JP5421506B1 - グリーンシート製造用剥離フィルムおよびグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
本発明によれば、グリーンシートにピンホールや部分的な厚みのばらつきが発生するのを抑制することができる。
Description
(1) グリーンシート製造用剥離フィルムであって、
第1の面と第2の面とを有する基材と、
(メタ)アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基から選択される反応性官能基を1分子中に3つ以上有する紫外線硬化性化合物(A)と、ポリオルガノシロキサン(B)と、α−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤(C)とを含有する剥離剤層形成用材料を、前記基材の前記第1の面側に塗布して形成された塗布層に、紫外線を照射して、前記塗布層を硬化することにより形成された剥離剤層とを有し、
前記剥離剤層の平均厚さは、0.3〜2μmであり、
前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さRa1が8nm以下であり、かつ、前記外表面の最大突起高さRp1が50nm以下であり、
前記基材の前記第2の面の算術平均粗さRa2が5〜40nmであり、かつ、前記第2の面の最大突起高さRp2は、60〜500nmであることを特徴とするグリーンシート製造用剥離フィルム。
前記反応性官能基は、前記分子鎖の末端および前記分子鎖の側鎖のいずれか一方または両方において、直接または2価の連結基を介して、前記分子鎖のケイ素原子と結合されている上記(1)または(2)に記載のグリーンシート製造用剥離フィルム。
第1の面と第2の面とを有する基材を準備する第1の工程と、
(メタ)アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基から選択される反応性官能基を1分子中に3つ以上有する紫外線硬化性化合物(A)と、ポリオルガノシロキサン(B)と、α−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤(C)とを含有する剥離剤層形成用材料を調製する第2の工程と、
前記基材の前記第1の面側に前記剥離剤層形成用材料を塗布して形成された塗布層に、紫外線を照射して、前記塗布層を硬化することにより剥離剤層を形成する第3の工程とを有し、
前記剥離剤層の平均厚さは、0.3〜2μmであり、
前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さRa1が8nm以下であり、かつ、前記外表面の最大突起高さRp1が50nm以下であり、
前記基材の前記第2の面の算術平均粗さRa2が5〜40nmであり、かつ、前記第2の面の最大突起高さRp2は、60〜500nmであることを特徴とするグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法。
前記反応性官能基は、前記分子鎖の末端および前記分子鎖の側鎖のいずれか一方または両方において、直接または2価の連結基を介して、前記分子鎖のケイ素原子と結合されている上記(5)ないし(7)のいずれかに記載のグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法。
《グリーンシート製造用剥離フィルム》
本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムは、グリーンシートの製造に用いられるものである。
図1に示すように、グリーンシート製造用剥離フィルム1は、第1の面111と第2の面112とを有する基材11と、基材11の第1の面111上に設けられた剥離剤層12とを有している。
基材11は、第1の面111と第2の面112とを有する。
剥離剤層12は、基材11の第1の面111上に設けられている。
剥離剤層12は、グリーンシート製造用剥離フィルム1に剥離性を付与する機能を有している。
[紫外線硬化性化合物(A)]
紫外線硬化性化合物(A)は、硬化することにより剥離剤層12の形成に寄与する成分である。
ポリオルガノシロキサン(B)は、剥離剤層12に剥離性を発現させる成分である。
ポリオルガノシロキサン(B)としては、例えば、直鎖状または分岐状の分子鎖を有するポリオルガノシロキサンが挙げられる。特に、その分子鎖の末端および分子鎖の側鎖のいずれか一方または両方において、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも1種を有する反応性官能基が、直接または2価の連結基を介して、分子鎖のケイ素原子と結合した変性ポリオルガノシロキサンを用いるのが好ましい。なお、アルケニル基としては、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ヘキセニル基など炭素数2〜10のものが例示される。上記2価の連結基としては、例えばアルキレン基、アルキレンオキシ基、オキシ基、イミノ基、カルボニル基及びそれらを組み合わせた2価の連結基等が挙げられる。2価の連結基の炭素数は、1〜30であることが好ましく、1〜10であることがより好ましい。また、ポリオルガノシロキサン(B)は、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用することができる。
α−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤(C)は、剥離剤層12の硬化性を向上させるための成分である。
次に、上述したようなグリーンシート製造用剥離フィルム1の製造方法の好適な実施形態について説明する。
<第1の工程>
まず、基材11を準備する。
次に、紫外線硬化性化合物(A)、ポリオルガノシロキサン(B)、および光重合開始剤(C)などの成分を、溶剤に溶解または分散させることにより、剥離剤層形成用材料を得る。
次に、基材11の第1の面111に、剥離剤層形成用材料を塗布して、それを乾燥させることで塗布層を得る。剥離剤層形成用材料は、塗布プロセスから乾燥プロセスの間に、第1の面111の凹凸の凹部の空間及び凸部の斜面を埋め、それによって、平滑化された塗布層を形成する。このようにして得られた塗布層に、紫外線を照射して、それを硬化させることにより、平滑化された剥離剤層12を形成する。この際の紫外線の照射量は、積算光量が50〜1000mJ/cm2であるのが好ましく、100〜500mJ/cm2であるのがより好ましい。
これにより、グリーンシート製造用剥離フィルム1が得られる。
[1]グリーンシート製造用剥離フィルムの作製
(実施例1)
まず、基材としての二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム[厚み:31μm、第1の面の算術平均粗さRa0:29nm、第1の面の最大突起高さRp0:257nm、第2の面の算術平均粗さRa2:29nm、第2の面の最大突起高さRp2:257nm]を用意した。
紫外線硬化性化合物(A)としての、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート[固形分100質量%]94質量部と、ポリオルガノシロキサン(B)としての、アクリロイル基含有ポリジメチルシロキサン[信越化学工業株式会社製、商品名「X−22−164A」、固形分100質量%]1質量部と、α−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤(C)としての、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤[BASF社製、商品名「IRGACURE907」、2-メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル] −2−モリフォリノプロパン−1−オン、固形分100質量%]5質量部を、イソプロピルアルコール/メチルエチルケトン混合溶剤(質量比3/1)で希釈して、固形分20質量%の剥離剤層形成用材料を得た。
紫外線硬化性化合物(A)を、ペンタエリスリトールテトラアクリレート[固形分100質量%]に変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
剥離剤層の厚みを、0.5μmに変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
剥離剤層の厚みを、1.9μmに変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
紫外線硬化性化合物(A)としての、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート[固形分100質量%]94質量部を、93質量部に変更し、ポリオルガノシロキサン(B)としての、アクリロイル基含有ポリジメチルシロキサン[信越化学工業株式会社製、商品名「X−22−164A」、固形分100質量%] 1質量部を2質量部に変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
紫外線硬化性化合物(A)としての、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート[固形分100質量%]94質量部を、91質量部に変更し、ポリオルガノシロキサン(B)としての、アクリロイル基含有ポリジメチルシロキサン[信越化学工業株式会社製、商品名「X−22−164A」、固形分100質量%] 1質量部を4質量部に変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
基材を、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム[厚み:38μm、第1の面の算術平均粗さRa0:35nm、第1の面の最大突起高さRp0:471nm、第2の面の算術平均粗さRa2:35nm、第2の面の最大突起高さRp2:471nm] に変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
基材を、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム[厚み:38μm、第1の面の算術平均粗さRa0:15nm、第1の面の最大突起高さRp0:98nm、第2の面の算術平均粗さRa2:15nm、第2の面の最大突起高さRp2:98nm] に変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
まず、厚み31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム上に、帯電防止層形成用組成物[共重合ポリエステルおよびポリウレタンを含む混合樹脂エマルションに、導電性高分子であるポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)およびポリスチレンスルホネート(PSS)が合計で0.1〜1.0質量%混合された樹脂組成物(中京油脂社製,P−973,固形分10質量%)を、イソプロピルアルコールおよび精製水の混合液(混合比率1:1)にて固形分1.0質量%に希釈したもの。]を、乾燥後の厚さが0.05μmとなるように均一に塗工し、それを120℃で1分間乾燥させた。これにより、厚み31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムと、厚み0.05μmの帯電防止層との積層体からなる基材[厚み:31.05μm、第1の面(帯電防止層側の面)の算術平均粗さRa0:29nm、第1の面(帯電防止層側の面)の最大突起高さRp0:266nm、第2の面の算術平均粗さRa2:29nm、第2の面の最大突起高さRp2:257nm]を作製した。
紫外線硬化性化合物(A)としての、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート[固形分100質量%]94質量部と、ポリオルガノシロキサン(B)としての、ポリエーテル変性アクリロイル基含有ポリジメチルシロキサン[ビッグケミー社製、商品名「BYK−3500」、固形分100質量%]1質量部と、α−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤(C)としての、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤[BASF社製、商品名「IRGACURE907」、2-メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モリフォリノプロパン−1−オン、固形分100質量%]5質量部を、イソプロピルアルコール/メチルエチルケトン混合溶剤(質量比3/1)で希釈して、固形分20質量%の剥離剤層形成用材料を得た。
まず、厚み31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム上に、帯電防止層形成用組成物[ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールヘキサアクリレート、N−ビニルピロリドンを質量比で45:20:10の割合で含有するアクリル系モノマー75質量部と、酢酸ブチル20質量部及びイソプロパノール30質量部を含有する溶液125質量部と、ポリエチレンジオキシチオフェンポリスチレンスルホネート(PEDOT/PSS)の導電性高分子を1.3質量%の割合で含有する水溶液15.5質量部と、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルメタノンの光開始剤0.2質量部とを混合し、さらに上記アクリル系モノマー及び導電性高分子の合計量が1質量%になるようにイソプロパノールで希釈したもの。]を、乾燥後の厚さが0.05μmとなるようにマイヤーバーで均一に塗工した。それを、55℃で1分間加熱し、紫外線照射(積算光量:250mJ/cm2)して、厚み31μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムと、厚み0.05μmの帯電防止層との積層体からなる基材[厚み:31.05μm、第1の面の算術平均粗さRa0:29nm、第1の面の最大突起高さRp0:257nm、第2の面(帯電防止層側の面)の算術平均粗さRa2:28nm、第2の面(帯電防止層側の面)の最大突起高さRp2:263nm]を作製した。
得られた剥離剤層形成用材料をバーコーターで上記積層体からなる基材の第1の面上に塗布した。剥離剤層形成用材料を、80℃、1分間で乾燥させ、塗布層を得た。このようにして得られた塗布層に、紫外線を照射(積算光量:250mJ/cm2)して剥離剤層(厚み:1μm)を形成し、グリーンシート製造用剥離フィルムを得た。
光重合開始剤を、α−ヒドロキシアルキルフェノン系光重合開始剤[BASF社製、商品名「IRGACURE184」、1−ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン、固形分100質量%] に変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
光重合開始剤を、α−ヒドロキシアルキルフェノン系光重合開始剤[BASF社製、商品名「IRGACURE127」、2−ヒロドキシ-1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル) −ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、固形分100質量%] に変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
紫外線硬化性化合物を、1,9−ノナンジオールジアクリレート [固形分100質量%]に変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
紫外線硬化性化合物を、1,10−デカンジオールジアクリレート[固形分100質量%]に変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
紫外線硬化性化合物(A)としての、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート[固形分100質量%]94質量部を、95質量部に変更し、ポリオルガノシロキサン(B)としての、アクリロイル基含有ポリジメチルシロキサンを添加しないこと以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
剥離剤層の厚みを、0.2μmに変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
基材を、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム[厚み:38μm、第1の面の算術平均粗さRa0:42nm、第1の面の最大突起高さRp0:619nm、第2の面の算術平均粗さRa2:42nm、第2の面の最大突起高さRp2:619nm] に変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
基材を、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム[厚み:38μm、第1の面の算術平均粗さRa0:15nm、第1の面の最大突起高さRp0:105nm、第2の面の算術平均粗さRa2:3nm、第2の面の最大突起高さRp2:15nm] に変更した以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用剥離フィルムを作製した。
これらの結果を表1に示す。
以上のようにして得られたグリーンシート製造用剥離フィルムに関して、以下のような評価を行った。
各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムについて、MEKを3ml含ませたウエス(小津産業社製,BEMCOT AP−2)で剥離剤層表面を荷重1kg/cm2で往復10回研磨した。その後、剥離剤層の表面を目視で観察し、以下の判断基準で硬化性を評価した。
B:剥離剤層の一部に溶解が見られる。
C:剥離剤層が完全に溶解し、脱落する。
チタン酸バリウム粉末[堺化学工業社製、商品名「BT−03」、BaTiO3]100質量部、バインダーとしてのポリビニルブチラール[積水化学工業社製,商品名「エスレックB・K BM−2」]8質量部、および可塑剤としてのフタル酸ジオクチル[関東化学社製、商品名「フタル酸ジオクチル 鹿1級」]4質量部に、トルエン/エタノール混合溶剤(質量比6/4)135質量部を加えた。これらの物質をボールミルにて混合分散させて、セラミックスラリーを調製した。各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムの剥離剤層表面に、上記セラミックスラリーをダイコーターにて、乾燥後の膜厚が1μm、幅250mm、長さ10mになるように、塗布して塗布層を得た。塗布層を80℃で1分間乾燥させ、グリーンシートが成型されたグリーンシート製造用剥離フィルムを得た。その後、グリーンシートが成型されたグリーンシート製造用剥離フィルムについて、グリーンシート製造用剥離フィルム側から蛍光灯にて光を照射して、グリーンシート面を目視で観察した。以下の判断基準でセラミックスラリーの塗工性を評価した。
B:グリーンシートに1〜5個のピンホールが見つかった。
C:グリーンシートに6個以上のピンホールが見つかった。
上記[2.2]で形成したグリーンシートを、グリーンシート製造用剥離フィルムから剥離した。このとき、グリーンシートが正常に剥離できるか評価した。
B:グリーンシートが破れることなく、ややスムーズさに欠けるものの剥離できた。また、剥離剤層上にグリーンシートが残らなかった。
C:グリーンシートを剥離するときに、グリーンシートが破れるか、または剥離できなかった。
ポリビニルブチラール樹脂をトルエン/エタノール混合溶剤(質量比6/4)にて溶解した塗工液を、各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムの剥離剤層の上(外表面)に、乾燥後の厚さが3μmとなるように、塗布して塗布層を得た。塗布層を80℃で1分間乾燥させて、ポリビニルブチラール樹脂層を成形した。次いで、そのポリビニルブチラール樹脂層の表面にポリエステルテープを貼付した。次いで、グリーンシート製造用剥離フィルムをポリビニルブチラール樹脂層から剥離し、ポリビニルブチラール樹脂層をポリエステルテープに転写した。次いで、グリーンシート製造用剥離フィルムの剥離剤層に接触していたポリビニルブチラール樹脂層の面を、光干渉式表面形状観察装置「WYKO−1100」[株式会社Veeco社製]を用いて観察した。観察条件は、PSIモード、50倍率とした。ポリビニルブチラール樹脂層の面の91.2×119.8μmの範囲内で、ポリビニルブチラール樹脂層の面に確認される、剥離剤層の形状が転写された150nm以上の深さを有する凹部をカウントした。凹部の数を以下の判断基準で評価した。なお、下記基準Cと評価されたポリビニルブチラール樹脂層(グリーンシート)を用いてコンデンサを作製した場合、耐電圧低下によるショートが発生し易い傾向があった。
但し、上記[2.3]で基準Cの評価の場合には、試験を行わなかった。
B:凹部の数が1〜5個である。
C:凹部の数が6個以上である。
ポリビニルブチラール樹脂をトルエン/エタノール混合溶剤(質量比6/4)にて溶解した塗工液を、厚さ50μmのPETフィルム上に、乾燥後の厚さが3μmとなるように塗布して塗布層を得た。塗布層を80℃で1分間乾燥させて、ポリビニルブチラール樹脂層を成形した。各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムを、当該グリーンシート製造用剥離フィルムの基材の第2の面が上記ポリビニルブチラール樹脂層と接するように、当該ポリビニルブチラール樹脂層に貼り合わせ、積層体を得た。この積層体を100mm×100mmに裁断した。その後、荷重5kg/cm2で積層体をプレスし、グリーンシート製造用剥離フィルムの基材の第2の面の突起形状をポリビニルブチラール樹脂層に転写させた。次いで、グリーンシート製造用剥離フィルムをポリビニルブチラール樹脂層から剥離した。グリーンシート製造用剥離フィルムの基材の第2の面に接触していたポリビニルブチラール樹脂層の面における深さ500nm以上の凹部の数を数えた。具体的には、光干渉式表面形状観察装置「WYKO−1100」[株式会社Veeco社製]を用いて、ポリビニルブチラール樹脂層の面を観察した。観察条件は、PSIモード、50倍率とした。ポリビニルブチラール樹脂層の面の91.2×119.8μmの範囲内で、ポリビニルブチラール樹脂層の面に確認される凹部をカウントした。その凹部は、第2の面の形状が転写されていた。凹部の数を、以下の判断基準で評価した。なお、下記基準Cと評価されたポリビニルブチラール樹脂層(グリーンシート)を用いてコンデンサを作製した場合、耐電圧低下によるショートが発生し易い傾向があった。
B:凹部の数が1〜3個である。
C:凹部の数が4個以上である。
各実施例および各比較例のグリーンシート製造用剥離フィルムをロール状にする際の、ハンドリング性について評価した。
B:滑り性が若干悪く、かつグリーンシート製造用剥離フィルムをロール状に巻いたときの空気の抜けが若干悪かった。また、グリーンシート製造用剥離フィルムの巻きズレが若干生じるものの支障がなかった。
C:滑り性が悪く、かつグリーンシート製造用剥離フィルムをロール状に巻いたときの空気の抜けが悪かった。また、グリーンシート製造用剥離フィルムの巻きズレが顕著に生じた。
各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムを、幅400mm、長さ5000mのロール状に巻き上げた。このグリーンシート製造用剥離フィルムロールを40℃、湿度50%以下の環境下に30日間保管した。その後、グリーンシート製造用剥離フィルムロールの外観を目視にて観察し、以下の判断基準でブロッキング性を評価した。
B:グリーンシート製造用剥離フィルムロールにおいて、部分的に色目が異なる領域があった(ブロッキング傾向にあるものの使用可能)。
C:グリーンシート製造用剥離フィルムロールの広範な領域にわたって色目が異なった(ブロッキング有り)。
これらの結果を表2に示す。
11 基材
111 基材の第1の面
112 基材の第2の面
12 剥離剤層
121 剥離剤層の外表面
Claims (8)
- グリーンシート製造用剥離フィルムであって、
第1の面と第2の面とを有する基材と、
(メタ)アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基から選択される反応性官能基を1分子中に3つ以上有する紫外線硬化性化合物(A)と、ポリオルガノシロキサン(B)と、α−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤(C)とを含有する剥離剤層形成用材料を、前記基材の前記第1の面側に塗布して形成された塗布層に、紫外線を照射して、前記塗布層を硬化することにより形成された剥離剤層とを有し、
前記剥離剤層の平均厚さは、0.3〜2μmであり、
前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さRa1が8nm以下であり、かつ、前記外表面の最大突起高さRp1が50nm以下であり、
前記基材の前記第2の面の算術平均粗さRa2が5〜40nmであり、かつ、前記第2の面の最大突起高さRp2は、60〜500nmであることを特徴とするグリーンシート製造用剥離フィルム。 - 前記剥離剤層形成用材料における前記ポリオルガノシロキサン(B)の固形分含有量が、0.5〜5質量%である請求項1に記載のグリーンシート製造用剥離フィルム。
- 前記ポリオルガノシロキサン(B)は、直鎖状または分岐状の分子鎖を有するポリオルガノシロキサンであり、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも1種の反応性官能基を有し、
前記反応性官能基は、前記分子鎖の末端および前記分子鎖の側鎖のいずれか一方または両方に、直接または2価の連結基を介して、前記分子鎖のケイ素原子と結合されている請求項1または2に記載のグリーンシート製造用剥離フィルム。 - 前記基材は、積層体であり、積層された層のうちの少なくとも一つの層が、帯電防止層である請求項1〜3のいずれか一項に記載のグリーンシート製造用剥離フィルム。
- グリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法であって、
第1の面と第2の面とを有する基材を準備する第1の工程と、
(メタ)アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基から選択される反応性官能基を1分子中に3つ以上有する紫外線硬化性化合物(A)と、ポリオルガノシロキサン(B)と、α−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤(C)とを含有する剥離剤層形成用材料を調製する第2の工程と、
前記基材の前記第1の面側に前記剥離剤層形成用材料を塗布して形成された塗布層に、紫外線を照射して、前記塗布層を硬化することにより剥離剤層を形成する第3の工程とを有し、
前記剥離剤層の平均厚さは、0.3〜2μmであり、
前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さRa1が8nm以下であり、かつ、前記外表面の最大突起高さRp1が50nm以下であり、
前記基材の前記第2の面の算術平均粗さRa2が5〜40nmであり、かつ、前記第2の面の最大突起高さRp2は、60〜500nmであることを特徴とするグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法。 - 前記第3の工程において、前記紫外線の照射を大気雰囲気中で行う請求項5に記載のグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法。
- 前記剥離剤層形成用材料における前記ポリオルガノシロキサン(B)の固形分含有量が、0.5〜5質量%である請求項5または6に記載のグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法。
- 前記第2の工程において、前記ポリオルガノシロキサン(B)は、直鎖状または分岐状の分子鎖を有するポリオルガノシロキサンであり、(メタ)アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも1種の反応性官能基を有し、
前記反応性官能基は、前記分子鎖の末端および前記分子鎖の側鎖のいずれか一方または両方に、直接または2価の連結基を介して、前記分子鎖のケイ素原子と結合されている請求項5ないし7のいずれか一項に記載のグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法。
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