KR101018613B1 - 배기 가스 분석 장치에 있어서의 센서 유닛 - Google Patents

배기 가스 분석 장치에 있어서의 센서 유닛 Download PDF

Info

Publication number
KR101018613B1
KR101018613B1 KR20087026405A KR20087026405A KR101018613B1 KR 101018613 B1 KR101018613 B1 KR 101018613B1 KR 20087026405 A KR20087026405 A KR 20087026405A KR 20087026405 A KR20087026405 A KR 20087026405A KR 101018613 B1 KR101018613 B1 KR 101018613B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
exhaust gas
laser beam
sensor unit
adjustment ring
sensor
Prior art date
Application number
KR20087026405A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090005093A (ko
Inventor
도모야스 이와세
가츠토시 고토
마사히로 야마카게
도키오 오카노
요시히로 데구치
미노루 단노
마사즈미 다노우라
마사오 와타나베
사토시 후카다
Original Assignee
미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤
도요타 지도샤（주）
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤, 도요타 지도샤（주） filed Critical 미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤
Publication of KR20090005093A publication Critical patent/KR20090005093A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101018613B1 publication Critical patent/KR101018613B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03—Cuvette constructions
    • G01N21/031—Multipass arrangements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/15—Preventing contamination of the components of the optical system or obstruction of the light path
    • G01N2021/158—Eliminating condensation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03—Cuvette constructions
    • G01N21/0332—Cuvette constructions with temperature control
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/08—Optical fibres; light guides

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명의 배기 가스 분석 장치는, 엔진으로부터의 배기 경로에 센서 유닛 (11) 을 장착하여, 엔진으로부터 배출되는 배기 가스에 레이저광을 조사하고, 배기 가스 중을 투과한 레이저광을 수광하여, 수광된 레이저광에 기초하여 가스 중에 함유되는 성분의 농도를 측정하는 것으로서, 상기 센서 유닛 (11) 의 센서 베이스 (15) 에 형성되어 있는 개구부 (16) 에, 둘레면에 레이저광 통과부로서의 작은 구멍 (41) 이 형성되어 있고 내주면이 배기 가스 통과구 (21) 가 되는 조정 링 (40) 이 자유롭게 착탈할 수 있게 끼워져 장착되는 구조인 것으로서, 굵기가 상이한 배기관의 내경에 대응하여 장착할 수 있는 것이다.

Description

배기 가스 분석 장치에 있어서의 센서 유닛{SENSOR UNIT IN EXHAUST GAS ANALYZER}
본 발명은, 엔진 등의 배기 경로 안에 장착하여 배기 경로 안을 흐르는 배기 가스에 함유되어 있는 배기 가스 성분의 농도를 측정 가능한 배기 가스 분석 장치와 관련되어, 특히, 배기 가스 분석 장치에 있어서의 센서 유닛에 관한 것이다.
종래, 자동차 등의 배기 가스 분석 장치로서 일본 공개특허공보 2004-117259호 (특허 문헌 1) 에 기재된 차재형 HC 측정 장치가 있다. 이 차재형 HC 측정 장치는, 엔진에 이어진 배기관을 흐르는 배기 가스 중의 HC (탄화수소) 농도를 연속적으로 측정하기 위한 NDIR (비분산형 적외 분광법) 형 가스 분석계와, 배기관을 흐르는 배기 가스의 유량을 연속적으로 측정하는 배기 가스 유량계와, NDIR 형 가스 분석계 및 배기 가스 유량계의 각각의 출력을 연산 처리하고, 배기 가스 중의 THC (전체 탄화수소) 량을 연속적으로 산출하는 연산 처리 회로를 차량 내에 탑재할 수 있게 하고 있다.
특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 2004-117259호
발명의 개시
상기 특허 문헌 1 에 기재된 배기 가스 분석 장치는, 실제 도로를 주행 중인 차량에 있어서 그 배기 가스 중의 THC 를 간단하고 쉽게 측정할 수 있는 것이지만, 엔진의 배기 경로로부터 배기 가스를 분석부까지 배관을 통하여 이동시켜 가스 성분의 분석을 실시하고 있기 때문에, 리얼 타임 분석을 실시할 수 없으며, 또, 상기 서술한 설비 등을 작게 억제하기 위해서, HC 등의 한정된 성분밖에 분석할 수 없다. 엔진의 개발이나, 엔진에 부속되는 배기 가스 정화 장치 등의 기기의 개발 단계에 있어서, 배기 가스 중의 탄화수소 이외의 성분, 예를 들어 질소 산화물이나 일산화탄소 등의 배기 가스 성분에 대해서도 간단하고 쉽게 측정할 수 있고, 게다가, 배기 가스 성분의 농도를 실시간으로 측정할 수 있는 배기 가스 분석 장치가 요망되고 있다.
그래서, 본 출원인은 배기 가스 중의 예를 들어 질소산화물이나 일산화탄소 등의 다수의 배기 가스 성분의 농도에 대해서도, 간단하고 쉽게 실시간으로 측정할 수 있는 배기 가스 분석 장치를 개발하였다. 그 배기 가스 분석 장치는, 도 6 에 나타내는 바와 같이 엔진 (2) 의 각 배기통 (3) 에 연결된 배기관 (4) 의 배기 경로의 복수 개소에 설치된 복수의 센서 유닛 (51A ∼ 51D) 과, 배기 가스 중에 조사되는 레이저광을 발광함과 함께, 레이저광을 수광하는 수광부로부터의 전기 신호가 입력되는 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러 (6) 와, 배기 가스 중에 조사된 레이저광의 발광 강도와 배기 가스 중을 투과하여 수광된 레이저광의 수광 강도로부터 배기 가스 중에 함유되는 성분과 그 농도를 분석하는 분석 장치 (퍼스널 컴퓨터) (7) 로 구성되어 있다.
배기 가스 분석 장치에 있어서의 각 센서 유닛 (51A ∼ 51D) 은 동일한 구성으로서, 1 개의 센서 유닛 (51) 에 대해 도 7, 8 을 참조하여 이하에 설명한다.
이 센서 유닛 (51) 은 배기관 (4) 의 플랜지부 (F) 와 배기관 (5) 의 플랜지부 (F) 사이에 개스킷 (9) 을 개재시켜 배치되고, 플랜지부 (F, F) 끼리를 볼트 (도시 생략) 에 의해 연결함으로써 배기 가스의 배기 통로에 설치되어 있다.
센서 유닛 (51) 의 센서 베이스 (55) 는, 금속으로 구성되어 있으며 직육면체의 형상을 하고 있다. 도 8 에 상세하게 나타내는 바와 같이, 센서 베이스 (55) 는, 배기 가스가 흐르는 방향과 직교하는 전후면 (55a, 55b) 에는, 그 중심부에 배기 가스의 흐름을 흐트리지 않도록 배기관 (4) 의 원형 단면의 내경 (d) 과 동일한 내경의 배기 가스 통과구 (21) 가 형성되어 있고, 전후면 (55a, 55b) 과 수직인 상측면 (55c) 의 좌측에는, 판 두께의 중앙에 배기 가스 통과구 (21) 를 향하여 관통하는 센서 구멍 (22) 이 배기 가스가 흐르는 방향과 직교하도록 형성되어 있고, 하측면 (55d) 의 우측에는, 판 두께의 중앙에 단면으로부터 배기 가스 통과구 (21) 를 향하여 관통하는 센서 구멍 (23) 이 배기 가스가 흐르는 방향과 직교하도록 형성되어 있다.
센서 베이스 (55) 의 센서 구멍 (22) 에는, 레이저광을 조사하는 조사부 (25) 가 장착되어 있고, 조사부 (25) 는 광섬유 (26) 에 의해 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러 (6) 와 연결되어 있어, 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러 (6) 에서 발광된 레이저광이 조사부 (25) 로부터 콜리메이트 렌즈를 통하여 배기 가스 중에 조사되도록 구성되어 있다. 센서 구멍 (23) 에는, 조사부 (25) 로부터 배기 가스 통과구 (21) 내에 조사되어 배기 가스 중을 투과한 레이저광을 수광하는 수광부로서 디텍터 (27) 가 장착되어 있고, 디텍터 (27) 는 신호선 (28) 에 의해 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러 (6) 와 연결되어 있다.
센서 베이스 (55) 에는, 배기 가스 통과구 (21) 를 사이에 끼워 대향하는 위치에 반사경 삽입홈 (31, 32) 이 평행하게 형성되어 있고, 반사경 삽입홈 (31, 32) 의 좌우에는, 그 내주면에 암나사가 형성된 나사 구멍 (38) 이 배기 가스 통과구 (21) 까지 관통하여 천공되어 있다. 반사경 삽입홈 (31, 32) 에는 반사경 (30, 30) 이, 그 반사면이 배기 가스 통과구 (21) 를 향하도록 삽입되어 배기 가스 통과구 (21) 로부터 나사 구멍 (38) 에 나사 결합되어 있는 비스 (39) 에 의해 고정되어 있다.
반사경 (30) 은, 석영, 혹은 사파이어, 세라믹 등으로 형성된 두께가 수 ㎜ 정도의 직사각 형상 기판의 일방의 면에, 금, 플라티나, 산화 티탄 등의 레이저 파장에 맞는 반사율이 높은 반사재가 박막으로 코팅되고, 그 위에 보호층으로서 MgF2 나 SiO2 의 박막이 형성되어 반사면이 구성되어 있다.
반사경 삽입홈 (31, 32) 과, 배기 가스 통과구 (21) 사이에는, 작은 구멍의 레이저광 통과 구멍 (56) 이 복수개 형성되어 있고, 조사부 (25) 로부터 센서 구멍 (22) 내에 조사된 레이저광이 반사경 (30, 30) 사이에서 복수회 반사된 후, 센서 구멍 (23) 에 도달하도록 구성되어 있다.
게다가 센서 베이스 (55) 는, 그 우측면 (55e) 에는, 반사경 삽입홈 (31) 의 상측으로서 반사경 삽입홈 (31) 과 평행하게 히터 삽입구 (33) 가 형성되어 있고, 또, 그 좌측면 (55f) 에는, 반사경 삽입홈 (32) 의 하측으로서 반사경 삽입홈 (32) 과 평행하게 히터 삽입구 (34) 가 형성되어 있다. 이 히터 삽입구 (33, 34) 내에는 결로 방지용 히터 (35) 가 삽입되어, 나사 구멍 (36) 에 나사 결합하고 있는 비스 (37) 에 의해 고정되어 있고, 반사경 (30, 30) 의 반사면에 결로가 발생하지 않도록 반사경 (30, 30) 을 데우고 있다.
그리고, 도 6 ∼ 8 에 나타내는 배기 가스 분석 장치는, 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러 (6) 에서 발광된 레이저광을 광섬유 (26) 를 통하여 조사부 (25) 로부터 배기 가스 중에 조사하고, 조사된 레이저광은, 대향하여 배치되어 있는 반사경 (30, 30) 사이에서 복수회 반사되어, 배기 가스 중을 긴 거리 통과한 후에 디텍터 (27) 에서 수광되고 전기 신호로 변환된다. 이 전기 신호는 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러 (6) 에 입력되고, 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러 (6) 는 발사한 레이저광의 광 강도와 수광한 레이저광의 광 강도의 차분 신호를 분석 장치 (7) 로 송출한다.
분석 장치 (7) 는 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러 (6) 로부터 송신된 차분 신호 에 기초하여 배기 가스에 의해 흡수된 흡수 스펙트럼을 산출하고, 이 흡수 스펙트럼을 해석함으로써, 배기 가스 중에 함유되는 배기 가스 성분과 그 농도를 리얼 타임으로 측정할 수 있다.
도 6 ∼ 8 에 나타내는 배기 가스 분석 장치는, 센서 유닛 (51) 을 배기관 (4, 5) 에 설치하고, 그 배기 가스 통과구 (21) 내에 배기관 (4) 으로부터의 배기 가스를 통과시켜, 실제로 차량이 주행하고 있을 때에 배기관 중을 흐르고 있는 배기 가스와 동일한 상태의 배기 가스 중의 배기 가스 성분과 그 농도를 측정하고 있다. 배기관 (4, 5) 의 내경과 센서 유닛 (51) 의 배기 가스 통과구 (21) 의 내경이 상이하면, 배기 가스의 흐름이 흐트러져 실제로 차량이 주행하고 있을 때에 배기관 중을 흐르고 있는 배기 가스 상태와는 상이한 것이 된다. 그 때문에, 실제로 차량이 주행하고 있을 때에 배기관 중을 흐르고 있는 배기 가스 상태와 동일한 상태의 배기 가스를 측정하기 위해서는 배기관의 내경 (d) 과 센서 유닛 (51) 의 배기 가스 통과구 (21) 의 내경을 동일하게 해야 한다.
그런데, 현재, 자동차는 대형차, 보통차, 경자동차 등 다수의 차종이 있고, 차종에 따라 배기관의 내경이 각각 상이하다. 게다가, 그 배기 경로의 위치에 따라서도 배기관의 내경이 상이하므로, 이들 자동차에 있어서 배기 경로의 복수 지점에서 차량의 주행 상태에 있어서의 배기 가스를 측정하기 위해서는 배기 가스 통과구 (21) 의 내경이 상이한 많은 종류의 센서 유닛 (51) 을 준비할 필요가 있다. 예를 들어, 차종이 15 종 있다고 하면, 그 배기관 접속 지점이 평균 3 지점 있으므로, 45 종의 센서 유닛을 준비할 필요가 있고, 그것들을 제작하기에는 많은 비용이 소요된다.
또, 배기관의 내부를 흐르는 배기 가스는, 엔진 (2) 에 가까운 상류측의 배기관 (4) 에서는 1000℃ 의 고온이고, 하류측의 온도가 낮은 곳에서도 100℃ 가깝게 되어 있다. 센서 유닛 (51A ∼ 51D) 의 센서 베이스 (55) 는, 설치되는 장소에 따라서는, 외기온인 20℃ 정도로부터 1000℃ 가까운 범위에서 온도가 변화하게 된다. 그 때문에, 센서 베이스 (55) 는 그 온도의 변화에 의한 팽창ㆍ수축을 반복하게 되어, 조사부 (25) 나 반사경 (30) 등의 위치가 어긋나 레이저광이 반사경 (30) 에 의해 정확한 방향으로 반사되지 않게 되어, 조사부 (25) 로부터 조사된 레이저광이 디텍터 (27) 에 도달하지 않게 되고, 그 결과, 측정 불가능해지는 경우가 있다.
또한, 센서 베이스 (55) 의 배기 가스 통과구 (21) 에는 고온의 배기 가스가 직접 접촉되고 있으므로, 그 표면이 손상되어 센서 베이스 (55) 의 다른 부분은 충분히 사용 가능함에도 불구하고 센서 베이스 (55) 전체를 교환하지 않으면 안된다.
본 발명은, 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 굵기가 상이한 배기관의 내경에 대응하여 장착할 수 있고, 게다가, 차량의 실제의 주행 상태에 있어서의 배기 가스 중의 배기 가스 성분의 농도를 안정적으로 측정할 수 있는 배기 가스 분석 장치에 있어서의 센서 유닛을 저비용으로 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 배기 가스 분석 장치의 센서 유닛는, 배기 가스가 통과하는 배기 가스 통과구가 구비되어 있는 센서 베이스와, 그 센서 베이스에 형성되어 있고, 레이저광을 조사하는 조사부와 수광부로 구성되어, 배기 가스의 배기 경로에 설치되어, 상기 조사부로부터 배기 가스 통과구 내의 배기 가스 중에 조사한 레이저광을 상기 수광부에서 수광하고, 수광된 레이저광에 기초하여 상기 배기 가스 중에 함유되는 성분의 농도를 측정하는 배기 가스 분석 장치를 위한 것으로서, 상기 배기 가스 통과구는 센서 베이스에 형성되어 있는 개구부에, 배기 가스가 통과되는 관통공이 형성된 조정 링이 자유롭게 착탈할 수 있게 끼워져 장착됨으로써 구성되어 있고, 그 조정 링의 둘레면에는 상기 조사부로부터 조사된 레이저광이 상기 수광부에 도달하기 위한 레이저광 통과부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 배기 가스 분석 장치의 센서 유닛은, 조사부에서 조사된 레이저광이, 조정 링의 둘레면의 레이저광 통과부를 통과하여 배기 가스 중을 투과하여 수광부에서 수광되고, 배기 가스 분석 장치는 수광된 레이저광에 기초하여 상기 배기 가스 중에 함유되는 성분의 농도를 측정할 수 있고 그리고, 조정 링의 관통공 내를 흐르는 고온의 배기 가스에 의해 조정 링의 관통공이 손상된 경우에는 조정 링을 교환함으로써, 센서 유닛으로서 재차 사용 가능하게 할 수 있다.
또, 본 발명에 관련된 센서 유닛의 센서 베이스는, 개구부를 사이에 끼우고 반사경이 대향하여 배치되어 있고, 또, 조정 링의 둘레면에는 상기 반사경에서 반사된 레이저광이 통과하기 위한 레이저광 통과부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명에 관련된 센서 유닛의 센서 베이스는, 조사된 레이저광이, 조정 링의 둘레면의 레이저광 통과부를 통과하여 반사경 사이에서 복수회 반사되어, 배기 가스 중을 긴 거리 통과하고, 그 사이에 특정 파장의 레이저광이 배기 가스 중에 함유되어 있는 배기 가스 성분에 의해 통과 거리에 따라 흡수되므로, 농도가 낮은 배기 가스 성분에 대해서도 그 농도를 정확하게 측정할 수 있다.
본 발명에 관련된 센서 유닛의 조정 링은, 외형이 동일하고 관통공의 내경이 상이한 조정 링으로 교환하여 장착할 수 있는 것을 특징으로 하고 있다. 또, 본 발명의 배기 가스 분석 장치에 있어서의 센서 유닛의 조정 링은, 원통형으로서 그 외경이 동일하고 관통공의 내경이 상이한 조정 링으로 교환하여 장착할 수 있는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명에 관련된 센서 유닛의 조정 링은, 센서 베이스의 개구부에, 배기관의 내경과 동일한 내경의 조정 링을 교환하여 장착함으로써, 1 종류의 센서 베이스에 의해 여러가지 배기관의 내경에 맞춘 센서 유닛을 구성할 수 있다. 본 발명에 관련된 조정 링의 외형은, 센서 베이스의 개구부의 형상과 같은 형상을 하고 있으면 어떠한 형상이어도 되고, 원형으로 하면 그 제작이 용이하게 되며, 또, 원형 이외의 형상으로 하면, 조정 링을 센서 베이스의 개구부에 끼워질 때에, 조정 링의 둘레면에 형성되어 있는 레이저광 통과부의 위치 맞춤이 불필요하게 된다.
본 발명에 관련된 센서 유닛의 조정 링은, 조정 링의 둘레면에 형성되어 있는 레이저광 통과부가 복수의 작은 구멍인 것을 특징으로 하고 있다. 본 발명에 관련된 센서 유닛의 조정 링은, 배기 가스 통과구 내에 조사된 레이저광이 반사경의 오염 등에 의해 반사되어 노이즈 광이 발생한 경우에, 그 노이즈 광을 작은 구멍이 형성되어 있지 않은 부분에서 차단하고, 측정을 위한 레이저광만이 레이저광 통과용의 작은 구멍을 통과하여 반사경에서 반사되고 수광부에서 수광되므로, 배기 가스 중의 배기 가스 성분 농도를 정확하게 측정할 수 있다.
본 발명에 관련된 센서 유닛의 조정 링은, 단열성 재료로 구성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다. 또, 본 발명에 관련된 센서 유닛의 조정 링은 세라믹으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다. 본 발명에 관련된 센서 유닛의 조정 링에 의하면, 배기 가스 통과구를 흐르는 배기 가스로부터의 고온의 열이, 단열성 재료인 세라믹으로 구성되어 있는 조정 링에 의해 차단되어 배기 가스로부터의 고온의 열이 센서 베이스에 그다지 전도되지 않는다. 그 때문에, 열에 의한 센서 베이스의 변형을 억제할 수 있고, 반사경, 조사부, 수광부 등의 장착 위치가 어긋나는 경우가 없기 때문에, 배기 가스 중의 배기 가스 성분 농도를 안정적으로 측정할 수 있다. 또, 센서 베이스는 고온으로 되지 않아, 내열성의 재질로 형성할 필요가 없기 때문에, 센서 베이스로서 사용할 수 있는 재질의 폭이 넓어진다.
본 발명의 배기 가스 분석 장치의 센서 유닛은, 센서 베이스에 형성되어 있는 개구부에, 배기 가스가 통과하는 관통공이 형성된 조정 링이 자유롭게 착탈할 수 있게 끼워져 장착되고, 그 조정 링의 둘레면에는 상기 조사부로부터 조사된 레이저광이 상기 수광부에 도달하기 위한 레이저광 통과부가 형성되어 있으므로, 배기 가스의 온도 등에 의해 조정 링의 관통공이 손상된 경우에는 조정 링을 교환함으로써, 센서 유닛으로서 재차 사용 가능할 수 있고, 또, 관통공의 내경이 상이한 조정 링으로 교환하여 장착함으로써, 1 종류의 센서 베이스에 의해 배기 가스 관통공의 내경이 상이한 센서 유닛를 구성하여 다양한 내경의 배기관에 설치할 수 있다.
도 1 은 본 발명의 실시형태에 관련된 센서 유닛에 있어서의 센서 베이스를 나타내고, (a) 는 센서 베이스의 정면도, (b) 는 (a) 의 A-A 선 단면도, (c) 는 (a) 의 B-B 선 단면도.
도 2 는 본 발명의 실시형태에 관련된 센서 유닛에 있어서의 조정 링의 사시 도.
도 3 은 본 발명의 실시형태에 관련된 센서 유닛의 사시도.
도 4 는 본 발명의 실시형태에 관련된 센서 유닛과 조정 링이 장착되어 있지 않은 센서 유닛에 있어서의 배기 가스의 열전도 상태를 나타내는 설명도로서, (a) 는 조정 링이 있는 것, (b) 는 조정 링이 없는 것을 나타낸다.
도 5 는 본 발명의 다른 실시형태의 조정 링을 장착한 센서 유닛의 사시도.
도 6 은 본 출원인이 발명한 배기 가스 분석 장치를 차량에 탑재한 형태를 나타내는 주요부 구성도.
도 7 은 상기 배기 가스 분석 장치의 센서 유닛을 배기관으로부터 떼어낸 상태의 사시도.
도 8 은 상기 배기 가스 분석 장치의 센서 유닛를 나타내는 도면으로서, (a) 는 센서 유닛의 정면도, (b) 는 (a) 의 A-A 선 단면도, (c) 는 (a) 의 B-B 선 단면도.
도면에 있어서, 2 : 엔진, 3 : 각 배기통, 4 : 배기관, 5 : 배기관, 6 : 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러, 7 : 컴퓨터, 11 : 센서 유닛, 15 : 센서 베이스, 16 : 개구부, 17 : 레이저광 통과 슬릿, 18 : 볼트 삽입 구멍, 19 : 볼트, 21 : 배기 가스 통과로, 22 : 센서 구멍, 23 : 센서 구멍, 25 : 조사부, 26 : 광섬유, 27 : 디텍터, 28 : 신호선, 30 : 반사경, 31, 32 : 반사경 삽입홈, 33, 34 : 히터 삽입로, 35 : 결로 방지용 히터, 36 : 나사 구멍, 37 : 비스, 38 : 나사 구멍, 39 : 비스, 40, 40a, 40b, 40c : 조정 링, 41 : 레이저광 통과 작은 구멍이다.
발명을 실시하기 위한 최선의 형태
도 1 은 본 발명을 실시하기 위한 제 1 형태에 관련된 센서 유닛에 있어서의 센서 베이스를 나타내는 것으로, (a) 는 센서 베이스의 정면도, (b) 는 (a) 의 A-A 단면도, (c) 는 (a) 의 B-B 단면도이다. 도 6 ∼ 8 에 기재되어 있는 센서 유닛과 동일한 구성인 것에는 동일한 부호를 붙이고 있다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 본 발명에 있어서의 센서 유닛 (11) 의 센서 베이스 (15) 는, 금속으로 구성되어 있고 직육면체의 형상을 하고 있다. 센서 베이스 (15) 는, 배기 가스가 흐르는 방향과 직교하는 전후면 (15a, 15b) 의 중심부에는 직경 (D) 이 큰 개구부 (16) 가 형성되어 있고, 전후면 (15a, 15b) 과 수직인 상측면 (15c) 의 좌측에는, 판 두께의 중앙으로부터 개구부 (16) 를 향하여 관통하는 센서 구멍 (22) 이 배기 가스가 흐르는 방향과 직교하도록 형성되어 있고, 하측면 (15d) 의 우측에는, 판 두께의 중앙으로부터 개구부 (16) 를 향하여 관통하는 센서 구멍 (23) 이 배기 가스가 흐르는 방향과 직교하도록 형성되어 있다. 개구부 (16) 의 직경 (D) 은 이 센서 유닛 (11) 에 의해 배기 가스의 측정을 하고자 하는 자동차의 배기관의 내경 (d) 보다 크게 할 필요가 있다.
센서 베이스 (15) 의 센서 구멍 (22) 에는, 레이저광을 조사하는 조사부 (25) 가 장착되어 있어, 조사부 (25) 는 광섬유 (26) 에 의해 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러 (6) 로 연결되어 있고, 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러 (6) 에서 발광된 레이저광이 조사부 (25) 로부터 콜리메이트 렌즈를 통하여 배기 가스 중에 조사되도 록 구성되어 있다. 센서 구멍 (23) 에는, 조사부 (25) 로부터 배기 가스 통과구 (21) 내에 조사되고, 배기 가스 중을 투과한 레이저광을 수광하는 수광부로서의 디텍터 (27) 가 장착되어 있고, 디텍터 (27) 는 신호선 (28) 에 의해 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러 (6) 와 연결되어 있다.
센서 베이스 (15) 의 전후면 (15a, 15b) 에는, 개구부 (16) 를 사이에 끼워 대향하는 위치에 반사경 삽입홈 (31, 32) 이 평행하게 형성되어 있고, 반사경 삽입홈 (31, 32) 의 좌우에는 나사 구멍 (38) 이 개구부 (16) 까지 관통하여 천공되어 있다. 반사경 삽입홈 (31, 32) 에는 반사경 (30, 30) 이 그 반사면이 개구부 (16) 를 향하도록 삽입되고, 개구부 (16) 로부터 나사 구멍 (38) 에 나사 결합되어 있는 비스에 의해 고정되어 있다.
반사경 (30) 은, 석영, 혹은 사파이어, 세라믹 등으로 형성된 두께가 수 ㎜ 정도인 직사각 형상 기판의 일방의 면에, 금, 플라티나, 산화 티탄 등의 레이저 파장에 맞은 반사율이 높은 반사재가 박막으로 코팅되고, 그 위에 보호층으로서 MgF2 나 SiO2 의 박막이 형성되어 반사면을 구성하고 있다.
반사경 삽입홈 (31, 32) 과 개구부 (16) 사이에는, 가늘고 긴 레이저광 통과 슬릿 (17) 이 형성되어 있고, 반사경 (30, 30) 사이에서 레이저광이 복수회 반사할 수 있도록 구성되어 있다.
또한, 센서 베이스 (15) 는, 그 우측면 (15e) 에는 반사경 삽입홈 (31) 의 상측으로서 반사경 삽입홈 (31) 과 평행하게 히터 삽입구 (33) 가 형성되어 있고, 또, 그 좌측면 (15f) 에는, 반사경 삽입홈 (32) 의 하측으로서 반사경 삽입홈 (32) 과 평행하게 히터 삽입구 (34) 가 형성되어 있다. 이 히터 삽입구 (33, 34) 내에는 결로 방지용 히터 (35) 가 삽입되고, 나사 구멍 (36) 에 나사 결합되어 있는 비스 (37) 에 의해 고정되어 있고, 반사경 (30, 30) 의 반사면에 결로가 발생하지 않도록 반사경 (30, 30) 을 데우고 있다.
센서 베이스 (15) 의 우측면 (15e) 에는, 내면에 암나사가 형성된 볼트 삽입 구멍 (18) 이 개구부 (16) 까지 관통하여 형성되어 있다.
도 2 의 (a) ∼ (c) 는 센서 베이스 (15) 의 개구부 (16) 에 장착하는 조정 링 (40) 을 나타내는 사시도이다. 조정 링 (40a, 40b, 40c) 은 세라믹에 의해 원통형으로 형성되어 있고, 이들의 외경은 센서 베이스 (15) 의 개구부 (16) 의 내경 (D) 과 거의 동일하고, 중앙에 형성되어 있는 관통공 (42) 은, 센서 유닛 (11) 을 배기 경로에 설치했을 때에는 배기 가스가 통과하는 배기 가스 통과구 (21) 가 된다.
또, 조정 링 (40a, 40b, 40c) 은 그 폭이 센서 베이스 (15) 의 두께와 동일하게 형성되어 있고, 조정 링 (40a, 40b, 40c) 의 둘레면에는 레이저광 통과 작은 구멍 (41, 41…) 이 복수개 형성되어 레이저광 통과부가 구성되어 있어, 조사부 (25) 로부터 조사된 레이저광은, 레이저광 통과 작은 구멍 (41, 41…) 을 통과시킴으로써 반사경 (30, 30) 사이에서 복수회 반사된 후 수광부인 디텍터 (27) 에서 수광된다. 이 레이저광 통과 작은 구멍 (41, 41…) 은 반사경 (30) 에 의해 정확하게 반사된 레이저광만을 통과시키고, 광로로부터 벗어난 레이저광을 차단하므로, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 2 에 있어서, (a) 의 조정 링 (40a) 는 배기관의 내경이 큰 대형차용의 것으로, 그 두께가 얇게 형성되어 배기 가스 통과구 (21) 가 되는 관통공 (42) 의 내경 (d1) 이 커져 있고, (c) 의 조정 링 (40c) 은 배기관의 내경이 작은 소형차용의 것으로, 그 두께가 두껍게 형성되어 배기 가스 통과구 (21) 가 되는 관통공 (42) 의 내경 (d3) 이 작아져 있으며, (b) 의 조정 링 (40b) 은 중형차용의 것으로 그 관통공 (42) 의 내경 (d2) 은 조정 링 (40a) 과 조정 링 (40c) 의 중간 크기로 형성되어 있다.
도 2 에서는 3 종류의 조정 링 (40a, 40b, 40c) 을 예시하고 있는데, 배기 가스를 측정하고자 하는 배기관의 내경의 종류의 수만큼 관통공 (42) 의 내경이 상이한 조정 링 (40) 을 준비할 필요가 있다.
그리고, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 배기 가스의 측정을 실시하는 차량의 배기관 (4) 의 내경과 동일한 내경의 조정 링 (40) 을 센서 베이스 (15) 의 개구부 (16) 에 끼워지고, 볼트 (19) 를 볼트 삽입 구멍 (18) 에 나사 결합하여 조정 링 (40) 을 센서 베이스 (15) 에 고정시켜 장착함으로써, 센서 유닛 (11) 을 구성한다.
이 센서 유닛 (11) 을 배기관 (4) 의 플랜지 (F) 와 배기관 (5) 의 플랜지 (F) 의 사이에 개스킷을 개재하여 배치하고, 볼트 너트에 의해 플랜지 (F, F) 끼리를 연결하여 배기관 (4, 5) 에 센서 유닛 (11) 을 설치한다.
그리고, 조사부 (25) 로부터 배기 가스 통과구 (21) 내를 흐르는 배기 가스 중에 레이저광이 조사되면, 조사된 레이저광은 센서 구멍 (22), 조정 링 (40) 의 레이저광 통과 작은 구멍 (41), 레이저광 통과 슬릿 (17) 을 통과하여 반사경 (30) 에 의해 반사되고, 반사경 (30, 30) 사이에서 복수회 반사된 후에, 센서 구멍 (23) 을 통과하여 디텍터 (27) 에서 수광되고 전기 신호로 변환된다. 이 전기 신호는 신호선 (28) 에 의해 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러 (6) 에 입력되고, 레이저 발진ㆍ수광 컨트롤러 (6) 는 발사한 레이저광의 광 강도와 수광한 레이저광의 광 강도의 차분 신호를 분석 장치 (컴퓨터) (7) 로 송출한다. 분석 장치 (7) 는 발사한 레이저광의 광 강도와 수광한 레이저광의 광 강도의 차분 신호에 기초하여 배기 가스에 의해 흡수된 흡수 스펙트럼을 산출하고, 이 흡수 스펙트럼을 해석함으로써, 배기 가스 중에 함유되는 배기 가스 성분과 그 농도를 리얼 타임으로 측정할 수 있다.
조사된 레이저광은, 대향하여 배치된 반사경 (30, 30) 사이에서 복수회 반사되어 배기 가스 중을 긴 거리 통과하고, 그 사이에 특정한 파장의 레이저광이 배기 가스 중의 배기 가스 성분에 의해 통과 거리에 따라 흡수되므로, 농도가 낮은 배기 가스 성분에 대해서도 정확하게 측정할 수 있다.
도 4 는, 조정 링 (40) 이 장착된 센서 베이스 (15) 와 조정 링이 장착되어 있지 않은 센서 베이스 (55) 에 있어서의 배기 가스의 열전도 상태를 나타내는 설명도로, 센서 유닛 (11) 과 센서 유닛 (51) 에는 동일한 내경의 배기 가스 통과구 (21) 가 형성되어 있다.
조정 링 (40) 이 장착된 센서 베이스 (15) 는, 조정 링 (40) 이 단열 효과가 높은 세라믹으로 형성되어 있고, 조정 링 (40) 에서의 열전도가 적기 때문에, 배기 가스의 온도에 의해 센서 베이스 (15) 의 개구부 (16) 의 온도가 상승하는 것을 억제할 수 있다. 그 때문에, 센서 베이스 (15) 는 조정 링이 장착되어 있지 않은 것과 비교하여 그 온도 상승이 적고, 또, 센서 베이스 (15) 의 내부와 외부의 온도차를 작게 할 수 있다. 배기 가스 통과구 (21) 내를 흐르는 배기 가스의 열에 의한 센서 베이스 (15) 의 변형이 억제되고, 반사경 (30), 레이저 조사부 (25) 등의 장착 위치 어긋남이 적어지므로, 배기 가스 중의 배기 가스 성분 농도를 안정적으로 측정할 수 있다. 또, 센서 베이스 (15) 는, 개구부 (16) 에서도 그다지 고온이 되지 않기 때문에 내열성 재질로 형성할 필요가 없어, 센서 베이스를 구성하는 재료의 폭이 넓어진다.
도 5 는, 본 발명의 다른 실시형태의 조정 링을 장착한 센서 유닛의 사시도로, 센서 베이스 (15) 의 개구부 (16) 를 직사각 형상으로 형성하고 있다. 조정 링 (40) 의 외형도 센서 베이스의 개구부 (16) 에 끼워지도록 직사각형상으로 형성하고, 내주면은 배기관의 형상에 맞춰서 원형으로 형성하고 있다. 조정 링 (40) 의 외형을 원형 이외의 형상으로 하면, 조사부로부터 조사된 레이저광이 반사경 (30, 30) 사이에서 반사된 후에 디텍터 (27) 에서 수광되도록 하기 위한 센서 베이스 (15) 와 조정 링 (40) 의 위치 맞춤이 불필요해진다.
이상, 본 발명의 실시형태에 대해 상세히 서술했는데, 본 발명은 상기의 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 청구의 범위에 기재된 본 발명의 정신을 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 설계 변경을 실시할 수 있다. 예를 들어, 실시형태 에서는, 센서 베이스 (15) 에 있어서의 레이저광의 레이저광 통과 슬릿 (17) 을 긴 구멍으로 형성했지만, 도 8 에 나타내는 바와 같이 복수의 작은 구멍으로 해도 된다. 이 경우에는, 조정 링 (40) 의 레이저광 통과 작은 구멍 (41) 을 슬릿으로 할 수 있다. 또한 상기 실시형태의 센서 유닛에서는, 센서 베이스 (15) 의 개구부 (16) 를 사이에 끼워 대향하는 위치에 반사경 (30, 30) 이 배치되어 있는데, 센서 유닛은, 조사부에서 조사된 레이저광이 배기 가스 통과구를 횡단하여 배기 가스 중을 투과하고 수광부에서 수광되는, 센서 베이스에 반사경 (30, 30) 이 배치되어 있지 않은 구성인 것이어도 된다.

Claims (7)

  1. 배기 가스가 통과하는 배기 가스 통과구가 구비되어 있는 센서 베이스와, 상기 센서 베이스에 형성되어 있는, 레이저광을 조사하는 조사부와 수광부로 구성된 센서 유닛이 배기 가스의 배기 경로에 설치되어, 상기 조사부로부터 배기 가스 통과구 내의 배기 가스 중에 조사한 레이저광을 상기 수광부에서 수광하고, 수광된 레이저광에 기초하여 상기 배기 가스 중에 함유되는 성분의 농도를 측정하는 배기 가스 분석 장치에 있어서의 센서 유닛으로서,
    상기 배기 가스 통과구는 센서 베이스에 형성되어 있는 개구부에, 배기 가스가 통과하는 관통공이 형성된 조정 링이 자유롭게 착탈할 수 있게 끼워져 장착됨으로써 구성되어 있고, 상기 조정 링의 둘레면에는 상기 조사부로부터 조사된 레이저광이 상기 수광부에 도달하기 위한 레이저광 통과부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 배기 가스 분석 장치의 센서 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서 베이스에는, 상기 개구부를 사이에 두고, 반사경이 대향하여 배치되어 있고, 상기 조정 링의 둘레면에는 상기 반사경에서 반사된 레이저광이 통과하기 위한 레이저광 통과부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 배기 가스 분석 장치의 센서 유닛.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 조정 링은, 외형이 동일하고 상기 관통공의 내경이 상이한 조정 링으로 교환할 수 있는 것을 특징으로 하는 배기 가스 분석 장치의 센서 유닛.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 조정 링은, 원통형으로서 그 외경이 동일하고 관통공의 내경이 상이한 조정 링으로 교환할 수 있는 것을 특징으로 하는 배기 가스 분석 장치의 센서 유닛.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 조정 링의 둘레면에 형성되어 있는 레이저광 통과부가 복수의 작은 구멍인 것을 특징으로 하는 배기 가스 분석 장치의 센서 유닛.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 조정 링이 단열성 재료로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 배기 가스 분석 장치의 센서 유닛.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 조정 링이 세라믹으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 배기 가스 분석 장치의 센서 유닛.
KR20087026405A 2006-05-31 2007-05-29 배기 가스 분석 장치에 있어서의 센서 유닛 KR101018613B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006151536A JP4594277B2 (ja) 2006-05-31 2006-05-31 排ガス分析装置におけるセンサユニット
JPJP-P-2006-151536 2006-05-31

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090005093A KR20090005093A (ko) 2009-01-12
KR101018613B1 true KR101018613B1 (ko) 2011-03-02

Family

ID=38778735

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20087026405A KR101018613B1 (ko) 2006-05-31 2007-05-29 배기 가스 분석 장치에 있어서의 센서 유닛

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7936460B2 (ko)
EP (1) EP1998164B1 (ko)
JP (1) JP4594277B2 (ko)
KR (1) KR101018613B1 (ko)
CN (1) CN101400989B (ko)
DE (1) DE602007009499D1 (ko)
WO (1) WO2007139223A1 (ko)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080013949A (ko) * 2005-04-28 2008-02-13 도요다 지도샤 가부시끼가이샤 배기가스 분석장치
JP4227991B2 (ja) * 2005-12-28 2009-02-18 トヨタ自動車株式会社 排ガス分析装置および排ガス分析方法
EP1887343A1 (en) * 2006-08-11 2008-02-13 Geoservices Device for quantifying the content of at least one gaseous constituent contained in a gaseous sample from a fluid, related assembly and process
JP4732277B2 (ja) * 2006-08-23 2011-07-27 トヨタ自動車株式会社 ガス分析装置及びガス分析方法
US8424292B2 (en) * 2009-12-31 2013-04-23 General Electric Company Systems and apparatus relating to the monitoring and/or controlling of selective catalytic reduction processes
US8158946B2 (en) * 2010-08-25 2012-04-17 Airware, Inc. Intrinsically safe improved sensitivity NDIR gas sensor in a can
US8003945B1 (en) * 2010-08-25 2011-08-23 Jacob Y Wong Intrinsically safe NDIR gas sensor in a can
US8616006B2 (en) * 2010-11-30 2013-12-31 General Electric Company Advanced optics and optical access for laser ignition for gas turbines including aircraft engines
JP5815377B2 (ja) * 2010-12-27 2015-11-17 株式会社堀場製作所 ガス濃度測定装置
JP2014115194A (ja) * 2012-12-10 2014-06-26 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ガス測定用配管及びガス測定用配管の製造方法
SG11201701015QA (en) * 2014-08-29 2017-03-30 Univ Tohoku Optical concentration measuring method
CN107250764A (zh) * 2015-01-19 2017-10-13 恩特格里斯公司 用于ir及uv监测的小体积长路径长度多程气体池
GB201510563D0 (en) * 2015-06-16 2015-07-29 Gassecure As Optical elements in gas sensors
US10324030B2 (en) * 2016-12-27 2019-06-18 Ge Infrastructure Sensing, Llc Portable moisture analyzer for natural gas
CN113454441A (zh) * 2019-01-16 2021-09-28 因德里奥技术股份有限公司 基于激光的原位排气传感器

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0427846A (ja) * 1990-05-24 1992-01-30 Nippondenso Co Ltd 微粒子濃度測定装置
JP2003114192A (ja) 2001-10-03 2003-04-18 Horiba Ltd 粒子状物質測定装置および方法
JP2004117259A (ja) 2002-09-27 2004-04-15 Horiba Ltd 車載型ｈｃ測定装置

Family Cites Families (65)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3207026A (en) * 1960-03-01 1965-09-21 Graviner Manufacturing Co Apparatus and method for determining the individual and average content of light absorbing fluids
US3958122A (en) 1974-12-19 1976-05-18 United Technologies Corporation Exhaust gas analyzer having pressure and temperature compensation
CH642473A5 (en) 1978-12-19 1984-04-13 Cerberus Ag Smoke detector
DE3022114C2 (de) * 1980-06-12 1983-05-26 Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch Vorrichtung zur Messung des optischen Transmissions- bzw. Absorptionsvermögens eines lichtdurchlässigen Materials
JPH07115892B2 (ja) 1986-10-23 1995-12-13 古河電気工業株式会社 光フアイバ−用紫外線硬化性樹脂組成物
JPS63107845U (ko) * 1987-01-05 1988-07-12
SE8802536D0 (sv) * 1988-07-07 1988-07-07 Altoptronic Ab Metod och apparat for spektroskopisk metning av koncentrationen av en gas i ett prov
US5096834A (en) * 1988-09-30 1992-03-17 Agency Of Industrial Science And Technology Method for determination of concentration of smoke and apparatus therefor
US4953978A (en) 1989-03-03 1990-09-04 Coulter Electronics Of New England, Inc. Particle size analysis utilizing polarization intensity differential scattering
JP2837442B2 (ja) 1989-06-21 1998-12-16 マツダ株式会社 エンジンオイルの劣化検出方法
JPH0325352A (ja) 1989-06-23 1991-02-04 Hitachi Ltd 火炎断層計測法
JPH0331726A (ja) 1989-06-29 1991-02-12 Shimadzu Corp 分光装置の光源補償機構
US5060505A (en) 1989-09-12 1991-10-29 Sensors, Inc. Non-dispersive infrared gas analyzer system
JPH0416749A (ja) 1990-05-11 1992-01-21 Japan Steel Works Ltd:The オゾン濃度測定方法及び装置
US5112215A (en) * 1991-06-20 1992-05-12 Physical Sciences, Inc. Apparatus for combustion, pollution and chemical process control
JP2744742B2 (ja) 1992-11-05 1998-04-28 東京電力株式会社 ガス濃度測定方法およびその測定装置
US5448071A (en) 1993-04-16 1995-09-05 Bruce W. McCaul Gas spectroscopy
JP3246209B2 (ja) 1994-08-10 2002-01-15 富士電機株式会社 コロイド状物質を含む溶媒の色度、濁度の測定方法とその装置
US5572031A (en) 1994-11-23 1996-11-05 Sri International Pressure- and temperature-compensating oxygen sensor
JPH08278179A (ja) * 1995-04-05 1996-10-22 Hitachi Ltd 発熱抵抗式空気流量測定装置
JP3450938B2 (ja) 1995-06-12 2003-09-29 東京電力株式会社 ガス濃度測定方法及びその装置
US5818578A (en) 1995-10-10 1998-10-06 American Air Liquide Inc. Polygonal planar multipass cell, system and apparatus including same, and method of use
US5963336A (en) * 1995-10-10 1999-10-05 American Air Liquide Inc. Chamber effluent monitoring system and semiconductor processing system comprising absorption spectroscopy measurement system, and methods of use
WO1997043609A1 (en) 1996-05-14 1997-11-20 Alliedsignal Inc. An environmentally insensitive optical sensor with improved noise cancellation
JPH105A (ja) 1996-06-17 1998-01-06 Iseki & Co Ltd 補植用作孔具
ES2157629T3 (es) * 1997-08-25 2001-08-16 Wissenschaftliche Werkstatt Fu Analisis por infrarrojos de los gases de escape de vehiculos automoviles con ajuste del punto cero o correccion de la influencia de la temperatura.
JPH1183734A (ja) 1997-09-05 1999-03-26 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ガス検知装置及びガス検知方法
US6107631A (en) 1998-03-13 2000-08-22 Alliedsignal Inc. Self-calibration approach for tunable laser spectral absorption sensors
JPH11325427A (ja) 1998-05-19 1999-11-26 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 燃焼炉における燃焼制御方法及び燃焼炉
JP4038631B2 (ja) 1998-08-28 2008-01-30 株式会社堀場製作所 半導体レーザ分光法を用いた温度・濃度・化学種の高速計測方法および計測システム
JP2000206041A (ja) 1999-01-19 2000-07-28 Japan Radio Co Ltd レ―ザ分光測定を用いた試料の含有物濃度検出方法
DE19904691C2 (de) * 1999-02-05 2003-05-28 Esytec En U Systemtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur simultanen In-situ-Bestimmung der Teilchengröße und Massenkonzentration von fluidgetragenen Partikeln
JP2000283915A (ja) 1999-03-31 2000-10-13 Tokyo Gas Co Ltd ガス測定における他ガスの影響補正方法
JP2000314345A (ja) 1999-04-30 2000-11-14 Nissan Motor Co Ltd エンジン用レーザ式物理量計測装置
JP3342446B2 (ja) 1999-08-31 2002-11-11 三菱重工業株式会社 ガス濃度計測装置
JP2001124674A (ja) 1999-10-25 2001-05-11 Horiba Ltd 車載型エンジン排ガス分析計
JP2001174410A (ja) 1999-12-21 2001-06-29 Nkk Corp 照明装置
JP2002048711A (ja) 2000-08-03 2002-02-15 Mitsubishi Heavy Ind Ltd レーザー計測装置
JP3572274B2 (ja) 2000-08-17 2004-09-29 三菱重工業株式会社 排ガス前処理装置及び方法
US6542831B1 (en) 2001-04-18 2003-04-01 Desert Research Institute Vehicle particulate sensor system
DE10124235B4 (de) * 2001-05-18 2004-08-12 Esytec Energie- Und Systemtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur umfassenden Charakterisierung und Kontrolle des Abgases und der Regelung von Motoren, speziell von Verbrennungsmotoren, und von Komponenten der Abgasnachbehandlung
JP3622696B2 (ja) 2001-07-17 2005-02-23 株式会社島津製作所 浮遊粒子状物質の測定方法および測定装置
DE10150970A1 (de) * 2001-10-10 2003-04-17 Matthias Lau Optisches Durchflußmeßsystem
JP2003139701A (ja) * 2001-11-01 2003-05-14 Shimadzu Corp 赤外線ガス分析計
US6809825B2 (en) * 2001-11-13 2004-10-26 Sick Ag Gas permeable probe for use in an optical analyzer for an exhaust gas stream flowing through a duct or chimney
US7022992B2 (en) * 2002-01-17 2006-04-04 American Air Liquide, Inc. Method and apparatus for real-time monitoring of furnace flue gases
US6807874B2 (en) 2002-01-21 2004-10-26 Shimadzu Corporation Collecting apparatus of floating dusts in atmosphere
JP3797935B2 (ja) * 2002-01-25 2006-07-19 大阪瓦斯株式会社 光伝送構造及びこれを備えたダスト測定装置
JP2003344244A (ja) 2002-05-31 2003-12-03 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 燃焼排ガス高温排ガス分析装置および分析方法
JP2004055183A (ja) 2002-07-17 2004-02-19 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ガス中のｃｏ成分計測装置及び方法
WO2004009390A2 (en) 2002-07-19 2004-01-29 Board Of Regents, The University Of Texas System Time-resolved exhaust emissions sensor
GB0221221D0 (en) 2002-09-13 2002-10-23 Delphi Tech Inc Exhaust gas sensor
US6865472B2 (en) * 2002-09-27 2005-03-08 Horiba Ltd. Vehicle-installed exhaust gas analyzing apparatus
JP2004264146A (ja) * 2003-02-28 2004-09-24 Horiba Ltd 簡易な汚れ防止および補正機能を有する光学装置および分析計
DE10309604A1 (de) 2003-03-05 2004-09-23 Siemens Ag Absorptionsgas-Sensor
JP2004317148A (ja) * 2003-04-11 2004-11-11 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 煤塵濃度測定装置
JP4131682B2 (ja) 2003-06-30 2008-08-13 三菱重工業株式会社 ガス化装置の監視システム
JP4346363B2 (ja) 2003-07-04 2009-10-21 ダウ化工株式会社 ポリスチレン系樹脂押出発泡体及びその製造方法
JP4317728B2 (ja) 2003-09-29 2009-08-19 三菱重工業株式会社 ガス濃度フラックス計測装置
US7352464B2 (en) 2004-01-05 2008-04-01 Southwest Sciences Incorporated Oxygen sensor for aircraft fuel inerting systems
WO2005077001A2 (en) 2004-02-09 2005-08-25 Environmental Systems Products Holdings Inc. Remote emissions sensing with temperature and temperature compensation
JP4254654B2 (ja) * 2004-08-17 2009-04-15 株式会社島津製作所 レーザ式多重反射セル式ガス分析計
JP4485345B2 (ja) 2004-12-28 2010-06-23 トヨタ自動車株式会社 排気ガス分析装置
KR20080013949A (ko) * 2005-04-28 2008-02-13 도요다 지도샤 가부시끼가이샤 배기가스 분석장치
JP4199766B2 (ja) * 2005-12-16 2008-12-17 トヨタ自動車株式会社 排ガス分析方法および排ガス分析装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0427846A (ja) * 1990-05-24 1992-01-30 Nippondenso Co Ltd 微粒子濃度測定装置
JP2003114192A (ja) 2001-10-03 2003-04-18 Horiba Ltd 粒子状物質測定装置および方法
JP2004117259A (ja) 2002-09-27 2004-04-15 Horiba Ltd 車載型ｈｃ測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN101400989B (zh) 2011-05-25
EP1998164B1 (en) 2010-09-29
DE602007009499D1 (de) 2010-11-11
KR20090005093A (ko) 2009-01-12
CN101400989A (zh) 2009-04-01
JP2007322214A (ja) 2007-12-13
WO2007139223A1 (ja) 2007-12-06
EP1998164A1 (en) 2008-12-03
JP4594277B2 (ja) 2010-12-08
EP1998164A4 (en) 2009-03-11
US7936460B2 (en) 2011-05-03
US20090095918A1 (en) 2009-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101018613B1 (ko) 배기 가스 분석 장치에 있어서의 센서 유닛
US7926332B2 (en) Exhaust gas analyzer and exhaust gas analyzing method
JP4199766B2 (ja) 排ガス分析方法および排ガス分析装置
JP4673887B2 (ja) 排ガス分析装置
US8085404B2 (en) Gas analyzer and gas analyzing method
US8240189B2 (en) Thermal selectivity multivariate optical computing
JP2007040887A (ja) ガス分析装置
JP5038923B2 (ja) 排ガス分析装置
JP4845599B2 (ja) ガス分析装置及びガス分析装置におけるセンサユニット
JP4949999B2 (ja) 排ガス分析装置
JP4490333B2 (ja) 排ガス分析装置
JP2009047612A (ja) 排ガス分析用センサ
JP5199592B2 (ja) 排ガス分析用センサ
JP2008232848A (ja) 排ガス分析装置
JP5483163B2 (ja) レーザガス分析装置
JP5362959B2 (ja) 排ガス分析用センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140204

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150119

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160119

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170119

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180219

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee