KR20150008077A - 그린 시트 제조용 박리 필름 - Google Patents

그린 시트 제조용 박리 필름 Download PDF

Info

Publication number
KR20150008077A
KR20150008077A KR20147029796A KR20147029796A KR20150008077A KR 20150008077 A KR20150008077 A KR 20150008077A KR 20147029796 A KR20147029796 A KR 20147029796A KR 20147029796 A KR20147029796 A KR 20147029796A KR 20150008077 A KR20150008077 A KR 20150008077A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
green sheet
release agent
layer
release film
agent layer
Prior art date
Application number
KR20147029796A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102023442B1 (ko
Inventor
도모미 후카야
신야 이치카와
Original Assignee
린텍 코포레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 린텍 코포레이션 filed Critical 린텍 코포레이션
Publication of KR20150008077A publication Critical patent/KR20150008077A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102023442B1 publication Critical patent/KR102023442B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D135/00—Coating compositions based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a carboxyl radical, and containing at least another carboxyl radical in the molecule, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides or nitriles thereof; Coating compositions based on derivatives of such polymers
    • C09D135/02—Homopolymers or copolymers of esters
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
    • B28B1/00—Producing shaped prefabricated articles from the material
    • B28B1/30—Producing shaped prefabricated articles from the material by applying the material on to a core or other moulding surface to form a layer thereon
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D143/00—Coating compositions based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and containing boron, silicon, phosphorus, selenium, tellurium, or a metal; Coating compositions based on derivatives of such polymers
    • C09D143/04—Homopolymers or copolymers of monomers containing silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D183/00—Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon, with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Coating compositions based on derivatives of such polymers
    • C09D183/10—Block or graft copolymers containing polysiloxane sequences
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
    • C08G77/42—Block-or graft-polymers containing polysiloxane sequences
    • C08G77/442—Block-or graft-polymers containing polysiloxane sequences containing vinyl polymer sequences
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L2203/00—Applications
    • C08L2203/16—Applications used for films
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24355—Continuous and nonuniform or irregular surface on layer or component [e.g., roofing, etc.]

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

그린 시트 제조용 박리 필름은 제1 면과 제2 면을 갖는 기재와, 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)과, 폴리오르가노실록산(b1)을 함유하는 재료를 상기 기재의 제1 면측에 도포하고, 그것을 경화함으로써 형성된 박리제층과, 활성 에너지선 경화성 화합물(a2)를 함유하는 재료를 기재의 제2 면측에 도포하고, 그것을 경화함으로써 형성된 배면 코트층을 갖고, 박리제층의 외표면의 산술 평균 조도 Ra2가 8㎚ 이하이고, 그 최대 돌기 높이 Rp2가 50㎚ 이하이며, 배면 코트층의 외표면의 산술 평균 조도 Ra3가 5∼40㎚이고, 그 최대 돌기 높이 Rp3가 60∼500㎚인 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 격차의 발생을 억제할 수 있다.

Description

그린 시트 제조용 박리 필름{RELEASE FILM FOR USE IN PRODUCING GREEN SHEET}
본 발명은 그린 시트 제조용 박리 필름에 관한 것이다.
적층 세라믹 콘덴서의 제조에 있어서, 그린 시트를 형성하기 위해 그린 시트 제조용 박리 필름이 사용되고 있다.
그린 시트 제조용 박리 필름은 일반적으로 기재와 박리제층으로 구성된다. 이 그린 시트 제조용 박리 필름 위에 세라믹스 입자와 바인더 수지가 유기 용제에 분산, 용해된 세라믹 슬러리를 도공하고, 도공물을 건조시킴으로써, 그린 시트가 제조된다. 이러한 방법에 의해, 균일한 두께의 그린 시트를 효율적으로 제조할 수 있다. 또한, 이렇게 하여 제조된 그린 시트는 그린 시트 제조용 박리 필름으로부터 박리되어, 적층 세라믹 콘덴서의 제조에 사용된다.
상기와 같은 그린 시트의 제조에 있어서, 그린 시트가 형성된 그린 시트 제조용 박리 필름은 일반적으로 롤 형상으로 감겨진 상태로 보관, 수송된다.
그런데, 기재의 박리제층이 형성되어 있는 면과는 반대면(이면)의 표면 조도(평균 조도)를 비교적 높은 것으로 하여, 그린 시트 제조용 박리 필름이 감겨진 상태로 보관되었을 때 그린 시트 제조용 박리 필름의 표리가 첩부되는(블로킹) 등의 문제를 해소하고자 하는 시도가 이루어졌다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
그러나, 특허문헌 1에 기재된 그린 시트 제조용 박리 필름을 사용했을 경우, 그린 시트가 형성된 그린 시트 제조용 박리 필름을 권취하여 보관할 때, 그린 시트 제조용 박리 필름의 이면의 비교적 거친 표면 형상이 그린 시트에 전사되어, 그린 시트가 부분적으로 얇아지는 경우가 있었다. 그 결과, 그린 시트를 적층하여 콘덴서를 제작했을 때, 단락에 의한 문제를 일으키는 경우가 있었다.
한편, 기재의 박리제층이 형성되어 있는 면과는 반대면의 표면 조도(평균 조도)를 비교적 작은 것으로 하면, 표면이 현저하게 평탄해져, 그린 시트 제조용 박리 필름의 표리의 미끄러짐성이 나빠지기 때문에, 권취 불량이나 블로킹 등의 문제를 일으키는 경우가 있었다.
일본 공개특허공보 2003-203822호
본 발명의 목적은 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 격차 등이 발생하는 것을 방지할 수 있는 그린 시트 제조용 박리 필름을 제공하는 것에 있다.
이러한 목적은 하기 (1)∼(2)의 본 발명에 의해 달성된다.
(1) 그린 시트 제조용 박리 필름으로서,
제1 면과 제2 면을 갖는 기재와,
활성 에너지선 경화성 화합물(a1)과, 폴리오르가노실록산(b1)을 함유하는 박리제층 형성용 재료를 상기 기재의 상기 제1 면측에 도포해 형성된 도포층에 활성 에너지선을 조사하여, 상기 도포층을 경화함으로써 형성된 박리제층과,
활성 에너지선 경화성 화합물(a2)을 함유하는 배면 코트층 형성용 재료를 상기 기재의 상기 제2 면측에 도포해 형성된 도포층에 활성 에너지선을 조사하여, 상기 도포층을 경화함으로써 형성된 배면 코트층을 갖고,
상기 박리제층의 외표면의 산술 평균 조도 Ra2가 8㎚ 이하이고, 상기 박리제층의 상기 외표면의 최대 돌기 높이 Rp2가 50㎚ 이하이며,
상기 배면 코트층의 외표면의 산술 평균 조도 Ra3가 5∼40㎚이고, 또한, 상기 배면 코트층의 상기 외표면의 최대 돌기 높이 Rp3가 60∼500㎚인 것을 특징으로 하는 그린 시트 제조용 박리 필름.
(2) 상기 배면 코트층 형성용 재료가 추가로 폴리오르가노실록산(b2)을 포함하는 상기 (1)에 기재된 그린 시트 제조용 박리 필름.
본 발명에 의하면, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 격차가 발생하는 것을 방지하는 것이 가능해진다. 또한, 상기 그린 시트 제조용 박리 필름은 박리제층의 외표면의 고평활화가 얻어짐과 함께, 우수한 박리성을 구비할 수 있다.
도 1은 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름의 횡단면도이다.
이하, 본 발명을 바람직한 실시형태에 기초하여 상세하게 설명한다.
(그린 시트 제조용 박리 필름)
본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름은 그린 시트의 제조에 사용되는 것이다.
도 1은 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 횡단면도이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)은 기재(11)와, 기재(11)의 제1 면(111) 위에 형성된 박리제층(12)과, 기재의 제2 면(112) 위에 형성되어, 배면 코트층(13)을 갖고 있다.
본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름은 제1 면과 제2 면을 갖는 기재와, 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)과, 폴리오르가노실록산(b1)을 함유하는 박리제층 형성용 재료를 상기 기재의 제1 면측에 도포하여 형성된 도포층에 활성 에너지선을 조사하고, 그것을 경화함으로써 형성된 박리제층과, 활성 에너지선 경화성 화합물(a2)를 함유하는 배면 코트층 형성용 재료를 상기 기재의 제2 면측에 도포하여 형성된 도포층에 활성 에너지선을 조사하고, 그것을 경화함으로써 형성된 배면 코트층을 갖고, 상기 박리제층의 외표면의 산술 평균 조도 Ra2가 8㎚ 이하이고, 또한, 상기 박리제층의 외표면의 최대 돌기 높이 Rp2가 50㎚ 이하이며, 상기 배면 코트층의 외표면의 산술 평균 조도 Ra3가 5∼40㎚이고, 또한, 상기 배면 코트층의 외표면의 최대 돌기 높이 Rp3가 60∼500㎚인 점에 특징을 갖고 있다.
이와 같이 박리제층의 외표면을 배면 코트층의 외표면보다 고평활화함으로써, 박리제층의 외표면의 돌기에 의해 형성될 수 있는 그린 시트의 오목부와, 배면 코트층의 외표면의 돌기에 의해 형성될 수 있는 그린 시트의 오목부가 일치하는 부분이 생겨, 그린 시트에 핀홀이 형성되는 것을 방지할 수 있다.
이러한 특징을 갖는 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름을 사용함으로써, 기재가 직접 그린 시트에 접하는 경우가 없기 때문에, 기재의 비교적 거친 표면 형상이 그린 시트에 전사되지 않는다. 그 결과, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 격차 등이 발생하는 것을 방지할 수 있어, 양호한 그린 시트를 형성할 수 있다.특히, 그린 시트의 두께가 극박(예를 들면, 두께 5㎛ 이하, 특히 두께 0.5㎛∼2㎛)이어도, 상기 결점이 없는 양호한 그린 시트를 형성할 수 있다.
또한, 상술한 바와 같은 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름은 박리제층의 외표면의 평활성이 높고, 우수한 박리성을 구비하고 있다. 이 점에서도 양호한 그린 시트를 형성할 수 있다.
또한, 박리제층과 배면 코트층에 상기 재료를 사용함으로써, 박리제층과 배면 코트층의 전기 특성이 근사하게 된다. 이로써, 그린 시트 제조용 박리 필름의 권출시의 정전기의 발생을 방지할 수 있다. 그 결과, 발생한 정전기에 의해 먼지나 티끌 등의 이물질이 부착됨으로써 생기는 세라믹 슬러리 도공시에 슬러리의 튐이나 핀홀 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
이하, 본 실시형태에 따른 그린 시트 제조용 박리 필름(1)을 구성하는 각 층에 대해 상세하게 설명한다.
＜기재＞
기재(11)는 제1 면(111)과 제2 면(112)을 갖는다.
기재(11)는 그린 시트 제조용 박리 필름(1)에 강성, 유연성 등의 물리적 강도를 부여하는 기능을 갖고 있다.
기재(11)로는, 특별히 제한은 없으며, 종래 공지의 재료 중에서 임의의 것을 적절히 선택하여 사용할 수 있다. 이러한 기재(11)로는, 예를 들면, 폴리에틸렌테레프탈레이트나 폴리에틸렌나프탈레이트 등의 폴리에스테르, 폴리프로필렌이나 폴리메틸펜텐 등의 폴리올레핀, 폴리카보네이트 등의 플라스틱으로 이루어지는 필름을 들 수 있다. 기재(11)는 단층이어도 되고, 동종 또는 이종의 2층 이상의 다층이어도 된다. 이들 중에서도 폴리에스테르 필름이 바람직하고, 특히 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름이 보다 바람직하며, 또한 2축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름이 더욱 바람직하다. 플라스틱으로 이루어지는 필름은 가공시, 사용시 등에 있어서, 먼지 등이 발생하기 어렵기 때문에, 예를 들면, 먼지 등에 의한 세라믹 슬러리 도공 불량 등을 효과적으로 방지할 수 있다.
기재(11)의 제1 면(111)의 산술 평균 조도 Ra1은 2∼80㎚인 것이 바람직하고, 5∼50㎚인 것이 보다 바람직하다. 후술하는 바와 같이, 기재(11)의 제1 면(111) 위에는 제1 면(111)의 요철의 오목부의 공간 및 볼록부의 경사면을 매립하여, 평활화된 박리제층(12)이 형성되기 때문에, Ra1이 상기 범위 내이면, 평활화 작용이 특히 현저해진다.
또한, 기재(11)의 제1 면(111)의 최대 돌기 높이 Rp1은 10∼700㎚인 것이 바람직하고, 20∼500㎚인 것이 보다 바람직하다. 후술하는 바와 같이, 기재(11)의 제1 면(111) 위에는 제1 면(111)의 요철의 오목부의 공간 및 볼록부의 경사면을 매립하여, 평활화된 박리제층(12)이 형성되기 때문에, 최대 돌기 높이 Rp1이 상기 범위 내이면, 평활화 작용이 특히 현저해진다.
기재(11)의 제2 면(112)의 산술 평균 조도 Ra0는 10∼200㎚인 것이 바람직하고, 15∼100㎚인 것이 보다 바람직하다. 후술하는 바와 같이, 기재(11)의 제2 면(112) 위에는 배면 코트층(13)이 형성되기 때문에, Ra0가 상기 범위 내이면, 배면 코트층(13)의 외표면(131)의 산술 평균 조도 Ra3의 조정이 용이해진다.
또한, 기재(11)의 제2 면(112)의 최대 돌기 높이 Rp0는 80∼1000㎚인 것이 바람직하고, 100∼800㎚인 것이 보다 바람직하다. 후술하는 바와 같이, 기재(11)의 제2 면(112) 위에는 배면 코트층(13)이 형성되기 때문에, 최대 돌기 높이 Rp0가 상기 범위 내이면, 배면 코트층(13)의 외표면(131)의 최대 돌기 높이 Rp3의 조정이 용이해진다.
기재(11)의 평균 두께는 10∼300㎛인 것이 바람직하고, 15∼200㎛인 것이 보다 바람직하다. 이로써, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 유연성을 적당한 것으로 하면서, 인열이나 파단에 대한 내성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.
＜박리제층＞
박리제층(12)은 기재(11)의 제1 면(111) 위에 형성되어 있다.
박리제층(12)은 그린 시트 제조용 박리 필름(1)에 박리성을 부여하는 기능을 갖고 있다.
박리제층(12)은 소정의 성분을 포함하는 박리제층 형성용 재료에 활성 에너지선을 조사하고, 그것을 경화함으로써 형성된 층이다.
박리제 형성용 재료는 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)과, 폴리오르가노실록산(b1)을 함유하고 있다.
이러한 박리제층 형성용 재료를 사용함으로써, 박리제층(12) 형성시의 경화성이나 그린 시트에 대한 박리성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.
이하, 각 성분에 대해 상세하게 설명한다.
[활성 에너지선 경화성 화합물(a1)]
활성 에너지선 경화성 화합물(a1)은 경화함으로써 박리제층(12)의 형성에 기여하는 성분이다.
활성 에너지선 경화성 화합물(a1)은 (메타)아크릴로일기, 알케닐기 및 말레이미드기로부터 선택되는 반응성 관능기를 1분자 중에 2개 이상(바람직하게는 3개 이상) 갖고 있는 화합물인 것이 바람직하다. 이로써, 우수한 경화성이나, 내용제성 및 박리성을 얻을 수 있다. 또한, 알케닐기로는, 비닐기, 알릴기, 프로페닐기, 헥세닐기 등 탄소수 2∼10의 것이 예시된다.
또한, 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)에 있어서의 (메타)아크릴로일기, 알케닐기 및 말레이미드기로부터 선택되는 반응성 관능기의 함유량은 활성 에너지선 경화성 화합물(a1) 1㎏당 10당량 이상인 것이 바람직하다. 이로써, 박리제층 형성용 재료가 제1 면(111) 위에 박막으로 도포되었을 경우에 있어서도 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)의 경화성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.
활성 에너지선 경화성 화합물(a1)로는, 구체적으로는, 디펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트 등의 다관능 (메타)아크릴레이트를 들 수 있고, 이들 중에서도, 디펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 디펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 다관능 아크릴레이트를 사용하는 것이 바람직하다. 이로써, 박리제층 형성용 재료가 제1 면(111) 위에 박막으로 도포되었을 경우에 있어서도, 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)의 경화성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.
박리제층 형성용 재료에 있어서의 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)의 고형분 함유량(용제를 제외한 전체 고형분 중에 있어서의 함유 비율)은 65∼98.5질량％가 바람직하고, 71∼96.3질량％인 것이 보다 바람직하다.
활성 에너지선으로는, 예를 들면, 적외선, 가시광선, 자외선, X선과 같은 전자파, 전자선, 이온 빔, 중성자선 및 α선과 같은 입자선 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 자외선을 사용하는 것이 바람직하다. 이로써, 박리제층(12)을 보다 용이하고 또한 확실히 형성할 수 있다.
[폴리오르가노실록산(b1)]
폴리오르가노실록산(b1)은 박리제층(12)에 박리성을 발현시키는 성분이다.
폴리오르가노실록산(b1)로는, 예를 들면, 직쇄상 또는 분기상의 분자 사슬을 갖는 폴리오르가노실록산을 들 수 있다. 특히, 그 분자 사슬의 말단에 있어서, 또는 분자 사슬의 측쇄로서, (메타)아크릴로일기, 알케닐기 및 말레이미드기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 갖는 반응성 관능기가 직접 또는 2가의 연결기를 개재하여, 분자 사슬의 규소 원자와 결합한 변성 폴리오르가노실록산을 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 알케닐기로는, 비닐기, 알릴기, 프로페닐기, 헥세닐기 등 탄소수 2∼10의 것이 예시된다. 상기 2가의 연결기로는, 예를 들면, 알킬렌기, 알킬렌옥시기, 옥시기, 이미노기, 카르보닐기 및 이들을 조합한 2가의 연결기 등을 들 수 있다. 2가의 연결기의 탄소수는 1∼30인 것이 바람직하고, 1∼10인 것이 보다 바람직하다. 또한, 폴리오르가노실록산(b1)은 필요에 따라 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.
이러한 반응성 관능기로 치환된 변성 폴리오르가노실록산은 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)이 활성 에너지선 조사에 의해 경화할 때, 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)의 경화물의 가교 구조에 장착되어 고정된다. 이로써, 박리제층(12)의 외표면(121)측에 형성되는 그린 시트에 박리제층(12)의 성분인 폴리오르가노실록산이 이행되어, 전착하는 것을 억제할 수 있다.
또한, 폴리오르가노실록산(b1)을 구성하는 반응성 관능기 이외의 유기기로는, 지방족 불포화 결합을 갖지 않는 1가 탄화수소기 등을 들 수 있다. 이 유기기는 복수의 탄화수소기여도 되고, 이들은 서로 동일하거나 또는 이종이어도 된다. 탄화수소기로는, 탄소수 1∼12의 것이 바람직하고, 특히 탄소수 1∼10의 것이 보다 바람직하다. 이 탄화수소기로서 구체적으로는, 메틸기, 에틸기, 프로필기 등의 알킬기, 페닐기, 톨릴기 등의 아릴기 등을 들 수 있다.
특히, 폴리오르가노실록산(b1)을 구성하는 반응성 관능기 이외의 유기기의 80몰％ 이상이 메틸기인 것이 바람직하다. 이로써, 박리제층(12)의 박리성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.
박리제층 형성용 재료에 있어서의 폴리오르가노실록산(b1)의 고형분 함유량은 0.5∼5질량％가 바람직하고, 0.7∼4질량％인 것이 보다 바람직하다. 이로써, 세라믹 슬러리를 튀기지 않고, 기재(11) 위에 도포하는 것이 더욱 가능해져, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 박리성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.
이에 비해, 박리제층 형성용 재료에 있어서의 폴리오르가노실록산(b1)의 고형분 함유량이 상기 하한값 미만이면, 형성되는 박리제층(12)이 충분한 박리성을 발휘할 수 없을 우려가 있다. 한편, 박리제층 형성용 재료에 있어서의 폴리오르가노실록산의 고형분 함유량이 상기 상한값을 초과하면, 형성되는 박리제층(12)의 표면에 세라믹 슬러리를 도포했을 때, 세라믹 슬러리를 튀기기 쉬워질 우려가 있다. 또한, 박리제층(12)이 경화하기 어려워져, 충분한 박리성이 얻어지지 않는 경우가 있다.
또한, 활성 에너지선 경화성 화합물(A)의 배합량을 A질량부로 하고, 폴리오르가노실록산(b1)의 배합량을 B질량부로 했을 때, 질량비 B/A가 0.7/99.3∼5/95의 범위인 것이 보다 바람직하고, 1/99∼4.5/95.5의 범위인 것이 특히 바람직하다. 이로써, 상기 효과가 더욱 현저해진다.
[광중합 개시제(c1)]
박리제층 형성용 재료를 경화시키기 위해, 활성 에너지선으로서 자외선을 사용하는 경우, 박리제층 형성용 재료는 광중합 개시제(c1)을 포함하고 있어도 된다.
광중합 개시제(c1)로는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, α-아미노알킬페논계의 것을 사용하는 것이 보다 바람직하다. 이러한 α-아미노알킬페논계 광중합 개시제는 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)의 경화시에, 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)이 산소 저해를 받기 어렵게 하는 화합물이다. 이 때문에, 대기 분위기하에서의 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 제조에 있어서도, 특히 우수한 경화성을 얻을 수 있다.
α-아미노알킬페논계 광중합 개시제로는, 예를 들면, 2-메틸-1[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논-1,2-(디메틸아미노)-2-[(4-메틸페닐)메틸]-1-[4-(4-모르폴리닐)페닐]-1-부타논 등을 들 수 있다. 이로써, 특히 우수한 경화성이나, 내용제성 및 박리성을 얻을 수 있다.
박리제층 형성용 재료에 있어서의 광중합 개시제(c1)의 고형분 함유량은 1∼20질량％인 것이 바람직하고, 3∼15질량％인 것이 보다 바람직하다. 이로써, 박리제층(12)의 두께가 산소 저해에 의해 경화성을 얻기 어려운 범위의 두께여도, 특히 우수한 경화성이나, 내용제성 및 박리성을 얻을 수 있다.
또한, 이러한 그린 시트 제조용 박리 필름(1)에서는 박리제층(12)의 외표면(121) 부근에, 폴리오르가노실록산(b1)에서 유래하는 성분이 편석된 상태가 되어 있다. 이러한 편석이 생기는 이유는 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)과 분자 구조, 극성, 분자량 등이 상이한 폴리오르가노실록산(b1)을 사용함으로써, 박리제층 형성용 재료의 도포층이 경화되는 동안에 폴리오르가노실록산이 표면 부근에 밀어 올려지기 때문인 것으로 생각할 수 있다.
또한, 박리제층 형성용 재료에는 상술한 바와 같은 성분에 추가하여 기타 성분을 포함하고 있어도 된다. 예를 들면, 증감제, 대전 방지제, 경화제, 반응성 모노머 등을 포함하는 것이어도 된다.
증감제로서 예를 들면, 2,4-디에틸티옥산톤, 이소프로필티옥산톤을 사용해도 된다. 이로써, 반응성을 보다 높일 수 있다.
박리제층 형성용 재료에 있어서의 다른 성분의 고형분 함유량은 0∼10질량％인 것이 바람직하다.
박리제층(12)의 외표면(121)의 산술 평균 조도 Ra2는 8㎚ 이하이다. 이로써, 그린 시트를 박리제층(12)의 외표면(121)측에 성형했을 때, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 격차 등을 발생시키는 것을 보다 확실히 방지할 수 있어, 그린 시트의 표면을 보다 고평활인 것으로 할 수 있다.
박리제층(12)의 외표면(121)의 최대 돌기 높이 Rp2는 50㎚ 이하이다. 이로써, 그린 시트를 박리제층(12)의 외표면(121)측에 성형했을 때, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 격차 등을 발생시키는 것을 보다 확실히 방지할 수 있어, 그린 시트의 표면을 보다 고평활인 것으로 할 수 있다.
박리제층(12)의 외표면(121)에 있어서의 높이 10㎚ 이상의 돌기의 면적 점유율이 10％ 이하인 것이 바람직하다. 이로써, 그린 시트를 박리제층(12)의 외표면(121)측에 성형했을 때, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 격차 등을 발생시키는 것을 보다 확실히 방지할 수 있어, 그린 시트의 표면을 보다 고평활인 것으로 할 수 있다.
박리제층(12)의 평균 두께는 0.3∼2㎛인 것이 바람직하고, 0.5∼1.5㎛인 것이 보다 바람직하다. 박리제층(12)의 두께가 상기 하한값 미만이면, 박리제층(12)의 외표면(121)의 평활성이 불충분해진다. 그 결과, 그린 시트를 박리제층(12)의 외표면(121) 측에 성형했을 때, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 격차 등이 발생할 우려가 있다. 한편, 박리제층(12)의 두께가 상기 상한값을 초과하면, 박리제층(12)의 경화 수축에 의해 그린 시트 제조용 박리 필름(1)에 컬이 발생하기 쉬워진다. 또한, 기재(11)와 박리제층(12)에서 블로킹이 발생하기 쉬워진다. 이 때문에, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 권취 불량이 생기거나 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 권출시의 대전량이 증대될 우려가 있다.
＜배면 코트층＞
배면 코트층(13)은 기재(11)의 제2 면(112) 위에 형성되어 있다.
배면 코트층(13)이 형성되어 있음으로써, 기재(11)의 비교적 거친 표면 형상의 제2 면(112)이 직접 그린 시트에 접하는 경우가 없기 때문에, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 격차가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 배면 코트층(13)은 활성 에너지선 경화성 화합물(a2)를 포함하는 배면 코트층 형성용 재료에 활성 에너지선을 조사하고, 그것을 경화함으로써 형성된 층이다. 이 때문에, 보다 평활한 외표면(131)을 갖는 배면 코트층(13)을 용이하게 형성할 수 있음과 함께, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 권출시의 정전기의 발생을 방지할 수 있다.
[활성 에너지선 경화성 화합물(a2)]
활성 에너지선 경화성 화합물(a2)는 예를 들면, 상술한 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)의 란에서 기재한 바과 동일한 화합물을 사용할 수 있다.
또한, 활성 에너지선 경화성 화합물(a2)는 박리제층(12)의 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)과 동일한 화합물인 것이 바람직하다. 이로써, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 권출시의 정전기의 발생을 보다 효과적으로 방지할 수 있다.
배면 코트층 형성용 재료에 있어서의 활성 에너지선 경화성 화합물(a2)의 고형분 함유량(용제를 제외한 전체 고형분 중에 있어서의 함유 비율)은 65∼100질량％가 바람직하고, 65∼98.5질량％가 보다 바람직하며, 71∼96.5질량％인 것이 특히 바람직하다.
[폴리오르가노실록산(b2)]
배면 코트층 형성용 재료는 폴리오르가노실록산(b2)를 포함하고 있어도 된다.
폴리오르가노실록산(b2)는 예를 들면, 상술한 폴리오르가노실록산(b1)의 란에서 기재한 것과 동일한 화합물을 사용할 수 있다.
이로써, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 박리제층(12) 위에 그린 시트가 형성된 적층체를 롤 형상으로 권취한 후, 이 적층체를 롤로부터 권출할 때, 배면 코트층(13)과 접촉하고 있던 그린 시트가 배면 코트층(13)에 전착하는 것을 억제할 수 있다.
배면 코트층 형성용 재료에 있어서의 폴리오르가노실록산(b2)의 고형분 함유량은 0∼5질량％가 바람직하고, 0.5∼4질량％인 것이 보다 바람직하다.
[광중합 개시제(c2)]
배면 코트층 형성용 재료를 경화시키기 위해, 활성 에너지선으로서 자외선을 사용하는 경우, 배면 코트층 형성용 재료에는 광중합 개시제(c2)를 포함하고 있어도 된다.
배면 코트층 형성용 재료에 있어서의 광중합 개시제(c2)는 예를 들면, 박리제층 형성용 재료에 있어서의 광중합 개시제(c1)의 란에서 기재한 것과 동일한 화합물을 사용할 수 있다.
배면 코트층 형성용 재료에 있어서의 광중합 개시제(c1)의 고형분 함유량은 1∼20질량％인 것이 바람직하고, 3∼15질량％인 것이 보다 바람직하다. 이로써, 배면 코트층(13)의 두께가 산소 저해에 의해 경화성을 얻기 어려운 범위의 두께여도, 특히 우수한 경화성이나 내용제성을 얻을 수 있다.
또한, 배면 코트층 형성용 재료에는 상술한 바와 같은 성분에 추가하여 기타 성분을 포함하고 있어도 된다. 예를 들면, 광중합 개시제, 증감제, 대전 방지제, 경화제, 반응성 모노머 등을 포함하는 것이어도 된다.
배면 코트층 형성용 재료에 있어서의 다른 성분의 고형분 함유량은 0∼10질량％인 것이 바람직하다.
배면 코트층(13)의 외표면(131)의 산술 평균 조도 Ra3는 5∼40㎚이지만, 10∼30㎚인 것이 보다 바람직하다. 이로써, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 격차 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 양호한 그린 시트를 형성할 수 있다. 또한, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 권취시의 권취 어긋남을 효과적으로 억제할 수 있다. 이 때문에, 권취 장력을 높일 필요가 없고, 권취 장력에서 기인하는 권심부의 변형도 억제하는 것이 가능해진다.
배면 코트층(13)의 외표면(131)의 최대 돌기 높이 Rp3는 60∼500㎚이지만, 80∼400㎚인 것이 보다 바람직하고, 100∼300㎚인 것이 특히 바람직하다. 이로써, 박리제층(12)의 외표면(121)이 고평활인 그린 시트 제조용 박리 필름(1)을 종이제, 플라스틱제 또는 금속제 등의 코어재에 롤 형상으로 권취할 때, 공기 제거가 양호하게 되어, 권취 어긋남을 효과적으로 억제할 수 있다. 이 때문에, 권취 장력을 높일 필요가 없고, 권취 장력에서 기인하는 권심부의 변형도 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 롤 형상으로 감겨진 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 표리에서 블로킹이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 그린 시트가 형성된 그린 시트 제조용 박리 필름(1)을 권취하여 보관할 때, 그린 시트에 밀착하는 배면 코트층(13)의 외표면(131)의 표면 형상이 그린 시트에 전사하는 것을 방지할 수 있어, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 격차가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 양호한 그린 시트를 형성할 수 있다.
배면 코트층(13)의 평균 두께는 0.01∼2㎛인 것이 바람직하고, 0.05∼1.5㎛인 것이 보다 바람직하다. 배면 코트층(13)의 평균 두께가 상기 상한값 이하임으로써, 배면 코트층(13)의 경화 수축에 의해 그린 시트 제조용 박리 필름(1)에 컬이 발생하기 쉬워지는 것을 억제할 수 있다. 또한, 기재(11)와 배면 코트층(13)에서 블로킹이 발생하여, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 권취 불량이 생길 우려를 억제할 수 있다. 또한, 배면 코트층(13)의 평균 두께가 상기 하한값 이상임으로써, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 권출시의 대전량이 증대될 우려를 억제할 수 있다.
(그린 시트 제조용 박리 필름의 제조 방법)
다음으로, 상술한 바와 같은 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 제조 방법의 바람직한 실시형태에 대해 설명한다.
본 실시형태의 제조 방법은 상기 기재(11)를 준비하는 제1 공정과, 기재(11)의 제1 면(111)에 박리제층(12)을 형성하는 제2 공정과, 기재(11)의 제2 면(112)에 배면 코트층(13)을 형성하는 제3 공정을 갖고 있다.
이하, 각 공정에 대해 상세하게 설명한다.
＜제1 공정＞
우선, 기재(11)를 준비한다.
기재(11)의 제1 면(111)에 산화법 등에 의한 표면 처리를 실시할 수 있다. 이로써, 기재(11)와, 기재(11)의 제1 면(111)에 형성되는 박리제층(12)의 밀착성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.
또한, 산화법으로는, 예를 들면, 코로나 방전 처리, 플라스마 방전 처리, 크롬 산화 처리(습식), 화염 처리, 열풍 처리, 오존, 자외선 조사 처리 등을 들 수 있다. 이들 표면 처리법은 기재(11)의 종류에 따라 적절히 선택된다. 일반적으로 코로나 방전 처리법이 효과 및 조작성의 면에서 바람직하게 이용된다.
＜제2 공정＞
본 공정에서는, 기재(11)의 제1 면(111)에 박리제층(12)을 형성한다.
구체적으로는, 우선, 기재(11)의 제1 면(111)에 박리제층 형성용 재료를 도포하고, 그것을 건조시킴으로써 도포층을 얻는다. 박리제층 형성용 재료는 도포 프로세스에서 건조 프로세스 사이에, 기재(11)의 제1 면(111)의 요철의 오목부의 공간 및 볼록부의 경사면을 매립하여, 그에 따라, 평활화된 도포층을 형성한다.
다음으로, 도포층에 활성 에너지선을 조사하고, 그것을 경화시킴으로써, 평활화된 박리제층(12)을 형성한다. 활성 에너지선이 자외선인 경우, 그 조사량은 적산 광량이 50∼1000mJ/㎠인 것이 바람직하고, 100∼500mJ/㎠인 것이 보다 바람직하다. 또한, 활성 에너지선이 전자선인 경우에는, 전자선의 조사량은 0.1∼50kGy 정도가 바람직하다.
박리제층 형성용 재료의 도포 방법으로는, 예를 들면, 그라비아 코트법, 바 코트법, 스프레이 코트법, 스핀 코트법, 나이프 코트법, 롤 코트법, 다이 코트법 등을 사용할 수 있다.
박리제층 형성용 재료는 활성 에너지선 경화성 화합물(a1) 및 당해 화합물과 결합 가능한 폴리오르가노실록산(b1) 등의 성분을 용제에 용해 또는 분산시킴으로써 얻는다.
용제로는, 예를 들면, 메탄올, 에탄올, 톨루엔, 초산에틸, 자일렌, 메틸에틸케톤, 메틸부틸케톤, 이소프로필알코올 등을 들 수 있다.
＜제3 공정＞
본 공정에서는 기재(11)의 제2 면(112)에 배면 코트층(13)을 형성한다.
기재(11)의 제2 면(112)에는 제1 면(111)과 동일하게 산화법 등에 의한 표면 처리를 실시할 수 있다. 이로써, 기재(11)와, 기재(11)의 제2 면(112)에 형성되는 배면 코트층(13)의 밀착성을 특히 우수한 것으로 할 수 있다.
구체적으로는, 우선, 기재(11)의 제2 면(112)에 배면 코트층 형성용 재료를 도포하고, 그것을 건조시킴으로써 도포층을 형성한다.
다음으로, 도포층에 활성 에너지선을 조사하고, 그것을 경화시킴으로써, 배면 코트층(13)을 형성한다. 이로써, 그린 시트 제조용 박리 필름(1)이 얻어진다. 활성 에너지선이 자외선인 경우에는, 자외선의 조사량은 적산 광량이 50∼1000mJ/㎠인 것이 바람직하고, 100∼500mJ/㎠인 것이 보다 바람직하다. 또한, 활성 에너지선이 전자선인 경우에는, 전자선의 조사량은 0.1∼50kGy 정도가 바람직하다.
배면 코트층 형성용 재료의 도포 방법으로는, 예를 들면, 제2 공정에서 기재한 것과 동일한 방법을 사용할 수 있다.
배면 코트층 형성용 재료는 활성 에너지선 경화성 화합물(a2) 등의 성분을 용제에 용해 또는 분산시킴으로써 얻을 수 있다.
용제로는, 예를 들면, 제2 공정에서 기재한 것과 동일한 용제를 사용할 수 있다.
또한, 상기 설명에서는 제2 공정 후에, 제3 공정을 행하는 제조 방법에 대해 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 제3 공정 후에 제2 공정을 행해도 되고, 제2 공정과 제3 공정을 동시에 행해도 된다.
이상과 같은 공정에 의하면, 핀홀이나 부분적인 두께의 격차의 발생이 억제된 그린 시트를 제조할 수 있는 그린 시트 제조용 박리 필름(1)을 용이하게 제조할 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시형태에 기초하여 상세하게 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 상술한 실시형태에서는 기재(11)가 1층으로 이루어지는 적층체로 구성된 것으로서 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 1층이 아니고, 2층 이상의 적층체로 구성된 것이어도 된다. 기재(11)가 적층체인 경우, 예를 들면, 적층된 층 중 박리제층(12)측의 최표층이 박리제층(12)의 밀착성을 향상시키는 층이어도 된다.
또한, 기재(11)이 적층체인 경우, 예를 들면, 적층된 층 중 배면 코트층(13)측의 최표층이 배면 코트층(13)의 밀착성을 향상시키는 층이어도 된다.
또한, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름(1)의 제조 방법은 상술한 방법에 한정되는 것이 아니고, 필요에 따라 임의의 공정이 추가되어도 된다.
실시예
다음으로, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름의 구체적 실시예에 대해 설명한다.
[1] 그린 시트 제조용 박리 필름의 제작
(실시예 1)
우선, 기재로서의 2축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름[두께: 38㎛, 제1 면의 산술 평균 조도 Ra1: 42㎚, 제1 면의 최대 돌기 높이 Rp1: 619㎚, 제2 면의 산술 평균 조도 Ra0: 42㎚, 제2 면의 최대 돌기 높이 Rp0: 619nm]을 준비하였다.
다음으로, 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)로서의, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트[고형분 100질량％] 94질량부와, 폴리오르가노실록산(b1)로서의, 폴리에테르 변성 아크릴로일기를 갖는 폴리디메틸실록산[빅 케미·재팬 주식회사 제조, 상품명 「BYK-3500」, 고형분 100질량％] 1질량부와, 광중합 개시제(c1)로서의, α-아미노알킬페논계 광중합 개시제[BASF사 제조, 상품명 「IRGACURE907」, 2-메틸-1[4-(메틸티오)페닐]-2-모리폴리노프로판-1-온, 고형분 100질량％] 5질량부를 이소프로필알코올/메틸에틸케톤 혼합 용제(질량비 3/1)로 희석하여, 고형분 20질량％의 박리제층 형성용 재료를 얻었다.
다음으로, 기재의 제1 면에, 박리제층 형성용 재료를 바코터로 도포하였다.
박리제 형성용 재료를 80℃에서 1분간 건조시킨 후, 자외선을 거기에 조사(적산 광량: 250mJ/㎠)하고 박리제층(두께 1.2㎛)을 형성하였다.
한편, 활성 에너지선 화합물(a2)로서의, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트[고형분 100질량％] 94질량부와, 폴리오르가노실록산(b2)으로서의, 폴리에테르 변성 아크릴로일기를 갖는 폴리디메틸실록산[빅 케미·재팬 주식회사 제조, 상품명 「BYK-3500」, 고형분 100질량％] 1질량부와, 광중합 개시제(c2)로서의, α-아미노알킬페논계 광중합 개시제[BASF사 제조, 상품명 「IRGACURE907」, 2-메틸-1[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 고형분 100질량％] 5질량부를 이소프로필알코올/메틸에틸케톤 혼합 용제(질량비 3/1)로 희석하여, 고형분 20질량％의 배면 코트층 형성용 재료를 얻었다.
다음으로, 기재의 제2 면에, 배면 코트층 형성용 재료를 바코터로 도포하였다. 배면 코트층 형성용 재료를 80℃에서 1분간 건조시킨 후, 자외선을 거기에 조사(적산 광량: 250mJ/㎠)하고 배면 코트층(두께 0.57㎛)을 형성하였다. 이렇게 하여, 그린 시트 제조용 박리 필름을 얻었다.
(실시예 2∼4)
배면 코트층의 두께와, 그린 시트 제조용 박리 필름 배면의 표면 조도를 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 그린 시트 제조용 박리 필름을 제작하였다.
(실시예 5)
실시예 1의 배면 코트층 형성용 재료를, 활성 에너지선 화합물(a2)로서의, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트[고형분 100질량％] 95질량부와, 광중합 개시제(c2)로서의, α-아미노알킬페논계 광중합 개시제[BASF사 제조, 상품명 「IRGACURE907」, 2-메틸-1[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 고형분 100질량％] 5질량부를 이소프로필알코올/메틸에틸케톤 혼합 용제(질량비 3/1)로 희석하고, 얻어진 고형분 20질량％의 배면 코트층 형성용 재료로 변경하여, 그린 시트 제조용 박리 필름 배면의 표면 조도를 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 그린 시트 제조용 박리 필름을 제작하였다.
(실시예 6)
박리제층의 두께와, 박리제층의 표면 조도를 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는 상기 실시예 1과 동일하게 하여 그린 시트 제조용 박리 필름을 제작하였다.
(실시예 7)
기재를, 2축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름[두께: 31㎛, 제1 면의 산술 평균 조도 Ra1: 29㎚, 제1 면의 최대 돌기 높이 Rp1: 257㎚, 제2 면의 산술 평균 조도 Ra0: 29㎚, 제2 면의 최대 돌기 높이 Rp0: 257nm]으로 변경하고, 박리제층 및 배면 코트층의 두께와, 박리제층 및 그린 시트 제조용 박리 필름 배면의 표면 조도를 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는 상기 실시예 1과 동일하게 하여 그린 시트 제조용 박리 필름을 제작하였다.
(실시예 8)
박리제층 및 배면 코트층의 두께와, 박리제층의 표면 조도를 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는 상기 실시예 7과 동일하게 하여 그린 시트 제조용 박리 필름을 제작하였다.
(비교예 1)
배면 코트층을 형성하지 않는 것과, 그린 시트 제조용 박리 필름 배면의 표면 조도를 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는 상기 실시예 1과 동일하게 하여 그린 시트 제조용 박리 필름을 제작하였다.
(비교예 2)
박리제층의 두께와, 박리제층의 표면 조도를 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는 상기 비교예 1과 동일하게 하여 그린 시트 제조용 박리 필름을 제작하였다.
(비교예 3)
기재를, 2축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름[두께: 31㎛, 제1 면의 산술 평균 조도 Ra1: 15㎚, 제1 면의 최대 돌기 높이 Rp1: 98㎚, 제2 면의 산술 평균 조도 Ra0: 15㎚, 제2 면의 최대 돌기 높이 Rp0: 98nm]으로 변경하고, 박리제층의 두께와, 박리제층 및 그린 시트 제조용 박리 필름 배면의 표면 조도를 표 1에 나타내는 바와 같이 변경한 것 이외에는 상기 비교예 1과 동일하게 하여 그린 시트 제조용 박리 필름을 제작하였다.
(비교예 4)
열경화 부가 반응형 실리콘[신에츠 화학 공업 주식회사 제조, 상품명 「KS-847H」] 100질량부를 톨루엔으로 희석하고, 이것에 백금 촉매[신에츠 화학 공업 주식회사 제조, 상품명 「CAT-PL-50T」] 2질량부를 혼합하여, 고형분이 5.0질량％인 도공액을 조제하였다. 이 도공액을 건조 후의 두께가 1.0㎛가 되도록, 기재의 제1 면에 균일하게 도공하였다. 다음으로, 도공액을 140℃에서 1분간 건조시켜, 박리제층을 얻었다. 다음으로, 기재의 제2 면에, 실시예 6과 동일하게 하여 배면 코트층을 형성하였다. 또한, 박리제층 및 배면 코트층의 두께와, 박리제층 및 그린 시트 제조용 박리 필름 배면의 표면 조도를 표 1에 나타낸 바와 같이 하여, 그린 시트 제조용 박리 필름을 제작하였다.
이들 결과를 표 1에 나타낸다.
또한, 각 실시예 및 각 비교예에 있어서, 박리제층, 배면 코트층의 막두께는 반사식 막두께계 「F20」[필메트릭스 주식회사 제조]으로 측정하였다.
또한, 산술 평균 조도, 최대 돌기 높이는 다음과 같이 측정되었다. 우선, 유리판에 양면 테이프를 첩부하였다. 다음으로, 각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름을 당해 양면 테이프 위에, 측정하는 측의 면의 반대면이 유리판측이 되도록 하여 고정하였다. 이렇게 하여, 산술 평균 조도 및 최대 돌기 높이를 JIS B0601-1994에 준거하여 미츠토요사 제조 표면 조도 측정기 SV3000S4(촉침식)로 측정하였다.
또한, 10㎚ 이상의 돌기의 면적 점유율은 광간섭식 표면 형상 관찰 장치 「WYKO-1100」[주식회사 Veeco사 제조]을 이용하여 얻어진 화상으로부터 산출되었다. 관찰 조건은 PSI 모드, 50배율로 하였다. 얻어진 화상의 91.2×119.8㎛의 범위에 있어서의 표면 형상 화상에 있어서, 높이 10㎚ 이상의 돌기 부분의 화상과, 그 이외의 부분의 화상을 2치화 처리하였다. 다음으로, 10㎚ 이상의 높이의 돌기 부분과, 그 이외의 부분의 면적 비율을 산출하였다. 이 면적 비율로부터, 높이 10㎚ 이상의 돌기의 면적 점유율을 얻었다.
Figure pct00001
[2] 평가
이상과 같이 하여 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름에 관해서, 이하와 같은 평가를 행하였다.
[2.1] 경화성 평가
각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름에 대해, MEK를 3㎖ 포함시킨 헝겊(오즈 산업사 제조, BEMCOT AP-2)로 박리제층 표면을 하중 1㎏/㎠로 왕복 10회 연마하였다. 그 후, 박리제층의 표면을 육안으로 관찰하여, 이하의 판단 기준으로 경화성을 평가하였다.
A: 박리제층의 용해, 탈락이 없다.
B: 박리제층의 일부에 용해가 관찰된다.
C: 박리제층이 완전히 용해되어, 탈락한다.
[2.2] 컬 평가
각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름을 200×200㎜로 재단하였다. 그 후, 재단된 그린 시트 제조용 박리 필름을 박리제층이 위가 되도록, 평탄한 유리판 위에 형성하였다. 이어서, 100×100㎜의 유리판을 그린 시트 제조용 박리 필름의 박리제층 위의 중앙에 형성하였다. 그 후, 그린 시트 제조용 박리 필름의 단부의 컬 높이를 측정하였다. 다음으로, 유리면으로부터 컬한 그린 시트 제조용 박리 필름의 단부까지의 높이의 총합을 구하였다. 그 총합을 이하의 판단 기준으로 평가하였다.
A: 총합이 50㎜ 미만이다.
B: 총합이 50㎜ 이상 100㎜ 미만이다.
C: 총합이 100㎜ 이상이다.
[2.3] 블로킹성 평가
각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름을 폭 400㎜, 길이 5000m의 롤 형상으로 감아 올렸다. 이 박리 필름 롤을 40℃, 습도 50％ 이하의 환경하에 30일간 보관하였다. 그 후, 박리 필름 롤의 외관을 육안으로 관찰하여, 이하의 판단 기준으로 블로킹성을 평가하였다.
A: 롤 형상으로 감아 올렸을 때부터 외관에 변화가 없었다(블로킹 없음).
B: 박리 필름 롤에 있어서, 부분적으로 색조가 상이한 영역이 있었다(블로킹 경향이 있지만 사용 가능).
C: 박리 필름 롤의 광범위한 영역에 걸쳐 색조가 상이하였다(블로킹 있음).
상기 기준 C와 같이, 그린 시트 제조용 박리 필름의 표리의 밀착에 의한 블로킹이 발생하여, 박리 필름 롤의 광범위한 영역에 걸쳐 색조가 변화했을 경우, 그린 시트 제조용 박리 필름을 정상적으로 권출할 수 없는 경우가 있다.
[2.4] 권출 대전량
각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름을 폭 400㎜, 길이 5000m의 롤 형상으로 감아 올렸다. 이 그린 시트 제조용 박리 필름 롤을 40℃, 습도 50％ 이하의 환경하에 30일간 보관하였다. 그 후, 50m/min으로 그린 시트 제조용 박리 필름을 권출할 때의 대전량을 카스가 전기사 제조 「KSD-0103」을 이용하여 측정하였다. 대전량은 그린 시트 제조용 박리 필름의 권출 직후, 권출 길이 500M마다 그린 시트 제조용 박리 필름의 100㎜의 지점에서 측정하였다.
A: 대전량이 ±5㎸ 이하.
B: 대전량이 ±5∼10㎸.
C: 대전량이 ±10㎸ 초과.
[2.5] 슬러리 도공성 평가
티탄산바륨 분말[사카이 화학 공업사 제조, 상품명 「BT-03」, BaTiO3] 100질량부, 바인더로서의 폴리비닐부티랄[세키스이 화학 공업사 제조, 상품명 「에스렉 B·K BM-2」] 8질량부 및 가소제로서의 프탈산디옥틸[간토 화학사 제조, 상품명 「프탈산디옥틸 시카 1급」] 4질량부에, 톨루엔/에탄올 혼합 용제(질량비 6/4) 135질량부를 첨가하였다. 이들 물질을 볼 밀에서 혼합 분산시켜, 세라믹 슬러리를 조제하였다. 각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름의 박리제층의 외표면에 상기 세라믹 슬러리를 다이 코터에서, 건조 후의 막두께가 1㎛, 폭 250㎜, 길이 10m가 되도록 도포하여 도포층을 얻었다. 도포층을 80℃에서 1분간 건조시켜, 그린 시트가 성형된 그린 시트 제조용 박리 필름을 얻었다. 그 후, 그린 시트가 성형된 그린 시트 제조용 박리 필름에 대해, 그린 시트 제조용 박리 필름측으로부터 형광등으로 광을 조사하여, 그린 시트면을 육안으로 관찰하였다. 이하의 판단 기준으로 세라믹 슬러리의 도공성을 평가하였다.
A: 그린 시트에 핀홀이 없었다.
B: 그린 시트에 1∼5개의 핀홀이 발견되었다.
C: 그린 시트에 6개 이상의 핀홀이 발견되었다.
[2.6] 권출 불량 평가
각 실시예 및 각 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름에 대해, 상기 [2.5]에서 형성한 그린 시트가 형성된 그린 시트 제조용 박리 필름을 110㎜×110㎜로 재단한 것을 2장 준비하였다. 그 후, 2장의 그린 시트가 형성된 그린 시트 제조용 박리 필름을 그린 시트와, 그린 시트 제조용 박리 필름의 배면이 접촉하도록 겹쳐 23℃ 조건하에서 10㎏/㎠로 프레스하였다. 그 후, 프레스된 그린 시트가 형성된 그린 시트 제조용 박리 필름의 사방을 5㎜ 컷하였다. 그리고, 그린 시트와 그린 시트 제조용 박리 필름의 배면을 서로 박리하였다. 이 때, 그린 시트 제조용 박리 필름의 배면에 그린 시트가 전착하는지 육안으로 확인하였다.
A: 그린 시트의 전착이 없었다.
B: 50㎠ 미만의 그린 시트가 전착하였다.
C: 50㎠ 이상의 그린 시트가 전착하였다.
[2.7] 그린 시트 박리성 평가
상기 [2.5]에서 형성한 그린 시트를 그린 시트 제조용 박리 필름으로부터 박리하였다. 이 때, 그린 시트가 정상적으로 박리할 수 있는지 평가하였다.
A: 그린 시트가 찢어지지 않고, 부드럽게 박리할 수 있었다. 또한, 박리제층 위에 그린 시트가 남지 않았다.
B: 그린 시트가 찢어지지 않고, 약간 부드러움이 부족하지만 박리할 수 있었다. 또한, 박리제층 위에 그린 시트가 남지 않았다.
C: 그린 시트를 박리할 경우에, 그린 시트가 찢어지거나, 또는 박리할 수 없었다.
[2.8] 오목부수 평가 1
폴리비닐부티랄 수지를 톨루엔/에탄올 혼합 용제(질량비 6/4)로 용해한 도공액을 각 실시예 및 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름의 박리제층 위에, 건조 후의 두께가 3㎛가 되도록 도포하여 도포층을 얻었다. 도포층을 80℃에서 1분간 건조시켜, 폴리비닐부티랄 수지층을 성형하였다. 이어서, 그 폴리비닐부티랄 수지층의 표면에 폴리에스테르 테이프를 첩부하였다. 이어서, 그린 시트 제조용 박리 필름을 폴리비닐부티랄 수지층으로부터 박리하여, 폴리비닐부티랄 수지층을 폴리에스테르 테이프에 전사하였다. 이어서, 그린 시트 제조용 박리 필름의 박리제층에 접촉하고 있던 폴리비닐부티랄 수지층의 면을 광간섭식 표면 형상 관찰 장치 「WYKO-1100」[주식회사 Veeco사 제조]을 이용하여 관찰하였다. 관찰 조건은 PSI 모드, 50배율로 하였다. 폴리비닐부티랄 수지층의 면의 91.2×119.8㎛의 범위 내에서, 폴리비닐부티랄 수지층의 면에 확인되는 박리제층의 형상이 전사된 150㎚ 이상의 깊이를 갖는 오목부를 카운트하였다. 오목부의 수를 이하의 판단 기준으로 평가하였다. 또한, 하기 기준 C로 평가된 폴리비닐부티랄 수지층(그린 시트)을 이용하여 콘덴서를 제작했을 경우, 내전압 저하에 의한 쇼트가 발생하기 쉬운 경향이 있었다.
A: 오목부의 수가 0개이다.
B: 오목부의 수가 1∼5개이다.
C: 오목부의 수가 6개 이상이다.
[2.9] 오목부수 평가 2
폴리비닐부티랄 수지를 톨루엔/에탄올 혼합 용제(질량비 6/4)로 용해한 도공액을 두께 50㎛의 PET 필름 위에 건조 후의 두께가 3㎛가 되도록 도포하여 도포층을 얻었다. 도포층을 80℃에서 1분간 건조시키고, 폴리비닐부티랄 수지층을 성형하였다. 각 실시예 및 비교예에서 얻어진 그린 시트 제조용 박리 필름을 당해 박리 필름의 배면 코트층이 상기 폴리비닐부티랄 수지층과 접하도록 당해 폴리비닐부티랄 수지층에 첩합하여 적층체를 얻었다. 이 적층체를 100㎜×100㎜로 재단하였다. 그 후, 하중 5㎏/㎠로 적층체를 프레스하고, 그린 시트 제조용 박리 필름의 배면 코트층의 돌기 형상을 폴리비닐부티랄 수지층에 전사시켰다. 이어서, 그린 시트 제조용 박리 필름을 폴리비닐부티랄 수지층으로부터 박리하였다. 그린 시트 제조용 박리 필름의 배면 코트층에 접촉하고 있던 폴리비닐부티랄 수지층의 면에 있어서의 깊이 500㎚ 이상의 오목부의 수를 세었다. 구체적으로는, 광간섭식 표면 형상 관찰 장치 「WYKO-1100」[주식회사 Veeco사 제조]을 이용하여, 폴리비닐부티랄 수지층의 면을 관찰하였다. 관찰 조건은 PSI 모드, 50배율로 하였다. 폴리비닐부티랄 수지층의 면의 91.2×119.8㎛의 범위 내에서, 폴리비닐부티랄 수지층의 면에 확인되는 오목부를 카운트하였다. 그 오목부는 배면 코트층의 형상이 전사되어 있었다. 오목부의 수를 이하의 판단 기준으로 평가하였다. 또한, 하기 기준 C로 평가된 폴리비닐부티랄 수지층(그린 시트)을 이용하여 콘덴서를 제작했을 경우, 내전압 저하에 의한 쇼트가 발생하기 쉬운 경향이 있었다.
A: 오목부의 수가 0개이다.
B: 오목부의 수가 1∼3개이다.
C: 오목부의 수가 4개 이상이다.
이들 결과를 표 2에 나타냈다.
Figure pct00002
표 2로부터 명백한 바와 같이, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름에서는 슬러리의 도공성, 성막된 그린 시트의 박리성 및 그린 시트의 표리의 평활성이 우수하였다. 또한, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름은 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 격차가 발생하는 것을 억제시키는 효과가 있었다. 또한, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름은 롤 형상으로 했을 때의 블로킹이 생기기 어려운 것이었다. 또한, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름은 롤 형상으로 하고 나서 권출할 때의 대전량을 저감시킬 수 있는 것이었다. 또한, 본 발명의 그린 시트 제조용 박리 필름은 박리 필름 배면에 대한 그린 시트의 전착을 방지할 수 있는 것이었다. 이에 비해, 비교예에서는 만족스러운 결과를 얻을 수 없었다.
그린 시트 제조용 박리 필름은 제1 면과 제2 면을 갖는 기재와, 활성 에너지선 경화성 화합물(a1)과, 폴리오르가노실록산(b1)을 함유하는 재료를 상기 기재의 제1 면측에 도포하고, 그것을 경화함으로써 형성된 박리제층과, 활성 에너지선 경화성 화합물(a2)를 함유하는 재료를, 기재의 제2 면측에 도포하고, 그것을 경화함으로써 형성된 배면 코트층을 갖고, 박리제층의 외표면의 산술 평균 조도 Ra2가 8㎚ 이하이고, 또한, 상기 박리제층의 외표면의 최대 돌기 높이 Rp2가 50㎚ 이하이며, 배면 코트층의 외표면의 산술 평균 조도 Ra3가 5∼40㎚이고, 또한, 상기 배면 코트층의 외표면의 최대 돌기 높이 Rp3가 60∼500㎚이다. 본 발명에 의하면, 그린 시트에 핀홀이나 부분적인 두께의 격차의 발생을 억제할 수 있다. 따라서, 본 발명은 산업상 이용가능성을 갖는다.
1: 그린 시트 제조용 박리 필름
11: 기재
111: 기재의 제1 면
112: 기재의 제2 면
12: 박리제층
121: 박리제층의 외표면
13: 배면 코트층
131: 배면 코트층의 외표면

Claims (2)

  1. 그린 시트 제조용 박리 필름으로서,
    제1 면과 제2 면을 갖는 기재와,
    활성 에너지선 경화성 화합물(a1)과, 폴리오르가노실록산(b1)을 함유하는 박리제층 형성용 재료를 상기 기재의 상기 제1 면측에 도포해 형성된 도포층에 활성 에너지선을 조사하여, 상기 도포층을 경화함으로써 형성된 박리제층과,
    활성 에너지선 경화성 화합물(a2)를 함유하는 배면 코트층 형성용 재료를 상기 기재의 상기 제2 면측에 도포해 형성된 도포층에 활성 에너지선을 조사하여, 상기 도포층을 경화함으로써 형성된 배면 코트층을 갖고,
    상기 박리제층의 외표면의 산술 평균 조도 Ra2가 8㎚ 이하이고, 상기 박리제층의 상기 외표면의 최대 돌기 높이 Rp2가 50㎚ 이하이며,
    상기 배면 코트층의 외표면의 산술 평균 조도 Ra3가 5∼40㎚이고, 또한, 상기 배면 코트층의 상기 외표면의 최대 돌기 높이 Rp3가 60∼500㎚인 것을 특징으로 하는 그린 시트 제조용 박리 필름.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 배면 코트층 형성용 재료가 추가로 폴리오르가노실록산(b2)를 포함하는 그린 시트 제조용 박리 필름.
KR1020147029796A 2012-04-23 2013-03-14 그린 시트 제조용 박리 필름 KR102023442B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2012-098140 2012-04-23
JP2012098140 2012-04-23
PCT/JP2013/057185 WO2013161422A1 (ja) 2012-04-23 2013-03-14 グリーンシート製造用剥離フィルム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150008077A true KR20150008077A (ko) 2015-01-21
KR102023442B1 KR102023442B1 (ko) 2019-09-20

Family

ID=49482762

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020147029796A KR102023442B1 (ko) 2012-04-23 2013-03-14 그린 시트 제조용 박리 필름

Country Status (9)

Country Link
US (1) US20150086749A1 (ko)
JP (2) JP5451951B1 (ko)
KR (1) KR102023442B1 (ko)
CN (1) CN104245263B (ko)
MY (1) MY168308A (ko)
PH (1) PH12014502380A1 (ko)
SG (1) SG11201406777XA (ko)
TW (1) TW201343287A (ko)
WO (1) WO2013161422A1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190008201A (ko) * 2016-05-16 2019-01-23 도요보 가부시키가이샤 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름
KR20200066680A (ko) * 2017-10-12 2020-06-10 도요보 가부시키가이샤 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102023442B1 (ko) * 2012-04-23 2019-09-20 린텍 코포레이션 그린 시트 제조용 박리 필름
JP6339809B2 (ja) * 2014-01-17 2018-06-06 リンテック株式会社 離型フィルム、グリーンシートの製造方法、及び積層セラミック電子部品の製造方法
JP6285777B2 (ja) * 2014-03-31 2018-02-28 リンテック株式会社 セラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム
JP6565907B2 (ja) * 2014-05-30 2019-08-28 日本ゼオン株式会社 複層フィルム及び巻回体
JP6414424B2 (ja) * 2014-09-19 2018-10-31 東洋紡株式会社 セラミックシート製造用離型フィルム
JP2017081010A (ja) * 2015-10-28 2017-05-18 藤森工業株式会社 帯電防止表面保護フィルム
JP6646424B2 (ja) * 2015-12-10 2020-02-14 リンテック株式会社 セラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム
CN110944840B (zh) 2017-08-24 2022-04-01 东洋纺株式会社 陶瓷生片制造用脱模膜
CN110997258B (zh) * 2017-09-29 2022-05-27 东洋纺株式会社 陶瓷生片制造用脱模膜
KR102422462B1 (ko) 2017-11-02 2022-07-21 도요보 가부시키가이샤 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름
JP6927866B2 (ja) * 2017-11-30 2021-09-01 日本カーバイド工業株式会社 保護フィルム用粘着剤組成物及び保護フィルム
JP7101553B2 (ja) * 2018-07-10 2022-07-15 リンテック株式会社 セラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム
CN113246263B (zh) * 2018-09-03 2022-05-06 东洋纺株式会社 陶瓷生片制造用脱模薄膜
JP7338233B2 (ja) * 2019-05-17 2023-09-05 東洋紡株式会社 セラミックグリーンシート製造用離型フィルム
JPWO2022019113A1 (ko) * 2020-07-20 2022-01-27
JPWO2022097384A1 (ko) 2020-11-04 2022-05-12
KR102554241B1 (ko) * 2022-12-02 2023-07-11 (주)상아프론테크 불소계 이형필름, 이를 통한 반도체 패키지 제조방법 및 반도체 패키지

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11320524A (ja) * 1998-05-11 1999-11-24 Mitsubishi Kagaku Polyester Film Kk 薄膜グリーンシート成形用離型フィルム
JP2003203822A (ja) 2002-01-07 2003-07-18 Murata Mfg Co Ltd 積層セラミック電子部品の製造方法
JP2004311200A (ja) * 2003-04-07 2004-11-04 Mitsubishi Polyester Film Copp 両面離型フィルム
JP2005047177A (ja) * 2003-07-30 2005-02-24 Teijin Dupont Films Japan Ltd 両面離形フィルム
JP2006052356A (ja) * 2004-08-16 2006-02-23 Shin Etsu Chem Co Ltd 紫外線硬化性コーティング組成物
KR20060105565A (ko) * 2005-03-31 2006-10-11 린텍 가부시키가이샤 박리 필름
KR20090125402A (ko) * 2008-06-02 2009-12-07 도레이새한 주식회사 대전방지 폴리에스테르 이형필름
JP2010105384A (ja) * 2008-09-30 2010-05-13 Tdk Corp 剥離フィルム、セラミック部品シート及びこれらの製造方法、並びにセラミック部品の製造方法
US20120031485A1 (en) * 2009-03-31 2012-02-09 Lintec Corporation Gas barrier film and electronic device

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5061405B2 (ja) * 2000-08-29 2012-10-31 東洋紡績株式会社 セラミックシート付き離型フィルムおよび離型フィルムの離型層の硬さを設計する方法
JP2002067019A (ja) * 2000-08-30 2002-03-05 Toyobo Co Ltd セラミックシート製造用離型フィルム
JP4482780B2 (ja) * 2000-09-19 2010-06-16 東洋紡績株式会社 セラミックシート製造用フィルム積層体
JP2002178454A (ja) * 2000-12-11 2002-06-26 Toyobo Co Ltd 離型フィルム
JP2007069360A (ja) * 2005-09-02 2007-03-22 Lintec Corp 高平滑性剥離シート及びその製造方法
JP5251315B2 (ja) * 2008-07-10 2013-07-31 東洋紡株式会社 離型フィルムの製造方法
US8663506B2 (en) * 2009-05-04 2014-03-04 Laird Technologies, Inc. Process for uniform and higher loading of metallic fillers into a polymer matrix using a highly porous host material
TW201121793A (en) * 2009-12-30 2011-07-01 Sipix Chemical Inc Decorated device and fabricating method thereof
KR102023442B1 (ko) * 2012-04-23 2019-09-20 린텍 코포레이션 그린 시트 제조용 박리 필름

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11320524A (ja) * 1998-05-11 1999-11-24 Mitsubishi Kagaku Polyester Film Kk 薄膜グリーンシート成形用離型フィルム
JP2003203822A (ja) 2002-01-07 2003-07-18 Murata Mfg Co Ltd 積層セラミック電子部品の製造方法
JP2004311200A (ja) * 2003-04-07 2004-11-04 Mitsubishi Polyester Film Copp 両面離型フィルム
JP2005047177A (ja) * 2003-07-30 2005-02-24 Teijin Dupont Films Japan Ltd 両面離形フィルム
JP2006052356A (ja) * 2004-08-16 2006-02-23 Shin Etsu Chem Co Ltd 紫外線硬化性コーティング組成物
KR20060105565A (ko) * 2005-03-31 2006-10-11 린텍 가부시키가이샤 박리 필름
KR20090125402A (ko) * 2008-06-02 2009-12-07 도레이새한 주식회사 대전방지 폴리에스테르 이형필름
JP2010105384A (ja) * 2008-09-30 2010-05-13 Tdk Corp 剥離フィルム、セラミック部品シート及びこれらの製造方法、並びにセラミック部品の製造方法
US20120031485A1 (en) * 2009-03-31 2012-02-09 Lintec Corporation Gas barrier film and electronic device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190008201A (ko) * 2016-05-16 2019-01-23 도요보 가부시키가이샤 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름
KR20200066680A (ko) * 2017-10-12 2020-06-10 도요보 가부시키가이샤 세라믹 그린 시트 제조용 이형 필름

Also Published As

Publication number Publication date
TW201343287A (zh) 2013-11-01
JP2014144636A (ja) 2014-08-14
PH12014502380B1 (en) 2015-01-12
CN104245263B (zh) 2016-11-23
WO2013161422A1 (ja) 2013-10-31
SG11201406777XA (en) 2015-01-29
JP5451951B1 (ja) 2014-03-26
PH12014502380A1 (en) 2015-01-12
MY168308A (en) 2018-10-29
US20150086749A1 (en) 2015-03-26
JPWO2013161422A1 (ja) 2015-12-24
CN104245263A (zh) 2014-12-24
KR102023442B1 (ko) 2019-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20150008077A (ko) 그린 시트 제조용 박리 필름
JP5421506B1 (ja) グリーンシート製造用剥離フィルムおよびグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法
KR101997310B1 (ko) 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름
KR101997311B1 (ko) 세라믹 그린 시트 제조 공정용 박리 필름
KR102093769B1 (ko) 그린 시트 제조용 박리 필름
JP2015071240A (ja) 剥離フィルム
JP6081987B2 (ja) グリーンシート製造用剥離フィルム
JP6351570B2 (ja) 剥離フィルム
JP2015066908A (ja) グリーンシート製造用剥離フィルムおよびグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法
JP2022153410A (ja) セラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant