.
활성 에너지선 경화성 성분은, 본 발명의 효과를 저해하지 않고, 활성 에너지선의 조사에 의해 경화되는 성분이면 특별히 제한되지 않고, 모노머, 올리고머 또는 폴리머 중 어느 것이어도 되고, 그들의 혼합물이어도 된다. 이 활성 에너지선 경화성 성분은, (메트)아크릴산에스테르인 것이 바람직하다. 또한, 본 명세서에 있어서, (메트)아크릴산에스테르란, 아크릴산에스테르 및 메타크릴산에스테르의 양방을 의미한다. 다른 유사 용어도 동일하다. 박리제층 (12) 의 주성분이 (메트)아크릴산에스테르계 성분의 경화물이면, 당해 박리제층 (12) 에 있어서, 세라믹 슬러리의 크레이터링이 발생하기 어려워진다.
(메트)아크릴산에스테르로는, 다관능의 (메트)아크릴레이트 모노머 및 (메트)아크릴레이트 올리고머에서 선택되는 적어도 1 종인 것이 바람직하고, 특히, 3 관능 이상의 (메트)아크릴레이트 모노머 및 (메트)아크릴레이트 올리고머에서 선택되는 적어도 1 종인 것이 바람직하고, 나아가서는 3 관능 이상의 (메트)아크릴레이트 모노머인 것이 바람직하다. 3 관능 이상임으로써, 박리제 조성물 C 의 경화성이 우수한 것이 되고, 또, 얻어지는 박리제층 (12) 의 표면의 박리성이 보다 우수한 것이 된다.
다관능 (메트)아크릴레이트 모노머로는, 예를 들어, 1,4-부탄디올디(메트)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메트)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜아디페이트디(메트)아크릴레이트, 하이드록시피발산네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐디(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 디시클로펜테닐디(메트)아크릴레이트, 에틸렌옥사이드 변성 인산디(메트)아크릴레이트, 알릴화시클로헥실디(메트)아크릴레이트, 이소시아누레이트디(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 프로피온산 변성 디펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 프로필렌옥사이드 변성 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 트리스((메트)아크릴옥시에틸)이소시아누레이트, 프로피온산 변성 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있고, 그 중에서도 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트가 바람직하다. 이들은 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다.
다관능 (메트)아크릴레이트 올리고머로는, 예를 들어, 폴리에스테르아크릴레이트계 올리고머, 에폭시아크릴레이트계 올리고머, 우레탄아크릴레이트계 올리고머, 폴리에테르아크릴레이트계 올리고머, 폴리부타디엔아크릴레이트계 올리고머, 실리콘아크릴레이트계 올리고머 등을 들 수 있다.
폴리에스테르아크릴레이트계 올리고머는, 예를 들어, 다가 카르복실산과 다가 알코올의 축합에 의해 얻어지는 양 말단에 수산기를 갖는 폴리에스테르 올리고머의 수산기를 (메트)아크릴산으로 에스테르화함으로써, 혹은, 다가 카르복실산에 알킬렌옥사이드를 부가하여 얻어지는 올리고머의 말단의 수산기를 (메트)아크릴산으로 에스테르화함으로써 얻을 수 있다.
에폭시아크릴레이트계 올리고머는, 예를 들어, 비교적 저분자량의 비스페놀형 에폭시 수지나 노볼락형 에폭시 수지의 옥시란 고리에, (메트)아크릴산을 반응시켜 에스테르화함으로써 얻을 수 있다. 또, 에폭시아크릴레이트계 올리고머를 부분적으로 2 염기성 카르복실산 무수물로 변성한 카르복실 변성형의 에폭시아크릴레이트계 올리고머를 사용할 수도 있다.
우레탄아크릴레이트계 올리고머는, 예를 들어, 폴리에테르 폴리올이나 폴리에스테르 폴리올과 폴리이소시아네이트의 반응에 의해 얻어지는 폴리우레탄 올리고머를, (메트)아크릴산으로 에스테르화함으로써 얻을 수 있다.
폴리에테르아크릴레이트계 올리고머는, 폴리에테르 폴리올의 수산기를 (메트)아크릴산으로 에스테르화함으로써 얻을 수 있다.
상기의 다관능 (메트)아크릴레이트 모노머 및 다관능 (메트)아크릴레이트 올리고머는, 각각 1 종을 단독으로, 혹은 2 종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 또, 다관능 (메트)아크릴레이트 모노머와 다관능 (메트)아크릴레이트 올리고머를 조합하여 사용할 수도 있다.
또한, 박리제 조성물 C 에 있어서, 활성 에너지선 경화성 성분은, 1 종을 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다.
실리콘계 성분은 본 발명의 효과를 저해하지 않고, 박리제층 (12) 의 표면에 원하는 박리성을 부여할 수 있는 것이면 특별히 제한되지 않고, 폴리오르가노실록산, 바람직하게는 반응성 관능기를 갖는 폴리오르가노실록산, 특히 바람직하게는 반응성 관능기를 갖는 폴리디메틸실록산이 사용된다. 반응성 관능기를 갖는 폴리오르가노실록산을 사용하면, 활성 에너지선의 조사에 의해, 또는 별도의 반응 공정 (예를 들어, 가열 공정) 에 의해 반응성 관능기가 반응하고, 폴리오르가노실록산 (실리콘계 성분) 이 가교 구조에 주입되어 고정되게 된다. 이로 인해, 박리제층 (12) 중의 실리콘계 성분이, 박리제층 (12) 상에 성형된 세라믹 그린 시트에 전착하는 것이 억제된다.
반응성 관능기는, 폴리오르가노실록산의 편말단에 도입되어 있어도 되고, 양 말단에 도입되어 있어도 되며, 측사슬에 도입되어 있어도 된다. 반응성 관능기로는, 예를 들어, (메트)아크릴로일기, 비닐기, 말레이미드기, 에폭시기, 카르복실기, 이소시아네이트기, 수산기 등을 들 수 있고, 그 중에서도 상기 활성 에너지선 경화성 성분의 경화시 (활성 에너지선 조사시) 에 동시에 경화가 가능한 (메트)아크릴로일기, 비닐기 및 말레이미드기가 바람직하다. 이들의 반응성 관능기는, 폴리오르가노실록산 1 분자 중에 적어도 2 개 이상 도입되어 있는 것이 바람직하다. 또, 이들의 반응성 관능기는, 폴리오르가노실록산 1 분자 중에 2 종 이상 도입되어 있어도 된다.
또한, 박리제 조성물 C 에 있어서, 실리콘계 성분은 1 종을 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다.
박리제 조성물 C 중에 있어서의 실리콘계 성분의, 활성 에너지선 경화성 성분 및 실리콘계 성분의 합계 질량에 대한 질량 비율은, 0.7 ∼ 5 질량％ 인 것이 바람직하고, 특히 1.0 ∼ 2.5 질량％ 인 것이 바람직하다. 실리콘계 성분의 질량 비율을 상기의 범위로 함으로써, 박리제층 (12) 의 표면에 세라믹 슬러리를 크레이터링없이 도포할 수 있고, 또한, 형성된 세라믹 그린 시트를 파단시키지 않고 용이하게 박리할 수 있어, 박리제층 (12) 이 박리성이 우수한 것이 된다. 실리콘계 성분의 질량 비율이 0.7 질량％ 미만이면, 박리제층 (12) 이 충분한 박리 성능을 발휘할 수 없을 우려가 있다. 한편, 실리콘계 성분의 질량 비율이 5 질량％ 를 초과하면, 박리제층 (12) 의 표면에 세라믹 슬러리를 도포했을 때에, 세라믹 슬러리를 크레이터링하기 쉬워질 우려가 있다. 또, 박리제층 (12) 이 경화되기 어려워져, 충분한 박리성이 얻어지지 않는 경우가 있다.
박리제 조성물 C 중에 포함되는 고형분의 전체 질량에서 차지하는 활성 에너지선 경화성 성분 및 실리콘계 성분의 합계 질량의 질량 비율은, 85 질량％ 이상인 것이 바람직하고, 90 질량％ 이상인 것이 특히 바람직하다. 활성 에너지선 경화성 성분 및 실리콘계 성분의 합계 질량의 질량 비율이 상기 범위에 있음으로써, 형성되는 박리제층 (12) 의 표면을 고평활하게 하고, 또한, 박리제 조성물 C 의 충분한 경화성을 얻는 것이 보다 용이해진다.
여기서, 박리제 조성물 C 에 대해 조사하는 활성 에너지선으로서 자외선을 사용하는 경우에는, 박리제 조성물 C 는, 추가로 광 중합 개시제를 함유하는 것이 바람직하다. 이와 같이 광 중합 개시제를 함유함으로써, 활성 에너지선 경화성 성분 (및 실리콘계 성분) 을 효율적으로 경화시킬 수 있고, 또 중합 경화 시간 및 광선 조사량을 줄일 수 있다.
광 중합 개시제로는, 구체적으로는, 벤조페논, 아세토페논, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르, 벤조인벤조산, 벤조인벤조산메틸, 벤조인디메틸케탈, 2,4-디에틸티오크산톤, 1-하이드록시시클로헥실페닐케톤, 벤질디페닐설파이드, 테트라메틸티우람모노설파이드, 아조비스이소부티로니트릴, 벤질, 디벤질, 디아세틸, β-클로르안트라퀴논, (2,4,6-트리메틸벤질디페닐)포스핀옥사이드, 2-벤조티아졸-N,N-디에틸디티오카르바메이트 등을 들 수 있다. 특히, 표면 경화성이 우수하다고 여겨지는, 2-하이드록시-1-{4-[4-(2-하이드록시-2-메틸-프로피오닐)-벤질]-페닐}-2-메틸프로판-1-온, 1-하이드록시-시클로헥실-페닐-케톤, 2-하이드록시-2-메틸-1-페닐-프로판-1-온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온이 바람직하고, 그 중에서도 2-하이드록시-2-메틸-1-페닐-프로판-1-온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온이 특히 바람직하다. 이들은 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다.
광 중합 개시제는, 활성 에너지선 경화성 성분 및 활성 에너지선 경화성을 갖는 실리콘계 성분 (예를 들어, 반응성 관능기로서 (메트)아크릴로일기, 비닐기 또는 말레이미드기를 갖는 폴리오르가노실록산) 의 합계 100 질량부에 대하여, 1 ∼ 20 질량부, 특히 3 ∼ 15 질량부의 범위의 양으로 사용되는 것이 바람직하다.
박리제층 (12) 을 구성하는 박리제 (박리제 조성물 C 를 함유함) 는, 필요에 따라 실리카, 대전 방지제, 염료, 안료 그 밖의 첨가제를 함유해도 된다. 이들의 첨가제는, 활성 에너지선 경화성 성분 및 실리콘 성분의 합계 100 질량부에 대하여, 0.1 ∼ 10 질량부의 범위의 양으로 사용되는 것이 바람직하다.
박리제층 (12) 의 두께는, 0.3 ∼ 2 ㎛ 인 것이 바람직하고, 특히 0.5 ∼ 1.5 ㎛ 인 것이 바람직하다. 박리제층 (12) 의 두께가 0.3 ㎛ 미만이면, 박리제층 (12) 표면의 평활성이 불충분해져, 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 두께 불균일이 발생되기 쉬워지는 경우가 있다. 한편, 박리제층 (12) 의 두께가 2 ㎛ 를 초과하면, 박리제층 (12) 의 경화 수축에 의해 박리 필름 (1) 에 컬이 발생하기 쉬워질 우려가 있다. 또, 박리 필름 (1) 을 롤상으로 권취했을 때에, 기재 (11) 의 제 2 면과 블로킹이 발생하기 쉽기 때문에, 권취 불량이 생기거나 감기 시작했을 때의 대전량이 증대되어, 이물질이 부착되기 쉬워지거나 할 우려가 있다.
박리제층 (12) 은, 기재 (11) 의 제 1 면에, 박리제 및 원하는 바에 따라 희석제 등을 함유하는 박리제 용액을 도포한 후, 필요에 따라 건조시키고, 활성 에너지선의 조사에 의해 경화시킴으로써 형성할 수 있다. 실리콘계 성분의 반응성 관능기가 열에 의해 반응하는 것인 경우에는, 이 때의 건조에 의해 반응을 일으켜, 실리콘계 성분을 가교 구조에 주입할 수 있다. 박리제 용액의 도포 방법으로는, 예를 들어, 그라비아 코트법, 바 코트법, 스프레이 코트법, 스핀 코트법, 나이프 코트법, 롤 코트법, 다이 코트법 등을 사용할 수 있다.
활성 에너지선으로는, 통상적으로 자외선, 전자선 등이 사용된다. 활성 에너지선의 조사량은, 에너지선의 종류에 따라 상이한데, 예를 들어, 자외선의 경우에는, 광량으로 50 ∼ 1000 mJ/㎠ 가 바람직하고, 특히 100 ∼ 500 mJ/㎠ 가 바람직하다. 또, 전자선의 경우에는, 0.1 ∼ 50 kGy 정도가 바람직하다.
상기 활성 에너지선의 조사에 의해 박리제 조성물 C 중의 활성 에너지선 경화성 성분은 경화된다. 또, 박리제 조성물 C 중의 실리콘계 성분이 활성 에너지선 경화성의 반응성기를 갖는 경우에는, 당해 실리콘계 성분도 경화된다. 이로써, 고평활하고, 세라믹 슬러리가 크레이터링되기 어렵고, 또한 세라믹 그린 시트의 박리성이 우수한 박리제층 (12) 이 형성된다.
상기와 같은 박리 필름 (1) 을 사용함으로써, 얻어지는 세라믹 그린 시트에 핀홀이나 두께 불균일 등의 결함이 발생하는 것을 효과적으로 방지·억제할 수 있음과 함께, 박리 필름 (1) 으로부터 세라믹 그린 시트를 박리할 때에도, 세라믹 그린 시트가 파단되거나 하는 등의 문제가 발생하는 것을 효과적으로 방지·억제할 수 있다.
이상 설명한 실시형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서 기재된 것으로서, 본 발명을 한정하기 위해서 기재된 것은 아니다. 따라서, 상기 실시형태에 개시된 각 요소는, 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물도 포함하는 취지이다.
예를 들어, 기재 (11) 와 박리제층 (12) 사이나, 기재 (11) 의 제 2 면에는 다른 층이 존재하고 있어도 된다.
실시예
이하, 실시예 등에 의해 본 발명을 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들의 실시예 등에 한정되는 것은 아니다.
〔실시예 1〕
기재로서, 표리 동일 조도의 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET) 필름 (두께 31 ㎛) 을 준비하였다. 이 PET 필름의 양면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 는 29 ㎚ 이며, 최대 돌기 높이 (Rp) 는 257 ㎚ 였다. 또한, PET 필름의 양면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 및 최대 돌기 높이 (Rp) 의 측정 방법은, 후술하는 박리제층 표면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 및 최대 돌기 높이 (Rp) 의 측정 방법과 동일하다 (이하의 실시예 등도 동일하다).
한편, 활성 에너지선 경화성 성분인 디펜타에리트리톨헥사아크리레이트 (신나카무라 공업사 제조, A-DPH, 고형분 100 질량％) 99.0 질량부와, 실리콘계 성분인 폴리에테르 변성 아크릴로일기 함유 폴리디메틸실록산 (빅케미사 제조, BYK-3500, 고형분 100 질량％) 1.0 질량부와, 광 중합 개시제인 2-메틸-1[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온 (BASF 사 제조, IRGACURE 907) 5.0 질량부로 이루어지는 박리제 조성물 C 를, 이소프로필알코올 및 메틸에틸케톤의 혼합액 (혼합 질량률 3：1) 으로 희석시켜, 이것을 박리제 용액 (고형분 20 질량％) 으로 하였다. 이 박리제 용액을, 바 코터에 의해 상기 기재의 일방의 면 (제 1 면) 에 박리제층의 경화 후의 두께가 0.97 ㎛ 가 되도록 도포하고, 80 ℃ 에서 1 분간 건조시켰다. 그 후, 자외선을 조사 (적산 광량：250 mJ/㎠) 하고, 박리제 조성물 C 를 경화시켜 박리제층을 형성하고, 이것을 박리 필름으로 하였다. 또한, 박리제층의 두께는, 후술하는 측정 방법에 의해 측정한 결과이다 (이하의 실시예 등도 동일).
〔실시예 2 ∼ 4〕
박리제층의 두께를 표 1 에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.
〔실시예 5, 6〕
박리제 조성물 C 에 있어서의 실리콘계 성분의 질량 비율을 표 1 에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.
〔실시예 7〕
기재로서, 표리 동일 조도의 PET 필름 (두께 31 ㎛) 을 준비하였다. 이 PET 필름의 양면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 는 15 ㎚ 이며, 최대 돌기 높이 (Rp) 는 98 ㎚ 였다. 기재로서 상기의 기재를 사용하는 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.
〔실시예 8〕
박리제층의 두께를 표 1 에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 7 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.
〔실시예 9〕
기재로서, 표리 상이 조도의 PET 필름 (두께 31 ㎛) 을 준비하였다. 이 PET 필름의 제 1 면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 는 7 ㎚ 이며, 최대 돌기 높이 (Rp) 는 43 ㎚ 였다. 또, 제 2 면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 는 34 ㎚ 이고, 최대 돌기 높이 (Rp) 는 250 ㎚ 였다. 기재로서 상기의 기재를 사용한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.
〔비교예 1〕
박리제 조성물 C 에 있어서 실리콘계 성분을 배합하지 않은 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.
〔비교예 2 ∼ 4〕
박리제층의 두께를 표 1 에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.
〔비교예 5〕
열 경화 부가 반응형 실리콘 (신에츠 화학 공업사 제조, KS-847H) 100 질량부를 톨루엔으로 희석시키고, 이것에 백금 촉매 (신에츠 화학 공업사 제조, CAT-PL-50T) 2 질량부를 혼합하여, 고형분이 5.0 질량％ 의 박리제 용액을 조제하였다.
얻어진 박리제 용액을, 형성되는 박리제층의 건조 후의 두께가 0.3 ㎛ 가 되도록, 실시예 1 과 동일한 기재의 일방의 면 (제 1 면) 에 균일하게 도포하고, 140 ℃ 에서 1 분간 건조시켜 박리제층을 형성하고, 이것을 박리 필름으로 하였다.
〔비교예 6, 7〕
박리제층의 두께를 표 1 에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는, 비교예 5 와 동일하게 하여 박리 필름을 제작하였다.
〔시험예 1〕(박리제층의 두께 측정)
실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름의 박리제층의 두께 (㎛) 를, 반사식 막후계 (필메트릭스사 제조, F20) 를 사용하여 측정하였다. 구체적으로는, 실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을 100 × 100 ㎜ 로 재단한 후, 측정하는 측의 면의 반대면이 흡인 스테이지측이 되도록 박리 필름을 막후계에 설치하고, 박리제층 표면의 10 개 지점에 대해 막두께를 측정하고, 그 평균값을 박리제층의 두께로 하였다. 결과를 표 1 에 나타낸다.
〔시험예 2〕(박리제층의 표면 조도 측정)
실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을, 측정하는 측의 면의 반대면이 유리판측이 되도록 상기 양면 테이프를 개재하여 유리판에 고정시켰다. 그 박리 필름의 박리제층의 표면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra；㎚) 및 최대 돌기 높이 (Rp；㎚) 를, 표면 조도 측정기 (미쓰토요사 제조, SV-3000S4, 촉침식) 를 사용하고, JIS B0601-1994 에 준거하여 측정하였다. 결과를 표 1 에 나타낸다.
〔시험예 3〕(조대 돌기의 면적 점유율의 산출)
시험예 2 와 같이 유리판에 고정시킨 박리 필름의 박리제층의 표면에 있어서의, 높이 10 ㎚ 이상의 돌기 높이를 갖는 조대 돌기의 면적 점유율 (％) 을 산출하였다. 구체적으로는, 광 간섭식 표면 형상 관찰 장치 (Vecco 사 제조, WYKO-1100) 를 사용하여, PSI 모드에서 50 배율로 관찰하고, 얻어진 91.2 × 119.8 ㎛ 의 범위에 있어서의 표면 형상 화상을, 돌기 높이 10 ㎛ 이상의 부분과 그 이외의 부분으로 2 치화 처리하여, 얻어진 돌기 높이 10 ㎛ 이상의 부분의 면적의, 전체 면적에 대한 비율의 백분율을, 높이 10 ㎚ 이상의 돌기 높이를 갖는 조대 돌기의 면적 점유율 (％) 로 하였다. 결과를 표 1 에 나타낸다.
〔시험예 4〕(박리제층의 경화성 평가)
실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름에 대하여, 메틸에틸케톤을 3 ㎖ 함유하게 한 웨이스트 (오즈 산업사 제조, BEMCOT AP-2) 에 의해 박리제층의 표면을 하중 1 ㎏/㎠ 로 왕복 10 회 연마한 후, 박리제층의 표면을 육안으로 관찰하고, 이하의 판단 기준으로 박리제층의 경화성을 평가하였다. 결과를 표 1 에 나타낸다.
A … 박리제층의 용해·탈락 없음
B … 박리제층의 일부 용해가 보임
C … 박리제층이 완전하게 용해되어, 기재로부터 탈락함
〔시험예 5〕(컬 평가)
실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을 200 × 200 ㎜ 로 재단한 후, 기재가 유리판측이 되도록, 박리 필름을 평탄한 유리판 위에 재치하였다. 이어서, 100 × 100 ㎜ 의 유리판을 박리 필름의 박리제층 상의 중앙에 재치한 후, 하측의 유리판의 상면으로부터 박리 필름의 각 모서리부 정점까지의 높이를 측정하여, 이하의 판단 기준으로 컬을 평가하였다. 결과를 표 1 에 나타낸다.
A … 각 모서리부의 높이의 총합이 50 ㎜ 미만
B … 각 모서리부의 높이의 총합이 50 ㎜ 이상, 100 ㎜ 미만
C … 각 모서리부의 높이의 총합이 100 ㎜ 이상
〔시험예 6〕(블로킹성 평가)
실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름을, 폭 400 ㎜, 길이 5000 m 의 롤상으로 감아올렸다. 이 박리 필름 롤을 40℃, 습도 50 ％ 이하의 환경하에 30 일간 보관하고, 박리 필름 롤 그대로의 상태에서의 외관을 육안으로 관찰하고, 이하의 판단 기준으로 블로킹성을 평가하였다. 결과를 표 1 에 나타낸다.
A … 롤상으로 감아올렸을 때부터 변화가 없음 (블로킹 없음)
B … 폭 방향에 있어서의 절반 이하의 영역에서, 필름끼리의 밀착에서 기인하는 색조의 변화를 볼 수 있음 (블로킹 약간 있음)
C … 폭 방향에 있어서의 과반의 영역에 걸쳐서, 필름끼리의 밀착에서 기인하는 색조의 변화를 볼 수 있음 (블로킹 있음)
〔시험예 7〕(슬러리 도공성 평가)
티탄산바륨 분말 (BaTiO3；사카이 화학 공업사 제조, BT-03) 100 질량부, 바인더로서의 폴리비닐부티랄 (세키스이 화학 공업사 제조, 에스렉 B·K BM-2) 8 질량부, 및 가소제로서의 프탈산디옥틸 (칸토 화학사 제조, 프탈산디옥틸 시카 1 급) 4 질량부에, 톨루엔 및 에탄올의 혼합액 (질량비 6：4) 135 질량부를 첨가하고 볼 밀로 혼합 분산시켜, 세라믹 슬러리를 조제하였다.
실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름의 박리제층 표면에, 상기 세라믹 슬러리를 다이 코터로 건조 후의 막두께가 1 ㎛ 가 되도록, 폭 250 ㎜, 길이 10 m 에 걸쳐서 도공하고, 그 후, 건조기로 80 ℃ 에서 1 분간 건조시켰다. 세라믹 그린 시트가 성형된 박리 필름에 대하여, 박리 필름측으로부터 형광등을 비추어, 도공한 모든 세라믹 그린 시트면을 육안으로 검사하고, 이하의 판단 기준으로 슬러리 도공성을 평가하였다. 결과를 표 1 에 나타낸다.
A … 세라믹 그린 시트에 핀홀이 없음
B … 세라믹 그린 시트에 1 ∼ 5 개의 핀홀이 발생함
C … 세라믹 그린 시트에 6 개 이상의 핀홀이 발생함
〔시험예 8〕(박리성 평가)
시험예 7 과 동일한 순서에 의해 박리 필름의 박리제층 표면에 성형한 세라믹 그린 시트를, 박리 필름을 타발 (打拔) 하지 않도록 하여 200 ㎜ × 200 ㎜ 로 타발하였다. 이어서, 그린 시트 적층기의 시트 박리 기구를 이용하여, 타발된 그린 시트를 진공 흡인 스테이지에 흡착시켜, 박리 필름으로부터 박리하였다. 이 때의 세라믹 그린 시트의 박리성을, 이하의 판단 기준으로 평가하였다. 결과를 표 1 에 나타낸다.
A … 세라믹 그린 시트가 찢어지지 않고, 순조롭게 박리할 수 있어 박리제층상에 세라믹 그린 시트가 남지 않음
B … 세라믹 그린 시트가 찢어지지 않고, 약간 순조로움이 부족하지만 박리할 수 있고, 박리제층 상에 세라믹 그린 시트가 남지 않음
C … 세라믹 그린 시트가 찢어지거나, 박리할 수 없음
〔시험예 9〕(박리제층 표면의 결함 평가)
폴리비닐부티랄 수지를 톨루엔 및 에탄올의 혼합액 (질량비 6：4) 으로 용해 한 도공액을, 실시예 및 비교예에서 얻어진 박리 필름의 박리제층 위에, 건조 후의 두께가 1 ㎛ 가 되도록 도포하고, 80 ℃ 에서 1 분간 건조시켜 폴리비닐부티랄 수지층을 성형하였다. 그리고, 그 폴리비닐부티랄 수지층의 표면에 폴리에스테르 테이프를 첩부 (貼付) 하였다.
이어서, 폴리에스테르 테이프를 사용하여, 박리 필름을 폴리비닐부티랄 수지층으로부터 박리하고, 박리 필름의 박리제층에 접촉하고 있던 폴리비닐부티랄 수지층의 면에 있어서의 오목부를 세었다. 구체적으로는, 광 간섭식 표면 형상 관찰 장치 (Vecco 사 제조, WYKO-1100) 를 사용하여, PSI 모드에서 50 배율로 관찰하고, 얻어진 91.2 × 119.8 ㎛ 의 범위에 있어서의 표면 형상 화상에 기초하여, 깊이 150 ㎚ 이상의 오목부를 세고, 이하의 판단 기준으로 박리제층 표면의 결함 평가를 실시하였다. 또한, 전술한 박리성 평가의 시험에 있어서, 평가가 「C」였던 것에 대해서는, 본 시험을 실시하는 데에 만족스러운 시료를 얻을 수 없었기 때문에, 본 시험은 실시하지 않았다. 결과를 표 1 에 나타낸다.
A … 오목부의 수가 0 개
B … 오목부의 수가 1 ∼ 5 개
C … 오목부의 수가 6 개 이상
또한, 상기와 같은 오목부가 존재하는 세라믹 그린 시트로 콘덴서를 제조한 경우, 얻어지는 콘덴서는, 내전압 저하에 의한 쇼트가 발생하기 쉬운 것이 된다.
Figure 112014101400083-pct00001
표 1 로부터 명확한 바와 같이, 실시예에서 얻어진 박리 필름은, 박리제층 표면에 의한 결함도, 기재 이면에 의한 결함도 없고, 또, 세라믹 그린 시트의 박리성도 우수하였다.
산업상 이용가능성
본 발명의 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름은, 특히 두께 1 ㎛ 이하의 박막 세라믹 그린 시트를 성형하는 데에 바람직하다.
1 : 박리 필름
11 : 기재
12 : 박리제층

Claims (7)

  1. 기재와, 상기 기재의 편측에 형성된 박리제층을 구비한 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름으로서,
    상기 박리제층은, 활성 에너지선 경화성 성분 및 실리콘계 성분을 함유하는 박리제 조성물의 경화물이고,
    상기 박리제층의 상기 기재와는 반대측의 면에 있어서의 산술 평균 조도 (Ra) 가 8 ㎚ 이하이고, 또한 최대 돌기 높이 (Rp) 가 50 ㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리제층의 상기 기재와는 반대측의 면에 있어서의 높이 10 ㎚ 이상의 돌기 높이를 갖는 조대 돌기의 면적 점유율은, 10 ％ 이하인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 실리콘계 성분은, 반응성 관능기를 갖는 폴리오르가노실록산인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리제 조성물 중에 있어서의 상기 실리콘계 성분의, 상기 활성 에너지선 경화성 성분 및 상기 실리콘계 성분의 합계 질량에 대한 질량 비율은, 0.7 ∼ 5 질량％ 인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 활성 에너지선 경화성 성분은, (메트)아크릴산에스테르인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 (메트)아크릴산에스테르는, 3 관능 이상의 (메트)아크릴산에스테르인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리제층의 두께는, 0.3 ∼ 2 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름.
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Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6469122B2 (ja) * 2013-11-11 2019-02-13 東レ・ダウコーニング株式会社 硬化性オルガノポリシロキサン組成物およびそれを用いた誘電体セラミック層成形材料用剥離フィルム
TWI643911B (zh) * 2013-11-11 2018-12-11 道康寧東麗股份有限公司 用於介電陶瓷形成材料之離型膜的可經高能輻射固化之丙烯醯氧官能性聚矽氧組合物與使用其之用於介電陶瓷形成材料的離型膜
JP6285777B2 (ja) * 2014-03-31 2018-02-28 リンテック株式会社 セラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム
US10486332B2 (en) 2015-06-29 2019-11-26 Corning Incorporated Manufacturing system, process, article, and furnace
DE202016009069U1 (de) * 2015-06-29 2022-01-24 Corning Incorporated Fertigungslinie und gesinterter Artikel
JP6646424B2 (ja) * 2015-12-10 2020-02-14 リンテック株式会社 セラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム
JP6586376B2 (ja) * 2016-02-17 2019-10-02 リンテック株式会社 セラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルムおよびその製造方法
JP6691703B2 (ja) * 2016-03-29 2020-05-13 東レフィルム加工株式会社 離型フィルム
JP6745153B2 (ja) * 2016-07-11 2020-08-26 信越ポリマー株式会社 導電性離型層形成用塗料及びその製造方法、並びに導電性離型フィルム及びその製造方法
CN110312602B (zh) 2017-03-01 2021-12-14 东洋纺株式会社 陶瓷生片制造用脱模薄膜和其制造方法
WO2019066344A2 (ko) * 2017-09-26 2019-04-04 주식회사 엘지화학 디스플레이 화소 전사용 패턴 필름 및 이를 이용한 디스플레이의 제조방법
JP7035441B2 (ja) * 2017-10-12 2022-03-15 東洋紡株式会社 セラミックグリーンシート製造用離型フィルム
JP7311241B2 (ja) * 2017-10-12 2023-07-19 東洋紡株式会社 セラミックグリーンシート製造用離型フィルム
CN111201119B (zh) * 2017-10-12 2022-03-22 东洋纺株式会社 陶瓷生片制造用脱模薄膜
JP6973054B2 (ja) * 2017-12-27 2021-11-24 東洋紡株式会社 セラミックグリーンシート製造用離型フィルム
JP6962217B2 (ja) * 2017-12-27 2021-11-05 東洋紡株式会社 セラミックグリーンシート製造用離型フィルム
JP7188535B2 (ja) * 2017-12-27 2022-12-13 東洋紡株式会社 セラミックグリーンシート製造用離型フィルム
JP7188536B2 (ja) * 2017-12-27 2022-12-13 東洋紡株式会社 セラミックグリーンシート製造用離型フィルム
JP7188537B2 (ja) * 2017-12-27 2022-12-13 東洋紡株式会社 セラミックグリーンシート製造用離型フィルム
KR102518776B1 (ko) 2017-12-27 2023-04-10 도요보 가부시키가이샤 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름
JP7306515B2 (ja) * 2018-03-22 2023-07-11 東洋紡株式会社 セラミックグリーンシート製造用離型フィルム
JP7106912B2 (ja) * 2018-03-22 2022-07-27 東洋紡株式会社 セラミックグリーンシート製造用離型フィルム
JP7306514B2 (ja) * 2018-03-22 2023-07-11 東洋紡株式会社 セラミックグリーンシート製造用離型フィルム
JP7306516B2 (ja) * 2018-03-22 2023-07-11 東洋紡株式会社 セラミックグリーンシート製造用離型フィルム
MY196707A (en) 2018-08-10 2023-05-02 Toyo Boseki Release film for production of ceramic green sheet
MX2021002404A (es) * 2018-08-30 2021-07-15 Avery Dennison Corp Película antiincrustante autoadhesiva multicapa con superficie texturizada.
MY194550A (en) 2018-09-03 2022-12-01 Toyo Boseki Release film for production of ceramic green sheet
SG11202102850UA (en) 2018-09-27 2021-04-29 Toyo Boseki Release film for production of ceramic green sheet
MY194551A (en) 2018-09-27 2022-12-01 Toyo Boseki Release film for production of ceramic green sheet
WO2020105312A1 (ja) * 2018-11-22 2020-05-28 Tdk株式会社 はく離フィルム、セラミック部品シート、はく離フィルムの製造方法、セラミック部品シートの製造方法、及び積層セラミックコンデンサの製造方法
WO2021177179A1 (ja) * 2020-03-04 2021-09-10 Tdk株式会社 剥離フィルムロール、セラミック部品シート及びその製造方法、並びに、セラミック部品及びその製造方法
WO2022138485A1 (ja) 2020-12-23 2022-06-30 東洋紡株式会社 樹脂シート成型用離型フィルムの製造方法
CN117087290A (zh) 2020-12-23 2023-11-21 东洋纺株式会社 树脂片成型用脱模薄膜
TWI827104B (zh) 2021-06-30 2023-12-21 日商東洋紡股份有限公司 樹脂片成型用離型膜以及陶瓷生胚之製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007069360A (ja) * 2005-09-02 2007-03-22 Lintec Corp 高平滑性剥離シート及びその製造方法
JP2007528910A (ja) 2003-06-30 2007-10-18 ローディア インコーポレイティド 粘着防止性と剥離性とを改良した微粒子含有シリコーン系剥離コーティング

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5425991A (en) * 1994-03-25 1995-06-20 Mobil Oil Corporation Release sheet
US5562992A (en) * 1994-08-02 1996-10-08 Avery Dennison Corporation Radiation-curable silicone release compositions and coated articles
JP4160731B2 (ja) * 2001-02-15 2008-10-08 Ｔｄｋ株式会社 薄膜製造用剥離フィルムの製造方法および薄膜製造用剥離フィルム
JP3870785B2 (ja) 2002-01-07 2007-01-24 株式会社村田製作所 積層セラミック電子部品の製造方法
JP2003291291A (ja) * 2002-04-02 2003-10-14 Mitsubishi Polyester Film Copp 離型フィルム用ポリエステルフィルム
JP2005314510A (ja) * 2004-04-28 2005-11-10 Shin Etsu Chem Co Ltd 硬化性シリコ−ン剥離剤組成物
US7947361B2 (en) * 2006-01-17 2011-05-24 Lintec Corporation Release film and process for producing the film
JP4914241B2 (ja) * 2007-02-16 2012-04-11 リンテック株式会社 剥離シートおよび粘着体
JP5157350B2 (ja) * 2007-09-28 2013-03-06 Ｔｄｋ株式会社 積層フィルムおよび積層セラミック電子部品の製造方法
JP2010143037A (ja) * 2008-12-18 2010-07-01 Toray Advanced Film Co Ltd 離型フィルム
JP5508779B2 (ja) * 2009-07-30 2014-06-04 リンテック株式会社 剥離シート及びその製造方法
JP5381860B2 (ja) * 2010-03-29 2014-01-08 Ｔｄｋ株式会社 剥離フィルム、セラミック部品シート及びこれらの製造方法、並びにセラミック部品の製造方法
JP5488231B2 (ja) * 2010-06-11 2014-05-14 東洋紡株式会社 離型用積層ポリエチレンテレフタレートフィルム

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007528910A (ja) 2003-06-30 2007-10-18 ローディア インコーポレイティド 粘着防止性と剥離性とを改良した微粒子含有シリコーン系剥離コーティング
JP2007069360A (ja) * 2005-09-02 2007-03-22 Lintec Corp 高平滑性剥離シート及びその製造方法

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